WO2009128458A1 - 永久磁石及び永久磁石の製造方法 - Google Patents

永久磁石及び永久磁石の製造方法 Download PDF

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Definitions

  • the present invention relates to a permanent magnet and a method for manufacturing the permanent magnet.
  • VCM voice coil motor
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2006-286819
  • the permanent magnet embedded in the VCM is required to be thin and further improve the magnetic characteristics.
  • Permanent magnets include ferrite magnets, Sm—Co based magnets, Nd—Fe—B based magnets, Sm 2 Fe 17 N x based magnets, etc., but Nd—Fe—B based magnets with particularly high coercive force are permanent. Used as a permanent magnet for a magnet motor.
  • a powder sintering method is generally used as a manufacturing method of the permanent magnet used for the permanent magnet motor.
  • a powder sintering method as shown in FIG. 5, first, a magnetic powder obtained by pulverizing raw materials by a jet mill (dry pulverization) is manufactured. Thereafter, the magnet powder is put into a mold and pressed into a desired shape while applying a magnetic field from the outside. Then, the solid magnet powder molded into a desired shape is manufactured by sintering at a predetermined temperature (for example, 1100 ° C. for Nd—Fe—B magnets).
  • a predetermined temperature for example, 1100 ° C. for Nd—Fe—B magnets.
  • JP 2006-286819 A (2nd page, 3rd page, FIG. 4) Japanese Patent Laid-Open No. 2004-250781 (pages 10 to 12, FIG. 2)
  • the permanent magnet is manufactured by the above-described powder sintering method
  • the powder sintering method it is necessary to ensure a certain porosity in the press-molded magnet powder for magnetic field orientation.
  • magnet powder having a certain porosity is sintered, it is difficult to uniformly contract during the sintering, and deformation such as warpage and dent occurs after sintering.
  • the sintered magnet can be dense and dense, and the magnet surface is distorted. Therefore, conventionally, it was necessary to compress the magnet powder in a size larger than the desired shape, assuming that the magnet surface can be distorted in advance. Then, after sintering, a diamond cutting and polishing operation is performed to correct the shape into a desired shape. As a result, the number of manufacturing steps increases, and the quality of the manufactured permanent magnet may decrease.
  • permanent magnets used in VCM are required to be thin (for example, 1 mm or less in thickness). And the magnet made into a thin film has a large ratio of the surface degradation layer produced when the surface is processed compared with the magnet with thickness. Therefore, if a thin film-like permanent magnet is manufactured by the above-described powder sintering method, there is a problem that the magnetic properties are further deteriorated.
  • the magnetic performance of the permanent magnet is basically improved if the crystal grain size of the sintered body is made fine because the magnetic property of the magnet is derived by the single domain fine particle theory. . Generally, if the crystal grain size of the sintered body is 3 ⁇ m or less, the magnetic performance can be sufficiently improved.
  • the crystal grain size of the sintered body in order to reduce the crystal grain size of the sintered body, it is necessary to reduce the grain size of the magnet raw material before sintering.
  • the magnet raw material finely pulverized to a particle size of 3 ⁇ m or less is molded and sintered, grain growth of magnet particles occurs during sintering, so the crystal grain size of the sintered body after sintering could not be 3 ⁇ m or less.
  • a method of adding a material that suppresses the grain growth of the magnet particles (hereinafter referred to as a grain growth inhibitor) to the magnet raw material before sintering can be considered.
  • the surface of magnet particles before sintering is coated with a particle growth inhibitor such as a metal compound having a melting point higher than the sintering temperature, thereby suppressing the particle growth of the magnet particles during sintering.
  • a particle growth inhibitor such as a metal compound having a melting point higher than the sintering temperature
  • the grain growth inhibitor is added to the magnet powder in advance by adding the grain growth inhibitor in the magnet raw material ingot as in Patent Document 2, the grain growth inhibitor is positioned on the surface of the magnet particle after sintering. Without diffusion into the magnet particles. As a result, it has been impossible to sufficiently suppress grain growth during sintering, and the residual magnetization of the magnet is reduced.
  • the present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and by making a green sheet, the shrinkage due to sintering becomes uniform, so that deformation such as warping and dent after sintering does not occur, Since there is no pressure unevenness during pressing, there is no need for correction processing after sintering, the manufacturing process can be simplified, and an organic compound or high melting point containing a refractory metal element on the surface of the magnet raw material By covering the ceramic precursor, it is possible to suppress the grain growth of the magnet particles during the sintering, and thus the permanent magnet capable of improving the magnetic performance by setting the crystal grain size of the sintered body to 3 ⁇ m or less, and An object is to provide a method for manufacturing a permanent magnet.
  • the present invention relates to the following (1) to (5).
  • An organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic is wet pulverized in a solvent together with a magnet raw material, the magnet raw material is pulverized into fine particles having a particle size of 3 ⁇ m or less, and the pulverized magnet raw material Coating the surface with an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic; Adding a resin binder to a magnet raw material coated with an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic; Producing a slurry by kneading the magnet raw material and the resin binder; Forming the slurry into a sheet and producing a green sheet; And a step of sintering the green sheet.
  • the “organic compound containing a refractory metal element” means an ionic bond and / or a covalent bond and / or a coordination via an atom of a normal organic compound such as carbon, nitrogen, oxygen, sulfur, and phosphorus.
  • a precursor of an organic compound or high melting point ceramic containing a refractory metal element is wet-mixed in a solvent together with the pulverized magnet raw material, and an organic compound or high melting point containing the refractory metal element on the surface of the pulverized magnet raw material Coating a ceramic precursor; Adding a resin binder to a magnet raw material coated with an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic; Producing a slurry by kneading the magnet raw material and the resin binder; Forming the slurry into a sheet and producing a green sheet; And a step of sintering the green sheet.
  • a precursor of an organic compound or high melting point ceramic containing a refractory metal element is wet-mixed in a solvent together with the pulverized magnet raw material, and an organic compound or high melting point containing the refractory metal element on the surface of the pulverized magnet raw material Coating a ceramic precursor; Adding a resin binder to a magnet raw material coated with an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic; Producing a slurry by kneading the magnet raw material and the resin binder; Forming the slurry into a sheet and producing a green sheet; And a step of sintering the green sheet.
  • the permanent magnet is composed of a magnet obtained by sintering a green sheet obtained by mixing and molding a magnet raw material and a resin binder. Deformation such as warping and dent after sintering does not occur, and pressure unevenness at the time of pressing is eliminated, so there is no need for conventional post-sintering correction processing, and the manufacturing process can be simplified. it can. Thereby, a permanent magnet can be formed with high dimensional accuracy. Further, even when the permanent magnet is thinned, the magnetic properties are not deteriorated by the processing deteriorated layer on the surface.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic coats the surface of the pulverized magnet particles, thereby suppressing the grain growth of the magnet particles during sintering. it can. Accordingly, it is possible to improve the magnetic performance by setting the crystal grain size of the sintered body to 3 ⁇ m or less.
  • the permanent magnet described in (2) since the permanent magnet is composed of a magnet obtained by sintering a green sheet obtained by mixing and molding a magnet raw material and a resin binder, the shrinkage due to sintering becomes uniform. Because there is no deformation such as warping or dent after sintering, and pressure unevenness at the time of pressing is eliminated, there is no need for correction processing after sintering, which has been done conventionally, and the manufacturing process is simplified Can do. Thereby, a permanent magnet can be formed with high dimensional accuracy. Further, even when the permanent magnet is thinned, the magnetic properties are not deteriorated by the processing deteriorated layer on the surface.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic coats the surface of the pulverized magnet particles, thereby suppressing the grain growth of the magnet particles during sintering. it can. Accordingly, it is possible to improve the magnetic performance by setting the crystal grain size of the sintered body to 3 ⁇ m or less.
  • the precursor of the organic compound or refractory ceramic containing the refractory metal element is unevenly distributed at the grain boundary of the magnet raw material after sintering, the residual magnetization of the magnet is reduced. Without making it possible, grain growth of the magnet particles during sintering can be suppressed.
  • a permanent magnet is produced by mixing a green raw material and a resin binder and sintering a molded green sheet.
  • deformation such as warping and dent after sintering does not occur, and pressure unevenness at the time of pressing is eliminated.
  • a permanent magnet can be formed with high dimensional accuracy. Further, even when the permanent magnet is thinned, the magnetic properties are not deteriorated by the processing deteriorated layer on the surface.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic coats the surface of the pulverized magnet particles, thereby suppressing the grain growth of the magnet particles during sintering. it can. Therefore, it becomes possible to manufacture a permanent magnet having a crystal grain size of 3 ⁇ m or less and improved magnetic performance.
  • a permanent magnet is produced by mixing a green raw material and a resin binder and sintering a molded green sheet.
  • deformation such as warping and dent after sintering does not occur, and pressure unevenness at the time of pressing is eliminated.
  • a permanent magnet can be formed with high dimensional accuracy. Further, even when the permanent magnet is thinned, the magnetic properties are not deteriorated by the processing deteriorated layer on the surface.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic coats the surface of the pulverized magnet particles, thereby suppressing the grain growth of the magnet particles during sintering. it can. Therefore, it becomes possible to manufacture a permanent magnet having a crystal grain size of 3 ⁇ m or less and improved magnetic performance.
  • the permanent magnet 1 is an Nd—Fe—B based magnet.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic for suppressing grain growth during sintering of the permanent magnet 1 is added.
  • each component is Nd: 27 to 30 wt%, metal component contained in an organic compound containing a refractory metal element (or ceramic component contained in a precursor of a refractory ceramic): 0.01 to 8 wt%, B : 1 to 2 wt%, Fe (electrolytic iron): 60 to 70 wt%.
  • the permanent magnet 1 is a fan-shaped and thin-film magnet as shown in FIG.
  • FIG. 1 is an overall view showing a permanent magnet 1 according to the present embodiment.
  • the permanent magnet 1 is a thin-film permanent magnet having a thickness of 0.1 mm to 2 mm (2 mm in FIG. 1). And it produces by sintering the green sheet shape
  • the permanent magnet 1 has a precursor layer 36 of an organic compound or refractory ceramic containing a refractory metal element on the surface of Nd magnet particles 35 constituting the permanent magnet 1 ( Hereinafter, the grain growth suppression layer 36) is coded.
  • the particle size of the Nd magnet particles 35 is 3 ⁇ m or less.
  • FIG. 2 is an enlarged view showing Nd magnet particles constituting the permanent magnet 1.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing a magnetic domain structure of a ferromagnetic material.
  • a grain boundary which is a discontinuous boundary surface left between a crystal and another crystal, has excessive energy, grain boundary movement that attempts to reduce energy occurs at a high temperature. Therefore, when the magnet raw material is sintered at a high temperature (for example, 1100 ° C. to 1150 ° C. for Nd—Fe—B magnets), the small magnet particles shrink and disappear, and the average particle size of the remaining magnet particles increases. So-called grain growth occurs.
  • a trace amount for example, the metal or ceramic component contained in the organic compound is 0.01 to 8 wt% with respect to the magnet powder.
  • Amount of an organic compound containing a refractory metal element or a precursor or dispersant of a refractory ceramic. Accordingly, when a magnetic powder containing a high-melting-point metal element or a high-melting-point ceramic precursor is subsequently sintered, the organic compound containing the high-melting-point metal element on the surface of the Nd magnet particles 35 by wet dispersion.
  • a precursor of a high melting point ceramic is uniformly attached to form the grain growth suppression layer 36 shown in FIG.
  • the melting point of the precursor of the organic compound containing the high melting point metal element or the high melting point ceramic is much higher than the sintering temperature of the magnet raw material (for example, 1100 ° C. to 1150 ° C. for Nd—Fe—B magnets), It is possible to prevent the organic compound containing the high melting point metal element or the precursor of the high melting point ceramic from diffusing and penetrating (solid solution) into the Nd magnet particle 35 during sintering. As a result, as shown in FIG.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic is unevenly distributed at the interface of the magnet particles. And the movement of the grain boundary which generate
  • the magnetic performance of the permanent magnet is basically improved if the crystal grain size of the sintered body is made fine because the magnetic property of the magnet is derived by the single domain fine particle theory. .
  • the crystal grain size of the sintered body is 3 ⁇ m or less, the magnetic performance can be sufficiently improved.
  • the grain growth suppressing layer 36 can suppress the grain growth of the Nd magnet particles 35 during sintering, so that the grain size of the magnet raw material before sintering should be 3 ⁇ m or less.
  • the particle diameter of the Nd magnet particles 35 of the permanent magnet 1 after sintering can be 3 ⁇ m or less.
  • the precursor of the organic compound containing the high melting point metal element or the high melting point ceramic is diffused into the magnet particles 35 as described above. Infiltration (solid solution) can be prevented.
  • a precursor of an organic compound containing a refractory metal element or a refractory ceramic diffuses and penetrates into the magnet particle 35, the remanent magnetization (magnetization when the magnetic field strength is reduced to 0) decreases. It has been known. Therefore, in this embodiment, it can prevent that the residual magnetization of the permanent magnet 1 falls.
  • the grain growth suppression layer 36 does not have to be a layer composed only of an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic, but an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic and Nd. It may be a layer made of a mixture of In that case, a layer made of a mixture of an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic and an Nd compound is formed by adding the Nd compound. As a result, liquid phase sintering during the sintering of the Nd magnet powder can be promoted.
  • the Nd compound to be added includes neodymium acetate hydrate, neodymium (III) acetylacetonate trihydrate, neodymium (III) 2-ethylhexanoate, neodymium (III) hexafluoroacetylacetonate dihydrate.
  • Neodymium isopropoxide, neodynium (III) phosphate n hydrate, neodymium trifluoroacetylacetonate, neodymium trifluoromethanesulfonate, and the like are desirable.
  • FIG. 4 is an explanatory view showing a manufacturing process of the permanent magnet 1 according to the present embodiment.
  • an ingot made of Nd 27-30% -Fe 60-70% -B1-2% in wt% is manufactured. Thereafter, the ingot is roughly pulverized to a size of about 200 ⁇ m by a stamp mill or a crusher.
  • the coarsely pulverized magnet powder is finely pulverized to an average particle size of 3 ⁇ m or less by a wet method using a bead mill, and the magnet powder is dispersed in the solution to produce a slip.
  • the wet pulverization 4 kg of toluene is used as a solvent with respect to 5 kg of the magnet powder, and 0.05 kg of a phosphate ester dispersant is added as a dispersant.
  • an organic compound containing a refractory metal element in which the metal component contained is 0.01 to 8 wt% with respect to the magnet powder during the wet pulverization, or the ceramic component contained is 0.01 to Add a high melting point ceramic precursor to 8 wt%.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic is dispersed in a solvent together with the magnet powder.
  • Detailed dispersion conditions are as follows. ⁇ Dispersion equipment: Bead mill ⁇ Dispersion media: Zirconia beads
  • an organic compound of Ta, Mo, W, or Nb or a precursor of BN or AlN is used, and more specifically, tantalum.
  • V Ethoxide, Tantalum (V) Methoxide, Tantalum (V) Tetraethoxyacetylacetonate, Tantalum (V) (Tetraethoxy) [BREW], Tantalum (V) Trifluoroethoxide, Tantalum (V) 2, 2, 2-trifluoroethoxide, tantalum tris (diethylamide) -t-butylimide, tungsten (VI) ethoxide, hexacarbonyltungsten, 12 tungsto (VI) phosphoric acid n hydrate, tungsto silicic acid n hydrate, 12 tungsto ( VI) Silicic acid 26 water, niobium n-butoxide, niobium chloride
  • an organic compound containing a refractory metal element pulverized into fine particles or a precursor of a refractory ceramic can be added during wet dispersion and uniformly dispersed on the surface of Nd magnet particles by uniform dispersion. It becomes.
  • the solvent used for pulverization is not particularly limited, and alcohols such as isopropyl alcohol, ethanol and methanol, lower hydrocarbons such as pentane and hexane, aromatics such as benzene, toluene and xylene, ketones, and the like. Although a mixture etc. can be used, isopropyl alcohol etc. are especially preferable.
  • the material used as the resin binder is not particularly limited, and may be various thermoplastic resins alone or a mixture, or various thermosetting resins alone or a mixture, and desired physical properties and properties can be obtained. Anything within the range is acceptable. For example, there is a methacrylic resin.
  • a green sheet 42 is formed from the generated slurry 41.
  • the produced slurry 41 can be applied by an appropriate method on a support substrate such as a separator and dried as necessary.
  • the coating method is preferably a method excellent in layer thickness controllability such as a doctor blade method. Further, it is preferable to sufficiently defoam the mixture so that bubbles do not remain in the spreading layer by using an antifoaming agent in combination.
  • Detailed coating conditions are as follows. ⁇ Coating method: Doctor blade ⁇ Gap: 1mm Support substrate: Silicone-treated polyester film Drying conditions: 90 ° C x 10 minutes, then 130 ° C x 30 minutes
  • a pulsed magnetic field is applied to the green sheet 42 coated on the support base in a direction that intersects the transport direction. Thereby orienting the magnetic field in the desired direction. Note that the direction in which the magnetic field is oriented needs to be determined in consideration of the magnetic field direction required for the permanent magnet 1 formed from the green sheet 42.
  • the green sheet 42 formed from the slurry 41 is divided into a desired product shape (for example, a fan shape shown in FIG. 1 in this embodiment). Thereafter, sintering is performed at 1100 to 1150 ° C. for about 1 hour. In addition, sintering is performed in Ar or a vacuum atmosphere. And the permanent magnet 1 which consists of a sheet-like magnet is manufactured as a result of sintering.
  • the magnet raw material composed of Nd 27-30% -Fe 60-70% -B 1-2% in wt% is 3 ⁇ m or less in particle size.
  • An organic compound containing a refractory metal element in which the metal component contained in the magnet powder is 0.01 to 8 wt% during the wet pulverization, or a ceramic component contained in the magnet powder By adding a precursor of high melting point ceramic and a dispersing agent having a content of 0.01 to 8 wt%, an organic compound containing a high melting point metal element or a precursor of high melting point ceramic is dispersed in a solvent together with the magnet raw material.
  • the permanent magnet 1 is manufactured by sintering the green sheet 42 which shape
  • pressure unevenness during pressing is eliminated, there is no need to perform post-sintering correction processing, which has been conventionally performed, and the manufacturing process can be simplified. Thereby, the permanent magnet 1 can be molded with high dimensional accuracy.
  • the magnetic properties of the permanent magnet 1 are not deteriorated due to the processing deteriorated layer on the surface.
  • organic particles containing a refractory metal element mixed with magnet powder in a solvent or a precursor of a refractory ceramic is coated on the surface of the pulverized magnet particles, so that the particle growth of the magnet particles during sintering is achieved. Can be suppressed. Therefore, the crystal grain size of the sintered body can be 3 ⁇ m or less, and the magnetic performance of the permanent magnet can be improved.
  • the precursor of the organic compound or refractory ceramic containing the refractory metal element is unevenly distributed at the grain boundary of the magnet raw material after sintering, the grain growth of the magnet particles during the sintering can be achieved without reducing the residual magnetization of the magnet. Can be suppressed.
  • this invention is not limited to the said Example, Of course, various improvement and deformation
  • a method of dispersing a magnet powder, an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic in a solvent the magnet powder coarsely pulverized as shown in FIG.
  • it is dispersed in a solvent by wet pulverization in a solvent together with an organic compound or a high melting point ceramic precursor, it can also be carried out by the following method.
  • the coarsely pulverized magnet powder is finely pulverized into a magnet powder having an average particle size of 3 ⁇ m or less by dry pulverization using a ball mill, a jet mill or the like.
  • the finely pulverized magnet powder is added to a solvent and uniformly dispersed in the solvent.
  • a dispersant, an organic compound containing a refractory metal element, or a precursor of a refractory ceramic is also added to the solvent.
  • the magnetic powder dispersed in the solvent and the resin binder are kneaded to generate the slurry 41. Thereafter, by performing the same processing as in the present embodiment, it becomes possible to manufacture a permanent magnet having the same configuration as in the present embodiment.
  • the permanent magnet embedded in the VCM is described as an example.
  • the vibration motor mounted on the mobile phone the drive motor mounted on the hybrid car, and the spindle that rotates the disk of the hard disk drive.
  • the present invention can be applied to a permanent magnet embedded in a permanent magnet motor such as a motor.
  • the pulverizing conditions, kneading conditions, sintering conditions, etc. of the magnet powder are not limited to the conditions described in the above examples.
  • the permanent magnet of the present invention since it is configured as described above, deformation due to sintering becomes uniform and deformation such as warping and dent after sintering does not occur, and pressure unevenness during pressing is eliminated. There is no need to perform post-sintering correction processing that has been conventionally performed, and the manufacturing process can be simplified. Thereby, a permanent magnet can be formed with high dimensional accuracy. Further, even when the permanent magnet is thinned, the magnetic properties are not deteriorated by the processing deteriorated layer on the surface.
  • an organic compound containing a refractory metal element or a precursor of a refractory ceramic coats the surface of the pulverized magnet particles, thereby suppressing the grain growth of the magnet particles during sintering. it can. Accordingly, it is possible to improve the magnetic performance by setting the crystal grain size of the sintered body to 3 ⁇ m or less.

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Abstract

　本発明は、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを磁石原料と共に溶媒中で湿式粉砕し、前記磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕するとともに前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、前記グリーンシートを焼結する工程と、により製造される永久磁石に関する。

Description

永久磁石及び永久磁石の製造方法
　本発明は、永久磁石及び永久磁石の製造方法に関する。
　近年、ハイブリッドカーやハードディスクドライブ等に使用される永久磁石モータでは、小型軽量化、高出力化、高効率化が要求されている。特に、特許文献１（特開２００６－２８６８１９号公報）に示すようなハードディスクドライブのヘッド駆動に用いられるボイスコイルモータ（以下、ＶＣＭと略す）では、近年のハードディスクドライブの小型化要求に伴って、更なる小型化且つ薄型化が要求されている。
　そして、上記ＶＣＭにおいて小型化、薄型化を実現するに当たって、ＶＣＭに埋設される永久磁石について、薄膜化と更なる磁気特性の向上が求められている。尚、永久磁石としてはフェライト磁石、Ｓｍ－Ｃｏ系磁石、Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石、Ｓｍ２Ｆｅ１７Ｎｘ系磁石等があるが、特に保磁力の高いＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石が永久磁石モータ用の永久磁石として用いられる。
　ここで、永久磁石モータに用いられる永久磁石の製造方法としては、一般的に粉末焼結法が用いられる。ここで、粉末焼結法は、図５に示すように先ず原材料をジェットミル（乾式粉砕）により粉砕した磁石粉末を製造する。その後、その磁石粉末を型に入れて、外部から磁場を印加しながら所望の形状にプレス成形する。そして、所望形状に成形された固形状の磁石粉末を所定温度（例えばＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石では１１００℃）で焼結することにより製造する。
特開２００６－２８６８１９号公報（第２頁、第３頁、図４） 特開２００４－２５０７８１号公報（第１０～１２頁、図２）
　しかしながら、上記した粉末焼結法により永久磁石を製造することとすると、以下の問題点があった。即ち、粉末焼結法では磁場配向させる為にプレス成形した磁石粉末に一定の空隙率を確保する必要がある。そして、一定の空隙率を有する磁石粉末を焼結すると、焼結の際に生じる収縮を均一に行わせることが難しく、焼結後に反りや凹みなどの変形が生じる。また、磁石粉末のプレス時に圧力むらが生じることから、焼結後の磁石の疎密ができて磁石表面に歪みが発生する。従って、従来では予め磁石表面に歪みができることを想定し、所望する形状より大きめのサイズで磁石粉末を圧縮成形する必要があった。そして、焼結後にダイヤモンド切削研磨作業を行い、所望の形状へと修正する加工を行っていた。その結果、製造工程が増加するとともに、製造される永久磁石の品質が低下する虞もあった。
　また、上記したように特にＶＣＭで用いられる永久磁石では、薄膜化（例えば厚さ１ｍｍ以下）が要求されている。そして、薄膜化された磁石は、厚みのある磁石と比較して、表面を加工した場合に生じる表面の加工劣化層の比率が大きい。従って、上記した粉末焼結法により薄膜状の永久磁石を製造することとすると、磁気特性が更に低下する問題も生じていた。
　一方、永久磁石の磁気特性は、磁石の磁気特性が単磁区微粒子理論により導かれるために、焼結体の結晶粒径を微細にすれば磁気性能が基本的に向上することが知られている。一般的には、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とすれば、磁気性能を十分に向上させることが可能となる。
　ここで、焼結体の結晶粒径を微細にするためには、焼結前の磁石原料の粒径も微細にする必要がある。しかし、３μｍ以下の粒径に微粉砕された磁石原料を成形し、焼結したとしても、焼結する際に磁石粒子の粒成長が発生するので、焼結後の焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とすることができなかった。
　そこで、磁石粒子の粒成長を抑える材料（以下、粒成長抑制剤という）を焼結前の磁石原料に添加する方法が考えられる。この方法によれば、焼結前の磁石粒子の表面を、例えば焼結温度より高い融点を備える金属化合物等の粒成長抑制剤で被覆することによって、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑えることが可能となる。例えば、特許文献２では燐（Ｐ）を粒成長抑制剤として磁石粉末に添加している。しかし、前記特許文献２のように予め粒成長抑制剤を予め磁石原料のインゴット内に含有させることによって磁石粉末に添加することとすると、焼結後において粒成長抑制剤は磁石粒子の表面に位置せずに、磁石粒子内に拡散する。その結果、焼結時における粒成長の抑制を十分に図ることができず、また、磁石の残留磁化が低下する原因にもなっていた。
　本発明は前記従来における問題点を解消するためになされたものであり、グリーンシート化することにより焼結による収縮が均一となるので、焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができるとともに、磁石原料の表面に高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆することによって、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができるので、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とし、磁気性能を向上させることが可能な永久磁石及び永久磁石の製造方法を提供することを目的とする。
　すなわち、本発明は、以下の（１）～（５）に関する。
（１）高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを磁石原料と共に溶媒中で湿式粉砕し、前記磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕するとともに前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
　前記グリーンシートを焼結する工程と、により製造される永久磁石。
　尚、「高融点金属元素を含む有機化合物」とは、炭素、窒素、酸素、硫黄、燐など、通常の有機化合物が有する原子を介して、イオン結合、及び又は、共有結合、及び又は、配位結合を形成した高融点金属原子、又は高融点金属イオンを含む化合物をいう。
（２）磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕する工程と、
　高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを前記粉砕された磁石原料と共に溶媒中で湿式混合し、前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
　前記グリーンシートを焼結する工程と、により製造される永久磁石。
（３）前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが、焼結後に前記磁石原料の粒界に偏在している（１）又は（２）に記載の永久磁石。
（４）高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを磁石原料と共に溶媒中で湿式粉砕し、前記磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕するとともに前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
　前記グリーンシートを焼結する工程と、を含む永久磁石の製造方法。
（５）磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕する工程と、
　高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを前記粉砕された磁石原料と共に溶媒中で湿式混合し、前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
　前記グリーンシートを焼結する工程と、を含む永久磁石の製造方法。
　前記（１）の構成を有する永久磁石によれば、磁石原料と樹脂バインダーとを混合、成形したグリーンシートを焼結した磁石により永久磁石を構成するので、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で永久磁石を成形可能となる。また、永久磁石を薄膜化した場合であっても、表面の加工劣化層により磁気特性が低下することがない。
　また、湿式混合を行うことにより、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが粉砕された磁石粒子の表面に被覆するので、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。従って、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とし、磁気性能を向上させることが可能となる。
　また、前記（２）に記載の永久磁石によれば、磁石原料と樹脂バインダーとを混合、成形したグリーンシートを焼結した磁石により永久磁石を構成するので、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で永久磁石を成形可能となる。また、永久磁石を薄膜化した場合であっても、表面の加工劣化層により磁気特性が低下することがない。
　また、湿式混合を行うことにより、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが粉砕された磁石粒子の表面に被覆するので、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。従って、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とし、磁気性能を向上させることが可能となる。
　また、前記（３）に記載の永久磁石によれば、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが、焼結後に磁石原料の粒界に偏在するので、磁石の残留磁化を低下させることなく焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。
　また、前記（４）に記載の永久磁石の製造方法によれば、磁石原料と樹脂バインダーとを混合、成形したグリーンシートを焼結することにより永久磁石を製造するので、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で永久磁石を成形可能となる。また、永久磁石を薄膜化した場合であっても、表面の加工劣化層により磁気特性が低下することがない。
　また、湿式混合を行うことにより、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが粉砕された磁石粒子の表面に被覆するので、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。従って、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とし、磁気性能を向上させた永久磁石を製造することが可能となる。
　また、前記（５）に記載の永久磁石の製造方法によれば、磁石原料と樹脂バインダーとを混合、成形したグリーンシートを焼結することにより永久磁石を製造するので、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で永久磁石を成形可能となる。また、永久磁石を薄膜化した場合であっても、表面の加工劣化層により磁気特性が低下することがない。
　また、湿式混合を行うことにより、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが粉砕された磁石粒子の表面に被覆するので、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。従って、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とし、磁気性能を向上させた永久磁石を製造することが可能となる。
本実施形態に係る永久磁石を示した全体図である。 永久磁石を構成するＮｄ磁石粒子を拡大して示した図である。 強磁性体の磁区構造を示した模式図である。 本実施形態に係る永久磁石の製造工程を示した説明図である。 従来の永久磁石の製造工程を示した説明図である。
　以下、本発明に係る永久磁石及び永久磁石の製造方法について具体化した一実施形態について以下に図面を参照しつつ詳細に説明する。
［永久磁石の構成］
　先ず、図１～図３を用いて永久磁石１の構成について説明する。尚、本実施形態では特にＶＣＭに埋設される永久磁石１を例に挙げて説明する。
　本実施形態に係る永久磁石１はＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石である。また、永久磁石１の焼結時における粒成長を抑制する為の高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが添加されている。尚、各成分の含有量はＮｄ：２７～３０ｗｔ％、高融点金属元素を含む有機化合物に含まれる金属成分（又は高融点セラミックのプリカーサに含まれるセラミック成分）：０．０１～８ｗｔ％、Ｂ：１～２ｗｔ％、Ｆｅ（電解鉄）：６０～７０ｗｔ％とする。また、永久磁石１は、図１に示すように扇形で且つ薄膜状の磁石から構成される。図１は本実施形態に係る永久磁石１を示した全体図である。
　ここで、永久磁石１は０．１ｍｍ～２ｍｍの厚さ（図１では２ｍｍ）を備えた薄膜状の永久磁石である。そして、後述のようにスラリー状態としたＮｄ磁石粉末から成形されたグリーンシートを焼結することによって作製される。
　また、本実施形態に係る永久磁石１は、図２に示すように永久磁石１を構成するＮｄ磁石粒子３５の表面に、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサの層３６（以下、粒成長抑制層３６という）がコーディングされている。また、Ｎｄ磁石粒子３５の粒径は３μｍ以下である。図２は永久磁石１を構成するＮｄ磁石粒子を拡大して示した図である。
　そして、Ｎｄ磁石粒子３５の表面にコーティングされた粒成長抑制層３６は、焼結時におけるＮｄ磁石粒子３５の粒成長を抑制する。以下に、粒成長抑制層３６による永久磁石１の粒成長抑制の機構について図３を用いて説明する。図３は強磁性体の磁区構造を示した模式図である。
　一般的に、結晶と別の結晶との間に残された不連続な境界面である粒界は過剰なエネルギをもつため、高温ではエネルギを低下させようとする粒界移動が起こる。従って、高温（例えばＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石では１１００℃～１１５０℃）で磁石原料の焼結を行うと、小さな磁石粒子は収縮して消失し、残った磁石粒子の平均粒径が増加する所謂粒成長が発生する。
　ここで、本実施形態では後述のように磁石粉末を湿式粉砕により微粉砕する際に、微量（例えば、磁石粉末に対して有機化合物に含まれる金属又はセラミック成分が０．０１～８ｗｔ％となる量）の高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサや分散剤を添加する。それにより、その後において高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを添加した磁石粉末を焼結する際に、湿式分散によりＮｄ磁石粒子３５の粒子表面に高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが均一付着され、図２に示す粒成長抑制層３６を形成する。更に、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサの融点は、磁石原料の焼結温度（例えばＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石では１１００℃～１１５０℃）より遥かに高温である為、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが焼結時においてＮｄ磁石粒子３５内に拡散浸透（固溶化）することを防止できる。
　その結果、図３に示すように磁石粒子の界面に高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが偏在化される。そして、この偏在化された高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサにより、高温時に発生する粒界の移動が妨げられ、粒成長を抑制することができる。
　一方、永久磁石の磁気特性は、磁石の磁気特性が単磁区微粒子理論により導かれるために、焼結体の結晶粒径を微細にすれば磁気性能が基本的に向上することが知られている。一般的には、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とすれば、磁気性能を十分に向上させることが可能となる。ここで、本実施形態では前記したように粒成長抑制層３６により焼結時のＮｄ磁石粒子３５の粒成長を抑制することができるので、焼結前の磁石原料の粒径を３μｍ以下とすれば、焼結後の永久磁石１のＮｄ磁石粒子３５の粒径も３μｍ以下とすることができる。
　また、本実施形態では湿式成形により成形された磁石粉末を適切な焼成条件で焼成すれば、前記したように高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが磁石粒子３５内へと拡散浸透（固溶化）することを防止できる。ここで、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが磁石粒子３５内へと拡散浸透すると、その磁石の残留磁化（磁場の強さを０にしたときの磁化）が低下することが知られている。従って、本実施形態では、永久磁石１の残留磁化が低下することを防止できる。
　尚、粒成長抑制層３６は高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサのみから構成される層である必要はなく、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサとＮｄとの混合体からなる層であっても良い。その場合には、Ｎｄ化合物を添加することによって、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサとＮｄ化合物との混合体からなる層を形成する。その結果、Ｎｄ磁石粉末の焼結時の液相焼結を助長することができる。尚、添加するＮｄ化合物としては、酢酸ネオジム水和物、ネオジム（ＩＩＩ）アセチルアセトナート三水和物、２－エチルヘキサン酸ネオジム（ＩＩＩ）、ネオジム（ＩＩＩ）ヘキサフルオロアセチルアセトナート二水和物、ネオジムイソプロポキシド、リン酸ネオジニウム（ＩＩＩ）ｎ水和物、ネオジムトリフルオロアセチルアセトナート、トリフルオロメタンスルホン酸ネオジム等が望ましい。
［永久磁石の製造方法］
　次に、本実施形態に係る永久磁石１の製造方法について図４を用いて説明する。図４は本実施形態に係る永久磁石１の製造工程を示した説明図である。
　先ず、ｗｔ％でＮｄ２７～３０％－Ｆｅ６０～７０％－Ｂ１～２％からなる、インゴットを製造する。その後、インゴットをスタンプミルやクラッシャー等によって２００μｍ程度の大きさに粗粉砕する。
　次いで、粗粉砕した磁石粉末をビーズミルによる湿式法で３μｍ以下の平均粒径に微粉砕するとともに溶液中に磁石粉末を分散させ、スリップを作製する。尚、湿式粉砕は磁石粉末５ｋｇに対してトルエン４ｋｇを溶媒として用い、更に分散剤としてリン酸エステル系分散剤０．０５ｋｇを添加する。また、湿式粉砕中に磁石粉末に対して、含まれる金属成分が０．０１～８ｗｔ％となる高融点金属元素を含む有機化合物、又は磁石粉末に対して、含まれるセラミック成分が０．０１～８ｗｔ％となる高融点セラミックのプリカーサを添加する。それにより、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを磁石粉末と共に溶媒中で分散させる。尚、詳細な分散条件は以下の通りである。
　　・分散装置：ビーズミル
　　・分散メディア：ジルコニアビーズ
　ここで、添加される高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサとしては、Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ，Ｎｂの有機化合物、ＢＮ，ＡｌＮのプリカーサが用いられ、より具体的には、タンタル（Ｖ）エトキシド、タンタル（Ｖ）メトキシド、タンタル（Ｖ）テトラエトキシアセチルアセトナート、タンタル（Ｖ）（テトラエトキシ）［ＢＲＥＷ］、タンタル（Ｖ）トリフルオロエトキシド、タンタル（Ｖ）２，２，２－トリフルオロエトキシド、タンタルトリス（ジエチルアミド）－ｔ－ブチルイミド、タングステン（ＶＩ）エトキシド、ヘキサカルボニルタングステン、１２タングスト（ＶＩ）りん酸ｎ水和物、タングストけい酸ｎ水和物、１２タングスト（ＶＩ）けい酸２６水、ニオブｎ－ブトキシド、塩化ニオブ（ＩＶ）テトラヒドロフラン錯体、ニオブ（Ｖ）エトキシド、２－エチルヘキサン酸ニオブ（ＩＶ）、ニオブフェノキシド、酢酸モリブデン（ＩＩ）ダイマー、ビス（アセチルアセトナト）モリブデン（ＶＩ）ジオキシド、ビス（２，２，６，６－テトラメチル－３，５ヘプタンジオナト）二酸化モリブデン（ＶＩ）、２－エチルヘキサン酸モリブデン、ヘキサカルボニルモリブデン、１２モリブド（ＶＩ）りん酸ｎ水和物、ビス（アセチルアセトナト）モルブデン（ＶＩ）ジオキサイド、１２モリブドけい酸ｎ水和物等の内、スラリーの溶媒に可溶なものを適宜選択して用いる。
　また、溶媒に非可溶でも、微粒子に粉砕した高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを湿式分散時に添加し、均一分散する事でＮｄ磁石粒子表面に均一付着させることが可能となる。
　また、粉砕に用いる溶媒としては、特に制限はなく、イソプロピルアルコール、エタノール、メタノールなどのアルコール類、ペンタン、ヘキサンなどの低級炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレンなど芳香族類、ケトン類、それらの混合物等が使用できるが、特にイソプロピルアルコール等が好ましい。
　磁石粉末の分散後、樹脂バインダーを作製したスリップ中に添加混合する。続いて、磁石粉末と樹脂バインダーを混練し、スラリー４１を生成する。尚、樹脂バインダーとして用いる材料は、特に限定されることはなく、各種熱可塑性樹脂単体または混合物、あるいは各種熱硬化性樹脂単体あるいは混合物であり、それぞれの物性、性状等も所望の特性が得られる範囲のものであれば良い。例えば、メタクリル樹脂がある。
　続いて、生成したスラリー４１からグリーンシート４２を形成する。グリーンシート４２の形成する方法としては、例えば、生成したスラリー４１を適宜な方式で必要に応じセパレータ等の支持基材上に塗工して乾燥させる方法などにより行うことができる。尚、塗工方式は、ドクターブレード法等の層厚制御性に優れる方式が好ましい。また、消泡剤を併用するなどして展開層中に気泡が残らないよう充分に脱泡処理することが好ましい。尚、詳細な塗工条件は以下の通りである。
　　・塗工方式：ドクターブレード
　　・ギャップ：１ｍｍ
　　・支持基材：シリコーン処理ポリエステルフィルム
　　・乾燥条件：９０℃×１０分の後、１３０℃×３０分
　また、支持基材に塗工したグリーンシート４２には、搬送方向に対して交差する方向にパルス磁場をかける。それによって、所望の方向に磁場を配向させる。尚、磁場を配向させる方向は、グリーンシート４２から成形される永久磁石１に求められる磁場方向を考慮して決定する必要がある。
　次に、スラリー４１から形成したグリーンシート４２を所望の製品形状（例えば、本実施形態では図１に示す扇形形状）に分割する。その後、１１００～１１５０℃で約１時間焼結する。尚、焼結は、Ａｒ又は真空雰囲気下で行われる。そして、焼結の結果、シート状磁石からなる永久磁石１が製造される。
　以上説明したように、本実施形態に係る永久磁石１及び永久磁石１の製造方法では、ｗｔ％でＮｄ２７～３０％－Ｆｅ６０～７０％－Ｂ１～２％からなる磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粉末に湿式粉砕するとともに、湿式粉砕中に磁石粉末に対して含まれる金属成分が０．０１～８ｗｔ％となる高融点金属元素を含む有機化合物、又は磁石粉末に対して含まれるセラミック成分が０．０１～８ｗｔ％となる高融点セラミックのプリカーサや分散剤を添加することにより、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを磁石原料と共に溶媒中で分散させる。その後に溶媒中に樹脂バインダーを添加し、磁石粉末と樹脂バインダーとを混練することによりスラリー４１を生成する。そして、生成したスラリーをシート状に成形したグリーンシート４２を焼結することにより永久磁石１を製造するので、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で永久磁石１を成形可能となる。また、薄膜化した永久磁石１を製造する場合であっても、表面の加工劣化層により永久磁石１の磁気特性が低下することがない。
　また、溶媒中で磁石粉末と共に湿式混合された高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが、粉砕された磁石粒子の表面に被覆することによって、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。従って、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とし、永久磁石の磁気性能を向上させることが可能となる。
　また、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが、焼結後に磁石原料の粒界に偏在するので、磁石の残留磁化を低下させることなく焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。
　尚、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。
　例えば、本実施形態では磁石粉末や高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを溶媒中に分散させる方法として、図４に示すように粗粉砕した磁石粉末を、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサとともに溶媒中で湿式粉砕することにより溶媒中で分散させているが、以下の方法により行うことも可能である。
　（１）先ず、粗粉砕した磁石粉末をボールミルやジェットミル等を用いて乾式粉砕により平均粒径が３μｍ以下の磁石粉末に微粉砕する。
　（２）次に、微粉砕した磁石粉末を溶媒に添加し、溶媒中に均一に分散させる。その際、分散剤や高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサについても溶媒中に添加する。
　（３）溶媒中に分散された磁石粉末と樹脂バインダーを混練し、スラリー４１を生成する。
　以降は、本実施形態と同様の処理を行うことにより、本実施形態と同様の構成を備えた永久磁石を製造することが可能となる。
　また、本実施形態ではＶＣＭに埋設される永久磁石を例に挙げて説明しているが、携帯電話機に搭載される振動モータ、ハイブリッドカーに搭載される駆動モータ、ハードディスクドライブのディスクを回転させるスピンドルモータ等の永久磁石モータに埋設される永久磁石に対して適用することも当然に可能である。
　また、磁石粉末の粉砕条件、混練条件、焼結条件などは上記実施例に記載した条件に限られるものではない。
　本発明を特定の態様を参照して詳細に説明したが、本発明の精神と範囲を離れることなく様々な変更および修正が可能であることは、当業者にとって明らかである。
　なお、本出願は、２００８年４月１５日付けで出願された日本特許出願（特願２００８－１０５７５９）に基づいており、その全体が引用により援用される。
　また、ここに引用されるすべての参照は全体として取り込まれる。
　本発明の永久磁石によれば、前記構成するので、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で永久磁石を成形可能となる。また、永久磁石を薄膜化した場合であっても、表面の加工劣化層により磁気特性が低下することがない。また、湿式混合を行うことにより、高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが粉砕された磁石粒子の表面に被覆するので、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制することができる。従って、焼結体の結晶粒径を３μｍ以下とし、磁気性能を向上させることが可能となる。
　　１　　　　　永久磁石
　　３５　　　　Ｎｄ磁石粒子
　　３６　　　　粒成長抑制層
　　４１　　　　スラリー
　　４２　　　　グリーンシート

Claims (5)

  1. 　高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを磁石原料と共に溶媒中で湿式粉砕し、前記磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕するとともに前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
    　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
    　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
    　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
    　前記グリーンシートを焼結する工程と、により製造される永久磁石。
  2. 　磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕する工程と、
    　高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを前記粉砕された磁石原料と共に溶媒中で湿式混合し、前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
    　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
    　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
    　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
    　前記グリーンシートを焼結する工程と、により製造される永久磁石。
  3. 　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが、焼結後に前記磁石原料の粒界に偏在している請求項１又は請求項２に記載の永久磁石。
  4. 　高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを磁石原料と共に溶媒中で湿式粉砕し、前記磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕するとともに前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
    　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
    　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
    　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
    　前記グリーンシートを焼結する工程と、を含む永久磁石の製造方法。
  5. 　磁石原料を粒径が３μｍ以下の微粒子に粉砕する工程と、
    　高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを前記粉砕された磁石原料と共に溶媒中で湿式混合し、前記粉砕された磁石原料の表面に前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサを被覆する工程と、
    　前記高融点金属元素を含む有機化合物又は高融点セラミックのプリカーサが被覆された磁石原料に樹脂バインダーを添加する工程と、
    　前記磁石原料と前記樹脂バインダーとを混練することによりスラリーを生成する工程と、
    　前記スラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する工程と、
    　前記グリーンシートを焼結する工程と、を含む永久磁石の製造方法。
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