WO2015113713A1 - Strahlpropagationskamera und verfahren zur lichtstrahlanalyse - Google Patents

Strahlpropagationskamera und verfahren zur lichtstrahlanalyse Download PDF

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    • G01J3/189—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating using at least one grating in an off-plane configuration

Definitions

  • the invention relates to a Strahlpropagationstress and a method for light beam analysis.
  • the invention can be used in particular as a beam propagation measuring system for laser radiation in order to analyze a light beam (in particular a laser beam) in its focusing properties and to obtain information both on the geometric beam parameters and on the beam quality.
  • the invention is particularly suitable for the analysis of electromagnetic radiation, as used, for example, in laser plasma sources (such as in an EUV source of a microlithographic projection exposure apparatus), but not limited thereto.
  • the beam propagation camera according to the invention is also generally suitable for analyzing electromagnetic radiation which is used for any (in particular measurement) purposes.
  • Laser plasma sources are e.g. used for the application in lithography.
  • the generation of the required EUV light takes place by means of an EUV light source based on a plasma excitation, to which FIG. Fig. 6 shows an exemplary conventional construction.
  • This EUV light source first comprises a high energy laser (not shown), e.g.
  • the infrared radiation 706 heats the target material 732 located in the plasma ignition position 730 in such a way that it changes into a plasma state and emits EUV radiation.
  • Radiation characteristic and the achievable EUV light output is that with increasing light requirements very quickly (eg with an injection rate in the range of 100 kHz or at a time interval of eg 10 ⁇ ) in the laser plasma source "flying in" tin droplets individually highly accurate (eg with an accuracy below ⁇ ⁇ ) and reproducibly from the droplet atomizing laser beam are hit.
  • This requires in the above-mentioned structure again a highly accurate adjustment of the droplet position and a high-precision tracking of the infrared radiation generated by the C02 laser 706, for example.
  • both the determination of the droplet position and the determination of the focus position of the corresponding nach telephoneden laser beams can be done with a so-called Strahlpropagationscord, both the laser beams in the "forward direction” (ie the infrared radiation 706 before hitting the respective target droplets) and the laser beams in "Backward direction” (ie, reflected back from the respective target droplets infrared radiation 706) detected and obtained for the laser beam and droplet guidance measurement data are obtained.
  • the object of the present invention is to provide a beam propagation camera and a method for light beam analysis, which allow an analysis which is as exact as possible even under comparatively low-intensity conditions.
  • a beam propagation camera comprises: a beam-splitting optical arrangement which comprises a beam splitting causing a beam impinging on the beam splitting optical device in operation into a plurality of sub-beams; and a sensor arrangement for detecting these partial beams; wherein the beam splitting optical assembly has a diffractive structure; and wherein this diffractive structure is configured such that at least two of the partial beams are spatially separated from one another on the sensor arrangement and have a focus offset in the longitudinal direction relative to the optical axis.
  • a beam propagation camera is understood to be a measuring arrangement for light beam analysis which is used to measure the far field properties or focusing properties and the focus position of a light beam (in particular of a laser beam) in order to obtain information both on the geometric beam parameters and on the beam quality.
  • the size of the focus is a measure of the beam quality, and the position of the focus on the sensor arrangement determines the geometric properties of the beam.
  • the optical axis can in particular be an axis of symmetry of the system or of the beam propagation camera.
  • the distance between the (intensity-weighted) centers of gravity of the relevant spots of the partial beams produced on the sensor arrangement amounts to at least 5 times, in particular at least 10 times, the spot size in terms of the second (statistical) moment .
  • the definedness of the moment must be ensured by suitable apodization.
  • the invention is based initially on the approach of beam splitting a light beam (eg a decoupled test beam) of an electromagnetic radiation to be analyzed, which in turn allows detection of the sub-beams thus generated and their evaluation for the analysis of the beam properties to achieve that the sub-beams both have a longitudinal focus offset and are laterally offset (to allow simultaneous recording at the location of the sensor array).
  • the invention is now based on the concept of achieving the realization of the longitudinal focus loss by the use of a diffractive structure of the plurality of focal positions generated by such a diffractive structure, which correspond to the different diffraction orders of the diffractive structure.
  • the invention makes use of the usually undesirable property of a diffractive lens to generate different focal positions from one another according to the different diffraction orders, in order to realize a longitudinal focus offset required for beam analysis.
  • the invention makes use of the further circumstance that the lateral offset of the partial beams which is necessary beyond the aforementioned longitudinal focus offset in order to enable a simultaneous recording at the location of the sensor arrangement can be achieved comparatively easily by means of a "symmetry break", which can be achieved, for example, by a simple decentring of the partial beams diffractive
  • a light beam coupled out from an electromagnetic radiation to be analyzed is replicated in a suitable manner and using a diffractive structure into a plurality of partial beams or useful beams, wherein adjacent useful beams have a focus offset in the direction of propagation in the longitudinal direction to the propagation direction and in the optical axis (or light propagation direction) the radiation) transverse to the beam-splitting arrangement has a separation such that the amplitudes of the partial beams do not overlap appreciably, so that a plurality of beam sections or measuring spots can be recorded simultaneously with a sensor arrangement of suitable extent.
  • the diffractive structure is decentered with respect to the optical axis.
  • the beam splitting optical arrangement further comprises a refractive optical element.
  • the diffractive structure, a focal length f x, and the refractive optical element has a focal length f 0, the ratio ff 0 is at least 2, especially at least 4, more in particular at least 10, more.
  • the refractive optical element and the diffractive structure are designed monolithically.
  • the refractive lens is a plano-convex lens.
  • the refractive optical element is arranged such that a focal plane of this refractive optical element corresponds to a pupil plane in the optical beam path.
  • the diffractive structure is designed as a phase DOE.
  • the diffractive structure may also be configured as transmisson DOE. In this way, a targeted attenuation of the intensity can be brought about in bright applications.
  • the diffractive structure is designed as a Fresnel lens or Fresnel zone plate.
  • the diffractive structure has a diffraction efficiency which increases with increasing diffraction order.
  • this diffraction efficiency which increases with increasing diffraction order, an intensity decrease associated with increasing defocusing of the partial beams produced by the beam splitting of the (original) beam on the sensor arrangement is at least partially compensated.
  • the diffractive structure is operated in transmission. According to a further embodiment, the diffractive structure is operated in reflection.
  • the beam propagation camera has a first analysis unit for beam analysis before reflection on an object and a second analysis unit for beam analysis after reflection on an object.
  • the object is a flying object, in particular a metallic target droplet in a laser plasma source.
  • the beam propagation camera further comprises an apodization filter.
  • this apodization filter is implemented in the sensor arrangement.
  • this apodization filter is realized as a gray filter arranged in a pupil plane in the optical beam path.
  • the invention further relates to a method for light beam analysis, the method comprising the following steps:
  • the beam splitting using a diffractive structure is such that at least two of the partial beams on the sensor array spatially separated and have a focus offset with respect to the optical axis of the longitudinal direction.
  • the method according to the invention can be carried out using a beam propagation camera which has the features described above.
  • FIG. 1 shows a schematic illustration for explaining a description of both
  • FIG. 2a-c are schematic representations for explaining the structure and operation of a used in the present invention, the beam splitting optical arrangement;
  • FIG. 3 shows a schematic illustration for explaining the principle of a beam embedding according to the present invention
  • FIGS. 4a-b are schematic representations for explaining an exemplary (measurement) beam path in a beam propagation camera according to the invention.
  • FIG. 5a-d are diagrams for explaining exemplary embodiments of a diffractive structure present in a beam propagation camera according to the invention.
  • Figure 6 is a schematic representation of the structure of an EUV light source according to the prior art.
  • Fig. 1 shows a schematic representation of a possible in a laser plasma source (such as that in Fig. 6) both for determining the droplet position and the focus position of the corresponding nach mecanicden laser beams principal structure, both laser beams in the "forward direction" (before hitting the respective target droplets) as well as laser beams in the "backward direction” (ie the infrared radiation reflected back from the respective target droplet) are evaluated.
  • part of the incident laser beam with Gaussian profile is coupled out at a first partially transmissive mirror 105 and analyzed with a first analysis unit 110.
  • the partially transmissive mirror 105 and a further partially transparent mirror 125 passing part of the incident laser beam passes through a focusing optics 128 to a metallic target (eg tin) droplets 130, where a part of the laser beam is reflected back and collimated via the focusing optics 128 to the partially transmissive mirror 125 back.
  • part of the laser beam is coupled out to the partially transmissive mirror 125 to a second analysis unit 120.
  • beam traps may be provided for capturing the respectively unused portion of the radiation impinging on the partially transmissive mirror 105 or 125.
  • FIG. 4a A schematic beam path for the analysis of the laser beam in the "backward direction” is shown in FIG. 4a, where field planes with “F” and pupil planes with “P” are respectively designated.
  • “130 denotes in FIG. 4a the metallic target droplet” 405 ". is an afocal telescope group, and "250” denotes the sensor array, and shifting the position of the target droplet 130 results in a change in the image obtained on the sensor array 250.
  • I (x, y; z) denotes the light intensity for the selected cutting plane.
  • the distance of the relevant spots on the sensor arrangement preferably has a value of at least 5 * ⁇ .
  • J j (x) denote the Bessel function of the first order.
  • Fig. 3 shows a schematic representation for explaining the principle of taking place according to the invention beam fan.
  • a light beam e.g., an electromagnetic to be analyzed
  • Radiation coupled test beam split or replicated in different sub-beams or useful beams, wherein for these useful beams on the one hand a longitudinal focus offset in the propagation direction and on the other hand (to enable a simultaneous evaluation on a sensor array) also a transverse splitting is achieved.
  • Isofokalline labeled IFC
  • the focus is different for each of the individual sub-beams.
  • the sensor arrangement 250 placed in the beam path results in different spot images, the size being smallest in the middle or perfect focus and increasing towards the edge.
  • An analysis of the image taken with the sensor arrangement in which the size of the spot image is determined as a function of the index (for example, from -3 to 3), thus makes it possible to determine the focus position.
  • a beam splitting optical arrangement 240 which is explained in more detail below, is used.
  • the splitting optical arrangement 240 has a diffractive structure 241 and a refractive optical element (refractive lens) 242, which are monolithic in this case and together form a multifocal optical element, as is indicated schematically in FIG. 2a.
  • the refractive optical element 242 may be a plano-convex lens, wherein the diffractive structure 241 may be formed on the planar surface of this plano-convex lens.
  • the refractive optical element 242 e.g., plano-convex lens
  • DOE diffractive optical element
  • diffractive structure and refractive optical element or lens may also be configured separately and with (preferably small) distance from each other.
  • a sensor arrangement 250 is located in the pupil plane (Fourier plane) of the optical beam path, and the focal plane of the refractive optical element 242 is likewise located in a pupil plane (Fourier plane) of the beam path.
  • f x denotes the focal length of the first positive diffraction order and k the ray index or diffraction order.
  • the intensity of the respective focus depends directly on the execution and approximation of the underlying (approximately parabolic phase profile).
  • a lateral splitting results as a result of a deliberately introduced symmetry break or decentration of the beam splitting optical arrangement 240.
  • This decentring is schematically illustrated in FIG. 2c and is achieved in the exemplary embodiment by the refractive optical element 242 being symmetrical to the is arranged on the optical axis OA and the diffractive lens 241 decentered by a distance d x and is arranged displaced perpendicular to the optical axis OA.
  • the evaluation of the measured beam magnitudes to determine the desired beam parameters (divergence ⁇ , focus position z 0 and waist size w 0 ) is explained.
  • Beam corresponds to an ideal Gaussian beam or whether it is e.g. is a comparatively strongly aberrated beam.
  • the Fourier image starting from the object-side focal plane of the refractive lens, becomes in expanded formalism through the transfer matrix
  • M 21 (kz k (z 0 )) corresponds to a non-disappearing refractive power (reciprocal focal length F k ) for the entire system and means a ray-dependent telecentricity for the higher diffraction orders.
  • the design of the beam-splitting optical arrangement 240 can be carried out in two steps, wherein the basic parameters (focal length f 0 of the refractive optical element 242, focal length f x of the diffractive structure 241 and decentration d x ) are determined in a first step and in one second step, the concrete step profile of the diffractive structure 241 is specified while optimizing the diffraction efficiencies for the individual partial beams or diffraction orders.
  • the basic parameters focal length f 0 of the refractive optical element 242, focal length f x of the diffractive structure 241 and decentration d x
  • the depth of focus range is defined for hard-limited (eg, Tophat) beams as I NA 2 and for Gauss beams as M 2 ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ 2 .
  • the phase is brought to the uniqueness range [0.2 r] by the modulo operation, accordingly
  • mapping U (w) with a definition range 0 ⁇ w ⁇ 1, correspondingly
  • the function U (w) describes the complex transmission function over the unit cell normalized to length one of a regular periodic lattice.
  • the diffraction efficiencies ⁇ ⁇ (
  • Another design task is to adapt the diffraction efficiencies to the measurement application by appropriate choice of complex transmission tion U (w).
  • U (w) exp (z ' ⁇ (w)) is considered without restriction of generality, which can be realized by manufacturing a thickness profile t in the surface of a glass body, eg by etching (x, y) is introduced. The correspondence between thickness function and phase is thereby where n is the refractive index of the substrate material.
  • the diffractive structure 241 present in the inventive beam splitting optical arrangement 240 can be realized as a (eg binary) phase DOE.
  • the most easily produced class of binary phase DOEs (with two different phase values) has only one step per unit cell.
  • Phasen ⁇ , plateau width b x and b 2 and distance d u between the two plateaus it is possible to set an optimized course of the diffraction orders up to and including the third order.
  • the phase of the electromagnetic radiation diffracted at the phase DOE corresponds to the step height of the etching stages.
  • FIGS. 5a-d show phase profiles and the corresponding diffraction efficiencies for two different optimization targets:
  • Fig. 5a b was on balance (preferably equality) of the Nutzbeugungs instructen - optimized 3 ⁇ / c max ⁇ + 3, wherein Fig. 5a shows an elementary cell of the grid.
  • a diffraction efficiency in the range of 0.1 1 for the useful diffraction orders is determined. 0.12, whereas the other (unused) orders of diffraction are occupied with little energy.
  • This embodiment has in the specific embodiment with the result that when using a total of seven partial beams or Nutzbeugungs instructen (comprising the (-3) -th to (+3) -th diffraction order) about 80% of the incident energy is in these Nutzbeugungs effet and for the Measurement can be used.
  • the inventive beam splitting optical arrangement 240 thus makes it possible, in particular, to generate diffraction efficiencies with a comparatively simple DOE basic design (namely a binary or two-stage phase DOE), which enable a largely uniform distribution of the energy over the diffraction orders used with high efficiency , so that this embodiment is particularly advantageous in low-light conditions.
  • the energy distribution over the diffraction orders used can also be deliberately deviated from the above-described diffraction orders, for example according to FIG. 5 d (by a corresponding grid design according to FIG Substantially V-like course of the diffraction efficiencies can be realized, in which the higher diffraction orders are provided with more energy.
  • the spots generated on the sensor arrangement 250 become wider towards the outside or with increasing distance from the optimum focus position, ie the corresponding areas become darker.
  • this effect of the intensity decrease associated with increasing defocusing of the partial beams generated by splitting the electromagnetic radiation to be analyzed on the sensor arrangement can be at least partially compensated, whereby the useful range of the sensor arrangement can be increased.
  • optimization of the diffraction efficiencies with the magnitude of the diffraction order was optimized as far as possible in order to at least partially compensate for the intensity drop due to the beam broadening outside the focus.
  • the diffractive structure according to the invention may also be realized instead of a phase DOE by a transmission DOE or (absorbing) gray scale DOE or by any other DOE systems, eg multi-stage DOEs, etc.
  • a limitation of the inventive concept of using a diffractive structure for the realization of a multifocal beam splitting optical arrangement or beam propagation camera is ultimately given by the limitation of the minimum achievable strip spacing in the DOE production.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Strahlpropagationskamera und ein Verfahren zur Lichtstrahlanalyse. Eine erfindungsgemäße Strahlpropagationskamera weist wenigstens eine strahlaufspaltende optische Anordnung (240), welche eine Aufspaltung eines im Betrieb auf die strahlaufspaltende optische Anordnung entlang einer optischen Achse (OA) der Strahlpropagationskamera auftreffenden Strahls in eine Mehrzahl von Teilstrahlen bewirkt, und eine Sensoranordnung (250) zur Erfassung dieser Teilstrahlen auf, wobei die strahlaufspaltende optische Anordnung (240) eine diffraktive Struktur (241) aufweist, und wobei diese diffraktive Struktur (241) derart ausgestaltet ist, dass wenigstens zwei der Teilstrahlen auf der Sensoranordnung (250) räumlich voneinander getrennt sind und einen Fokusversatz in bezogen auf die optische Achse (OA) longitudinaler Richtung aufweisen.

Description

Strahlpropagationskamera und
Verfahren zur Lichtstrahlanalyse
Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der Deutschen Patentanmeldung DE 10 2014 201 779.3, angemeldet am 31 . Januar 2014. Der Inhalt dieser DE-Anmeldung wird durch Bezugnahme („incorporation by reference") mit in den vorliegenden Anmeldungstext aufgenommen.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft eine Strahlpropagationskamera und ein Verfahren zur Lichtstrahlanalyse. Die Erfindung ist insbesondere als Strahlpropagationsmesssystem für Laserstrahlung einsetzbar, um einen Lichtstrahl (insbesondere einen Laser- strahl) in seinen Fokussiereigenschaften zu analysieren und um Aufschluss sowohl über die geometrischen Strahlparameter als auch über die Strahlqualität zu erlangen.
Die Erfindung ist insbesondere zur Analyse elektromagnetischer Strahlung geeig- net, wie sie z.B. in Laserplasmaquellen (etwa bei einer EUV-Quelle einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage) eingesetzt wird, jedoch nicht hierauf beschränkt. In weiteren Anwendungen ist die Strahlpropagationskamera gemäß der Erfindung auch allgemein dazu geeignet, elektromagnetische Strahlung, die zu beliebigen (insbesondere Mess-)Zwecken eingesetzt wird, zu analy- sieren. Stand der Technik
Laserplasmaquellen werden z.B. zur Anwendung in der Lithographie eingesetzt. So erfolgt etwa im Betrieb einer für den EUV-Bereich (z.B. bei Wellenlängen von z.B. etwa 13 nm oder etwa 7 nm) ausgelegten Projektionsbelichtungsanlage die Erzeugung des benötigten EUV-Lichtes mittels einer auf einer Plasma-Anregung basierenden EUV-Lichtquelle, zu der Fig. 6 einen beispielhaften herkömmlichen Aufbau zeigt. Diese EUV-Lichtquelle weist zunächst einen (nicht gezeigten) Hochenergielaser z.B. zur Erzeugung von Infrarotstrahlung 706 (z.B. C02-Laser mit einer Wellenlänge von λ« 10.6 μηι) auf, welche über eine Fokussieroptik fokussiert wird, durch eine in einem als Ellipsoid ausgebildeten Kollektorspiegel 710 vorhandene Öffnung 71 1 hindurchtritt und auf ein mittels einer Targetquelle 735 erzeugtes und einer Plasmazündungsposition 730 zugeführtes Targetmaterial 732 (z.B. Zinntröpfchen) gelenkt wird. Die Infrarotstrahlung 706 heizt das in der Plasmazündungsposition 730 befindliche Targetmaterial 732 derart auf, dass dieses in einen Plasmazustand übergeht und EUV-Strahlung abgibt. Diese EUV-Strahlung wird über den Kollektorspiegel 710 auf einen Zwischenfokus IF (= "Intermediate Focus") fokussiert und tritt durch diesen in eine nachfolgende Beleuchtungseinrichtung, deren Umrandung 740 lediglich angedeutet ist und die für den Lichteintritt eine freie Öffnung 741 aufweist, ein.
Von wesentlicher Bedeutung für die in einer EUV-Lichtquelle bzw. Laserplas- maquelle erzielbare Dosisstabilität bzw. zeitliche Stabilität der EUV-
Abstrahlcharakteristik und die realisierbare EUV-Lichtausbeute ist dabei, dass die mit zunehmendem Lichtbedarf sehr schnell (z.B. mit einer Injektionsrate im Bereich von 100 kHz bzw. in einem zeitlichen Abstand von z.B. 10 με) in die Laserplasmaquelle„einfliegenden" Zinntröpfchen individuell hochgenau (z.B. mit einer Genauigkeit unterhalb von Ι μηι) und reproduzierbar von dem das Tröpfchen zerstäubenden Laserstrahl getroffen werden. Dies erfordert im o.g. Aufbau wiederum eine hochgenaue Einstellung der Tröpfchenposition sowie eine hochgenaue Nachführung der z.B. vom C02-Laser erzeugten Infrarotstrahlung 706. Sowohl die Bestimmung der Tröpfchenposition als auch die Bestimmung der Fokuslage der entsprechend nachzuführenden Laserstrahlen können mit einer sogenannten Strahlpropagationskamera erfolgen, wobei sowohl die Laserstrahlen in „Vorwärtsrichtung" (d.h. die Infrarotstrahlung 706 vor dem Auftreffen auf die jeweiligen Target-Tröpfchen) als auch die Laserstrahlen in„Rückwärtsrichtung" (d.h. die von dem jeweiligen Target-Tröpfchen zurückreflektierte Infrarotstrahlung 706) er- fasst und die für die Laserstrahl- sowie Tröpfchenführung benötigten Messdaten gewonnen werden.
Hierbei tritt in der Praxis u.a. das Problem auf, dass die von den Target-Tröpfchen zurückreflektierte Infrarotstrahlung 706 vergleichsweise intensitätsschwach ist und eine exakte messtechnische Erfassung der Tröpfchenposition und damit auch die hochgenaue Nachführung der vom C02-Laser erzeugten Infrarotstrahlung 706 er- schwert.
Zum Stand der Technik wird beispielhaft auf US 8,237,922 B2 und US 5,329,350 verwiesen.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Strahlpropagationskamera und ein Verfahren zur Lichtstrahlanalyse bereitzustellen, welche auch unter ver- gleichsweise intensitätsschwachen Bedingungen eine möglichst exakte Analyse ermöglichen.
Diese Aufgabe wird durch die Strahlpropagationskamera gemäß den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 sowie das Verfahren gemäß den Merkma- len des nebengeordneten Patentanspruchs 20 gelöst.
Eine erfindungsgemäße Strahlpropagationskamera weist auf: eine strahlaufspaltende optische Anordnung, welche eine Strahlaufspaltung eines im Betrieb auf die strahlaufspaltende optische Anordnung auftreffenden Strahls in eine Mehrzahl von Teilstrahlen bewirkt; und eine Sensoranordnung zur Erfassung dieser Teilstrahlen; wobei die strahlaufspaltende optische Anordnung eine diffraktive Struktur aufweist; und wobei diese diffraktive Struktur derart ausgestaltet ist, dass wenigstens zwei der Teilstrahlen auf der Sensoranordnung räumlich voneinander getrennt sind und einen Fokusversatz in bezogen auf die optische Achse longitudinaler Richtung aufweisen.
Unter einer Strahlpropagationskamera wird im Rahmen der vorliegenden Anmeldung eine Messanordnung zur Lichtstrahlanalyse verstanden, welche zur Vermessung der Fernfeldeigenschaften bzw. Fokussiereigenschaften sowie der Fokusposition eines Lichtstrahls (insbesondere eines Laserstrahls) dient, um Aufschluss sowohl über die geometrischen Strahlparameter als auch über die Strahlqualität zu erlangen. Dabei stellt die Größe des Fokus ein Maß für die Strahlqualität dar, und die Position des Fokus auf der Sensoranordnung bestimmt die geometrischen Eigenschaften des Strahls. Unter der Aufspaltung eines Strahls in Teilstrahlen ist im Rahmen der vorliegenden Anmeldung zu verstehen, dass diese Teilstrahlen jeweils eine Kopie des ursprünglichen aufgespaltenen Strahls insofern darstellen, als die Teilstrahlen jeweils die gleichen geometrischen Parameter wie der ursprüngliche Strahl aufweisen, wobei lediglich die Intensität der Teilstrahlen gegenüber der Intensität des ur- sprünglichen Strahls infolge der Aufspaltung in mehrere Teilstrahlen entsprechend reduziert ist.
Bei der optischen Achse kann es sich insbesondere um eine Symmetrieachse des Systems bzw. der Strahlpropagationskamera handeln.
Unter dem Kriterium, dass wenigstens zwei der Teilstrahlen auf der Sensoranordnung räumlich voneinander getrennt sind, ist im Sinne der vorliegenden Anmel- dung vorzugsweise zu verstehen, dass der Abstand zwischen den (intensitätsge- wichteten) Schwerpunkten der betreffenden, auf der Sensoranordnung erzeugten Spots der Teilstrahlen wenigstens das 5-fache, insbesondere wenigstens das 10- fache, der Spotgröße im Sinne des zweiten (statistischen) Momentes beträgt. Im Falle von hart beschränkten Strahlen (z.B. Tophat-Strahlen) ist wie im Weiteren noch näher erläutert die Definiertheit des Momentes durch geeignete Apodisierung sicherzustellen.
Die Erfindung geht zunächst von dem Ansatz aus, eine Strahlaufspaltung eines Lichtstrahls (z.B. eines ausgekoppelten Probestrahls) einer zu analysierenden elektromagnetischen Strahlung, welche wiederum eine Erfassung der so erzeugten Teilstrahlen und deren Auswertung zur Analyse der Strahleigenschaften ermöglicht, dadurch zu erreichen, dass die Teilstrahlen sowohl einen longitudinalen Fokusversatz aufweisen als auch (zur Ermöglichung einer simultanen Aufzeich- nung am Ort der Sensoranordnung) lateral versetzt sind. Von diesem Ansatz ausgehend liegt der Erfindung nun weiter das Konzept zugrunde, durch Verwendung einer diffraktiven Struktur die von einer solchen diffraktiven Struktur erzeugte Mehrzahl von Fokuslagen, die den unterschiedlichen Beugungsordnungen der diffraktiven Struktur entsprechen, zur Realisierung des longitudinalen Fokusversat- zes zu erzielen. Mit anderen Worten macht sich die Erfindung die üblicherweise unerwünschte Eigenschaft einer diffraktiven Linse, entsprechend den unterschiedlichen Beugungsordnungen voneinander verschiedene Fokuslagen zu erzeugen, gezielt zunutze, um einen zur Strahlanalyse erforderlichen longitudinalen Fokusversatz zu realisieren.
Zugleich macht sich die Erfindung den weiteren Umstand zunutze, dass der über den vorstehend genannten longitudinalen Fokusversatz hinaus zur Ermöglichung einer simultanen Aufzeichnung am Ort der Sensoranordnung notwendige laterale Versatz der Teilstrahlen vergleichsweise einfach über einen „Symmetriebruch" erreichbar ist, welcher z.B. durch eine einfache Dezentrierung der diffraktiven
Struktur (entweder durch Versetzung in einer zur optischen Achse senkrechten Ebene oder bereits durch entsprechendes Design der diffraktiven Struktur) erzielt werden kann. Dabei wird erfindungsgemäß ein erhöhter Designaufwand bei der Ausgestaltung der strahlaufspaltenden optischen Anordnung in Kauf genommen, welcher durch das grundsätzlich nichttriviale Fokusverhalten einer diffraktiven Struktur und den Umstand, dass die den einzelnen Beugungsordnungen entsprechenden Teilstrahlen voneinander verschiedene Vergrößerungen („magnifications") sowie auch einen unterschiedlichen„Afokalitätsmismatch" (dahingehend, dass die Verkettung von Fourierebenen und Feldebenen im optischen Strahlengang nur für die 0-te Beugungsordnung gegeben ist) aufweisen, bedingt ist.
Durch Inkaufnahme dieses Designaufwandes werden - wie im Weiteren noch detaillierter erläutert - im Gegenzug signifikante Vorteile erreicht, wobei insbesondere die bei dem erfindungsgemäßen Konzept erzielte große Freiheit bzw. Flexibilität in der Auslegung der Strahlpropagationskamera, die Möglichkeit der Realisierung auch in vergleichsweise lichtschwachen Anwendungen sowie die geringe optome- chanische Komplexität der strahlaufspaltenden optischen Anordnung (welche keine besonderen Anforderungen an Halterung, Verstellmechanismen etc. stellt) zu nennen sind. Im Ergebnis wird in der erfindungsgemäßen Strahlpropagationskamera ein z.B. aus einer zu analysierenden elektromagnetischen Strahlung ausgekoppelter Lichtstrahl in geeigneter Weise und unter Einsatz einer diffraktiven Struktur in eine Mehrzahl von Teilstrahlen bzw. Nutzstrahlen repliziert, wobei benachbarte Nutzstrahlen in Ausbreitungsrichtung in zur Ausbreitungsrichtung longitudinaler Rich- tung einen Fokusversatz und in zur optischen Achse (bzw. Lichtausbreitungsrichtung der auf die strahlaufspaltende Anordnung auftreffenden Strahlung) transversaler Richtung eine Separation derart aufweisen, dass die Amplituden der Teilstrahlen nicht nennenswert überlappen, so dass mit einer Sensoranordnung geeigneter Ausdehnung mehrere Strahlschnitte bzw. Messspots gleichzeitig aufge- zeichnet werden können.
Gemäß einer Ausführungsform ist die diffraktive Struktur in Bezug auf die optische Achse dezentriert angeordnet. Gemäß einer Ausführungsform weist die strahlaufspaltende optische Anordnung ferner ein refraktives optisches Element auf. Gemäß einer Ausführungsform weist die diffraktive Struktur eine Brennweite fx auf, und das refraktive optische Element weist eine Brennweite f0 auf, wobei das Verhältnis f f0 wenigstens 2, insbesondere wenigstens 4, weiter insbesondere wenigstens 10, beträgt. Gemäß einer Ausführungsform sind das refraktive optische Element und die diffraktive Struktur monolithisch ausgestaltet.
Gemäß einer Ausführungsform ist die refraktive Linse eine Plankonvexlinse. Gemäß einer Ausführungsform ist das refraktive optische Element derart angeordnet, dass eine Brennebene dieses refraktiven optischen Elements einer Pupillenebene im optischen Strahlengang entspricht.
Gemäß einer Ausführungsform ist die diffraktive Struktur als Phasen-DOE ausge- staltet.
Gemäß einer Ausführungsform kann die diffraktive Struktur auch als Transmissi- ons-DOE ausgestaltet sein. Auf diese Weise kann bei lichtstarken Anwendungen auch eine gezielte Schwächung der Intensität herbeigeführt werden.
Gemäß einer Ausführungsform ist die diffraktive Struktur als Fresnel-Linse oder Fresnel'sche Zonenplatte ausgestaltet.
Gemäß einer Ausführungsform weist die diffraktive Struktur eine mit zunehmender Beugungsordnung steigende Beugungseffizienz auf. Gemäß einer Ausführungsform wird infolge dieser mit zunehmender Beugungsordnung steigenden Beugungseffizienz eine mit zunehmender Defokussierung der durch die Strahlaufspaltung des (ursprünglichen) Strahls erzeugten Teilstrahlen auf der Sensoranordnung einhergehende Intensitätsabnahme wenigstens teil- weise kompensiert.
Gemäß einer Ausführungsform ist die diffraktive Struktur in Transmission betrieben. Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die diffraktive Struktur in Reflexion betrieben.
Gemäß einer Ausführungsform weist die Strahlpropagationskamera eine erste Analyseeinheit zur Strahlanalyse vor Reflexion an einem Objekt und eine zweite Analyseeinheit zur Strahlanalyse nach Reflexion an einem Objekt auf.
Gemäß einer Ausführungsform ist das Objekt ein fliegendes Objekt, insbesondere ein metallisches Target-Tröpfchen in einer Laserplasmaquelle. Gemäß einer Ausführungsform weist die Strahlpropagationskamera diese ferner ein Apodisierungsfilter auf.
Gemäß einer Ausführungsform ist dieses Apodisierungsfilter in der Sensoranordnung realisiert.
Gemäß einer Ausführungsform ist dieses Apodisierungsfilter als in einer Pupillenebene im optischen Strahlengang angeordneter Graufilter realisiert.
Die Erfindung betrifft weiter auch ein Verfahren zur Lichtstrahlanalyse, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
- Strahlaufspaltung eines sich entlang einer optischen Achse ausbreitenden Strahls in eine Mehrzahl von Teilstrahlen, - Messung der von diesen Teilstrahlen auf einer Sensoranordnung jeweils erzeugten Spotgröße, und
- Berechnung wenigstens einer der Strahlparameter Divergenz ( Θ ), Fokuslage ( z0 ) und Taillengröße ( w0 ) aus den gemessenen Spotgrößen, - wobei die Strahlaufspaltung unter Verwendung einer diffraktiven Struktur derart erfolgt, dass wenigstens zwei der Teilstrahlen auf der Sensoranordnung räumlich voneinander getrennt sind und einen Fokusversatz in bezogen auf die optische Achse longitudinaler Richtung aufweisen.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann insbesondere unter Verwendung einer Strahlpropagationskamera durchgeführt werden, welche die vorstehend beschriebenen Merkmale aufweist.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind der Beschreibung sowie den Unter- ansprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von in den beigefügten Abbildungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Es zeigen: Figur 1 eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines sowohl zur
Realisierung einer Tröpfchenpositionsbestimmung als auch zur Bestimmung der Fokuslage der entsprechend nachzuführenden Laserstrahlen in einer Laserplasmaquelle möglichen prinzipiellen Aufbaus; Figur 2a-c schematische Darstellungen zur Erläuterung des Aufbaus und der Wirkungsweise einer im Rahmen der vorliegenden Erfindung eingesetzten strahlaufspaltenden optischen Anordnung; Figur 3 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Prinzips einer gemäß der vorliegenden Erfindung erfolgenden Strahlauffä- cherung;
Figur 4a-b schematische Darstellungen zur Erläuterung eines beispielhaf- ten (Mess-)Strahlenganges in einer erfindungsgemäßen Strahl- propagationskamera;
Figur 5a-d Diagramme zur Erläuterung beispielhafter Ausgestaltungen einer in einer erfindungsgemäßen Strahlpropagationskamera vor- handenen diffraktiven Struktur; und
Figur 6 eine schematische Darstellung des Aufbaus einer EUV- Lichtquelle gemäß dem Stand der Technik.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung eines in einer Laserplasmaquelle (wie z.B. derjenigen in Fig. 6) sowohl zur Bestimmung der Tröpfchenposition als auch der Fokuslage der entsprechend nachzuführenden Laserstrahlen möglichen prinzipiellen Aufbaus, wobei sowohl Laserstrahlen in„Vorwärtsrichtung" (vor dem Auftreffen auf das jeweilige Target-Tröpfchen) als auch Laserstrahlen in„Rückwärtsrichtung" (d.h. die von dem jeweiligen Target-Tröpfchen zurückreflektierte Infrarotstrahlung) ausgewertet werden.
Gemäß Fig. 1 wird ein Teil des einfallenden Laserstrahls mit Gauß'schem Profil an einem ersten teildurchlässigen Spiegel 105 ausgekoppelt und mit einer ersten Analyseeinheit 1 10 analysiert. Der den teildurchlässigen Spiegel 105 sowie einen weiteren teildurchlässigen Spiegel 125 durchlaufende Teil des einfallenden Laserstrahls gelangt über eine Fokussieroptik 128 zu einem metallischen Target- (z.B. Zinn-)Tröpfchen 130, wo ein Teil des Laserstrahls zurückreflektiert wird und über die Fokussieroptik 128 kollimiert zum teildurchlässigen Spiegel 125 zurückgelangt. An dem teildurchlässigen Spiegel 125 wird wiederum ein Teil des Laserstrahls zu einer zweiten Analyseeinheit 120 hin ausgekoppelt. Des Weiteren können (in Fig. 1 nicht eingezeichnete) Strahlfallen zum Auffangen des jeweils nicht genutzten Anteils der auf den teildurchlässigen Spiegel 105 bzw. 125 auftreffenden Strahlung vorgesehen sein.
Ein schematischer Strahlengang zur Analyse des Laserstrahls in„Rückwärtsrichtung" ist in Fig. 4a dargestellt, wobei jeweils Feldebenen mit„F" und Pupillenebenen mit„P" bezeichnet sind.„130 bezeichnet in Fig. 4a das metallische Target- Tröpfchen, „405" ist eine afokale Teleskopgruppe, und „250" bezeichnet die Sensoranordnung. Eine Verschiebung der Position des Target-Tröpfchens 130 hat eine Änderung des auf der Sensoranordnung 250 erhaltenen Bildes zur Folge.
Die Analyse der Laserstrahlen sowohl in„Vorwärtsrichtung" (Laserstrahl vor dem Auftreffen auf das jeweilige Target-Tröpfchen 130, im Weiteren als „Vorwärts- strahl" bezeichnet) als auch in„Rückwärtsrichtung" (Laserstrahl nach Reflexion dem jeweiligen Target-Tröpfchen 130, im Weiteren als„Rückwärtsstrahl" bezeichnet) erlaubt so eine Aussage über die relative Einstellung von Laserstrahl und Target-Tröpfchen 130 zueinander, wobei - unter erneuter Bezugnahme auf Fig. 1 - aus dem mit der ersten Analyseeinheit 1 10 erhaltenen Ergebnis auf die Einstel- lung bzw. Fokuslage des Laserstrahls und aus dem mit der zweiten Analyseeinheit
120 erhaltenen Ergebnis auf die Tröpfchenposition geschlossen werden kann.
Grundsätzlich sind für das Strahlgrößenmaß wie auch für das Divergenzmaß fallabhängig verschiedene Konventionen möglich und üblich. Auf dem Gebiet der Lasertechnik dienen beispielsweise häufig die Momente dxdy I(x, y; z) (x - x(z))2 ^dxdy I x, y; z) (y - y(z)f jdxdyl(x,y;z) dxdy I(
mit dxdy I(x,y,z)x dx dy I(x,y,z)y
Figure imgf000014_0001
jdxdyl(x,y;z) jdxdyl(x,y;z)
als Grundlage einer Strahlgrößendefinition entsprechend w(z) = Mz) + w z) (3) oder
Figure imgf000014_0002
Hierin bezeichnet I(x,y;z) die Lichtintensität für die gewählte Schnittebene.
Legt man bei einem Gaußstrahl einen Durchmesser von 5*σ zugrunde (wobei σ im Einklang mit der üblichen Terminologie die Standardabweichung bzw. Breite der Normalverteilung bezeichnet und sich aus dem zweiten Moment ergibt), besitzt vorzugsweise der Abstand der betreffenden Spots auf der Sensoranordnung einen Wert von wenigstens 5*σ.
Bei der Analyse des Vorwärtsstrahls sowie des Rückwärtsstrahls in dem prinzipiellen Aufbau von Fig.1 ist zu beachten, dass nur der Vorwärtsstrahl idealisiert als „Gaußstrahl" anzusehen ist, für welchen im Bereich des bildseitigen Fokus für die Strahlgröße w als Funktion der Ausbreitungskoordinate z in guter Näherung
(z) = wo 2 + 02 (z - zo J (5) gilt, wobei w0 die Taillengröße, Θ die Divergenz und z0 die Taillenlage (Fokuslage) bezeichnen.
Im Weiteren wird zunächst auf Probleme eingegangen, welche sich etwa im Falle der Analyse des Rückwärtsstrahls in der zweiten Analyseeinheit 120 daraus ergeben, dass der zu untersuchende Strahl kein idealer Gaußstrahl ist, sondern ein vergleichsweise scharf begrenzter Strahl (im Weiteren auch als„Tophat-Strahl" bezeichnet). Im Falle eines solchen scharf begrenzten Strahls ergibt sich im Fokus (Fernfeld) sowie im aberrationsfreien Idealfall die Airy'sche Lichtverteilung
wobei L s System
Figure imgf000015_0001
transmittierte Leistung und Jj (x) die Bessel-Funktion erster Ordnung bezeichnen.
Aufgrund des asymptotischen Abfalls I(r, z = ζΛ <χ in dieser Lichtverteilung r
sind jedoch die Momente entsprechend Gleichung (5) nicht definiert. Das hieraus resultierende Problem einer Auswertung auch des„hart begrenzten" Rückwärtsstrahls kann durch eine geeignete„künstliche" Apodisierung überwunden werden: Dies kann in einer ersten Ausführungsform dadurch erfolgen, dass in der Ebene der Sensoranordnung eine geeignete Maske„elektronisch" realisiert wird, welche entsprechend der Ersetzung
I(x, y; z) -> I(x, y; z)A(x - x, y - y) (7) die Intensitätsverläufe mit einer geeignet gewählten Apodisationsfunktion apodi- siert (wobei diese Apodisierung insofern als„weich" bezeichnet werden kann, als Unstetigkeiten erst in den höheren Ableitungen des Apodisationsverlaufs auftre- ten). Hierzu geeignet ist beispielsweise die erst ab den zweiten Ableitungen unstetige Funktion
Figure imgf000016_0001
mit dem Beschneidungsradius R im Bereich 5Lc < R < \0Lc .
In einer zweiten Ausführungsform kann eine (im vorstehenden Sinne„weiche") Apodisation w(x, y; zNF )θ(χ2 + y2 <RNA ) -> u(x, y; zNF )AR (x, y) (9) durch Einbringen eines strukturierten Graufilters mit entsprechendem Profil in das Nahfeld bzw. in eine Pupillenebene realisiert werden. Hierbei bezeichnen u(x,y; z) die Strahlamplitude (welche über I(x,y; z) =
Figure imgf000016_0002
die Intensität bestimmt) und RNA den (die Öffnung bzw. numerische Apertur NA definierenden) Aperturradius.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Prinzips der gemäß der Erfindung erfolgenden Strahlauffächerung. Hierbei wird ein Lichtstrahl (z.B. aus einer zu analysierenden elektromagnetischen
Strahlung ausgekoppelter Probestrahl) in verschiedene Teilstrahlen bzw. Nutzstrahlen aufgespalten bzw. repliziert, wobei für diese Nutzstrahlen zum einen ein longitudinaler Fokusversatz in Ausbreitungsrichtung und zum anderen (zur Ermöglichung einer simultanen Auswertung auf einer Sensoranordnung) auch eine transversale Aufsplittung erzielt wird. Wie aus der in Fig. 3 skizzierten Isofokallinie (mit IFC bezeichnet) ersichtlich ist, ist der Fokus für jeden der einzelnen Teilstrahlen verschieden. Die im Strahlengang platzierte Sensoranordnung 250 ergibt unterschiedliche Spot-Bilder, wobei die Größe in der Mitte bzw. im perfekten Fokus am kleinsten ist und zum Rand hin zunimmt. Eine Analyse des mit der Sensoranordnung aufgenommen Bildes, bei welcher die Größe des Spotbildes als Funktion des Index (z.B. von -3 bis 3) ermittelt wird, ermöglicht somit die Bestimmung der Fokuslage.
Zur Realisierung sowohl des longitudinalen Fokusversatzes als auch der trans- versale Aufsplittung der Teilstrahlen dient eine im Weiteren näher erläuterte strahlaufspaltende optische Anordnung 240.
Die strahlaufspaltende optische Anordnung 240 weist im Ausführungsbeispiel eine diffraktive Struktur 241 sowie ein refraktives optisches Element (refraktive Linse) 242 auf, welche hier monolithisch ausgebildet sind und gemeinsam ein multifokales optisches Element bilden, wie in Fig. 2a schematisch angedeutet ist.
In einem konkreten Ausführungsbeispiel kann es sich bei dem refraktiven optischen Element 242 um eine Plankonvexlinse handeln, wobei die diffraktive Struk- tur 241 auf der planen Fläche dieser Plankonvexlinse ausgebildet sein kann. In einer weiteren Ausführungsform kann das refraktive optische Element 242 (z.B. Plankonvexlinse) auch über einen indexangepassten Lack mit einem separaten diffraktiven optischen Element (DOE) aneinandergefügt sein. Durch diese Ausgestaltungen wird jeweils ein Element von geringer optomechanischer Komplexität (hinsichtlich Halterung, Verstellmechanismen etc.) realisiert, mit dem die erfindungsgemäße Strahlaufspaltung erzielt werden kann.
Die Erfindung ist jedoch nicht auf die Integrierung von diffraktiver Struktur und re- fraktivem optischen Element oder insbesondere die beschriebene monolithische Ausgestaltung beschränkt. Somit können in weiteren Ausführungsformen diffraktive Struktur und refraktives optisches Element bzw. Linse auch separat und mit (vorzugsweise geringem) Abstand voneinander ausgestaltet sein. Eine Sensoranordnung 250 befindet sich in der Pupillenebene (Fourierebene) des optischen Strahlengangs, und die Brennebene des refraktiven optischen Elementes 242 befindet sich ebenfalls in einer Pupillenebene (Fourierebene) des Strahlengangs.
Grundsätzlich besitzt eine diffraktive Linse entsprechend den auftretenden Beugungsordnungen positive wie negative Brennweiten entsprechend = , * = 0 +l +2, ... (10)
Darin bezeichnet fx die Brennweite der ersten positiven Beugungsordnung und k den Strahlindex bzw. die Beugungsordnung. Die Intensität des jeweiligen Fokus hängt dabei unmittelbar von der Ausführungs- und Approximationsform des zugrundeliegenden (näherungsweise parabolischen Phasenprofils) ab. In Kombinati- on mit einer refraktiven Linse der Brennweite f0 ergibt sich ein multifokales optisches System mit mehreren Nutzbrennweiten fk , & = 0,+l, ... ,&max , wobei bei Vernachlässigung des Abstandes zwischen der diffraktiven Struktur und der refraktiven Linse näherungsweise gilt
Figure imgf000018_0001
Dieser Zusammenhang ist in Fig. 2b für fx » f0 veranschaulicht.
Wie in Fig. 4b angedeutet ergibt sich eine laterale Aufspaltung infolge eines gezielt eingeführten Symmetriebruches bzw. einer Dezentrierung der strahlaufspaltenden optischen Anordnung 240. Diese Dezentrierung ist in Fig. 2c schematisch dargestellt und wird im Ausführungsbeispiel dadurch erreicht, dass das refraktive optische Element 242 symmetrisch zur optischen Achse OA angeordnet ist und die diffraktive Linse 241 um eine Strecke dx dezentriert bzw. senkrecht zur optischen Achse OA verschoben angeordnet ist. Im Weiteren wird die Auswertung der gemessenen Strahlgrößen zur Ermittlung der gesuchten Strahlparameter (Divergenz Θ , Fokuslage z0 und Taillengröße w0 ) erläutert. Wenngleich hierbei sowohl der durch die erfindungsgemäße diffraktive Struktur erzielte longitudinale Fokusversatz als der durch den Symmetriebruch herbeigeführte laterale Versatz der Teilstrahlen zu berücksichtigen sind, werden diese im Folgenden zunächst - lediglich zu Zwecken der besseren Verständlichkeit - außer Acht gelassen, d.h. es wird zunächst eine Auswertung im Falle einer herkömmlichen Strahlanalyse ohne den erfindungsgemäßen longitudinalen Fokus- versatz sowie ohne den lateralen Versatz der Teilstrahlen beschrieben.
Bei einer Auswertung einer herkömmlichen Strahlanalyse ohne den erfindungsgemäßen longitudinalen Fokusversatz sowie ohne den lateralen Versatz der Teilstrahlen können die gemessenen Strahlgrößen w(z) zunächst quadriert werden, woraufhin die Strahldaten im Fokus über eine Anpassung anhand der Gleichung w2 (z) = A + B z + C z2 (12)
(d.h. ein eine Parabel beschreibendes Polynom 2. Ordnung) ermittelt werden kön- nen, indem die Parameter bzw. „Anpasskoeffizienten" A, B und C gemäß Gleichung (12) bestimmt werden. Nach Gleichung (5) besteht zwischen den Anpasskoeffizienten und den Strahlparametern der Zusammenhang
A = wo 2 + 02zo 2 , Β = -2θ2ζ0 , C = 02 (13)
Damit ergeben sich die gesuchten Strahlparameter (Divergenz Θ , Fokuslage z0 und Taillengröße w0 ) aus den Anpasskoeffizienten einfach gemäß
0 = C , z0 = -— , w0 = A -— (14)
0 2C 0 V 4C Nach den Regeln der Fourier-Abbildung sind Taillengröße w0 und Divergenz Θ gekoppelt über die Relation wo0 = c (15) wobei c für eine Konstante steht, die von den Strahleigenschaften und von den gewählten Konventionen für das Strahlgrößen- und das Divergenzmaß abhängt. Für einen idealen Gauß'schen Grundmode und den momentenbasierten Strahlmaßen gilt
c = - (16) π wobei λ die Lichtwellenlänge bezeichnet. Für einen aberrierten Gaußstrahl gilt hingegen die modifizierte Form
c =M2 - (17) π mit dem propagationsinvarianten Strahlparameterprodukt M2 > 1 als fundamentalem Gütemaß. Durch Vergleich der Größe wß aus Gleichung (15) mit der Größe
Ä
— aus Gleichung (16) kann somit festgestellt werden, wie nah der analysierte π
Strahl einem idealen Gaußstrahl entspricht oder ob es sich z.B. um einen vergleichsweise stark aberrierten Strahl handelt.
Nach der vorstehenden, lediglich zur Einführung und zur besseren Verständlich- keit erfolgten Erläuterung der Auswertung bei herkömmlicher Strahlanalyse wird im Folgenden beschrieben, wie diese Auswertung für die erfindungsgemäße Strahlanalyse, d.h. insbesondere unter Berücksichtigung des longitudinalen Fokusversatzes sowie des durch Symmetriebruch erzielten lateralen Versatzes der Teilstrahlen vorgenommen werden kann. Die Wirkung des Symmetriebruchs kann im paraxialen Strahltransfermatrix- Formalismus beschrieben werden, indem zu homogenen Koordinaten bei der Strahlbeschreibung entsprechend
Figure imgf000021_0001
übergegangen wird, wobei die gestrichenen Größen (χ' ,u') für den Objektraum und die ungestrichenen Größen (x,u) für den Bildraum stehen. Die zusätzliche dritte Dimension (mit„Eins-Eintrag") ermöglicht es in dem erweiterten Formalis- mus, Translationen und Verkippungen ebenfalls in Form von Transfermatrizen darzustellen.
Die Fourier-Abbildung ausgehend von der objektseitigen Brennebene der refrakti- ven Linse wird im erweiterten Formalismus durch die Transfermatrix
Figure imgf000021_0002
e e tve o usausp atung mut o a e nse
Figure imgf000021_0003
(19) vermittelt. Aus den Matrixelementen lassen sich die folgenden gewünschten transversalen Strahlaufspaltungen infolge der Dezentrierung dx in einfacher Weise ablesen:
-M 23 (20) ddx ddx fx
Figure imgf000022_0001
Diese beiden Gleichungen beschreiben die der Dezentrierung proportionale Strahlauffächerung eines kollimierten Strahls, wie sie in Fig. 3 (in welcher auch die longitudinale Fokusaufspaltung zu erkennen ist) veranschaulicht ist.
Die detaillierten quantitativen Abbildungseigenschaften eines kompletten afokalen Messstrahlengangs mit einer diffraktiven Multifokallinse mit innerer Dezentrierung, wie ihn Fig. 4b schematisch zeigt, erschließen sich aus der Transfermatrix des Gesamtsystems (von der objektseitigen kohärenten Punktquelle bis zur Sensoranordnung 250). Bezeichnet man wie in Fig. 4b mit /' die Brennweite der objektseitigen Fourieroptik, mit f0 die Brennweite des refraktiven optischen Elementes 242 und mit fx die Brennweite der diffraktiven Struktur 241 , ergibt sich folgende Verkettung:
Figure imgf000023_0001
F
(22)
Die relevanten Transfer-Matrixelemente lauten nach der Ausmultiplikation:
( 0+z)k-fl
M (23a) mag//'
Figure imgf000023_0002
• · · - z (»fl? '2 + )- f0 2z'k)- mag2/'2/2 ] du -1 _ /„£
M 21 (23c) dx' mag//'
Figure imgf000023_0003
1 J mag//'
(23e) dx ddx / 23 _ du _ k
(23f) d, ddx / Die bildseitigen longitudinalen Fokuslagen ergeben sich aus der Bedingung
M„ = 0 zu
Figure imgf000024_0001
Darin steht z0 =Mag0z' für die Fokuslage des bildseitigen Hauptstrahls und f
Mag0 = für dessen Fernfeld-Abbildungsmaßstab. Im jeweiligen Fokus er- hält man durch Einsetzen von Gleichung (24) in die Gleichungen (23a)-(23f) die strahlspezifischen Abbildungseigenschaften des Systems zu
Figure imgf000024_0002
Mn(k;zk(z0)) = 0 (25b)
M2i( ;^o)): ■ Mag0 (25c)
F,, Mag0 k
M22 (k; zk (z0 )) =
Figure imgf000024_0003
= 1 (25d)
/i Mu(k;zk(z0))
Der Größenabbildungsmaßstab agt(z0) = - π(£;ζλ(ζ0)) ist identisch zum reziproken Winkelabbildungsmaßstab entsprechend M22(k;zk(z0))M (k;zk(z0)) = l und hängt dabei sowohl vom Reflexindex als auch vom Defokus z0 ab gemäß
Magk (z0 ) = Mag, r ({ ^ (26)
/i +(/o+*o)fr Das Nicht-Verschwinden des Terms M21(k zk(z0)) entspricht einer nicht- verschwindenden Brechkraft (reziproke Brennweite Fk) für das Gesamtsystem und bedeutet eine strahlabhängige Telezentrie für die höheren Beugungsordnungen.
Setzt man die Beziehungen (25a)-(25d) in die den Fokusverlauf beschreibende Gleichung (5) ein und wählt man für die Position der Sensoranordnung 250 den Wert z = 0, so erhält man bei Berücksichtigung der Abbildungsmaßstäbe gemäß Gleichung (26)
wk = ^k(z = 0) w kß + 0k 2(-zk(zo) (27)
wobei
Magk(z0)
w kß (28) Mag0 und
Mag0
-θη (29)
Magk(z0) die Taillengrößen und die Divergenzwinkel der Nutzstrahlen bezogen auf den Hauptstrahl bezeichnen und die Substitution w0 =w00 gilt. Durch Auflösen, Umstellung und Verwendung von Gleichung (26) ergibt sich daraus als Bestimmungsgleichung für die bildseitigen Fernfeldparameter θ0 ,w0 und z0
A+(fo+zo)k J
Figure imgf000025_0001
Die Strahlparameter sind daraus nicht mehr wie im Falle der Gleichungen (12) - (14) durch einfache Parabelanpassung bestimmbar. Ein mögliches Schema zur Bestimmung der Fernfeldparameter erhält man durch die Umschreibung von Gleichung (30) in Anlehnung an die Gleichungen (12)— (14) unter der Definition des Parameter -» Mustersatzes
Figure imgf000026_0001
<-> m2(k) (31b)
Figure imgf000026_0002
-26>0z0 -> m3(k) (31c)
Figure imgf000026_0003
in die Form wk = Ax ml (k, z0) + A2 m2 (k) + A3 m3 (k) + A4 m4 (k) (32)
Durch lineare Anpassung der Muster mx(k,z{^ ,m2(k),m3(k) und m4(k) an die ge- messenen Spotgrößen bekommt man die Parameter Ax bis A4, aus denen die sich die Fernfeldparameter in weitgehender Analogie zu Gleichung (14) über
~ ' Z0 w0 = A, (33)
2ΑΛ bestimmen. Die Lösung der Gleichungen (32) gestaltet sich infolge der expliziten Abhängigkeit des Musters mx(k,z0) von z0 komplexer als bei den zuvor für her- kömmliche Strahlauswertung erhaltenen Gleichungen (14). Dem kann gemäß einer Ausführungsform dadurch Rechnung getragen werden, dass eine iterative Vorgehensweise wie im Folgenden beschrieben gewählt wird. In einem ersten Iterationsschritt wird mx (k, z0 ) durch ml (k, z 0) = 0) ersetzt und durch die Anpas- sung gemäß Gleichung (28) und die Verrechnung gemäß der Gleichungen (32) eine erste Schätzung für z^ gewonnen. Im nächsten Schritt wird dann das verbesserte Muster ml (k, z ) = 0) berechnet und die verbesserte Schätzung z gewonnen. Das Verfahren wird solange fortgesetzt, bis ein an die Iteration gestelltes Abbruchkriterium erfüllt ist und die Parameter sich von Iteration zu Iteration im Rahmen der zulässigen Grenzen nicht mehr ändern.
Im Weiteren wird auf mögliche Auslegungen der in der erfindungsgemäßen strahlaufspaltenden optischen Anordnung 240 vorhandene diffraktive Struktur 241 eingegangen.
Grundsätzlich kann die Auslegung der strahlaufspaltenden optischen Anordnung 240 in zwei Schritten erfolgen, wobei in einem ersten Schritt die Basisparameter (Brennweite f0 des refraktiven optischen Elementes 242, Brennweite fx der dif- fraktiven Struktur 241 und Dezentrierung dx ) festgelegt werden und in einem zwei- ten Schritt das konkrete Stufenprofil der diffraktiven Struktur 241 unter Optimierung der Beugungseffizienzen für die einzelnen Teilstrahlen bzw. Beugungsordnungen vorgegeben wird.
Für den longitudinalen Fokusversatz zwischen den Randstrahlen mit den Indizes k = ±kmax und dem Hauptstrahl folgt aus Gleichung (23)
Figure imgf000027_0001
wobei der Tiefenschärfebereich des Fernfeldes DoF zu einem Anteil κλ (typischer Wert KX = \ ) abgedeckt werden soll. Die laterale Aufspaltung zwischen den Randstrahlen und dem Hauptstrahl lautet
Figure imgf000028_0001
und soll die halbe gegebene Sensorlänge Lsemor zu einem Anteil κ2 (typischer Wert κ2 = 3/4 ) umfassen. Der Tiefenschärfebereich ist für hart begrenzte (z.B. Tophat-) Strahlen definiert als I NA2 und für Gaußstrahlen als M2 ■ λ Ι π · θ2 .
Aus den Beziehungen (34) und (35) ergeben sich unmittelbar folgende Auslegungsregeln für die Brennweite fx der diffraktiven Struktur 241 :
Figure imgf000028_0002
sowie für deren Dezentrierung d:
Figure imgf000028_0003
Mit Festlegung der beiden Parameter fx und dx lautet die Phasenfunktion Φ(χ, ) , die durch die diffraktive Struktur 241 in der ersten Beugungsordnung realisiert werden soll:
(x - d + y2 + 1 2 - 1 (38)
λ
Diese Funktion ergibt sich aus der Phasendifferenz einer vom Ort (d^O, /^ ausgehenden Kugelwelle und einer Planwelle mit Ausbreitungsvektor parallel zur z- Achse betrachtet an der Position z = 0 , wobei die Wellenlänge mit λ bezeichnet ist.
Eine geeignete Approximation dieser Phasenfunktion kann durch folgende zwei Operationen erfolgen:
Zunächst wird die Phase auf den Eindeutigkeitsbereich [0,2 r] durch die Modulo- Operation gebracht, entsprechend
2π
mod (*, = mod ~A ~d + y2 +Λ 2π (39)
Im Anschluss wird auf diesem Grundbereich die so bereinigte Phase durch eine Abbildung U(w) mit Definitionsbereich 0 < w < l geeignet tranformiert, entsprechend
Figure imgf000029_0001
Die Funktion U(w) beschreibt die komplexe Transmissionsfunktion über die auf die Länge Eins normierte Einheitszelle eines regulären periodischen Gitters. Die Beugungseffizienzen ηΙ( = |^|2 für die Beugungsordnungen eines solchen Gitters, die durch den Index k = 0,±1,±2, ... gekennzeichnet sind, sind durch die Fourier- Koeffizienten dx exp(- iTÜkx) U (x) (41 )
bestimmt.
Eine weitere Designaufgabe besteht in der Anpassung der Beugungseffizienzen an die Messanwendung durch geeignete Wahl der komplexen Transmissionsfunk- tion U(w) . Zur Vermeidung von Lichtverlusten wird ohne Beschränkung der Allgemeinheit im Weiteren ein reines Phasenelement mit U(w) = exp(z'^(w)) betrachtet, welche fertigungstechnisch dadurch realisiert werden kann, dass in die Oberfläche eines Glaskörpers z.B. durch Ätzen ein Dickenprofil t(x,y) eingebracht wird. Die Korrespondenz zwischen Dickenfunktion und Phase lautet dabei
Figure imgf000030_0001
wobei n für den Brechungsindex des Substratmaterials steht.
Die in der erfindungsgemäßen strahlaufspaltenden optischen Anordnung 240 vorhandene diffraktive Struktur 241 kann als (z.B. binäres) Phasen-DOE realisiert werden. Die am einfachsten zu fertigende Klasse binärer Phasen-DOE (mit zwei unterschiedlichen Phasenwerten) weist pro Elementarzelle lediglich eine Stufe auf. Als Designfreiheitsgrade stehen lediglich der Phasenhub Δφ und die Stufenposition (angegeben durch das Tastverhältnis dc = wstep ) zur Verfügung. Mit der nächsthöheren Klasse binärer DOE mit zwei Plateaus pro Einheitszelle und den vier Designfreiheitsgraden Phasenhub Αφ , Plateaubreiten bx und b2 sowie Abstand du zwischen den beiden Plateaus ist es möglich, bis einschließlich der dritten Ordnung einen optimierten Verlauf der Beugungsordnungen einzustellen. Die Phase der an dem Phasen-DOE gebeugten elektromagnetischen Strahlung korrespondiert mit der Stufenhöhe der Ätzstufen.
In Fig. 5a-d sind Phasenprofile und die korrespondierenden Beugungseffizienzen für zwei unterschiedliche Optimierungsziele dargestellt:
In Fig. 5a, b wurde auf Ausgewogenheit (möglichst Gleichheit) der Nutzbeugungsordnungen - 3 < /cmax < + 3 optimiert, wobei Fig. 5a eine Elementarzelle des Gitters zeigt. In dem hier dargestellten Phasen-DOE wird, wie in Fig. 5b dargestellt, für die Nutzbeugungsordnungen jeweils eine Beugungseffizienz im Bereich von 0.1 1 - 0.12 erzielt, wohingegen die übrigen (nicht genutzten) Beugungsordnungen) mit wenig Energie belegt werden. Diese Ausgestaltung hat im konkreten Ausführungsbeispiel zur Folge, dass bei Nutzung von insgesamt sieben Teilstrahlen bzw. Nutzbeugungsordnungen (umfassend die (-3)-te bis (+3)-te Beugungsordnung) etwa 80% der eingestrahlten Energie in diesen Nutzbeugungsordnungen liegt und für die Messung genutzt werden kann. Die erfindungsgemäße strahlaufspaltende optische Anordnung 240 ermöglicht es somit insbesondere, mit einem vergleichsweise einfachen DOE-Grunddesign (nämlich einem binären bzw. zweistufigen Phasen-DOE) Beugungseffizienzen zu generieren, die eine weitgehend gleichmä- ßige Verteilung der Energie über die genutzten Beugungsordnungen mit hoher Effizienz ermöglichen, so dass diese Ausgestaltung insbesondere bei lichtschwachen Verhältnissen vorteilhaft ist.
In weiteren Ausführungsformen kann, wie in Fig. 5c,d dargestellt, von der vorste- hend beschriebenen gleichmäßigen Verteilung der Energie über die genutzten Beugungsordnungen auch gezielt abgewichen werden, wobei etwa gemäß Fig. 5d (durch entsprechendes Gitterdesign gemäß Fig. 5c) ein im Wesentlichen V-artiger Verlauf der Beugungseffizienzen realisiert werden kann, bei welchem die höheren Beugungsordnungen mit mehr Energie versehen werden. Hierdurch kann dem Umstand Rechnung getragen werden, dass die auf der Sensoranordnung 250 erzeugten Spots nach außen bzw. mit zunehmendem Abstand von der optimalen Fokuslage breiter werden, die entsprechenden Bereiche also dunkler werden. Durch einen Verlauf der Beugungseffizienzen wie in Fig. 5d gezeigt kann dieser Effekt der mit zunehmender Defokussierung der durch Aufspaltung der zu analy- sierenden elektromagnetischen Strahlung erzeugten Teilstrahlen auf der Sensoranordnung einhergehenden Intensitätsabnahme wenigstens teilweise kompensiert werden, wodurch der Nutzbereich der Sensoranordnung vergrößert werden kann. In Fig. 5c,d wurde somit auf einen möglichst linearen Anstieg der Beugungseffizienzen mit dem Betrag der Beugungsordnung hin optimiert, um den Intensitätsab- fall aufgrund der Strahlverbreiterung außerhalb des Fokus zumindest teilweise zu kompensieren. In weiteren Ausführungsformen kann die erfindungsgemäße diffraktive Struktur auch anstelle eines Phasen-DOE durch ein Transmissions-DOE bzw. (absorbierendes) Graustufen-DOE oder durch beliebige andere DOE-Systeme realisiert werden, z.B. Mehrstufen-DOE's etc.
Eine Beschränkung des erfindungsgemäßen Konzepts der Verwendung einer diffraktiven Struktur zur Realisierung einer multifokalen strahlaufspaltenden optischen Anordnung bzw. Strahlpropagationskamera ist letztendlich durch die Begrenzung des minimal erreichbaren Streifenabstandes bei der DOE-Herstellung gegeben. Der kleinstmögliche Streifenabstand, hier als kritische Dimension cd bezeichnet, liegt für das ausgeführte DOE-Design mit zwei Plateaus von gleicher Höhe bei cd = mm min(^ , b2 , du ,1 - - b2 - du ) « 0.1 Jrmm (43)
Darin bezeichnet
Figure imgf000032_0001
den kleinsten Ringabstand einer Zonenplatte mit Brennweite fx beim maximalen Nutzradius der Zonenplatte. Letzterer ist durch rmax = dx +Daperture gegeben, wobei Daperture den Durchmesser der Öffnungsapertur und dx die gewünschte Dezentrie- rung bezeichnet. Wenn die Erfindung auch anhand spezieller Ausführungsformen beschrieben wurde, erschließen sich für den Fachmann zahlreiche Variationen und alternative Ausführungsformen, z.B. durch Kombination und/oder Austausch von Merkmalen einzelner Ausführungsformen. Dementsprechend versteht es sich für den Fachmann, dass derartige Variationen und alternative Ausführungsformen von der vor- liegenden Erfindung mit umfasst sind, und die Reichweite der Erfindung nur im
Sinne der beigefügten Patentansprüche und deren Äquivalente beschränkt ist.

Claims

Patentansprüche
Strahlpropagationskamera, mit:
• wenigstens einer strahlaufspaltenden optischen Anordnung (240), welche eine Strahlaufspaltung eines im Betrieb auf die strahlaufspaltende optische Anordnung (240) entlang einer optischen Achse (OA) der Strahlpropagationskamera auftreffenden Strahls in eine Mehrzahl von Teilstrahlen bewirkt; und
• einer Sensoranordnung (250) zur Erfassung dieser Teilstrahlen;
• wobei die strahlaufspaltende optische Anordnung (240) eine diffraktive Struktur (241 ) aufweist; und
• wobei diese diffraktive Struktur (241 ) derart ausgestaltet ist, dass wenigstens zwei der Teilstrahlen auf der Sensoranordnung (250) räumlich voneinander getrennt sind und einen Fokusversatz in bezogen auf die optische Achse (OA) longitudinaler Richtung aufweisen.
Strahlpropagationskamera nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) in Bezug auf die optische Achse (OA) dezentriert angeordnet ist.
Strahlpropagationskamera nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die strahlaufspaltende optische Anordnung (240) ferner ein refraktives optisches Element (242) aufweist.
Strahlpropagationskamera nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) eine Brennweite fx aufweist und das refraktive optische Element (242) eine Brennweite f0 aufweist, wobei das Verhältnis f f0 wenigstens 2, insbesondere wenigstens 4, weiter insbesondere wenigstens 10, beträgt.
5. Strahlpropagationskamera nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das refraktive optische Element (242) und die diffraktive Struktur (241 ) monolithisch ausgestaltet sind.
Strahlpropagationskamera nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das refraktive optische Element eine Plankonvexlinse ist.
Strahlpropagationskamera nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das refraktive optische Element (242) derart angeordnet ist, dass eine Brennebene dieses refraktiven optischen Elementes (242) einer Pupillenebene im optischen Strahlengang entspricht.
Strahlpropagationskamera nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) als Phasen-DOE ausgestaltet ist.
9. Strahlpropagationskamera nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) als Transmissions-DOE ausgestaltet ist.
10. Strahlpropagationskamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) als Fresnel-Linse oder Fresnel'sche Zonenplatte ausgestaltet ist.
Strahlpropagationskamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) eine mit zunehmender Beugungsordnung steigende Beugungseffizienz aufweist.
Strahlpropagationskamera nach Anspruch 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass infolge dieser mit zunehmender Beugungsordnung steigenden Beugungseffizienz eine mit zunehmender Defokussierung der durch die Strahlaufspaltung erzeugten Teilstrahlen auf der Sensoranordnung (250) einhergehende Intensitätsabnahme wenigstens teilweise kompensiert wird.
13. Strahlpropagationskamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) in Transmission betrieben ist.
Strahlpropagationskamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die diffraktive Struktur (241 ) in Reflexion betrieben ist.
15. Strahlpropagationskamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese eine erste Analyseeinheit (1 10) zur Strahlanalyse vor Reflexion an einem Objekt und eine zweite Analyseeinheit (120) zur Strahlanalyse nach Reflexion an einem Objekt aufweist.
16. Strahlpropagationskamera nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt ein fliegendes Objekt, insbesondere ein metallisches Target- Tröpfchen (130) in einer Laserplasmaquelle, ist.
17. Strahlpropagationskamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese ferner ein Apodisierungsfilter aufweist.
18. Strahlpropagationskamera nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass dieses Apodisierungsfilter in der Sensoranordnung (250) realisiert ist.
19. Strahlpropagationskamera nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass dieses Apodisierungsfilter als in einer Pupillenebene im optischen Strahlengang angeordneter Graufilter realisiert ist.
20. Verfahren zur Lichtstrahlanalyse, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
• Strahlaufspaltung eines sich entlang einer optischen Achse (OA) ausbreitenden Strahls in eine Mehrzahl von Teilstrahlen;
• Messung der von diesen Teilstrahlen auf einer Sensoranordnung (250) jeweils erzeugten Spotgröße; und
• Berechnung wenigstens einer der Strahlparameter Divergenz ( Θ ), Fokuslage ( z0 ) und Taillengröße ( w0 ) aus den gemessenen Spotgrößen;
• wobei die Strahlaufspaltung unter Verwendung einer diffraktiven Struktur (241 ) derart erfolgt, dass wenigstens zwei der Teilstrahlen auf der Sensoranordnung (250) räumlich voneinander getrennt sind und einen Fokusversatz in bezogen auf die optische Achse (OA) longitudinaler Richtung aufweisen.
21 . Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass dieses unter Verwendung einer Strahlpropagationskamera nach einem der Ansprüche 1 bis 19 durchgeführt wird.
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