WO2016104652A1 - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

　真空ポンプは、回転体とシリンダとボディとを含んでいる。回転体は、モータの駆動によって回転される。シリンダは、回転体を収容する。ボディにはシリンダが取り付けられるとともに、モータが取り付けられる。シリンダは、ボディに圧入されることによってボディに取り付けられる。シリンダの一部が回転体の軸方向においてボディから突出している。

Description

真空ポンプ

　本発明は、回転体の回転により空気を排出する真空ポンプに関する。

　従来、ベーンポンプ等の真空ポンプとしては、モータに取り付けられるケーシング（ボディ）と、このケーシングのシリンダ室内にモータにより回転する回転体とを備える真空ポンプが知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の真空ポンプは、モータにより回転する回転体をシリンダ室内で駆動することによって、真空ポンプに接続される装置内にある空気を排出して、その装置内を減圧することができる。

　特許文献１に記載の真空ポンプでは、シリンダ室を形成するシリンダライナを金型に配置し、ケーシング本体を形成する溶湯を用いて鋳造し、シリンダライナを一体に鋳込むことでシリンダライナとケーシングとが組み付けられている。

　回転体を有する真空ポンプは、回転体を収容するポンプ部と、外部からポンプ部に空気を取り込む入口と、空気を外部へ排出する出口とを備える。例えば、特許文献２に記載された真空ポンプは、ベーンポンプであって、ポンプ部に吸入した空気を、回転体であるロータに設けられた隣り合うベーンの間で圧縮して、ポンプ部の外へ排出する。

　特許文献１に記載の真空ポンプの回転体には、円柱状のロータと、ロータに形成されたガイド溝から出没自在に設けられる複数の板状のベーンとが備えられている。ベーンは、シリンダ室を区画して、ロータの回転に伴って発生する遠心力によりガイド溝から突出してシリンダ室の内周面に当接しながらロータともに回転する。

特開２０１２－１６７５９０号公報 特開２００３－２２２０９０号公報

　特許文献１のような真空ポンプにおいては、軽量化が求められている。
　本発明の第１の目的は、軽量化することのできる真空ポンプを提供することにある。
　また、特許文献２の真空ポンプでは、ポンプ部によって圧縮された空気が出口から排出される際に、騒音が発生することが問題となっていた。このため、空気の排出に伴う騒音を低減できる真空ポンプが要請されていた。尚、こうした課題は、ベーンポンプに限らず、回転体を備える真空ポンプにおいては概ね共通したものである。

　本発明の第２の目的は、排気に伴う騒音を低減することのできる真空ポンプを提供することにある。
　また、特許文献１の真空ポンプにおいては、ベーンがシリンダ室の内周面に常に摺動するため、ベーンが摩耗することは避けられないが、ベーンの交換頻度を低減するためにベーンの寿命を長くすることが求められている。

　本発明の第３の目的は、ベーンの寿命を長くすることのできる真空ポンプを提供することにある。

　上記第１の目的を達成するため、本発明の第１の態様にかかる真空ポンプは、モータの駆動によって回転される回転体と、前記回転体を収容するシリンダと、前記シリンダが取り付けられるとともに、前記モータが取り付けられるボディと、を備える。前記シリンダは、前記ボディに圧入されることによって前記ボディに取り付けられる。前記シリンダの一部が前記回転体の軸方向において前記ボディから突出している。

　上記第２の目的を達成するため、本発明の第２の態様にかかる真空ポンプは、回転体を収容したポンプ部と、ボディと、外カバーとを備えている。前記ボディは、前記ポンプ部を収容するポンプ室と、前記ポンプ室に空気を取り込むポンプ室入口と、前記ポンプ室から空気を排出するポンプ室出口と、前記ポンプ室出口から排出される空気が流入する排気溝と、を含む。前記外カバーは、前記排気溝を覆って排気通路を形成すべく前記ボディに組み付けられる。前記ボディはボディ出口を有している。前記排気通路は、前記ポンプ室の外周に設けられた環状の通路であって、前記ボディ出口に連通する排気出口を備えている。前記外カバー及び前記ボディの少なくとも一方は、前記排気通路を区画する隔壁を備えている。当該隔壁は、前記排気通路に沿った前記ポンプ室出口から前記排気出口までの最短長さよりも長い通路を形成する。

　上記第３の目的を達成するため、本発明の第３の態様にかかる真空ポンプは、複数のベーンを有する回転体と、前記回転体を収容するシリンダを含むボディと、を備える。前記ボディは、空気を取り込むボディ入口を有している。前記シリンダは、前記ボディ入口に接続され、前記シリンダ内に空気を取り込むシリンダ部入口と、前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、を含んでいる。前記シリンダ部入口は、前記ボディ入口の少なくとも一部と連通している。前記シリンダ部入口は、前記ボディ入口に対して前記回転体の少なくとも回転方向と反対方向に延びた長孔である。

　上記第３の目的を達成するため、本発明の第４の態様にかかる真空ポンプは、複数のベーンを有する回転体と、前記回転体を収容するシリンダを含むボディと、を備える。前記シリンダは、前記シリンダ内に空気を取り込むシリンダ部入口と、前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、前記シリンダの内周面に設けられる凹部と、を含んでいる。前記凹部は、前記シリンダの軸方向において前記シリンダ部入口が位置する部分を含んでいる。前記凹部は、前記シリンダの周方向に沿って少なくとも前記回転体の回転方向と反対方向に延びている。

　上記第３の目的を達成するため、本発明の第５の態様にかかる真空ポンプは、複数のベーンを有する回転体と、前記回転体を収容するシリンダを含むボディと、を備える。前記シリンダは、前記シリンダ内に空気を取り込むシリンダ部入口と、前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、前記シリンダの外周面に設けられる凹部と、前記回転体の回転方向において前記シリンダ部入口よりも後側に設けられる貫通孔と、を含んでいる。前記凹部は、前記シリンダの軸方向において前記シリンダ部入口が位置する部分を含んでいる。前記凹部は、前記シリンダの周方向に沿って少なくとも前記回転体の回転方向と反対方向に延びている。前記貫通孔は、前記凹部と連通するとともに前記シリンダを貫通している。

　上記第２の目的を達成するため、本発明の第６の態様にかかる真空ポンプは、ボディと外カバーとを備える。前記ボディは、回転体を収容するシリンダと、前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、前記シリンダ部出口から排出された空気が通過する排気溝と、を有する。前記外カバーは、前記ボディを閉蓋して、前記排気溝とともに空気が膨張する空間を形成する。前記外カバーは、筒部と、当該筒部の一端開口部を閉蓋する閉蓋部と、を有している。前記外カバーの内側には、リブが設けられている。

本発明の第１実施形態にかかる真空ポンプの全体を示す斜視図。 図１の真空ポンプの概略構成を示す分解斜視図。 図１の真空ポンプの内部構造を示す断面図。 図１の真空ポンプの内部構造を示す外カバーを省略した上面図。 本発明の第２実施形態にかかる真空ポンプの全体を示す斜視図。 図５の真空ポンプの外カバーを取り外した状態の斜視図。 図５の真空ポンプの外カバーを除く部品の分解斜視図。 図５の真空ポンプの外カバーを取り外した状態の平面図。 図５の真空ポンプの外カバーを開口端側からみた斜視図。 図５の真空ポンプの外カバーを一部切り欠いた状態の斜視図。 図５の真空ポンプの外カバーとボディとの位置関係を説明する断面図。 図５の真空ポンプ内の空気の流れを説明する断面図。 図１２における１３－１３線に沿った断面図。 本発明の第３実施形態にかかる真空ポンプの全体を示す斜視図。 図１４の真空ポンプの概略構成を示す分解斜視図。 図１４の真空ポンプの内部構造を示す断面図。 図１４の真空ポンプの内部構造を示す外カバー及びポンプカバーを省略した上面図。 図１４の真空ポンプのシリンダの構造を示す斜視図。 （ａ）及び（ｂ）は図１４の真空ポンプのシリンダとロータに設けられるベーンとの位置関係を示す上面図。 （ａ）及び（ｂ）は従来の真空ポンプのシリンダとロータに設けられるベーンとの位置関係を示す上面図。 第３実施形態及び従来の真空ポンプのベーンの回転位置におけるベーンの負荷荷重を示す図。 本発明の第４実施形態にかかる真空ポンプのシリンダの構造を示す斜視図。 第４実施形態の変形例におけるシリンダの構造を示す斜視図。 本発明の第５実施形態にかかる真空ポンプの全体を示す斜視図。 図２４の真空ポンプの内部構造を示す断面図。 図２４の真空ポンプのポンプカバーを取り外した状態の斜視図。 図２４の真空ポンプのポンプカバーの内側の構造を示す斜視図。 図２４の真空ポンプ内の空気の流れを説明する図２５における２８－２８線に沿った断面図。

　以下、図１～図４を参照して、真空ポンプの第１実施形態を説明する。
　まず図１及び図２を参照して、真空ポンプの全体構成について詳述する。
　図１に示すように、真空ポンプは、モータ１１と、モータ１１の開口部を閉蓋するボディ１２と、ボディ１２に組み付けられる外カバー１３とを備える。この真空ポンプは、ポンプ室に潤滑油を使用しないことで、内部に取り込んだ空気と油とを接触させないドライポンプである。

　ボディ１２は、アルミニウム等の金属から形成された部品であり、モータ１１の出力軸側に設けられる。即ち、ボディ１２は、モータ１１のケースを閉蓋する蓋としても機能する。ボディ１２には、ボディ１２内に空気を取り込むボディ入口と、ボディ１２から空気を排出するボディ出口２１とが設けられている。ボディ入口には、減圧対象となるタンク等に接続される接続管１４が挿入されている。

　外カバー１３は、樹脂製であって、筒状の筒部８１と、筒部８１の一方の端部を閉塞する天井部８０とを備えている。外カバー１３は、ボディ１２に取り付けられ、シリンダ６１を覆う。筒部８１の外周の４箇所には、ボルト１６ａ～１６ｄを貫通させるためのボルト貫通部５０が設けられている。ボルト１６ａ～１６ｄは、例えば六角穴付ボルトである。外カバー１３は、その開口端を、ボディ１２の一面である上面２４に当接させた状態でボディ１２に対して組み付けられる。ボルト１６ａ～１６ｄがボルト貫通部５０に貫通されるとともに、ボディ１２に形成された螺子孔１２ａ～１２ｄに螺着されることにより、外カバー１３がボディ１２に固定される。

　ボディ１２は、筒状の外壁部１２ｆと底部１２ｅとを備える。外壁部１２ｆには、真空ポンプを外部装置等に取り付けるための取付部１２ｇが備えられている。なお、外壁部１２ｆがボディ１２の筒部に相当する。ボディ１２の外壁部１２ｆのさらに内側には、ポンプとして機能するポンプ部６０を収容する筒状の収容壁２５が設けられている。収容壁２５の内側は、ポンプ室２７に相当する。収容壁２５の先端面は、上面２４の先端面と同一面上に形成されている。ポンプ部６０の高さは、ポンプ室２７の高さよりも高くなっている。このため、ポンプ部６０の一部は、収容壁２５の先端よりも突出する状態でポンプ室２７に収容されている。

　図２を参照して、真空ポンプを構成する各部品について詳述する。図２では、外カバー１３を除く部品について、モータ１１の出力軸１５の延出方向に並べた状態を示している。

　ボディ１２の底部１２ｅの中央には、モータ１１の出力軸１５が貫通する貫通孔２８が形成されている。この貫通孔２８は、ポンプ室２７の底部２６における中心からずれた位置に形成されている。

　収容壁２５には、ポンプ室２７に空気を取り込むためのポンプ室入口３０と、ポンプ室２７から空気を排出するためのポンプ室出口３１とが貫通形成されている。ポンプ室入口３０は、ボディ入口２０に連通されている。

　ポンプ室出口３１は、収容壁２５の外側に設けられた排気溝４０に連通している。排気溝４０は、収容壁２５の外周面に沿って円環状に形成されている。排気溝４０には、排気溝４０を区画する第１区画壁４１、第２区画壁４２、第３区画壁４３が設けられている。排気溝４０は、これら第１区画壁４１～第３区画壁４３により、ポンプ室入口３０側から順に、第１排気溝４５、第２排気溝４６、第３排気溝４７に区画されている。第１区画壁４１～第３区画壁４３の高さは、収容壁２５の高さよりも低くなっている。なお、ポンプ室出口３１から排出された空気は、ボディ１２と外カバー１３とによって形成される空間を通過して、ボディ出口２１から外部に排出される。

　収容壁２５の開口端側には、ボルト３４ａ，３４ｂ，３４ｃを取り付けるためのボルト取付部３３が３個形成されている。ボルト取付部３３は、収容壁２５の周方向において第１区画壁４１～第３区画壁４３と同じ位置に形成されている。収容壁２５の外周面には、段差部４８が設けられている。ボルト取付部３３は、この段差部４８に連続する状態で設けられている。

　ボディ１２の第３排気溝４７内であって第１区画壁４１の近傍には、ボディ出口２１と連通路１７を介して連通する排気出口４９（図４参照）が設けられている。
　ポンプ室２７に収容されるポンプ部６０は、回転体であるロータ７２と、ロータを収容するシリンダ６１とを備える。シリンダ６１は、鉄等の金属製であり、円筒状に形成されている。シリンダ６１には、ポンプ室２７のポンプ室入口３０とポンプ室出口３１とに対応する位置に、入口側連通孔６２と、出口側連通孔６４とが形成されている。ポンプ室入口３０と入口側連通孔６２とは同心軸上に位置している。また、ポンプ室出口３１と出口側連通孔６４とは同心軸上に位置している。

　シリンダ６１の外周上端部には、シリンダ６１の回転を規制する回転規制部としてのボルト嵌挿溝６５が３個設けられている。ボルト嵌挿溝６５にボルト３４ａ，３４ｂ，３４ｃが嵌挿されることで、シリンダ６１の回転が規制される。

　図３に示すように、シリンダ６１は、ボディ１２に圧入されるとともに、ボディ１２に螺子止めされることでボディ１２に取り付けられる。すなわち、シリンダ６１は、ボディ１２の収容壁２５の内側に圧入される。また、シリンダ６１の一部は、ロータ７２の軸方向においてボディ１２の収容壁２５から突出している。シリンダ６１の高さＨ１に比べて収容壁２５の高さＨ２が低いので、高さの差（Ｈ１－Ｈ２）だけ突出している。シリンダ６１において外カバー１３と対向する一端開口部は、ポンプカバー７７によって閉塞されている。シリンダ６１のボディ１２側の他端開口部は、ボディ１２の底部２６によって閉塞されている。

　また、ボディ１２の底部１２ｅには、モータ１１の筐体１１ａの開口部が取り付けられる。すなわち、ボディ１２がモータ１１の筐体１１ａの開口部を閉蓋する。ボディ１２の貫通孔２８の周囲には、円環状のベアリング保持部２９が形成されている。このベアリング保持部２９には、モータ１１の出力軸１５を支持する軸受部としてのベアリング１８が設けられている。このため、ボディ１２がモータ１１の筐体１１ａの開口部を閉じる蓋としても機能し、モータ１１の筐体１１ａの開口部を閉じる蓋が別途不要となるので、ボディ１２と蓋とを別体とするよりも軽量化することができるようになる。

　図２に示すように、シリンダ６１の内側には、ベーン７３を出没可能に収容したロータ７２が回動可能に収容される。ロータ７２は、鉄等の金属製であり、軸孔７４と、５つのベーン収容溝７５とが形成されている。軸孔７４には、モータ１１の出力軸１５の先端に圧入されて、出力軸１５の先端を軸孔７４の内周面に押し付ける圧入ピン７６が貫挿されている。ロータ７２の軸孔７４に出力軸１５を挿入した状態で、出力軸１５の先端に圧入ピン７６が圧入される（図３参照）。ベーン収容溝７５には、カーボン製の板状のベーン７３がそれぞれ収容される。

　シリンダ６１のボディ１２に対向する開口は、ボディ側プレート７０によって閉塞される。ボディ側プレート７０は、ボディ１２の底部２６とロータ７２との間に設置され、ロータ７２が摺動可能である。なお、ボディ側プレート７０が第１プレートに相当する。シリンダ６１の外カバー１３側の開口は、カバー側プレート７１によって閉塞される。カバー側プレート７１は、ロータ７２とポンプカバー７７との間に設置され、ロータ７２が摺動可能である。なお、カバー側プレート７１が第２プレートに相当する。ボディ側プレート７０及びカバー側プレート７１は、ベーン７３に対する摩擦係数が小さいカーボン等の材料製であって、円板状に形成されている。ボディ側プレート７０は、モータ１１の出力軸１５を貫挿する孔７０ａを備えている。

　シリンダ６１は、ボディ側プレート７０がポンプ室２７の底部２６に設置された後に、ボディ１２の収容壁２５に圧入される。なお、ボディ側プレート７０は、孔７０ａが偏心しているので、ポンプ室２７の底部２６に対して位置決めされる。

　また、ポンプ部６０は、円板状に形成されたポンプカバー７７を備える。ポンプカバー７７は、金属製であって、ボルト３４ａ，３４ｂ，３４ｃを貫挿するためのボルト貫挿孔７７ａが形成されている。ボディ１２の収容壁２５内にボディ側プレート７０が設置された後に、シリンダ６１が収容壁２５に圧入される。続いて、複数のベーン７３が取り付けられたロータ７２が挿入され、ロータ７２がモータ１１の出力軸１５に固定される。続いて、シリンダ６１の外カバー１３側の開口部にカバー側プレート７１が載置され、更にポンプカバー７７が載置される。この状態で、ボルト３４ａ，３４ｂ，３４ｃをポンプカバー７７のボルト貫挿孔７７ａとボルト嵌挿溝６５とに貫挿させるとともに、ボルト３４ａ，３４ｂ，３４ｃをボディ１２のボルト取付部３３に螺着することにより、これらの部材がボディ１２に組み付けられる。

　次に図４を参照して、ポンプ部６０の動作について説明する。
　図４に示すように、ポンプ室２７には、ポンプ室２７内に偏心させて取り付けられたロータ７２によって、略三日月状の空間７８が形成される。

　モータ１１の駆動によりロータ７２が回転すると、ベーン７３が遠心力によりベーン収容溝７５に沿ってロータ７２の径方向外側へ突出し、その先端をシリンダ６１の内周面６１ａに当接させる。これにより、ポンプ室２７内の略三日月状の空間７８が、５枚のベーン７３と、ロータ７２の外周面と、シリンダ６１の内周面６１ａとによって囲まれる５つの圧縮室に区画される。

　これらの圧縮室は、ロータ７２の回転に伴って同一方向に移動する。圧縮室が移動する際、圧縮室の容積は、ポンプ室入口３０近傍で大きくなり、ポンプ室出口３１で小さくなる。つまり、ポンプ室入口３０から圧縮室に吸入された空気は、ロータ７２の回転に伴って圧縮されて、ポンプ室出口３１から吐出される。ポンプ部６０では、ロータ７２及びベーン７３がシリンダ６１内を回転することにより空気を圧縮しているため、ポンプ室出口３１から圧縮空気が間欠的に吐出される。

　次に図４を参照して、真空ポンプの作用について説明する。
　図４に示すように、モータ１１の駆動によりロータ７２が回転すると、矢印Ｆ１に示すように、接続管１４を介して、ボディ入口２０、ポンプ室入口３０、及び入口側連通孔６２を通過してポンプ室２７内へ空気が取り込まれる。ベーン７３等によって区画される圧縮室に吸入された空気は、矢印Ｆ２に示すように、圧縮されて、矢印Ｆ３に示すように、ポンプ室出口３１から排気溝４０へ排出される。

　排気溝４０の第１排気溝４５へ排出された空気は、矢印Ｆ４に示すように、第１排気溝４５から第２排気溝４６へ流入する。第１区画壁４１と外カバー１３とで形成される隔壁（図示略）によって、第１排気溝４５と第３排気溝４７とは、直接的に連通していない状態となっている。また、第２排気溝４６へ流入した空気は、矢印Ｆ５に示すように、第２排気溝４６から第３排気溝４７へ流入する。そして、第３排気溝４７に流入した空気は、矢印Ｆ６に示すように、排気出口４９から連通路１７に流入し、ボディ出口２１から排出される。

　以上説明したように、第１実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
　（１）シリンダ６１がボディ１２に圧入された上でボルト３４ａ，３４ｂ，３４ｃによって螺子止めされることで、シリンダ６１がボディ１２に対して確実に取り付けられる。また、シリンダ６１がボディ１２に対して全て圧入されるのではなく、シリンダ６１の一部がロータ７２の軸方向においてボディ１２から突出している。このため、ボディ１２がシリンダ６１を全て覆う必要がなくなり、シリンダ６１がボディ１２から突出している分のボディ１２の容量を減らすことができる。よって、ボディ１２の容量を減らしたことで軽量化することができる。

　（２）ボディ１２がモータ１１の筐体１１ａの開口部を閉じる蓋としても機能し、モータ１１の筐体１１ａの開口部を閉じる蓋が別途不要となる。このため、ボディ１２とモータ１１の筐体１１ａの開口部の蓋とを別体とするよりも軽量化することができるようになる。

　（３）シリンダ６１の外周部にボルト嵌挿溝６５を備えた。このため、シリンダ６１に周方向の回転力が発生しても、回転を防ぐことができ、ボディ１２に対するシリンダ６１の位置ずれを防ぐことができる。

　（４）シリンダ６１の外カバー１３に対向する開口部がポンプカバー７７に閉塞されるとともに、シリンダ６１のボディ１２に対向する開口部がボディ１２の底部に閉塞される。このため、シリンダ６１とポンプカバー７７とボディ１２とによって閉空間とできるので、ポンプ室として機能させることができる。

　（５）ロータ７２の軸方向の両側にボディ側プレート７０とカバー側プレート７１とを設置した。このため、ロータ７２はボディ側プレート７０とカバー側プレート７１とによって円滑に摺動することができ、摩耗を抑制することができるようになる。

　（６）シリンダ６１を覆う外カバー１３をボディ１２に取り付けたので、ロータ７２が収容されたシリンダ６１に水が浸入することを抑制することができる。また、ロータ７２が収容されるシリンダ６１が外カバー１３に覆われることで、ロータ７２によって空気が排出されるときに発生する音が外部に伝わる量を抑制することができる。

　なお、第１実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもができる。
　・第１実施形態では、樹脂製の外カバー１３を採用したが、樹脂以外の、例えば金属製の外カバー１３を採用してもよい。なお、金属製の外カバー１３の場合、外カバー１３の天井部８０とポンプ部６０との間に、振動を吸収する吸収材等が設けられることが好ましい。

　・第１実施形態では、排気溝４０を設けたが、ポンプ室出口３１からボディ出口２１に直接連通してもよい。また、このような場合には、外カバー１３を省略してもよい。
　・第１実施形態では、ボディ側プレート７０及びカバー側プレート７１を設けたが、ロータ７２が摺動して回転することができるならば、ボディ側プレート７０及びカバー側プレート７１を省略してもよい。

　・第１実施形態では、外壁部１２ｆのさらに内側に収容壁２５を設けたが、外壁部１２ｆと収容壁２５とを一体としてもよい。この場合、排気溝４０が省略される。
　・第１実施形態では、ボディ１２とシリンダ６１とを別体で設けたが、一体で設けてもよい。例えば、ボディ１２の収容壁２５とシリンダ６１とを一体で設けてもよい。

　・第１実施形態では、筒部８１の断面形状は、円形、三角形、四角形、星形等、どのような形状でもよい。
　・第１実施形態では、シリンダ６１にボルト嵌挿溝６５を設けたが、シリンダ６１が回転しなければ、ボルト嵌挿溝６５を省略してもよい。

　・第１実施形態では、シリンダ６１を圧入とボルト３４ａ，３４ｂ，３４ｃによる螺子止めとによってボディ１２に固定したが、シリンダ６１を圧入のみによってボディに固定してもよい。

　・第１実施形態では、ボディ１２がモータ１１の筐体１１ａの開口部を閉蓋したが、ボディ１２とは別体でモータ１１の筐体１１ａの開口部を閉じる蓋を備えてもよい。また、この場合は、モータ１１の筐体１１ａの開口部を閉じる蓋に軸受部を備えることが好ましい。

　・第１実施形態の真空ポンプは、ドライポンプであり、多用な装置の真空源として用いることができる。例えば、車両のブレーキシステムの倍力装置に用いられる真空源、包装機械の真空源、印刷機、製本機、又はラベル貼りの真空源、ロボットの真空源等に用いることもできる。

　以下、図５～図１３を参照して、真空ポンプの第２実施形態を説明する。図５、７及び８に示す第２実施形態の真空ポンプの全体構造は、図１、２及び４に示す第１実施形態の真空ポンプの全体構造と同様である。同様の構成及び動作については、詳細な説明を省略する。

　具体的には、第２実施形態のモータ１１１、ボディ１１２、螺子孔１１２ａ～１１２ｄ、底部１１２ｅ、外壁部１１２ｆ、取付部１１２ｇ、外カバー１１３、接続管１１４、出力軸１１５、ボルト１１６ａ～１１６ｄ、ボディ入口１２０、ボディ出口１２１、カバー側の側面１２４、収容壁１２５、底部１２６、ポンプ室１２７、貫通孔１２８、ポンプ室入口１３０、ポンプ室出口１３１、ボルト取付部１３３、ボルト１３４ａ～１３４ｃ、排気溝１４０、第１区画壁１４１～第３区画壁１４３、第１排気溝１４５～第３排気溝１４７、段差部１４８、排気出口１４９、ボルト貫通部１５０、ポンプ部１６０、シリンダ１６１、内周面１６１ａ、入口側連通孔１６２、出口側連通孔１６４、ボディ側プレート１７０、孔１７０ａ、カバー側プレート１７１、ロータ１７２、ベーン１７３、軸孔１７４、ベーン収容溝１７５、圧入ピン１７６、ポンプカバー１７７、ボルト貫挿孔１７７ａ、空間１７８、天井部１８０、筒部１８１は、それぞれ、第１実施形態のモータ１１、ボディ１２、螺子孔１２ａ～１２ｄ、底部１２ｅ、外壁部１２ｆ、取付部１２ｇ、外カバー１３、接続管１４、出力軸１５、ボルト１６ａ～１６ｄ、ボディ入口２０、ボディ出口２１、上面２４、収容壁２５、底部２６、ポンプ室２７、貫通孔２８、ポンプ室入口３０、ポンプ室出口３１、ボルト取付部３３、ボルト３４ａ～３４ｃ、排気溝４０、第１区画壁４１～第３区画壁４３、第１排気溝４５～第３排気溝４７、段差部４８、排気出口４９、ボルト貫通部５０、ポンプ部６０、シリンダ６１、内周面６１ａ、入口側連通孔６２、出口側連通孔６４、ボディ側プレート７０、孔７０ａ、カバー側プレート７１、ロータ７２、ベーン７３、軸孔７４、ベーン収容溝７５、圧入ピン７６、ポンプカバー７７、ボルト貫挿孔７７ａ、空間７８、天井部８０、及び筒部８１に相当する。

　次に図９及び図１０を参照して、外カバー１１３について説明する。
　図９に示すように、外カバー１１３は、外カバー１１３の底部を構成する天井部１８０と、天井部１８０の縁に沿って設けられた筒状の筒部１８１とを備える。

　外カバー１１３の天井部１８０のうち、ボディ１１２に組み付けられたときにボディ１１２に対向する面には、放射状リブ１８８が形成されている。放射状リブ１８８は、天井部１８０の中央に設けられた環状リブ１８９と、環状リブ１８９から筒部１８１に向かって直線状に延びる６つの直線リブ１９２とからなる。この放射状リブ１８８は、天井部１８０を補強することによって、天井部１８０の振動を抑制している。これにより、天井部１８０の振動に伴う騒音が抑制される。

　外カバー１１３の筒部１８１には、第１突起部１８６と第２突起部１８７とが形成されている。第１突起部１８６及び第２突起部１８７は、筒部１８１から外カバー１１３の径方向内側に向かって突出し、天井部１８０と連続している。

　外カバー１１３の内側には、弧状の空間である弧状空間１８２を区画する湾曲壁部１８３が形成されている。湾曲壁部１８３は、天井部１８０から突出し、その両端が筒部１８１に接続した状態で形成されている。湾曲壁部１８３は、その内側の弧状空間１８２の短手方向の幅Ｗ１が、当該弧状空間１８２の長手方向の一方の端部１８５から他方の端部１８４にかけて大きくなるように形成されている。

　湾曲壁部１８３によって区画される弧状空間１８２は、外カバー１１３がボディ１１２に組み付けられたときに、第１排気溝１４５と向かい合う。弧状空間１８２と第１排気溝１４５は、ポンプ室１２７から排出された空気を膨張させる小膨張室１９１を構成する。

　図１０に示すように、湾曲壁部１８３の両方の端部１８４，１８５のうち、弧状空間１８２の幅Ｗ１が相対的に大きい端部１８４は、外カバー１１３がボディ１１２に組み付けられたときに、第１区画壁１４１に当接する。この端部１８４と第１区画壁１４１とによって、ポンプ室出口１３１と排気出口１４９とを隔てる隔壁１９０が形成される。

　次に図１１を参照して、外カバー１１３の湾曲壁部１８３、第１突起部１８６及び第２突起部１８７、ボディ１１２の第１排気溝１４５～第３排気溝１４７について、周方向における相対位置を説明する。

　モータ１１１の出力軸１１５は、ポンプ室１２７の中心に対して偏心しているが、外カバー１１３の径方向中心と一致している。第３排気溝１４７の終端に形成された排気出口１４９と第１排気溝１４５の始端に形成されたポンプ室出口１３１とは、ボディ１１２の第１区画壁１４１及び外カバー１１３の湾曲壁部１８３の端部１８４で構成される隔壁１９０によって隔てられている。

　出力軸１１５を中心として、隔壁１９０における第１排気溝１４５に対向する面が位置する角度を「０°」としたとき、ポンプ室出口１３１は、隔壁１９０の位置から時計回り（方向）に角度θ１の位置に設けられる。第１排気溝１４５の始端は角度「０°」に位置し、第１排気溝１４５の終端は角度θ２に位置する。第２排気溝１４６は、角度θ３から角度θ４に亘って設けられる。第３排気溝１４７は、角度θ５から角度θ６に亘って設けられる。排気出口１４９は、角度θ６よりも小さい角度θ７の位置に設けられている。第１排気溝１４５～第３排気溝１４７は、外カバー１１３で覆われることにより、第１膨張室１９６～第３膨張室１９８となる。第１膨張室１９６～第３膨張室１９８は、排気通路２１０を構成する。

　即ち、第１膨張室１９６～第３膨張室１９８からなる排気通路２１０は、第１区画壁１４１～第３区画壁１４３の厚さ分も含めると、３６０°に亘って設けられる。また、ポンプ室出口１３１の位置である角度θ１から排気出口１４９の位置である角度θ７までの角度は、角度「θ７－θ１」である。角度「θ７－θ１」は、１８０°よりも大きいことが好ましい。排気通路２１０を長くする上では、角度「θ７－θ１」は可能な限り大きいことが望ましく、２７０°以上であることが好ましい。

　湾曲壁部１８３は、その一方の端部１８４を含む部分においてボディ１１２と間接的に接触している。湾曲壁部１８３のうち、収容壁１２５寄りの壁部は、収容壁１２５の径方向外側に設けられ、収容壁１２５に当接しない。このように湾曲壁部１８３のうち、ボディ１１２と間接的に接触する部分を最小限にすることで、ボディ１１２と外カバー１１３との接触による振動を抑制することができる。

　湾曲壁部１８３は、第１排気溝１４５に沿って、角度「０°」から角度θ１０に亘って延びている。湾曲壁部１８３と第１排気溝１４５とによって、小膨張室１９１が区画される。また湾曲壁部１８３の終端位置である角度θ１０は、第１排気溝１４５の終端位置である角度θ２よりも小さくなっている。これにより、第１排気溝１４５には、湾曲壁部１８３によって覆われない開口部１９５が設けられる。

　第１排気溝１４５、外カバー１１３、及びポンプ部１６０によって、第１膨張室１９６が区画される。第１膨張室１９６は、弧状空間１８２と第１排気溝１４５とで形成される小膨張室１９１を含む。また、第２排気溝１４６、外カバー１１３、及びポンプ部１６０によって、第２膨張室１９７が区画される。第１突起部１８６は、第１膨張室１９６と、第２膨張室１９７との間に設けられる。

　第１突起部１８６の径方向の先端とポンプ部１６０との間には間隙が設けられている。第１突起部１８６の位置である角度θ１１は、第２排気溝１４６の始端の位置である角度θ３よりも大きい。即ち、第１突起部１８６は、第２排気溝１４６の始端に対して、ずれた位置に設けられ、それらの間には、第１流入口１９９が形成されている。

　第３排気溝１４７、外カバー１１３、及びポンプ部１６０によって、第３膨張室１９８が区画される。第２突起部１８７は、第２膨張室１９７と第３膨張室１９８との間に設けられる。第２突起部１８７の径方向の先端とポンプ部１６０との間には間隙が設けられている。第２突起部１８７が設けられた位置である角度θ１２は、第２排気溝１４６の終端である角度θ４よりも大きく、第３排気溝１４７の始端である角度θ５よりも小さい。これにより、第２突起部１８７、ボディ１１２、及びポンプ部１６０の間には、第２流入口２００が形成される。

　次に図１２及び図１３を参照して、真空ポンプの作用について説明する。
　図１２に示すように、モータ１１１の駆動によりロータ１７２が回転すると、接続管１１４を介して、ポンプ室入口１３０からポンプ室１２７内へ空気が取り込まれる。ベーン１７３等によって区画される圧縮室に吸入された空気は、圧縮されて、矢印Ｄ１に示すように、ポンプ室出口１３１から小膨張室１９１へ排出される。

　小膨張室１９１へ排出された空気は、ボディ１１２の第１区画壁１４１と外カバー１１３の湾曲壁部１８３とから構成される隔壁１９０によって、直接的にボディ出口１２１へ連通する排気出口１４９への流れが妨げられる。即ち、隔壁１９０によって、第１膨張室１９６と第３膨張室１９８とは、直接的に連通されていない状態となっている。このため、小膨張室１９１へ排出された空気は、小膨張室１９１内で膨張された後、矢印Ｄ２で示すように、開口部１９５と、外カバー１１３とポンプ部１６０との間を通過し、第１流入口１９９から第２膨張室１９７に流入する。この際、第２区画壁１４２は、その高さが排気通路２１０の高さＨ３（図１３参照）よりも低いため、空気を通過させる一方で上流側及び下流側に圧力差を発生させる絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。また、第１膨張室１９６と第２膨張室１９７との間に設けられた第１流入口１９９も絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。

　第２膨張室１９７に流入した空気は、再び膨張した後、矢印Ｄ３に示すように、第２流入口２００を通過して、第３膨張室１９８に流入する。第３区画壁１４３は、その高さが排気通路２１０の高さＨ３（図１３参照）よりも低いため、空気を通過させる一方で流路断面積を縮小する絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。第２流入口２００もまた、流路断面積を縮小する絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。第３膨張室１９８に流入した空気は、再び膨張した後、矢印Ｄ４に示すように、排気出口１４９から、連通路１１７に流入する。連通路１１７は、第３膨張室１９８よりも流路断面積が小さいため、連通路１１７に流入した空気の流れは収縮されて、矢印Ｄ５に示すように、ボディ出口１２１から排出される。

　図１３に示すように、ポンプ部１６０と外カバー１１３との間には、ウェーブワッシャー等の付勢部２０２が設けられ、ポンプ部１６０をボディ１１２に向けて押し付ける。また、外カバー１１３の天井部１８０とポンプ部１６０とは離間しているので、外カバー１１３の天井部１８０とポンプ部１６０との間には間隙２０１が設けられている。このため、ロータ１７２の振動は、間隙２０１を介して外カバー１１３側に伝達されるため、空気の振動エネルギーが減衰し、外カバー１１３の振動が抑制される。なお、小膨張室１９１から排出された空気の一部は、その間隙２０１を通って、ポンプ部１６０を横切り、排気出口１４９へ向かう。但し、間隙２０１の高さは、第１膨張室１９６～第３膨張室１９８の容積に比べ小さいため、小膨張室１９１から排出された空気の殆どは、第２膨張室１９７へ向かう。

　この種の真空ポンプでは、ベーン１７３を備えたロータ１７２が回転することにより、ポンプ室出口１３１からは圧縮空気が間欠的に吐出されるため、ポンプ室出口１３１からボディ出口１２１までの距離が短いと、一定の基本周波数で圧力脈動が生じることによりボディ出口１２１において騒音が発生することがある。

　排気通路２１０を備えた上記真空ポンプでは、ポンプ室出口１３１から排出された空気の多くは、ポンプ室１２７の外側の円環状の排気通路２１０を通過した後に、ボディ出口１２１から排出されるため、ポンプ室出口１３１から排気出口１４９までの最短経路に比べ、ポンプ室出口１３１からボディ出口１２１までの経路長が長くなる。空気の振動エネルギーは、空気が流れる距離が長くなるほど減衰されるため、ポンプ室出口１３１からボディ出口１２１までの流路長を長くすることにより、騒音を低減することができる。

　また、ポンプ室出口１３１からボディ出口１２１までの間に、空気は、膨張・収縮を複数回繰り返す。その結果、空気の脈動が減衰され、振動に起因する騒音が抑制される。さらに、空気が排気通路２１０を通過する際、空気は、ポンプ部１６０の外周を回るように旋回するため、空気を整流することができる。このため、ポンプ室出口１３１から空気が排出される際に発生する空気の脈動や、排気通路２１０内における空気同士の衝突等を抑制し、騒音の発生を抑制することができる。また、外カバー１１３が、金属等に比較して吸音性を有する樹脂から形成されているため、排気出口１４９から排出された空気の振動を抑制することができる。

　以上説明したように、第２実施形態の真空ポンプによれば、以下の効果が得られるようになる。
　（７）環状の排気通路２１０に隔壁１９０が設けられることによって、ポンプ室出口１３１から排気出口１４９までの排気通路２１０に沿った最短長さよりも長い通路が形成されるため、その最短長さの経路に比べ、排気通路２１０の経路長を長くすることができる。このため、排気通路２１０内での空気の振動エネルギーを減衰する効果を高めることができるので、ボディ出口１２１からの排気に伴う騒音の低減を図ることができる。また、空気を、ポンプ室１２７の外周方向に沿って回るように通過させて整流することで、ポンプ室出口１３１から空気が排出される際に発生する空気の脈動や、排気通路２１０内における空気同士の衝突等を抑制し、騒音の発生を抑制することができる。

　（８）第１区画壁１４１～第３区画壁１４３は、排気通路２１０の高さＨ３よりも低いため、空気を通過させる一方で排気通路内の流路断面積を縮小し、排気通路２１０内で上流側と下流側とに圧力差を発生させる絞りとして機能する。排気通路２１０を通過する空気は、第１区画壁１４１～第３区画壁１４３以外の部分で膨張され、第１区画壁１４１～第３区画壁１４３を通過する際に収縮する。このように排気通路２１０内で空気が膨張及び収縮することにより、ポンプ室出口１３１から空気が排出される際に発生する空気の脈動が減衰されるため、騒音の低減効果を高めることができる。

　（９）第１突起部１８６及び第２突起部１８７は、排気通路２１０内で上流側と下流側とに圧力差を発生させる絞りとして機能するので、排気通路２１０を通過する空気は、第１突起部１８６及び第２突起部１８７以外の部分で膨張され、第１突起部１８６及び第２突起部１８７を通過する際に収縮する。このように排気通路内で空気が膨張及び収縮することにより、ポンプ室出口１３１から空気が排出される際に発生する空気の脈動が減衰されるため、騒音の低減効果を高めることができる。

　（１０）外カバー１１３の天井部１８０とポンプ部１６０とが離間することで、天井部１８０とポンプ部１６０との間に間隙２０１が設けられる。この間隙２０１によって、ポンプ部１６０の振動が外カバー１１３の天井部１８０に伝わる際に、振動エネルギーが減衰されるので、天井部１８０の振動による騒音を低減することができる。また、外カバー１１３の天井部１８０とポンプ部１６０との間の間隙２０１により、外カバー１１３によって第１排気溝１４５～第３排気溝１４７が覆われて形成される排気通路２１０の容積を大きくすることができる。このため、空気の膨張効果を高めることができる。

　（１１）外カバー１１３の天井部１８０に放射状リブ１８８が設けられることによって、天井部１８０自体の強度を高めることができ、ひいては天井部１８０自体の振動による騒音を抑制することができる。

　（１２）外カバー１１３は、金属等に比べ吸音効果のある樹脂から形成されるため、騒音の低減効果を高めることができる。
　なお、第２実施形態は、以下のような形態をもって実施することもできる。

　・第２実施形態では、ボディ１１２に形成された第１区画壁１４１と、外カバー１１３に形成された湾曲壁部１８３の端部１８４によって、ポンプ室出口１３１から排気出口１４９までの最短長さの経路を通る空気の流れを抑制する隔壁１９０を形成した。この態様以外に、隔壁を、ボディ１１２に形成された第１区画壁１４１のみによって形成してもよい。この場合、第１区画壁１４１は、第１排気溝１４５の高さよりも高く形成されて、外カバー１１３に向かって突出する。そして、外カバー１１３がボディ１１２に組み合された際に、第１区画壁１４１は、外カバー１１３の天井部１８０に向かって差し込まれる。また、隔壁を、外カバー１１３に形成された湾曲壁部１８３の端部１８４によって形成してもよい。この場合、湾曲壁部１８３のうち少なくとも端部１８４は、外カバー１１３の開口端よりも突出し、外カバー１１３がボディ１１２に組み合された際に、端部１８４は排気溝１４０に向かって差し込まれる。

　・第２実施形態では、排気溝１４０を、第１区画壁１４１～第３区画壁１４３によって３つに区画したが、２つに区画してもよいし、４つ以上の複数に区画してもよい。
　・流路断面積を縮小する絞りとして機能する外カバー１１３の突起部は、１つでもよく、３つ以上の複数でもよい。また、その高さや、外カバー１１３の径方向に沿った長さは、変更可能である。例えば、突起部は、ボディ１１２側に差し込まれる高さを有していてもよい。

　・流路断面積を縮小する絞りとして機能するボディ１１２の区画壁は、１つでもよく、３つ以上の複数でもよい。また、その高さや、ボディ１１２の径方向に沿った長さは、変更可能である。例えば、区画壁は、外カバー１１３側に差し込まれる高さを有していてもよい。

　・外カバー１１３の天井部１８０とポンプ部１６０とは、接触してもよい。この場合、外カバー１１３の天井部１８０とポンプ部１６０との間に、振動を吸収する吸収材等が設けられることが好ましい。

　・外カバー１１３の天井部１８０に放射状リブ１８８を形成したが、これ以外の形状のリブを形成してもよい。例えば、径方向中心で交差する複数の突状を形成してもよい。また、平行に延びる複数の突状を形成してもよい。

　・第２実施形態では、樹脂製の外カバー１１３を採用したが、樹脂以外の、例えば金属製の外カバー１１３を採用してもよい。なお、金属製の外カバー１１３の場合、外カバー１１３の天井部１８０とポンプ部１６０との間に、振動を吸収する吸収材等が設けられることが好ましい。

　・第２実施形態では、真空ポンプは、駆動源としてモータ１１１を備えるようにしたが、必ずしも駆動源を備える必要はなく、外部の駆動源に接続されるものであってもよい。例えば、ロータ１７２に貫挿される回転軸を、エンジンのクランクシャフトに接続してもよい。また、他の駆動装置の回転軸に連結してもよい。

　・第２実施形態では、ポンプ部１６０を、その一部がポンプ室１２７から突出する状態でポンプ室１２７に収容したが、ポンプ部１６０の高さをポンプ１２７室の高さ以下として、ポンプ部１６０をポンプ室１２７から突出させないで収容するようにしてもよい。

　・第２実施形態では、シリンダ１６１とボディ１１２とを別体とし、シリンダ１６１を圧入し、ボルト１３４ａ～１３４ｃを螺着することにより、シリンダ１６１を含むポンプ部１６０をボディ１１２に固定したが、シリンダ１６１はボディ１１２に鋳込まれたものであってもよい。また、シリンダ１６１とボディ１１２とを同一部材とし、シリンダ１６１を省略してもよい。

　・第２実施形態では、真空ポンプをベーンポンプに具体化したが、ベーンポンプ以外の種類のポンプであってもよい。例えば、回転体として互いに噛合する１対のギアを備えるギアポンプであってもよい。

　・第２実施形態の真空ポンプは、ドライポンプであり、騒音が低減されているため、多用な装置の真空源として用いることができる。例えば、車両のブレーキシステムの倍力装置に用いられる真空源、包装機械の真空源、印刷機、製本機、又はラベル貼りの真空源、ロボットの真空源等に用いることもできる。

　以下、図１４～図２１を参照して、真空ポンプの第３実施形態について説明する。図１４、１５及び１７に示す第３実施形態の真空ポンプの全体構造は、図１、２及び４に示す第１実施形態の真空ポンプの全体構造と同様である。同様の構成及び動作については、詳細な説明を省略する。

　具体的には、第３実施形態のモータ３１１、ボディ３１２、螺子孔３１２ａ～３１２ｄ、底部３１２ｅ、外壁部３１２ｆ、取付部３１２ｇ、外カバー３１３、接続管３１４、出力軸３１５、ボルト３１６ａ～３１６ｄ、ボディ入口３２０、ボディ出口３２１、上面３２４、収容壁３２５、底部３２６、ポンプ室３２７、貫通孔３２８、ポンプ室入口３３０、ポンプ室出口３３１、ボルト取付部３３３、ボルト３３４ａ～３３４ｃ、排気溝３４０、第１区画壁３４１～第３区画壁３４３、第１排気溝３４５～第３排気溝３４７、段差部３４８、排気出口３４９、ボルト貫通部３５０、ポンプ部３６０、シリンダ３６１、内周面３６１ａ、入口側連通孔３６２、出口側連通孔３６４、ボディ側プレート３７０、孔３７０ａ、カバー側プレート３７１、ロータ３７２、ベーン３７３、軸孔３７４、ベーン収容溝３７５、圧入ピン３７６、ポンプカバー３７７、ボルト貫挿孔３７７ａ、空間３７８、天井部３８０、筒部３８１は、それぞれ、第１実施形態のモータ１１、ボディ１２、螺子孔１２ａ～１２ｄ、底部１２ｅ、外壁部１２ｆ、取付部１２ｇ、外カバー１３、接続管１４、出力軸１５、ボルト１６ａ～１６ｄ、ボディ入口２０、ボディ出口２１、上面２４、収容壁２５、底部２６、ポンプ室２７、貫通孔２８、ポンプ室入口３０、ポンプ室出口３１、ボルト取付部３３、ボルト３４ａ～３４ｃ、排気溝４０、第１区画壁４１～第３区画壁４３、第１排気溝４５～第３排気溝４７、段差部４８、排気出口４９、ボルト貫通部５０、ポンプ部６０、シリンダ６１、内周面６１ａ、入口側連通孔６２、出口側連通孔６４、ボディ側プレート７０、孔７０ａ、カバー側プレート７１、ロータ７２、ベーン７３、軸孔７４、ベーン収容溝７５、圧入ピン７６、ポンプカバー７７、ボルト貫挿孔７７ａ、空間７８、天井部８０、及び筒部８１に相当する。
ロータ３７２は、上方から見て、反時計回りに回転される。なお、シリンダ３６１がシリンダ部に相当し、ボディ３１２と別体となっている。なお、入口側連通孔３６２ａがシリンダ部入口に相当し、出口側連通孔３６４がシリンダ部出口に相当する。

　図１８に示すように、入口側連通孔３６２ａは、ポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）の全部と連通し、ポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）に対してロータ３７２の回転方向と反対方向に延びた長孔である。すなわち、入口側連通孔３６２ａは、ポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）に対して時計回りに延びた長孔である。また、入口側連通孔３６２ａの開口部には、ポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）の開口部が全て含まれている。言い換えると、ポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）の開口部の直径Ｄ６は、入口側連通孔３６２ａの開口部の長手方向の長さＤ７よりも小さくなっている。

　また、図１９（ａ）に示すように、入口側連通孔３６２ａは、複数のベーン３７３のうち隣り合うベーン３７３の間隔Ｂ以内の範囲に設けられている。すなわち、入口側連通孔３６２ａの開口部の長手方向の長さＤ７は、隣り合うベーン３７３の間隔Ｂ以下に設定されている。なお、隣り合うベーン３７３の間隔Ｂは、隣り合うベーン３７３が入口側連通孔３６２ａの近傍において、ベーン３７３の先端がシリンダ３６１の内周面３６１ａに当接した部分同士のシリンダ３６１の内周面３６１ａに沿った長さである。

　続いて、図１９～図２１を参照して、上記のポンプ部３６０における入口側連通孔３６２ａの作用について説明する。なお、第３実施形態のシリンダ３６１（入口側連通孔３６２ａ）を図１９に示し、従来のシリンダ３６１（入口側連通孔３６２ｂ）を図２０に示す。図２１は、ベーン３７３の各回転位置Ｐ１～Ｐ１０におけるベーン３７３にかかる負荷荷重を示し、第３実施形態の負荷荷重を実線で示し、従来の負荷荷重を破線で示している。回転位置Ｐ１～Ｐ１０は、ロータ３７２の回転中心とベーン３７３の先端がシリンダ３６１の内周面３６１ａに当接した部分とを結んだ線の位置で示している。

　図１９（ａ）に示すように、回転位置Ｐ１は、ベーン３７３が入口側連通孔３６２ａを通過してすぐの位置である。図１９（ｂ）に示すように、回転位置Ｐ１０は、ベーン３７３が入口側連通孔３６２ａの開口部に含まれる位置である。

　一方、図２０（ａ）に示すように、回転位置Ｐ１は、ベーン３７３が入口側連通孔３６２ａを通過してすぐの位置である。図２０（ｂ）に示すように、従来のシリンダ３６１では、回転位置Ｐ１０は、ベーン３７３が入口側連通孔３６２ｂを通過する前の位置である。

　図２１には、真空ポンプが大気解放状態、実使用領域の下限圧状態、実使用領域の上限圧状態のそれぞれにおいて、ベーン３７３の各回転位置の負荷荷重を示している。第３実施形態の回転位置Ｐ１０におけるベーン３７３の負荷荷重は、従来の回転位置Ｐ１０におけるベーン３７３の負荷荷重に比べて小さくなっており、ほぼ０（Ｎ）となっている。すなわち、第３実施形態では、入口側連通孔３６２ａが長孔に形成されているので、図２０（ｂ）に示す円状の入口側連通孔３６２ｂであれば空気が取り込まれなかった吸気が開始される手前の圧縮室に、図１９（ｂ）に示すように、入口側連通孔３６２ａを介して空気が取り込まれるようになる。このため、図１９（ｂ）に示すベーン３７３の回転位置Ｐ１０におけるベーン３７３の前後の圧力差がほとんどなくなり、ベーン３７３にかかる負荷荷重を低減することができるようになっている。よって、ベーン３７３の寿命を長くすることができるようになる。

　以上説明したように、第３実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
　（１３）ベーンによって区画される複数の圧縮室は、ロータの回転方向に回転しながらその容積が変更される。発明者は、入口側連通孔を含む位置に形成される圧縮室は入口側連通孔から空気が取り込まれた状態であり、入口側連通孔を含む位置の前に形成される圧縮室には空気を排出した状態であるので、ベーンの前後の圧力差が最も大きくなり、ベーンに対する負荷荷重も大きいことを発見した。入口側連通孔３６２ａをポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）と連通し、ポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）に対してロータ３７２の回転方向と反対方向に延びた長孔とした。このため、従来入口側連通孔３６２ａから空気が取り込まれなかった、入口側連通孔３６２ａを含む位置の前に形成される圧縮室にも入口側連通孔３６２ａから空気が取り込まれるので、入口側連通孔３６２ａ付近におけるベーン３７３の前後の圧力差がほとんどなくなり、ベーン３７３に掛かる負荷荷重を低減することができる。よって、ベーン３７３の摩耗量を低減することができるので、ベーン３７３の寿命を長くすることができるようになる。

　（１４）隣り合うベーン３７３の間隔Ｂ以内の範囲に入口側連通孔３６２ａを設ける。このため、入口側連通孔３６２ａの前後に位置する隣り合う圧縮室の圧力差のみを抑制することができ、入口側連通孔３６２ａの前後に位置する隣り合う圧縮室以外の圧力に変更がないので、従来の圧縮効率を維持しつつ、ベーン３７３に対する負荷荷重を抑制して、ベーン３７３の寿命を延ばすことができるようになる。

　以下、図２２を参照して、真空ポンプの第４実施形態について説明する。第４実施形態の真空ポンプは、入口側連通孔３６２ａを長孔ではなく円状の孔とした点、及び長孔の代わりに凹部を設けた点が上記第３実施形態と異なっている。以下、第３実施形態との相違点を中心に説明する。

　図２２に示すように、シリンダ３６１には、ポンプ室３２７のポンプ室入口３３０に対応する位置に入口側連通孔３６２ｂが形成されている。つまり、入口側連通孔３６２ｂは、ボディ入口３２０と連通している。なお、入口側連通孔３６２ｂがシリンダ部入口に相当する。

　シリンダ３６１の内周面３６１ａには、ロータ３７２の軸方向において入口側連通孔３６２ｂが位置する部分を含み、シリンダ３６１の周方向に沿って少なくともロータ３７２の回転方向と反対方向に延びる凹部３６６が設けられている。すなわち、シリンダ３６１の周方向において、入口側連通孔３６２ｂの直径Ｄ８の範囲を含むように凹部３６６が位置している。シリンダ３６１の周方向における凹部３６６の長さＷ２は、入口側連通孔３６２ｂの直径Ｄ８よりも長くなるように設定されている。また、凹部３６６は、第３実施形態と同様に、複数のベーン３７３のうち隣り合うベーン３７３の間隔Ｂ以内の範囲に設けられている。すなわち、凹部３６６の長さＷ２は、隣り合うベーン３７３の間隔Ｂ以下に設定されている。

　このように、シリンダ３６１の内周面３６１ａに凹部３６６が形成されているので、図２０（ｂ）に示す円状の入口側連通孔３６２ｂであれば空気が取り込まれなかった吸気が開始される手前の圧縮室に、凹部３６６を介して空気が取り込まれるようになる。このため、第３実施形態と同様に、ベーン３７３の回転位置Ｐ１０におけるベーン３７３の前後の圧力差がほとんどなくなり、ベーン３７３にかかる負荷荷重を低減することができるようになっている。よって、ベーン３７３の寿命を長くすることができるようになる。

　以上説明したように、第４実施形態によれば、第３実施形態の（１３）及び（１４）の効果を奏することができる。
　通常、隣り合うベーンとロータとシリンダとによって圧縮室が形成される。発明者は、入口側連通孔を含む位置に形成される圧縮室は入口側連通孔から空気が取り込まれた状態となり、入口側連通孔を含む位置の前に形成される圧縮室には空気を排出した状態となるので、圧縮室内の圧力差が最も大きくなり、ベーンに対する負荷荷重が大きいことを発見した。そこで、第４実施形態の構成では、シリンダ６１の内周面にシリンダ６１の周方向に沿って少なくともロータ７２の回転方向と反対方向に延びる凹部６６を設けた。このため、従来入口側連通孔から空気が取り込まれなかった入口側連通孔を含む位置の前に形成される圧縮室にも凹部を介して空気が取り込まれるので、入口側連通孔付近におけるベーンの前後の圧力差がほとんどなくなり、ベーンに掛かる負荷荷重を低減することができる。よって、ベーンの摩耗量を低減することができるので、ベーンの寿命を長くすることができるようになる。

　隣り合うベーン３７３の間隔以内の範囲に凹部３６６を設ける。このため、入口側連通孔３６２ｂの前後に位置する隣り合う圧縮室の圧力差のみを抑制することができ、入口側連通孔３６２ｂの前後に位置する隣り合う圧縮室以外の圧力に変更がないので、従来の圧縮効率を維持しつつ、ベーン３７３に対する負荷荷重を抑制して、ベーン３７３の寿命を延ばすことができるようになる。

　なお、第３及び第４実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもができる。
　・第３実施形態では、入口側連通孔３６２ａがポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）と全部と連通したが、ポンプ室入口３３０（ボディ入口３２０）の一部とだけ連通してもよい。

　・第３実施形態では、入口側連通孔３６２ａがロータ３７２の回転方向と反対方向にのみ延びた長孔としたが、入口側連通孔３６２ａがロータ３７２の回転方向にも延びた長孔としてもよい。

　・第４実施形態では、凹部３６６がロータ３７２の回転方向と反対方向にのみ延びたが、凹部３６６がロータ３７２の回転方向にも延びてもよい。
　・第４実施形態では、シリンダ３６１の内周面３６１ａに凹部３６６を設けたが、凹部３６６に代えて、シリンダ３６１の外周面に入口側連通孔３６２ｂと連通する凹部と、凹部と連通するとともに、シリンダ３６１を貫通する貫通孔とを備えてもよい。例えば、図２３に示すように、ロータ３７２の軸方向において入口側連通孔３６２ｂが位置する部分を含み、シリンダ３６１の周方向に沿って少なくともロータ３７２の回転方向と反対方向に延びる凹部３６７と、ロータ３７２の回転方向における入口側連通孔３６２ｂよりも後側に設けられ、凹部３６７と連通し、シリンダ３６１を貫通する貫通孔３６８とを備える。すなわち、シリンダ３６１の周方向において、入口側連通孔３６２ｂの直径Ｄ９の範囲を含むように凹部３６７が位置している。シリンダ３６１の周方向における凹部３６７の長さＷ３は、入口側連通孔３６２ｂの直径Ｄ９よりも長くなるように設定されている。また、凹部３６７は、第３実施形態と同様に、複数のベーン３７３のうち隣り合うベーン３７３の間隔Ｂ以内の範囲に設けられている。すなわち、凹部３６６の長さＷ２は、隣り合うベーン３７３の間隔Ｂ以下に設定されている。また、貫通孔３６８は、貫通孔３６８の直径Ｄ１０が凹部３６７の長さＷ３に含まれるように位置している。

　このように、シリンダ３６１の外周面に凹部３６７と貫通孔３６８とが形成されているので、図２０（ｂ）に示す円状の入口側連通孔３６２ｂであれば空気が取り込まれなかった吸気が開始される手前の圧縮室に、凹部３６７と貫通孔３６８とを介して空気が取り込まれるようになる。このため、第３実施形態と同様に、ベーン３７３の回転位置Ｐ１０におけるベーン３７３の前後の圧力差がほとんどなくなり、ベーン３７３にかかる負荷荷重を低減することができるようになっている。よって、ベーン３７３の寿命を長くすることができるようになる。

　・第３及び第４では、樹脂製の外カバー３１３を採用したが、樹脂以外の、例えば金属製の外カバー３１３を採用してもよい。なお、金属製の外カバー３１３の場合、外カバー３１３の天井部３８０とポンプ部３６０との間に、振動を吸収する吸収材等が設けられることが好ましい。

　・第３及び第４実施形態では、排気溝３４０を設けたが、ポンプ室出口３３１からボディ出口３２１に直接連通してもよい。また、このような場合には、外カバー３１３を省略してもよい。

　・第３及び第４実施形態では、ボディ側プレート３７０及びカバー側プレート３７１を設けたが、ロータ３７２が摺動して回転することができるならば、ボディ側プレート３７０及びカバー側プレート３７１を省略してもよい。

　・第３及び第４実施形態では、外壁部３１２ｆのさらに内側に収容壁３２５を設けたが、外壁部３１２ｆと収容壁３２５とを一体としてもよい。この場合、排気溝３４０が省略される。

　・第３及び第４実施形態では、シリンダ３６１にボルト嵌挿溝３６５を設けたが、圧入とボルト３３４ａ，３３４ｂ，３３４ｃによる螺子止めとによって固定できれば、ボルト嵌挿溝３６５を省略してもよい。

　・第３及び第４実施形態では、シリンダ３６１をボディ３１２に対して圧入して螺子止めしたが、シリンダ３６１とボディ３１２との組み付け方法はこれに限らず、例えばボディを鋳造する際にシリンダを一緒に鋳込んでもよい。

　・第３及び第４実施形態では、シリンダ３６１とボディ３１２とを別体としたが、同じ材料で所望の性能が得られるならば、シリンダ３６１とボディ３１２とを一体成型してもよい。

　・第３及び第４実施形態の真空ポンプは、ドライポンプであり、多用な装置の真空源として用いることができる。例えば、車両のブレーキシステムの倍力装置に用いられる真空源、包装機械の真空源、印刷機、製本機、又はラベル貼りの真空源、ロボットの真空源等に用いることもできる。

　以下、図２４～図２８を参照して、真空ポンプの第５実施形態を説明する。
　まず図２４を参照して、真空ポンプの全体構成について詳述する。
　図２４に示すように、真空ポンプは、モータ４１１と、モータ４１１の出力軸側に組み付けられるボディ４１２と、ボディ４１２の開口部を閉蓋するポンプカバー４１３とを備える。この真空ポンプは、ポンプ室に潤滑油を使用しないことで、内部に取り込んだ空気を油と接触させないドライポンプである。

　ボディ４１２は、アルミニウム等の金属から形成された円柱状の部品である。ボディ４１２には、ボディ４１２内に空気を取り込むボディ入口４２０と、ボディ４１２から空気を排出するボディ出口４２１とが設けられている。ボディ入口４２０及びボディ出口４２１は、ボディ４１２の側面、すなわちモータ４１１の回転軸の軸方向に沿った面に設けられている。ボディ入口４２０には、減圧対象となるタンク等に接続される接続管４１４が挿入されている。

　ポンプカバー４１３は、アルミニウム等の金属から形成され、筒状の筒部４８１と、筒部４８１の一方の端部を閉塞する閉蓋部４８０とを備えている。筒部４８１の外周の２箇所には、ボルト４１６を貫通させるためのボルト貫通部４５０が設けられている。ボルト４１６は、例えば六角穴付ボルトである。ポンプカバー４１３の開口端がボディ４１２の一面であるカバー側の上面４２４に当接させた状態で、ポンプカバー４１３がボディ４１２に対して組み付けられる。ボディ４１２の上面４２４には、ポンプ室４２７を囲んで環状のシール溝４２４ａが形成されている。このシール溝４２４ａには環状のシール材４４０が配置されている。ボルト４１６がボルト貫通部４５０に貫通されるとともに、ボディ４１２に形成された螺子孔４１２ａに螺着されることにより、ポンプカバー４１３がボディ４１２の上面４２４に固定されている。ボディ４１２の外壁部４１２ｂには、真空ポンプを外部装置等に取り付けるための一対の取付部４１２ｃが設けられている。

　図２５に示すように、ボディ４１２には、モータ４１１の回転軸Ｘ１の軸方向に孔が形成された収容壁４２５が設けられている。収容壁４２５の中心軸Ｘ２は、モータ４１１の回転軸Ｘ１に対してずれた位置に形成されている。収容壁４２５の内側は、ポンプ室４２７に相当する。この収容壁４２５は、ポンプとして機能するポンプ部４６０を収容する。ポンプ部４６０は、円筒状のシリンダ４６１と、円柱状の回転体であるロータ４７２とを備える。シリンダ４６１は、鉄等の金属製である。ボディ４１２の収容壁４２５には、シリンダ４６１が鋳込まれている。具体的には、シリンダ４６１を金型に設置した状態で、この金型に注湯することにより当該シリンダ４６１を一体に鋳込んだボディ４１２が鋳造される。ボディ４１２の回転軸Ｘ１方向の長さＨ１は、シリンダ４６１の回転軸Ｘ１方向の長さＨ２よりも長くなっている。このため、このシリンダ４６１がボディ４１２から突出せず、ボディ４１２の小型化を図ることができる。更に、ボディ４１２はロータ４７２よりも熱伝導性の高い材料で形成されている。これによれば、ポンプ部４６０において発生した熱がボディ４１２に速やかに伝達されて、ボディ４１２から放熱することができる。また、ポンプカバー４１３が熱伝導性の高い材料で形成されているので、ポンプ部４６０において発生した熱がポンプカバー４１３に速やかに伝達されて、ポンプカバー４１３から放熱することができる。

　シリンダ４６１の内側には、ロータ４７２が回動可能に収容されている。ロータ４７２は、鉄等の金属製であり、軸孔４７４と、５つのベーン収容溝４７５とが形成されている（図２６参照）。軸孔４７４の内周面と出力軸４１５の先端とには、互いが噛合するスプライン溝（図示略）が形成されている。ベーン収容溝４７５には、カーボン製の板状のベーン４７３が出没自在にそれぞれ収容されている。

　シリンダ４６１のボディ４１２側の開口は、ボディ側プレート４７０によって閉塞されている。また、シリンダ４６１のポンプカバー４１３側の開口は、カバー側プレート４７１によって閉塞されている。ボディ側プレート４７０及びカバー側プレート４７１は、ベーン４７３に対する摩擦係数が小さいカーボン等の材料製であって、円板状に形成されている。ボディ側プレート４７０には、モータ４１１の出力軸４１５を貫挿する孔４７０ａが形成されている。ボディ側プレート４７０及びカバー側プレート４７１の直径は、シリンダ４６１の内径よりも大きく設定されている。ボディ側プレート４７０及びカバー側プレート４７１は、ウェーブワッシャ４７９によりそれぞれ付勢されて、シリンダ４６１の各開口にそれぞれ押し付けられている。なお、ウェーブワッシャ４７９の替わりにシールリングを設けても良い。

　図２６に示すように、収容壁４２５には、ポンプ室４２７に空気を取り込むためのポンプ室入口４３０と、ポンプ室４２７から空気を排出するためのポンプ室出口４３１とが貫通形成されている。ポンプ室入口４３０は、ボディ入口４２０に連通されている。

　ポンプ室出口４３１は、収容壁４２５の外側に設けられた第１排気溝４４５に連通している。第１排気溝４４５は、収容壁４２５の外周面に沿ってポンプ室入口４３０から遠い位置に形成されている。ボディ出口４２１は、収容壁４２５の外側に設けられた第２排気溝４４６に連通している。このボディ出口４２１には、ボディ４１２内への空気の逆流を防止するためのチェックバルブ４２２が装着されている。

　シリンダ４６１には、ポンプ室４２７のポンプ室入口４３０に対応する位置に形成された入口側連通孔４６２と、ポンプ室出口４３１とに対応する位置に形成された出口側連通孔４６４とが形成されている。シリンダ４６１の内側は、接続管４１４に連なる入口側連通孔４６２及び出口側連通孔４６４を除いて、密閉されたポンプ室４２７が形成されている。なお、出口側連通孔４６４がシリンダ出口に相当する。

　図２５に示すように、第１排気溝４４５、第２排気溝４４６、及びポンプカバー４１３の内側によって膨張室４９０が形成されている。この膨張室４９０に流入した圧縮空気は、当該膨張室４９０内で膨張、分散して当該膨張室４９０の放射状リブ４８２に衝突して乱反射する。これにより、圧縮空気の音エネルギーが減衰されるため、排気する際の騒音及び振動の低減を図ることができる。

　次に図２６を参照して、ポンプ部４６０の動作について説明する。ポンプ室４２７には、ポンプ室４２７内に偏心させて取り付けられたロータ４７２によって、略三日月状の空間４７８が形成される。

　図２６に示すように、モータ４１１の駆動によりロータ４７２が回転すると、ベーン４７３が遠心力によりベーン収容溝４７５に沿ってロータ４７２の径方向外側へ突出し、その先端をシリンダ４６１の内周面４６１ａに当接させる。これにより、ポンプ室４２７内の略三日月状の空間４７８が、５枚のベーン４７３と、ロータ４７２の外周面と、シリンダ４６１の内周面４６１ａとによって囲まれる５つの圧縮室に区画される。

　これらの圧縮室は、ロータ４７２の回転に伴って同一方向に移動する。圧縮室が移動する際、圧縮室の容積は、ポンプ室入口４３０近傍で大きくなり、ポンプ室出口４３１で小さくなる。つまり、ポンプ室入口４３０から１つの圧縮室に吸入された空気は、ロータ４７２の回転に伴って圧縮されて、ポンプ室出口４３１から吐出される。ポンプ部４６０では、ロータ４７２及びベーン４７３がシリンダ４６１内を回転することにより空気を圧縮しているため、ポンプ室出口４３１から圧縮空気が間欠的に吐出される。

　次に図２７及び図２８を参照して、ポンプカバー４１３について説明する。
　図２７に示すように、ポンプカバー４１３の内側には、放射状リブ４８２が形成されている。放射状リブ４８２は、閉蓋部４８０の中央に設けられた環状リブ４８３と、環状リブ４８３から筒部４８１に向かって直線状に延びる複数（第５実施形態では１２個）の直線リブ４８４とからなる。放射状リブ４８２が閉蓋部４８０を補強しているので、閉蓋部４８０は振動が抑制されている。これにより、閉蓋部４８０の振動に伴う騒音が抑制される。

　また、図２５に示すように、環状リブ４８３は、閉蓋部４８０からの高さが直線リブ４８４よりも低くなっている。ポンプカバー４１３がボディ４１２に組み付けられてポンプカバー４１３の筒部４８１がボディ４１２の端部に当接されるとき、環状リブ４８３とカバー側プレート４７１との間に隙間Ｇが設けられる。このため、環状リブ４８３が低くなっていることでできた隙間Ｇを介して直線リブ４８４によって区画された空間同士を空気が行き来することができる。この隙間Ｇは、通過した際の上流側及び下流側に圧力差を発生させる絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。

　図２８に示すように、直線リブ４８４によって区画された空間のうち、第１排気溝４４５と連通している空間を第１空間Ｓ１とし、第２排気溝４４６と連通している空間を第２空間Ｓ２とし、第１排気溝４４５及び第２排気溝４４６とも連通していない空間を第３空間Ｓ３とする。環状リブ４８３によって区画された空間を第４空間Ｓ４とする。

　ポンプカバー４１３がボディ４１２に組み付けられたときに、第１排気溝４４５と第２排気溝４４６とを区画している区画壁４４７に直線リブ４８４の一つが当接する。このため、第１排気溝４４５に流入した空気は、直線リブ４８４によって区画された第１空間Ｓ１から環状リブ４８３によって区画された第４空間Ｓ４と直線リブ４８４によって区画された第２空間Ｓ２とを経由しなければ第２排気溝４４６に到達することができないようになっている。よって、ポンプ室４２７から第１排気溝４４５に排出された空気がボディ出口４２１から排出されるまでに流れる距離を長くすることができる。

　次に図２６及び図２８を参照して、真空ポンプの作用について説明する。
　図２６に示すように、モータ４１１の駆動によりロータ４７２が回転すると、矢印Ｆ１３に示すように、接続管４１４を介して、ボディ入口４２０、ポンプ室入口４３０、及び入口側連通孔４６２を通過してポンプ室４２７内へ空気が取り込まれる。ベーン４７３等によって区画される圧縮室に吸入された空気は、矢印Ｆ１４に示すように、圧縮されて、矢印Ｆ１５に示すように、ポンプ室出口４３１から第１排気溝４４５へ排出されて膨張する。

　図２８に示すように、第１排気溝４４５へ排出された空気は、矢印Ｆ１６に示すように、第１排気溝４４５から直線リブ４８４によって区画された第１空間Ｓ１を通過して、第１空間Ｓ１から隙間Ｇによって収縮されて、環状リブ４８３によって区画された第４空間Ｓ４へ流入して膨張する。そして、環状リブ４８３に区画された第４空間Ｓ４に流入した空気は、矢印Ｆ１７に示すように、環状リブ４８３に区画された第４空間Ｓ４内で旋回し、矢印Ｆ１８に示すように、隙間Ｇによって収縮されて、直線リブ４８４によって区画された第３空間Ｓ３内に流入して膨張する。続いて、第３空間Ｓ３内に流入した空気は、矢印Ｆ１９に示すように、隙間Ｇによって収縮されて、環状リブ４８３によって区画された第４空間Ｓ４へ流入して膨張する。また、環状リブ４８３に区画された第４空間Ｓ４に流入した空気は、矢印Ｆ２０に示すように、隙間Ｇによって収縮されて、直線リブ４８４によって区画された第２空間Ｓ２内に流入して膨張しつつ、第２排気溝４４６に流入する。

　図２６に示すように、第２排気溝４４６へ流入した空気は、矢印Ｆ２１に示すように、ボディ出口４２１のチェックバルブ４２２を介して外部に排出される。
　この種の真空ポンプでは、ベーン４７３を備えたロータ４７２が回転することにより、ポンプ室出口４３１からは圧縮空気が間欠的に吐出されるため、ポンプ室出口４３１からボディ出口４２１までの距離が短いと、一定の基本周波数で圧力脈動が生じることによりボディ出口４２１において騒音が発生することがある。

　膨張室４９０を備えた上記真空ポンプでは、ポンプ室出口４３１から排出された空気の多くは、ポンプカバー４１３の内側に設けられた直線リブ４８４によって区画された空間Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４において膨張し、合わせて隙間Ｇによって収縮される。すなわち、ポンプ室出口４３１からボディ出口４２１までの間に、空気は、膨張と収縮とを複数回繰り返す。その結果、空気の脈動が減衰され、振動に起因する騒音が抑制される。また、空気が膨張室４９０内において空間Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４及び隙間Ｇを通過しながら膨張と収縮とを繰り返すことで、放熱することができる。

　以上説明したように、第５実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
　（１５）筒部４８１と閉蓋部４８０とを有するポンプカバー４１３としたので、筒部４８１の分だけボディ４１２から閉蓋部４８０が離間して、ポンプカバー４１３内に空間を持たせることができるようになる。これにより、出口側連通孔４６４から排出された空気がポンプカバー４１３内の空間において膨張することができ、排気音を低減することができるようになる。また、ポンプカバー４１３の内側に放射状リブ４８２を設けたので、ポンプカバー４１３の強度が向上して、振動を抑制することができるので、閉蓋部４８０の振動による騒音を低減することができる。

　（１６）ポンプカバー４１３の内側に放射状リブ４８２を設けたので、閉蓋部４８０自体の強度を高めることができ、ひいては閉蓋部４８０の振動による騒音を抑制することができるようになる。

　（１７）ポンプカバー４１３の内側に絞りとして機能する隙間Ｇが設けられているので、空気が収縮されて、その後膨張することで、騒音を低減することができるようになる。
　（１８）ボディ４１２に外部に空気を排出するボディ出口４２１を設けたので、出口側連通孔４６４から排出された空気が第１排気溝４４５、第２排気溝４４６、及びポンプカバー４１３の内側の空間（膨張室４９０）に進入して膨張されたあとにボディ出口４２１から排出されるようになり、排気に伴う騒音をさらに低減することができるようになる。

　（１９）シリンダ４６１がボディ４１２のポンプカバー４１３側の上面４２４から突出しないので、ボディ４１２のポンプカバー４１３側とポンプカバー４１３とによって形成される空間（膨張室４９０）を大きく確保することができるようになる。

　なお、第５実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもができる。
　・第５実施形態では、シリンダ４６１がボディ４１２のポンプカバー４１３側の端面（上面４２４）から突出しないようにしたが、ボディ４１２とポンプカバー４１３とによって形成される空間に余裕があれば、シリンダ４６１がボディ４１２から突出してもよい。

　・第５実施形態では、真空ポンプの外部に空気を排出する出口をボディ４１２に設けたが、ボディ４１２ではなくポンプカバーに出口を設けてもよい。
　・第５実施形態では、絞りとして機能するように環状リブ４８３を直線リブ４８４よりも低くしたが、環状リブ４８３と直線リブ４８４とを同じ高さにしてもよい。

　・上記構成において、ポンプカバー４１３の内側に設けた直線リブ４８４の数量は、１２個に限らず、任意に設定可能である。
　・第５実施形態では、ポンプカバー４１３の内側に放射状リブ４８２を設けたが、放射状リブ４８２のうち環状リブ４８３を省略して、直線リブ４８４のみにしてもよい。

　・第５実施形態では、ポンプカバー４１３の内側に、環状リブ４８３と直線リブ４８４とを有する放射状リブ４８２を設けたが、環状リブ４８３と直線リブ４８４との組み合わせに限らず、ポンプカバー４１３の内側の膨張室４９０に流入した空気が撹拌されるような他の形状であってもよい。

　・第５実施形態では、ボディ４１２を鋳造する際にシリンダ４６１を一緒に鋳込んだが、シリンダ４６１とボディ４１２との組み付け方法はこれに限らず、例えばシリンダ４６１をボディ４１２に対して圧入して螺子止めしてもよい。

　・第５実施形態では、真空ポンプをベーンポンプに具体化したが、ベーンポンプ以外の種類のポンプであってもよい。例えば、回転体として互いに噛合する１対のギアを備えるギアポンプであってもよい。

　・第５実施形態の真空ポンプは、ドライポンプであり、騒音が低減されているため、多用な装置の真空源として用いることができる。例えば、車両のブレーキシステムの倍力装置に用いられる真空源、包装機械の真空源、印刷機、製本機、又はラベル貼りの真空源、ロボットの真空源等に用いることもできる。

　・第５実施形態では、ボディ４１２とシリンダ４６１とを別体で設けたが、一体で設けてもよい。例えば、ボディ４１２の収容壁４２５とシリンダ４６１とを一体で設けてもよい。

　・第５実施形態では、筒部４８１の断面形状は、円形、三角形、四角形、星形等、どのような形状でもよい。

Claims (23)

1. 　モータの駆動によって回転される回転体と、
   　前記回転体を収容するシリンダと、
   　前記シリンダが取り付けられるとともに、前記モータが取り付けられるボディと、を備え、
   　前記シリンダは、前記ボディに圧入されることによって前記ボディに取り付けられ、
   　前記シリンダの一部が前記回転体の軸方向において前記ボディから突出している、真空ポンプ。
2. 　請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   　前記ボディは、前記モータの回転軸を支持する軸受部を備え、前記モータの筐体の開口部を閉蓋する、真空ポンプ。
3. 　請求項１又は２に記載の真空ポンプにおいて、
   　前記シリンダは、前記圧入に加え、螺子によって前記ボディに取り付けられ、
   　前記シリンダの外周部には、前記螺子とともに前記シリンダの回転を規制する回転規制部を備える、真空ポンプ。
4. 　請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
   　ポンプカバーをさらに備え、
   　前記シリンダは、円筒状であって、
   　前記ポンプカバーは、前記シリンダの第１端開口部を閉塞しつつ、前記シリンダとともに前記螺子によって前記ボディに締結されており、
   　前記ボディは、筒状の筒部と、当該筒部の一端を閉塞する底部とを備え、
   　前記シリンダの第２端開口部は、前記ボディの底部によって閉塞される、真空ポンプ。
5. 　請求項４に記載の真空ポンプにおいて、
   　前記シリンダの軸方向において、前記ボディの底部と前記回転体との間に設置される第１プレートと、
   　前記シリンダの軸方向において、前記回転体と前記ポンプカバーとの間に設置される第２プレートと、をさらに備え、
   　前記回転体は、前記第１プレート及び前記第２プレートに摺動可能である、真空ポンプ。
6. 　請求項１～５のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
   　前記ボディに取り付けられ、前記シリンダを覆う外カバーをさらに備える、真空ポンプ。
7. 　回転体を収容したポンプ部と、
   　ボディであって、該ボディは、
   　　前記ポンプ部を収容するポンプ室と、
   　　前記ポンプ室に空気を取り込むポンプ室入口と、
   　　前記ポンプ室から空気を排出するポンプ室出口と、
   　　前記ポンプ室出口から排出される空気が流入する排気溝と、を含む前記ボディと、
   　前記排気溝を覆って排気通路を形成すべく前記ボディに組み付けられる外カバーと、を備え、
   　前記ボディはボディ出口を有しており、
   　前記排気通路は、前記ポンプ室の外周に設けられた環状の通路であって、前記ボディ出口に連通する排気出口を備えており、
   　前記外カバー及び前記ボディの少なくとも一方は、前記排気通路を区画する隔壁を備えており、
   　当該隔壁は、前記排気通路に沿った前記ポンプ室出口から前記排気出口までの最短長さよりも長い通路を形成する、真空ポンプ。
8. 　請求項７に記載の真空ポンプにおいて、
   　前記排気溝には、前記排気通路の高さよりも低い区画壁が設けられている、真空ポンプ。
9. 　請求項７または８に記載の真空ポンプにおいて、
   　前記外カバーは前記排気通路に突出する突起部を備えており、
   　該突起部は、前記外カバーが前記ボディに組み付けられたときに前記ボディと対向する前記外カバーの面に位置している、真空ポンプ。
10. 　請求項７～９のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記外カバーは、筒部と、当該筒部の一方の開口を閉塞する天井部と、を備え、
    　当該天井部と前記ポンプ部とは離間している、真空ポンプ。
11. 　請求項７～１０のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記外カバーは、リブを有する天井部を備えている、真空ポンプ。
12. 　請求項７～１１のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記外カバーは樹脂からなる、真空ポンプ。
13. 　複数のベーンを有する回転体と、
    　前記回転体を収容するシリンダを含むボディと、を備え、
    　前記ボディは、空気を取り込むボディ入口を有しており、
    　前記シリンダは、
    　前記ボディ入口に接続され、前記シリンダ内に空気を取り込むシリンダ部入口と、
    　前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、を含んでおり、
    　前記シリンダ部入口は、前記ボディ入口の少なくとも一部と連通しており、
    　前記シリンダ部入口は、前記ボディ入口に対して前記回転体の少なくとも回転方向と反対方向に延びた長孔である、真空ポンプ。
14. 　請求項１３に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記シリンダ部入口は、前記複数のベーンのうち隣り合うベーンの間隔以内の範囲に設けられる、真空ポンプ。
15. 　複数のベーンを有する回転体と、
    　前記回転体を収容するシリンダを含むボディと、を備え、
    　前記シリンダは、
    　　前記シリンダ内に空気を取り込むシリンダ部入口と、
    　　前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、
    　　前記シリンダの内周面に設けられる凹部と、を含んでおり、
    　前記凹部は、前記シリンダの軸方向において前記シリンダ部入口が位置する部分を含んでおり、
    　前記凹部は、前記シリンダの周方向に沿って少なくとも前記回転体の回転方向と反対方向に延びている、真空ポンプ。
16. 　請求項１５に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記凹部は、前記複数のベーンのうち隣り合うベーンの間隔以内の範囲に設けられる、真空ポンプ。
17. 　複数のベーンを有する回転体と、
    　前記回転体を収容するシリンダを含むボディと、を備え、
    　前記シリンダは、
    　　前記シリンダ内に空気を取り込むシリンダ部入口と、
    　　前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、
    　　前記シリンダの外周面に設けられる凹部と、
    　　前記回転体の回転方向において前記シリンダ部入口よりも後側に設けられる貫通孔と、を含んでおり、
    　前記凹部は、前記シリンダの軸方向において前記シリンダ部入口が位置する部分を含んでおり、
    　前記凹部は、前記シリンダの周方向に沿って少なくとも前記回転体の回転方向と反対方向に延びており、
    　前記貫通孔は、前記凹部と連通するとともに前記シリンダを貫通している、真空ポンプ。
18. 　請求項１７に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記凹部及び前記貫通孔は、前記複数のベーンのうち隣り合うベーンの間隔以内の範囲に設けられる、真空ポンプ。
19. 　回転体を収容するシリンダと、
    　前記シリンダ内から空気を排出するシリンダ部出口と、
    　前記シリンダ部出口から排出された空気が通過する排気溝と、を有するボディと、
    　前記ボディを閉蓋して、前記排気溝とともに空気が膨張する空間を形成する外カバーと、を備え、
    　前記外カバーは、筒部と、当該筒部の一端開口部を閉蓋する閉蓋部と、を有し、
    　前記外カバーの内側には、リブが設けられている、真空ポンプ。
20. 　請求項１９に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記リブは、前記閉蓋部の中央から前記筒部に向かって放射状に延びている、真空ポンプ。
21. 　請求項１９又は２０に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記外カバーの内側には、空気の流れを収縮する絞りが設けられている、真空ポンプ。
22. 　請求項１９～２１のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記ボディは、外部に空気を排出するボディ出口を有している、真空ポンプ。
23. 　請求項１９～２２のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
    　前記シリンダは、前記ボディの前記外カバーと対向する端面から突出しない、真空ポンプ。

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