WO2008122283A2 - Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und halten von gegenständen oder material - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to a device for the contactless transporting and holding of touch-sensitive objects or material.
  • the conveyor rail has a weight and specific vibration characteristics. When the conveyor rail is idling, d. h., If no components float on it, their vibration behavior can be accurately calculated. However, if the conveyor rail is loaded differently by the components to be transported, the resonance conditions and thus the vibration behavior of the conveyor rail constantly change. This can lead to the fact that in certain sections of the conveyor rail, the air cushion is not formed sufficiently thick and thus the components can touch the conveyor rail.
  • the conveyor rail and the vibration generator In order to avoid a contact safely, the conveyor rail and the vibration generator must be dimensioned so that the conveyor rail always swings sufficiently strong at all points of the transport path, even under heavy loads. However, this requires the use of stronger vibrators, increasing plant costs as well as energy costs.
  • the device according to the invention for transporting and holding components has at least one oscillatory plate-shaped receptacle. This recording serves to carry the object to be transported or held.
  • At least one vibrator and at least two support elements are attached to the oscillatory plate-shaped receptacle, wherein the vibration generator is arranged at a predetermined location of the receptacle in order to set the receptacle in bending oscillations.
  • the support elements are arranged at locations where the amplitude of the bending vibration is at least 50% smaller than the maximum amplitude.
  • the vibrator is operated at a frequency which causes the plate-like receptacle to oscillate such that objects or materials located thereon float on a gas or air film.
  • the gas film acts as a cushion and prevents the component from resting on the receiver. With the invention, the object is achieved completely. So it is z.
  • the person skilled in mechanical vibration technology with the relevant knowledge of the associated measurement technique can determine based on measurements at which points the vibration damping is to install.
  • the support elements on active vibration generator oscillate at a frequency that compensates for unwanted residual vibrations. This measure may be necessary if residual vibrations occur at a few interpolation points, which passively can only be damped with difficulty.
  • the passive vibration damper is adjustable or adjustable. This even better damping properties can be achieved.
  • the structure of adjustable and adjustable passive vibration dampers is known and therefore need not be explained in detail.
  • the active vibration damper is adjustable or adjustable. This even better compensation properties can be achieved.
  • Design of adjustable and adjustable active vibration dampers is also known and therefore need not be explained in detail.
  • the plate-shaped receptacle is curved two-dimensionally. This is z. B. advantageous if web-like material such. B. paper is to be deflected without contact.
  • the plate-shaped receptacle is curved three-dimensionally. This is z. B. advantageous if three-dimensionally shaped material such. B. a thin film on the recording should be kept free of contact to perform a machining process on the top of the film can.
  • the vibration generator on the upper side of the plate-shaped receptacle and the support elements are arranged on the underside of the plate-shaped receptacle. This is advantageous if there is not enough space available at the bottom. It is clear to the person skilled in the art that the vibration generator (s) must be fastened to positions which are eg. B. does not hinder the transport of the components or the material. For this purpose, a further explanation is given in the embodiment.
  • Fig. 1 shows a schematic plan view of a first embodiment of the invention.
  • Fig. 2 shows a perspective view from below of the first embodiment.
  • Fig. 3 shows the view of Fig. 2 with the main components.
  • FIG. 4 shows a schematic plan view of a second embodiment of the invention.
  • Figs. 1 to 3 are schematic views of a first embodiment of the invention.
  • a plate 2 made of an aluminum alloy AIMg4.5MN0.7 with the dimensions 980 mm ⁇ 980 mm is 15 mm thick and is vibrated at a frequency of 20 kHz at the position 3 'by means of the vibrator 3.
  • a stationary oscillation pattern forms, distributed over the plate surface, which has oscillation maxima and oscillation minima at predetermined points.
  • the four digits marked with reference numeral 4 ' form a minimum vibration.
  • the plate 2 is firmly screwed with screws 4 made of plastic. These plastic screws 4 act as passive vibration absorbers.
  • FIG. 4 shows a perspective schematic view of a second embodiment of the invention.
  • a curved plate-shaped receptacle 2 serves to divert two film webs 1a and 1b.
  • Reference numeral 3 ' denotes the two excitation points at which the vibrators 3 (not shown) are arranged from the outside.
  • two of the support elements 4 are schematically designated, on which the bent sheet metal 2 is supported.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transportieren und Halten von berührungsempfindlichen Bauteilen oder Material und weist nachfolgende Merkmale auf: Wenigstens eine schwingungsfähige plattenförmige Aufnahme (2) zur Aufnahme des zu transportierenden oder zu haltenden Gegenstandes, an der wenigstens ein Schwingungserzeuger (3) befestigt ist und wenigstens zwei Abstützelemente (4), wobei der Schwingungserzeuger (3) an einer vorbestimmten Stelle der plattenförmige Aufnahme (2) angeordnet ist, um die plattenförmige Aufnahme (2) in Biegeschwingungen zu versetzen und die Abstützelemente (4) an einer Stelle angeordnet sind, an dem die Amplitude der Biegeschwingung wenigstens 50 % kleiner ist als die Maximalamplitude und der Schwingungserzeuger (3) mit einer Frequenz betrieben wird, die die plattenförmige Aufnahme (2) in solche Schwingungen versetzt, dass die die Bauteile oder das Material berührungsfrei schweben.

Description

Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren und Halten von Gegenständen oder Material
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren und Halten von berührungsempfindlichen Gegenständen oder Material.
Um flächige Gegenstände, wie Bauteile, Behälter oder Materialien entlang einer Transportbahn berührungslos zu transportieren oder in einer definierten Position zu halten, sind aus dem Stand der Technik verschiedene Technologien bekannt. Weit verbreitet sind z. B. Transporteinrichtungen, die Luftpolster nutzen, wobei das Luftpolster mittels einer Vielzahl von Luftdüsen erzeugt wird. Diese sogenannten Luftlager weisen jedoch verschiedene Nachteile auf. Aus den Düsen wird ständig Luft oder ein anderes Gas ausgeblasen, d. h., es wird Luft verbraucht. Da diese Luft oft vorher gereinigt werden muss, entstehen zusätzliche Kosten. Weiterhin sind Luftlager bezüglich ihrer Regelbarkeit relativ träge und erzeugen Aufwirbelungen von Partikeln, was z. B. bei Reinraumanwendungen unerwünscht ist.
Diese Nachteile können prinzipiell durch den Einsatz einer anderen Technologie beseitigt werden. Aus dem Patentdokument US 5,810,155 ist eine Transportvorrichtung bekannt, die nach dem Schalldruckprinzip arbeitet. Es wird eine Förderschiene beschrieben, an die ein Schwingungserzeuger angekoppelt ist. Die Förderschiene wird zu Schwingungen angeregt, sodass auf der Förderschiene liegende flache Bauteile aufgrund des entstehenden Luftpolsters schweben, d. h. die Förderschiene zu keinem Zeitpunkt berühren. Es ist bekannt, stehende Wellen zu erzeugen, die lediglich ein Schweben des Bauteils bewirken. Es ist weiterhin bekannt, Wanderwellen zu erzeugen, die bewirken, dass sich das Bauteil entlang der Förderschiene bewegt.
Weitere Konstruktionen zu diesem Stand der Technik sind aus den Dokumen- ten DE 19916922, DE 19916923, DE 19916859 und DE 19916872 entnehmbar.
Die bisher beschriebenen und labormäßig aufgebauten Vorrichtungen dieser Art zeigten, dass ein berührungsloses Transportieren oder Halten des Bauteils auf einer schwingenden Transportschiene prinzipiell möglich ist.
Bei den Versuchen einer praktischen Anwendung zeigten sich jedoch dann erhebliche Probleme, wenn die zu transportierenden Bauteile schwerer waren als z. B. dünne Siliziumwafer oder ähnlich leichte Materialien, was nachfolgend erläutert wird: Die Förderschiene hat ein Eigengewicht und spezifische Schwingungseigenschaften. Wenn die Förderschiene im Leerlauf betrieben wird, d. h., wenn keine Bauteile darauf schweben, kann ihr Schwingungsverhalten genau berechnet werden. Wenn die Förderschiene jedoch durch die zu transportierenden Bauteile unterschiedlich belastet wird, verändern sich die Resonanzbedingungen und somit das Schwingungsverhalten der Förderschiene ständig. Das kann dazu führen, dass in bestimmten Abschnitten der Förderschiene das Luftpolster nicht ausreichend dick ausgebildet wird und somit die Bauteile die Förderschiene berühren können. Um eine Berührung sicher zu vermeiden, müssen die Förderschiene und der Schwingungserzeuger so di- mensioniert werden, dass auch bei größeren Belastungen die Förderschiene an allen Stellen der Transportbahn immer ausreichend stark schwingt. Das erfordert jedoch den Einsatz stärkerer Schwingungserzeuger, wodurch die Anlagenkosten und ebenso die Energiekosten steigen.
Es hat sich herausgestellt, dass der Bau und der Betrieb von Transportanlagen nach dem vorstehend beschriebenen Prinzip zu aufwendig und zu teuer werden, wenn großflächige und schwerere Bauteile, wie z. B. Glasplatten in der Größenordnung von einem Quadratmeter transportiert werden sollen. Dazu wäre es erforderlich, eine Vielzahl von Schwingungserzeugern unter der Transportschiene hintereinander und ggf. auch nebeneinander anzuordnen. Dadurch steigen die Anlagenkosten erheblich. Ein weiteres Problem besteht darin, dass diese Schwingungserzeuger zueinander genau justiert sein müssen, damit das gewünschte optimale Schwingungsverhalten der Transport- schiene erzeugt werden kann. Da die Schwingungserzeuger selbst einer gewissen Alterung unterliegen, die geringfügige Änderungen im Schwingungsverhalten bewirkt, muss mittels einer Regelung das Schwingungsverhalten der Förderschiene nachgeregelt werden. Da diese Regelung nur möglich ist, wenn die Schwingungen der Transportschiene ständig gemessen werden, hat sich diese Technologie aufgrund des extrem hohen technischen Aufwandes nicht durchgesetzt.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, eine Technologie mittels Schallschwingungen bereitzustellen, die auch für den Transport und zum Halten nicht nur von kleinflächigen und leichten Bauteilen, sondern auch für größere und schwere Bauteile geeignet ist.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1 gelöst. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Transportieren und Halten von Bautei- len weist wenigstens eine schwingungsfähige plattenförmige Aufnahme auf. Diese Aufnahme dient dazu, den zu transportierenden oder zu haltenden Gegenstand zu tragen.
An der schwingungsfähigen plattenförmigen Aufnahme sind wenigstens ein Schwingungserzeuger und wenigstens zwei Abstützelemente befestigt, wobei der Schwingungserzeuger an einer vorbestimmten Stelle der Aufnahme angeordnet ist, um die Aufnahme in Biegeschwingungen zu versetzen. Die Abstützelemente sind an Stellen angeordnet, an denen die Amplitude der Biegeschwingung wenigstens 50% kleiner ist als die Maximalamplitude. Der Schwin- gungserzeuger wird mit einer Frequenz betrieben, die die plattenförmige Aufnahme in solche Schwingungen versetzt, dass darauf befindliche Gegenstände oder Materialien auf einem Gas- oder Luftfilm schweben. Der Gasfilm wirkt als Polster und verhindert ein Aufliegen des Bauteils auf der Aufnahme. Mit der Erfindung wird die gestellte Aufgabe vollständig gelöst. So ist es z. B. möglich, mit einem einzigen Schwingungserzeuger einen Abschnitt einer Transportbahn von einem Meter Breite und Länge zum Transport schwerer Glasplatten mit Flächengewichten bis zu 100 kg/m2 zu bauen. Da die passiven Stützpunkte lediglich mechanisch feste Verbindungen sind, wie z. B. Ver- schraubungen, sind die Kosten für den Bau einer solchen Transportbahn verglichen zum Stand der Technik äußerst gering. Ebenso verringert sich das Gewicht der Anlage erheblich, da die einzelnen Verschraubungen um ein Vielfaches leichter sind als ein Schwingungsaufnehmer, der anstelle der Ver- schraubung anzuordnen wäre. Mit dieser Erfindung ist es somit erstmalig möglich, die Ultraschall-Schwebetechnologie für einen breiten Praxiseinsatz bereitzustellen.
Nach Anspruch 2 weisen die Abstützelemente passive Schwingungsdämpfer auf oder sind als solche ausgebildet. Diese Schwingungsdämpfer dämpfen Restschwingungen, die ggf. zu unerwünschten Geräuschen an den Stützpunkten führen können. Der Fachmann für mechanische Schwingungstechnik mit den einschlägigen Kenntnissen der dazugehörigen Messtechnik kann aufgrund von Messungen bestimmen, an welchen Stellen die Schwingungsdämpfung zu installieren ist.
Nach Anspruch 3 weisen die Abstützelemente aktive Schwingungserzeuger auf. Diese Schwingungserzeuger schwingen in einer Frequenz, mit der unerwünschte Restschwingungen kompensiert werden. Diese Maßnahme kann dann erforderlich werden, wenn an wenigen Stützstellen Restschwingungen auftreten, die passiv nur schwer gedämpft werden können.
Nach Anspruch 4 ist der passive Schwingungsdämpfer einstellbar oder regelbar. Damit können noch bessere Dämpfungseigenschaften erzielt werden. Der Aufbau von einstellbaren und regelbaren passiven Schwingungsdämpfern ist bekannt und muss daher nicht näher erläutert werden.
Nach Anspruch 5 ist der aktive Schwingungsdämpfer einstellbar oder regelbar. Damit können noch bessere Kompensationseigenschaften erzielt werden. Der Aufbau von einstellbaren und regelbaren aktiven Schwingungsdämpfern ist ebenfalls bekannt und muss daher nicht näher erläutert werden.
Nach Anspruch 6 ist die plattenförmige Aufnahme zweidimensional gewölbt. Das ist z. B. vorteilhaft, wenn bahnförmiges Material, wie z. B. Papier berührungsfrei umgelenkt werden soll.
Nach Anspruch 7 ist die plattenförmige Aufnahme dreidimensional gewölbt. Das ist z. B. vorteilhaft, wenn dreidimensional ausgeformtes Material, wie z. B. eine dünne Folie auf der Aufnahme berührungsfrei gehalten werden soll, um auf der Oberseite der Folie einen Bearbeitungsprozess durchführen zu können.
Nach Anspruch 8 sind der Schwingungserzeuger auf der Oberseite der platten- förmigen Aufnahme und die Abstützelemente auf der Unterseite der platten- förmigen Aufnahme angeordnet. Das ist vorteilhaft, wenn an der Unterseite nicht genügend Bauraum zur Verfügung steht. Es ist dem Fachmann klar, dass der oder die Schwingungserzeuger an Positionen befestigt werden müssen, die z. B. den Transport der Bauteile oder des Materials nicht behindern. Dazu wird eine weitere Erläuterung im Ausführungsbeispiel gegeben.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und schematischen Zeichnungen näher erläutert:
Fig. 1 zeigt eine schematische Draufsicht auf eine erste Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht von unten auf die erste Ausführungsform.
Fig. 3 zeigt die Ansicht von Fig. 2 mit den Hauptkomponenten.
Fig. 4 zeigt eine schematische Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform der Erfindung. Die Fig. 1 bis 3 zeigen schematische Ansichten einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Eine Platte 2 aus einer Aluminiumlegierung AIMg4,5MN0,7 mit den Abmaßen 980 mm x 980 mm ist 15 mm dick und wird mit einer Frequenz von 20 KHz an der Position 3' mittels des Schwingungserzeugers 3 in Schwin- gungen versetzt. Dabei bildet sich über die Plattenoberfläche verteilt ein stehendes Schwingungsmuster aus, das an vorbestimmten Stellen Schwin- gungsmaxima und Schwingungsminima aufweist. Die mit Bezugszeichen 4' gekennzeichneten vier Stellen bilden ein Schwingungsminimum. An diesen Stellen ist die Platte 2 mit Schrauben 4 aus Kunststoff fest verschraubt. Diese Kunststoffschrauben 4 wirken als passive Schwingungsdämpfer.
Die Fig. 4 zeigt eine perspektivische schematische Ansicht einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Eine gebogene plattenförmige Aufnahme 2 dient zur Umleitung von zwei Folienbahnen 1a und 1b. Mit dem Bezugszeichen 3' sind die zwei Anregungspunkte bezeichnet, an denen die Schwingungserzeuger 3 (nicht gezeigt) von außen angeordnet sind. Mit dem Bezugszeichen 4 sind schematisch zwei der Abstützelemente 4 bezeichnet, an denen das gebogene Blech 2 abgestützt wird. Wenn das Blech 2 mit einer vorbestimmen Frequenz angeregt wird, bildet sich ein Luftfilm zwischen der Blechoberfläche und den Folienbahnen aus, sodass die Folienbahnen 1a, 1b die Blechoberfläche nicht berühren.
Dem Fachmann ist klar, dass die Wahl der geeigneten Anregungspunkte, deren Anzahl und die Wahl der geeigneten Abstützpunkte von technologischen Parametern abhängen, deren Bestimmung mit dem Fachmann bekannten Methoden erfolgen kann. Gleichfalls wird der Fachmann auch andere Parameter berücksichtigen, die die Schwingungseigenschaften der Vorrichtung beeinflussen können, wie z. B. die Eigenschaften des umgebenden Gases (z. B. Luft).

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zum Transportieren und Halten von flachen Gegenständen und Materialien (1), wobei die Vorrichtung die nachfolgenden Merkmale aufweist:
- wenigstens eine schwingungsfähige plattenförmige Aufnahme (2) zur Aufnahme des zu transportierenden oder zu haltenden Gegenstandes, an der
- wenigstens ein Schwingungserzeuger (3) befestigt ist und - wenigstens zwei Abstützelemente (4), wobei
- der Schwingungserzeuger (3) an einer vorbestimmten Stelle der plattenförmige Aufnahme (2) angeordnet ist, um die plattenförmige Aufnahme (2) in Biegeschwingungen zu versetzen und die Abstützelemente (4) an Stellen angeordnet sind, an denen die Amplitude der Biegeschwingung wenigstens 50 % klei- ner ist als die Maximalamplitude und
- der Schwingungserzeuger (3) mit einer Frequenz betrieben wird, die die plattenförmige Aufnahme (2) in solche Schwingungen versetzt, dass darauf befindliche Gegenstände oder Materialien (1) auf einem Gas- oder Luftfilm schweben.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützelemente (4) einen passiven Schwingungsdämpfer aufweisen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Abstütz- elemente (4) einen aktiven Schwingungsdämpfer aufweisen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der passive Schwingungsdämpfer einstellbar oder regelbar ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der aktive Schwingungsdämpfer einstellbar oder regelbar ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn- zeichnet, dass die plattenförmige Aufnahme (2) zweidimensional gewölbt ist.
7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die plattenförmige Aufnahme (2) dreidimensional gewölbt ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingungserzeuger (3) auf der Oberseite der platten- förmigen Aufnahme (2) und die Abstützelemente (4) auf der Unterseite der plattenförmigen Aufnahme (2) angeordnet sind.
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EP08734476A EP2244961B1 (de) 2007-04-09 2008-04-09 Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und halten von gegenständen oder material
CN200880011180A CN101784467A (zh) 2007-04-09 2008-04-09 用于无接触地输送和保持物体或材料的装置
JP2010502412A JP5583004B2 (ja) 2007-04-09 2008-04-09 無接触で物体または材料を輸送および保持する装置
US12/595,359 US8794877B2 (en) 2007-04-09 2008-04-09 Device for non-contact transporting and holding of objects or material
KR1020097023366A KR101507185B1 (ko) 2007-04-09 2008-04-09 비접촉 방식으로 물체 또는 물질을 전달 및 유지하는 장치
AT08734476T ATE537094T1 (de) 2007-04-09 2008-04-09 Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und halten von gegenständen oder material
ES08734476T ES2380977T3 (es) 2007-04-09 2008-04-09 Dispositivo para transporte y sujección sin contacto de objetos o materiales

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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ES (1) ES2380977T3 (de)
WO (1) WO2008122283A2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101823576A (zh) * 2009-03-02 2010-09-08 克罗内斯股份公司 包装机及其控制方法

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009010164A1 (de) 2009-02-23 2010-09-02 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum berührungslosen Erfassen von Glasplatten
DE202009002567U1 (de) 2009-02-23 2009-06-25 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen von Glasplatten
DE102012110149B4 (de) * 2012-10-24 2019-02-07 Leonhard Kurz Stiftung & Co. Kg Heißprägevorrichtung
CN105960589B (zh) 2013-07-22 2019-04-26 Zs-处理有限责任公司 用于检查工件表面和带材料的装置
US10646972B2 (en) 2013-07-22 2020-05-12 Zs-Handling Gmbh Device for treating or machining a surface
KR101515807B1 (ko) 2013-11-04 2015-05-07 코닝정밀소재 주식회사 롤 제조방법 및 제조장치
KR101515806B1 (ko) 2013-11-04 2015-05-04 코닝정밀소재 주식회사 시트 제조방법 및 제조장치
KR101506141B1 (ko) * 2013-11-04 2015-03-26 코닝정밀소재 주식회사 장력 조절장치 및 이를 이용한 웹 연속처리방법
KR101520744B1 (ko) 2013-11-04 2015-05-15 코닝정밀소재 주식회사 비접촉 진동 억제장치 및 대상물 가공방법
KR101548310B1 (ko) * 2013-12-30 2015-08-28 코닝정밀소재 주식회사 필름 부착 방법 및 장치
KR101600382B1 (ko) * 2014-05-12 2016-03-08 제트에스-핸들링 게엠베하 비접촉식 기판 그립핑 장치
KR20170085543A (ko) 2014-11-17 2017-07-24 코닝 인코포레이티드 초음파 근접장 고온 유리 운반 및 성형
US9620006B2 (en) 2014-11-21 2017-04-11 At&T Intellectual Property I, L.P. Systems, methods, and computer readable storage devices for controlling an appearance of a surface using sound waves
EP4012358A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Mettler-Toledo Garvens GmbH Produkttransport in dynamischen inspektionssystemen
CN113357263B (zh) * 2021-06-25 2023-04-18 合肥工业大学 一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法
LU508157B1 (de) * 2024-09-02 2026-03-02 Revisalt Gmbh Verfahren und Anlage zum Verfestigen und/oder Härten von Flachglas

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5890580A (en) 1993-07-12 1999-04-06 Kaijo Corporation Object levitating apparatus, object transporting apparatus, and object levitating bearing along with an object levitating process and object transporting process
DE19844796C2 (de) * 1998-09-30 2003-10-30 Feintool Internat Holding Lyss Schienenartige Förderstrecke
DE19916856A1 (de) 1999-04-14 1999-09-23 Eckert Gmbh Dr Verfahren zur Herstellung von Carbonyldichlorid aus Chlor und Kohlenmonoxid
DE19916859C1 (de) * 1999-04-14 2001-01-04 Inst Werkzeugmaschinen Und Bet Vorrichtung zum berührungslosen Greifen und Positionieren von Bauteilen
DE19916922B4 (de) 1999-04-14 2006-07-27 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von Bauteilen und System zum Handhaben und Lagern derselben
DE19916923B4 (de) 1999-04-14 2004-07-08 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten Transportieren von Bauteilen
DE19916872C1 (de) 1999-04-14 2000-04-13 Inst Werkzeugmaschinen Und Bet Vorrichtung zum berührungslosen Lagern von Bauteilen
JP3928343B2 (ja) * 2000-09-20 2007-06-13 株式会社豊田自動織機 物体浮揚装置の制御方法及び物体浮揚装置
US6802220B2 (en) * 2000-10-26 2004-10-12 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Apparatus for transporting levitated objects
JP3931552B2 (ja) * 2000-11-07 2007-06-20 株式会社豊田自動織機 物体浮揚搬送装置
JP4003568B2 (ja) * 2001-07-27 2007-11-07 株式会社豊田自動織機 物体浮揚装置、物体搬送装置及び荷取り装置
JP3804512B2 (ja) * 2001-10-26 2006-08-02 株式会社豊田自動織機 振動子駆動用電源装置
JP2003159566A (ja) * 2001-11-27 2003-06-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波振動子と駆動装置及び加熱装置
US7036653B2 (en) * 2002-01-29 2006-05-02 Siemens Technology-To-Business Center Llc Load manipulation system
WO2004076320A1 (de) * 2003-02-25 2004-09-10 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und positionieren von bauteilen
JP2005119839A (ja) * 2003-10-17 2005-05-12 Toyota Industries Corp 物体浮揚装置
DE10352944A1 (de) * 2003-11-11 2005-06-23 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren, Handhaben und Lagern von Bauteilen und Materialien

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101823576A (zh) * 2009-03-02 2010-09-08 克罗内斯股份公司 包装机及其控制方法
EP2226254A1 (de) * 2009-03-02 2010-09-08 Krones AG Verpackungsmaschine und Verfahren zu deren Steuerung

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