WO2009089951A3 - Anlage und verfahren zur verminderung des gehaltes von elementen, wie bor, in halogensilanen - Google Patents

Anlage und verfahren zur verminderung des gehaltes von elementen, wie bor, in halogensilanen Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verminderung des Gehaltes von Elementen der dritten Hauptgruppe des Periodensystems, insbesondere von Bor und Aluminium enthaltenden Verbindungen in Halogensilanen technischer Reinheit zur Herstellung von höchstreinen Halogensilanen, insbesondere von höchstreinen Chlorsilanen. Ferner betrifft die Erfindung eine Anlage zur Durchführung dieses Verfahrens.
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