WO2014115648A1 - アクチュエータ - Google Patents

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WO2014115648A1
WO2014115648A1 PCT/JP2014/050775 JP2014050775W WO2014115648A1 WO 2014115648 A1 WO2014115648 A1 WO 2014115648A1 JP 2014050775 W JP2014050775 W JP 2014050775W WO 2014115648 A1 WO2014115648 A1 WO 2014115648A1
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housing
actuator
grease
sealing member
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勝年 天野
行治 大塚
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IAI Corp
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    • Y10T74/18712—Contamination related
    • Y10T74/1872—Imperforate enclosure

Definitions

  • the present invention relates to an actuator used in, for example, an industrial robot, and in particular, by providing a pressure change absorbing groove that absorbs a pressure change accompanying the advance and retreat of the rod, the rod is moved to the outside of the housing when the rod is advanced / retracted.
  • the present invention relates to a device devised to prevent the outflow of lubricant.
  • Patent Document 1 discloses a conventional actuator, for example, a linear actuator.
  • the linear actuator disclosed in Patent Document 1 has the following configuration. First, there is a case, and a motor is built in this case. A hollow rotating shaft that is rotated by a motor is also provided in the case. A nut is fixed in the hollow rotary shaft, and an output screw is screwed and arranged on the nut. Therefore, the hollow rotating shaft is rotated by the rotation of the motor, and the nut is integrally rotated by the rotation of the hollow rotating shaft. The rotation of the nut causes the output screw to linearly move on both sides in the length direction. The openings at both ends of the case are fixed and closed by end plates.
  • the conventional configuration has the following problems.
  • end plates are fixed to both ends of the case.
  • an adhesive may be used as the fixing method.
  • assembly / disassembly of the linear actuator becomes difficult.
  • a sealing member is not interposed separately, and the sealing performance is obtained solely by the adhesive.
  • the conventional configuration has the following problems. That is, in the actuator according to Japanese Patent Application No. 2012-193195, when the rod moves, a sudden pressure change occurs in the grease as the lubricant in the housing. Then, when the rod moves forward due to this sudden pressure change, so much grease is moved forward that it cannot be held by the soft wiper, and the rod installed on the outer peripheral surface of the rod and the front end side of the housing There is a problem in that it flows out of the housing from the space between the sealing member. Further, when the rod is retracted, excessive grease is supplied from the grease nipple and the grease supply passage as the lubricant supply section to the outer peripheral surface of the rod, and a part of the grease is held by the soft wiper. There is a problem that the rod flows out of the housing from between the outer peripheral surface of the rod and the seal member for the rod.
  • the present invention has been made based on these points, and an object of the present invention is to provide an actuator capable of preventing the lubricant from flowing out of the housing when the rod is advanced / retreated. It is in.
  • the actuator according to claim 1 is driven forward and backward by a housing provided with a rod through-hole and a part protruding through the rod through-hole to the outside of the housing.
  • a rod a first rod sealing member installed on the housing outer side of the rod through hole, a second rod sealing member installed on the housing inner side of the rod through hole, and the housing.
  • the lubricant supply unit includes an orifice, and the pressure change absorbing groove is provided in communication with the orifice. It is characterized by this.
  • the pressure change absorbing groove is provided in an annular shape.
  • the rod passes through the rod on the outside of the housing from the pressure change absorbing groove to hold the lubricant. A soft wiper is installed.
  • the actuator according to claim 5 is the actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the housing includes a housing body having a front opening and a rear opening at both ends, and the front opening. A front cover that closes the rear portion and a rear cover that closes the rear opening, and a front cover seal member is interposed between the front cover and the housing body. A seal member for a rear cover is interposed between the housing body and the housing body.
  • an actuator main body is provided in the housing main body, and the actuator main body includes a motor and a screw rotated by the motor. It is comprised from the nut screwed together by this screw
  • the front cover includes a front bracket and a bearing bracket disposed on the inner side in the axial direction of the front bracket.
  • a grease reservoir is provided between the front bracket and the bearing bracket.
  • the actuator described in claim 8 is the actuator according to claim 7, wherein the first rod seal member and the second rod seal member are provided on the front bracket side. It is.
  • the actuator described in claim 9 is the actuator according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the outer surface of the rod is subjected to surface hardening treatment. is there.
  • the actuator according to claim 10 is the actuator according to claim 9, wherein the surface hardening treatment applied to the rod is hard chrome plating.
  • An actuator according to claim 11 is the actuator according to any one of claims 1 to 8, wherein at least inner surfaces of the first rod seal member and the second rod seal member are surface-cured. It is characterized by being processed.
  • the actuator described in claim 12 is the actuator according to claim 11, wherein the surface hardening treatment applied to the first rod seal member and the second rod seal member is a DLC (Diamond Like Carbon) coating. It is characterized by being.
  • the actuator described in claim 13 is the actuator according to any one of claims 6 to 12, wherein the actuator body is fixed to the housing by screwing a screw member from the outside of the housing. A housing sealing member is installed in a through portion of the housing of the screw member.
  • the housing provided with the rod through-hole, and the rod that passes through the rod through-hole and projects a part thereof to the outside of the housing to be advanced and retracted.
  • a first rod seal member installed on the outside of the housing of the rod through hole, a second rod seal member installed on the inside of the housing of the rod through hole, and provided in the housing
  • a lubricant supply part that supplies a lubricant to the through hole for rod, and the first rod seal member and the second rod seal member of the rod through hole, and communicates with the lubricant supply part.
  • the pressure change absorbing groove absorbs the pressure of the lubricant, and the amount of the lubricant that moves forward with the movement of the rod is reduced, thereby preventing the lubricant from flowing out of the housing.
  • the lubricant is accommodated in the pressure change absorbing groove, and an appropriate amount of lubricant is supplied to the outer peripheral surface of the rod through the pressure change absorbing groove.
  • the lubricant can be prevented from flowing out of the housing.
  • the lubricant supply section includes an orifice, and the pressure change absorbing groove is provided in communication with the orifice.
  • the pressure change can be effectively absorbed, and an appropriate amount of lubricant can be supplied from the lubricant supply section through the orifice.
  • the actuator described in claim 3 in the actuator described in claim 2, since the pressure change absorbing groove is provided in an annular shape, the pressure change can be absorbed more effectively.
  • the rod passes through the rod on the outside of the housing from the pressure change absorbing groove to hold the lubricant. Since the soft wiper is installed, the lubricant can be prevented from flowing out by holding the lubricant by the soft wiper, and the lubricant can also be supplied to the outer peripheral surface of the rod by the soft wiper. can do.
  • the actuator according to claim 5 is the actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the housing includes a housing body having a front opening and a rear opening at both ends, and the front opening. A front cover that closes the rear portion and a rear cover that closes the rear opening, and a front cover seal member is interposed between the front cover and the housing body. Since the seal member for the rear cover is inserted between the housing body and the actuator, the actuator can be easily assembled and disassembled, and the dustproof and waterproof properties can be improved.
  • an actuator main body is provided in the housing main body, and the actuator main body includes a motor and a screw rotated by the motor.
  • the actuator can be assembled and disassembled more easily.
  • the front cover includes a front bracket and a bearing bracket disposed on the inner side in the axial direction of the front bracket. Since a grease reservoir is provided between the front bracket and the bearing bracket, complicated processing is required, for example, by forming grooves on the front bracket and the bearing bracket facing each other. The grease reservoir can be easily formed without any problem.
  • the actuator according to claim 8 is the actuator according to claim 7, wherein the first rod seal member and the second rod seal member are provided on the front bracket side, and therefore the front bracket is mounted on the actuator.
  • the rod sealing member can be easily replaced by simply removing it. Further, since the rod seal member is removed simply by removing the front bracket, the rod axis can be easily adjusted in a state where no sliding resistance is generated by the rod seal member. .
  • the actuator according to claim 9 is the actuator according to any one of claims 1 to 8, wherein the outer surface of the rod is subjected to a surface hardening treatment. The friction coefficient between the seal members can be reduced to perform a smooth operation, and the wear resistance can be improved. Further, in the actuator described in claim 10, in the actuator described in claim 9, since the surface hardening treatment applied to the rod is hard chrome plating, the wear resistance can be further improved.
  • An actuator according to claim 11 is the actuator according to any one of claims 1 to 8, wherein at least inner surfaces of the first rod seal member and the second rod seal member are surface-cured. Since the treatment is performed, the friction coefficient between the rod and the rod seal member can be reduced to perform a smooth operation, and the wear resistance can be enhanced.
  • the actuator described in claim 12 is the actuator according to claim 11, wherein the surface hardening treatment applied to the first rod seal member and the second rod seal member is a DLC (Diamond Like Carbon) coating. Therefore, the wear resistance can be further improved.
  • the actuator described in claim 13 is the actuator according to any one of claims 6 to 12, wherein the actuator body is fixed to the housing by screwing a screw member from the outside of the housing. Since the housing seal member is installed in the through portion of the housing of the screw member, the dust resistance and waterproofness can be further improved.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is an enlarged view of the IV section in FIG. It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a rear view of the front bracket used for an actuator.
  • FIG. 5 is a diagram showing a first embodiment of the present invention and a cross-sectional view taken along the line VII-VII in FIG. It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is an expanded sectional view of the front-end
  • the actuator 1 first includes a housing 3.
  • the housing 3 is provided on the housing body 5, the front cover 7 provided on the front end side (left side in FIG. 3) of the housing body 5, and the rear end side (right side in FIG. 3) of the housing body 5.
  • rear cover 9 An actuator body 10 is housed in the housing 3 of the actuator 1.
  • the housing body 5 is a cylindrical member.
  • a front opening 11a is formed at the front end (left end in FIG. 3) and the rear end ( A rear opening 11b is formed at the right end in FIG.
  • female screw portions 13, 13, 13, 13 are formed on the front end surface (the lower left surface in FIG. 2) of the housing body 5, and the housing body 5 has a rear end.
  • a female screw portion (not shown) similar to the female screw portions 13, 13, 13, 13 is also formed on the end surface (the upper right side surface in FIG. 2).
  • a plurality of mounting bolt through holes 17 are formed in the bottom surface 15 of the housing body 5.
  • mounting grooves 16, 16 are extended and formed on the bottom surface 15 of the housing body 5 in the length direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 2).
  • the actuator 1 is installed at an arbitrary location using the mounting grooves 16 and 16.
  • a tool through hole 21 a is formed in the upper surface 19 of the housing body 5.
  • the tool through hole 21a is closed by a seal cap 21b when not in use.
  • the seal cap 21b is detachable from the housing body 5, and is removed when a jig (not shown) is inserted from the tool through hole 21a.
  • a grease supply through hole 22 a is formed in the upper surface 19 of the housing body 5.
  • the grease supply through hole 22a is closed by a seal cap 22b when not in use.
  • the seal cap 22b is detachable from the housing body 5, and is removed when supplying grease as a lubricant from the grease supply through hole 22a.
  • the front cover 7 includes a front bracket 23a and a bearing bracket 23b.
  • a rod through hole 25 is first formed in the front bracket 23a.
  • a first seal member fitting portion 25a is formed on the front end side (left side in FIG. 4) of the rod through hole 25, and on the rear end side (right side in FIG. 4) of the rod through hole 25.
  • a second seal member fitting portion 25b is formed.
  • the first seal member fitting portion 25a opens forward (left side in FIG. 4) and also opens radially inward.
  • the second seal member fitting portion 25b is provided as an annular groove opened inward in the radial direction.
  • a grease reservoir recess 27a is formed on the surface of the front bracket 23a on the bearing bracket 23b side (right side in FIG. 4).
  • the grease retaining recess 27 a is an annular groove provided on the outer peripheral side of the rod through hole 25.
  • a grease reservoir convex portion 27b is formed inside the grease reservoir concave portion 27a.
  • a nipple mounting recess 29a is formed on the upper surface side (upper side in FIG. 4) of the front bracket 23a, and a nipple mounting through hole 29b is formed on the bottom surface side thereof.
  • the nipple mounting through hole 29b and the grease reservoir recess 27a are connected to each other by a grease supply passage 29c.
  • the grease supply path 29c and the rod through hole 25 are connected to each other by a grease supply path (orifice) 29d.
  • a seal member groove 31 is formed on the end surface of the front bracket 23a on the housing body 5 side. As shown in FIGS. 2 and 5, the front bracket 23 a is formed with bolt through holes 32, 32, 32, 32.
  • a first rod seal member 33 is fitted to the first seal member fitting portion 25a of the front bracket 23a.
  • the first rod sealing member 33 is, for example, a rubber member that has been subjected to Diamond Like Carbon coating (hereinafter abbreviated as DLC coating) as a surface hardening treatment.
  • the first rod seal member 33 includes an annular portion 33a that is fitted to the first seal member fitting portion 25a, and a dust seal portion 33b that is projected and formed from the front side of the annular portion 33a. It is configured.
  • the first rod seal member 33 is formed with a through hole 33c extending in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 4).
  • a soft wiper fitting portion 33d is formed on the rear end side (right side in FIG.
  • the soft wiper 33e is made of felt, for example. Further, for example, a metal annular member 33f is embedded in the annular portion 33a.
  • the DLC coating as a surface hardening treatment of the first rod sealing member 33 is applied to the inner surface or the whole of the first rod sealing member 33.
  • the second rod seal member 35 is fitted to the second seal member fitting portion 25b of the front bracket 23a.
  • the second rod sealing member 35 is a rubber member having a DLC coating applied thereto as a surface hardening treatment.
  • the second rod sealing member 35 is a ring-shaped member having an X-shaped cross-sectional shape as shown in FIG.
  • the DLC coating as the surface hardening treatment of the second rod seal member 35 is applied to the inner surface of the second rod seal member 35 or the entire surface.
  • the width of the second seal member fitting portion 25b (the length in the left-right direction in FIG. 4, W 1 ) is set to the width of the second rod seal member 35 (the length in the left-right direction in FIG. 4, W 2 ). On the other hand, it has been given a little margin.
  • a grease nipple 37 is press-fitted into the nipple mounting through hole 29b.
  • a coil spring 37b and a ball 37a are housed inside the grease nipple 37.
  • the ball 37a is normally urged upward in FIG. 4 by the coil spring 37b, and the grease nipple 37 is closed.
  • a grease gun (not shown) is connected to the grease nipple 37 and the operation lever is operated. Then, the ball 37a is pushed down against the spring force of the coil spring 37b by the pressure of the supplied grease, and the grease is injected into the grease supply path 29c from the grease gun (not shown) through the grease nipple 37.
  • the grease nipple 37, the grease supply path 29c, and the grease supply path (orifice) 29d constitute a lubricant supply section.
  • the front bracket 23a allows the bolts 39, 39, 39, 39 to pass through the bolt through holes 32, 32, 32, 32, and the female thread portion on the front end surface (the lower left surface in FIG. 2) of the housing body 5.
  • the housing body 5 is fixed by screwing with 13, 13, 13, and 13.
  • a front cover seal member 41 is fitted in the seal member groove 31 of the front bracket 23a, and the front cover seal member 41 is interposed between the front bracket 23a and the housing body 5. It is in an inserted state.
  • the front cover seal member 41 has a ring shape before being mounted, but is fitted into the seal member groove 31 to have a shape as shown in FIG.
  • the bearing bracket 23b is formed with a through hole 43 extending in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 4).
  • the front end side (the left end side in FIG. 4) of the through-hole 43 has a large diameter and forms a grease retaining recess 45a, and a grease retaining projection 45b is formed on the outer peripheral side thereof.
  • a stepped portion is formed on the outer peripheral surface of the grease retaining convex portion 45 b of the bearing bracket 23 b, and this stepped portion serves as an O-ring engagement portion 47.
  • bolt through holes 49, 49, 49, 49 are formed in the lower part of the bearing bracket 23b on both the left and right sides.
  • the front bracket 23a and the bearing bracket 23b are integrated by engaging the grease retaining recess 27a of the front bracket 23a and the grease retaining convex 45b of the bearing bracket 23b.
  • a grease reservoir 50 is formed between the grease reservoir convex portion 27b and the grease reservoir concave portion 45a.
  • An O-ring 51 is engaged with the O-ring engaging portion 47 of the bearing bracket 23b.
  • the O-ring 51 is interposed between the inner peripheral surface of the grease retaining recess 27a of the front bracket 23a and the outer peripheral surface of the grease retaining convex portion 45b of the bearing bracket 23b.
  • a cylindrical bearing 53 is housed on the rear end side (right side in FIG. 4) of the through hole 43 of the bearing bracket 23b.
  • the rear cover 9 As shown in FIGS. 2 and 3, the rear cover 9 is formed with a hollow portion 55 opened to the housing body 5 side (left side in FIG. 3). An intake / exhaust port through hole 57a and a cable through hole 57b are formed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the rear cover 9. A seal member groove 59 is formed on the end surface of the rear cover 9 on the housing body 5 side (left side in FIG. 3). As shown in FIG. 2, the rear cover 9 is formed with bolt through holes 61, 61, 61, 61.
  • the rear cover 9 has bolts 39, 39, 39, 39 inserted through the bolt through holes 61, 61, 61, 61, and the rear end surface (upper right surface in FIG. 2) of the housing body 5 is not shown.
  • the housing body 5 is fixed by being screwed into the female screw portion.
  • a rear cover seal member 62 is fitted in the seal member groove 59 of the rear cover 9, and the rear cover seal member 62 is inserted between the rear cover 9 and the housing body 5. It has become.
  • the rear cover seal member 62 has a ring shape before being mounted, but is fitted into the seal member groove 59 to have a shape as shown in FIG.
  • an intake / exhaust port 63 is provided through the intake / exhaust port through hole 57a.
  • a cable 64 is installed through the cable through hole 57b.
  • the cable 64 is a bundle of power lines, signal lines, and the like.
  • the actuator body 10 has a base 65, and the base 65 has a U-shaped cross section as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 7, guide rail grooves 65a extended in the length direction (perpendicular to the plane of the paper in FIG. 7) are formed on the inner side surfaces of both ends of the base 65 in the width direction (left and right direction in FIG. 7). , 65a are formed. Guide rails 65b and 65b are press-fitted into the guide rail grooves 65a and 65a, respectively. The guide rails 65b and 65b are respectively provided with guide recesses 65c and 65c extending in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 7).
  • a plurality of female screw portions 65d are formed on the bottom surface side (lower side in FIG. 7) of the base 65. In FIG. 7, two of the plurality of female screw portions 65d are shown.
  • the base 65 and the housing main body 5 are fixed by screwing bolts 65 e through the mounting bolt through holes 17 of the housing main body 5 and screwing into the female screw portions 65 d of the base 65.
  • a washer-like housing seal member 65f is interposed between the head of the bolt 65e and the housing body 5.
  • the positioning of the base 65 and the housing body 5 is performed by inserting positioning pins 68 into the positioning holes 66 drilled on the base 65 side and the positioning holes 5a drilled on the housing body 5 side. Done.
  • the lid 70 is attached from the top where the positioning pin 68 is inserted.
  • the bearing bracket 23b already described is fixed to the front end surface of the base 65 (the lower left surface in FIG. 6).
  • the base 65 and the bearing bracket 23b are formed by passing four bolts 65g through the bolt through-holes 49, 49, 49, 49 of the bearing bracket 23b to form four female screw portions (not shown) of the base 65. It is fixed by screwing to each.
  • the diameter of the bolt through hole 49 of the bearing bracket 23b is such that play is provided with respect to the diameter of the bolt 65g. Therefore, the mounting position of the bearing bracket 23b with respect to the base 65 can be adjusted within the range of play. Further, by adjusting the mounting position of the bearing bracket 23b with respect to the base 65, the axial center of the rod 85 described later can be adjusted.
  • a bearing housing 67 is installed at the rear end portion (right end in FIG. 3) of the base 65.
  • the bearing housing 67 is a hollow member opened on the front end side (left side in FIG. 3) and the rear end side (right side in FIG. 3).
  • the bearing housing 67 includes ball bearings 67a and 67a.
  • the ball bearing 67a includes an outer ring 67b and an inner ring 67c installed inside the outer ring 67b.
  • a retainer 67d having a plurality of through holes is provided between the outer ring 67b and the inner ring 67c, and balls 67e are held in the plurality of through holes of the retainer 67d. As the plurality of balls 67e roll, the inner ring 67c rotates with respect to the outer ring 67b.
  • the outer ring 67b of the ball bearing 67a on the front end side is in contact with the front end side (left side in FIG. 3) of the inner surface of the bearing housing 67.
  • a ball bearing fixing member 67f is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the ball bearing 67a on the rear end side (right side in FIG. 3).
  • the ball bearing fixing member 67f is in contact with the outer ring 67b of the ball bearing 67a on the rear end side (right side in FIG. 3).
  • the base 65 and the bearing housing 67 are fixed by screwing bolts (not shown) through the bearing housing 67 and screwing the bolts to a plurality of female screw portions (not shown) of the base 65. .
  • the through hole of the bearing housing 67 has a size with play with respect to the bolt, and the position of the bearing housing 67 with respect to the base 65 can be adjusted within the range of the play. Has been.
  • a motor bracket 69 is installed behind the bearing housing 67 (on the right side in FIG. 3).
  • a through hole 69 a is formed in the motor bracket 69.
  • the front end side (the left side in FIG. 3) of the through hole 69a has a large diameter, and serves as a bearing housing engaging portion 69b.
  • the bearing housing 67 and the motor bracket 69 are integrated by engaging the rear end side (the right side in FIG. 3) of the bearing housing 67 with the bearing housing engaging portion 69b.
  • a set screw female thread 69c is formed on the front end side (left side in FIG. 3) of the upper part (upper part in FIG. 3) of the motor bracket 69.
  • the motor bracket 69 and the bearing housing 67 are configured such that the set screw 71 is screwed into the female screw portion 69c for the set screw of the motor bracket 69, and the upper surface on the rear end side (right side in FIG. 3) of the bearing housing 67. It is fixed by pressing (upper surface in FIG. 3). Therefore, the motor bracket 69 is separated from the bearing housing 67 only by removing the set screw 71.
  • the set screw 71 is screwed into and removed from the set screw female thread 69c by a jig (not shown) inserted from the tool through hole 21a of the housing body 5.
  • the actuator body 10 has a motor 73.
  • the motor 73 has a motor case 73a, and a stator 73b is fixed to the inner peripheral side of the motor case 73a.
  • a rotor 73c made of a permanent magnet is rotatably mounted on the inner peripheral side of the stator 73b.
  • An output shaft 73d is fixed to the center position of the rotor 73c.
  • the motor 73 is driven by electric power supplied via the cable 64. When electric power is supplied via the cable 64, the rotor 73c and the output shaft 73d are integrally rotated forward and reverse.
  • the front end side (left end side in FIG.
  • an encoder 75 is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the motor 73.
  • the encoder 75 has an encoder cover 75a installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the motor case 73a.
  • a substrate 75c is installed on the rear end surface (the right side surface in FIG. 3) of the motor case 73a via three bar-shaped spacers 75b.
  • Electronic components 75d and 75e are mounted on the substrate 75c.
  • a code wheel 75f is fixed to a portion of the output shaft 73d of the motor 73 that protrudes into the encoder cover 75a.
  • An encoder scale (not shown) is displayed on the rear end surface (the right side surface in FIG. 3) of the code wheel 75f.
  • the encoder scale (not shown) provides a portion where the intensity of reflected light reflected is high and a portion where the reflected light is strong on the rear end surface (the right side surface in FIG. 3) of the code wheel 75f.
  • a light source and a sensor are mounted on the back surface (the left surface in FIG. 3) of the substrate 75c on which the electronic components 75d and 75e are provided.
  • the encoder scale (not shown) is irradiated with light from the light source, and the reflected light is detected by the sensor. Thus, the direction and position of rotation of the output shaft 73d of the motor 73 are detected.
  • the motor bracket 69 is separated from the bearing housing 67 simply by removing the set screw 71.
  • the motor 73 and the encoder 75 are integrated with the motor bracket 69. Therefore, the portion where the motor bracket 69, the motor 73, and the encoder 75 are integrated can be separated from the actuator body 10 simply by removing the set screw 71.
  • a coupling member 76a which is a part of an Oldham coupling
  • a coupling member 76c which is another part of the Oldham coupling
  • a coupling member 76d which is still another part of the Oldham coupling, is inserted and engaged between the coupling member 76a and the coupling member 76c.
  • the output shaft 73d of 73 and the ball screw connecting member 77 are connected.
  • the coupling members 76a, 76c and 76d are installed in the through hole 69a of the motor bracket 69.
  • the ball screw connecting member 77 is press-fitted into the inner rings 67 c and 67 c of the ball bearings 67 a and 67 a housed in the bearing housing 67.
  • a connection hole 77a is formed in the ball screw coupling member 77, and a ball screw 78 is press-fitted and fixed in the connection hole 77a. That is, the ball screw 78 includes a screw portion 78 a and a rear end side (right side in FIG. 3) connection portion 78 b, and the connection portion 78 b is press-fitted into the connection hole 77 a of the ball screw coupling member 77. .
  • a male screw portion 78 c is formed on the outer peripheral surface of the screw portion 78 a of the ball screw 78.
  • a ball nut 79 having a female screw portion (not shown) is screwed and arranged on the ball screw 78.
  • the ball nut 79 has a ball nut main body 79a.
  • End caps 79c and 79c are installed at front and rear ends of the ball nut main body 79a (right and left ends in FIG. 3).
  • the ball nut body 79a is formed with a non-load circulation path (not shown), and the end caps 79c and 79c are respectively formed with return paths (not shown). Then, by rotating the ball screw 78, the ball nut 79 reciprocates.
  • the one end cap 79c is interposed between a male screw portion 78c of the ball screw 78 and a female screw portion (not shown) of the ball nut 79.
  • a plurality of balls (not shown) circulate through the return path, the no-load circulation path, and the return path of the other end cap 79c, thereby realizing a smooth reciprocation of the ball nut 79.
  • a rod connecting member 81 is fixed to the ball nut 79.
  • the ball screw 78 is coaxially housed inside the rod connecting member 81.
  • a female threaded portion 81a is formed on the front end side (left side in FIG. 3) of the rod connecting member 81.
  • a grease nipple 81b is installed in the upper portion (upper portion in FIG. 3) of the rod connecting member 81 so as to penetrate the rod connecting member 81.
  • the grease nipple 81b communicates with a no-load circulation path (not shown) of the ball nut 79.
  • a coil spring (not shown) and a ball 81b ' are housed inside the grease nipple 81b.
  • the ball 81b' is normally urged upward in FIG.
  • a guided portion 83 is fixed to the rod connecting member 81.
  • the guided portion 83 has a guided portion main body 83a.
  • a recess extends and is formed in the front-rear direction (the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 7).
  • unloaded circulation paths are formed on both sides in the width direction (both sides in the left-right direction in FIG. 7) of the guided portion main body 83a and inside the recesses (not shown).
  • end caps 83b and 83b are installed on both ends of the guided portion main body 83a in the width direction (left side in FIG. 7) and in the front-rear direction (perpendicular direction in FIG. 7).
  • End caps 83c and 83c are provided at both ends of the guide portion main body 83a in the width direction on the other end side (right side in FIG. 7) and in the front-rear direction (vertical direction in FIG. 7).
  • a return path (not shown) is formed in these end caps 83b, 83b, 83c, 83c.
  • a plurality of balls (not shown) circulate in the space between the recess not to be formed and the guide recess 65c of the guide rail 65b on one end side in the width direction (left side in FIG. 7). Further, the above-described unloaded circulation path (not shown) on the other end side in the width direction (right side in FIG. 7), the return path (not shown) in the end caps 83c and 83c, and the other end side in the width direction (right side in FIG. 7). A plurality of balls (not shown) circulate also in the space between the recess (not shown) and the guide recess 65c of the guide rail 65b on the other end side in the width direction (right side in FIG. 7).
  • the ball nut 79 is smoothly guided in the front-rear direction (the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 7).
  • the rotation of the ball nut 79 is restricted by the base 65 through the guided portion 83, and the ball nut 79 is moved in the length direction of the ball screw 78 (left and right in FIG. 3). Direction) will move to both sides.
  • a rod 85 is connected to the rod connecting member 81.
  • the rod 85 includes a hollow cylindrical rod body 85a and an object mounting member 85b installed on the distal end side of the rod body 85a.
  • a male screw portion 85c is formed on the outer peripheral surface of the rear end side (right end side in FIG. 3) of the rod body 85a.
  • the rod 85 is coupled to the rod coupling member 81 by screwing the male thread 85 c into the female thread 81 a of the rod coupling member 81.
  • An internal thread portion 85d is formed on the inner peripheral surface of the front end side (left end side in FIG. 3) of the rod body 85a.
  • a male screw portion 85e is formed on the rear end side (right end side in FIG. 3) of the object mounting member 85b.
  • the said object attachment member 85b is attached to the said rod main body 85a because the external thread part 85e of the said object attachment member 85b is screwed by the internal thread part 85d of the said rod main body 85a. Further, the outer peripheral surface of the rod body 85a is subjected to hard chrome plating as a surface hardening treatment.
  • the ball screw 78 is accommodated coaxially in the rod 85.
  • a male screw portion 85f is formed on the distal end side of the object mounting member 85b.
  • the object (not shown) is attached to the rod 85 by screwing the female screw part (not shown) into the male screw part 85f.
  • the rod 85 passes through the bearing 53 housed in the bearing bracket 23a, the rod through-hole 25 for the front bracket, the second rod seal member 35, the soft wiper 33e, and the first rod seal member 33. Projecting out of the housing 3.
  • the rod 85 is slidably in contact with the first rod seal member 33, the second rod seal member 35, the soft wiper 33 e, and the inner peripheral surface of the bearing 53.
  • a pressure change absorbing groove 86 is formed on the inner peripheral surface of the rod through hole 25.
  • the pressure change absorbing groove 86 is annularly formed between the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35.
  • the pressure change absorbing groove 86 is provided in communication with the already-described grease supply path (orifice) 29d.
  • the pressure change absorbing groove 86 is for absorbing the pressure change of the grease generated when the rod 85 advances and retreats by accommodating the grease therein, and thereby the first rod sealing member.
  • the grease is prevented from flowing out of the housing 3 through the gap between the rod 33 and the rod 85, and an appropriate amount of grease is supplied to the outer peripheral surface of the rod 85 from the lubricant supply section. Further, not all of the pressure change absorbing groove 86 is filled with the grease, and a part of the air layer is formed.
  • the operation of the actuator 1 will be described.
  • the motor 73 is driven by an operation instruction transmitted through a signal line (not shown) of the cable 64
  • the output shaft 73d is rotated at a direction and speed according to the operation instruction.
  • the rotation of the output shaft 73d is transmitted to the ball screw 78 via the Oldham coupling including the coupling members 76a, 76c and 76d and the ball screw connecting member 77, and the ball screw 78 also has the same direction as the output shaft 73d. Rotated at speed.
  • the ball nut 79 screwed to the ball screw 78 moves in any direction of the length direction of the ball screw 78 (left and right direction in FIG. 3). This is because the ball nut 79 tries to rotate in the same direction as the rotation direction of the ball screw 78 by the rotational force of the ball screw 78, but the guided portion 83 connected to the ball nut 79 is a guide rail of the base 65. This is because the rotation of the ball nut 79 due to the rotation of the ball screw 78 is restricted because it is guided in the length direction (left and right direction in FIG. 3) by 65b and 65b. As the ball nut 79 moves, the rod 85 and the object (not shown) attached to the rod 85 are also moved in the length direction of the ball screw 78 (left and right in FIG. 3).
  • a grease reservoir 50 is formed between the front bracket 23a and the bearing bracket 23b.
  • grease (not shown) is held.
  • the grease passes through the grease supply passages 29c and 29d and enters the pressure change absorption groove 86, and from there, the rod 85 moves to the front side of the second rod seal member 35 (left side in FIG. 4).
  • the rod 85 moves to the rear side (right side in FIG. 4) of the second rod seal member 35.
  • grease is filled in the unloaded circulation path (not shown) of the ball nut 79.
  • the grease makes smooth rolling of a plurality of balls (not shown) in a space between the spiral male screw portion 78c of the ball screw 78 and a female screw portion (not shown) of the ball nut 79.
  • the replenishment of grease into the unloaded circulation path (not shown) of the ball nut 79 is performed through the grease replenishing through hole 22a of the housing body 5 and the grease nipple 81b of the rod connecting member 81.
  • the axis of the rod 85 is adjusted at the time of assembly in order to make the movement of the rod 85 smooth. That is, as shown in FIG. 6, before the front bracket 23a, the first rod seal member 33, the soft wiper 33e, and the second rod seal member 35 are attached, the four bolts 65g are tightened.
  • the bearing bracket 23 b can be freely moved within the play range of the bolt through hole 49.
  • the bearing housing 67 can be freely moved within the range of play with respect to the base 65 before the bolt (not shown) is tightened. In this state, first, the rod 85 is pushed to the right side in FIG.
  • a front cover seal member 41 is interposed between the housing body 5 and the front bracket 23a, and a rear cover seal is interposed between the housing body 5 and the rear cover 9.
  • a member 62 is inserted.
  • the front cover sealing member 41 and the rear cover sealing member 62 prevent foreign matter and water droplets from entering the housing 3 at both end surfaces of the housing body 5.
  • a washer-like housing seal member 65 f is interposed between the head of the bolt 65 e and the housing body 5.
  • the housing seal member 65f prevents foreign matter, water droplets, and the like from entering the housing 3 through the through hole 17 of the housing body 5.
  • a first rod sealing member 33 and a second rod sealing member 35 are installed on the front bracket 23a.
  • the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 prevent foreign matter, water droplets, and the like from entering the inside of the housing 3 in the portion of the housing 3 through which the rod 85 passes. This point will be described in more detail.
  • the first rod seal member 33 is installed on the outer side (left side in FIG. 3) of the rod through-hole 25, and the second rod seal member 35 is installed on the inner side of the rod through-hole 25 (see FIG. (Right side of 3).
  • the second rod seal member 35 causes the foreign matter, water droplets, or the like to be inside the housing 3. Further intrusion into is prevented. That is, entry of foreign matter or water droplets into the housing 3 is prevented in two stages.
  • a soft wiper 33e is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the inner peripheral surface of the first rod sealing member 33.
  • the soft wiper 33e also exhibits a desired sealing function between the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35, and captures the foreign matter, water droplets, and the like. Yes.
  • the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 are made of grease (not shown) or wear powder generated inside the housing 3 from the inside of the housing 3 to the outside. It also prevents the outflow of foreign matter.
  • the soft wiper 33e also prevents foreign matter such as grease and wear powder from flowing out of the housing 3.
  • An O-ring 51 is inserted between the inner peripheral surface of the grease retaining recess 27a of the front bracket 23a and the outer peripheral surface of the grease retaining convex portion 45b of the bearing bracket 23b. The O-ring 51 prevents grease (not shown) from flowing out in the grease reservoir 50.
  • the second rod sealing member 35 is also moved rearward (right side in FIG. 4) and its width (length in the left-right direction in FIG. 4) is reduced. Deformed. Therefore, a gap is generated between the second rod seal member 35 and the front surface (the left surface in FIG. 4) of the second seal member fitting portion 25b. And grease enters this gap. Due to the movement of the grease, the air pressure in the air layer of the pressure change absorbing groove 86 is reduced, and as a result, the grease is supplied from the grease supply path 29c and the grease reservoir 50 through the grease supply path (orifice) 29d. It will be. Since this grease is accommodated in the pressure change absorbing groove 86, excessive grease is not supplied to the outer peripheral surface of the rod 85. Further, the amount of grease that cannot be held by the soft wiper 33e is not supplied.
  • a pressure change absorbing groove 86 is formed on the inner peripheral surface of the rod through hole 25 between the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35.
  • the grease is moved forward by the movement of the rod 85 and the movement of the rod 85 to the front side (left side in FIG. 4) of the second rod sealing member 35.
  • the left side of FIG. 4 is energized, and the grease pressure changes.
  • a part of the grease moved to the front side enters the pressure change absorption groove 86, and the pressure change of the grease is absorbed.
  • the air layer in the pressure change absorbing groove 86 is compressed.
  • the second rod sealing member 35 When the rod 85 is retracted, the second rod sealing member 35 is also moved rearward (right side in FIG. 4) and its width (length in the left-right direction in FIG. 4, W 2 ) is small. It is transformed to become. Therefore, a gap is generated between the second rod seal member 35 and the front surface (the left surface in FIG. 4) of the second seal member fitting portion 25b. And grease enters this gap. Due to the movement of the grease, the air pressure in the air layer of the pressure change absorbing groove 86 is reduced, and as a result, the grease is supplied from the grease supply path 29c and the grease reservoir 50 through the grease supply path (orifice) 29d.
  • front cover 7 and the rear cover 9 are not attached to each other on both end surfaces of the housing body 5 but have a detachable mounting structure via bolts 39, so that the housing 3 can be easily disassembled and assembled. It has become a thing.
  • a front cover seal member 41 is interposed between the housing body 5 and the front bracket 23a, and a rear cover seal member 62 is interposed between the housing body 5 and the rear cover 9. Therefore, it is possible to reliably prevent foreign matter, water droplets, and the like from entering the inside of the housing 3 at both end faces of the housing body 5 and to improve the dustproof / waterproof performance of the actuator 1.
  • first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 are installed in the front bracket 23a, the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 are used to form the housing. Intrusion of foreign matter, water droplets or the like into the inside of the housing 3 at a portion through which the three rods 85 penetrate can be prevented.
  • the first rod seal member 33 is installed on the outer side (left side in FIG. 3) of the rod through-hole 25, and the second rod seal member 35 is installed on the inner side of the rod through-hole 25 ( It is also installed on the right side in FIG. Therefore, even if foreign matter or water droplets or the like enter from the gap between the first rod seal member 33 and the rod 85, the second rod seal member 35 causes the foreign matter or water droplets or the like to enter the housing 3. Further intrusion into can be prevented. That is, it is possible to prevent further intrusion of the foreign matter and water droplets into the housing 3 in two stages.
  • a soft wiper 33e is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the inner peripheral surface of the first rod seal member 33, the soft wiper 33e and the first rod seal member 33 A sealing function can be exhibited between the second rod sealing member 35 and the foreign matter, water droplets, and the like can be captured.
  • first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 prevent outflow of foreign matters such as grease (not shown) and abrasion powder generated inside the housing 3 from the inside of the housing 3 to the outside. You can also. Further, as in the case of entry of foreign matter or water droplets from the outside of the housing 3 described above, a two-stage rod seal member, the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35, is installed. Therefore, it is possible to more reliably prevent foreign matters such as the grease and wear powder generated inside the housing 3 from flowing out. Further, the soft wiper 33e can also prevent foreign matters such as the grease to the outside of the housing 3 and the wear powder generated inside the housing 3 from flowing out.
  • the first rod sealing member 33, the second rod sealing member 35, and the soft wiper 33e can enhance the dustproof and waterproof performance of the actuator 1. Further, since the soft wiper 33e holds the grease, the grease can be supplied to the outer peripheral surface of the rod 85 by the soft wiper 33e.
  • the second rod sealing member 35 is a ring-shaped member having an X-shaped cross-sectional shape, and rods are provided at two positions on the front end side (left side in FIG. 4) and the rear end side (right side in FIG. 4). Since it is in contact with 85, dustproof and waterproof performance can be enhanced. Further, since the second rod sealing member 35 has a small contact area with the rod 85, the sliding resistance can be reduced. In addition, since a housing seal member 65f is interposed between the head of the bolt 65e and the housing body 5, it is possible to ensure that foreign matter, water droplets, etc. enter the through hole 17 into the housing 3. And the dustproof / waterproof performance of the actuator 1 can be improved.
  • the front cover 7 is composed of a front bracket 23a and a bearing bracket 23b, and a grease reservoir 50 is formed between the front bracket 23a and the bearing bracket 23b. Therefore, the grease reservoir 50 can be easily formed. Moreover, the movement of the rod 85 can be facilitated by the grease retained in the grease reservoir 50. Further, since the grease is held also on the first rod seal member 33 side by the soft wiper 33e, the rod 85 can be moved more smoothly. Since both the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 are installed on the front bracket 23a side, the first rod can be easily removed by removing only the front bracket 23a. The seal member 33 and the second rod seal member 35 can be exchanged.
  • the rod 85 is moved in the axial direction. Even when they are used, there is no influence of frictional resistance, and the axial center adjustment of the rod 85 can be easily performed.
  • the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 are DLC coated as a surface hardening treatment, and the outer surface of the rod 85 is hard chrome plated as a surface hardening treatment. Has been. Therefore, the friction coefficient between the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 and the rod 85 can be reduced to realize a smooth operation of the actuator 1 and the first rod seal. The wear resistance of the seal member 33, the second rod seal member 35, and the rod 85 can be improved.
  • the actuator body 10 is configured by integrating the bearing housing 67, the motor bracket 69, the motor 73, the ball screw 78, the ball nut 79, the rod 85, and the like with the base 65, the actuator into the housing 3 is formed.
  • the actuator can be easily assembled and disassembled by removing the actuator body 10 from the interior of the body 10 and the housing 3.
  • the motor bracket 69 and the bearing housing 67 are fixed by a set screw 71. Therefore, the part where the motor bracket 69, the motor 73, and the encoder 75 are integrated can be easily separated from the actuator body 10 simply by removing the set screw 71. Further, if the rear cover 9 of the housing 3 is removed, a portion in which the motor bracket 69, the motor 73 and the encoder 75 are integrated can be easily taken out of the housing 3, and the motor 73 and the encoder can be removed. Repair and replacement of 75 etc. can be made easy.
  • the actuator 87 according to the second embodiment has substantially the same configuration as the actuator 1 according to the first embodiment described above, but the front cover 89 is the front cover 7 according to the first embodiment described above. Thus, it is not composed of two members, the front bracket 23a and the bearing bracket 23b, but is composed of one member. Therefore, the grease reservoir 50 present in the front cover 7 in the first embodiment described above is not formed. Further, since it is composed of one member, the front cover 89 is also provided with an O-ring 51 provided between the front bracket 23a and the bearing bracket 23b in the first embodiment described above. It has not been.
  • the rod through hole 25 is a through hole penetrating the entire front cover 89, and a bearing 53 is installed on the rear end side (right end side in FIG. 8). It becomes the composition.
  • the actuator 87 according to the second embodiment also has substantially the same operation as the actuator 1 according to the first embodiment described above.
  • the actuator 87 since there is no grease accumulation in the front cover 89, the grease is not held in the grease accumulation or supplied from the grease accumulation. It is possible to provide a grease reservoir by drilling or the like.
  • the actuator 87 according to the second embodiment can achieve substantially the same effect as the actuator 1 according to the first embodiment described above.
  • the front cover 89 is composed of a single member, the number of parts is reduced, parts management is facilitated, and the manufacturing cost can be reduced. Also, the configuration is simplified.
  • the present invention is not limited to the first and second embodiments described above.
  • two rod sealing members, the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 are provided as rod sealing members. It is also conceivable to provide three or more rod sealing members.
  • the guided portion 83 has been described as an example of a configuration in which the guided portion 83 is slidably guided by rolling with respect to the guide rails 65b and 65b. It may be a linear guide.
  • the pressure change absorbing groove 86 is an annular groove, but may be provided intermittently in the circumferential direction. However, at least one of the plurality of intermittently provided grooves needs to communicate with the grease supply path (orifice) 29d. It is also conceivable to provide a plurality of pressure change absorbing grooves 86 in the axial direction. Further, the shape and size of the pressure change absorbing groove 86 are not particularly limited. Various types of surface hardening treatments can be considered for the surface of the rod body 85a, the first rod seal member 33, and the second rod seal member 35.
  • both the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 are subjected to DLC coating as a surface hardening treatment. It is also conceivable that only one of the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 is subjected to DLC coating as a surface hardening treatment. It is also conceivable that the surface hardening treatment is performed only on the rod body 85a side, or the surface hardening treatment is performed only on the first rod sealing member 33 or the second rod sealing member 35 side. In addition, the present invention is not limited to the illustrated configuration, and various modifications can be considered.
  • the present invention relates to an actuator used in, for example, an industrial robot, and in particular, by providing a pressure change absorbing groove that absorbs a pressure change accompanying the advance and retreat of the rod, the rod is moved to the outside of the housing when the rod is advanced / retracted.
  • an actuator used in a food manufacturing robot which is devised so as to prevent the lubricant from flowing out.

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Abstract

　ロッドの前進、後退時におけるハウジング外部への潤滑剤の流出を防止することができるアクチュエータを提供することを目的とし、ロッド用貫通孔が設けられたハウジングと、上記ロッド用貫通孔を貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され進退駆動されるロッドと、上記ロッド用貫通孔のハウジング外部側に設置された第１ロッド用シール部材と、上記ロッド用貫通孔のハウジング内部側に設置された第２ロッド用シール部材と、上記ハウジングに設けられ上記ロッド用貫通孔に潤滑剤を供給する潤滑剤供給部と、上記ロッド用貫通孔の上記第１ロッド用シール部材と上記第２ロッド用シール部材との間であって上記潤滑剤供給部に連通した状態で設けられ空気層が形成されるとともに上記ロッドの進退に伴う圧力変化を吸収する圧力変化吸収用溝と、を具備した構成になっている。

Description

アクチュエータ
　本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータに係り、特に、ロッドの進退に伴う圧力変化を吸収する圧力変化吸収用溝を設けることにより、上記ロッドの前進／後退時におけるハウジング外部への潤滑剤の流出を防止することができるように工夫したものに関する。
　従来のアクチュエータ、例えば、リニアアクチュエータを開示するものとして、特許文献１がある。この特許文献１に開示されているリニアアクチュエータは次のような構成になっている。まず、ケースがあり、このケース内にはモータが内装されている。また、ケース内には、モータによって回転される中空状回転軸も内装されている。この中空状回転軸内にはナットが固着されていて、このナットには出力用ネジが螺合・配置されている。
　よって、上記モータが回転することにより上記中空状回転軸が回転され、この中空状回転軸の回転によってナットも一体的に回転される。このナットの回転によって上記出力用ネジがその長さ方向両側に直線運動することになる。
　また、上記ケースの両端の開口部はエンドプレートによってそれぞれ固着・閉塞されている。
特許第４９１８２３４号公報
　しかし、従来の構成では、次のような問題があった。
　まず、前述したリニアアクチュエータにおいては、エンドプレートがケースの両端に対して固着されている。固着の方法としては、例えば、接着剤の使用が考えられるが、仮に、接着剤による固着の場合には、リニアアクチュエータの組立・分解が困難になってしまうという問題があった。
　また、接着剤による固着の場合には、別途シール部材を介在させることはなく、専ら、接着剤のみによってシール性能を得ることになる。しかしながら、接着剤のみで所望のシール性能を得ることは困難であった。
　このような問題点を解決するために、本件特許出願人は特許出願を行っている（特願２０１２－１９３１９５、未公開）。
　上記従来の構成によると、次のような問題があった。
　すなわち、特願２０１２－１９３１９５に係るアクチュエータにおいては、ロッドが移動する際にハウジング内の潤滑剤としてのグリスに急激な圧力変化が生じてしまう。そして、この急激な圧力変化により、上記ロッドが前進する際には、ソフトワイパによって保持できないほど多くのグリスが前方に移動されて、上記ロッドの外周面と上記ハウジングの前端側に設置されたロッド用シール部材との間から上記ハウジング外部へ流出してしまうという問題があった。
　また、上記ロッドが後退する際には、潤滑剤供給部としてのグリスニップル及びグリス供給路から上記ロッドの外周面へとグリスが過剰に供給され、このグリスの一部が上記ソフトワイパによって保持しきれず上記ロッドの外周面と上記ロッド用シール部材との間から上記ハウジング外部へ流出してしまうという問題があった。
　本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、上記ロッドの前進／後退時における潤滑剤のハウジング外部への流出を防止することができるアクチュエータを提供することにある。
　上記課題を解決するべく請求項１に記載されたアクチュエータは、ロッド用貫通孔が設けられたハウジングと、上記ロッド用貫通孔を貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され進退駆動されるロッドと、上記ロッド用貫通孔のハウジング外部側に設置された第１ロッド用シール部材と、上記ロッド用貫通孔のハウジング内部側に設置された第２ロッド用シール部材と、上記ハウジングに設けられ上記ロッド用貫通孔に潤滑剤を供給する潤滑剤供給部と、上記ロッド用貫通孔の上記第１ロッド用シール部材と上記第２ロッド用シール部材との間であって上記潤滑剤供給部に連通した状態で設けられ空気層が形成されるとともに上記ロッドの進退に伴う圧力変化を吸収する圧力変化吸収用溝と、を具備したことを特徴とするものである。
　また、請求項２に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記潤滑剤供給部はオリフィスを備えていて、上記圧力変化吸収用溝は上記オリフィスに連通した状態で設けられていることを特徴とするものである。
　また、請求項３に記載されたアクチュエータは、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記圧力変化吸収用溝は環状に設けられていることを特徴とするものである。
　また、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記圧力変化吸収用溝よりハウジング外部側には上記ロッドを貫通し上記潤滑剤を保持するソフトワイパが設置されていることを特徴とするものである。
　また、請求項５に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングは両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバとから構成されており、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間にはフロントカバ用シール部材が介挿されており、上記リアカバと上記ハウジング本体との間にはリアカバ用シール部材が介挿されていることを特徴とするものである。
　また、請求項６に記載されたアクチュエータは、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジング本体内にはアクチュエータ本体が内装されていて、このアクチュエータ本体は、モータと、該モータにより回転されるネジと該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着される上記ロッドと、から構成されていることを特徴とするものである。
　また、請求項７に記載されたアクチュエータは、請求項５又は請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられていることを特徴とするものである。
　また、請求項８に記載されたアクチュエータは、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられていることを特徴とするものである。
　また、請求項９に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
　また、請求項１０に記載されたアクチュエータは、請求項９記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであることを特徴とするものである。
　また、請求項１１に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
　また、請求項１２に記載されたアクチュエータは、請求項１１記載のアクチュエータにおいて、上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ　Ｌｉｋｅ　Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであることを特徴とするものである。
　また、請求項１３に記載されたアクチュエータは、請求項６～請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジングの外側からねじ部材を螺合することによりハウジングに固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジングの貫通部にはハウジング用シール部材が設置されていることを特徴とするものである。
　以上述べたように、請求項１記載のアクチュエータによると、ロッド用貫通孔が設けられたハウジングと、上記ロッド用貫通孔を貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され進退駆動されるロッドと、上記ロッド用貫通孔のハウジング外部側に設置された第１ロッド用シール部材と、上記ロッド用貫通孔のハウジング内部側に設置された第２ロッド用シール部材と、上記ハウジングに設けられ上記ロッド用貫通孔に潤滑剤を供給する潤滑剤供給部と、上記ロッド用貫通孔の上記第１ロッド用シール部材と上記第２ロッド用シール部材との間であって上記潤滑剤供給部に連通した状態で設けられ空気層が形成されるとともに上記ロッドの進退に伴う圧力変化を吸収する圧力変化吸収用溝と、を具備したため、上記ロッドが前進する際には、上記圧力変化吸収用溝によって、上記潤滑剤の圧力が吸収され、上記ロッドの移動に伴って前方に移動される上記潤滑剤の量が少なくなることでハウジング外部への潤滑剤の流出を防止し、上記ロッドが後退する際には、上記圧力変化吸収用溝に上記潤滑剤が収容され、上記圧力変化吸収用溝を介して適切な量の潤滑剤を上記ロッドの外周面に供給することでハウジング外部への潤滑剤の流出を防止することができる。
　また、請求項２記載のアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記潤滑剤供給部はオリフィスを備えていて、上記圧力変化吸収用溝は上記オリフィスに連通した状態で設けられているため、上記圧力変化を効果的に吸収することができるとともに、上記オリフィスを介して上記潤滑剤供給部から適切な量の潤滑剤を供給することができる。
　また、請求項３記載のアクチュエータによると、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記圧力変化吸収用溝は環状に設けられているため、上記圧力変化をより効果的に吸収することができる。
　また、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記圧力変化吸収用溝よりハウジング外部側には上記ロッドを貫通し上記潤滑剤を保持するソフトワイパが設置されているため、上記ソフトワイパによって上記潤滑剤を保持させることで上記潤滑剤の外部への流出を防止できるとともに、上記ソフトワイパによっても上記ロッド外周面に上記潤滑剤を供給することができる。
　また、請求項５に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングは両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバとから構成されており、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間にはフロントカバ用シール部材が介挿されており、上記リアカバと上記ハウジング本体との間にはリアカバ用シール部材が介挿されているため、容易に上記アクチュエータの組立・分解を行うことができるとともに防塵・防水性を高めることができる。
　また、請求項６に記載されたアクチュエータは、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジング本体内にはアクチュエータ本体が内装されていて、このアクチュエータ本体は、モータと、該モータにより回転されるネジと該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着される上記ロッドと、から構成されているため、より容易に上記アクチュエータの組立・分解を行うことができる。
　また、請求項７に記載されたアクチュエータは、請求項５又は請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられているため、例えば、上記フロントブラケットや上記軸受ブラケットの互いに向かい合う側に溝を形成することによって、複雑な加工を要することなく、容易に上記グリス溜りを形成することができる。
　また、請求項８に記載されたアクチュエータは、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられているため、上記フロントブラケットを取り外すだけで、容易に上記ロッド用シール部材の交換を行うことができる。また、上記フロントブラケットを取り外すだけで上記ロッド用シール部材が除去された状態となるため、上記ロッド用シール部材による摺動抵抗が生じない状態において上記ロッドの軸心調整を容易に行うことができる。
　また、請求項９に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドとロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
　また、請求項１０に記載されたアクチュエータは、請求項９記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
　また、請求項１１に記載されたアクチュエータは、請求項１～請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドと上記ロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
　また、請求項１２に記載されたアクチュエータは、請求項１１記載のアクチュエータにおいて、上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ　Ｌｉｋｅ　Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
　また、請求項１３に記載されたアクチュエータは、請求項６～請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジングの外側からねじ部材を螺合することによりハウジングに固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジングの貫通部にはハウジング用シール部材が設置されているため、より防塵・防水性を高めることができる。
本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの分解斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１におけるＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３におけるＩＶ部の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータに用いられるフロントブラケットの背面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータに用いられる軸受ブラケットとアクチュエータ本体の先端部分をハウジング本体を取り外した状態で示す拡大図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３におけるＶＩＩ－ＶＩＩ断面図である。 本発明の第２の実施の形態を示す図で、アクチュエータの先端部分の拡大断面図である。
　以下、図１乃至図７を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。
　第１の実施の形態によるアクチュエータ１は、図１乃至図３に示すように、まず、ハウジング３を備えている。このハウジング３は、ハウジング本体５と、上記ハウジング本体５の前端側（図３中左側）に設けられたフロントカバ７と、上記ハウジング本体５の後端側（図３中右側）に設けられたリアカバ９と、から構成されている。
　また、上記アクチュエータ１のハウジング３内には、アクチュエータ本体１０が内装されている。
　まず、上記ハウジング本体５について説明する。
　上記ハウジング本体５は、図２、図３に示すように、筒状の部材であり、その前方端（図３中左側端）にはフロント開口部１１ａが形成されていると共に、その後方端（図３中右側端）にはリア開口部１１ｂが形成されている。また、図２に示すように、上記ハウジング本体５の前端面（図２中左下側の面）には、雌ネジ部１３、１３、１３、１３が形成されており、上記ハウジング本体５の後端面（図２中右上側の面）にも、上記雌ネジ部１３、１３、１３、１３と同様の図示しない雌ネジ部が形成されている。また、上記ハウジング本体５の底面１５には、複数の取付ボルト用貫通孔１７が穿孔されている。
　また、図２に示すように、上記ハウジング本体５の底面１５には、取付用溝１６、１６が長さ方向（図２中左下から右上に向かう方向）に延長・形成されている。アクチュエータ１はこれら取付用溝１６、１６を使用して任意の場所に設置される。
　また、図２、図３に示すように、上記ハウジング本体５の上面１９には工具用貫通孔２１ａが穿孔されている。この工具用貫通孔２１ａは、非使用時には、シールキャップ２１ｂによって閉塞されている。このシールキャップ２１ｂは上記ハウジング本体５に対して着脱可能なものとなっており、上記工具用貫通孔２１ａから図示しない治具を挿入する際には取り外される。
　また、上記ハウジング本体５の上面１９にはグリス供給用貫通孔２２ａが穿孔されている。このグリス供給用貫通孔２２ａは、非使用時には、シールキャップ２２ｂによって閉塞されている。このシールキャップ２２ｂは上記ハウジング本体５に対して着脱可能なものとなっており、上記グリス供給用貫通孔２２ａから潤滑剤としてのグリスを供給する際には取り外される。
　次に、フロントカバ７について説明する。
　上記フロントカバ７は、図３、図４に示すように、フロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂとから構成されている。上記フロントブラケット２３ａには、まず、ロッド用貫通孔２５が形成されている。このロッド用貫通孔２５の前端側（図４中左側）には、第１シール部材嵌合部２５ａが形成されており、上記ロッド用貫通孔２５の後端側（図４中右側）には第２シール部材嵌合部２５ｂが形成されている。上記第１シール部材嵌合部２５ａは、前方（図４中左側）に開口しているとともに半径方向内方にも開口されている。一方、上記第２シール部材嵌合部２５ｂは、半径方向内方に向かって開口された環状溝として設けられている。
　また、図４、図５に示すように、上記フロントブラケット２３ａの上記軸受ブラケット２３ｂ側（図４中右側）の面には、グリス溜り用凹部２７ａが形成されている。このグリス溜り用凹部２７ａは、上記ロッド用貫通孔２５の外周側に設けられた環状溝である。また、図４に示すように、上記グリス溜り用凹部２７ａの内側にはグリス溜り用凸部２７ｂが形成されている。また、上記フロントブラケット２３ａの上面側（図４中上側）には、ニップル取付用凹部２９ａが形成されており、その底面側にはニップル取付用貫通孔２９ｂが穿孔されている。また、上記ニップル取付用貫通孔２９ｂと上記グリス溜り用凹部２７ａとは、グリス供給路２９ｃによって連絡されている。また、上記グリス供給路２９ｃと上記ロッド用貫通孔２５とは、グリス供給路（オリフィス）２９ｄによって連絡されている。
　また、上記フロントブラケット２３ａのハウジング本体５側の端面には、シール部材用溝３１が形成されている。また、図２、図５に示すように、上記フロントブラケット２３ａには、ボルト用貫通孔３２、３２、３２、３２が形成されている。
　上記フロントブラケット２３ａの第１シール部材嵌合部２５ａには、第１ロッド用シール部材３３が嵌合されている。第１ロッド用シール部材３３は、例えば、表面硬化処理としてＤｉａｍｏｎｄ　Ｌｉｋｅ　Ｃａｒｂｏｎコーティング（以下、ＤＬＣコーティングと略称する。）が施されたゴム製の部材である。また、上記第１ロッド用シール部材３３は、上記第１シール部材嵌合部２５ａに嵌合される環状部３３ａと、この環状部３３ａの前面側から突出・形成されたダストシール部３３ｂと、から構成されている。また、上記第１ロッド用シール部材３３には、前後方向（図４中左右方向）に延長された貫通孔３３ｃが形成されている。また、上記環状部３３ａの後端側（図４中右側）にはソフトワイパ用嵌合部３３ｄが形成されており、このソフトワイパ用嵌合部３３ｄにソフトワイパ３３ｅが嵌合されている。このソフトワイパ３３ｅは、例えば、フェルト製である。また、上記環状部３３ａ内には、例えば、金属製の環状部材３３ｆが埋設されている。
　なお、上記第１ロッド用シール部材３３の表面硬化処理としてのＤＬＣコーティングは、上記第１ロッド用シール部材３３の内表面、もしくは、全体に施されている。
　また、上記フロントブラケット２３ａの第２シール部材嵌合部２５ｂには、第２ロッド用シール部材３５が嵌合されている。この第２ロッド用シール部材３５は、表面硬化処理としてＤＬＣコーティングが施されたゴム製の部材である。また、上記第２ロッド用シール部材３５は、図４に示すように、Ｘ字型の横断面形状を有するリング状の部材である。
　なお、上記第２ロッド用シール部材３５の表面硬化処理としてのＤＬＣコーティングは、上記第２ロッド用シール部材３５の内表面、もしくは、全体に施されている。
　また、上記第２シール部材嵌合部２５ｂの幅（図４中左右方向長さ、Ｗ１）は、上記第２ロッド用シール部材３５の幅（図４中左右方向長さ、Ｗ２）に対して、若干余裕を持たせたものとなっている。
　また、上記ニップル取付用貫通孔２９ｂ内には、グリスニップル３７が圧入されている。上記グリスニップル３７内にはコイルスプリング３７ｂとボール３７ａが内装されており、常時はこのボール３７ａがコイルスプリング３７ｂによって図４中上側に付勢されていて、上記グリスニップル３７は閉じられている。潤滑剤としてのグリスを供給する場合には、図示しないグリスガンを上記グリスニップル３７に接続し操作レバを操作する。そして、供給されるグリスの圧力によって上記ボール３７ａがコイルスプリング３７ｂのスプリング力に抗して押し下げられ、グリスが上記図示しないグリスガンから上記グリスニップル３７を介して上記グリス供給路２９ｃ内へ注入される。
　上記グリスニップル３７、グリス供給路２９ｃ、及び、グリス供給路（オリフィス）２９ｄによって、潤滑剤供給部が構成されている。
　上記フロントブラケット２３ａは、ボルト３９、３９、３９、３９を上記ボルト用貫通孔３２、３２、３２、３２を貫通させ、ハウジング本体５の前端面（図２中左下側の面）の雌ネジ部１３、１３、１３、１３に螺合することにより、上記ハウジング本体５に固定される。
　また、上記フロントブラケット２３ａのシール部材用溝３１内には、フロントカバ用シール部材４１が嵌合されており、このフロントカバ用シール部材４１は上記フロントブラケット２３ａと上記ハウジング本体５との間に介挿された状態となっている。
　なお、上記フロントカバ用シール部材４１は、装着前はリング形状をなしているが、上記シール部材用溝３１内に嵌合されることにより、図２に示すような形状となる。
　軸受ブラケット２３ｂには、図４に示すように、前後方向（図４中左右方向）に延長された貫通孔４３が形成されている。この貫通孔４３の前端側（図４中左端側）は径が大きくなっておりグリス溜り用凹部４５ａとなっているとともに、その外周側にグリス溜り用凸部４５ｂが形成されている。また、上記軸受ブラケット２３ｂの上記グリス溜り用凸部４５ｂの外周面には段付部が形成されており、この段付部がＯリング用係合部４７となっている。また、図２に示すように、上記軸受ブラケット２３ｂの下部であって左右両側にはボルト用貫通孔４９、４９、４９、４９が形成されている。
　上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとは、上記フロントブラケット２３ａのグリス溜り用凹部２７ａと上記軸受ブラケット２３ｂのグリス溜り用凸部４５ｂとが係合されることで一体となっている。また、上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとが一体化されると、上記グリス溜り用凸部２７ｂと上記グリス溜り用凹部４５ａとの間に、グリス溜り５０が形成される。
　また、上記軸受ブラケット２３ｂのＯリング用係合部４７にはＯリング５１が係合されている。また、このＯリング５１は、上記フロントブラケット２３ａのグリス溜り用凹部２７ａの内周面と上記軸受ブラケット２３ｂのグリス溜り用凸部４５ｂの外周面との間に介挿された状態となっている。また、上記軸受ブラケット２３ｂの貫通孔４３の後端側（図４中右側）には円筒形状の軸受５３が内装されている。
　次に、リアカバ９について説明する。
　上記リアカバ９には、図２、図３に示すように、ハウジング本体５側（図３中左側）に開口された中空部５５が形成されている。また、上記リアカバ９の後端側（図３中右側）には、吸排気ポート用貫通孔５７ａやケーブル用貫通孔５７ｂが形成されている。また、上記リアカバ９のハウジング本体５側（図３中左側）の端面には、シール部材用溝５９が形成されている。また、図２に示すように、上記リアカバ９には、ボルト用貫通孔６１、６１、６１、６１が形成されている。
　上記リアカバ９は、ボルト３９、３９、３９、３９を、上記ボルト用貫通孔６１、６１、６１、６１を貫通させて、ハウジング本体５の後端面（図２中右上側の面）の図示しない雌ネジ部に螺合させることにより、上記ハウジング本体５に固定される。また、上記リアカバ９のシール部材用溝５９内にはリアカバ用シール部材６２が嵌合されており、このリアカバ用シール部材６２は上記リアカバ９と上記ハウジング本体５との間に介挿された状態となっている。
　なお、上記リアカバ用シール部材６２は、装着前にはリング形状をなしているが、上記シール部材用溝５９内に嵌合されることにより、図２に示すような形状となる。
　また、上記吸排気ポート用貫通孔５７ａを貫通して、吸排気ポート６３が設置されている。また、上記ケーブル用貫通孔５７ｂを貫通して、ケーブル６４が設置されている。このケーブル６４は電力線や信号線等が束ねられたものである。
　次に、アクチュエータ本体１０について説明する。
　上記アクチュエータ本体１０には、まず、ベース６５があり、このベース６５は、図７に示すように、その横断面形状がＵ字状をなしている。また、図７に示すように、このベース６５の幅方向（図７中左右方向）両端側の内側面には、長さ方向（図７中紙面垂直方向）に延長されたガイドレール用溝６５ａ、６５ａが形成されている。これらガイドレール用溝６５ａ、６５ａ内には、それぞれガイドレール６５ｂ、６５ｂが圧入されている。これらガイドレール６５ｂ、６５ｂには長さ方向（図７中紙面垂直方向）に延長されたガイド用凹部６５ｃ、６５ｃがそれぞれ形成されている。また、上記ベース６５の底面側（図７中下側）には複数の雌ネジ部６５ｄが形成されている。
　なお、図７では上記複数の雌ネジ部６５ｄのうちの２つが図示されている。
　上記ベース６５とハウジング本体５とは、ボルト６５ｅを上記ハウジング本体５の取付ボルト用貫通孔１７を貫通させて、上記ベース６５の雌ネジ部６５ｄに螺合させることにより固定されている。また、上記ボルト６５ｅの頭部と上記ハウジング本体５との間には、ワッシャ状のハウジング用シール部材６５ｆが介挿されている。
　なお、上記ベース６５とハウジング本体５の位置決めは、図３に示すように、ベース６５側に穿孔された位置決め孔６６とハウジング本体５側に穿孔された位置決め孔５ａに位置決めピン６８を差し込むことにより行われる。位置決めピン６８を差し込んだ上から蓋７０が取り付けられる。
　また、図６に示すように、上記ベース６５の前端面（図６中左下側の面）には、既に説明した軸受ブラケット２３ｂが固定されている。上記ベース６５と上記軸受ブラケット２３ｂとは、４本のボルト６５ｇを上記軸受ブラケット２３ｂのボルト用貫通孔４９、４９、４９、４９を貫通させて、上記ベース６５の図示しない４つの雌ネジ部のそれぞれに螺合させることにより固定されている。
　また、上記軸受ブラケット２３ｂのボルト用貫通孔４９の径は、上記ボルト６５ｇの径に対して、遊びを持たせたものとなっている。そのため、上記軸受ブラケット２３ｂの上記ベース６５に対する取付位置を、上記遊びの範囲内で調整することができるようになっている。また、上記軸受ブラケット２３ｂの上記ベース６５に対する取付位置を調整することで、後述するロッド８５の軸心調整を行うことができるようになっている。
　また、図３に示すように、上記ベース６５の後端部（図３中右端）にはベアリングハウジング６７が設置されている。上記ベアリングハウジング６７は、前端側（図３中左側）と後端側（図３中右側）に開口された中空形状の部材である。上記ベアリングハウジング６７には、ボールベアリング６７ａ、６７ａが内装されている。このボールベアリング６７ａには、外輪６７ｂと、この外輪６７ｂの内側に内装された内輪６７ｃがある。上記外輪６７ｂと上記内輪６７ｃとの間には複数の貫通孔が設けられたリテーナ６７ｄが設置されており、このリテーナ６７ｄの複数の貫通孔内にはそれぞれボール６７ｅが保持されている。この複数のボール６７ｅが転動することで、上記外輪６７ｂに対して上記内輪６７ｃが回転することになる。
　また、前端側（図３中左側）のボールベアリング６７ａの外輪６７ｂは上記ベアリングハウジング６７の内面の前端側（図３中左側）に当接している。また、後端側（図３中右側）のボールベアリング６７ａの後端側（図３中右側）には、ボールベアリング固定部材６７ｆが設置されている。このボールベアリング固定部材６７ｆは、後端側（図３中右側）のボールベアリング６７ａの外輪６７ｂに当接された状態となっている。また、上記ベース６５と上記ベアリングハウジング６７とは、図示しないボルトを、上記ベアリングハウジング６７を貫通させて、上記ベース６５の図示しない複数の雌ネジ部のそれぞれに螺合させることにより固定されている。
　なお、上記ベアリングハウジング６７の貫通孔は上記ボルトに対して遊びを持った寸法になっており、その遊びの範囲内で上記ベアリングハウジング６７の上記ベース６５に対する位置を調整することができるように構成されている。
　また、上記ベアリングハウジング６７の後方（図３中右側）にはモータブラケット６９が設置されている。このモータブラケット６９には貫通孔６９ａが形成されている。また、上記貫通孔６９ａの前端側（図３中左側）は径が大きくなっており、ベアリングハウジング係合部６９ｂとなっている。このベアリングハウジング係合部６９ｂに上記ベアリングハウジング６７の後端側（図３中右側）を係合させることで、上記ベアリングハウジング６７と上記モータブラケット６９とが一体となっている。
　また、上記モータブラケット６９の上部（図３中上側の部分）の前端側（図３中左側）には、セットスクリュ用雌ネジ部６９ｃが形成されている。上記モータブラケット６９と上記ベアリングハウジング６７とは、セットスクリュ７１を、上記モータブラケット６９のセットスクリュ用雌ネジ部６９ｃに螺合させ、上記ベアリングハウジング６７の後端側（図３中右側）の上面（図３中上側の面）を押圧することによって固定されている。そのため、上記セットスクリュ７１を除去するだけで、上記ベアリングハウジング６７から上記モータブラケット６９が分離されるようになっている。
　なお、上記セットスクリュ７１の上記セットスクリュ用雌ネジ部６９ｃへの螺合及び除去は、ハウジング本体５の工具用貫通孔２１ａから挿入される図示しない治具によって行われる。
　また、上記アクチュエータ本体１０にはモータ７３がある。図３に示すように、モータ７３にはモータケース７３ａがあり、このモータケース７３ａの内周側にはステータ７３ｂが固着されている。このステータ７３ｂの内周側には永久磁石からなるロータ７３ｃが回転可能に内装されている。このロータ７３ｃの中心位置には出力軸７３ｄが固着されている。上記モータ７３は、ケーブル６４を介して供給される電力により駆動されるものである。そして、上記ケーブル６４を介して電力が供給されると、ロータ７３ｃ及び出力軸７３ｄが一体的に正転・逆転することになる。
　上記モータ７３のモータケース７３ａの先端側（図３中左端側）は、上記モータブラケット６９の貫通孔６９ａの後端側（図３中右端側）に嵌合されている。また、上記モータブラケット６９と上記モータ７３とは、図示しないボルトを、上記モータブラケット６９に設けられた図示しない貫通孔を貫通させて、上記モータケース７３ａに設けられた図示しない雌ネジ部に螺合させることにより固定されている。また、上記モータ７３の出力軸７３ｄは、上記モータブラケット６９の貫通孔６９ａ内に位置している。
　また、上記モータ７３の後端側（図３中右側）には、エンコーダ７５が設置されている。このエンコーダ７５には、上記モータケース７３ａの後端側（図３中右側）に設置されたエンコーダカバ７５ａがある。このエンコーダカバ７５ａの内部には、上記モータケース７３ａの後端面（図３中右側の面）に、３本の棒状スペーサ７５ｂを介して基板７５ｃが設置されている。この基板７５ｃには、電子部品７５ｄ、７５ｅが実装されている。
　また、上記モータ７３の出力軸７３ｄの上記エンコーダカバ７５ａ内に突出された部分には、コードホイール７５ｆが固着されている。このコードホイール７５ｆの後端面（図３中右側の面）には図示しないエンコーダスケールが表示されている。この図示しないエンコーダスケールにより、上記コードホイール７５ｆの後端面（図３中右側の面）に、反射される反射光の強度が強い部分と弱い部分が提供されている。そして、上記基板７５ｃの電子部品７５ｄ、７５ｅが設けられている面の裏側の面（図３中左側の面）には、図示しない光源とセンサが実装されている。上記光源からの光を上記図示しないエンコーダスケールに照射して、反射された反射光を上記センサにより検出するようになっている。それによって、上記モータ７３の出力軸７３ｄの回転の方向や位置を検出するものである。
　なお、前述したように、セットスクリュ７１を除去するだけで上記ベアリングハウジング６７から上記モータブラケット６９が分離されるようになっているが、上記モータブラケット６９には上記モータ７３及び上記エンコーダ７５が一体となっているので、上記セットスクリュ７１を除去するだけで上記モータブラケット６９、上記モータ７３、及び、上記エンコーダ７５が一体となった部分をアクチュエータ本体１０から分離することが可能となっている。
　図３に示すように、上記モータ７３の出力軸７３ｄの前端側（図３中左側）には、オルダム式カップリングの一部品であるカップリング部材７６ａがセットスクリュ７６ｂによって固着されている。一方、ボールネジ連結部材７７には、オルダム式カップリングの別の一部品であるカップリング部材７６ｃが固着されている。また、上記カップリング部材７６ａと上記カップリング部材７６ｃとの間には、オルダム式カップリングのさらに別の一部品であるカップリング部材７６ｄが介挿・係合されており、これにより、上記モータ７３の出力軸７３ｄと上記ボールネジ連結部材７７とが連結されている。また、上記カップリング部材７６ａ、７６ｃ、７６ｄは上記モータブラケット６９の貫通孔６９ａ内に設置されている。
　また、ボールネジ連結部材７７は、上記ベアリングハウジング６７に内装されたボールベアリング６７ａ、６７ａの内輪６７ｃ、６７ｃに圧入されている。
　そして、上記ボールネジ連結部材７７には接続穴７７ａが形成されており、この接続穴７７ａにボールネジ７８が圧入・固定されている。すなわち、ボールネジ７８は、ネジ部７８ａと後端側（図３中右側）の接続部７８ｂとから構成されていて、上記接続部７８ｂが上記ボールネジ連結部材７７の接続穴７７ａ内に圧入されている。上記ボールネジ７８のネジ部７８ａの外周面には雄ネジ部７８ｃが形成されている。
　上記ボールネジ７８には図示しない雌ネジ部を備えたボールナット７９が螺合・配置されている。このボールナット７９には、まず、ボールナット本体７９ａがあり、このボールナット本体７９ａの前後端（図３中左右両側端）には、エンドキャップ７９ｃ、７９ｃがそれぞれ設置されている。上記ボールナット本体７９ａには図示しない無負荷循環路が形成されているとともに、上記エンドキャップ７９ｃ、７９ｃには図示しないリターン路がそれぞれ形成されている。そして、上記ボールネジ７８を回転させることにより上記ボールナット７９が往復動し、その際、上記ボールネジ７８の雄ネジ部７８ｃと上記ボールナット７９の図示しない雌ネジ部の間、上記一方のエンドキャップ７９ｃのリターン路、上記無負荷循環路、上記他方のエンドキャップ７９ｃのリターン路を介して図示しない複数のボールが循環し、それによって、ボールナット７９の円滑な往復動が実現される。
　上記ボールナット７９には、ロッド連結部材８１が固着されている。このロッド連結部材８１の内部に上記ボールネジ７８が同軸に内装されている。また、上記ロッド連結部材８１の前端側（図３中左側）には、雌ネジ部８１ａが形成されている。
　また、上記ロッド連結部材８１の上部（図３中上側部分）には、上記ロッド連結部材８１を貫通してグリスニップル８１ｂが設置されている。このグリスニップル８１ｂは、上記ボールナット７９の図示しない無負荷循環路に連通されている。
　上記グリスニップル８１ｂ内には図示しないコイルスプリングとボール８１ｂ′が内装されており、常時はこのボール８１ｂ′がコイルスプリングによって図３中上側に付勢されていて、上記グリスニップル８１ｂは閉じられている。潤滑剤としてのグリスを供給する場合には、まず、グリス供給用貫通孔２２ａからハウジング３内に挿入した図示しないグリスガンを上記グリスニップル８１ｂに接続して操作レバを操作する。供給されるグリスの圧力によりボール８１ｂ′がコイルスプリングのスプリング力に抗して押し下げられ、グリスの注入が開始される。グリスは上記グリスニップル８１ｂを介して上記ボールナット７９の図示しない無負荷循環路内に注入される。
　また、上記ロッド連結部材８１には、被ガイド部８３が固着されている。また、図７に示すように、上記被ガイド部８３には、まず、被ガイド部本体８３ａがあり、この被ガイド部本体８３ａの幅方向両側（図７中左右方向両側）の端面には、図示しない凹部が前後方向（図７中紙面垂直方向）に延長・形成されている。また、上記被ガイド部本体８３ａの幅方向両側（図７中左右方向両側）であって上記図示しない凹部の内側には、それぞれ図示しない無負荷循環路が形成されている。
　また、上記被ガイド部本体８３ａの幅方向の一端側（図７中左側）であって前後方向（図７中紙面垂直方向）両端には、エンドキャップ８３ｂ、８３ｂが設置されており、上記被ガイド部本体８３ａの幅方向の他端側（図７中右側）であって前後方向（図７中紙面垂直方向）両端には、エンドキャップ８３ｃ、８３ｃが設置されている。これらエンドキャップ８３ｂ、８３ｂ、８３ｃ、８３ｃには、図示しないリターン路が形成されている。
　そして、幅方向の一端側（図７中左側）の上記図示しない無負荷循環路と、上記エンドキャップ８３ｂ、８３ｂの図示しないリターン路と、幅方向の一端側（図７中左側）の上記図示しない凹部と前記した幅方向の一端側（図７中左側）のガイドレール６５ｂのガイド用凹部６５ｃとの間の空間には、図示しない複数のボールが循環する。また、幅方向の他端側（図７中右側）の上記図示しない無負荷循環路と、上記エンドキャップ８３ｃ、８３ｃの図示しないリターン路と、幅方向の他端側（図７中右側）の上記図示しない凹部と前記した幅方向の他端側（図７中右側）のガイドレール６５ｂのガイド用凹部６５ｃとの間の空間にも、図示しない複数のボールが循環する。
　上記したような被ガイド部８３によって、上記ボールナット７９が、前後方向（図７中紙面垂直方向）に円滑にガイドされる。
　また、上記ボールネジ７８が回転された際、上記ボールナット７９の回転が上記被ガイド部８３を介して上記ベース６５によって規制され、上記ボールナット７９は上記ボールネジ７８の長さ方向（図３中左右方向）両側に移動することになる。
　また、上記ロッド連結部材８１にはロッド８５が連結されている。このロッド８５は、中空円筒形状のロッド本体８５ａと、該ロッド本体８５ａの先端側に設置された対象物取付部材８５ｂとから構成されている。上記ロッド本体８５ａの後端側（図３中右端側）の外周面には雄ネジ部８５ｃが形成されている。そして、上記雄ネジ部８５ｃが上記ロッド連結部材８１の雌ネジ部８１ａに螺合されることで、上記ロッド８５は上記ロッド連結部材８１に連結されている。
　また、上記ロッド本体８５ａの前端側（図３中左端側）の内周面には雌ネジ部８５ｄが形成されている。一方、上記対象物取付部材８５ｂの後端側（図３中右端側）には雄ネジ部８５ｅが形成されている。そして、上記ロッド本体８５ａの雌ネジ部８５ｄに上記対象物取付部材８５ｂの雄ネジ部８５ｅが螺合されることで、上記ロッド本体８５ａに上記対象物取付部材８５ｂが取り付けられている。
　また、上記ロッド本体８５ａの外周面には、表面硬化処理として、硬質クロムメッキが施されている。
　また、上記ロッド８５内に上記ボールネジ７８が同軸に収容されている。
　上記対象物取付部材８５ｂの先端側には雄ネジ部８５ｆが形成されている。この雄ネジ部８５ｆに対して、図示しない対象物の雌ネジ部が螺合されることで、上記ロッド８５に対する上記図示しない対象物の取り付けが行われる。
　また、上記ロッド８５は、軸受ブラケット２３ａに内装された軸受５３、フロントブラケットのロッド用貫通孔２５、第２ロッド用シール部材３５、ソフトワイパ３３ｅ、及び、第１ロッド用シール部材３３を貫通して、ハウジング３外部へと突出している。また、上記ロッド８５は、上記第１ロッド用シール部材３３、上記第２ロッド用シール部材３５、上記ソフトワイパ３３ｅ、及び、上記軸受５３の内周面に摺動可能に接触している。
　また、図４に示すように、上記ロッド用貫通孔２５の内周面には、圧力変化吸収用溝８６が形成されている。この圧力変化吸収用溝８６は上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の間に環状に形成されている。また、この圧力変化吸収用溝８６は、既に説明したグリス供給路（オリフィス）２９ｄに連通した状態で設けられている。上記圧力変化吸収用溝８６は、その内部にグリスを収容することで上記ロッド８５が進退する際に生ずるグリスの圧力変化を吸収するためのものであり、それによって、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間を介したハウジング３外部へのグリスの流出が防止されるとともに、潤滑剤供給部より適切な量のグリスが上記ロッド８５の外周面に供給されることになる。
　また、上記圧力変化吸収用溝８６内の全てが上記グリスで満たされているわけではなく、一部空気層が形成されている。
　次に、第１の実施の形態によるアクチュエータ１の作用について説明する。
　まず、上記アクチュエータ１の動作について説明する。
　ケーブル６４の図示しない信号線を介して伝達される動作指示により、モータ７３が駆動されると、その出力軸７３ｄが動作指示に従った方向・速度にて回転される。上記出力軸７３ｄの回転は、カップリング部材７６ａ、７６ｃ、７６ｄからなるオルダム式カップリング、及び、ボールネジ連結部材７７を介してボールネジ７８に伝達され、上記ボールネジ７８も上記出力軸７３ｄと同じ方向・速度にて回転される。
　その際、上記ボールネジ７８に螺合されたボールナット７９は上記ボールネジ７８の長さ方向（図３中左右方向）の何れかの方向に移動する。これは、上記ボールナット７９は上記ボールネジ７８の回転力によって、上記ボールネジ７８の回転方向と同方向に回転しようとするが、上記ボールナット７９に接続された被ガイド部８３がベース６５のガイドレール６５ｂ、６５ｂによって長さ方向（図３中左右方向）にガイドされるため、上記ボールネジ７８の回転による上記ボールナット７９の回転が規制されているからである。そして、上記ボールナット７９の移動によって、ロッド８５及びこのロッド８５に取り付けられた図示しない対象物も、上記ボールネジ７８の長さ方向（図３中左右方向）に移動されることになる。
　次に、アクチュエータ１の動作中にグリスがどのような経路で供給されているか、等について説明する。まず、フロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂとの間にグリス溜り５０が形成されている。このグリス溜り５０内には図示しないグリスが保持されている。このグリスは、グリス供給路２９ｃ、２９ｄを通過して圧力変化吸収用溝８６内に入り、そこから、上記ロッド８５の移動によって、第２ロッド用シール部材３５よりも前方側（図４中左側）のロッド用貫通孔２５の内周面と上記ロッド８５の外周面との間に供給される。また、上記グリス溜り５０から直接上記ロッド８５の外周面にグリスが供給され、そこから、上記ロッド８５の移動によって、上記第２ロッド用シール部材３５よりも後方側（図４中右側）のロッド用貫通孔２５及び軸受５３の内周面と上記ロッド８５の外周面との間に供給される。これらの作用によって、上記ロッド８５の移動を円滑なものとする。
　なお、上記ロッド８５の外周面と上記第２ロッド用シール部材３５とは密着しており、上記グリスは殆ど通過することができない。
　また、上記グリスは、上記ロッド用貫通孔２５と上記ロッド８５の外周面との間を移動してソフトワイパ３３ｅに保持される。これによって、上記ロッド８５の外周面と第１ロッド用シール部材３３との間からのグリスの流出が防止される。また、上記ソフトワイパ３３ｅによって保持されたグリスも上記ロッド８５の外周面に適宜供給されることになる。
　なお、上記グリス溜り５０及び上記圧力変化吸収用溝８６内へのグリスの補充は、グリスニップル３７を介して行われる。
　また、上記ボールナット７９の図示しない無負荷循環路内もグリスが充填されている。このグリスによって、上記ボールネジ７８の螺旋状の雄ネジ部７８ｃと上記ボールナット７９の図示しない雌ネジ部との間の空間における図示しない複数のボールの転動が円滑なものとなっている。上記ボールナット７９の図示しない無負荷循環路内へのグリスの補充はハウジング本体５のグリス補充用貫通孔２２ａ及びロッド接続部材８１のグリスニップル８１ｂを介して行われる。
　次に、上記ロッド８５の軸心調整について説明する。この第１の実施の形態の場合には、上記ロッド８５の移動を円滑なものとするため、組立時に、上記ロッド８５の軸心調整が行われる。
　すなわち、図６に示すように、フロントブラケット２３ａ、第１ロッド用シール部材３３、ソフトワイパ３３ｅ、及び、第２ロッド用シール部材３５が取り付けられる前であって、４本のボルト６５ｇが締め付けられる前の段階では、上記軸受ブラケット２３ｂをボルト用貫通孔４９の遊びの範囲内で自由に移動させることができる状態になっている。同様に、ベアリングハウジング６７についても、図示しないボルトを締め付ける前の段階では、ベース６５に対して遊びの範囲内で自由に移動させることができる状態になっている。
　その状態で、まず、ロッド８５を図３中右側に押し込んでボールナット７９及びロッド連結部材８１を図３中右端に移動させる。この状態で図示しないボルトを軽く締めて、ベアリングハウジング６７をベース６５に仮止めする。
　次に、ロッド８５を図３中左側に引き出してボールナット７９及びロッド連結部材８１を図３中左端に移動させる。この状態で、４本のボルト６５ｇを軽く締めて、軸受ブラケット２３ｂをベース６５に仮止めする。
　その状態で、上記ロッド８５を軸方向に適宜移動させてその円滑度をみながら、上記ベアリングハウジング６７、軸受ブラケット２３ｂの取付位置を決定する。そして、上記図示しないボルト、ボルト６５ｇを締め付けて上記ベアリングハウジング６７、軸受ブラケット２３ｂを所望の位置にて固定する。
　次に、上記アクチュエータ１のシール構造の作用について説明する。
　図４に示すように、まず、ハウジング本体５とフロントブラケット２３ａとの間にはフロントカバ用シール部材４１が介挿されているとともに、上記ハウジング本体５とリアカバ９との間にはリアカバ用シール部材６２が介挿されている。これらフロントカバ用シール部材４１と上記リアカバ用シール部材６２とによって、上記ハウジング本体５の両端面におけるハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が防止されている。
　また、図７に示すように、ボルト６５ｅの頭部と上記ハウジング本体５との間には、ワッシャ状のハウジング用シール部材６５ｆが介挿されている。このハウジング用シール部材６５ｆによって、上記ハウジング本体５の貫通孔１７を介しての上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が防止されている。
　また、図４に示すように、上記フロントブラケット２３ａには第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５が設置されている。これら第１ロッド用シール部材３３及び第２ロッド用シール部材３５によって、上記ハウジング３のロッド８５が貫通する部分における上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が防止されている。
　この点にさらに詳しく説明する。上記第１ロッド用シール部材３３はロッド用貫通孔２５の外部側（図３中左側）に設置されているとともに、上記第２ロッド用シール部材３５は上記ロッド用貫通孔２５の内部側（図３中右側）に設置されている。そのため、仮に、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間から異物や水滴等が侵入したとしても、上記第２ロッド用シール部材３５によって、上記異物や水滴等の上記ハウジング３内部への更なる侵入は防止される。つまり、二段階で上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が防止されていることになる。
　また、図４に示すように、上記第１ロッド用シール部材３３の内周面の後端側（図３中右側）にはソフトワイパ３３ｅが設置されている。このソフトワイパ３３ｅによっても、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５との間において、所望のシール機能を発揮するとともに、上記異物や水滴等を捕捉するようになっている。
　また、図４に示すように、上記第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５は、上記ハウジング３内部から外部への、図示しないグリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止するようにもなっている。また、上記ソフトワイパ３３ｅによっても、上記ハウジング３外部への上記グリスや上記摩耗粉等の異物の流出を防止するようになっている。
　また、上記フロントブラケット２３ａのグリス溜り用凹部２７ａの内周面と上記軸受ブラケット２３ｂのグリス溜り用凸部４５ｂの外周面との間にＯリング５１が介挿されている。このＯリング５１によって、グリス溜り５０内の図示しないグリスの流出を防止している。
　次に、グリスの供給について詳しく説明する。
　まず、グリスニップル３７に図示しないグリスガンが接続されると、供給されるグリスの圧力によって、上記グリスニップル３７内のボール３７ａがコイルスプリング３７ｂのスプリング力に抗して押し下げられる。そして、上記グリスニップル３７を介してグリス供給路２９ｃ内にグリスが注入される。
　上記グリス供給路２９ｃ内に注入された上記グリスはさらにグリス溜り５０内に注入されるとともに、グリス供給路（オリフィス）２９ｄを介して、圧力変化吸収用溝８６内にも注入される。
　そして、前述したように、上記グリス溜り５０及び上記圧力変化吸収用溝８６から、上記ロッド８５の外周面へと上記グリスが供給されることになる。
　また、上記圧力変化吸収用溝８６内が上記グリスで充満されるようなことはなく、上記圧力変化吸収用溝８６内には空気層が形成される。
　次に、グリスがどのような経路で供給されているか、等について、さらに詳しく説明する。
　図４に示すように、上記ロッド８５が前進（図４中左側）する際には、上記ロッド８５の移動と上記ロッド８５の移動に伴う上記第２ロッド用シール部材３５の前方側（図４中左側）への移動により、上記グリスが前方側（図４中左側）に付勢され、上記グリスの圧力変化が発生する。その際、前方側へ移動された上記グリスの一部が上記圧力変化吸収用溝８６内に入り、グリスの圧力変化が吸収される。また、圧力変化吸収用溝８６内の空気層は圧縮されることになる。そのため、上記圧力変化吸収用溝８６より前方側（図４中左側）へと移動される上記グリスの量が少なくなり、ソフトワイパ３３ｅによって保持できる程度となる。これにより、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間を介したハウジング３外部へのグリスの流出が防止される。
　また、上記ロッド８５が後退する際には、第２ロッド用シール部材３５も後方側（図４中右側）に移動されるとともに、その幅（図４中左右方向長さ）が小さくなるように変形される。そのため、上記第２ロッド用シール部材３５と第２シール部材嵌合部２５ｂの前側の面（図４中左側の面）との間に隙間が生じる。そして、この隙間にグリスが入り込む。このグリスの移動により、上記圧力変化吸収用溝８６の空気層の空気圧が減少し、その結果、グリス供給路２９ｃやグリス溜り５０から、グリス供給路（オリフィス）２９ｄを介してグリスが供給されることになる。このグリスは上記圧力変化吸収用溝８６内で収容されることになるので、上記ロッド８５の外周面に過剰なグリスが供給されることはない。また、上記ソフトワイパ３３ｅによって保持し切れない量のグリスが供給されることもない。
　また、上記のようにハウジング３内は密閉されているため、上記ボールナット７９及びロッド８５の移動が阻害されてしまうことが懸念される。これに対しては、吸排気ポート６３を介して、上記ハウジング３内への外気の取り込み、又は、上記ハウジング３内の空気の外部への排出を行うことで、上記ボールナット７９及びロッド８５の移動が阻害されないようにしている。
　次に、第１の実施の形態によるアクチュエータ１の効果について説明する。
　まず、ロッド用貫通孔２５の第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５の間の内周面には圧力変化吸収用溝８６が形成されている。ロッド８５が前進する際には、上記ロッド８５の移動と上記ロッド８５の移動に伴う上記第２ロッド用シール部材３５の前方側（図４中左側）への移動により、上記グリスが前方側（図４中左側）に付勢され、上記グリスの圧力変化が発生する。しかし、前方側へ移動された上記グリスの一部が上記圧力変化吸収用溝８６内に入り、上記グリスの圧力変化が吸収される。その際、圧力変化吸収用溝８６内の空気層は圧縮されることになる。そのため、上記圧力変化吸収用溝８６より前方側（図４中左側）へと移動される上記グリスの量が少なくなり、ソフトワイパ３３ｅによって保持できる程度となる。これにより、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間を介したハウジング３外部へのグリスの流出を防止することができる。
　また、上記ロッド８５が後退する際には、第２ロッド用シール部材３５も後方側（図４中右側）に移動されるとともに、その幅（図４中左右方向長さ、Ｗ２）が小さくなるように変形される。そのため、上記第２ロッド用シール部材３５と第２シール部材嵌合部２５ｂの前側の面（図４中左側の面）との間に隙間が生じる。そして、この隙間にグリスが入り込む。このグリスの移動により、上記圧力変化吸収用溝８６の空気層の空気圧が減少し、その結果、グリス供給路２９ｃやグリス溜り５０から、グリス供給路（オリフィス）２９ｄを介してグリスが供給されることになるが、このグリスは上記圧力変化吸収用溝８６内で収容されることになるので、上記ロッド８５の外周面に過剰なグリスが供給されることはない。また、上記ソフトワイパ３３ｅによって保持し切れない量のグリスが供給されることもない。これによって、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間を介したハウジング３外部へのグリスの流出を防止することができる。
　また、上記ハウジング本体５の両端面においては、フロントカバ７、リアカバ９が、接着ではなく、ボルト３９を介しての着脱可能な取付構造になっているので、ハウジング３の分解・組み立てが行い易いものとなっている。
　また、ハウジング本体５とフロントブラケット２３ａとの間にはフロントカバ用シール部材４１が介挿されているとともに、上記ハウジング本体５とリアカバ９との間にはリアカバ用シール部材６２が介挿されているため、上記ハウジング本体５の両端面におけるハウジング３内部への異物や水滴等の侵入が確実に防止され、上記アクチュエータ１の防塵・防水性能を高めることができる。
　また、上記フロントブラケット２３ａには第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５が設置されているため、この第１ロッド用シール部材３３及び第２ロッド用シール部材３５によって、上記ハウジング３のロッド８５が貫通する部分における上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入を防止することができる。
　また、上記第１ロッド用シール部材３３はロッド用貫通孔２５の外部側（図３中左側）に設置されているとともに、上記第２ロッド用シール部材３５はロッド用貫通孔２５の内部側（図３中右側）にも設置されている。そのため、仮に、上記第１ロッド用シール部材３３と上記ロッド８５との隙間から異物や水滴等が侵入したとしても、上記第２ロッド用シール部材３５によって、上記異物や水滴等の上記ハウジング３内への更なる侵入を防止することができる。つまり、二段階で上記異物や水滴等の上記ハウジング３内への更なる侵入を防止することができる。
　また、上記第１ロッド用シール部材３３の内周面の後端側（図３中右側）にはソフトワイパ３３ｅが設置されているため、このソフトワイパ３３ｅによって上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５との間において、シール機能を発揮させることができるとともに、上記異物や水滴等を捕捉することができる。
　また、上記第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５は、上記ハウジング３内部から外部への、図示しないグリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することもできる。また、前述した上記ハウジング３外部からの異物や水滴等の侵入の場合と同様、上記第１ロッド用シール部材３３と第２ロッド用シール部材３５の２段階のロッド用シール部材が設置されているため、より確実に上記グリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することができる。また、上記ソフトワイパ３３ｅによっても、上記ハウジング３外部への上記グリスや上記ハウジング３内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することができる。
　このように、上記第１ロッド用シール部材３３、上記第２ロッド用シール部材３５、及び、上記ソフトワイパ３３ｅによって、上記アクチュエータ１の防塵・防水性能を高めることができる。
　また、上記ソフトワイパ３３ｅはグリスを保持するため、上記ソフトワイパ３３ｅによって上記ロッド８５の外周面に上記グリスを供給することができる。
　また、上記第２ロッド用シール部材３５は、Ｘ字型の断面形状を有するリング状の部材であり、前端側（図４中左側）と後端側（図４中右側）の二箇所においてロッド８５と接触しているため、防塵・防水性能を高めることができる。また、上記第２ロッド用シール部材３５はロッド８５との接触面積が少ないため、摺動抵抗を低減させることができる。
　また、上記ボルト６５ｅの頭部と上記ハウジング本体５との間にはハウジング用シール部材６５ｆが介挿されているため、貫通孔１７における上記ハウジング３内部への異物や水滴等の侵入を確実に防止し、上記アクチュエータ１の防塵・防水性能を高めることができる。
　また、フロントカバ７はフロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂとから構成されており、上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとの間にグリス溜り５０が形成されるようになっているため、複雑な加工を要することなく、容易に上記グリス溜り５０を形成することができる。
　また、上記グリス溜り５０内に保持されたグリスによって、上記ロッド８５の移動を円滑にすることができる。また、ソフトワイパ３３ｅによって第１ロッド用シール部材３３側においてもグリスが保持されるので、上記ロッド８５の移動をより円滑なものとすることができる。
　また、上記フロントブラケット２３ａ側に上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の両方が設置されているため、上記フロントブラケット２３ａのみを取り外すことによって、容易に上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の交換を行うことができる。
　また、軸心調整の段階では、上記フロントブラケット２３ａ、第１ロッド用シール部材３３、ソフトワイパ３３ｅ、及び、第２ロッド用シール部材３５は取り付けられていないので、上記ロッド８５を軸方向に移動させる際にもそれらによる摩擦抵抗の影響はなく、上記ロッド８５の軸心調整を容易に行うことができる。
　また、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５には表面硬化処理としてＤＬＣコーティングが施されていると共に、ロッド８５の外周面には表面硬化処理として硬質クロムメッキが施されている。そのため、上記第１ロッド用シール部材３３及び上記第２ロッド用シール部材３５と上記ロッド８５間の摩擦係数を減少させてアクチュエータ１の滑らかな動作を実現することができるとともに、上記第１ロッド用シール部材３３、上記第２ロッド用シール部材３５、及び、上記ロッド８５の耐摩耗性を高めることができる。
　また、ベース６５にベアリングハウジング６７、モータブラケット６９、モータ７３、ボールネジ７８、ボールナット７９、ロッド８５等が一体とされることでアクチュエータ本体１０が構成されているため、ハウジング３内への上記アクチュエータ本体１０の内装及び上記ハウジング３内からの上記アクチュエータ本体１０の取り出しによって容易に上記アクチュエータの組立・分解を行うことができる。
　また、上記モータブラケット６９と上記ベアリングハウジング６７とは、セットスクリュ７１によって固定されている。そのため、上記セットスクリュ７１を除去するだけで、上記モータブラケット６９、モータ７３、及び、エンコーダ７５が一体になった部分をアクチュエータ本体１０から容易に分離することができる。また、上記ハウジング３のリアカバ９を取り外せば、上記モータブラケット６９、上記モータ７３、及び、エンコーダ７５が一体になった部分を容易に上記ハウジング３外に取り出すことができ、上記モータ７３や上記エンコーダ７５等の修理・交換を容易なものとすることができる。
　次に、図８を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
　まず、この第２の実施の形態によるアクチュエータ８７の構成について説明する。
　第２の実施の形態によるアクチュエータ８７は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と略同様の構成となっているが、フロントカバ８９は、前述した第１の実施の形態におけるフロントカバ７のように、フロントブラケット２３ａと軸受ブラケット２３ｂの２つの部材からなる構成ではなく、１つの部材から構成されている。そのため、前述した第１の実施の形態におけるフロントカバ７に存在していたグリス溜り５０は形成されていない。
　また、１つの部材から構成されているため、上記フロントカバ８９には、前述した第１の実施の形態において上記フロントブラケット２３ａと上記軸受ブラケット２３ｂとの間に設けられていたＯリング５１も設置されていない。
　また、この第２の実施の形態の場合には、ロッド用貫通孔２５は上記フロントカバ８９の全体を貫通する貫通孔であり、その後端側（図８中右端側）に軸受５３が設置された構成となっている。
　なお、その他の構成については、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様であり、第１の実施の形態の場合と同一部分には同一の符号を付すとともにその説明を省略する。
　次に、第２の実施の形態によるアクチュエータ８７の作用について説明する。
　第２の実施の形態によるアクチュエータ８７も、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と略同様の作用を奏する。
　ただし、上記アクチュエータ８７においては、フロントカバ８９のグリス溜りがないため、上記グリス溜りにおけるグリスの保持や上記グリス溜りからのグリスの供給は行われない。
　なお、穴加工等を行うことによりグリス溜りを設けることは可能である。
次に、第２の実施の形態によるアクチュエータ８７の効果について説明する。
　第２の実施の形態によるアクチュエータ８７も、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と略同様の効果を奏することができる。
　さらに、フロントカバ８９が単一部材から構成されているので、部品点数が減少し、部品管理が容易になるとともに、製造コストの低減を図ることができる。また、構成も簡略化される。
　なお、本発明は、前述の第１、第２の実施の形態に限定されない。
　まず、前述の第１、第２の実施の形態においては、ロッド用シール部材として、第１ロッド用シール部材３３や第２ロッド用シール部材３５の２つのロッド用シール部材が設けられているが、ロッド用シール部材を３つ以上設けることも考えられる。
　また、前記第１、第２の実施の形態の場合には、被ガイド部８３がガイドレール６５ｂ、６５ｂに対して、転がりで摺動自在にガイドされる構成を例に挙げて説明したが、リニアガイドのようなものでもよい。
　また、前述の第１、第２の実施の形態では、圧力変化吸収用溝８６は環状溝であったが、これを周方向に断続的に設けてもよい。
　但し、断続的に設けた複数の溝のうち、少なくとも一つはグリス供給路（オリフィス）２９ｄに連通させておく必要がある。
　また、軸方向に複数の圧力変化吸収用溝８６を設けることも考えられる。
　また、圧力変化吸収用溝８６の形状や大きさについては、これを特に限定するものではない。
　また、ロッド本体８５ａや第１ロッド用シール部材３３や第２ロッド用シール部材３５に施される表面硬化処理には、様々な種類のものが考えられる。
　また、前述の第１、第２の実施の形態の場合には、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の両方に表面硬化処理としてのＤＬＣコーティングを施しているが、上記第１ロッド用シール部材３３と上記第２ロッド用シール部材３５の何れか一方のみに表面硬化処理としてのＤＬＣコーティングを施すことも考えられる。
　また、上記ロッド本体８５ａ側のみに表面硬化処理を施すことや、上記第１ロッド用シール部材３３や上記第２ロッド用シール部材３５側のみに表面硬化処理を施すことも考えられる。その他、本願発明は、図示した構成に限定されず、様々な変形が考えられる。
　本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータに係り、特に、ロッドの進退に伴う圧力変化を吸収する圧力変化吸収用溝を設けることにより、上記ロッドの前進／後退時におけるハウジング外部への潤滑剤の流出を防止することができるように工夫したものに関し、例えば、食品製造用ロボットに用いられるアクチュエータに好適である。
　１　アクチュエータ
　３　ハウジング
　５　ハウジング本体
　７　フロントカバ
　９　リアカバ
　１０　アクチュエータ本体
　１１ａ　フロント開口部
　１１ｂ　リア開口部
　２３ａ　フロントブラケット
　２３ｂ　軸受ブラケット
　２９ｄ　グリス供給路（オリフィス）
　３３　第１ロッド用シール部材
　３３ｅ　ソフトワイパ
　３５　第２ロッド用シール部材
　４１　フロントカバ用シール部材
　５０　グリス溜り
　６２　リアカバ用シール部材
　７３　モータ
　７８　ボールネジ
　６５ｆ　ハウジング用シール部材
　７９　ボールナット
　８５　ロッド
　８６　圧力変化吸収用溝
　８７　アクチュエータ
　８９　フロントカバ
 

Claims (13)

  1. ロッド用貫通孔が設けられたハウジングと、
    　上記ロッド用貫通孔を貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され進退駆動されるロッドと、
    　上記ロッド用貫通孔のハウジング外部側に設置された第１ロッド用シール部材と、
    　上記ロッド用貫通孔のハウジング内部側に設置された第２ロッド用シール部材と、
    　上記ハウジングに設けられ上記ロッド用貫通孔に潤滑剤を供給する潤滑剤供給部と、
    　上記ロッド用貫通孔の上記第１ロッド用シール部材と上記第２ロッド用シール部材との間であって上記潤滑剤供給部に連通した状態で設けられ空気層が形成されるとともに上記ロッドの進退に伴う圧力変化を吸収する圧力変化吸収用溝と、
    　を具備したことを特徴とするアクチュエータ。
  2. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
    　上記潤滑剤供給部はオリフィスを備えていて、
    　上記圧力変化吸収用溝は上記オリフィスに連通した状態で設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
  3. 請求項２記載のアクチュエータにおいて、
    　上記圧力変化吸収用溝は環状に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
  4. 請求項１～請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    　上記圧力変化吸収用溝よりハウジング外部側には上記ロッドを貫通し上記潤滑剤を保持するソフトワイパが設置されていることを特徴とするアクチュエータ。
  5. 請求項１～請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    　上記ハウジングは両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバとから構成されており、
    　上記フロントカバと上記ハウジング本体との間にはフロントカバ用シール部材が介挿されており、
    　上記リアカバと上記ハウジング本体との間にはリアカバ用シール部材が介挿されていることを特徴とするアクチュエータ。
  6. 請求項５記載のアクチュエータにおいて、
    　上記ハウジング本体内にはアクチュエータ本体が内装されていて、
    　このアクチュエータ本体は、モータと、該モータにより回転されるネジと該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着される上記ロッドと、から構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
  7. 請求項５又は請求項６記載のアクチュエータにおいて、
    　上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、
    　上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
  8. 請求項７記載のアクチュエータにおいて、
    　上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
  9. 請求項１～請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    　上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。
  10. 請求項９記載のアクチュエータにおいて、
    　上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであることを特徴とするアクチュエータ。
  11. 請求項１～請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    　上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。
  12. 請求項１１記載のアクチュエータにおいて、
    　上記第１ロッド用シール部材及び第２ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ　Ｌｉｋｅ　Ｃａｒｂｏｎ）コーティングであることを特徴とするアクチュエータ。
  13. 請求項６～請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
    　上記アクチュエータ本体はハウジングの外側からねじ部材を螺合することによりハウジングに固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジングの貫通部にはハウジング用シール部材が設置されていることを特徴とするアクチュエータ。
     
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