WO2017038237A1 - 保管装置および保管方法 - Google Patents

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WO2017038237A1 PCT/JP2016/069770 JP2016069770W WO2017038237A1 WO 2017038237 A1 WO2017038237 A1 WO 2017038237A1 JP 2016069770 W JP2016069770 W JP 2016069770W WO 2017038237 A1 WO2017038237 A1 WO 2017038237A1
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container
purge
storage
storage shelf
command
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村田　正直
忠正 冨永
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Murata Machinery Ltd
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Murata Machinery Ltd
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    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/37—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations with orientating and positioning by means of a vibratory bowl or track

Definitions

  • the present invention relates to a storage device and a storage method.
  • devices such as silicon wafers and glass wafers are subjected to various processes such as thin film formation, oxidation, and etching to manufacture devices.
  • processes such as thin film formation, oxidation, and etching to manufacture devices.
  • an article such as a substrate or a reticle used for the process is accommodated in a container, and the container is transported by a transport device.
  • a storage device buffer, stocker
  • for temporarily storing the container is provided at a delivery place between the transfer device and the processing device (see, for example, Patent Document 1 below).
  • Temporarily storing the container that is next carried out by the transport device and / or the container for the article that is next processed by the processing device in the storage device can reduce the waiting time of the transport device and the processing device.
  • the conveyance efficiency and the processing efficiency can be increased.
  • a storage device for example, a storage warehouse.
  • a purge device is provided in a storage shelf for storing the container, and the purge process is performed by the purge device each time the container is placed on the storage shelf.
  • the container carried into the processing apparatus or the container carried out from the processing apparatus does not need to be purged by the storage apparatus.
  • a purging process may be required for a container that stores an article before processing by the processing apparatus, but a purging process may not be necessary for a container that stores an article after processing by the processing apparatus.
  • a purge process is not required for a container that stores an article before processing by the processing apparatus, but a purge process may be necessary for a container that stores an article after processing by the processing apparatus. In such a case, if the purge process is performed both at the time of carry-in and at the time of carry-out, the cost and time required for the purge process are wasted.
  • the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide a storage device and a storage method capable of omitting an unnecessary purge process while maintaining a good environment in a container.
  • the storage device of the present invention includes a storage shelf that stores containers, a purge device that is provided in the storage shelf and can perform a purging process on the containers, a container carry-in source to the storage shelf, and a container from the storage shelf And a purge determining unit that determines at least one of necessity and conditions of the purge process according to at least one of the unloading destinations.
  • the purge determining unit determines whether or not purge processing is necessary according to a conveyance command to the loading / unloading device. But you can.
  • a container that is provided between the processing device for processing the articles contained in the container and is transferred between the transport vehicle port to which the container is transferred by the transport vehicle and the load port of the processing device is stored in a storage shelf.
  • the purge determining unit determines whether or not purge processing is necessary based on a transport command between the transport vehicle port and the storage shelf for the loading / unloading device or a transport command between the load port and the storage shelf for the loading / unloading device. It may be determined.
  • the purge determining unit may specify that the carry-in source is the transport vehicle port. Further, when the transport command is a command for transporting the container from the transport vehicle port to the storage shelf, the purge determining unit may specify that the carry-out destination is the load port. Further, when the transport command is a command for transporting the container from the load port to the storage shelf, the purge determining unit may specify that the carry-in source is the load port. Further, when the transport command is a command for transporting the container from the load port to the storage shelf, the purge determining unit may specify that the carry-out destination is the transport vehicle port.
  • the purge determination unit may determine whether the purge process is necessary by comparing the result of specifying the carry-out destination with information that associates the carry-out destination with the necessity of the purge process. In addition, the purge determination unit may determine whether or not the purge process is necessary by comparing the result of specifying the carry-in source with information that associates the carry-in source and the necessity of the purge process.
  • the storage method of the present invention includes storing a container on a storage shelf, purging the container with a purge device provided on the storage shelf, bringing the container into the storage shelf, and removing the container from the storage shelf. Determining at least one of necessity and condition of purge processing according to at least one of the destinations.
  • the necessity of the purge process is determined according to at least one of the container carry-in source to the storage shelf and the container carry-out destination from the storage shelf, so that the environment in the container is kept good. Unnecessary purge processing can be omitted.
  • a storage device that includes a loading / unloading device that carries containers into and out of the storage shelf, and the purge determination unit determines whether or not purge processing is necessary according to a conveyance command to the loading / unloading device. In the apparatus, since the transfer command used for the operation of the loading / unloading apparatus is used, it is possible to easily and reliably determine whether or not the purge process is necessary.
  • a container that is provided between the processing device for processing the articles contained in the container and is transferred between the transport vehicle port to which the container is transferred by the transport vehicle and the load port of the processing device is stored in a storage shelf.
  • the purge determining unit determines whether or not purge processing is necessary based on a transport command between the transport vehicle port and the storage shelf for the loading / unloading device or a transport command between the load port and the storage shelf for the loading / unloading device. Since the storage device to be determined is based on the transport command between the transport vehicle port or the load port and the storage shelf, the carry-in source and the transport-out destination can be reliably identified, and the necessity of the purge process can be determined easily and reliably. be able to.
  • the purge determining unit reliably specifies the transport source in the storage device that identifies the transport source as the transport vehicle port. can do. Further, when the transport command is a command for transporting the container from the transport vehicle port to the storage shelf, the purge determining unit must reliably specify the transport destination in the storage device that specifies that the transport destination is the load port. Can do. Further, when the transport command is a command for transporting the container from the load port to the storage shelf, the purge determining unit can reliably identify the carry-in source in the storage device that identifies the carry-in source as the load port. .
  • the purge determining unit reliably identifies the transport destination in the storage device that identifies the transport destination as the transport vehicle port. Can do. Further, the purge determining unit collates the result of specifying the carry-out destination with reference information that associates the carry-out destination with the necessity of the purge process, and the storage device that determines the necessity of the purge process requires No can be determined easily and reliably.
  • the purge determining unit collates the result of specifying the carry-in source with reference information that associates the carry-in source with the necessity of the purge process, and in the storage device that determines the necessity of the purge process, the purge determination unit No can be easily and reliably determined.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a manufacturing system SYS to which the storage device 1 according to the embodiment is applied.
  • the manufacturing system SYS manufactures various devices such as semiconductor devices and liquid crystal devices.
  • the manufacturing system SYS manufactures semiconductor devices by forming structures such as semiconductor elements, wirings, and insulating films on a substrate such as a silicon wafer.
  • the manufacturing system SYS includes a storage device 1, a processing device 2, and a transport vehicle (ceiling transport vehicle 3).
  • the processing apparatus 2 executes a process of a device manufacturing process.
  • the processing apparatus 2 is, for example, a film forming apparatus, a coater / developer, an exposure apparatus, an etching apparatus, or the like.
  • a container F containing articles related to processing is carried into and out of the processing apparatus 2 via load ports 4 and 5.
  • the article related to processing is, for example, a substrate to be processed or an article (eg, reticle) used for processing.
  • the processing apparatus 2 receives the container F at the load port 4, takes out the substrate accommodated in the container F, and performs a predetermined process on the substrate. Further, the processing apparatus 2 accommodates the processed substrate again in the container F and passes it to the load port 5.
  • the ceiling transport vehicle 3 is an OHT vehicle, for example, and is movable along a rail (not shown) installed on the ceiling (not shown) of the facility.
  • the overhead conveyance vehicle 3 conveys the container F outside the storage device 1 by moving the container F while holding (for example, holding) the container F.
  • the ceiling transport vehicle 3 transports a container F that contains an article related to processing of the processing device 2.
  • the ceiling conveyance vehicle 3 receives the container F which accommodated the articles
  • the overhead conveyance vehicle 3 delivers the container F at the conveyance vehicle ports (entry / exit ports 6 and 7).
  • the ceiling transport vehicle 3 passes the container F carried into the processing device 2 through the loading / unloading port 6 (warehousing port) and receives the container F carried out from the processing device 2 through the loading / unloading port 7 (shipping port).
  • the storage device 1 is a tool buffer or the like, and is attached to the processing device 2.
  • the storage device 1 is disposed on a transport path between the ceiling transport vehicle 3 and the processing device 2.
  • the storage device 1 stores the container F delivered between the loading / unloading ports 6 and 7 through which the container F is delivered by the ceiling transport vehicle 3 and the load ports 4 and 5 of the processing device 2.
  • the storage device 1 receives the container F when the ceiling transport vehicle 3 transports the container F to the loading / unloading port 6 and temporarily stores the container F until it is passed to the processing device 2. As a result, the next container F can be received at the loading / unloading port 6.
  • the storage device 1 temporarily stores the container F carried out from the processing device 2 and passes it to the loading / unloading port 7 when the loading / unloading port 7 is empty. Thereby, in the loading / unloading port 7, the ceiling conveyance vehicle 3 can receive the container F. As described above, by temporarily storing the container F in the storage device 1, the waiting time of the ceiling transport vehicle 3 can be reduced, and the transport efficiency is increased. In addition, the storage device 1 temporarily stores the container F received from the ceiling transport vehicle 3 and then passes the container F to the load port 4 when the load port 4 of the processing device 2 is empty. Thereby, the processing apparatus 2 can receive the next container F promptly after completion
  • the storage apparatus 1 receives the container F and temporarily stores it. As a result, the processing apparatus 2 can pass the next container F to the load port 5.
  • the standby time of the processing device 2 can be reduced, and the processing efficiency is increased.
  • the storage device 1 includes a storage shelf 11, a purge device 12 (also shown in FIG. 2 later) provided in the storage shelf 11, a loading / unloading device (transfer device 13), and a storage control device 14.
  • the storage control device 14 comprehensively controls each part of the storage device 1.
  • the storage control device 14 is provided with a purge determination unit 15 and a storage unit 16.
  • the storage shelves 11 are arranged one or more in the height direction (Z direction), and a plurality of storage shelves 11 are arranged in the horizontal direction (X direction). Each of the plurality of storage shelves 11 is supported by the frame 21 of the storage device 1.
  • a container F can be placed on each of the plurality of storage shelves 11.
  • the plurality of storage shelves 11 are shelves that can hold the containers F purged by the purge device 12.
  • the storage device 1 has a structure in which load ports 4 and 5, storage shelves 11 and storage ports 6 and 7 are arranged in multiple stages in the Z direction, load ports 4 and 5 are arranged in the lower stage, and storage shelves 11 in the middle stage. Is placed, and the loading / unloading ports 6 and 7 are arranged on the upper stage.
  • the number and arrangement of the storage shelves 11 are not limited, and the number and arrangement of the storage shelves 11 are arbitrarily set.
  • the transfer device 13 transports the container F inside the storage device 1 (for example, a space surrounded by the frame 21).
  • the transfer device 13 can transport the container F between the loading / unloading ports 6 and 7 and the storage shelf 11, and can transport the container F between the load ports 4 and 5 and the storage shelf 11. is there.
  • the transfer device 13 carries the container F passed to the loading / unloading port 6 into the storage shelf 11, unloads the container F from the storage shelf 11, and passes it to the load port 4.
  • the carry-in source of the container F to the storage shelf 11 is the loading / unloading port 6, and the carry-out destination of the container F from the storage shelf 11 is the load port 4.
  • the transfer device 13 can carry the container F delivered to the load port 5 into the storage shelf 11, carry out the container F from the storage shelf 11, and deliver it to the loading / unloading port 7.
  • the loading source of the container F to the storage shelf 11 is the load port 5
  • the shipping destination of the container F from the storage shelf 11 is the loading / unloading port 7.
  • the transfer device 13 includes a horizontal guide 22, a horizontal slider 23, a vertical guide 24, a vertical slider 25, an arm 26, and a transfer control unit 27.
  • the horizontal guide 22 is attached to the frame 21 and extends in the X direction.
  • the horizontal slider 23 is movable in the X direction along the horizontal guide 22.
  • the vertical guide 24 is attached to the horizontal slider 23 and extends in the Z direction.
  • the vertical guide 24 moves in the X direction together with the horizontal slider 23 when the horizontal slider 23 moves.
  • the vertical slider 25 is movable in the Z direction along the vertical guide 24.
  • the arm 26 is attached to the vertical slider 25.
  • the arm 26 moves in the X direction together with the horizontal slider 23 and the vertical slider 25 when the horizontal slider 23 moves.
  • the arm 26 moves in the Z direction together with the vertical slider 25 when the vertical slider 25 moves.
  • the arm 26 is a robot arm having one or two or more joints, and a distal end side thereof is a U-shaped gripping portion 26a.
  • the arm 26 can move the gripping portion 26a in the X direction and the Y direction, for example, by expansion and contraction of a joint.
  • the gripping portion 26 a is inserted under the flange portion 34 (also shown in FIG. 2 later) of the container F and grips the container F.
  • the arm 26 can move the container F in the X direction and the Y direction by extending and contracting the joint while the container F is gripped by the gripping portion 26a.
  • the container F may be moved in the X direction by moving the horizontal slider 23.
  • the transfer device 13 can move the container F in the X direction and the Z direction by the movement of the horizontal slider 23 and the movement of the vertical slider 25 while the container F is gripped by the gripping portion 26a.
  • the transfer control unit 27 controls the driving unit of the horizontal slider 23, the driving unit of the vertical slider 25, and the driving unit of the arm 26, respectively. In FIG. 3 later, these driving units are denoted by reference numeral 28.
  • the transfer control unit 27 is connected to the storage control device 14 so as to be communicable, and controls the drive unit according to a transport command supplied from the storage control device 14.
  • the transport command is a command for requesting transport of the container F by designating a starting point and an end point of transporting the container F.
  • the transfer apparatus 13 is not limited to said structure, For example, the bottom of the container F may be scooped up, the container F may be hold
  • FIG. 2 is a diagram showing the purge device 12.
  • the container F may be a SMIF Pod, a reticle Pod, or the like.
  • the container F includes a box-shaped main body portion 32 having an opening 31 on the front surface and a lid portion 33 that closes the opening 31. Articles such as wafers are accommodated in the interior Fa (internal space, accommodation space) of the container F through the opening 31.
  • a flange portion 34 is provided on the upper portion of the main body portion 32.
  • the main body 32 includes a positioning recess (not shown) on the bottom surface Fb side. Positioning pins (not shown) are provided on the upper surface of the storage shelf 11.
  • the main body portion 32 of the container F includes a gas introduction port 35 and a gas exhaust port 36 on the bottom surface Fb side.
  • the gas introduction port 35 is provided with, for example, a gas introduction port, a filter, and a check valve.
  • the gas inlet communicates with the inside Fa and the outside of the main body 32.
  • the inside of the gas inlet is a flow path of the purge gas G1 supplied to the internal Fa of the container F, and the filter is provided in this flow path.
  • the filter is a particle filter, for example, and removes dust contained in the gas passing through the gas inlet.
  • the check valve of the gas introduction port 35 prevents the gas from flowing out from the inside Fa of the container F to the outside through the gas introduction port.
  • the gas exhaust port 36 is provided with an exhaust port, a check valve, and a filter. The exhaust port communicates with the inside Fa and the outside of the main body 32.
  • the check valve of the gas exhaust port 36 prevents the gas from flowing from the outside of the container F into the internal Fa through the exhaust port.
  • the filter is a particle filter, for example, and removes dust contained in the gas passing through the exhaust port.
  • the ratio of the atmospheric gas in the internal Fa in the container F before the purge process is high immediately after the start of the purge process, and the ratio of the purge gas G1 increases as time elapses from the start of the purge process.
  • the purge device 12 is provided in the storage shelf 11 and can purge the container F.
  • the purge device 12 includes a purge nozzle 41, an exhaust nozzle 42, a flow rate control device 43, and a purge control unit 44.
  • the purge nozzle 41 and the exhaust nozzle 42 are provided on the upper surface of the storage shelf 11.
  • the purge nozzle 41 and the exhaust nozzle 42 are arranged so as to be connected to the gas introduction port and the exhaust port, respectively, when the container F is placed on the storage shelf 11.
  • the gas inlet of the container F is connected to the pipe 45 via the purge nozzle 41 and further connected to the gas source 46 via the flow rate control device 43.
  • the exhaust nozzle 42 is connected to an exhaust path (gas exhaust 48) of the purge gas G1 through a pipe 47.
  • the gas source 46 supplies the purge gas G1.
  • the type of the purge gas G1 is selected according to the contents (article) accommodated in the container F. For example, a gas that suppresses oxidation of the contained material, suppresses molecular contamination, a gas that reduces the moisture in the container F, or the like is used.
  • a gas inert to the accommodation such as nitrogen gas is used as the purge gas G1.
  • a dry gas such as clean dry air (CDA) is used as the purge gas G1.
  • CDA clean dry air
  • the gas source 46 may be a part of the storage device 1 or may be an external device of the storage device 1, for example, a part of equipment in which the storage device 1 is provided.
  • the purge gas G1 from the gas source 46 is supplied to the internal Fa from the gas inlet of the container F via the flow rate control device 43 and the pipe 45, and is filled into the internal Fa of the container F. . Further, the gas in the internal Fa is discharged from the exhaust port to the outside of the container F, and is exhausted to the outside by the gas exhaust 48 through the pipe 45.
  • the gas exhaust 48 may be provided with a device for sucking gas by a pump or the like. Further, the container F may not include the gas exhaust port 36, and in this case, the purge device 12 may not include the exhaust nozzle 42.
  • the gas in the internal Fa of the container F leaks to the outside through the gap between the opening 31 and the lid 33, so The gas of the internal Fa can be exhausted to the outside.
  • the flow rate control device 43 controls the flow rate of the purge gas G1 in the pipe 45 (the flow path between the gas inlet of the vessel F and the gas source 46) connected to the vessel F.
  • the flow control device 43 is a mass flow controller, for example, and has a flow path through which the purge gas G1 flows.
  • the flow path inside the flow control device 43 is provided with a flow control valve such as a flow meter or a solenoid valve using a self-heating resistor.
  • the flow control device 43 feedback-controls the solenoid valve based on the measurement result of the flow meter, and brings the flow rate of the purge gas G1 in the interior close to the target value.
  • the flow rate control device 43 controls the flow rate of the purge gas G1 in the pipe 45, whereby the flow rate of the purge gas G1 supplied from the gas source 46 to the purge nozzle 41 is controlled.
  • the flow rate control device 43 is communicably connected to the purge control unit 44, and controls the flow rate of the purge gas G1 based on a control signal supplied from the purge control unit 44.
  • the storage shelf 11 is provided with a seat sensor 49 (stock sensor) that detects that the container F is placed.
  • the presence sensor 49 is a contact type sensor such as a button sensor, and detects that the container F is placed on the storage shelf 11 by being pushed down by the bottom surface of the container F.
  • the presence sensor 49 is communicably connected to the purge control unit 44 and supplies the detection result to the purge control unit 44.
  • the purge control unit 44 is communicably connected to the storage control device 14 and controls the flow rate control device 43 according to a command supplied from the storage control device 14 to execute a purge process.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the manufacturing system SYS according to the embodiment.
  • the manufacturing system SYS includes a host control device 51.
  • the host controller 51 is MES (Manufacturing Execution System), MCS (Material Control System, Material Handling Control System), or the like.
  • the host control device 51 comprehensively controls the storage device 1, the processing device 2, and the ceiling transport vehicle 3.
  • FIG. 3 representatively shows one processing apparatus 2 provided in the manufacturing system SYS.
  • the manufacturing system SYS is provided with a plurality of processing apparatuses, and the host controller 51 includes a plurality of processing apparatuses. Control the device.
  • the host controller 51 supplies a control command to the ceiling transport vehicle 3 and causes the ceiling transport vehicle 3 to transport the container F.
  • the host control device 51 also supplies a control command to the processing device 2 and causes the processing device 2 to execute processing.
  • the host controller 51 supplies a control command to the storage device 1 to execute delivery of the container F with the overhead conveyance vehicle 3, delivery with the container F with the processing device 2, and the like.
  • the storage control device 14 of the storage device 1 supplies a transfer command to the transfer control unit 27 of the transfer device 13 based on the control command from the host control device 51, and causes the transfer device 13 to transfer the container F.
  • the container F delivered to the processing apparatus 2 or the container F received from the processing apparatus 2 may not need the purge process by the purge apparatus 12 of the storage apparatus 1.
  • the purge process needs to be performed before the processing of the processing apparatus 2, but the container F may not be subjected to the purge process when the processed article is conveyed.
  • the purging process for the container F to be passed to the processing apparatus 2 is necessary, but the purging process for the container F received from the processing apparatus 2 is not necessary. Time is wasted. Therefore, in the storage device 1, the purge determination unit 15 determines whether or not the purge process is necessary according to at least one of the carry-in source of the container F to the storage shelf 11 and the carry-out destination of the container F from the storage shelf 11.
  • the storage control device 14 causes the purge determination unit 15 to perform the purge process by the purge device 12 on the container F determined to require the purge process, and the purge determination unit 15 determines that the purge process is unnecessary. On the other hand, the purge process by the purge device 12 is not executed.
  • the purge device 12 of the storage device 1 may be performed in the storage device 1 as much as the purge gas is removed during the transfer.
  • the purge determination unit 15 may determine the conditions for the purge process according to at least one of the carry-in source of the container F to the storage shelf 11 and the carry-out destination of the container F from the storage shelf 11.
  • the purge process conditions include, for example, the flow rate of the purge gas, the supply time of the purge gas, and the like.
  • the purge determination unit 15 responds to a transfer command between the loading / unloading ports 6 and 7 and the storage shelf 11 for the transfer device 13 or a transfer command between the load ports 4 and 5 and the storage shelf 11 to the transfer device 13. Based on this, the necessity of the purge process is determined.
  • the transport command is a command to transport the container F from the loading / unloading port 6 to the storage shelf 11
  • the container F is temporarily stored and then passed to the processing device 2.
  • the article before processing is accommodated.
  • the transport command is a command for transporting the container F from the load port 5 to the storage shelf 11, the container F contains an article processed by the processing device 2.
  • the purge determining unit 15 specifies the carry-in source and the carry-out destination of the container F based on the conveyance command, and collates the result with reference information.
  • the reference information is information that associates the carry-in source with the necessity of the purge process, or information that associates the carry-out destination with the necessity of the purge process.
  • the reference information is stored in the storage unit 16, and the purge determination unit 15 determines whether or not purge processing is necessary by comparing the result of specifying the carry-in source and the carry-out destination with the reference information acquired from the storage unit 16. To do.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of reference information according to the embodiment.
  • the reference information D1 in FIG. 4A is table data in which the carry-in source to the storage shelf 11 and the necessity of purge processing are associated with each other.
  • a purge process is unnecessary before the processing of the processing apparatus 2 and a purge process is required after the processing of the processing apparatus 2.
  • this container F corresponds to before processing of the processing apparatus 2, and therefore the item “necessity of purge processing” is set. “Unnecessary”.
  • the container F corresponds after the processing of the processing apparatus 2, and therefore the item “necessity of purge processing” is “necessary”.
  • table data that associates the carry-out destination to the storage shelf 11 with the necessity of the purge process can be used.
  • the “carry-out destination from the storage shelf” is “entry / exit port”
  • the “carry-in source to storage shelf” corresponds to the “load port” in the reference information D1
  • “necessity of purge processing” Item is “necessary”.
  • the “carry-out destination from the storage shelf” is “load port”
  • the “carry-in source to the storage shelf” in the reference information D1 corresponds to the “entry / exit port”.
  • the “necessity” item is “unnecessary”.
  • the reference information D3 in FIG. 4C is table data in which the carry-in source to the storage shelf 11 is associated with the purge processing conditions.
  • the purge process conditions are the flow rate and supply time of the purge gas.
  • source to storage shelf is “entry / exit port”
  • flow rate of purge gas” of “condition of purge process” is “Q1”
  • supply time is “T1”.
  • the “loading source to the storage shelf” is “load port”
  • the “purge gas flow rate” of the “purging process condition” is “Q2”
  • the “supply time” is “T2”.
  • the degree of purge processing may be lighter (the purge gas supply amount is smaller) than the corresponding container F after processing. Since the container F corresponding to the process has a “loading source to the storage shelf” as the “loading / unloading port”, the container F corresponding to the process has a “loading source from the storage shelf” as the “load port”. , Q1 is set to be less than Q2, or T1 is set to be shorter than T2. It should be noted that instead of “necessity of purge process” in FIG.
  • “necessity of purge process” can be used to indicate the necessity of purge process, for example, “flow rate of purge gas” and “supply” By setting at least one of “time” to 0, it can also indicate that the purge process is unnecessary.
  • the reference information D4 in FIG. 4D is table data that associates the carry-in source to the storage shelf 11 with the necessity / conditions of the purge process and the conditions. If the “Purchase from / to the storage shelf” is “In / Out port”, “Necessity of purge processing” is “Unnecessary”, and “Purge gas flow rate” and “Supply time” of “Purge processing conditions” are Both are “0”. In addition, when “loading source to storage shelf” is “load port”, “necessity of purge process” is “necessary”, and “purge gas flow rate” of “condition of purge process” is “Q2”. Yes “Supply time” is “T2”.
  • FIG. 5A is a flowchart illustrating the purge method according to the embodiment
  • FIG. 5B is a flowchart illustrating an example of the process of step S1 in FIG. 5A.
  • the purge determining unit 15 determines whether or not purge processing is necessary. As shown in FIG. 5B, in step S ⁇ b> 11 of step S ⁇ b> 1, the purge determining unit 15 acquires a conveyance command for the transfer device 13. Further, in step S12, the purge determining unit 15 specifies the carry-in source of the container F to the storage shelf 11 based on the acquired conveyance command.
  • the purge determining unit 15 obtains reference information (see FIG. 4) from the storage unit 16 in step S13, and in step S14, collates the carry-in source of the container F to the storage shelf 11 with the reference information, and performs purge processing. Decide whether it is necessary.
  • step S2 of FIG. 5A the storage control device 14 determines whether or not to execute the purge process.
  • the purge determining unit 15 determines that the purge process is necessary
  • the storage control device 14 determines that the purge process is to be executed (step S2; Yes), and executes the purge process to the purge control unit 44 in step S3.
  • the purge process is executed by supplying the required control command.
  • the storage control apparatus 14 determines not to perform a purge process, when the purge determination part 15 determines that a purge process is unnecessary (step S2; No).
  • step S4 or when it is determined not to execute the purge process step S2; No
  • the storage device 1 stores the container F in the storage shelf 11.
  • the storage control device 14 includes, for example, a computer system.
  • the storage control device 14 reads a program stored in the storage unit 16 and executes various processes according to the control program.
  • This control program stores, for example, a container F in the storage shelf 11 in a computer, performs a purge process on the container F by the purge device 12 provided in the storage shelf 11, and stores the container F in the storage shelf 11.
  • control including determining whether or not purge processing is necessary and at least one of the conditions is executed.
  • This program may be provided by being recorded on a computer-readable storage medium.
  • the purge determination unit 15 determines whether or not the purge process is necessary according to the conveyance command to the transfer device 13, but may determine whether or not the purge process is necessary based on other information.
  • the storage device 1 may acquire information on the container F from the host control device 51 or the processing device 2 and determine whether or not purge processing is necessary based on this information.
  • the information on the container F is associated with, for example, an individual ID of the container F, and includes information such as the type of the article accommodated in the container F, the stage of processing, and the like.
  • Japanese Patent Application No. 2015-168594 which is a Japanese patent application, and all the references cited in the above-described embodiments, etc. are incorporated as part of the description of this text.

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Abstract

【課題】器内の環境を良好に保ちつつ、不要なパージ処理を省くことが可能な保管装置を提供する。 【解決手段】保管装置（１）は、容器（Ｆ）を保管する保管棚（１１）と、保管棚に設けられ、容器にパージ処理を行うことが可能なパージ装置（１２）と、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定するパージ決定部（１５）と、を備える。

Description

保管装置および保管方法
　本発明は、保管装置および保管方法に関する。
　半導体デバイス、液晶デバイスなどの各種デバイスの製造工場では、シリコンウェハ、ガラスウェハ等の基板に、薄膜の形成処理、酸化処理、エッチング処理などの各種処理を施して、デバイスを製造する。このような各処理を行う処理装置の間では、基板、あるいは処理に用いられるレチクルなどの物品を容器に収容し、この容器を搬送装置により搬送する。搬送装置と処理装置との受け渡し場所には、容器を一時的に保管する保管装置（バッファ、ストッカ）が設けられる（例えば、下記の特許文献１参照）。次に搬送装置が搬出する容器、及び／または次に処理装置が処理する物品の容器を、保管装置に一時的に保管しておくことで、搬送装置、処理装置の待機時間を減らすことができ、搬送効率および処理効率を高めることができる。
　近年、各種デバイスの高集積が進められており、酸化、汚染などによる欠陥が微小であっても歩留まりを低下させる要因になる。そのため、酸化抑制、汚染抑制に対する要求が厳しく、保管装置（例えば保管倉庫）において容器にパージ処理を行うことが可能であることが求められる。保管装置において容器にパージ処理を行うには、容器を保管する保管棚にパージ装置を設け、保管棚に容器が載置されるたびにパージ装置によりパージ処理を行う手法が用いられる。
特許第５０８３２７８号公報
　ところで、処理装置に搬入される容器または処理装置から搬出される容器は、保管装置でパージ処理を行う必要がない場合がある。例えば、処理装置の処理前の物品を収容した容器にはパージ処理が必要であるが、処理装置の処理後の物品を収容した容器にはパージ処理が不要の場合がある。逆に、処理装置の処理前の物品を収容した容器にはパージ処理が不要であるが、処理装置の処理後の物品を収容した容器にはパージ処理が必要である場合もある。このような場合に、搬入時および搬出時の双方でパージ処理を行うと、パージ処理に要するコスト、時間が無駄になる。本発明は、上述の事情に鑑みなされたものであり、容器内の環境を良好に保ちつつ、不要なパージ処理を省くことが可能な保管装置および保管方法を提供することを目的とする。
　本発明の保管装置は、容器を保管する保管棚と、保管棚に設けられ、容器にパージ処理を行うことが可能なパージ装置と、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定するパージ決定部と、を備える。
　また、保管棚への容器の搬入および保管棚からの容器の搬出を行う入出庫装置を備え、パージ決定部は、入出庫装置への搬送指令に応じて、パージ処理の要否を決定するものでもよい。また、容器に収容された物品を処理する処理装置に併設され、搬送車によって容器が受け渡される搬送車用ポートと、処理装置のロードポートとの間で受け渡される容器を保管棚に保管し、パージ決定部は、入出庫装置に対する搬送車用ポートと保管棚との間の搬送指令、または入出庫装置に対するロードポートと保管棚との間の搬送指令に基づいて、パージ処理の要否を決定するものでもよい。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元が搬送車用ポートであると特定するものでもよい。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先がロードポートであると特定するものでもよい。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元がロードポートであると特定するものでもよい。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先が搬送車用ポートであると特定するものでもよい。また、パージ決定部は、搬出先を特定した結果を、搬出先とパージ処理の要否とを関連付けた情報と照合して、パージ処理の要否を決定するものでもよい。また、パージ決定部は、搬入元を特定した結果を、搬入元とパージ処理の要否とを関連付けた情報と照合して、パージ処理の要否を決定するものでもよい。
　本発明の保管方法は、容器を保管棚に保管することと、保管棚に設けられるパージ装置により容器にパージ処理を行うことと、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定することと、を含む。
　本発明によれば、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否を決定するので、容器内の環境を良好に保ちつつ、不要なパージ処理を省くことができる。また、保管棚への容器の搬入および保管棚からの容器の搬出を行う入出庫装置を備え、パージ決定部は、入出庫装置への搬送指令に応じて、パージ処理の要否を決定する保管装置では、入出庫装置の動作に用いられる搬送指令を利用するので、簡易かつ確実にパージ処理の要否を決定することができる。また、容器に収容された物品を処理する処理装置に併設され、搬送車によって容器が受け渡される搬送車用ポートと、処理装置のロードポートとの間で受け渡される容器を保管棚に保管し、パージ決定部は、入出庫装置に対する搬送車用ポートと保管棚との間の搬送指令、または入出庫装置に対するロードポートと保管棚との間の搬送指令に基づいて、パージ処理の要否を決定する保管装置では、搬送車用ポートあるいはロードポートと保管棚との搬送指令に基づくので、搬入元、搬出先を確実に特定することができ、簡易かつ確実にパージ処理の要否を決定することができる。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元が搬送車用ポートであると特定する保管装置では、搬入元を確実に特定することができる。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先がロードポートであると特定する保管装置では、搬出先を確実に特定することができる。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元がロードポートであると特定する保管装置では、搬入元を確実に特定することができる。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先が搬送車用ポートであると特定する保管装置では、搬出先を確実に特定することができる。また、パージ決定部は、搬出先を特定した結果を、搬出先とパージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、パージ処理の要否を決定する保管装置では、パージ処理の要否を簡易かつ確実に決定することができる。また、パージ決定部は、搬入元を特定した結果を、搬入元とパージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、パージ処理の要否を決定する保管装置では、パージ処理の要否を容易かつ確実に決定することができる。
実施形態に係る保管装置を適用した製造システムの一例を示す図である。 実施形態に係るパージ装置を示す図である。 実施形態に係る製造システムを示すブロック図である。 （Ａ）から（Ｄ）は、実施形態に係る参照情報を示す図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、実施形態に係るパージ方法を示すフローチャートである。
　以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の各図において、適宜、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ、Ｙ方向とする。
　図１は、実施形態に係る保管装置１を適用した製造システムＳＹＳの一例を示す図である。製造システムＳＹＳは、半導体デバイス、液晶デバイスなどの各種デバイスを製造する。製造システムＳＹＳは、例えば、シリコンウェハなどの基板に、半導体素子、配線、絶縁膜などの構造物を形成し、半導体デバイスを製造する。製造システムＳＹＳは、保管装置１、処理装置２、及び搬送車（天井搬送車３）を備える。
　処理装置２は、デバイスを製造する工程の処理を実行する。処理装置２は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、エッチング装置などである。処理装置２には、ロードポート４、５を介して、処理に関する物品を収容した容器Ｆが搬入、搬出される。処理に関する物品は、例えば、処理対象の基板、あるいは処理に用いる物品（例、レチクル）などである。処理装置２は、ロードポート４において容器Ｆを受け取り、容器Ｆに収容された基板を取り出し、基板に所定の処理を施す。また、処理装置２は、処理後の基板を容器Ｆに再度収容して、ロードポート５に渡す。
　天井搬送車３は、例えばＯＨＴビークルなどであり、設備の天井（図示せず）に設置されたレール（図示せず）に沿って移動可能である。天井搬送車３は、容器Ｆを保持（例、把持）して移動することにより、保管装置１の外部で容器Ｆを搬送する。例えば、天井搬送車３は、処理装置２の処理に関する物品を収容した容器Ｆを搬送する。また、天井搬送車３は、処理装置２が処理した物品を収容した容器Ｆを受け取り、この容器Ｆを他の処理装置などに搬送する。天井搬送車３は、搬送車用ポート（入出庫ポート６、７）において、容器Ｆの受け渡しを行う。例えば、天井搬送車３は、処理装置２に搬入される容器Ｆを入出庫ポート６（入庫ポート）で渡し、処理装置２から搬出された容器Ｆを入出庫ポート７（出庫ポート）で受け取る。
　保管装置１は、ツールバッファなどであり、処理装置２に併設される。保管装置１は、天井搬送車３と処理装置２との間の搬送経路に配置される。保管装置１は、天井搬送車３によって容器Ｆが受け渡される入出庫ポート６、７と、処理装置２のロードポート４、５との間で受け渡される容器Ｆを保管する。保管装置１は、天井搬送車３が入出庫ポート６に容器Ｆを搬送した際に容器Ｆを受け取り、この容器Ｆを処理装置２に渡すまで一時的に保管する。これにより、入出庫ポート６において次の容器Ｆを受け入れ可能になる。また、保管装置１は、処理装置２から搬出された容器Ｆを一時的に保管し、入出庫ポート７が空いている場合に、入出庫ポート７に渡す。これにより、入出庫ポート７において、天井搬送車３が容器Ｆを受け取り可能な状態になる。このように、保管装置１に容器Ｆを一時的に保管することで、天井搬送車３の待機時間を減らすことができ、搬送効率が高くなる。また、保管装置１は、天井搬送車３から受け取った容器Ｆを一時的に保管した後、処理装置２のロードポート４が空いている場合に、ロードポート４に容器Ｆを渡す。これにより、処理装置２は、処理の終了後に次の容器Ｆを速やかに受け取ることができる。また、保管装置１は、処理装置２がロードポート５に容器Ｆを搬出した際に、この容器Ｆを受け取り、一時的に保管する。これにより、処理装置２は、次の容器Ｆをロードポート５に渡すことが可能になる。このように、保管装置１に容器Ｆを一時的に保管することで、処理装置２の待機時間を減らすことができ、処理効率が高くなる。
　次に、保管装置１の各部について説明する。保管装置１は、保管棚１１と、保管棚１１に設けられるパージ装置１２（後の図２にも示す）と、入出庫装置（移載装置１３）と、保管制御装置１４とを備える。保管制御装置１４は、保管装置１の各部を総括的に制御する。保管制御装置１４には、パージ決定部１５および記憶部１６が設けられる。
　保管棚１１は、高さ方向（Ｚ方向）に１段または２段以上並んで配置され、水平方向（Ｘ方向）に複数並んで配置される。複数の保管棚１１は、それぞれ、保管装置１のフレーム２１に支持される。複数の保管棚１１には、それぞれ容器Ｆを載置可能である。複数の保管棚１１は、それぞれパージ装置１２によりパージ処理された容器Ｆを保持可能な棚である。保管装置１は、ロードポート４、５、保管棚１１、入出庫ポート６、７がＺ方向に多段に配置された構造であり、下段にロードポート４、５が配置され、中段に保管棚１１が配置され、上段に入出庫ポート６、７が配置される。なお、保管棚１１の数および配置に限定はなく、保管棚１１の数および配置は、任意に設定される。
　移載装置１３は、保管装置１の内部（例、フレーム２１に囲まれる空間）で、容器Ｆを搬送する。移載装置１３は、入出庫ポート６、７と、保管棚１１との間で容器Ｆを搬送可能であり、また、ロードポート４、５と保管棚１１との間で容器Ｆを搬送可能である。例えば、移載装置１３は、入出庫ポート６に渡された容器Ｆを保管棚１１に搬入し、保管棚１１から容器Ｆを搬出してロードポート４に渡す。この場合、保管棚１１への容器Ｆの搬入元は入出庫ポート６であり、保管棚１１からの容器Ｆの搬出先はロードポート４である。また、移載装置１３は、ロードポート５に渡された容器Ｆを保管棚１１に搬入し、保管棚１１から容器Ｆを搬出して入出庫ポート７に渡すことができる。この場合、保管棚１１への容器Ｆの搬入元はロードポート５であり、保管棚１１からの容器Ｆの搬出先は入出庫ポート７である。
　移載装置１３は、水平ガイド２２、水平スライダ２３、鉛直ガイド２４、鉛直スライダ２５、アーム２６、及び移載制御部２７を備える。水平ガイド２２は、フレーム２１に取り付けられ、Ｘ方向に延びている。水平スライダ２３は、水平ガイド２２に沿ってＸ方向に移動可能である。鉛直ガイド２４は、水平スライダ２３に取り付けられ、Ｚ方向に延びている。鉛直ガイド２４は、水平スライダ２３が移動する際に、水平スライダ２３とともにＸ方向に移動する。鉛直スライダ２５は、鉛直ガイド２４に沿ってＺ方向に移動可能である。アーム２６は、鉛直スライダ２５に取り付けられている。アーム２６は、水平スライダ２３が移動する際に、水平スライダ２３および鉛直スライダ２５とともにＸ方向に移動する。また、アーム２６は、鉛直スライダ２５が移動する際に、鉛直スライダ２５とともにＺ方向に移動する。アーム２６は、１または２以上の関節を有するロボットアームであり、その先端側がＵ字状の把持部２６ａになっている。アーム２６は、例えば関節の伸縮により、把持部２６ａをＸ方向およびＹ方向に移動可能である。把持部２６ａは、容器Ｆのフランジ部３４（後に図２にも示す）の下に差し込まれ、容器Ｆを把持する。アーム２６は、把持部２６ａにより容器Ｆを把持した状態で関節を伸縮させることで、容器ＦをＸ方向およびＹ方向に移動可能である。なお、水平スライダ２３の移動によって容器ＦをＸ方向に移動させてもよい。また、移載装置１３は、把持部２６ａに容器Ｆを把持した状態で、水平スライダ２３の移動、鉛直スライダ２５の移動により、容器ＦをＸ方向およびＺ方向に移動可能である。
　移載制御部２７は、水平スライダ２３の駆動部、鉛直スライダ２５の駆動部、及びアーム２６の駆動部をそれぞれ制御する。後の図３では、これら駆動部を符号２８で表す。移載制御部２７は、保管制御装置１４と通信可能に接続され、保管制御装置１４から供給される搬送指令に応じて、上記の駆動部を制御する。搬送指令は、容器Ｆを搬送する起点および終点を指定して、容器Ｆの搬送を要求する指令である。なお、移載装置１３は、上記の構成に限定されず、例えば容器Ｆの底面をすくい上げて容器Ｆを保持し、容器Ｆを搬送するものでもよい。
　図２は、パージ装置１２を示す図である。図２には容器Ｆの一例としてＦＯＵＰを示すが、容器Ｆは、ＳＭＩＦ　Ｐｏｄ、レチクルＰｏｄなどでもよい。容器Ｆは、前面に開口３１を有する箱状の本体部３２と、開口３１を塞ぐ蓋部３３とを備える。ウェハなどの物品は、開口３１を介して容器Ｆの内部Ｆａ（内部空間、収容スペース）に収容される。本体部３２の上部には、フランジ部３４が設けられる。本体部３２は、その底面Ｆｂ側に位置決め用の凹部（図示せず）を備える。保管棚１１の上面には位置決め用のピン（図示せず）が設けられる。容器Ｆを保管棚１１に載置する際に、容器Ｆの底面Ｆｂ側の凹部には保管棚１１の上面のピンが入り込み、容器Ｆが保管棚１１に対して位置決めされる。容器Ｆの本体部３２は、底面Ｆｂ側に、ガス導入ポート３５およびガス排気ポート３６を備える。
　ガス導入ポート３５には、例えば、ガス導入口、フィルタ、及び逆止弁が設けられる。ガス導入口は、本体部３２の内部Ｆａと外部とに連通する。ガス導入口の内側は、容器Ｆの内部Ｆａに供給されるパージガスＧ１の流路であり、フィルタはこの流路に設けられる。フィルタは、例えばパーティクルフィルタであり、ガス導入口を通るガスに含まれる埃を除去する。ガス導入ポート３５の逆止弁は、容器Ｆの内部Ｆａからガス導入口を介して外部へガスが流出することを抑制する。ガス排気ポート３６には、例えば、排気口、逆止弁、及びフィルタが設けられる。排気口は、本体部３２の内部Ｆａと外部とに連通する。ガス排気ポート３６の逆止弁は、容器Ｆの外部から排気口を介して内部Ｆａへガスが流入することを抑制する。フィルタは、例えばパーティクルフィルタであり、排気口を通るガスに含まれる埃を除去する。排気口を通るガスは、パージ処理の開始直後において、パージ処理前の容器Ｆにおける内部Ｆａの雰囲気ガスの比率が高く、パージ処理の開始から時間が経過するにつれてパージガスＧ１の比率が高くなる。
　パージ装置１２は、保管棚１１に設けられ、容器Ｆにパージ処理を行うことが可能である。パージ装置１２は、パージノズル４１、排気ノズル４２、流量制御装置４３、及びパージ制御部４４を備える。パージノズル４１及び排気ノズル４２は、保管棚１１の上面に設けられる。パージノズル４１及び排気ノズル４２は、保管棚１１に容器Ｆを載置した際に、それぞれガス導入口、排気口と接続するように配置される。容器Ｆのガス導入口は、保管棚１１に容器Ｆを載置した際に、パージノズル４１を介して配管４５に接続され、さらに流量制御装置４３を介してガス源４６と接続される。排気ノズル４２は、配管４７を介してパージガスＧ１の排気経路（ガス排気４８）に接続される。
　ガス源４６は、パージガスＧ１を供給する。パージガスＧ１の種類は、容器Ｆに収容される収容物（物品）に応じて選択される。例えば、収容物に対する酸化抑制、分子汚染等を抑制するガス、容器Ｆの内部の水分を減少させるガスなどが用いられる。例えば、収容物がシリコンウェハである場合、パージガスＧ１として窒素ガスなどの収容物にとって不活性なガスが用いられる。窒素ガスが容器Ｆの内部Ｆａに供給されることによって、酸素を含む雰囲気ガスが容器Ｆの内部から外部へ排気（除去）され、シリコンウェハが酸化されることが抑制（防止）される。また、収容物がレチクルである場合、パージガスＧ１として清浄乾燥空気（ＣＤＡ）などの乾燥ガスが用いられる。清浄乾燥空気が容器Ｆの内部Ｆａに供給されることによって、水分を含む雰囲気ガスが容器Ｆの内部から外部へ排気（除去）され、レチクルに水分が付着すること、及び収容物にとって有害なガスにさらされることが抑制（防止）される。ガス源４６は、保管装置１の一部でもよいし、保管装置１の外部の装置でもよく、例えば、保管装置１が設けられる設備の一部でもよい。
　容器Ｆをパージ処理する際、ガス源４６からのパージガスＧ１は、流量制御装置４３および配管４５を介して、容器Ｆのガス導入口から内部Ｆａに供給され、容器Ｆの内部Ｆａに充填される。また、内部Ｆａのガスは、排気口から容器Ｆの外部に排出され、配管４５を介してガス排気４８により外部に排気される。なお、ガス排気４８は、ポンプなどによりガスを吸引する装置が設けられてよい。また、容器Ｆはガス排気ポート３６を備えなくてもよく、この場合、パージ装置１２は排気ノズル４２を備えなくてもよい。例えば、容器Ｆの内部Ｆａの圧力が閾値以上になると、容器Ｆの内部Ｆａのガスが開口３１と蓋部３３との隙間などから外部へ漏れるので、ガス排気ポート３６が無い場合でも容器Ｆの内部Ｆａのガスを外部へ排気することができる。
　流量制御装置４３は、容器Ｆに接続される配管４５（容器Ｆのガス導入口とガス源４６との間の流路）におけるパージガスＧ１の流量を制御する。流量制御装置４３は、例えばマスフローコントローラであり、その内部にパージガスＧ１が流れる流路を有する。流量制御装置４３の内部の流路には、例えば、自己発熱型抵抗体を利用した流量計、電磁弁などの流量制御バルブが設けられる。流量制御装置４３は、流量計の測定結果をもとに電磁弁をフィードバック制御し、その内部におけるパージガスＧ１の流量を目標値に近づける。流量制御装置４３が配管４５におけるパージガスＧ１の流量を制御することにより、ガス源４６からパージノズル４１へ供給されるパージガスＧ１の流量が制御される。流量制御装置４３は、パージ制御部４４と通信可能に接続され、パージ制御部４４から供給される制御信号に基づいて、パージガスＧ１の流量を制御する。
　保管棚１１には、容器Ｆが載置されたことを検出する在席センサ４９（在荷センサ）が設けられる。在席センサ４９は、ボタンセンサなどの接触型センサであり、容器Ｆの底面によって押し下げられることで、容器Ｆが保管棚１１に載置されたことを検出する。在席センサ４９は、パージ制御部４４と通信可能に接続され、その検出結果をパージ制御部４４に供給する。パージ制御部４４は、保管制御装置１４と通信可能に接続され、保管制御装置１４から供給される指令に応じて流量制御装置４３を制御し、パージ処理を実行させる。
　図３は、実施形態に係る製造システムＳＹＳを示すブロック図である。製造システムＳＹＳは、上位制御装置５１を備える。上位制御装置５１は、MES（Manufacturing Execution System）、MCS（Material Control System、Material Handling Control System）などである。上位制御装置５１は、保管装置１、処理装置２、及び天井搬送車３を包括的に制御する。なお、図３には製造システムＳＹＳに設けられる１つの処理装置２を代表的に示したが、実際には製造システムＳＹＳには複数の処理装置が設けられ、上位制御装置５１は、複数の処理装置を制御する。上位制御装置５１は、天井搬送車３に制御指令を供給し、天井搬送車３に容器Ｆを搬送させる。また、上位制御装置５１は、処理装置２に制御指令を供給し、処理装置２に処理を実行させる。また、上位制御装置５１は、保管装置１に制御指令を供給し、天井搬送車３との容器Ｆの受け渡し、処理装置２との容器Ｆとの受け渡しなどを実行させる。保管装置１の保管制御装置１４は、上位制御装置５１からの制御指令に基づいて、移載装置１３の移載制御部２７に搬送指令を供給し、移載装置１３に容器Ｆを搬送させる。
　ところで、処理装置２に渡す容器Ｆ、または処理装置２から受け取る容器Ｆは、保管装置１のパージ装置１２によるパージ処理が不要である場合がある。例えば、処理装置２の処理前にパージ処理が施されている必要があるが、処理後の物品を搬送する際に容器Ｆにパージ処理が施されていなくてもよい場合がある。このような場合、処理装置２に渡す容器Ｆに対するパージ処理が必要であるが、処理装置２から受け取る容器Ｆに対するパージ処理は不要であり、処理後に対応する容器Ｆにパージ処理を行うとコスト、時間が無駄になる。そこで、保管装置１において、パージ決定部１５は、保管棚１１への容器Ｆの搬入元、及び保管棚１１からの容器Ｆの搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否を決定する。また、保管制御装置１４は、パージ決定部１５がパージ処理を必要と決定した容器Ｆに対して、パージ装置１２によるパージ処理を実行させ、パージ決定部１５がパージ処理を不要と決定した容器Ｆに対して、パージ装置１２によるパージ処理を実行させない。
　なお、処理装置２に渡す容器Ｆ、または処理装置２から受け取る容器Ｆは、保管装置１のパージ装置１２によるパージ処理においてパージガスの供給量が少なくても問題がない場合がある。例えば、処理装置２に渡す容器Ｆ、及び処理装置２から受け取る容器Ｆのいずれにもパージ処理が必要であるが、処理装置２に渡す容器Ｆは、保管装置１に搬送される前に予めパージ処理が施されており、搬送中にパージガスが抜けた分だけ保管装置１でパージ処理を行えばよい場合がある。そこで、パージ決定部１５は、保管棚１１への容器Ｆの搬入元、及び保管棚１１からの容器Ｆの搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の条件を決定してもよい。パージ処理の条件は、例えば、パージガスの流量、パージガスの供給時間などである。
　パージ決定部１５は、移載装置１３に対する入出庫ポート６、７と保管棚１１との間の搬送指令、または移載装置１３に対するロードポート４、５と保管棚１１との間の搬送指令に基づいて、パージ処理の要否を決定する。ここで、搬送指令が、容器Ｆを入出庫ポート６から保管棚１１へ搬送させる指令である場合、この容器Ｆは、一時的に保管された後に処理装置２に渡されるので、処理装置２による処理前の物品を収容していることになる。また、搬送指令が、容器Ｆをロードポート５から保管棚１１へ搬送させる指令である場合、この容器Ｆは、処理装置２による処理後の物品を収容していることになる。処理装置２による処理前の物品についてのパージ処理の要否、及び処理装置２による処理後の物品についてのパージ処理の要否は、処理装置２の処理の種類等に応じて予め分かっているので、搬送指令に基づいてパージ処理の要否を決定することができる。パージ決定部１５は、搬送指令に基づいて容器Ｆの搬入元および搬出先を特定し、その結果を参照情報と照合する。参照情報は、搬入元とパージ処理の要否とを関連付けた情報、あるいは搬出先とパージ処理の要否とを関連付けた情報である。参照情報は、記憶部１６に記憶されており、パージ決定部１５は、搬入元、搬出先を特定した結果を記憶部１６から取得した参照情報と照合することにより、パージ処理の要否を決定する。
　図４は、実施形態に係る参照情報の例を示す図である。図４（Ａ）の参照情報Ｄ１は、保管棚１１への搬入元とパージ処理の要否とを関連付けたテーブルデータである。ここでは、処理装置２の処理前にパージ処理が不要であり、処理装置２の処理後にパージ処理が必要であるものとする。参照情報Ｄ１において、「保管棚への搬入元」の項目が「入出庫ポート」である場合、この容器Ｆは処理装置２の処理前に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「不要」である。また、「保管棚への搬入元」の項目が「ロードポート」である場合、この容器Ｆは処理装置２の処理後に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「必要」である。
　また、図４（Ｂ）の参照情報Ｄ２のように、保管棚１１への搬出先とパージ処理の要否とを関連付けたテーブルデータを用いることもできる。参照情報Ｄ２において「保管棚からの搬出先」が「入出庫ポート」である場合、参照情報Ｄ１において「保管棚への搬入元」が「ロードポート」に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「必要」である。また、参照情報Ｄ２において「保管棚からの搬出先」が「ロードポート」である場合、参照情報Ｄ１における「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「不要」である。
　図４（Ｃ）の参照情報Ｄ３は、保管棚１１への搬入元とパージ処理の条件とを関連付けたテーブルデータである。ここでは、パージ処理の条件がパージガスの流量および供給時間であるものとする。「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」である場合、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」が「Ｑ１」であり、「供給時間」が「Ｔ１」である。また、「保管棚への搬入元」が「ロードポート」である場合、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」が「Ｑ２」であり、「供給時間」が「Ｔ２」である。ここで、処理装置２の処理前に対応する容器Ｆについては、処理後に対応する容器Ｆよりもパージ処理の程度が軽く（パージガスの供給量が少なく）てもよいものとする。処理前に対応する容器Ｆは、「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」であり、処理後に対応する容器Ｆは、「保管棚への搬入元」が「ロードポート」であるので、Ｑ１はＱ２よりも少なく設定され、あるいはＴ１はＴ２よりも短く設定される。なお、図４（Ａ）などの「パージ処理の要否」の代わりに、「パージ処理の条件」を用いてパージ処理の要否を表すこともでき、例えば、「パージガスの流量」および「供給時間」の少なくとも一方を０とすることで、パージ処理が不要であることを表すこともできる。
　図４（Ｄ）の参照情報Ｄ４は、保管棚１１への搬入元とパージ処理の要否および条件とを関連付けたテーブルデータである。「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」である場合、「パージ処理の要否」が「不要」であり、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」および「供給時間」はいずれも「０」である。また、「保管棚への搬入元」が「ロードポート」である場合、「パージ処理の要否」が「必要」であり、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」が「Ｑ２」であり「供給時間」が「Ｔ２」である。
　次に、上述の保管装置１の動作に基づき、実施形態に係るパージ方法について説明する。図５（Ａ）は、実施形態に係るパージ方法を示すフローチャートであり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のステップＳ１の処理の一例を示すフローチャートである。図５（Ａ）のステップＳ１において、パージ決定部１５はパージ処理の要否を決定する。図５（Ｂ）に示すように、ステップＳ１のステップＳ１１において、パージ決定部１５は、移載装置１３に対する搬送指令を取得する。また、ステップＳ１２において、パージ決定部１５は取得した搬送指令に基づいて、保管棚１１への容器Ｆの搬入元を特定する。また、パージ決定部１５はステップＳ１３において記憶部１６から参照情報（図４参照）を取得し、ステップＳ１４において、保管棚１１への容器Ｆの搬入元を参照情報と照合して、パージ処理の要否を決定する。
　次に、図５（Ａ）のステップＳ２において、保管制御装置１４はパージ処理を実行するか否かを判定する。保管制御装置１４は、パージ決定部１５がパージ処理を必要と決定した場合、パージ処理を実行すると判定し（ステップＳ２；Ｙｅｓ）、ステップＳ３において、パージ制御部４４に対してパージ処理の実行を要求する制御指令を供給することで、パージ処理を実行させる。また、保管制御装置１４は、パージ決定部１５がパージ処理を不要と決定した場合、パージ処理を実行しないと判定する（ステップＳ２；Ｎｏ）。ステップＳ４の処理後、又はパージ処理を実行しないと判定された場合（ステップＳ２；Ｎｏ）、保管装置１は、保管棚１１において容器Ｆを保管する。
　上述の実施形態において、保管制御装置１４は、例えばコンピュータシステムを含む。保管制御装置１４は、記憶部１６に記憶されているプログラムを読み出し、この制御プログラムに従って各種の処理を実行する。この制御プログラムは、例えば、コンピュータに、容器Ｆを保管棚１１に保管することと、保管棚１１に設けられるパージ装置１２により容器Ｆにパージ処理を行うことと、保管棚１１への容器Ｆの搬入元、及び保管棚１１からの容器Ｆの搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定することとを含む制御を実行させる。このプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に記録されて提供されてもよい。
　なお、上述の実施形態において、パージ決定部１５は移載装置１３への搬送指令に応じてパージ処理の要否を決定するが、その他の情報に基づいてパージ処理の要否を決定してもよい。例えば、保管装置１は、上位制御装置５１あるいは処理装置２から容器Ｆの情報などを取得し、この情報に基づいてパージ処理の要否を決定してもよい。容器Ｆの情報は、例えば、容器Ｆの個別のＩＤなどと関連付けられ、容器Ｆに収容された物品の種類、処理の段階などの情報を含む。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１５－１６８５９４、及び上述の実施形態などで引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
１　保管装置
２　処理装置
３　天井搬送車（搬送車）
４、５　ロードポート
６、７　入出庫ポート（搬送車用ポート）
１１　保管棚
１２　パージ装置
１３　移載装置（入出庫装置）
１５　パージ決定部
Ｆ　容器

Claims (10)

  1. 　容器を保管する保管棚と、
    　前記保管棚に設けられ、前記容器にパージ処理を行うことが可能なパージ装置と、
    　前記保管棚への前記容器の搬入元、及び前記保管棚からの前記容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、前記パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定するパージ決定部と、を備える保管装置。
  2. 　前記保管棚への前記容器の搬入および前記保管棚からの前記容器の搬出を行う入出庫装置を備え、
    　前記パージ決定部は、前記入出庫装置への搬送指令に応じて、前記パージ処理の要否を決定する、請求項１に記載の保管装置。
  3. 　前記容器に収容された物品を処理する処理装置に併設され、搬送車によって前記容器が受け渡される搬送車用ポートと、前記処理装置のロードポートとの間で受け渡される前記容器を前記保管棚に保管し、
    　前記パージ決定部は、前記入出庫装置に対する前記搬送車用ポートと前記保管棚との間の前記搬送指令、または前記入出庫装置に対する前記ロードポートと前記保管棚との間の前記搬送指令に基づいて、前記パージ処理の要否を決定する、請求項２に記載の保管装置。
  4. 　前記搬送指令が、前記容器を前記搬送車用ポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬入元が前記搬送車用ポートであると特定する、請求項３に記載の保管装置。
  5. 　前記搬送指令が、前記容器を前記搬送車用ポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬出先が前記ロードポートであると特定する、請求項３または請求項４に記載の保管装置。
  6. 　前記搬送指令が、前記容器を前記ロードポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬入元が前記ロードポートであると特定する、請求項３に記載の保管装置。
  7. 　前記搬送指令が、前記容器を前記ロードポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬出先が前記搬送車用ポートであると特定する、請求項３または請求項６に記載の保管装置。
  8. 　前記パージ決定部は、前記搬出先を特定した結果を、前記搬出先と前記パージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、前記パージ処理の要否を決定する、請求項５または請求項７に記載の保管装置。
  9. 　前記パージ決定部は、前記搬入元を特定した結果を、前記搬入元と前記パージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、前記パージ処理の要否を決定する、請求項６または請求項８に記載の保管装置。
  10. 　容器を保管棚に保管することと、
    　前記保管棚に設けられるパージ装置により前記容器にパージ処理を行うことと、
    　前記保管棚への前記容器の搬入元、及び前記保管棚からの前記容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、前記パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定することと、を含む保管方法。
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