WO2009020073A1 - 薄膜光電変換モジュールの製造方法および製造装置 - Google Patents

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Abstract

　絶縁基板の表面上に第１電極層、光電変換層および第２電極層が順次積層されてなる薄膜光電変換素子が互いに電気的に直列接続されたストリングを、前記第１電極層と前記第２電極層を電気的に絶縁分離する直列接続方向に延びる分割溝によって複数に分割して、複数の分割ストリングを形成する工程（Ａ）と、前記分割ストリングにおける各薄膜光電変換素子に逆バイアス電圧を印加して逆バイアス処理する工程（Ｂ）とを備えたことを特徴とする薄膜光電変換モジュールの製造方法。
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