WO2005074050A3 - Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung Download PDF

Info

Publication number
WO2005074050A3
WO2005074050A3 PCT/DE2004/002579 DE2004002579W WO2005074050A3 WO 2005074050 A3 WO2005074050 A3 WO 2005074050A3 DE 2004002579 W DE2004002579 W DE 2004002579W WO 2005074050 A3 WO2005074050 A3 WO 2005074050A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electrodes
shaped part
inner electrodes
individual wires
piezo actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE2004/002579
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2005074050A2 (de
Inventor
Axel Endriss
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to EP04802790A priority Critical patent/EP1714328A2/de
Priority to JP2006549846A priority patent/JP2007520065A/ja
Publication of WO2005074050A2 publication Critical patent/WO2005074050A2/de
Publication of WO2005074050A3 publication Critical patent/WO2005074050A3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/06Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/063Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Es wird ein Piezoaktor (1) mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (2,3) und einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (2,3) über Aussenelektroden (4), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, vorgeschlagen, bei dem die Aussenelektroden (4) zumindest punktweise mit den jeweiligen Innenelektroden (2,3) kontaktiert sind und zwischen den Kontaktierungen ein dehnbarer Bereich zu liegen kommt. Die Aussenelektroden (4) bestehen jeweils aus einem Formteil (5) und Einzeldrähten (6), wobei die Einzeldrähte (6) parallel verlaufend zu den Schichten mit den jeweiligen Innenelektroden (2,3) kontaktiert sind und die Einzeldrähte (6) zwischen der Kontaktierung und dem Formteil (5) und/oder Bereiche des Formteils (5) eine dehnungsbeanspruchbare Zone sind.
PCT/DE2004/002579 2004-01-30 2004-11-22 Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung Ceased WO2005074050A2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP04802790A EP1714328A2 (de) 2004-01-30 2004-11-22 Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung
JP2006549846A JP2007520065A (ja) 2004-01-30 2004-11-22 ピエゾアクチュエータならびにピエゾアクチュエータを製作する方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004004737.5 2004-01-30
DE102004004737A DE102004004737A1 (de) 2004-01-30 2004-01-30 Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2005074050A2 WO2005074050A2 (de) 2005-08-11
WO2005074050A3 true WO2005074050A3 (de) 2005-12-08

Family

ID=34801290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2004/002579 Ceased WO2005074050A2 (de) 2004-01-30 2004-11-22 Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1714328A2 (de)
JP (1) JP2007520065A (de)
DE (1) DE102004004737A1 (de)
WO (1) WO2005074050A2 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006006077B4 (de) 2006-02-09 2009-04-09 Continental Automotive Gmbh Piezokeramischer Vielschicht-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Vielschicht-Aktors und Einspritzsystem
DE102006018035A1 (de) * 2006-04-19 2007-10-31 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit außen kontaktierten Innenelektroden eines Piezoelements
US7679273B2 (en) * 2006-07-31 2010-03-16 Delphi Technologies, Inc. Strain tolerant metal electrode design
DE102006040316B4 (de) * 2006-08-29 2012-07-05 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Piezokeramischer Flächenaktuator und Verfahren zur Herstellung eines solchen
DE102008062021A1 (de) 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102011114194A1 (de) * 2011-09-22 2013-03-28 Epcos Ag Piezoelektrisches Aktorbauelement
DE102012020956A1 (de) 2012-10-25 2014-04-30 Feindrahtwerk Adolf Edelhoff Gmbh & Co. Kg Drahtgelege, Piezoelement mit Drahtgelege und Herstellungsverfahren
DE102014214018A1 (de) 2014-07-18 2016-01-21 Continental Automotive Gmbh Piezobauelement, Kontaktierungsbauelement zum elektrischen Kontaktieren eines Piezostapels und Verfahren zum Herstellen eines solchen Piezobauelements

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000063980A1 (de) * 1999-04-20 2000-10-26 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer aktor
WO2000079608A1 (de) * 1999-06-19 2000-12-28 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode
EP1065735A2 (de) * 1999-06-29 2001-01-03 Siemens Aktiengesellschaft Piezoaktor mit einer elektrisch leitenden Mehrschichtfolie und Verfahren zur Herstellung der Mehrschichtfolie
DE10026635A1 (de) * 2000-05-29 2002-01-03 Epcos Ag Verfahren zum Herstellen einer Lotverbindung, elektrotechnisches Erzeugnis mit der Lotverbindung und Verwendung des elektrotechnischen Erzeugnisses
WO2002073656A2 (de) * 1999-09-24 2002-09-19 Epcos Ag Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer kontaktierung und verfahren zu dessen herstellung
WO2005047689A1 (de) * 2003-11-12 2005-05-26 Siemens Aktiengesellschaft Kontaktierungsmatte für einen aktor und zugehöriges herstellungsverfahren
WO2005048365A1 (de) * 2003-11-12 2005-05-26 Siemens Aktiengesellschaft Kontaktierung für einen aktor und zugehöriges herstellungsverfahren

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000063980A1 (de) * 1999-04-20 2000-10-26 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer aktor
WO2000079608A1 (de) * 1999-06-19 2000-12-28 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode
EP1065735A2 (de) * 1999-06-29 2001-01-03 Siemens Aktiengesellschaft Piezoaktor mit einer elektrisch leitenden Mehrschichtfolie und Verfahren zur Herstellung der Mehrschichtfolie
WO2002073656A2 (de) * 1999-09-24 2002-09-19 Epcos Ag Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer kontaktierung und verfahren zu dessen herstellung
DE10026635A1 (de) * 2000-05-29 2002-01-03 Epcos Ag Verfahren zum Herstellen einer Lotverbindung, elektrotechnisches Erzeugnis mit der Lotverbindung und Verwendung des elektrotechnischen Erzeugnisses
WO2005047689A1 (de) * 2003-11-12 2005-05-26 Siemens Aktiengesellschaft Kontaktierungsmatte für einen aktor und zugehöriges herstellungsverfahren
WO2005048365A1 (de) * 2003-11-12 2005-05-26 Siemens Aktiengesellschaft Kontaktierung für einen aktor und zugehöriges herstellungsverfahren

Also Published As

Publication number Publication date
DE102004004737A1 (de) 2005-08-18
WO2005074050A2 (de) 2005-08-11
EP1714328A2 (de) 2006-10-25
JP2007520065A (ja) 2007-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011003039A3 (en) Analyte sensors and methods of manufacturing same
ATE517752T1 (de) Piezoelektrischer aktuator und herstellungsverfahren dafür
EP1766706A4 (de) Verbundelektrode und verfahren zu ihrer herstellung
ATE432537T1 (de) Piezoelektrischer aktor
AU2003233327A1 (en) Method for the production of a monolithic multilayer actuator, monolithic multilayer actuator made of a piezoceramic or electrostrictive material, and external electrical contact for a monolithic multilayer actuator
EP1448489A4 (de) Array von biomedizinischen elektrochemischen sensoren und herstellungsverfahren
GB2443334A (en) Artificial impedance structure
FR2867600B1 (fr) Procede de fabrication d'electrode, electrode ainsi obtenue et supercondensateur la comprenant
ATE448573T1 (de) Verfahren zum herstellen eines monolithischen piezoaktors mit teilstapeln, monolithischer piezoaktor mit teilstapeln und verwendung des piezoaktors
EP1943376A4 (de) Piezoelektrischer einkristall und herstellungsverfahren dafür, piezoelektrisches element und dielektrisches element
WO2002073656A3 (de) Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer kontaktierung und verfahren zu dessen herstellung
WO2003061022A3 (de) Piezoelektrisches bauelement und verfahren zu dessen herstellung
EP2631960A3 (de) Nanopiezoelektrischer Generator und Herstellungsverfahren dafür
WO2009080915A3 (fr) Procédé de fabrication d' un dispositif isolant tubulaire et dispositif correspondant
JP2012522226A5 (de)
WO2005074050A3 (de) Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung
FR3073079B1 (fr) Procede de fabrication d'un composant electronique a doubles boites quantiques
WO2007004115A3 (en) Organic electronic device and method for manufacture thereof
TW200703596A (en) Package body and method for its production
WO2005057664A3 (en) Power mosfet and methods of making same
WO2012028659A3 (de) Keramisches bauelement und verfahren zur herstellung eines keramischen bauelements
WO2012059401A3 (de) Keramisches vielschichtbauelement und verfahren zur herstellung eines keramischen vielschichtbauelements
WO2007118532A3 (de) Thermoelektrisches bauelement sowie herstellungsverfahren hierfür
TW200719553A (en) Three-layer stacked surge absorber and manufacturing method thereof
TW200605405A (en) Light-emitting element and method of manufacturing the same, and light-emitting device using the light-emitting element

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2004802790

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006549846

Country of ref document: JP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2004802790

Country of ref document: EP