WO2012104106A1

WO2012104106A1 - Verfahren zum erzeugen einer dreidimensionalen struktur sowie dreidimensionale struktur

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Publication number: WO2012104106A1
Application number: PCT/EP2012/000696
Authority: WO
Inventors: Thomas Lisec; Mato Knez
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2011-02-04
Filing date: 2012-02-03
Publication date: 2012-08-09
Anticipated expiration: 2013-08-04
Also published as: DE102011010899A1; EP2670880B1; US20140023849A1; JP2014511433A; JP6141197B2; US9221217B2; EP2670880A1

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur. Durch das erfindungsgemäße Verfahren mit den Schritten: Auf- oder Einbringen von Partikeln (2) auf oder in ein Trägerelement (1; 7; 16), wobei zwischen den Partikeln (2) eine Vielzahl von zumindest teilweise miteinander verbundener Hohlräume gebildet wird und wobei die Partikel (2) an Berührungspunkten miteinander in Kontakt treten, Verbinden der Partikel (2) an den Berührungspunkten durch Beschichten der Anordnung aus Partikeln und Trägerelement, wobei die Hohlräume zumindest teilweise von der beim Beschichten erzeugten Schicht (4) durchdrungen werden, können dreidimensionaler Strukturen mit geringem Aufwand hergestellt werden.

Description

Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen

Struktur sowie dreidimensionale Struktur

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur.

Nach dem Stand der Technik sind verschiedene Möglichkeiten zur Erzeugung von dreidimensionalen Strukturen bekannt. Beispielsweise genannt seien verschiedene Spritzgussverfahren. Ein Beispiel für ein Spritzgussverfahren, mit dem besonders präzise Strukturen erzeugt werden können, ist das Pulverspritzgießen.

Es besteht jedoch in verschiedenen technischen Bereichen Bedarf, auch poröse dreidimensionale Strukturen auf einfache und präzise Art herzustellen. Die Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur vorzuschlagen, das das Erzeugen von porösen Strukturen ermöglicht und das mit geringem Aufwand durchführbar

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch eine dreidimensionale Struktur mit den Merkmalen des Anspruchs 18 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen ergeben sich mit den Merkmalen der Unteransprüche .

Erfindungsgemäß werden zunächst Partikel auf oder in ein Trägerelement ein- bzw. aufgebracht. Zwischen den Partikeln wird eine Vielzahl zumindest teilweise miteinander verbundener Hohlräume gebildet. Die Partikel treten hierbei an Berührungspunkten miteinander in Kontakt. Das Ein- bzw. Auftragen kann beispielsweise durch Rakeln erfolgen. Die Partikel können beliebige Form und Größe aufweisen.

Nach dem Ein- oder Aufbringen der Partikel werden diese an den Berührungspunkten miteinander verbunden. Hierzu wird die Anordnung aus Partikeln und Trägerelement beschichtet, wobei die Hohlräume zumindest teilweise von der beim Beschichten erzeugten Schicht durchdrungen werden. Die Beschichtung ist bei Raumtemperatur vorzugsweise fest. Besonders bevorzugt ist die Beschichtung im gesamten Temperaturbereich, in dem die dreidimensionale Struktur bestimmungsgemäß verwendet werden soll, fest. Die Beschichtung ist also vorzugsweise nicht als Flüssigkeit ausgebildet. Außerdem weist die Beschichtung vorzugsweise einen bei Raumtemperatur vernachlässigbaren Dampfdruck auf, d.h. sie verdampft bei Raumtemperatur nicht innerhalb der üblichen Einsatzdauer der dreidimensionalen

Struktur. Es handelt sich somit um eine beständige, nicht flüchtige Schicht. Um eine zuverlässige Be- schichtung zu gewährleisten, sind die Partikel vor und beim Aufbringen der Beschichtung trocken.

Als Beschichtungsmaterial können bevorzugt jegliche Materialien verwendet werden, die mittels CVD und vorzugsweise mittels ALD bzw. AVD abscheidbar sind. Besonders bevorzugt können anorganische Oxide oder

Metalle abgeschieden werden. Als besonders geeignet hat sich Aluminiumoxid erwiesen.

Je nach Ausführungsform können die Hohlräume beim Beschichten offen bleiben, d.h., durch die Beschichtung wird zwar eine Verbindung zwischen den Partikeln bewirkt, der Großteil der Hohlräume zwischen den Partikeln bleibt hierbei jedoch miteinander verbunden. Alternativ kann zumindest ein Teil der Hohlräume von der Schicht verschlossen werden, so dass die Hohlräume geschlossene Poren bilden.

Es sei darauf hingewiesen, dass nicht unbedingt alle eingebrachten Partikel miteinander verbunden werden müssen. Ebenso ist es möglich, dass nur ein Teil der Partikel beim Beschichten verbunden wird, das heißt es ist sowohl ein teilweises als auch ein vollständiges Durchdringen der Hohlräume mit der beim Beschichten erzeugten Schicht möglich. Werden im Wesentlichen alle Partikel miteinander verbunden und somit im Wesentlichen alle Hohlräume durchdrungen, bildet sich zumeist auch auf dem Bereich des Trägerelements eine Schicht, in dem die Partikel auf- bzw. eingebracht sind . Je nach Anwendungsgebiet können leitende oder nichtleitende Partikel verwendet werden. Auch für die Be- schichtung können leitende oder nichtleitende Materialien verwendet werden. Eine Verwendung von leitenden Materialien ist insbesondere dann bevorzugt, wenn die dreidimensionale Struktur als Bestandteil eines mikroelektronischen Bauteils ausgebildet wird.

Als Verfahren zum relativ unkomplizierten und gleichmäßigen Auftragen der Beschichtung ist mittels eines CVD-Verfahrens (chemical vapor deposition) und insbesondere mittels einer Atomlagenabscheidung (ALD) oder mittels Atomarer Dampfphasenabscheidung (AVD) möglich. Die Beschichtung wird also bevorzugt aus der Gasphase abgeschieden. Bei einer Atomlagenabscheidung werden wechselweise zwei verschiedene Komponenten im gasförmigen Zustand eingeleitet, wobei sich diese jeweils an der Oberfläche der Partikel bzw. des Trägerelements anlagern. Bei jedem Anlagerungsvorgang wird eine im Wesentlichen durchgängige ein Atom dicke Schicht gebildet. Hierdurch wird eine besonders gleichmäßige Schicht erzeugt . Eine Schichtdicke wird hierbei hauptsächlich darüber eingestellt, wie oft zwischen einem Einbringen einer ersten Komponente und einem Einbringen einer zweiten Komponente gewechselt wird .

Eine Dicke der aufgebrachten Schicht kann besonders bevorzugt zwischen einer Atomlage und 5 μιη, zwischen 5 nm und 1 pm oder zwischen 50 nm und 300 nm betragen. Geringe Schichtdicken haben hierbei den Vorteil, dass sie innerhalb von kurzer Zeit hergestellt werden können, wobei eine poröse Struktur mit besonders niedriger Dichte und hoher Porosität erzeugt wird. Durch Schichtdicken im oberen Bereich der angegebenen Spannen hingegen wird eine besonders feste und zuverlässige Verbindung ermöglicht.

Es sei noch darauf hingewiesen, dass durch die Be- Schichtung vorzugsweise ein vernachlässigbar geringer

Anteil am Volumen der beim Ein- bzw. Aufbringen der Partikel gebildeten Hohlräume eingenommen wird. Ein Volumen der Schicht kann bevorzugt weniger als 1 % eines Volumens der Hohlräume betragen.

Bei dem Verfahren können die Partikel mit zufälliger Orientierung und Anordnung auf- bzw. eingebracht werden; ein geordnetes Aufbringen, das mit einem erhöhten Aufwand verbunden wäre, ist also nicht notwendig. Die Partikel weisen bevorzugt einen relativ kleinen

Durchmesser von weniger als 20 μιτι, vorzugsweise weniger als 10 μιη und besonders vorzugsweise weniger als 5 m auf, so dass auch bei einer zufälligen Anordnung der Partikel ein sehr präzises Ausbilden von dreidi- mensionalen Strukturen möglich ist.

Um eine Beschädigung des Trägerelements und/oder der Partikel beim Beschichten zu vermeiden, ist es vorteilhaft, wenn die Partikel bzw. das Trägerelement bis zu einer Temperatur von mindestens 100 °C, vorzugsweise 150 °C oder 200 °C, wärmebeständig sind.

Durch eine derart hohe Wärmebeständigkeit ergeben sich besonders wenige Einschränkungen hinsichtlich der verwendbaren Beschichtungsverfahren . Zugleich er- möglicht die hohe Wärmebeständigkeit eine schnellere

Durchführung des Verfahrens, ohne dass eine Beschädigung der Partikel und/oder des Trägerelements durch Überhitzen zu befürchten ist.

Um einen Verlust bzw. eine Verringerung der porösen Eigenschaften zu vermeiden, werden die Partikel beim Verbinden derselben vorzugsweise im Wesentlichen nicht irreversibel verformt.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform wird ein Partikelgemisch mit Partikeln aus mindestens zwei verschiedenen Materialien eingebracht. Die Materialien unterscheiden sich vorzugsweise hinsichtlich mindestens einer physikalischen oder chemischen Eigenschaft. Beispielsweise kann eine Härte, eine elektrische Leitfähigkeit, eine thermische Leitfähigkeit, ein thermischer Ausdehnungskoeffizient und/oder die elektrochemischen Parameter der Partikel unterschiedlich gewählt werden. Durch Verwendung unterschiedlicher Materialien mit auch unterschiedlichen Mischungsverhältnissen und gegebenenfalls unterschiedlichen chemischen und physikalischen Eigenschaften könen die Eigenschaften der dreidimensionalen Struktur präzise und zuverlässig an gewünschte Vorgaben angepasst und eingestellt werden.

Beispielsweise kann ein thermischer Ausdehnungskoeffizient der Partikel bzw. des Partikelgemischs an den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Trägerelements angepasst werden. Ebenso kann der thermische Ausdehnungskoeffizient der Partikel bzw. des Partikelgemischs auch an ein Bauteil angepasst werden, in dem die verbundenen Partikel angeordnet werden sollen . Je nach Ausführungsform werden entweder nur ein Teil der Partikel oder im Wesentlichen alle ein- bzw. aufgebrachten Partikel miteinander verbunden. Ein Verbinden im Wesentlichen aller Partikel ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn eine Struktur des Träger- elements abgeformt werden soll. Die Partikel können vor dem Beschichten in losem Kontakt miteinander angeordnet sein. Somit sind vor dem Aufbringen der Beschichtung keinerlei zusätzliche Verfahrensschritte zum Herstellen einer Verbindung zwischen den Partikeln notwendig. Nach dem Beschichten ist die so gebildete dreidimensionale Struktur fest .

Je nach Ausführungsform des Verfahrens kann als Trägerelement ein Substrat mit einer auf- oder eingebrachten Höhenstruktur verwendet werden. Diese Struk tur wird dann vorzugsweise durch die verbundenen Par tikel abgeformt. Unter anderem können Vertiefungen oder Kavitäten als Höhenstruktur in das Substrat ein gebracht werden. Ebenso kann auf das Substrat eine Schichtanordnung mit Strukturierung aufgebracht werden. Die Verwendung eines Substrats mit Vertiefungen bietet sich insbesondere bei Anwendungen der dreidimensionalen Struktur in elektronischen Schaltungen an. Hierbei kann durch die verbundenen Partikel eine leitfähige Verbindung zwischen zwei Komponenten ermöglicht werden, die auf gegenüberliegenden Seiten der Vertiefung angeordnet sind.

Als besonders geeignete Substrate haben sich Substra te aus Silizium, Glas oder Keramik herausgestellt. Das Substrat kann beispielsweise als Wafer oder Plat te ausgebildet sein. Siliziumwafer sind hierbei besonders für eine Anwendung im Mikroelektronikbereich geeignet .

In einer vorteilhaften Ausführungsform werden Elemen te, die deutlich größer als die Partikel sind, einge bettet, so dass diese beim Beschichten mit den Parti kein und dem Trägerelement verbunden werden. Beispielsweise können Chips, insbesondere gedünnte Chips, eingebettet werden. Die beschichteten Partikel können dann einer Kontaktierung der Chips dienen. Hierdurch kann ein einfaches Stapeln und Verbinden von gedünnten Chips ermöglicht werden.

Je nach Ausführungsform kann auf die Anordnung aus Partikeln und Trägerelement zumindest teilweise eine Deckschicht aufgebracht werden, die oberflächennahe Hohlräume im Wesentlichen vollständig verschließen und/oder eine geschlossene Schicht auf einer obersten

Lage der Partikel bilden soll. Die Deckschicht wird vorzugsweise nachfolgend, beispielsweise durch

Schleifen oder Polieren, planarisiert . Beim Planari- sieren der Deckschicht können mit eingebettete große - re Elemente, wie beispielsweise Chips, wieder freigelegt werden.

In einer weiteren Ausführungsform wird nach dem Beschichten und Verbinden der Partikel das Trägerele- ment und gegebenenfalls die unbeschichtet gebliebenen

Partikel zumindest teilweise entfernt. Das Entfernen kann beispielsweise mittels eines Ätzschritts erfolgen. Durch das zumindest teilweise Entfernen des Trägerelements können vielfältige verschiedene dreidi- mensionale Strukturen erzeugt werden, z.B. kann durch teilweises Entfernen des Trägerelements eine poröse Membran bestehend aus den verbundenen Partikeln gebildet werden. Diese Membran kann beispielsweise von einem durch einen verbleibenden Rest des Trägerele- ments gebildeten Rahmen gehalten werden. Alternativ zur Erzeugung einer Membran kann durch teilweises Entfernen des Trägerelements eine auf das restliche Trägerelement aufgebrachte freistehende Struktur gebildet werden. Alternativ ist auch ein vollständiges Entfernen des Trägerelements möglich. Die verbundenen Partikel können dann auf ein anderes Substrat aufgebracht werden. Hierdurch ist ein Abformen einer Oberflächengeometrie des Trägerelements möglich, wobei die entsprechend geformten verbundenen Partikel auf ein anderes Substrat übertragen werden.

In einer weiteren Ausführungsform kann auf die Parti- kel ein weiteres Material aufgebracht werden, wobei die verbundenen Partikel nachfolgend zumindest teilweise, vorzugsweise durch Ätzen, entfernt werden. Die Partikel können also selbst als eine Opferschicht dienen, wobei ein Entfernen der Opferschicht aufgrund der durch die Partikel gebildeten porösen Struktur besonders einfach und schnell möglich ist.

Zusätzlich zu einem Verfahren zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur wie vorangehend beschrie- ben betrifft die Erfindung des Weiteren eine durch ein solches Verfahren hergestellte dreidimensionale Struktur. Diese unterscheidet sich gegenständlich von herkömmlich hergestellten dreidimensionalen Strukturen dadurch, dass sie eine Vielzahl von Partikeln um- fasst, die durch eine Schicht miteinander verbunden sind. Die Partikel sind hierbei nicht in einer einzelnen Lage angeordnet, sondern eine Größe eines von den verbundenen Partikeln eingenommenen Raumbereichs ist vorzugsweise in alle Richtungen deutlich größer als der Durchmesser eines einzelnen Partikels. Bevorzugt ist der durch die verbundene Partikel eingenommene Raumbereich in jede Raumrichtung größer als ein Fünffaches des Durchmessers der Partikel.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Figuren näher erläutert. Es zeigen: eine Darstellung unterschiedlicher Schritte nach einem ersten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer dreidimensionalen Struktur, eine Darstellung unterschiedlicher Schritte nach einem zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer dreidimensionalen Struktur, bei der eine poröse Membran erstellt wird, eine Darstellung unterschiedlicher Schritte nach einem dritten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei dem eine freistehende Struktur erzeugt wird, eine Darstellung unterschiedlicher Schritte nach einem vierten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei dem verbundene Partikel auf ein anderes Substrat zur Bildung der dreidimensionalen Struktur übertragen werden, eine Darstellung unterschiedlicher Schritte nach einem fünften Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer dreidimensionalen Struktur, bei dem die Partikel als Opfermaterial dienen und eine Darstellung unterschiedlicher Schritte nach einem sechsten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer dreidimensionalen Struktur, bei dem größere Körper zwischen den Partikeln eingebettet werden.

Anhand von Fig. 1 wird eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens verdeutlicht. Durch das

Verfahren wird, wie in Figur lc) zu erkennen, eine dreidimensionale Struktur mit einem Siliziumträger 1, der einen mit verbundenen Partikeln 3 verfüllten Hohlraum 21 aufweist, gebildet.

In einem ersten Verfahrensschritt wird hierzu ein Siliziumsubstrat 1 bereitgestellt, in das eine Vertiefung 21 eingebracht wird. Nachfolgend werden, wie dies in Fig. lb) zu erkennen ist, Partikel 2 in die Vertiefung 21 eingefüllt, z.B. durch Aufrieseln der

Partikel und/oder durch Rakeln. Die Anordnung und Ausrichtung der Partikel 2 zueinander ist hierbei willkürlich. In einem nachfolgenden Verfahrensschritt wird eine

Beschichtung mit einer Dicke von etwa 100 pm durch ein CVD(chemical vapor deposition) -Verfahren, genauer durch Atomlagenabscheidung, aufgebracht. Durch das Beschichtungsmaterial wird nicht nur eine Schicht 4 am Boden der Vertiefung bzw. neben der Vertiefung gebildet, sondern es lagert sich auch an den Partikeln an. Da die Partikel nach dem Einfüllen in die Vertiefung 21 an Berührungspunkten in Kontakt miteinander stehen, führt das Anlagern des Beschichtungsmaterials zu einer Verbindung der Partikel untereinander, so dass sie einen zusammenhängenden Körper aus verfestigten Partikeln 3 bilden. Beim Beschichten werden die Partikel sowie das Trägerelement auf etwa 100 bis 200 °C erwärmt. In entsprechender Weise wird das Ma- terial für Partikel und Trägerelement temperaturre- sistent ausgelegt. Es sei darauf hingewiesen, dass die Größenverhältnisse in den Figuren lediglich zur Verdeutlichung dienen. Die Vertiefung kann beispielsweise eine Tiefe von etwa 400 μπι und eine Breite von etwa 80 pm aufweisen. Als Partikel können beispielsweise Aluminiumoxidpartikel mit einem Durchmesser von 3 pm verwendet werden. Es sind also zumeist deutlich mehr Partikel übereinander angeordnet, als dies in den Figuren zu erkennen ist. Prinzipiell kann eine Form und ein

Durchmesser der Partikel jedoch frei gewählt werden.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungs- gemäßen Verfahrens wird nachfolgend anhand von Fig . 2 erläutert. Bei dieser Ausführungsform wird zunächst ein Substrat mit einer verfüllten Vertiefung 21, wie in Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben, hergestellt. In diesem Ausführungsbeispiel können die Prozessparameter des ALD-Verfahrens jedoch auch so gewählt wer- den, dass die ALD-Schicht 4 die Hohlräume nicht vollständig durchdringt, d.h. es müssen nicht unbedingt alle Partikel miteinander verbunden sein. Anschließend wird, entsprechend Fig. 2b) , das Substrat 1 teilweise entfernt, so dass die verdichteten Partikel lediglich am Rand am Substrat befestigt sind, während sie in einem mittleren Bereich 6 eine freitragende Membran 5 bilden. Sollten einige Partikel nicht mit verbunden sein, werden sie in diesem Verfahrens - schritt mit entfernt. Die Dicke der freitragenden Membran 5, die beispielsweise etwa 40 pm betragen kann, wird dann durch eine Eindringtiefe der ALD- Schicht in die mit Partikeln 2 gefüllte Vertiefung 21 bestimmt. Diese kann, insbesondere wenn im Wesentlichen alle Partikel verbunden wurden und das Beschich- tungsmaterial die Hohlräume bis zum Boden der Vertiefung 21 durchdrungen hat, auf ihrer Rückseite noch mit der im Wesentlichen geschlossenen ALD-Schicht 4, die sich auf der Oberfläche des Substrats 1 beim Aufbringen der Beschichtung gebildet hat, bedeckt sein. Diese ALD-Schicht 4 wird, soweit vorhanden, im nachfolgenden Verfahrensschritt entfernt. Das Entfernen kann beispielsweise mittels Ionenstrahlätzen erfolgen. Die fertige dreidimensionale Struktur nach diesem Verf hrensschritt ist in Fig. 2c) abgebildet.

Ein Werkstück nach verschiedenen Schritten eines Verfahrens gemäß einer dritten bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 3 dargestellt. Bei der entsprechenden Verf hrensvariante wird ein Trägerele- ment 7, bestehend aus einem Siliziumsubstrat 9 und einem Opfermaterial 8, verwendet. Das Opfermaterial 8, beispielsweise ein Photolack, ist nicht durchgängig mit gleicher Dicke aufgebracht, so dass eine Vertiefung 21 gebildet wird. In diese Vertiefung werden, wie bereits in Zusammenhang mit Fig. 1 erläutert,

Partikel eingebracht. Auch in dieser Ausführungsform wird anschließend eine Beschichtung mittels eine ALD- Verfahrens abgeschieden. Nachfolgend wird eine

Schicht 22, die beispielsweise aus einem Metall be- stehen kann, auf die Oberseite der Partikel bzw. des

Opfermaterials aufgebracht. Oberflächennahe Hohlräume zwischen Partikeln 2 werden hierbei durch die Schicht 22 verschlossen. Bereiche 11 der Schicht 22, die direkt auf dem Opfermaterial aufliegen, werden nachfol- gend entfernt, während die Schicht 22 im Bereich 10 der verbundenen Partikel 3, beispielsweise durch Schleifen oder Polieren, planarisiert wird. Das Entfernen der Bereiche 11 der Schicht 22 kann durch Ionenstrahlätzen erfolgen. Es sind jedoch auch jegliche andere Methoden, die ohne zu starke physikalische Be- anspruchung einen präzisen lokalen Materialabtrag ermöglichen, geeignet.

In dem nachfolgenden Verfahrensschritt, der in Fig. 3 im Teil e) dargestellt ist, wird das Opfermaterial 8, beispielsweise mittels eines chemischen Ätzverfahrens, entfernt. Hierdurch bilden die verbundenen Partikel 3 mit der aufgebrachten Schicht 22 eine freistehende Struktur 13, wobei die Struktur 13 in einem Bereich 12 beabstandet zum Substrat 9 verläuft.

Anhand von Fig. 4 wird eine weitere vorteilhafte Aus- führungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens verdeutlicht. Die ersten Verfahrensschritte des Verfah- rens, deren Ergebnisse in Fig. 4 in den Teilen a) bis c) gezeigt werden, ähneln stark dem Verfahren aus Fig. 1. Im Unterschied zu diesem wird jedoch eine Metallschicht 14 auf die Oberseite des Substrats 1 vor dem Einbringen der Partikel 2 aufgebracht. Nach dem Befüllen der Vertiefung 21 mit Partikeln 2 und Aufbringen der ALD-Schicht 4 zur Bildung eines Körpers aus verfestigten Partikeln 3 wird das Substrat 1 entfernt. Dies kann beispielsweise mittels eines chemischen Ätzschritts erfolgen. Hierzu wird eine Säure ausgewählt, die zwar das Substrat 1 auflöst, jedoch keine Reaktion mit der Metallschicht 14, den verfestigten Partikeln 3 oder der ALD-Schicht 4 eingeht. Nach dem Entfernen des Substrats 1 wird der durch die verfestigten Partikel 3 gebildete und mit der Metall- schicht 14 beschichtete Körper zur Bildung der fertigen dreidimensionalen Struktur auf ein anderes Substrat 15 aufgebracht, wobei der Körper so angeordnet wird, dass die Metallschicht 14 von anderen Substrat 15 weg gerichtet ist. Eine fünfte vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens kann durch die in Fig. 5 dargestellten Schritte nachvollzogen werden. Bei dieser Verfahrensvariante wird zunächst ein Substrat 16 mit einer Vertiefung 23, die mit einer Bohrung 17 verbunden ist, bereitgestellt. Anschließend werden Partikel in die Vertiefung 23 eingebracht und mittels einer ALD-Schicht verbunden. Die aufgebrachte ALD- Schicht wird neben den verbundenen Partikeln 3 ent- fernt, so dass das Beschichtungsmaterial nur noch zwischen den Partikeln sowie am Boden der Vertiefung 23 vorliegt. Anschließend wird eine Schicht 18 aufgebracht, die, da in diesen Bereichen die ALD-Schicht zuvor entfernt wurde, neben den verbundenen Partikeln 3 direkt auf dem Substrat 16 aufliegt und die die verbundenen Partikel im Bereich der Vertiefung 23 vollständig überdeckt.

Um eine besonders glatte Schicht 18 zu erzeugen, kann vor dem Aufbringen dieser Schicht (insbesondere vor dem Entfernen der ALD-Schicht neben den verbundenen Partikeln) die Oberfläche der Partikel durch Aufbringen einer Deckschicht und anschließendes Polieren planarisiert werden, wie dies bereits im Zusammenhang mit der Deckschicht 22 in Fig. 3 erläutert wurde. Neben dem Bereich, in dem die Partikel eingebracht sind, wird die Deckschicht dann Zusammen mit der ALD- Schicht entfernt. In einem nachfolgenden Verfahrensschritt wird ein weiteres Substrat 19, das eine Aushöhlung 24 und an der Decke der Aushöhlung 24 eine Metallschicht 20 aufweist, auf das Substrat 16 mit den in der Vertiefung 23 angeordneten Partikeln 3 und der Schicht 18 aufgesetzt. Aus der somit gebildete dreidimensionale Struktur werden im hierauf folgenden Verfahrensschritt die verbundenen Partikel 3, die ALD-Schicht 4 sowie gegebenenfalls die zur Ermöglichung einer glatten Schicht 18 zuvor aufgebrachte Deckschicht entfernt. Dies kann beispielsweise durch einen Ätzschritt erfolgen. Aufgrund der Porosität ist ein schnelles Entfernen der Partikel durch Ätzen möglich, obwohl diese lediglich durch die Bohrung 17 zugänglich sind.

Insgesamt wird hierdurch ein Gehäuse bestehend aus den Substraten 16 und 19 gebildet, wobei das Gehäuse eine versiegelte Kammer 25 sowie eine durch die Bohrung 17 mit der Umgebung verbundene Kammer 26 auf- weist. Zwischen den Kammern 25 und 26 ist die Schicht

18 angeordnet, die eine in diesem Beispiel gasundurchlässige freitragende Membran bildet. Die Schicht 18 bildet zusammen mit der Metallschicht 20 einen Kondensator, wobei sich eine Kapazität des Kondensa- tors abhängig von einem Umgebungsdruck ändert, so dass die in Fig. 5d) dargestellte Anordnung als

Drucksensor verwendet werden kann.

Ein sechstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemä- ßen Verfahrens wird anhand von Fig. 6 erläutert. Bei diesem Ausführungsbeispiel werden dieselben Verfahrensschritte wie beim ersten Ausführungsbeispiel durchgeführt. Zusätzlich wird jedoch vor dem Einbringen der Partikel 2 ein gedünnter Chip 27 auf dem Bo- den der Vertiefung 21 angeordnet. Nach dem Verbinden der Partikel wird ein weiterer Chip 28 auf die verbundenen Partikel 3 aufgelegt und an diesen befestigt. Anschließend wird das Substrat 1 und optional die ALD-Schicht 4 entfernt, so dass die beiden Chips 27 und 28 mit den dazwischen angeordneten verbundenen

Partikeln 3 als dreidimensionale Struktur verbleiben. Es sei darauf hingewiesen, dass in den genannten Aus- führungsbeispielen die Durchmesser der Partikel nahezu beliebig variiert werden können. Auch die Dicke der ALD-Schicht kann über einen breiten Bereich variiert werden. Je nach Dicke der ALD-Schicht und Größe der Partikel können zwischen den Partikeln bestehende Hohlräume miteinander verbunden sein, so dass eine poröse Struktur mit offenen Poren gebildet ist, oder aber auch zumindest teilweise verschlossen sein, so dass durch die verbundenen Partikel ein

geschlossenporiges Material gebildet wird.

Claims

Patentansprüche

Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur mit den Schritten:

- Auf- oder Einbringen von Partikeln (2) auf oder in ein Trägerelement (1; 7; 16), wobei zwischen den Partikeln (2) eine Vielzahl von zumindest teilweise miteinander verbundener Hohlräume gebildet wird und wobei die Partikel (2) an Berührungspunkten miteinander in Kontakt treten,

- Verbinden der Partikel (2) an den Berührungspunkten durch Beschichten der Anordnung aus Partikeln und Trägerelement, wobei die Hohlräume zumindest teilweise von der beim Beschichten erzeugten Schicht (4) durchdrungen werden.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichten mittels eines CVD-Verfahrens und insbesondere einer Atomlagenabscheidung oder einer Atomaren Dampfphasenabscheidung durchgeführt wird.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (4) mit einer Dicke zwischen einer Atomlage und 5 μπι, vorzugsweise zwischen 5 nm und 1 μτη und besonders vorzugsweise mit einer Dicke zwischen 50 nm und 300 nm ausgebildet wird.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Partikel (2) mit zufälliger Orientierung und Anordnung auf- oder eingebracht werden.

5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Partikel (2) und/oder das Trägerelement (1; 7; 16) bis zu einer Temperatur von mindestens 100 °C, vorzugsweise 150 °C oder 200 °C wärmebeständig sind.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Partikel (2) beim Verbinden derselben im Wesentlichen nicht irreversibel verformen.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein

Partikelgemisch mit Partikeln (2) aus mindestens zwei verschiedene Materialien eingebracht wird.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Wesentlichen alle auf- oder eingebrachten Partikel (2) durch die Beschichtung (4) miteinander verbunden werden.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Partikel (2) vor dem Beschichten im losen Kontakt miteinander angeordnet sind.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Trägerelement (1) ein Substrat (1; 7; 16) mit einer auf- oder eingearbeiteten Höhenstruktur, vorzugsweise mindestens einer in das Substrat eingearbeiteten Vertiefung (21; 23) oder Kavität und/oder einer auf das Substrat aufgebrachten Schichtanordnung (8) mit Strukturierung, verwendet wird.

Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Substrat verwendet wird, das aus Silizium, Glas oder Keramik ausgebildet ist. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Elemente, die mindestens das Zehnfache eines durchschnittlichen Volumens eines Partikels (2) aufweisen, mit eingebettet und beim Beschichten mit den Partikeln (2) und dem Trägerelement (1; 7; 16) verbunden werden.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Beschichten der Anordnung aus Partikeln (2) und Trägerelement (1) zumindest teilweise eine Deckschicht (22) aufgebracht wird, die oberflächennahe Hohlräume vorzugsweise vollständig verschließt und die besonders vorzugsweise nachfolgend planarisiert wird wird.

Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Beschichten und Verbinden der Partikel (2) das Trägerelement (1; 7; 16) und gegebenenfalls die unbeschichtet gebliebenen Partikel (2) zumindest teilweise entfernt werden, wobei das Entfernen vorzugsweise durch Ätzen erfolgt.

Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die verbundenen Partikel (3) nach dem teilweisen Entfernen des Trägerelements (1; 7 ; 16) eine auf einem restlichen Trägerelement aufgebrachte freistehende Struktur (13) oder eine freitragende Membran (5) bildet.

Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerelement (1; 7; 16) vollständig entfernt wird, wobei die verbundenen Partikel (3) auf ein anderes Substrat (15) aufgebracht werden.

17. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf die verbundenen Partikel ein weiteres Material (18) aufgetragen wird, wobei die verbundenen Partikel (3) nachfolgend zumindest teilweise, vorzugsweise durch Ätzen, entfernt werden.

18. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beim Beschichten eine beständige nicht flüchtige Schicht, vorzugsweise aus einem durch ein CVD-Verfahren wie beispielsweise ALD oder AVD aufbringbaren Material und besonders vorzugsweise aus einem Metall oder einem anorganischen Oxid wie beispielsweise Aluminiumoxid, erzeugt wird.

19. Dreidimensionale Struktur, hergestellt mit dem Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche .