WO2008001785A1

WO2008001785A1 - APPAREIL d'inspection de spécimen, et procédé d'inspection de spécimen

Info

Publication number: WO2008001785A1
Application number: PCT/JP2007/062825
Authority: WO
Inventors: Munehiko Takata; Minoru Fujita; Kazuhisa Momoi; Kiyotaka Kojima; Shinichi Ito; Seizi Nishizawa; Toshiyuki Iwamoto; Mitsuo Watanabe
Original assignee: ADVANCED INFRARED SPECTROSCOPY Co Ltd; Eisai R&D Management Co Ltd; Toshiba Solutions Corp
Current assignee: ADVANCED INFRARED SPECTROSCOPY Co Ltd; Eisai R&D Management Co Ltd; Toshiba Digital Solutions Corp
Priority date: 2006-06-26
Filing date: 2007-06-26
Publication date: 2008-01-03
Anticipated expiration: 2008-12-26
Also published as: EP2042855A4; EP2042855A1; JPWO2008001785A1

Description

明細書

標本検査装置及び標本検査方法

技術分野

[0001] 本発明は、例えば薬剤等の標本検査装置及び標本検査方法に関する。

背景技術

[0002] 近年、製薬業界においては、同一の包装ラインや同一の製造装置を用いて多品種の薬剤 (錠剤、カプセルなど)を製造することが多い。この場合、特に最終段階の包装梱包工程において、異種もしくは異物、すなわち、他の種類の薬剤、他の薬物成分、薬剤'薬物以外の物質が混入する可能性があるので、通常、検査員による目視検査を行い、薬剤の色や形状から薬剤の違いを選別して他の種類の薬剤'薬物成分'薬物以外の物質の混入を防止している。

[0003] また最近は、 CCDカメラ等の画像入力部により得られた画像データを画像処理することによって、形状、面積、色などの特徴の違いにより薬剤の選別を行う薬剤検査装置が用いられている。

[0004] さらに、近赤外をもちいて、薬剤から反射した光をスペクトルメータで分光してその違レ、から選別をする装置もあるが、糖衣錠などのように表面が同じ成分の場合には、利用できない等の制限がある。

[0005] ごく最近の研究の結果、テラへルツ領域と呼ばれるおよそ 30ギガへルツから 5テラヘルツの光波を、例えば「テラへルツ時間領域分光法」と呼ぶ新しい分光手法によつて、被測定物の物質特有の分光スペクトルの計測が可能になってきた。「テラへルツ時間領域分光法」とは、テラへルツ波をサンプノレに放射し，サンプルを透過した後のテラへルツ波の波形を時間分解計測し、その波形をフーリエ変換することにより周波数ごとの振幅と位相を得るという分光法である。

[0006] 特開 2005— 114413は、このテラへルツ波を被検査物の所定部位に放射することにより、物品中に特定の物質が存在するか否力を画一的に検出することができる物質検出装置を開示している。

発明の開示 [0007] し力しながら、従来の目視検查による薬剤の判別には見落としの可能性がある。また、薬剤が外見からでは判別しにくい形状のものである場合には画像処理などを行つても 100パーセントの安全を確保することができない。

[0008] また、特開 2005— 114413号は、テラへルツ波を被検查物に照射してその出力波を調べることにより対象物スペクトルが含有されているか否力 ^判別する方法を開示しているが、異種の薬剤'薬物成分'薬物以外の物質を確実に検出するための具体的な構成を開示してレ、なレ、。

[0009] 本発明は、上記課題に着目してなされたものであり、その目的とするところは、異種の薬剤 ·薬物成分 ·薬物以外の物質を確実に検出することができる標本検査装置及び標本検查方法を提供することにある。

[0010] 上記の目的を達成するために、本発明の第 1の態様に係る標本検查装置は、テラヘルツ波の光線を発生するテラへルツ波発生部と、前記テラへルツ波発生部により発生されたテラへルツ波を被検査物としての標本へと先導する光学系と、前記標本を透過または反射したテラへルツ出力波を電気信号として検出する検出部と、前記検出部により検出された電気信号から分光スペクトルを求め、該分光スペクトルと、予め求められた前記標本に特有の成分による分光スペクトル (指紋スペクトル）とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力を判定する判定部と、を具備する。

[0011] また、本発明の第 2の態様は、第 1の態様に係る標本検査装置において、前記判定部は、前記求めた分光スペクトル (指紋スペクトル)から抽出した特徴量と、前記予め求められた分光スペクトル (指紋スペクトル)から抽出した特徴量とを比較し、該比較結果に基づいて前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力、を判定する。

[0012] また、本発明の第 3の態様は、第 2の態様に係る標本検查装置において、前記特徴量とは、分光スペクトルの強度と、分光スペクトルを一次微分した値と、分光スぺクトルを高次微分した値のいずれか 1つもしくはこれらの組合せによるものである。

[0013] また、本発明の第 4の態様は、第 1の態様に係る標本検查装置において、前記判定部は、前記求めた分光スペクトル（指紋スペクトル）と、予め求めた分光スペクトル（指紋スペクトル）とをパターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれてレ、るか否力を判定する。

[0014] また、本発明の第 5の態様は、第 1乃至第 4のいずれか 1つの態様に係る標本検査装置において、前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束を前記標本へと先導する。

[0015] また、本発明の第 6の態様は、第 1乃至第 4のいずれか 1つの態様に係る標本検查装置において、前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する。

[0016] また、本発明の第 7の態様は、第 6の態様に係る標本検查装置において、前記テラヘルツ波発生部は、複数の標本を串刺しする様にテラへルツ波の光線を真横から照射透過するようにする。

[0017] また、本発明の第 8の態様は、第 1乃至第 7のいずれか 1つの態様に係る標本検查装置において、前記検出部は、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも狭レ、スぺタトル分解で検出する。

[0018] また、本発明の第 9の態様は、第 1乃至第 7のいずれか 1つの態様に係る標本検査装置において、前記検出部は、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも広いスぺタトル分解で検出する。

[0019] また、本発明の第 10の態様は、第 2、第 3、第 5乃至第 9のいずれか 1つの態様に係る標本検査装置において、前記判定部は、前記特徴量の算出時に、前記求めた分光スペクトルから水蒸気による吸収ピークの影響を除去する。

[0020] また、本発明の第 11の態様は、第 1乃至第 10のいずれか 1つの態様に係る標本検查装置において、前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される。

[0021] また、本発明の第 12の態様に係る標本検查方法は、テラへルツ波発生部によりテラヘルツ波の光線を発生するステップと、前記テラへルツ波発生部により発生されたテラへルツ出力波を光学系によって被検查物としての標本へと先導する先導ステツプと、前記被検查物を透過または反射したテラへルツ波を検出部によって電気信号として検出する検出ステップと、判定部によって、前記検出部により検出された電気信号から分光スペクトルを求め、該分光スペクトルと、予め求められた前記標本に特有の成分による分光スペクトル (指紋スペクトル）とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれてレ、るか否かを判定する判定ステップと、を具備する。

[0022] また、本発明の第 13の態様は、第 12の態様に係る標本検査方法において、前記判定ステップは、前記求めた分光スペクトル (指紋スペクトル)力抽出した特徴量と、前記予め求められた分光スペクトル (指紋スペクトル)から抽出した特徴量とを比較し、該比較結果に基づいて前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力、を判定する。

[0023] また、本発明の第 14の態様は、第 12の態様に係る標本検查装置において、前記特徴量とは、分光スペクトルの強度と、分光スペクトルを一次微分した値と、分光スぺタトルを高次微分した値とのいずれかひとつもしくはこれらの組合せによる。

[0024] また、本発明の第 15の態様は、第 12の態様に係る標本検查装置において、前記判定ステップは、前記求めた分光スペクトルと、予め求めた分光スペクトルとを、パターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力、を判定する。

[0025] また、本発明の第 16の態様は、第 12乃至第 15のいずれか 1つの態様に係る標本検査装置において、前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束として前記標本へと先導する。

[0026] また、本発明の第 17の態様は、第 12乃至第 15のいずれか 1つの態様に係る標本検査装置において、前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する。

[0027] また、本発明の第 18の態様は、第 17の態様に係る標本検査装置において、前記テラへルツ波発生ステップは、複数の標本を串刺しする様にテラへルツ波の光線を真横から照射透過するようにする。

[0028] また、本発明の第 19の態様は、第 12乃至第 18のいずれか 1つの態様に係る標本検查装置において、前記検出ステップは、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも狭レ、スペクトル分解で検出する。

[0029] また、本発明の第 20の態様は、第 12乃至第 18のいずれか 1つの態様に係る標本検查装置において、前記検出ステップは、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも広レ、スペクトル分解で検出する。

[0030] また、本発明の第 21の態様は、第 13、第 14、第 16乃至第 20のいずれか 1つの態様に係る標本検査装置において、前記判定ステップは、前記特徴量の算出時に、前記求めた分光スペクトルから水蒸気による吸収ピークの影響を除去する。

[0031] また、本発明の第 22の態様は、第 12乃至第 21のいずれか 1つの態様に係る標本検查装置において、前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される。

[0032] また、本発明の第 23の態様は、第 5または第 6の態様に係る標本検查装置において、前記光学系は、前記テラへルツ波の光線を複数列に配置された標本に先導するために、行列状に配置された複数の光学素子からなる。

[0033] また、本発明の第 24の態様に係る標本検查装置は、テラへルツ波の光線を発生するテラへルツ波発生部と、前記テラへルツ波発生部により発生されたテラへルツ波を被検査物としての標本へと先導する光学系と、前記標本を透過または反射したテラヘルツ出力波を電気信号として検出する検出部と、前記検出部により検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを解析し判定する判定部と、を具備する。

[0034] また、本発明の第 25の態様は、第 24の態様に係る標本検査装置において、前記判定部は、前記検出部により検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形との波形形状のパターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを解析し判定する。

[0035] また、本発明の第 26の態様は、第 24又は第 25の態様に係る標本検査装置において、前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束を前記標本へと先導する。

[0036] また、本発明の第 27の態様は、第 24又は第 25の態様に係る標本検查装置において、前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する。

[0037] また、本発明の第 28の態様は、第 24又は第 25の態様に係る標本検查装置において、前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される。

[0038] また、本発明の第 29の態様に係る標本検查方法は、テラへルツ波発生部によりテラヘルツ波の光線を発生するステップと、前記テラへルツ波発生部により発生されたテラへルツ出力波を光学系によって被検査物としての標本へと先導する先導ステツプと、前記被検査物を透過または反射したテラへルツ波を検出部によって電気信号として検出する検出ステップと、判定部によって、前記検出部により検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力 ^解析し判定する判定ステップと、を具備する。

[0039] また、本発明の第 30の態様は、第 29の態様に係る標本検查方法において、前記判定ステップは、前記検出ステップにより検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形との波形形状のパターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力、を解析し判定する。

[0040] また、本発明の第 31の態様は、第 29又は第 30に係る標本検查方法において、前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束として前記標本へと先導する。

[0041] また、本発明の第 32の態様は、第 29又は第 30に係る標本検査方法において、前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する。

[0042] また、本発明の第 33の態様は、第 29又は第 30に係る標本検査方法において、前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される。

図面の簡単な説明

[0043] [図 1]図 1は、本発明の一実施形態に係る薬剤検查システムの構成を示す図である。

[図 2A]図 2Aは、集光光束を用いたときのテラへルツ波のようすを示す図である。

[図 2B]図 2Bは、集光光束を用いたときのテラへルツ波のようすを示す図である。

[図 3A]図 3Aは、薬剤内に含まれる薬物の不均一性を示す図である。

[図 3B]図 3Bは、薬剤の厚みの特徴を示す図である。

[図 4A]図 4Aは、平行光束を用いて薬剤全体に放射するようすを示す図である。

[図 4B]図 4Bは、平行光束を用いて薬剤全体に放射するようすを示す図である。

[図 4C]図 4Cは、平行光束を用いて薬剤全体に放射するようすを示す図である。

[図 5]図 5は、平行光束を用いて複数の薬剤に同時にテラへルツ波を放射したようすを示す図である。

園 6A]図 6Aは、平行光束を薬剤の真上から放射出力するようすを示す図である。

[図 6B]図 6Bは、平行光束を薬剤の真横から放射出力するようすを示す図である。園 6C]図 6Cは、複数の薬剤を上方から照射する場合の構成を示す図である。

園 7A]図 7Aは、平行光束を薬剤の真横力も放射出力するようすを示す図である。

[図 7B]図 7Bは、平行光束を薬剤の真横から放射出力するようすを示す図である。園 8]図 8は、図 1に示す薬剤検査装置の変形例を示す図である。

[図 9]図 9は、本実施形態の薬剤検査装置が適用される PTP包装機の構成を示す図である。

[図 10]図 10は、異種薬剤の検查時に実行される異種判別アルゴリズムの詳細を示す図である。

[図 11]図 11は、入力される時系列波形を示す図である。

園 12]図 12は、入力波形をフーリエ変換して得られる電界強度スペクトルを示す図である。

[図 13]図 13は、吸光度スペクトルの一例を示す図である。

[図 14]図 14は、透過度スペクトルに現れる水蒸気の吸収ピークを示す図である。

[図 15]図 15は、吸光度スペクトルに含まれる特徴量の一例を示す図である。

[図 16A]図 16Aは、電界強度スペクトルに含まれる特徴量の一例を示す図である。

[図 16B]図 16Bは、吸光度スペクトルに含まれる特徴量の一例を示す図である。園 17]図 17は、予め作成された教師データからパラメータを生成する異種学習アルゴリズムの詳細を示す図である。

[図 18]図 18は、他の実施形態を説明するための図である。

[図 19]図 19は、図 8の構成の変形例を示す図である。

[図 20]図 20は、図 1または図 8の構成の他の変形例を示す図である。

[図 21]図 21は、時系列波形例を示す図である。

[図 22]図 22は、時系列波形例を示す図である。

[図 23]図 23は、時系列波形例を示す図である。

発明を実施するための最良の形態 [0044] まず、本発明の概略を説明する。

[0045] 本発明の標本検査装置は、 30ギガへルツから 5テラへルツの周波数のテラへルツ波を発生するテラへルツ波発生部としてのテラへルツ光放射装置と、当該発生した光を被検查物である標本へと先導するための光学系と、標本を透過または反射したテラへルツ出力波を電気信号として検出する検出部と、検出された電気信号から分光スペクトルを求め、該分光スペクトルと、予め求められた前記標本に特有の成分による分光スペクトルとに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを判定する判定部とから構成される。

[0046] ここで、被検查物としての標本は、例えば、錠剤、散剤、顆粒剤、カプセル剤、坐剤、軟膏剤等の薬剤及び試薬、注射筒、カテーテル、輸液バック等の医療器具、包帯、脱脂綿、綿棒、絆創膏、避妊器具、生理用品等の衛生用品、石鹼、口紅等の化粧品類等、ガム、飴、ラムネ、チョコレート等の菓子類、塩、砂糖、小麦粉、穀類、茶等の食品、ならびに、パスタ類等の加工食品等が挙げられる力特にこれらに限定されるものではない。

[0047] テラへルツ光放射装置は、 FTIR (フーリエ変換赤外分光光度計）の水銀灯光源や、フェムト秒レーザを利用してテラへルツ波を発生させるフェムト秒方式等、複数の異なる波長が重なった白色光を照射する照射部、または、単色波長可変光源などの波長を変化させて複数の異なる波長を出力する照射部を含む。

[0048] また、テラへルツ出力波は、標本を透過した透過波 (もしくはその吸収波）と、標本で反射した反射波とを含む。透過方式の場合、標本が例えば PVC (polyvinyl chlorid e)や PP (Polypropylene)などのフィルムで包装されてレ、る場合には、これらを通してそのスぺクトノレを得ることになる力 S、その影響はほとんど受けることはない。予め採取したスペクトルデータを基準データとして用いてもよい。同様に、空気中に存在する水蒸気や標本に含有される水分などの外乱要因も、水蒸気の吸収スぺクトノレを計測し、検査することによって排除できる。なお、判定部は、検出された電気信号を処理して得られる分光スペクトルの波形と、被検查物としての標本特有の成分に着目した分光スペクトル (指紋スペクトル）の波形とを比較し、相違がある場合に異種もしくは異物であると判定する。 [0049] あるいは、検出された電気信号を処理して得られる分光スペクトルの強度と、被検查物としての標本特有の成分に着目した分光スペクトルの強度とを比較し、相違がある場合に異種もしくは異物であると判定する。

[0050] あるいは、検出された電気信号を処理して得られる分光スペクトルを一次微分した値と、被検查物としての標本特有の成分に着目した分光スペクトルを一次微分した値とを比較し、相違がある場合に異種もしくは異物であると判定する。

[0051] あるいは、検出された電気信号を処理して得られる分光スペクトルを高次微分した値と、被検查物としての標本特有の成分に着目した分光スペクトルを高次微分した値とを比較し、相違がある場合に異種もしくは異物であると判定する。

[0052] あるいは、検出された電気信号を処理して得られる分光スペクトルの強度と、一次微分した値と、高次微分した値のうちのいずれかの組合せにて、異種もしくは異物であると判定する。

[0053] なお、標本に異種もしくは異物が含まれているか否かの判定は、分光スペクトルを求めることなしに、検出された電気信号から直接求めることも可能である。この場合の標本検査装置の構成は、 30ギガへルツから 5テラへルツの周波数のテラへルツ波を発生するテラへルツ波発生部としてのテラへルツ光放射装置と、当該発生した光を被検査物である標本へと先導するための光学系と、前記標本を透過または反射したテラへルツ出力波を電気信号として検出する検出部と、前記検出部により検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを解析し判定する判定部とから構成される。ここで、時系列波形とは、テラへルツ波の電場強度の時間変化を測定したものをいう。

[0054] 上記判定は、前記検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形との波形形状のパターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを解析し判定する処理を含む。

[0055] 以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。

[0056] (第 1実施形態）

図 1は、本発明の第 1実施形態に係る薬剤検查装置の構成を示す図であり、テラへルツ時間領域分光方式を用いた透過式による例である。

[0057] フェムト秒光を発生するフェムト秒レーザユニット 11は、フェムト秒レーザ発振器 11 — 1と、フェムト秒レーザコントローラー 11— 2と、チラ一 11— 3とから構成される。レーザコントロール用コンピュータ 10は、フェムト秒レーザユニット 11の動作を制御する。ビームスプリッタ 12は、フェムト秒レーザ発振器 11— 1からのフェムト秒レーザ光を 2 つに分離する。ミラー等の光学素子 13， 14_ 1は、分離されたフェムト秒レーザ光の一方をテラへルツ波放射ユニット 14へと導く。テラへルツ波放射ユニット 14は、フヱムト秒レーザ光に基づいてテラへルツ波を発生する発振部 14— 2と、発振部 14— 2からのテラへルツ波を出力部に導くための光学素子 14— 3を備える。テラへルツ波検出ユニット 16は、薬剤送り装置 15により搬送される薬剤を透過したテラへルツ波を検出して電気信号に変換する検出部 16— 4と、前記テラへルツ波を検出部 16— 4に導くための光学素子 16— 1とを備える。テラへルツ波放射ユニット 14と、テラへルツ波検出ユニット 16とは光学システム 22内に配置されている。 121で示す点線部は、集光光束部であり、テラへルツ波がテラへルツ波放射ユニット 14から出力された後、テラヘルツ波の光線は、薬剤上で集光されることを示している。テラへルツ波の光線を集光することにより、強度のテラへルツ波を放射することが可能となる。

[0058] ビームスプリッタ 12で分離されたフェムト秒レーザ光の他方は光学遅延素子 217に入射されて遅延される。ミラー等の光学素子 18は遅延されたフェムト秒レーザ光をテラヘルツ波検出ユニット 16の検出部 16— 4に導くためのものである。この分離されたフェムト秒レーザ光は、プローブ光と呼ばれ、光学遅延ユニット 217によって光路長を変化させてテラへルツ波検出ユニット 16に到達するタイミングをずらしながら、テラへルツ波の電場強度の時間変化を測定するために用いられるものである。

[0059] なお、光学遅延ユニット 217は、タイミング調整を行うことができれば、他のもので代用してもよい。

[0060] 電子回路 19は、クロック読取回路 19一 1と、駆動制御回路 19一 2と、検出信号系回路 19一 3と、変調回路 19— 4とを備える。クロック読取回路 19— 1はオペレーション用コンピュータ 20からのクロック信号を読み取る。駆動制御回路 19— 2は光学遅延ユニット 217の可動鏡を駆動する。検出信号系回路 19 _ 3は検出部 16 _4で検出された電気信号に対して必要な処理を行う部分である。変調回路 19 4は発振部 1 4 2の動作を制御する。

[0061] オペレーション用コンピュータ 20は、電子回路 19で処理されたテラへルツ波の電場強度の時間変化を測定し、フーリエ変換によって分光スぺ外ルを得て、薬剤送り装置 200により送られる薬剤に異種の薬剤が存在するか否力、を判定する。

[0062] 図 8は、図 1に示す薬剤検查装置の変形例を示す図であり、テラへルツ波がテラへルツ波放射ユニット 14から出力された後、テラへルツ波検出ユニット 16に至るまで平行光束となるよう構成してレ、る。 21は平行光束部である。

[0063] 図 2Aに示すように、集光光束を用いると 1点にテラへルツ波が集中する力例えば、図 3Aに示すように薬剤が糖衣錠である場合に、薬剤全体に異物の薬物成分が含まれているか否か、成分を検出することが難しい場合がある。また、包装された薬剤は図 2Bに示すように、包装内で傾きが生じることがある力 S、図 3Bに示すように薬剤の中央部は厚みが厚ぐ周辺部は厚みが薄い場合、この傾き具合によって、検出値が変わってしまい、異種の薬剤 ·薬物が含まれているか否か、成分を検出することが難しい場合がある。

[0064] このような場合に、図 4A乃至図 4Cに示すような平行光束を用いることにより、薬剤の傾きを考慮せずに、薬剤全体をテラへルツ波の放射対象とすることができ、また、平行光束を用いることにより、図 5に示すように、複数の薬剤に同時にテラへルツ波の光線を放射することができる。さらに、この平行光束を図 6B、図 7Aに示すように、複数の薬剤を串刺しする様にテラへルツ波の光線を真横から放射透過することによつて、図 6Aと同じテラへルツ波放射ユニットであっても、同時に広い範囲にわたって配置された複数の薬剤を検查することができる。これにより、テラへルツ波放射ュニット、テラへルツ波検出ユニットを複数台設置することなぐ大量の薬剤の検査が高速に実現できる。なお、図 6Cは図 6Aに示す構成の変形例であり、複数の薬剤 30を上方から照射する場合の構成を示している。また、図 7Bはアルミシートを含まない測定状態を示している。

[0065] 図 19は、図 8の構成の変形例を示す図である。図 8の構成は一列に配置された複数の薬剤を検查する 1チャネル用の薬剤検查システムである力多数の薬剤の検查を高速に行うために、実際には複数列に配置された薬剤を同時に計測することが望ましレ、。図 19は、マルチチャネル用の薬剤検査システムの構成を示す図である。ここでは図 19に示すように、テラへルツ波放射ユニット 14は、発振部 14— 2からのテラへルツ波を、薬剤送り装置 200の搬送部に配置された複数列の薬剤 30に導くために、行列状に配置された複数の光学素子 14— 3、 14-4,…： 14— Nを備えている。また、これに対応して、テラへルツ波検出ユニット 16は、複数列の薬剤 30を透過したテラヘルツ波を検出部 16— 4に導くために、行列状に配置された複数の光学素子 16— 1、 16 - 5, ' 16— Nを備えている。また、光学遅延ユニット 217で遅延されたフエムト秒レーザ光を検出部 16— 4に導くために光学素子 18、 16— 3が設けられている。

[0066] 図 20は、図 1または図 8の構成の他の変形例を示す図である。図 1または図 8の構成では、ビームスプリッタ 12により分離されたレーザ光はミラー等の光学素子 13, 14 _ 1により発振部 14— 2に導かれるようになつている。また、光学遅延ユニット 217で遅延されたレーザ光はミラー等の光学素子 18により検出部 16— 4に導かれるようになっている。これに対して図 20の構成では、光学素子 13, 14- 1 , 18を用いるのではなぐビームスプリッタ 12と発振部 14— 2間と、光学遅延ユニット 217と検出部 16— 4間のレーザ光の先導をそれぞれ光ファイバ 14—1、 14— 2により行うようにしたことを特徴とする。

[0067] 次に図 9を用いて第 1の実施形態の具体的な処理の流れを説明する。図 9は、本実施形態の薬剤検査装置が適用される PTP (Press Through Package)薬剤包装機 300の構成を示している。図 1および図 8のように透過方式の場合には例えば設置場所 350に設置される。また、反射方式の場合にはアルミ包材などでシールされた以降、例えば設置場所 351、 352に設置される。

[0068] シート供給部 213から供給される包装用シート（以下、単にシートと呼ぶ） 212には凹部 211— 1が一定間隔で二次元的に形成されている。シート 212は薬剤供給部 21 0へと搬送される。薬剤供給部 210は内部に蓄積された各薬剤 211を、順次搬入されてくるシート 212の凹部 211— 1に 1個づっ収納していく。通常 PTP包装機では、シートの幅方向に 20列から 28列の凹部がある。

[0069] 透過式の場合、各凹部 211— 1に薬剤が収納されたシート 212が本実施形態の薬剤検査装置が設置された場所 350まで搬送されると、テラへルツ波放射ユニット 14 力の 30ギガへルツから 5テラへルツの周波数のテラへルツ波により照射される。また、反射式の場合、各凹部 211— 1に薬剤が収納されたシート 212が本実施形態の薬剤検査装置が設置された場所 351まで搬送されると、テラへルツ波放射ユニット 1 4からのテラへルツ波により照射される。この時、搬送される薬剤が一定の位置にくるのと同期し、テラへルツ放射ユニット 14からのテラへルツ波の放射タイミングが決められる。その後、シート 212の凹部 211— 1に収納された薬剤はシート排出部 218を介して PTP包装機 300の外部に排出される。

[0070] そして、該テラへルツ波が薬剤を反射または透過した後のテラへルツ出力波のスぺタトルの特徴量と、予め設定しておいた薬剤の特徴量とを比較し、両者が一致するか否かを判別して、現在包装中の薬剤以外を検知、選別する。このようにして薬剤の全数について非接触で包装直前に異種薬剤 ·薬物の有無を判別することができる。

[0071] ここで特徴量とは、分光スペクトルの強度と、分光スペクトルを一次微分した値と、分光スペクトルを高次微分した値のうちのいずれ力、もしくはこれらの組合せて判断することが望ましい。

[0072] 分光スペクトルの強度、分光スぺクトノレを一次微分した値、分光スペクトルを高次微分した値だけで、異種薬剤 ·薬物の有無の判別ができる場合もあるが、分光スぺタトルの強度だけでは、薬物 aと薬物 bが同じ値になる場合がある。その場合には、たとえば、分光スペクトルを一次微分した値 (傾き）との組み合わせにて判断を行うと、明確に判別できる。

[0073] 同様に、分光スペクトルを一次微分した値 (傾き）だけでは、薬物 cと薬物 dは同じ傾きになる場合がある。その場合には、たとえば、分光スペクトルを高次微分した値との組み合わせにて判断を行うと、明確に判別できる。

[0074] これらの特徴量にて比較判断することにより、より正確に異種薬剤'薬物の有無を判另リすること力 Sできる。

[0075] 以下に、異種薬剤 '薬物の有無を判別するためのアルゴリズムについて説明する。

図 10は、異種薬剤の検查時に実行される異種判別アルゴリズムの概略を示してレ、る。図 10において、図 1に示すような電気信号がコンピュータ 20にデータとして入力される（ステップ Sl)。横軸は遅延時間であり、縦軸は電界強度である。次に入力されたテラへルツ信号に対して離散フーリエ変換により透過光のスペクトルを算出する (ステツプ S2)。図 11はこのような透過光の電界強度のスペクトルを示している。横軸は波数 kであり、縦軸は電界強度である。

入力されたテラへルツ信号を E(t)、透過光のスペクトルを I(k)で表すと、透過光のスペクトル I (k)は以下の式から求めることができる。

[数 1]

X (k) = ∑ [I (t) -exp ( { -2πι^) · (t一 1) Oc— 1) ) ]

I Ct) = (1/N) ∑ [X (k) -exp ( ( +2πϊ 5) - (t~l) (k— 1) ) ]

E (k) = (X (k) ·Χ* (k) /N²) ^1/2

[0077] 次に、得られた透過光のスペクトルに対して各種の前処理を行う（ステップ S3)。まず、リファレンス（基準）の透過光のスペクトル Iref(k)と、測定した薬剤の透過光のスぺクトル I(k)とから、以下の式により透過スペクトル T(k)と、吸光度スペクトル A (k)とを求める。

[0078] T(k) =I(k)/lref (k)

A(k) = (-loglO(T(k)2 ))

図 12は、吸光度スぺクトノレ A (k)の一例を示している。

[0079] 次に、求めた吸光度スペクトル A (k)からノイズを除去するために以下の手順にしたがってスムージング処理を行う。

[数 2]

A(k) ：吸光度スぺクトル

ρ{1) ：重み係数

[0080] 重み係数は、事前に固定値として設定してもよぐ A(k)から、動的に求めても良い。

[数 3]

A _M( k ) = b n 、 N_s_M：スム一ジングパラメータ

[0081] 注目するスぺタトノレの特徴を残し、ノイズを低減するように重み係数 p(l) を調整する

[0082] 次に、求めた透過光のスペクトル I (k)の波形のへこみを検出するために、透過光のスペクトル I (k)をスムージングして、その包絡曲線 Irefenv (k)を算出する。次に、吸光度差分スペクトル Dl (k)〜Dn (k)を求める。

[0083] ここでの前処理ではさらに、水蒸気の影響を除去する処理を行う。テラへルツ領域のスペクトルには、大気中の水蒸気による吸収ピークが多数出現する。そこで透過度スペクトル及び吸光度スペクトルをスムージングして特徴量を算出する際に水蒸気の影響を除去する必要がある。

[0084] 図 14にイメージを示すとおり、ここでは基準となる透過光のスペクトルに現れる水蒸気の吸収ピークを用い、波数ごとの重み係数を算出する。後の透過度スペクトル、吸光度スペクトルのスムージングを行う際に、この重み係数を用いることにより水蒸気吸収の影響を回避する。

[0085] (1)包絡線の計算

リファレンスの透過光のスペクトル Iref(k)を包絡線で結んだ曲線 Irefenv(k)を生成する。

[0086] i) Irefenv(k) = Iref(k) {k= l、 2、 - - -、N} (初期値代入)

ii) Irei(k)と Ire k+n)を結ぶ直線を求める。 {n= l、 2、■·■、 Nenv }

y (x)

(Iref(k + n)-Iref(k)) +Irei(k)

nulrefenv(k + x) = Max (Irefenv(k + x)、 y (x) )

iv) k= l〜（N_Nenv )について ii)、 iii)の計算を繰り返す。

[0087] v) Irefenv(k) = Irefenv(N - Nenv ) {k = N_Nenv + 1〜N}

Nenv：包絡線パラメータ (2)重み係数の計算

重み係数を以下の式により算出する。

[数 4]

W (k) = CE_refenv(_k)/_Erefenv(_k)) w

Nw：重み係数パラメ一タ

[0088] W (k) = (Irefenv(k)/Irefenv(k)) Nw

Nw:重み係数パラメータ

次に、以上の方法により求めた透過スペクトル T(k)、吸光度スペクトル A (k)、吸光度スムージングスペクトル ASM (k)、重み係数 Wl (k)〜Wn (k)、吸光度差分スぺタトル Dl (k)〜Dn (k)から特徴量の抽出を行う（ステップ S4)。

[0089] 図 15は吸光度スペクトル A (k)の一例を示している。この波形から特徴量として吸収ピーク値（0次微分）、吸光度スペクトルの傾き（一次微分）、曲率（高次微分)などを求めることができる。図 15は 6種類の薬剤につレ、ての波形を示してレ、る。

[数 5] (り (/) ：重み係数（ 1次微分）

Nz

D₂(k)= q,{k)»A{k + l) I ∑^( ?( ：重み係数（2次微分)

Ι=-Ν2 ϊ=-Νι

?«() ：重み係数（n次微分）

[数 6] WsM(k)~min ^V{k + /) | / = -NSM ~ NSM}

Wik) = min{ (A: + ) [i q |>0,/ = -N. ~

W^k) = m{W(k + 1) II q,{l) \> 0,1 =—N、 -

W«{k) = m^ik + /) || q_n{l) \> 0,1 =— N" - N"、計算した分光スぺタトノレの 0次から n次微分までの値を以下の分光スぺクトノレベクトル [S]で表す。

[数 7]

[数 8] 重み係数についても次のように重み係数行歹と表す。

0 0 0 ... 0 0 ... 0

0 0

0 0 Wm(N) 0

0 0 ...

0 0 i(N) 0

... 0 0

0 W_n(l) 0

0 0

0 0 0 0 ... 0 ... 0 0 W«(N) さらに特徴量を求めるために重み係数行歹 1J[R]を導入する。

[数 9] ：重み係数

M = (« + 1)*N:分光スぺクトル

ベタトルの次元数

特徴量の数

[0092] 求める特徴量の組をベクトル [F]とする。

[数 10]

特徴量べクトル

[0093] 特徴量は次式で算出することができる _c

[数 11]

[ [ ]·[[ > s]' [0094] 上記計算によれば、特定の波数における吸光度スペクトルの傾きや曲率といった幾何学的パラメータを特徴量として求めることができる。

[0095] また重みベクトル [W]を導入したことにより、水蒸気による吸収の影響を排除している

[0096] 以上の特徴量を用いたパターン認識アルゴリズム、たとえば、主成分分析 'KL展開、カーネル法 (サポートベクタマシン)、部分空間法'複合類似度法、 k_NN法 (k—最近傍識別法）、決定木による方法（decision tree)等により、容易に、非検查対象物に異種薬剤が含まれているか否力、を判定することができる。

[0097] 図 17は、予め作成された教師データ（学習データ）からパラメータを生成する異種学習アルゴリズムの概略を示している。異種学習アルゴリズムは、図 10の異種判別ァルゴリズムの異種判別（ステップ S6)の代わりに、学習処理 (ステップ S6')を行うようになっている。

[0098] 上記した実施形態によれば、異種の薬剤 ·薬物を確実に検出することができる。また、異種薬剤'薬物の混入を正確に判別できるので、製薬業界にとっては、患者に対する PL上のリスクを極めて低くすることが可能になる。

[0099] また、同時に同一薬剤であっても、全数の成分を一定許容された範囲内になっていることを生産の最終工程で確認できるため、高い品質を維持できる。

[0100] なお、本実施例では、前処理において水蒸気による吸収ピークを数値演算にて水蒸気の影響を除去する方法について説明したが、他の実施例として、図 18に示すように、分解を変えて検出すること、また、数値演算とともに分解を変えて検出することも可能である。この場合、水蒸気の吸収スペクトルは、障害であるから、この影響を効率よく除去するためには、スペクトル分解をたとえば水蒸気の吸収スペクトル幅よりも狭いスペクトル分解とする力、、もしくは、水蒸気の吸収スペクトル幅よりも低いスぺタトル分解とするとよい。

[0101] (第 2実施形態）

第 2の実施形態に係る標本検査装置および方法は、第 1の実施形態同様、図 1、図 8 、図 19、図 20、図 4乃至図 7の薬剤検查装置を用いて検查を行うものであるが、第 1 の実施形態に係る標本検查装置および方法とは異なり、テラへルツ出力波の時系列波形の形状に着目し、この時系列波形の形状の相違から、標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを判定する。第 2の実施形態における図 1、図 2のオペレーション用コンピュータ 20は、電子回路 19で処理された時系列波形を得て、薬剤送り装置 200により送られる薬剤に異種の薬剤が存在するか否力、を判定する。

[0102] テラへルツ出力波の時系列波形とは、たとえば、図 21に示すものであり、同一成分を有する薬剤を、同一条件の下で測定した時系列波形は、同一の形状となる。よって、予めこの図 21にかかる薬剤の時系列波形を設定しておき、この設定された時系列波形と、薬剤送り装置 200により送られる薬剤の時系列波形を比較すると、この薬剤に異種もしくは異物が含まれていない場合には、図 21と同じ形状の時系列波形となるが、異種もしくは異物が含まれている場合には、図 22のように異なる形状の時系列波形 (一点鎖線で示す波形）となる。

[0103] 図 21、図 22は大気中の水蒸気による影響が存在しない例で説明したが、大気中の水蒸気が影響する場合には図 23のように、 2つの時系列波形 (実線 (薬剤 A)及び一点鎖線 (薬剤 B)で示す波形）の形状の相違が不明確な場合がある。このために、時系列波形が同一形状か否かを判定するためには、たとえば、 MTS (Mahalanobi s -Taguchi System)法等の解析手法を用いることにより、微小な相違であっても解析し、判定することができる。 MTS法とは、あらかじめ、基準となるパターンをコンビユータに与え、対象となるパターンが基準に対してどれくらい似ているかを、マハラノビス距離で表し判定するものである。具体的には、その特徴量の統計的分布からその期待値と分布のデータを基礎とし、全ての特徴量がその期待値から分布で考えられる範囲に存在すれば同じものであると判断することができるため、この解析手法を用いて、予め設定した薬剤の時系列波形と、薬剤送り装置 200により送られる薬剤の時系列波形の形状をパターン認識にて解析し判定する。なお、解析手法については、 MTS法に限らず、他の解析方法を用いても力、まわない。

[0104] 次に図 9を用いて、第 1の実施形態と異なる部分を中心に、第 2の実施形態の具体的な処理の流れを説明する。

[0105] 透過式の場合、図 9の各凹部 211— 1に薬剤が収納されたシート 212が本実施形態の薬剤検査装置が設置された場所 350まで搬送されると、テラへルツ波放射ユニット 14からの 30ギガへルツから 5テラへルツの周波数のテラへルツ波により照射される。また、反射式の場合、各凹部 211— 1に薬剤が収納されたシート 212が本実施形態の薬剤検査装置が設置された場所 351まで搬送されると、テラへルツ波放射ユニット 14からのテラへルツ波により照射される。この時、搬送される薬剤が一定の位置にくるのと同期し、テラへルツ放射ユニット 14からのテラへルツ波の放射タイミングが決められる。その後、シート 212の凹部 211— 1に収納された薬剤はシート排出部 218を介して PTP包装機 300の外部に排出される。

[0106] そして、該テラへルツ波が薬剤を反射または透過した後のテラへルツ出力波の時系列波形と、予め設定しておいた薬剤の時系列波形とを両者の波形の形状が一致するか否か MTS法等の解析手法を用いてパターン認識にて解析判定し、現在包装中の薬剤以外を検知、選別する。このようにして薬剤の全数について非接触で包装直前に異種薬剤'薬物の有無を判別することができる。

[0107] 上記した実施形態によれば、異種の薬剤 ·薬物を確実に検出することができる。また、異種薬剤 ·薬物の混入を正確に判別できるので、製薬業界にとっては、患者に対する PL上のリスクを極めて低くすることが可能になる。

[0108] また、同時に同一薬剤であっても、全数の成分を一定許容された範囲内になっていることを生産の最終工程で確認できるため、高い品質を維持できる。

産業上の利用分野

[0109] 本発明によれば、同一の標本の中に異種もしくは異物が含まれていることを確実に検出することができるようになる。

Claims

請求の範囲

[1] テラへルツ波の光線を発生するテラへルツ波発生部と、

前記テラへルツ波発生部により発生されたテラへルツ波を被検查物としての標本へと先導する光学系と、

前記標本を透過または反射したテラへルツ出力波を電気信号として検出する検出部と、

前記検出部により検出された電気信号から分光スペクトルを求め、該分光スぺタトルと、予め求められた前記標本に特有の成分による分光スペクトル (指紋スペクトル）とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを判定する判定部と、

を具備する標本検査装置。

[2] 前記判定部は、前記求めた分光スペクトル (指紋スペクトル)力抽出した特徴量と、前記予め求められた分光スペクトル (指紋スペクトル)から抽出した特徴量とを比較し

、該比較結果に基づいて前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力を判定する請求項 1記載の標本検査装置。

[3] 前記特徴量とは、分光スペクトルの強度と、分光スペクトルを一次微分した値と、分光スペクトルを高次微分した値のいずれ力、 1つもしくはこれらの組合せによるものである請求項 2に記載の標本検査装置。

[4] 前記判定部は、前記求めた分光スペクトル (指紋スペクトル）と、予め求めた分光スぺタトル (指紋スペクトル）とをパターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力、を判定する請求項 1記載の標本検査装置。

[5] 前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束を前記標本へと先導する請求項 1乃至 4のいずれか 1つに記載の標本検査装置。

[6] 前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する請求項 1乃至 4のいずれか 1つに記載の標本検査装置。

[7] 前記テラへルツ波発生部は、複数の標本を串刺しする様にテラへルツ波の光線を真横から照射透過する請求項 6に記載の標本検査装置。

[8] 前記検出部は、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも狭レ、スペクトル分解で検出する請求項 1乃至 7のいずれか 1つに記載の標本検査装置。

[9] 前記検出部は、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも広レ、スペクトル分解で検出する請求項 1乃至 7のいずれか 1つに記載の標本検查装置。

[10] 前記判定部は、前記特徴量の算出時に、前記求めた分光スペクトルから水蒸気による吸収ピークの影響を除去する請求項 2、請求項 3、請求項 5乃至 9のいずれか 1つに記載の標本検査装置。

[11] 前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される請求項 1乃至 10のいずれか

1つに記載の標本検査装置。

[12] テラへルツ波発生部によりテラへルツ波の光線を発生するステップと、

前記テラへルツ波発生部により発生されたテラへルツ出力波を光学系によって被検査物としての標本へと先導する先導ステップと、

前記被検査物を透過または反射したテラへルツ波を検出部によって電気信号として検出する検出ステップと、

判定部によって、前記検出部により検出された電気信号から分光スペクトルを求め

、該分光スペクトルと、予め求められた前記標本に特有の成分による分光スペクトル（指紋スペクトル）とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを判定する判定ステップと、

を具備する標本検査方法。

[13] 前記判定ステップは、前記求めた分光スペクトル (指紋スペクトル)力抽出した特徴量と、前記予め求められた分光スペクトル (指紋スペクトル)から抽出した特徴量とを比較し、該比較結果に基づいて前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを判定する請求項 12記載の標本検査方法。

[14] 前記特徴量とは、分光スペクトルの強度と、分光スペクトルを一次微分した値と、分光スペクトルを高次微分した値とのいずれかひとつもしくはこれらの組合せによる請求項 12に記載の標本検查方法。

[15] 前記判定ステップは、前記求めた分光スペクトルと、予め求めた分光スペクトルとをパターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを判定する請求項 12記載の標本検査方法。

[16] 前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束として前記標本へと先導する請求項 12乃至 15のいずれか 1 つに記載の標本検査方法。

[17] 前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する請求項 12乃至 15のいずれか 1 つに記載の標本検査方法。

[18] 前記テラへルツ波発生ステップは、複数の標本を串刺しする様にテラへルツ波の光線を真横から照射透過する請求項 17に記載の標本検查方法。

[19] 前記検出ステップは、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも狭レ、スペクトル分解で検出する請求項 12乃至 18のいずれか 1つに記載の標本検查方法。

[20] 前記検出ステップは、空気中の水蒸気の吸収スペクトルよりも広いスペクトル分解で検出する請求項 12乃至 18のいずれか 1つに記載の標本検査方法。

[21] 前記判定ステップは、前記特徴量の算出時に、前記求めた分光スペクトルから水蒸気による吸収ピークの影響を除去する請求項 13、請求項 14、請求項 16乃至 20のいずれか 1つに記載の標本検査方法。

[22] 前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される請求項 12乃至 21のいずれ力 1つに記載の標本検査方法。

[23] 前記光学系は、前記テラへルツ波の光線を複数列に配置された標本に先導するために、行列状に配置された複数の光学素子からなる請求項 5または請求項 6に記載の標本検査装置。

[24] テラへルツ波の光線を発生するテラへルツ波発生部と、

前記検出部により検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを解析し判定する判定部と、

を具備する標本検査装置。

[25] 前記判定部は、前記検出部により検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形との波形形状のパターン認識によつて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力 ^解析し判定する請求項 24 に記載の標本検査装置。

[26] 前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束を前記標本へと先導する請求項 24又は請求項 25に記載の標本検査装置。

[27] 前記テラへルツ波発生部は、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する請求項 24又は請求項 25に記載の標本検査装置。

[28] 前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される請求項 24又は請求項 25に記載の標本検査装置。

[29] テラへルツ波発生部によりテラへルツ波の光線を発生するステップと、

判定部によって、前記検出部により検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形とに基づいて、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否かを解析し判定する判定ステップと、

を具備する標本検査方法。

[30] 前記判定ステップは、前記検出ステップにより検出された電気信号の時系列波形と、予め求められた前記標本に特有の成分を示す時系列波形との波形形状のパターン認識によって、前記標本に異種もしくは異物が含まれているか否力、を解析し判定する請求項 29に記載の標本検查方法。

[31] 前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を集光光束として発生し、前記光学系は、集光光束として前記標本へと先導する請求項 29又は請求項 30に記載の標本検査方法。

[32] 前記テラへルツ波発生ステップは、テラへルツ波の光線を平行光束として発生し、前記光学系は、平行光束のまま前記標本へと先導する請求項 29又は請求項 30に記載の標本検查方法。

[33] 前記標本は、搬送ユニットにより一定方向に移動される請求項 29又は請求項 30に記載の標本検査方法。