WO2008047854A1

WO2008047854A1 - Matériau d'absorption d'ondes radioélectriques et absorbeur d'ondes radioélectriques

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Publication number: WO2008047854A1
Application number: PCT/JP2007/070319
Authority: WO
Inventors: Shinroh Itoh; Yasuharu Miyoshi
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 2006-10-19
Filing date: 2007-10-18
Publication date: 2008-04-24
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Description

明細書

電波吸収材料及び電波吸収体

技術分野

[0001] 本発明は、不要な電波を吸収する焼結フェライト材からなる電波吸収材料、及びその電波吸収材料を用いてなる電波吸収体に関する。

背景技術

[0002] 通信技術、航空機等の電波誘導技術の発達、またはテレビ、ラジオ、携帯電話機などの各種の電気 ·電子機器の普及に伴い、制御装置の誤動作の防止用、各種の電気 ·電子機器のノイズフィルタ用、電波吸収壁用，または電波暗室用として、不要信号となる高周波ノイズを遮断するために、それぞれの周波数帯域に整合した電波吸収体が求められている。

[0003] 従来の電波吸収体としては、導電性を有する金属板または薄膜、カーボンなどを、ゴム、プラスチックなどで保持したものが一般的であった。また、磁気的吸収体として知られたカーボ二ル鉄を用いたり、ゴムなどに複合したもの、誘電体損失を利用した発泡スチロールなども知られていた。さらに、 Ni— Zn系、 Ni— Cu— Zn系等のフェライト粉末をゴム系、シリコン、エポキシ等の高分子化合物と複合した複合材料、アルミニゥム等の金属箔片を混入したプラスチック材料、導電性繊維を用いたものなども提案されている。

[0004] 近年では、磁気共鳴現象を利用した磁気フェライトすなわち Ni— Cu— Zn系の焼結フェライト板に金属板を裏張りした構成は、電波吸収能力にすぐれ、かつ比較的薄板として利用できるため、その実用化が進んでいる。また、上述したような各種の材料を組み合わせたり、積層したりした複合材料も提案されてレ、る。

[0005] 従来の電波吸収材料には、固有の整合周波数帯域があり、例えば、各種の実験、測定に用いる電波暗室は、室内で発生させた電波を壁で反射させないこと、外部からの電波を遮断できることが要求され、広帯域における電波吸収能力にすぐれた材料が求められる。

[0006] そこで、比較的広帯域で反射係数も低く、薄板化または小片化が可能で、製造量産性にすぐれる、各種の電気 ·電子機器用、または電波暗室用に最適な電波吸収材料として、 Ni— Cu— Zn系のフェライト焼結材を使用する技術が種々提案されている (特許文献；!〜 5参照)。

[0007] Ni— Cu— Zn系のフェライト焼結材では、フェライトに用いる主原料の中でも高価である NiOが使用されているため、電波吸収体として作製した Ni— Cu— Zn系のフェライトタイルのコストが高くなるという問題がある。

[0008] そこで、 NiOのような高価な主原料を用いることなぐ Ni— Cu— Zn系フェライト焼結材と同等の性能を有する電波吸収材料として、 Mn— Zn系フェライト焼結材が提案されている（特許文献 6、 7参照）。

特許文献 1：特許第 2794293号

特許文献 2：特許第 2898343号

特許文献 3：特許第 3178885号

特許文献 4：特許第 3278373号

特許文献 5：特許第 3422709号

特許文献 6：特開 2004— 247602号公報

特許文献 7：特開 2004 _ 247603号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0009] し力、しながら、特許文献 6、 7に記載された Mn— Zn系フェライト焼結材を用いた電波吸収体では、粒界に CaOなどで形成される絶縁相を配置しているため、粒界破断が起きやすくてフェライト材の強度が低下してしまう。フェライト材の強度が低い場合、焼結体の切削加工時または組み付け時に破損しやすぐ歩留まりを悪化させる要因となるだけでなぐ電波暗室用の電波吸収体として使用し難いという問題がある。また、 CaOによる粒界相の吸水によって湿度に対する誘電率の変化が著しいという問題力 ^sある。

[0010] 本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、高い強度と湿度安定性とを有し、し力、も Ni— Cu— Zn系フェライト焼結材と同等以上の性能を有する電波吸収材料、及びその電波吸収材料を用いてなる電波吸収体を提供することを目的とする。課題を解決するための手段

[0011] 本発明に係る電波吸収材料は、 30〜49. 5モル％の Fe O 、0. 5〜20モル％の

Mn O 、 5〜35モノレ⁰ /₀の ZnO、 0. 2〜； 15モノレ⁰ /₀の（Li Fe ) 0、及び残部としての MnOを含む酸化物磁性材に、 0.；!〜 2重量％の CoOを加えたフェライト材料を焼成してなることを特 ί毁とする。

[0012] 本発明の電波吸収材料は、主成分として、 Fe O : 30〜49. 5モル％、 Mn O ：

0. 5〜20モル％、 ZnO : 5〜35モル％、 (Li Fe ) O : 0. 2〜； 15モル％、 MnO：残部を含む酸化物磁性材に、副成分として、 CoO : 0.；!〜 2重量％を加えた材料を焼成して得られる。本発明の電波吸収材料は、 NiOが含まれておらず低コストである。また、特許文献 6または 7記載の Mn— Zn系フェライト焼結材と比べて、強度にすぐれており、水分吸収に起因する誘電率の変化は見られない。さらに、 Ni— Cu— Zn系フエライト焼結材と同等以上の電波吸収性能を呈する。

[0013] 本発明に係る電波吸収材料は、 20モル％以下の CuOを含むことを特徴とする。

[0014] 本発明の電波吸収材料にあっては、 ZnOの一部を 20モル％以下の CuOで置き換えている。 CuOで置き換えることにより、低温焼結が可能となる。

[0015] 本発明に係る電波吸収材料は、 0. 001—0. 5重量％の Al O 、 0. 005—1. 0重量％の NiO、 0. 005—0. 4重量％の Cr O の少なくとも 1種を含むことを特徴とす

[0016] 本発明の電波吸収材料にあっては、副成分として、 Al O : 0. 001〜0. 5重量％

、 Ni〇：0. 005—1. 0重量⁰ /₀、 Cr 〇 : 0. 005—0. 4重量⁰ /₀のうちの少なくとも 1種を含むことにより、 18〜30°Cの広い温度域で— 20dB以下の良好な反射係数を得ることが可能となる。

[0017] 本発明に係る電波吸収材料は、 SO 換算で 0. 002〜0. 095重量％の硫黄化合物、 C1換算で 0. 002-0. 08重量％の塩素化合物の少なくとも 1種を含むことを特徴とする。

[0018] 本発明の電波吸収材料にあっては、副成分として、硫黄化合物： SO 換算で 0. 0

02—0. 095重量％、塩素化合物： C1換算で 0. 002—0. 08重量％のうちの少なくとも 1種を含むことにより、高い水準で電波吸収性能のばらつきが少ない焼結体の提供が可能となる。

[0019] 本発明に係る電波吸収材料は、 0. 002—0. 3重量％の SiO 、 0. 003—0. 3重量％の CaOの少なくとも 1種を含むことを特徴とする。

[0020] 本発明の電波吸収材料にあっては、副成分として、 SiO : 0. 002-0. 3重量％、 CaO : 0. 003-0. 3重量％のうちの少なくとも 1種を含んでいる。電波吸収材の焼結体の切削加工時にチッビングが発生した場合には電波吸収性能の局所的なばらつきが生じるため、チッビングは少ない方が好ましい。 SiO 及び/または CaOを含むことにより、切削加工時のチッビングの発生を抑えることが可能となる。

[0021] 本発明に係る電波吸収材料は、 SiO 及び CaOの両方を含む場合には、両方の合計が 0. 5重量％以下であることを特徴とする。

[0022] 本発明の電波吸収材料にあっては、 SiO 及び CaOの合計量を 0. 5重量％以下とすることにより、切削加工時のチッビングの発生を抑えることが可能となる。

[0023] 本発明に係る電波吸収材料は、 P O 換算で 0. 00；!〜 0. 08重量％のリン化合物を含むことを特徴とする。

[0024] 本発明の電波吸収材料にあっては、副成分として、リン化合物： P O 換算で 0. 0

0；!〜 0. 08重量％を含むことにより、焼結性を高めることができ、大型の成形体を焼結する場合にも安定した焼結が可能となる。

[0025] 本発明に係る電波吸収体は、上記電波吸収材料を用いてなることを特徴とする。

[0026] 本発明の電波吸収体は、上述した組成を有して得られる電波吸収材料を用いて作製される。よって、安価で信頼性に優れ、高い電波吸収性能を有する電波吸収体が得られる。

[0027] 本発明に係る電波吸収体は、 8mm以下の厚さでの 30MHzの電波に対する反射係数が 20dB以下であることを特徴とする。

[0028] 本発明の電波吸収体にあっては、 8mm以下の厚さで 30MHzの電波に対する反射係数が— 20dB以下である。よって、厚さが薄くても低い反射係数（高い吸収性能）が得られる。

発明の効果

[0029] 本発明では、高い強度と湿度安定性とを有し、し力、も電波吸収性能が Ni— Cu— Z n系フェライト焼結体と同等以上である安価な電波吸収材料を得ることができる。そして、この電波吸収材料を用いて作製した電波吸収体を使用することにより、従来と同等以上の性能を有する電波暗室を低コストで設営することが可能である。

図面の簡単な説明

[0030] [図 1]実施例;!〜 7、比較例 1 , 2の電波吸収材料における組成比と反射係数とを示した図表である。

[図 2]実施例 8〜； 11、比較例 3, 4の電波吸収材料における組成比と反射係数とを示した図表である。

[図 3]実施例 12〜； 14、比較例 5, 6の電波吸収材料における組成比と反射係数とを示した図表である。

[図 4]実験例 A, B, Cの電波吸収材料における組成比を示した図表である。

[図 5]実験例 A, B, Cにおける CoOの重量％と反射係数との関係を示すグラフである

[図 6]実施例 15 29、比較例 7〜； 15の電波吸収材料における組成比と反射係数と焼結体の結晶の平均粒径とを示した図表である。

[図 7]実施例 30 37、比較例 16 21の電波吸収材料における組成比と反射係数と電波吸収性能のばらつきと焼結体の結晶の平均粒径とを示した図表である。

[図 8]実施例 38 46、比較例 22 29の電波吸収材料における組成比と反射係数と抗折強度とチッビングの程度とを示した図表である。

[図 9]実施例 47 50、比較例 30 32の電波吸収材料における組成比と反射係数と焼結体の相対密度と段間の特性ばらつきと抗折強度とを示した図表である。

[図 10]実施例の電波吸収材料における温度と反射係数との関係を示すグラフである発明を実施するための最良の形態

[0031] 本発明の電波吸収材料は、主成分として、 Fe、 Mn、 Zn、 Liの各成分をそれぞれ酸化物換算で、 Fe O : 30 49. 5モノレ⁰ /₀、 Mn O ： 0. 5 20モノレ⁰ /₀、 ZnO： 5

35モノレ％、（Li Fe ) Ο : 0· 2 15モル％、 MnO :残部の比率になるように調整し

、さらに CoO : 0.；! 2重量％を加えたフェライト成形体を焼成することによって得られる。

[0032] なお、上記主成分の組成にあって、 ZnOの一部を 20モル％以下の CuOで置き換えるようにしても良い。

[0033] 以下、各酸化物の組成の数値限定の理由につ!/、て説明する。

(Fe O : 30—49. 5モル⁰ /₀)

Fe O が 30モル％未満である場合には、 Tc (キュリー温度）が低くなるため実用的ではない。一方、 Fe O 力 9. 5モル％を超えた場合には、材料の比抵抗が低下し、その低下に伴って誘電率が増加するため電波吸収性能が劣化する。

[0034] (Mn O : 0. 5〜20モノレ⁰ /₀)

金属酸化物からなるスピネル型のフェライト材にあっては、 3価の金属酸化物と 2価の金属酸化物との割合を同じにすることが一般的である。よって、本発明の組成では、 3価の金属酸化物である Fe O と Mn O との合計量が 50モル％となるように配合されているため、 Fe O 量に応じて Mn O 量が規定される。 Fe O は前述したように 30〜49. 5モル⁰ /₀であるので、これに応じて Mn O は 0. 5〜20モノレ⁰ /₀となる。

[0035] (ZnO : 5〜35モル⁰ /₀)

ZnOが 5モル％未満である場合には、 Tcが高くなることに伴って（複素比透磁率の実数部）が高くなり、電波吸収性能が劣化する。一方、 ZnOが 35モル％を超えた場合には、 ' (複素比透磁率の虚数部）が低下するため、十分な電波吸収効果が得られなくなる。

[0036] ( (Li Fe ) O : 0. 2〜； 15モル⁰ /₀)

(Li Fe ) 0が 0· 2モル％未満である場合には、〃が低下するため、十分な電波吸収性能が得られない。一方、（Li Fe ) 0が 15モル％を超えた場合には、 Tc が高くなることに伴って ' が高くなり、電波吸収性能が劣化する。

[0037] (CuO : 20モル％以下）

低温焼結するために、 ZnOを CuOで置換しても良い。但し、 20モル％を超えて置換した場合には、十分な電波吸収効果が得られなくなるため、置換量の上限は 20モノレ％である。

[0038] (MnO :残部） Fe O 、Mn O 、 ZnO、（Li Fe ) 0、 CuO、及び MnOの合計量が 100モル

%になるように、前述した Fe O 、Mn O 、 ZnO、（Li Fe ) 0、CuOの各規定量に応じた残部として MnOを含有させる。

[0039] (CoO : 0.；!〜 2重量⁰ /₀)

CoOが 0. 1重量％未満である場合には、高い〃が得られないため、十分な電波吸収効果が得られなくなる。一方、 CoOが 2重量％を超えた場合には、 ιι ' が高くなつて電波吸収性能が劣化する。

[0040] 上記のような組成の電波吸収材料に対して、 0. 001—0. 5重量％の Al Ο 、 0. 0

05— 1. 0重量⁰ /₀の NiO、 0. 005—0. 4重量⁰ /₀の Cr O の中の少なくとも 1種、 SO 換算で 0. 002—0. 095重量％の硫黄化合物、 C1換算で 0. 002—0. 08重量％の塩素ィ匕合物の中のゾ少なくとも 1種、 0. 002—0. 3重量⁰ /₀の SiO 、 0. 003—0. 3重量％の CaOの中の少なくとも 1種、 P O 換算で 0. 001—0. 08重量％のリン化合物を含むようにする。以下、添加されるこれらの副成分の数値 (重量％)限定の理由について説明する。

[0041] (Al O : 0. 00；!〜 0. 5重量⁰ /₀、 NiO : 0. 005〜； 1. 0重量⁰ /₀、 Cr O : 0. 005—0

. 4重量％)

上記数値範囲の各副成分を含めることにより、 18〜30°Cの広い温度域で— 20dB 以下の良好な反射係数を得ることが可能となる。何れの副成分にあっても、含有量が上記下限値未満では、この効果が得られない。一方、何れの副成分にあっても、含有量が上記上限値を超える場合には、結晶粒径が微細になって磁気特性が劣化す

[0042] (硫黄化合物： SO 換算で 0. 002〜0. 095重量％、塩素化合物： C1換算で 0. 002

〜0· 08重量％)

上記数値範囲の各副成分を含めることにより、電波吸収特性が高水準でばらつきが少ない焼結体を得ることができる。何れの副成分にあっても、含有量が上記下限値未満では、この効果が得られない。一方、何れの副成分にあっても、含有量が上記上限値を超える場合には、結晶粒径が微細になり、 ιι ' の上昇にともなって電波吸収特性が劣化する。 [0043] (SiO : 0. 002—0. 3重量％、 CaO : 0. 003—0. 3重量⁰ /₀)

上記数値範囲の各副成分を含めることにより、焼結体の切削加工時のチッビングの発生を抑制することができる。何れの副成分にあっても、含有量が上記下限値未満では、この効果が得られない。一方、何れの副成分にあっても、含有量が上記上限値を超える場合には、粒界相の厚みの増加と結晶粒の微細化とにより、粒界破断が非常に進行する構造になってしまって、電波吸収材料の強度が低下する。

[0044] (SiO + CaO : 0. 5重量％以下）

SiO と CaOとの合計量を上記数値範囲とすることにより、チッビングの発生を抑制すること力 Sできる。合計量が上記上限値を超える場合には、粒界相の厚みの増加と結晶粒の微細化とにより、粒界破断が非常に進行する構造になってしまって、電波吸収材料の強度が低下する。

[0045] (リン化合物： P O 換算で 0. 001—0. 08重量⁰ /₀)

上記数値範囲のリン化合物を含めることにより、焼結性を向上させることができる。リン化合物の含有量が上記下限値未満では、この効果が得られない。一方、リン化合物の含有量が上記上限値を超える場合には、結晶粒の成長が不均一で過度に進行する状態、すなわち異常粒成長が生じるため、軟磁気特性の劣化と機械的強度の低下とが起こる。

[0046] ところで、本発明における上述した各副成分の含有量は僅かな量であるので、特許文献 6、 7に記載されているような強度または湿度安定性には問題がなぐ高い強度と湿度安定性とを有する電波吸収材料が得られる。

[0047] 次に、各金属酸化物の組成比を変化させた種々の実施例、比較例の電波吸収材料を作製し、作製した電波吸収材料を用いた電波吸収体の性能 (反射係数)を測定した結果について説明する。これらの実施例、比較例における電波吸収材料の作製条件、及び性能 (反射係数)の測定条件は以下のようにした。

[0048] 最終的に後述するような組成比になるように原料粉末を混合し、大気中で 850°Cで

3時間仮焼きした。得られた仮焼粉をボールミルで湿式粉砕した後に乾燥させた。乾燥後の得られた粉末にポリビュルアルコール 7重量％溶液を 14重量％添加して造粒し、その造粒粉を直径 62mmX厚さ 10mmの円板状に 1. 5ton/cm²で成形した。得られた成形体を、大気中で 150°C/時間以下の速さで 1300°Cまで昇温させて 3 時間保持した。その後、雰囲気を窒素に切り替えて、 200°C/時間以下の速さで室温まで降温させた。得られた板状の焼結体から、外径約 39mm X内径約 17mm X 厚さ 6. 7mmのリング状の試験片を切り出して、ネットワークアナライザにて試験片のインピーダンスを測定した。

[0049] 厚さ 6. 7mmにてインピーダンス整合がとれている試験片については、その試験片をそのまま同軸管に入れて、ネットワークアナライザで 30MHzの電波に対する反射量の大きさを測定した。厚さ 6. 7mmにてインピーダンス整合がとれていない試験片のうち、整合厚さが 6. 7mmを超える試験片についてはそのまま、 6. 7mm未満の厚さで整合可能な試験片については整合厚さになるようにさらに研削加工を施した後、その試験片を同軸管に入れて、ネットワークアナライザで 30MHzの電波に対する反射量の大きさを測定した。

[0050] 図 1は、実施例;!〜 7、比較例 1 , 2の電波吸収材料における各金属酸化物の組成比と測定した 30MHzの電波に対する反射係数とを示した図表である。これらの実施例 1〜7、比較例 1 , 2は、 Fe O の組成比を異ならせた組み合わせである。

[0051] Fe 〇：30〜49· 5モル％の条件を満たす実施例 1〜7ではすべてにおいて、 2

OdB以下の反射係数を実現できている。これに対して、 Fe O の組成比が 26モル

%である比較例 1では、 Tc (キュリー温度）が R.T. (室温）より低くなつている。また、 F e O の組成比が 51モル％である比較例 2では、反射係数が— 16dBであって、電波吸収性能が低い。これは、材料の比抵抗が低下して、誘電率が増加したことに起因すると考えられる。

[0052] 図 2は、実施例 8〜； 11、比較例 3, 4の電波吸収材料における各金属酸化物の組成比と測定した 30MHzの電波に対する反射係数とを示した図表である。これらの実施例 8〜11、比較例 3, 4は、 ZnOの組成比を異ならせた組み合わせである。

[0053] ZnO : 5〜35モル％の条件を満たす実施例 8〜； 11ではすべてにおいて、—20dB 以下の反射係数を実現できている。これに対して、 ZnOの組成比が 2モル％である比較例 3では、反射係数がー 14dBであって、電波吸収性能が低くなつている。これは、 Tcが高くなつてが高くなつたことに起因すると考えられる。また、 ZnOの組成比が 37モル％である比較例 4では、 Tc力 ·Τ·より低くなつている。

[0054] 図 3は、実施例 12〜； 14、比較例 5, 6の電波吸収材料における各金属酸化物の組成比と測定した 30MHzの電波に対する反射係数とを示した図表である。これらの実施例 12〜； 14、比較例 5, 6は、（Li Fe ) Oの組成比を異ならせた組み合わせであ

[0055] (Li Fe ) 0 : 0. 2〜15モル％の条件を満たす実施例 12〜14ではすべてにおいて、— 20dB以下の反射係数を実現できている。これに対して、（Li Fe ) 0の組成比が 0モル％である比較例 5では、 Tcが R.T.より低くなつている。また、（Li Fe

)〇の組成比が17モル％でぁる比較例6では、反射係数が— 16dBであって、低い電波吸収性能しか得られていない。これは、 Tcが高くなつて ' が高くなつたことに起因すると考えられる。

[0056] 図 4は、実験例 A, B, Cの電波吸収材料における各金属酸化物の組成比を示した図表である。また、図 5は、実験例 A, B, Cにおいて CoOの重量％を変化させた場合における CoOの重量％と測定した 30MHzの電波に対する反射係数との関係を示すグラフである。

[0057] 主成分の組成が異なっている実験例 A, B, Cでは、反射係数のじ₀0重量％依存性に異なる傾向が見られる力 S、本発明における主成分の組成範囲にあっては、 CoO の重量％を 0. ；!〜 2重量％とした場合に最も低い反射係数 (最も良好な電波吸収性能）が得られて!/、ること力 S分力、る。

[0058] 以上のように、本発明の組成比の条件を満たす実施例;!〜 14のすベての電波吸収材料における反射係数は— 20dB以下であり、すぐれた電波吸収性能を有するフエライト焼結材が本発明によって得られることが分かる。また、 30MHzの電波に対する反射係数について説明した力電波暗室用に要求される例えば 30〜数百 MHzの周波数帯域の電波に対してすぐれた電波吸収性能（一 20dB以下の反射係数）が得られている。

[0059] ところで、上述した実施例 1〜； 14のすベての電波吸収材料において、 ' （複素比透磁率の実数部）は 50以下であって、 a " (複素比透磁率の虚数部）は 200以上であることを確認できており、良好な電波吸収材料としての特性を有して!/、る。 [0060] 次に、副成分の含有重量％を変化させた種々の実施例、比較例の電波吸収材料を作製し、作製した電波吸収材料を用いた各種の電波吸収体の特性を測定した結果について説明する。これらの実施例、比較例における電波吸収材料の作製条件、及び反射係数の測定条件は、前述したものと同様である。

[0061] 図 6は、実施例 15〜29、比較例 7〜； 15の電波吸収材料における組成比と 30MHz の電波に対する 18〜30°Cでの反射係数と焼結体の結晶の平均粒径とを示した図表である。これらの実施例 15〜29、比較例7〜15は、 Al O 、 NiO、 Cr O の少なくとも 1種の含有量 (重量％)を異ならせた組み合わせである。

[0062] Al O : 0. 00；!〜 0. 5重量⁰ /₀、 NiO : 0. 005〜； 1. 0重量⁰ /₀、 Cr O : 0. 005—0

. 4重量％の条件を満たす実施例では、すべてにおいて、電波喑室内の平均温度 2 5°Cを中間として 18〜30°Cの広い温度域で— 20dB以下の良好な反射係数を維持していることが分かる。これに対して、各比較例では、— 20dB以下の反射係数が得られない温度域が存在する。

[0063] 図 7は、実施例 30〜37、比較例 16〜21の電波吸収材料における組成比と 30MH zの電波に対する反射係数と電波吸収性能のばらつきと焼結体の結晶の平均粒径とを示した図表である。これらの実施例 30〜37、比較例 16〜21は、硫黄化合物、塩素化合物の少なくとも 1種の含有量（SO 換算での重量％、 C1換算での重量％)を異ならせた組み合わせである。

[0064] 電波吸収性能のばらつきは、以下のように測定した。同時に焼結した 30個の焼結体における反射係数の最高値と最低値との差に基づ!/、て、焼結体間の電波吸収性能のばらつきの大小を評価した。具体的には、反射係数の最高値と最低値との差が 2dB以下である場合には電波吸収性能のばらつきが小さい（図 7で〇）とし、その差が 2dBを超える場合には電波吸収性能のばらつきが大きい（図 7で X )とした。

[0065] 硫黄化合物： SO 換算で 0. 002〜0. 095重量％、塩素化合物： C1換算で 0. 002

〜0. 08重量％の条件を満たす実施例では、すべてにおいて、 20dB以下の良好な反射係数を実現できており、電波吸収性能 (反射係数)のばらつきも小さいことが分かる。これに対して、各比較例では、—20dB以下の反射係数が得られないか、または、得られたとしても電波吸収性能（反射係数）のばらつきが大きくなつている。 [0066] 図 8は、実施例 38〜46、比較例 22〜29の電波吸収材料における組成比と 30MH zの電波に対する反射係数と抗折強度とチッビングの程度とを示した図表である。これらの実施例 38〜46、比較例 22〜29は、 SiO 、 CaOの少なくとも 1種の含有量（重量％)を異ならせた組み合わせである。

[0067] 抗折強度は、 JIS— R1601に準じた 3点曲げ試験による測定結果である。また、チッビングの程度については、 # 120の砥石で両面研削機にて厚み加工した際に、試料端部に生じたカケの大きさが 5mm未満である場合にはチッビングが小さい（図 8で〇）と評価し、その大きさが 5mm以上である場合にはチッビングが大きい（図 8で X ) と評価した。

[0068] SiO または CaOの何れか一方を含み、 SiO ： 0. 002〜0. 3重量％、 CaO： 0. 0 03-0. 3重量％の条件を満たす実施例 38〜44では、すべてにおいて、 20dB以下の良好な反射係数を実現できており、し力、も抗折強度が 140〜160MPa程度の高い強度を有しながらも、研削加工時にチッビングがほとんど見られないことが分かる。これに対して、上記範囲外の SiO または CaOの何れか一方を含む各比較例 22〜2 5では、 20dB以下の反射係数が得られないか、または、得られたとしても研削加ェ時に大きなチッビングが発生して!/、る。

[0069] そして、 SiO 及び CaOの両方を含有し、その合計量が 0. 5重量％以下の条件を満たす実施例 45, 46では、 20dB以下の良好な反射係数を実現できており、しかも抗折強度が 140〜； 160MPa程度の高い強度を有しながらも、研削加工時にチッピングがほとんど見られない。これに対して、 SiO と CaOとの合計量が 0. 5重量％を超える各比較例 27〜29では、—20dB以下の反射係数が得られない。また、 SiO 及び CaOの合計量が 0. 5重量％以下であっても SiO 、 CaOの各含有量が上記範囲を満たさな!/、比較例 26では、研削加工時に大きなチッビングが発生して!/、る。

[0070] 図 9は、実施例 47〜50、比較例 30〜32の電波吸収材料における組成比と 30MH zの電波に対する反射係数と焼結体の相対密度と段間の特性ばらつきと抗折強度とを示した図表である。これらの実施例 47〜50、比較例 30〜32は、リン化合物の含有量 (P O 換算での重量％)を異ならせた組み合わせである。

[0071] 得られる焼結体の相対密度を比較することにより、焼結性の評価が可能である。具体的に、相対密度が 98%以上である場合には焼結性が良ぐ相対密度が 98%未満である場合には焼結性が悪いと評価できる。

[0072] 段間の特性ばらつき（焼結体の性能ばらつき）は、以下の方法にて評価した。炉内に而ォ火物製の 150mm X 150mm X厚さ 5mmの板と 15mm X 15mm X 15mmのスぺーサとを組み合わせることによって 5段の焼結棚を形成し、その各段に直径 62mm X厚さ 10mmの円板状に 1. 5ton/cm²で成形して得られた成形体を 1つずつ置き、前述した条件で焼成した。その後、前述したのと同様に、リング状試験片を切り出してそのインピーダンスを測定した。そして、前述した測定条件により、 30MHzの電波に対する反射量の大きさを測定して、各段で得られた焼結体の反射係数のばらつきを比較評価した。整合厚さが 6. 7mmを超える試験片については 6. 7mmでの測定値を用い、整合厚さが 6. 7mm未満の試験片については整合厚さに加工したのちの測定値を用いて比較した。具体的に、測定値 (反射係数）のばらつきは、 5段の焼結棚で同時に焼成して得られた 5個の焼結体における反射係数の最高値と最低値との差に基づいて、その差が 2dB未満である場合にはばらつきが小さいと評価し、その差が 2dB以上である場合にはばらつきが大きいと評価した。

[0073] 抗折強度は、前述した例と同様であって、 JIS— R1601に準じた 3点曲げ試験による測定結果である。

[0074] リン化合物： P O 換算で 0. 00；!〜 0. 08重量％の条件を満たす実施例では、す

2 5

ベてにおいて、—20dB以下の良好な反射係数を実現できている。また、適量のリン化合物を含んでいるため、相対密度が 98%以上である優れた焼結性が実現されている。また、段間における反射係数のばらつきも 2dB未満であって、ばらつきが小さい。更に、抗折強度は 150MPa以上の高い値が得られている。これに対して、各比較例では、焼結性が悪ぐ抗折強度も低ぐ段間における反射係数のばらつきも大きい。

[0075] 本発明における他の実施例として、 Fe O : 41. 5モル％、 ^ [1 O : 8. 5モル％、

2 3 2 3

ΜηΟ : 24· 1モル％、 ΖηΟ : 19· 7モル％、（： Li Fe ) O： 2. 7モル％、 CuO： 3. 5

0.5 0.5

モル％の主成分に対して、 CoO : 0. 67重量％、 Cr O ： 0. 028重量％、硫黄化合

2 3

物： SO 換算で 0. 065重量％、 SiO : 0. 013重量％、リン化合物： P O 換算で 0 .026重量％の副成分を含有させた電波吸収材料は、 18〜30°Cの広い温度域で 20dB以下の良好な反射係数を呈し、かつ焼結安定性が良好であり、性能ばらつき、切削加工時のチッビングの発生と!/、う問題はなぐ優れた電波吸収性能と製造安定性とを共に実現することができる。

[0076] また、副成分として、上記所定範囲内の Al O 、NiO、Cr O 、硫黄化合物、塩素化合物、 SiO 、 CaO、リン化合物のすべてを含んだ電波吸収材料は、 18〜30°C の広い温度域での 20dB以下の良好な反射係数、電波吸収特性の高い水準での小さなばらつき、チッビング発生の抑制、大型の成形体の安定焼結のすべてを実現すること力 Sでさる。

[0077] 本発明における更に他の実施例として、 Fe O :45.2モル％、Mn O :4· 8モノレ⁰ /₀、 ΜηΟ:29· 8モル⁰ /₀、 ΖηΟ:19· 1モル⁰ /₀、（Li Fe )0:1. 1モル⁰ /₀の主成分に対して、 CoO:0.55重量％、八1 O :0.006重量％、 NiO:0.012重量％、 C r O :0.013重量％の副成分を含有させた平均粒径 13 mの電波吸収材料を作製し、作製した電波吸収材料を用いた電波吸収体の 30MHzの電波に対する反射係数を 10〜40°Cの温度域で測定した。その測定結果を図 10に示す。この実施例では、図 10に示すように、 10〜40°Cの広い温度域で— 20dB以下の良好な反射係数を呈している。

Claims

請求の範囲

[1] 30〜49. 5モル⁰ /oの Fe O 、 0. 5〜20モル⁰ /₀の Mn O 、 5〜35モル⁰ /₀の ZnO

、 0. 2〜； 15モル％の（Li Fe ) 0、及び残部としての MnOを含む酸化物磁性材に

、 0. ；!〜 2重量％の CoOを加えたフェライト材料を焼成してなることを特徴とする電波吸収材料。

[2] 前記酸化物磁性材は、 20モル％以下の CuOを含むことを特徴とする請求項 1記載の電波吸収材料。

[3] 0. 001—0. 5重量⁰ /₀の Al O 、 0. 005—1. 0重量⁰ /₀の NiO、 0. 005—0. 4重量％の Cr O の少なくとも 1種を含むことを特徴とする請求項 1記載の電波吸収材料

〇

[4] SO 換算で 0. 002—0. 095重量％の硫黄化合物、 C1換算で 0. 002—0. 08重量％の塩素化合物の少なくとも 1種を含むことを特徴とする請求項 1記載の電波吸収材料。

[5] 0. 002—0. 3重量⁰ /₀の SiO 、 0. 003—0. 3重量⁰ /₀の CaOの少なくとも 1種を含むことを特徴とする請求項 1記載の電波吸収材料。

[6] SiO 及び CaOの両方を含む場合には、両方の合計が 0. 5重量％以下であることを特徴とする請求項 5記載の電波吸収材料。

[7] P O 換算で 0. 001-0. 08重量％のリン化合物を含むことを特徴とする請求項 1 記載の電波吸収材料。

[8] 請求項 1乃至 7の何れかに記載の電波吸収材料を用いてなることを特徴とする電波吸収体。

[9] 8mm以下の厚さでの 30MHzの電波に対する反射係数がー 20dB以下であることを特徴とする請求項 8記載の電波吸収体。