WO2008050794A1 - Film conducteur transparent, substrat d'électrode transparent et procédé servant à produire un film d'alignement de cristaux liquides en utilisant celui-ci et nanotube de carbone et procédé servant à produire celui-ci - Google Patents

Film conducteur transparent, substrat d'électrode transparent et procédé servant à produire un film d'alignement de cristaux liquides en utilisant celui-ci et nanotube de carbone et procédé servant à produire celui-ci Download PDF

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Definitions

  • the present invention relates to a transparent conductive film, and more particularly to a carbon nanotube, a method for producing the same, and a transparent electrode substrate using the carbon nanotube.
  • liquid crystal display elements have been widely used in electronic notebooks, mobile phones, video cameras, computer displays, liquid crystal televisions, and the like.
  • a cell having a sandwich structure in which a nematic liquid crystal layer having positive dielectric anisotropy is sandwiched between two substrates in which a liquid crystal alignment film made of polyamic acid or polyimide is formed on a transparent electrode substrate is used.
  • the so-called TN (Twisted Nematic) type liquid crystal display element has a structure in which the major axis of the liquid crystal molecules is twisted by 90 ° from one substrate to the other substrate, which is superior in contrast and viewing angle dependency than the TN type.
  • An STN (Super Twisted Nematic) type liquid crystal display element is known.
  • Metal oxides such as indium tin oxide are mainly used as materials for electrodes of transparent electrode substrates.
  • a method for forming a liquid crystal alignment film on a transparent electrode substrate a solution such as polyamic acid or a polyimide soluble in a solvent is printed by a relief printing method, a flexographic printing method or the like, baked, and then nylon, rayon or the like.
  • the mainstream method is to rub in one direction with a cloth (rubbing material).
  • This alignment treatment method is usually called the “rubbing method” and controls the alignment of the liquid crystal by aligning the liquid crystal molecules along fine irregularities in a certain direction.
  • Patent Document 1 a method for improving solubility by using a mixture of an oligomer of an acid anhydride having an aliphatic cyclic structure and an oligomer of a compound in which an aromatic ring is bonded by an ether bond or the like
  • Patent Document 2 a method of improving wettability using N, N-dimethylacetamide as a solvent
  • Patent Document 3 a method of adding a solvent with low surface tension
  • the method of V and displacement is also an excellent method for improving the wettability to the electrode substrate.
  • a transparent conductive film using single-walled carbon nanotubes has been known as a transparent conductive film.
  • Single-wall carbon nanotube production methods can be broadly divided into chemical evaporation, laser evaporation, and arc discharge.
  • the chemical vapor deposition method is a method for producing single-walled carbon nanotubes by decomposing gas used as a carbon raw material in a reaction furnace (Patent Document 4), and the ability and reaction to produce high-purity single-walled carbon nanotubes. The temperature is low and there may be more defects than the other.
  • the laser evaporation method is a method of evaporating carbon by irradiating a target containing a metal catalyst and carbon with a laser beam and producing it in a laser evaporation apparatus (Patent Document 5). Nanotubes can be manufactured, but scale-up is difficult.
  • the arc discharge method is a method for producing carbon nanotubes by applying an arc voltage to a carbonaceous material, causing arc discharge, and evaporating the carbon material (Patent Document 6).
  • carbonaceous materials other than catalytic metals and single-walled carbon nanotubes with many by-products are included as by-products. It can also be easily scaled up. For this reason, in order to use as a member, a refining process is required.
  • the mechanical purification method is a purification method by pulverization (Patent Document 7), ultrasonic irradiation (Patent Document 8), chromatography (Patent Document 8), filtration (Patent Document 9), or the like.
  • the electromagnetic purification method is an electromagnetic purification method represented by electrophoresis (Patent Document 10), magnetic field application (Patent Document 11) and the like.
  • the mechanical purification method and the electromagnetic purification method are often combined with the chemical purification methods described below, because the purity cannot be improved only by the process.
  • the chemical purification method is a purification method by dry oxidation or wet oxidation.
  • Dry oxidation is gas-phase oxidation, and it is 600 ⁇ in a mixed gas of oxidizing gas such as oxygen, water vapor and carbon dioxide or oxidizing gas and inert gas such as nitrogen and argon; heated to 1000 ° C (Patent Document 12).
  • Wet oxidation is a purification method in which treatment is performed in an oxidizing liquid such as nitric acid, sulfuric acid, potassium permanganate, chlorosulfonic acid, and mixtures thereof (Patent Documents 13 and 14).
  • Dry oxidation requires a high reaction temperature, and since it is a solid-gas reaction, there is no uniformity, so it is difficult to control the optimal time and temperature.
  • a method that solves these drawbacks is wet oxidation, which allows a uniform reaction.
  • a combination of wet oxidation and internal pressure circulation filtration has been disclosed as a purification method on a practical scale (Patent Document 5, Non-Patent Document 1).
  • the wet oxidation conditions disclosed in this paper are for single-walled carbon nanotubes prepared by laser evaporation, and specifically the conditions for the reaction in a 2 to 3 M nitric acid aqueous solution (approximately 20% nitric acid aqueous solution). It is. Under the same oxidation conditions, the oxidizing power was too weak to purify single-walled carbon nanotubes produced by the arc discharge method.
  • Patent Document 15 As a condition for wet oxidation of single-walled carbon nanotubes produced by an arc discharge method, a method of reacting with a mixed solvent of sulfuric acid and nitric acid is disclosed (Patent Document 15), but under these conditions, the oxidizing power is strong. Too much of the single-walled carbon nanotubes are decomposed and the yield decreases. Also disclosed is a condition of reacting in concentrated nitric acid (70%) at 110-; 170 ° C for 20 hours (Patent Document 16). In order to perform this condition, a pressurized container is required and the scale It is difficult to up.
  • Patent Document 2 It is also conceivable to use the purification method of Patent Document 2 under the wet oxidation conditions of Patent Document 14. In this case, there is a step of centrifuging the concentrated nitric acid solution as it is. However, it is difficult in practice and cannot be said to be industrially usable. Furthermore, even if the techniques of Patent Document 5 and Patent Document 14 are used, it is necessary to repeat the centrifugation and subsequent decantation steps a plurality of times, which is a complicated process. In particular, it is necessary to collect the solid residue after centrifugation, which increases the work time.
  • Patent Document 1 JP 2002-88241 Koyuki
  • Patent Document 2 Koyuki, JP 2006-53380
  • Patent Document 3 JP-A-2006-154158
  • Patent Document 4 JP-A-2001--020071
  • Patent Document 5 Special Table 2002- -515847
  • Patent Document 6 Japanese Patent Laid-Open No. 2006--036575
  • Patent Document 7 Special Table 2004- -507436
  • Patent Document 8 Japanese Patent Laid-Open No. 06-228824
  • Patent Document 9 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-286014
  • Patent Document 10 Japanese Patent Laid-Open No. 2000-072422
  • Patent Document 11 Japanese Patent Laid-Open No. 2006-069850
  • Patent Document 12 Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-048110
  • Patent Document 13 Japanese Patent Application Laid-Open No. 08--012310
  • Patent Document 14 Japanese Patent Application Laid-Open No. 08-198611
  • Patent Document 15 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-168570
  • Patent Document 16 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2003-054921
  • Non-patent literature l Appl. Phys. A 67, 29—37 (1998) A. G. Rinzler et al.
  • an object of the present invention is to provide a method for producing an alignment film that can obtain a uniform alignment film without deteriorating electrical characteristics, and to provide a carbon nano-particle produced by an arc discharge method.
  • the present invention provides a method for producing a tube, particularly a single-walled carbon nanotube, which can be safely performed on a practical scale.
  • the present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved by using a transparent electrode substrate having high wettability.
  • a transparent electrode substrate having high wettability a thin film layer mainly composed of carbon nanotubes is used to control the shape of the carbon nanotubes in the film state with transparency and conductivity.
  • the present invention has been completed.
  • the main component of the transparent conductive film is a single-walled carbon nanotube, and the single-walled carbon nanotube exists in a bundle state, and is an aggregated state of the bundle by observation with a scanning electron microscope. It is a transparent conductive film characterized in that the rope shape can be confirmed.
  • the Raman scattered light intensity is within a range where the Raman shift is 1340 ⁇ 40 Kaiser.
  • the Raman shift has a second absorption in the range of 1590 soil 20 Kaiser, the intensity of Raman scattered light is ID, the first absorption intensity is ID, and the second absorption intensity is IG.
  • the static contact angle of N-methyl-2-pyrrolidone with respect to the transparent conductive film which preferably satisfies the above is 0 ° or more and 5 ° or less.
  • the single-walled carbon nanotubes exist in a bundled state in the conductive layer, and the number of bundles having a length exceeding 1.5 ⁇ m is 1.5 ⁇ m. More than the number of bundles of the following length!
  • the conductive film of the present invention may have a conductive layer including a single-walled carbon nanotube having a COOM (M is a metal element) group on a substrate.
  • a force having a conductive layer including a polymer having a sulfonic acid group and a single-walled carbon nanotube on a substrate, or a polymer layer having a sulfonic acid group and a single-walled carbon nanotube is included.
  • a conductive layer may be provided on the substrate.
  • the present invention also provides a transparent electrode plate using the transparent conductive film. In the transparent electrode plate, the thickness of the transparent conductive film is preferably lOnm or more and 500 nm or less.
  • this invention is a manufacturing method of the liquid crystal aligning film using this transparent electrode plate.
  • the present invention is a method for producing carbon nanotubes, comprising the following steps:! To 4 in the order described.
  • Process 1 Process to obtain crude carbon nanotubes by arc discharge method
  • Step 2 Wetting the crude carbon nanotubes with a solvent containing water
  • Step 3 A step of acid-treating the crude carbon nanotube with an aqueous solution containing nitric acid, wherein the reaction temperature is 60 ° C or higher and 90 ° C or lower and the reaction time is 24 hours or longer and 72 hours or shorter.
  • Step 4 A step of obtaining a dispersion of purified carbon nanotubes by circulating the reaction solution obtained in the previous step by internal pressure type circulation filtration
  • the single-walled carbon nanotubes are included in the total carbon nanotubes of the crude carbon nanotubes obtained by the arc discharge method in the step 1.
  • the aqueous solution containing nitric acid is an aqueous nitric acid solution of 50% or more and 65% or less.
  • the aqueous solution containing nitric acid is water, concentrated nitric acid and Formula (2) and Formula (3) when the volume ratio of the concentrated aqueous solution containing concentrated nitric acid is a (vol%), b (vol%), and c (vol%).
  • a hollow fiber membrane having a pore diameter of 0 ⁇ 1 Hm or more and 1 Hm or less.
  • step 3 the following step 5, step 6 and / or Or it is preferable to include step 7! /.
  • Step 5 Cooling and neutralizing the reaction solution obtained in the previous step
  • Step 6 Step of adding a dispersant to the reaction solution obtained in the previous step
  • Process 7 The process of irradiating the reaction solution obtained in the previous process with ultrasonic waves
  • the present invention has the first absorption in the intensity of the Raman scattered light in the Raman intensity distribution characteristic detected by irradiating with a laser having a wavelength of 532 nm, in the range where the Raman shift is 1340 ⁇ 40 Kaiser. In the range where the Raman shift is 1590 ⁇ 20 Kaiser, the Raman scattered light has a second absorption intensity, the first absorption intensity is ID, and the second absorption intensity is IG. )
  • the transparent electrode substrate according to the present invention has high wettability! / And has a transparent electrode! /, A material for forming a liquid crystal alignment film can be uniformly applied. For this reason, it can be advantageously used in the production of a liquid crystal display element.
  • the carbon nanotube production method of the present invention can use crude carbon nanotubes by the arc discharge method, which is an inexpensive raw material, and can obtain a large amount of high-purity purified products.
  • An optical member using a nanotube can be advantageously used for producing an electronic member.
  • FIG. 1 is a diagram showing the results of Raman measurement of a rough single-walled carbon nanotube.
  • FIG. 2 is a diagram showing the results of Raman measurement on purified single-walled carbon nanotubes (Example 1).
  • FIG. 3 SEM photograph of coarse single-walled carbon nanotubes.
  • FIG. 4 is an SEM photograph (Example 1) of the purified single-walled carbon nanotube.
  • FIG. 5 is a diagram showing the results of Raman measurement on purified single-walled carbon nanotubes (Example 2).
  • FIG. 6 is an SEM photograph (Example 2) of the purified single-walled carbon nanotube.
  • FIG. 7 is a scanning electron micrograph of a transparent electrode substrate using carbon nanotubes according to Example 3.
  • FIG. 8 is a scanning electron micrograph of a transparent electrode substrate using carbon nanotubes according to Comparative Example 2.
  • the main component of the transparent conductive film is a single-walled carbon nanotube, and the single-walled carbon nanotube exists in a bundle state, and is a bundled state in a scanning electron microscope observation. It is a transparent conductive film characterized by being able to confirm a rope shape.
  • single-walled carbon nanotubes exist in a so-called bundle state in which several bundles gather together in a bundle due to the interaction of benzene rings constituting the side walls. It is preferable that the number of bundles having a length exceeding 1.5 ⁇ m is larger than the number of bundles having a length of 1.5 ⁇ m or less. More preferably, the number of bundles having a length of 2.5 m or more is greater than the number of bundles having a length of 1.5 m or less.
  • Examples of the method for measuring the length of the bundle include a method of observing the single-walled carbon nanotube with a scanning microscope and measuring the length. It should be noted that this method is not limited. There is no particular limitation on the number of bundles to be measured! /, But in order to obtain accurate statistics, it is preferable to measure more than 50 bundles. Furthermore, measurement of 100 or more is more preferable.
  • the bundle state and the rope state in which bundles are gathered can be discriminated by observation with a scanning electron microscope.
  • the bundle looks like a single fiber, and you can see the state of the rope with several bandholes.
  • the transparent conductive film according to the present invention requires the force S to be able to confirm the bundle shape of the bundle assemblage by observation with a scanning electron microscope, and all the existing bundles must be in the rope state. It is only necessary to have at least one part where the rope state can be confirmed in 50,000 times scanning electron microscope observation.
  • the method of creating the rope state is not particularly limited, but a method of applying mechanical shearing force to the single-walled carbon nanotubes or bundles is preferred. Specifically, the single-walled carbon nanotubes are put into the liquid. Examples of the method include a bead mill treatment and an internal pressure circulation filtration treatment, particularly a cross flow filtration treatment using a hollow fiber membrane in a dispersed state.
  • the transparent conductive film according to the present invention may have other components such as a surfactant as long as the main component is a single-walled carbon nanotube.
  • the main component is a single-walled single-bonn nanotube.
  • a transparent conductive film is observed with a scanning electron microscope, the carbon nanotube or a bundle of bundles thereof is gathered. This is a state in which single-walled carbon nanotubes that can confirm the existence of the shape are included.
  • a thermoplastic resin, a thermosetting resin, a photocurable resin, a dispersant, a conductive polymer, a pigment, and the like can be included as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • the substrate used for the transparent conductive film according to the present invention is not particularly limited as long as it is a transparent sheet or film, etc.
  • a hard coat layer, an antifouling layer, an antiglare layer, an antireflection layer, an adhesive layer, etc. may be laminated on the surface opposite to the conductive layer with respect to the substrate and the conductive layer as necessary. It is also possible to use it.
  • the transparent conductive film used in the present invention has a surface resistivity of 1 ⁇ , although it varies depending on the use. / Mouth or more 10000 ⁇ / mouth or less and the total light transmittance is preferably 40% or more
  • the carbon nanotubes used in the present invention may be those subjected to chemical modification or physical modification without particular limitation as long as they are single-walled carbon nanotubes. Also, there are no particular restrictions on the production method of single-walled carbon nanotubes, and known production methods such as chemical evaporation, laser evaporation, and arc discharge can be used. In particular, it is preferable to use single-walled carbon nanotubes produced by an arc discharge method from the viewpoints of crystallinity and productivity.
  • single-walled carbon nanotubes often contain impurities such as amorphous carbon and metal particles used as a catalyst during production.
  • impurities such as amorphous carbon and metal particles used as a catalyst during production.
  • single-walled carbon nanotubes used in the present invention are pure. Is high! /, More preferred! /.
  • Examples of methods for purifying carbon nanotubes include liquid phase acid treatment using nitric acid, sulfuric acid, etc., gas phase oxidation treatment in an oxygen or air atmosphere, or a combination thereof.
  • the purity of the single-walled carbon nanotube can be measured by Raman measurement.
  • the transparent conductive film according to the present invention has a Raman intensity distribution characteristic detected by irradiating a single-walled carbon nanotube with a laser having a wavelength of 532 nm.
  • the Raman shift is 1340 ⁇ 40 Kaiser
  • the first absorption is obtained for the intensity of the Raman scattered light
  • the Raman shift is 1590 ⁇ 20 Kaiser
  • the second absorption is obtained for the intensity of the Raman scattered light.
  • the ID / IG value is preferably 0.03 or less, and more preferably 0.02 or less. If the ID / IG value is greater than 0.03, the purity may be low and transparency may be reduced.
  • the strength of the transparent conductive film used in the present invention varies depending on the application, and the thickness of the transparent conductive film is preferably 10 nm or more and 500 nm or less. If the thickness of the transparent conductive film is 10 nm or less, the conductivity may be insufficient, and if it is 500 nm or more, the transparency may be insufficient.
  • the method for forming the conductive layer on the substrate is preferably a method in which the carbon nanotubes are dispersed in a solvent and then coated on the substrate, and the solvent is removed by heating.
  • the method for dispersing the carbon nanotubes in the solvent is not particularly limited as long as it is a known dispersion method.
  • the surface of the carbon nanotubes is modified using a compound having a polar group such as a hydroxyl group, a carboxyl group, or an amino group as a dispersant.
  • a method of dispersing using a mechanical shearing force such as a roll mill, a bead mill, a ball mill, or ultrasonic irradiation.
  • the solvent is not particularly limited as long as it is generally used in paints.
  • ketone compounds such as acetonitrile, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone; methyl acetate, ethyl acetate , Ester compounds such as butyl acetate, ethyl lactate and methoxyethyl acetate; ether compounds such as jetyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethinorecerosolve, butylcetosolve, phenylacetate solve and dioxane; toluene, xylene Aromatic compounds such as pentane and hexane; halogenated hydrocarbons such as methylene chloride, black benzene and black form; alcohol compounds such as methanol, ethanol, normal propanol and isopropanol, water, etc.
  • the power to raise S for example, ketone compounds such
  • the ratio of the carbon nanotubes to the solvent is preferably 0.01 wt% or more and 10 wt% or less, and more preferably 0.1 wt% or more and lwt% or less when the total weight is 100 wt%.
  • the method of coating on the substrate is not particularly limited as long as it is a known method, but impregnation method, coating method using roll, die coating, spraying method of spraying on substrate, curtain flow coating Etc. Also, when it is necessary to process a conductive film into a desired shape when using a metal oxide conductive film, a process called etching that removes unnecessary portions after forming a transparent conductive film on the entire surface once In the present invention, the force that is required In the case of a coating method to be used, a desired pattern can be formed simply by printing in a desired shape by a method such as letterpress printing, intaglio printing, or gravure printing.
  • the step of removing the solvent by heating is not particularly limited as long as it is a known method, and examples thereof include a heating furnace and a far-infrared furnace.
  • the present invention also provides a transparent conductive film having a static contact angle of N-methyl-2-pyrrolidone with respect to the transparent conductive film of 0 ° or more and 5 ° or less.
  • N-methyl-2-pyrrolidone is an organic solvent that is commonly used to dissolve polyimide used in the production of alignment films, and uses a substrate with high wettability to N-methyl-2-pyrrolidone.
  • a uniform polyimide thin film can be formed on the transparent electrode layer.
  • the static contact angle refers to the angle between the tangent of the contact point of the substrate and the droplet in the equilibrium state and the substrate after dropping N-methyl-2-pyrrolidone onto the substrate. .
  • the static contact angle of N-methyl 2-pyrrolidone to the transparent electrode layer is 0 ° or more. It is a transparent conductive film which is 5 ° or less. When the static contact angle is 5 ° or more, even if a polyimide solution is applied on the transparent electrode layer with low wettability, repelling and pinholes may occur, and a uniform film may not be obtained.
  • the main component of the transparent conductive film is a single-walled carbon nanotube, and the single-walled carbon nanotube exists in a bundle state, and is a bundled state in a scanning electron microscope observation.
  • the rope shape can be confirmed. Thereby, wettability becomes high because the surface of the transparent conductive film has a fine uneven shape.
  • the transparent conductive film of the present invention has a conductive layer including a single-walled carbon nanotube having a carboxyl group!
  • the single-walled carbon nanotube having a carboxyl group is particularly obtained by wet oxidation of single-walled carbon nanotubes with nitric acid or a mixed acid of nitric acid and sulfuric acid.
  • the carboxyl group is a group represented by COOM (M is a metal element such as K or Na).
  • the single-walled carbon nanotube contains a carboxyl group (COOM group)! /, Whether or not a single-walled carbon nanotube dispersion is added with a polyvalent metal ion capable of ion-bonding to the carboxyl group. This can be confirmed by the presence or absence of aggregation of carbon nanotubes (see Langmuir (2001) 17, 7172).
  • Ingredients of polyvalent metal ions capable of ion binding with carboxyl groups Examples of body include calcium chloride and copper chloride.
  • the single-walled carbon nanotube has a carboxyl group (COOM group).
  • the metal element M alkali metals such as Li, Na, K, etc., anorectal earth metals such as Be, Mg, Ca, Al, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu Transition metals such as Zn, Pd and the like.
  • alkali metals such as Li, Na, and K, which are preferable to monovalent metal elements, are more preferable. Of these, Na and K are particularly preferable.
  • COONa is preferred for applications that require electrical conductivity.
  • COOK is preferred for applications that require high-temperature heat resistance.
  • a conductive layer containing a polymer having a sulfonic acid group and a single-walled carbon nanotube may be provided on the substrate, or the conductive film having a sulfonic acid group may be high.
  • a conductive layer including a molecular layer and single-walled carbon nanotubes may be provided on the substrate.
  • the polymer having a sulfonic acid group used in the present invention is preferably a fluororesin having a sulfonic acid group.
  • fluororesins include polytetrafluoroethylene copolymers, tetrafluoroethylene 'perfluoroalkyl butyl ether copolymers, tetrafluoroethylene' hexafluoropropylene copolymers, Examples thereof include tetrafluoroethylene / ethylene copolymer, polyvinylidene fluoride, polychlorotrifluoroethylene, and black trifluoroethylene ethylene copolymer.
  • this is a good example, it is just a specific example, and other things are acceptable.
  • Polystyrene sulfonic acid copolymers are also preferred polymers.
  • polyether ketone polyether ether ketone
  • polyether enorephone polyether eno enorephone
  • polinorephone polinoreido
  • polyphenylene polydienoxide
  • polyimide polyimide
  • polybenzoimidazole polyamide
  • these copolymers can also be used.
  • these resins have sulfonic acid groups.
  • a fluorine-based resin having a sulfonic acid group or a polystyrene sulfonic acid copolymer is more preferable.
  • the conductive layer is formed by, for example, applying a solution in which a polymer having carbon nanotubes and a sulfonic acid group is dispersed in a solvent on a base material (substrate), and removing the solvent by drying (heating). Composed.
  • a transparent conductive film in which a conductive layer containing single-walled carbon nanotubes and a polymer layer having a sulfonic acid group are provided on a substrate in particular, a conductive film containing single-walled carbon nanotubes on the substrate.
  • a transparent conductive film in which a layer is provided and a polymer layer having a sulfonic acid group is provided thereon will be described.
  • the base material of the transparent conductive film, the single-walled carbon nanotube, and the polymer having a sulfonic acid group in this example those described above can be used.
  • the above-described method as a coating method.
  • the layer provided on the base material was basically only the conductive layer.
  • at least two layers of a conductive layer containing single-walled carbon nanotubes and a polymer layer having a sulfonic acid group are provided.
  • the lower layer conductive layer containing single-walled carbon nanotubes
  • the upper layer polymer layer having a sulfonic acid group
  • a multilayer coating method in which the upper layer and the upper layer are simultaneously formed may be used.
  • the present invention provides a transparent electrode substrate using the transparent conductive film.
  • the transparent electrode substrate according to the present invention is not particularly limited as long as the transparent conductive film according to the present invention is used.
  • the entire substrate surface may be covered with an electrode, or may be patterned. May be.
  • a method may be used in which a transparent conductive film is once disposed on the entire surface of the substrate and then partially removed, or a method in which the transparent electrode is disposed by pattern printing. .
  • the film thickness of the transparent conductive film used for the transparent electrode plate is preferably 10 nm or more and 500 nm or less. When the film thickness of the transparent conductive film is 10 ⁇ m or less, the conductivity may be insufficient, and when it is 500 nm or more, the transparency may be insufficient.
  • the present invention provides a method for producing a liquid crystal alignment film using the transparent electrode substrate according to the present invention.
  • the method for producing an alignment film according to the present invention uses the transparent electrode substrate according to the present invention. If there is no particular limitation, a method of applying a polyimide solution or a polyimide precursor solution on the transparent electrode substrate according to the present invention is preferable.
  • the thickness of the alignment film is preferably at least larger than the uneven step of the transparent conductive layer. Specifically, it is preferably lOOnm or more and lO ⁇ m or less.
  • the heating temperature is preferably in the range where the substrate used does not deform.
  • the method for aligning the liquid crystal is not particularly limited as long as it is a known method, but examples thereof include a method of physically rubbing the polyimide film surface and a method of irradiating active energy rays.
  • the present invention is a method for producing carbon nanotubes, comprising the following steps:! To 4 in the order described.
  • Process 1 Process to obtain crude carbon nanotubes by arc discharge method
  • Step 2 Wetting the crude carbon nanotubes with a solvent containing water
  • Step 3 A step of acid-treating the crude carbon nanotube with an aqueous solution containing nitric acid, wherein the reaction temperature is 60 ° C or higher and 90 ° C or lower and the reaction time is 24 hours or longer and 72 hours or shorter.
  • Step 4 A step of obtaining a dispersion of purified carbon nanotubes by circulating the reaction solution obtained in the previous step by internal pressure type circulation filtration
  • Step 1 is a step of obtaining crude carbon nanotubes by an arc discharge method.
  • the crude carbon nanotube used in the production method according to the present invention must be a crude carbon nanotube obtained by an arc discharge method.
  • Force Bonn nanotubes produced by methods other than the arc discharge method differ in the amount of impurities and the number of defects, so that the purity cannot be improved and the yield may be low.
  • the arc discharge method is a method for producing crude carbon nanotubes by applying an arc voltage to a carbonaceous material to generate an arc discharge and evaporating the carbon material, and includes a metal catalyst such as nickel or iron. In the way It is okay.
  • the crude carbon nanotube used in the present invention is not particularly limited as long as it is obtained by an arc discharge method, and can be applied to various carbon nanotubes such as a single-wall carbon nanotube, a multi-wall carbon nanotube, and a multi-wall carbon nanotube. It is particularly useful as a purification method for 1S single-walled carbon nanotubes.
  • the single-walled carbon nanotubes in the crude carbon nanotubes obtained by the arc discharge method are 90% of the total carbon nanotubes (single-walled carbon nanotubes + multi-walled carbon nanotubes) It is more preferable that it is 95% or more.
  • the proportion of single-walled carbon nanotubes can be determined by observation with a transmission electron microscope.
  • Step 2 is a step of wetting the crude carbon nanotubes with a solvent containing water.
  • the step 3 includes a step using an acid.
  • an acid In general, there is a risk of ignition when a carbon material and a strong acid are brought into contact with each other. To prevent this, a process of wetting the crude carbon nanotube with a solvent containing water is necessary.
  • the solvent used in step 2 is not particularly limited as long as it contains at least water, but is preferably a solvent that substantially prevents ignition and is compatible with strong acids. Specific examples include water, methanol, ethanol, propanol, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, acetone, and acetonitrile.
  • Step 3 is a step of treating the crude carbon nanotube with an aqueous solution containing nitric acid, wherein the reaction temperature is 60 ° C or more and 90 ° C or less and the reaction time is 24 hours or more and 72 hours or less. It is. Step 3 is a step required to dissociate the physical bond between carbon nanotubes and impurities, and also serves as a step for decomposing a certain amount of amorphous carbon.
  • the aqueous solution used for the acid treatment in Step 3 includes the solvent containing water used in Step 2, and is not particularly limited as long as it contains nitric acid. Specifically, only nitric acid, sulfuric acid, Examples include mixed acids with hydrogen peroxide water and hydrochloric acid.
  • an aqueous nitric acid solution of 30% to 70% is preferable, and an aqueous nitric acid solution of 50% to 65% is more preferable.
  • the concentration of aqueous nitric acid solution is 3 If it is less than 0%, the reaction rate is slow. If it is more than 70%, the handling risk increases.
  • a mixed acid of nitric acid and sulfuric acid can also be preferably used in the present invention.
  • the aqueous solution containing nitric acid is composed of water, 69% nitric acid and 98% sulfuric acid, and the volume ratio of each aqueous solution containing nitric acid is a (vol%), b (vol%), c (vol %)), The formula (4) and the formula (5);
  • ⁇ a / (a + b + c) ⁇ is less than 0.1, the oxidation power is too strong and the carbon nanotubes may be decomposed. If it is greater than 0.5, the oxidation power Is too weak to slow the reaction speed. If the value of ⁇ b / (b + c) ⁇ is less than 0.20 or greater than 0.8, there is a risk that the oxidation rate is too weak and the reaction rate becomes slow.
  • Step 4 is a step of obtaining a dispersion of purified carbon nanotubes by filtering the reaction solution obtained in the previous step.
  • the acid-treated carbon nanotube reaction liquid is dispersed or precipitated in the solution in a state in which impurity particles having a diameter of about 20 nm and carbon nanotube bundles are separated. For this reason, impurities can be removed by filtering using a filter having a pore size larger than the impurities and smaller than the carbon nanotube bundle.
  • the filtration method is preferably a cross flow filtration using a hollow fiber membrane without limitation if it is a known internal pressure type circulation filtration method.
  • shear stress is applied to the bundle of carbon nanotubes by performing internal pressure type circulation filtration, the bundles are twisted together to form rope-like carbon nanotubes.
  • the method for producing carbon nanotubes according to the present invention is not particularly limited as long as it includes the above steps;! To 4, but further includes steps 5 to 7 described below between step 3 and step 4. This Are more preferable.
  • Step 5 is a step of cooling and neutralizing the reaction solution obtained in the previous step. By adding this step, the dispersibility of the carbon nanotubes and impurities in the reaction solution is improved. Over efficiency can be increased. Furthermore, the next process can be performed safely.
  • the neutralizing agent used in step 5 is not particularly limited as long as it is an alkaline compound, but sodium carbonate or hydrogen carbonate is preferred from the viewpoint of suppressing the neutral heat that sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, etc. are preferred. Sodium is more preferred.
  • Step 6 is a step of adding a dispersant to the reaction solution obtained in the previous step. By adding this step, the dispersibility of carbon nanotubes and impurities in the reaction solution is improved, and the filtration efficiency is increased. Can be raised.
  • the dispersant is not particularly limited as long as it is a known compound! /, But from the viewpoint of dispersibility, it is preferably a compound containing an alkylbenzyl group! /. If the alkyl group contained in the alkyl benzyl group is too small, the dispersibility is too low, and if it is too large, the water solubility will be reduced. 12 or less is more preferable.
  • the dispersant is preferably a nonionic or anionic dispersant.
  • specific examples include polyethylene glycol monooctyl phenyl ether, polyethylene glycol monononeno phenenole etherenole, polyethylene glycol monomono dodecino enoeno etherate, octyl benzene sulfonate, nonyl benzene sulfonate, dodecyl benzene.
  • Examples thereof include sulfonate, dodecyl diphenyl ether disulfonate, monoisopropyl naphthalene sulfonate, dibutyl naphthalene sulfonate, and naphthalene sulfonic acid formalin condensate.
  • sodium dodecylbenzenesulfonate is preferred, and sodium dodecylbenzenesulfonate is more preferred.
  • Step 7 is a step of irradiating the reaction solution obtained in the previous step with ultrasonic waves. By adding this step, the dispersibility of carbon nanotubes and impurities in the reaction solution is improved, and filtration is performed. Efficiency can be increased.
  • it is a publicly known method for irradiating ultrasonic waves, there is no particular limitation, and it is possible to use a bath type ultrasonic irradiator or a chip type ultrasonic irradiator. From the viewpoint of processing in a shorter time, it is more preferable to use a chip-type ultrasonic irradiator.
  • step 5 to 7 when at least two steps among steps 5 to 7 are included between step 3 and step 4, it is preferable to include step 5, step 6, and step 7 in this order.
  • the method for producing carbon nanotubes according to the present invention is not particularly limited as long as it includes the above-mentioned steps;! To 4, but it is more preferable that step 8 is further included after step 4.
  • Step 8 is a step of aggregating and taking out the carbon nanotubes by adding a flocculant to the purified dispersion of carbon nanotubes.
  • the flocculant is not particularly limited as long as it is a compound that lowers the dispersion stability in the dispersion.
  • a method of reducing the dispersion stability by a solvent shock or a carboxyl group generated by acid treatment of carbon nanotubes For example, a method of forming a salt by using it.
  • the flocculant using the solvent shock is not particularly limited as long as it is a water-soluble organic solvent, and examples thereof include methanol, ethanol, propanol, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, acetone, and acetonitrile. Of these, propanol is preferred. Isopropyl alcohol is the most preferred!
  • the amount of the organic solvent added is preferably 50 to 200% by volume, more preferably 70 to 150% by volume, based on the carbon nanotube dispersion.
  • the flocculant that forms a salt using the carboxyl group of the carbon nanotube is not particularly limited as long as it contains a polyvalent cation.
  • Magnesium, aluminum, calcium, iron, cobalt, nickel, copper examples thereof include halides such as zinc, hydroxides, sulfates and ammonium salts.
  • Specific examples include magnesium chloride, aluminum chloride, calcium chloride, iron sulfate, cobalt chloride, nickel chloride, copper sulfate, and zinc chloride. Of these, copper sulfate is preferred because copper salts with a lower ionization tendency are preferred.
  • the purity of the purified carbon nanotubes can be confirmed by Raman spectrum measurement. Specifically, the purity of carbon nanotubes can be confirmed by the ratio of the absorption intensity derived from graphene sheet, which is the main component of carbon nanotubes, and the absorption intensity derived from components representing other carbon materials. it can. For example, when a carbon nanotube produced by arc discharge is measured by irradiating a laser beam with a wavelength of 532 nm, the Raman shift has a first absorption in the intensity of the Raman scattered light in the range of 1340 ⁇ 40 Kaiser. At the same time, it has a second absorption in the intensity of the Raman scattered light in the range where the Raman shift is 1590 ⁇ 20 Kaiser.
  • the first absorption is said to be derived from dalaphen sheet
  • the second is said to be derived from the SP3 orbit of carbon atoms. That is, the second absorption intensity is smaller than the first absorption intensity S, and the purity of the carbon nanotube is increased.
  • the single-walled carbon nanotube obtained by the production method of the present invention has a Raman intensity distribution characteristic detected by irradiating a laser having a wavelength of 532 nm, and the Raman scattered light is within a range where the Raman shift is 1340 ⁇ 40 Kaiser. It has a first absorption in intensity, and has a second absorption in the intensity of Raman scattered light in a range where the Raman shift is 1590 ⁇ 20 Kaiser.
  • the intensity of the first absorption is ID, and the second absorption Formula (1) when strength is IG
  • the purity of the single-walled carbon nanotube may be low.
  • the carbon nanotubes obtained by the production method of the present invention have few defects and few impurities! Therefore, they are suitable as hydrogen storage materials and transparent conductive materials.
  • a 5 L separable flask was charged with 30 g of a crude single-walled carbon nanotube (Carbolex) obtained by an arc discharge method and 300 ml of distilled water, and the crude single-walled carbon nanotube was completely wetted with distilled water.
  • the crude carbon nanotubes were observed with a transmission electron microscope, no multi-walled carbon nanotubes were observed.
  • stirring with a mechanical stirrer 2700 ml of 69% nitric acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added dropwise, followed by stirring at 85 ° C for 48 hours.
  • Sodium dodecylbenzenesulfonate (soft type) (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) was added to the reaction solution with a pH of 10 after adding 6 g of solid content, and then a cone-type ultrasonic irradiator (device name: ULTRASONIC HOMOGENIZER MODEL UH— 600SR And manufactured by SMT Co., Ltd.) for 5 minutes.
  • reaction solution was centrifuged at 13000 rpm for 1 hour (product name: CR26H, manufactured by Hitachi, Ltd.). The supernatant was recovered and used as a crude purified solution. The recovery rate for unpurified single-walled carbon nanotubes at this point was 20%.
  • the roughly purified liquid was put into a 2 L polyethylene tank and subjected to cross flow filtration.
  • the hollow fiber membrane module used had a pore size of 200 nm and a membrane area of 5800 cm 2 (manufactured by SPECTRUM).
  • the cleaning solution was sodium dodecylbenzenesulfonate (soft type) so that the concentration was 0.2 wt% in a 0.005 M aqueous sodium hydroxide solution. ).
  • the crude purified solution was washed with 20.0 L of washing solution to obtain a purified single-walled carbon nanotube dispersion.
  • Example 1 2700 ml of 69% nitric acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added dropwise. Water (420 ml), 69% nitric acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 420 ml, 97% sulfuric acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) ) The same operation as in the example was performed except that 1260 ml was sequentially dropped.
  • the crude purified solution was put into a 300 ml flask and subjected to cross flow filtration using a hollow fiber membrane module (product name: Midi Cross ⁇ Cross Flow Module SPECTRUM) with a pore size of 200 nm and a membrane area of 105 cm 2
  • SPECTRUM Midi Cross ⁇ Cross Flow Module
  • the residue is collected and poured into 300 ml of distilled water, and then irradiated with ultrasonic waves for 5 minutes using a cone-type ultrasonic irradiator (device name: ULTRA SONIC HOMOGENIZER MODEL UH—600SR, manufactured by SMT Co., Ltd.) to disperse the purified carbon nanotubes in water. A liquid was obtained.
  • a cone-type ultrasonic irradiator device name: ULTRA SONIC HOMOGENIZER MODEL UH—600SR, manufactured by SMT Co., Ltd.
  • the resulting purified carbon nanotube dispersion in water is spray coated onto a 125,1 m thick polyester film (trade name: Cosmo Shine A4100, manufactured by Toyobo Co., Ltd.). Obtained.
  • the surface resistivity was measured by a 4-terminal 2-probe method (device name: Lorester FP, manufactured by Dia Instruments Co., Ltd.). 170 ⁇ / port, total light transmittance was measured (device name: direct reading haze computer) (Suga Test Instruments Co., Ltd.) 60.5%.
  • FIG. 1 A scanning electron micrograph of the surface of the transparent electrode substrate obtained in Example 3 is shown in FIG.
  • the carbon nanotubes exist in a bundled state, and the shape of the rope, which is the bundled state, can be confirmed in the central part of FIG.
  • the contact angle of N-methyl-2-pyrrolidone to a transparent electrode substrate (trade name 300RK (manufactured by CU Toyobo Co., Ltd.)) with an ITO film laminated on a polyester film was 11 ° (device name: Elma goniometer type contact angle measuring instrument Elma Manufactured by Optics Co., Ltd.).
  • the surface resistivity was measured with a 4-terminal 2-probe method (device name: Lorester FP, manufactured by Dia Instruments Co., Ltd.). 250 ⁇ / port, total light transmittance was measured (device name: direct-reading haze computer) (Suga Test Instruments Co., Ltd.) 88.5%.
  • Single-walled carbon nanotubes (by CNI) produced by chemical evaporation method were added to 0.5% sodium dodecylbenzenesulfonate (soft type) aqueous solution 1 Og, and then cone type ultrasonic irradiation machine (device name: ULTRASONIC HOMOGENIZER MODEL UH — 6 00SR, manufactured by SMT Co., Ltd.) was irradiated with ultrasonic waves for 5 minutes and centrifuged at 3000 rpm for 20 minutes (product name: CR26H manufactured by Hitachi Koki Co., Ltd.), and the supernatant was collected and purified carbon. An aqueous dispersion of nanotubes was obtained.
  • the obtained dispersion was spray coated in the same manner as in Example 3 to obtain a transparent electrode substrate.
  • the contact angle of N-methyl-2-pyrrolidone with respect to the obtained transparent electrode substrate was 10 ° (device name: Elma Goniometer-type contact angle measuring instrument, manufactured by Elma Optical Co., Ltd.). Surface resistivity is 4 terminals, 2 probe method (Device name: Lorester FP, manufactured by Dia Instruments Inc.) Measured at 1,500 ⁇ / mouth, the total light transmittance was measured (apparatus name: direct reading, computer, manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.), 65.0%.
  • FIG. 8 A scanning electron micrograph of the transparent electrode substrate surface obtained in Comparative Example 2 is shown in FIG. As can be seen from Fig. 8, the carbon nanotubes exist in the bundle state. The rope shape, which is the aggregate state of the bundle, cannot be confirmed.
  • Example 3 From the results of Example 3 and Comparative Examples 1 and 2 above, the transparent electrode substrate using carbon nanotubes and capable of confirming the rope shape in the bundled state by SEM observation is more wettable. It can be seen that it is expensive. Therefore, when preparing the alignment film, the transparent electrode substrate obtained in Example 3 has no repellency or pinholes compared to the transparent electrode substrate obtained in Comparative Examples 1 and 2, and a uniform film is obtained. I understand that
  • the aqueous dispersion of single-walled carbon nanotubes obtained in Example 1 was spray-coated on a PET film (trade name Cosmo Shine A4100: manufactured by Toyobo Co., Ltd.) to form a conductive layer.
  • a PET film trade name Cosmo Shine A4100: manufactured by Toyobo Co., Ltd.
  • the total light transmittance of the obtained transparent conductive film was measured (measured with a direct reading haze computer manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.), the total light transmittance was 80%, and the surface resistance was measured (manufactured by Daiinsturmench). (Measured with Lorester FP) of 560 ⁇ / mouth.
  • perfluorosulfonic acid / PTFE copolymer (sulfonic acid group is about 1 milliequivalent / g: naphthion (trade name) manufactured by DuPont) n-propyl alcohol
  • the solution solid content concentration about 1% by mass
  • the surface resistance after the high temperature test was 604 ⁇ / mouth, and the surface resistance change The rate was 1 08%.
  • the surface resistance of the reference example after the high temperature test was 2800 ⁇ / mouth, and the surface resistance change rate was 483%.
  • Single-walled carbon nanotubes prepared by the arc discharge method were reacted with 63% nitric acid at 85 ° C for 2 days. Thereafter, the carboxyl group-containing single-walled carbon nanotubes were collected by filtration.
  • the obtained dispersion was spray-coated on a PET film (Cosmo Shine A4100 (trade name) manufactured by Toyobo Co., Ltd.). Thereafter, octylphenol polyethylene glycol ether was removed with methanol to obtain a transparent conductive film.
  • the surface resistance of the transparent conductive film thus obtained was measured to be 350 ⁇ / port, and the total light transmittance was measured to be 81.5%.

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Description

明 細 書
透明導電膜、透明電極基板およびこれを用いた液晶配向膜の製造方法 並びにカーボンナノチューブおよびその製造方法
技術分野
[0001] 本発明は透明導電膜に関するものであり、より詳しくはカーボンナノチューブおよび その製造方法並びにカーボンナノチューブを用いた透明電極基板に関する。
背景技術
[0002] 近年、電子手帳、携帯電話、ビデオカメラ、コンピューターのディスプレイ、液晶テレ ビなどに液晶表示素子が広く使用されている。
液晶表示素子としては、透明電極基板上にポリアミック酸や、ポリイミドからなる液晶 配向膜を形成した 2枚の基板間に正の誘電異方性を有するネマチック液晶層を挟持 してサンドイッチ構造のセルとした、液晶分子の長軸が一方の基板から他方の基板 に向かって 90° ねじれた構造を有する、いわゆる TN(Twisted Nematic)型液晶表示 素子、該 TN型よりコントラスト、視角依存性の点で優れる STN(Super Twisted Nem atic)型液晶表示素子が知られている。
[0003] 透明電極基板の電極として用いられる材料はインジウム錫酸化物などの金属酸化 物が主流である。透明電極基板上に液晶配向膜を形成する方法としてはポリアミック 酸や、溶剤に可溶なポリイミドなどの溶液を凸版印刷法、フレキソ印刷法などにより印 刷し、焼成した後、ナイロンやレーヨンなどの布（ラビング材）で一方向に擦ることで形 成される方法が主流である。この配向処理方法は通常「ラビング法」と呼ばれており、 一定方向の微細な凹凸に沿って液晶分子を配列させることで液晶の配向を制御する
[0004] ポリアミック酸を用いる場合は良好な印刷性が得られるものの電気的特性が低い。
一方、ポリイミド溶液を用いる場合は良好な電気的特性が得られるが、印刷性が悪 ぐ均一な膜を得ることが困難である。ポリイミドの溶解性の観点からアミド系溶剤を用 いることが多いが、アミド系溶媒は一般に表面張力が高ぐこれが印刷性の悪い原因 となっている。 [0005] 従来は、これを解決するために脂肪族環状構造を有する酸無水物のオリゴマーと、 芳香族環がエーテル結合等で結合した化合物のオリゴマーの混合物を用いることで 溶解性を向上させる方法（特許文献 1)、 N, N—ジメチルァセトアミドを溶媒として濡 れ性を改善する方法 (特許文献 2)、表面張力の低い溶剤を加える（特許文献 3)方 法が提案されている。
[0006] V、ずれの方法も電極基板への濡れ性を向上させる方法としては優れた方法である
1S 特許文献 1および 2に開示されている方法は、上述のポリアミック酸の場合同様 にポリアミック酸を用いているため電気的特性が低下する可能性があり、特許文献 3 に開示されている方法は、ハロゲン系溶媒を用いるため環境への負荷が大きい。こ のため、電気的特性を下げることなく均一な配向膜が得られる配向膜の作製方法が 望まれていた。
[0007] 一方、透明導電膜としては単層カーボンナノチューブを用いた透明導電膜が従来 知られていた。
単層カーボンナノチューブの製造方法としては大別すると化学蒸発法、レーザー蒸 発法、アーク放電法に分けられる。化学気相蒸着法とは反応炉内で炭素の原料とな る気体を分解し単層カーボンナノチューブを製造する方法であり（特許文献 4)、純度 の高い単層カーボンナノチューブを製造できる力、反応温度が低く他方に比べ欠陥 が多く含まれる可能性がある。レーザー蒸発法とは金属触媒と炭素を含むターゲット にレーザービームを照射することによって炭素を蒸発させレーザー蒸発装置中で製 造する方法であり（特許文献 5)、純度が高く欠損の少ない単層カーボンナノチュー ブを製造できるがスケールアップが困難である。アーク放電法とは炭素質材料にァー ク電圧を印加して、アーク放電を生じさせ、カーボン材料を蒸発することによってカー ボンナノチューブを製造する方法であり（特許文献 6)、欠損が少なく簡便に作製可 能であるが、副生成物が多ぐ触媒金属や単層カーボンナノチューブ以外の炭素質 材料が副生成物として含まれる。また容易にスケールアップが可能である。このため 部材として利用するためには精製工程が必要である。
[0008] したがって欠損の少ない単層カーボンナノチューブを大量に使用する用途に関し てはアーク放電法による単層カーボンナノチューブの製造方法を採用することが望ま しいが、その中には精製工程が必要である。
[0009] 単層カーボンナノチューブの精製法に関しては数多くの発明がなされており、大別 すると機械的精製法、電磁的精製法、化学的精製法に分けられる。機械的精製方法 とは粉砕 (特許文献 7)、超音波照射 (特許文献 8)、クロマトグラフィー（特許文献 8)、 ろ過 (特許文献 9)等による精製方法である。電磁的精製法とは電気泳動 (特許文献 10)、磁場印加（特許文献 11)等に代表される電磁気学的精製方法である。機械的 精製方法や電磁気的精製方法はその工程のみでは純度が上がらないことが多ぐ以 下に述べる化学的精製方法と組み合わせることが一般的である。化学的精製方法と は乾式酸化あるいは湿式酸化による精製方法である。乾式酸化とは気層酸化のこと であり、酸素、水蒸気、二酸化炭素等の酸化性ガスまたは酸化性ガスと窒素、ァルゴ ン等の不活性ガスとの混合ガス中 600〜； 1000°Cに加熱する方法である（特許文献 1 2)。湿式酸化とは硝酸、硫酸、過マンガン酸カリウム、クロロスルホン酸、これらの混 合物等の酸化性液体中で処理する精製法である（特許文献 13、 14)。
[0010] 乾式酸化は高い反応温度が必要であり、固体と気体の反応であるため均一性がな いため最適の時間、温度の制御が困難である。
[0011] これらの欠点を解決した方式が湿式酸化であり、均一に反応させることができる。実 用的規模での精製方法としては湿式酸化と内圧型循環ろ過の組み合わせが開示さ れている（特許文献 5、非特許文献 1)。
しかしながらこの中で開示されている湿式酸化の条件はレーザー蒸発法によって 作製した単層カーボンナノチューブに対するものであり、具体的には 2〜3M硝酸水 溶液 (約 20%硝酸水溶液）にて反応させる条件である。同様の酸化条件では酸化力 が弱すぎてアーク放電法によって作製した単層カーボンナノチューブを精製すること はできなかった。
[0012] アーク放電法によって作製した単層カーボンナノチューブの湿式酸化の条件として は硫酸と硝酸の混合溶媒にて反応させる方法が開示されている（特許文献 15)がこ の条件では酸化力が強すぎて殆どの単層カーボンナノチューブが分解され収率が 低下する。また濃硝酸（70%)中、 110〜； 170°Cで 20時間反応させる条件も開示さ れている（特許文献 16)。この条件を行うためには加圧容器が必要であり、スケール アップが困難である。
[0013] 特許文献 14の湿式酸化の条件にて特許文献 2の精製方法を用いることも考えられ る力 この場合濃硝酸溶液をそのまま遠心分離にかける工程が生じ、スケールアップ は安全面から見ても実際には困難であり、産業上利用できるとは言い難い。さらに特 許文献 5、特許文献 14いずれの技術を用いたとしても遠心分離とそれに続くデカン テーシヨンの工程を複数回繰り返す必要があり複雑な工程である。特に遠心分離後 の固体残渣を回収する必要があるので作業時間が長くなる。
[0014] 特許文献 1: ：特開 2002- -88241号公幸
特許文献 2: ：特開 2006- -53380号公幸
特許文献 3: ：特開 2006- -154158号公報
特許文献 4: ：特開 2001- -020071 公報
特許文献 5: ：特表 2002- -515847 公報
特許文献 6: ：特開 2006- -036575 公報
特許文献 7: ：特表 2004- -507436 公報
特許文献 8: ：特開平 06— 228824 公報
特許文献 9: ：特開 2003- -286014 公報
特許文献 10:特開 2000 -072422 公報
特許文献 11:特開 2006 -069850 公報
特許文献 12:特開平 07- -048110 公報
特許文献 13:特開平 08- -012310 公報
特許文献 14:特開平 08- -198611 公報
特許文献 15:特開 2004 -168570 公報
特許文献 16:特開 2003 -054921 公報
非特許文献 l:Appl. Phys. A 67, 29— 37 (1998) A. G. Rinzler等
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
従って、本発明の課題は、電気的特性を下げることなく均一な配向膜が得られる配 向膜の製造方法を提供することおよびアーク放電法によって作製されたカーボンナノ チューブ、特に単層カーボンナノチューブの製造方法であって実用的規模で安全に 行うことのできる製造方法を提供することである。
課題を解決するための手段
[0016] 本発明者らは、濡れ性の高い透明電極基板を用いることによって上述の課題が解 決できることを見出した。さらに濡れ性の高い透明電極基板を得る具体的方法として はカーボンナノチューブを主成分とする薄膜層を用いることで透明性、導電性を有し 、かつ、膜状態でのカーボンナノチューブの形状を制御することで濡れ性を高くでき ることを見出し、さらに検討を重ねた結果、本発明を完成させた。
[0017] 即ち本発明は、透明導電膜の主成分が単層カーボンナノチューブであって、該単 層カーボンナノチューブがバンドル状態で存在しており、走査型電子顕微鏡観察に てバンドルの集合状態であるロープ形状が確認できることを特徴とする透明導電膜で ある。
[0018] また本発明は、前記単層カーボンナノチューブが、波長 532nmのレーザーを照射 して検出されるラマン強度分布特性において、ラマンシフトが 1340 ±40カイザーで ある範囲にラマン散乱光の強度に第 1の吸収を有すると共に、ラマンシフトが 1590土 20カイザーである範囲にラマン散乱光の強度に第 2の吸収を有し、前記第 1の吸収 強度を ID、第 2の吸収強度を IGとしたときに式（1)
0< ID/IG≤0. 03 (1)
を満たすことが好ましぐ透明導電膜に対する N—メチルー 2—ピロリドンの静的接触 角が 0° 以上 5° 以下であることが好ましいものである。
[0019] また、本発明の導電膜は、前記単層カーボンナノチューブは導電層においてバン ドル状態で存在し、そして、 1. 5〃mを越えた長さのバンドルの数が 1. 5〃m以下の 長さのバンドルの数よりも多!/、ことが好まし!/、。
[0020] また、本発明の導電膜は、 COOM (Mは金属元素）基を有する単層カーボンナノ チューブを含む導電層を、基材上に有していてもよい。また、スルホン酸基を有する 高分子と単層カーボンナノチューブとを含む導電層を、基材上に有している力、、また は、スルホン酸基を有する高分子層および単層カーボンナノチューブを含む導電層 を、基材上に有していてもよい。 [0021] また本発明は、上記の透明導電膜を用いた透明電極板である。該透明電極板は、 透明導電膜の膜厚が lOnm以上 500nm以下であることが好ましい。
さらに本発明は、該透明電極板を用いた液晶配向膜の製造方法である。
[0022] さらに、本発明者らは、鋭意検討した結果、アーク放電法によって得られた粗カー ボンナノチューブを精製するにあたり最適な酸処理条件を見出し、さらに検討を重ね た結果、上記課題を解決し得るカーボンナノチューブの製造方法を完成するに至つ た。
[0023] 即ち本発明は、カーボンナノチューブの製造方法であって、以下の工程;!〜 4を記 載された順序で含むことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法である。 工程 1：アーク放電法によって粗カーボンナノチューブを得る工程
工程 2：粗カーボンナノチューブを、水を含む溶媒にて湿潤させる工程
工程 3：粗カーボンナノチューブを、硝酸を含む水溶液にて酸処理する工程であつ て、反応温度が 60°C以上 90°C以下かつ反応時間が 24時間以上 72時間以下であ る工程
工程 4：前工程で得られた反応液を内圧型循環ろ過することによって精製カーボン ナノチューブの分散液を得る工程
ここで、前記工程 1においてアーク放電法によって得られる粗カーボンナノチューブ ヽ全カーボンナノチューブに対して単層カーボンナノチューブを 90%以上含むも のであることが好ましい。
[0024] 本発明における前記工程 3においては、硝酸を含む水溶液が 50%以上 65%以下 の硝酸水溶液であることが好ましぐまた、同前記工程 3において硝酸を含む水溶液 が水、濃硝酸および濃硫酸から成り、それぞれの硝酸を含む水溶液全体に対する体 積比率を a (vol%)、 b (vol%)、 c (vol%)としたときに式（2)および式（3)；
0. 20≤{ a/ (a + b + c) }≤0. 40 (2)
0. 20≤{b/ (b + c) }≤0. 30 (3)
を満たすことが好ましぐ前記工程 4においては、孔径 0· 1 H m以上で 1 H m以下の 中空糸膜を用いることが好ましレ、。
[0025] また、本発明における前記工程 3と工程 4の間に、下記の工程 5、工程 6および/ま たは工程 7を含むことが好まし!/、。
工程 5：前工程で得られた反応液を冷却し、中和する工程
工程 6：前工程で得られた反応液に分散剤を加える工程
工程 7：前工程で得られた反応液に超音波を照射する工程
[0026] さらに本発明は、波長 532nmのレーザーを照射して検出されるラマン強度分布特 性において、ラマンシフトが 1340 ±40カイザーである範囲にラマン散乱光の強度に 第 1の吸収を有すると共に、ラマンシフトが 1590 ± 20カイザーである範囲にラマン散 乱光の強度に第 2の吸収を有し、前記第 1の吸収強度を ID、第 2の吸収強度を IGと したときに式（1)
0< ID/IG≤0. 03 (1)
を満たすことを特徴とする上記の製造方法によって得られる単層カーボンナノチュー ブ マ、ある。
発明の効果
[0027] 本発明による透明電極基板は濡れ性の高!/、透明電極を有して!/、るため、液晶配向 膜を形成するための材料を均一に塗工することができる。このため液晶表示素子の 作製に際し有利に利用することができる。また、本発明のカーボンナノチューブの製 造方法は、安価な原料であるアーク放電法による粗カーボンナノチューブを利用す ることが可能であり、かつ高純度の精製品を大量に得ることができるためカーボンナノ チューブを用いた光学部材ゃ電子部材を作製するにあたり有利に利用することがで きる。
図面の簡単な説明
[0028] [図 1]粗単層カーボンナノチューブのラマン測定の結果を示す図である。
[図 2]精製後の単層カーボンナノチューブに対しラマン測定した結果（実施例 1)を示 す図である。
[図 3]粗単層カーボンナノチューブの SEM写真である。
[図 4]精製後の単層カーボンナノチューブの SEM写真（実施例 1)である。
[図 5]精製後の単層カーボンナノチューブに対するラマン測定の結果（実施例 2)を示 す図である。 [図 6]精製後の単層カーボンナノチューブの SEM写真（実施例 2)である。
[図 7]実施例 3によるカーボンナノチューブを用いた透明電極基板の走査型電子顕 微鏡写真である。
[図 8]比較例 2によるカーボンナノチューブを用いた透明電極基板の走査型電子顕 微鏡写真である。
発明を実施するための最良の形態
[0029] 本発明は透明導電膜の主成分が単層カーボンナノチューブであって、該単層カー ボンナノチューブがバンドル状態で存在しており、走査型電子顕微鏡観察にてバンド ルの集合状態であるロープ形状が確認できることを特徴とする透明導電膜である。単 層カーボンナノチューブは側壁を構成するベンゼン環の相互作用によって数本が束 状に集まったいわゆるバンドル状態で存在することが一般的である。そして、 1. 5 μ mを越えた長さのバンドルの数が 1. 5〃 m以下の長さのバンドルの数よりも多いもの であるのが好ましい。更に好ましくは、長さが 2. 5 m以上のバンドルの数力、長さが 1. 5 m以下のバンドルの数よりも多いものである。
[0030] バンドルの長さを測定する方法としては、単層カーボンナノチューブを走査型顕微 鏡で観察し、その長さを測定する方法が挙げられる。尚、この方法に限定されるもの ではなレ、。測定するバンドルの本数には格別な制限は無!/、が、正確な統計値を得る ためには、 50本以上のバンドルを測定することが好ましい。更には 100本以上の測 定がより好ましい。
[0031] 従来、カーボンナノチューブを用いた透明導電膜については、次のように報告され ている。 ί列えば、: L. Huらの幸告（Nano Lett. , Vol. 4, No. 12, 2004 2513— 2 51 7) , Zhuangchun Wuらの報告（Science Vol. 305, 2004 1273— 1276)、 M. Kaempgenらの報告（Applied Surface Science Vol. 252, 2005 425— 429)では、いずれも単層カーボンナノチューブがバンドル状態で存在しているが、 バンドル同士が更に集まった形状は確認できない。上記報告ではバンドルの太さは 1 Onm程度であるため、これらの単層カーボンナノチューブを積層して透明導電膜を 作製しても表面の凹凸が小さいので濡れ性を向上させることはできない。
[0032] 本発明では、単層カーボンナノチューブのバンドルが更に数本集まってロープ形状 を構成していることが必要である。ロープ形状を構成することによって太さを 20〜10
Onmとし、表面の凹凸が大きくなり、これによつて濡れ性を向上させることができる。
[0033] バンドル状態とバンドルが集合したロープ状態とは、走査型電子顕微鏡観察によつ て判別すること力できる。例えば、図 7ではバンドルは 1本の繊維状に見え、バンドノレ が数本集まったロープ状態も確認することができる。
[0034] 本発明による透明導電膜は走査型電子顕微鏡観察にてバンドルの集合状態であ るロープ形状が確認できることが必要である力 S、存在する全てのバンドルがロープ状 態になっている必要はなぐ 5万倍の走査型電子顕微鏡観察においてロープ状態を 確認できる部分が 1箇所以上あればよい。
[0035] ロープ状態を作る方法としては特に制限はないが、単層カーボンナノチューブある いはそのバンドルに対し機械的せん断力を加える方法が好ましぐ具体的には単層 カーボンナノチューブを液体中に分散させた状態でビーズミル処理や内圧型循環ろ 過処理、特に中空糸膜によるクロスフローろ過処理を行う方法などが挙げられる。
[0036] 本発明による透明導電膜は、主成分が単層カーボンナノチューブであれば例えば 界面活性剤などのその他の成分があっても良!/、。本発明におレ、て主成分が単層力 一ボンナノチューブであるとは、具体的には透明導電膜を走査型電子顕微鏡観察し た場合に、カーボンナノチューブあるいはそのバンドル、バンドルが集まったロープ 形状の存在が確認できる程度の単層カーボンナノチューブが含まれている状態のこ とである。また、本発明の効果を損なわない範囲において、熱可塑性樹脂、熱硬化 性樹脂、光硬化性樹脂、分散剤、導電性高分子、顔料などを含むことが可能である。
[0037] 本発明による透明導電膜に用いる基材は透明なシートまたはフィルムなどであれば 特に制限はなぐアクリル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、スチレン アクリル共重合体、塩化ビュル系樹脂、ポリオレフイン、 ABS (アクリロニトリル—ブタ ジェン スチレン共重合体）、シクロォレフイン系樹脂、セルロース樹脂、ガラスなど 力 S挙げられる。また、必要に応じて基材と導電層間あるいは基材に対して導電層とは 反対面上にハードコート層、防汚層、防眩層、反射防止層、粘着層などを積層したも のを用いることも可能である。
[0038] 本発明に用いる透明導電膜は、用いる用途によっても異なるが、表面抵抗率が 1 Ω /口以上 10000 Ω /口以下かつ、全光線透過率が 40%以上であることが好ましい
[0039] 本発明に用いるカーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブであれば特に 制限はなぐ化学修飾、物理修飾したものであっても良い。また単層カーボンナノチ ユーブの製法についても特に制限はなぐ化学蒸発法、レーザー蒸発法、アーク放 電法など公知の製法を用いることができる。特に結晶性と生産性の観点からアーク放 電法によって作製された単層カーボンナノチューブを用いることが好ましい。
[0040] また、一般に単層カーボンナノチューブは製造時にアモルファスカーボンや触媒と して用いた金属粒子などの不純物を含むことが多レ、が、本発明におレ、て用いる単層 カーボンナノチューブは純度が高!/、程より好まし!/、。
[0041] カーボンナノチューブの精製方法としては、硝酸や硫酸などを用いた液相酸処理 や、酸素や空気雰囲気中での気相酸化処理あるいはこれらの組み合わせなどが挙 げられる。
[0042] 単層カーボンナノチューブの純度はラマン測定によって測定することが可能であり 、本発明による透明導電膜は、単層カーボンナノチューブが波長 532nmのレーザー を照射して検出されるラマン強度分布特性において、ラマンシフトが 1340 ±40カイ ザ一である範囲にラマン散乱光の強度に第 1の吸収を有すると共に、ラマンシフトが 1590 ± 20カイザーである範囲にラマン散乱光の強度に第 2の吸収を有し、前記第 1 の吸収強度を ID、第 2の吸収強度を IGとしたときに式（1)
0< ID/IG≤0. 03 (1)
を満たすことがより好ましい。
[0043] 式（1)において、 ID/IGの値が小さいほど単層カーボンナノチューブの純度が高 いことを表している。本発明においては、 ID/IGの値は 0. 03以下であることが好ま しぐ 0. 02以下であることがより好ましい。 ID/IGの値が 0. 03より大きい場合は純 度が低く透明性が低下する可能性がある。本発明に用いる透明導電膜は用いる用 途によっても異なる力 透明導電膜の膜厚が 10nm以上 500nm以下であることが好 ましい。透明導電膜の膜厚が 10nm以下の場合は導電性が不足することがあり、 500 nm以上の場合は透明性が不足することがある。 [0044] 基材上に導電層を形成する方法としては、カーボンナノチューブを溶媒中に分散さ せた後、基材上に塗工し、溶剤を加熱によって除去する方法が好ましい。
カーボンナノチューブを溶媒中に分散させる方法としては公知の分散法であれば 特に制限はないが、例えば水酸基、カルボキシル基、アミノ基などの極性基を有する 化合物を分散剤としてカーボンナノチューブの表面を修飾する方法や、ロールミル、 ビーズミル、ボールミル、超音波照射など機械的せん断力を用いて分散させる方法 が挙げられる。
[0045] 溶媒は一般的に塗料に用いられるものであれば特に制限はないが、例えばァセト ン、メチルェチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロへキサノン等のケトン系化合 物；酢酸メチル、酢酸ェチル、酢酸ブチル、乳酸ェチル、酢酸メトキシェチルなどの エステル系化合物；ジェチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ェチ ノレセロソルブ、ブチルセ口ソルブ、フエ二ルセ口ソルブ、ジォキサン等のエーテル系化 合物；トルエン、キシレンなどの芳香族化合物;ペンタン、へキサンなどの脂肪族化合 物；塩化メチレン、クロ口ベンゼン、クロ口ホルムなどのハロゲン系炭化水素;メタノール 、エタノール、ノルマルプロパノール、イソプロパノールなどのアルコール化合物、水 などを挙げること力 Sできる。
[0046] カーボンナノチューブの溶媒に対する比率は、総重量を 100wt%とした時に 0. 01 wt%以上 10wt%以下が好ましく 0. lwt%以上 lwt%以下がより好ましい。また必 要に応じてアクリル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、スチレン一アタリ ル共重合体、塩化ビュル系樹脂、ポリオレフイン、 ABS (アクリロニトリル—ブタジエン スチレン共重合体）、シクロォレフイン系樹脂、酢酸ビュル、ブチラール、エポキシ、 光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂等の樹脂を本発明の効果を損なわない範囲で加える ことも可能である。
[0047] 基材上に塗工する方法は公知の方法であれば特に制限はないが、含浸法、ロール を用いた塗工法、ダイコート、基材に噴霧するようなスプレー法、カーテンフローコー トなどが挙げられる。また、通常金属酸化物の導電フィルムを用いたときに導電膜を 所望の形状に加工する必要がある場合は、一旦全面に透明導電膜を形成した後、 不要な部分を除去するエッチングと呼ばれる工程が必要である力、本発明において 用いる塗工法の場合は、凸版印刷、凹版印刷、グラビア印刷などの方法によって所 望の形状に印刷するだけで目的とするパターンを形成することが可能である。
[0048] 溶剤を加熱によって除去する工程は公知の方法であれば特に制限はないが、加熱 炉、遠赤外炉などが挙げられる。
[0049] また本発明は、透明導電膜に対する N—メチルー 2—ピロリドンの静的接触角が 0 ° 以上 5° 以下である透明導電膜を提供する。 N—メチル—2—ピロリドンは、配向 膜を製造する際に用いるポリイミドを溶解する際に一般的に用いられている有機溶剤 であり、 N—メチルー 2—ピロリドンに対する濡れ性の高い基材を用いることによって 透明電極層上に均一なポリイミド薄膜を形成することができる。
[0050] 本発明において静的接触角とは、 N—メチルー 2—ピロリドンを基材に滴下した後、 平衡状態における基材と液滴の接点の接線と基材との角度を!/、う。静的接触角が小 さレ、ほど濡れ性が高!/、ことを表し、本発明にお!/、ては透明電極層に対する N—メチ ルー 2—ピロリドンの静的接触角が 0° 以上 5° 以下である透明導電膜である。静的 接触角が 5° 以上の場合は濡れ性が低ぐ透明電極層上にポリイミド溶液を塗布した 場合もはじきやピンホールが発生し、均一な膜が得られない可能性がある。
[0051] 具体的には、透明導電膜の主成分が単層カーボンナノチューブであって、該単層 カーボンナノチューブがバンドル状態で存在しており、走査型電子顕微鏡観察にて バンドルの集合状態であるロープ形状が確認できるものである。それにより、透明導 電膜表面が微細凹凸形状を有することで濡れ性が高くなる。
[0052] 本発明の透明導電膜においては、カルボキシル基を有する単層カーボンナノチュ ーブを含む導電層を有して!/、てもよ!/、。カルボキシル基を有する単層カーボンナノチ ユーブは、特に、単層カーボンナノチューブが硝酸あるいは硝酸と硫酸との混酸によ る湿式酸化で得られたものである。カルボキシル基は、 COOM (Mは K, Na等の金 属元素）で表される基である。
[0053] 単層カーボンナノチューブにカルボキシル基（COOM基）が含まれて!/、るか否かは 、単層カーボンナノチューブ分散液にカルボキシル基とイオン結合可能な多価金属 イオンを添加した時の、カーボンナノチューブの凝集の有無で確認できる（Langmui r (2001) 17、 7172参照）。カルボキシル基とイオン結合可能な多価金属イオンの具 体例としては塩化カルシウム、塩化銅などが挙げられる。そして、単層カーボンナノチ ユーブ分散液にカルボキシル基とイオン結合可能な多価金属イオンを添加した時に 、カーボンナノチューブの凝集が起きた場合、単層カーボンナノチューブにカルボキ シル基（COOM基）が有ると判断できる。ここで、金属元素 Mとしては、 Li, Na, K等 のアルカリ金属、 Be, Mg, Ca等のァノレカリ土類金属、 Al, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Pd等の遷移金属が挙げられる。但し、これ等の中でも、 1価の金 属元素が好ましぐ Li, Na, K等のアルカリ金属がより好ましい。中でも、 Na, Kが特 に好ましい。例えば、導電性が特に求められる用途の場合には COONaが好ましぐ 高温耐熱性が特に求められる用途の場合には COOKが好ましい。
[0054] 本発明の透明導電膜においては、スルホン酸基を有する高分子と単層カーボンナ ノチューブとを含む導電層を、基材上に有していてもよいし、スルホン酸基を有する 高分子層および単層カーボンナノチューブを含む導電層を、基材上に有していても よい。
[0055] 本発明で用いられるスルホン酸基を有する高分子としては、好ましくは、スルホン酸 基を有するフッ素系樹脂である。フッ素系樹脂としては、例えばポリテトラフルォロェ チレン共重合体、テトラフルォロエチレン 'パーフルォロアルキルビュルエーテル共 重合体、テトラフルォロエチレン'へキサフルォロプロピレン共重合体、テトラフルォロ エチレン.エチレン共重合体、ポリビニリデンフルォロライド、ポリクロ口トリフルォロェ チレン、クロ口トリフルォロエチレン 'エチレン共重合体などが挙げられる。もちろん、こ れは好ましレ、具体例に過ぎず、これ以外のものであっても良レ、。
[0056] また、ポリスチレンスルホン酸共重合体も好ましい高分子である。
[0057] その他にも、例えばポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテノレ スノレホン、ポリエーテノレエーテノレスノレホン、ポリスノレホン、ポリスノレフイド、ポリフエユレ ン、ポリフエ二レンォキシド、ポリイミド、ポリべンゾイミダゾール、ポリアミド、およびこれ らの共重合体等を用いることもできる。勿論、これ等の樹脂はスルホン酸基を有する ものである。
[0058] 特に、溶媒への溶解性の観点から、スルホン酸基を有するフッ素系樹脂やポリスチ レンスルホン酸共重合体であることがより好ましレ、。 [0059] 導電層は、例えばカーボンナノチューブおよびスルホン酸基を有する高分子を溶 媒中に分散させた溶液を、基材 (基板)上に塗布し、溶剤を乾燥 (加熱）によって除去 することで構成される。
[0060] 次に、単層カーボンナノチューブを含む導電層とスルホン酸基を有する高分子層と が基材上に設けられた透明導電膜、特に、基材上に単層カーボンナノチューブを含 む導電層が設けられ、この上にスルホン酸基を有する高分子層が設けられた透明導 電膜の場合を説明する。
[0061] 本例の透明導電膜の基材、単層カーボンナノチューブ、スルホン酸基を有する高 分子は、各々、上述のものを用いることができる。また、塗布方法としても上述した方 法を用いること力 Sできる。なお、上記した例では基材上に設けられた層は、基本的に は、導電層のみであった。し力もながら、本例では、単層カーボンナノチューブを含 む導電層と、スルホン酸基を有する高分子層との二層が少なくとも設けられている。こ のような複数層を積層形成する方法としては、下層（単層カーボンナノチューブを含 む導電層）を塗布した後で上層（スルホン酸基を有する高分子層）を塗布しても良い 力 下層と上層とが同時に形成される重層塗布方法が用いられても良い。
[0062] 本発明は、上記の透明導電膜を用いた透明電極基板を提供する。
本発明による透明電極基板は本発明による透明導電膜を用いたものであれば特に 制限はなぐ基材表面全面が電極で覆われているものであってもよいし、パターニン グされたものであってもよい。パターユングされた透明電極の場合は、一旦基板表面 全体に透明導電膜を配置した後、一部除去する方法であってもよいし、パターン印 刷によって透明電極を配置する方法であってもよい。また基板と透明電極間にカラー フィルタ一層や誘電体層などがあってもよい。透明電極板に用いられる透明導電膜 の膜厚は、 10nm以上 500nm以下であることが好ましい。透明導電膜の膜厚が 10η m以下の場合は導電性が不足することがあり、 500nm以上の場合は透明性が不足 することがある。
[0063] 本発明は、本発明による透明電極基板を用いた液晶配向膜の製造方法を提供す 本発明による配向膜の製造方法は、本発明による透明電極基板を用いるものであ れば特に制限はな!/、が、本発明による透明電極基板上にポリイミド溶液あるいはポリ イミド前駆体の溶液を塗布する方法が好ましい。配向膜の膜厚は、少なくとも透明導 電層の凹凸の段差よりも厚いことが好ましぐ具体的には lOOnm以上 lO ^ m以下が 好ましい。
さらに、必要に応じて加熱し、ポリイミド前駆体からポリイミド膜を作製したり、溶剤を 除去したりすること力 Sできる。加熱する温度は、用いる基材が変形しない範囲が好ま しい。
液晶を配向させる方法としては公知の方法であれば特に制限はないが、ポリイミド 膜表面を物理的に擦る方法や、活性エネルギー線を照射する方法などが挙げられる
[0064] 本発明はカーボンナノチューブの製造方法であって、以下の工程;!〜 4を記載され た順序で含むことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法である。
工程 1：アーク放電法によって粗カーボンナノチューブを得る工程
工程 2：粗カーボンナノチューブを、水を含む溶媒にて湿潤させる工程
工程 3：粗カーボンナノチューブを、硝酸を含む水溶液にて酸処理する工程であつ て、反応温度が 60°C以上 90°C以下かつ反応時間が 24時間以上 72時間以下であ る工程
工程 4：前工程で得られた反応液を内圧型循環ろ過することによって精製カーボン ナノチューブの分散液を得る工程
[0065] 以下、本発明によるカーボンナノチューブの製造方法の各工程について説明する 工程 1はアーク放電法によって粗カーボンナノチューブを得る工程である。本発明 による製造方法に供する粗カーボンナノチューブはアーク放電法によって得られた 粗カーボンナノチューブであることが必要である。アーク放電法以外で作製された力 ボンナノチューブは不純物の量や欠陥の数が異なるため、純度が向上できなかつ たり、収率が低力、つたりする可能性がある。アーク放電法とは炭素質材料にアーク電 圧を印加して、アーク放電を生じさせ、カーボン材料を蒸発することによって粗カーボ ンナノチューブを製造する方法であり、ニッケルや鉄などの金属触媒を含む方法であ つても良い。
[0066] 本発明に用いる粗カーボンナノチューブはアーク放電法によって得られたものであ れば特に制限はなぐ単層カーボンナノチューブ、複層カーボンナノチューブ、多層 カーボンナノチューブなど種々のカーボンナノチューブに適用することが可能である 1S 単層カーボンナノチューブの精製法として特に有用である。精製された単層カー ボンナノチューブを得ようとする場合、アーク放電法によって得られる粗カーボンナノ チューブ中の単層カーボンナノチューブは、全カーボンナノチューブ（単層カーボン ナノチューブ +複層カーボンナノチューブ）の 90%以上であることが好ましぐ 95% 以上であることがより好ましい。単層カーボンナノチューブの割合は、透過型電子顕 微鏡観察により求めることができる。
[0067] 工程 2は、粗カーボンナノチューブを、水を含む溶媒にて湿潤させる工程である。
本発明による製造方法では工程 3にお!/、て酸を用いる工程が含まれて!/、る。一般 に炭素材料と強酸を接触させると発火する危険性があり、これを防ぐために粗カーボ ンナノチューブを、水を含む溶媒にて湿潤させる工程が必要である。工程 2に用いる 溶媒は少なくとも水を含むものであれば特に制限はないが、実質的に発火を防ぎ、 かつ強酸と相溶性が良い溶媒であることが好ましい。具体的には、水、メタノール、ェ タノール、プロパノール、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、アセトン、ァセ トニトリルなどが挙げられる。
[0068] 工程 3は、粗カーボンナノチューブを、硝酸を含む水溶液にて酸処理する工程であ つて、反応温度が 60°C以上 90°C以下かつ反応時間が 24時間以上 72時間以下で ある工程である。工程 3はカーボンナノチューブと不純物の物理的結合を解離させる ために必要な工程であり、ある程度のアモルファスカーボンを分解する工程も兼ねて いる。
工程 3にお!/、て酸処理に用いる水溶液とは工程 2で用いた水を含む溶媒を含むも のとし、硝酸を含むものであれば特に制限はなぐ具体的には硝酸のみ、硫酸、過酸 化水素水、塩酸などとの混合酸が挙げられる。
[0069] 本発明にお!/、て硝酸のみを利用する場合は、 30%以上 70%以下の硝酸水溶液 が好ましく 50%以上 65%以下の硝酸水溶液がより好ましい。硝酸水溶液の濃度が 3 0%より小さい場合は反応速度が遅ぐ 70%以上の場合は取り扱い時の危険性が高 くなる。
[0070] また、硝酸と硫酸の混合酸も本発明にお!/、て好ましく利用することができる。具体的 には工程 3において硝酸を含む水溶液が水、 69%硝酸および 98%硫酸から成り、 それぞれの硝酸を含む水溶液全体に対する体積比率を a (vol%)、 b (vol%)、 c (vol %)としたときに式 (4)および式（5)；
0. 10≤{ a/ (a + b + c) }≤0. 50 (4)
0. 20≤{b/ (b + c) }≤0. 80 (5)
を満たすことがこのましぐ式（2)および式（3)；
0. 20≤{ a/ (a + b + c) }≤0. 40 (2)
0. 20≤{b/ (b + c) }≤0. 30 (3)
を満たすことがより好ましい。
{ a/ (a + b + c) }の値が 0. 1より小さい場合は、酸化力が強すぎてカーボンナノチ ユーブが分解される危険性があり、 0. 5より大きい場合は、酸化力が弱すぎて反応速 度が遅くなる。 {b/ (b + c) }の値が 0. 20より小さい場合や、 0. 8より大きい場合は、 酸化力が弱すぎて反応速度が遅くなる危険性がある。
[0071] 工程 4は、前工程で得られた反応液をろ過することによって精製カーボンナノチュ ーブの分散液を得る工程である。酸処理を行ったカーボンナノチューブの反応液は 直径 20nm程度の不純物の粒子とカーボンナノチューブのバンドルが分離された状 態で溶液中に分散あるいは沈殿している。このため、不純物よりも大きぐかつカーボ ンナノチューブのバンドルよりも小さい孔径のフィルターを用いて濾過することによつ て不純物を取り除くことができる。
ろ過方法としては公知の内圧型循環ろ過方法であれば制限はなぐ中空糸膜を用 いたクロスフローろ過が好ましい。内圧型循環ろ過を行うことによりカーボンナノチュ ーブのバンドルにせん断応力が加えられると、前記バンドルが撚り合わされて、ロー プ状のカーボンナノチューブが形成される。
[0072] 本発明によるカーボンナノチューブの製造方法は、上述の工程;!〜 4を含むもので あれば特に制限はないが、工程 3と工程 4の間に更に以下に記す工程 5〜7を含むこ とがより好ましい。
[0073] 工程 5は、前工程で得られた反応液を冷却し、中和する工程であり、この工程を加 えることによって反応液中でのカーボンナノチューブや不純物の分散性が向上し、ろ 過効率を上げることができる。さらに安全に次工程を行うことができる。
工程 5において用いる中和剤としてはアルカリ性を示す化合物であれば特に制限 はないが、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムなどが好ましぐ中 和熱を抑える観点からは炭酸ナトリウムまたは炭酸水素ナトリウムがより好ましい。
[0074] 工程 6は、前工程で得られた反応液に分散剤を加える工程であり、この工程を加え ることによって反応液中でのカーボンナノチューブや不純物の分散性が向上し、ろ過 効率を上げることができる。
分散剤としては公知の化合物であれば特に制限はな!/、が、中でも分散性の観点か らアルキルベンジル基を含む化合物よりなることが好まし!/、。アルキルべンジル基に 含まれるアルキル基は小さすぎると分散能力が低ぐ大きすぎると水溶性が低下する ので、アルキル基に含まれる炭素の数は 5個以上 15個以下が好ましぐ 8個以上 12 個以下がより好ましい。
[0075] また、分散剤としてはノニオン系あるいはァニオン系分散剤が好ましい。具体的に はポリエチレングリコールモノォクチルフエニルエーテル、ポリエチレングリコールモノ ノニノレフエニノレエーテノレ、ポリエチレングリコーノレモノドデシノレフエニノレエーテノレ、オタ チルベンゼンスルホン酸塩、ノニルベンゼンスルホン酸塩、ドデシルベンゼンスルホ ン酸塩、ドデシルジフエニルエーテルジスルホン酸塩、モノイソプロピルナフタレンス ホン酸塩、ジブチルナフタレンスルホン酸塩、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物 塩等が挙げられる。中でもドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムが好ましぐ直鎖型 ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムがより好ましい。
[0076] 工程 7は、前工程で得られた反応液に超音波を照射する工程であり、この工程を加 えることによって反応液中でのカーボンナノチューブや不純物の分散性が向上し、ろ 過効率を上げることができる。超音波を照射する方法としては公知の方法であれば 特に制限は無ぐバス型超音波照射機やチップ型超音波照射機を用いることが可能 であり、より短時間で処理する観点からはチップ型超音波照射機を用いることがより 好ましい。
[0077] 本発明において、工程 3と工程 4の間に工程 5〜7のうち少なくとも 2つの工程を含 む場合は、工程 5、工程 6、工程 7の順番で含むことが好ましい。
[0078] 本発明によるカーボンナノチューブの製造方法は、上述の工程;!〜 4を含むもので あれば特に制限はないが、工程 4の後にさらに工程 8を含むことがより好ましい。 工程 8は、精製されたカーボンナノチューブの分散液に凝集剤を加えることによつ て、カーボンナノチューブを凝集させ、取り出す工程である。
この工程を行うことによって、精製したカーボンナノチューブを固体状態で取り出す ことができる。凝集剤としては分散液中での分散安定性を低下させる化合物であれ ば特に制限は無いが、例えば、ソルベントショックによって分散安定性を低下させる 方法や、カーボンナノチューブの酸処理で発生したカルボキシル基を利用して塩を 形成させる方法などが挙げられる。
[0079] ソルベントショックを利用した凝集剤としては水溶性の有機溶剤であれば特に制限 はないが、メタノール、エタノール、プロパノール、ジメチルホルムアミド、ジメチルスル ホキシド、アセトン、ァセトニトリルなどが挙げられる。中でもプロパノールが好ましぐ イソプロピルアルコールが最も好まし!/、。有機溶剤の添加量はカーボンナノチューブ の分散液に対し 50〜200容量％が好ましく 70〜150容量％がより好ましい。
[0080] カーボンナノチューブのカルボキシル基を利用して塩を形成させる凝集剤としては 多価陽イオンを含む塩であれば特に制限はなぐマグネシウム、アルミニウム、カルシ ゥム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛等のハロゲン化物、水酸化物、硫酸塩、アン モニゥム塩などが挙げられる。具体的には塩化マグネシウム、塩化アルミニウム、塩 化カルシウム、硫酸鉄、塩化コバルト、塩化ニッケル、硫酸銅、塩化亜鉛が挙げられ、 中でもよりイオン化傾向の小さい銅塩が好ましぐ硫酸銅がより好ましい。
[0081] 精製したカーボンナノチューブの純度はラマンスペクトル測定によって確認すること 力できる。具体的には、カーボンナノチューブを構成する主成分であるグラフェンシ ート由来の吸収強度とそれ以外の炭素材料を表す成分由来の吸収の強度比によつ てカーボンナノチューブの純度を確認することができる。 例えば、アーク放電によって作製されたカーボンナノチューブを波長 532nmのレ 一ザ一を照射して測定した場合、ラマンシフトが 1340 ±40カイザーである範囲にラ マン散乱光の強度に第 1の吸収を有すると共に、ラマンシフトが 1590 ± 20カイザー である範囲にラマン散乱光の強度に第 2の吸収を有する。ここで、第 1の吸収はダラ フェンシート由来の吸収であり、第 2の吸収は炭素原子の SP3軌道由来の吸収とい われている。即ち、第 1の吸収強度に対し第 2の吸収強度が小さい方力 S、カーボンナ ノチューブの純度が高くなる。
[0082] 本発明の製造方法によって得られた単層カーボンナノチューブは、波長 532nmの レーザーを照射して検出されるラマン強度分布特性において、ラマンシフトが 1340 ±40カイザーである範囲にラマン散乱光の強度に第 1の吸収を有すると共に、ラマ ンシフトが 1590 ± 20カイザーである範囲にラマン散乱光の強度に第 2の吸収を有し 、前記第 1の吸収の強度を ID、第 2の吸収の強度を IGとしたときに式（1)
0< ID/IG≤0. 03 (1)
を満たすことが好ましぐ式 (6)
0< ID/IG≤0. 02 (6)
を満たすことがより好ましい。
ID/IGの値が 0. 03より大きい場合は、単層カーボンナノチューブの純度が低い可 能性がある。
[0083] 本発明の製造方法によって得られたカーボンナノチューブは欠陥が少なぐかつ不 純物も少な!/、ため水素吸蔵材料や、透明導電材料として好適である。
実施例
[0084] 以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定され るものではない。
[0085] <実施例 1〉
5Lセパラブルフラスコにアーク放電法によって得られた粗単層カーボンナノチュー ブ（Carbolex社製） 30g、蒸留水 300mlを投入し、粗単層カーボンナノチューブを完 全に蒸留水にて湿潤させた。この粗カーボンナノチューブを透過型電子顕微鏡にて 観察したところ、複層カーボンナノチューブは認められなかった。 メカニカルスターラーにて攪拌しつつ、 69%硝酸 (和光純薬工業社製） 2700mlを 滴下した後、 85°Cにて 48時間攪拌した。
反応液を室温まで冷却後、攪拌しつつ反応液の pHが 10になるまで炭酸ナトリウム (和光純薬工業社製)を紛体状態で投入した。この時点での粗単層カーボンナノチュ ーブに対する回収率は 51 %であった。
pHが 10になった反応液にドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム（ソフト型）（東京 化成工業株式会社製)を固形分換算で 6g投入後、コーン型超音波照射機 (装置名 ULTRASONIC HOMOGENIZER MODEL UH— 600SR、エスエムテ一社 製）にて超音波を 5分間照射した。
反応液を 13000rpmにて 1時間遠心分離を行った (製品名 CR26H 日立ェ機株 式会社製)。上澄み液を回収し粗精製液とした。この時点での未精製の単層カーボ ンナノチューブに対する回収率は 20%であった。
[0086] 粗精製液を 2Lのポリエチレン製タンクに投入し、クロスフローろ過に供した。使用し た中空糸膜モジュールは孔径 200nm、膜面積 5800cm2 (SPECTRUM社製）であ り、洗浄液は 0. 005M水酸化ナトリウム水溶液に 0. 2wt%になるようにドデシルペン ゼンスルホン酸ナトリウム（ソフト型） )を加えた弱アルカリ性水溶液である。粗精製液 を 20. 0Lの洗浄液で洗浄することによって精製単層カーボンナノチューブの分散液 を得た。
精製単層カーボンナノチューブの分散液 300mlを取り出し、イソプロピルアルコー ル 300mlを投入し精製単層カーボンナノチューブを凝集させ、 20000rpmにて 10 分間遠心分離を行った (製品名 CR26H 日立ェ機株式会社製)。残渣を回収し、ラ マン測定を行った (波長 532nm、装置名： HoloLab5000株式会社島津製作所製） 。 ID/IGは 0. 016であった。この時点での未精製の単層カーボンナノチューブに対 する回収率は 8%であった。
[0087] アーク放電法によって作製した未精製の単層カーボンナノチューブに対するラマン 測定の結果（図 1、 ID/IG = 0. 059)、走査型電子顕微鏡（以下、 SEMと略称する 。）写真（図 3)と、精製後の単層カーボンナノチューブに対するラマン測定の結果（図 2)、 SEM写真（図 4)を比較することによって、高純度の単層カーボンナノチューブ が得られて!/、ることが分かった。
[0088] <実施例 2〉
実施例 1において 69%硝酸 (和光純薬工業社製） 2700mlを滴下した工程を、水（ 420ml)、 69%硝酸 (和光純薬工業社製) 420ml、 97%硫酸 (和光純薬工業社製） 1260mlを順次滴下した工程に変更した以外は実施例と同様の操作を行った。
ここで、水、濃硝酸および濃硫酸の硝酸を含む水溶液全体に対する体積比率を a ( vol%)、 b (vol%)、 c (vol%)とすると、 {a/ (a + b + c) } =0. 30、 0. 20≤{b/ (b + c) } =0. 25である。ラマン測定の結果、 ID/IGは 0· 010であった（図 5)。 SEM 写真を図 6に記す。
[0089] 実施例 1および 2の結果より、本発明によればアーク放電法によって得られた粗単 層カーボンナノチューブを用いて実用的規模で安全に高純度の単層カーボンナノチ ユーブを製造することができることがわかる。また、図 4および図 6からロープ状のカー ボンナノチューブが得られてレ、ることがわかる。
[0090] <実施例 3〉
粗精製液を、 300mlのフラスコに投入し、孔径 200nm、膜面積 105cm2の中空糸 膜モジュール（製品名ミディクロス ·クロスフローモジュール SPECTRUM社製）を 用いてクロスフローろ過する他は、実施例 1と同様にして精製単層カーボンナノチュ ーブの分散液を得た。
[0091] 精製単層カーボンナノチューブの分散液 300mlに対し、イソプロピルアルコール 3 00mlを投入し精製単層カーボンナノチューブを凝集させ、 20000rpmにて 10分間 遠心分離を行った (製品名 CR26H 日立ェ機株式会社製)。残渣を回収し、ラマン 測定を行った (波長 532nm、装置名： HolOLab5000株式会社島津製作所製)。 ID /IGは 0· 016であった。
残渣を回収し、 300mlの蒸留水に投入後コーン型超音波照射機 (装置名 ULTRA SONIC HOMOGENIZER MODEL UH— 600SR、エスエムテ一社製）にて 超音波を 5分間照射し、精製カーボンナノチューブの水分散液を得た。
得られた精製カーボンナノチューブの水分散液を 125 ,1 m厚ポリエステルフィルム（ 商品名 コスモシャイン A4100 東洋紡社製）にスプレーコートし、透明電極基板を 得た。
[0092] 得られた透明電極基板に対する N—メチルー 2—ピロリドンの接触角は 0° であつ た（
装置名：エルマ ゴニォメータ式 接触角測定器 エルマ光学株式会社製)。
表面抵抗率を 4端子 2探針法 (装置名ロレスター FP、ダイァインスツルメンッ社製） にて測定したところ 170 Ω /口、全光線透過率を測定したところ（装置名：直読ヘーズ コンピュータ、スガ試験機社製） 60. 5%であった。
[0093] 実施例 3で得られた透明電極基板表面の走査型電子顕微鏡写真を図 7に記す。
図 7から分かるようにカーボンナノチューブはバンドル状態で存在し、バンドルの集 合状態であるロープ形状が図 7中央部など確認できる。
[0094] <比較例 1〉
ポリエステルフィルム上に ITO膜を積層した透明電極基板（商品名 300RK (CU 東洋紡社製）に対する N—メチルー 2—ピロリドンの接触角は 11° であった (装置 名：エルマ ゴニォメータ式 接触角測定器 エルマ光学株式会社製)。
表面抵抗率を 4端子 2探針法 (装置名ロレスター FP、ダイァインスツルメンッ社製） にて測定したところ 250 Ω /口、全光線透過率を測定したところ（装置名：直読ヘーズ コンピュータ、スガ試験機社製） 88. 5%であった。
[0095] <比較例 2〉
化学蒸発法によって作製した単層カーボンナノチューブ（CNI社製） 10mgを 0. 5 %のドデシルベンゼンスルホン酸ナトリゥム（ソフト型）水溶液 1 Ogに投入後コーン型 超音波照射機（装置名 ULTRASONIC HOMOGENIZER MODEL UH— 6 00SR、エスエムテ一社製）にて超音波を 5分間照射し、 3000rpmにて 20分間遠心 分離を行った (製品名 CR26H 日立ェ機株式会社製)後、上澄み液を回収し、精製 カーボンナノチューブの水分散液を得た。
得られた分散液を実施例 3と同様にスプレーコートし、透明電極基板を得た。
[0096] 得られた透明電極基板に対する N—メチルー 2—ピロリドンの接触角は 10° であつ た (装置名：エルマ ゴニォメータ式 接触角測定器 エルマ光学株式会社製)。 表面抵抗率を 4端子 2探針法 (装置名ロレスター FP、ダイァインスツルメンッ社製） にて測定したところ 1500 Ω /口、全光線透過率を測定したところ（装置名：直読へ一 ズコンピュータ、スガ試験機社製） 65. 0%であった。
比較例 2で得られた透明電極基板表面の走査型電子顕微鏡写真を図 8に記す。 図 8から分かるようにカーボンナノチューブはバンドル状態で存在する力 バンドルの 集合状態であるロープ形状は確認できなレ、。
[0097] 上記の、実施例 3並びに比較例 1および 2の結果から、カーボンナノチューブを用 い、かつ SEM観察にてバンドルの集合状態であるロープ形状が確認できる透明電 極基板の方が濡れ性の高いことが分かる。したがって、配向膜を作製するに際し、実 施例 3で得られる透明電極基板の方が比較例 1および 2で得られる透明電極基板に 比べ、はじきやピンホールのな!/、均一な膜が得られることがわかる。
[0098] <参考例 >
実施例 1で得られた単層カーボンナノチューブの水分散液を PETフィルム（商品名 コスモシャイン A4100：東洋紡社製）上にスプレーコートし、導電層を形成した。 得られた透明導電膜の全光線透過率を測定 (スガ試験機社製の直読ヘーズコンビ ユータで測定）した処、全光線透過率は 80%であり、また、表面抵抗を測定 (ダイアイ ンスツルメンッ社製のロレスター FPで測定）した処、 560 Ω /口であった。
<実施例 4〉
参考例で得られた透明導電膜の上に、パーフルォロスルホン酸/ PTFE共重合体 (スルホン酸基が約 1ミリ当量/ g：デュポン社製ナフイオン（商品名 ) )の n—プロピル アルコール溶液（固形分濃度約 1質量％)を固形分膜厚が約 lOOnmになるようバー コートした。全光線透過率および表面抵抗に変化は無かった。
そして、このものを、 80°Cで 3日間保存した後表面抵抗を測定して、高温耐久性試 験を行った処、高温試験後の表面抵抗は、 604 Ω /口であり、表面抵抗変化率は 1 08%であった。
なお、参考例の高温試験後の表面抵抗は、 2800 Ω /口であり、表面抵抗変化率 は 483%であった。
[0099] <実施例 5〉
実施例 1によって作製した単層カーボンナノチューブの水分散液に、パーフルォロ スルホン酸/ PTFE共重合体 (スルホン酸基が約 1ミリ当量/ g：デュポン社製ナフィ オン（商品名））が単層カーボンナノチューブと同量になるようにパーフルォロスルホ ン酸/ PTFE共重合体の n—プロピルアルコール溶液を加えた。
この単層カーボンナノチューブおよびデュポン社製ナフイオン（商品名）を含有する 溶液を、 PETフィルム（東洋紡社製のコスモシャイン A4100 (商品名））上にスプレー コートし、導電層を形成した。
[0100] このようにして得られた透明導電膜の表面抵抗を測定した処、 820 Ω /口であり、 また、全光線透過率を測定した処、 75%であった。
そして、このものを、上記と同様にして高温耐久性試験を行った処、高温試験後の 表面抵抗は 902 Ω /口であり、表面抵抗変化率は 110%であった。
[0101] <実施例 6〉
アーク放電法によって作製された単層カーボンナノチューブを 63%硝酸にて 85°C で 2日間反応させた。この後、濾過によって、カルボキシル基含有単層カーボンナノ チューブを回収した。
得られた 2mgのカルボキシル基含有単層カーボンナノチューブ、 50mgのォクチル フエノールポリエチレングリコールエーテル（東京化成工業社製）、 10gの 0. 05M水 酸化ナトリウム水溶液を混合した。そして、 1分間に亘つて超音波を照射 (エスエムテ 一社製の ULTRASONIC HOMOGENIZER MODEL UH— 600SRにより超 音波照射）し、カルボン酸ナトリウム基（一 COONa)含有単層カーボンナノチューブ 分散液を得た。
[0102] 得られた分散液を、 PETフィルム（東洋紡社製のコスモシャイン A4100 (商品名）） 上にスプレーコートした。この後、メタノールによってォクチルフエノールポリエチレン グリコールエーテルを除去し、透明導電膜を得た。
このようにして得られた透明導電膜の表面抵抗を測定した処、 350 Ω /口であり、 また、全光線透過率を測定した処、 81. 5%であった。
そして、このものを、上記と同様にして高温耐久性試験を行った処、高温試験後の 表面抵抗は 420 Ω /口であり、表面抵抗変化率は 120%であった。

Claims

請求の範囲
[I] 透明導電膜の主成分が単層カーボンナノチューブであって、該単層カーボンナノ チューブがバンドル状態で存在しており、走査型電子顕微鏡観察にてバンドルの集 合状態であるロープ形状が確認できることを特徴とする透明導電膜。
[2] 前記単層カーボンナノチューブが、波長 532nmのレーザーを照射して検出される ラマン強度分布特性において、ラマンシフトが 1340 ±40カイザーである範囲にラマ ン散乱光の強度に第 1の吸収を有すると共に、ラマンシフトが 1590 ± 20カイザーで ある範囲にラマン散乱光の強度に第 2の吸収を有し、前記第 1の吸収強度を ID、第 2 の吸収強度を IGとしたときに式（1)
0< ID/IG≤0. 03 (1)
を満たすことを特徴とする請求項 1に記載の透明導電膜。
[3] 透明導電膜に対する N—メチルー 2—ピロリドンの静的接触角が 0° 以上 5° 以下 である請求項 1または 2に記載の透明導電膜。
[4] 前記単層カーボンナノチューブは、導電層においてバンドル状態で存在し、そして 、 1. 5〃mを越えた長さのバンドルの数が 1. 5〃m以下の長さのバンドルの数よりも 多いことを特徴とする請求項;!〜 3のいずれか 1項に記載の透明導電膜。
[5] COOM (Mは金属元素）基を有する単層カーボンナノチューブを含む導電層を、 基材上に有することを特徴とする請求項 1〜3のいずれ力、 1項に記載の透明導電膜。
[6] スルホン酸基を有する高分子と単層カーボンナノチューブとを含む導電層を、基材 上に有することを特徴とする請求項;!〜 3のいずれか 1項に記載の透明導電膜。
[7] スルホン酸基を有する高分子層および単層カーボンナノチューブを含む導電層を 、基材上に有することを特徴とする請求項;!〜 3のいずれか 1項に記載の透明導電膜
〇
[8] 請求項；!〜 7の!/、ずれ力、 1項に記載の透明導電膜を用レ、た透明電極基板。
[9] 透明導電膜の膜厚が 10nm以上 500nm以下であることを特徴とする請求項 8に記 載の透明電極基板。
[10] 請求項 8に記載の透明電極基板を用いた液晶配向膜の製造方法。
[I I] カーボンナノチューブの製造方法であって、以下の工程 1〜4を記載された順序で 含むことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
工程 1：アーク放電法によって粗カーボンナノチューブを得る工程
工程 2：粗カーボンナノチューブを、水を含む溶媒にて湿潤させる工程
工程 3：粗カーボンナノチューブを、硝酸を含む水溶液にて酸処理する工程であつ て、反応温度が 60°C以上 90°C以下かつ反応時間が 24時間以上 72時間以下であ る工程
工程 4：前工程で得られた反応液を、内圧型循環ろ過をすることによって精製カー ボンナノチューブの分散液を得る工程
[12] 工程 1においてアーク放電法によって得られる粗カーボンナノチューブ力 全力一 ボンナノチューブに対して単層カーボンナノチューブを 90%以上含むものであること を特徴とする請求項 11に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
[13] 工程 3において硝酸を含む水溶液が 50%以上 65%以下の硝酸水溶液であること を特徴とする請求項 11または 12に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
[14] 工程 3にお!/、て硝酸を含む水溶液が水、濃硝酸および濃硫酸から成り、それぞれ の硝酸を含む水溶液全体に対する体積比率を a (vol%)、 b (vol%)、 c (vol%)とし たときに式（2)および式（3)；
0. 20≤{ a/ (a + b + c) }≤0. 40 (2)
0. 20≤{b/ (b + c) }≤0. 30 (3)
を満たすことを特徴とする請求項 11または 12に記載のカーボンナノチューブの製造 方法。
[15] 工程 4において、孔径 0· 1 m以上で 1 m以下の中空糸膜を用いることを特徴と する請求項 11または 12に記載の透明導電膜の製造方法。
[16] 工程 3と工程 4の間に下記の工程 5を含むことを特徴とする請求項 11〜； 15のいず れか 1項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
工程 5：前工程で得られた反応液を冷却し、中和する工程
[17] 工程 5において炭酸ナトリウムまたは炭酸水素ナトリウムを用いて中和することを特 徴とする請求項 16に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
[18] 工程 3と工程 4の間に下記の工程 6を含むことを特徴とする請求項 11〜； 17のいず れか 1項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
工程 6：前工程で得られた反応液に分散剤を加える工程
[19] 工程 6において用いる分散剤がアルキルベンジル基を含む化合物よりなることを特 徴とする請求項 18に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
[20] 工程 6において用いる分散剤がドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムよりなることを 特徴とする請求項 18に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
[21] 工程 3と工程 4の間に下記の工程 7を含むことを特徴とする請求項 11〜； 19のいず れか 1項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
工程 7：前工程で得られた反応液に超音波を照射する工程
[22] 工程 7にお!/、てチップ型超音波照射機を用いることを特徴とする請求項 21に記載 のカーボンナノチューブの製造方法。
[23] 工程 4の後に下記の工程 8を含むことを特徴とする請求項；！；!〜 22のいずれ力、 1項 に記載のカーボンナノチューブの製造方法。 ；
工程 8：精製カーボンナノチューブの分散液に凝集剤を加えることによってカーボン ナノチューブを凝集し取り出す工程；
[24] 工程 8において用いる凝集剤がイソプロピルアルコールであることを特徴とする請求 項 23に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
[25] 工程 8にお!/、て用いる凝集剤が多価陽イオンを含む塩であることを特徴とする請求 項 23に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
[26] 波長 532nmのレーザーを照射して検出されるラマン強度分布特性において、ラマ ンシフトが 1340土 40カイザーである範囲にラマン散乱光の強度に第 1の吸収を有す ると共に、ラマンシフトが 1590 ± 20カイザーである範囲にラマン散乱光の強度に第 2 の吸収を有し、前記第 1の吸収強度を ID、第 2の吸収強度を IGとしたときに式（1) 0< ID/IG≤0. 03 (1)
を満たすことを特徴とする請求項；！；!〜 27のいずれ力、 1項に記載の製造方法によって 得られる単層カーボンナノチューブ。
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