WO2008023566A1 - Angular velocity sensor - Google Patents

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WO2008023566A1
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arm
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Jirou Terada
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Panasonic Holdings Corp
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Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion

Definitions

  • the present invention relates to an angular velocity sensor that detects angular velocities used in various electronic devices such as attitude control and navigation of moving bodies such as airplanes, automobiles, robots, ships, and vehicles.
  • Conventional angular velocity sensors detect angular velocity by vibrating detection elements of various shapes such as sound shape, H shape, T shape, etc., and electrically detecting distortion of the detection elements due to the occurrence of Coriolica. To do.
  • the angular velocity sensor for the navigation device uses the vehicle around the X axis. And it is necessary to detect the angular velocity around the z axis.
  • a plurality of angular velocity sensors have been used so as to correspond to the number of detection axes. Also, in order to detect the angular velocity around the z-axis, a detection element was installed upright on the XY plane.
  • Patent Document 1 is known as prior art document information related to the invention of this application.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2001-208546
  • the present invention solves the above problems, and when detecting angular velocities of a plurality of detection axes, it is not necessary to secure a mounting area for mounting a plurality of detection elements and a plurality of angular velocity sensors.
  • An angular velocity sensor that can reduce the size of various electronic devices is provided.
  • the present invention inputs two drive signals to the drive unit in the drive circuit unit, and the first differential signal based on the two sense signals output from the first sensing unit in the detection circuit unit. Outputs a second differential signal based on the two sensing signals output from the second sensor, and outputs a first addition signal based on the two sensing signals output from the first sensor.
  • the second addition signal is output based on the two sensing signals output from the second sensing unit, the addition signal based on the first differential signal and the second differential signal, and the first addition signal and the second addition signal.
  • the angular velocity is detected from a differential signal based on the signal.
  • the first differential signal is detected when the angular velocity around the Z axis is detected and when the angular velocity around the X axis is detected in the X, Y, and Z axes that are substantially orthogonal to each other. Since the value of the summed signal based on the second differential signal and the value of the differential signal based on the first summed signal and the second summed signal are different from each other, the angular velocity around the two sensing axes is detected by one sensing element. it can.
  • FIG. 1 is a perspective view of a detection element of an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an operation state diagram of the detection element of the angular velocity sensor.
  • FIG. 3 is a circuit block diagram of the angular velocity sensor.
  • FIG. 4 is a characteristic waveform diagram at each signal point when no angular velocity occurs.
  • FIG. 5 is a characteristic waveform diagram at each signal point when an angular velocity occurs around the Z axis.
  • FIG. 6 is a characteristic waveform diagram at each signal point when an angular velocity occurs around the Y axis.
  • FIG. 7 is a characteristic waveform diagram at each signal point for two fault diagnosis signals having opposite phases.
  • FIG. 8 is a characteristic waveform diagram at each signal point for two fault diagnosis signals having the same phase.
  • FIG. 9 is a perspective view of a detection element of an angular velocity sensor according to another embodiment of the present invention.
  • Fig. 10 is a circuit block diagram of the angular velocity sensor.
  • FIG. 1 is a perspective view of a detection element of an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention.
  • an angular velocity sensor includes a detection element 1 that detects an angular velocity.
  • This detection element 1 has two orthogonal arms formed by connecting the first arm 2 to the second arm 4 in a substantially orthogonal direction, and includes a support portion 6 that supports the two first arms 2, and a support portion 6 And two fixing arms 8 for fixing one end to a mounting board (not shown).
  • the fixing arm 8 is an orthogonal arm formed by connecting the first arm 2 and the third arm 10 in a substantially orthogonal direction, and the mounting substrate is formed by fixing portions 9 formed at both ends of the third arm 10. It is fixed to. Further, the second arm 4 is bent to be provided with a facing portion 16 facing the second arm 4 itself, and a weight portion 11 is connected to the tip thereof.
  • the first arm 2 of the fixing arm 8 and the support portion 6 are arranged on substantially the same straight line, and the first arm 2 is perpendicular to the X axis, the Y axis, and the Z axis.
  • second arm 4 is placed in the Y-axis direction.
  • one of the opposing portions 16 of the two second arms 4 facing each other has a driving portion 17 for driving and vibrating the weight portion 11.
  • a detector 18 for detecting the driving state is provided.
  • the first sensor 19 and the second sensor 20 that detect the distortion of the second arm 4 are provided in the opposing part 16 of the two second arms 4 on the other side (the lower side in FIG. 1). ing.
  • the drive unit 17 is an electrode unit for driving the weight unit 11 of the second arm 4, and the detection unit 18 is an electrode unit for detecting the drive state of the second arm 4. Then, the first and second drive electrode portions 17a and 17b are disposed opposite to one second arm 4, and the first and second detection electrode portions 18a and 18b are disposed opposite to the other second arm 4. The drive unit 17 and the detection unit 18 are formed.
  • the first and second drive electrode portions 17a and 17b and the first and second detection electrode portions 18a and 18b are composed of a lower electrode and an upper electrode with a piezoelectric body interposed therebetween.
  • the first sensing unit 19 and the second sensing unit 20 are electrode units for sensing the distortion of the two second arms 4, and the first and second sensing electrode units 19a are connected to one second arm 4.
  • 19b are arranged opposite to each other, and the third and fourth sensing electrode portions 20a, 20b are arranged opposite to the other second arm 4 to form the first sensing portion 19 and the second sensing portion 20.
  • These first to fourth sensing electrode portions 19a, 19b, 20a, and 20b are composed of a lower electrode and an upper electrode with a piezoelectric body interposed therebetween.
  • the first and second drive electrode portions 17a and 17b and the first and second detection electrode portions 18a and 18b and the first to fourth detection electrode portions 19a, 19b, 20a and 20b are formed on a silicon substrate.
  • a platinum (Pt) force is formed on the lower electrode by high frequency sputtering, and a lead zirconate titanate (PZT) piezoelectric material is formed on the lower electrode by high frequency sputtering.
  • An upper electrode made of gold (Au) may be formed by vapor deposition.
  • the second arm 4 When an AC voltage having a resonance frequency is applied to the first and second drive electrode portions 17a and 17b, the second arm 4 is driven to vibrate from the opposing portion 16 where the drive portion 17 is disposed. Along with this, all of the four second arms 4 and the four weight portions 11 are driven and vibrated in synchronization. If the second arm 4 is distorted due to the angular velocity, voltages corresponding to the distortion are output from the first to fourth sensing electrode portions 19a, 19b, 20a, 20b, and the angular velocity can be detected based on this output voltage. .
  • FIG. 2 is an operation state diagram of the detection element 1.
  • the first arm 2 of the detection element 1 is arranged in the X-axis direction and the second arm 4 is arranged in the Y-axis direction on the X-axis, Y-axis, and Z-axis that are orthogonal or substantially orthogonal to each other, 1.
  • the second arm 4 is driven to vibrate from the opposing portion 16 of the second arm 4 where the drive portion 17 is disposed.
  • the weight 11 also faces the second arm 4 in the facing direction (the X-axis direction in which the second arm 4 itself and the facing portion 16 face each other, and the driving vibration direction indicated by the solid line arrow and the dotted line arrow). Vibrates.
  • all of the four second arms 4 and the four weight portions 11 are synchronized to drive and vibrate in the opposite direction of the second arm 4.
  • the driving vibration direction in the detection element 1 is the X-axis direction.
  • the second arm 4 is provided with the first to fourth sensing electrode portions 19a, 19b, 20a, 20b.
  • the sensing electrode part 19a and the third sensing electrode part 20a sense the contraction of the facing part 16 of the second arm 4, and the second sensing electrode part 19b and the fourth sensing electrode part 20b are facing parts of the second arm 4.
  • the first sensing electrode unit 19a, the third sensing electrode unit 20a, the second sensing electrode unit 19b, and the fourth sensing electrode unit 2 Ob are reversed. Senses direction expansion and contraction.
  • the first to fourth sensing electrode portions 19a, 19b, 20a, 20b and the like are output, and the angular velocity is detected based on the output voltage.
  • first and second drive electrode portions 17a and 17b and the first and second detection electrode portions 18a and 18b are provided for distortion generated when an angular velocity occurs around the Z axis and the Y axis.
  • the first to fourth sensing electrode portions 19a, 19b, 20a and 20b are connected to the second arm 4 provided with the first and second drive electrode portions 17a and 17b and the first and second detection electrode portions 18a and 18b. It is also possible to arrange them in
  • FIG. 3 is a circuit block diagram of the angular velocity sensor.
  • the drive unit 17 and the detection unit 18 disposed on the two second arms 4 facing each other are the drive circuit unit 21.
  • the first sensing unit 19 and the second sensing unit 20 arranged on the two second arms 4 on the other side are connected to the detection circuit unit 25.
  • the two sensing signals output from the first sensing electrode unit 19a and the second sensing electrode unit 19b as the first sensing unit 19 are respectively amplified by the amplifiers 12 and 13, and based on these two sensing signals.
  • the first differential signal (signal point e) is output by the subtractor 30.
  • the two sense signals amplified by the amplifiers 12 and 13 are branched, and the first adder signal (signal point g) is output by the adder 32 based on the two branched sense signals.
  • the two sensing signals output from the third sensing electrode unit 20a and the fourth sensing electrode unit 20b as the second sensing unit 20 are amplified by the amplifiers 14 and 15, respectively, and are based on these two sensing signals.
  • the subtractor 34 outputs the second differential signal (signal point f).
  • the two sense signals amplified by the amplifiers 14 and 15 are branched, and the adder 36 outputs a second addition signal (signal point h) based on the two sense signals branched.
  • the adder 38 Based on the first differential signal output from the subtractor 30 and the second differential signal output from the subtractor 34, the adder 38 outputs an addition signal (signal point i). . At the same time, the subtracter 40 outputs a subtraction signal (signal point j) based on the first addition signal output from the adder 32 and the second calorie calculation signal output from the adder 36.
  • the addition signal and the subtraction signal are detected by the detection circuit units 42 and 44, respectively, and the first angular velocity signal and the second angular velocity signal are detected via the low-pass filter units 46 and 48, respectively.
  • the characteristic waveforms at the signal points a to j of the detection circuit unit 25 in the operating state of the detection element 1 are as shown in FIGS.
  • Fig. 4 is a characteristic waveform diagram at each signal point when no angular velocity occurs
  • Fig. 5 is a characteristic waveform diagram at each signal point when angular velocity occurs around the Z axis
  • Fig. 6 is an angular velocity around the Y axis.
  • FIG. 6 is a characteristic waveform diagram at each signal point when the error occurs.
  • Figs. 5 and 6 are characteristic waveform diagrams in which only the Coriolis component is extracted.
  • the value of the sum signal based on the signal and the second differential signal (characteristic waveform at signal point i) is different from the value of the differential signal based on the first sum signal and the second sum signal (characteristic waveform at signal point j). Because it is different, the angular velocity around the two detection axes can be detected by one detection element.
  • the value of the addition signal (characteristic waveform at signal point i) based on the first differential signal and the second differential signal, the first addition signal, and the second addition signal Since the differential signal value (characteristic waveform at signal point j) is not output together, it can be compared with the case where angular velocity is generated.
  • the value of the added signal (signal point i) based on the first differential signal and the second differential signal and the differential signal (signal point j) based on the first added signal and the second added signal If the values are different from each other and have a specific ratio relationship, the same effect can be obtained by converting this ratio. [0049] Therefore, when detecting angular velocities of a plurality of detection axes, it is not necessary to secure a mounting area for mounting a plurality of detection elements or a plurality of angular velocity sensors. It is possible to reduce the size of various electronic devices by securing the area.
  • the drive circuit unit 21 sends two fault diagnosis signals having the same phase or opposite phases from the fault diagnosis signal oscillator 50 to the first, It inputs into the 2nd drive electrode part 17a, 17b.
  • the detection circuit unit 25 compares whether the signal output from the addition signal and the differential signal matches the signal output when the angular velocity is generated. If the signals match, a pseudo angular velocity has been detected, and it can be determined that a failure has occurred.
  • the drive signal and the failure diagnosis signal have signal waveforms that are 90 degrees out of phase with each other.
  • the characteristic waveforms at the signal points S 1 and S 2 of the drive circuit unit 21 and the characteristic waveforms at the signal points a to j of the detection circuit unit 25 at the time of failure diagnosis are shown in FIGS. 7 and 8. Become street
  • Fig. 7 is a characteristic waveform diagram at each signal point S1, S2 for two fault diagnosis signals with opposite phases
  • Fig. 8 is each signal point Sl, S for two fault diagnosis signals with the same phase.
  • the first differential signal and the second differential signal are the same as when the angular velocity is generated only around the Z axis.
  • the sum signal value (characteristic waveform at signal point i) based on is output, and the differential signal value (characteristic waveform at signal point j) based on the first sum signal and second sum signal is not output.
  • the first differential signal and the second differential signal are the same as when the angular velocity occurs only around the Y axis.
  • the value of the added signal based on (the characteristic waveform at signal point i) is not output, and the value of the differential signal based on the first added signal and the second added signal (characteristic waveform at signal point j) is output.
  • the first and second drive electrode portions 17a and 17b, the first and second detection electrode portions 18a and 18b, and the first to fourth sensing electrode portions 19a and 19b , 20a, 20b are disposed at the facing portion 16 of the second arm 4, but may be disposed at other than the facing portion 16 of the second arm 4.
  • the first and second drive electrode portions 17a and 17b, the first and second detection electrode portions 18a and 18b, the first to fourth sensing electrodes S3 ⁇ 419a, 19b, 20a, and 20b are connected to four second arms 4 ⁇ .
  • the support may be arranged in a part close to the support or in a part parallel to the first arm 2.
  • FIG. 9 is a perspective view of a detection element of an angular velocity sensor according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a circuit block diagram of the angular velocity sensor.
  • one second arm 4 vibrates starting from a portion close to the support portion 6 side, and all the four second arms 4 and four weight portions 11 are synchronized accordingly. Drive and vibrate.
  • the angular velocity sensor according to the present invention can reduce the size of various electronic devices that do not require a mounting area for mounting a plurality of detection elements and a plurality of angular velocity sensors, and can be applied to various electronic devices. It is.

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Description

明 細 書
角速度センサ
技術分野
[0001] 本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲ ーシヨン等、各種電子機器に用いる角速度を検出する角速度センサに関するもので ある。
背景技術
[0002] 以下、従来の角速度センサについて説明する。
[0003] 従来の角速度センサは、例えば、音さ形状や H形状や T形状等、各種形状の検出 素子を振動させ、コリオリカの発生に伴う検出素子の歪を電気的に検知して角速度 を検出する。
[0004] 例えば、互いに略直交した X軸と Y軸と Z軸において、 X軸と Y軸との XY平面に車 両を配置した場合、ナビゲーシヨン装置用の角速度センサでは、車両の X軸周りや、 z軸周りの角速度を検出する必要がある。
[0005] 従来、複数の検出軸 (X軸、 Y軸、 軸）の角速度を検出する場合は、検出軸の数に 対応するように複数の角速度センサを用いていた。また、 z軸周りの角速度を検出す るためには、 XY平面に対して、検出素子を立設して用いていた。
[0006] なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献 1 が知られている。
[0007] しかしながら、上記構成では、複数の検出軸の角速度を検出する場合、各々の検 出軸に対応させて、複数の検出素子や複数の角速度センサを実装基板に実装する ための実装面積を確保する必要があり、各種電子機器の小型化を図れないという問 題点を有していた。
特許文献 1：特開 2001— 208546号公報
発明の開示
[0008] 本発明は上記問題点を解決し、複数の検出軸の角速度を検出する場合、複数の 検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなぐ 各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供するものである。
[0009] そのために本発明は、特に、駆動回路部では駆動部に 2つの駆動信号を入力し、 検出回路部では第 1感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 1差動信号 を出力し、第 2感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 2差動信号を出 力し、第 1感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 1加算信号を出力し、 第 2感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 2加算信号を出力し、第 1差 動信号と第 2差動信号に基づく加算信号と、第 1加算信号と第 2加算信号に基づく差 動信号から角速度を検出する構成である。
[0010] 上記構成により、互いに略直交した X軸と Y軸と Z軸において、 Z軸周りの角速度を 検出する場合と、 X軸周りの角速度を検出する場合とにおいて、第 1差動信号と第 2 差動信号に基づく加算信号の値と、第 1加算信号と第 2加算信号に基づく差動信号 の値とが互いに異なるので、 1つの検出素子において 2つの検出軸の周りの角速度 を検出できる。
[0011] よって、複数の検出軸の角速度を検出する場合、複数の検出素子や複数の角速 度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなぐ 1つの検出素子を実装 するための実装面積を確保すればよぐ各種電子機器の小型化を図ることができる。 図面の簡単な説明
[0012] [図 1]図 1は本発明の一実施の形態における角速度センサの検出素子の斜視図であ
[図 2]図 2は同角速度センサの検出素子の動作状態図である。
[図 3]図 3は同角速度センサの回路ブロック図である。
[図 4]図 4は角速度が生じていない場合の各信号点における特性波形図である。
[図 5]図 5は Z軸周りに角速度が生じた場合の各信号点における特性波形図である。
[図 6]図 6は Y軸周りに角速度が生じた場合の各信号点における特性波形図である。
[図 7]図 7は互いに逆位相の 2つの故障診断用信号に対する各信号点における特性 波形図である。
[図 8]図 8は互いに同位相の 2つの故障診断用信号に対する各信号点における特性 波形図である。 [図 9]図 9は本発明の他の実施の形態の角速度センサの検出素子の斜視図である。 園 10]図 10は同角速度センサの回路ブロック図である。
符号の説明
1 検出素子
2 第 1アーム
4 第 2アーム
6 支持部
8 固定用アーム
9 固定部
10 第 3アーム
11 錘部
12, 13, 14, 15 増巾 i
16 対向部
17 駆動部
17a 第 1駆動電極部
17b 第 2駆動電極部
18 検知部
18a 第 1検知電極部
18b 第 2検知電極部
19 第 1感知部
19a 第 1感知電極部
19b 第 2感知電極部
20 第 2感知部
20a 第 3感知電極部
20b 第 4感知電極部
21 駆動回路部
25 検出回路部
30, 34, 40 減算器 32, 36, 38 カロ算器
42, 44 検波回路部
46, 48 ローパスフィルタ部
50 故障診断用信号発信器
発明を実施するための最良の形態
[0014] 図 1は、本発明の一実施の形態における角速度センサの、検出素子の斜視図であ
[0015] 図 1において、本発明の一実施の形態における角速度センサは、角速度を検出す る検出素子 1を備える。この検出素子 1は、第 1アーム 2を第 2アーム 4に略直交方向 に連結して形成した 2つの直交アームを有し、 2つの第 1アーム 2を支持する支持部 6 と、支持部 6に一端を連結するとともに他端を実装基板（図示せず）に固定する 2つの 固定用アーム 8とを有する。
[0016] 固定用アーム 8は、第 1アーム 2に第 3アーム 10を略直交方向に連結して形成した 直交アームとするとともに、第 3アーム 10の両端に形成した固定部 9にて実装基板に 固定している。また、第 2アーム 4は折曲して第 2アーム 4自身と対向する対向部 16を 設け、その先端には錘部 11を連結している。
[0017] この検出素子 1は、固定用アーム 8の第 1アーム 2と支持部 6とを略同一直線上に配 置しており、互いに直交した X軸、 Y軸、 Z軸において、第 1アーム 2を X軸方向に配 置した場合、第 2アーム 4が Y軸方向に配置される。
[0018] さらに、 4つの第 2アーム 4の内、互いに対向する一方（図 1の上方）の 2つの第 2ァ ーム 4の対向部 16には、錘部 11を駆動振動させる駆動部 17および駆動状態を検知 させる検知部 18を設ける。また、互いに対向する他方（図 1の下方）の 2つの第 2ァー ム 4の対向部 16には、第 2アーム 4の歪を感知する第 1感知部 19、第 2感知部 20を 設けている。
[0019] この駆動部 17は第 2アーム 4の錘部 11を駆動させるための電極部であり、検知部 1 8は第 2アーム 4の駆動状態を検知するための電極部である。そして、一方の第 2ァ ーム 4に第 1、第 2駆動電極部 17a、 17bを対向配置させ、他方の第 2アーム 4に第 1 、第 2検知電極部 18a、 18bを対向配置させて、駆動部 17と検知部 18を形成してい る。これら第 1、第 2駆動電極部 17a、 17bおよび第 1、第 2検知電極部 18a、 18bは、 圧電体を介在させた下部電極と上部電極とからなる。
[0020] 第 1感知部 19および第 2感知部 20は、 2つの第 2アーム 4の歪を感知させるための 電極部であり、一方の第 2アーム 4に第 1、第 2感知電極部 19a、 19bを対向配置させ 、他方の第 2アーム 4に第 3、第 4感知電極部 20a、 20bを対向配置させて、第 1感知 部 19と第 2感知部 20を形成している。これら第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b、 20a、 20bは、圧電体を介在させた下部電極と上部電極とからなる。
[0021] 上記の第 1、第 2駆動電極部 17a、 17bおよび第 1、第 2検知電極部 18a、 18bおよ び第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b、 20a、 20bは、シリコン基板上に白金（Pt)力、らな る下部電極を高周波スパッタにて形成し、この下部電極の上部にチタン酸ジルコン 酸鉛 (PZT)圧電体を高周波スパッタにて形成し、 PZT圧電体の上部に金 (Au)から なる上部電極を蒸着にて形成すればよい。
[0022] 第 1、第 2駆動電極部 17a、 17bに共振周波数の交流電圧を印加すると、駆動部 1 7が配置された対向部 16を起点に第 2アーム 4が駆動振動する。それに伴って、 4つ の第 2アーム 4および 4つの錘部 11の全てが同調して駆動振動する。また、角速度に 起因して第 2アーム 4が歪めば、第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b、 20a、 20bから歪 に応じた電圧が出力され、この出力電圧に基づき、角速度を検出できる。
[0023] 図 2は同検出素子 1の動作状態図である。
[0024] 互いに直交あるいは略直交した X軸、 Y軸、 Z軸において、検出素子 1の第 1アーム 2を X軸方向に配置して、第 2アーム 4を Y軸方向に配置した場合、第 1、第 2駆動電 極部 17a、 17bに共振周波数の交流電圧を印加すると、駆動部 17が配置された第 2 アーム 4の対向部 16を起点に、第 2アーム 4が駆動振動する。それに伴って、錘部 11 も第 2アーム 4の対向方向（第 2アーム 4自身とその対向部 16が対向する X軸方向で あって、実線の矢印と点線の矢印で記した駆動振動方向）に駆動振動する。また、 4 つの第 2アーム 4および 4つの錘部 11の全てが同調して、第 2アーム 4の対向方向に 駆動振動する。この検出素子 1における駆動振動方向は X軸方向となる。
[0025] このとき、例えば、 Z軸の左回りに角速度が生じた場合は、錘部 11の駆動振動と同 調して、錘部 11に対して駆動振動方向と直交した方向（実線の矢印と点線の矢印で 記したコリオリ方向）にコリオリカが発生するので、第 2アーム 4に Z軸の左回りの角速 度に起因した歪を発生させることができる。この検出素子 1のコリオリ方向は Y軸方向 となる。
[0026] 実線の矢印で記したコリオリ方向にコリオリカが発生した場合は、第 1〜第 4感知電 極部 19a、 19b、 20a, 20bが設けられた第 2アーム 4の対向部 16において、第 1感 知電極部 19aと第 3感知電極部 20aが第 2アーム 4の対向部 16の縮みを感知すると ともに、第 2感知電極部 19bと第 4感知電極部 20bが第 2アーム 4の対向部 16の伸び を感知する。一方、点線の矢印で記したコリオリ方向にコリオリカが発生した場合は、 第 1感知電極部 19a、第 3感知電極部 20a、第 2感知電極部 19b、第 4感知電極部 2 Obは、その逆方向の伸び縮みを感知する。
[0027] そして、感知した伸び縮みに応じて、第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b、 20a、 20b 力、ら電圧が出力され、この出力電圧に基づき角速度が検出される。
[0028] 一方、 Z軸の右回りに角速度が生じた場合は、 Z軸の左回りに角速度が生じた場合 とは正反対に、第 2アーム 4の対向部 16が伸び縮みし、この伸び縮みを第 1〜第 4感 知電極部 19a、 19b、 20a、 20bが感知するので、同様に角速度が検出される。
[0029] また、 Y軸周りに角速度が生じた場合も、錘部 11の駆動振動と同調して、錘部 11に 対して駆動振動方向と直交した方向（Z軸方向）にコリオリカが発生する。従って、第 2アーム 4に Y軸周りの角速度に起因した歪を発生させ、第 2アーム 4の対向部 16の 伸び縮みを、第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b、 20a、 20bが感知することにより、角 速度が検出される。
[0030] なお、 Z軸、 Y軸周りに角速度が生じた場合に発生する歪は、第 1、第 2駆動電極部 17a、 17bおよび第 1、第 2検知電極部 18a、 18bが設けられた第 2アーム 4にも同様 に発生する。従って、第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b, 20a, 20bを、第 1、第 2駆動 電極部 17a、 17bおよび第 1、第 2検知電極部 18a、 18bが設けられた第 2アーム 4に 配置することも可能である。
[0031] 図 3は同角速度センサの回路ブロック図である。
[0032] 図 3において、 4つの第 2アーム 4の内、互いに対向する一方（図 1の上方）の 2つの 第 2アーム 4に配置された駆動部 17と検知部 18は、駆動回路部 21に接続されてい る。他方（図 1の下方）の 2つの第 2アーム 4に配置された第 1感知部 19と第 2感知部 2 0は、検出回路部 25に接続されている。
[0033] 検出回路部 25における、第 1感知部 19および第 2感知部 20から出力される 2つの 感知信号の信号処理につ!/、て説明する。
[0034] 第 1感知部 19としての、第 1感知電極部 19aおよび第 2感知電極部 19bから出力さ れる 2つの感知信号は、各々増幅器 12、 13により増幅され、これら 2つの感知信号に 基づいて、減算器 30により第 1差動信号 (信号点 e)が出力される。同時に、増幅器 1 2、 13により増幅された 2つの感知信号が分岐され、これら分岐された 2つの感知信 号に基づいて、加算器 32により第 1加算信号 (信号点 g)が出力される。
[0035] 第 2感知部 20としての、第 3感知電極部 20aおよび第 4感知電極部 20bから出力さ れる 2つの感知信号は、各々増幅器 14、 15により増幅され、これら 2つの感知信号に 基づいて、減算器 34により第 2差動信号 (信号点 f)が出力される。同時に、増幅器 1 4、 15により増幅された 2つの感知信号が分岐され、これら分岐された 2つの感知信 号に基づいて、加算器 36により第 2加算信号 (信号点 h)が出力される。
[0036] また、減算器 30から出力された第 1差動信号、および減算器 34から出力された第 2 差動信号に基づいて、加算器 38により加算信号 (信号点 i)が出力される。それととも に、加算器 32から出力された第 1加算信号、および加算器 36から出力された第 2カロ 算信号に基づいて、減算器 40により減算信号 (信号点 j)が出力される。
[0037] さらに、加算信号と減算信号は、各々、検波回路部 42、 44で検波され、ローバスフ ィルタ部 46、 48を介して、第 1角速度信号および第 2角速度信号が検出される。
[0038] この第 1角速度信号よび第 2角速度信号の値を比較することによって、複数の検出 軸における角速度が検出できる。
[0039] ここで、同検出素子 1の動作状態における、検出回路部 25の各信号点 a〜jにおけ る特性波形は、図 4〜図 6に示す通りとなる。
[0040] 図 4は角速度が生じていない場合の各信号点における特性波形図、図 5は Z軸周り に角速度が生じた場合の各信号点における特性波形図、図 6は Y軸周りに角速度が 生じた場合の各信号点における特性波形図である。特に、図 5、図 6は、コリオリ成分 のみを抽出した特性波形図である。 [0041] 角速度が生じていない場合は、図 4に示すように、信号点 i、信号点 jには、共に信 号特性波がゼロとなり、第 1、第 2角速度信号は出力されない。
[0042] Z軸周りに角速度が生じている場合は、図 5に示すように、信号点 iでは信号特性波 が出力され、信号点 jでは信号特性波がゼロとなり第 2角速度信号は出力されない。
[0043] Y軸周りに角速度が生じている場合は、図 6に示すように、信号点 iでは信号特性波 がゼロとなり第 1角速度信号は出力されず、信号点 jでは信号特性波が出力される。
[0044] このように、 Y軸周りに角速度が生じている場合、 Z軸周りに角速度が生じている場 合、角速度が生じていない場合において、各々、信号点 i、信号点 jにおける信号特 性波形が異なるので、角速度の発生状態を区別して検出することができる。
[0045] 上記構成によって、互いに略直交した X軸と Y軸と Z軸に対して、 Z軸周りの角速度 を検出する場合と、 Y軸周りの角速度を検出する場合とにおいて、第 1差動信号と第 2差動信号に基づく加算信号の値 (信号点 iにおける特性波形)と、第 1加算信号と第 2加算信号に基づく差動信号の値 (信号点 jにおける特性波形）とが互いに異なるの で、 1つの検出素子において 2つの検出軸の周りの角速度を検出できる。
[0046] 特に、 Z軸周りにのみ角速度が生じた場合は、第 1加算信号と第 2加算信号に基づ く差動信号の値 (信号点 jにおける特性波形）が出力されず、 Y軸周りにのみ角速度 が生じた場合は、第 1差動信号と第 2差動信号に基づく加算信号の値 (信号点 iにお ける特性波形）が出力されない。従って、信号点 iと信号点 jの両方に特性波形が出 力された場合は、 Y軸周りの角速度と Z軸周りの角速度が同時に生じていると判別が 可能であり、 2つの検出軸周りの角速度の同時検出もできる。
[0047] さらに、角速度が生じていない場合は、第 1差動信号と第 2差動信号に基づく加算 信号の値 (信号点 iにおける特性波形)と、第 1加算信号と第 2加算信号に基づく差動 信号の値 (信号点 jにおける特性波形）とが共に出力されないので、角速度が生じて いる場合と区另リすること力でさる。
[0048] この際、第 1差動信号と第 2差動信号に基づく加算信号 (信号点 i)の値と、第 1加算 信号と第 2加算信号に基づく差動信号 (信号点 j)の値とが、互いに異なり、かつ、特 定の比率関係にあれば、この比率を換算することによって、同様の効果を得ることも できる。 [0049] したがって、複数の検出軸の角速度を検出する場合、複数の検出素子や複数の角 速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなぐ 1つの検出素子を実 装するための実装面積を確保すればよぐ各種電子機器の小型化を図ることができ
[0050] 次に、故障診断時における回路処理について説明する。
[0051] 図 3において、まず、角速度が発生していない状態時に、駆動回路部 21において 、互いに同位相または逆位相の 2つの故障診断用信号を、故障診断用信号発振器 5 0から第 1、第 2駆動電極部 17a、 17bに入力する。次に、検出回路部 25において、 加算信号と差動信号から出力される信号が、角速度が発生している状態時に出力さ れる信号と一致するかを比較する。そして、信号が一致すれば、擬似的な角速度が 検出されており、故障してレ、な!/、と判断することができる。
[0052] この際、駆動信号と故障診断用信号とは互いに 90度位相の異なる信号波形とする のが望ましい。
[0053] ここで、故障診断時における駆動回路部 21の各信号点 S l、 S2における特性波形 と、検出回路部 25の各信号点 a〜jにおける特性波形は、図 7、図 8に示す通りとなる
〇
[0054] 図 7は互いに逆位相の 2つの故障診断用信号に対する各信号点 S l、 S2における 特性波形図、図 8は互いに同位相の 2つの故障診断用信号に対する各信号点 S l、 S 2における特性波形図である。
[0055] 図 7に示すように、 2つの故障診断用信号が逆位相であれば、 Z軸周りにのみ角速 度が生じた場合と同様に、第 1差動信号と第 2差動信号に基づく加算信号の値 (信号 点 iにおける特性波形)が出力され、第 1加算信号と第 2加算信号に基づく差動信号 の値 (信号点 jにおける特性波形）が出力されない。
[0056] 図 8に示すように、 2つの故障診断用信号が同位相であれば、 Y軸周りにのみ角速 度が生じた場合と同様に、第 1差動信号と第 2差動信号に基づく加算信号の値 (信号 点 iにおける特性波形)が出力されず、第 1加算信号と第 2加算信号に基づく差動信 号の値 (信号点 jにおける特性波形）が出力される。
[0057] したがって、互いに同位相または逆位相の 2つの故障診断用信号を駆動部の第 1、 第 2駆動電極部 17a、 17bに入力して、加算信号と差動信号から擬似的な角速度を 検出することができ、検出素子や検出回路部の故障の有無を検知できる。
[0058] なお、本発明の一実施の形態では、第 1、第 2駆動電極部 17a、 17b,第 1、第 2検 知電極部 18a、 18b,第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b, 20a, 20bは、第 2アーム 4の 対向部 16に配置したが、第 2アーム 4の対向部 16以外に配置してもよい。例えば、 第 1、第 2駆動電極部 17a、 17b,第 1、第 2検知電極部 18a、 18b,第 1〜第 4感知電 S¾19a, 19b, 20a, 20bを、 4つの第 2アーム 4ίこおレヽて、支持 伹 Wこ近接した 部分に配置したり、第 1アーム 2と平行な部分に配置したりしてもよい。
[0059] 図 9は本発明の他の実施の形態の角速度センサの検出素子の斜視図である。図 1 0は同角速度センサの回路ブロック図である。
[0060] 支持部 6側に近接した部分に第 1、第 2駆動電極部 17a、 17b,第 1、第 2検知電極 部 18a、 18b,第 1〜第 4感知電極部 19a、 19b, 20a, 20bを酉己置した場合は、図 9 に示すようになり、駆動回路部 21および検出回路部 25との接続は、図 10に示すよう になる。これらの動作は上記と同様であるから、詳細な説明を省略する。
[0061] この場合、支持部 6側に近接した部分を起点に 1つの第 2アーム 4が駆動振動する とともに、それに伴って、 4つの第 2アーム 4および 4つの錘部 11の全てが同調して駆 動振動する。
産業上の利用可能性
[0062] 本発明に係る角速度センサは、複数の検出素子や複数の角速度センサを実装す るための実装面積を確保する必要がなぐ各種電子機器の小型化を図れ、各種電子 機器に適用できるものである。

Claims

請求の範囲
[1] 複数のアームと、前記アームに配置し前記アームを駆動振動させる駆動部と、 前記アームに配置し前記アームの歪を感知させる第 1、第 2感知部を有する検出素 子と、
前記駆動部に接続され前記駆動部を駆動させる駆動回路部と、前記第 1、第 2感知 部に接続され角速度を検出する検出回路部とを備え、
前記駆動回路部は前記駆動部に 2つの駆動信号を入力し、
前記検出回路部は前記第 1感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 1差 動信号を出力し、
前記第 2感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 2差動信号を出力し、 前記第 1感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 1加算信号を出力し、 前記第 2感知部から出力される 2つの感知信号に基づいて第 2加算信号を出力し、 前記第 1差動信号と前記第 2差動信号に基づく加算信号と、前記第 1加算信号と前 記第 2加算信号に基づく差動信号から角速度を検出する、角速度センサ。
[2] 互いに同位相または逆位相の 2つの故障診断用信号を前記駆動部に入力して、前 記加算信号と前記差動信号から擬似的な角速度を検出する故障診断部を設けた、 請求項 1記載の角速度センサ。
[3] 前記駆動信号と前記故障診断用信号とは互いに 90度位相の異なる信号波形とした 、請求項 2記載の角速度センサ。
[4] 前記複数のアームは、第 1アームを第 2アームに直交方向に連結して形成した 2つの 直交アームと、 2つの前記第 1アームを支持した支持部と、前記支持部に連結すると ともに実装基板に固定した固定用アームと、前記第 2アームの先端部に配置した錘 部とを含み、
2つの前記第 2アームは互いに対抗し、その一方に前記第 1感知部を設け、他方に 前記第 2感知部を設けた、請求項 1記載の角速度センサ。
[5] 前記第 1感知部は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる第 1感知電 極部と第 2感知電極部を有し、
前記第 2感知部は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる第 3感知電 極部と第 4感知電極部を有し、
前記第 1感知電極と前記第 2感知電極は対向させて一方の前記第 2アームに配置す るとともに前記第 1、第 2の感知電極部から 2つの感知信号を出力し、
前記第 3感知電極部と前記第 4感知電極部は対向させて他方の前記第 2アームに配 置するとともに前記第 3、第 4感知電極部から 2つの感知信号を出力する、請求項 4 記載の角速度センサ。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076265A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 慣性力センサ
JP2010091364A (ja) * 2008-10-07 2010-04-22 Panasonic Corp 角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサ
JP2010117374A (ja) * 2010-02-24 2010-05-27 Epson Toyocom Corp ジャイロモジュール
WO2010073576A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 パナソニック株式会社 角速度センサ
EP2330381A4 (en) * 2008-10-07 2012-07-04 Panasonic Corp ANGLE SPEED SENSOR ELEMENT, ANGLE SPEED SENSOR AND ANGLE SPEED SENSOR UNIT WITH ANGULAR SPEED SENSOR ELEMENT AND SIGNAL DETECTION METHOD FOR THE ANGLE SPEED SENSOR UNIT
WO2014077297A1 (ja) * 2012-11-19 2014-05-22 株式会社村田製作所 角速度検出素子
US9301975B2 (en) 2009-05-01 2016-04-05 Biocardia, Inc. Method of preparing autologous cells and method of use for therapy

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090064783A1 (en) 2006-01-24 2009-03-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inertial force sensor
WO2008035683A1 (en) * 2006-09-21 2008-03-27 Panasonic Corporation Angular velocity sensor
WO2008059757A1 (en) * 2006-11-14 2008-05-22 Panasonic Corporation Sensor
US8117914B2 (en) * 2007-02-20 2012-02-21 Panasonic Corporation Inertia force sensor and composite sensor for detecting inertia force
EP2385343B1 (en) * 2009-02-13 2018-07-25 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Inertial force sensor and detecting element used for same
US9097524B2 (en) 2009-09-11 2015-08-04 Invensense, Inc. MEMS device with improved spring system
US8534127B2 (en) 2009-09-11 2013-09-17 Invensense, Inc. Extension-mode angular velocity sensor
JP2011220997A (ja) * 2010-03-26 2011-11-04 Seiko Epson Corp 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器
US20140238129A1 (en) * 2011-10-24 2014-08-28 Panasonic Corporation Angular velocity sensor and detection element used in same
CN106519801B (zh) * 2013-09-17 2019-10-11 比亚迪股份有限公司 油墨组合物以及表面选择性金属化方法
US10466068B2 (en) * 2017-01-23 2019-11-05 Georgia Tech Research Corporation Systems and methods for operation of vibratory gyroscopes
WO2021261557A1 (ja) 2020-06-24 2021-12-30 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 慣性力センサ
EP4215872B1 (en) 2022-01-25 2025-01-22 Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 3-axis gyroscope with improved performance

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09178492A (ja) * 1995-12-27 1997-07-11 Kyocera Corp 圧電振動体
JP2001082963A (ja) * 1999-09-13 2001-03-30 Yoshiaki Kato 運動センサ振動体および振動ジャイロスコープ
JP2001208546A (ja) 1999-11-16 2001-08-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2002139322A (ja) * 2000-10-31 2002-05-17 Murata Mfg Co Ltd 振動ジャイロの自己診断方法、及び、振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置
JP2003185441A (ja) * 2001-10-09 2003-07-03 Fujitsu Ltd 角速度センサ
WO2005078389A1 (ja) * 2004-02-18 2005-08-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 角速度センサ
JP2006030125A (ja) * 2004-07-21 2006-02-02 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP2006105756A (ja) 2004-10-05 2006-04-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
EP2000769A2 (en) 2006-03-27 2008-12-10 Panasonic Corporation Inertia force sensor

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05240874A (ja) * 1991-12-06 1993-09-21 Canon Inc 角速度センサ
JP3323361B2 (ja) * 1995-05-29 2002-09-09 アルプス電気株式会社 振動型ジャイロスコープ
SE9500729L (sv) * 1995-02-27 1996-08-28 Gert Andersson Anordning för mätning av vinkelhastighet i enkristallint material samt förfarande för framställning av sådan
JP3492010B2 (ja) * 1995-03-29 2004-02-03 キヤノン株式会社 振動ジャイロおよび防振装置
JPH08152328A (ja) * 1995-07-04 1996-06-11 Nippondenso Co Ltd 角速度センサ及びその使用方法
JPH09105634A (ja) * 1995-10-12 1997-04-22 Nippon Soken Inc 角速度センサ
JPH1047966A (ja) * 1996-07-31 1998-02-20 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
JP3336605B2 (ja) * 1997-02-12 2002-10-21 トヨタ自動車株式会社 角速度センサ
JP3355998B2 (ja) * 1997-05-16 2002-12-09 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
JP4004129B2 (ja) * 1998-02-09 2007-11-07 マイクロストーン株式会社 運動センサ
JP4112684B2 (ja) * 1998-06-01 2008-07-02 シチズンホールディングス株式会社 振動ジャイロ
JP2000074673A (ja) * 1998-08-27 2000-03-14 Miyota Kk 複合運動センサ
US6418789B1 (en) * 1999-02-26 2002-07-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrating gyroscope
JP2001194155A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Yoshiro Tomikawa 運動センサ
JP4552253B2 (ja) * 2000-02-28 2010-09-29 パナソニック株式会社 角速度センサ
US6675630B2 (en) * 2001-08-17 2004-01-13 The Boeing Company Microgyroscope with electronic alignment and tuning
JP2004077351A (ja) * 2002-08-21 2004-03-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP4163031B2 (ja) * 2003-03-28 2008-10-08 日本電波工業株式会社 音叉型角速度センサ
US6845665B2 (en) * 2003-04-28 2005-01-25 Analog Devices, Inc. Micro-machined multi-sensor providing 2-axes of acceleration sensing and 1-axis of angular rate sensing
US6880400B1 (en) * 2003-05-23 2005-04-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Phase synchronized array of non-identical oscillators using coupling network
JP2005283481A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Denso Corp センサシステム
JP2005283402A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Fujitsu Media Device Kk 慣性センサ
US7640803B1 (en) * 2004-05-26 2010-01-05 Siimpel Corporation Micro-electromechanical system inertial sensor
JP4543869B2 (ja) * 2004-10-15 2010-09-15 株式会社デンソー 振動型角速度センサにおけるセンサ回路
JP4687085B2 (ja) * 2004-12-03 2011-05-25 パナソニック株式会社 複合センサ
JP2006266969A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Nec Tokin Corp 音叉形圧電振動ジャイロ
US7886598B2 (en) * 2005-08-08 2011-02-15 Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. Vibratory gyro bias error cancellation using mode reversal
JP4702942B2 (ja) * 2005-10-14 2011-06-15 Ｎｅｃトーキン株式会社 振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ
JP2007327758A (ja) * 2006-06-06 2007-12-20 Nec Tokin Corp 圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロ
JP4893335B2 (ja) * 2007-01-26 2012-03-07 セイコーエプソン株式会社 ジャイロモジュール

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09178492A (ja) * 1995-12-27 1997-07-11 Kyocera Corp 圧電振動体
JP2001082963A (ja) * 1999-09-13 2001-03-30 Yoshiaki Kato 運動センサ振動体および振動ジャイロスコープ
JP2001208546A (ja) 1999-11-16 2001-08-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2002139322A (ja) * 2000-10-31 2002-05-17 Murata Mfg Co Ltd 振動ジャイロの自己診断方法、及び、振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置
JP2003185441A (ja) * 2001-10-09 2003-07-03 Fujitsu Ltd 角速度センサ
WO2005078389A1 (ja) * 2004-02-18 2005-08-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 角速度センサ
JP2005233706A (ja) 2004-02-18 2005-09-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2006030125A (ja) * 2004-07-21 2006-02-02 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP2006105756A (ja) 2004-10-05 2006-04-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
EP2000769A2 (en) 2006-03-27 2008-12-10 Panasonic Corporation Inertia force sensor

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076265A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 慣性力センサ
US8561467B2 (en) 2008-10-07 2013-10-22 Panasonic Corporation Angular velocity sensor element, angular velocity sensor and angular velocity sensor unit both using angular velocity sensor element, and signal detecting method for angular velocity sensor unit
JP2010091364A (ja) * 2008-10-07 2010-04-22 Panasonic Corp 角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサ
USRE46514E1 (en) 2008-10-07 2017-08-15 Panasonic Corporation Angular velocity sensor element, angular velocity sensor and angular velocity sensor unit both using angular velocity sensor element, and signal detecting method for angular velocity sensor unit
EP2330381A4 (en) * 2008-10-07 2012-07-04 Panasonic Corp ANGLE SPEED SENSOR ELEMENT, ANGLE SPEED SENSOR AND ANGLE SPEED SENSOR UNIT WITH ANGULAR SPEED SENSOR ELEMENT AND SIGNAL DETECTION METHOD FOR THE ANGLE SPEED SENSOR UNIT
WO2010073576A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 パナソニック株式会社 角速度センサ
US9301975B2 (en) 2009-05-01 2016-04-05 Biocardia, Inc. Method of preparing autologous cells and method of use for therapy
US9752123B2 (en) 2009-05-01 2017-09-05 Biocardia, Inc. Method of preparing autologous cells and methods of use for therapy
US10035982B2 (en) 2009-05-01 2018-07-31 Biocardia, Inc. Method of preparing autologous cells and methods of use for therapy
JP2010117374A (ja) * 2010-02-24 2010-05-27 Epson Toyocom Corp ジャイロモジュール
WO2014077297A1 (ja) * 2012-11-19 2014-05-22 株式会社村田製作所 角速度検出素子
JP5831647B2 (ja) * 2012-11-19 2015-12-09 株式会社村田製作所 角速度検出素子
US10072930B2 (en) 2012-11-19 2018-09-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Angular velocity sensor

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