WO2007137768A1 - Handler mit beschleunigungsvorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen - Google Patents

Handler mit beschleunigungsvorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen Download PDF

Info

Publication number
WO2007137768A1
WO2007137768A1 PCT/EP2007/004644 EP2007004644W WO2007137768A1 WO 2007137768 A1 WO2007137768 A1 WO 2007137768A1 EP 2007004644 W EP2007004644 W EP 2007004644W WO 2007137768 A1 WO2007137768 A1 WO 2007137768A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
spring arms
spring
plunger
handler according
handler
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2007/004644
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Arnfried Kiermeier
Michael Klier
Josef Mühlbauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Multitest Elektronische Systeme GmbH
Original Assignee
Multitest Elektronische Systeme GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Multitest Elektronische Systeme GmbH filed Critical Multitest Elektronische Systeme GmbH
Priority to US11/990,748 priority Critical patent/US7683608B2/en
Priority to EP07725540A priority patent/EP1891453B1/de
Priority to JP2008555717A priority patent/JP4783832B2/ja
Publication of WO2007137768A1 publication Critical patent/WO2007137768A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M7/00—Vibration-testing of structures; Shock-testing of structures
    • G01M7/02—Vibration-testing by means of a shake table
    • G01M7/04—Monodirectional test stands
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2881—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to environmental aspects other than temperature, e.g. humidity or vibrations

Definitions

  • the invention relates to a handler for testing electronic components, comprising a nest for receiving the components and an accelerating device, with which the elements supported in the nest are subjected to acceleration tests, wherein the accelerating device comprises a plunger, on which the nest can be fastened, and a movement-generating device for Has acceleration of the plunger in the axial direction.
  • Handlers are known to provide electronic devices such as ICs to a test head of a test device for contacting and electrical testing the devices with the test head. If the components are to be subjected to acceleration tests, the temperature-controlled component is fed to a nest, contacted with the test apparatus and accelerated, for example, in the direction perpendicular to the contacting plane of the component.
  • a handler is expressly referred to as a device if the components are not automatically fed to the nest, but the nest is populated by hand.
  • the accelerator device has, as is known, a plunger with a free end on which the nest can be fastened.
  • the plunger is moved back and forth in the axial direction by a movement-generating device.
  • the movement generating device can for example consist of a coil and work according to the loudspeaker principle.
  • the frequencies can move from the low heart area to the kilohertz area.
  • the acceleration path can be from a few micrometers to several centimeters.
  • the invention is based on the object, a handler of the aforementioned type with an acceleration device which avoids unwanted secondary accelerations and / or rotations of the plunger with a simple structure and has a high durability.
  • the plunger is linearly guided by at least one spring washer which has two groups of spring arms, one group being attached to the plunger and the other group to a frame fixed relative to a housing of the movement generating device.
  • the spring washer With the help of such a spring washer can be avoided that the plunger is moved or accelerated in undesired directions. If, for example, the plunger is to be moved back and forth in the z-direction, then the spring disc prevents the plunger from moving in the x and y directions or rotating about its longitudinal axis.
  • the spring washer thus ensures a very precise, linear guidance of the plunger in the desired direction with low wear and high durability in a small size.
  • each group has two to six, in particular three to five, spring arms. Particularly preferred in this case are three to four spring arms per group, since in such a number on the one hand, the plunger defined in all directions transversely to its longitudinal axis defined supported and on the other hand, a very simple construction of the spring washer is possible.
  • the spring arms extend from an annularly closed circumferential region at least substantially radially inwards. This allows a very compact design of the spring washer.
  • the one group of spring arms which is connected to the tappet it is also possible in principle for the one group of spring arms which is connected to the tappet to be directed inwards from the annularly closed circumferential area and the other group of spring arms which is connected to the frame from the annularly closed circumferential area extends to the outside.
  • all spring arms can also extend outward, for example, when the plunger is tubular and the spring washer is arranged in the interior of the plunger.
  • the peripheral region is annular.
  • the peripheral region has a different shape, for example a polygonal shape.
  • the spring arms are arranged distributed uniformly in the circumferential direction of the spring washer. This ensures a uniform application of force to the spring washer and a uniform force transmission from the plunger to the frame.
  • the spring arms may be formed straight or curved, wherein in the latter case they preferably have an S-shaped bent portion. While the rectilinear design of the spring arms allows a very simple and cost-effective production of the spring washer, curved spring arms have the advantage that it allows particularly large deflections in a small size, since the curvature of the length of the spring arms is increased.
  • the S-shaped bent portions of all spring arms can be arranged rectified. Alternatively, however, it is also possible that the S-shaped bent portions of a portion of the spring arms, preferably half of all spring arms, are aligned in opposite directions to the S-shaped bent portions of the other part of the spring arms. As a result, possible rotational forces about the longitudinal axis of the plunger, which are generated when reciprocating the plunger of the individual spring arms, cancel each other.
  • the spring arms are connected to attachment points with the plunger and the frame, which lie on a common circle. Over this the ram is supported in a particularly uniform manner on all sides.
  • the plunger is guided linearly by at least two axially spaced spring washers.
  • the radial support of the plunger by a plurality of spring washers allows a particularly good linear guide of the plunger in the desired direction.
  • the arrangement of at least one further spring washer beyond the movement generating device is of course only possible with acceleration devices in which the plunger passes through the movement generating device and protrudes beyond its rear side.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of an accelerator device for a trader in order to subject electronic components to acceleration tests
  • FIG. 2 shows an enlarged view of the spring washer fastened to the plunger and to a section of the frame
  • Figure 3 a front view of the spring washer of
  • Figure 4 a side view of the spring washer of
  • Figure 5 a second embodiment of a spring washer
  • FIG. 1 shows an acceleration device 1 which is intended to be installed in a handler for electronic components in order to subject an acceleration test to electronic components (not shown) such as ICs.
  • the acceleration device 1 comprises a movement generating device 2, for example a coil, with the aid of which a plunger 3 in the axial direction, i. in the direction of arrow 4, with a certain frequency can be moved back and forth.
  • the test frequency here depends on the type of component and the desired application and can amount from a few hearts to several kilohertz.
  • the ram 3 is a rectilinear rod which, for example, has a round cross-section but may also have other cross-sectional shapes.
  • a nest 5 fastened i. a receiving device in which the device to be tested is held. If the plunger 3 is moved back and forth in the direction of the arrow, the nest 5 and thus the components are likewise moved in this direction.
  • the plunger 3 is linearly guided on a frame 7 by means of a spring washer 6 shown in more detail in FIGS. 3 and 4 such that the plunger 3 can reciprocate only in the direction of the arrow 4, ie in the z-direction, during secondary movements and thus also secondary accelerations transverse to the z-direction, ie in the x or y direction, as well as rotational movements about the longitudinal axis of the plunger 3 are avoided.
  • the plunger 3 a In Figure 2 mounting flange 8 shown in more detail, which is fixedly connected to the plunger 3, for example, integrally formed, welded or shrunk.
  • a group of spring arms 9 of the spring washer 6 are firmly connected, in particular screwed by means of screws 10, while another group of spring arms 11 connected to the frame 7, in particular by means of screws 12 is screwed.
  • the spring washer 6 exclusively via the spring arms 11 with the frame 7 in contact.
  • the spring washer 6 is thus, as shown in Figures 1 and 2, inserted into an opening 13 of the frame 7 such that the spring washer 6 does not touch the inner peripheral wall of the opening 13 with its outer circumference.
  • the opening 13 is in the form of a circular bore that does not fully penetrate a vertical member 14 of the frame 7 in the z-direction so as to form a wall 15 extending radially inwardly from the peripheral wall of the opening 13 and thereby forms a shoulder.
  • a central, axial passage opening 16 is provided, which is designed such that the plunger 3 can pass together with the mounting flange 8.
  • each base-like projections 17 are provided on the wall 15, which are arranged in the vicinity of the passage opening 16 and protrude over the wall 15 in the axial direction.
  • the projections 17 are regularly distributed and arranged around the passage opening 16 at those points at which the inner ends of the spring arms 11 are located.
  • the Spring arms 11 secured by means of screws 12 on the projections 17, so that the remaining part of the spring arms
  • the spring arms 11 extends at a distance from the wall 15 to the outside. In this way, the spring arms 11 can move outside the projections 17 in the axial direction without abutting the wall 15.
  • the spring arms 9 are fixed with their inner ends in the four corner regions of the mounting flange 8.
  • the spring washer 6 shown in Figures 1 and 2 will be explained with reference to Figures 3 and 4.
  • the spring washer 6 is formed in the manner of a flat plate spring and has an annular peripheral portion 18 with a circular outer contour. From this peripheral region 18, four spring arms 9 and four spring arms 11 extend in a straight line radially inwards.
  • the spring arms 9 and the spring arms 11 alternate, viewed in the circumferential direction, ie, following a spring arm 9 follows in the ümfangs- direction a spring arm 11, then again a spring arm 9, etc. ..
  • the spring arms 9, 11 are arranged regularly distributed in the circumferential direction, ie, the longitudinal axes of adjacent spring arms 9, 11 close to each other at an angle of 45 'and meet at the center of the spring washer 6 ( Figure 3).
  • the spring arms 9, 11 continue to have the same length, which is dimensioned such that the inner ends of the spring arms 9, 11 lie on a circle with a diameter which is greater than the outer diameter of the plunger 3.
  • holes 19 are provided through which the screws 10,
  • the holes 19 of all spring arms 9, 11 lie on a concentric circle about the center of the spring washer. 6
  • the width of the spring arms 9, 11 in the present embodiment corresponds approximately to the width of the peripheral region 18, but may vary depending on the respective requirements.
  • the diameter of that circle on which the centers of the holes 19 are located in the embodiment of Figure 3 is about 46% of the outer diameter of the spring washer 6, but may vary widely depending on the requirements.
  • the function of the spring washer 6 is such that the forces exerted by the plunger 3 on the mounting flange 8 on the spring arms 9 forces transmitted via the peripheral portion 18 on the spring arms 11 and forwarded by these on the vertical element 14 of the frame 7. Via the spring arms 9, 11, the plunger 3 is thus supported in the radial direction relative to the frame 7, but can simultaneously reciprocate in the axial direction.
  • the vertical element 14 of the frame 7 is in turn, as shown in Figure 1, fixedly connected to a horizontal member 20 to which a housing 21 of theabsoluser Wegungs- device 2 is attached.
  • FIG. 5 shows a second embodiment of a spring washer 6 'which, in principle, is similar to the spring washer 6, but has curved spring arms 9', 11 'instead of straight spring arms 9, 11'.
  • the spring arms 9 ', 11' have an S-shaped bent NEN section or, depending on which side is looked at the spring washer 6 1 , a bent portion in the shape of a mirror-inverted "S". Due to the bent portions, the spring arms 9 ', 11' thus have portions which extend at least substantially in the circumferential direction of the spring washer 6 ', whereby the length of the spring arms 9', 11 'can be extended, although their inner ends on a circle lie with the same diameter as in the spring washer 6. This can allow larger deflections in the axial direction of the plunger 3.
  • bent sections of all spring arms 9 1 , 11 ' are arranged in the same direction, ie, the bent sections all extend in the same circumferential direction.
  • FIG. 6 shows a further embodiment variant of a spring washer 6 ", which is designed very much like the spring washer 6 'of FIG. 5 and therefore also has spring arms 9", 11 "meandering radially inward from the peripheral region 18. However, here is half Similarly, the bent portions of half of the spring arms 11 "are aligned in opposite directions to the bent portions of the other portion of the spring arms 11" opposite orientation of the bent portions is achieved here, that rotational forces that are generated during an axial movement of the spring arms 9 ", 11" of these themselves, cancel each other.
  • spring washers 6, 6 ', 6 " can a variety of materials are selected, which withstand the loads occurring, such as spring steels or glass fiber composites. End stops can prevent overstressing the device in the desired deflection device.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Springs (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

Ein Handler zum Testen von elektronischen Bauelementen weist eine Beschleunigungsvorrichtung (1) mit einem Stößel (3) auf, der durch mindestens eine Federscheibe (6) linear geführt ist, die zwei Gruppen von Federarmen (9, 11) aufweist, wobei eine Gruppe am Stößel (3) und die andere Gruppe an einem relativ zu einem Gehäuse (21) der Bewegungserzeugungseinrichtung (2) feststehenden Rahmen (7) befestigt ist.

Description

Handler mit Beschleunigungsvorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen
Die Erfindung betrifft einen Handler zum Testen von elektronischen Bauelementen, mit einem Nest zur Aufnahme der Bauelemente und einer Beschleunigungsvorrichtung, mit der die im Nest gehalterten Bauelemente Beschleunigungstests unterzogen werden, wobei die Beschleunigungsvorrichtung einen Stößel, an dem das Nest befestigbar ist, sowie eine Bewegungserzeugungseinrichtung zur Beschleunigung des Stößels in axialer Richtung aufweist.
Handler (Handhabungsvorrichtungen) dienen bekanntermaßen dazu, elektronische Bauelemente wie beispielsweise IC s einem Testkopf einer Testvorrichtung zuzuführen, um die Bauelemente mit dem Testkopf zu kontaktieren und elektrischen Tests zu unterziehen. Sollen die Bauelemente Be- schleunigungstests unterzogen werden, wird das nach Bedarf temperierte Bauteil einem Nest zugeführt, mit der Testvorrichtung kontaktiert und z.B. in Richtung senkrecht zur Kontaktierebene des Bauteils beschleunigt. AIs Handler wird in diesem Zusammenhang ausdrücklich auch eine Vorrichtung bezeichnet, wenn die Bauteile nicht automatisch dem Nest zugeführt werden, sondern das Nest von Hand bestückt wird.
Die Beschleunigungsvorrichtung weist hierzu bekanntermaßen einen Stößel mit einem freien Ende auf, an dem das Nest befestigbar ist. Der Stößel wird von einer Bewegungserzeu- gungseinrichtung in axialer Richtung hin- und her bewegt. Die Bewegungserzeugungseinrichtung kann beispielsweise aus einer Spule bestehen und nach dem Lautsprecherprinzip arbeiten.
Bei derartigen Beschleunigungstests können sich die Fre- quenzen vom niedrigen Herzbereich bis in den Kiloherzbereich bewegen. Der Beschleunigungsweg kann von wenigen Mikrometern bis zu mehreren Zentimetern betragen.
Hierbei besteht das Problem, dass durch die Bewegungs- erzeugungseinrichtung, beispielsweise Spule, Nebenbeschleunigungen in nicht beabsichtigten Raumrichtungen und auch Drehbewegungen auf den Stößel und damit das zu testende Bauelement übertragen werden können, wodurch die Messergebnisse verfälscht werden können. Ein weiteres Problem besteht darin, dass die Lager zur linearen Führung des Stößels durch die teilweise sehr hohen Bewegungsfrequenzen und durch Temperaturbereiche von -55 "C bis +155 'C, in denen diese Tests durchgeführt werden, extremen Belastungen ausgesetzt sind. Übliche Lager halten derartigen Belastungen in der Regel nicht stand und haben nicht die gewünschte Haltbarkeit.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Handler der eingangs genannten Art mit einer Beschleunigungsvorrichtung zu schaffen, die bei einfachem Aufbau unerwünschte Nebenbeschleunigungen und/oder Drehungen des Stößels vermeidet und eine hohe Haltbarkeit aufweist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Handler mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
Erfindungsgemäß ist der Stößel durch mindestens eine Federscheibe linear geführt, die zwei Gruppen von Federarmen aufweist, wobei eine Gruppe am Stößel und die andere Gruppe an einem relativ zu einem Gehäuse der Bewegungserzeu- gungseinrichtung feststehenden Rahmen befestigt ist.
Mit Hilfe einer derartigen Federscheibe kann vermieden werden, dass der Stößel in unerwünschten Richtungen bewegt bzw. beschleunigt wird. Soll beispielsweise der Stößel in z-Richtung hin- und herbewegt werden, so vermeidet die Federscheibe, dass sich der Stößel in x- und y-Richtung bewegt oder sich um seine Längsachse dreht. Dadurch, dass die eine Gruppe von Federarmen fest am Stößel und die andere Gruppe fest am Rahmen befestigt ist, sind keine Wälz- oder Gleitbewegungen zwischen dem Stößel und der Federscheibe einerseits und der Federscheibe und dem Rahmen andererseits vorhanden, so dass unerwünschte Erwärmungen und Verschleißerscheinungen in diesen Bereichen vermieden werden können. Die Federscheibe gewährleistet damit eine sehr präzise, lineare Führung des Stößels in der gewünschten Richtung mit geringem Verschleiß und hoher Haltbarkeit bei kleiner Baugröße. -A -
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist jede Gruppe zwei bis sechs, insbesondere drei bis fünf, Federarme auf. Besonders bevorzugt sind hierbei drei bis vier Federarme pro Gruppe, da bei einer derartigen Anzahl einerseits der Stößel nach allen Richtungen quer zu seiner Längsachse definiert abgestützt und andererseits ein sehr einfacher Aufbau der Federscheibe möglich ist.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform erstrecken sich die Federarme von einem ringförmig geschlossenen Umfangs- bereich zumindest im Wesentlichen radial nach innen. Dies ermöglicht eine sehr kompakte Bauform der Federscheibe. Alternativ hierzu ist es jedoch auch grundsätzlich möglich, dass sich die eine Gruppe von Federarmen, die mit dem Stößel verbunden ist, vom ringförmig geschlossenen Um- fangsbereich nach innen und die andere Gruppe von Federarmen, die mit dem Rahmen verbunden ist, vom ringförmig geschlossenen Umfangsbereich nach außen erstreckt. Weiterhin können sich auch alle Federarme nach außen erstrecken, beispielsweise wenn der Stößel rohrförmig ausgebildet und die Federscheibe im Inneren des Stößels angeordnet ist.
Bevorzugt ist der Umfangsbereich kreisringförmig ausgebildet. Alternativ hierzu ist es jedoch auch möglich, dass der Umfangsbereich eine andere Form, beispielsweise eine mehreckige Form, hat.
Bevorzugt sind die Federarme in Umfangsrichtung der Federscheibe gleichmäßig verteilt angeordnet. Hierdurch wird eine gleichmäßige Krafteinleitung auf die Federscheibe und eine gleichmäßige Kraftübertragung von dem Stößel auf den Rahmen gewährleistet. Die Federarme können geradlinig oder gekrümmt ausgebildet sein, wobei sie im letzteren Fall vorzugsweise einen S- förmig gebogenen Abschnitt aufweisen. Während die geradlinige Ausführung der Federarme eine sehr einfache und kos- tengünstige Herstellung der Federscheibe ermöglicht, haben gekrümmte Federarme den Vorteil, dass damit besonders große Auslenkungen bei einer kleinen Baugröße ermöglicht werden, da durch die Krümmung die Länge der Federarme vergrößert wird.
Die S-förmig gebogenen Abschnitte aller Federarme können gleichgerichtet angeordnet sein. Alternativ hierzu ist es jedoch auch möglich, dass die S-förmig gebogenen Abschnitte eines Teils der Federarme, vorzugsweise der Hälfte al- ler Federarme, gegenläufig zu den S-förmig gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme ausgerichtet sind. Hierdurch können sich mögliche Drehkräfte um die Längsachse des Stößels, welche beim Hin- und Herbewegen des Stößels von den einzelnen Federarmen erzeugt werden, gegenseitig aufheben.
Bevorzugt sind die Federarme an Befestigungsstellen mit dem Stößel und dem Rahmen verbunden, die auf einem gemeinsamen Kreis liegen. Hierüber wird der Stößel auf besonders gleichmäßige Weise nach allen Seiten hin abgestützt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Stößel durch mindestens zwei axial beabstandete Federscheiben linear geführt. Hierbei kann eine erste Federscheibe in Nachbar- schaft des Nest und mindestens eine weitere Federscheibe in Nachbarschaft der Bewegungserzeugungseinrichtung, entweder auf derselben Seite wie die erste Federscheibe oder jenseits der Bewegungserzeugungseinrichtung, angeordnet sein. Die radiale Abstützung des Stößels durch mehrere Federscheiben ermöglicht eine besonders gute Linearführung des Stößels in der gewünschten Richtung. Die Anordnung mindestens einer weiteren Federscheibe jenseits der Bewe- gungserzeugungseinrichtung ist dabei selbstverständlich nur bei Beschleunigungsvorrichtungen möglich, bei denen der Stößel durch die Bewegungserzeugungseinrichtung hindurchtritt und über deren Rückseite vorsteht.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 : eine schematische Darstellung einer Beschleunigungsvorrichtung für einen Hand- ler, um elektronische Bauelemente Beschleunigungstests zu unterziehen,
Figur 2 : eine vergrößerte Darstellung der am Stößel und an einem Abschnitt des Rahmens befes- tigten Federscheibe,
Figur 3 : eine Vorderansicht der Federscheibe von
Figur 2 in Alleinstellung,
Figur 4 : eine Seitenansicht der Federscheibe von
Figur 3,
Figur 5 : eine zweite Ausführungsform einer Federscheibe, und
Figur 6 : eine dritte Ausführungsform einer Federscheibe. In Figur 1 ist eine Beschleunigungsvorrichtung 1 dargestellt, die zum Einbau in einem Handler für elektronische Bauelemente bestimmt ist, um nicht näher dargestellte elektronische Bauelemente wie IC s einem Beschleunigungs- test zu unterziehen.
Hierzu weist die Beschleunigungsvorrichtung 1 eine Bewe- gungserzeugungseinrichtung 2, beispielsweise eine Spule, auf, mit deren Hilfe ein Stößel 3 in Axialrichtung, d.h. in Richtung des Pfeils 4, mit einer bestimmten Frequenz hin- und herbewegt werden kann. Die Testfrequenz ist hierbei von der Art des Bauelements und vom gewünschten Einsatzzweck abhängig und kann von wenigen Herz bis mehrere Kiloherz betragen. Beim Stößel 3 handelt es sich im dar- gestellten Ausführungsbeispiel um einen geradlinigen Stab, der beispielsweise einen runden Querschnitt aufweist, jedoch auch andere Querschnittsformen haben kann.
Am freien Ende des Stößels 3 ist ein Nest 5 befestigbar, d.h. eine Aufnahmevorrichtung, in der das zu testende Bauelement gehaltert ist. Wird der Stößel 3 in Richtung des Pfeils hin- und herbewegt, so wird entsprechend das Nest 5 und damit das Bauelemente ebenfalls in dieser Richtung bewegt .
Der Stößel 3 ist mittels einer in den Figuren 3 und 4 näher dargestellten Federscheibe 6 derart an einem Rahmen 7 linear geführt, dass sich der Stößel 3 nur in Richtung des Pfeils 4, d.h. in z-Richtung, hin- und herbewegen kann, während Nebenbewegungen und damit auch Nebenbeschleunigungen quer zur z-Richtung, d.h. in x- oder y- Richtung, sowie Drehbewegungen um die Längsachse des Stößels 3 vermieden werden. Hierzu weist der Stößel 3 einen in Figur 2 näher dargestellten Befestigungsflansch 8 auf, der fest mit dem Stößel 3 verbunden, beispielsweise angeformt, aufgeschweißt oder aufgeschrumpft ist.
Mit dem Befestigungsflansch 8 sind eine Gruppe von Feder- armen 9 der Federscheibe 6 fest verbunden, insbesondere mittels Schrauben 10 festgeschraubt, während eine andere Gruppe von Federarmen 11 mit dem Rahmen 7 verbunden, insbesondere mittels Schrauben 12 festgeschraubt ist. Hierbei ist die Federscheibe 6 ausschließlich über die Federarme 11 mit dem Rahmen 7 in Kontakt. Die Federscheibe 6 ist somit, wie aus den Figuren 1 und 2 ersichtlich, derart in eine Öffnung 13 des Rahmens 7 eingesetzt, dass die Federscheibe 6 mit ihrem Außenumfang die Innenumfangswand der Öffnung 13 nicht berührt.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel hat die Öffnung 13 die Form einer kreisförmigen Bohrung, die ein Vertikalelement 14 des Rahmens 7 in z-Richtung nicht vollständig durchdringt, so dass eine Wand 15 gebildet wird, die sich von der Umfangswand der Öffnung 13 radial nach innen erstreckt und dadurch eine Schulter bildet. In der Wand 15 ist eine mittige, axiale Durchgangsöffnung 16 vorgesehen, die derart ausgebildet ist, dass der Stößel 3 zusammen mit dem Befestigungsflansch 8 hindurchtreten kann.
Wie aus Figur 2 ersichtlich, sind an der Wand 15 vier sockelartige Vorsprünge 17 vorgesehen, die in der Nähe der Durchgangsöffnung 16 angeordnet sind und in axialer Rich- tung über die Wand 15 vorstehen. Die Vorsprünge 17 sind regelmäßig verteilt und um die Durchgangsöffnung 16 an denjenigen Stellen angeordnet, an denen sich die inneren Enden der Federarme 11 befinden. Wie ersichtlich, sind die Federarme 11 mittels der Schrauben 12 auf den Vorsprüngen 17 befestigt, so dass sich der übrige Teil der Federarme
11 mit Abstand zur Wand 15 nach außen erstreckt. Auf diese Weise können sich die Federarme 11 außerhalb der Vorsprün- ge 17 in axialer Richtung bewegen, ohne an der Wand 15 anzustoßen.
Die Federarme 9 sind mit ihren inneren Enden in den vier Eckenbereichen des Befestigungsflansches 8 befestigt.
Im folgenden wird die in den Figuren 1 und 2 gezeigte Federscheibe 6 anhand der Figuren 3 und 4 näher erläutert. Die Federscheibe 6 ist nach Art einer ebenen Tellerfeder ausgebildet und weist einen ringförmigen Umfangsbereich 18 mit kreisförmiger Außenkontur auf. Von diesem Umfangsbereich 18 erstrecken sich vier Federarme 9 und vier Federarme 11 geradlinig radial nach innen. Die Federarme 9 und die Federarme 11 wechseln sich, in Umfangsrichtung gesehen ab, d.h., nach einem Federarm 9 folgt in ümfangs- richtung ein Federarm 11, anschließend wieder ein Federarm 9 usw.. Die Federarme 9, 11 sind in Umfangsrichtung regelmäßig verteilt angeordnet, d.h., die Längsachsen benachbarter Federarme 9, 11 schließen zueinander einen Winkel von 45' ein und treffen sich im Mittelpunkt der Feder- scheibe 6 (Figur 3) . Die Federarme 9, 11 haben weiterhin dieselbe Länge, die so bemessen ist, dass die inneren Enden der Federarme 9, 11 auf einem Kreis mit einem Durchmesser liegen, der größer ist als der Außendurchmesser des Stößels 3. In den inneren Endbereichen der Federarme 9, 11 sind Bohrungen 19 vorgesehen, durch die die Schrauben 10,
12 (Figur 2) hindurch geführt werden können. Die Bohrungen 19 aller Federarme 9, 11 liegen auf einem konzentrischen Kreis um den Mittelpunkt der Federscheibe 6. Die Breite der Federarme 9, 11 entspricht im vorliegenden Ausführungsbeispiel in etwa der Breite des Umfangsbereichs 18, kann jedoch in Abhängigkeit der jeweiligen Anforderungen variieren. Der Durchmesser desjenigen Kreises, auf dem die Mittelpunkte der Bohrungen 19 liegen, beträgt im Ausführungsbeispiel von Figur 3 etwa 46% des Außendurchmessers der Federscheibe 6, kann jedoch in Abhängigkeit der Anforderungen in weitem Umfang variieren. Weiterhin ist es nicht unbedingt erforderlich, dass die Federarme 9, 11 alle dieselbe Länge haben. Es ist auch vorstellbar, dass die Federarme 9 eine andere Länge als die Federarme 11 haben, oder dass die Federarme einer Gruppe auch untereinander unterschiedliche Längen haben.
Die Funktion der Federscheibe 6 ist derart, dass die vom Stößel 3 über den Befestigungsflansch 8 auf die Federarme 9 aufgebrachten Kräfte über den Umfangsbereich 18 auf die Federarme 11 übertragen und von diesen auf das Vertikalelement 14 des Rahmens 7 weitergeleitet werden. Über die Federarme 9, 11 ist der Stößel 3 somit in radialer Richtung gegenüber dem Rahmen 7 abgestützt, kann sich jedoch gleichzeitig in axialer Richtung hin- und herbewegen.
Das Vertikalelement 14 des Rahmens 7 ist wiederum, wie aus Figur 1 ersichtlich, mit einem Horizontalelement 20 fest verbunden, an dem ein Gehäuse 21 der Bewegungserzeugungs- einrichtung 2 befestigt ist.
Aus Figur 5 ist eine zweite Ausführungsform einer Feder- scheibe 6' ersichtlich, die vom Prinzip her ähnlich wie die Federscheibe 6 ausgebildet ist, jedoch anstelle von geraden Federarmen 9, 11 gekrümmte Federarme 9', 11' aufweist. Die Federarme 9', 11' haben einen S-förmig geboge- nen Abschnitt bzw., je nach dem, von welcher Seite auf die Federscheibe 61 geblickt wird, einen gebogenen Abschnitt in der Form eines spiegelverkehrten "S". Aufgrund der gebogenen Abschnitte weisen die Federarme 9', 11' somit Abschnitte auf, die sich zumindest im Wesentlichen in Umfangsrichtung der Federscheibe 6' erstrecken, wodurch die Länge der Federarme 9', 11' verlängert werden kann, obwohl ihre inneren Enden auf einem Kreis mit dem gleichen Durchmesser wie bei der Federscheibe 6 liegen. Dies kann größere Auslenkungen in axialer Richtung des Stößels 3 ermöglichen.
Weiterhin ist aus Figur 5 ersichtlich, dass die gebogenen Abschnitte aller Federarme 91, 11' gleich gerichtet ange- ordnet sind, d.h., die gebogenen Abschnitte erstrecken sich alle in die selbe Umfangsrichtung.
Aus Figur 6 ist eine weitere Ausführungsvariante einer Federscheibe 6" ersichtlich, die ganz ähnlich wie die Federscheibe 6' von Figur 5 ausgebildet ist und daher auch sich vom Umfangsbereich 18 radial nach innen schlängelnde Federarme 9", 11" aufweist. Hier ist jedoch die Hälfte der gebogenen Abschnitte der Federarme 9" gegenläufig zu den gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme 9" ausgerichtet. In gleicher Weise sind die gebogenen Abschnitte der Hälfte der Federarme 11" gegenläufig zu den gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme 11" ausgerichtet. Durch die gegenläufige Orientierung der gebogenen Abschnitte wird hier erreicht, dass Drehkräfte, die bei einer Axialbewegung der Federarme 9", 11" von diesen selbst erzeugt werden, sich gegenseitig aufheben.
Als Materialien für die Federscheiben 6, 6', 6" können verschiedenste Materialien gewählt werden, welche den auftretenden Belastungen standhalten, beispielsweise Federstähle oder Glasfaserverbundwerkstoffe. Endanschläge können eine Überstrapazierung der Vorrichtung in der gewünschten Auslenkungsvorrichtung verhindern.

Claims

Patentansprüche;
1. Handler zum Testen von elektronischen Bauelementen, mit einem Nest (5) zur Aufnahme der Bauelemente und einer
Beschleunigungsvorrichtung (1), mit der die im Nest gehalterten Bauelemente Beschleunigungstests unterzogen werden, wobei die Beschleunigungsvorrichtung (1) einen Stößel (3), an dem das Nest (5) befestigbar ist, sowie eine Bewegungs- erzeugungseinrichtung (2) zur Beschleunigung des Stößels (3) in axialer Richtung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Stößel (3) durch mindestens eine Federscheibe (6, 6', 6") linear geführt ist, die zwei Gruppen von Federarmen (9, 91, 9"; 11, II1, 11") aufweist, wobei eine Gruppe am Stößel (3) und die andere Gruppe an einem relativ zu einem Gehäuse (21) der Bewegungserzeugungseinrichtung (2) feststehenden Rahmen (7) befestigt ist.
2. Handler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Gruppe zwei bis sechs, insbesondere drei bis fünf,
Federarme (9, 9\ 9"; 11, II1, 11") aufweist.
3. Handler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Federarme (9, 91, 9"; 11, 11', 11") von einem ringförmig geschlossenen Umfangsbereich (18) zumindest im Wesentlichen radial nach innen erstrecken.
4. Handler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet:, dass der Umfangsbereich (18) kreisringförmig ausgebildet ist.
5. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet:, dass die Federarme (9, 91, 9"; 11,
11', 11") in Umfangsrichtung der Federscheibe (6, 6', 6") gleichmäßig verteilt angeordnet sind.
6. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9, 11) geradlinig ausgebildet sind.
7. Handler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (91, 9"; 11', 11") gekrümmt ausgebildet sind.
8. Handler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9', 9"; II1, 11") einen S-förmig gebogenen Abschnitt aufweisen.
9. Handler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die S-förmig gebogenen Abschnitte aller Federarme (91,
11') gleich gerichtet angeordnet sind.
10. Handler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die S-förmig gebogenen Abschnitte eines Teils der Feder- arme (9", 11"), vorzugsweise die Hälfte aller Federarme (9", 11"), gegenläufig zu den S-förmig gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme (9", 11") ausgerichtet sind.
11. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9, 9', 9"; 11, II1, 11") an Befestigungsstellen mit dem Stößel (3) und dem Rahmen (7) verbunden sind, die auf einem gemeinsamen Kreis liegen.
12. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Stößel (3) durch mindestens zwei axial beabstandete Federscheiben (6, 61, 6") linear geführt ist.
13. Handler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine erste Federscheibe (6, 6', 6") in Nachbarschaft des Nests (5) und mindestens eine weitere Feder- Scheibe (6, 6', 6") in Nachbarschaft der Bewegungserzeu- gungseinrichtung (2), entweder auf derselben Seite wie die erste Federscheibe (6, 6', 6") oder jenseits der Bewe- gungserzeugungseinrichtung (2), angeordnet ist.
PCT/EP2007/004644 2006-05-31 2007-05-24 Handler mit beschleunigungsvorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen Ceased WO2007137768A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/990,748 US7683608B2 (en) 2006-05-31 2007-05-24 Handler comprising an acceleration device for testing electronic components
EP07725540A EP1891453B1 (de) 2006-05-31 2007-05-24 Beschleunigungsvorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen
JP2008555717A JP4783832B2 (ja) 2006-05-31 2007-05-24 加速装置を備える電子部品試験取扱装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006025341.8 2006-05-31
DE102006025341A DE102006025341B4 (de) 2006-05-31 2006-05-31 Handler mit Beschleunigungsvorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007137768A1 true WO2007137768A1 (de) 2007-12-06

Family

ID=38566891

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2007/004644 Ceased WO2007137768A1 (de) 2006-05-31 2007-05-24 Handler mit beschleunigungsvorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7683608B2 (de)
EP (1) EP1891453B1 (de)
JP (1) JP4783832B2 (de)
KR (1) KR101043140B1 (de)
AT (1) ATE413606T1 (de)
DE (1) DE102006025341B4 (de)
MY (1) MY146742A (de)
WO (1) WO2007137768A1 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI525411B (zh) * 2010-04-21 2016-03-11 三角設計公司 加速一裝置之系統及方法
US9850814B2 (en) * 2014-02-19 2017-12-26 United Technologies Corporation Annular spring for a bearing assembly of a gas turbine engine
CN106288984B (zh) * 2015-06-12 2018-11-02 北京强度环境研究所 一种全尺寸弹头水平状态下轴向振动的约束方法
KR101978483B1 (ko) * 2017-10-30 2019-08-28 한국항공우주연구원 베어링 진동 저감 장치 및 이를 포함하는 진동저감 베어링

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7015469U (de) * 1970-04-24 1972-08-03 Stromag Maschf Membran, als elastisches verbindungsglied zweier miteinander zu kuppelnder teile.
US4499772A (en) * 1983-06-23 1985-02-19 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Flexural support member having a high ratio of lateral-to-axial stiffness
US5492313A (en) * 1994-06-20 1996-02-20 The Aerospace Corporation Tangential linear flexure bearing
EP0909895A2 (de) * 1997-10-15 1999-04-21 Matsushita Refrigeration Company Oszillierender Kompressor
US6050556A (en) * 1997-03-10 2000-04-18 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Flexure bearing

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2073078A1 (en) * 1991-07-09 1993-01-10 Tatsuya Hashinaga Semiconductor device testing apparatus
US5777484A (en) * 1996-09-30 1998-07-07 Packard Hughes Interconnect Company Device for testing integrated circuit chips during vibration
US7529635B2 (en) * 2004-02-12 2009-05-05 Seagate Technology, Llc Method and apparatus for head gimbal assembly testing
JP4026689B2 (ja) * 2004-09-29 2007-12-26 本田技研工業株式会社 タペットクリアランス自動調整装置及びタペットクリアランス調整方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7015469U (de) * 1970-04-24 1972-08-03 Stromag Maschf Membran, als elastisches verbindungsglied zweier miteinander zu kuppelnder teile.
US4499772A (en) * 1983-06-23 1985-02-19 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Flexural support member having a high ratio of lateral-to-axial stiffness
US5492313A (en) * 1994-06-20 1996-02-20 The Aerospace Corporation Tangential linear flexure bearing
US6050556A (en) * 1997-03-10 2000-04-18 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Flexure bearing
EP0909895A2 (de) * 1997-10-15 1999-04-21 Matsushita Refrigeration Company Oszillierender Kompressor

Also Published As

Publication number Publication date
KR101043140B1 (ko) 2011-06-20
EP1891453A1 (de) 2008-02-27
KR20090036539A (ko) 2009-04-14
MY146742A (en) 2012-09-14
JP4783832B2 (ja) 2011-09-28
EP1891453B1 (de) 2008-11-05
US7683608B2 (en) 2010-03-23
ATE413606T1 (de) 2008-11-15
DE102006025341A1 (de) 2007-12-06
JP2009528512A (ja) 2009-08-06
US20090241676A1 (en) 2009-10-01
DE102006025341B4 (de) 2009-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112013004273T5 (de) Kolbenstruktur für einen Motor
DE102015009989A1 (de) Kabelklemmvorrichtung zur Aufweitung für Schirmgeflechten von Kabeln
EP3176398A2 (de) Verfahren zur herstellung einer katalysatorgehäuseanordnung mit wenigstens einem sensorträger für eine abgasanlage eines fahrzeugs
DE102019117200A1 (de) Horizontal-gelenkroboter
WO2018188810A1 (de) Mikromechanische spiegelvorrichtung
DE102014116794A1 (de) Statorkernaufhängung für einen Turbogenerator
EP1891453B1 (de) Beschleunigungsvorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen
DE102011001492A1 (de) Werkzeug und Verfahren zum Kalibrieren von Buchsen
EP4526563B1 (de) Federnd gelagertes getriebegehäuse ii
DE102012108031A1 (de) Halter für eine Fügevorrichtung
DE20011948U1 (de) Lageranordnung
DE19801540A1 (de) Hohlkolben-Meßfühler
DE102018207729A1 (de) Kontaktfeder-Haltegestell zur Schmiermittelaufbringung
DE102022116227A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Länge eines Stehbolzens
DE112017000222T5 (de) Flexspline für spannungswellengetriebevorrichtung und spannungswellengetriebevorrichtung, die diese verwendet
EP3819645B1 (de) Versteifungselement zum versteifen eines testkontaktorsystems, verwendung und verfahren zur montage eines testkontaktorsystems
DE102019130076B4 (de) Arbeitswerkzeugvorrichtung geeignet für eine Federherstellungsmaschine, Federherstellungsmaschine und Federherstellungsverfahren zum Formen einer Feder
DE102012111548A1 (de) Vorrichtung zum Positionieren eines rohrförmigen Werkstückes
EP4569337A1 (de) Prüfstiftvorrichtung
EP4286275A1 (de) Befestigungssystem mit toleranzkompensation für einen innenraum eines luftfahrzeugs
DE102017105733A1 (de) Spindelmutter für einen Kugelgewindetrieb und Verfahren zur Herstellung einer Spindelmutter
DE202007004690U1 (de) Lagereinheit und damit ausgestattete Lineareinheit
DE60036684T2 (de) Mehrachsiges verbindungssystem
DE3919503A1 (de) Verfahren zum ausgerichteten befestigen eines gegengewichts an einer kurbelwelle und werkzeug zur durchfuehrung des verfahrens
DE202010009340U1 (de) Fahrzeuginnenausstattungsteil mit einer toleranzausgleichenden Lagerung

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007725540

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11990748

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2007725540

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020087009599

Country of ref document: KR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008555717

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE