WO2015049858A1 - ロボット及びロボットの制御方法 - Google Patents

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康彦 橋本
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Kawasaki Motors Ltd
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Kawasaki Heavy Industries Ltd
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Definitions

  • the present invention relates to a robot and a robot control method.
  • robots having a function of teaching the position of a target such as a semiconductor wafer or a glass wafer are known.
  • the robot described in Patent Document 1 includes a first arm portion that is rotatably provided with respect to a base, and a second arm portion that is rotatably attached to a distal end portion of the first arm portion.
  • tip part of a 2nd arm part are provided.
  • the first arm is rotationally driven by first arm driving means
  • the second arm is rotationally driven by first arm driving means
  • the hand is rotationally driven by wrist axis driving means having a servo motor.
  • the hand is brought into contact with the target, thereby displacing the angular position of the wrist shaft fixedly attached to the hand, Detected by servo motor encoder. Then, the position of the target in the XY plane is determined based on the shape / size data of the hand stored in the storage unit and the posture of the robot arm at the time of contact and the angular position of the wrist axis.
  • a wrist having a horizontal degree of freedom is provided at the tip of the arm.
  • the wrist is provided with a hand having a contact portion.
  • the contact portion is formed in a portion (wrist portion) closer to the wrist shaft than the support portion that supports the wafer, and the first tilt portion that inclines in one circumferential direction of the wrist shaft as the distance from the wrist shaft increases.
  • a second inclined portion connected to the first inclined portion that is inclined to the other circumferential direction of the wrist shaft as it is away from the wrist shaft.
  • the robot described in Patent Document 2 detects the position of the target based on a portion where the first inclined portion formed in the wrist portion and the second inclined portion formed in the support portion are connected, so that the conventional end There was a problem that it could not be applied to effectors.
  • a robot includes a robot arm including an arm and a hand rotatably attached to a distal end portion of the arm about a rotation axis, and the arm An arm driving unit that moves the hand by driving the hand, a hand driving unit that rotates the hand, a hand angular position detection unit that detects an angular position around the rotation axis of the hand, and the arm driving unit And a control unit that controls the hand drive unit, and the hand includes a blade that has a contact sliding surface that extends in the first direction and slides in contact with the teaching target, The contact sliding surface is configured to include a characteristic portion having a bending point in the first direction.
  • the teaching target and the characteristic portion are brought into contact with each other, and based on the displacement of the angular position of the hand caused by the characteristic portion detected by the hand angular position detection unit, It is possible to detect the position on a plane including the extending axis of the tangential sliding surface and orthogonal to the rotation axis. Therefore, the position of the teaching target can be detected quickly, and teaching to the robot can be performed quickly.
  • the feature may be a step in the first direction.
  • the position of the teaching target can be detected more quickly, and teaching to the robot can be performed more quickly.
  • the control unit controls the arm driving unit to move the hand so that the teaching target moves relatively on the contact sliding surface in the first direction or in the direction opposite to the first direction.
  • the position of the teaching target is detected based on a displacement of the angular position of the hand in a direction intersecting with the first direction caused by the feature, which is detected by the hand angular position detector. May be.
  • the teaching target and the characteristic portion are brought into contact with each other, and the hand detected by the hand angular position detection unit.
  • the position of the teaching target in a known two-dimensional plane can be detected based on the displacement of the angular position. Therefore, the position of the teaching target can be detected quickly, and teaching to the robot can be performed quickly.
  • the control unit may be configured such that the hand can follow the shape change of the characteristic portion of the contact sliding surface by controlling the hand driving unit.
  • the displacement of the angular position of the hand caused by the characteristic part can be clarified, and the position of the teaching target can be detected with high accuracy.
  • the feature portion may be a convex portion protruding from the contact sliding surface or a concave portion recessed from the contact sliding surface.
  • the position of the teaching target can be detected with higher accuracy.
  • a robot control method includes a robot arm including an arm and a hand attached to the tip of the arm so as to be rotatable about a rotation axis.
  • An arm driving unit that drives the arm to move the hand
  • a hand driving unit that rotates the hand
  • a hand angular position detection unit that detects an angular position around the rotation axis of the hand
  • a robot control method comprising: an arm drive unit; and a control unit that controls the hand drive unit, wherein the hand extends in a first direction and contacts the teaching target to slide.
  • a blade having a contact sliding surface wherein the contact sliding surface includes a feature having a bending point in the first direction
  • the control unit controls at least the arm driving unit.
  • the hand is moved in the second direction so that the teaching target moves relatively on the abutting sliding surface in the first direction or in the direction opposite to the first direction, and the hand angular position detector The position of the teaching target is detected based on the displacement of the angular position of the hand in the direction intersecting the abutting sliding surface caused by the feature.
  • the feature detected by the hand angular position detection unit is brought into contact with the teaching target by moving the hand so that the teaching target relatively moves on the contact sliding surface.
  • the position of the teaching target in a known two-dimensional plane can be detected based on the displacement of the angular position of the hand caused by the portion. Therefore, the position of the teaching target can be detected quickly, and teaching to the robot can be performed quickly.
  • the position of the teaching target can be quickly detected.
  • FIG. 2 is a block diagram schematically showing a configuration example of a control system of the robot of FIG. 1.
  • 3 is a flowchart illustrating an operation example of the robot of FIG. 1.
  • 3 is a flowchart illustrating an operation example of the robot of FIG. 1. It is a figure which shows the operation example of the robot of FIG. 1. It is a figure which shows the operation example of the robot of FIG. It is a figure which shows the operation example of the robot of FIG.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hoop in which a robot and a substrate according to an embodiment of the present invention are housed.
  • FIG. 2 is a plan view showing a configuration example of a hoop in which the robot and the substrate according to the embodiment of the present invention are housed.
  • the robot 100 is a robot that transports substrates such as semiconductor wafers and glass wafers, for example.
  • the robot 100 takes out a substrate from a FOUP (FOUP (Front Opening) Unified Pod) 150 and stores the substrate in the FOUP 150.
  • FOUP Front Opening
  • Examples of semiconductor wafers include silicon wafers, sapphire (single crystal alumina) wafers, and other various wafers.
  • examples of the glass wafer include a glass substrate for FPD (Flat Panel Display) and a glass substrate for MEMS (Micro Electro Mechanical Systems).
  • the hoop 150 includes a pair of side walls 151 that face each other, an upper wall 152 and a lower wall 153 that connect the upper and lower ends of the side wall 151, and a plurality of pairs of substrates provided on the side walls 151.
  • a support portion 154 and first and second teaching targets 155a and 155b are provided.
  • the front surface of the hoop 150 is open and constitutes a front opening 156. The robot 100 unloads the substrate from the hoop 150 through the front opening 156 and loads the substrate into the hoop 150.
  • the substrate support unit 154 supports the end portions of the plurality of substrates W so that the plurality of substrates are arranged in a horizontal posture with an interval in the vertical direction. As shown in FIG. 2, for example, the center of the substrate supported by the substrate support portion 154 when viewed from the vertical direction constitutes the teaching point T, but is not limited thereto.
  • the teaching point T means that the control unit 61 (to be described later) of the robot 100 detects the position of the teaching point T, so that the robot 100 can carry out the substrate P from the FOUP 150 or carry the substrate P into the FOUP 150. It is the position to make.
  • the extending direction of the rotation axis L1 described later of the robot 100 is referred to as the z direction
  • the direction orthogonal to the z direction is referred to as the x direction
  • the direction orthogonal to the z direction and the x direction is referred to as the y direction.
  • the x direction is set in the direction from the robot 100 toward the hoop 150 and in the opposite direction.
  • the first and second teaching targets 155a and 155b are each formed in a columnar shape, for example, and are formed so as to protrude upward from the lower wall 153.
  • the first and second teaching targets 155a and 155b are arranged in a line in a direction from one side wall 151 toward the other side wall 151. Further, the positional relationship between the first and second teaching targets 155a and 155b and the teaching point T in the xy plane is stored in advance in the storage unit 62 described later.
  • the teaching point T is separated by a distance d in a direction in which a line orthogonal to the line extends from a midpoint of a line connecting the first and second teaching targets 155a and 155b, for example.
  • the storage unit 62 stores the distance d, for example.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the internal mechanism of the robot 100.
  • the robot 100 includes a base 10, a lower arm 20, an upper arm 30, a hand 40, and a controller 60 (see FIG. 4) that controls the operation of the robot 100.
  • the lower arm 20 and the upper arm 30 constitute an arm of the robot 100
  • the lower arm 20, the upper arm 30 and the hand 40 constitute a robot arm of the robot 100.
  • the base 10 is, for example, a hollow cylindrical member.
  • a lower arm drive unit 15 including a servo motor is disposed inside the base 10.
  • the lower arm drive unit 15 includes a lower arm rotating main gear 16.
  • the robot 100 includes an elevating mechanism 18 (see FIG. 4).
  • the elevating mechanism includes, for example, a well-known ball screw mechanism (not shown) and a servo motor with an encoder (elevating mechanism driving unit 19) for driving the elevating mechanism.
  • a movable body (not shown) on which the arm driving unit 15 is installed in the z direction
  • the lower arm 20, the upper arm 30, and the hand 40 are integrally moved in the z direction.
  • the hand 40 can be moved up and down between the raised position and the lowered position.
  • the height position of the lowered position is set lower than the height position of the lower wall 153 of the hoop 150. Further, the height position of the raised position is set higher than the height position of the uppermost substrate support portion 154.
  • the lower arm 20 is, for example, a hollow plate-like member, and is formed in a substantially strip shape in plan view. As shown in FIG. 3, the lower arm 20 has a lower arm rotation shaft 21 formed so as to protrude downward from the bottom surface of the base end portion thereof.
  • the lower arm rotation shaft 21 is attached to the base 10 so as to be rotatable about a rotation axis L1 extending in the z direction. Therefore, the lower arm 20 is configured to rotate in the xy plane.
  • the rotation axis L1 constitutes the reference point O on the xy plane.
  • a lower arm rotation driven gear 22 is fixed to the lower end of the lower arm rotation shaft 21.
  • the lower arm rotating driven gear 22 is provided at the same height as the lower arm rotating main gear 16 of the base 10 and meshes with the lower arm rotating main gear 16.
  • the lower arm 20 is provided with an upper arm drive unit 25 including a servo motor.
  • the upper arm drive unit 25 includes an upper arm rotating main gear 26.
  • the relative angular position around the rotation axis L1 with respect to the base 10 of the lower arm 20 is detected by the encoder of the servo motor of the lower arm drive unit 15.
  • the upper arm 30 is, for example, a hollow plate-like member, and is formed in a substantially strip shape in plan view. As shown in FIG. 3, the upper arm 30 is provided with an upper arm rotation shaft 31 so as to protrude downward from the bottom surface of the base end portion 30a.
  • the upper arm rotation shaft 31 is attached to the lower arm 20 so as to be rotatable about a rotation axis L2 extending in parallel with the rotation axis L1. Accordingly, the upper arm 30 is configured to rotate on the xy plane.
  • the upper arm rotation driven gear 32 is fixed to the lower end portion of the upper arm rotation shaft 31.
  • the upper arm rotation driven gear 32 is provided at the same height as the upper arm rotation main gear 26 of the lower arm 20 and meshes with the upper arm rotation main gear 26.
  • the upper arm 30 has a hand drive unit 35 including a servo motor disposed therein.
  • the hand drive unit 35 includes a hand rotation main gear 36.
  • the relative angular position around the rotation axis L2 with respect to the lower arm 20 of the upper arm 30 is detected by the encoder of the servo motor of the upper arm drive unit 25.
  • the hand 40 includes a wrist 40 a formed on the proximal end side of the hand 40 and a blade 40 b formed on the distal end side of the hand 40.
  • the list 40a and the blade 40b are formed continuously.
  • the wrist 40a has a hand rotation shaft 41 formed so as to protrude downward from the bottom surface of the base end portion 40a.
  • the hand rotation shaft 41 is attached to the hand 40 so as to be rotatable about a rotation axis L3 extending in parallel with the rotation axes L1 and L2. Therefore, the hand 40 is configured to rotate in the xy plane.
  • a hand rotating driven gear 42 is fixed to the lower end portion of the hand rotating shaft 41.
  • the hand rotation driven gear 42 is provided at the same height as the hand rotation main gear 36 and meshes with the hand rotation main gear 36.
  • the relative angular position around the rotation axis L3 with respect to the upper arm 30 of the hand 40 is detected by the encoder of the servo motor of the hand drive unit 35.
  • This encoder constitutes the hand angle position detector 37, but is not limited to this.
  • the arm drive unit drives the lower arm 20 and the upper arm 30 to move the hand 40 in the xy plane.
  • the blade 40b is formed in a thin plate shape, for example.
  • the blade 40b holds the substrate P on the upper surface.
  • the blade 40b has a contact sliding surface for sliding in contact with the teaching target.
  • the abutting sliding surfaces are a pair of opposing surfaces, and the opposing abutting sliding surfaces oppose each other on the inner peripheral surface of the cutout portion 49 of the thin blade 40b. It is formed as a part to do.
  • the pair of abutting sliding surfaces that face each other extend so that the distance between both ends becomes narrower from the distal end portion to the proximal end portion of the blade 40b.
  • each abutting sliding surface gradually approaches the center line Lc extending from the proximal end of the blade 40b toward the distal end through the rotation axis L3 as it goes from the distal end portion to the proximal end portion of the blade 40b. And extends in a direction intersecting with the rotation direction of the hand 40 (in this example, a direction orthogonal thereto).
  • the first teaching is more than the second teaching target 155b of the hoop 150 in a state where the hand 40 is positioned such that the direction from the proximal end to the distal end of the blade 40b is the x direction of the pair of facing surfaces.
  • the contact sliding surface located on the target 155a side constitutes the first contact sliding surface 50a
  • the contact sliding surface located on the second teaching target 155b side from the first teaching target 155a is the second contact contacting surface.
  • a sliding surface 50b is configured.
  • the first contact sliding surface 50a and the second contact sliding surface 50b are continuous surfaces that extend in a straight line as a whole.
  • the first contact sliding surface 50a has a bending point in the direction in which the surface extends (first direction).
  • the second contact sliding surface 50b has a bending point in the direction in which the surface extends.
  • the bending point of the first contact sliding surface 50a is a notch formed by carving the first contact sliding surface 50a, and the first contact sliding surface 50a extends in a straight line. It is comprised so that it may become a recessed part recessed from the sliding surface 50a. Therefore, the notch forms a step in the direction (first direction) in which the first contact sliding surface 50a extends.
  • step difference comprises the 1st characteristic part 51a. Therefore, the level
  • the bending point of the second abutting sliding surface 50b is a notch formed by carving the second abutting sliding surface 50b, and the second abutting sliding surface 50b extends in a straight line. It is comprised so that it may become a recessed part recessed from the contact sliding surface 50b. Therefore, the notch forms a step in the direction in which the second contact sliding surface 50b extends.
  • step difference comprises the 2nd characteristic part 51b. Therefore, the level
  • the first feature portion 51a and the second feature portion 51b are formed symmetrically with respect to the center line Lc in the xy plane.
  • FIG. 4 is a block diagram schematically showing a configuration example of the control system of the robot 100.
  • the controller 60 provided in the robot 100 includes, for example, a control unit 61 having a computing unit such as a CPU and a storage unit 62 having a memory such as a ROM and a RAM.
  • the controller 60 may be composed of a single controller that performs centralized control, or may be composed of a plurality of controllers that perform distributed control in cooperation with each other.
  • the control unit 61 includes a lower arm control unit 64, an upper arm control unit 65, a hand control unit 66, a lifting mechanism control unit 67, a history recording unit 68, a teaching point position determination unit 69, and a target position determination unit 70.
  • These functional units 64 to 70 are functional blocks realized when the control unit 61 executes a predetermined control program stored in the storage unit 62.
  • the lower arm control unit 64 controls the lower arm driving unit 15 to rotate the lower arm 20 in the xy plane.
  • the upper arm control unit 65 controls the upper arm drive unit 25 to rotate the upper arm 30 in the xy plane.
  • the hand control unit 66 controls the hand drive unit 35 to rotate the hand 40 in the xy plane.
  • the elevating mechanism control unit 67 controls the elevating mechanism driving unit 19 to integrally raise and lower the lower arm 20, the upper arm 30, and the hand 40 in the z direction.
  • the main control unit (not shown) of the control unit 61 sets the target transport position of the robot 100 and the angular positions detected by the encoders of the drive units 15, 25, 35, and 19 respectively. Based on this, the target angular positions are output to the control units 64 to 67, respectively.
  • the control units 64 to 67 respectively detect the angular position detected by the corresponding encoder so that the angular position of the corresponding control object (the lower arm 20, the upper arm 30, the hand 40, and the movable body) becomes the target angular position.
  • the corresponding drive units 15, 25, 35, and 19 are feedback-controlled.
  • the history recording unit 68 records information including control information of the lower arm 20, the upper arm 30 and the hand 40 by the control unit 61 and information related to the angular position of the hand 40 received from the hand angular position detection unit 37.
  • this information includes information necessary for specifying the relationship between the position of the rotation axis L3 and the angular position of the hand 40.
  • the target position determination unit 70 determines the positions of the first teaching target 155a and the second teaching target 155b based on information recorded in the history recording unit 68, as will be described in detail later.
  • the teaching point position determination unit 69 determines the position of the teaching point T based on the target position determined by the target position determination unit 70, as will be described in detail later.
  • a predetermined control program is stored in the storage unit 62, and the operation of the robot 100 is controlled by the control unit 61 reading and executing these control programs.
  • the storage unit 62 stores the distance d in the x direction from the first and second teaching targets 155a and 155b to the teaching point T as described above.
  • the storage unit 62 stores information for specifying the positions of the first feature unit 51a and the second feature unit 51b.
  • 5 and 6 are flowcharts showing an operation example of the robot 100 according to the embodiment of the present invention.
  • 7A to 7E are diagrams showing an operation example of the robot 100 according to the embodiment of the present invention.
  • the control unit 61 positions the hand 40 at the initial position (step S10).
  • This initial position is stored in the storage unit 62.
  • the initial position is a set position where the first teaching target 155a and the second teaching target 155b are located in the gap 49 at the tip of the blade 40b.
  • the initial position is stored in the storage unit 62, but is not limited thereto. For example, instead of this, a position where the first teaching target 155a and the second teaching target 155b are located in the gap 49 at the tip of the blade 40b is detected by a sensor, and the detected position is set as an initial position. Also good.
  • the control unit 61 drives the hand driving unit 35 to rotate the hand 40 about the rotation axis L3, thereby causing the first teaching target 155a and the first contact sliding surface 50a to rotate.
  • this rotation direction may be referred to as a first rotation direction t1
  • a direction opposite to the first rotation direction t1 may be referred to as a second rotation direction t2.
  • the control unit 61 controls the hand drive unit 35 so that the hand 40 can follow the shape change of the first contact sliding surface 50a.
  • the control unit 61 can follow the change in the shape of the first contact sliding surface 50a by setting the angular position control loop gain of the hand drive unit 35 to substantially zero.
  • the hand drive unit 35 is controlled (step S20). Setting the control loop gain to substantially zero means that the force that rotates the hand 40 in the direction of pressing the contact sliding surface that is in contact with the teaching target in the direction of the teaching target is in effect.
  • the control loop gain is set so as to rotate in the opposite direction.
  • the control unit 61 drives the lower arm driving unit 15 and the upper arm driving unit 25 to move the hand 40 in the direction in which the center line Lc extends (step S25).
  • the first abutting sliding surface 50a extends asymptotically to the center line LC from the distal end portion to the proximal end portion of the blade 40b, and thus the direction in which the center line Lc extends through the hand 40.
  • the first contact sliding surface 50a of the blade 40b is pressed against the first teaching target 155a.
  • the hand 40 receives the reaction force received from the first teaching target 155a, rotates in the second rotation direction t2 around the rotation axis L3, and its angular position is displaced.
  • the displacement of the angular position of the hand 40 is detected by the hand angular position detector 37. Then, the first teaching target 155a and the first contact sliding surface 50a move relatively so that the first teaching target 155a slides on the first contact sliding surface 50a. That is, when the control unit 61 moves the hand 40 in the direction in which the center line Lc extends, the first teaching target 155a relatively moves in the direction in which the first contact sliding surface 50a extends.
  • the history recording unit 68 starts recording the history of the displacement of the relative angular position around the rotation axis L3 with respect to the upper arm 30 of the hand 40 detected by the hand angular position detection unit 37 (step S30).
  • This history constitutes the first history H1.
  • the history recording unit 68 records the history until the hand 40 moves a predetermined distance (step S35).
  • the predetermined distance means that the first feature 51a and the second feature 51b of the blade 40b moved in the direction in which the center line Lc extends from the initial position are the first teaching target 155a and the second teaching. The distance from the target 155b to the position on the tip side of the blade 40b.
  • the hand 40 is moved to the first contact sliding surface. Since the first teaching target 155a is configured to follow the shape change of the first characteristic portion 51a of the surface 50a, the first teaching target 155a extends from the first contact sliding surface 50a extending in a straight line to the notch of the first characteristic portion 51a. As a result, the hand 40 is greatly rotated in the first rotation direction t1, and its angular position is greatly displaced.
  • the hand detected by the hand angular position detection unit 37 While the rate of change of the angular position of 40 takes a substantially constant value, when the first teaching target 155a enters the first feature portion 51a, the rate of change of the angular position of the hand 40 is the first extending linearly.
  • symbol of the change rate in the area which is moving the hand 40 so that the 1st teaching target 155a moves relatively on the contact sliding surface 50a is shown (refer FIG. 8).
  • the hand 40 When the hand 40 further moves, as described above, the hand 40 receives the reaction force received from the first teaching target 155a, so that the hand 40 has the shape of the first characteristic portion 51a of the first contact sliding surface 50a. Since the first teaching target 155a is configured to follow the change, the first teaching target 155a returns to the first abutting sliding surface 50a extending out from the notch of the first feature 51a and extending in a straight line. The hand 40 is greatly rotated in the second rotation direction t2, and its angular position is greatly displaced. That is, the change rate of the angular position of the hand 40 shows a large value opposite in sign to the change rate when the first teaching target 155a enters the first feature 51a (see FIG. 8).
  • the hand 40 is largely rotated in the first rotation direction t1 in the first characteristic portion 51a, and is further rotated in the second rotation direction t2, and the change rate of the angular position is locally increased. Take a large value.
  • the first characteristic portion 51a is configured by a step, the rate of change of the angular position of the hand 40 can be increased.
  • control unit 61 acquires the first history H1 by executing Steps S10 to S35.
  • control unit 61 positions the hand 40 again at the initial position (step S40).
  • the control unit 61 drives the hand drive unit 35 to rotate the hand 40 about the rotation axis L3 to bring the second teaching target 155b into contact with the second contact sliding surface 50b (step S45). ). Since the first contact sliding surface 50a and the second contact sliding surface 50b are formed to face each other, the control unit 61 switches the rotation direction of the hand 40 located at the initial position. Any one of the first contact sliding surface 50a and the second contact sliding surface 50b can be selected as the contact sliding surface that contacts the teaching target. Therefore, teaching to the robot 100 can be performed quickly.
  • step S35 since the distance for moving the hand 40 to bring the second teaching target 155b and the second contact sliding surface 50b into contact with each other after the execution of step S35 is shortened, for example, based on the backlash of the arm of the robot 100 A decrease in detection accuracy can be reduced, and detection accuracy can be improved.
  • control unit 61 controls the hand drive unit 35 so that the hand 40 can follow the shape change of the first contact sliding surface 50a.
  • the control unit 61 sets the control loop gain of the hand drive unit 35 to substantially zero so that the hand 40 can follow the shape change of the first contact sliding surface 50a.
  • the hand drive unit 35 is controlled (step S50).
  • the control unit 61 drives the lower arm driving unit 15 and the upper arm driving unit 25 to move the hand 40 in the direction in which the center line Lc extends (step S55).
  • the second abutting sliding surface 50b extends asymptotically to the center line LC from the distal end portion of the hand 40 toward the base end portion, the direction in which the center line Lc extends from the hand 40 is increased.
  • the second contact sliding surface 50b of the blade 40b is pressed against the second teaching target 155b.
  • the hand 40 receives the reaction force received from the second teaching target 155b, rotates in the first rotation direction t1 around the rotation axis L3, and its angular position is displaced.
  • the displacement of the angular position of the hand 40 is detected by the hand angular position detector 37. And the 2nd teaching target 155b and the 2nd contact sliding surface 50b move relatively so that the 2nd teaching target 155b slides on the 2nd contact sliding surface 50b. That is, when the control unit 61 moves the hand 40 in the direction in which the center line Lc extends, the second teaching target 155b relatively moves in the direction in which the second contact sliding surface 50b extends.
  • the moving direction in which the hand 40 is moved in step S25 and step S55 is not limited to the direction in which the center line Lc extends, and the teaching target and the contact sliding surface relatively move in the direction in which the contact sliding surface extends.
  • the hand 40 may be moved in an arbitrary direction.
  • the history recording unit 68 starts recording the history of the displacement of the relative angular position around the rotation axis L3 with respect to the upper arm 30 of the hand 40 detected by the hand angular position detection unit 37 (step S60).
  • This history constitutes the second history H2.
  • the history recording unit 68 records the history until the hand 40 moves a predetermined distance (step S65).
  • the hand 40 has the second feature of the second contact sliding surface 50b.
  • the first teaching target 155a enters the notch of the second feature 51b from the second abutting sliding surface 50b extending in a straight line, and as a result, the hand 40 is configured to follow the shape change of 51b.
  • Largely rotates in the second rotation direction t2, and its angular position is greatly displaced. That is, in the section in which the hand 40 is moved so that the second teaching target 155b moves relatively on the second abutting sliding surface 50b extending in a straight line, the hand detected by the hand angular position detection unit 37.
  • the change rate of the angular position of 40 takes a substantially constant value.
  • the change rate of the angular position of the hand 40 extends in a straight line. A large value of the same sign as the sign of the rate of change in the section in which the hand 40 is moved so that the second teaching target 155b relatively moves on the contact sliding surface 50b is shown (see FIG. 8).
  • the hand 40 When the hand 40 further moves, as described above, the hand 40 receives the reaction force received from the second teaching target 155b, so that the hand 40 has the shape of the second characteristic portion 51b of the second contact sliding surface 50b. Since the second teaching target 155b is configured to follow the change, the second teaching target 155b returns to the second abutting sliding surface 50b extending straight from the notch of the second feature 51b, and as a result, The hand 40 is greatly rotated in the first rotation direction t1, and its angular position is greatly displaced. That is, the rate of change of the hand 40 shows a large value opposite to the rate of change when the second teaching target 155b enters the second feature 51b (see FIG. 8).
  • the hand 40 is largely rotated in the second rotation direction t2 in the second feature 51b, and is further rotated in the first rotation direction t1, and the rate of change in the angular position is locally increased. Take a large value.
  • the rate of change of the angular position of the hand 40 is a large value.
  • control unit 61 acquires the second history H2 by executing Steps S40 to S65.
  • the target position determination unit 70 determines the positions of the first teaching target 155a and the second teaching target 155b based on the first history H1 and the second history H2.
  • FIG. 8 is a graph showing an example of the relationship between the position of the hand in the x direction and the relative angular position with respect to the upper arm of the hand, and is based on information included in the first history H1 and the second history H2. .
  • the vertical axis ⁇ represents the relative angular position ⁇ of the hand 40 with respect to the x direction
  • the horizontal axis x represents the position of the hand 40 in the x direction.
  • the target position determination unit 70 first determines the positions P1 and P2 of the hand in which the value of ⁇ in the x direction has greatly changed for each of the first history H1 and the second history H2. In the present embodiment, the target position determination unit 70 determines the positions of the hand 40 in which the sign of the change rate of ⁇ is inverted in a section where the change rate of ⁇ exceeds a predetermined threshold as P1 and P2.
  • the target position determination unit 70 determines P1 and P2 based on the fact that the sign of the change rate of ⁇ is inverted in addition to the section in which the change rate of ⁇ exceeds the predetermined threshold. Therefore, the positions of the first feature 51a and the second feature 51b can be detected with high accuracy.
  • the rate of change of the angular position of the hand 40 becomes a large value, and P1 and P2 The position can be determined with high accuracy.
  • the target position determination unit 70 determines the first feature 51a and the first feature in P1 and P2.
  • the positions of the first teaching target 155a and the second teaching target 155b are determined based on the positions of the two feature portions 51b.
  • the positions P1x and P2x in the x direction and the positions P1y and P2y in the y direction of the first teaching target 155a and the second teaching target 155b are determined based on the following equations.
  • the teaching point position determination unit 69 includes the first teaching target 155a and the second teaching target 155b.
  • the position Tx in the x direction and the position Ty in the y direction of the teaching point T are determined based on the positions of As described above, in the present embodiment, the position of the teaching point T is a point separated by a distance d from the midpoint of the line connecting the first teaching target 155a and the second teaching target 155b in the direction in which the line orthogonal to this line extends. And is determined based on the following equation.
  • the control unit 61 detects the positions of the first teaching target 155a and the second teaching target 155b and determines the position of the teaching point T, so that the hoop 150 viewed from the vertical direction is used. Regardless of the position, the position of the teaching point T can be determined with high accuracy.
  • the teaching target is based on the change in the angular position of the hand 40 in the xy plane due to the characteristic part. It is possible to detect the position of the hand 40 when is positioned at the feature, and based on this, the position of the teaching target in the x and y directions can be detected. Therefore, the position of the teaching target can be quickly detected, and further, the position of the teaching point T can be quickly taught based on the detected position of the teaching target.
  • the first feature 51a and the second feature 51b of the blade 40b are recesses that are recessed from the first abutting sliding surface 50a.
  • the change rate of the angular position takes a large value locally in the feature portion, the position of the teaching target can be detected with high accuracy.
  • the conventional hand blade is additionally processed to form the first contact sliding surface 50a and the second contact sliding surface 50b including the first feature 51a and the second feature 51b. Since the robot can be taught, it is advantageous for manufacturing and the manufacturing cost is low.
  • step S15 and step S45 the hand 40 is rotated to bring the hand 40 and the teaching target into contact with each other.
  • the present invention is not limited to this.
  • the hand 40 may be moved in the y direction so that the hand 40 and the teaching target are brought into contact with each other.
  • the 1st characteristic part 51a and the 2nd characteristic part 51b were made into the notch formed by carving the 1st contact sliding surface 50a and the 2nd contact sliding surface 50b, to this It is not limited. Instead, these characteristic portions may be convex portions protruding from the first contact sliding surface 50a and the second contact sliding surface 50b.
  • the angular position control loop gain of the hand drive unit 35 may be set to zero.
  • the contact sliding surface is formed to extend in a straight line, but is not limited to this.
  • the first contact sliding surface 250a and the second contact sliding surface 250b are formed so as to extend stepwise when viewed from the normal direction of the xy plane.
  • the first feature portions 251aa and 251ab and the second feature portions 251ba and 251bb may be formed on the first contact slide surface 250a and the second contact slide surface 250b.
  • the first contact sliding surface 350a and the second contact sliding surface 350b are formed so as to bend and extend when viewed from the normal direction of the xy plane, and the first contact sliding surface 350a and the first contact sliding surface 350a are formed.
  • the first feature portion 351a and the second feature portion 351b may be formed on the two abutting sliding surface 350b.
  • the present invention can be applied to a robot that transports a substrate in equipment for processing the substrate.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

　下アーム(20)及び上アーム(30)と、上アームの先端部に回動軸線(L3)を中心に回動自在に取り付けられたハンド(40)とを含むロボットアームと、下アーム及び上アームを駆動してハンドを移動させる下アーム駆動部(15)及び上アーム駆動部(25)と、ハンドを回動させるハンド駆動部(35)と、ハンドの回動軸線(L3)周りの角度位置を検出するハンド角度位置検出部(37)と、下アーム駆動部及び上アーム駆動部とハンド駆動部とを制御する制御部と、を備え、ハンドは、全体が第１方向に延びる、教示ターゲット(T)と当接して摺動するための第１当接摺動面(50a)及び第２当接摺動面(50b)を有するブレード(40b)を含み、第１当接摺動面及び第２当接摺動面は、それぞれ第１方向において屈曲点を有する第１特徴部(51a)及び第２特徴部(51b)を含む。

Description

ロボット及びロボットの制御方法
　本発明は、ロボット及びロボットの制御方法に関する。
　従来から半導体ウェハ、ガラスウェハ等のターゲットの位置を教示する機能を備えたロボットが知られている。
　例えば、特許文献１に記載のロボットは、基台に対して回転自在に設けられている第１アーム部と、第１アーム部の先端部に基端部が回転自在に取り付けられている第２アーム部と、第２アーム部の先端部に回転自在に設けられているハンドとを備えている。第１アームは、第１アーム駆動手段によって回転駆動され、第２アームは、第１アーム駆動手段によって回転駆動され、ハンドはサーボモータを有する手首軸駆動手段によって回転駆動される。そして、手首軸駆動手段の制御ループゲインを実質的にゼロとした状態で、ハンドを目標物に接触させ、これによってハンドと固定的に取り付けられている手首軸の角度位置を変位させ、これをサーボモータのエンコーダによって検出する。そして、記憶部に格納されたハンドの形状・寸法のデータと、接触時のロボットアームの姿勢及び手首軸の角度位置とに基づいて、ＸＹ平面内の目標物の位置を決定する。
　また、特許文献２に記載のロボットは、アームの先端部に水平方向の自由度を有する手首が設けられている。この手首には、接触部分を有するハンドが設けられている。この接触部分は、ウェハを支持する支持部よりも手首軸側の部分（リスト部）に形成され、手首軸から離れるにしたがって手首軸の周方向一方に傾斜する第１傾斜部と、支持部に形成され、手首軸から離れるにしたがって手首軸の周方向他方に傾斜する第１傾斜部に連なる第２傾斜部とを有する。そして、接触部分をターゲットに接触させた状態で、アームの先端部を移動させながら、接触部分がターゲットに接触した状態における位置を取り込み、第１傾斜部と第２傾斜部とが連なる部分にターゲットが位置するときの値に基づいて、ターゲットの位置を検出する。
国際公開第２０１０／００４６３５号 特開２０１３－５６４２０号公報
　しかし、特許文献１に記載のロボットは、目標物がハンドの接触面の何れの部分と接触したのかを検出することができないため、Ｘ方向及びＹ方向における目標物の位置を決定するために、ハンドをＸＹ平面内の少なくとも２方向から接触させる必要があった。よって、迅速な目標物の位置の検出ができないという問題があった。
　また、特許文献２に記載のロボットは、リスト部に形成された第１傾斜部と支持部に形成された第２傾斜部とが連なる部分に基づいてターゲットの位置を検出するので、従来のエンドエフェクタには適用できないという問題があった。
　上記課題を解決するため、本発明のある態様に係るロボットは、アームと、該アームの先端部に回動軸線を中心に回動自在に取り付けられたハンドと、を含むロボットアームと、前記アームを駆動して前記ハンドを移動させるアーム駆動部と、前記ハンドを回動させるハンド駆動部と、前記ハンドの前記回動軸線周りの角度位置を検出するハンド角度位置検出部と、前記アーム駆動部と前記ハンド駆動部とを制御する制御部と、を備え、前記ハンドは、全体が第１方向に延びる、教示ターゲットと当接して摺動するための当接摺動面を有するブレードを含み、前記当接摺動面は、前記第１方向において屈曲点を有する特徴部を含むよう構成されている。
　この構成によれば、教示ターゲットと特徴部とを接触させ、ハンド角度位置検出部によって検出される特徴部に起因するハンドの角度位置の変位に基づいて、教示ターゲットの既知の２次元平面（当接摺動面の延在軸を含み且つ回動軸線に直交する平面）における位置を検出することができる。したがって、教示ターゲットの位置を迅速に検出することができ、ロボットへの教示を迅速に行うことができる。
　また、従来のブレードを追加工し、特徴部を含む当接摺動面を形成することによって、従来のロボットへの教示を行うことができるので、製造に有利、且つ製造コストも安価となる。
　前記特徴部は前記第１方向における段差であってもよい。
　この構成によれば、教示ターゲットの位置をより迅速に検出することができ、ロボットへの教示をより迅速に行うことができる。
　前記制御部は、少なくとも前記アーム駆動部を制御することによって前記教示ターゲットが前記当接摺動面上を前記第１方向又は前記第１方向と反対方向に相対的に移動するように前記ハンドを移動させ、且つ前記ハンド角度位置検出部によって検出される、前記特徴部に起因する第１方向と交差する方向の前記ハンドの角度位置の変位に基づいて、前記教示ターゲットの位置を検出するよう構成されていてもよい。
　この構成によれば、教示ターゲットが当接摺動面上を相対的に移動するようにハンドを移動させることによって、教示ターゲットと特徴部とを接触させ、ハンド角度位置検出部によって検出されるハンドの角度位置の変位に基づいて教示ターゲットの既知の２次元平面における位置を検出することができる。したがって、教示ターゲットの位置を迅速に検出することができ、ロボットへの教示を迅速に行うことができる。
　前記制御部は、前記ハンド駆動部を制御することによって前記ハンドが前記当接摺動面の特徴部の形状変化に追従しうるよう構成されていてもよい。
　この構成によれば、特徴部に起因するハンドの角度位置の変位を明確にすることができ、教示ターゲットの位置を精度よく検出することができる。
　前記特徴部は、前記当接摺動面から突出する凸部又は前記当接摺動面から凹陥する凹部であってもよい。
　この構成によれば、教示ターゲットの位置を更に精度よく検出することができる。
　上記課題を解決するため、本発明のある態様に係るロボットの制御方法は、アームと、該アームの先端部に回動軸線を中心に回動自在に取り付けられたハンドと、を含むロボットアームと、前記アームを駆動して前記ハンドを移動させるアーム駆動部と、前記ハンドを回動させるハンド駆動部と、前記ハンドの前記回動軸線周りの角度位置を検出するハンド角度位置検出部と、前記アーム駆動部と前記ハンド駆動部とを制御する制御部と、を備えるロボットの制御方法であって、前記ハンドは、全体が第１方向に延びる、教示ターゲットと当接して摺動するための当接摺動面を有するブレードを含み、前記当接摺動面は、前記第１方向において屈曲点を有する特徴部を含み、前記制御部が少なくとも前記アーム駆動部を制御することによって前記教示ターゲットが前記当接摺動面上を前記第１方向又は前記第１方向と反対方向に相対的に移動するように前記ハンドを前記第２方向に移動させ、且つ前記ハンド角度位置検出部によって検出される、前記特徴部に起因する前記当接摺動面に交差する方向の前記ハンドの角度位置の変位に基づいて、前記教示ターゲットの位置を検出するよう構成されている。
　この構成によれば、教示ターゲットが当接摺動面上を相対的に移動するようにハンドを移動させることによって、教示ターゲットと特徴部とを接触させ、ハンド角度位置検出部によって検出される特徴部に起因するハンドの角度位置の変位に基づいて、教示ターゲットの既知の２次元平面における位置を検出することができる。したがって、教示ターゲットの位置を迅速に検出することができ、ロボットへの教示を迅速に行うことができる。
　また、従来のブレードを追加工し、特徴部を含む当接摺動面を形成することによって、従来のロボットへの教示を行うことができるので、製造に有利、且つ製造コストも安価となる。
　本発明によれば、教示ターゲットの位置の検出を迅速に行うことができる。
本発明の実施の形態に係るロボット及び基板が収納されているフープの構成例を示す斜視図である。 図１のロボット及びフープの構成例を示す平面図である。 図１のロボットの内部機構の構成例を概略的に示す図である。 図１のロボットの制御系統の構成例を概略的に示すブロック図である。 図１のロボットの動作例を示すフローチャートである。 図１のロボットの動作例を示すフローチャートである。 図１のロボットの動作例を示す図である。 図１のロボットの動作例を示す図である。 図１のロボットの動作例を示す図である。 図１のロボットの動作例を示す図である。 図１のロボットの動作例を示す図である。 図１のロボットの動作例における、ｘ方向におけるハンドの位置とハンドの上アームに対する相対的な角度位置と関係の一例を示すグラフである。 本発明の実施の形態に係るロボットのハンドの変形例を示す図である。 本発明の実施の形態に係るロボットのハンドの変形例を示す図である。
　以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の実施形態であるロボット１００について説明する。
（実施の形態）
　図１は、本発明の実施の形態に係るロボット及び基板が収納されているフープの構成例を示す斜視図である。図２は、本発明の実施の形態に係るロボット及び基板が収納されているフープの構成例を示す平面図である。
　本実施の形態のロボット１００は、例えば半導体ウェハ、ガラスウェハ等の基板を搬送するロボットであり、フープ（FOUP（Front Opening Unified Pod））１５０からの基板の取り出し及びフープ１５０への基板の収納を行う。半導体ウェハとして、シリコンウェハ、サファイヤ（単結晶アルミナ）ウェハ、その他の各種のウェハが例示される。また、ガラスウェハとしては、例えば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ　Ｐａｎｅｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）用ガラス基板が例示される。
　図１に示すように、フープ１５０は、互いに対向する一対の側壁１５１と、側壁１５１の上端部及び下端部を連結する上壁１５２及び下壁１５３と、側壁１５１に設けられた複数対の基板支持部１５４と、第１及び第２の教示ターゲット１５５ａ，１５５ｂとを備えている。そして、フープ１５０の前面は開放されており、前面開口１５６を構成している。ロボット１００は、この前面開口１５６を通じて基板をフープ１５０から搬出し、また、基板をフープ１５０に搬入する。
　基板支持部１５４は、複数の基板が水平姿勢で且つ上下方向に間隔をあけて並ぶように複数の基板Ｗの端部を支持する。そして、図２に示すように、例えば、鉛直方向から見て基板支持部１５４に支持される基板の中心が教示点Ｔを構成するがこれに限られるものではない。この教示点Ｔとは、ロボット１００の後述する制御部６１がこの教示点Ｔの位置を検出することによって、ロボット１００による基板Ｐのフープ１５０からの搬出又は基板Ｐのフープ１５０への搬入を可能にする位置である。
　以下では、ロボット１００の後述する回動軸線Ｌ１の延在方向をｚ方向といい、ｚ方向に直交する方向をｘ方向といい、ｚ方向及びｘ方向に直交する方向をｙ方向をいう。本実施の形態において、ｘ方向は、ロボット１００からフープ１５０に向かう方向及びこれと反対方向に設定されている。
　第１及び第２の教示ターゲット１５５ａ，１５５ｂは、例えば、それぞれ円柱状に形成され、下壁１５３から上方に突出するように形成されている。そして、第１及び第２の教示ターゲット１５５ａ，１５５ｂは、一方の側壁１５１から他方の側壁１５１に向かう方向に一列に並ぶように配設されている。また、第１及び第２の教示ターゲット１５５ａ，１５５ｂと教示点Ｔとのｘｙ平面における位置関係は、後述する記憶部６２に予め記憶されている。本実施の形態において、教示点Ｔは、例えば、第１及び第２の教示ターゲット１５５ａと第２教示ターゲット１５５ｂとを結ぶ線の中点からこの線と直交する線が延びる方向に距離ｄ離れて位置し、記憶部６２は、例えばこの距離ｄを記憶している。
［ロボットの構成］
　図３は、ロボット１００の内部機構の構成例を示す図である。
　図３に示すように、ロボット１００は、基台１０と、下アーム２０と、上アーム３０と、ハンド４０と、ロボット１００の動作を制御する制御器６０（図４参照）を備えている。下アーム２０及び上アーム３０がロボット１００のアームを構成し、下アーム２０，上アーム３０及びハンド４０がロボット１００のロボットアームを構成する。
　基台１０は、例えば、中空の円筒状部材である。基台１０の内部には、サーボモータを含む下アーム駆動部１５が配設されている。下アーム駆動部１５は、下アーム回動用主働ギヤ１６を備えている。
　また、ロボット１００は、昇降機構１８（図４参照）を備えている。昇降機構は、例えば周知のボールねじ機構（図示せず）及びこれを駆動するエンコーダ付きのサーボモータ（昇降機構駆動部１９））を備え、当該ボールねじ機構によって、下アーム回動軸２１及び下アーム駆動部１５が設置された可動体（図示せず）をｚ方向に昇降させることによって、下アーム２０，上アーム３０及びハンド４０を一体的にｚ方向に昇降させる。これによって、ハンド４０を上昇位置と下降位置との間で昇降させることができる。下降位置の高さ位置は、フープ１５０の下壁１５３の高さ位置よりも下方に設定されている。また、上昇位置の高さ位置は、最上段の基板支持部１５４の高さ位置よりも上方に設定されている。
　下アーム２０は、例えば、中空の板状部材であり、平面視において大略短冊状に形成されている。図３に示すように、下アーム２０は、その基端部の底面から下方に突出するように下アーム回動軸２１が形成されている。そして、下アーム回動軸２１は、ｚ方向に延びる回動軸線Ｌ１を中心に回動可能に基台１０に取り付けられている。従って、下アーム２０は、ｘｙ平面において回動するように構成されている。なお、本実施の形態において、回動軸線Ｌ１がｘｙ平面上における基準点Ｏを構成する。
　下アーム回動軸２１の下端部には、下アーム回動用従動ギヤ２２が固定されている。この下アーム回動用従動ギヤ２２は、基台１０の下アーム回動用主働ギヤ１６と同じ高さ位置に位置するよう設けられ、この下アーム回動用主働ギヤ１６と歯合している。下アーム２０は、その内部にサーボモータを含む上アーム駆動部２５が配設されている。上アーム駆動部２５は、上アーム回動用主働ギヤ２６を備えている。
　そして、下アーム２０の基台１０に対する回動軸線Ｌ１周りの相対的な角度位置は、下アーム駆動部１５のサーボモータのエンコーダによって検出される。
　上アーム３０は、例えば、中空の板状部材であり、平面視において大略短冊状に形成されている。図３に示すように、上アーム３０は、その基端部３０ａの底面から下方に突出するように上アーム回動軸３１が設けられている。そして、上アーム回動軸３１は、回動軸線Ｌ１と平行に延びる回動軸線Ｌ２を中心に回動可能に下アーム２０に取り付けられている。従って、上アーム３０は、ｘｙ平面上を回動するように構成されている。
　上アーム回動軸３１の下端部には、上アーム回動用従動ギヤ３２が固定されている。この上アーム回動用従動ギヤ３２は、下アーム２０の上アーム回動用主働ギヤ２６と同じ高さ位置に位置するよう設けられ、この上アーム回動用主働ギヤ２６と歯合している。上アーム３０は、その内部にサーボモータを含むハンド駆動部３５が配設されている。ハンド駆動部３５は、ハンド回動用主働ギヤ３６を備えている。
　そして、上アーム３０の下アーム２０に対する回動軸線Ｌ２周りの相対的な角度位置は、上アーム駆動部２５のサーボモータのエンコーダによって検出される。
　ハンド４０は、ハンド４０の基端側に形成されたリスト４０ａと、ハンド４０の先端側に形成されたブレード４０ｂとを含む。リスト４０ａとブレード４０ｂとは連続して形成されている。
　リスト４０ａは、その基端部４０ａの底面から下方に突出するように形成されたハンド回動軸４１を有している。そして、ハンド回動軸４１は、回動軸線Ｌ１，Ｌ２と平行に延びる回動軸線Ｌ３を中心に回動可能にハンド４０に取り付けられている。従って、ハンド４０は、ｘｙ平面において回動するように構成されている。
　ハンド回動軸４１の下端部には、ハンド回動用従動ギヤ４２が固定されている。このハンド回動用従動ギヤ４２は、ハンド回動用主働ギヤ３６と同じ高さ位置に位置するよう設けられ、このハンド回動用主働ギヤ３６と歯合している。
　そして、ハンド４０の上アーム３０に対する回動軸線Ｌ３周りの相対的な角度位置は、ハンド駆動部３５のサーボモータのエンコーダによって検出される。このエンコーダがハンド角度位置検出部３７を構成するが、これに限られるものではない。
　そして、上記下アーム駆動部１５及び上アーム駆動部２５がアーム駆動部を構成する。アーム駆動部は、その駆動によって、下アーム２０及び上アーム３０を駆動し、ハンド４０をｘｙ平面において移動させる。
　ブレード４０ｂは、例えば薄板状に形成されている。ブレード４０ｂは、上面に基板Ｐを保持する。ブレード４０ｂは、教示ターゲットと当接して摺動するための当接摺動面を有している。本実施の形態において、この当接摺動面は、対峙する一対の面であり、この対峙する一対の当接摺動面は、薄板状のブレード４０ｂの切欠部４９の内周面の互いに対峙する部分として形成されている。この対峙する一対の当接摺動面は、ブレード４０ｂの先端部から基端部に向かうに従って、両者の間隔が狭くなるように延びている。即ち、それぞれの当接摺動面は、ブレード４０ｂの先端部から基端部に向かうにしたがって、回動軸線Ｌ３を通り、ブレード４０ｂの基端から先端に向かって延びる中心線Ｌｃに漸近するように延び、ハンド４０の回動方向と交差する方向（ここでは直交する方向）に延びている。そして、この対峙する一対の面のうち、ブレード４０ｂの基端から先端に向かう方向がｘ方向となるようにハンド４０を位置させた状態において、フープ１５０の第２教示ターゲット１５５ｂよりも第１教示ターゲット１５５ａ側に位置する当接摺動面が第１当接摺動面５０ａを構成し、第１教示ターゲット１５５ａよりも第２教示ターゲット１５５ｂ側に位置する当接摺動面が第２当接摺動面５０ｂを構成する。本実施の形態において、第１当接摺動面５０ａ及び第２当接摺動面５０ｂは、全体として一直線状に延びている連続面である。
　そして、第１当接摺動面５０ａは、その面が延びる方向（第１方向）において屈曲点を有する。同様に、第２当接摺動面５０ｂは、その面が延びる方向において屈曲点を有する。
　本実施の形態において、第１当接摺動面５０ａの屈曲点は、第１当接摺動面５０ａを刻んで(carve)形成したノッチ(notch)であり、一直線状に延びる第１当接摺動面５０ａから凹陥する凹部となるように構成されている。したがって、当該ノッチは、第１当接摺動面５０ａが延びる方向（第１方向）における段差を形成している。この段差が第１特徴部５１ａを構成する。よって、第１当接摺動面５０ａの段差は、第１当接摺動面５０ａにおける不連続点を構成している。
　また、本実施の形態において、第２当接摺動面５０ｂの屈曲点は、第２当接摺動面５０ｂを刻んで(carve)形成したノッチ(notch)であり、一直線状に延びる第２当接摺動面５０ｂから凹陥する凹部となるように構成されている。したがって、当該ノッチは、第２当接摺動面５０ｂが延びる方向における段差を形成している。この段差が第２特徴部５１ｂを構成する。よって、第２当接摺動面５０ｂの段差は、第２当接摺動面５０ｂにおける不連続点を構成している。
　また、本実施の形態において、第１特徴部５１ａと第２特徴部５１ｂとは、ｘｙ平面において、中心線Ｌｃを介して線対称に形成されている。
　これら第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂの位置を特定するための情報は、詳細は後述する通り、記憶部６２に記憶されており、これらの情報は、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂの位置の決定及び教示点の位置を決定する際に用いられる。
［制御部］
　図４は、ロボット１００の制御系統の構成例を概略的に示すブロック図である。
　ロボット１００が備える制御器６０は、例えば、ＣＰＵ等の演算器を有する制御部６１と、ＲＯＭ及びＲＡＭ等のメモリを有する記憶部６２とを備えている。制御器６０は、集中制御する単独の制御器で構成されていてもよく、互いに協働して分散制御する複数の制御器で構成されてもよい。制御部６１は、下アーム制御部６４，上アーム制御部６５，ハンド制御部６６，昇降機構制御部６７，履歴記録部６８，教示点位置決定部６９及びターゲット位置決定部７０を含む。これらの機能部６４～７０は、記憶部６２に格納された所定の制御プログラムを制御部６１が実行することにより実現される機能ブロックである。
　下アーム制御部６４は、下アーム駆動部１５を制御し、ｘｙ平面において下アーム２０を回動させる。
　上アーム制御部６５は、上アーム駆動部２５を制御し、ｘｙ平面において上アーム３０を回動させる。
　ハンド制御部６６は、ハンド駆動部３５を制御し、ｘｙ平面においてハンド４０を回動させる。
　昇降機構制御部６７は、昇降機構駆動部１９を制御し、ｚ方向に下アーム２０，上アーム３０，及びハンド４０を一体的に昇降させる。
　なお、本実施の形態では、例えば、制御部６１の主制御部（図示せず）が、ロボット１００の目標搬送位置と駆動部１５、２５、３５、１９のエンコーダがそれぞれ検出する角度位置とに基づいて、制御部６４～６７に目標角度位置をそれぞれ出力する。制御部６４～６７は、それぞれ、対応する制御対象物（下アーム２０、上アーム３０、ハンド４０、及び可動体）の角度位置が目標角度位置になるように、対応するエンコーダが検出する角度位置に基づいて、対応する駆動部１５、２５、３５、１９をそれぞれフィードバック制御する。
　履歴記録部６８は、制御部６１が下アーム２０，上アーム３０及びハンド４０の制御情報、及びハンド角度位置検出部３７から受信したハンド４０の角度位置に係る情報を含む情報を記録する。本実施の形態において、この情報には、回動軸線Ｌ３の位置とハンド４０の角度位置との関係を特定するために必要な情報が含まれる。
　ターゲット位置決定部７０は、詳細は後述するように、履歴記録部６８に記録された情報に基づいて第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂの位置を決定する。
　教示点位置決定部６９は、詳細は後述するように、ターゲット位置決定部７０によって決定されたターゲットの位置に基づいて、教示点Ｔの位置を決定する。
　記憶部６２には所定の制御プログラムが記憶されていて、制御部６１がこれらの制御プログラムを読み出して実行することにより、ロボット１００の動作が制御される。
そして、記憶部６２には、上述した通り、第１及び第２の教示ターゲット１５５ａ，１５５ｂから教示点Ｔまでのｘ方向における距離ｄが記憶されている。また、記憶部６２には、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂの位置を特定するための情報が記憶されている。
［動作例］
　次に、ロボット１００に教示点Ｔの位置を教示する際のロボット１００の動作例を説明する。
　図５及び図６は、本発明の実施の形態におけるロボット１００の動作例を示すフローチャートである。図７Ａ～図７Ｅは、本発明の実施の形態におけるロボット１００の動作例を示す図である。
　まず、制御部６１は、図７Ａに示すように、ハンド４０を初期位置に位置させる（ステップＳ１０）。この初期位置は、記憶部６２に記憶されている。本実施の形態において、初期位置とは、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂがブレード４０ｂの先端部の間隙４９内に位置する、設定された位置である。なお、本実施の形態において、この初期位置は、記憶部６２に記憶されているがこれに限られるものではない。例えば、これに代えて、センサによって、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂがブレード４０ｂの先端部の間隙４９内に位置した位置を検出し、この検出した位置を初期位置として設定してもよい。
　次に、制御部６１は、図７Ｂに示すように、ハンド駆動部３５を駆動し、ハンド４０を回動軸線Ｌ３周りに回動させて第１教示ターゲット１５５ａと第１当接摺動面５０ａとを接触させる（ステップＳ１５）。以下、この回動方向を第１回動方向ｔ１といい、第１回動方向ｔ１と反対の方向を第２回動方向ｔ２ということがある。
　次に、制御部６１は、ハンド４０が第１当接摺動面５０ａの形状変化に追従しうるようにハンド駆動部３５を制御する。本実施の形態において、制御部６１は、ハンド駆動部３５の角度位置制御ループゲインを実質的に０に設定することによって、ハンド４０が第１当接摺動面５０ａの形状変化に追従しうるようにハンド駆動部３５を制御する（ステップＳ２０）。制御ループゲインを実質的に０に設定するとは、教示ターゲットと接触している当接摺動面をこの教示ターゲットの方向に押し付ける方向にハンド４０を回動させるような力が働く状態にあるものの、この方向と反対方向にハンド４０を回動させるような反力を教示ターゲットから受けた場合は、この反力を受容し、ハンド４０が当接摺動面をこの教示ターゲットの方向に押し付ける方向とは反対に回動するように制御ループゲインを設定することをいう。
　次に、制御部６１は、図７Ｃに示すように、下アーム駆動部１５及び上アーム駆動部２５を駆動し、ハンド４０を中心線Ｌｃが延びる方向に移動させる（ステップＳ２５）。上述した通り、第１当接摺動面５０ａは、ブレード４０ｂの先端部から基端部に向かうにしたがって、中心線ＬＣに漸近するように延びているため、ハンド４０を中心線Ｌｃが延びる方向に移動させると、ブレード４０ｂの第１当接摺動面５０ａは、第１教示ターゲット１５５ａに押し付けられる。そして、ハンド４０は、第１教示ターゲット１５５ａから受ける反力を受容し、回動軸線Ｌ３周りにおける第２回動方向ｔ２に回動し、その角度位置が変位する。このハンド４０の角度位置の変位は、ハンド角度位置検出部３７によって検出される。そして、第１教示ターゲット１５５ａが第１当接摺動面５０ａ上を摺動するように、第１教示ターゲット１５５ａと第１当接摺動面５０ａとは相対的に移動する。即ち、制御部６１がハンド４０を中心線Ｌｃが延びる方向に移動させることによって、第１教示ターゲット１５５ａは第１当接摺動面５０ａが延びる方向に相対的に移動する。
　次に、履歴記録部６８は、ハンド角度位置検出部３７が検出したハンド４０の上アーム３０に対する回動軸線Ｌ３周りの相対的な角度位置の変位の履歴の記録を開始する（ステップＳ３０）。この履歴が第１履歴Ｈ１を構成する。
　次に、履歴記録部６８は、図７Ｅに示すように、ハンド４０が所定距離移動するまで履歴の記録を行う（ステップＳ３５）。本実施の形態において、この所定距離とは、初期位置から中心線Ｌｃが延びる方向に移動させたブレード４０ｂの第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂが、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂよりもブレード４０ｂの先端側に位置するまでの距離をいう。
　ところで、図７Ｄに示すように、第１教示ターゲット１５５ａが第１当接摺動面５０ａ上を移動し、第１特徴部５１ａに位置すると、上述した通り、ハンド４０は第１当接摺動面５０ａの第１特徴部５１ａの形状変化に追従しうるように構成されているため、第１教示ターゲット１５５ａは一直線状に延びる第１当接摺動面５０ａから第１特徴部５１ａのノッチに入り込み、その結果、ハンド４０は第１回動方向ｔ１に大きく回動し、その角度位置が大きく変位する。即ち、一直線状に延びる第１当接摺動面５０ａ上を第１教示ターゲット１５５ａが相対的に移動するようにハンド４０を移動させている区間においては、ハンド角度位置検出部３７が検出するハンド４０の角度位置の変化率は、大略一定の値をとるのに対し、第１教示ターゲット１５５ａが第１特徴部５１ａに入り込むと、ハンド４０の角度位置の変化率は、一直線状に延びる第１当接摺動面５０ａ上を第１教示ターゲット１５５ａが相対的に移動するようにハンド４０を移動させている区間における変化率の符号と同一の符号の大きな値を示す（図８参照）。
　そして、ハンド４０が更に移動すると、上述した通り、ハンド４０は第１教示ターゲット１５５ａから受ける反力を受容することによって、ハンド４０が第１当接摺動面５０ａの第１特徴部５１ａの形状変化に追従しうるように構成されているため、第１教示ターゲット１５５ａは、第１特徴部５１ａのノッチから脱出して一直線状に延びる第１当接摺動面５０ａに回帰し、その結果、ハンド４０は第２回動方向ｔ２に大きく回動し、その角度位置が大きく変位する。即ち、ハンド４０の角度位置の変化率は、第１教示ターゲット１５５ａが第１特徴部５１ａに入り込む際の変化率と反対符号の大きな値を示す（図８参照）。
　このように、ハンド４０は、第１特徴部５１ａにおいて大きく第１回動方向ｔ１に回動した後、更に大きく第２回動方向ｔ２に回動し、その角度位置の変化率が局所的に大きな値をとる。特に、本実施の形態において、第１特徴部５１ａは、段差で構成されているので、ハンド４０の角度位置の変化率を大きくすることができる。
　以上、制御部６１は、ステップＳ１０～ステップＳ３５を実行することにより、第１履歴Ｈ１を取得する。
　次に、制御部６１は、ハンド４０を再度初期位置に位置させる（ステップＳ４０）。
　次に、制御部６１は、ハンド駆動部３５を駆動し、ハンド４０を回動軸線Ｌ３周りに回動させて第２教示ターゲット１５５ｂと第２当接摺動面５０ｂとを接触させる（ステップＳ４５）。なお、第１当接摺動面５０ａ及び第２当接摺動面５０ｂは、対峙して形成されているので、制御部６１は、初期位置に位置するハンド４０の回動方向を切り替えることによって、第１当接摺動面５０ａ及び第２当接摺動面５０ｂの何れか一方を教示ターゲットと接触させる当接摺動面として選択することができる。したがって、ロボット１００に対する教示を迅速に行うことができる。また、ステップＳ３５の実行後に、第２教示ターゲット１５５ｂと第２当接摺動面５０ｂとを接触させるためにハンド４０を移動させる距離が短くなるので、例えば、ロボット１００のアームのガタ等に基づく検出精度の低下を軽減することができ、検出精度を向上させることができる。
　次に、制御部６１は、ハンド４０が第１当接摺動面５０ａの形状変化に追従しうるようにハンド駆動部３５を制御する。本実施の形態において、制御部６１は、ハンド駆動部３５の制御ループゲインを実質的に０に設定することによって、ハンド４０が第１当接摺動面５０ａの形状変化に追従しうるようにハンド駆動部３５を制御する（ステップＳ５０）。
　次に、制御部６１は、下アーム駆動部１５及び上アーム駆動部２５を駆動し、ハンド４０を中心線Ｌｃが延びる方向に移動させる（ステップＳ５５）。上述した通り、第２当接摺動面５０ｂは、ハンド４０の先端部から基端部に向かうにしたがって、中心線ＬＣに漸近するように延びているため、ハンド４０を中心線Ｌｃが延びる方向に移動させると、ブレード４０ｂの第２当接摺動面５０ｂは、第２教示ターゲット１５５ｂに押し付けられる。そして、ハンド４０は、第２教示ターゲット１５５ｂから受ける反力を受容し、回動軸線Ｌ３周りにおける第１回動方向ｔ１に回動し、その角度位置が変位する。このハンド４０の角度位置の変位は、ハンド角度位置検出部３７によって検出される。そして、第２教示ターゲット１５５ｂが第２当接摺動面５０ｂ上を摺動するように、第２教示ターゲット１５５ｂと第２当接摺動面５０ｂとは相対的に移動する。即ち、制御部６１がハンド４０を中心線Ｌｃが延びる方向に移動させることによって、第２教示ターゲット１５５ｂは第２当接摺動面５０ｂが延びる方向に相対的に移動する。なお、上記ステップＳ２５及びステップＳ５５においてハンド４０を移動させる移動方向は中心線Ｌｃが延びる方向に限られず、当接摺動面が延びる方向に教示ターゲットと当接摺動面とが相対的に移動する任意の方向にハンド４０を移動させてもよい。
　次に、履歴記録部６８は、ハンド角度位置検出部３７が検出したハンド４０の上アーム３０に対する回動軸線Ｌ３周りの相対的な角度位置の変位の履歴の記録を開始する（ステップＳ６０）。この履歴が第２履歴Ｈ２を構成する。
　次に、履歴記録部６８は、ハンド４０が所定距離移動するまで履歴の記録を行う（ステップＳ６５）。
　ところで、第２教示ターゲット１５５ｂが第２当接摺動面５０ｂ上を移動し、第２特徴部５１ｂに位置すると、上述した通り、ハンド４０は第２当接摺動面５０ｂの第２特徴部５１ｂの形状変化に追従しうるように構成されているため、第１教示ターゲット１５５ａは一直線状に延びる第２当接摺動面５０ｂから第２特徴部５１ｂのノッチに入り込み、その結果、ハンド４０は第２回動方向ｔ２に大きく回動し、その角度位置が大きく変位する。即ち、一直線状に延びる第２当接摺動面５０ｂ上を第２教示ターゲット１５５ｂが相対的に移動するようにハンド４０を移動させている区間においては、ハンド角度位置検出部３７が検出するハンド４０の角度位置の変化率は、大略一定の値をとるのに対し、第２教示ターゲット１５５ｂが第２特徴部５１ｂに入り込むと、ハンド４０の角度位置の変化率は、一直線状に延びる第２当接摺動面５０ｂ上を第２教示ターゲット１５５ｂが相対的に移動するようにハンド４０を移動させている区間における変化率の符号と同一の符号の大きな値を示す（図８参照）。
　そして、ハンド４０が更に移動すると、上述した通り、ハンド４０は第２教示ターゲット１５５ｂから受ける反力を受容することによって、ハンド４０が第２当接摺動面５０ｂの第２特徴部５１ｂの形状変化に追従しうるように構成されているため、第２教示ターゲット１５５ｂは、第２特徴部５１ｂのノッチから脱出して一直線状に延びる第２当接摺動面５０ｂに回帰し、その結果、ハンド４０は第１回動方向ｔ１に大きく回動し、その角度位置が大きく変位する。即ち、ハンド４０の変化率は、第２教示ターゲット１５５ｂが第２特徴部５１ｂに入り込む際の変化率と反対符号の大きな値を示す（図８参照）。
　このように、ハンド４０は、第２特徴部５１ｂにおいて大きく第２回動方向ｔ２に回動した後、更に大きく第１回動方向ｔ１に回動し、その角度位置の変化率が局所的に大きな値をとる。特に、本実施の形態において、第２特徴部５１ｂは、段差で構成されているので、ハンド４０の角度位置の変化率は大きい値となる。
　以上、制御部６１は、ステップＳ４０～ステップＳ６５を実行することにより、第２履歴Ｈ２を取得する。
　次に、ターゲット位置決定部７０は、第１履歴Ｈ１及び第２履歴Ｈ２に基づいて、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂの位置を決定する。
　図８は、ｘ方向におけるハンドの位置とハンドの上アームに対する相対的な角度位置と関係の一例を示すグラフであり、上記第１履歴Ｈ１及び第２履歴Ｈ２に含まれる情報に基づくものである。このグラフにおいて、縦軸θは、ｘ方向に対するハンド４０の相対的な角度位置θを表しており、横軸ｘは、ｘ方向における、ハンド４０の位置を表している。
　この第１履歴Ｈ１及び第２履歴Ｈ２に表すように、ハンド４０の角度位置は、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂが位置する点Ｐ１及びＰ２において、θの値が大きく変化する。そして、ターゲット位置決定部７０は、第１履歴Ｈ１及び第２履歴Ｈ２のそれぞれについて、まず、ｘ方向におけるθの値が大きく変化したハンドの位置Ｐ１，Ｐ２を決定する。本実施の形態において、ターゲット位置決定部７０は、θの変化率が所定の閾値を超えた区間におけるθの変化率の符号が反転したハンド４０の位置をＰ１，Ｐ２と決定する。このように、ターゲット位置決定部７０は、θの変化率が所定の閾値を超えた区間であることに加え、θの変化率の符号が反転したことに基づいてＰ１及びＰ２を決定しているので、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂの位置を精度よく検出することができる。特に、上述の通り、本実施の形態において、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂは、段差で構成されているので、ハンド４０の角度位置の変化率は大きい値となり、Ｐ１、Ｐ２の位置を精度よく決定することができる。
　ところで、図８に示すように、第１教示ターゲット１５５ａと第２教示ターゲット１５５ｂとが並ぶ方向に第１特徴部５１ａと第２特徴部５１ｂとが並ぶように位置していないことを原因として、Ｐ１とＰ２とが一致しないことがある。この場合、以下の式に基づいてハンド補正角度θaを決定した上で、ハンドの角度を補正し、再度、ステップＳ１０～Ｓ６５を実行してもよい。
　θa＝arctan(Lb/La)
　La:y方向における第１特徴部５１ａと第２特徴部５１ｂとの距離
　Lb:x方向におけるＰ１とＰ２の距離
　次に、ターゲット位置決定部７０は、Ｐ１及びＰ２における第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂの位置に基づいて、それぞれ第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂの位置を決定する。本実施の形態において、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂのｘ方向における位置Ｐ１ｘ及びＰ２ｘ、並びにｙ方向における位置Ｐ１ｙ及びＰ２ｙは次式に基づいて決定される。
　Ｐ１ｘ＝Ｌ３ｘ＋Ｒ・cos(θｃ＋α）
　Ｐ１ｙ＝Ｌ３ｙ＋Ｒ・sin(θｃ＋α）
　Ｐ２ｘ＝Ｌ３ｘ＋Ｒ・cos(θｃ－α）
　Ｐ２ｙ＝Ｌ３ｙ＋Ｒ・sin(θｃ－α）
　θｃ：ｘｙ平面において、ハンド４０の中心線Ｌｃとｘ軸が成す角度
　Ｒ：ｘｙ平面において、回動軸線Ｌ３とブレード４０ｂの第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂとの距離（図２参照）
（なお、上述の通り、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂは、中心線Ｌｃを介して線対称に形成されているので、第１特徴部５１ａに係る距離Ｒと第２特徴部５１ｂに係る距離Ｒは同一である。）
　α：ｘｙ平面において、中心線Ｌｃに対して、第１特徴部５１ａと回動軸線Ｌ３とを結ぶ線が成す角度（図２参照）
（なお、上述の通り、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂは、中心線Ｌｃを介して線対称に形成されているので、ｘｙ平面において、中心線Ｌｃに対して、第２特徴部５１ｂと回動軸線Ｌ３とを結ぶ線が成す角度は－αである。）
　Ｌ３ｘ：ｘｙ平面における回動軸線Ｌ３のｘ方向の位置
　Ｌ３ｙ：ｘｙ平面における回動軸線Ｌ３のｙ方向の位置
　次に、教示点位置決定部６９は、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂの位置に基づいて、教示点Ｔのｘ方向における位置Ｔｘ及びｙ方向における位置Ｔｙを決定する。上述の通り、本実施の形態において、教示点Ｔの位置は、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂを結ぶ線の中点からこの線と直交する線が延びる方向に距離ｄ離れた点であり、次式に基づいて決定される。
　Ｔｘ＝（（Ｐｘ１＋Ｐｘ２）／２）＋ｄ・（｜Ｐｙ２－Ｐｙ１｜／Ｌ）
　Ｔｘ＝（（Ｐｙ１＋Ｐｙ２）／２）＋ｄ・（｜Ｐｘ２－Ｐｘ１｜／Ｌ）
　Ｌ＝√（（Ｐｘ２－Ｐｘ１）＾２＋（Ｐｙ２－Ｐｙ１）＾２）
　このように、本実施の形態において、制御部６１は、第１教示ターゲット１５５ａ及び第２教示ターゲット１５５ｂの位置を検出した上で教示点Ｔの位置を決定するため、鉛直方向から見たフープ１５０の位置に関わらず、教示点Ｔの位置を精度よく決定することができる。
　以上に説明したように、本発明のロボット１００のハンド４０は、屈曲点を有する特徴部を有しているので、特徴部に起因するｘｙ平面におけるハンド４０の角度位置の変化に基づいて教示ターゲットが特徴部に位置した際のハンド４０の位置を検出することができ、これに基づいて教示ターゲットのｘ方向及びｙ方向における位置を検出することができる。したがって、教示ターゲットの位置を迅速に検出し、更に、この検出した教示ターゲットの位置に基づいて教示点Ｔの位置を迅速に教示することができる。
　また、本発明のロボット１００は、ブレード４０ｂの第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂが第１当接摺動面５０ａから凹陥する凹部であるので、ハンド４０は、特徴部において大きく回動し、その角度位置の変化率が特徴部において局所的に大きな値をとるので、教示ターゲットの位置を精度よく検出することができる。
　また、従来のハンドのブレードを追加工し、第１特徴部５１ａ，第２特徴部５１ｂを含む第１当接摺動面５０ａ，第２当接摺動面５０ｂを形成することによって、従来のロボットへの教示を行うことができるので、製造に有利、且つ製造コストも安価となる。
　＜変形例＞
　上記実施の形態においては、ステップＳ１５及びステップＳ４５において、ハンド４０を回動させて、ハンド４０と教示ターゲットとを接触させたがこれに限られるものではない。これに代えて、ハンド４０をｙ方向に移動させてハンド４０と教示ターゲットとを接触させてもよい。
　また、上記実施の形態においては、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂは、第１当接摺動面５０ａ及び第２当接摺動面５０ｂを刻んで形成したノッチとしたがこれに限られるものではない。これに代えて、これら特徴部は、第１当接摺動面５０ａ及び第２当接摺動面５０ｂから突出する凸部であってもよい。
　また、第１特徴部５１ａ及び第２特徴部５１ｂが凸部である場合、ハンド駆動部３５の角度位置制御ループゲインを０にしてもよい。
　更に、上記実施の形態においては、当接摺動面は、一直線状に延びるように形成されているが、これに限られるものではない。これに代えて、図９に示すように、ｘｙ平面の法線方向から見て、階段状に延びるように第１当接摺動面２５０ａ及び第２当接摺動面２５０ｂを形成し、この第１当接摺動面２５０ａ及び第２当接摺動面２５０ｂに第１特徴部２５１ａａ，２５１ａｂ及び第２特徴部２５１ｂａ，２５１ｂｂを形成してもよい。また、ｘｙ平面の法線方向から見て、屈曲して延びるように第１当接摺動面３５０ａ及び第２当接摺動面３５０ｂを形成し、この第１当接摺動面３５０ａ及び第２当接摺動面３５０ｂに第１特徴部３５１ａ及び第２特徴部３５１ｂを形成してもよい。
　本件発明は、基板を処理する設備において基板を搬送するロボットに適用することができる。
　１０　基台
　１５　下アーム駆動部
　１６　下アーム回動用主働ギヤ
　１８　昇降機構
　１９　昇降機構駆動部
　２０　下アーム
　２１　下アーム回動軸
　２２　下アーム回動用従動ギヤ
　２５　上アーム駆動部
　２６　上アーム回動用主働ギヤ
　３０　上アーム
　３１　上アーム回動軸
　３２　上アーム回動用従動ギヤ
　３５　ハンド駆動部
　３６　ハンド回動用主働ギヤ
　３７　ハンド角度位置検出部
　４０　ハンド
　４０ａ　リスト
　４０ｂ　ブレード
　４１　ハンド回動軸
　４２　ハンド回動用従動ギヤ
　４９　間隙
　５０ａ　第１当接摺動面
　５０ｂ　第２当接摺動面
　５１ａ　第１特徴部
　５１ｂ　第２特徴部
　６１　制御部
　６２　記憶部
　６４　下アーム制御部
　６５　上アーム制御部
　６６　ハンド制御部
　６７　昇降機構制御部
　６８　履歴記録部
　６９　教示点位置決定部
　７０　ターゲット位置決定部
　１００　ロボット
　１５０　フープ
　１５１　側壁
　１５２　上壁
　１５３　下壁
　１５４　基板支持部
　１５５ａ　第１教示ターゲット
　１５５ｂ　第２教示ターゲット
　１５６　前面開口

Claims (6)

  1. 　アームと、該アームの先端部に回動軸線を中心に回動自在に取り付けられたハンドと、を含むロボットアームと、
    　前記アームを駆動して前記ハンドを移動させるアーム駆動部と、
    　前記ハンドを回動させるハンド駆動部と、
    　前記ハンドの前記回動軸線周りの角度位置を検出するハンド角度位置検出部と、
    　前記アーム駆動部と前記ハンド駆動部とを制御する制御部と、を備え、
    　前記ハンドは、全体が第１方向に延びる、教示ターゲットと当接して摺動するための当接摺動面を有するブレードを含み、
    　前記当接摺動面は、前記第１方向において屈曲点を有する特徴部を含む、ロボット。
  2. 　前記特徴部は前記第１方向における段差である、請求項１に記載のロボット。
  3. 　前記制御部は、少なくとも前記アーム駆動部を制御することによって前記教示ターゲットが前記当接摺動面上を前記第１方向又は前記第１方向と反対方向に相対的に移動するように前記ハンドを移動させ、且つ前記ハンド角度位置検出部によって検出される、前記特徴部に起因する第１方向と交差する方向の前記ハンドの角度位置の変位に基づいて、前記教示ターゲットの位置を検出するよう構成されている、請求項１又は２に記載のロボット。
  4. 　前記制御部は、前記ハンド駆動部を制御することによって前記ハンドが前記当接摺動面の特徴部の形状変化に追従しうるよう構成されている、請求項３に記載のロボット。
  5. 　前記特徴部は、前記当接摺動面から突出する凸部又は前記当接摺動面から凹陥する凹部である、請求項１乃至４のいずれかに記載のロボット。
  6. 　アームと、該アームの先端部に回動軸線を中心に回動自在に取り付けられたハンドと、を含むロボットアームと、前記アームを駆動して前記ハンドを移動させるアーム駆動部と、前記ハンドを回動させるハンド駆動部と、前記ハンドの前記回動軸線周りの角度位置を検出するハンド角度位置検出部と、前記アーム駆動部と前記ハンド駆動部とを制御する制御部と、を備えるロボットの制御方法であって、
    　前記ハンドは、全体が第１方向に延びる、教示ターゲットと当接して摺動するための当接摺動面を有するブレードを含み、
    　前記当接摺動面は、前記第１方向において屈曲点を有する特徴部を含み、
    　前記制御部が少なくとも前記アーム駆動部を制御することによって前記教示ターゲットが前記当接摺動面上を前記第１方向又は前記第１方向と反対方向に相対的に移動するように前記ハンドを前記第２方向に移動させ、且つ前記ハンド角度位置検出部によって検出される、前記特徴部に起因する前記当接摺動面に交差する方向の前記ハンドの角度位置の変位に基づいて、前記教示ターゲットの位置を検出する、ロボットの制御方法。
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