WO2007043390A1

WO2007043390A1 - Ｘ線管および非破壊検査装置

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Publication number: WO2007043390A1
Application number: PCT/JP2006/319762
Authority: WO
Inventors: Tutomu Inazuru; Tomoyuki Okada
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
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Priority date: 2005-10-07
Filing date: 2006-10-03
Publication date: 2007-04-19
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Description

明細書

X線管および非破壊検査装置

技術分野

[0001] 本発明は、 X線を X線出射窓カゝら取り出す X線管及び非破壊検査装置に関するものである。

背景技術

[0002] X線は物体に対して透過性の良い電磁波であり、物体の内部構造の非破壊 ·非接触観察に多用されている。 X線管は、電子銃から出射された電子をターゲットに入射させて X線を発生するのが、通例である。 X線管は、特許文献 1に記載のように電子銃が、陽極となるターゲットを収容する管状部材に取り付けられている。電子銃から出射された電子は、ターゲットに入射し、ターゲットから X線が発生する。 X線は、ターゲットを収容する管状部材の管軸線上に設けられた X線出射窓を透過し、外部の試料に照射される。試料を透過した X線は、拡大透視画像として各種 X線画像撮像装置で撮像される。

特許文献 1 :米国特許第 5, 077, 771号明細書

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] ところで、 X線の拡大透視画像を用いた非破壊検査は、各種電子回路基板に実装される部品の接合状態を確認する手法として有効である。そして、回路基板の小型化に伴い、実装される部品が高密度化しているため、より拡大率の高い拡大透視画像の撮像が望まれている。また、このような回路基板に実装される半田ボールの接合状態を確認するには、半田ボールに対して所定の角度傾いた位置力ゝら撮像した拡大透視画像の方が、半田ボールを立体的に見ることができて適している。このような斜めの位置力ゝら撮像する拡大透視画像は、 X線管に対して相対的に回路基板を傾けて撮像するカゝ、 X線画像撮像装置を X線管の真上カゝらずらして撮像することによって得られるが、拡大透視画像の拡大率を高めるには後者の方が適している。

[0004] し力しながら、 X線画像撮像装置を X線管の真上力もずらして撮像するためには、 X 線管から照射する X線の照射角度を大きくしなければならず、従来の X線管で X線の照射角度を大きくするためには、 X線出射窓の径を大きくする必要があり、 X線出射窓の径が大きくなると、必要以上の X線が X線管から照射されてしまう。すると、不必要な X線の漏洩を防止する設備がさらに必要になってコストの上昇につながり易かつた。

[0005] 本発明は、試料に対して X線を斜めから照射して得られる拡大透視画像の拡大率を高めると共に不必要な X線の漏洩を防止できる X線管及び非破壊検査装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0006] 以上の課題を解決するため、本発明の X線管は、管状の陽極収容部と、陽極収容部内に配置された陽極と、陽極のターゲットに、電子銃から出射された電子を入射させて X線を発生させ、その X線を取り出すための X線出射窓とを備え、陽極は、陽極収容部の管軸線に沿って配置され、陽極収容部の端部に設けられた封塞部には、 X 線出射窓が、陽極収容部の管軸線に対して偏心して設けられて、る。

[0007] この X線管では、陽極収容部の管軸線に対して偏心して設けられている X線出射窓から X線が取り出される。そのため、試料となる回路基板などを傾けなくても、試料に対して X線を斜めから照射でき、試料に対して斜めから撮像した拡大透視画像の拡大率を高めることができる。また、この X線管では、陽極収容部の管軸線に対して X 線出射窓を偏心させることで、 X線カメラ等の X線画像撮像装置による斜め観察を最適化し、 X線出射窓を斜め観察に必要十分な大きさにすればよいので、 X線出射窓は小さくてもすみ、必要以上の X線の漏洩を防止できる。さらに、 X線出射窓が小さくなると、 X線出射窓の強度を上げる必要が少なくなつて X線出射窓を薄くでき、 X線の透過効率を向上させることができるので、鮮明な拡大透視画像の撮像が可能になる

。さらに、 X線出射窓が小さくて薄いと、 X線出射窓の窓材に異物が混入する割合が低くなり、歩留まりが良くなつて製造コストを軽減できる。

[0008] また、電子銃は、陽極収容部の管軸線の周囲に設けられた周壁に取り付けられ、 X 線出射窓は、管軸線に対して電子銃側に偏心していると好適である。このように、 X 線出射窓を電子銃側に偏心させると、照射線量の大きな X線を X線出射窓から取り出すことができ、鮮明な拡大透視画像の撮像が容易になる。

[0009] また、 X線出射窓は、封塞部に複数設けられていると好適である。複数の X線出射窓を設けることで、試料に対して複数の異なる斜め方向からの拡大透視画像の撮像が能になり、試料の検査を行う際に、より好ましい方向からの拡大透視画像の撮像が可會になる。

[0010] また、電子銃は、陽極収容部に固定された管状の電子銃収容部に収容され、電子銃収容部の管軸線は、陽極収容部の管軸線に直交し、 X線出射窓は、陽極収容部の管軸線と電子銃収容部の管軸線とを含む面力ずれた位置に中心を有すると好適である。このように、陽極収容部の管軸線と電子銃収容部の管軸線とを含む面からずれた位置に X線出射窓の中心があると、例えば、試料となる回路基板を X線出射窓に近づけるように傾けても、電子銃収容部が邪魔になり難い。そのため、試料となる回路基板を X線出射窓に近づけ易くなり、拡大透視画像の拡大率を向上させることが容易になる。

[0011] また、電子銃は、陽極収容部に固定された管状の電子銃収容部に収容され、電子銃収容部の管軸線と陽極収容部の管軸線とは交差し、且つ電子銃収容部の管軸線と陽極収容部の管軸線とで形成された陽極側の挟角は鋭角であり、 X線出射窓は、陽極収容部の管軸線と電子銃収容部の管軸線とを含む面上に中心を有すると好適である。このように、陽極収容部の管軸線と電子銃収容部の管軸線との間の挟角が鋭角になるようにすると、例えば、試料となる回路基板を X線出射窓に近づけるように傾けても、電子銃収容部が陽極収容部に対して傾、て、るために邪魔になり難、。そのため、試料となる回路基板を X線出射窓に近づけ易くなり、拡大透視画像の拡大率を向上させることが容易になる。

[0012] また、上記封塞部には、陽極収容部の管軸線に対して偏心して設けられた X線出射窓と、陽極収容部の管軸線上に中心を有する X線中央出射窓とが設けられていると好適である。このよう〖こすると、試料に対する斜めからの撮像に加え、 X線中央出射窓によって真上力ゝらの撮像も可能になる。そして、真上から撮像した拡大透視画像に基づいて再検査を要すると推察される試料に対してのみ斜めから撮像するような検查方法に適用することも容易になり、検査方法のバリエーションが広がり、より効果的な検査方法を選択することができる。

[0013] また、本発明の非破壊検査装置は、管状の陽極収容部内に配置された陽極のターゲットに、電子銃から出射された電子を入射させて X線を発生させ、その X線を X線出射窓から取り出す X線管と、 X線管から取り出されて試料を透過した前記 X線を撮像する X線画像撮像装置とを備え、ターゲットは、陽極収容部の管軸線上に配置され、陽極収容部の端部に設けられた封塞部には、 X線出射窓が、陽極収容部の管軸線に対して偏心して設けられて、る。

[0014] この非破壊検査装置では、陽極収容部の管軸線に対して偏心して設けられている X線出射窓から X線が取り出され、試料を透過した X線が X線画像撮像装置で撮像される。そのため、試料となる回路基板などを傾けなくても、試料に対して X線を斜めから照射でき、試料に対して斜めから撮像した拡大透視画像の拡大率を高めることができる。また、この非破壊検査装置では、陽極収容部の管軸線に対して X線出射窓を偏心させることで X線の照射角度を大きくしているため、 X線出射窓は小さくてもすみ、試料を斜めから撮像する際に必要となる以上の X線の漏洩を防止できる。さらに、 X線出射窓が小さくなると、 X線出射窓の強度を補う必要が少なくなつて X線出射窓を薄くすることができ、 X線の透過効率を向上させることができて鮮明な拡大透視画像の撮像が可能になる。さらに、 X線出射窓が小さくて薄いと、 X線出射窓の窓材に異物混入する割合が低くなり、歩留まりが良くなつて製造コストを軽減できる。

発明の効果

[0015] 試料に対して X線を斜めから照射して得られる拡大透視画像の拡大率を高めると共に不必要な X線の漏洩を防止する。

図面の簡単な説明

[0016] [図 1]本発明に係る X線管の第 1実施形態を示す分解斜視図である。

[図 2]第 1実施形態に係る X線管の斜視図である。

[図 3]第 1実施形態に係る X線管の断面図である。

[図 4]第 1実施形態に係る X線管を X線出射窓側力見た平面図である。

[図 5]第 1実施形態に係る X線管が組み込まれた非破壊検査装置を示すブロック図である。圆 6]X線カメラと X線管との配置関係を示す図である。

[図 7]拡大透視画像を示し、（A)及び (B)は、 X線管に対して斜め上方力ゝら撮像した拡大透視画像を示し、 (C)は、 X線管の真上から撮像した拡大透視画像を示す。圆 8]本発明に係る X線管の第 2実施形態を示し、（A)は、 X線出射窓側から見た平面図であり、（B)は、電子銃側から見た背面図である。

圆 9]本発明に係る X線管の第 3実施形態を示す断面図である。

圆 10]第 3実施形態に係る X線管の X線出射窓側から見た平面図である。

圆 11]第 3実施形態に係る X線管の X線出射窓近傍を示す側面図である。

圆 12]本発明に係る X線管の第 4、第 5実施形態を示し、（A)は第 4実施形態に係る

X線管の X線出射窓側力見た平面図、（B)は第 5実施形態に係る X線管の X線出射窓側から見た平面図である。

圆 13]本発明に係る X線管の第 6〜第 8実施形態を示し、 (A)は第 6実施形態に係る X線管の X線出射窓側力見た平面図、 (B)は第 7実施形態に係る X線管の X線出射窓側から見た平面図、（C)は第 8実施形態に係る X線管の X線出射窓側力見た平面図である。

圆 14]本発明に係る X線管の第 9実施形態を示し、（A)は、 X線出射窓側から見た平面図であり、（B)は、電子銃側から見た背面図である。

[図 15]本発明に係る X線管を備えた X線源の一実施例の構成を示す分解斜視図である。

[図 16]本実施例に係る X線源の内部構造を示す断面図である。

[図 17]非破壊検査装置の X線発生装置に組み込まれた X線源 (本実施例に係る X線管を含む)の作用を説明する正面図である。

符号の説明

1, 1A〜： α· ··Χ線管、 2· ··ノレブ、 5, 31· ··ヘッド部、 5e…平面部、 5g, 31a…封塞部、 6, 30· ··真空外囲器本体、 8· ··陽極、 9…ターゲット、 10, 33· ··電子銃収容部、 1 7· ··電子銃、 18, 29, 32, 35, 36, 41〜44, 50, 210· ··Χ線出射窓、 19· ··非破壊検査装置、 20 ··Χ線カメラ、 45〜47〜Χ線中央出射窓、 CI, C2, C4, C5"-管軸線、 Θ…挟角、 A1, A3…基準面。発明を実施するための最良の形態

[0018] 以下、図面を参照して本発明に係る X線管の実施の形態について説明をする。

[0019] [第 1実施形態]

図 1〜図 4に示すように、第 1実施形態に係る X線管 1Aは、密封型の X線管である。 X線管 1Aは、ガラス力もなる略円筒状のバルブ 2を有する。バルブ 2の管軸線 C1 方向における一端は、開口を閉鎖するように縮径され、管軸線 C1上に延在する円柱状の銅製陽極本体部 3の基端部 3aは、その一部をバルブ 2から露出させた状態でバルブ 2の一端に固定されている。バルブ 2の他端には、金属製のリング部材 4が融着されている。以下、バルブ 2の管軸線 C1方向における一端側を「下」、他端側を「上」として説明する。

[0020] リング部材 4の上端にはフランジ 4aが形成され、フランジ 4aは略円筒状のヘッド部 5 の下端に当接されて溶接される。ヘッド部 5はステンレス製であり、ヘッド部 5の下端には、リング部材 4のフランジ 4aが溶接される環状の平坦部 5aが設けられている。平坦部 5aの内側には、リング部材 4に嵌め合わされる環状の凸状部 5bが設けられ、凸状部 5bの内側には、バルブ 2内に差し込まれる円筒部 5cが設けられている。リング部材 4がヘッド部 5に溶接されて、ヘッド部 5にバルブ 2が固定されると、共通の管軸線 C 1を有する管状の真空外囲器本体 6となる。

[0021] ヘッド部 5の内部には、陽極本体部 3の先端部 3bが配置される。この先端部 3bには、後述する電子銃 17の側に対面するように、陽極本体部 3を斜めにカットした傾斜面 3cが形成されている。傾斜面 3cには、タングステン力もなる円板状のターゲット 9 が埋設されている。ターゲット 9の電子入射面は、傾斜面 3cと略平行になっている。陽極本体部 3とターゲット 9とからなる陽極 8は、陽極収容部としての真空外囲器本体 6に収容されている。

[0022] 管軸線 C1を中心としてヘッド部 5には周壁が設けられ、この周壁にはフランジ部 5d が設けられている。フランジ部 5dよりも上端側において、周壁には、管軸線 C1方向に延在する平面部 5eが形成され、平面部 5eには円形の貫通孔 5fが形成されている。平面部 5eには、管状の電子銃収容部 10の一方の端部が溶接される。この一方の端部には、縮径して突き出た円筒状の嵌合部 10aが設けられている。この嵌合部 10 aがヘッド部 5の貫通孔 5fに嵌め込まれ、電子銃収容部 10はヘッド部 5に位置決めされる。ヘッド部 5内の陽極 8側の嵌合部 10aの先端には、円形のアパーチャ 10bが形成されている。アパーチャ 10bの中心は電子銃収容部 10の管軸線 C2上にあり、電子銃収容部 10の管軸線 C2は真空外囲器本体 6の管軸線 C1に直交する。真空外囲器本体 6のヘッド部 5に電子銃収容部 10が溶接され、真空外囲器本体 6と電子銃収容部 10とで真空外囲器 11が構成される。なお、ヘッド部 5の周壁には、真空外囲器 11内を真空にするための排気孔 5hが形成され、排気管 ¾は、排気孔 5hに差し込まれて周壁に固定されて、る。

[0023] 電子銃収容部 10の他方の端部に設けられた開口を塞ぐように、電子銃収容部 10 には、ステム基板 10cが固定されている。ステム基板 10cには複数のステムピン 12が固定されている。電子銃収容部 10内において、ステムピン 12には電子銃 17が通電可能に固定されている。つまり、電子銃 17は、ステムピン 12を介して電子銃収容部 1 0に固定され、その電子銃収容部 10は、ヘッド部 5の周壁に固定されている。電子銃 17のヒータ（図示せず）が加熱されると電子が発生し、その電子がアパーチャ 10bを通過してヘッド部 5内に出射される。

[0024] ヘッド部 5内では、陽極 8のターゲット 9が管軸線 C1上となるように配置され、ターゲット 9が埋設された傾斜面 3cがアパーチャ 10bに対向するように配置されているので、アパーチャ 10bから出射された電子は、ターゲット 9に入射し、ターゲット 9から X線が発生する。

[0025] さらに、ヘッド部 5の上端部には、封塞部 5gがー体成形されている。この封塞部 5g には、ターゲット 9の電子入射面に対面し、且つ管軸線 C1と交わるようにして、 Be材力なる円形の X線出射窓 18が設けられている。 X線出射窓 18の厚みは、 0. 15m m程度である。ターゲット 9で発生した X線は、 X線出射窓 18を透過して外部に取り出される。

[0026] 図 3及び図 4に示すように、真空外囲器本体 6の管軸線 C1と電子銃収容部 10の管軸線 C2とを含む基準面 A1上に、 X線出射窓 18の中心 18aが配置されている。また、 X線出射窓 18の中心 18aは、管軸線 C1に対して電子銃 17側に偏心している。なお、「管軸線に対して電子銃側」とは、管軸線 C1を通って基準面 A1に直交する面 A 2よりも電子銃 17側を意味する。

[0027] 次に、 X線管 1Aが組み込まれた非破壊検査装置 19について図 5を参照して説明する。非破壊検査装置 19は X線撮像装置である X線カメラ 20を備えている。 X線撮像装置は、 X線イメージインテンシファイアであってもよいし、 X線シンチレータと当該 X線シンチレータからのシンチレータ光に感度を有する撮像装置 (例えば CCDカメラ )とを有するものであってもよ、し、例えば CdTe (テルルイ匕カドミウム）や非晶質セレン等の X線を電荷に直接変換する半導体を用いたものであってもよヽ。この X線カメラ 2 0と X線管 1Aの X線出射窓 18との間には、試料となる回路基板 Bが配置されている。回路基板 Bは、試料用マニピュレータ 21によって水平方向に移動可能に保持されている。試料用マニピュレータ 21は試料移動用駆動回路 22に接続されている。試料移動用駆動回路 22は CPU、 RAM, ROMなどを備えて構成される制御ユニット 23に接続されている。試料移動用駆動回路 22は、制御ユニット 23から入力される信号に応じて試料用マニピュレータ 21を駆動制御し、 X線管 1 Aから出射される X線が透過可能な位置に回路基板 Bを移動させる。

[0028] X線カメラ 20は、回路基板 Bに対して所定距離離間して配置され、 X線カメラ用マ- ピユレータ 24によって X線管の移動に追従する。 X線カメラ用マニピュレータ 24は、 X 線カメラ移動用駆動回路 25に接続されている。 X線カメラ移動用駆動回路 25は制御ユニット 23に接続されている。 X線カメラ移動用駆動回路 25は、制御ユニット 23から入力される信号に応じて X線カメラ用マニピュレータ 24を駆動制御し、回路基板 Bの拡大透視画像が撮像可能な位置となるように X線カメラ 20を移動させる。

[0029] X線カメラ 20〖こは、回路基板 Bを透過した X線に対して所定の画像処理を施して映像信号として出力する画像処理装置 26が接続されている。この画像処理装置 26はモニタ装置 27に接続されている。モニタ装置 27には、 X線カメラ 20の出力としての回路基板 Bの拡大透視画像を映し出すディスプレイ 27aが設けられている。

[0030] さらに、モニタ装置 27に設けられた操作部 27bの操作に基づいて、試料用マ-ピュレータ 21を駆動させて回路基板 Bを所望位置に移動させるための信号が、制御ュ- ット 23に出力され、さらに、 X線カメラ用マニピュレータ 24を駆動させて回路基板 Bの所望位置の拡大透視画像を X線カメラ 20に撮像させるための信号が、制御ユニット 2 3に出力される。

[0031] 制御ユニット 23は X線管コントローラ 28に接続されている。 X線管コントローラ 28は X線管 1 Aの電子銃 17に接続されている。また、 X線管コントローラ 28は高圧電源 7 にも接続されており、高圧電源 7に対し、 X線管 1 Aの陽極 8に所望の電圧を印加する指令を与える。このように X線管コントローラ 28は、制御ユニット 23からの制御信号に基づ、て、 X線管 1 Aで発生する X線を制御して、る。

[0032] 次に、非破壊検査装置 19の動作について説明する。操作部 27bを操作して非破壊検査を開始すると、制御ユニット 23からの制御信号に基づいて、 X線カメラ用マ- ピユレータ 24及び試料用マニピュレータ 21を駆動制御して X線カメラ 20及び回路基板 Bを所定位置に移動させる。また、非破壊検査を開始する前に、予め制御ユニット 23からの制御信号に基づいて、 X線管コントローラ 28を作動させて、 X線管 1Aの動作準備をしておく。そして、非破壊検査開始時には、制御ユニット 23からの制御信号に基づいて、 X線管コントローラ 28を作動させて、電子銃 17から出射された電子が、ヘッド部 5内の電界によってターゲット 9に適切に入射することにより X線が発生する。この X線は X線出射窓 18から取り出され、回路基板 Bに照射される。

[0033] 図 3に示すように、 X線出射窓 18は、ターゲット 9が配置された真空外囲器本体 6の管軸線 C1に対し、電子銃 17側に偏心している。そのため、 X線出射窓 18から取り出される X線は、電子銃 17側で照射範囲が広くなる。例えば、電子銃 17側の X線照射角度 αは、 45° 〜75° の範囲内が好ましい。

[0034] 図 6に示すように、回路基板 Β上に実装された ICチップ Τの半田ボール（BGA) Sの接合状態は、 X線カメラ 20で斜めから観察した方が、充分な確認ができることが一般的に知られている。このような斜めからの観察は、等間隔で並ぶ半田ボール Sが互いに重ならない角度で透視する必要がある。従って、回路基板 Bを、真空外囲器本体 6 の管軸線 C1に直交するように配置した場合、観察角度 j8は、半田ボール Sの間隔を考慮して、 45° 〜75° 程度が好適である。

[0035] X線カメラ 20により半田ボール Sを斜め力も観察した場合、図 7 (A)に示すように、半田ボール Sが立体的に映し出される。この場合、濃淡のコントラストによって半田ボール Sの接合箇所 Saの半田漏れが鮮明に映し出される。なお、図 7 (A)における半田ボール Sは正常な状態を示し、図 7 (B)における半田ボール S1は不良状態を示している。一方、図 7 (C)に示すように、 X線カメラ 20を真空外囲器本体 6の管軸線 C1 上に配置した場合、半田ボール S, S1の接合箇所力半田ボール S, S1の影になつて見え難い。このように、 X線カメラ 20による斜め観察は、半田漏れを確実に検出でき、検査精度を高めることができる。

[0036] 本実施形態に係る X線管 1Aには、真空外囲器本体 6の管軸線 C1に対して偏心している X線出射窓 18が設けられ、このような配置の X線出射窓 18から X線を取り出すようにしているため、 X線カメラ 20による斜め観察が容易になる。その結果、回路基板 Bを X線出射窓 18に近づけることが容易になり、拡大透視画像の拡大率を容易に高めることができる。なお、従来のように、管軸線 C1上に X線カメラ 20を配置すると、前述したように、立体画像が得られないので、回路基板 Bを斜めにする必要があるが、この場合、回路基板 Bを X線出射窓に近づけ難ぐ拡大率を高めることが難しい。

[0037] さらに、 X線管 1Aでは、真空外囲器本体 6の管軸線 C1に対して X線出射窓 18を偏心させることで X線カメラ 20による斜め観察を最適化し、 X線出射窓 18を斜め観察に必要十分な大きさにすればよいので、 X線出射窓 18は小さくてもすみ、必要以上の X線の漏洩を防止できる。さらに、 X線出射窓 18が小さくなると、 X線出射窓 18の強度を補う必要が少なくなつて X線出射窓 18を薄くでき、 X線の透過効率を向上させることができて鮮明な拡大透視画像の撮像が可能になる。さらに、 X線出射窓 18が小さくて薄いと、 X線出射窓の窓材に異物が混入する割合が低くなり、歩留まりが良くなつて製造コストを軽減できる。なお、 X線管 1Aでは、 X線出射窓 18が管軸線 C1と交わるようにして配置されているため、回路基板 Bに対する斜め力もの撮像にカ卩え、 X線出射窓 18から取り出された X線によって回路基板 Bを真上力ゝら撮像することも可能である。

[0038] また、 X線が取り出される X線出射窓 18は、電子銃 17側に偏心しているため、照射線量の大きな X線を X線出射窓 18から取り出すことができ、鮮明な拡大透視画像の撮像が容易になる。

[0039] [第 2実施形態]

図 8を参照し、第 2実施形態である X線管 1Bについて説明するが、この X線管 1Bは、回路基板 Bを傾けて半田ボール Sの拡大立体画像を得るのに適した構成を有する。図 8(A)は、 X線管を X線出射窓側力も見た平面図であり、同図（B)は、 X線管を電子銃収容部側から見た側面図である。なお、第 2実施形態に係る X線管 1Bにおいて、 X線管 1Aと同一又は同等の構造については、同一符号を付してその説明を省略する。

[0040] 図 8 (A)に示すように、 X線出射窓 29は円形であり、管軸線 C1と交わっている。さらに、 X線出射窓 29の中心 29aは、基準面 A1上力も外れるように横にずれ、且つ管軸線 C1を通って基準面 A1に直交する面 A2上に配置されている。このような X線出射窓 29を設けると、図 8 (B)に示すように、 X線出射窓 29の中心 29aが電子銃 17側から外れることになり、電子銃収容部 10が邪魔になることなぐ回路基板 Bを X線出射窓 29に近づけるように傾けることができる。その結果、回路基板 Bを X線出射窓 29に、より近づけることができ、拡大透視画像の拡大率を向上させることができる。なお、 X 線管 1Bでは、 X線出射窓 29が管軸線 C1と交わるようにして配置されているため、回路基板 Bに対する斜め力もの撮像にカ卩え、 X線出射窓 29から取り出された X線によつて回路基板 Bを真上力ゝら撮像することも可能である。

[0041] [第 3実施形態]

図 9〜図 11を参照し、第 3実施形態である X線管 1Cについて説明する力この X線管 1Cは、回路基板 Bを傾けて半田ボール Sの拡大立体画像を得るのに適した構成を有する。図 9は X線管の断面図であり、図 10は X線管を X線出射窓側から見た平面図であり、図 11は電子銃収容部近傍を示す側面図である。なお、第 3実施形態に係る X線管 1Cにおいて、 X線管 1Aと同一又は同等の構造については、同一符号を付してその説明を省略する。

[0042] 真空外囲器本体 30のヘッド部 31は、略円筒状であり、下端部にリング部材 4を介してノレブ 2が固定されている。バルブ 2の下端部は、陽極本体部 3の基端部 3aを保持している。陽極本体部 3の先端部 3bはヘッド部 31内に配置され、先端部 3bに形成された傾斜面 3cには、ターゲット 9が埋設されている。

[0043] ヘッド部 31の上端部には封塞部 31aがー体形成され、封塞部 31aには、管軸線 C 4と交わるように円形の X線出射窓 32が設けられている。図 10に示すように、 X線出射窓 32の中心 32aは、真空外囲器本体 30の管軸線 C4と電子銃収容部 10の管軸線 C5とを含む基準面 A3上にあり、管軸線 C4に対して電子銃 17側に偏心して設けられている。

[0044] 図 9に示すように、ヘッド部 31の周壁には、内側から外側に向けて斜め下方に傾斜するような円形の貫通孔 31bが形成されている。この貫通孔 31bに管状の電子銃収容部 33が嵌め込まれている。電子銃収容部 33はヘッド部 31に溶接されている。電子銃収容部 33の先端には、円形のアパーチャ 33aが形成されている。アパーチャ 3 3aの中心は、電子銃収容部 33の管軸線 C5上にある。電子銃収容部 33の管軸線 C 5は、真空外囲器本体 30の管軸線 C4と交差する。そして、電子銃収容部 33の管軸線 C5と真空外囲器本体 30の管軸線 C4とで形成される陽極 8側の挟角 Θは鋭角になり（つまり、 X線出射窓 32側の挟角 (180° ― Θ )は鈍角となる)、電子銃収容部 33 のステム基板 33b側がバルブ 2側に逃がされている。

[0045] 本実施形態に係る X線管 1Cのように、電子銃収容部 33の管軸線 C5と真空外囲器本体 30の管軸線 C4とで形成される陽極 8側の挟角 Θが鋭角になるようにすると、図 11に示すように、回路基板 Bを X線出射窓 32に近づけるように電子銃収容部 33側に傾けても、電子銃収容部 33が真空外囲器本体 30に対して傾、てヽるために邪魔になり難い。その結果、回路基板 Bを X線出射窓 32に、より近づけることができ、拡大透視画像の拡大率を向上させることができる。なお、 X線管 1Cでは、 X線出射窓 32が管軸線 C4と交わるようにして配置されているため、回路基板 Bに対する斜め力の撮像に加え、 X線出射窓 32から取り出された X線によって回路基板 Bを真上力ゝら撮像することも可會である。

[0046] 図 12を参照し、第 4実施形態に係る X線管 1D及び第 5実施形態に係る X線管 1E の説明をする。なお、 X線管 1D及び X線管 1Eにおいて、 X線管 1Aと同一又は同等の構造については、同一符号を付してその説明を省略する。

[0047] [第 4実施形態]

X線管 1Dは、 X線管 1Aと異なり、 X線出射窓 35の形状は楕円であり、 X線出射窓 3 5の中心 35aは、電子銃収容部 10に収容された電子銃 17側に偏心している。この X 線管 1Dも、 X線管 1Aと同様に、回路基板 Bに対して X線を斜めから照射して拡大透視画像を撮像でき、その拡大透視画像の拡大率を上げることができる。なお、 X線管 1Dの X線出射窓 35は、管軸線 C1と交わっており、回路基板 Bを真上から撮像することも可能である。

[0048] [第 5実施形態]

X線管 1Eは、 X線管 1 Aと異なり、 X線出射窓 36の形状は矩形であり、二本の対角線が交差する中心 36aは、電子銃収容部 10に収容された電子銃 17側に偏心している。この X線管 1Eも、 X線管 1Aと同様に、回路基板 Bに対して X線を斜めから照射して拡大透視画像を撮像でき、その拡大透視画像の拡大率を上げることができる。なお、 X線管 1Eの X線出射窓 36は、管軸線 C1と交わっており、回路基板 Bを真上から撮像することも可能である。

[0049] 続いて、図 13を参照し、第 6〜第 8実施形態に係る X線管 1F〜： LHの説明をする。

なお、 X線管 1F〜1Hにおいて、 X線管 1Aと同一又は同等の構造については、同一符号を付してその説明を省略する。

[0050] [第 6実施形態]

X線管 1Fには、管軸線 C1から電子銃 17側に偏心し、基準面 A1上に中心 41aを有する X線出射窓 41と、真空外囲器本体 6の管軸線 C 1上に中心を有する X線中央出射窓 45とが設けられている。このように、 X線出射窓 41の他に、 X線中央出射窓 45を設けると、 X線カメラ 20を、管軸線 C1に対して傾けた位置と、管軸線 C1上の位置とにそれぞれ設置することができ、回路基板 Bに対する斜め力ゝらの撮像に加え、 X線中央出射窓 45から取り出された X線によって真上からの撮像も可能になる。例えば、真上から撮像した拡大透視画像に基づいて再検査を要すると推察される試料に対してのみを斜めから撮像するような検査方法が可能になり、検査方法のバリエーションを広げることができる。

[0051] [第 7実施形態]

X線管 1Gには、管軸線 C1から電子銃 17側に偏心し、基準面 A1上力も外れるように横にずれた中心 42aを有する X線出射窓 42と、真空外囲器本体 6の管軸線 C1上に中心を有する X線中央出射窓 46とが設けられている。このように、 X線出射窓 42の他に、 X線中央出射窓 46を設けると、 X線カメラ 20を、管軸線 C1に対して傾けた位置と、管軸線 CI上の位置とにそれぞれ設置することができ、回路基板 Bに対する斜めからの撮像に加え、 X線中央出射窓 46から取り出された X線によって真上からの撮像も可能になる。さらに、 X線中央出射窓 46の中心 42aが電子銃 17側力も外れることになり、電子銃収容部 10が邪魔になることなぐ回路基板 Bを X線出射窓 42に近づけるように傾けることができる。

[0052] [第 8実施形態]

また、 X線管 1Hの封塞部 5gには、管軸線 C1から電子銃 17側に偏心した一対の X 線出射窓 43, 44が設けられている。この X線出射窓 43, 44は、管軸線 C1と電子銃収容部の管軸線 C2とを含む基準面 A1に対して対称となるように配置されて、る。さらに、 X線管 1Hには、真空外囲器本体 6の管軸線 C1上に中心を有する X線中央出射窓 47とが設けられている。このように、 2個の X線出射窓 43, 44を設けると、回路基板 Bに対して複数の異なる斜め方向力の拡大透視画像の撮像が可能になり、回路基板 Bの検査を行う際に、より好ましい方向からの拡大透視画像の撮像が可能になる。なお、 X線出射窓 43, 44の個数は 2個に限定されず、 3個以上であってもよい

[0053] [第 9実施形態]

図 14を参照し、第 9実施形態である X線管 IIについて説明する。この X線管 IIは、第 2実施形態に係る X線管 1Bとは、 X線出射窓 50の配置において異なる。図 14(A) は、 X線管を X線出射窓側から見た平面図であり、同図（B)は、 X線管を電子銃収容部側から見た側面図である。なお、第 9実施形態に係る X線管 IIにおいて、 X線管 1 Aと同一又は同等の構造については、同一符号を付してその説明を省略する。

[0054] 図 14 (A)に示すように、 X線出射窓 50は円形であり、管軸線 C1と交わっている。さらに、 X線出射窓 50の中心 50aは、真空外囲器本体 6の管軸線 C1を通り、且つ基準面 A1に直交する面 A2よりも電子銃 17側に偏心している。さらに、 X線出射窓 50の中心 50aは、面 A2に加え、基準面 A1上力もも外れるように斜めにずれている。このような X線出射窓 50を設けると、同図（B)に示すように、 X線出射窓 50の中心 50aが電子銃 17側力も横に外れることになり、電子銃収容部 10が邪魔になることなぐ回路基板 Bを X線出射窓 50に近づけるように傾けることができる。その結果として、第 1実施形態に係る X線管 1Aと比較した場合に、回路基板 Bを傾ける場合の自由度が高くなり、回路基板 Bを X線出射窓 29に近づけ易くなつて、拡大透視画像の拡大率を向上させることができる。また、 X線管 IIの陽極本体部 3の先端部 3b (図 3参照）には、電子銃 17の側に対面するように傾斜面 3cが形成され、傾斜面 3cには、ターゲット 9 が埋設されている。ターゲット 9の電子入射面は傾斜面 3cに略平行であり、電子入射面で発生する X線を管軸線 C1に対して傾斜した方向に取り出す場合には、 X線出射窓 50が電子銃 17側に偏っている方が取り出し易くなる。そして、 X線管 IIは、第 2実施形態に係る X線管 1Bに比較して、 X線出射窓 50の中心 50aが、電子銃 17側に偏心しているため、 X線管 1Bに比較して X線を取り出し易くなつている。なお、 X線管 II では、 X線出射窓 50が管軸線 C1と交わるようにして配置されているため、回路基板 Bに対する斜め力もの撮像にカ卩え、 X線出射窓 50から取り出された X線によって回路基板 Bを真上力ゝら撮像することも可能である。

[0055] 本発明は、前述した実施形態に限定されない。例えば、ターゲット 9の材質は、タンダステンに限定されず、その他の X線発生用材料であってもよい。また、 X線出射窓 1 8の材質も Be材に限定されず、その他の X線が透過しやす、所望の材料であってもよい。また、ターゲット 9を陽極 8の一部に設ける場合に限定されず、陽極 8の全体を所望の X線発生用材料で一体に形成し、陽極 8自体がターゲットとなるようにしてもよい。さら〖こ、真空外囲器本体（陽極収容部） 6にターゲット 9が収容される場合の「収容」とは、ターゲット 9の全体を収容している場合に限定されず、例えば、陽極 8自体がターゲットになる場合には、ターゲットの一部が真空外囲器本体（陽極収容部） 6から露出している状態も含まれる。また、アパーチャ 10b, 33aの中心は電子銃収容部 10 , 33の管軸線 C2, C5上にある場合に限定されず、管軸線 C2, C5上以外にあるような配置にしてもよい。また、管状の真空外囲器本体 (陽極収容部) 6とは、円形の管状に限定されず、矩形、その他の形状であってもよぐまた、ストレートに伸びる管状に限定されず、カーブまたは屈曲した管状であってもよ、。

[0056] 次に、上述のような構造を有する実施形態に係る X線管 1が適用された X線源 100 を、図 15及び図 16を参照して説明する。なお、図 15は、 X線管 1を備えた X線源の一実施例の構成を示す分解斜視図である。また、図 16は、本実施例に係る X線源の内部構造を示す断面図である。 X線管 1に代えて、 X線管 1A〜1Iのうちのいずれか一つを用いてもよい。

[0057] 図 15及び図 16に示されたように、 X線源 100は、電源部 102と、絶縁ブロック 102 Aの上面側に配置される第 1板部材 103と、絶縁ブロック 102Aの下面側に配置される第 2板部材 104と、第 1板部材 103と第 2板部材 104との間に介設される 4本の締結スぺーサ部材 105と、第 1板部材 103上に金属製筒部材 106を介して固定される X線管 1とを備える。なお、電源部 102は、エポキシ榭脂からなる絶縁ブロック 102A 中に高電圧発生部 102B、高電圧線 102C、ソケット 102Dなど（図 16参照）をモールドした構造を有する。

[0058] 電源部 102の絶縁ブロック 102Aは、概略正方形の上面及び下面が相互に平行な短角柱形状を有する。その上面の中心部には、高電圧線 102Cを介して高電圧発生部 102Bに接続された円筒状のソケット 102Dが配置されている。また、絶縁ブロック 102Aの上面には、ソケット 102Dと同芯状に配置された環状の壁部 102Eが設けられている。そして、絶縁ブロック 102Aの周面には、その電位を GND電位 (接地電位 )とするための導電性塗料 108が塗布されている。なお、導電性塗料の塗布の替わりに導電性テープを貼付しても良、。

[0059] 第 1板部材 103及び第 2板部材 104は、例えば 4本の締結スぺーサ部材 105及び 8本の締結ネジ 109と協働して電源部 102の絶縁ブロック 102Aを図示の上下方向から挟持する部材である。これら第 1板部材 103及び第 2板部材 104は、絶縁ブロック 102Aの上面及び下面より大きい概略正方形に形成されている。第 1板部材 103 及び第 2板部材 104の 4隅には、各締結ネジ 109を揷通させるネジ揷通孔 103A、 1 04Aがそれぞれ形成されている。また、第 1板部材 103には、絶縁ブロック 102Aの上面に突設された環状の壁部 102Eを囲む円形の開口 103Bが形成されている。

[0060] 4本の締結スぺーサ部材 105は、角柱状に形成されて第 1板部材 103及び第 2板部材 104の 4隅に配置される。各締結スぺーサ部材 105の長さは、絶縁ブロック 102 Aの上面と下面との間隔より若干短ぐすなわち、絶縁ブロック 102Aの締付け代だけ短く設定されている。各締結スぺーサ部材 105の上下の端面には、締結ネジ 109がねじ込まれるネジ孔 105Aがそれぞれ形成されている。 [0061] 金属製筒部材 106は円筒状に形成されており、その基端部に形成された取付フランジ 106Aが第 1板部材 103の開口 103Bの周辺にシール部材を介してねじ止め固定されている。この金属製筒部材 106の先端部の周面はテーパ面 106Bに形成されている。このテーパ面 106Bによって金属製筒部材 106は先端部に角部のない先細状に構成されている。また、金属製筒部材 106のテーパ面 106Bに連続する平坦な先端面には、 X線管 1のノレブ 207を揷通させる開口 106Cが形成されている。

[0062] X線管 1は、陽極 205を絶縁状態に保持して収容したバルブ 207と、陽極 205に導通してその内端部に構成された反射型のターゲット 205dを収容したヘッド部 209の上部 9cと、ターゲット 205dの電子入射面 (反射面）に向けて電子ビームを出射する電子銃 15を収容した電子銃収容部 211とを備える。なお、バルブ 207とヘッド部 209 によりターゲット収容部が構成されて、る。

[0063] バルブ 207とヘッド部 209の上部 9cとは管軸が一致するよう配置されており、これらの管軸に対して電子銃収容部 11の管軸が略直交している。そして、バルブ 207とへッド部 209の上部 9cとの間には、金属製筒部材 106の先端面に固定するためのフランジ 9aが形成されている。また、陽極 205の基端部 205a (電源部 102により高電圧が印加される部分）は、バルブ 207の中心部から下方に突出して、る（図 16参照)。

[0064] なお、 X線管 1には、排気管が付設されており、この排気管を介してバルブ 207、へッド部 209の上部 9c及び電子銃収容部 11の内部が所定の真空度まで減圧されることにより、真空密封容器が構成されている。

[0065] このような X線管 1では、電源部 102の絶縁ブロック 102Aにモールドされたソケット 102Dに基端部 205a (高電圧印加部）が嵌合する。これにより、基端部 205aが高電圧線 102Cを介して高電圧発生部 102Bから高電圧の供給を受ける。また、この状態で電子銃収容部 11に内蔵された電子銃 15がターゲット 205dの電子入射面に向けて電子を出射すると、該電子銃 15からの電子がターゲット 205dに入射することにより発生した X線がヘッド部 209の上部 9cの開口部に装着された X線出射窓 210から出射される。 X線出射窓 210の中心は、バルブ 207の管軸線に対して電子銃 15側に偏、してヽる。

[0066] ここで、 X線源 100は、例えば以下の手順により組み立てられる。まず、第 2板部材 104の各ネジ揷通孔 104 Aに揷通された 4本の締結ネジ 109力 4本の締結スぺーサ部材 105における下端面の各ネジ孔 105Aにねじ込まれる。そして、第 1板部材 1 03の各ネジ揷通孔 103Aに揷通された 4本の締結ネジ 109力 4本の締結スぺーサ部材 105における上端面の各ネジ孔 105Aにねじ込まれることにより、第 1板部材 10 3と第 2板部材 104とが絶縁ブロック 102Aを上下方向力も把持した状態で相互に締結される。その際、第 1板部材 103と絶縁ブロック 102Aの上面との間にはシール部材が介設され、同様に第 2板部材 104と絶縁ブロック 102Aの下面との間にもシール部材が設けられている。

[0067] 次に、第 1板部材 103上に固定された金属製筒部材 106の開口 106Cから、該金属製筒部材 106の内部に液状絶縁物質である高圧絶縁オイル 110が注入される。続いて、 X線管 1のバルブ 207が金属製筒部材 106の開口 106Cから、該金属製筒部材 106の内部に挿入されて高圧絶縁オイル 110中に浸漬される。このとき、バルブ 207の中心部から下方に突出する基端部 205a (高電圧印加部）が電源部 102側のソケット 102Dに嵌合される。そして、 X線管 1のフランジ 9aが金属製筒部材 106の先端面にシール部材を介してねじ止め固定される。

[0068] 以上のような工程を経て組立てられた X線源 100では、図 16に示されたように、 X 線管 1における陽極 205に対し、電源部 102の絶縁ブロック 102Aの上面に突設された環状の壁部 102E及び金属製筒部材 106が同芯状に配置される。また、環状の壁部 102Eは、 X線管 1のバルブ 207から突出する基端部 205a (高電圧印加部）の周囲を囲んで金属製筒部材 106との間を遮蔽する高さに突出している。

[0069] X線源 100において、電源部 102の高電圧発生部 102Bから高電圧線 102C及びソケット 102Dを介して X線管 1の基端部 205aに高電圧が印加されると、陽極 205を介してターゲット 205dに高電圧が供給される。この状態で電子銃収容部 11に収容された電子銃 15がヘッド部 209の上部 9cに収容されたターゲット 205dの電子入射面に向けて電子を出射すると、該電子がターゲット 205dに入射する。これにより、ターゲット 205dで発生した X線がヘッド部 209の上部 9cの開口部に装着された X線出射窓 210を介して外部に出射される。

[0070] ここで、 X線源 100では、 X線管 1のバルブ 207を高圧絶縁オイル 110に浸漬させた状態で収容する金属製筒部材 106が、電源部 102の絶縁ブロック 102Aの外部、すなわち第 1板部材 103上に突設して固定されている。そのため、放熱性が良好であり、金属製筒部材 106の内部の高圧絶縁オイル 110や X線管 1のバルブ 207の放熱を促進することができる。

[0071] また、金属製筒部材 106は、陽極 205を中心に配置した円筒形状を有する。この場合、陽極 205から金属製筒部材 106までの距離が均等になるので、陽極 205及びタ一ゲット 205dの周囲に形成される電界を安定させることができる。そして、この金属製筒部材 106は、帯電した高圧絶縁オイル 110の電荷を効果的にデイスチャージさせることができる。

[0072] さらに、電源部 102の絶縁ブロック 102Aの上面に突設された環状の壁部 102Eは、X線管 1のバルブ 207から突出する基端部 205a (高電圧印加部）の周囲を囲むことで、金属製筒部材 106との間を遮蔽している、したがって、基端部 205aから金属製筒部材 106への異常放電が効果的に防止され得る。

[0073] なお、 X線源 100は、 4本の締結スぺーサ部材 105を介して相互に締結される第 1 板部材 103と第 2板部材 104との間に電源部 102の絶縁ブロック 102Aが把持される構造を備えている。このことは、絶縁ブロック 102A内には放電を誘発する導電性異物や、電界の乱れを誘発する帯電性異物が存在しないことを意味する。そのため、 X 線源 100によれば、電源部 102における無用な放電現象や電界の乱れが効果的に抑制される。

[0074] ここで、 X線源 100は、例えば、試料の内部構造を透視画像として観察する非破壊検査装置において、試料に X線を照射する X線発生装置に組み込まれて使用される。図 17は、当該 X線源 100の使用例として、非破壊検査装置の X線発生装置に組み込まれた X線源 (本実施例に係る X線管を含む)の作用を説明する正面図である。

[0075] X線源 100は、 X線カメラ XCとの間に配置された試料板 SPに向けて X線を照射する。すなわち、 X線源 100は、金属製筒部材 106の上方に突出するヘッド部 209の上部 9cに内蔵されたターゲット 205dの X線発生ポイント XPから X線出射窓 210を通して試料板 SPに X線を照射する。

[0076] このような使用例にぉ、て、 X線発生ポイント XP力試料板 SPまでの距離が近ヽ程、 X線カメラ XCによる試料板 SPの透視画像の拡大率が大きくなるため、試料板 S Pは、通常、 X線発生ポイント XPに近接して配置される。また、試料板 SPの内部構造を立体的に観察する場合、試料板 SPを X線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させる。

[0077] ここで、図 17に示されたように、試料板 SPを X線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させた状態で試料板 SPの観察ポイント Pを X線発生ポイント XPに接近させて立体的に観察する際、 X線源 100の金属製筒部材 106の先端部に 2点鎖線で示すような角部が残っていると、試料板 SPが金属製筒部材 106の先端角部に接触する距離まで、すなわち、 X線発生ポイント XPから観察ポイント Pまでの距離が D1となる距離までしか試料板 SPの観察ポイント Pを X線発生ポイント XPに接近させることができない

[0078] これに対し、図 15及び図 16に示されたように金属製筒部材 106の先端部がテーパ面 106Bによって角部のない先細状に構成された X線源 100では、図 17に実線で示されたように、試料板 SPが金属製筒部材 106のテーパ面 106Bに接触する距離まで、すなわち、 X線発生ポイント XPから観察ポイント Pまでの距離が D2となる距離まで試料板 SPの観察ポイント Pを X線発生ポイント XPに接近させることができる。その結果、試料板 SPの観察ポイント Pの透視画像を一層大きく拡大し、観察ポイント Pの非破壊検査を一層精密に行うことが可能になる。

[0079] X線源 100は、上述の実施例に限定されるものではない。例えば、金属製筒部材 1 06は、その内周面の断面形状が円形であることが好ましいが、その外周面の断面形状は、円形に限らず、四角形やその他の多角形とすることができる。この場合、金属製筒部材の先端部の周面は斜面状に形成することができる。

[0080] また、電源部 102の絶縁ブロック 102Aは、短円柱形状を有してもよぐこれに対応して第 1板部材 103及び第 2板部材 104は円板形状を有してもよい。さらに、締結スぺーサ部材 105は、円柱形状であってもよぐその本数も 4本に限定されない。

Claims

請求の範囲

[1] 管状の陽極収容部と、

前記陽極収容部内に配置された陽極と、

前記陽極のターゲットに、電子銃力ゝら出射された電子を入射させて X線を発生させ、その X線を取り出すための X線出射窓と

を備え、

前記陽極は、前記陽極収容部の管軸線に沿って配置され、

前記陽極収容部の端部に設けられた封塞部には、前記 X線出射窓が、前記陽極収容部の前記管軸線に対して偏心して設けられて、る、 X線管。

[2] 前記電子銃は、前記陽極収容部の前記管軸線の周囲に設けられた周壁に取り付けられ、前記 X線出射窓は、前記管軸線に対して前記電子銃側に偏心している、請求項 1記載の X線管。

[3] 前記 X線出射窓は、前記封塞部に複数設けられている、請求項 1または 2記載の X 線管。

[4] 前記電子銃は、前記陽極収容部に固定された管状の電子銃収容部に収容され、前記電子銃収容部の管軸線は、前記陽極収容部の前記管軸線に直交し、前記 X線出射窓は、前記陽極収容部の前記管軸線と前記電子銃収容部の前記管軸線とを含む面力ずれた位置に中心を有する、請求項 2記載の X線管。

[5] 前記電子銃は、前記陽極収容部に固定された管状の電子銃収容部に収容され、前記電子銃収容部の前記管軸線と前記陽極収容部の前記管軸線とは交差し、且つ前記電子銃収容部の前記管軸線と前記陽極収容部の前記管軸線とで形成された前記陽極側の挟角は鋭角であり、

前記 X線出射窓は、前記陽極収容部の前記管軸線と前記電子銃収容部の前記管軸線とを含む面上に中心を有する、請求項 1記載の X線管。

[6] 前記封塞部には、前記陽極収容部の前記管軸線に対して偏心して設けられた前記 X線出射窓と、前記陽極収容部の前記管軸線上に中心を有する X線中央出射窓とが設けられている、請求項 1〜5のいずれか一項記載の X線管。

[7] 管状の陽極収容部内に配置された陽極のターゲットに、電子銃から出射された電子を入射させて X線を発生させ、その X線を X線出射窓カゝら取り出す X線管と、前記 X線管から取り出されて試料を透過した前記 X線を撮像する X線画像撮像装置と

を備え、

前記ターゲットは、前記陽極収容部の管軸線上に配置され、

前記陽極収容部の端部に設けられた封塞部には、前記 X線出射窓が、前記陽極収容部の前記管軸線に対して偏心して設けられている、非破壊検査装置。