WO2008141804A2 - Anordnung zur abtastung eines linearen oder kreisförmigen massstabes aus ferromagnetischem material - Google Patents

Anordnung zur abtastung eines linearen oder kreisförmigen massstabes aus ferromagnetischem material Download PDF

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    • G01D5/2451—Incremental encoders

Definitions

  • the invention relates to a sensor arrangement for scanning a magnetic tooth structure. Such arrangements are applicable for example in precision mechanics, mechanical engineering or automotive engineering.
  • the magnet is positioned with its magnetic axis, which connects both parallel pole faces, radially to the gear axis. Between the pole face closer to the toothed wheel and the tooth surface is the respective magnetic sensor. Its dimensions are small in comparison with that of the pole face, in the middle of which the sensor is positioned. These two peculiarities of the arrangement prevent the highest possible magnetic field strength being achieved at the teeth and at the sensor location. It would increase if the distance between the tooth and the magnet were smaller and the sensor were closer to one edge of the pole face. The former is prevented by the sensor, the second leads to a strong sensor offset due to the inhomogeneous field distribution at the edge of the pole face. The consequent Measurement error would be greater than the accuracy gain by the increased field strength in the arrangement so changed.
  • the axis of the magnet is in the arrangement, as usual in the rest of the art, perpendicular to the tooth surface.
  • the high resolution of the tooth edge position is achieved in that the sensor is arranged adjacent to a side surface of the magnet near the edge of the gear facing the pole surface and that the magnetoresistive resistance strips of the sensor are divided into two small areas as possible, which are spaced in the direction of movement of the teeth , Only the resistance strips in the vicinity of the tooth edges contribute something to the sensor signal, which halves the sensor signal.
  • An object of the invention is the use of small size magnets, since these essentially determine the size of the arrangement. High magnetic field strengths at the sensor location are not intended and not achieved.
  • Object of the present invention is to provide an arrangement for scanning a linear or circular scale of ferromagnetic material with a tooth-shaped structured surface, which determines the tooth positions with high accuracy in a magnetically disturbed environment.
  • the arrangement consists of at least one magnetic field sensor located on a carrier and at least one permanent magnet.
  • a scale to be scanned has one or more parallel tooth structures that are periodic in the direction of movement.
  • the scale may for example be linear or have the shape of a gear.
  • the edges of the tooth structures preferably form right angles with the direction of movement.
  • the permanent magnets are arranged with their perpendicular to the pole faces magnetic axis parallel to edges of the tooth structure and at an interval of an air gap to the surface of the teeth.
  • the magnetic field sensor consists of sensor elements which are located on element surfaces which are spaced on a sensor surface of the carrier in the direction of movement.
  • the sensor surface of the carrier is arranged above the tooth structure and in front of at least one pole face, wherein the distance of a near-surface edge of the sensor surface to the surface of the tooth structure corresponds at most to the dimension of the air gap.
  • the distances between the center lines of the element surfaces from each other can be represented by quarter the period length of the tooth structure to be scanned or multiples thereof.
  • the magnetic field sensor is located exactly at the place where the magnet generates the highest field strength of the field component perpendicular to the tooth surface. This location is located in the arrangement in the immediate vicinity of the tooth structure, so that high caused by the tooth structure local field strength changes are ensured at the sensor location.
  • the field lines running from the north pole to the south pole are guided almost over their entire length through the soft-magnetic tooth structure, thus increasing the field strength in the region of the gap between the magnet and the tooth structure surface. That this gap in the Areas of the tooth has a much smaller dimension than in the area of the tooth gap, supported to a considerable extent necessary for accurate Zahnabtastung the difference in field strengths between said locations.
  • the high magnetic field strength available here for the tooth scan and its large differences in the movement of the tooth structure is a basic prerequisite for an accurate determination of the position of the tooth structure, since interference field strengths occurring in a technical environment always remain relatively small compared to these high field strength values. It should also be borne in mind that the interference fields in the region of the tooth period just scanned may have only slightly varying values, so that the error caused by them is far below their relative field strength value.
  • the highest field strength values of the magnets can be achieved by using high-quality permanent magnet materials.
  • magnetic field sensors are used in the arrangement, which react to magnetic fields which are perpendicular to the surface of the tooth structure.
  • Magnetoresistive sensors which are located on sensor surfaces which extend parallel to the pole faces of the magnets, are preferably suitable for this purpose. These can be AMR sensors or spin valve GMR sensors.
  • the achievable field strength values greater than 100 kA / m
  • available multi-layer GMR resistors change their magnetic resistance by more than 40%, allowing sensors to be produced with significantly increased sensor output over other magnetoresistive sensors. This results in higher resolutions and accuracies in determining the position of the tooth structure.
  • magnetoresistive sensors consist of sensor elements located on surfaces of the elements spaced on a sensor surface of the carrier in the direction of movement.
  • the distances of the element surfaces in the direction of movement are adapted to the particular tooth structure to be scanned.
  • two identical magnetoresistive resistors are located in two element surfaces, and their spacing corresponds to half the period length of the tooth structure.
  • the resistors are connected to a half-bridge. It is also possible to arrange two identical magnetoresistive resistors in each element surface so that a full bridge circuit can be realized.
  • the scanning of the tooth structure by means of the half or full bridge essentially results in a sine function with the period length of the tooth structure.
  • both sides of the sensor have the same pole face (eg north pole - north pole) of two magnets, a doubling of the magnetic field strength at the sensor location is possible.
  • magnetic field sensors can be arranged on both pole faces of the magnet.
  • the magnet of a further embodiment of the invention may include a notch in the pole face facing the magnetic field sensor in a direction perpendicular to the tooth structure surface. This causes a homogenization of the magnetic field in the vicinity of the notch. Thus, the adjustment of the magnetic field sensor relative to the magnet is considerably simplified, which requires considerable effort without notch for offset displacements in the sensor.
  • the notch may be enlarged so far that there are two magnets separated by a non-magnetic material with in-plane pole faces.
  • FIG. 1 Arrangement according to the invention
  • Fig. 2 Arrangement according to the prior art
  • Fig. 3 magnet with maximum vertical field component
  • Fig. 4 Distribution of element surfaces of the magnetic field sensor
  • 5 characteristic of a multilayer GMR resistor
  • FIG. 6 arrangement with two magnets
  • Fig. 7 Arrangement with two magnetic field sensors for two parallel tooth structures
  • Fig. 8 arrangement with notched magnet
  • Fig. 9 Arrangement with divided magnet.
  • Fig. 1 shows an inventive arrangement for scanning a linear or circular scale 3 made of ferromagnetic material with a tooth-shaped surface.
  • a cuboid magnet 4 About the scale with tooth structure is a cuboid magnet 4, the left and right located pole surfaces (S, N) define the perpendicular thereto magnetic axis 5.
  • the axis 5 is directed parallel to the edges of the tooth structure.
  • the lower edge of the magnet 4 is separated by a gap from the surface of a tooth.
  • a magnetic field sensor 1 mounted on a support 3, close to the tooth structure. The distance between the lower edge of the sensor 1 from the tooth surface is smaller in real arrangements than the gap between magnet 4 and tooth surface.
  • the magnetic field sensor 1 is a magnetoresistive sensor. Its sensor surface is parallel to the pole face S. It is measured by the vertical field component.
  • the rectangular tooth structure shown in Fig. 1 does not exclude that the arrangement is not suitable for differently shaped teeth and gullets. The entire drawing is not to scale and shows only the principle of the arrangement of the individual parts against each other.
  • Fig. 2 shows, in comparison to Figure 1, the typical arrangement of magnet 4 with magnetic axis 5 and magnetic field sensor 1 on a support 3, according to the prior art.
  • high field strengths are not achieved by the fact that the sensor 1 is located with carrier 3 between the magnet and the tooth surface and so requires a large distance between the two, and that the sensor 1 is not positioned close to the magnetic edge at which the magnetic field strength is maximum.
  • Fig. 3 it is demonstrated at which point of the magnet 4, the greatest strength of the vertical field occurs.
  • a section through the magnet is shown, the pole faces S and N are located on the left or right in the drawing.
  • Einge- are the surface currents 8 of the magnet, which can be considered in the model as the cause of the field.
  • the field lines 9 of these surface currents 8 are also shown. Before the lower edge of the pole face N, all field lines 9 overlap and form by addition the large magnetic field strength represented by the arrow. As a result of this consideration, it can be seen that maximum field strengths of perpendicular field components must occur near the bottom and top edges of the pole faces. If the lower edge, as in FIG. 1, is located close to the soft-magnetic scale, a further increase in the strength of this field component is to be expected.
  • the arrangement of the preferred magnetoresistive sensors is shown in FIG. Above is the pole face N of the magnet 4. In front of it is the magnetic field sensor 1 with four element surfaces 7, each containing sensor elements.
  • the sensor elements are magnetoresistive thin-film strips, which are arranged, for example, in meandering form in the element surfaces 7.
  • the element surfaces 7 are each offset by a quarter of the period length of the tooth structure of the scale 4 against each other.
  • the resistances of the first and the third element surface 7 are interconnected to form a bridge, as well as that of the second and fourth element surface 7.
  • FIG. 5 shows the dependence of the resistance R of such a sensor relative to its value at very high field strengths Ro of the field strength H. It is achieved a change amplitude of 45%.
  • FIG. 6 shows a further possibility of increasing the field strength in arrangements according to the invention.
  • the magnetic field sensor 1 is located on its carrier 2 between the same pole faces N of a first magnet 4.1 and a second magnet 4.2. With a small thickness of the carrier 2, a maximum doubling of the field strength can be achieved here.
  • FIG. 7 shows an arrangement in which the necessary fields for a first sensor 1.1 and a second sensor 1.2 are provided with a magnet 4.
  • the two magnetic field sensors 1.1 and 1.2 can be used to scan different tooth structures of the scale 4.
  • FIG. 8 shows how a magnet 10 with a notched pole face N is to be adjusted with respect to the position of the element surfaces 7 of a magnetic field sensor 1 so that an offset value caused by convergent field leakage from a magnet 4 in the output signal of the sensor bridges is avoided.

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Abstract

Es wird eine Anordnung zur hochauflösenden Positionsbestimmung an linearen oder kreisförmigen ferromagnetischen Maßstäben (3) mit Zahnstruktur angegeben, die in magnetisch gestörter Umgebung zuverlässige Ergebnisse liefert. Dazu wird ein Magnetfeldsensor (1) am Ort des maximalen Feldes eines Dauermagneten (4) positioniert und dieser gegenüber dem Maßstab (3) so angebracht, dass das weichmagnetische Maßstabsmaterial eine weitere Feldverstärkung bewirkt. Die so erreichte Feldstärke ist ausreichend, um Vielschicht-GMR-Sensoren mit Widerstandsänderungen von mehr als 40 % einsetzen zu können, womit eine hohe Signalamplitude zur höheren Positionsauflösung genutzt werden kann.

Description

Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabes aus ferromagnetischem Material
Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Abtastung einer magnetischen Zahnstruktur. Solche Anordnungen sind beispielsweise in der Feinmechanik, im Maschinenbau oder im Automobilbau anwendbar.
Ausführungen derartiger Sensoranordnungen sind seit langem bekannt. So wird in der DE 31 22 376 eine Vorrichtung zur Erfassung der Drehzahl von rotierenden Teilen beschrieben, bei der das rotierende Teil ein weichmagnetisches Zahnrad ist, Dauermagnete zur Erzeugung eines Magnetfeldes eingesetzt werden und die Änderung des Magnetfeldes, wenn ein Zahn den Magneten passiert, durch Hall-Sensoren oder magnetoresistive Sensoren detektiert wird. Für die ausschließliche Ermittlung der Drehzahl ist die angegebene Anordnung in ihrer Einfachheit und Effektivität kaum zu übertreffen. Anders stellt sich die Sache dar, wenn dieselbe Anordnung auch zur genauen Bestimmung des jeweiligen Drehwinkels des Zahnrades zu jedem beliebigen Zeitpunkt benutzt werden soll und wenn der Drehwinkelwert auch in einer maschineninternen Umwelt mit nicht vermeidbaren Streumagnetfeldern mit hoher Genauigkeit zur Verfügung stehen muss. Bei der genannten Erfindung wird der Magnet mit seiner magnetischen Achse, die beide parallele Polflächen verbindet, radial zur Zahnradachse positioniert. Zwischen der dem Zahnrad näher liegenden Polfläche und der Zahnoberfläche befindet sich der jeweilige magnetische Sensor. Seine Abmessungen sind gering im Vergleich mit der der Polfläche, in deren Mitte der Sensor positioniert ist. Diese beiden Eigenheiten der Anordnung verhindern, dass eine möglichst hohe magnetische Feldstärke an den Zähnen und am Sensorort erreicht wird. Sie würde ansteigen, wenn der Abstand zwischen Zahn und Magnet geringer wäre und der Sensor sich näher an einem Rand der Polfläche befinden würde. Ersteres wird durch den Sensor verhindert, das zweite führt wegen der am Rand der Polfläche inhomogenen Feldverteilung zu einem starken Sensoroffset. Der dadurch bedingte Messfehler wäre bei der so geänderten Anordnung größer als der Genauigkeitsgewinn durch die erhöhte Feldstärke.
Eine ganze Reihe von Anordnungen, die in den Patenten US 5,444,370; US 4,859,941 , US 4,745,363; US 5,841 ,276 und US 4,626,781 beschrieben sind, benutzen die angegebene Richtung des Feldes des Dauermagneten und den angegebenen Sensorort zwischen Magnet und Zahnstruktur und können so in dieser Hinsicht zu keiner Verbesserung durch erhöhte Feldstärke beitragen. In der WO97/06404 wird in einem Ausführungsbeispiel (dargestellt in der dortigen Fig.1) die magnetische Achse des Dauermagneten nicht mehr radial, sondern tangential zum Zahnrad positioniert. Der Magnet befindet sich unmittelbar über der Oberfläche des Zahns. Der Sensor ist neben einer Seitenfläche des Magneten und vor der Stirnseite des Zahnrades in Höhe der Zähne angeordnet. Hier wird zwar ein minimaler Abstand zwischen Zahnoberfläche und Magnet verwirklicht, das seitlich aus dem Magneten austretende Feld ist jedoch nicht von hoher Stärke, und nur dieses wirkt auf den Sensor ein. Damit sind hohe Feldstärken auch bei Verwendung von weichmagnetischen Flusskonzentratoren, wie vorgeschlagen, nicht zu verwirklichen. Weitere Ausführungsbeispiele benutzen die Weiterleitung des Magnetfeldes des Dauermagneten über weichmagnetische Teile zum Zahnrad. Das Feld wird so wieder senkrecht in die Zahnoberfläche eingeleitet und zwischen dem weichmagnetischen Teil und dem Zahn befindet sich wieder der Sensor. So kann eine Feldstärkeverstärkung in diesen Ausführungen auch nicht erreicht werden. Bei einer Anordnung nach WO 2007/002067 wird eine Anordnung zur Abtastung fer- romagnetischer Zahnräder angegeben, deren Aufgabe es ist, die Position einer Zahnkante mit möglichst hoher Genauigkeit zu ermitteln. Die Achse des Magneten steht bei der Anordnung, wie im übrigen Stand der Technik üblich, senkrecht zur Zahnoberfläche. Die hohe Auflösung der Zahnkantenposition wird dadurch erreicht, dass der Sensor neben einer Seitenfläche des Magneten nahe der Kante der dem Zahnrad zugewandten Polfläche angeordnet ist und dass die magnetoresistiven Widerstandsstreifen des Sensors auf zwei möglichst kleine Flächen, die in Bewegungsrichtung der Zähne beabstandet sind, aufgeteilt sind. Nur die in der Zahnkantennähe befindlichen Widerstandsstreifen tragen hier etwas zum Sensorsignal bei, was zur Halbierung des Sensorsignals führt. Ein Ziel der Erfindung besteht in der Verwen- dung von Magneten kleiner Abmessung, da diese die Größe der Anordnung im Wesentlichen bestimmen. Hohe magnetische Feldstärken am Sensorort werden nicht beabsichtigt und auch nicht erreicht.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabes aus ferromagnetischem Material mit zahnförmig strukturierter Oberfläche anzugeben, die die Zahnpositionen mit hoher Genauigkeit in magnetisch gestörter Umgebung ermittelt.
Diese Aufgabe wird mit einer Anordnung entsprechend Anspruch 1 gelöst. Die Anordnung besteht aus mindestens einem auf einem Träger befindlichen Magnetfeldsensor und mindestens einem Dauermagneten. Ein abzutastender Maßstab weist eine oder mehrere parallele in Bewegungsrichtung periodische Zahnstrukturen auf. Der Maßstab kann beispielsweise linear sein oder die Form eines Zahnrades haben. Die Kanten der Zahnstrukturen bilden bevorzugt mit der Bewegungsrichtung rechte Winkel. Die Dauermagnete sind mit ihrer senkrecht auf den Polflächen stehenden magnetischen Achse parallel zu Kanten der Zahnstruktur und im Abstand eines Luftspaltes zur Oberfläche der Zähne angeordnet. Der Magnetfeldsensor besteht aus Sensorelementen, die sich auf Elementeflächen befinden, die auf einer Sensorfläche des Trägers in Bewegungsrichtung beabstandet sind. Die Sensorfläche des Trägers ist über der Zahnstruktur und vor mindestens einer Polfläche angeordnet, wobei der Abstand einer oberflächennahen Kante der Sensorfläche zur Oberfläche der Zahnstruktur höchstens der Abmessung des Luftspaltes entspricht. Die Abstände der Mittellinien der Elementeflächen voneinander sind durch Viertel der Periodenlänge der abzutastenden Zahnstruktur oder Vielfache davon darstellbar. In dieser Anordnung befindet sich der Magnetfeldsensor genau an dem Ort, an dem durch den Magneten die höchste Feldstärke der senkrecht auf der Zahnoberfläche stehenden Feldkomponente erzeugt wird. Dieser Ort befindet sich in der Anordnung in unmittelbarster Nähe zur Zahnstruktur, so dass auch hohe durch die Zahnstruktur hervorgerufene örtliche Feldstärkeänderungen am Sensorort gewährleistet sind. Es kommt hinzu, dass bei der Anordnung die vom Nordpol zum Südpol verlaufenden Feldlinien fast über ihre gesamte Länge durch die weichmagnetische Zahnstruktur geführt werden, womit eine Verstärkung der Feldstärke im Bereich des Spaltes zwischen Magnet und Zahnstrukturoberfläche erreicht wird. Dass dieser Spalt im Be- reich des Zahnes eine viel geringere Abmessung hat als im Bereich der Zahnlücke, unterstützt in erheblichem Maße die für die genaue Zahnabtastung nötige Vergrößerung der Differenz der Feldstärken zwischen den genannten Orten. Die für die Zahnabtastung hier zur Verfügung stehende hohe Magnetfeldstärke sowie deren große Differenzen bei Bewegung der Zahnstruktur, ist eine Grundvoraussetzung für eine genaue Bestimmung der Position der Zahnstruktur, da in technischer Umgebung vorkommende Störfeldstärken gegenüber diesen hohen Feldstärkewerten immer relativ klein bleiben. Es ist dabei auch zu berücksichtigen, dass die Störfelder im Bereich der gerade abgetasteten Zahnperiode nur wenig variierende Werte aufweisen können, so dass der durch sie bewirkte Fehler weit unter ihrem relativen Feldstärkewert liegt.
Es ist klar, dass auch in der erfindungsgemäßen Anordnung die höchsten Feldstärkewerte der Magnete durch Einsatz hochwertiger Dauermagnetwerkstoffe erzielbar sind.
Vorteilhafterweise werden in der Anordnung Magnetfeldsensoren eingesetzt, die auf Magnetfelder reagieren, die senkrecht auf der Oberfläche der Zahnstruktur stehen. Magnetoresistive Sensoren, die sich auf Sensorflächen befinden, die sich parallel zu den Polflächen der Magnete erstrecken, sind dazu bevorzugt geeignet. Dabei kann es sich um AMR-Sensoren oder auch um Spin-Valve-GMR-Senoren handeln. Bei der Untersuchung erfindungsgemäßer Anordnungen stellte sich heraus, dass die erreichbaren Feldstärkewerte (größer als 100 kA/m) auch ausreichen, um Vielschicht- GMR-Sensoren einsetzen zu können. Verfügbare Vielschicht-GMR-Widerstände ändern ihren Widerstand bei magnetischer Einwirkung um mehr als 40%, wodurch Sensoren mit gegenüber anderen magnetoresistiven Sensoren erheblich vergrößerten Sensorausgangssignalen herstellbar sind. Damit sind höhere Auflösungen und Genauigkeiten in der Bestimmung der Position der Zahnstruktur gegeben. Unabhängig von der speziellen Art der magnetoresistiven Sensoren bestehen diese aus Sensorelementen, die sich auf Elementeflächen befinden, die auf einer Sensorfläche des Trägers in Bewegungsrichtung beabstandet sind. Die Abstände der Elementeflächen in Bewegungsrichtung sind an die jeweils abzutastende Zahnstruktur angepasst. Im einfachsten Fall befinden sich zwei gleiche magnetoresistive Widerstände in zwei Elementeflächen, und deren Abstand entspricht der halben Perioden- länge der Zahnstruktur. Die Widerstände sind zu einer Halbbrücke verschaltet. Es können auch in jeder Elementefläche zwei gleiche magnetoresistive Widerstände angeordnet sein, so dass eine Vollbrückenschaltung realisiert werden kann. Die Abtastung der Zahnstruktur mit Hilfe der Halb- oder Vollbrücke ergibt im Wesentlichen eine Sinusfunktion mit der Periodenlänge der Zahnstruktur. Wird in zwei weiteren Elementeflächen, die gegenüber den ersten um ein Viertel der Periodenlänge versetzt angeordnet sind, eine weitere Brücke magnetoresistiver Widerstände untergebracht, kann das zugehörige Kosinussignal erhalten werden. Durch Arcustangensin- terpolation kann aus beiden Signalen die Position der Zahnstruktur innerhalb der Periodenlänge hochaufgelöst angegeben werden. Diese Hochauflösung ist vorteilhafter Weise nicht wie bei bekannten Anordnungen nur an den Ort einer steilen Zahnflanke gebunden.
In einer anderen Ausführung der Anordnung, bei der sich beiderseits des Sensors eine gleiche Polfläche (z. B. Nordpol - Nordpol) von zwei Magneten befindet, ist eine Verdoppelung der Magnetfeldstärke am Sensorort möglich.
Zur Abtastung von zwei parallelen Zahnstrukturen können in einer weiteren Ausführung der Erfindung an beiden Polflächen des Magneten Magnetfeldsensoren angeordnet sein.
Der Magnet einer weiteren Ausführung der Erfindung kann in der dem Magnetfeldsensor zugewandten Polfläche in senkrechter Richtung zur Zahnstrukturoberfläche eine Kerbe enthalten. Diese bewirkt eine Homogenisierung des Magnetfeldes in der Umgebung der Kerbe. Damit wird die Justierung des Magnetfeldsensors gegenüber dem Magneten erheblich vereinfacht, die ohne Kerbe wegen Offsetverschiebungen im Sensor erheblichen Aufwand erfordert. Die Kerbe kann soweit vergrößert sein, dass zwei durch ein nichtmagnetisches Material getrennte Magnete mit in einer Ebene liegenden Polflächen vorhanden sind.
Im Folgenden wird die Erfindung an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den dazu gehörigen Figuren ist Folgendes dargestellt: Fig. 1 : Anordnung entsprechend der Erfindung, Fig. 2: Anordnung entsprechend dem Stand der Technik, Fig. 3: Magnet mit maximaler Senkrechtfeld-Komponente, Fig. 4: Verteilung von Elementeflächen des Magnetfeldsensors, Fig. 5: Kennlinie eines Vielschicht-GMR-Widerstandes, Fig. 6: Anordnung mit zwei Magneten,
Fig. 7: Anordnung mit zwei Magnetfeldsensoren für zwei parallele Zahnstrukturen, Fig. 8: Anordnung mit gekerbtem Magneten, Fig. 9: Anordnung mit geteiltem Magneten.
Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabes 3 aus ferromagnetischem Material mit zahnförmig strukturierter Oberfläche. Über dem Maßstab mit Zahnstruktur befindet sich ein quaderförmiger Magnet 4, dessen links und rechts befindliche Polflächen (S, N) die senkrecht dazu stehende magnetische Achse 5 festlegen. Die Achse 5 ist parallel zu den Kanten der Zahnstruktur gerichtet. Die untere Kante des Magneten 4 ist durch einen Spalt von der Oberfläche eines Zahnes getrennt. In unmittelbarer Nähe der Südpolfläche befindet sich ein Magnetfeldsensor 1 , befestigt auf einem Träger 3, dicht über der Zahnstruktur. Der Abstand zwischen der Unterkante des Sensors 1 von der Zahnoberfläche ist in realen Anordnungen geringer als der Spalt zwischen Magnet 4 und Zahnoberfläche. Die aus dem Nordpol N austretenden Feldlinien treten wegen der geringen Breite des Spaltes sofort in das weichmagnetische Material des Maßstabs 3 ein. Der Magnetfeldsensor 1 ist ein magnetoresistiver Sensor. Seine Sensorfläche liegt parallel zur Polfläche S. Gemessen wird durch ihn die senkrechte Feldkomponente. Die in Fig. 1 gezeigte rechteckige Zahnstruktur schließt nicht aus, dass die Anordnung nicht auch für anders geformte Zähne und Zahnlücken geeignet ist. Die gesamte Zeichnung ist nicht maßstäblich und zeigt nur das Prinzip der Anordnung der einzelnen Teile gegeneinander.
Fig. 2 zeigt im Vergleich zu Fig.1 die typische Anordnung von Magnet 4 mit magnetischer Achse 5 und Magnetfeldsensor 1 auf einem Träger 3, entsprechend dem Stand der Technik. Hier werden hohe Feldstärken dadurch nicht erreicht, dass sich der Sensor 1 mit Träger 3 zwischen Magnet und Zahnoberfläche befindet und so einen großen Abstand zwischen beiden bedingt, und dass der Sensor 1 nicht nahe an der Magnetkante positioniert ist, an der die Magnetfeldstärke maximal ist. In Fig. 3 wird demonstriert, an welcher Stelle des Magneten 4 die größte Stärke des senkrechten Feldes auftritt. Dazu wird ein Schnitt durch den Magneten gezeigt, dessen Polflächen S bzw. N sich links bzw. rechts in der Zeichnung befinden. Einge- zeichnet sind die Oberflächenströme 8 des Magneten, die im Modell als Ursache für das Feld betrachtet werden können. Gezeigt werden weiterhin die Feldlinien 9 dieser Oberflächenströme 8 in der Schnittebene. Vor der unteren Kante der Polfläche N überlagern sich alle Feldlinien 9 und bilden durch Addition die durch den eingezeichneten Pfeil dargestellte große Magnetfeldstärke. Als Ergebnis dieser Betrachtung kann festgestellt werden, dass maximale Feldstärken senkrechter Feldkomponenten nahe der unteren und oberen Kante der Polflächen auftreten müssen. Befindet sich die untere Kante wie in Fig. 1 dicht über dem weichmagnetischen Maßstab, ist mit weiterer Erhöhung der Stärke dieser Feldkomponente zu rechnen. Die Anordnung der bevorzugt zu benutzenden magnetoresistiven Sensoren ist in Fig. 4 dargestellt. Zu erkennen ist unten die Seitenansicht der Zahnstruktur des Maßstabs 3. Darüber befindet sich die Polfläche N des Magneten 4. Davor befindet sich der Magnetfeldsensor 1 mit vier Elementeflächen 7, die jeweils Sensorelemente enthalten. Die Sensorelemente sind magnetoresistive Dünnschichtstreifen, die beispielsweise in Mäanderform in den Elementeflächen 7 angeordnet sind. Bevorzugt befinden sich auf jeder Elementefläche 7 zwei mäanderförmige Widerstände. Die Elementeflächen 7 sind jeweils um ein Viertel der Periodenlänge der Zahnstruktur des Maßstabs 4 gegeneinander versetzt. Die Widerstände der ersten und der dritten Elementefläche 7 sind zu einer Brücke verschaltet, ebenso die der zweiten und vierten Elementefläche 7. Bei Bewegung des Maßstabs 3 gegenüber dem Magnetfeldsensor 1 gibt die erste Brücke ein sinusförmiges Signal mit der Periodenlänge der Zahnstruktur ab, die zweite Brücke das um 90° Phasen verschobene Kosinussignal. Eine Arcustangensinterpolation dieser Signale liefert die hochaufgelöste Position des Maßstabs.
Mit der erfindungsgemäßen Anordnung werden so hohe Feldstärken am Sensorort erreicht, dass Vielschicht-GMR-Sensoren eingesetzt werden können. Fig. 5 zeigt die Abhängigkeit des Widerstandes R eines solchen Sensors relativ zu seinem Wert bei sehr hohen Feldstärken Ro von der Feldstärke H. Es wird eine Änderungsamplitude von 45% erreicht. Es sind Felder von einigen hundert Millitesla aufzubringen. Vorteilhaft ist hier das gegenüber AMR-Sensoren deutlich erhöhte Signal, was zur weiteren Verbesserung der Messauflösung beiträgt. Fig. 6 zeigt eine weitere Möglichkeit der Erhöhung der Feldstärke in erfindungsgemäßen Anordnungen. Auf dem Maßstab 4 befindet sich der Magnetfeldsensor 1 auf seinem Träger 2 zwischen den gleichen Polflächen N eines ersten Magneten 4.1 und eines zweiten Magneten 4.2. Bei geringer Dicke des Trägers 2 kann hier maximal eine Verdopplung der Feldstärke erreicht werden.
In Fig. 7 ist eine Anordnung dargestellt, bei der mit einem Magneten 4 die nötigen Felder für einen ersten Sensor 1.1 und einen zweiten Sensor 1.2 bereitgestellt werden. Die beiden Magnetfeldsensoren 1.1 und 1.2 können zur Abtastung unterschiedlicher Zahnstrukturen des Maßstabs 4 benutzt werden.
In der Fig. 8 wird gezeigt, wie ein Magnet 10 mit einer eingekerbten Polfläche N bezüglich der Lage der Elementeflächen 7 eines Magnetfeldsensors 1 zu justieren ist, damit ein durch konvergenten Feldaustritt aus einem Magneten 4 bedingter Offsetwert im Ausgangsignal der Sensorbrücken vermieden wird.
Derselbe günstige Einfluss ist durch die in Fig. 9 gezeigte Anordnung mit zwei durch eine nichtmagnetische Zwischenschicht 12 getrennten Teilmagneten 11 mit nebeneinander liegender Polfläche N möglich.
Liste der Bezugszeichen
1 Magnetfeldsensor
1.1 erster Magnetfeldsensor
1.2 zweiter Magnetfeldsensor
2 Träger
2.1 erster Träger
2.2 zweiter träger
3 Maßstab (mit zahnförmig strukturierter Oberfläche)
4 Dauermagnet
4.1 erster Magnet
4.2 zweiter Magnet
5 magnetische Achse
6 Maßstab mit zwei Zahnstrukturen
7 Elementeflächen
8 Oberflächenströme
9 Magnetfeldlinien
10 Magnet mit Kerbe
11 Teilmagnet
12 nichtmagnetisches Material
N Nordpol
S Südpol
H Feld
R/Ro relativer Widerstandswert

Claims

Ansprüche
1. Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabs (3) aus ferromagnetischem Material mit zahnförmig strukturierter Oberfläche, bestehend aus mindestens einem auf einem Träger (2) befindlichen Magnetfeldsensor (1) und mindestens einem Dauermagneten (4), dadurch gekennzeichnet, dass der Maßstab (3) eine oder mehrere parallele in Bewegungsrichtung periodische Zahnstrukturen aufweist, der Magnetfeldsensor (1) aus Sensorelementen auf Elementeflächen (7) besteht, die auf einer Sensorfläche des Trägers (2) in Bewegungsrichtung beabstandet sind, wobei die Abstände der Mittellinien der Elementeflächen (7) voneinander durch Viertel der Periodenlänge der abzutastenden Zahnstruktur oder Vielfache davon darstellbar sind, die Dauermagnete (4) mit ihrer senkrecht auf den Polflächen (N; S) stehenden magnetischen Achse (5) parallel zu Kanten der Zahnstruktur und im Abstand eines Luftspaltes zur Oberfläche der Zähne angeordnet sind und die Sensorfläche des Trägers (2) über der Zahnstruktur und vor mindestens einer Polfläche (N; S) angeordnet ist, wobei der Abstand einer oberflächennahen Kante der Sensorfläche zur Oberfläche der Zahnstruktur höchstens der Abmessung des Luftspaltes entspricht.
2. Anordnung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass sich die Sensorfläche parallel zu den senkrecht zur magnetischen Achse (5) ausgedehnten Polflächen (N; S) erstreckt.
3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass in den Elementeflächen (7) magnetoresistive Schichtstreifenwiderstände angeordnet sind.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass vier Schichtstreifenwiderstände zu mindestens einer Wheatstone-Brücke verschaltet sind.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass je vier Schichtstreifenwiderstände zu zwei Wheatstone-Brücken verschaltet sind, und die Schichtstreifenwiderstände der beiden Brücken in Bewegungsrichtung so gegeneinander versetzt sind, dass die Ausgangssignale der Brücken um ein Viertel der Zahnperiodenlänge gegeneinander phasenversetzt sind.
6. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtstreifenwiderstände den AMR-Effekt zeigen.
7. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtstreifenwiderstände den GMR-Effekt zeigen.
8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtstreifenwiderstände durch Vielschicht-GMR-Systeme gebildet sind.
9. Anordnung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Magnetfeldsensor (1) zwischen zwei sich mit gleicher Polfläche (N; S) gegenüberstehenden Magneten (4) angeordnet ist.
10.Anordnung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass je ein Magnetfeldsensor (1) vor beiden Polflächen (N, S) eines Magneten angeordnet ist und jeder Sensor (1) eine der parallelen periodischen Zahnstrukturen abtastet.
11.Anordnung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessung des Magneten (4) in Bewegungsrichtung größer als die Periodenlänge der Zahnstruktur ist und die Elementeflächen (7) um die Mittellinie des Magneten in Bewegungsrichtung symmetrisch verteilt sind.
12. Anordnung nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass der Magnet (4) in der der Zahnoberfläche zugewandten Fläche an der Mittellinie in Bewegungsrichtung eingekerbt ist.
13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kerbtiefe mit der Abmessung des Magneten (4) vergleichbar ist.
14. Anordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Kerbe mit nichtmagnetischem Material (12) gefüllt ist.
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