WO2016157554A1 - 電磁波シールド材 - Google Patents

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WO2016157554A1
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insulating layer
metal foil
shielding material
electromagnetic
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田中　幸一郎
佐藤　賢次
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JX Nippon Mining and Metals Corp
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Definitions

  • the present invention relates to an electromagnetic shielding material.
  • the present invention relates to a covering material or an exterior material for an electric / electronic device.
  • electromagnetic waves are radiated not only from automobiles but also from many electric / electronic devices including communication devices, displays and medical devices. Electromagnetic waves can cause malfunction of precision equipment, and there is also concern about the effects on the human body. For this reason, various techniques for reducing the influence of electromagnetic waves using electromagnetic shielding materials have been developed.
  • a copper foil composite formed by laminating a copper foil and a resin film is used as an electromagnetic shielding material (Japanese Patent Laid-Open No. 7-290449).
  • the copper foil has electromagnetic shielding properties, and the resin film is laminated for reinforcing the copper foil.
  • An electromagnetic wave shield structure in which metal layers are laminated on the inner side and the outer side of an intermediate layer made of an insulating material (Japanese Patent No. 4602680).
  • An electromagnetic wave shielding optical member comprising: a base substrate; and a laminated member formed on one surface of the base substrate and including a plurality of repeating unit films including a metal layer and a high refractive index layer (niobium pentoxide).
  • niobium pentoxide high refractive index layer
  • the present invention was created in view of the above circumstances, and has an object to provide an electromagnetic wave shielding material excellent in electromagnetic wave shielding characteristics, light weight characteristics, and molding processability, and in particular, a covering material for electric / electronic equipment or It is an object to provide an electromagnetic wave shielding material suitable as an exterior material.
  • the present inventor made extensive studies to solve the above problems, and found that the electromagnetic wave shielding effect was remarkably improved by laminating three or more metal foils through an insulating layer. And it discovered that the electromagnetic wave shielding effect especially excellent was shown by combining suitably the electrical conductivity and thickness of metal foil, and the thickness of an insulating layer in this case.
  • This invention is completed based on the said knowledge, and can be specified as follows.
  • An electromagnetic wave shielding material having a structure in which at least three metal foils are laminated via an insulating layer, and all combinations of the metal foil and the insulating layer constituting the electromagnetic wave shielding material are ⁇ M ⁇ d M ⁇ d
  • An electromagnetic shielding material satisfying R ⁇ 3 ⁇ 10 ⁇ 3 R ⁇ 3 ⁇ 10 ⁇ 3 .
  • the symbol in a formula shows the following.
  • ⁇ M conductivity of metal foil at 20 ° C.
  • d M Metal foil thickness (m)
  • R thickness of insulating layer (m)
  • the electrical conductivity of each metal foil at 20 ° C. is 1.0 ⁇ 10 6 S / m or more.
  • the thickness of each metal foil is 4 to 100 ⁇ m.
  • the relative dielectric constant at 20 ° C. of each insulating layer is 2.0 to 10.0.
  • the thickness of each insulating layer is 4 to 500 ⁇ m.
  • the total thickness of the metal foil is 15 to 150 ⁇ m.
  • the present invention is a covering material or an exterior material for an electric / electronic device provided with the electromagnetic wave shielding material according to the present invention.
  • the present invention is an electric / electronic device including the covering material or the exterior material according to the present invention.
  • the electromagnetic wave shielding material according to the present invention an excellent electromagnetic wave shielding effect is obtained while reducing the total thickness of the metal foil to be used by laminating three or more metal foils under a predetermined condition through an insulating layer. It becomes possible. Thereby, weight reduction can be achieved and molding processability can be secured. Moreover, the electromagnetic wave shielding material according to the present invention can be constructed with a simple configuration of a metal foil and an insulating layer, and is excellent in economic efficiency.
  • Metal foil Although there is no restriction
  • Such metals include iron conductivity of about 9.9 ⁇ 10 6 S / m, the conductivity of about 14.5 ⁇ 10 6 S / m of nickel, the conductivity of about 39.6 ⁇ 10 6 S Aluminum having a conductivity of about 58.0 ⁇ 10 6 S / m, and silver having a conductivity of about 61.4 ⁇ 10 6 S / m. In consideration of both electrical resistivity and cost, it is preferable in practical use to use aluminum or copper. All the metal foils used in the electromagnetic wave shielding material according to the present invention may be the same metal, or different metals may be used for each layer. Moreover, the metal alloy mentioned above can also be used. Various surface treatment layers for the purpose of adhesion promotion, environmental resistance, heat resistance and rust prevention may be formed on the surface of the metal foil.
  • Au plating, Ag plating, Sn plating, Ni plating, Zn plating, Sn alloy plating (Sn—Ag) for the purpose of improving the environmental resistance and heat resistance required when the metal surface is the outermost layer.
  • Sn—Ni, Sn—Cu, etc. Sn—Ni, Sn—Cu, etc.
  • chromate treatment Sn plating or Sn alloy plating is preferable.
  • chromate treatment roughening treatment, Ni plating and the like can be performed. These processes may be combined. Roughening treatment is preferable because adhesion can be easily obtained.
  • a metal layer having a high relative permeability can be provided for the purpose of enhancing the shielding effect against a DC magnetic field.
  • the metal layer having a high relative magnetic permeability include Fe—Ni alloy plating and Ni plating.
  • the shielding performance improves, a thing with high purity is preferable, and purity is preferably 99.5 mass% or more, More preferably, it is 99.8 mass% or more.
  • a rolled copper foil, an electrolytic copper foil, a copper foil by metallization, or the like can be used, and a rolled copper foil excellent in flexibility and moldability is preferable.
  • alloy elements are added to the copper foil to obtain a copper alloy foil, the total content of these elements and inevitable impurities may be less than 0.5% by mass.
  • the copper foil contains at least one selected from the group consisting of Sn, Mn, Cr, Zn, Zr, Mg, Ni, Si, and Ag in a total amount of 200 to 2000 ppm by mass
  • a pure copper foil having the same thickness This is preferable because the elongation is further improved.
  • the thickness of the metal foil used for the electromagnetic wave shielding material according to the present invention is preferably 4 ⁇ m or more per sheet. If it is less than 4 ⁇ m, the ductility of the metal foil is remarkably lowered, and the molding processability of the shield material may be insufficient. Further, if the thickness of the foil per sheet is less than 4 ⁇ m, it is necessary to laminate a large number of metal foils in order to obtain an excellent electromagnetic wave shielding effect, which causes a problem that the manufacturing cost increases. From such a viewpoint, the thickness of the metal foil is more preferably 10 ⁇ m or more, still more preferably 15 ⁇ m or more, still more preferably 20 ⁇ m or more, and further preferably 25 ⁇ m or more.
  • the thickness of the foil is preferably 100 ⁇ m or less, more preferably 50 ⁇ m or less, and more preferably 45 ⁇ m because the moldability deteriorates even if the thickness of the foil per sheet exceeds 100 ⁇ m. It is still more preferable that it is below, and it is still more preferable that it is 40 micrometers or less.
  • the metal foil it is necessary for the metal foil to be present in at least three layers in the electromagnetic shielding material from the viewpoint of securing excellent electromagnetic shielding characteristics while reducing the total thickness of the metallic foil. If the number of metal foil layers is one or two, the total thickness of the metal foil necessary for obtaining a magnetic field shielding characteristic of 30 dB or more in a low frequency region with a frequency of about 1 MHz will increase. Since the thickness of the metal foil is increased, the moldability is adversely affected. Further, by laminating three or more metal foils, even when the total thickness of the metal foils is the same, the shielding effect is remarkably improved as compared with the case where the metal foil is a single layer or two layers.
  • the number of metal foils in the shield material is preferably 5 or less, and more preferably 4 or less.
  • the total thickness of the metal foil can be 15 to 150 ⁇ m, can be 100 ⁇ m or less, can be 80 ⁇ m or less, and can be 60 ⁇ m or less. You can also
  • the dielectric constant of the insulating layer is small. Specifically, it is preferably 10 or less (the value at 20 ° C., the same shall apply hereinafter) or less, and 5.0 or less. Is more preferable, and it is still more preferable that it is 3.5 or less.
  • the dielectric constant is never less than 1.0. Generally, it is about 2.0 at least for materials that can be obtained, and even if it is further lowered and approaches 1.0, the increase in shielding effect is limited, but the material itself becomes special and expensive. It becomes. Considering the balance between cost and action, the relative dielectric constant is preferably 2.0 or more, and more preferably 2.2 or more.
  • examples of the material constituting the insulating layer include glass, metal oxide, paper, natural resin, and synthetic resin, and synthetic resin is preferable from the viewpoint of processability. These materials can be mixed with fiber reinforcing materials such as carbon fiber, glass fiber and aramid fiber. Synthetic resins include polyesters such as PET (polyethylene terephthalate), PEN (polyethylene naphthalate) and PBT (polybutylene terephthalate), olefinic resins such as polyethylene and polypropylene, polyamides, from the viewpoint of availability and processability.
  • Polyimide liquid crystal polymer, polyacetal, fluorine resin, polyurethane, acrylic resin, epoxy resin, silicone resin, phenol resin, melamine resin, ABS resin, polyvinyl alcohol, urea resin, polyvinyl chloride, polycarbonate, polystyrene, styrene butadiene rubber, etc.
  • PET, PEN, polyamide, and polyimide are preferred for reasons of processability and cost.
  • the synthetic resin may be an elastomer such as urethane rubber, chloroprene rubber, silicone rubber, fluoro rubber, styrene, olefin, vinyl chloride, urethane, and amide.
  • the synthetic resin itself may serve as an adhesive, and in this case, a structure in which metal foils are laminated via the adhesive is obtained.
  • the adhesive is not particularly limited, but acrylic resin, epoxy resin, urethane, polyester, silicone resin, vinyl acetate, styrene butadiene rubber, nitrile rubber, phenol resin, cyanoacrylate, etc. For reasons of ease of production and cost, urethane, polyester, and vinyl acetate are preferred.
  • Resin material can be laminated in the form of a film or fiber. Further, the resin layer may be formed by applying an uncured resin composition to the metal foil and then curing the resin composition, but it is preferable to make a resin film that can be applied to the metal foil for ease of manufacture.
  • a PET film can be suitably used.
  • the strength of the shield material can be increased by using a biaxially stretched film as the PET film.
  • the thickness of the insulating layer is not particularly limited, but if the thickness per sheet is less than 4 ⁇ m, the (elongation) breaking strain of the shield material tends to decrease, so the thickness per insulating layer is 4 ⁇ m or more. It is preferably 7 ⁇ m or more, more preferably 10 ⁇ m or more, even more preferably 20 ⁇ m or more, still more preferably 40 ⁇ m or more, and further preferably 80 ⁇ m or more. And more preferably 100 ⁇ m or more. On the other hand, even if the thickness per sheet exceeds 600 ⁇ m, the (elongation) breaking strain of the shielding material tends to decrease. Therefore, the thickness per insulating layer is preferably 600 ⁇ m or less, and more preferably 500 ⁇ m or less.
  • ⁇ M conductivity of metal foil at 20 ° C.
  • S / m Metal foil thickness (m)
  • ⁇ R dielectric constant of insulating layer at 20 ° C.
  • the electromagnetic wave shielding material according to the present invention can be manufactured by laminating the metal foil and the insulating layer described above. At this time, selecting the metal foil and the insulating layer so that all combinations of the metal foil and the insulating layer constituting the electromagnetic wave shielding material satisfy ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R ⁇ 3 ⁇ 10 ⁇ 3 , This is important from the viewpoint of significantly enhancing the electromagnetic shielding effect.
  • the shield effect (SE) can be expressed by the following equation using the Schelkunoff equation.
  • the shield characteristic when the shield materials are laminated is theoretically obtained by the product of the four-terminal matrix corresponding to each layer.
  • an incident wave and a transmitted wave when a shield material is configured by a laminated structure of metal (M1) / resin (R1) / metal (M2) can be expressed by the following equations.
  • the incident wave and the transmitted wave when the shield material is configured by a laminated structure of metal (M1) / resin (R1) / metal (M2) / resin (R2) / metal (M3) can be expressed by the following equations. it can.
  • the shielding effect in the laminate of the metal foil and the insulating layer is obtained by increasing ⁇ M ⁇ d M ⁇ Z R ⁇ ⁇ R ⁇ d R for all combinations of the metal foil and the insulating layer to be used. It can be theoretically understood that it can be improved. However, as described in, for example, “Kenichi Hatakeyama,“ Electromagnetic shielding course for the first time ”Science Information Publishing (2013), p. 56”, conventionally (Z R ⁇ ⁇ R ⁇ d R ) is in the low frequency range. Therefore, according to this concept, ⁇ M ⁇ d M ⁇ Z R ⁇ ⁇ R ⁇ d R is also a parameter that can be approximated to 0.
  • ⁇ M ⁇ d M ⁇ Z R ⁇ ⁇ R ⁇ d R becomes a large value that cannot be approximated to 0, and is low. It was found that there was a significant effect even in the frequency domain.
  • the present inventor repeats the experiment of the shielding effect in the laminate of the metal foil and the insulating layer, and that ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R has a significant influence even in a low frequency region of about 1 MHz.
  • the shielding effect is that the metal foil and the insulating layer are selected so that all combinations of the metal foil and the insulating layer constituting the heading and the electromagnetic wave shielding material satisfy ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R ⁇ 3 ⁇ 10 ⁇ 3.
  • all combinations of the metal foil and the insulating layer constituting the electromagnetic wave shielding material satisfy ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R ⁇ 1 ⁇ 10 ⁇ 2 , and ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R ⁇ 4 ⁇ 10 ⁇ . 2 is more preferable, ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R ⁇ 8 ⁇ 10 ⁇ 2 is still more preferable, and ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R ⁇ 1 ⁇ 10 ⁇ 1 is even more preferable. preferable.
  • ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R No particular upper limit is set for ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R , but usually ⁇ M ⁇ for all combinations of the metal foil and the insulating layer constituting the electromagnetic wave shielding material in consideration of the thickness and the material used.
  • d M ⁇ d R ⁇ 10 typically ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R ⁇ 1.
  • an adhesive may be used between the insulating layer and the metal foil, or the insulating layer may be thermocompression bonded to the metal foil without using the adhesive. It is possible to simply overlap without using an adhesive, but considering the integrity of the electromagnetic shielding material, at least the edges (for example, each side when the shielding material is a square) should be joined with an adhesive or by thermocompression bonding. Is preferred. However, it is preferable to use an adhesive from the viewpoint of not applying excessive heat to the insulating layer.
  • the adhesive is the same as described above, and there is no particular limitation, but acrylic resin, epoxy resin, urethane, polyester, silicone resin, vinyl acetate, styrene butadiene rubber, nitrile rubber, phenol Resin-based, cyanoacrylate-based and the like can be mentioned, and urethane-based, polyester-based, and vinyl acetate-based are preferable for ease of production and cost.
  • the thickness of the adhesive layer is preferably 6 ⁇ m or less. When the thickness of the adhesive layer exceeds 6 ⁇ m, only the metal foil is easily broken after being laminated on the metal foil composite. However, when the adhesive layer as described above also serves as the insulating layer, the thickness is not limited to this, and the thickness described in the description of the insulating layer can be used.
  • the electromagnetic wave shielding material according to the present invention needs to have a structure in which at least three metal foils are laminated via an insulating layer.
  • the following is mentioned as an example of the laminated structure which comprises the said requirements.
  • the layer indicated in parentheses may be added as appropriate.
  • one “metal foil” can be formed by laminating a plurality of metal foils without using an insulating layer, and one “insulating layer” can also be used without using a metal foil.
  • a plurality of insulating layers can be stacked.
  • layers other than an insulating layer and metal foil can also be provided.
  • the total thickness of the electromagnetic wave shielding material can be 50 to 1500 ⁇ m, can be 1000 ⁇ m or less, can be 600 ⁇ m or less, and can be 400 ⁇ m or less. It can also be 200 micrometers or less.
  • the electromagnetic wave shielding material according to the present invention is particularly used for electric / electronic devices (for example, inverters, communication devices, resonators, electron tubes / discharge lamps, electric heating devices, electric motors, generators, electronic components, printed circuits, medical devices, etc.). Used for various electromagnetic shielding applications such as coating materials or exterior materials, harnesses and communication cable coating materials connected to electrical / electronic devices, electromagnetic shielding sheets, electromagnetic shielding panels, electromagnetic shielding bags, electromagnetic shielding boxes, electromagnetic shielding rooms, etc. It is possible.
  • electric / electronic devices for example, inverters, communication devices, resonators, electron tubes / discharge lamps, electric heating devices, electric motors, generators, electronic components, printed circuits, medical devices, etc.
  • electromagnetic shielding applications such as coating materials or exterior materials, harnesses and communication cable coating materials connected to electrical / electronic devices, electromagnetic shielding sheets, electromagnetic shielding panels, electromagnetic shielding bags, electromagnetic shielding boxes, electromagnetic shielding rooms, etc. It is possible.
  • the electromagnetic wave shielding material it is possible to have a magnetic field shielding characteristic of 36 dB or more (how much the signal is attenuated on the receiving side) at 1 MHz, and preferably a magnetic field shielding characteristic of 40 dB or more. More preferably 50 dB or more, even more preferably 60 dB or more, even more preferably 70 dB or more. For example, it can have a magnetic field shielding characteristic of 36 to 90 dB.
  • the magnetic field shield characteristic is measured by the KEC method.
  • the KEC method refers to the “electromagnetic shielding characteristic measurement method” at the Kansai Electronics Industry Promotion Center.
  • Comparative Example 3 Magnetic field shielding effect when three metal foils are laminated
  • Comparative Example 1 was prepared by preparing three rolled copper foils (thickness: 33 ⁇ m), simply laminating them without using an adhesive, and installing them on a magnetic field shielding effect evaluation device (Techno Science Japan, Model TSES-KEC). The magnetic field shielding effect was evaluated by the same method.
  • Comparative example 4 Magnetic shielding effect when two metal foils are laminated via an insulating layer
  • PET polyethylene terephthalate
  • a rolled copper foil with a thickness of 7 ⁇ m as a metal foil By using a polyethylene terephthalate (PET) film with a thickness of 250 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil with a thickness of 7 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Comparative Example 5 Magnetic field shielding effect when two metal foils are laminated via an insulating layer
  • PET polyethylene terephthalate
  • a rolled copper foil having a thickness of 8 ⁇ m as a metal foil By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 8 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Comparative Example 6 Magnetic field shielding effect when two metal foils are installed via an air layer
  • Air was used as the insulating layer, and aluminum foils having a thickness of 6 ⁇ m and 30 ⁇ m were used as the metal foils, and electromagnetic wave shielding materials having the laminated structure shown in Table 1 were produced.
  • the two aluminum foils were arranged in parallel at an interval of 50 ⁇ m in the air with a copper plate having a large square opening at the center.
  • This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • Example 1 By using a polyimide (PI) film with a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil with a thickness of 17 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, an electromagnetic wave having the laminated structure shown in Table 1 A shield material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PI polyimide
  • Example 2 By using a polyethylene terephthalate (PET) film with a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, an aluminum foil with a thickness of 20 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, an electromagnetic wave having the laminated structure shown in Table 1 A shield material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PET polyethylene terephthalate
  • Example 3 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, an electrolytic copper foil having a thickness of 30 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Example 4 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a nickel foil having a thickness of 50 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, electromagnetic waves having the laminated structure shown in Table 1 A shield material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PET polyethylene terephthalate
  • a nickel foil having a thickness of 50 ⁇ m as a metal foil
  • Example 5 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a soft iron foil having a thickness of 50 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, an electromagnetic wave having a laminated structure described in Table 1 A shield material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PET polyethylene terephthalate
  • Example 6 By using a polytetrafluoroethylene (PTFE) film having a thickness of 500 ⁇ m as an insulating layer, a stainless steel foil having a thickness of 50 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic wave shielding material having the same was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • Example 7 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 6 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Example 8 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 17 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Example 9 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 33 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PET polyethylene terephthalate
  • Example 10 By using a polyethylene terephthalate (PET) film with a thickness of 9 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil with a thickness of 7 ⁇ m and 33 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure described in Table 1 An electromagnetic shielding material having a thickness of 10 was prepared. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Example 11 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 500 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 17 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PET polyethylene terephthalate
  • Example 12 By using a polytetrafluoroethylene (PTFE) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 17 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 An electromagnetic shielding material having a thickness of 10 was prepared. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • Example 13 An electromagnetic wave having a laminated structure shown in Table 1 by using a polyamide (PA) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 17 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive. A shield material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PA polyamide
  • TSES-KEC Magnetic field shielding effect evaluation apparatus
  • Example 14 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as the insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 33 ⁇ m and a nickel foil having a thickness of 30 ⁇ m as the metal foil, and simply laminating without using an adhesive, Table 1 An electromagnetic shielding material having the described laminated structure was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Example 15 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 12 ⁇ m as the insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 12 ⁇ m and a rolled copper foil having a thickness of 17 ⁇ m as the metal foil, and simply laminating without using an adhesive, Table 1 An electromagnetic shielding material having the laminated structure described in 1 was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • a magnetic field shielding effect evaluation apparatus Techno Science Japan Model TSES-KEC
  • Example 16 By using a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 ⁇ m as an insulating layer, a rolled copper foil having a thickness of 12 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, the laminated structure shown in Table 1 is obtained. An electromagnetic shielding material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PET polyethylene terephthalate
  • Example 17 By using a polyethylene terephthalate (PET) film with a thickness of 9 ⁇ m as an insulating layer, an aluminum foil with a thickness of 20 ⁇ m as a metal foil, and simply laminating without using an adhesive, an electromagnetic wave having the laminated structure shown in Table 1 A shield material was produced. This electromagnetic shielding material was installed in a magnetic field shielding effect evaluation apparatus (Techno Science Japan Model TSES-KEC), and the magnetic field shielding effect was evaluated in the same manner as in Comparative Example 1.
  • PET polyethylene terephthalate
  • Example 1 in which three metal foils are laminated via an insulating layer, and ⁇ M ⁇ d M ⁇ d R is 3 ⁇ 10 ⁇ 3 or more for all combinations of the metal foil and the insulating layer. It can be understood that the shielding effect is remarkably excellent. For example, in contrast to Comparative Example 1 in which a thickness of 150 ⁇ m was required to obtain a shielding effect of 31.1 dB with a single copper foil, Example 1 uses only a copper foil having a thickness of about 1/3. Nevertheless, the shielding effect is improved by about 26 dB.
  • Example 2 uses only an aluminum foil having a thickness of 1/5. Nevertheless, the shielding effect is improved by about 19 dB.
  • the minimum sigma M d M d prefer R is higher in the combination of the metal foil and the insulating layer, it can understand that a high shielding effect while reducing the total thickness of the metal foil can be obtained.
  • the total thickness of the copper foil is 51 ⁇ m, but it can be seen that there is a large difference in the shielding effect due to the difference in the minimum ⁇ M d M d R.

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Abstract

　電磁波シールド特性、軽量特性、及び成形加工性に優れた電磁波シールド材を提供する。少なくとも３枚の金属箔が絶縁層を介して積層された構造を有する電磁波シールド材であって、当該電磁波シールド材を構成する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせが、σM×ｄM×ｄR≧３×１０-3を満たす電磁波シールド材。但し、式中の記号は以下を示す。σM：金属箔の２０℃における導電率（Ｓ／ｍ）、ｄM：金属箔の厚み（ｍ）、ｄR：絶縁層の厚み（ｍ）

Description

電磁波シールド材
　本発明は電磁波シールド材に関する。とりわけ、本発明は電気・電子機器の被覆材又は外装材に関する。
　近年、地球環境問題に対する関心が全世界的に高まっており、電気自動車やハイブリッド自動車といった二次電池を搭載した環境配慮型自動車の普及が進展している。これらの自動車においては、搭載した二次電池から発生する直流電流をインバータを介して交流電流に変換した後、必要な電力を交流モータに供給し、駆動力を得る方式を採用するものが多い。インバータのスイッチング動作等に起因して電磁波が発生する。電磁波は車載の音響機器や無線機器等の受信障害となることから、インバータ或いはインバータと共にバッテリーやモータ等を金属製ケース内に収容して、電磁波シールドするという対策が行われてきた（特開２００３－２８５００２号公報）。
　また、自動車に限らず、通信機器、ディスプレイ及び医療機器を含め多くの電気・電子機器から電磁波が放射される。電磁波は精密機器の誤作動を引き起こす可能性があり、更には、人体に対する影響も懸念される。このため、電磁波シールド材を用いて電磁波の影響を軽減する各種の技術が開発されてきた。例えば、銅箔と樹脂フィルムとを積層してなる銅箔複合体が電磁波シールド材として用いられている（特開平７－２９０４４９号公報）。銅箔は電磁波シールド性を有し、樹脂フィルムは銅箔の補強のために積層される。また、絶縁材料からなる中間層の内側と外側にそれぞれ金属層を積層した電磁波シールド構造も知られている（特許第４６０２６８０号公報）。また、ベース基板と、前記ベース基板の一面に形成されて、金属層および高屈折率層（五酸化ニオブ）を含む複数の反復単位膜で構成された積層部材とを具備する電磁波遮断用光学部材も知られている（特開２００８－２１９７９号公報）。
特開２００３－２８５００２号公報 特開平７－２９０４４９号公報 特許第４６０２６８０号公報 特開２００８－２１９７９号公報
　自動車においては燃費向上の観点から軽量化が大きな課題となっており、金属材料から樹脂材料や炭素繊維材料への転換も検討が進んでいる。しかしながら、樹脂材料や炭素繊維材料には電磁波シールド効果は期待できない。かといって金属製の電磁波シールド材の厚みを小さくし過ぎると優れたシールド効果（例えば、１ＭＨｚ～１０００ＭＨｚにおいて、３６ｄＢ以上）が得られない。特開平７－２９０４４９号公報に記載の技術や特許第４６０２６８０号公報の記載の技術も同様であり、優れたシールド効果を得るのに必要な電磁波シールド材の厚みはかなり大きくする必要があり、十分な軽量化が達成できず、また、優れた成形加工性を得ることもできない。特開２００８－２１９７９号公報に記載の技術は光の通過を確保するためにナノメートルオーダーの金属層を積層する技術であるため、電磁波シールド特性に限界があるし、薄すぎることで成形加工性にも難がある。
　本発明は上記事情に鑑みて創作されたものであり、電磁波シールド特性、軽量特性、及び成形加工性に優れた電磁波シールド材を提供することを課題とし、特に電気・電子機器用の被覆材又は外装材として好適な電磁波シールド材を提供することを課題とする。
　本発明者は上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねたところ、３枚以上の金属箔を絶縁層を介して積層することで、電磁波シールド効果が格段に向上することを見出した。そして、この際に金属箔の導電率及び厚み、並びに絶縁層の厚みを適切に組み合わせることで特に優れた電磁波シールド効果を示すことを見出した。本発明は当該知見に基づいて完成したものであり、以下のように特定することができる。
　本発明は一側面において、
　少なくとも３枚の金属箔が絶縁層を介して積層された構造を有する電磁波シールド材であって、当該電磁波シールド材を構成する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせが、σM×ｄM×ｄR≧３×１０-3を満たす電磁波シールド材。
　但し、式中の記号は以下を示す。
σM：金属箔の２０℃における導電率（Ｓ／ｍ）
ｄM：金属箔の厚み（ｍ）
ｄR：絶縁層の厚み（ｍ）
　本発明に係る電磁波シールド材の一実施形態においては、各金属箔の２０℃における導電率が１．０×１０6Ｓ／ｍ以上である。
　本発明に係る電磁波シールド材の別の一実施形態においては、各金属箔の厚みが４～１００μｍである。
　本発明に係る電磁波シールド材の更に別の一実施形態においては、各絶縁層の２０℃における比誘電率が２．０～１０．０である。
　本発明に係る電磁波シールド材の更に別の一実施形態においては、各絶縁層の厚みが４～５００μｍである。
　本発明に係る電磁波シールド材の更に別の一実施形態においては、金属箔の合計厚みが１５～１５０μｍである。
　本発明は別の一側面において、本発明に係る電磁波シールド材を備えた電気・電子機器用の被覆材又は外装材である。
　本発明は更に別の一側面において、本発明に係る被覆材又は外装材を備えた電気・電子機器である。
　本発明に係る電磁波シールド材では、３枚以上の金属箔を絶縁層を介して所定の条件下で積層したことで、使用する金属箔の合計厚みを小さくしながらも優れた電磁波シールド効果を得ることが可能となる。これにより、軽量化が達成できるほか、成形加工性も確保することができる。また、本発明に係る電磁波シールド材は金属箔と絶縁層という単純な構成で構築可能であり、経済性にも優れている。
（金属箔）
　本発明に係る電磁波シールド材に使用する金属箔の材料としては特に制限はないが、交流磁界や交流電界に対するシールド特性を高める観点からは、導電性に優れた金属材料とすることが好ましい。具体的には、導電率が１．０×１０6Ｓ／ｍ（２０℃の値。以下同じ。）以上の金属によって形成することが好ましく、金属の導電率が１０．０×１０6Ｓ／ｍ以上であるとより好ましく、３０．０×１０6Ｓ／ｍ以上であると更により好ましく、５０．０×１０6Ｓ／ｍ以上であると最も好ましい。このような金属としては、導電率が約９．９×１０6Ｓ／ｍの鉄、導電率が約１４．５×１０6Ｓ／ｍのニッケル、導電率が約３９．６×１０6Ｓ／ｍのアルミニウム、導電率が約５８．０×１０6Ｓ／ｍの銅、及び導電率が約６１．４×１０6Ｓ／ｍの銀が挙げられる。電気抵抗率とコストの双方を考慮すると、アルミニウム又は銅を採用することが実用性上好ましい。本発明に係る電磁波シールド材中に使用する金属箔はすべて同一の金属であってもよいし、層毎に異なる金属を使用してもよい。また、上述した金属の合金を使用することもできる。金属箔表面には接着促進、耐環境性、耐熱及び防錆などを目的とした各種の表面処理層が形成されていてもよい。
　例えば、金属面が最外層となる場合に必要とされる耐環境性、耐熱性を高めることを目的として、Ａｕめっき、Ａｇめっき、Ｓｎめっき、Ｎｉめっき、Ｚｎめっき、Ｓｎ合金めっき（Ｓｎ－Ａｇ、Ｓｎ－Ｎｉ、Ｓｎ－Ｃｕなど）、クロメート処理などを施すことができる。これらの処理を組み合わせてもよい。コストの観点からＳｎめっきあるいはＳｎ合金めっきが好ましい。
　また、金属箔と絶縁層との密着性を高めることを目的として、クロメート処理、粗化処理、Ｎｉめっきなどを施すことができる。これらの処理を組み合わせてもよい。粗化処理が密着性を得られやすく好ましい。
　また、直流磁界に対するシールド効果を高めることを目的として、比透磁率の高い金属層を設けることができる。比透磁率の高い金属層としてはＦｅ－Ｎｉ合金めっき、Ｎｉめっきなどが挙げられる。
　銅箔を使用する場合、シールド性能が向上することから、純度が高いものが好ましく、純度は好ましくは９９．５質量％以上、より好ましくは９９．８質量％以上である。銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔、メタライズによる銅箔等を用いることができるが、屈曲性及び成形加工性に優れた圧延銅箔が好ましい。銅箔中に合金元素を添加して銅合金箔とする場合、これらの元素と不可避的不純物との合計含有量が０．５質量％未満であればよい。特に、銅箔中に、Ｓｎ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｚｎ、Ｚｒ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｓｉ、及びＡｇの群から選ばれる少なくとも１種以上を合計で２００～２０００質量ｐｐｍ含有すると、同じ厚みの純銅箔より伸びが向上するので好ましい。
　本発明に係る電磁波シールド材に使用する金属箔の厚みは、一枚当たり４μｍ以上であることが好ましい。４μｍ未満だと金属箔の延性が著しく低下し、シールド材の成形加工性が不十分となる場合がある。また、一枚当たりの箔の厚みが４μｍ未満だと優れた電磁波シールド効果を得るために多数の金属箔を積層する必要が出てくるため、製造コストが上昇するという問題も生じる。このような観点から、金属箔の厚みは一枚当たり１０μｍ以上であることがより好ましく、１５μｍ以上であることが更により好ましく、２０μｍ以上であることが更により好ましく、２５μｍ以上であることが更により好ましく、３０μｍ以上であることが更により好ましい。一方で、一枚当たりの箔の厚みが１００μｍを超えても成形加工性を悪化させることから、箔の厚みは一枚当たり１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、４５μｍ以下であることが更により好ましく、４０μｍ以下であることが更により好ましい。
　金属箔は電磁波シールド材中で少なくとも３層存在することが、金属箔の合計厚みを薄くしながらも優れた電磁波シールド特性を確保する観点から必要である。金属箔の層が１枚や２枚だと、周波数が１ＭＨｚ程度の低周波領域において３０ｄＢ以上の磁界シールド特性を得るために必要な金属箔の合計厚みが大きくなってしまうし、一枚当たりの金属箔の厚みも大きくなるので成形加工性にも悪影響が出る。また、金属箔を３枚以上積層することで、金属箔の合計厚みが同じだとしても金属箔が単層の場合や２枚積層する場合に比べて、シールド効果が顕著に向上する。ただし、金属箔の積層枚数は多い方が電磁波シールド特性は向上するものの、積層枚数を多くすると積層工程が増えるので製造コストの増大を招き、また、シールド向上効果も飽和する傾向にあるため、電磁波シールド材中の金属箔は５枚以下であるのが好ましく、４枚以下であるのがより好ましい。
　従って、本発明に係る電磁波シールド材の一実施形態においては、金属箔の合計厚みを１５～１５０μｍとすることができ、１００μｍ以下とすることもでき、８０μｍ以下とすることもでき、６０μｍ以下とすることもできる。
（絶縁層）
　本発明に係る電磁波シールド材において、複数枚の金属箔を積層することによる電磁波シールド効果の顕著な改善は、金属箔と金属箔の間に絶縁層を挟み込むことで得られる。金属箔同士を直接重ねても、金属箔の合計厚みが増えることでシールド効果が向上するものの、顕著な向上効果は得られない。これは、金属箔間に絶縁層が存在することで電磁波の反射回数が増えて、電磁波が減衰されることによると考えられる。
　絶縁層としては、金属層とのインピーダンスの差が大きいものの方が、優れた電磁波シールド効果を得る上では好ましい。大きなインピーダンスの差を生じさせるには、絶縁層の比誘電率が小さいことが必要であり、具体的には１０（２０℃の値。以下同じ。）以下であることが好ましく、５．０以下であることがより好ましく、３．５以下であることが更により好ましい。比誘電率は原理的には１．０より小さくなることはない。一般的に手に入る材料では低くても２．０程度であり、これ以上低くして１．０に近づけてもシールド効果の上昇は限られている一方、材料自体が特殊なものになり高価となる。コストと作用との兼ね合いを考えると、比誘電率は２．０以上であることが好ましく、２．２以上であることがより好ましい。
　具体的には、絶縁層を構成する材料としてはガラス、金属酸化物、紙、天然樹脂、合成樹脂が挙げられ、加工性の観点から合成樹脂が好ましい。これらの材料には炭素繊維、ガラス繊維及びアラミド繊維などの繊維強化材を混入させることも可能である。合成樹脂としては、入手のしやすさや加工性の観点から、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）及びＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等のポリエステル、ポリエチレン及びポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、液晶ポリマー、ポリアセタール、フッ素樹脂、ポリウレタン、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリビニルアルコール、尿素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリスチレン、スチレンブタジエンゴム等が挙げられ、これらの中でも加工性、コストの理由によりＰＥＴ、ＰＥＮ、ポリアミド、ポリイミドが好ましい。合成樹脂はウレタンゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、スチレン系、オレフィン系、塩ビ系、ウレタン系、アミド系などのエラストマーとすることもできる。更には、合成樹脂自体が接着剤の役割を担ってもよく、この場合は金属箔が接着剤を介して積層された構造となる。接着剤としては特に制限はないが、アクリル樹脂系、エポキシ樹脂系、ウレタン系、ポリエステル系、シリコーン樹脂系、酢酸ビニル系、スチレンブタジエンゴム系、ニトリルゴム系、フェノール樹脂系、シアノアクリレート系などが挙げられ、製造しやすさとコストの理由により、ウレタン系、ポリエステル系、酢酸ビニル系が好ましい。
　樹脂材料はフィルム状や繊維状の形態で積層することができる。また、金属箔に未硬化の樹脂組成物を塗布後に硬化させることで樹脂層を形成してもよいが、金属箔に貼付可能な樹脂フィルムとするのが製造しやすさの理由により好ましい。特にＰＥＴフィルムを好適に用いることができる。特に、ＰＥＴフィルムとして２軸延伸フィルムを用いることにより、シールド材の強度を高めることができる。
　絶縁層の厚みは特に制限されないが、一枚当たりの厚みが４μｍより薄いとシールド材の（伸び）破断歪が低下する傾向にあることから、絶縁層の一枚当たりの厚みは４μｍ以上であることが好ましく、７μｍ以上であることがより好ましく、１０μｍ以上であることが更により好ましく、２０μｍ以上であることが更により好ましく、４０μｍ以上であることが更により好ましく、８０μｍ以上であることが更により好ましく、１００μｍ以上であることが更により好ましい。一方、一枚当たりの厚みが６００μｍを超えてもシールド材の（伸び）破断歪が低下する傾向にある。そこで、絶縁層の一枚当たりの厚みは６００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であることがより好ましい。
（電磁波シールド材）
　本明細書で使用する各種記号は以下のように定義される。
σM：金属箔の２０℃における導電率（Ｓ／ｍ）
ｄM：金属箔の厚み（ｍ）
ＺR：絶縁層のインピーダンス（Ω）＝Ｚ0×√（１／εR）
εR：絶縁層の２０℃における比誘電率
γR：伝搬定数＝ｊ×２π√（εR／λ）；ｊは虚数単位
λ：波長（ｍ）：１ＭＨｚでは３００ｍ
ｄR：絶縁層の厚み（ｍ）
Ｚo：真空のインピーダンス＝３７７Ω
　本発明に係る電磁波シールド材は、上述した金属箔と絶縁層を積層することで製造可能である。この際、電磁波シールド材を構成する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせが、σM×ｄM×ｄR≧３×１０-3を満たすように、金属箔と絶縁層を選択することが、電磁波シールド効果を顕著に高める観点から重要となる。
　シールド特性は、入射波の電界をＥx i、磁界をＨx iとし、透過波の電界をＥx t、磁界をＨx tとすると、四端子行列を用いて以下の関係で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　この場合、シールド効果（ＳＥ）は、シェルクノフの式を用いると次式で表現することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　金属箔をシールド材として用いたときは、ａ＝１、ｂ＝０、ｃ＝σM×ｄM、ｄ＝１とすることができる。これを式１に代入すると次式のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　絶縁層をシールド材として用いたときは、ａ＝１、ｂ＝ＺR×γR×ｄR、ｃ＝γR×ｄR／ＺR、ｄ＝１とすることができる。これを式１に代入すると次式のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
　更に、シールド材を積層したときのシールド特性は各層に対応する四端子行列の積で理論的には求められる。例えば、金属（Ｍ１）／樹脂（Ｒ１）／金属（Ｍ２）の積層構造でシールド材を構成したときの入射波と透過波は以下の式で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
　また、金属（Ｍ１）／樹脂（Ｒ１）／金属（Ｍ２）／樹脂（Ｒ２）／金属（Ｍ３）の積層構造でシールド材を構成したときの入射波と透過波は以下の式で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　これを展開すると、次式が得られる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
 ここで、Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤは以下である。
Ａ＝１＋ＺR1γR1ｄR1σM2ｄM2＋ＺR2γR2ｄR2σM3ｄM3＋ＺR1γR1ｄR1σM3ｄM3＋ＺR1γR1ｄR1ＺR2γR2ｄR2σM2ｄM2σM3ｄM3
Ｂ＝ＺR2γR2ｄR2＋ＺR1γR1ｄR1ＺR2γR2ｄR2σM2ｄM2＋ＺR1γR1ｄR1
Ｃ＝σM1ｄM1＋σM2ｄM2＋σM3ｄM3＋γR1ｄR1／ＺR1＋γR2ｄR2／ＺR2＋ＺR1γR1ｄR1σM1ｄM1＋ＺR1γR1ｄR1σM1ｄM1σM3ｄM3＋ＺR1γR1ｄR1ＺR2γR2ｄR2σM1ｄM1σM2ｄM2σM3ｄM3＋ＺR2γR2ｄR2σM2ｄM2σM3ｄM3＋ＺR2γR2ｄR2σM3ｄM3γR1ｄR1／ＺR1
Ｄ＝ＺR2γR2ｄR2σM1ｄM1＋ＺR2γR2ｄR2σM1ｄM1σM2ｄM2＋ＺR2γR2ｄR2σM2ｄM2＋ＺR1γR1ｄR1σM1ｄM1＋ＺR2γR2ｄR2γR1ｄR1／ＺR1
　以上の例示から、金属箔と絶縁層の積層体におけるシールド効果は、使用する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせについてのσM×ｄM×ＺR×γR×ｄRを大きくすることで、向上可能であることが理論的に理解できる。しかしながら、例えば“畠山賢一著、「初めて学ぶ電磁遮へい講座」科学情報出版（２０１３年）、５６頁”に記載されているように、従来は（ＺR×γR×ｄR）は低周波領域では極めて小さく０に近似されるとしていたため、この考え方に従えばσM×ｄM×ＺR×γR×ｄRも０として近似されるパラメータであった。これに対して本発明者は、適切な金属箔と絶縁層を組み合わせｄR、σM及びｄMを調整することでσM×ｄM×ＺR×γR×ｄRは０には近似できない程度の大きな値となり、低周波領域においても有意な影響を与えることが分かった。
　本発明者は金属箔と絶縁層の積層体におけるシールド効果の実験を繰り返す中で、１ＭＨｚ程度の低周波領域であってもσM×ｄM×ｄRが有意な影響を与えていることを見出し、電磁波シールド材を構成する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせが、σM×ｄM×ｄR≧３×１０-3を満たすように、金属箔と絶縁層を選択することがシールド効果を高める上で極めて効果的であることを見出した。電磁波シールド材を構成する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせが、σM×ｄM×ｄR≧１×１０-2であることが好ましく、σM×ｄM×ｄR≧４×１０-2であることがより好ましく、σM×ｄM×ｄR≧８×１０-2であることが更により好ましく、σM×ｄM×ｄR≧１×１０-1であることが更により好ましい。
　σM×ｄM×ｄRには特段の上限は設定されないが、厚みや使用する材料との兼ね合いから、電磁波シールド材を構成する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせについて、通常はσM×ｄM×ｄR≦１０であり、典型的にはσM×ｄM×ｄR≦１である。
　絶縁層と金属箔の積層方法としては、絶縁層と金属箔の間に接着剤を用いてもよく、接着剤を用いずに絶縁層を金属箔に熱圧着してもよい。接着剤を用いずに単に重ねる方法でもよいが、電磁波シールド材の一体性を考慮すれば、少なくとも端部（例えばシールド材が四角形の場合は各辺）は接着剤により又は熱圧着により接合することが好ましい。但し、絶縁層に余分な熱を加えないという点からは、接着剤を用いることが好ましい。接着剤としては先述したものと同様であり、特に制限はないが、アクリル樹脂系、エポキシ樹脂系、ウレタン系、ポリエステル系、シリコーン樹脂系、酢酸ビニル系、スチレンブタジエンゴム系、ニトリルゴム系、フェノール樹脂系、シアノアクリレート系などが挙げられ、製造しやすさとコストの理由により、ウレタン系、ポリエステル系、酢酸ビニル系が好ましい。
　接着剤層の厚みは６μｍ以下であることが好ましい。接着剤層の厚みが６μｍを超えると、金属箔複合体に積層した後に金属箔のみが破断しやすくなる。ただし、先述したような接着剤層が絶縁層の役割を兼ねる場合は、この限りではなく、絶縁層の説明で述べた厚みとすることができる。
　本発明に係る電磁波シールド材は、少なくとも３枚の金属箔が絶縁層を介して積層された構造を有することを要する。当該要件を具備する積層構造の例としては、以下が挙げられる。括弧で表された層は適宜加えてもよいことを表す。
（１）（絶縁層）／金属箔／絶縁層／金属箔／絶縁層／金属層／（絶縁層）
（２）（絶縁層）／金属箔／絶縁層／金属箔／絶縁層／金属箔／絶縁層／金属箔／（絶縁層）
　（１）及び（２）においては、一つの「金属箔」は絶縁層を介することなく複数の金属箔を積層して構成することができ、一つの「絶縁層」も金属箔を介することなく複数の絶縁層を積層して構成することができる。また、絶縁層や金属箔以外の層を設けることもできる。
　本発明に係る電磁波シールド材の一実施形態においては、電磁波シールド材の全体厚みを５０～１５００μｍとすることができ、１０００μｍ以下とすることもでき、６００μｍ以下とすることもでき、４００μｍ以下とすることもでき、２００μｍ以下とすることもできる。
　本発明に係る電磁波シールド材は、特に電気・電子機器（例えば、インバータ、通信機、共振器、電子管・放電ランプ、電気加熱機器、電動機、発電機、電子部品、印刷回路、医療機器等）の被覆材又は外装材、電気・電子機器に接続されたハーネスや通信ケーブルの被覆材、電磁波シールドシート、電磁波シールドパネル、電磁波シールド袋、電磁波シールド箱、電磁波シールド室など各種の電磁波シールド用途に利用することが可能である。
　本発明に係る電磁波シールド材の一実施形態によれば、１ＭＨｚにおいて３６ｄＢ以上の磁界シールド特性（受信側でどれだけ信号が減衰したか）をもつことができ、好ましくは４０ｄＢ以上の磁界シールド特性をもつことができ、より好ましくは５０ｄＢ以上の磁界シールド特性をもつことができ、更により好ましくは６０ｄＢ以上の磁界シールド特性をもつことができ、更により好ましくは７０ｄＢ以上の磁界シールド特性をもつことができ、例えば３６～９０ｄＢの磁界シールド特性をもつことができる。本発明においては、磁界シールド特性はＫＥＣ法によって測定することとする。ＫＥＣ法とは、関西電子工業振興センターにおける「電磁波シールド特性測定法」を指す。
　以下に本発明の実施例を比較例と共に示すが、これらは本発明及びその利点をよりよく理解するために提供するものであり、発明が限定されることを意図するものではない。
　表１に記載の各金属箔及び絶縁フィルムを準備して、実施例及び比較例の電磁波シールド材を作製した。表１に記載の各記号は以下を示す。
Ｃｕ：圧延銅箔（２０℃での導電率：５８．０×１０6Ｓ／ｍ）
Ａｌ：アルミ箔（２０℃での導電率：３９．６×１０6Ｓ／ｍ）
電解Ｃｕ：電解銅箔（２０℃での導電率：５６．０×１０6Ｓ／ｍ）
Ｎｉ：ニッケル箔（２０℃での導電率：１４．５×１０6Ｓ／ｍ）
Ｆｅ：軟鉄箔（２０℃での導電率：９．９×１０6Ｓ／ｍ）
ｓｕｓ：ステンレス箔（２０℃での導電率：１．４×１０6Ｓ／ｍ）
ＰＩ：ポリイミドフィルム（２０℃での比誘電率：３．５）
ＰＥＴ：ポリエチレンテレフタレートフィルム（２０℃での比誘電率：３．０）
ＰＴＦＥ：ポリテトラフルオロエチレンフィルム（２０℃での比誘電率：２．１）
ＰＡ：ポリアミドフィルム（２０℃での比誘電率：６．０）
空隙：金属箔同士を空気で隔てた（２０℃での比誘電率：１．０）
（比較例１～２：金属箔一枚の磁界シールド効果）
　圧延銅箔（厚み：１５０μｍ）及びアルミ箔（厚み：３００μｍ）について、単層での磁界シールド効果を調査した。用意した金属材料を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、周波数を１ＭＨｚとし、２０℃の条件下で、ＫＥＣ法により磁界シールド効果を評価した。
（比較例３：金属箔３枚を積層したときの磁界シールド効果）
　圧延銅箔（厚み：３３μｍ）を３枚用意し、これを接着剤を介することなく単純に積層し、磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（比較例４：金属箔２枚を絶縁層を介して積層したときの磁界シールド効果）
　絶縁層として厚さ２５０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み７μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（比較例５：金属箔２枚を絶縁層を介して積層したときの磁界シールド効果）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み８μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（比較例６：金属箔２枚を空気層を介して設置したときの磁界シールド効果）
　絶縁層として空気を用い、金属箔として厚み６μｍ及び３０μｍのアルミ箔を用い、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この例において、２枚のアルミ箔は中央部に正方形状の大きな開口部を有する銅板を挟んで空気中で５０μｍの間隔で平行に配置した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（比較例７：金属箔３枚を絶縁層を介して積層したときの磁界シールド効果：σM×ｄM×ｄR＜３×１０-3）
　絶縁層として厚さ９μｍのポリイミド（ＰＩ）フィルムを用い、金属箔として厚み６μｍのアルミ箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリイミド（ＰＩ）フィルムを用い、金属箔として厚み１７μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例２）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み２０μｍのアルミ箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例３）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み３０μｍの電解銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例４）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み５０μｍのニッケル箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例５）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み５０μｍの軟鉄箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例６）
　絶縁層として厚さ５００μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムを用い、金属箔として厚み５０μｍのステンレス箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例７）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み６μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例８）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み１７μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例９）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み３３μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１０）
　絶縁層として厚さ９μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み７μｍ及び３３μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１１）
　絶縁層として厚さ５００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み１７μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１２）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムを用い、金属箔として厚み１７μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１３）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリアミド（ＰＡ）フィルムを用い、金属箔として厚み１７μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１４）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み３３μｍの圧延銅箔と厚み３０μｍのニッケル箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１５）
　絶縁層として厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み１２μｍの圧延銅箔と厚み１７μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１６）
　絶縁層として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み１２μｍの圧延銅箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
（実施例１７）
　絶縁層として厚さ９μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、金属箔として厚み２０μｍのアルミ箔を用い、接着剤を使用せずに単に積層することで、表１に記載の積層構造をもつ電磁波シールド材を作製した。この電磁波シールド材を磁界シールド効果評価装置（テクノサイエンスジャパン社　型式ＴＳＥＳ－ＫＥＣ）に設置して、比較例１と同様の方法で磁界シールド効果を評価した。
　なお、上記の評価において、金属箔の導電率はＪＩＳ　Ｃ２５２５：１９９９のダブルブリッチ法で測定した。比誘電率はＪＩＳ　Ｃ　２１５１：２００６に記載のＢ法により測定した。
　結果を表１に示す。表１中の「最小σMｄMｄR」は、各試験例において、使用した金属箔と絶縁層のすべての組み合わせのうち、σM×ｄM×ｄRが最も小さくなる金属箔と絶縁層の組み合わせについての値である。比較例１及び２の結果から理解できるように、金属箔一枚では１００μｍを超える厚みに設定しても、シールド効果が３１～３３ｄＢ程度しか得られない。比較例３の結果から理解できるように、金属箔のみを積層してもシールド効果の有意な向上は認められない。比較例４～６の結果から理解できるように、金属箔２枚を絶縁層を介して積層しても同様である。また、比較例７の結果から金属箔３枚を絶縁層を介して積層した場合でも、σM×ｄM×ｄRが不十分だとシールド効果の向上は限定的であることが分かる。
　一方、金属箔３枚を絶縁層を介して積層し、且つ、金属箔と絶縁層のすべての組み合わせについてσM×ｄM×ｄRが３×１０-3以上である実施例１～１７においては、シールド効果が顕著に優れていることが理解できる。例えば、銅箔一枚では３１．１ｄＢのシールド効果を得るのに１５０μｍもの厚みが必要であった比較例１に対して、実施例１ではその約１／３の厚みの銅箔しか用いていないにもかかわらず、約２６ｄＢもシールド効果が向上している。また、アルミ箔一枚では３３．１ｄＢのシールド効果を得るのに３００μｍもの厚みが必要であった比較例２に対して、実施例２ではその１／５の厚みのアルミ箔しか用いていないにもかかわらず、約１９ｄＢもシールド効果が向上している。
　また、実施例の中でも、金属箔と絶縁層の組み合わせにおける最小σMｄMｄRが高いほうが、金属箔の総厚みを小さくしながら高いシールド効果が得られることも理解できる。例えば、実施例１０～１３はすべて銅箔の総厚みが５１μｍであるが、最小σMｄMｄRの違いによってシールド効果に大きな差が生じていることが分かる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008

Claims (8)

  1. 　少なくとも３枚の金属箔が絶縁層を介して積層された構造を有する電磁波シールド材であって、当該電磁波シールド材を構成する金属箔と絶縁層のすべての組み合わせが、σM×ｄM×ｄR≧３×１０-3を満たす電磁波シールド材。
    　但し、式中の記号は以下を示す。
    σM：金属箔の２０℃における導電率（Ｓ／ｍ）
    ｄM：金属箔の厚み（ｍ）
    ｄR：絶縁層の厚み（ｍ）
  2. 　各金属箔の２０℃における導電率が１．０×１０6Ｓ／ｍ以上である請求項１に記載の電磁波シールド材。
  3. 　各金属箔の厚みが４～１００μｍである請求項１又は２に記載の電磁波シールド材。
  4. 　各絶縁層の２０℃における比誘電率が２．０～１０．０である請求項１～３の何れか一項に記載の電磁波シールド材。
  5. 　各絶縁層の厚みが４～５００μｍである請求項１～４の何れか一項に記載の電磁波シールド材。
  6. 　金属箔の合計厚みが１５～１５０μｍである請求項１～５の何れか一項に記載の電磁波シールド材。
  7. 　請求項１～６の何れか一項に記載の電磁波シールド材を備えた電気・電子機器用の被覆材又は外装材。
  8. 　請求項７に記載の被覆材又は外装材を備えた電気・電子機器。
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