WO2012055989A1 - Verfahren zum herstellen einer verbindung zwischen zwei keramikteilen, insbesondere von teilen eines drucksensors, und ein keramisches produkt, insbesondere einen keramischen drucksensor - Google Patents

Verfahren zum herstellen einer verbindung zwischen zwei keramikteilen, insbesondere von teilen eines drucksensors, und ein keramisches produkt, insbesondere einen keramischen drucksensor Download PDF

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Andreas Rossberg
Michael Philipps
Frank Hegner
Ulfert Drewes
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    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a connection between two ceramic parts, in particular parts of a pressure sensor and a ceramic product, in particular a ceramic pressure sensor.
  • Ceramic pressure sensors comprise a main body and a measuring diaphragm, wherein the measuring diaphragm is joined by means of an active brazing-solder.
  • a suitable active brazing material for joining ceramic parts made of corundum, for example, a Zr-Ni-Ti alloy, since these of their
  • Thermal expansion coefficient is compatible with corundum.
  • Patent EP 0 490 807 B1 discloses such an active brazing material.
  • Patent EP 0 558 874 B1 discloses a method for producing rings from such an active brazing material, rings
  • Base body placed as a spacer between the two parts, and melted in a high vacuum soldering process, creating a pressure-tight and high-strength annular connection between the two ceramic parts.
  • prefabricated rings consists in the active brazing in one
  • the rings can be produced only in a minimum thickness of about 30 pm in reproducible quality and also the screen printable paste has grains on the result in the joints with a
  • Ceramic parts includes:
  • Ceramic parts preferably both ceramic parts, by means of a
  • Gas phase deposition is coated with the alloy of the active brazing and / or their components.
  • the gas phase deposition comprises a sputtering or sputtering process in order to convert the components of the active hard solder into the gas phase.
  • Evaporation rates for maintaining a desired composition of the alloy, for example, to control the temperature of the sources are.
  • the active brazing solder comprises a plurality of components, wherein in the sputtering method a sputtering target or a cathode is used, which preferably contains all the components of the active brazing filler.
  • the active brazing material has a desired composition in which components K, of the active brazing filler are present in a weight percentage q, and where the difference between the coefficient of thermal expansion of the active brazing alloy and the thermal expansion coefficient of the material of the ceramic parts, in particular given the joint's strength, has a minimum, wherein the sputtering target comprises the components of the active brazing alloy in quantitative ratios q , target, that of the target composition q , soii relative deviations
  • dj:
  • the one active component on the one hand, for example, applied in a thickness which is not more than 5%, preferably not more than 2% and more preferably not more than 1% of the total thickness of the active brazing between the first and the second ceramic part.
  • the one active component is applied in a thickness, for example, not less than 0.1%, preferably not less than 0.2% of the total thickness of the
  • the coating with the one active component on the one hand a thickness of, for example not less than 10 nm, in particular not less than 40 nm, and preferably not less than 80 nm, on the other hand, the coating with the one active component Thickness of, for example, not more than 400 nm, in particular not more than 300 nm, and preferably not more than 200 nm.
  • the sputtering process component is brought into the gas phase by means of a sputtering process for the vapor deposition
  • the active brazing material comprises a Zr-Ni-Ti alloy, wherein the at least one active component, in particular titanium or zirconium comprises.
  • the components of the active brazing can according to a development of the invention, for example, have one for which applies
  • the target composition is 55 ⁇ c Zr ⁇ 65.5, 20.5 ⁇ c N i ⁇ 27.5 and
  • the first ceramic part and the second ceramic part along an annular joint, which encloses a cavity between the first ceramic part and the second ceramic part, pressure-tightly connected, wherein the active brazing material is deposited on at least one annular surface portion of a ceramic part, wherein one of the annular surface portion enclosed area is masked during the deposition of the active braze.
  • the soldering process is a
  • Vacuum soldering process or a soldering process under inert gas Vacuum soldering process or a soldering process under inert gas.
  • the ceramic product according to the invention which is obtainable in particular by the method according to the invention, comprises a first ceramic part and a second ceramic part, wherein the first and the second ceramic part are joined by means of a joint having an active hard solder, wherein the active brazing material in the joint a thickness of not more than 20 ⁇ m, especially not more than 17 ⁇ m is preferred not more than 14 m, and more preferably not more than 12 pm.
  • the ceramic parts have corundum, wherein the active brazing material comprises a Zr-Ni-Ti alloy.
  • the ceramic product is a pressure sensor, wherein the first ceramic part comprises a main body of the pressure sensor, wherein the second ceramic part of the
  • Measuring diaphragm of the pressure sensor comprises, and wherein the measuring diaphragm with the main body along an annular joint, which has the active brazing, pressure-tight manner.
  • Fig. 1 Components of a ceramic pressure sensor, which are joined by means of the method according to the invention.
  • the components of a ceramic pressure sensor 1 shown in FIG. 1 comprise a circular disk-shaped measuring diaphragm 2
  • the measuring membrane can have high-purity corundum with a purity of better than 99.98%.
  • the measuring membrane 1 and the base body 2 have, depending on the embodiment, for example, a diameter of about 15 to 25 mm. However, the diameter is not essential to the invention Size and can be selected for example according to metrological requirements or other boundary conditions.
  • the measuring membrane 1 and the base body 2 are to be connected in a pressure-tight manner by means of a Zr-Ni-Ti active brazing soldering process in a high-vacuum soldering process.
  • the end faces of the measuring membrane 1 and the main body 2 to be joined are first masked in each case except for an annular edge region in order then to prepare the active brazing material for the joint in the annular edge region by means of vapor deposition.
  • Target composition initially only an active component can be deposited.
  • This may for example be a titanium layer in a thickness of, for example, about 100 nm each.
  • Coatings 4, 5 can be prepared, for example, in a sputtering process with a pure Ti target.
  • Component pre-coated portion of the measuring diaphragm and the body are deposited a part of the necessary for the strength of the joint active brazing.
  • the division may be, for example, in half, according to which, with a desired thickness of the joint of, for example, about 10 pm, an annular layer 6, 7 with a thickness of about 5 pm can be deposited on the measuring membrane and on the base body in the desired composition.
  • a target is used, which is the alloy of the active brazing in the
  • the target can be produced by powder metallurgy, for example.
  • a sputtering system with a preferred
  • High-performance magnetron used. This allows controlled deposition rates between, for example, about 0.2 nm / s to about 2 nm / s set. For the deposition of 5 pm be at a Deposition rate of 2 mm / s then 2500 s so just under 42 minutes needed.
  • the measuring membrane 2 and the base 3 are stacked with the active brazing rings and in a vacuum soldering process at about 900 ° C connected to each other pressure-tight.
  • electrodes are prepared for a capacitive transducer of the pressure sensor before depositing the active hard solder. This can also be done by means of vapor deposition in a sputtering process.
  • an electrode material for example, Ta is suitable, which is deposited in a thickness of, for example, 0, 1 to 0.2 pm.
  • a preferred electrode arrangement may, for example, make it possible to form a differential capacitor, for which purpose a central, circular measuring electrode and a capacitor-like annular reference electrode surrounding it are deposited on the end face of the base body in the area to be enclosed by the annular joint.
  • the measuring electrode, the reference electrode and the joint are preferably electrically insulated from each other in the finished pressure sensor.
  • a full-surface counter electrode is preferably prepared, which is preferably in the finished sensor with the joint in galvanic contact.

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Abstract

Ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen umfasst Bereitstellen eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils in der Weise bereitgestellt wird, dass zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mittels einer Gasphasenabscheidung mit der Legierung des Aktivhartlots beschichtet wird.

Description

Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors, und ein keramisches Produkt, insbesondere einen keramischen Drucksensor
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors und ein keramisches Produkt, insbesondere einen keramischen Drucksensor.
Keramische Drucksensoren umfassen einen Grundkörper und eine Messmembran, wobei die Messmembran mittels eines Aktivhartlots gefügt ist. Ein geeignetes Aktivhartlot zum Fügen von Keramikteilen aus Korund ist beispielsweise eine Zr-Ni-Ti-Legierung, da diese von ihrem
Wärmeausdehnungskoeffizienten mit Korund kompatibel ist.
Im Europäischen Patent EP 0 490 807 B1 ist ein solches Aktivhartlot offenbart. Die Patentschrift EP 0 558 874 B1 offenbart ein Verfahren zum Herstellen von Ringen aus einem solchen Aktivhartlot, Ringe aus
Aktivhartlot werden zum Verbinden von Messmembran und den
Grundkörper als Abstandhalter zwischen die beiden Teile gelegt, und in einem Hochvakuum lötprozess aufgeschmolzen, wodurch eine druckdichte und hochfeste ringförmige Verbindung zwischen den beiden Keramikteilen entsteht. Eine alternative zum Aufbringen des Lots in Form von
vorgefertigten Ringen besteht darin, das Aktivhartlot in einem
Siebdruckverfahren bereitzustellen. Eine siebdruckfähige Paste des Aktivhartlots und ein Verfahren zu deren Herstellung ist in der
Offenlegungsschrift EP 0 988 919 A1 offenbart.
Die Ringe lassen sich jedoch nur in einer Mindeststärke von etwa 30 pm in reproduzierbarer Qualität herstellen und auch die siebdruckfähige Paste weist Körnungen auf die im Ergebnis zu Fügestellen mit einer
Mindeststärke von etwa 30 pm zwischen den Keramikteilen führen. Aus dem Wunsch zur Miniaturisierung von Drucksensoren folgt indirekt der Bedarf nach einer dünneren Fügestelle, da - beispielsweise bei einem keramischen Drucksensor mit einem kapazitiven Wandler - die
Miniaturisierung zu einer Verkleinerung der Elektrodenflächen des kapazitiven Wandlers führt, die dann durch eine Verringerung des
Abstands zu kompensieren ist.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, welches die Nachteile des Stands der Technik überwindet. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Verfahren gemäß Patentanspruch 1 und den keramischen Drucksensor gemäß
Patentanspruch 16.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier
Keramikteile umfasst:
Bereitstellen eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils;
Bereitstellen eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem
Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuum lötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils in der Weise bereitgestellt wird, dass zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der
Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mittels einer
Gasphasenabscheidung mit der Legierung des Aktivhartlots und/oder deren Komponenten beschichtet wird. Nach einer derzeit bevorzugten Weiterbildung der Erfindung umfasst die Gasphasenabscheidung ein Sputterverfahren bzw. Kathodenzerstäubungsverfahren, um die Komponenten des Aktivhartlots in die Gasphase zu überführen.
Weiterhin kann anstelle des Sputterns erfindungsgemäß ein thermisches Verdampfen des Aktivhartlotmaterials erfolgen. In diesem Fall ist es vorteilhaft, die Komponenten der Legierung aus unterschiedlichen
Quellen, beispielsweise Tigeln bereitzustellen, wobei die
Verdampfungsraten zum Einhalten einer gewünschten Zusammensetzung der Legierung beispielsweise über die Temperatur der Quellen zu steuern sind.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Aktivhartlot mehrere Komponenten, wobei in dem Sputterverfahren ein Sputtertarget bzw. eine Kathode verwendet wird, welches bevorzugt sämtliche Komponenten des Aktivhartlots enthält.
Das Aktivhartlot weist gemäß einer Weiterbildung der Erfindung eine Sollzusammensetzung auf, in welcher Komponenten K, des Aktivhartlots in einem Gewichtsprozentanteil q vorliegen, und bei der die Differenz zwischen dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Aktivhartlots und dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Werkstoffs der Keramikteile, insbesondere bei gegebener Festigkeit der Fügestelle, ein Minimum aufweist, wobei das Sputtertarget die Komponenten des Aktivhartlots in Mengenverhältnissen q, Target aufweist, die von der Sollzusammensetzung q, soii relative Abweichungen
dj := | (Cj: Target " Q, Soll) Q, Soll | der einzelnen Komponenten aufweisen für die gilt: dj < 4%, vorzugsweise nicht mehr als 2% und besonders bevorzugt nicht mehr als 1 %.
In einer Weiterbildung der Erfindung wird der zumindest eine
Oberflächenabschnitt des zumindest einen Keramikteils, mittels einer Gasphasenabscheidung zunächst nur mit einer aktiven Komponente des Aktivhartlots beschichtet wird. Hierbei wird die eine aktive Komponente einerseits beispielsweise in einer Stärke aufgetragen, die nicht mehr als 5%, vorzugsweise nicht mehr als 2% und besonders bevorzugt nicht mehr als 1 % der Gesamtstärke des Aktivhartlots zwischen dem ersten und dem zweiten Keramikteil beträgt. Andererseits wird die eine aktive Komponente in einer Stärke aufgetragen wird, die beispielsweise nicht weniger als 0, 1 %, vorzugsweise nicht weniger als 0,2% der Gesamtstärke des
Aktivhartlots zwischen dem ersten und dem zweiten Keramikteil beträgt.
Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung weist die Beschichtung mit der einen aktiven Komponente einerseits eine Stärke von beispielsweise nicht weniger als 10 nm, insbesondere nicht weniger als 40 nm, und bevorzugt nicht weniger als 80 nm auf, wobei andererseits die Beschichtung mit der einen aktiven Komponente eine Stärke von beispielsweise nicht mehr als 400 nm, insbesondere nicht mehr als 300 nm, und bevorzugt nicht mehr als 200 nm aufweist.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung wird die eine aktive
Komponente zur Gasphasenabscheidung mittels eines Sputterverfahrens in die Gasphase gebracht wird, wobei in dem Sputterverfahren ein
Sputtertarget verwendet wird, welches nur die eine aktive Komponente enthält. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung, umfasst das Aktivhartlot eine Zr-Ni-Ti-Legierung, wobei die mindestens eine aktive Komponente, insbesondere Titan oder Zirkon umfasst.
Die Komponenten des Aktivhartlots können gemäß einer Weiterbildung der Erfindung beispielsweise eine aufweisen, für die gilt
Sollzusammensetzung gilt: 55 < cZr < 65,5, 20,5 < cNi < 27,5 und
14 < cTi <17,5, insbesondere 61 < cZr < 63,5, 21 ,5 < cNi < 24 und
14,5 < cTi <15,5.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung werden das erste Keramikteil und das zweite Keramikteil entlang einer ringförmigen Fügestelle, welche einen Hohlraum zwischen dem ersten Keramikteil und dem zweiten Keramikteil umschließt, druckdicht verbunden, wobei das Aktivhartlot auf mindestens einem ringförmigen Oberflächenabschnitt eines Keramikteils abgeschieden wird, wobei ein von dem ringförmigen Oberflächenabschnitt umschlossener Bereich während des Abscheidens des Aktivhartlots maskiert ist.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist der Lötprozess ein
Vakuum lötprozess oder ein Lötprozess unter Schutzgas.
Das erfindungsgemäße keramische Produkt, welches insbesondere nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhältlich ist, umfasst ein erstes keramisches Teil und ein zweites keramisches Teil, wobei das erste und das zweite keramische Teil mittels einer Fügestelle gefügt sind, die ein Aktivhartlot aufweist, wobei das Aktivhartlot in der Fügestelle eine Stärke von nicht mehr als 20 pm, insbesondere nicht mehr als 17 pm, bevorzugt nicht mehr als 14 m und besonders bevorzugt nicht mehr als 12 pm aufweist.
In einer Weiterbildung der Erfindung weisen die keramischen Teile Korund auf, wobei das Aktivhartlot eine Zr-Ni-Ti-Legierung umfasst.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist das keramische Produkt ein Drucksensor, wobei das erste keramische Teil einen Grundkörper des Drucksensors umfasst, wobei das zweite keramische Teil die
Messmembran des Drucksensors umfasst, und wobei die Messmembran mit dem Grundkörper entlang einer ringförmigen Fügestelle, welche das Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist.
Die Erfindung wird nun anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert.
Es zeigt:
Fig. 1 : Komponenten eines keramischen Drucksensors, welche mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens gefügt werden.
Die in Fig 1 dargestellten Komponenten eines keramischen Drucksensors 1 umfassen eine kreisscheibenförmige Messmembran 2 einen
kreisscheibenförmigen Grundkörper 3 aus Korund. Insbesondere die Messmembran kann hochreines Korund mit einer Reinheit von besser als 99,98 % aufweisen. Die Messmembran 1 und der Grundkörper 2 weisen, je nach Ausgestaltung beispielsweise einen Durchmesser von etwa 15 bis 25 mm auf. Der Durchmesser ist jedoch keine erfindungswesentliche Größe und kann beispielsweise nach messtechnischen Erfordernissen oder anderen Randbedingungen gewählt werden. Die Messmembran 1 und der Grundkörper 2 sind mittels eines Zr-Ni-Ti-Aktivhartlots in einem Hochvakuum lötprozess druckdicht zu verbinden. Hierzu werden die zu fügenden Stirnflächen der Messmembran 1 und des Grundkörpers 2 zunächst jeweils bis auf einen ringförmigen Randbereich maskiert, um dann das Aktivhartlot für die Fügestelle in dem ringförmigen Randbereich mittels Gasphasenabscheidung zu präparieren.
Um die Reaktion mit dem jeweiligen Keramiksubstrat zu erleichtern, kann anstelle des unmittelbaren Abscheidens der Legierung mit einer
Sollzusammensetzung zunächst ausschließlich eine aktive Komponente abgeschieden werden. Dies kann beispielsweise eine Titan-Schicht in einer Stärke von beispielsweise jeweils etwa 100 nm sein. Die
Beschichtungen 4, 5 können beispielsweise in einem Sputterprozess mit einem reinen Ti-Target präpariert werden.
Anschließend kann jeweils auf dem ringförmigen, mit der aktiven
Komponente vorbeschichteten Bereich der Messmembran und des Grundkörpers ein Teil des für die Stärke der Fügestelle erforderlichen Aktivhartlots abgeschieden werden. Die Aufteilung kann beispielsweise hälftig sein, wonach bei einer angestrebten Stärke der Fügestelle von beispielsweise etwa 10 pm jeweils eine ringförmige Schicht 6, 7 mit einer Stärke von etwa 5 pm auf der Messmembran und auf dem Grundkörper in der Sollzusammensetzung abgeschieden werden kann. Hierzu wird ein Target eingesetzt, welches die Legierung des Aktivhartlots in der
Sollzusammensetzung enthält. Das Target kann beispielsweise pulvermetallurgisch hergestellt sein.
Um eine effiziente Abscheidungsrate mit hinreichend guter Kontrolle der Rate zu erzielen, wird bevorzugt eine Sputteranlage mit einem
Hochleistungsmagnetron eingesetzt. Damit lassen sich kontrolliert Abscheidungsraten zwischen beispielsweise etwa 0,2 nm/s bis etwa 2 nm/s einstellen. Für das Abscheiden der 5 pm werden bei einer Abscheidungsrate von 2 mm/s dann 2500 s also knapp 42 Minuten benötigt.
Nach dem vollständigen Abscheiden des Aktivhartlots zum Bilden der Fügestelle werden die Messmembran 2 und der Grundkörper 3 mit den Aktivhartlotringen aufeinandergelegt und in einem Vakuum lötprozess bei etwa 900 °C miteinander druckdicht verbunden.
Vorzugsweise werden vor dem Abscheiden des Aktivhartlots (hier nicht dargestellte) Elektroden für einen kapazitiven Wandler des Drucksensors präpariert. Dies kann ebenfalls mittels Gasphasenabscheidung in einem Sputter-Verfahren erfolgen. Als Elektrodenmaterial ist beispielsweise Ta geeignet, welches in einer Stärke von beispielsweise 0, 1 bis 0,2 pm abgeschieden wird. Eine bevorzugte Elektrodenanordnung kann beispielsweise eine Bildung eines Differentialkondensators ermöglichen, wozu auf der Stirnseite des Grundkörpers in dem von der ringförmigen Fügestelle zu umschließenden Bereich eine zentrale, kreisflächenförmige Messelektrode und eine diese umgebende, kapazitätsgleiche, ringförmige Referenzelektrode abgeschieden wird.
Die Messelektrode, die Referenzelektrode und die Fügestelle sind beim fertigen Drucksensor vorzugsweise gegeneinander elektrisch isoliert.
Auf der Membran wird vorzugsweise eine vollflächige Gegenelektrode präpariert, welche vorzugsweise beim fertigen Sensor mit der Fügestelle im galvanischen Kontakt steht.

Claims

Patentansprüche
Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei
Keramikteilen, umfassend:
Bereitstellen eines ersten Keramikteils und eines zweiten
Keramikteils;
Bereitstellen eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem
Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und
Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuum lötprozess, dadurch gekennzeichnet, dass das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils in der Weise bereitgestellt wird, dass zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mittels einer
Gasphasenabscheidung mit der Legierung des Aktivhartlots und/oder deren Komponenten beschichtet wird.
Verfahren nach Anspruch 1 , wobei die Gasphasenabscheidung e Sputterverfahren oder thermisches Verdampfen umfasst, um die Komponenten des Aktivhartlots in die Gasphase zu überführen.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Aktivhartlot mehrere
Komponenten aufweist, und wobei in dem Sputterverfahren ein Sputtertarget verwendet wird, welches die Komponenten des
Aktivhartlots enthält. Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Aktivhartlot eine
Sollzusammensetzung aufweist, in welcher Komponenten Kj des Aktivhartlots in einem Gewichtsprozentanteil q vorliegen, und bei der die Differenz zwischen dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Aktivhartlots und dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des
Werkstoffs der Keramikteile, insbesondere bei gegebener Festigkeit der Fügestelle, ein Minimum aufweist, wobei das Sputtertarget die Komponenten des Aktivhartlots in Mengenverhältnissen q, Target aufweist, die von der Sollzusammensetzung q, Soii relative
Abweichungen di : = | (Cj: Target " Q, Soll) Q, Soll | der einzelnen Komponenten aufweisen für die gilt: dj < 4%, vorzugsweise nicht mehr als 2% und besonders bevorzugt nicht mehr als 1 %.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der zumindest eine Oberflächenabschnitt des zumindest einen Keramikteils, mittels einer Gasphasenabscheidung zunächst nur mit einer aktiven
Komponente des Aktivhartlots beschichtet wird.
Verfahren nach Anspruch 5, wobei die Beschichtung mit der mindestens einen aktiven Komponente eine Stärke von nicht weniger als 10 nm, insbesondere nicht weniger als 40 nm, und bevorzugt nicht weniger als 80 nm aufweist.
Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Beschichtung mit der mindestens einen aktiven Komponente eine Stärke von nicht mehr als 400 nm, insbesondere nicht mehr als 300 nm, und bevorzugt nicht mehr als 200 nm aufweist. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, wobei die eine aktive Komponente zur Gasphasenabscheidung mittels eines Sputter- Verfahrens in die Gasphase gebracht wird, und wobei in dem
Sputterverfahren ein Sputtertarget verwendet wird, welches nur die eine aktive Komponente enthält.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Lötprozess ein Vakuum lötprozess oder ein Lötprozess unter
Schutzgas ist.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Aktivhartlot eine Zr-Ni-Ti-Legierung aufweist, und wobei die eine Aktive Komponente Ti oder Zr umfasst.
1 1 . Verfahren nach Anspruch 4 und Anspruch 10, wobei für die
Konzentrationen der Komponenten des Akitvhartlots in der
Sollzusammensetzung gilt: 55 < cZr < 65,5, 20,5 < cNi < 27,5 und 14 < cTi <17,5, insbesondere 61 < cZr < 63,5, 21 ,5 < cNi < 24 und 14,5 < cTi <15,5.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das erste Keramikteil und das zweite Keramikteil entlang einer ringförmigen Fügestelle, welche einen Hohlraum zwischen dem ersten Keramikteil und dem zweiten Keramikteil umschließt, druckdicht verbunden werden, wobei das Aktivhartlot auf mindestens einem ringförmigen Oberflächenabschnitt eines Keramikteils abgeschieden wird, wobei ein von dem ringförmigen
Oberflächenabschnitt umschlossener Bereich während des
Abscheidens des Aktivhartlots maskiert ist. Keramisches Produkt, welches insbesondere nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 erhältlich ist, wobei das Keramische Produkt ein erstes keramisches Teil und ein zweites keramisches Teil umfasst, und wobei das erste und das zweite keramische Teil mittels einer Fügestelle gefügt sind, die ein
Aktivhartlot aufweist, wobei das Aktivhartlot in der Fügestelle eine Stärke von nicht mehr als 20 pm, insbesondere nicht mehr als 17 pm, bevorzugt nicht mehr als 14 pm und besonders bevorzugt nicht mehr als 12 m aufweist.
Keramisches Produkt nach Anspruch 13, wobei die keramischen Teile Korund aufweisen, und wobei das Aktivhartlot eine Zr-Ni-Ti- Legierung umfasst.
15. Keramisches Produkt nach Anspruch 13 oder 14, wobei das Produkt ein Drucksensor ist, wobei das erste keramische Teil einen
Grundkörper des Drucksensors umfasst, wobei das zweite keramische Teil die Messmembran des Drucksensors umfasst, und wobei die Messmembran mit dem Grundkörper entlang einer ringförmigen Fügestelle, welche das Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist.
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