WO2008104669A2 - Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques - Google Patents

Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques Download PDF

Info

Publication number
WO2008104669A2
WO2008104669A2 PCT/FR2008/050166 FR2008050166W WO2008104669A2 WO 2008104669 A2 WO2008104669 A2 WO 2008104669A2 FR 2008050166 W FR2008050166 W FR 2008050166W WO 2008104669 A2 WO2008104669 A2 WO 2008104669A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
cathode
magnets
holes
plasma
circulation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/FR2008/050166
Other languages
English (en)
Other versions
WO2008104669A3 (fr
Inventor
Philippe Maurin-Perrier
Hervé CHAVANNE
Laure Poigt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hydromecanique et Frottement SAS
Original Assignee
HEF SAS
Hydromecanique et Frottement SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HEF SAS, Hydromecanique et Frottement SAS filed Critical HEF SAS
Priority to AT08762026T priority Critical patent/ATE532392T1/de
Priority to EP08762026A priority patent/EP2110007B1/fr
Priority to CA2677227A priority patent/CA2677227C/fr
Priority to US12/526,904 priority patent/US9011655B2/en
Priority to JP2009549448A priority patent/JP5735214B2/ja
Priority to PL08762026T priority patent/PL2110007T3/pl
Priority to ES08762026T priority patent/ES2375778T3/es
Publication of WO2008104669A2 publication Critical patent/WO2008104669A2/fr
Publication of WO2008104669A3 publication Critical patent/WO2008104669A3/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32532—Electrodes
    • H01J37/32596—Hollow cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
    • H05H1/4645—Radiofrequency discharges
    • H05H1/466—Radiofrequency discharges using capacitive coupling means, e.g. electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2240/00—Testing
    • H05H2240/20—Non-thermal plasma

Definitions

  • the invention relates to a device for generating a cold plasma in an enclosure under reduced pressure, and more particularly relates to a cathode capable of generating this high power cold plasma.
  • the parts to be treated are polarized directly.
  • a glow discharge is created in the near vicinity of the surface, which excites the selected gas mixture.
  • This technique is widely used in carburizing or ionic nitriding, but induces treatment heterogeneities depending on the geometry and the arrangement of the parts relative to each other. Indeed, the natural intensification of the plasma, at the level of particular areas, such as holes, ridges, ..., causes local overheating which acts adversely on the quality of the treatment. It also follows from this technique that the substrates are subjected to intense ion bombardment, which alters their surface.
  • FR 2,702,119 implements an antenna for injecting, in the manner of a microwave oven, a volume wave in the chamber.
  • the main disadvantage of this technology is that antennas are point sources that can rarely inject more than 200 W. It is therefore necessary to multiply the number of sources to have a homogeneous plasma in an industrial enclosure. This results in increased congestion, costs as well as risks of failure.
  • This type of antenna can inject a microwave signal (no DC, DC-pulsed or RF signals) and gives its best performance in the particular physical conditions of electronic cyclotron resonance.
  • FR 2,766,321 which relates to a device for exciting a gas comprising a hollow structure forming a waveguide, the structure being connected to a generator, while means circulate the gas through the structure.
  • a plasma is created outside the structure or enclosure, in a hollow tube of dielectric material. The results obtained are satisfactory only at relatively high pressures for a vacuum technology (greater than 5 mbar), which induces gaseous flow problems inside the enclosure, and thus heterogeneity of treatment.
  • the object of the invention is to remedy these disadvantages in a simple, safe and effective manner.
  • the problem to be solved by the invention is to generate cold plasmas of high power, in a chamber of reduced pressure, by dissociating the temperature of the substrates of the creation of the active species, in order to to realize different types of surface treatment such as effluvage, thermochemical treatments, activation, grafting, stripping, ...
  • the device implements a cathode having hollow chambers for the electrostatic confinement of the plasma.
  • each hollow chamber is subject to means capable of creating a magnetic field forcing the electrons to rotate around the field lines, the body of the cathode cooperating with an element able to allow circulating a cooling fluid to extract the calories generated by intense ion bombardment at each of the hollow chambers.
  • the means capable of creating a magnetic field are constituted by magnets.
  • the magnets are arranged around and parallel to the hollow chambers.
  • the magnets are arranged in holes in communication with the cooling fluid, the hollow chambers opening on the empty side, in the enclosure.
  • the element capable of allowing the circulation of a cooling fluid is independent of the body of the cathode, in which being fixed in a sealed manner, this element and the body of the cathode constitute a unitary unit.
  • the body of the cathode and the element adapted to allow the circulation of a fluid are made of a non-magnetic material, electrical conductor and thermal.
  • the magnetic field is generated by cylindrical magnets fixed in the holes of the cathode body.
  • the invention also relates to the use of the device for thermochemical treatments such as nitriding, carburizing, etc.
  • FIG. 1 is a sectional view showing the principle of the device according to the invention
  • FIG. 2 Figures 2, 3 and 4 are views showing the field lines according to the orientation of the magnets.
  • FIG. 5 is a view from below of an embodiment of the cathode;
  • Figure 6 is a longitudinal sectional view taken along the line 5-5 of Figure 5;
  • Figure 7 is a plan view of the cooler;
  • Figure 8 is a longitudinal sectional view taken along the line 7-7 of Figure 7;
  • - Figure 9 is a longitudinal sectional view of the cathode equipped with the cooler;
  • FIG. 10 shows a curve of hardness as a function of depth in the case of austenitic stainless steel (304L) nitrided with the device of the invention.
  • the body of the cathode designated by (1), comprises a plurality of hollow chambers (1a) for confining the plasma.
  • the confinement of the plasma in the hollow chambers (la) makes it possible to intensify it and to increase the creation of active species.
  • Each hollow chamber (la) is subject to means (2) capable of creating a magnetic field forcing the electrons to rotate around the field lines.
  • These means (2) consist of magnets arranged around and parallel to the hollow chambers in the form of holes (1a). This has the effect of increasing the number of electron collisions with the molecules of the surrounding gas, which increases the rate of production of the active species.
  • the body of the cathode (1) cooperates with a cooler (3) to allow the circulation of a cooling fluid to extract the calories generated by intense ion bombardment at each of the hollow chambers (1a).
  • This cooler (3) has a central recess (3a) which serves as a pool in communication with a water inlet (4) and a water outlet (5).
  • Figure 7 which shows the circulation of the cooling fluid, water arriving at (4) bypassing a central bar (6) to be evacuated in (5).
  • the cooler (3) is clamped to the cathode body (1) by screws (7) arranged peripherally, the seal being provided by an O-ring (8).
  • the holes (Ib) in which the magnets are arranged are in communication with the cooling fluid.
  • the magnets (2) are of the permanent type and consist of cylindrical bodies fixed in the holes (Ib) of the body (1) of the cathode.
  • the various hollow chambers (la) open on the vacuum side of the enclosure.
  • the cooler (3) may be larger than those of the body of the cathode, to allow the fixing of the assembly (cathode - cooler) on any support through the passage of screws.
  • the cooling of the cathode (1) prevents its heating, as well as that of the substrates that are in the enclosure. These provisions allow to consider a low temperature treatment where it is necessary to have active species in large quantities, without the cathode contributes significantly to the temperature of the parts. This cooling also ensures the magnetic stability of magnets (2) whose magnetic field decreases with increasing temperature.
  • the cathode body (1) and the cooler (3) are made of a non-magnetic and conductive material, such as austenitic stainless steels, aluminum, chromium, graphite or titanium.
  • cooler (3) and the cathode body (1) constitute two distinct elements.
  • the body of the cathode incorporates a water circuit, in order to cool it effectively.
  • different solutions can be envisaged to realize the water circuit. For example, by drilling pipes or welding tubes or others on the surface.
  • FIGS. 2, 3 and 4 show the field lines created by the magnets (2) that can be randomly oriented, FIG. 4, or alternately, FIG. 3, but preferably in the same orientation.
  • the attachment of the magnets (2) in the holes (Ib) of the cathode body is performed by any known means such as circlips. Possibly the magnets can be crimped in their housing.
  • the magnets (2) can be made of a low-temperature curie material such as neodymium-iron-boron, or ferrites, but also magnets with high curie temperature such as AlNiCo or even samarium-cobalt.
  • the cathode can be fed either by a direct current (DC), or by a continuous-pulsed current (DC-pulsed), or by a low frequency current, or by a radiofrequency (RF) current.
  • DC direct current
  • DC-pulsed continuous-pulsed current
  • RF radiofrequency
  • the radiofrequency current has the advantage of limiting the sputtering of the cathode and providing a more stable discharge than in the other modes of supply.
  • Table 1 summarizes the observed voltages (at 600 ° C. ambient) on the cathode for a pressure of 10 "1 mbar and for an argon, nitrogen and hydrogen mixture.
  • Table 1 Voltages measured on the cathode according to the mode of excitation.
  • the power applied on the cathode can be several kW.
  • the low temperature treatments must necessarily be accompanied by a decrease in power (and therefore a decrease in the density of active species) in order to limit the heating of the cathode by ion bombardment.
  • a hollow magnetic cathode cooled according to the invention even after 5 hours of operation at 2 kW (6 W / cm 2 if we consider that most of the power is located in the holes), the temperature in the chamber does not exceed 15O 0 C, which is impossible with other types of cathodes as defined according to the state of the art.
  • the radiofrequency (RF) current has the advantage of delivering a stable discharge whatever the temperature.
  • Table 2 gives examples of voltages observed as a function of temperature as well as the limit pressure below which the plasma goes out in the holes.
  • the drift of the voltage as a function of temperature for DC and DC-pulsed discharges is a very unexpected phenomenon, especially since drift does not exist with RF discharges.
  • the configuration of the magnetic field as shown in Figure 2 does not allow electrons to go from one hole to another. However, as soon as the plasma lights up in one hole, it immediately lights up in all the others while it does not occur in the absence of magnets.
  • the optimum size of the holes depends on the working pressure: the lower the size and the smaller the diameter of the holes.
  • the field of use of the cooled magnetic hollow cathodes extends between 10 ⁇ 5 and 30 mbar.
  • the diameters of the corresponding holes vary between 100 and 0.1 mm. In any case, it is preferable that the depth of the holes is at least equal to their diameter to optimize the discharge efficiency.
  • Nitriding tests were carried out with a cooled magnetic hollow cathode according to the invention, composed of 32 16 mm diameter holes and 51 magnets with a diameter of 10 mm.
  • the dimensions of the cathode used are: 400 x 80 x 50 mm.
  • nitride stainless steels at temperatures as low as 400 0 C (thus without loss of corrosion properties) while maintaining high powers on the cathode (> 2 kW). Curing over 10 ⁇ m was measured on austenitic stainless steel (304L) after 24 hours of treatment at 400 ° C. (see FIG. 10). Note that, to increase the size of the cathode, simply increase its length by repeating the basic pattern (a hole surrounded by four magnets, for example), or to increase its width by adding new rows of holes and magnets.
  • the shape of the cathode can be adapted to any type of enclosure: it can be round, square or rectangular.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques. Le dispositif comprend une cathode (1) présentant des chambres creuses (1a) pour le confinement du plasma, Des moyens (2) sont disposés autour de chaque chambre creuse (1a) et aptes à créer un champ magnétique obligeant les électrons à tourner autour des lignes des champs, le corps de la cathode (1) coopérant avec un élément (3) apte à permettre la circulation d un fluide de refroidissement pour extraire les calories générées par un bombardement ionique intense au niveau de chacune des chambres creuses (1a).

Description

Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques.
L'invention concerne un dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous pression réduite, et concerne plus particulièrement une cathode apte à générer ce plasma froid de forte puissance.
Il est parfaitement connu pour un homme du métier d'utiliser, dans l'industrie, des plasmas froids pour modifier la surface de différents types de matériaux, afin de créer des espèces actives, hors équilibre, qui n'existent pas à l'état naturel. L'utilisation de plasmas dans les traitements thermochimiques, permet un contrôle précis de la concentration en espèces actives en opposition aux procédés conventionnels. Les plasmas froids basse pression permettent en outre de limiter, de manière significative, les consommations de gaz, ce qui présente des avantages, tant sur le plan économique qu'écologique.
Différentes solutions techniques ont été proposées pour générer un plasma sous pression réduite.
Selon une solution, on polarise directement les pièces à traiter. Une décharge luminescente est créée dans le proche voisinage de la surface, ce qui excite le mélange de gaz choisi. Cette technique est très utilisée en cémentation ou nitruration ionique, mais induit des hétérogénéités de traitement en fonction de la géométrie et de la disposition des pièces les unes par rapport aux autres. En effet, l'intensification naturelle du plasma, au niveau de zones particulières, telles que trous, arêtes, ..., entraîne une surchauffe locale qui agit de manière défavorable sur la qualité du traitement. II ressort également de cette technique que les substrats sont soumis à un bombardement ionique intense, ce qui altère leur surface.
Une autre solution ressort de l'enseignement du brevet FR 2.702.119 qui met en œuvre une antenne destinée à injecter, à la façon d'un four microondes, une onde volumique dans l'enceinte. L'inconvénient principal de cette technologie est que les antennes sont des sources ponctuelles qui peuvent rarement injecter plus de 200 W. Il est donc nécessaire de multiplier le nombre de sources pour avoir un plasma homogène dans une enceinte industrielle. Il en résulte une augmentation de l'encombrement, des coûts ainsi que des risques de défaillance. Ce type d'antenne ne permet d'injecter qu'un signal micro-onde (pas de signaux DC, ni DC-pulsé ni RF) et ne donne son meilleur rendement que dans les conditions physiques particulières de la résonance cyclotronique électronique.
Une autre solution ressort de l'enseignement du brevet FR 2.766.321 qui concerne un dispositif d'excitation d'un gaz comprenant une structure creuse formant un guide d'ondes, la structure étant raccordée à un générateur, tandis que des moyens font circuler le gaz à travers la structure. Un plasma est créé à l'extérieur de la structure ou enceinte, dans un tube creux en matériau diélectrique. Les résultats obtenus ne sont satisfaisants qu'à des pressions relativement élevées pour une technologie sous vide (supérieures à 5 mbar), ce qui induit des problèmes d'écoulement gazeux à l'intérieur de l'enceinte, donc une hétérogénéité de traitement.
Une autre solution ressort de l'enseignement du brevet EP 0 872 569 qui concerne un procédé de nitruration par bombardement ionique, dans lequel un plasma est généré dans un four. Un courant est amené à une cathode en treillis métallique, qui entoure les articles à traiter, l'anode étant constituée par les parois du four. Les cathodes utilisées sont généralement peu efficaces pour créer des espèces actives en grande quantité. Le bombardement ionique auquel sont soumises les cathodes induit leur échauffement qui contribue au chauffage des pièces, ce qui ne permet pas de dissocier la température des pièces de la génération du plasma (donc des espèces actives). Un autre inconvénient rencontré avec ce type de cathode est sa pulvérisation due à de fortes tensions (de l'ordre de 500 volts), ce qui entraîne une pollution des substrats.
Pour remédier à ces inconvénients, afin de limiter la tension sur la cathode, on a proposé de confiner le plasma dans des trous afin de l'intensifier et de faire chuter la tension. Une solution de ce type ressort de l'enseignement du brevet EP 0 881 865, qui concerne un dispositif de production d'une pluralité de jets de plasma basse température au moyen d'une puissance haute fréquence en utilisant des décharges. Le dispositif comprend plusieurs chambres à cathode creuse individuelle, chaque jet de plasma étant associé à une chambre à cathode creuse individuelle, à titre d'enceinte de décharge. Parmi les inconvénients générés avec cette solution, on observe qu'il peut y avoir un déséquilibre de puissance entre les trous, et que la puissance totale est toujours volontairement maintenue à une puissance souvent inférieure à 1 kW, à cause de la surchauffe de l'ensemble résultant d'un bombardement ionique très intense dans les trous.
L'invention s'est fixée pour but de remédier à ces inconvénients d'une manière simple, sûre et efficace.
Le problème que se propose de résoudre l'invention est de générer des plasmas froids de forte puissance, dans une enceinte de pression réduite, en dissociant la température des substrats de la création des espèces actives, afin de réaliser différents types de traitement de surface tel qu'effluvage, traitements thermochimiques, activation, greffage, décapage, ...
Pour résoudre un tel problème, le dispositif met en œuvre une cathode présentant des chambres creuses pour le confinement électrostatique du plasma. Selon l'invention, compte tenu du problème posé à résoudre, chaque chambre creuse est assujettie à des moyens aptes à créer un champ magnétique obligeant les électrons à tourner autour des lignes de champs, le corps de la cathode coopérant avec un élément apte à permettre la circulation d'un fluide de refroidissement pour extraire les calories générées par un bombardement ionique intense au niveau de chacune des chambres creuses.
Pour résoudre le problème posé d'augmenter le nombre de collisions entre les électrons et des molécules du gaz environnant, afin d'accroître le taux de production des espèces actives, les moyens aptes à créer un champ magnétique, sont constitués par des aimants.
Avantageusement, les aimants sont disposés autour et parallèlement aux chambres creuses. Les aimants sont disposés dans des trous en communication avec le fluide de refroidissement, les chambres creuses débouchant du côté vide, dans l'enceinte.
Pour résoudre le problème posé d'extraire les calories générées par le bombardement ionique intense, au niveau des trous de la cathode, soit l'élément apte à permettre la circulation d'un fluide de refroidissement est indépendant du corps de la cathode, en y étant fixé, d'une manière étanche, soit cet élément et le corps de la cathode constituent un ensemble unitaire. Le corps de la cathode et l'élément apte à permettre la circulation d'un fluide, sont réalisés dans un matériau amagnétique, conducteur électrique et thermique.
A partir de cette conception de base, soit les aimants ont préférentiellement tous la même orientation Nord-Sud (figure 2), ou ont une répartition alternée (figure 3), ou ont une orientation aléatoire (figure 4).
Les configurations magnétiques s'appliquent suivant la largeur ou la longueur de la cathode (figure 5).
Dans une forme de réalisation, le champ magnétique est généré par des aimants cylindriques fixés dans les trous du corps de cathode.
L'invention concerne également l'utilisation du dispositif pour les traitements thermochimiques tels que la nitruration, la cémentation, ...
L'invention est exposée ci-après plus en détail à l'aide des figures des dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 est une vue en coupe montrant le principe du dispositif selon l'invention
- les figures 2, 3 et 4 sont des vues montrant les lignes de champ en fonction de l'orientation des aimants.
- la figure 5 est une vue de dessous d'un exemple de réalisation de la cathode ; la figure 6 est une vue en coupe longitudinale considérée selon la ligne 5-5 de la figure 5 ;
- la figure 7 est une vue en plan du refroidisseur ; la figure 8 est une vue en coupe longitudinale considérée selon la ligne 7-7 de la figure 7 ; - la figure 9 est une vue en coupe longitudinale de la cathode équipée du refroidisseur ; - la figure 10 montre une courbe de dureté en fonction de la profondeur dans le cas d'un acier inoxydable austénitique (304L) nitruré avec le dispositif de l'invention.
Le corps de la cathode, désignée par (1), comprend une pluralité de chambres creuses (la) pour le confinement du plasma. Le confinement du plasma dans les chambres creuses (la) permet de l'intensifier et d'augmenter la création d'espèces actives. Chaque chambre creuse (la) est assujettie à des moyens (2) aptes à créer un champ magnétique obligeant les électrons à tourner autour des lignes de champs. Ces moyens (2) sont constitués par des aimants disposés autour et parallèlement aux chambres creuses sous forme de trous (la). Ceci a pour effet d'augmenter le nombre de collisions des électrons avec les molécules du gaz environnant, ce qui accroît le taux de production des espèces actives.
Le corps de la cathode (1) coopère avec un refroidisseur (3) pour permettre la circulation d'un fluide de refroidissement pour extraire les calories générées par un bombardement ionique intense au niveau de chacune des chambres creuses (la). Ce refroidisseur (3) présente un évidement central (3a) qui fait office de bassin en communication avec une arrivée d'eau (4) et une évacuation d'eau (5). On renvoie à la figure 7 qui montre la circulation du fluide de refroidissement, l'eau arrivant en (4) contournant une barrette centrale (6) pour être évacuée en (5). Le refroidisseur (3) est bridé sur le corps de cathode (1) par des vis (7) disposés en périphérie, l'étanchéité étant assurée par un joint torique (8). Dans cette position de fermeture, les trous (Ib) dans lesquels sont disposés les aimants, sont en communication avec le fluide de refroidissement. A noter que les aimants (2) sont du type permanent et constitués par des corps cylindriques fixés dans les trous (Ib) du corps (1) de cathode. Les différentes chambres creuses (la) débouchent du côté du vide de l'enceinte.
Le refroidisseur (3) peut être de dimensions supérieures à celles du corps de la cathode, afin de permettre la fixation de l'ensemble (cathode - refroidisseur) sur un support quelconque grâce au passage de vis.
Le refroidissement de la cathode (1) évite son échauffement, ainsi que celui des substrats qui sont dans l'enceinte. Ces dispositions permettent d'envisager un traitement à basse température où il est nécessaire d'avoir des espèces actives en grande quantité, sans que la cathode contribue de façon notable à la température des pièces. Ce refroidissement garantit également la stabilité magnétique des aimants (2) dont le champ magnétique diminue avec l'augmentation de la température.
Le corps de cathode (1), ainsi que le refroidisseur (3) sont réalisés dans un matériau amagnétique et conducteur, tel que les aciers inoxydables austénitiques, aluminium, chrome, graphite ou encore le titane.
Comme il ressort des figures des dessins, et comme indiqué ci-dessus, le refroidisseur (3) et le corps de cathode (1) constituent deux éléments distincts.
Sans pour cela sortir du cadre de l'invention, on n'exclut pas de réaliser un ensemble monobloc (1-3). Dans ce cas, le corps de la cathode incorpore un circuit d'eau, de façon à la refroidir efficacement. Dans cette forme de réalisation, différentes solutions peuvent être envisagées pour réaliser le circuit d'eau. Par exemple, par forage de canalisations ou par soudure de tubes ou autres sur la surface.
On voit, aux figures 2, 3 et 4, les lignes de champs créées par les aimants (2) qui peuvent être orientés de manière aléatoire, figure 4, ou de façon alternée, figure 3, mais de préférence selon une même orientation
Nord-Sud, figure 2. Les lignes de champ résultantes se bouclent dans les chambres creuses (la) de la cathode et sont parallèles à ces dernières.
Il est possible de choisir des configurations magnétiques différentes pour chaque rangée de 3 aimants (par exemple, une ligne suivant figure 2, puis une ligne suivant figure 3, etc.).
A noter que la fixation des aimants (2) dans les trous (Ib) du corps de cathode, est effectuée par tout moyen connu tel que circlips. Eventuellement les aimants peuvent être sertis dans leur logement. Comme la cathode est refroidie, les aimants (2) peuvent être constitué d'un matériau à basse température de curie comme les néodyme-fer-bore, ou les ferrites, mais également des aimants à température de curie élevée comme les AlNiCo ou encore les samarium-cobalt.
La cathode peut être alimentée soit par un courant continu (DC), soit par un courant continu-pulsé (DC-Pulsé), soit par un courant basse fréquence, soit par un courant radiofréquence (RF). A puissance égale, le courant radiofréquence présente l'avantage de limiter la pulvérisation de la cathode et de fournir une décharge plus stable que dans les autres modes d'alimentation. Le tableau 1 résume les tensions observées (à 6000C en ambiante) sur la cathode pour une pression de 10"1 mbar et pour un mélange argon, azote et hydrogène.
Figure imgf000011_0001
Tableau 1 : Tensions mesurées sur la cathode en fonction du mode d'excitation.
Pour une pression de l'ordre de 10"1 mbar, sous 200 V, la pulvérisation des trous de la cathode devient très faible, ce qui lui confère une durée de vie importante : après plus de 500 heures de fonctionnement (à 4,5 W/cm2), l'usure mesurée dans les trous (la) de la cathode (1) s'est révélée faible (inférieure à 1 mm au rayon) et très homogène.
Des essais effectués à titre confidentiel ont permis de mettre en évidence des avantages importants obtenus par les caractéristiques de la cathode selon l'invention, résultant essentiellement de la combinaison des chambres creuses, des aimants et de leur refroidissement.
La puissance appliquée sur la cathode peut être de plusieurs kW. Avec une cathode non refroidie, les traitements à basse température doivent obligatoirement s'accompagner d'une diminution de la puissance (donc diminution de la densité d'espèces actives) afin de limiter le chauffage de la cathode par le bombardement ionique. Avec une cathode creuse magnétique refroidie selon l'invention, même après 5 heures de fonctionnement à 2 kW (soit 6 W/ cm2 si l'on considère que l'essentiel de la puissance est localisée dans les trous), la température dans l'enceinte ne dépasse pas les 15O0C, ce qui est impossible avec les autres types de cathodes tels que définis selon l'état de la technique.
Contrairement aux courants DC et DC-pulsé, le courant radiofréquence (RF) a l'avantage de délivrer une décharge stable quelle que soit la température. Le tableau 2 donne des exemples de tensions observées en fonction de la température ainsi que la pression limite en dessous de laquelle le plasma s'éteint dans les trous.
TABLEAU 2
Figure imgf000012_0001
La dérive de la tension en fonction de la température pour les décharges DC et DC-pulsé est un phénomène très inattendu, d'autant plus que la dérive n'existe pas avec les décharges RF.
En théorie, la configuration du champ magnétique telle que présentée figure 2 ne permet pas aux électrons de passer d'un trou à l'autre. Pourtant, dès que le plasma s'allume dans un trou, il s'allume aussitôt dans tous les autres alors que cela ne se produit pas en absence d'aimants.
La dimension optimale des trous dépend de la pression de travail : plus elle et faible et plus le diamètre des trous doit être important. Le domaine d'utilisation des cathodes creuses magnétiques refroidies s'étend entre 10~5 et 30 mbar. Les diamètres des trous correspondants varient entre 100 et 0,1 mm. Dans tous les cas, il est préférable que la profondeur des trous soit au moins égale à leur diamètre pour optimiser le rendement de la décharge.
Des essais de nitruration ont été réalisés avec une cathode creuse magnétique refroidie conforme à l'invention, composée de 32 trous de diamètre 16 mm et 51 aimants de diamètre 10 mm. Les dimensions de la cathode utilisée sont : 400 x 80 x 50 mm.
Dans un mélange argon (50 %), azote (30 %) et hydrogène (20 %), se forme une couche de combinaison de 10 μm sur un 42CrMo4 en 4 heures à
58O0C, pour une pression de 10"1 mbar et une puissance de 1500 W RF sur la cathode. Dans les mêmes conditions, l'utilisation d'une cathode classique
(sans trous ni aimants) ne permet de former qu'une couche de 2 à 3 μm.
Avec un mélange pauvre en azote (10 % dilués dans 90 % d'hydrogène), il est possible d'éviter la formation d'une couche de combinaison et ce, quelle que soit la température, pour les applications où cette couche n'est pas souhaitée : travail aux chocs, dépôts PVD après nitruration, ...
Il a également été possible de nitrurer des aciers inoxydables à des températures aussi basses que 4000C (donc sans perte des propriétés anticorrosion) tout en conservant des puissances élevées sur la cathode (> 2 kW). Un durcissement sur 10 μm a été mesuré sur un acier inoxydable austénitique (304L) après 24 heures de traitement à 4000C (voir figure 10). A noter que, pour augmenter les dimensions de la cathode, il suffit d'accroître sa longueur en répétant le motif de base (un trou entouré de quatre aimants, par exemple), ou encore d'augmenter sa largeur en rajoutant de nouvelles rangées de trous et d'aimants. La forme de la cathode peut être adaptée à tout type d'enceinte : elle peut être ronde, carrée ou rectangulaire.
Les avantages ressortent bien de la description.

Claims

R E V E N D I C A T I O N S
-1- Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide au moyen d'une cathode (1) présentant des chambres creuses (la) pour le confinement du plasma, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (2) disposés autour de chaque chambre creuse (la) et aptes à créer un champ magnétique obligeant les électrons à tourner autour des lignes des champs, le corps de la cathode (1) coopérant avec un élément (3) apte à permettre la circulation d'un fluide de refroidissement pour extraire les calories générées par un bombardement ionique intense au niveau de chacune des chambres creuses (la).
-2- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens (2) aptes à créer un champ magnétique, sont constitués par des aimants.
-3- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les aimants (2) sont disposés parallèlement aux chambres creuses (la) sous forme de trous.
-4- Dispositif selon la revendication 1 , caractérisé en ce que les aimants (2) sont disposés dans des trous (Ib) en communication avec le fluide de refroidissement, les chambres creuses (la) débouchant du côté vide dans l'enceinte.
-5- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément (3) apte à permettre la circulation d'un fluide de refroidissement est indépendant du corps de la cathode (1), en y étant fixé, d'une manière étanche. -6- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément (3) apte à permettre la circulation d'un fluide de refroidissement et le corps de la cathode (1), constituent un ensemble unitaire.
-7- Dispositif selon la revendication 1 , caractérisé en ce que le corps de la cathode (1) et l'élément (3) apte à permettre la circulation d'un fluide, sont réalisés dans un matériau amagnétique et conducteur.
-8- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les aimants (2) ont tous la même orientation Nord-Sud.
-9- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les aimants (2) sont orientés d'une manière aléatoire.
-10- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les aimants (2) ont une orientation alternée.
-1 1- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 2 et 4, caractérisé en ce que les aimants (2) sont du type permanent et constitués par un corps cylindrique fixé dans les trous (Ib) du corps de cathode (1).
-12- Utilisation du dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 1 1 pour des traitements thermochimiques.
-13- Utilisation du dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 1 1 pour la nitruration.
PCT/FR2008/050166 2007-02-15 2008-02-01 Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques Ceased WO2008104669A2 (fr)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT08762026T ATE532392T1 (de) 2007-02-15 2008-02-01 Vorrichtung zur erzeugung von kaltem plasma in einer vakuumkammer und verwendung dieser vorrichtung zur thermochemischen verarbeitung
EP08762026A EP2110007B1 (fr) 2007-02-15 2008-02-01 Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques
CA2677227A CA2677227C (fr) 2007-02-15 2008-02-01 Dispositif pour generer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques
US12/526,904 US9011655B2 (en) 2007-02-15 2008-02-01 Device for generating cold plasma in a vacuum chamber and use of said device for thermo-chemical processing
JP2009549448A JP5735214B2 (ja) 2007-02-15 2008-02-01 真空筐体内においてコールドプラズマを生成する装置及び熱化学処理に対する該装置の使用
PL08762026T PL2110007T3 (pl) 2007-02-15 2008-02-01 Urządzenie do wytwarzania zimnej plazmy w komorze pod zmniejszonym ciśnieniem
ES08762026T ES2375778T3 (es) 2007-02-15 2008-02-01 Dispositivo para generar un plasma fr�?o dentro de una envolvente en vac�?o y utilización del dispositivo para tratamientos termoqu�?micos.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0753289A FR2912864B1 (fr) 2007-02-15 2007-02-15 Dispositif pour generer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques
FR0753289 2007-02-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2008104669A2 true WO2008104669A2 (fr) 2008-09-04
WO2008104669A3 WO2008104669A3 (fr) 2008-11-06

Family

ID=38474300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/FR2008/050166 Ceased WO2008104669A2 (fr) 2007-02-15 2008-02-01 Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques

Country Status (11)

Country Link
US (1) US9011655B2 (fr)
EP (1) EP2110007B1 (fr)
JP (2) JP5735214B2 (fr)
AT (1) ATE532392T1 (fr)
CA (1) CA2677227C (fr)
ES (1) ES2375778T3 (fr)
FR (1) FR2912864B1 (fr)
PL (1) PL2110007T3 (fr)
SI (1) SI2110007T1 (fr)
TW (1) TWI477203B (fr)
WO (1) WO2008104669A2 (fr)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5700490B2 (ja) 2008-03-10 2015-04-15 東洋アルミニウム株式会社 フレーク顔料、それを含む粉体塗料、それを用いて摩擦帯電式静電塗装機で塗装して得られた粉体塗装塗膜、それが形成された塗装物、およびフレーク顔料の製造方法

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4637853A (en) * 1985-07-29 1987-01-20 International Business Machines Corporation Hollow cathode enhanced plasma for high rate reactive ion etching and deposition
DE4109619C1 (fr) * 1991-03-23 1992-08-06 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
US5482611A (en) * 1991-09-30 1996-01-09 Helmer; John C. Physical vapor deposition employing ion extraction from a plasma
CA2126731A1 (fr) * 1993-07-12 1995-01-13 Frank Jansen Reseau de cathodes creuses et methode de nettoyage de feuilles avec ce reseau
SE9403988L (sv) * 1994-11-18 1996-04-01 Ladislav Bardos Apparat för alstring av linjär ljusbågsurladdning för plasmabearbetning
JP4043089B2 (ja) * 1997-02-24 2008-02-06 株式会社エフオーアイ プラズマ処理装置
DE19722624C2 (de) * 1997-05-30 2001-08-09 Je Plasmaconsult Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung einer Vielzahl von Niedertemperatur-Plasmajets
US6093293A (en) * 1997-12-17 2000-07-25 Balzers Hochvakuum Ag Magnetron sputtering source
US6066826A (en) * 1998-03-16 2000-05-23 Yializis; Angelo Apparatus for plasma treatment of moving webs
SE516336C2 (sv) * 1999-04-28 2001-12-17 Hana Barankova Apparat för plasmabehandling av ytor
US6528947B1 (en) * 1999-12-06 2003-03-04 E. I. Du Pont De Nemours And Company Hollow cathode array for plasma generation
DE10060002B4 (de) * 1999-12-07 2016-01-28 Komatsu Ltd. Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung
JP4212210B2 (ja) * 1999-12-07 2009-01-21 株式会社小松製作所 表面処理装置
US6451177B1 (en) * 2000-01-21 2002-09-17 Applied Materials, Inc. Vault shaped target and magnetron operable in two sputtering modes
WO2002019379A1 (fr) * 2000-08-28 2002-03-07 Institute For Plasma Research Dispositif et procede de production de decharge luminescente cc
US6406599B1 (en) * 2000-11-01 2002-06-18 Applied Materials, Inc. Magnetron with a rotating center magnet for a vault shaped sputtering target
JP2002241947A (ja) * 2001-02-16 2002-08-28 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 薄膜形成装置
US6444945B1 (en) * 2001-03-28 2002-09-03 Cp Films, Inc. Bipolar plasma source, plasma sheet source, and effusion cell utilizing a bipolar plasma source
JP4554117B2 (ja) * 2001-07-13 2010-09-29 キヤノンアネルバ株式会社 表面処理装置
US7931787B2 (en) * 2002-02-26 2011-04-26 Donald Bennett Hilliard Electron-assisted deposition process and apparatus
US6837975B2 (en) * 2002-08-01 2005-01-04 Applied Materials, Inc. Asymmetric rotating sidewall magnet ring for magnetron sputtering
PL1609880T3 (pl) * 2004-06-22 2008-10-31 Applied Mat Gmbh & Co Kg Katoda do rozpylania jonowego do procesów nakładania powłok
JP4358192B2 (ja) * 2006-02-09 2009-11-04 株式会社エフオーアイ プラズマ発生装置
JP2007250478A (ja) * 2006-03-18 2007-09-27 Nano Electronics & Micro System Technologies Inc プラズマ処理システム
JP4094040B2 (ja) * 2006-08-18 2008-06-04 株式会社エフオーアイ プラズマ発生装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP2110007B1 (fr) 2011-11-02
US9011655B2 (en) 2015-04-21
ES2375778T3 (es) 2012-03-06
SI2110007T1 (sl) 2012-03-30
EP2110007A2 (fr) 2009-10-21
JP2015156376A (ja) 2015-08-27
PL2110007T3 (pl) 2012-03-30
TW200843566A (en) 2008-11-01
CA2677227A1 (fr) 2008-09-04
JP2010519680A (ja) 2010-06-03
FR2912864A1 (fr) 2008-08-22
JP5735214B2 (ja) 2015-06-17
US20100116643A1 (en) 2010-05-13
JP5798697B2 (ja) 2015-10-21
WO2008104669A3 (fr) 2008-11-06
TWI477203B (zh) 2015-03-11
ATE532392T1 (de) 2011-11-15
FR2912864B1 (fr) 2009-07-31
CA2677227C (fr) 2016-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2201593B1 (fr) Procede de traitement de surface d'au moins une piece au moyen de sources elementaires de plasma par resonance cyclotronique electronique
BE1003701A3 (fr) Cathode rotative.
FR2772185A1 (fr) Cathode de pulverisation cathodique ou d'evaporation par arc et appareil la comportant
FR2671931A1 (fr) Dispositif de repartition d'une energie micro-onde pour l'excitation d'un plasma.
FR2581244A1 (fr) Source d'ions du type triode a une seule chambre d'ionisation a excitation haute frequence et a confinement magnetique du type multipolaire
FR2801813A1 (fr) Dispositif de traitement de surface par plasma, en particulier pour former un film sur un substrat
EP2193694A1 (fr) Dispositifs generateurs de plasma micro-ondes et torches a plasma
FR2726729A1 (fr) Dispositif de production d'un plasma permettant une dissociation entre les zones de propagation et d'absorption des micro-ondes
EP2954758A1 (fr) Source de plasma
WO1994019921A1 (fr) Source micro-onde lineaire pour le traitement de surfaces par plasma
EP2110007B1 (fr) Dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques
EP3127137B1 (fr) Procédé et dispositif pour générer un plasma excité par une énergie micro-onde dans le domaine de la résonance cyclotronique électronique
Janosi et al. Controlled hollow cathode effect: new possibilities for heating low-pressure furnaces
EP2586276A1 (fr) Dispositif pour la generation d'un jet de plasma
EP1274873B1 (fr) Procede de traitement de surface d'une piece et piece obtenue
EP3560299B1 (fr) Réacteur plasma de dbd
WO2010001036A2 (fr) Dispositif générateur d'ions à résonance cyclotronique électronique
FR2597286A1 (fr) Dispositif et notamment duoplasmatron utilisable pour ioniser un gaz comprenant une cathode servant de cathode chaude ou froide et procede d'utilisation de ce dispositif
FR2528452A1 (fr) Procede et dispositif pour la realisation de depots metalliques ou de composes metalliques, a la surface d'une piece en un materiau electriquement conducteur
WO1999003314A1 (fr) Cyclotron compact et son utilisation en proton therapie
FR2895208A1 (fr) Procede de production de plasma par decharge capacitive associe a un plasma annexe a decharge distribuee, et systeme de mise en oeuvre associe
FR2741361A1 (fr) Procede pour traitement thermochimique de surface par immersion dans un plasma, installation pour ce procede, utilisations et pieces obtenues

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008762026

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2677227

Country of ref document: CA

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 5031/DELNP/2009

Country of ref document: IN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 12526904

Country of ref document: US

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2009549448

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08762026

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2