WO2015012293A1 - 外部灌流型の中空糸膜モジュール及び前記モジュールを有するインクジェットプリンタ - Google Patents

Abstract

　複数の中空糸膜からなる中空糸膜束と、前記中空糸膜束を収納するケースと、を備え、前記中空糸膜束が、その一端部でポッティング部により前記ケース内に開口状態で固定され、前記中空糸膜の外表面から前記ケース内の液体に含まれる気体を前記中空糸膜の内部に取り込んで脱気を行う外部灌流型の中空糸膜モジュールに関する。

Description

外部灌流型の中空糸膜モジュール及び前記モジュールを有するインクジェットプリンタ

　本発明は、外部灌流型の中空糸膜モジュール及び前記モジュールを有するインクジェットプリンタに関する。
　本願は、２０１３年７月２４日に、日本に出願された特願２０１３－１５３８６５号、及びに２０１３年７月２４日に、日本に出願された特願２０１３－１５３８６６号基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　中空糸膜を用いるモジュール（以下、中空糸膜モジュールと呼ぶ。）は従来から知られている。中空糸膜モジュールには、液体の通過経路の違いから、中空糸膜の内部を液体が通過する内部灌流型のものと、中空糸膜の周囲（外部）を液体が通過する外部灌流型のものとがある。特許文献１及び特許文献２には、外部灌流型の中空糸膜モジュールを用いた脱気モジュールが開示されている。

　こうした中空糸膜モジュールは、例えば、インクジェット吐出装置や純水製造装置等に備え付けられる場合がある。インクジェット吐出装置の中でも、業務向けの大型インクジェットプリンタ、カラーフィルタ製造装置等では、使用する薬液の液量が多いため、薬液タンクが装置本体に据え置かれており、インクジェット吐出装置の動作時において、薬液タンクからインクやフォトレジスト液等の薬液が送り出される。この際、薬液に気泡が含まれると、吐出精度が低下し、印刷物の品質に欠陥が生じる場合があり、これを防止するため、脱気モジュールが設けられる場合がある。

特開２００８－３００２３号公報 特開２０１２－１６１７９３号公報

　特許文献１及び特許文献２に開示された中空糸膜モジュールは、中空糸膜（中空繊維部材、中空ファイバー）を直線状に延びる状態に配置して、その両端部をポッティング部に連結するものである。しかしながら、この構成であると、例えば、中空糸膜の密度を増加させた場合に、中空糸膜間に液体が入り込み難くなる場合が生じる可能性があり、脱気等を効率的に行うことが困難となる場合が生じる可能性がある。

　本発明は上述の実情に鑑みてなされたものであり、効率良く脱気等を行うことができる外部灌流型の中空糸膜モジュールを提供することを目的とする。

　本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）複数の中空糸膜からなる中空糸膜束と、前記中空糸膜束を収納するケースと、を備える外部灌流型の中空糸膜モジュールであって、前記中空糸膜束の一端部が、ポッティング部により前記ケース内に開口状態で固定され、
　前記ケース内の液体に含まれる気体を、前記中空糸膜の外表面から内部に取り込んで脱気を行うように構成されている外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（２）前記中空糸膜が気体透過性の均質層と、前記均質層を支持する多孔質支持層とを有する複合膜であることを特徴とする（１）に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
（３）前記中空糸膜の外径が２８０μｍ以下であることを特徴とする（１）又は（２）に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
（４）前記中空糸膜の破断強度が０．５Ｎ／ｆｉｌ以上、破断伸度が５０％以上であることを特徴とする（１）～（３）のいずれか一項に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
（５）前記中空糸膜束のケース断面における充填率が２０～５０％であることを特徴とする（１）～（４）のいずれか一項に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
（６）前記ケース内における前記中空糸膜束の一端部側に、前記ケース内に連通して液体を通過させる第１ポートが設けられ、前記ケース内における前記中空糸膜束の他端部側に、前記ケース内に連通して液体を通過させる第２ポートが設けられている（１）～（５）のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（７）前記第１ポートは、前記ケース内の液体を流出させる流出口を有する流出ポートであり、前記ケースの中心から離間した位置に前記流出口を配置し、前記第２ポートは、前記ケース内に液体を流入させる流入口を有する流入ポートであり、前記流入ポートの前記流入口を介して前記ケース内に流入する液体が、前記流出口が形成される側よりも、前記流出口が形成される側と前記ケースの中心を挟んで反対側のほうから多く流れるように構成されている（６）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（８）前記流入口は、前記ケースの中心を通って、前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向に延びる直線上に配置され、前記ケース内には、前記流入口から流入した液体を通過させる開口を有する分散板が配置され、前記分散板は、前記流出口が形成される側と前記ケースの中心を挟んで反対側の領域に形成される前記開口の開口面積が、前記流出口が形成される側の領域に形成される前記開口の開口面積よりも大きくなるように形成されている（７）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（９）前記ケース内に液体を流入、又は前記ケース内の液体を流出させる開口を介して前記ケース内に連通する管部材をさらに備え、前記管部材は、前記ケースの中心を通って、前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向に沿って延びるように設置されている、（１）～（５）のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１０）前記管部材における前記開口が、前記管部材の外周面に形成されている、（９）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１１）前記管部材における前記開口は、前記ケース内に液体を流入させる流入口であり、前記ケース内における前記中空糸膜束の一端部側で開放し、前記ケース内の液体を流出させる流出口を有する流出ポートが、前記ケース内における前記中空糸膜束の他端部側に設けられている（９）又は（１０）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１２）前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向に直交する方向において、前記流出ポートにおける前記流出口が、前記中空糸膜束の他端部の高さ位置と重ならない位置に形成されている（１１）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１３）前記管部材における前記開口は、前記ケース内に液体を流入させる流入口であり、前記ケース内における前記中空糸膜束の他端部側には、前記管部材の外側で前記中空糸膜束に沿って液体を流入させる液体導入部が設けられ、前記ケース内の液体を流出させる流出口を有する流出ポートが、前記ケース内における前記中空糸膜束の一端部側に設けられている（９）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１４）前記管部材における前記開口が、前記管部材の外周面に形成されるとともに、前記管部材の軸方向に複数形成され、前記開口は、前記中空糸膜束の一端部側のものほど、他端部側のものよりも開口面積が小さく形成されている（１３）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１５）前記管部材の軸方向視で、前記液体導入部は、前記管部材の周方向に並ぶ複数の液体通過口を有している（１３）又は（１４）に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１６）前記管部材における前記開口が、前記管部材の外周面において軸方向及び周方向で所定の間隔を空けて複数並んで形成され、前記管部材の外周面に形成されている（１３）～（１５）のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１７）前記中空糸膜束における前記中空糸膜がＵ字状に折り返されて、その両端部を前記ポッティング部に埋設されることで、前記中空糸膜束の一端部が前記ポッティング部により前記ケース内に固定されている（１）～（１６）のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１８）前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向において、前記中空糸膜束の他端部の高さ位置が、略同一に揃えられている（１）～（１７）のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（１９）前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向における前記中空糸膜束の少なくとも１箇所に、前記延在方向に直交する方向に延びて複数の前記中空糸膜を連結する経糸が設けられている（１）～（１８）のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（２０）前記ケースが円筒状である（１）～（１９）のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
（２１）前記中空糸膜モジュールを有する、インクジェットプリンタ。

　本発明によれば、中空糸膜束が一端部でケース内に固定され、他端部が自由端となるため、中空糸膜間に液体が入り込み易くなり、効率良く脱気又は気液混合を行うことができる。また、ポッティング部がケース内に一つであるため、製造コストを抑制できるとともに、小型化を図ることができる。

　上記（２）の構成とした場合には、気体透過性を有する均質層が多孔質支持層により保護された構成となることから、加工工程での傷を防ぐことができ、安定した性能を提供することができる。

　上記（３）の構成とした場合には、中空糸膜の外側に液体を流すにあたり、中空糸膜の挿入状態としてより効率的な流路が形成することができる。

　上記（４）の構成とした場合には、中空糸膜束の長さを引き揃えた加工をするために必要となる強度が得られることとなり、製造工程における破損を防ぎ、効率的且つ安価な膜束形成工程を可能とすることができる。

　上記（５）の構成とした場合には、中空糸膜の外側に液体を効率的に流すために必要となる、中空糸膜間同士における適度な空隙を設けることができる。

　上記（６）の構成とした場合には、中空糸膜束の他端部から一端部にわたる液体の流路を形成し、中空糸膜束の広範囲を有効に利用して脱気又は気液混合を行うことが可能となり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（７）の構成とした場合には、中空糸膜束全体に液体が広がり易くなり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（８）の構成とした場合には、中空糸膜束全体に液体が広がり易くなる流路を、分散板をケース内に配置することで形成できるため、製造効率を向上させつつ脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（９）の構成とした場合には、管部材に形成された開口により中空糸膜束の延在方向に直交する方向に沿う液体の流路を形成し易くできるため、中空糸膜束の形態が潰れ難く、安定した脱気又は気液混合を行うことができる。また、開口から液体が中空糸膜束の広範囲に広がって流れるため、効率良く脱気又は気液混合を行うことができる。

　上記（１０）の構成とした場合には、中空糸膜束の延在方向に直交する方向に沿う液体の流路を確実に形成できるため、中空糸膜束の形態が確実に潰れ難くなり、安定した脱気又は気液混合を好適に行うことができる。

　上記（１１）の構成とした場合には、中空糸膜束の一端部から他端部にわたる液体の流路を形成し、中空糸膜束の広範囲を有効に利用して脱気又は気液混合を行うことが可能となり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。また、液体が中空糸膜束の根元部側に流れ、過度に中空糸膜束が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束全体に液体が広がり易くなり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（１２）の構成とした場合には、中空糸膜束を可及的広範囲で有効に利用して脱気又は気液混合を行うことが可能となり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（１３）の構成とした場合には、中空糸膜束の他端部から一端部にわたる液体の流路を形成するとともに、管部材によって中空糸膜束の延在方向に直交する方向に沿う液体の流路を形成し易くなることで、中空糸膜束を可及的広範囲で有効に利用して脱気又は気液混合を行うことが可能となり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（１４）の構成とした場合には、中空糸膜束を可及的広範囲で有効に利用して脱気又は気液混合を行うことが可能となり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（１５）の構成とした場合には、中空糸膜束を可及的広範囲で有効に利用して脱気又は気液混合を行うことが可能となり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（１６）の構成とした場合には、中空糸膜束を可及的広範囲で有効に利用して脱気又は気液混合を行うことが可能となり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（１７）の構成とした場合には、少ない本数の中空糸膜で所望の中空糸膜の密度を確保できるため、製造効率を向上できる。また、中空糸膜がＵ字状を呈することで、自立状態を保持し易くなり、過度に中空糸膜束が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束全体に液体が広がり易くなり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

　上記（１８）の構成とした場合には、液体が局所に偏って流れ難くなり、中空糸膜束が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束全体に液体が広がり易くなり、脱気又は気液混合の効率を向上できる。特に、中空糸膜束の延在方向に沿って、中空糸膜束の他端部である先端部分に向けて液体を流入させる場合等に、中空糸膜束が拡散するのを好適に抑制できる。

　上記（１９）の構成とした場合には、中空糸膜束の自立状態を確実に保持し易くなり、過度に中空糸膜束が拡散するのを好適に抑制できる。液体の粘性が高い場合には、中空糸膜は大きく拡散し易くなるため、本構成は、特に液体の粘性が高い場合に有効に機能する。

　上記（２０）の構成とした場合には、液体の流動性を向上させて、脱気又は気液混合の効率を向上できる。

本発明の第１の実施形態に係る脱気モジュールの断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る脱気モジュールが有する中空糸膜束における中空糸膜のポッティング部への固定態様を説明する断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る脱気モジュールが有する分散板を示した図である。 本発明の第１の実施形態に係る脱気モジュールにおける液体の流れを説明する図である。 上記分散板の変形例を示す図である。 上記分散板の変形例を示す図である。 上記分散板の変形例を示す図である。 上記分散板の変形例を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る脱気モジュールの断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る脱気モジュールの断面図である。 本発明の第４の実施形態に係る脱気モジュールの断面図である。 本発明の第５の実施形態に係る脱気モジュールの断面図である。 本発明の第６の実施形態に係る脱気モジュールの断面図である。 本発明の第６の実施形態に係る脱気モジュールが有する中空糸膜束における中空糸膜のポッティング部への固定態様を説明する断面図である。 本発明の第６の実施形態に係る脱気モジュールにおける液体の流れを説明する図である。 本発明の第７の実施形態に係る脱気モジュールの断面図である。 本発明の第７の実施形態に係る脱気モジュールが備える液体導入部を示した図である。 本発明の第７の実施形態に係る脱気モジュールにおける液体の流れを説明する図である。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１の実施形態）
　図１には、本発明の第１の実施形態に係る外部灌流型の脱気モジュール１が示されている。脱気モジュール１は、ケース２と、ケース２内に収納された中空糸膜束３と、を備えている。ケース２は、円筒状のケース本体２Ａと、ケース本体２Ａの一端開口を覆う第１蓋部材４と、ケース本体２Ａの他端開口を覆う第２蓋部材５と、備えている。
　ケース２は、ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５とを結合させることで、略円柱状の外観を形成している。脱気モジュール１は、インクジェットプリンタ、カラーフィルタ製造装置等のインクジェット吐出装置に用いられるものとするが、その用途は特に限定されるものではない。

　図中、符合Ｌ１は、ケース２（ケース本体２Ａ）の軸方向に直交する方向に沿うケース２の横断面の中心を通って、ケース２の軸方向に延びるケース２の中心軸線（以下、単に中心と呼ぶこともある）を示している。ここで「ケース２の横断面の中心」とは、中空糸膜３０が延在する方向（ケース２の長手方向）に直交する断面における重心を意味する。本実施形態において、第１蓋部材４は、上側に配置され、第２蓋部材５は、下側に配置されている。
　本実施形態では、中心軸線Ｌ１に沿って第１蓋部材４側を上方、第２蓋部材５側を下方と呼ぶ。また、中心軸線Ｌ１に直交する方向は、径方向と呼ぶ場合があり、中心軸線Ｌ１回りを周回する方向を周方向と呼ぶ場合がある。

　ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５は、機械的強度および耐久性を有する材質から形成されるのが好ましく、例えばポリカーボネイト、ポリスルフォン、ポリオレフィン、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、変成ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）等から形成されるのがよい。

　本実施形態の中空糸膜束３は、複数の中空糸膜３０を束ねた小束３Ａを複数有して構成されている。中空糸膜束３は、その上端部（一端部）３Ｕのみでポッティング部６によりケース２内に開口状態で固定され、ポッティング部６から中心軸線Ｌ１に沿って下方に延びている。ポッティング部６は、ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５で形成される空間を、気室ｇと液室ｆとに区画している。中空糸膜束３は、ケース２内の周方向及び径方向にわたって広範囲に設けられている。

　図１に示すように、各小束３Ａにおいて中空糸膜３０は、Ｕ字状に折り返されて、その両端部をポッティング部６に埋設され、その両端部が気室ｇに開口した状態とされている。「開口した状態」とは、開口した一端部を介して、各中空糸膜３０の内部が、気室ｇに連通した状態となっていることを意味する。すなわち、本実施形態においては、中空糸膜３０の両端部が上端部（一端部）を形成し、ポッティング部６によりケース２内に開口状態で固定されている。
　一方で、各中空糸膜３０のうちの、ポッティング部６から下方に延びる部位の外表面は、液室ｆに曝された状態とされ、また、そのＵ字状の底部分は下方を指向する状態となっている。したがって、各中空糸膜３０（すなわち、中空糸膜束３）の下端部は、自由端とされる。すなわち、本実施形態においては、中空糸膜３０のＵ字状の底部分が下端部（他端部）を形成している。

　なお、本実施形態では、中空糸膜３０がＵ字状に折り返されて、その両端部をポッティング部６に埋設されるが、一端が開口されるとともに他端が閉塞した中空糸膜を、その一端がポッティング部６に埋設されるようにして、他端が自由端となるようにしてもよい。

　各小束３Ａは、中心軸線Ｌ１に直交する方向に延びる経糸３１を、その下側の部位に設け、経糸３１によって複数の中空糸膜３０を束ねることで構成されている。本実施形態において経糸３１は、複数の中空糸膜３０にわたってチェーンステッチ型で織り込まれて複数の中空糸膜３０を連結するが、その他の態様で複数の中空糸膜３０を連結してもよい。なお、経糸３１は、複数の小束３Ａを連結してもよいし、小束３Ａの複数の箇所に設けられてもよい。また、本実施形態では、中空糸膜束３が複数の小束３Ａを有するが、複数の小束３Ａに分割せず、複数の中空糸膜３０をまとめて束にした状態のものでもよい。
　さらに、本実施形態では、経糸３１は小束３Ａの下端部付近に設けられ、複数の中空糸膜３０を連結しているが、例えば小束３Ａの中央付近で複数の中空糸膜３０を連結してもかまわない。また、本実施形態では、小束３Ａの下端部付近を経糸３１で連結した例を説明しているが、小束３Ａの折れを防止する観点からすると、中央付近を連結するとともに、この中央付近から一定間隔を空けて複数個所で連結することが好ましい。

　また、図１から明らかなように、本実施形態では、中心軸線Ｌ１に沿う方向である中空糸膜束３の延在方向において、中空糸膜束３の下端部３Ｄの高さ位置Ｈ１が、略同一に揃えられている。ここで、「略同一」とは、ケース２内における中空糸膜束３の長さ平均に対して、中空糸膜束３の長さの誤差が、±５％未満であることを意味する。

　なお、中空糸膜３０の材料としては、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（４－メチルペンテン－１）等）、フッ素系樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体等）、ポリスチレン系樹脂、ポリスルフォン系樹脂、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、セルロース誘導体、ポリアミド、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリアクリレート、これらのうち１種類以上を含む樹脂等が挙げられる。また、これらの樹脂の共重合体や一部に置換基を導入したものであってもよい。耐薬品性や環境負荷への配慮の点から、ポリオレフィンが好ましく、ポッティング加工時の取扱性、使用液への溶出の低さの点から、ポリエチレン、ポリプロピレンが特に好ましい。

　ケース２では、ポッティング部６に固定された中空糸膜束３の上端部（一端部）３Ｕ側の部位に、ケース２内の液室ｆに連通して液体を通過させる第１ポート８が設けられている。また、ケース２では、中空糸膜束３の下端部（他端部）３Ｄ側の部位に、ケース２内の液室ｆに連通して液体を通過させる第２ポート９が設けられている。ここで、「一端部側」とは、他端部よりも一端部に近い部位を意味し、「他端部側」とは、一端部よりも他端部に近い部位を意味する。

　本実施形態において、第１ポート８は、ケース２内の液体を流出させる流出口８Ａを有する円筒状に形成され、流出ポートとして機能し、ポッティング部６よりも下方に位置し、かつケース本体２Ａの外周面から径方向外側に突出している。

　第２ポート９は、ケース２内に液体を流入させる流入口９Ａを有する円筒状に形成され流入ポートとして機能し、第２蓋部材５における中心軸線Ｌ１上に位置し、第２蓋部材５の中央部から、中心軸線Ｌ１に沿って下方に突出している。詳しくは、本実施形態では、中心軸線Ｌ１と第２ポート９の中心軸線が同軸となるように、第２ポート９が形成されている。ここで、「第２ポート９の中心軸線」とは、第２ポート９の軸方向に直交する方向に沿う第２ポート９の横断面の中心（重心）を通って、第２ポート９の長手方向に延びる線を意味する。

　本実施形態では、流入口９Ａを介してケース２内に流入する液体が、中心軸線Ｌ１の径方向で、第１ポート８の流出口８Ａが形成される側よりも、流出口８Ａが形成される側とケース２の中心（中心軸線Ｌ１）を挟んで反対側のほうから多く流れるようにするために、ケース２内に分散板１０を設けている。

　図３は、分散板１０を下方から見た場合の平面図である。
　図３に示すように、分散板１０は円板状に形成され、液体を通過させる複数の開口１１を有している。分散板１０は、その外周部をケース２の内周面に液密に嵌め込んでおり、液室ｆを上下２室に区画している。
　本実施形態では、図１に示すように、分散板１０は、中空糸膜束３の下端部３Ｄの下方に配置されている。

　図３に示すように、分散板１０は、中心軸線Ｌ１の径方向で、第１ポート８が形成される側とケース２の中心（中心軸線Ｌ１）を挟んで反対側の領域に形成される開口１１の開口面積が、第１ポート８の流出口８Ａが形成される側の領域に形成される開口１１の開口面積よりも大きくなるように形成されている。
　詳しくは、中心軸線Ｌ１方向視（分散板１０を下方から見た場合）で、分散板１０を、ケース２の中心（中心軸線Ｌ１）と第１ポート８の形成位置（第１ポート８の中心軸線）とを結んだ直線に直交し、かつ分散板１０の中心（重心）を通る直線Ｌ２で２分割した場合に、第１ポート８が位置する側の領域１０Ａの反対側の領域１０Ｂに形成される開口１１の開口面積の総和が、領域１０Ａに形成されるものより、図から明らかなように、大きくなっている。なお、図３には、説明の便宜のため、第１ポート８を二点鎖線で示している。ここで「第１ポート８の中心軸線」とは、第１ポート８の軸方向に直交する方向に沿う第１ポート８の横断面の中心（重心）を通って、第１ポート８の長手方向に延びる線を意味する。

　より具体的には、本実施形態において分散板１０には、３つの開口１１が形成され、３つの開口１１のうちの、２つの開口が領域１０Ａと領域１０Ｂとに跨り、残り１つが、領域１０Ｂに形成されている。領域１０Ｂに形成される開口１１は、中心軸線Ｌ１の径方向で、中心軸線Ｌ１を挟んで、第１ポート８（流出口８Ａ）に対向する位置に位置している。

　また、図１に示すように、本実施形態では、第１蓋部材４における中心軸線Ｌ１上に位置する第１蓋部材４の中央部に、中心軸線Ｌ１に沿って上方に突出する円筒状の真空ポート１２が形成されている。真空ポート１２は、気室ｇに連通し、図示省略する引き込みポンプ（真空ポンプ）に接続される。

　図４には、本実施形態に係る脱気モジュール１における液体の流れが示されている。
　図４に示すように、脱気モジュール１では、まず、液体は、矢印αに示すように、第２ポート９の流入口９Ａを通って、ケース２内に流れる。
　次に、ケース２内に流れた液体は、分散板１０の開口１１から、液室ｆのうちの分散板１０の上方側の室に流れ、矢印βに示すように、第１ポート８に向けて斜めに流れる。開口１１から流れる液体は、第１ポート８側が形成される側の反対側から多く流れる。
　この際、第１ポート８と第２ポート９が中空糸膜束３の延在方向で大きく離間するため、液体が、中空糸膜束３の延在方向の広範囲に接触しながら、第１ポート８へ向かう。そして、液体は、矢印γに示すように、流出口８Ａを通って外部に排出される。

　なお、ケース２内に流入されて流出される液体は、図示しないポンプによって圧送されてケース２内に導入される。ポンプは、第１ポート８の下流側に配置されて液体を引き込む構成でもよいし、第２ポート９の上流側に配置されて液体を押し出す構成でもよい。

　また、液室ｆに液体が流れる際には、液室ｆ内に曝された中空糸膜３０の外表面から液体に含まれる気体が中空糸膜３０の内部に取り込まれ、脱気が行われる。気体の取り込みは、中空糸膜３０の内部が、上記した真空ポンプによって真空引きされることで行われる。なお、図４において、矢印δは、真空ポンプの引き込み方向を示している。

　以上に記載した本実施形態の脱気モジュール１は、複数の中空糸膜３０からなる中空糸膜束３と、中空糸膜束３を収納するケース２と、を備え、中空糸膜束３が、その一端部である上端部３Ｕでポッティング部６によりケース２内に固定されている。そして、中空糸膜３０の外表面からケース２内の液体に含まれる気体を中空糸膜３０の内部に取り込んで脱気を行う。

　このような脱気モジュール１では、中空糸膜束３が一端部（上端部３Ｕ）のみでケース２内に固定され、他端部（下端部３Ｄ）が自由端となるため、中空糸膜３０間に液体が入り込み易くなり、効率良く脱気を行うことができる。また、ポッティング部６がケース２内に一つであるため、製造コストを抑制できるとともに、小型化を図ることができる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１では、ポッティング部６によって中空糸膜束３を固定した側である、ケース２内における中空糸膜束３の一端部である上端部３Ｕ側に、ケース２内に連通して液体を通過させる第１ポート８が設けられ、ケース２内における中空糸膜束３の他端部である下端部３Ｄ側に、ケース２内に連通して液体を通過させる第２ポート９ｂが設けられている。この構成により、本実施形態では、中空糸膜束３の他端部（下端部３Ｄ）から一端部（上端部３Ｕ）にわたる液体の流路を形成し、中空糸膜束３の広範囲を有効に利用して脱気を行うことが可能となり、脱気の効率を向上できる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１では、第１ポート８が流出ポートであり、ケース２の中心から離間した位置に流出口８Ａを配置し、第２ポート９が流入ポートとして機能する。そして、本実施形態では、流入口９Ａを介してケース２内に流入する液体が、流出ポートである第１ポート８の流出口８Ａが形成される側よりも、ケース２の中心を挟んで反対側のほうから多く流れるように構成されている。この構成により、本実施形態では、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなり、脱気の効率を向上できる。

　また、流入口９Ａは、中心軸線Ｌ１上に配置され、ケース２内には、流入口９Ａから流入した液体を通過させる開口１１を有する分散板１０が配置されている。そして、分散板１０は、流出ポートである第１ポート８の流出口８Ａが形成される側とケース２の中心を挟んで反対側の領域１０Ｂに形成される開口１１の開口面積が、その反対側の領域１０Ａに形成される開口１１の開口面積よりも大きくなるように形成されている。
　この構成により、本実施形態では、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなる流路を、分散板１０をケース内に配置することで形成できるため、製造効率を向上させつつ脱気の効率を向上できる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１では、中空糸膜束３における中空糸膜３０がＵ字状に折り返されて、その両端部をポッティング部６に埋設されることで、中空糸膜束３の一端部である上端部３Ｕがポッティング部６によりケース２内に固定されている。この構成により、本実施形態では、少ない本数の中空糸膜３０で所望の中空糸膜３０の密度を確保できるため、製造効率を向上できる。また、中空糸膜３０がＵ字状を呈することで、自立状態を保持し易くなり、過度に中空糸膜束３が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなり、脱気の効率を向上できる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１では、中心軸線Ｌ１方向において、中空糸膜束３の他端部である下端部３Ｄの高さ位置Ｈ１が、略同一に揃えられている。この構成により、本実施形態では、液体が局所に偏って流れ難くなり、中空糸膜束３が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなり、脱気の効率を向上できる。この構成は、特に、中空糸膜束３の延在方向に沿って、中空糸膜束３の先端部分に向けて液体を流入させる場合等に、中空糸膜束３が拡散するのを好適に抑制できるものである。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１では、中心軸線Ｌ１方向における中空糸膜束３の下端部３Ｄ側の部位に、中心軸線Ｌ１方向に直交する方向に延びて複数の中空糸膜３０を連結する経糸３１が設けられている。この構成により、中空糸膜束３の自立状態を確実に保持し易くなり、過度に中空糸膜束３が拡散するのを好適に抑制できる。液体の粘性が高い場合には、中空糸膜束３は大きく拡散し易くなるため、本構成は、特に液体の粘性が高い場合、例えば液体にインク等を用いる場合等に有効に機能する。

　なお、図５Ａ～５Ｄには、第１の実施形態で説明した分散板１０の変形例が示されている。なお、変形例における第１の実施形態の分散板１０と同様の構成については、第１実施形態と同一符合を用いる。

　図５Ａでは、分散板１０には、３つの開口１１が形成され、３つの開口１１のうちの、２つの開口が領域１０Ｂに形成され、残り１つが、中心軸線Ｌ１上で領域１０Ａと領域１０Ｂとに跨って形成されている。
　図５Ｂでは、４つの開口１１が周方向に並んで形成されている。そして、４つの開口１１のうちの、２つの開口が領域１０Ａと領域１０Ｂとに跨って形成され、残り２つが、領域１０Ｂに形成されている。
　図５Ｃでは、開口１１が分散板１０の周方向に沿って延びる弧状（三日月形状）に形成され、領域１０Ｂのみに形成されている。開口１１の両端部は先細りに形成されている。
　図５Ｄでは、領域１０Ｂのみに、楔型の開口１１が分散板１１の中心から外側に向かって複数個放射状に形成された形となっている。
　開口１１の形状は特に限定されないが、流路形成性及び加工の柔軟性の点から楔形が好ましい。
　領域１０Ａにおける開口面積と、領域１０Ｂにおける開口面積との比が、０：１／１０～１／２０：１／２であることが好ましい。

　中空糸膜３０は、中空糸膜３０の中空部－外側間を気体が透過する気体透過性を有する。
　中空糸膜３０の外径は、２８０μｍ以下であることが好ましく、２５０μｍ以下であることがより好ましい。より具体的には、２５０～１５０μｍであることが好ましく、２２０～１８０μｍであることがより好ましい。中空糸膜３０の外径が上記数値範囲内であると、ケース内において中空糸膜間により効率的な流路を形成することができる。
　中空糸膜３０の内径は、１００μｍ以上であることが好ましく、１２０μｍ以上であることがより好ましい。中空糸膜３０の内径は、２００μｍ以下であることが好ましい。より具体的には、１００～２００μｍであることが好ましく、１１０～１６０μｍであることがより好ましい。中空糸膜３０の内径が上記数値範囲内であると、ケース２内に充分な本数の中空糸膜３０を収納でき、良好な脱気性能と耐久性を維持できる。

　中空糸膜３０の膜厚は、２０～７０μｍが好ましく、２５～５５μｍがより好ましい。
　膜厚が上記範囲の上限値以下であると、ケース２内における中空糸膜３０の内側を繰り返し減圧した際の耐久性に優れる。膜厚が上記範囲の下限値以上であると、脱気性能を良好に維持できる。

　なお、中空糸膜の膜厚は、中空糸膜の内径と外径との差から、下記式（１）により算出される。
　中空糸膜の膜厚＝（中空糸膜の外径－中空糸膜の内径）／２・・・（１）
　中空糸膜の内径および外径は、下記のように実測する。
　まず、中空糸膜を数本束ねて、その外側全体をポリウレタン樹脂で覆って、硬化させる。ついで、硬化した束を中空糸膜の径方向に沿って、その長手方向の長さが数ｍｍとなるようにスライスし、厚み数ｍｍの薄片状のサンプルを得る。ついで、このサンプルの断面の光学像を投影機を用いて例えば１００倍の倍率でスクリーンに投影する。投影された像において、各中空糸膜の外径および内径を測定する。このようにサンプルを切り出して測定する操作を５回以上繰り返し、全数値の平均値をもって、中空糸膜の外径および内径とする。

　中空糸膜３０は、気体透過性の均質層と、前記均質層を支持する多孔質支持層とを有する複合膜であることが、強度に優れるとともに、液体の漏れを抑制しつつ溶存ガスを効果的に除去でき、脱気性能に優れる点で好ましい。
　複合膜の具体的な層構成としては、均質層の内側または外側に多孔質支持層が設けられた二層構造、均質層の内側と外側に多孔質支持層が設けられた三層構造が好ましく、強度および脱気性能の点で三層構造がより好ましい。

　均質層の材質としては、ポリジメチルシロキサン、シリコンとポリカーボネートの共重合体等のシリコンゴム系樹脂；エチレンとα－オレフィンとの共重合体、ポリ４－メチルペンテン－１、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、直鎖状超低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、アイオノマー樹脂、エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸メチル共重合体、変性ポリオレフィン（例えば、オレフィンの単独重合体または共重合体と、マレイン酸、フマル酸等の不飽和カルボン酸、酸無水物、エステルまたは金属塩等との反応物。）等のポリオレフィン系樹脂；ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素含有樹脂；エチルセルロース等のセルロース系樹脂；ポリフェニレンオキサイド；ポリ４－ビニルピリジン；ウレタン系樹脂；等が挙げられる。これらの樹脂は１種単独で使用しても、２種以上をブレンドして用いてもよい。また、これらの樹脂の共重合体も使用できる。

　なかでも均質層の材質としては、ポリオレフィン系樹脂が好ましく、密度が０．８５０～０．９１０ｇ／ｃｍ^３のポリオレフィン系樹脂がより好ましい。密度が上記範囲内のポリオレフィン系樹脂により形成された均質層は、高流量で処理対象の液体を通液した際でも脱気性能に優れるとともに、実用上適した融点または軟化点となる。

　なお、密度は、ＪＩＳ　Ｋ　７１１２（ＡＳＴＭ　Ｄ１５０５と同じ規定。）に基づいて測定される。
　密度が上記範囲のポリオレフィン系樹脂は、示差走査型熱量計（ＤＳＣ）で測定した融点（Ｔｍ）が、約４０～１００℃となる。

　中空糸膜３０の耐薬品性の点からは、均質層を形成するポリオレフィン系樹脂は、エチレンと炭素数３～２０のα－オレフィンとが共重合した分子量分布が４．０以下のエチレン・α－オレフィン共重合体が好ましい。

　炭素数３～２０のα－オレフィンとしては、プロピレン（炭素数３）、イソブチレン（炭素数４）、１－ブテン（炭素数４）、１－ペンテン（炭素数５）、１－ヘキセン（炭素数６）、４－メチル－１－ペンテン（炭素数６）、１－オクテン（炭素数８）が挙げられる。炭素数３～２０のα－オレフィンとしては、炭素数４～２０のα－オレフィンが好ましく、炭素数６～８のα－オレフィンがより好ましく、１－ヘキセンまたは１－オクテンが特に好ましい。
　炭素数３～２０のα－オレフィンは、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。

　エチレン・α－オレフィン共重合体の分子量分布は、上述のとおり４．０以下が好ましく、３．５以下がより好ましく、３．０以下が特に好ましい。このように分子量分布が小さなエチレン・α－オレフィン共重合体は、メタロセン触媒を使用して共重合する方法等で得られる。例えば、ダウ・ケミカル社が開発したインサイト（シングルサイト）触媒、いわゆるメタロセン触媒の一種である拘束幾何触媒を使用して共重合する方法で得られる。

　なお、分子量分布とは、質量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）との比率（Ｍｗ／Ｍｎ）である。質量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ポリスチレンを標準試料として用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる。

　エチレンと炭素数３～２０のα－オレフィンとが共重合したエチレン・α－オレフィン共重合体は、炭素数３～２０のα－オレフィンを全モノマーの１０モル％以上用いて共重合したものが耐薬品性の点で好ましく、２０～４０モル％用いて共重合したものがより好ましい。

　均質層を形成するポリオレフィン系樹脂のメルトフローレート（ＭＦＲ）は、１９０℃において、０．１～５ｇ／１０ｍｉｎが好ましく、０．３～２ｇ／１０ｍｉｎがより好ましい。ＭＦＲが上記範囲の下限値以上であると、均質層の成形性に優れる。ＭＦＲが上記範囲の上限値以下であると、中空糸膜の製造時において、前記ポリオレフィン系樹脂が多孔質支持層側に流出することが抑制され、そのため、厚さが均一で、優れた脱気性能を有する均質層を形成できる。
　なお、ＭＦＲは、ＡＳＴＭ　Ｄ１２３８のＥ条件に従い、試験温度１９０℃、試験荷重２．１６ｋｇｆ（２１．１８Ｎ）で測定した値である。

　均質層の形成に好適なエチレン・α－オレフィン共重合体の市販品としては、α－オレフィンの炭素数が８であるダウ・ケミカル社製の「アフィニティー（ＡＦＦＩＮＩＴＹ）（登録商標）」、α－オレフィンの炭素数が６であるプライムポリマー社製の「エボリュー（登録商標）」等が挙げられる。

　なお、均質層を形成するポリオレフィン系樹脂には、樹脂以外の成分として、必要に応じて、酸化防止剤、紫外線吸収剤、滑剤、アンチブロッキング剤、着色剤、難燃化剤等の添加物が本発明の目的を損なわない範囲で添加されていてもよい。

　多孔質支持層の材質としては、ポリジメチルシロキサン、シリコンとポリカーボネートの共重合体等のシリコンゴム系樹脂；ポリ４－メチルペンテン－１、ポリ３－メチルブテン－１、低密度ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂；ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素含有樹脂；エチルセルロース等セルロース系樹脂；ポリフェニレンオキサイド；ポリ４－ビニルピリジン；ウレタン系樹脂；ポリスチレン；ポリエーテルエーテルケトン；ポリエーテルケトン等が挙げられる。これらの樹脂は１種単独で使用しても、２種以上をブレンドして用いてもよい。また、これらの樹脂の共重合体も使用できる。

　多孔質支持層の孔径は、０．０１～１μｍの範囲が好ましい。孔径が上記範囲の上限値以下であれば、均質層の微細孔（気体が透過する孔）内が濡れにくく、そのため、処理対象の液体に含まれる薬品による均質層の劣化が低減される。孔径が上記範囲の下限値以上であると、気体透過性が高くなり、脱気性能に優れる。また、多孔質支持層の空孔率は３０～８０体積％が好ましい。空孔率が上記範囲の下限値以上であると、気体透過性が向上し、脱気性能に優れる。空孔率が上記範囲の上限値以下であると、中空糸膜３０の耐圧性等の機械的強度が向上する。

　均質層および多孔質支持層の厚さは、膜厚が上記範囲内となるように決定されることが好ましく、その範囲内において、均質層の厚さは０．３～２μｍが好ましい。多孔質支持層の厚さは、２０～７０μｍが好ましく、２５～５５μｍがより好ましい。なお、ここでの多孔質支持層の厚みとは、多孔質支持層が複数の層からなる場合（たとえば、均質層の内側と外側に１層ずつ、合計２層の多孔質支持層が積層した場合等。）、複数の層の合計の厚みである。均質層および多孔質支持層の厚さが上記範囲の下限値以上であれば、中空糸膜３０の耐圧性、機械的強度等が向上し、上記範囲の上限値以下であれば、中空糸膜３０の気体透過性が向上し、脱気性能に優れる。また、中空糸膜３０の外径が大きくなり過ぎず、ケース２内に充分な本数の中空糸膜３０を収納できる。
　なお、多孔質支持層の厚さは、上述した中空糸膜の内径および外径の実測方法と同様にして、薄片状のサンプルの断面の投影像から実測でき、平均値として求める。すなわち、上述のようにして、厚み数ｍｍの薄片状のサンプルを得て、このサンプルの断面の光学像を投影機を用いて例えば１００倍の倍率でスクリーンに投影し、得られた投影像において、各中空糸膜における多孔質支持層の厚みを測定する。
　このようにサンプルを切り出して測定する操作を５回繰り返し、全数値の平均値をもって、中空糸膜の多孔質支持層の厚さとする。
　ただし、均質層の厚さは、通常、多孔質支持層の厚さに比べて非常に小さいため、実測が困難な場合がある。その場合には、上記式（１）で算出された「中空糸膜の膜厚」＝「多孔質支持層の厚み」とみなす。

　均質層と多孔質支持層との材質の組み合わせには、特に制限はなく、異種の樹脂を組み合わせて用いても、同種の樹脂を組み合わせて用いてもよい。

　均質層と多孔質支持層とを有する複合中空糸膜は、多層複合紡糸工程と延伸多孔質化工程を有する公知の方法等で製造できる。
　例えば、内層ノズル部と中間層ノズル部と外層ノズル部とが順次形成された、同心円状複合ノズルを用い、外層ノズル部と内層ノズル部には、多孔質支持層を形成するための溶融樹脂を供給し、中間層ノズル部には、均質層を形成するための溶融樹脂を供給する。そして、同心円状複合ノズルから、各溶融樹脂を押出して冷却固化させ、未延伸中空繊維を得る（多層複合紡糸工程）。次に、前記未延伸中空繊維を延伸し、内層と外層とを多孔質化する（延伸多孔質化工程）。これにより、均質層と、均質層の内側および外側に位置して均質層を支持する多孔質支持層とからなる、三層構造の中空糸膜が得られる。

　前記中空糸膜の破断強度が０．５Ｎ／ｆｉｌ以上、破断伸度が５０％以上であることが、中空糸膜モジュール製造加工工程での取り扱い性のため好ましい。破断強度が０．８～３Ｎ／ｆｉｌ、破断伸度が７０～４００％以上であることが好ましく、破断強度が１～２．５Ｎ／ｆｉｌ、破断伸度が１４０～３００％以上であることがより好ましい。
　ここで、「破断強度」とは、中空糸膜の長手方向に荷重をかけて延伸した際に破断する値のことを意味する。
　「破断伸度」とは、中空糸膜の長手方向に荷重を掛けながら延伸した際に破断に至るまでに示した伸びのことを意味する。

　なお、中空糸膜の破断強度、及び破断伸度は、以下の方法により測定することができる。
　（中空糸膜の破断強度及び破断伸度）
　テンシロン型引張試験機（例えば、オリエンテック社製、ＵＣＴ－１Ｔ型）を用い、中空糸膜を試長２ｃｍになるようにテンシロン型引張試験機のチャック部に把持させた状態で引張荷重を加え、荷重変化における破断伸度を中空糸膜が破断するまで測定する。この測定を３回行い、中空糸膜が破断した荷重の平均値を求める。

　前記中空糸膜束３のケース２断面における充填率は、２０～５０％であることが好ましく、３０～４５％がより好ましい。前記中空糸膜の充填率が下限値以上であれば、脱気モジュール１の小型化が容易になるうえ、脱気モジュール１内において液体の偏流が生じることを抑制しやすい。前記中空糸膜の充填率が上限値以下であれば、中空糸膜の充填が容易になり、適正な流路を確保した上でより多くの膜を充填することで性能を上げることが可能となる。
　なお、中空糸膜３０のケース２断面における充填率は、脱気モジュール１を中空糸膜束３の軸方向に対して垂直に切断したときのケース２内部の断面積に対する、充填された中空糸膜の断面積の総和の割合（％）を表わす。

　ケース２の大きさは、円筒状である場合、直径が２０～６０ｃｍであることが好ましく、長さが６０～２５０ｃｍであることが好ましい。

（第２の実施形態）
　図６は、本発明の第２の実施形態に係る脱気モジュール１’を示している。なお、第２の実施形態における第１の実施形態と同様の構成要素については、同一符合で示し、説明を省略する。

　第２の実施形態に係る脱気モジュール１’は、ケース２は分散板１０を有していない。また、真空ポート１２が形成される第１蓋部材４が下側に配置され、液体を流入させる流入ポートとして機能する第２ポート９が形成される第２蓋部材５が上側に配置されている。そして、脱気モジュール１’は、第２ポート９から第１ポート８へ向けて下方に液体を流すように構成されている。符合Ｌ１’は、ケース２（ケース本体２Ａ）の横断面の中心を通る中心軸線を示している。なお、ケース２は横断面で円形状の筒状体であってもよく、横断面で矩形状の中空体等としてもよい。

　第２ポート９は、第２蓋部材５から中心軸線Ｌ１’方向に沿って突出する円筒状に形成され、また、中心軸線Ｌ１’に対して離間した第２蓋部材５の端部に形成されている。
　第１ポート８は、ケース本体２Ａの側面から中心軸線Ｌ１’に直交する方向に沿って突出する円筒状に形成されている。中空糸膜束３は下端部をポッティング部６に固定されて上方に向けて第２蓋部材５側に延びた起立状態となっている。

　図中ηは、ケース２内における液体の流れを示している。本実施形態の構成においても、矢印ηに参照されるように、液体は、中空糸膜束３の延在方向の広範囲に接触しながら、第１ポート８へ向かう。この実施形態においても第１の実施形態と同様の効果が得られる。

（第３の実施形態）
　図７には、本発明の第３の実施形態に係る外部灌流型の脱気モジュール１ａが示されている。なお、第３の実施形態における第１の実施形態と同様の構成要素については、同一符合で示し、説明を省略する。

　第３の実施形態に係る脱気モジュール１ａは、ケース２が分散板１０を有していない。液体を流出させる流出ポートとして機能する第１ポート８が、ポッティング部６よりも上方に位置し、かつケース本体２Ａの外周面から径方向外側に突出している。また、液体を流入させる流入ポートとして機能する第２ポート９が、ポッティング部６よりも上方に位置し、かつケース本体２Ａの外周面から径方向外側に突出している。第１ポート８と第２ポート９とは水平方向で離間して位置している。本実施形態では、第１ポート８及び第２ポート９は、第１ポート８の中心軸線と第２ポート９の中心軸線とを結ぶ直線が、中心軸線Ｌ１と直交するように配置されている。そして、脱気モジュール１ａは、第２ポート９から第１ポート８へ向けて液体を流すように構成されている。

　図中ηａは、ケース２内における液体の流れを示している。本実施形態の構成においても、矢印ηａに参照されるように、液体は、中空糸膜束３の延在方向の広範囲に接触しながら、第１ポート８へ向かう。この実施形態においても第１の実施形態と同様の効果が得られる。

（第４の実施形態）
　図８には、本発明の第４の実施形態に係る外部灌流型の脱気モジュール１ａ’が示されている。なお、第４の実施形態における第１の実施形態と同様の構成要素については、同一符合で示し、説明を省略する。

　第４の実施形態に係る脱気モジュール１ａは、第３の実施形態に係る脱気モジュール１ａを、９０°回転させたものである。すなわち、中空糸膜束３が水平方向に延びる構成となっており、第１ポート８と第２ポート９とが垂直方向で離間して位置している。そして、脱気モジュール１ａは、第２ポート９から第１ポート８へ向けて液体を流すように構成されている。

　図中ηａ’は、ケース２内における液体の流れを示している。本実施形態の構成においても、矢印ηａ’に参照されるように、液体は、中空糸膜束３の延在方向の広範囲に接触しながら、第１ポート８へ向かう。この実施形態においても第１の実施形態と同様の効果が得られる。

（第５の実施形態）
　図９には、本発明の第５の実施形態に係る外部灌流型の脱気モジュール１ａ’’が示されている。なお、第５の実施形態における第１の実施形態と同様の構成要素については、同一符合で示し、説明を省略する。

　第５の実施形態に係る脱気モジュール１ａ’’は、第４の実施形態に係る脱気モジュール１ａのうち、第１ポート８を一端部側に設置し、第２ポートを他端部側に設置している。そして、脱気モジュール１ａ’’は、第２ポート９から第１ポート８へ向けて液体を流すように構成されている。

　図中ηａ’’は、ケース２内における液体の流れを示している。本実施形態の構成においても、矢印ηａ’’に参照されるように、液体は、中空糸膜束３の延在方向の広範囲に接触しながら、第１ポート８へ向かう。この実施形態においても第１の実施形態と同様の効果が得られる。

　以上、本発明の第１～５の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

　例えば、上記第１～５の実施形態では、第１ポート８をケース２の側面から突出させたが、例えば、第１ポート８が、第１蓋部材４からポッティング部６を貫通して、液室ｆに開放するような構成であってもよい。また、第１の実施形態では、第２ポート９は、第２蓋部材５に形成したが、ケース２の側面に形成してもよい。

　また、上記第１～５の実施形態では、第２ポート９を流入ポートとし、第１ポート８を流出ポートとしたが、第１ポート８を流入ポートとし、第２ポート９を流出ポートとしてもよい。

　また、上記第１～５の実施形態では、ケース２において、ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５がそれぞれ別体である例を説明したが、これらは一体化されていてもよい。例えば、第１の実施形態であれば、ケース本体２Ａと第
２蓋部材５とを一体にして、第１蓋部材４だけを別体にする等の構成であってもよい。

　また、上記第１の実施形態では、流入ポートである第２ポート９（流入口９Ａ）が下側に配置され、流出ポートである第１ポート８（流出口８Ａ）が上側に配置され、第２の実施形態では、第１の実施形態の構成と逆の配置であるが、このような上下の向き等は特に限定されるものでない。例えば、第１ポート８と第２ポート９とが水平方向で離間して位置する構成であってもよいし、中空糸膜束３が水平方向に延びる構成等であってもよい。

　上記第３の実施形態では、第１ポート８と第２ポート９とが水平方向で離間して位置する構成であるが、このような第１ポート８と第２ポート９との位置は特に限定されるものではない。例えば、上記第５の実施形態のように第１ポート８を一端部側に設置してもよいし、第２ポート９を他端部側に設置してもよい。

　上記第４及び５の実施形態では、第１ポート８を上側、第２ポート９を下側に設置する構成であるが、このような第１ポート８と第２ポート９との位置は特に限定されるものではない。例えば、第１ポート８を下側、第２ポート９を上側に設置する構成であってもよい。

　上記第５の実施形態では、第１ポート８を一端部側に設置し、第２ポート９を他端部側に設置する構成であるが、このような第１ポート８と第２ポート９との位置は特に限定されるものではない。例えば、第２ポート９を一端部側に設置し、第１ポート８を他端部側に設置してもよい。

　上記第２の実施形態では、分散板１０を有していない構成であるが、分散板１０を設置してもよい。さらに、流出ポートである第１ポート８の流出口８Ａが形成される側とケース２の中心を挟んで反対側の領域１０Ｂに形成される開口１１の開口面積が、その反対側の領域１０Ａに形成される開口１１の開口面積よりも大きくなるように形成されていてもよい。

　また、上記各実施形態１～５では、ケース２は横断面で円形状の筒状体であってもよく、横断面で矩形状の中空体等としてもよい。

　さらに、上記第１～５の実施形態では、中空糸膜モジュールの一例として真空ポンプを用いた脱気モジュールを説明したが、真空ポンプに代えて給気ポンプ等を用いてモジュール内に加圧気体を供給することにより、本発明は、気液混合モジュールとしても用いることができる。この場合であっても水の流れは上記各実施形態と同様となり、中空糸膜間に液体が入り込みやすいという発明の効果としては同じであり、気液混合の効率を向上できる。

（第６の実施形態）
　図１０には、本発明の第６の実施形態に係る外部灌流型の脱気モジュール１ｂが示されている。脱気モジュール１ｂは、ケース２と、ケース２内に収納された中空糸膜束３と、を備えている。ケース２は、円筒状のケース本体２Ａと、ケース本体２Ａの両端開口を覆う第１蓋部材４及び第２蓋部材５と、備えている。
　ケース２は、ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５とを結合させることで、略円柱状の外観を形成している。脱気モジュール１ｂは、インクジェットプリンタ、カラーフィルタ製造装置等のインクジェット吐出装置に用いられるものとするが、その用途は特に限定されるものではない。

　図中、符合Ｌ１は、ケース２（ケース本体２Ａ）の軸方向に直交する方向に沿う断面の中心を通って、ケース２の軸方向に延びるケース２の中心軸線（以下、単に中心と呼ぶこともある）を示している。本実施形態において、第１蓋部材４は、上側に配置され、第２蓋部材５は、下側に配置されている。
　本実施形態では、中心軸線Ｌ１に沿って第１蓋部材４側を上方、第２蓋部材５側を下方と呼ぶ。また、中心軸線Ｌ１に直交する方向は、径方向と呼ぶ場合があり、中心軸線Ｌ１回りを周回する方向を周方向と呼ぶ場合がある。

　ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５は、機械的強度および耐久性を有する材質から形成されるのが好ましく、例えばポリカーボネイト、ポリスルフォン、ポリオレフィン、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、変成ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）等から形成されるのがよい。

　本実施形態の中空糸膜束３は、複数の中空糸膜３０を束ねた小束３Ａを複数有して構成されている。本実施形態において中空糸膜束３は、その下端部（一端部）３Ｄのみでポッティング部６によりケース２内に開口状態で固定され、ポッティング部６から中心軸線Ｌ１に沿って上方に延びている。ポッティング部６は、ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５で形成される空間を、気室ｇと液室ｆとに区画している。

　図１１に示すように、各小束３Ａにおいて中空糸膜３０は、Ｕ字状に折り返されて、その両端部をポッティング部６に埋設され、その両端部が気室ｇに開口した状態とされている。これにより、各中空糸膜３０の内部は、気室ｇに連通した状態となっている。すなわち、本実施形態においては、中空糸膜３０の両端部が下端部（一端部）を形成し、ポッティング部６によりケース２内に開口状態で固定されている。
　一方で、各中空糸膜３０のうちの、ポッティング部６から上方に延びる部位の外表面は、液室ｆに曝された状態とされ、また、そのＵ字状の底部分は上方を指向する状態となっている。したがって、各中空糸膜３０（すなわち、中空糸膜束３）の上端部は、自由端とされる。すなわち、本実施形態においては、中空糸膜３０のＵ字状の底部分が上端部（他端部）を形成している。

　なお、本実施形態では、中空糸膜３０がＵ字状に折り返されて、その両端部をポッティング部６に埋設されるが、一端が開口されるとともに他端が閉塞した中空糸膜を、その一端がポッティング部６に埋設されるようにして、他端が自由端となるようにしてもよい。
　なお、本実施形態のように中空糸膜３０を起立状態とする場合には、Ｕ字状とされて自立性を高めることが好ましい。

　各小束３Ａは、中心軸線Ｌ１に直交する方向に延びる経糸３１を、その上側の部位、これよりもやや下側の部位、さらに、上下方向の中間部分よりも下側の部位に計３つ設け、経糸３１によって複数の中空糸膜３０を束ねることで構成されている。本実施形態において経糸３１は、複数の中空糸膜３０にわたってチェーンステッチ型で織り込まれて複数の中空糸膜３０を連結するが、その他の態様で複数の中空糸膜３０を連結してもよい。
　なお、経糸３１は、複数の小束３Ａを連結してもよいし、小束３Ａの適所に１つだけ設けられてもよい。
　また、本実施形態では、中空糸膜束３が複数の小束３Ａを有するが、複数の小束３Ａに分割せず、複数の中空糸膜３０をまとめて束にした状態のものでもよい。

　また、図１０から明らかなように、本実施形態では、中心軸線Ｌ１に沿う方向である中空糸膜束３の延在方向において、中空糸膜束３の上端部３Ｕの高さ位置Ｈ１が、略同一に揃えられている。
　また、本実施形態の脱気モジュール１ｂでは、ケース２の中心を通って、中心軸線Ｌ１方向に延びる管部材１５が設けられている。中空糸膜束３は、管部材１５を避けて設けられ、中心軸線Ｌ１上には設けられていない。管部材１５が配置される領域を除き、中空糸膜束３は、ケース２内の周方向及び径方向にわたって広範囲に設けられている。なお、図１０及び後段で用いる図１２には、説明の便宜のため、管部材１５を断面で示していない。

　ちなみに、中空糸膜３０の材料としては、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（４－メチルペンテン－１）等）、フッ素系樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体等）、ポリスチレン系樹脂、ポリスルフォン系樹脂、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、セルロース誘導体、ポリアミド、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリアクリレート、これらのうち１種類以上を含む樹脂等が挙げられる。また、これらの樹脂の共重合体や一部に置換基を導入したものであってもよい。耐薬品性や環境負荷への配慮の点から、ポリオレフィンが好ましく、ポッティング加工時の取扱性、使用液への溶出の低さの点から、ポリエチレン、ポリプロピレンが特に好ましい。

　本実施形態では、管部材１５が、その下端部をポッティング部６に埋入されて上方に延び、その上端部を第１蓋部材４に形成される筒部４Ａに嵌め込まれて、中心軸線Ｌ１上に真直ぐ延びる姿勢を保持されている。管部材１５の上端部は開放し、下端部は栓体１５Ａによって液密及び気密に封止されている。
　そして、管部材１５は、ケース２内に液体を流入させる流入口１６が形成されており、流入口１６は、ケース２内における中空糸膜束３のポッティング部６に固定される下端部３Ｄ側で開放している。これにより、管部材１５は、流入口１６を介してケース２内に連通している。

　流入口１６は、管部材１５のポッティング部６の上方直近の位置の外周面のみで開放して、中心軸線Ｌ１に直交する方向に向いており、管部材１５の外周面の周方向に複数並んで形成されている。流入口１６の形状は特に限定されないが、加工性及び流路形成性の点から円形が好ましい。詳細は図示しないが、本実施形態では、管部材１５の外周面の周方向に９０度間隔で、流入口１６が４つ形成される。すなわち、４つの流入口１６は、各流入口の中心を対角に結ぶ線が直交するように形成されている。しかしながら、流入口１６の形成個数は、他の態様であってもよい。そして、管部材１５は上端部から液体を受け入れて、その内部を流通させて流入口１６からケース２内に液体を流入することが可能となる。
　管部材は円筒状であることが好ましい。
　管部材１５の長さはケース長に合せ適宜設定することが好ましく、直径は０．７～２ｃｍであることが好ましく、厚さは１～３ｍｍであることが好ましい。管部材１５の直径とケース２の直径との関係は、［管部材１５の直径（ｃｍ）］：［ケース２の直径（ｃｍ）］で表して、０．７：２～２：６０であることが好ましい。
　管部材１５の表面積に対する、流入口１６の開口面積は、５～３５面積％であることが好ましい。

　一方で、ケース２では、中空糸膜束３の上端部３Ｕ側の部位に、ケース２内の液室ｆに連通して液体を通過させる流出ポート９ｂが設けられている。流出ポート９ｂは、ケース２内の液体を流出させる流出口９Ａｂを有する円筒状に形成され、中空糸膜束３の上端部３Ｕよりも上方に、流出口９Ａｂが位置するように形成されている。
　すなわち、本実施形態では、ポッティング部６から中空糸膜束３がケース２内に延びる中空糸膜束３の延在方向（中心軸線Ｌ１方向）に直交する方向において、流出口９Ａｂが、中空糸膜束３の上端部３Ｕの高さ位置と重ならない位置関係になっている。すなわち、流出口９Ａｂは、流出口９Ａｂの下方（一端部側）の壁面の延在方向に引いた線が、中空糸膜束３の上端部３Ｕの高さ位置と重ならない位置関係になっている。流出口９Ａｂは、流出口９Ａｂの下方（一端部側）の壁面の延在方向に引いた線が、中空糸膜束３の上端部３Ｕの高さ位置よりも上方になるように配置されていることが好ましい。このような構成とすることにより、中空糸膜モジュール１ｂ使用時に、中空糸膜束３の上端部３Ｕの高さ位置が液体の水面よりも下方に位置することになるため、液体の脱気を効率よく行うことができる。

　また、本実施形態では、第２蓋部材５における中心軸線Ｌ１上に位置する中央部に、中心軸線Ｌ１に沿って下方に突出する円筒状の真空ポート１２が形成されている。真空ポート１２は、気室ｇに連通し、図示省略する引き込みポンプ（真空ポンプ）に接続される。

　図１２には、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂにおける液体の流れが示されている。
　図１２に示すように、脱気モジュール１ｂでは、まず、液体は、矢印αｂに示すように、管部材１５の内部を通って、流入口１６からケース２内の液室ｆに流れる。
　次に、矢印βｂに示すように、ケース２内に流れた液体は、中心軸線Ｌ１に直交する流れを有しつつ、流出ポート９ｂ側に向けて上方に流れる。この際、流入口１６と流出ポート９ｂ（流出口９Ａｂ）が中空糸膜束３の延在方向で大きく離間するため、液体が、中空糸膜束３の延在方向の広範囲に接触しながら、流出ポート９ｂへ向かう。
　そして、液体は、矢印γｂに示すように、流出口９Ａｂを通って外部に排出される。

　なお、ケース２内に流入されて流出される液体は、図示しないポンプによって圧送されてケース２内に導入される。ポンプは、流出ポート９ｂの下流側に配置されて液体を引き込む構成でもよいし、管部材１５の上流側に配置されて液体を押し出す構成でもよい。

　また、液室ｆに液体が流れる際には、液室ｆ内に曝された中空糸膜３０の外表面から液体に含まれる気体が中空糸膜３０の内部に取り込まれ、脱気が行われる。
　気体の取り込みは、中空糸膜３０の内部が、上記した真空ポンプによって真空引きされることで行われる。なお、図１２において、矢印δｂは、真空ポンプの引き込み方向を示している。

　以上に記載した本実施形態の脱気モジュール１ｂは、複数の中空糸膜３０からなる中空糸膜束３と、中空糸膜束３を収納するケース２と、ケース２内に液体を流入させる開口である流入口１６を有し、この流入口１６介してケース２内に連通する管部材１５と、を備えている。
　そして、中空糸膜束３が、その一端部である下端部３Ｄのみでポッティング部６によりケース２内に固定されている。そして、管部材１５は、ケース２の中心を通って、ポッティング部６から中空糸膜束３がケース２内に延びる中空糸膜束３の延在方向（中心軸線Ｌ１）に沿って延びる状態でケース２内に配置されている。
　そして、中空糸膜３０の外表面からケース２内の液体に含まれる気体を中空糸膜３０の内部に取り込んで脱気を行う。

　このような脱気モジュール１ｂでは、中空糸膜束３が一端部である下端部３Ｄのみでケース２内に固定され、他端部である上端部３Ｕが自由端となるため、中空糸膜３０間に液体が入り込み易くなり、効率良く脱気を行うことができる。
　また、管部材１５に形成された開口である流入口１６により中空糸膜束３の延在方向に直交する方向に沿う液体の流路を形成できるため、中空糸膜束３の形態が潰れ難く、安定した脱気を行うことができる。また、流入口１６から液体が中空糸膜束３の広範囲に広がって流れるため、効率良く脱気を行うことができる。
　また、ポッティング部６がケース２内に一つであるため、製造コストを抑制できるとともに、小型化を図ることができる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂでは、管部材１５における開口である流入口１６は、ケース２内に液体を流入させる流入口であり、ケース２内における中空糸膜束３の一端部である下端部３Ｄ側に形成され、ケース２内の液体を流出させる流出口９Ａｂを有する流出ポート９が、ケース２内における中空糸膜束３の他端部である上端部３Ｕ側に設けられている。

　この構成により、中空糸膜束３の一端部（下端部３Ｄ）から他端部（上端部３Ｕ）にわたる液体の流路を形成し、中空糸膜束３の広範囲を有効に利用して脱気を行うことが可能となり、脱気の効率を向上できる。また、液体が中空糸膜束３の根元部、すなわち下端部３Ｄ側に流れ、過度に中空糸膜束３が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなり、脱気の効率を向上できる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂでは、中心軸線Ｌ１方向に直交する方向において、流出ポート９ｂにおける流出口９Ａｂが、中空糸膜束３の他端部である上端部３Ｕの高さ位置と重ならない位置に形成されている。
　この構成により、本実施形態では、中空糸膜束３を可及的広範囲で有効に利用して脱気を行うことが可能となり、脱気の効率を向上できる。
　すなわち、中心軸線Ｌ１方向に直交する方向において、流出ポート９ｂにおける流出口９Ａｂが、中空糸膜束３の他端部である上端部３Ｕの高さ位置と重なる位置に形成される場合には、液体が流出口９Ａｂから離れる位置ほど流れ難くなる。一方で、中心軸線Ｌ１方向において、流出ポート９ｂにおける流出口９Ａｂが、中空糸膜束３の他端部である上端部３Ｕの高さ位置と重ならない位置に形成されていれば、径方向で、流出口９Ａｂから大きく離れる位置の中空糸膜３０にも液体が流れ易くなり、液体が広範囲に流れ易くなる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂでは、中空糸膜束３における中空糸膜３０がＵ字状に折り返されて、その両端部をポッティング部６に埋設されることで、中空糸膜束３の一端部である下端部３Ｄがポッティング部６によりケース２内に固定されている。
　この構成により、本実施形態では、少ない本数の中空糸膜３０で所望の中空糸膜３０の密度を確保できるため、製造効率を向上できる。また、中空糸膜３０がＵ字状を呈することで、自立状態を保持し易くなり、過度に中空糸膜束３が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなり、脱気の効率を向上できる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂでは、中心軸線Ｌ１方向において、中空糸膜束３の他端部である上端部３Ｕの高さ位置Ｈ１が、略同一に揃えられている。
　この構成により、本実施形態では、液体が局所に偏って流れ難くなり、中空糸膜束３が拡散するのを抑制できることで、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなり、脱気の効率を向上できる。

　さらに、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂでは、中心軸線Ｌ１方向における中空糸膜束３の複数箇所に、中心軸線Ｌ１に直交する方向に延びて複数の中空糸膜３０を連結する経糸３１が設けられている。
　この構成により、本実施形態では、中空糸膜束３の自立状態を確実に保持し易くなり、過度に中空糸膜束３が拡散するのを好適に抑制できる。液体の粘性が高い場合には、中空糸膜３０は大きく拡散し易くなるため、本構成は、特に液体の粘性が高い場合に有効に機能する。

　中空糸膜３０は、中空糸膜３０の中空部－外側間を気体が透過する気体透過性を有する。
　中空糸膜３０の外径は、２８０μｍ以下であることが好ましく、２５０μｍ以下であることがより好ましい。より具体的には、２５０～１５０μｍであることが好ましく、２２０～１８０μｍであることがより好ましい。中空糸膜３０の外径が上記数値範囲内であると、ケース内において中空糸膜間により効率的な流路を形成することができる。
　中空糸膜３０の内径は、１００μｍ以上であることが好ましく、１２０μｍ以上であることがより好ましい。中空糸膜３０の内径は、２００μｍ以下であることが好ましい。より具体的には、１００～２００μｍであることが好ましく、１１０～１６０μｍであることがより好ましい。中空糸膜３０の内径が上記数値範囲内であると、ケース２内に充分な本数の中空糸膜３０を収納でき、良好な脱気性能と耐久性を維持できる。

　中空糸膜３０の膜厚は、２０～７０μｍが好ましく、２５～５５μｍがより好ましい。
　膜厚が上記範囲の上限値以下であると、ケース２内における中空糸膜３０の内側を繰り返し減圧した際の耐久性に優れる。膜厚が上記範囲の下限値以上であると、脱気性能を良好に維持できる。

　なお、中空糸膜の膜厚は、中空糸膜の内径と外径との差から、下記式（１）により算出される。
　中空糸膜の膜厚＝（中空糸膜の外径－中空糸膜の内径）／２・・・（１）
　中空糸膜の内径および外径は、下記のように実測する。
　まず、中空糸膜を数本束ねて、その外側全体をポリウレタン樹脂で覆って、硬化させる。ついで、硬化した束を中空糸膜の径方向に沿って、その長手方向の長さが数ｍｍとなるようにスライスし、厚み数ｍｍの薄片状のサンプルを得る。ついで、このサンプルの断面の光学像を投影機を用いて例えば１００倍の倍率でスクリーンに投影する。投影された像において、各中空糸膜の外径および内径を測定する。このようにサンプルを切り出して測定する操作を５回以上繰り返し、全数値の平均値をもって、中空糸膜の外径および内径とする。

　中空糸膜３０は、気体透過性の均質層と、前記均質層を支持する多孔質支持層とを有する複合膜であることが、強度に優れるとともに、液体の漏れを抑制しつつ溶存ガスを効果的に除去でき、脱気性能に優れる点で好ましい。
　複合膜の具体的な層構成としては、均質層の内側または外側に多孔質支持層が設けられた二層構造、均質層の内側と外側に多孔質支持層が設けられた三層構造が好ましく、強度および脱気性能の点で三層構造がより好ましい。

　均質層の材質としては、ポリジメチルシロキサン、シリコンとポリカーボネートの共重合体等のシリコンゴム系樹脂；エチレンとα－オレフィンとの共重合体、ポリ４－メチルペンテン－１、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、直鎖状超低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、アイオノマー樹脂、エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸メチル共重合体、変性ポリオレフィン（例えば、オレフィンの単独重合体または共重合体と、マレイン酸、フマル酸等の不飽和カルボン酸、酸無水物、エステルまたは金属塩等との反応物。）等のポリオレフィン系樹脂；ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素含有樹脂；エチルセルロース等のセルロース系樹脂；ポリフェニレンオキサイド；ポリ４－ビニルピリジン；ウレタン系樹脂；等が挙げられる。これらの樹脂は１種単独で使用しても、２種以上をブレンドして用いてもよい。また、これらの樹脂の共重合体も使用できる。

　なかでも均質層の材質としては、ポリオレフィン系樹脂が好ましく、密度が０．８５０～０．９１０ｇ／ｃｍ^３のポリオレフィン系樹脂がより好ましい。密度が上記範囲内のポリオレフィン系樹脂により形成された均質層は、高流量で処理対象の液体を通液した際でも脱気性能に優れるとともに、実用上適した融点または軟化点となる。

　なお、密度は、ＪＩＳ　Ｋ　７１１２（ＡＳＴＭ　Ｄ１５０５と同じ規定。）に基づいて測定される。
　密度が上記範囲のポリオレフィン系樹脂は、示差走査型熱量計（ＤＳＣ）で測定した融点（Ｔｍ）が、約４０～１００℃となる。

　中空糸膜３０の耐薬品性の点からは、均質層を形成するポリオレフィン系樹脂は、エチレンと炭素数３～２０のα－オレフィンとが共重合した分子量分布が４．０以下のエチレン・α－オレフィン共重合体が好ましい。

　炭素数３～２０のα－オレフィンとしては、プロピレン（炭素数３）、イソブチレン（炭素数４）、１－ブテン（炭素数４）、１－ペンテン（炭素数５）、１－ヘキセン（炭素数６）、４－メチル－１－ペンテン（炭素数６）、１－オクテン（炭素数８）が挙げられる。炭素数３～２０のα－オレフィンとしては、炭素数４～２０のα－オレフィンが好ましく、炭素数６～８のα－オレフィンがより好ましく、１－ヘキセンまたは１－オクテンが特に好ましい。
　炭素数３～２０のα－オレフィンは、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。

　エチレン・α－オレフィン共重合体の分子量分布は、上述のとおり４．０以下が好ましく、３．５以下がより好ましく、３．０以下が特に好ましい。このように分子量分布が小さなエチレン・α－オレフィン共重合体は、メタロセン触媒を使用して共重合する方法等で得られる。例えば、ダウ・ケミカル社が開発したインサイト（シングルサイト）触媒、いわゆるメタロセン触媒の一種である拘束幾何触媒を使用して共重合する方法で得られる。

　なお、分子量分布とは、質量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）との比率（Ｍｗ／Ｍｎ）である。質量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ポリスチレンを標準試料として用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる。

　エチレンと炭素数３～２０のα－オレフィンとが共重合したエチレン・α－オレフィン共重合体は、炭素数３～２０のα－オレフィンを全モノマーの１０モル％以上用いて共重合したものが耐薬品性の点で好ましく、２０～４０モル％用いて共重合したものがより好ましい。

　均質層を形成するポリオレフィン系樹脂のメルトフローレート（ＭＦＲ）は、１９０℃において、０．１～５ｇ／１０ｍｉｎが好ましく、０．３～２ｇ／１０ｍｉｎがより好ましい。ＭＦＲが上記範囲の下限値以上であると、均質層の成形性に優れる。ＭＦＲが上記範囲の上限値以下であると、中空糸膜の製造時において、前記ポリオレフィン系樹脂が多孔質支持層側に流出することが抑制され、そのため、厚さが均一で、優れた脱気性能を有する均質層を形成できる。
　なお、ＭＦＲは、ＡＳＴＭ　Ｄ１２３８のＥ条件に従い、試験温度１９０℃、試験荷重２．１６ｋｇｆ（２１．１８Ｎ）で測定した値である。

　均質層の形成に好適なエチレン・α－オレフィン共重合体の市販品としては、α－オレフィンの炭素数が８であるダウ・ケミカル社製の「アフィニティー（ＡＦＦＩＮＩＴＹ）（登録商標）」、α－オレフィンの炭素数が６であるプライムポリマー社製の「エボリュー（登録商標）」等が挙げられる。

　なお、均質層を形成するポリオレフィン系樹脂には、樹脂以外の成分として、必要に応じて、酸化防止剤、紫外線吸収剤、滑剤、アンチブロッキング剤、着色剤、難燃化剤等の添加物が本発明の目的を損なわない範囲で添加されていてもよい。

　多孔質支持層の材質としては、ポリジメチルシロキサン、シリコンとポリカーボネートの共重合体等のシリコンゴム系樹脂；ポリ４－メチルペンテン－１、ポリ３－メチルブテン－１、低密度ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂；ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素含有樹脂；エチルセルロース等セルロース系樹脂；ポリフェニレンオキサイド；ポリ４－ビニルピリジン；ウレタン系樹脂；ポリスチレン；ポリエーテルエーテルケトン；ポリエーテルケトン等が挙げられる。これらの樹脂は１種単独で使用しても、２種以上をブレンドして用いてもよい。また、これらの樹脂の共重合体も使用できる。

　多孔質支持層の孔径は、０．０１～１μｍの範囲が好ましい。孔径が上記範囲の上限値以下であれば、均質層の微細孔（気体が透過する孔）内が濡れにくく、そのため、処理対象の液体に含まれる薬品による均質層の劣化が低減される。孔径が上記範囲の下限値以上であると、気体透過性が高くなり、脱気性能に優れる。また、多孔質支持層の空孔率は３０～８０体積％が好ましい。空孔率が上記範囲の下限値以上であると、気体透過性が向上し、脱気性能に優れる。空孔率が上記範囲の上限値以下であると、中空糸膜３０の耐圧性等の機械的強度が向上する。

　均質層および多孔質支持層の厚さは、膜厚が上記範囲内となるように決定されることが好ましく、その範囲内において、均質層の厚さは０．３～２μｍが好ましい。多孔質支持層の厚さは、２０～７０μｍが好ましく、２５～５５μｍがより好ましい。なお、ここでの多孔質支持層の厚みとは、多孔質支持層が複数の層からなる場合（たとえば、均質層の内側と外側に１層ずつ、合計２層の多孔質支持層が積層した場合等。）、複数の層の合計の厚みである。均質層および多孔質支持層の厚さが上記範囲の下限値以上であれば、中空糸膜３０の耐圧性、機械的強度等が向上し、上記範囲の上限値以下であれば、中空糸膜３０の気体透過性が向上し、脱気性能に優れる。また、中空糸膜３０の外径が大きくなり過ぎず、ケース２内に充分な本数の中空糸膜３０を収納できる。
　なお、多孔質支持層の厚さは、上述した中空糸膜の内径および外径の実測方法と同様にして、薄片状のサンプルの断面の投影像から実測でき、平均値として求める。すなわち、上述のようにして、厚み数ｍｍの薄片状のサンプルを得て、このサンプルの断面の光学像を投影機を用いて例えば１００倍の倍率でスクリーンに投影し、得られた投影像において、各中空糸膜における多孔質支持層の厚みを測定する。
　このようにサンプルを切り出して測定する操作を５回繰り返し、全数値の平均値をもって、中空糸膜の均質層および多孔質支持層の厚さとする。
　ただし、均質層の厚さは、通常、多孔質支持層の厚さに比べて非常に小さいため、実測が困難な場合がある。その場合には、上記式（１）で算出された「中空糸膜の膜厚」＝「多孔質支持層の厚み」とみなす。

　均質層と多孔質支持層との材質の組み合わせには、特に制限はなく、異種の樹脂を組み合わせて用いても、同種の樹脂を組み合わせて用いてもよい。

　均質層と多孔質支持層とを有する複合中空糸膜は、多層複合紡糸工程と延伸多孔質化工程を有する公知の方法等で製造できる。
　例えば、内層ノズル部と中間層ノズル部と外層ノズル部とが順次形成された、同心円状複合ノズルを用い、外層ノズル部と内層ノズル部には、多孔質支持層を形成するための溶融樹脂を供給し、中間層ノズル部には、均質層を形成するための溶融樹脂を供給する。そして、同心円状複合ノズルから、各溶融樹脂を押出して冷却固化させ、未延伸中空繊維を得る（多層複合紡糸工程）。次に、前記未延伸中空繊維を延伸し、内層と外層とを多孔質化する（延伸多孔質化工程）。これにより、均質層と、均質層の内側および外側に位置して均質層を支持する多孔質支持層とからなる、三層構造の中空糸膜が得られる。

　前記中空糸膜の破断強度が０．５Ｎ／ｆｉｌ以上、破断伸度が５０％以上であることが、中空糸膜モジュール製造加工工程での取り扱い性のため好ましい。破断強度が０．８～３Ｎ／ｆｉｌ、破断伸度が７０～４００％以上であることが好ましく、破断強度が１～２．５Ｎ／ｆｉｌ、破断伸度が１４０～３００％以上であることがより好ましい。
　ここで、「破断強度」とは、中空糸膜の長手方向に荷重をかけて延伸した際に破断する値のことを意味する。
　「破断伸度」とは、中空糸膜の長手方向に荷重を掛けながら延伸した際に破断に至るまでに示した伸びのことを意味する。

　なお、中空糸膜の破断強度、及び破断伸度は、以下の方法により測定することができる。
　（中空糸膜の破断強度及び破断伸度）
　テンシロン型引張試験機（例えば、オリエンテック社製、ＵＣＴ－１Ｔ型）を用い、中空糸膜を試長２ｃｍになるようにテンシロン型引張試験機のチャック部に把持させた状態で引張荷重を加え、荷重変化における破断伸度を中空糸膜が破断するまで測定する。この測定を３回行い、中空糸膜が破断した荷重の平均値を求める。

　前記中空糸膜束３のケース２断面における充填率は、２０～５０％であることが好ましく、３０～４５％がより好ましい。前記中空糸膜の充填率が下限値以上であれば、脱気モジュール１の小型化が容易になるうえ、脱気モジュール１内において液体の偏流が生じることを抑制しやすい。前記中空糸膜の充填率が上限値以下であれば、中空糸膜の充填が容易になり、適正な流路を確保した上でより多くの膜を充填することで性能を上げることが可能となる。
　なお、中空糸膜３０のケース２断面における充填率は、脱気モジュール１を中空糸膜束３の軸方向に対して垂直に切断したときのケース２内部の断面積に対する、充填された中空糸膜の断面積の総和の割合（％）を表わす。なお、中空糸膜内部の空間は、中空糸膜の断面積とみなさない。

　ケース２の大きさは、円筒状である場合、直径が２０～６０ｃｍであることが好ましく、長さが６０～２５０ｃｍであることが好ましい。

（第７の実施形態）
　次に、図１３～図１５を用いて、本発明の第７の実施形態に係る脱気モジュール１ｂ’について説明する。なお、第７の実施形態における第６の実施形態と同様の構成要素については、同一符合で示し、説明を一部省略する。

　脱気モジュール１ｂ’は、ケース２と、ケース２内に収納された中空糸膜束３と、を備えている。ケース２は、円筒状のケース本体２Ａと、ケース本体２Ａの両端開口を覆う第１蓋部材４及び第２蓋部材５と、備えている。ケース２は、ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５を結合させることで、略円柱状の外観を形成している。

　本実施形態では、第１蓋部材４は、下側に配置され、第２蓋部材５は、上側に配置されている。

　中空糸膜束３は、その上端部３Ｕのみでポッティング部６によりケース２内に固定され、ポッティング部６から中心軸線Ｌ１に沿って下方に延びている。中空糸膜束３は、第１の実施形態と同様に複数の小束３Ａを有し、各小束３Ａは、中心軸線Ｌ１に直交する方向に延びる経糸３１を、その下側の部位にのみ１つ設け、経糸３１によって複数の中空糸膜３０を束ねることで構成されている。
　なお、経糸３１は、複数の小束３Ａを連結してもよいし、小束３Ａの適所に複数設けられてもよい。

　また、本実施形態においても、中心軸線Ｌ１に沿う方向である中空糸膜束３の延在方向において、中空糸膜束３の下端部３Ｄの高さ位置Ｈ１が、略同一に揃えられている。

　本実施形態では、管部材１５が、その上端部をポッティング部６に埋入されて、中心軸線Ｌ１に沿って下方に延び、その下端部をケース２内の液室ｆに配置している。
　本実施形態では、管部材１５の下端部は開放し、上端部は栓体１５Ａによって液密及び気密に封止されている。そして、管部材１５は、ケース２内に液体を流入させる流入口１６が複数形成されている。これにより、管部材１５は、流入口１６を介してケース２内に連通している。

　本実施形態では、管部材１５の下端部が、中空糸膜束３の下端部３Ｄよりも下方に位置し、管部材１５の下端部は、円板状に形成された液体導入部２０の中央部に形成されたボス部２１の内周面に液密に嵌め込まれている。また、液体導入部２０は、その外周部をケース２の内周面（本例では、第１蓋部材４の内面）に液密に嵌め込んでおり、液室ｆを上下２室に区画している。

　そして、本実施形態では、第１蓋部材４に、中心軸線Ｌ１方向に沿って下方に突出し、液体をケース２内に流入させるための流入受入口８Ａｂが形成された円筒状の流入ポート８ｂが形成されており、流入ポート８ｂが外部から液体を受け入れる。そして、流入ポート８ｂから流入した液体は、まず、液室ｆのうちの液体導入部２０の下方の室に送られる。
　ここで、液体導入部２０は、ボス部２１によって管部材１５の下端部を下方側の液室ｆに開放させた状態で保持することで、管部材１５内に液体の一部を供給するようになっている。そして、管部材１５の流入口１６から液体が液室ｆのうちの液体導入部２０の上方の室に流入するようになっている。

　本実施形態において、流入口１６は、管部材１５の外周面において軸方向及び周方向で所定の間隔を空けて複数並んで形成され、管部材１５の外周面に形成されている。また、流入口１６は、中空糸膜束３のポッティング部６に固定された上端部３Ｕ側のものほど、下端部３Ｄ側のものよりも開口面積が小さくなるように形成されている。
　なお、詳細は図示しないが、本実施形態では、管部材１５の軸方向の所定位置の外周面に形成される流入口１６が、管部材１５の周方向に９０度間隔で、４つ形成されるが、他の態様であってもよい。

　また、本実施形態では、図１４も参照し、液体導入部２０に、管部材１５の外側で中空糸膜束３の延在方向に沿って液体を流入させるための液体通過口２２が複数形成されている。液体通過口２２は、管部材１５の軸方向視、すなわち中心軸線Ｌ１方向視で、管部材１５（液体導入部２０）の周方向に複数並んで形成されている。本実施形態では、液体通過口２２が、周方向に４５度間隔で並ぶが、他の態様であってもよい。「周方向に４５度間隔」とは、液体通過口２２の中心と液体導入部２０の中心とを結ぶ線が４５度の角度になるように形成されていることを意味する。液体導入部２０の管部材１５の軸方向視における表面積に対する、液体通過口２２の開口面積は、２０～７０面積％であることが好ましい。液体通過口２２の形状は特に限定されないが、円形状の中に効率的に配置するためには楔型またはその変形であることが好ましい。

　一方、ケース２では、中空糸膜束３の上端部３Ｕ側の部位に、ケース２内の液室ｆに連通して液体を通過させる流出ポート９ｂが設けられている。流出ポート９ｂは、ケース２内の液体を流出させる流出口９Ａｂを有する円筒状に形成されている。

　また、本実施形態では、第２蓋部材５における中心軸線Ｌ１上に位置する中央部に、中心軸線Ｌ１に沿って上方に突出する円筒状の真空ポート１２が形成されている。

　図１５には、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂ’における液体の流れが示されている。
　図１５に示すように、脱気モジュール１ｂ’では、まず、液体は、矢印αｂ’に示すように、流入ポート８ｂを通って、液室ｆのうちの液体導入部２０の上方の室に流れる。

　次に、矢印βｂ’及び矢印δｂ’に示すように、液体は、管部材１５の内部に流れるとともに、液体導入部２０の液体通過口２２側に流れる。そして、液体は、矢印δｂ’に示すように、液体通過口２２から中空糸膜束３の延在方向に沿って流れる。この際、液体通過口２２と流出ポート９ｂ（流出口９Ａｂ）が中空糸膜束３の延在方向で大きく離間するため、液体が、中空糸膜束３の延在方向の広範囲に接触しながら、流出ポート９ｂへ向かう。
　また、矢印ηｂ’に示すように、液体は、流入口１６から中空糸膜束３の延在方向（中心軸線Ｌ１）に直交する方向にも流れる。これにより、液体通過口２２から中空糸膜束３の延在方向に沿って流れる液体が掻き混ぜられ、液体が、中空糸膜束３に効果的に接触する。

　以上に記載した本実施形態に係る脱気モジュール１ｂ’においても、第６の実施形態のものと同様の効果が得られる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂ’では、管部材１５における開口が液体の流入口１６であり、ケース２内における中空糸膜束３の他端部である下端部３Ｄ側（詳しくは、第１蓋部材４）に、管部材１５の外側で中空糸膜束３に沿って液体を流入させる液体導入部２０が設けられている。そして、ケース２内の液体を流出させる流出口９Ａｂを有する流出ポート９ｂが、ケース２内における中空糸膜束３の一端部である上端部３Ｕ側に設けられている。

　この構成により、本実施形態では、中空糸膜束３の他端部（下端部３Ｄ）から一端部（上端部３Ｕ）にわたる液体の流路を形成するとともに、管部材１５によって中空糸膜束３の延在方向に直交する方向に沿う液体の流路を形成することで、中空糸膜束３を可及的広範囲で有効に利用して脱気を行うことが可能となり、脱気の効率を向上できる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂ’では、管部材１５における流入口１６が、管部材１５の外周面で開放するように形成されるとともに、管部材１５の軸方向に複数形成され、流入口１６が、中空糸膜束３の一端部である上端部３Ｕ側のものほど、他端部である下端部３Ｄ側のものよりも開口面積が小さく形成されている。
　この構成により、中空糸膜束３を可及的広範囲で有効に利用して脱気を行うことが可能となり、脱気の効率を向上できる。

　また、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂ’では、管部材１５の軸方向視で、液体導入部２０が、管部材１５の周方向に並ぶ複数の液体通過口２２を有しているので、中空糸膜束３を可及的広範囲で有効に利用して脱気を行うことが可能となり、脱気の効率を向上できる。

　さらに、本実施形態に係る脱気モジュール１ｂ’では、流入口１６が、管部材１５の外周面において軸方向及び周方向で所定の間隔を空けて複数並んで形成されているので、中空糸膜束３を可及的広範囲で有効に利用して脱気を行うことが可能となり、脱気の効率を向上できる。

　以上、本発明の実施形態６及び７について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

　例えば、上記各実施形態６及び７では、ケース２において、ケース本体２Ａ、第１蓋部材４及び第２蓋部材５がそれぞれ別体である例を説明したが、これらは一体化されていてもよい。
　例えば、第６の実施形態であれば、ケース本体２Ａと第１蓋部材４とを一体にして、第２蓋部材５だけを別体にする等の構成であってもよい。

　また、上記第６の実施形態では、管部材１５の下端部がポッティング部６に埋入される構成を説明したが、管部材１５の下端部が液室ｆ内に位置するようにケース２に支持され、その下端部又は上端部に中心軸線Ｌ１に沿って開放する流入口としての開口が形成されてもよいし、その下端部又は上端部の外周面に開口が形成されてもよい。

　また、上記第６の実施形態では、流入口１６が下側に配置され、流出ポート９が上側に配置される構成を説明したが、このような上下の向き等は特に限定されるものでなく、例えば、流入口１６と流出ポート９ｂとが水平方向で離間して位置する構成であってもよいし、中空糸膜束３が水平方向に延びる構成等であってもよい。また、流入口１６が上側に位置し、流出ポート９ｂが下側に位置してもよい。なお、このような位置関係は、第７の実施形態においても同様の変更が可能である。

　また、上記各実施形態６及び７では、ケース２は横断面で円形状の筒状体としたが、形状はこれに限定されるものではない。例えば、ケース２は横断面で矩形状の中空体等としてもよい。

　また、第７の実施形態では、液体導入部２０における液体通過口２２を、液体導入部２０の周方向全域にわたって間隔を空けて複数形成したものであるが、液体通過口２２は、液体導入部２０の周方向全域にわたって形成されていなくてもよい。

　また、第７の実施形態では、管部材１５に形成された流入口１６が、中空糸膜束３の上端部３Ｕ側のものほど、下端部３Ｄ側のものよりも開口面積が小さく形成されるものを説明したが、流入口１６の開口面積は、すべて同一のものであってもよい。

　また、第７の実施形態で説明した構成である、流入口１６の開口面積が、中空糸膜束３の上端部３Ｕ側のものほど、下端部３Ｄ側のものよりも開口面積が小さく形成される構成では、一つの開口の大きさは同一として、上端部３Ｕ側のものの形成個数を、下端部３Ｄ側よりも少なくする態様で実施してもよい。

　また、第６の実施形態では、流入口１６が、管部材１５のポッティング部６の上方直近の位置の外周面のみで開放して、中心軸線Ｌ１に直交する方向に向いており、管部材１５の外周面の周方向に複数並んで形成されていると説明した。
　ここで、第６の実施形態の構成である場合は、これの他の態様として、流入口１６を介してケース２内に流入する液体が、流出ポート９が形成される側よりも、流出ポート９が形成される側とケース２の中心を挟んで反対側のほうから多く流れるように構成するのもよい。
　この場合には、中空糸膜束３全体に液体が広がり易くなり、脱気の効率を向上できる。
　具体的な構成としては、径方向で、流出ポート９ｂが形成される側の反対側に向いて開放する流入口１６の開口面積を、流出ポート９ｂが形成される側を向いて開放する流入口１６の開口面積よりも大きくする等の態様が考えられる。

　上記第６の実施形態では、液体導入部２０を有さない構成であるが、上記第７の実施形態のように液体導入部２０を有していてもよく、管部材１５の上端部は開放されていてもよい。

　上記第６の実施形態では、複数の流入部１６を有さない構成であるが、上記第７の実施形態のように複数の流入部１６を有していてもよい。また、流入口１６が中空糸膜束３の上端部３Ｕ側のものほど、下端部３Ｄ側のものよりも開口面積が小さく形成されるものであってもよいし、流入口１６の開口面積がすべて同一のものであってもよい。
　さらに、上記各実施形態では、中空糸膜モジュールの一例として真空ポンプを用いた脱気モジュールを説明したが、真空ポンプに代えて給気ポンプ等を用いてモジュール内に加圧気体を供給することにより、本発明は、気液混合モジュールとしても用いることができる。この場合であっても水の流れは上記各実施形態と同様となり、中空糸膜束の広範囲に広がって液体が流れるという発明の効果としては同じであり、気液混合の効率を向上できる。
　また、上記各実施形態では、中空糸膜束３が、その一端部のみでケース２内に固定される例を説明したが、中空糸膜束３は、両端部をケース２に固定されてもよい。

　本発明によれば、中空糸膜束が一端部でケース内に固定され、他端部が自由端となるため、中空糸膜間に液体が入り込み易くなり、効率良く脱気又は気液混合を行うことができる。また、ポッティング部がケース内に一つであるため、製造コストを抑制できるとともに、小型化を図ることができる。
　さらに、当該モジュールをインクジェットプリンタに搭載することで、インクの生産性、保存安定性、出射性及び印刷時の粒状性等に優れるインクジェットプリンタを提供することができる。

　１　脱気モジュール（中空糸膜モジュール）　２　ケース　２Ａ　ケース本体　３　中空糸膜束　３Ａ　小束　３０　中空糸膜　３１　経糸　６　ポッティング部　８　第１ポート　８Ａ　流出口　９　第２ポート　９Ａ　流入口　１０　分散板　１１　開口　９ｂ　流出ポート　１５　管部材　１６　流入口　２０　液体導入部　２１　ボス部

Claims (21)

1. 　複数の中空糸膜からなる中空糸膜束と、
   　前記中空糸膜束を収納するケースと、を備える外部灌流型の中空糸膜モジュールであって、
   　前記中空糸膜束の一端部が、ポッティング部により前記ケース内に開口状態で固定され、
   　前記ケース内の液体に含まれる気体を、前記中空糸膜の外表面から内部に取り込んで脱気を行うように構成されている外部灌流型の中空糸膜モジュール。
2. 　前記中空糸膜が気体透過性の均質層と、前記均質層を支持する多孔質支持層とを有する複合膜であることを特徴とする請求項１に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
3. 　前記中空糸膜の外径が２８０μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
4. 　前記中空糸膜の破断強度が０．５Ｎ／ｆｉｌ以上、破断伸度が５０％以上であることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
5. 　前記中空糸膜束のケース断面における充填率が２０～５０％であることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の外部潅流型の中空糸膜モジュール。
6. 　前記ケース内における前記中空糸膜束の一端部側に、前記ケース内に連通して液体を通過させる第１ポートが設けられ、
   　前記ケース内における前記中空糸膜束の他端部側に、前記ケース内に連通して液体を通過させる第２ポートが設けられている請求項１～５のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
7. 　前記第１ポートは、前記ケース内の液体を流出させる流出口を有する流出ポートであり、前記ケースの中心から離間した位置に前記流出口を配置し、
   　前記第２ポートは、前記ケース内に液体を流入させる流入口を有する流入ポートであり、
   　前記流入ポートの前記流入口を介して前記ケース内に流入する液体が、前記流出口が形成される側よりも、前記流出口が形成される側と前記ケースの中心を挟んで反対側のほうから多く流れるように構成されている請求項６に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
8. 　前記流入口は、前記ケースの中心を通って、前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向に延びる直線上に配置され、
   　前記ケース内には、前記流入口から流入した液体を通過させる開口を有する分散板が配置され、
   　前記分散板は、前記流出口が形成される側と前記ケースの中心を挟んで反対側の領域に形成される前記開口の開口面積が、前記流出口が形成される側の領域に形成される前記開口の開口面積よりも大きくなるように形成されている請求項７に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
9. 　前記ケース内に液体を流入、又は前記ケース内の液体を流出させる開口を介して前記ケース内に連通する管部材をさらに備え、
   　前記管部材は、前記ケースの中心を通って、前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向に沿って延びるように設置されている、請求項１～５のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
10. 　前記管部材における前記開口が、前記管部材の外周面に形成されている、請求項９に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
11. 　前記管部材における前記開口は、前記ケース内に液体を流入させる流入口であり、前記ケース内における前記中空糸膜束の一端部側で開放し、
    　前記ケース内の液体を流出させる流出口を有する流出ポートが、前記ケース内における前記中空糸膜束の他端部側に設けられている請求項９又は１０に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
12. 　前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向に直交する方向において、前記流出ポートにおける前記流出口が、前記中空糸膜束の他端部の高さ位置と重ならない位置に形成されている請求項１１に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
13. 　前記管部材における前記開口は、前記ケース内に液体を流入させる流入口であり、
    　前記ケース内における前記中空糸膜束の他端部側には、前記管部材の外側で前記中空糸膜束に沿って液体を流入させる液体導入部が設けられ、
    　前記ケース内の液体を流出させる流出口を有する流出ポートが、前記ケース内における前記中空糸膜束の一端部側に設けられている、請求項９に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
14. 　前記管部材における前記開口が、前記管部材の外周面に形成されるとともに、前記管部材の軸方向に複数形成され、
    　前記開口は、前記中空糸膜束の一端部側のものほど、他端部側のものよりも開口面積が小さく形成されている、請求項１３に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
15. 　前記管部材の軸方向視で、前記液体導入部は、前記管部材の周方向に並ぶ複数の液体通過口を有している請求項１３又は１４に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
16. 　前記管部材における前記開口が、前記管部材の外周面において軸方向及び周方向で所定の間隔を空けて複数並んで形成され、前記管部材の外周面に形成されている請求項１３～１５のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
17. 　前記中空糸膜束における前記中空糸膜がＵ字状に折り返されて、その両端部を前記ポッティング部に埋設されることで、前記中空糸膜束の一端部が前記ポッティング部により前記ケース内に固定されている請求項１～１６のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
18. 　前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向において、前記中空糸膜束の他端部の高さ位置が、略同一に揃えられている請求項１～１７のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
19. 　前記ポッティング部から前記中空糸膜束が前記ケース内に延びる前記中空糸膜束の延在方向における前記中空糸膜束の少なくとも１箇所に、前記延在方向に直交する方向に延びて複数の前記中空糸膜を連結する経糸が設けられている請求項１～１８のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
20. 　前記ケースが円筒状である請求項１～１９のいずれか一項に記載の外部灌流型の中空糸膜モジュール。
21. 　請求項２０記載の中空糸膜モジュールを有する、インクジェットプリンタ。

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