WO2010098031A1 - ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 - Google Patents

ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 Download PDF

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    • H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers

Definitions

  • the present invention relates to a gas laser oscillation device and a gas laser processing machine.
  • FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a conventional axial flow type gas laser oscillation apparatus.
  • a conventional axial gas laser oscillation apparatus will be described with reference to FIG.
  • the discharge tube 901 is made of a dielectric material such as glass.
  • the electrodes 902 and 903 are provided around the discharge tube 901.
  • a power source 904 is connected to the electrodes 902 and 903.
  • the discharge space 905 is a space in the discharge tube 901 sandwiched between the electrodes 902 and 903.
  • the total reflection mirror 906 and the partial reflection mirror 907 are fixedly disposed at both ends of the discharge space 905 to form an optical resonator.
  • the laser beam 908 is output from the partial reflection mirror 907.
  • a laser gas flow path 910 indicates a flow path of the laser gas flow 909.
  • the laser gas flow 909 circulates in the axial flow type gas laser oscillation device.
  • the heat exchangers 911 and 912 lower the temperature of the laser gas whose temperature has increased due to the discharge in the discharge space 905 and the operation of the blower.
  • the blower 913 can obtain a gas flow of about 100 m / second in the discharge space 905 by the blower 913 that circulates the laser gas.
  • the laser gas flow path 910 and the discharge tube 901 are connected at a laser gas introduction part 914.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a conventional sheet metal cutting laser processing machine.
  • a conventional sheet metal cutting laser processing machine will be described with reference to FIG.
  • the laser beam 908 is reflected by the reflecting mirror 915 and guided to the vicinity of the work 916.
  • the laser beam 908 is condensed into a high-density energy beam by a condensing lens 918 provided inside the torch 917, irradiated onto the workpiece 916, and cutting processing is performed.
  • the workpiece 916 is fixed on the machining table 919, and the torch 917 is moved relative to the workpiece 916 by the X-axis motor 920 or the Y-axis motor 921, whereby machining of a predetermined shape is performed.
  • the laser gas sent out from the blower 913 passes through the laser gas flow path 910 and is introduced into the discharge tube 901 from the laser gas introduction unit 914.
  • the laser gas generates discharge in the discharge space 905 from the electrodes 902 and 903 connected to the power source 904.
  • the laser gas in the discharge space 905 is excited by obtaining this discharge energy.
  • the excited laser gas enters a resonance state in the optical resonator formed by the total reflection mirror 906 and the partial reflection mirror 907, and a laser beam 908 is output from the partial reflection mirror 907.
  • the laser beam 908 is used for applications such as laser processing.
  • FIG. 5 is a configuration diagram of a blower of a conventional gas laser oscillation device.
  • the motor rotor 922 is coupled to the rotation shaft 923, and an impeller 924 is provided at the tip of the rotation shaft 923.
  • a motor stator 926 is disposed coaxially with the motor rotor 922, and the motor stator 926 is fixed to the casing 925.
  • AC power is supplied from the outside to the motor stator 926
  • the motor rotor 922 is rotated by the generated rotating magnetic field, and the impeller 924 is rotated via the rotating shaft 923.
  • a scroll 927 is disposed around the impeller 924, and a laser gas flow 909 is generated by the rotation of the impeller 924.
  • Rotating shaft 923 is supported in a rotatable state by bearings 928 arranged at two locations above and below.
  • the bearing 928 is coupled to the rotating shaft 923.
  • the structure of the air blowing means 913 is divided into a rotating portion and a non-rotating portion, and the rotating portion includes a motor rotor 922, a rotating shaft 923, an impeller 924, and a bearing 928.
  • Such a conventional gas laser oscillation device has the following problems.
  • the air blowing means 913 is one of the regular replacement parts at the user's site.
  • the gas laser oscillation device is used for 50,000 hours or more in operation time.
  • the air blowing means 913 is replaced with a new one in about 16,000 hours.
  • the bearing 928 is the part that is most quickly consumed, and it is necessary to replace the blower 913 when the bearing 928 reaches the end of its life.
  • the air blowing means 913 recovers its function. However, in order to remove the bearing 928, it is necessary to disassemble the entire blower 913 and adjust the balance of the rotating part, which requires specialized equipment and an adjustment period of about one week. In a job shop or the like, which is the main user of the gas laser oscillation device, the time allowed for the regular inspection work is about half a day. In reality, the entire air blowing means 913 is replaced at the user's site. Therefore, it is necessary for the user to bear the replacement cost of the entire air blowing means 913, resulting in an increase in the cost of periodic inspection costs. That is, the reduction of the periodic inspection cost related to the replacement of the air blowing means 913 has been a big problem.
  • the present invention is a gas laser oscillating device comprising a discharge part for exciting laser gas, a blower part for blowing laser gas, and a laser gas flow path forming a laser gas circulation path between the discharge part and the blower part
  • the blower unit includes a rotating unit that is rotated by a shaft driving unit and a non-rotating unit that does not rotate.
  • the rotating unit includes a rotating shaft provided with an impeller at the tip, and an axis driving unit that rotates the rotating shaft. And an upper bearing and a lower bearing coupled to the rotating shaft, and the rotating part is detachable from the non-rotating part.
  • the gas laser oscillating apparatus having such a configuration does not need to replace the entire air blowing unit at the time of periodic inspection, and can restore the function as the air blowing unit by replacing the minimum necessary parts at the user site.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an axial flow gas laser oscillation apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the air blowing unit according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a conventional axial gas laser oscillator.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a conventional sheet metal cutting gas laser processing machine.
  • FIG. 5 is a configuration diagram of a blower of a conventional gas laser oscillation device.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an axial flow gas laser oscillation apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the axial flow type gas laser oscillation apparatus 100 includes a discharge tube 101, electrodes 102 and 103, a power source 104, a total reflection mirror 106, a partial reflection mirror 107, a laser gas flow path 110, heat exchangers 111 and 112, a blower 113, and a laser gas introduction. Part 114 is provided.
  • the discharge tube 101 which is a discharge part is formed of a dielectric material such as glass.
  • the electrodes 102 and 103 are provided around the discharge tube 101, and a power source 104 is connected to the electrodes 102 and 103.
  • a discharge space 105 is formed in the discharge tube 101 sandwiched between the electrode 102 and the electrode 103.
  • the total reflection mirror 106 and the partial reflection mirror 107 are fixedly disposed at both ends of the discharge space 105 to form an optical resonator.
  • the laser beam 108 is output from the partial reflection mirror 107.
  • the laser gas flow 109 indicates the circulation of the laser gas flow path 110 in the axial flow gas laser oscillation device 100.
  • the heat exchanger 111 and the heat exchanger 112 lower the temperature of the laser gas whose temperature has risen due to the discharge in the discharge space 105 and the operation of the blower.
  • the blower 113 circulates the laser gas.
  • the laser gas flow path 110 forms a laser gas circulation path between the discharge tube 101 and the blower 113.
  • a gas flow of about 100 m / sec is obtained in the discharge space 105 by the blower 113.
  • the laser gas flow path 110 and the discharge tube 101 are connected at a laser gas introduction part 114.
  • the laser gas sent out from the blower 113 passes through the laser gas flow path 110 and is introduced into the discharge tube 101 from the laser gas introduction part 114.
  • the laser gas generates a discharge in the discharge space 105 from the electrodes 102 and 103 connected to the power source 104.
  • the laser gas that is the laser medium in the discharge space 105 is excited by obtaining this discharge energy.
  • the excited laser gas enters a resonance state in the optical resonator formed by the total reflection mirror 106 and the partial reflection mirror 107, and a laser beam 108 is output from the partial reflection mirror 107.
  • the laser beam 108 is used for applications such as laser processing.
  • FIG. 2 is a configuration diagram of a blower unit of the axial-flow type gas laser oscillation device according to the embodiment of the present invention.
  • the air blowing unit 113 includes a rotating unit 140 that is rotated by a shaft driving unit and a non-rotating unit 141 that does not rotate.
  • the shaft driving unit is constituted by a motor rotor 122 and a motor stator 126.
  • the rotating unit 140 includes a rotating shaft 123 provided with an impeller portion 124 at the tip, a shaft driving unit that rotates the rotating shaft 123, and an upper bearing 128a and a lower bearing 128b coupled to the rotating shaft 123.
  • the non-rotating part 141 is a part of the air blowing part 113 excluding the rotating part 140.
  • the inner ring of the upper bearing 128a is press-fitted to the rotary shaft 123 and the outer ring is press-fitted to the upper bearing bushing 129 and fixed.
  • the upper bearing bushing 129 is fixed to the upper case cover 131 by bushing fixing bolts 130.
  • the scroll 127 is fixed to the upper case lid 131 by scroll fixing bolts 132.
  • the inner ring of the lower bearing 128b is press-fitted into the rotating shaft 123 and fixed.
  • the outer ring is a clearance gap in a state where a clearance of micron order is provided between the upper case cover 131 and the outer ring. Therefore, the movement is restricted only in the radial direction in a state in which the rotary shaft 123 can freely slide in the longitudinal direction. That is, the upper bearing bushing 129 holds the outer periphery of the upper bearing 128 a, the upper bearing bushing 129 is coupled to the upper case lid 131, and the lower bearing 128 b is coupled to the casing 125.
  • the outer ring of the lower bearing 128b is preloaded by a spring 134 from below. Therefore, a force is applied to the upper bearing 128a through the rotating shaft 123 in a direction in which the upper bearing 128a is pressed against the upper bearing bushing 129.
  • the bearing retainer 133 and the spring 134 are fixed to the casing 125 by the lower lid 135.
  • the fitting part (joint part) between the upper bearing bushing 129 and the upper case cover 131 is tapered and can be easily centered during installation. That is, at least one of the coupling portion between the upper bearing bushing 129 and the upper case lid 131 and the coupling portion between the lower bearing 128b and the casing 125 has a tapered fitting structure.
  • the scroll fixing bolt 132 is removed, and the scroll 127 is removed upward.
  • the bushing fixing bolt 130 is removed.
  • the entire rotary shaft 123 is pushed upward by the spring 134, so that the lower bearing 128 b protrudes from the fitting portion with the casing 125 to the upper tapered portion.
  • the upper bearing bushing 129 to which the upper bearing 128a is fixed also protrudes upward from the tapered fitting portion of the upper case lid 131. If the impeller portion 124 is held in this state and pulled upward, only the rotating portion 140 can be taken out very easily. That is, the rotating part 140 is detachable from the non-rotating part 141.
  • the gas laser processing machine includes the gas laser oscillation device described above.
  • this gas laser processing machine it is not necessary to replace the entire air blowing unit 113 at the time of periodic inspection, and the function of the air blowing unit 113 can be recovered with a minimum number of replacement parts. Therefore, the periodic inspection cost can be greatly reduced, and the cost performance can be improved.
  • the gas laser oscillation device and gas laser processing machine according to the present invention are used for applications such as sheet metal cutting and welding.

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Abstract

レーザガスを励起する放電部と、レーザガスを送風する送風部と、放電部と送風部との間のレーザガスの循環経路を形成するレーザガス流路とを備えたガスレーザ発振装置であって、送風部は軸駆動部によって回転を行なう回転部と、回転を行なわない非回転部とから成り、回転部は先端に翼車部を設けた回転軸と、回転軸を回転させる軸駆動部と、回転軸に結合された上部軸受および下部軸受とを備え、回転部を非回転部より着脱可能とした。

Description

ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機
　本発明は、ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機に関する。
　図３は、従来の軸流型ガスレーザ発振装置の概略構成図である。以下、図３を参照しながら従来の軸流型ガスレーザ発振装置を説明する。
　図３に於いて、放電管９０１はガラスなどの誘電体よりなる。電極９０２、９０３は、放電管９０１周辺に設けられている。電源９０４は、電極９０２、９０３に接続されている。放電空間９０５は、電極９０２、９０３間に挟まれた放電管９０１内の空間である。全反射鏡９０６、部分反射鏡９０７は、放電空間９０５の両端に固定配置され、光共振器を形成している。レーザビーム９０８は、部分反射鏡９０７より出力される。レーザガス流路９１０は、レーザガス流９０９の流路を示す。レーザガス流９０９は、軸流型ガスレーザ発振装置の中を循環している。熱交換器９１１、９１２は放電空間９０５における放電と、送風機の運転とにより温度上昇したレーザガスの温度を下げる。送風手段９１３は、レーザガスを循環させる送風手段９１３により放電空間９０５にて、約１００ｍ／秒程度のガス流が得られる。レーザガス流路９１０と放電管９０１とは、レーザガス導入部９１４において接続されている。
　図４は、従来の板金切断レーザ加工機の概略構成図である。以下、図４を参照しながら従来の板金切断レーザ加工機を説明する。
　図４に於いてレーザビーム９０８は、反射鏡９１５にて反射され、ワーク９１６近傍へ導かれる。レーザビーム９０８は、トーチ９１７内部に備えられた集光レンズ９１８によって高密度のエネルギビームに集光され、ワーク９１６に照射され、切断加工が行われる。ワーク９１６は加工テーブル９１９上に固定され、Ｘ軸モータ９２０あるいはＹ軸モータ９２１によって、トーチ９１７はワーク９１６に対して相対的に移動する事により、所定の形状の加工が行われる。
　以上が従来のガスレーザ発振装置、およびガスレーザ加工機の構成である。次にその動作について説明する。
　送風手段９１３より送り出されたレーザガスは、レーザガス流路９１０を通り、レーザガス導入部９１４より放電管９０１内へ導入される。そしてレーザガスは、電源９０４に接続された電極９０２、９０３から放電空間９０５に放電を発生させる。放電空間９０５内のレーザガスは、この放電エネルギーを得て励起される。励起されたレーザガスは全反射鏡９０６、および部分反射鏡９０７により形成された光共振器において共振状態となり、部分反射鏡９０７からレーザビーム９０８が出力される。レーザビーム９０８は、レーザ加工等の用途に用いられる。
　送風手段９１３としては、一般的に遠心式の送風手段が用いられる。図５は、従来のガスレーザ発振装置の送風機の構成図である。モータロータ９２２は回転軸９２３と結合され、回転軸９２３の先端に翼車９２４が備えられている。モータロータ９２２と同軸にモータステータ９２６が配置され、モータステータ９２６はケーシング９２５に固定されている。モータステータ９２６へ外部より交流電力が供給されると、発生した回転磁界によりモータロータ９２２が回転し、回転軸９２３を介して翼車９２４を回転させる。翼車９２４の周囲にはスクロール９２７が配置され、翼車９２４の回転によりレーザガス流９０９が発生する。
　回転軸９２３は、上下２箇所に配置された軸受９２８によって回転可能な状態に支持されている。軸受９２８は、回転軸９２３と結合されている。送風手段９１３の構成は回転部と非回転部とに分けられ、回転部はモータロータ９２２、回転軸９２３、翼車９２４、および軸受９２８から構成されている。
　なお、ガスレーザ発振装置の送風手段に関する従来技術の一例としては、３軸直交型レーザ発振装置において、放電部と送風部とを分離し、送風部に収納した送風手段自体を外部に取り出し可能とする例がある（例えば、特許文献１を参照）。
　この様な従来のガスレーザ発振装置は、下記課題を有している。
　ガスレーザ発振装置において、送風手段９１３はユーザ先における定期交換部品の一つである。一般的にガスレーザ発振装置は運転時間５万時間以上使用されるが、例えば送風手段９１３は１万６千時間程度において新品への交換が為される。送風手段９１３の構成部品の内、長期的に消耗する部品は、殆どが回転部に含まれる。特に軸受９２８は最も消耗が早い部品であり、軸受９２８が寿命に達する事により送風手段９１３を交換する必要がある。
　本来であれば軸受９２８のみを交換すれば、送風手段９１３は機能を回復する。しかし軸受９２８を外すためには送風手段９１３全体を分解し、回転部のバランス調整等を行う必要があり、専門の設備を必要とする上に、１週間程度の調整期間が必要となる。ガスレーザ発振装置の主なユーザであるジョブショップ等において、定期点検作業として許容される時間は半日程度であり、現実としてはユーザ先では送風手段９１３全体を交換することになる。そのためユーザにとって、送風手段９１３全体の交換費用を負担する必要があり、定期点検費用のコスト上昇を招いていた。すなわち送風手段９１３交換に関わる定期点検費用の低減が、大きな課題となっていた。
特開昭６０－１３６３８４号公報
　本発明は、レーザガスを励起する放電部と、レーザガスを送風する送風部と、放電部と送風部との間のレーザガスの循環経路を形成するレーザガス流路とを備えたガスレーザ発振装置であって、送風部は、軸駆動部によって回転を行なう回転部と、回転を行なわない非回転部とから成り、回転部は、先端に翼車部を設けた回転軸と、回転軸を回転させる軸駆動部と、回転軸に結合された上部軸受および下部軸受とを備え、回転部を非回転部より着脱可能とした構成である。
　このような構成のガスレーザ発振装置は、定期点検時に送風部全体を交換する必要がなく、ユーザ先の現場において、必要最小限の部品交換により送風部としての機能回復を図る事が出来る。
図１は、本発明の実施の形態の軸流型ガスレーザ発振装置の概略構成図である。 図２は、本発明の実施の形態に係る送風部の構成を示す断面図である。 図３は、従来の軸流型ガスレーザ発振装置の概略構成図である。 図４は、従来の板金切断ガスレーザ加工機の概略構成図である。 図５は、従来のガスレーザ発振装置の送風機の構成図である。
　以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
　（実施の形態）
　図１は、本発明の実施の形態の軸流型ガスレーザ発振装置の概略構成図である。
　軸流型ガスレーザ発振装置１００は、放電管１０１、電極１０２、１０３、電源１０４、全反射鏡１０６、部分反射鏡１０７、レーザガス流路１１０、熱交換器１１１、１１２、送風部１１３、およびレーザガス導入部１１４を備えている。
　放電部である放電管１０１は、ガラスなどの誘電体により形成されている。電極１０２と電極１０３とは放電管１０１周辺に設けられ、電極１０２、１０３には電源１０４が接続される。そして、電極１０２と電極１０３との間に挟まれた放電管１０１内に、放電空間１０５が形成される。全反射鏡１０６と部分反射鏡１０７とは放電空間１０５の両端に固定配置され、光共振器を形成している。レーザビーム１０８は、部分反射鏡１０７より出力される。
　レーザガス流１０９は、軸流型ガスレーザ発振装置１００の中のレーザガス流路１１０の循環を示す。熱交換器１１１および熱交換器１１２は、放電空間１０５における放電と送風機の運転とにより温度上昇したレーザガスの温度を下げる。送風部１１３は、レーザガスを循環させる。このようにレーザガス流路１１０は、放電管１０１と送風部１１３との間のレーザガスの循環経路を形成する。送風部１１３により放電空間１０５にて約１００ｍ／秒程度のガス流が得られる。レーザガス流路１１０と放電管１０１とは、レーザガス導入部１１４において接続されている。
　以上が、本発明のガスレーザ発振装置１００の構成である。次にその動作について説明する。
　送風部１１３より送り出されたレーザガスは、レーザガス流路１１０を通り、レーザガス導入部１１４より放電管１０１内へ導入される。そしてレーザガスは、電源１０４に接続された電極１０２、１０３から放電空間１０５に放電を発生させる。
　放電空間１０５内のレーザ媒体であるレーザガスは、この放電エネルギーを得て励起される。励起されたレーザガスは全反射鏡１０６、および部分反射鏡１０７により形成された光共振器において共振状態となり、部分反射鏡１０７からレーザビーム１０８が出力される。レーザビーム１０８が、レーザ加工等の用途に用いられる。
　送風部１１３としては、遠心式の送風部が用いられる。図２は、本発明の実施の形態の軸流型ガスレーザ発振装置の送風部の構成図である。
　送風部１１３は軸駆動部によって回転を行なう回転部１４０と、回転を行なわない非回転部１４１とから構成される。ここで軸駆動部は、モータロータ１２２およびモータステータ１２６から構成される。回転部１４０は先端に翼車部１２４を設けた回転軸１２３と、回転軸１２３を回転させる軸駆動部と、回転軸１２３に結合された上部軸受１２８ａおよび下部軸受１２８ｂとを備えている。また非回転部１４１は、送風部１１３のうち回転部１４０を除いた部分である。
　上部軸受１２８ａの内輪は回転軸１２３に、外輪は上部軸受ブッシング１２９へ圧入され固定されている。上部軸受ブッシング１２９は、ブッシング固定ボルト１３０によって上部ケースフタ１３１へ固定されている。またスクロール１２７は、スクロール固定ボルト１３２によって、上部ケースフタ１３１に固定されている。
　下部軸受１２８ｂの内輪は、回転軸１２３に圧入され固定されている。一方、外輪は上部ケースフタ１３１との間にミクロンオーダーの隙間が設けられた状態の隙間バメとなっている。そのため回転軸１２３の長手方向へ摺動自由な状態において、径方向にのみ動きが規制されている。すなわち上部軸受ブッシング１２９は上部軸受１２８ａの外周を保持し、上部ケースフタ１３１には上部軸受ブッシング１２９が結合され、ケーシング１２５には下部軸受１２８ｂが結合されている。
　下部軸受１２８ｂの外輪は、下側よりバネ１３４によって予圧を掛けられている。そのため回転軸１２３を介し、上部軸受１２８ａは、上部軸受ブッシング１２９へ押し当てられる方向へ力が掛かるようになっている。ベアリング押さえ１３３、およびバネ１３４は、下部フタ１３５によってケーシング１２５へ固定されている。
　上部軸受ブッシング１２９と上部ケースフタ１３１との間の嵌合部（結合部）はテーパ形状であり、取り付け時に容易にセンタリングがなされる。すなわち上部軸受ブッシング１２９と上部ケースフタ１３１との結合部、および下部軸受１２８ｂとケーシング１２５との結合部のうちの少なくとも一方は、テーパ形状の嵌めあい構造としている。
　ユーザ先での定期点検時において、送風部１１３の回転部のみを交換する状況について、以下説明する。
　まずスクロール固定ボルト１３２が取り外され、スクロール１２７が上部へ取り外される。次に、ブッシング固定ボルト１３０が取り外される。この状態になると、バネ１３４によって回転軸１２３全体が上方へ押し上げられるため、下部軸受１２８ｂはケーシング１２５との嵌めあい部分から上部のテーパ部分へはみ出した形となる。同様に上部軸受１２８ａが固定された上部軸受ブッシング１２９も、上部ケースフタ１３１のテーパ状の嵌合部より上部へはみ出した形となる。この状態において翼車部１２４を持ち、上部へ引き上げれば、極めて容易に回転部１４０のみを取り出す事が出来る。すなわち回転部１４０は、非回転部１４１より着脱可能である。
　回転部１４０をあらためてケーシング１２５へ挿入する場合は、逆の手順となる。この場合もテーパ形状部の存在により、容易にセンタリングを行なえるため、極めて容易に取り付け作業を進める事が出来る。
　また本発明の実施の形態のガスレーザ加工機は、上述のガスレーザ発振装置を備えている。このガスレーザ加工機は、定期点検時に送風部１１３全体を交換する必要がなく、最小限の交換部品により送風部１１３の機能回復を図る事が出来る。そのため、定期点検費用を大幅に抑制する事が出来、コストパフォーマンスを高くできる。
　本発明によるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機は、板金切断、溶接などの用途に用いられる。
１００　　ガスレーザ発振装置
１０１　　放電管
１０２，１０３　　電極
１０４　　電源
１０５　　放電空間
１０６　　全反射鏡
１０７　　部分反射鏡
１０８　　レーザビーム
１０９　　レーザガス流
１１０　　レーザガス流路
１１１　　熱交換器
１１２　　熱交換器
１１３　　送風部
１１４　　レーザガス導入部
１２２　　モータロータ
１２３　　回転軸
１２４　　翼車部
１２５　　ケーシング
１２６　　モータステータ
１２７　　スクロール
１２８ａ　　上部軸受
１２８ｂ　　下部軸受
１２９　　上部軸受ブッシング
１３０　　ブッシング固定ボルト
１３２　　スクロール固定ボルト
１３３　　ベアリング押さえ
１３４　　バネ
１３５　　下部フタ
１４０　　回転部
１４１　　非回転部

Claims (4)

  1. レーザガスを励起する放電部と、
    前記レーザガスを送風する送風部と、
    前記放電部と前記送風部との間の前記レーザガスの循環経路を形成するレーザガス流路とを備えたガスレーザ発振装置であって、
    前記送風部は、軸駆動部によって回転を行なう回転部と、
    回転を行なわない非回転部とから成り、
    前記回転部は、先端に翼車部を設けた回転軸と、
    前記回転軸を回転させる前記軸駆動部と、
    前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受とを備え、
    前記回転部を前記非回転部より着脱可能としたことを特徴とするガスレーザ発振装置。
  2. 前記上部軸受の外周を保持した上部軸受ブッシングと、前記上部軸受ブッシングおよび前記下部軸受が結合されたケーシングとを備え、
    前記上部軸受ブッシングと前記ケーシングとの結合部、および前記下部軸受と前記ケーシングとの結合部のうちの少なくとも一方はテーパ形状の嵌めあい構造となっていることを特徴とする請求項１記載のガスレーザ発振装置。
  3. 前記回転軸を上方へ押し上げるバネを設けたことを特徴とする請求項１または２記載のガスレーザ発振装置。
  4. 請求項１に記載のガスレーザ発振装置を具備したことを特徴とするガスレーザ加工機。
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