WO2015174204A1 - めっき装置及び収容槽 - Google Patents

Abstract

　従来よりも簡易な構造でめっき厚の均一性を向上させることが可能なめっき装置及び収容槽を提供する。めっき装置（Ｍ）は、めっき液（Ｆ）を収容するめっき槽（１０）と、めっき槽（１０）の内部に配置された陽極部材（２０）と、めっき槽（１０）の内部に陽極部材（２０）と対向して配置された被めっき物（Ｗ）と、被めっき物（Ｗ）に接触する陰極冶具（３０）と、陽極部材（２０）と被めっき物（Ｗ）との間に形成され、めっき槽（１０）からめっき液（Ｆ）が流れ込む流路となる空間（４０）と、を備える。めっき液（Ｆ）は、空間（４０）の上方から流れ込み、かつ、空間（４０）の下方からポンプ（５０）で吸引される。

Description

めっき装置及び収容槽

　本発明は、めっき装置及び収容槽に関するものである。

　一般的に、陽極部材や陰極部材に流す電流値が高いほど、めっきの成長速度を早めて生産性が向上する反面、陽極部材や陰極部材に焼き付けが発生しやすくなり、めっき不良を招くリスクが高まることが知られている。

　そこで、高電流で生産性を上げつつめっき不良を防ぐ技術として、複数のノズルから被めっき物に向かってめっき液を噴射することで、めっき処理を行う噴射式めっき装置が知られている（例えば、特許文献１，２参照）。

特表２００６－５１９９３２号公報 特開２００３－１２４２１４号公報

　しかし、従来の噴射式めっき装置では、めっき液の当たりやすい場所と当たりにくい場所が生じてしまい、めっき厚のバラツキが生じるという問題がある。

　このような問題の対処方法として、被めっき物を保持する陰極部材を回転させつつノズルからめっき液を噴きかけることが一般的に行われている。

　ところが、この方法では、複数のノズルに加え、陰極部材を回転させる駆動機構がさらに必要になるため、めっき装置の複雑化・大型化を招いてしまい、コスト増に繋がるという問題があった。

　本発明は、このような観点から創案されたものであり、従来よりも簡易な構造でめっき厚の均一性を向上させることが可能なめっき装置及び収容槽を提供することを課題とする。

　前記課題を解決するため本発明は、めっき液を収容するめっき槽と、前記めっき槽の内部に配置された陽極部材と、前記めっき槽の内部に前記陽極部材と対向して配置された被めっき物と、前記被めっき物に接触する陰極部材と、前記陽極部材と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備えためっき装置であって、前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とする。

　本発明によれば、めっき液が空間の上方から流れ込み、かつ、空間の下方からポンプで吸引されるので、空間内のめっき液の流速が上がる。そのため、めっき液が被めっき物に均一に当たりやすくなり、めっき厚の均一性を向上させることができる。しかも、本発明ではノズルや駆動機構などが不要となるので、めっき装置の簡略化・小型化を実現し、コストを抑えることができる。

　また、前記空間は、前記陽極部材と前記被めっき物の対向方向と直交する方向の両側部が閉塞されている構成とするのが好ましい。

　かかる構成によれば、空間は、陽極部材及び被めっき物の対向方向と直交する方向の両側部が閉塞されているので、空間の側方からのめっき液の浸入を防止することが可能となり、めっき液の流れを被めっき物と並行な流れの層流にすることができる。

　また、前記めっき槽は、前記陽極部材を着脱可能に保持する第１保持部と、前記被めっき物を着脱可能に保持する第２保持部と、を有している構成とするのが好ましい。

　かかる構成によれば、めっき槽は、陽極部材を着脱可能に保持する第１保持部と、被めっき物を着脱可能に保持する第２保持部と、を有しているので、めっき槽に対する陽極部材及び被めっき物の位置決めを容易に行えるとともに、陽極部材及び被めっき物を確実に保持できる。

　また、前記陽極部材と前記被めっき物の対向方向に沿った前記空間の幅寸法は、前記めっき液の流れを前記被めっき物と並行な層流にするような幅寸法に形成されている構成とするのが好ましい。

　かかる構成によれば、空間内のめっき液の流速を高めることができるとともに、めっき液の流れを被めっき物と並行な流れの層流にすることができる。

　また、前記課題を解決するため本発明は、めっき液を収容可能なめっき槽の内部に配置される収容槽であって、内部に収容された陽極部材と、内部に収容され、前記陽極部材と対向して配置された被めっき物と、前記被めっき物に接触する陰極部材と、前記陽極部材と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備え、前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とする。

　本発明によれば、めっき液が空間の上方から流れ込み、かつ、空間の下方からポンプで吸引されるので、空間内のめっき液の流速が上がる。そのため、めっき液が被めっき物に均一に当たりやすくなり、めっき厚の均一性を向上させることができる。しかも、本発明ではノズルや駆動機構などが不要となるので、めっき装置の簡略化・小型化を実現し、コストを抑えることができる。また、本発明によれば、既存のめっき槽に収容槽を入れて使用することができるので、汎用性が高いという利点を有する。

　また、前記課題を解決するため本発明は、めっき液を収容するめっき槽と、前記めっき槽の壁部と、前記めっき槽の内部に前記壁部と対向して配置された被めっき物と、前記壁部と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備えためっき装置であって、前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とする。
　さらに、前記課題を解決するため本発明は、めっき液を収容可能なめっき槽の内部に配置される収容槽であって、当該収容槽の壁部と、内部に収容され、前記壁部と対向して配置された被めっき物と、前記壁部と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備え、前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とする。

　本発明を無電解めっきに使用した場合においても、めっき液が空間の上方から流れ込み、かつ、空間の下方からポンプで吸引されるので、空間内のめっき液の流速が上がる。そのため、めっき液が被めっき物に均一に当たりやすくなり、めっき厚の均一性を向上させることができる。しかも、本発明ではノズルや駆動機構などが不要となるので、めっき装置の簡略化・小型化を実現し、コストを抑えることができる。

　本発明によれば、従来よりも簡易な構造でめっき厚の均一性を向上させることが可能なめっき装置及び収容槽を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係るめっき装置を示す平面図である。 本発明の第１実施形態に係るめっき装置を示す縦断面図である。 図１の部分拡大平面図である。 本発明の第２実施形態に係るめっき装置を示す縦断面図である。 本発明の第２実施形態に係る収容槽、陽極部材、陰極冶具を示す分解縦断面図である。 図５のＩ－Ｉ線断面図である。 陽極部材及び陰極冶具を収容槽に収容した状態を示す平面図である。 本発明の第３実施形態に係るめっき装置を示す縦断面図である。 本発明の第４実施形態に係るめっき装置を示す縦断面図である。

　本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。説明において、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。なお、以下の説明において、陽極部材２０と被めっき物Ｗとが対向する方向を「対向方向Ｘ」といい、対向方向Ｘに直交する方向を「直交方向Ｙ」という。

　図１，図２に示すように、第１実施形態に係るめっき装置Ｍは、めっき槽１０と、陽極部材２０と、陰極冶具３０と、空間４０と、ポンプ５０と、を備える。なお、図１中のドットハッチングは、めっき液Ｆの滞留部位を示している。

＜めっき槽＞
　めっき槽１０は、図１，図２に示すように、めっき液Ｆを収容する機能を備えている。めっき槽１０は、底部１１ａと、直交方向Ｙで対向する一対の側部１１ｂ，１１ｃと、対向方向Ｘで対向する一対の側部１１ｄ，１１ｅとを備え、上部が開口した箱状かつ樹脂製の容器である。めっき液Ｆは、めっき槽１０のうち陽極部材２０（鉛直壁１２）を挟んで空間４０と反対側の領域のみに収容されている。めっき槽１０は、平面視矩形状を呈し、長手方向が対向方向Ｘと一致するように設置されている。なお、めっき槽１０の形状や材質などは適宜変更してよい。

　めっき槽１０は、図２に示すように、めっき槽１０の底部１１ａの内面から上方へ向かって突設された鉛直壁１２と、陽極部材２０を着脱可能に保持する第１保持部１３と、陰極冶具３０を着脱可能に保持する第２保持部１４と、第１保持部１３と空間４０とを連通するめっき用連通孔１５と、めっき液Ｆが通る吸引孔１６及び吐出孔１７と、を有している。

　壁部たる鉛直壁１２は、めっき槽１０の側部１１ｄ側に設けられた壁状部位である。鉛直壁１２の直交方向Ｙの両側部は、めっき槽１０の側部１１ｂ，１１ｃ（図１参照）の内面に連続して一体に形成されている。鉛直壁１２の上部は、めっき液Ｆの液面や側部１１ｂ～１１ｅの上端よりも下方に位置している。このような構成により、めっき液Ｆは、後記するように鉛直壁１２を超えて空間４０へ流れ込む。なお、鉛直壁１２をめっき槽１０と別体で形成し、めっき槽１０に取り付ける構成にしてもよい。

　第１保持部１３は、上部が開口した溝状かつスリット状の穴である。第１保持部１３は、鉛直壁１２の上部から下部に亘って形成され、鉛直壁１２の陰極冶具３０寄りの位置に設けられている。第１保持部１３には、陽極部材２０が挿通保持されている。

　図１に示すように、第２保持部１４は、陰極冶具３０の外形形状に合わせて凹凸状に形成された部位である。第２保持部１４は、めっき槽１０の側部１１ｂ，１１ｃの内面に形成されている。第２保持部１４には、陰極冶具３０が挿通保持されている。第２保持部１４は、陰極冶具３０の陽極部材２０側の端部に形成された張出部３０ａを、対向方向Ｘの両側から挟み込んで保持している。なお、鉛直壁１２に陰極冶具３０を保持し、めっき槽１０の側部１１ｂ，１１ｃに陽極部材２０を保持する構成にしてもよい。

　図２に示すように、めっき用連通孔１５は、陽極部材２０を空間４０側に露出させる貫通孔である。めっき用連通孔１５は、鉛直壁１２の上下方向中間部に形成されている。

　吸引孔１６は、ポンプ５０によって空間４０から吸引されためっき液Ｆが通る吸引流路Ｃ１の一部となる貫通孔である。吸引孔１６は、めっき槽１０の底部１１ａの上面から側面にかけて貫通形成されている。吸引孔１６は、底部１１ａの上面から下方へ向かって延出した後、対向方向Ｘの一方に向かって延出している。吸引孔１６の一端部は、空間４０の下部に開口している。吸引孔１６の他端部には、吸引孔１６とポンプ５０とを繋ぐ吸引配管６０が接続されている。つまり、本実施形態では、吸引孔１６と吸引配管６０とによって、吸引流路Ｃ１が構成されている。

　吐出孔１７は、ポンプ５０から吐出されためっき液Ｆが通る吐出流路Ｃ２の一部となる貫通孔である。吐出孔１７は、めっき槽１０の側部１１ｅの外面から内面にかけて貫通形成されている。吐出孔１７の一端部は、めっき槽１０のうち陽極部材２０を挟んで空間４０と反対側の領域に開口している。吐出孔１７の他端部には、吐出孔１７とポンプ５０とを繋ぐ吐出配管７０が接続されている。つまり、本実施形態では、吐出孔１７と吐出配管７０とによって、吐出流路Ｃ２が構成されている。

＜陽極部材＞
　陽極部材２０は、図１，図２に示すように、めっき槽１０の内部に配置された矩形状かつ板状の金属製部材である。陽極部材２０は、直交方向Ｙに沿った中央部２１が、直交方向Ｙに沿った両端部２２，２３よりも下方に位置するように形成されている。陽極部材２０の中央部２１の上端は、水平に形成され、鉛直壁１２の上部と同じ高さに位置している。陽極部材２０の両端部２２，２３の上端は、めっき液Ｆの液面よりも上方へ突出している。このような構成により、めっき液Ｆは、後記するように陽極部材２０の中央部２１のみを超えて空間４０へ流れ込む。陽極部材２０の両端部２２，２３は、接続線Ｈ１を介して、電源８０の＋（プラス；正）極に接続されている。

＜陰極冶具＞
　陰極冶具３０は、図１，図２に示すように、陰極部材としての機能を備えるとともに、被めっき物Ｗを保持する機能を備える。陰極冶具３０及び被めっき物Ｗは、陽極部材２０と対向するようにめっき槽１０の内部に配置されている。
　陰極冶具３０は、図２に示すように、被めっき物Ｗを挟持する一対の保持部材３１，３２と、被めっき物Ｗに接触して電源８０からの電気を伝達する電極部材３３と、を有している。

　空間４０側に配置された保持部材３２には、めっき用開口部３２ａが水平方向に貫通形成されている。めっき用開口部３２ａは、被めっき物Ｗを空間４０側に露出させ、めっき液Ｆを被めっき物Ｗに接触させる機能を発揮している。

　電極部材３３は、被めっき物Ｗの周縁に接触する環状の接触部３３ａと、電源８０に接続される短冊状の電源接続部３３ｂと、から構成されている。電源接続部３３ｂは、保持部材３２の内部に形成された挿入孔３２ｂに挿入されている。電源接続部３３ｂの上部側は、めっき液Ｆの液面よりも上方に位置している。電源接続部３３ｂは、接続線Ｈ２を介して、電源８０の－（マイナス；負）極に接続されている。陰極冶具３０の上部は、めっき液Ｆの上面よりも上方に位置し、直交方向Ｙの両側部は、めっき槽１０の側部１１ｂ，１１ｃの内面に隙間なく接触している。このような構成により、陽極部材２０側から空間４０へ流れ込んだめっき液Ｆが、陰極冶具３０の裏側に浸入するのを抑制できる。なお、陰極冶具３０の構成は適宜変更してもよいし、陰極冶具３０に替えて陰極板を使用しても構わない。

＜空間＞
　空間４０は、図１，図２に示すように、陽極部材２０と陰極冶具３０（被めっき物Ｗ）との間に形成され、めっき槽１０からめっき液Ｆが流れ込む流路として機能する。空間４０は、上部が開口したスリット状の狭小空間である。空間４０の直交方向Ｙの両側部は、めっき槽１０の側部１１ｂ，１１ｃによって閉塞されている。空間４０は、図３に示すように、対向方向Ｘに沿った寸法Ｄ１が直交方向Ｙに沿った寸法Ｄ２よりも小さく形成されている（Ｄ１＜Ｄ２）。対向方向Ｘに沿った寸法Ｄ１は、例えば１ｍｍ～３０ｍｍ程度とするのが好ましい。また、空間４０を流れるめっき液Ｆの流速は、例えば０．１～３ｍ／ｓ程度とするのが好ましい。めっき液Ｆの流速は、空間４０の対向方向Ｘに沿った寸法Ｄ１やポンプ５０の性能などに関係し、これらを適宜変更することで調整できる。

＜ポンプ＞
　ポンプ５０は、図１，図２に示すように、めっき槽１０の外部に配置されている。ポンプ５０は、空間４０からめっき液Ｆを吸引するとともに、吸引しためっき液Ｆをめっき槽１０へ吐出する機能を備えている。

　本発明の第１実施形態に係るめっき装置Ｍは、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作及び作用効果について説明する。

　図１、図２に示すように、ポンプ５０を駆動すると、空間４０のめっき液Ｆが吸引される。この吸引作用に伴ってめっき槽１０のめっき液Ｆは、鉛直壁１２及び陽極部材２０の中央部２１を越えて空間４０へ上方から流れ込む。

　このとき、空間４０の直交方向Ｙの両側部がめっき槽１０によって閉塞されているので、めっき液Ｆが空間４０の側方から浸入しない。また、めっき槽１０のうち陽極部材２０を挟んで空間４０と反対側の領域のみにめっき液Ｆを収容しているので、めっき液Ｆが陽極部材２０側のみ（対向方向Ｘの一方のみ）から空間４０へ浸入する。これにより、めっき槽１０から空間４０へのめっき液Ｆの流れを円滑にし（めっき液Ｆ同士が干渉し合うのを極力抑制し）、ひいては、空間４０のめっき液Ｆの流れに乱れが生じるのを抑制できる。

　続いて、めっき液Ｆは、空間４０を上方から下方へ向かって流れる。このとき、電源８０をオンにして陽極部材２０や電極部材３３に電流を流すと、めっき液Ｆ中の金属イオンが陰極冶具３０側に引き寄せられ、被めっき物Ｗに析出してめっき層が形成される。ちなみに、めっき厚の調整は、空間４０のめっき液Ｆの流速や電源８０の電流値を適宜変更することで行える。

　続いて、めっき液Ｆは、空間４０の下方からポンプ５０で吸引され、吸引流路Ｃ１を通ってポンプ５０へ向かって流れる。

　ポンプ５０に到達しためっき液Ｆは、ポンプ５０から吐出された後、吐出流路Ｃ２を通ってめっき槽１０へ戻る。

　以上説明した本実施形態によれば、めっき液Ｆが空間４０の上方から流れ込み、かつ、空間４０の下方からポンプ５０で吸引されるので、空間４０内のめっき液Ｆの流速が上がる。そのため、めっき液Ｆが被めっき物Ｗに均一に当たりやすくなり、めっき厚の均一性を向上させることができる。しかも、本実施形態ではノズルや駆動機構などが不要となるので、めっき装置Ｍの簡略化・小型化を実現し、コストを抑えることができる。

　本実施形態によれば、空間４０内のめっき液Ｆが入れ換わるので、電源８０から大電流を流しても、陽極部材２０や電極部材３３に焼き付けが発生しにくくなり、めっき不良の発生を抑制できる。したがって、めっき層を早くかつ均一に成長させることが可能となり、生産性を向上させることができる。

　例えば、通常の硫酸銅めっきでは、１～２Ａ／ｄｍ^２程度の電流密度で電解めっきを行う必要がある。これに対し、本実施形態では、空間４０内のめっき液Ｆの流速が上がるとともに、空間４０内のめっき液Ｆが入れ換わるので、４～５Ａ／ｄｍ^２程度の電流密度で電解めっきを行うことが可能になり、その結果、めっき時間を短縮させることができる。

　本実施形態によれば、空間４０は、直交方向Ｙの両側部がめっき槽１０によって閉塞されているので、空間４０の側方からのめっき液Ｆの浸入を防止することが可能となる。また、対向方向Ｘに沿った空間４０の寸法Ｄ１は、例えば１ｍｍ～３０ｍｍ程度の狭幅となる。これにより、めっき液Ｆの流れを被めっき物Ｗと並行な流れの層流にすることができる。

　本実施形態によれば、めっき槽１０は、陽極部材２０を着脱可能に保持する第１保持部１３と、陰極冶具３０を着脱可能に保持する第２保持部１４と、を有しているので、めっき槽１０に対する陽極部材２０及び陰極冶具３０（被めっき物Ｗ）の位置決めを容易に行えるとともに、陽極部材２０及び陰極冶具３０を確実に保持できる。

　本実施形態によれば、陽極部材２０と陰極冶具３０（被めっき物Ｗ）との間に空間４０を形成するとともに、空間４０の上方から下方へ向かってめっき液Ｆを流すので、小型のポンプ５０を用いた場合であっても、めっき液Ｆの流速を十分に確保することができる。そして、小型のポンプ５０を用いることで、めっき装置Ｍの更なる小型化を実現することができる。

　本実施形態によれば、ポンプ５０によってめっき液Ｆを循環させるので、めっき液Ｆを再利用して無駄を省くことができる。

　次に、図４乃至図７を参照して、本発明の第２実施形態に係るめっき装置Ｍについて説明する。第２実施形態に係るめっき装置Ｍは、陽極部材２０及び陰極冶具３０を収容する収容槽９０を備え、第１保持部１３や第２保持部１４などがない一般的なめっき槽１０を使用している点が第１実施形態と相違している。なお、第２実施形態に係るめっき装置Ｍのうち、陽極部材２０、陰極冶具３０、及び、ポンプ５０は、前記第１実施形態のものと同様であるので、説明を省略する。

　収容槽９０は、図４に示すように、めっき槽１０の内部に配置され、陽極部材２０及び陰極冶具３０を収容する機能を備えている。収容槽９０は、底部９０ａと、直交方向Ｙで対向する一対の側部９０ｂ，９０ｃと、対向方向Ｘで対向する一対の側部９０ｄ，９０ｅとを備え、上部が開口した略四角筒状かつ樹脂製の容器である。なお、収容槽９０の形状や材質などは適宜変更してよい。

　収容槽９０は、陽極部材２０を着脱可能に保持する第１保持部９１と、陰極冶具３０を着脱可能に保持する第２保持部９２と、陽極部材２０と陰極冶具３０（被めっき物Ｗ）との間に形成された空間９３と、第１保持部９１と空間９３とを連通するめっき用連通孔９４と、空間９３の下部（下流端）に接続された接続部９５と、を有している。

　第１保持部９１は、上部が開口した溝状かつスリット状の穴である。第１保持部９１は、側部９０ｅの上部から下部に亘って形成され、側部９０ｅの陰極冶具３０寄りの位置に設けられている。第１保持部９１には、陽極部材２０が挿通保持されている。側部９０ｅの上部は、めっき液Ｆの液面や側部１１ｂ～１１ｅの上端よりも下方に位置している。このような構成により、めっき液Ｆは、後記するように側部９０ｅの上部を超えて空間９３へ流れ込む。なお、陽極部材２０の中央部２１の上端は、側部９０ｅの上部と同じ高さに位置している。

　第２保持部９２は、陰極冶具３０の外形形状に合わせて凹凸状に形成された部位である。第２保持部９２は、収容槽９０の側部９０ｂ，９０ｃの内面に形成されている。第２保持部９２には、陰極冶具３０が挿通保持されている。第２保持部９２は、陰極冶具３０の陽極部材２０側の端部に形成された張出部３０ａ（図７参照）を、対向方向Ｘの両側から挟み込んで保持している。側部９０ｄの上部は、めっき液Ｆの上面や側部１１ｂ～１１ｅの上端よりも上方に位置している。このような構成により、陰極冶具３０側から空間４０へのめっき液Ｆの浸入を抑制できる。なお、側部９０ｅに陰極冶具３０を保持し、側部９０ｂ，９０ｃに陽極部材２０を保持する構成にしてもよい。

　空間９３は、陽極部材２０と陰極冶具３０（被めっき物Ｗ）との間に形成され、めっき槽１０からめっき液Ｆが流れ込む流路として機能する。空間９３は、上部及び下部が開口したスリット状の狭小空間である。空間９３の直交方向Ｙの両側部は、収容槽９０の直交方向Ｙの側部９０ｂ，９０ｃによって閉塞されている。空間９３は、図７に示すように、対向方向Ｘに沿った寸法Ｄ１が直交方向Ｙに沿った寸法Ｄ２よりも小さく形成されている（Ｄ１＜Ｄ２）。対向方向Ｘに沿った寸法Ｄ１は、例えば１ｍｍ～３０ｍｍ程度とするのが好ましい。また、空間９３を流れるめっき液Ｆの流速は、例えば０．１～３ｍ／ｓ程度とするのが好ましい。めっき液Ｆの流速は、空間９３の対向方向Ｘに沿った寸法Ｄ１やポンプ５０の性能などに関係し、これらを適宜変更することで調整できる。

　図５に示すように、空間９３の下部９３ａは、第１保持部９１及び第２保持部９２よりも下方に延設されており、収容槽９０の底部９０ａに開口している。空間９３の下部９３ａ側は、対向方向Ｘに沿った縦断面視にて上方から下方へ向かうにつれて幅広となるように形成されている。また、図６に示すように、空間９３の下部９３ａ側は、直交方向Ｙに沿った縦断面視にて上方から下方へ向かうにつれて幅狭となるように形成されている。

　図４に示すように、めっき用連通孔９４は、陽極部材２０を空間９３側に露出させる貫通孔である。めっき用連通孔９４は、側部９０ｅの上部よりも下方位置に形成されている。

　接続部９５は、ポンプ５０によって空間９３から吸引されためっき液Ｆが通る吸引流路Ｃ１の一部となる部位である。接続部９５の一端部は、空間９３の下部９３ａに接続されている。接続部９５の他端部には、接続部９５とポンプ５０とを繋ぐ吸引配管６０が接続されている。つまり、本実施形態では、接続部９５と吸引配管６０とによって、吸引流路Ｃ１が構成されている。

　ポンプ５０には、ポンプ５０から吐出されためっき液Ｆが通る吐出流路Ｃ２となる吐出配管７０が接続されている。吐出配管７０の一端部は、めっき槽１０のうち陽極部材２０を挟んで空間９３と反対側の領域に開口している。つまり、本実施形態では、吐出配管７０のみによって、吐出流路Ｃ２が構成されている。

　本発明の第２実施形態に係るめっき装置Ｍは、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作及び作用効果について説明する。

　図３に示すように、ポンプ５０を駆動すると、空間９３のめっき液Ｆが吸引される。この吸引作用に伴ってめっき槽１０のめっき液Ｆは、側部９０ｅの上部及び陽極部材２０の中央部２１を超えて空間９３へ上方から流れ込む。

　このとき、空間９３の直交方向Ｙの両側部が閉塞されているので、めっき液Ｆが空間９３の側方から浸入しない。また、側部９０ｅの上部がめっき液Ｆの液面よりも下方に位置し、側部９０ｄの上部がめっき液Ｆの上面よりも上方に位置しているので、めっき液Ｆが陽極部材２０側のみ（対向方向Ｘの一方のみ）から空間９３へ浸入する。これにより、めっき槽１０から空間９３へのめっき液Ｆの流れを円滑にし（めっき液Ｆ同士が干渉し合うのを極力抑制し）、ひいては、空間９３のめっき液Ｆの流れに乱れが生じるのを抑制できる。

　続いて、めっき液Ｆは、空間９３を上方から下方へ向かって流れる。このとき、電源８０をオンにして陽極部材２０や電極部材３３に電流を流すと、めっき液Ｆ中の金属イオンが陰極冶具３０側に引き寄せられ、被めっき物Ｗに析出してめっき層が形成される。ちなみに、めっき厚の調整は、空間９３のめっき液Ｆの流速や電源８０の電流値を適宜変更することで行える。

　続いて、めっき液Ｆは、空間９３の下方からポンプ５０で吸引され、吸引流路Ｃ１を通ってポンプ５０へ向かって流れる。

　ポンプ５０に到達しためっき液Ｆは、ポンプ５０から吐出された後、吐出流路Ｃ２を通ってめっき槽１０へ戻る。

　以上説明した本実施形態によれば、第１実施形態と略同様の作用効果を得ることができる。
　また、本実施形態によれば、既存のめっき槽１０に収容槽９０を入れて使用することができるので、汎用性が高いという利点を有する。

　次に、図８を主に参照して、本発明の第３実施形態に係るめっき装置Ｍについて説明する。第３実施形態は、本発明に係るめっき装置Ｍを無電解めっきに使用している点が第１実施形態と相違している。つまり、陽極部材２０や陰極冶具３０等を備えていない点が第１実施形態と相違している。なお、説明においては、第１実施形態と同一の要素については、第１実施形態と同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

　第３実施形態に係るめっき装置Ｍは、めっき槽１０と、被めっき物Ｗと、空間４０と、ポンプ５０と、を備える。

　本実施形態のめっき槽１０の鉛直壁１２は、第１保持部１３及びめっき用連通孔１５を備えていない点が第１実施形態と相違している。

　被めっき物Ｗは、鉛直壁１２と対向するようにめっき槽１０の内部に配置されている。図８に示す被めっき物Ｗの上部は、めっき液Ｆの上面と同じ高さに位置している。図示省略するが、被めっき物Ｗの上部は、めっき液Ｆの上面よりも上方又は下方に位置してもよい。被めっき物Ｗの直交方向Ｙの両側部は、めっき槽１０の側部１１ｂ，１１ｃの内面に隙間なく接触している（図８では側部１１ｃのみ図示）。図示省略するが、被めっき物Ｗは、例えばめっき槽１０に形成された保持部等によって、めっき槽１０に対し鉛直に保持されている。

　空間４０は、鉛直壁１２と被めっき物Ｗとの間に形成され、めっき槽１０からめっき液Ｆが流れ込む流路として機能する。空間４０を流れるめっき液Ｆの流速は、例えば０．１～３ｍ／ｓ程度とするのが好ましい。本実施形態のような無電解めっきを行う場合には、めっき液Ｆの流速は、０．１ｍ／ｓ程度とするのがより好ましい。

　以上説明した本実施形態によれば、第１実施形態と略同様の作用効果を得ることができる。
　なお、鉛直壁１２を省略し、めっき槽１０の側部１１ｄと被めっき物Ｗとの間に空間４０を形成してもよいし、めっき槽１０の側部１１ｅと被めっき物Ｗとの間に空間４０を形成してもよい。この場合には、吸引流路Ｃ１や吐出流路Ｃ２等の位置を適宜変更する。また、かかる構成においては、めっき槽１０の側部１１ｄ，１１ｅが請求の範囲の壁部を構成する。

　次に、図９を主に参照して、本発明の第４実施形態に係るめっき装置Ｍについて説明する。第４実施形態は、本発明に係るめっき装置Ｍを無電解めっきに使用している点が第２実施形態と相違している。つまり、陽極部材２０や陰極冶具３０等を備えていない点が第２実施形態と相違している。なお、説明においては、第２実施形態と同一の要素については、第２実施形態と同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

　第４実施形態に係る収容槽９０は、めっき槽１０の内部に配置され、被めっき物Ｗを収容する機能を備えている。
　収容槽９０は、被めっき物Ｗと、側部９０ｅと被めっき物Ｗとの間に形成された空間９３と、空間９３の下部（下流端）に接続された接続部９５と、を有している。本実施形態の収容槽９０は、第１保持部９１、第２保持部９２、及び、めっき用連通孔９４を有していない点が第２実施形態と相違している。

　被めっき物Ｗは、側部９０ｅと対向するように収容槽９０の内部に配置されている。図９に示す被めっき物Ｗの上部は、めっき液Ｆの上面と同じ高さに位置している。図示省略するが、被めっき物Ｗの上部は、めっき液Ｆの上面よりも上方又は下方に位置してもよい。被めっき物Ｗの直交方向Ｙの両側部は、収容槽９０の側部９０ｂ，９０ｃの内面に隙間なく接触している（図９では側部９０ｃのみ図示）。図示省略するが、被めっき物Ｗは、例えば収容槽９０に形成された保持部等によって、収容槽９０に対し鉛直に保持されている。

　空間９３は、側部９０ｅと被めっき物Ｗとの間に形成され、めっき槽１０からめっき液Ｆが流れ込む流路として機能する。空間９３の下部９３ａは、被めっき物Ｗよりも下方に延設されており、収容槽９０の底部９０ａに開口している。空間９３を流れるめっき液Ｆの流速は、例えば０．１～３ｍ／ｓ程度とするのが好ましい。本実施形態のような無電解めっきを行う場合には、めっき液Ｆの流速は、０．１ｍ／ｓ程度とするのがより好ましい。

　以上説明した本実施形態によれば、第２実施形態と略同様の作用効果を得ることができる。
　なお、例えば、収容槽９０の側部９０ｄと被めっき物Ｗとの間に空間９３を形成してもよい。この場合には、吸引流路Ｃ１や吐出流路Ｃ２等の位置を適宜変更するとともに、側部９０ｄの上部をめっき液Ｆの液面よりも下方に位置するようにする。また、かかる構成においては、収容槽９０の側部９０ｄが請求の範囲の壁部を構成する。

　以上、本発明の第１－第４実施形態について図面を参照して詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

　第１，第２実施形態では、めっき液Ｆが陽極部材２０側のみ（対向方向Ｘの一方のみ）から空間４０，９３へ浸入する構成としたが、本発明はこれに限定されるものではない。めっき液Ｆが、陰極冶具３０側のみ（対向方向Ｘの他方のみ）から空間４０，９３へ浸入する構成としてもよいし、陽極部材２０側及び陰極冶具３０側の両方（対向方向Ｘの両方）から空間４０，９３へ浸入する構成としてもよい。

　第３実施形態では、めっき液Ｆが鉛直壁１２側のみ（対向方向Ｘの一方のみ）から空間４０へ浸入する構成としたが、本発明はこれに限定されるものではない。めっき液Ｆが、被めっき物Ｗ側のみ（対向方向Ｘの他方のみ）から空間４０へ浸入する構成としてもよいし、鉛直壁１２側及び被めっき物Ｗ側の両方（対向方向Ｘの両方）から空間４０へ浸入する構成としてもよい。

　第４実施形態では、めっき液Ｆが側部９０ｅ側のみ（対向方向Ｘの一方のみ）から空間９３へ浸入する構成としたが、本発明はこれに限定されるものではない。めっき液Ｆが、側部９０ｄ側のみ（対向方向Ｘの他方のみ）から空間９３へ浸入する構成としてもよいし、側部９０ｄ，９０ｅ側の両方（対向方向Ｘの両方）から空間９３へ浸入する構成としてもよい。

　第１－第４実施形態では、空間４０，９３の上方から図示しない攪拌棒を出し入れ可能に構成されている。かかる攪拌棒は、例えば、駆動モータによって直交方向Ｙに沿って揺動し、空間４０のめっき液Ｆを攪拌するように構成されてもよい。
　また、攪拌用のヘラを複数設置し、このヘラの角度を可変させることでめっき液Ｆを攪拌するように構成されてもよい。

　第１－第４実施形態では、ポンプ５０によってめっき液Ｆを循環させたが、本発明はこれに限定されるものではなく、ポンプ５０によって吸引しためっき液Ｆを排出し、新たなめっき液Ｆをめっき槽１０に注ぎ足す構成にしてもよい。

　Ｍ　　　めっき装置
　１０　　めっき槽
　１１ｂ～１１ｅ　側部
　１３　　第１保持部
　１４　　第２保持部
　２０　　陽極部材
　３０　　陰極冶具（陰極部材）
　４０　　空間
　５０　　ポンプ
　６０　　吸引配管
　７０　　吐出配管
　８０　　電源
　９０　　収容槽
　９０ｂ～９０ｅ　側部
　９１　　第１保持部
　９２　　第２保持部
　９３　　空間
　Ｃ１　　吸引流路
　Ｃ２　　吐出流路
　Ｆ　　　めっき液
　Ｗ　　　被めっき物
　Ｘ　　　対向方向
　Ｙ　　　直交方向

Claims (7)

1. 　めっき液を収容するめっき槽と、
   　前記めっき槽の内部に配置された陽極部材と、
   　前記めっき槽の内部に前記陽極部材と対向して配置された被めっき物と、
   　前記被めっき物に接触する陰極部材と、
   　前記陽極部材と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備えためっき装置であって、
   　前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とするめっき装置。
2. 　前記空間は、前記陽極部材と前記被めっき物の対向方向と直交する方向の両側部が閉塞されていることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
3. 　前記めっき槽は、
   　前記陽極部材を着脱可能に保持する第１保持部と、
   　前記被めっき物を着脱可能に保持する第２保持部と、を有していることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
4. 　前記陽極部材と前記被めっき物の対向方向に沿った前記空間の幅寸法は、前記めっき液の流れを前記被めっき物と並行な層流にするような幅寸法に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のめっき装置。
5. 　めっき液を収容可能なめっき槽の内部に配置される収容槽であって、
   　内部に収容された陽極部材と、
   　内部に収容され、前記陽極部材と対向して配置された被めっき物と、
   　前記被めっき物に接触する陰極部材と、
   　前記陽極部材と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備え、
   　前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とする収容槽。
6. 　めっき液を収容するめっき槽と、
   　前記めっき槽の壁部と、
   　前記めっき槽の内部に前記壁部と対向して配置された被めっき物と、
   　前記壁部と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備えためっき装置であって、
   　前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とするめっき装置。
7. 　めっき液を収容可能なめっき槽の内部に配置される収容槽であって、
   　当該収容槽の壁部と、
   　内部に収容され、前記壁部と対向して配置された被めっき物と、
   　前記壁部と前記被めっき物との間に形成され、前記めっき槽から前記めっき液が流れ込む流路となる空間と、を備え、
   　前記めっき液は、前記空間の上方から流れ込み、かつ、前記空間の下方からポンプで吸引されることを特徴とする収容槽。

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