WO2009035072A1 - 液浸系顕微鏡対物レンズ - Google Patents

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Abstract

液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分と、正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第３レンズ成分とで構成され、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ、前記第１レンズ成分の像側に凸面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をそれぞれ、ｎ１１、ｎ１２とし、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの浸液に接するレンズ面の曲率半径をｒ１とし、前記第１レンズ成分の接合面の曲率半径をｒ２とし、レンズ全系の焦点距離をＦとし、前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのｄ線の屈折率をｎ３Ｇｐとしたとき、次式、１＜｜ｒ１／Ｆ｜＜５０、０．１＜｜ｒ２／Ｆ｜＜１．５、ｎ１２－ｎ１１＞０．３及びｎ３Ｇｐ＞１．７の条件を満足する。
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