WO2016170953A1 - コーディエライト質焼結体 - Google Patents

コーディエライト質焼結体 Download PDF

Info

Publication number
WO2016170953A1
WO2016170953A1 PCT/JP2016/060890 JP2016060890W WO2016170953A1 WO 2016170953 A1 WO2016170953 A1 WO 2016170953A1 JP 2016060890 W JP2016060890 W JP 2016060890W WO 2016170953 A1 WO2016170953 A1 WO 2016170953A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
cordierite
sintered body
lamgal
powder
mas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2016/060890
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
菅原　潤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Krosaki Harima Corp
Original Assignee
Krosaki Harima Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Krosaki Harima Corp filed Critical Krosaki Harima Corp
Priority to US15/566,818 priority Critical patent/US10125051B2/en
Priority to EP16782975.3A priority patent/EP3287428B1/en
Publication of WO2016170953A1 publication Critical patent/WO2016170953A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/16—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay
    • C04B35/18—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay rich in aluminium oxide
    • C04B35/195—Alkaline earth aluminosilicates, e.g. cordierite or anorthite
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C04B35/645—Pressure sintering
    • C04B35/6455—Hot isostatic pressing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C04B2235/3222—Aluminates other than alumino-silicates, e.g. spinel (MgAl2O4)
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3227—Lanthanum oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3427—Silicates other than clay, e.g. water glass
    • C04B2235/3463—Alumino-silicates other than clay, e.g. mullite
    • C04B2235/3481—Alkaline earth metal alumino-silicates other than clay, e.g. cordierite, beryl, micas such as margarite, plagioclase feldspars such as anorthite, zeolites such as chabazite
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/66—Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
    • C04B2235/661—Multi-step sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9607—Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient

Definitions

  • the present invention relates to a satellite mirror base material, an aspherical mirror base material for a telescope, a precision mirror base material, a power laser mirror base material, a reference scale base material, a table member of a precision measuring instrument, and a table of a precision exposure apparatus.
  • the present invention relates to a cordierite sintered body suitably used for a member, a reference instrument member for precision measurement, and the like.
  • these ultra-precise devices require a reference mirror for laser and ultraviolet reflection, a positioning mirror, an aspherical mirror for condensing light, and the like. These precision mirrors are required to have a very smooth surface (a surface having a small surface roughness), and a high-quality material capable of obtaining an ultra-smooth surface has been demanded. As a high-quality material from which an ultra-smooth surface can be obtained, a material disclosed in Patent Document 1 is known.
  • Patent Document 1 states that “one or more kinds of La, Ce, Sm, Gd, Dy, Er, Yb, and Y are converted into oxides in an amount of 1 to 1 in which cordierite is a main component and other crystal phases are not included.
  • a cordierite-based sintered body having an average surface roughness (Ra) of 1 nm or less on the precision polished surface is disclosed. According to Patent Document 1, it is possible to greatly improve the precision polishing property of a cordierite sintered body having low thermal expansion, high rigidity (high elastic modulus), and dimensional stability over time.
  • the problem to be solved by the present invention is that the cordierite-based sintered body does not impair the characteristics such as low expansion coefficient, dimensional stability over time, high rigidity (high elastic modulus), and precision abrasiveness.
  • the purpose is to improve the mechanical properties and improve the complex and fine workability.
  • the main crystal phase is composed of cordierite, and other crystal phases include LaMgAl 11 O 19.
  • Mass ratio of Al 2 O 3 and MgO Al 2 O 3 / MgO is 2.7 or more, and La is contained in an amount of 0.5% by mass or more and less than 3% by mass in terms of oxide (1) Cordierite sintered body described in 1.
  • the cordierite-based sintered body of the present invention contains LaMgAl 11 O 19 as the other crystal phase with respect to the cordierite of the main crystal phase, so that the mechanical properties are improved and complicated / fine processing is possible. It becomes possible. That is, according to the present invention, a cordierite sintered body having a low expansion coefficient, dimensional stability over time, high rigidity (high elastic modulus), precision polishing, and complex and fine workability is obtained.
  • Sample No. of Table 1 which is an example of the present invention.
  • 1 shows X-ray powder diffraction intensity data of Cu-K ⁇ rays.
  • the asterisk is an X-ray diffraction peak of LaMgAl 11 O 19 crystal
  • the other is an X-ray diffraction peak of cordierite
  • the ⁇ mark is a cordierite (004) plane peak for comparing peak intensities.
  • 11 shows X-ray powder diffraction intensity data of 11 Cu—K ⁇ rays.
  • the mark ⁇ indicates the X-ray diffraction peak of the LaMgAl 11 O 19 crystal
  • the mark ⁇ indicates the X-ray diffraction peak of the mullite crystal.
  • the other peaks are cordierite X-ray diffraction peaks, and the ⁇ marks indicate the cordierite (002) plane and (004) plane peaks for comparing peak intensities.
  • the main crystal phase is cordierite, and LaMgAl 11 O 19 is included as the other crystal phase.
  • cordierite the crystalline phase of cordierite refers to cordierite by X-ray diffraction although the lattice constant slightly changes due to solid solution of other elements in addition to pure cordierite crystal.
  • a crystal phase that can be identified as having a diffraction peak of light crystal is also included.
  • LaMgAl 11 O 19 contains (114) plane peak intensity by powder X-ray diffraction of LaMgAl 11 O 19 : I LMA (114) and (004) plane peak intensity of cordierite. : I MAS (004) ratio: I LMA (114) / I MAS (004) is included in a range of 0.01 to 0.8. When I LMA (114) / I MAS (004) is less than 0.01, the effect of improving mechanical properties by LaMgAl 11 O 19 cannot be obtained.
  • I LMA (114) / I MAS (004) exceeds 0.8, characteristics such as low expansion coefficient due to cordierite, dimensional stability over time, and high rigidity (high elastic modulus) are impaired.
  • the (114) plane peak of LaMgAl 11 O 19 is observed at around 36 ° of 2 ⁇ , and the (004) plane peak of cordierite is observed at around 38.5 °. .
  • the mass ratio of Al 2 O 3 and MgO, which is a chemical component thereof: Al 2 O 3 / MgO is preferably 2.7 or more.
  • Al 2 O 3 / MgO is 2.7 or more, the amorphous phase at the grain boundary of the cordierite-based sintered body becomes unstable and a secondary crystal phase is easily formed, and LaMgAl 11 O 19 is generated. This is because it becomes easier.
  • the La content is preferably 0.5% by mass or more and less than 3% by mass in terms of oxide (La 2 O 3 ).
  • the content of La is 3% by mass or more in terms of oxide and a secondary crystal phase is formed, it is preferable because the precision abrasiveness may be lowered due to the excessive crystal phase of LaMgAl 11 O 19. Absent. If a secondary crystal phase cannot be formed, the amorphous phase at the grain boundary increases, and mechanical properties such as Young's modulus may decrease, which is also not preferable. Further, if the content of La is less than 0.5% by mass in terms of oxide, the sinterability is deteriorated and a sufficiently dense sintered body may not be obtained.
  • the cordierite-based sintered body of the present invention can contain a mullite crystal phase in addition to the cordierite and LaMgAl 11 O 19 crystal phases. That is, even if some mullite is present, the influence on the thermal expansion coefficient is limited, so it may be present as a crystalline phase.
  • the ratio of mullite (110) plane peak intensity: I AS (110) and cordierite (002) plane peak intensity: I MAS (002) by powder X-ray diffraction: I AS (110) / I MAS (002) is preferably 0.2 or less. If it exceeds this range, the coefficient of thermal expansion will be high, and the precision polishability may be reduced.
  • the cordierite-based sintered body of the present invention does not contain a crystal phase other than cordierite, LaMgAl 11 O 19 and mullite.
  • the (110) plane peak of mullite is observed around 16.4 ° of 2 ⁇ , and the (002) plane peak of cordierite is observed around 19 °.
  • the thermal expansion coefficient of the cordierite-based sintered body of the present invention is preferably as small as possible in consideration of deformation due to temperature change, and is 0.05 ⁇ 10 ⁇ 6 / K or less at 22 ° C. More preferred.
  • the thermal expansion coefficient is a value measured by JIS R3251 (linear thermal expansion coefficient measurement method by laser interference method of low thermal expansion glass) because thermal expansion is very small.
  • Young's modulus is preferably 142 GPa or more in order to reduce deformation due to its own weight or acceleration, and the fracture toughness value is complex. In order to enable fine processing (fine and precise grinding), it is preferably 1.4 MPa ⁇ m 1/2 or more.
  • the fracture toughness value is a value measured by a pre-crack introduction fracture test method (SEPB method: Single-Edge-Precracked-Beam Method) defined in JIS R1607.
  • the cordierite-based sintered body of the present invention preferably contains 88% by mass or more of cordierite.
  • the cordierite content is less than 88% by mass, the amorphous phase at the grain boundary of the cordierite sintered body increases and the mechanical properties deteriorate, and the amorphous phase at the grain boundary is crystallized to cause cordierite.
  • the thermal expansion coefficient becomes high, which is not preferable.
  • the cordierite sintered body of the present invention can be manufactured by mixing raw material powders (MgO source, Al 2 O 3 source, SiO 2 source, La source) and sintering.
  • magnesia, talc, electrofused cordierite, synthetic cordierite, magnesium hydroxide, magnesium carbonate, magnesia spinel and the like can be used. From the viewpoint of the sinterability of large and complex shaped products, fused cordierite, synthetic cordierite powder, etc. are optimal as raw material powder. Further, as the Al 2 O 3 source and the SiO 2 source, fine alumina powder, crystalline silica powder, amorphous silica powder, etc. are preferably used in addition to the talc, electrofused cordierite, and synthetic cordierite. Can be used.
  • La source oxide, hydroxide, carbonate powder, LaMgAl 11 O 19, ⁇ -lanthanum aluminate (LaAl 11 O 18 ) and the like can be used.
  • the average particle size of these raw material powders is preferably a fine particle size of 0.1 to 5 ⁇ m from the viewpoint of dispersibility.
  • a hot press method As a sintering method, a hot press method, a HIP method, a gas pressure sintering method, a normal pressure sintering method, and the like can be applied, but in order to reduce the average surface roughness during precision polishing, It is necessary to reduce the number of pores as much as possible. Therefore, pressure sintering methods such as a hot press method, a HIP method, and a gas pressure sintering method are effective in the final heat treatment.
  • MgO source, Al 2 O 3 source, SiO 2 source, synthetic cordierite powder (average particle size 2.6 ⁇ m), magnesia powder (average particle size 0.2 ⁇ m), silica powder (average particle size) 0.7 ⁇ m), alumina powder (average particle size 0.5 ⁇ m), and as a La source, lanthanum oxide (La 2 O 3 ) powder (average particle size 1.1 ⁇ m), ⁇ -lanthanum aluminate (LaAl 11 O) 18 ) Powder (average particle size 2.4 ⁇ m), lanthanum hydroxide (La (OH) 3 ) powder (average particle size 1.5 ⁇ m) were used.
  • magnesia powder, silica powder and alumina powder were mixed in a theoretical composition and reacted at 1420 ° C. for 10 hours to pulverize the cordierite granules, and ⁇ -lanthanum aluminum was used.
  • nate powder a mixture of a predetermined amount of lanthanum oxide powder and alumina powder and reaction at 1600 ° C. for 4 hours and pulverized synthesized granules were used.
  • the obtained sintered body was measured for bulk density, thermal expansion coefficient at 22 ° C., Young's modulus (elastic modulus), and fracture toughness value.
  • the bulk density was measured by a method according to JIS R1634.
  • the thermal expansion coefficient at 22 ° C. was measured by the above-mentioned JIS R3251 (linear thermal expansion coefficient measurement method by laser interference method of low thermal expansion glass).
  • Young's modulus (elastic modulus) was measured by an ultrasonic pulse echo method.
  • the fracture toughness value was measured by the SEPB method. This fracture toughness value has a strong correlation with complicated and fine workability (fine and precise grinding workability) in a brittle material with low grinding resistance such as cordierite sintered body. That is, in the cordierite sintered body, the higher the fracture toughness value, the better the complex / fine workability (fine and precise grinding workability).
  • the average surface roughness (Ra) of the precision polished surface was measured for the obtained sintered body in order to evaluate the precision polishing property. Specifically, precision polishing was performed on a ⁇ 100 ⁇ 20 mm sample, and the average surface roughness (Ra) of the precision polished surface was measured by a non-contact scanning white interference method. In precision polishing, intermediate finishing was performed with a ceria slurry having an average particle size of 0.5 ⁇ m, and then final finishing was performed with a diamond slurry having a particle size of 1/10 ⁇ m.
  • the obtained sintered body was made into a powder and subjected to powder X-ray diffraction measurement by Cu—K ⁇ ray (wavelength 1.54059 angstrom) to identify the crystal phase generated, and LaMgAl 11 O 19 (114) Plane peak intensity: ratio of I LMA (114) to cordierite (004) plane peak intensity: I MAS (004): I LMA (114) / I MAS (004), and (110) plane peak of mullite
  • the ratio of intensity: I AS (110) and cordierite (002) plane peak intensity: I MAS (002): I AS (110) / I MAS (002) was determined.
  • FIG. 1 and FIG. 11 shows a chart of powder X-ray diffraction measurement using 11 Cu—K ⁇ rays.
  • FIG. 1 shows a magnetoplumbite type crystal pattern of LaMgAl 11 O 19 in addition to the diffraction pattern of cordierite crystal.
  • FIG. 2 shows mullite crystals were confirmed in addition to cordierite and LaMgAl 11 O 19 crystals.
  • Reference numerals 1 to 13 are examples of the present invention that fall within the scope of the present invention.
  • These cordierite sintered bodies of the present invention have an absolute value of thermal expansion coefficient of 0.049 ⁇ 10 ⁇ 6 / ° C. or less at 22 ° C., Young's modulus (elastic modulus) of 143 GPa or more, and a precision polished surface.
  • the average surface roughness (Ra) is 0.95 nm or less, and has a low expansion coefficient, high rigidity (high elastic modulus), and precision abrasiveness equal to or higher than those of the cordierite sintered body of Patent Document 1.
  • the cordierite sintered body of the present invention example has a fracture toughness value of 1.4 MPa ⁇ m 1/2 or more, which is higher than that of Comparative Example 1 which is a cordierite single phase, and is complicated. ⁇ It has fine workability.
  • Sample No. 14 in Table 1 is a cordierite single phase and is a comparative example that does not include a crystal phase of LaMgAl 11 O 19 . Fracture toughness values are low, and complex and micro workability is not sufficient. Also, Young's modulus (elastic modulus) is not sufficient.
  • Sample Nos. 15 to 17 in Table 1 are also comparative examples not including the crystal phase of LaMgAl 11 O 19 . In either case, the fracture toughness value is low, and the complex and fine workability is not sufficient.
  • Sample No. 16 containing the crystal phase of La 2 O 3 ⁇ 2SiO 2 and Sample No. 17 containing the spinel crystal phase have an increased average surface roughness (Ra) of the precision polished surface, resulting in precision polishing. Decreases and the coefficient of thermal expansion increases.
  • Sample No. 2 Sample No. 7 and slit grinding was performed on the sintered body of Sample No. 16 as a comparative example.
  • the slit width was 0.5 mm and the slit depth was 1.5 mm, and 10 slits were processed so that a gap of 0.3 mm was formed.
  • nine 0.3 mm wide and 1.5 high hills are formed.
  • Complex and micro workability was evaluated based on the damage of this Hozan.
  • the grindstone used was a resin bond grindstone having a diameter of 300 mm and a width of 0.5 mm and having a diamond abrasive grain number # 200.
  • an oil static pressure precision surface grinder was used, and the grinding wheel peripheral speed was 2000 m / min.
  • sample no. 2 and Sample No. 7 In the sintered body of No. 7, all the fine mountains could be processed smoothly. In the 16 sintered bodies, breakage occurred in 6 of 9 fine threads.
  • Sample No. in Table 1 is an example of the present invention. 2
  • Sample No. For No. 7 and Comparative Sample No. 16 a block gauge was prepared and dimensional changes over time were evaluated.
  • the evaluation method was a laser interference method, and the evaluation was performed as a dimensional change per 100 mm per year.
  • No. of the example of the present invention. 2 is 8 nm.
  • 7 was a very small dimensional change of 4 nm. That is, the cordierite-based sintered body of the present invention has temporal stability that is equal to or greater than that of the cordierite-based sintered body of Patent Document 1.
  • sample No. 16 as a comparative example was 32 nm.
  • the cordierite sintered body of the present invention can be used as a support member for a precision stage, a table, and a slider in addition to a satellite mirror, an aspherical mirror for a telescope, a super-precision mirror, and a mirror substrate for a power laser. Further, it can also be used as a reference member for precision measurement such as encoder scale substrate and gauges, calibration standard scale, reference scale, optical flat, photomask standard, and the like.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

本発明は、コーディエライト質焼結体において、その低膨張率、寸法の経時安定性、高剛性（高弾性率）、及び精密研磨性といった特徴を損なわずに、その機械的性質を向上させて、複雑・微細加工性を向上させることを目的とする。本発明のコーディエライト質焼結体は、主結晶相がコーディエライトからなり、その他の結晶相としてＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９を含み、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の粉末Ｘ線回折による（１１４）面ピーク強度：ＩＬＭＡ（１１４）とコーディエライトの（００４）面ピーク強度：ＩＭＡＳ（００４）　との比：ＩＬＭＡ（１１４）／ＩＭＡＳ（００４）が、０．０１以上０．８以下である。

Description

コーディエライト質焼結体
　本発明は、人工衛星ミラー用基材、望遠鏡用非球面ミラー基材、精密ミラー用基材、パワーレーザー用ミラー基材、基準スケール用基材、精密測定機のテーブル部材、精密露光装置のテーブル部材、精密測定に関する基準器部材等に好適に使用されるコーディエライト質焼結体に関する。
　人工衛星や望遠鏡の高精度化、半導体の高集積化や非球面レンズの高精密化等により、これら宇宙・天文用装置、半導体製造装置や測定装置に使用される部材には、高い形状寸法精度とその経時的な安定性が求められてきている。また、これらの部材は近年非常に複雑で微細な形状になってきており、このため微細な研削加工も合わせて必要となってきている。
　一方、これらの超精密な装置には、レーザーや紫外線反射用の基準ミラーや位置決め用ミラー、そして集光用の非球面ミラー等が必要となってきている。これらの精密ミラーには非常に平滑な面（表面粗さの小さい面）が要求されており、材料としても超平滑面の得られる高品質の材料が求められてきている。超平滑面の得られる高品質の材料としては、特許文献１に開示されているものが知られている。
　すなわち、特許文献１には、「コーディエライトを主成分とし、その他の結晶相を含まず、Ｌａ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｅｒ，Ｙｂ，Ｙの一種以上を酸化物換算で１～８質量％含むコーディエライト質焼結体であって、その主成分の質量比が、３．８５≦ＳｉＯ２／ＭｇＯ≦４．６０、２．５０≦Ａｌ２Ｏ３／ＭｇＯ≦２．７０の範囲であり、その精密研磨面の平均表面粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以下であるコーディエライト質焼結体」が開示されている。この特許文献１によって、低熱膨張・高剛性（高弾性率）で寸法の経時安定性をもったコーディエライト質焼結体の精密研磨性を大幅に向上させることが可能となった。
　しかし、特許文献１のコーディエライト質焼結体であっても、複雑・微細加工性は得ることはできなかった。すなわち、精密研磨性（高精度ミラー加工性）を持ちつつ、複雑・微細加工性を合わせ持った低熱膨張材料はこれまで得られていなかった。
特開２０１２－８７０２６号公報
　本発明が解決しようとする課題は、コーディエライト質焼結体において、その低膨張率、寸法の経時安定性、高剛性（高弾性率）、及び精密研磨性といった特徴を損なわずに、その機械的性質を向上させて、複雑・微細加工性を向上させることにある。
　前記課題を解決するため本発明者が鋭意検討した結果、主結晶相がコーディエライトからなるコーディエライト質焼結体中に、その他の結晶相としてＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９を含有させることで前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
　すなわち、前記課題は以下の本発明により解決される。
（１）主結晶相がコーディエライトからなり、その他の結晶相としてＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９を含み、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の粉末Ｘ線回折による（１１４）面ピーク強度：ＩＬＭＡ（１１４）とコーディエライトの（００４）面ピーク強度：ＩＭＡＳ（００４）　との比：ＩＬＭＡ（１１４）／ＩＭＡＳ（００４）が、０．０１以上０．８以下であるコーディエライト質焼結体。
（２）Ａｌ２Ｏ３とＭｇＯとの質量比：Ａｌ２Ｏ３／ＭｇＯが、２．７以上であり、Ｌａを酸化物換算で０．５質量％以上３質量％未満含む、（１）に記載のコーディエライト質焼結体。
（３）２２℃における熱膨張係数の絶対値が０．０５×１０－６／℃以下である、（１）又は（２）に記載のコーディエライト質焼結体。
（４）ヤング率が１４２ＧＰａ以上、ＳＥＰＢ法による破壊靱性値が１．４ＭＰａ・ｍ１／２以上ある、（１）から（３）のいずれかに記載のコーディエライト質焼結体。
　本発明のコーディエライト質焼結体は、主結晶相のコーディエライトに対して、その他の結晶相としてＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９を含有することで、機械的性質が向上し、複雑・微細加工が可能となる。すなわち本発明によれば、低膨張率、寸法の経時安定性、高剛性（高弾性率）、及び精密研磨性を有し、かつ複雑・微細加工性を有するコーディエライト質焼結体が得られる
本発明例である表１の試料Ｎｏ．１のＣｕ－Ｋα線による粉末Ｘ線回折測定強度データを示す。◆印がＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９結晶のＸ線回折ピークであり、その他はコーディエライトのＸ線回折ピークで、○印はピーク強度を比較するためのコーディエライト（００４）面ピークを示す。 本発明例である表１の試料Ｎｏ．１１のＣｕ－Ｋα線による粉末Ｘ線回折測定強度データを示す。◆印がＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９結晶のＸ線回折ピークであり、▲印がムライト結晶のＸ線回折ピークを示す。その他のピークはコーディエライトのＸ線回折ピークで、○印はピーク強度を比較するためのコーディエライト（００２）面及び（００４）面のピークを示す。
　本発明のコーディエライト質焼結体は、主結晶相がコーディエライトからなり、その他の結晶相としてＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９を含む。なお、本発明においてコーディエライト（コーディエライトの結晶相）とは、純粋なコーディエライト結晶に加え、他元素の固溶により格子定数が若干変化しているものの、Ｘ線回折によりコーディエライト結晶の回折ピークを持つと特定できる結晶相も含むものとする。
　本発明のコーディエライト質焼結体においてＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９は、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の粉末Ｘ線回折による（１１４）面ピーク強度：ＩＬＭＡ（１１４）とコーディエライトの（００４）面ピーク強度：ＩＭＡＳ（００４）との比：ＩＬＭＡ（１１４）／ＩＭＡＳ（００４）が、０．０１以上０．８以下となる範囲で含まれる。ＩＬＭＡ（１１４）／ＩＭＡＳ（００４）が０．０１未満になると、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９による機械的性質向上の効果が得られない。一方、ＩＬＭＡ（１１４）／ＩＭＡＳ（００４）が０．８を超えると、コーディエライトによる低膨張率、寸法の経時安定性、及び高剛性（高弾性率）といった特徴が損なわれる。なお、Ｃｕ－Ｋα線による粉末Ｘ線回折において、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の（１１４）面ピークは２θの３６°付近に、コーディエライトの（００４）面ピークは３８．５°付近に観察される。
　本発明のコーディエライト質焼結体において、その化学成分であるＡｌ２Ｏ３とＭｇＯとの質量比：Ａｌ２Ｏ３／ＭｇＯは、２．７以上であることが好ましい。Ａｌ２Ｏ３／ＭｇＯが２．７以上であると、コーディエライト質焼結体の粒界のアモルファス相が不安定化して、２次結晶相ができやすくなり、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９が生成しやすくなるからである。
　また、本発明のコーディエライト質焼結体においてＬａの含有量は、酸化物（Ｌａ２Ｏ３）換算で０．５質量％以上３質量％未満であることが好ましい。Ｌａの含有量が酸化物換算で３質量％以上であり、２次結晶相ができる場合には、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の結晶相が過剰になることにより精密研磨性が低下するおそれがあるため好ましくない。２次結晶相ができない場合には、粒界のアモルファス相が多くなり、ヤング率等の機械的性質が低下するおそれがあるためやはり好ましくない。またＬａの含有量が酸化物換算で０．５質量％未満では、焼結性が悪くなり十分緻密な焼結体が得られなくなるおそれがあるため好ましくない。
　本発明のコーディエライト質焼結体は、コーディエライト及びＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の結晶相に加え、ムライトの結晶相を含みうる。すなわち、ムライトについては若干存在しても熱膨張係数への影響は限定的なので、結晶相として存在しても構わない。ただし、そのムライトの含有量については、粉末Ｘ線回折によりムライトの（１１０）面ピーク強度：ＩＡＳ（１１０）とコーディエライトの（００２）面ピーク強度：ＩＭＡＳ（００２）との比：ＩＡＳ（１１０）／ＩＭＡＳ（００２）が、０．２以下であることが好ましい。これ以上になると熱膨張係数が高くなるとともに、精密研磨性が低下するおそれがある。また、本発明のコーディエライト質焼結体は、コーディエライト、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９及びムライト以外の結晶相は含まないことが好ましい。なお、Ｃｕ－Ｋα線による粉末Ｘ線回折において、ムライトの（１１０）面ピークは２θの１６．４°付近に、コーディエライトの（００２）面ピークは１９°付近に観察される。
　本発明のコーディエライト質焼結体の熱膨張係数は、温度変化による変形を考慮すれば、できる限り小さいことが好ましく、２２℃において、０．０５×１０－６／Ｋ以下であることがより好ましい。なお、熱膨張係数は、熱膨張が非常に小さいため、ＪＩＳ　Ｒ３２５１（低熱膨張ガラスのレーザー干渉法による線熱膨張係数測定方法）により測定した値とする。
　本発明のコーディエライト質焼結体の機械的性質として、ヤング率（弾性率）は、自重変形や加速度による変形を小さくするために、１４２ＧＰａ以上であることが好ましく、破壊靱性値は、複雑・微細加工（微細で精密な研削加工）を可能にするために、１．４ＭＰａ・ｍ１／２以上であることが好ましい。なお、破壊靱性値は、ＪＩＳ　Ｒ１６０７に規定される、予き裂導入破壊試験法（ＳＥＰＢ法：Single-Edge-Precracked-Beam Method）により測定した値とする。
　なお、本発明のコーディエライト質焼結体は、コーディエライトを８８質量％以上含むのが好ましい。コーディエライトの含有量が８８質量％未満になると、コーディエライト質焼結体の粒界のアモルファス相が増えて機械的性質が低下し、また粒界のアモルファス相が結晶化してコーディエライト及びＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９以外の他の結晶相となった場合、熱膨張係数が高くなってしまうため好ましくない。
　また、本発明のコーディエライト質焼結体は、原料粉末（ＭｇＯ源、Ａｌ２Ｏ３源、ＳｉＯ２源、Ｌａ源）を混合して、焼結することにより製造できる。
　ＭｇＯ源としては、マグネシア、タルク、電融コーディエライト、合成コーディエライト、水酸化マグネシウム、炭酸マクネシウム、マグネシアスピネル等が使用できる。大型形状や複雑形状品の焼結性の面から電融コーディエライト、合成コーディエライト粉末等が原料粉末としては最適である。また、Ａｌ２Ｏ３源、ＳｉＯ２源としては、前記のタルク、電融コーディエライト、合成コーディエライトの他に、微粒アルミナ粉末、結晶質シリカ粉末、非晶質シリカ粉末等が好適に使用できる。Ｌａ源としては、酸化物、水酸化物、炭酸化物の粉末及びＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９、β－ランタンアルミネート（ＬａＡｌ１１Ｏ１８）等が使用できる。これら原料粉末の平均粒径は、その分散性の観点から０．１～５μｍの微細粒径が好ましい。
　焼結方法としては、ホットプレス法、ＨＩＰ法、ガス圧焼結法、常圧焼結法等が適用できるが、精密研磨時の平均表面粗さを小さくするためには、焼結体中の気孔をできる限り少なくする必要があり、そのため最終熱処理においてはホットプレス法、ＨＩＰ法、ガス圧焼結法等の加圧焼結法が有効である。
　原料粉末としては、ＭｇＯ源、Ａｌ２Ｏ３源、ＳｉＯ２源として、合成コーディエライト粉末（平均粒径２．６μｍ）、マグネシア粉末（平均粒径０．２μｍ）、シリカ粉末（平均粒径０．７μｍ）、アルミナ粉末（平均粒径０．５μｍ）を使用し、Ｌａ源として、酸化ランタン（Ｌａ２Ｏ３）粉末（平均粒径１．１μｍ）、β－ランタンアルミネート（ＬａＡｌ１１Ｏ１８）粉末（平均粒径２．４μｍ）、水酸化ランタン（Ｌａ（ＯＨ）３）粉末（平均粒径１．５μｍ）を使用した。なお、合成コーディエライトについては、マグネシア粉末、シリカ粉末及びアルミナ粉末を理論組成にて混合し１４２０℃で１０時間反応してコーディエライト化した顆粒を粉砕したものを使用し、β－ランタンアルミネート粉末については、酸化ランタン粉末及びアルミナ粉末を所定量混合し１６００℃にて４時間反応して合成した顆粒を粉砕したものを使用した。
　これらの原料粉末を表１に示す組成になるように調合し、樹脂バインダー３質量部を外掛けで加えて、水を溶媒としてアルミナポットミル中で２４時間混合した。得られたスラリーを乾燥造粒し、静水圧１５０ＭＰａで成形した。得られた成形体を空気中１４００℃で焼結し、その後、アルゴンガス圧１４００ａｔｍにて１２００℃でＨＩＰ焼成を実施した。なお、表１において、ＭｇＯ量、Ａｌ２Ｏ３量、ＳｉＯ２量、及びＬａ（酸化物換算）量は、原料粉末の組成として示しているが、これらは焼結しても揮発しないので、焼結体中の各含有量は、原料粉末の組成と実質的に同一となる。
　得られた焼結体について、嵩密度、２２℃における熱膨張係数、ヤング率（弾性率）、及び破壊靱性値を測定した。具体的には、嵩密度は、ＪＩＳ　Ｒ１６３４に準じた方法により測定した。２２℃における熱膨張係数は、前記のＪＩＳ　Ｒ３２５１（低熱膨張ガラスのレーザー干渉法による線熱膨張係数測定方法）により測定した。ヤング率（弾性率）は、超音波パルスエコー法により測定した。破壊靱性値は、前記のＳＥＰＢ法により測定した。この破壊靱性値は、コーディエライト質焼結体のような研削抵抗性が低く脆い材料においては、複雑・微細加工性（微細で精密な研削加工性）と強い相関がある。すなわち、コーディエライト質焼結体においては破壊靱性値が高いほど、複雑・微細加工性（微細で精密な研削加工性）に優れる。
　また、得られた焼結体について、その精密研磨性を評価するために精密研磨面の平均表面粗さ（Ｒａ）を測定した。具体的には、φ１００×２０ｍｍのサンプルにて精密研磨を実施して、その精密研磨面の平均表面粗さ（Ｒａ）を非接触の走査型白色干渉法にて測定した。精密研磨においては、平均粒径０．５μｍのセリアスラリーにて中仕上げした後、１／１０μｍ粒度のダイアモンドスラリーにて最終仕上げを行った。
　さらに、得られた焼結体を粉末にしてＣｕ－Ｋα線（波長１．５４０５９オングストローム）による粉末Ｘ線回折測定を実施して生成した結晶相を同定するとともに、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の（１１４）面ピーク強度：ＩＬＭＡ（１１４）とコーディエライトの（００４）面ピーク強度：ＩＭＡＳ（００４）との比：ＩＬＭＡ（１１４）／ＩＭＡＳ（００４）、及びムライトの（１１０）面ピーク強度：ＩＡＳ（１１０）とコーディエライトの（００２）面ピーク強度：ＩＭＡＳ（００２）との比：ＩＡＳ（１１０）／ＩＭＡＳ（００２）を求めた。
　粉末Ｘ線回折測定結果の例として、図１及び図２に、それぞれ本発明例である試料Ｎｏ.１及び試料Ｎｏ．１１のＣｕ－Ｋα線による粉末Ｘ線回折測定のチャートを示した。図１（試料Ｎｏ.１）においては、コーディエライト結晶の回折パターン以外にＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９のマグネトプランバイト型の結晶パターンが確認された。また、図２（試料Ｎｏ.１１）においては、コーディエライト、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の結晶以外にムライトの結晶が確認された。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１中の試料Ｎｏ．１～１３は本発明の範囲内に属する本発明例である。これらの本発明例のコーディエライト質焼結体は、２２℃における熱膨張係数の絶対値が０．０４９×１０－６／℃以下、ヤング率（弾性率）が１４３ＧＰａ以上、精密研磨面の平均表面粗さ（Ｒａ）が０．９５ｎｍ以下であり、前記特許文献１のコーディエライト質焼結体と同等又はそれ以上の低膨張率、高剛性（高弾性率）、及び精密研磨性を有する。また、本発明例のコーディエライト質焼結体は、破壊靱性値が１．４ＭＰａ・ｍ１／２以上であり、コーディエライト単相である比較例１に比べて高くなっており、複雑・微細加工性も合せて有する。
　表１中の試料Ｎｏ.１４は、コーディエライト単相であり、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の結晶相を含まない比較例である。破壊靱性値が低く複雑・微細加工性が十分ではない。また、ヤング率（弾性率）も十分ではない。
　表１中の試料Ｎｏ.１５～１７も、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の結晶相を含まない比較例である。いずれも、破壊靱性値が低く複雑・微細加工性が十分ではない。また、Ｌａ２Ｏ３・２ＳｉＯ２の結晶相を含む試料Ｎｏ.１６、及びスピネルの結晶相を含む試料Ｎｏ.１７は、精密研磨面の平均表面粗さ（Ｒａ）が大きくなって精密研磨性が低下するとともに、熱膨張係数が高くなっている。
　複雑・微細加工性の具体的な評価として、表１中の本発明例である試料Ｎｏ．２、試料Ｎｏ．７、及び比較例である試料Ｎｏ.１６の焼結体にスリット研削を実施した。このスリット研削では、スリット幅０．５ｍｍ、スリット深さ１．５ｍｍとして、１０本のスリットを０．３ｍｍの隙間ができるように加工した。その結果、９本の０．３ｍｍ幅・１．５高さの細山が形成される。この細山の破損状況にて複雑・微細加工性を評価した。なお、使用砥石は、径３００ｍｍ・幅０．５ｍｍで、ダイヤモンド砥粒番手＃２００のレジンボンド砥石とした。加工機としては油静圧の精密平面研削盤を使用し、砥石周速２０００ｍ／ｍｉｎとして切り込みを３μｍ／回とした。
　この結果、本発明例である試料Ｎｏ．２及び試料Ｎｏ．７の焼結体においては、全ての細山が健全に加工できたが、比較例であるＮｏ．１６の焼結体においては、９本中６本の細山に破損が発生した。
　表１中の本発明例である試料Ｎｏ．２、試料Ｎｏ．７、及び比較例である試料Ｎｏ.１６について、ブロックゲージを作製して経時的な寸法変化を評価した。評価方法は、レーザー干渉法とし、１年間の１００ｍｍあたりの寸法変化として評価した。本発明例のＮｏ．２は８ｎｍ、Ｎｏ．７は４ｎｍと非常に小さな寸法変化であった。すなわち、本発明のコーディエライト質焼結体は、前記特許文献１のコーディエライト質焼結体と同等又はそれ以上の寸法の経時安定性を有する。
　一方、比較例である試料Ｎｏ.１６の寸法変化は、３２ｎｍであった。
　本発明のコーディエライト質焼結体は、人工衛星用ミラー、望遠鏡用非球面ミラー、超精密ミラー、パワーレーザー用ミラー基材のほか、精密ステージ用支持部材、テーブル、スライダーとして利用可能であり、また、エンコーダ用スケール基盤及びゲージ類、校正用標準尺、基準スケール、オプチカルフラット、フォトマスク用標準など精密測定にかんする基準器部材としても利用可能である。

Claims (4)

  1. 　主結晶相がコーディエライトからなり、その他の結晶相としてＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９を含み、ＬａＭｇＡｌ１１Ｏ１９の粉末Ｘ線回折による（１１４）面ピーク強度：ＩＬＭＡ（１１４）とコーディエライトの（００４）面ピーク強度：ＩＭＡＳ（００４）　との比：ＩＬＭＡ（１１４）／ＩＭＡＳ（００４）が、０．０１以上０．８以下であるコーディエライト質焼結体。
  2. 　Ａｌ２Ｏ３とＭｇＯとの質量比：Ａｌ２Ｏ３／ＭｇＯが、２．７以上であり、Ｌａを酸化物換算で０．５質量％以上３質量％未満含む、請求項１に記載のコーディエライト質焼結体。
  3. 　２２℃における熱膨張係数の絶対値が０．０５×１０－６／℃以下である、請求項１又は２に記載のコーディエライト質焼結体。
  4. 　ヤング率が１４２ＧＰａ以上、ＳＥＰＢ法による破壊靱性値が１．４ＭＰａ・ｍ１／２以上ある、請求項１から３のいずれかに記載のコーディエライト質焼結体。
PCT/JP2016/060890 2015-04-21 2016-04-01 コーディエライト質焼結体 Ceased WO2016170953A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/566,818 US10125051B2 (en) 2015-04-21 2016-04-01 Cordierite-based sintered body
EP16782975.3A EP3287428B1 (en) 2015-04-21 2016-04-01 Cordierite sintered body

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-086985 2015-04-21
JP2015086985A JP6078094B2 (ja) 2015-04-21 2015-04-21 コーディエライト質焼結体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016170953A1 true WO2016170953A1 (ja) 2016-10-27

Family

ID=57143687

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/060890 Ceased WO2016170953A1 (ja) 2015-04-21 2016-04-01 コーディエライト質焼結体

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10125051B2 (ja)
EP (1) EP3287428B1 (ja)
JP (1) JP6078094B2 (ja)
WO (1) WO2016170953A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024204422A1 (ja) * 2023-03-30 2024-10-03 京セラ株式会社 セラミック焼結体および望遠鏡

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112739662B (zh) 2018-09-26 2022-10-25 京瓷株式会社 堇青石质陶瓷和望远镜用构件
JP2024144807A (ja) * 2023-03-31 2024-10-15 住友化学株式会社 複合酸化物粒子
WO2025032959A1 (ja) 2023-08-08 2025-02-13 黒崎播磨株式会社 コーディエライト質焼結体
JP7527753B1 (ja) * 2023-08-08 2024-08-05 黒崎播磨株式会社 コーディエライト質焼結体

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5738371A (en) * 1980-08-16 1982-03-03 Kogyo Gijutsuin Cordierite ceramic composition
JP2004196589A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミックス焼結体及びその製造方法
JP2012087026A (ja) * 2010-10-21 2012-05-10 Kurosaki Harima Corp コーディエライト質焼結体

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3393776B2 (ja) * 1996-12-26 2003-04-07 京セラ株式会社 誘電体磁器組成物および誘電体共振器
JP4894728B2 (ja) * 2007-10-31 2012-03-14 東ソー株式会社 透光性アルミナ焼結体およびその製造方法
EP2377506B1 (en) * 2010-04-16 2014-08-13 Ivoclar Vivadent AG Composite ceramic material comprising zirconia
US9988309B2 (en) * 2012-05-20 2018-06-05 Skyworks Solutions, Inc. Thermal barrier coating material with enhanced toughness
JP2014073928A (ja) * 2012-10-03 2014-04-24 Asahi Glass Co Ltd 酸化物セラミックス焼結体およびその製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5738371A (en) * 1980-08-16 1982-03-03 Kogyo Gijutsuin Cordierite ceramic composition
JP2004196589A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミックス焼結体及びその製造方法
JP2012087026A (ja) * 2010-10-21 2012-05-10 Kurosaki Harima Corp コーディエライト質焼結体

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
B. JIANG ET AL.: "Mechanical and thermal properties of LaMgA111O19", MATERIALS RESEARCH BULLETIN, vol. 45, no. Issue 10, 17 June 2010 (2010-06-17), pages 1506 - 1508, XP027190550 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024204422A1 (ja) * 2023-03-30 2024-10-03 京セラ株式会社 セラミック焼結体および望遠鏡

Also Published As

Publication number Publication date
JP6078094B2 (ja) 2017-02-08
EP3287428A1 (en) 2018-02-28
US10125051B2 (en) 2018-11-13
EP3287428A4 (en) 2018-10-31
EP3287428B1 (en) 2019-09-18
JP2016204198A (ja) 2016-12-08
US20180118625A1 (en) 2018-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5700631B2 (ja) コーディエライト質焼結体
JP6078094B2 (ja) コーディエライト質焼結体
CN107108374B (zh) 透光性氧化锆烧结体和其制造方法以及其用途
JP7608726B2 (ja) 焼結体、粉末及びその製造方法
JPWO2018116688A1 (ja) 希土類オキシフッ化物焼結体及びその製造方法
EP2679562B1 (en) Cordierite sintered body and member for semiconductor device composed of cordierite sintered body
CN103180262A (zh) 堇青石质陶瓷及使用其的半导体制造装置用部件
CN110418773B (zh) 透光性陶瓷烧结体和其制造方法
JP5773899B2 (ja) コージェライト質焼結体およびこのコージェライト質焼結体からなる露光装置用部材
JP7135501B2 (ja) ジルコニア焼結体及びその製造方法
JP7527753B1 (ja) コーディエライト質焼結体
EP3858801A1 (en) Cordierite ceramic and telescope member
WO2025033506A1 (ja) セラミックス材料、光学部材、ヘッドマウントディスプレイ、及び製造方法
WO2025032959A1 (ja) コーディエライト質焼結体
JP2015051921A (ja) コーディエライト質焼結体
JP2018002527A (ja) 透光性ジルコニア焼結体及びその製造方法並びにその用途
JP7696935B2 (ja) カバー部材
JP7848958B1 (ja) 焼結体及びその製造方法
TW202248177A (zh) 燒結體及其製造方法以及齒列矯正托架
JP2013177272A (ja) 載置用部材およびこれを用いた露光装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16782975

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2016782975

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15566818

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE