WO2018034170A1 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

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WO2018034170A1
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irradiation
control
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一幸 杉本
栖原　一浩
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Ishida Co Ltd
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    • G06T2207/10116—X-ray image

Definitions

  • This disclosure relates to an X-ray inspection apparatus.
  • an X-ray inspection apparatus As an X-ray inspection apparatus, an X-ray irradiation unit that irradiates an article with X-rays, an X-ray detection unit that detects X-rays transmitted through the article, and an X-ray of the article based on a signal output from the X-ray detection unit
  • an X-ray inspection apparatus including an inspection unit that generates a transmission image and inspects an article based on the X-ray transmission image, and a control unit that controls the X-ray irradiation unit and the X-ray detection unit ( For example, see Patent Document 1).
  • the control unit corrects the sensitivity of the X-ray detection unit in accordance with changes with time of the X-ray irradiation unit and the X-ray detection unit.
  • the sensitivity of the X-ray detection unit is adjusted after the X-ray irradiation unit is controlled so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit becomes the maximum value.
  • the higher the output of the X-ray irradiation unit the faster the deterioration of the X-ray irradiation unit and the X-ray detection unit proceeds. Therefore, it is required to suppress the deterioration of the X-ray irradiation unit and the X-ray detection unit while ensuring the inspection performance of the article.
  • This disclosure is intended to provide an X-ray inspection apparatus capable of suppressing deterioration of an X-ray irradiation unit and an X-ray detection unit while ensuring the inspection performance of an article.
  • An X-ray inspection apparatus includes an X-ray irradiation unit that irradiates an article with X-rays, an X-ray detection unit that detects X-rays transmitted through the article, and a signal output from the X-ray detection unit.
  • the X-ray irradiation unit is controlled so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit becomes the first irradiation output
  • the detection output of the X-ray detection unit decreases, the X-ray is set so that the irradiation output increases. 1st control which controls an irradiation part is performed.
  • the control unit controls the X-ray irradiation unit so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit becomes the first irradiation output
  • the detection output of the X-ray detection unit decreases
  • the X-ray irradiation unit or the X-ray detection unit may be deteriorated.
  • the sensitivity of the X-ray detection unit is set relatively high in advance and the first irradiation output of the X-ray irradiation unit is set smaller than the maximum value, the irradiation output of the X-ray irradiation unit is maximum.
  • the control unit executes the first control to secure a room for increasing the irradiation output of the X-ray irradiation unit. Performance degradation can be avoided. Therefore, deterioration of the X-ray irradiation unit and the X-ray detection unit can be suppressed while ensuring the inspection performance of the article.
  • the control unit detects X-rays that are not irradiated to the article and are not irradiated to the article by the X-ray irradiated by the X-ray irradiation unit.
  • the first control may be executed in a state where the unit is detecting. In this case, the probability that the detection output of the X-ray detection unit is reduced due to the deterioration of the X-ray irradiation unit or the X-ray detection unit is higher than the state in which the X-ray detection unit detects X-rays that have passed through the article. Become. Therefore, the control unit can appropriately execute the first control.
  • the control unit decreases the detection output when the X-ray irradiation unit is controlled so that the irradiation output becomes the second irradiation output larger than the first irradiation output.
  • the second control for controlling the X-ray detection unit so as to increase the detection output is executed, and the first control and the second control may be switchable.
  • the operator of the X-ray inspection apparatus selects either one of the first control that suppresses the irradiation output of the X-ray irradiation unit and the second control that increases the irradiation output of the X-ray irradiation unit. be able to.
  • control unit executes the first control that controls the X-ray irradiation unit with an input current that is smaller than the maximum input current to the X-ray irradiation unit, the power consumption of the X-ray irradiation unit can be reduced. it can.
  • a display unit that displays the time during which the control unit executes the first control and information related to the irradiation output of the X-ray irradiation unit controlled by the first control. May further be included.
  • the operator of the X-ray inspection apparatus can confirm that the deterioration of the X-ray irradiation unit and the X-ray detection unit is suppressed by the display unit.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a flowchart illustrating the calibration process of the X-ray inspection apparatus of FIG. (A) of FIG. 3 is a table
  • FIG. 3B is a schematic view showing a display unit of the X-ray inspection apparatus of FIG.
  • the X-ray inspection apparatus 1 includes an apparatus main body 2, support legs 3, a shield box 4, a transfer conveyor 5, an X-ray irradiation unit 6, an X-ray detection unit 7, and a display.
  • An operation unit (display unit) 8 and a control unit 10 are provided.
  • the X-ray inspection apparatus 1 acquires an X-ray transmission image of the article G while conveying the article G, and inspects the article G based on the X-ray transmission image (for example, storage number inspection, foreign matter mixing inspection, missing item inspection). , Crack inspection etc.).
  • the X-ray inspection apparatus 1 is connected to an external power source (not shown). The external power supply supplies the X-ray inspection apparatus 1 with power for inspecting the article G.
  • the apparatus main body 2 houses the control unit 10 and the like.
  • the support leg 3 supports the apparatus main body 2.
  • the shield box 4 is provided in the apparatus body 2 and prevents X-ray leakage.
  • a carry-in port 4a and a carry-out port 4b are formed in the shield box 4.
  • the article G before inspection is carried into the shield box 4 from the carry-in conveyor 51 through the carry-in entrance 4a, and the article G after examination is carried out from the shield box 4 to the carry-out conveyor 52 through the carry-out opening 4b.
  • Each of the carry-in entrance 4a and the carry-out exit 4b is provided with an X-ray shielding curtain (not shown) that prevents X-ray leakage.
  • the transport conveyor 5 is disposed in the shield box 4 and transports the article G along the transport direction A from the carry-in port 4a to the carry-out port 4b.
  • the conveyor 5 is a belt conveyor that is stretched between the carry-in port 4a and the carry-out port 4b, for example.
  • the X-ray irradiation unit 6 is arranged in the shield box 4 and irradiates the article G conveyed by the conveyor 5 with X-rays.
  • the X-ray irradiation unit 6 includes, for example, an X-ray tube (not shown) that emits X-rays, and a collimator that spreads the X-rays emitted from the X-ray tube in a fan shape in a plane perpendicular to the transport direction A. is doing.
  • the X-ray detection unit 7 is disposed in the shield box 4 and detects X-rays transmitted through the article G and the conveyor 5.
  • the X-ray detection unit 7 is configured as a line sensor, for example.
  • the X-ray detection unit 7 includes a plurality of photodiodes arranged one-dimensionally along a horizontal direction perpendicular to the transport direction A, and a scintillator disposed on the X-ray incident side with respect to each photodiode. And have.
  • X-rays incident on the scintillator are converted into light, and light incident on each photodiode is converted into an electric signal.
  • the detection output of the X-ray detection unit 7 increases as the sensitivity of the X-ray detection unit 7 increases, and decreases as the sensitivity of the X-ray detection unit 7 decreases.
  • the detection output of the X-ray detection unit 7 is expressed by, for example, the number of X-ray photons (cps: count per second, etc.).
  • the X-ray detection unit 7 deteriorates according to the time when the X-ray is incident and the intensity of the incident X-ray. In general, the deterioration of the X-ray detection unit 7 progresses faster as the intensity of the incident X-ray increases, and progresses slower as the intensity of the incident X-ray decreases. That is, in general, the deterioration of the X-ray detection unit 7 progresses faster as the input current to the X-ray irradiation unit 6 increases, and progresses slower as the input current to the X-ray irradiation unit 6 decreases.
  • the display operation unit 8 is provided in the apparatus main body 2 and displays various information and accepts input of various conditions.
  • the display operation unit 8 is a liquid crystal display, for example, and displays an operation screen as a touch panel. In this case, the operator can input various conditions including selection of switching between the first mode and the second mode, which will be described later, via the display operation unit 8. Further, as will be described later, the display operation unit 8 displays the time during which the control unit 10 executes the first control and information related to the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 controlled by the first control. To do.
  • the calibration process includes a first mode and a second mode.
  • the first mode is a calibration process that suppresses the deterioration of the X-ray irradiation unit 6 and the X-ray detection unit 7 and reduces the power consumption of the X-ray irradiation unit 6 by suppressing the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6.
  • the second mode is a mode (so-called normal mode) in which calibration processing is performed to increase the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 so as to sharpen the X-ray transmission image of the article G.
  • the first mode and the second mode can be switched based on, for example, a selection operation by the operator via the display operation unit 8.
  • the control unit 10 sets the input current to the X-ray irradiation unit 6 to the first input current in a state where the sensitivity of the X-ray detection unit 7 is fixed to the first sensitivity.
  • the control unit 10 controls the X-ray irradiation unit 6 so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 becomes the first irradiation output
  • the detection output of the X-ray detection unit 7 decreases.
  • 1st control which controls the X-ray irradiation part 6 so that the irradiation output of the X-ray irradiation part 6 increases is performed.
  • the first irradiation output is the intensity of X-rays output from the X-ray tube when the input current input to the X-ray tube of the X-ray irradiation unit 6 is the first input current.
  • the control unit 10 sets the sensitivity of the X-ray detection unit 7 to the second sensitivity in a state where the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 is fixed to the second irradiation output larger than the first irradiation output. To do.
  • the control unit 10 controls the X-ray irradiation unit 6 so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 becomes the second irradiation output
  • the detection output of the X-ray detection unit 7 decreases.
  • 2nd control which controls the X-ray detection part 7 is performed so that the detection output of the X-ray detection part 7 may increase.
  • the second irradiation output is the intensity of X-rays output from the X-ray tube in a state where the input current input to the X-ray tube of the X-ray irradiation unit 6 is a second input current larger than the first input current.
  • the second input current is a predetermined rated current (that is, the maximum value of the input current) of the X-ray tube.
  • the control unit 10 supplies the X-ray irradiation unit 6 such that the detection output of the X-ray detection unit 7 is a test detection output smaller than the upper limit value (for example, 3000 counts) of the inspection range.
  • the relationship of the detection output of the X-ray detection unit 7 with respect to the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 is acquired with the input current and the sensitivity of the X-ray detection unit 7.
  • the control unit 10 sets the input current to the X-ray irradiation unit 6 in a state where the sensitivity of the X-ray detection unit 7 is set to a test value (for example, 1 time). Is set to a test value (for example, 1.0 mA), and the X-ray irradiation unit 6 is controlled so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 becomes the test irradiation output (step S10).
  • the control unit 10 acquires the test detection output of the X-ray detection unit 7 (step S11).
  • the input current (test value) to the X-ray irradiation unit 6 is 1.0 mA
  • the relationship that the test detection output of the X-ray detection unit 7 is 150 counts is acquired.
  • the control unit 10 determines whether or not the first mode is selected in the X-ray inspection apparatus 1 (step S12). In step S12, when the control unit 10 determines that the first mode is selected in the X-ray inspection apparatus 1, the control unit 10 sets the sensitivity of the X-ray detection unit 7 to the first sensitivity (step S13). . In response to setting the sensitivity of the X-ray detection unit 7 to the first sensitivity in step S13, the control unit 10 sets the input current to the X-ray irradiation unit 6 to the first input current, and the X-ray irradiation unit. The X-ray irradiation unit 6 is controlled so that the irradiation output of 6 becomes the first irradiation output (step S14).
  • the first sensitivity is higher than the second sensitivity, as will be described later.
  • the second sensitivity is set to double when the input current to the X-ray irradiation unit 6 is set to the maximum value (10.0 mA) in the second mode
  • the first sensitivity is four times.
  • the control unit 10 controls the X-ray irradiation unit 6 so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 becomes the first irradiation output.
  • the detection output of the unit 7 decreases, the X-ray irradiation unit 6 or the X-ray detection unit 7 may be deteriorated.
  • the input current to the X-ray irradiation unit 6 is a first input current that is smaller than the maximum value. Therefore, there is room for increasing the input current to the X-ray irradiation unit 6. Therefore, the control unit 10 acquires the detection output of the X-ray detection unit 7 (step S15), and determines whether or not the detection output of the X-ray detection unit 7 is decreased (step S16).
  • step S16 when the control unit 10 determines that there is a decrease in the detection output of the X-ray detection unit 7, the control unit 10 determines that the X-rays have decreased due to the deterioration of the X-ray irradiation unit 6 or the X-ray detection unit 7.
  • the first control for controlling the X-ray irradiation unit 6 so as to increase the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 is executed (step S17).
  • control unit 10 sets the sensitivity of the X-ray detection unit 7 to the first sensitivity higher than the second sensitivity, and the input current to the X-ray irradiation unit 6 becomes the first input current smaller than the maximum value. If the detection output of the X-ray detector 7 decreases when the X-ray irradiation unit 6 is controlled, the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 is increased by increasing the input current to the X-ray irradiation unit 6. Increase.
  • step S17 the process proceeds to step S15, and the control unit 10 re-acquires the detection output of the X-ray detection unit 7 with the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 increased.
  • step S16 when the control unit 10 determines that there is no decrease in the detection output of the X-ray detection unit 7, the inspection of the article G is performed with the set input current to the X-ray irradiation unit 6 and the sensitivity of the X-ray detection unit 7. See if it is possible.
  • the control unit 10 determines whether or not the inspection of the article G is possible based on whether or not the variation (average, deviation, etc.) of the detection output of the X-ray detection unit 7 is within a predetermined range ( Step S18).
  • step S18 when the control unit 10 determines that the inspection of the article G is possible, the control unit 10 ends the calibration process in the first mode. Thereafter, the X-ray inspection apparatus 1 inspects the article G with the set input current to the X-ray irradiation unit 6 and the sensitivity of the X-ray detection unit 7.
  • control unit 10 determines in step S18 that the inspection of the article G is not possible, the control unit 10 causes the variation (average, deviation, etc.) of the detection output of the X-ray detection unit 7 to be within a predetermined range.
  • the input current to the X-ray irradiation unit 6 is increased, and the input current to the X-ray irradiation unit 6 is reset (step S19). Thereby, the performance of the inspection of the article G can be ensured.
  • step S19 the sensitivity of the X-ray detection unit 7 is increased together with the input current to the X-ray irradiation unit 6 so that the variation in the detection output of the X-ray detection unit 7 is within a predetermined range, and the X-ray irradiation is performed.
  • the input current to the unit 6 and the sensitivity of the X-ray detection unit 7 may be reset.
  • the control unit 10 ends the calibration process in the first mode.
  • the article G is inspected with the set input current to the X-ray irradiation unit 6 and the sensitivity of the X-ray detection unit 7.
  • control unit 10 determines in step S12 that the second mode is selected in the X-ray inspection apparatus 1
  • the control unit 10 sets the input current to the X-ray irradiation unit 6 to the maximum value (10.0 mA).
  • the X-ray irradiation unit 6 is controlled so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 becomes the second irradiation output (step S20).
  • the control unit 10 sets the sensitivity of the X-ray detection unit 7 to the second sensitivity (Step S21).
  • the X-ray detection unit is controlled in spite of the control unit 10 controlling the X-ray irradiation unit 6 so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 becomes the second irradiation output under the certain conditions described above. 7 may decrease in the X-ray irradiation unit 6 or the X-ray detection unit 7. Therefore, the control unit 10 acquires the detection output of the X-ray detection unit 7 (step S22), and determines whether or not the detection output of the X-ray detection unit 7 is decreased (step S23).
  • step S23 when the control unit 10 determines that there is a decrease in the detection output of the X-ray detection unit 7, the control unit 10 determines that the X-ray decreased due to the progress of deterioration of the X-ray irradiation unit 6 or the X-ray detection unit 7.
  • the second control for controlling the X-ray detection unit 7 so as to increase the detection output of the X-ray detection unit 7 is executed (step S24).
  • step S24 the process proceeds to step S22, and the control unit 10 re-acquires the detection output of the X-ray detection unit 7 with the detection output of the X-ray detection unit 7 increased.
  • step S23 when the control unit 10 determines that the detection output of the X-ray detection unit 7 does not decrease, the control unit 10 ends the calibration process in the second mode. Thereafter, the X-ray inspection apparatus 1 inspects the article G with the set input current to the X-ray irradiation unit 6 and the sensitivity of the X-ray detection unit 7.
  • the control unit 10 controls the time during which the first control is executed (hereinafter also referred to as the first mode operation time) and the first control.
  • Information related to the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 is displayed on the display operation unit 8.
  • the “time during which the first control is executed” displayed on the display operation unit 8 is the first control process for increasing the input current to the X-ray irradiation unit 6 (the process of step S17 in FIG. 2).
  • the time during which the calibration process (the processes in steps S10 to S19 in FIG.
  • the control unit 10 determines the actual value of the input current (first input current) to the X-ray irradiation unit 6 and the X-ray irradiation unit during the first mode operation time. 6, the actual value of the power consumption (first irradiation output), the actual value of the first mode operation time, and the actual value of the power consumption in the X-ray irradiation unit 6 are displayed on the display operation unit 8.
  • the actual value of the input current to the X-ray irradiation unit 6 is 5.0 mA
  • the actual power consumption value in the X-ray irradiation unit 6 is 250 W
  • the first mode operation time (operation time) ) Is 100 hours
  • the actual value of power consumption in the X-ray irradiation unit 6 is 25 kWh.
  • the input current and sensitivity in the first mode shown in FIG. 3A are set as the input current and sensitivity in the first mode.
  • the control unit 10 causes the display operation unit 8 to display the estimated value of the power consumption in the X-ray irradiation unit 6 when it is assumed that the second mode is selected in the first mode operation time.
  • the estimated value of the power consumption in the X-ray irradiation unit 6 is 50 kWh.
  • the input current and sensitivity in the second mode shown in FIG. 3A are set as the input current and sensitivity in the second mode.
  • the control unit 10 operates the X-ray inspection apparatus 1 in the first mode by using the difference between the estimated value of the power consumption in the second mode and the actual value of the power consumption in the first mode. As a result, the display operation unit 8 displays the reduced power amount that is estimated to be reduced. In the example of FIG. 3B, the reduced power amount is 25 kWh.
  • the control unit 10 executes the first control to increase the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6.
  • the room to be used is ensured, and the deterioration of the inspection performance of the article G can be avoided. Therefore, deterioration of the X-ray irradiation unit 6 and the X-ray detection unit 7 can be suppressed while ensuring the inspection performance of the article G. As a result, the life time of the X-ray irradiation unit 6 and the X-ray detection unit 7 can be delayed (long life).
  • the control unit detects that the X-ray irradiated by the X-ray irradiation unit 6 is not irradiated on the article G and the X-ray not irradiated on the article G is X-ray detection unit 7.
  • the first control is executed in a state in which is detected. Under this condition, the X-ray detection unit 7 detects the X-ray detection unit 7 due to deterioration of the X-ray irradiation unit 6 or the X-ray detection unit 7 as compared with a state in which the X-ray detection unit 7 detects X-rays transmitted through the article G. The probability that the output will decrease increases. Accordingly, the control unit 10 can appropriately execute the first control.
  • the control unit 10 controls the X-ray irradiation unit 6 so that the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 becomes a second irradiation output larger than the first irradiation output.
  • the second control for controlling the X-ray detection unit 7 so as to increase the detection output of the X-ray detection unit 7 is executed.
  • the first control (first mode) and the second control (second mode) can be switched.
  • the operator of the X-ray inspection apparatus 1 controls either one of the first control that suppresses the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 and the second control that increases the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6. Can be selected.
  • the control unit 10 sets the sensitivity of the X-ray detection unit 7 to the second sensitivity and sets the input current to the X-ray irradiation unit 6 to a maximum value.
  • the detection output of the X-ray detection unit 7 is increased by increasing the sensitivity of the X-ray detection unit 7.
  • the control unit 10 sets the sensitivity of the X-ray detection unit 7 to a first sensitivity higher than the second sensitivity, and the input current to the X-ray irradiation unit 6 is smaller than the maximum value.
  • the X-ray inspection apparatus 1 includes information on the time during which the control unit 10 executes the first control and the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 controlled by the first control (input current to the X-ray irradiation unit 6). , The power consumption amount of the X-ray irradiation unit 6 and the power amount reduced by the first control).
  • This display operation unit 8 allows the operator of the X-ray inspection apparatus 1 to confirm that deterioration of the X-ray irradiation unit 6 and the X-ray detection unit 7 is suppressed.
  • the control part 10 is a case where the detection output of the X-ray detection part 7 reduces on the fixed conditions with few factors which fluctuate the irradiation output of the X-ray irradiation part 6, and the detection output of the X-ray detection part 7.
  • the first control or the second control is executed on the assumption that deterioration has progressed to the X-ray irradiation unit 6 or the X-ray detection unit 7.
  • the control unit 10 may perform the first operation under a condition in which there is a factor that causes the detection output of the X-ray detection unit 7 to fluctuate with a constant fluctuation pattern even if the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 is substantially constant.
  • the control unit 10 stores, for example, the reference fluctuation pattern of the detection output of the X-ray detection unit 7 and cancels the fluctuation of the detection output caused by the factor to thereby cancel the X-ray detection unit. 7 may be extracted, and it may be determined that the deterioration of the irradiation output of the X-ray irradiation unit 6 or the detection output of the X-ray detection unit 7 has progressed, and the first control and the second control may be executed. .
  • control unit 10 controls the X-ray irradiation unit 6 so that the input current to the X-ray irradiation unit 6 becomes the maximum value in the second control, but the X-ray irradiation unit 6 in the second control. As long as the input current to is larger than the input current to the X-ray irradiation unit 6 in the first control, it may not be the maximum value.
  • control unit 10 executes the calibration process after the X-ray inspection apparatus 1 is started and before the inspection of the article G by the X-ray inspection apparatus 1 is started.
  • the calibration process may be executed between G inspections.
  • control unit 10 functions as an inspection unit, and the control unit 10 and the inspection unit are physically integrated.
  • control unit 10 and the inspection unit are physically It may be configured separately.
  • the display operation unit 8 of the X-ray inspection apparatus 1 functions as a display unit.
  • a display provided separately from the X-ray inspection apparatus 1 may function as a display unit. .
  • the present disclosure generates an optical transmission image by detecting light (near infrared rays, other electromagnetic waves) transmitted through an article, and inspects the article based on the optical transmission image, except for an X-ray inspection apparatus. Applicable to the device. However, when X-rays are used as light, even if the article G is packaged, the lack of the article G is inspected without being affected by the packaging material or the printing applied to the packaging material. can do.

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Abstract

Ｘ線検査装置は、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部から出力された信号に基づいて物品のＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品の検査を行う検査部と、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を制御する制御部と、を備える。制御部は、Ｘ線照射部の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部を制御している場合に、Ｘ線検出部の検出出力が減少したときには、照射出力が増大するようにＸ線照射部を制御する第１制御を実行する。

Description

Ｘ線検査装置
　本開示は、Ｘ線検査装置に関する。
　Ｘ線検査装置として、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部から出力された信号に基づいて物品のＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品の検査を行う検査部と、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を制御する制御部と、を備えるＸ線検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１記載のＸ線検査装置では、制御部は、Ｘ線照射部及びＸ線検出部の経時変化に応じて、Ｘ線検出部の感度を補正する。
特開２００１－４５６０号公報
　Ｘ線検査装置では、物品の検査の性能を重視する観点で、Ｘ線照射部の照射出力が最大値となるようにＸ線照射部を制御した上でＸ線検出部の感度を調整することが一般的である。しかしながら、Ｘ線照射部の出カが高いほど、Ｘ線照射部及びＸ線検出部の劣化が速く進行する。そのため、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することが求められている。
　本開示は、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
　本開示の一形態のＸ線検査装置は、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部から出力された信号に基づいて物品のＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品の検査を行う検査部と、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を制御する制御部と、を備え、制御部は、Ｘ線照射部の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部を制御している場合に、Ｘ線検出部の検出出力が減少したときには、照射出力が増大するようにＸ線照射部を制御する第１制御を実行する。
　このＸ線検査装置では、Ｘ線照射部の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部を制御部が制御している場合に、Ｘ線検出部の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部又はＸ線検出部の劣化が進行している可能性がある。このとき、例えば、予めＸ線検出部の感度を比較的高く設定しＸ線照射部の第１照射出力を最大値よりも小さく設定しておけば、Ｘ線照射部の照射出力が最大の場合と比べてＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化が抑制されると共に、制御部が第１制御を実行することでＸ線照射部の照射出力を増大させる余地が確保され、物品の検査の性能の低下を回避することができる。したがって、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することができる。
　本開示の一形態のＸ線検査装置では、制御部は、Ｘ線照射部により照射されたＸ線が物品には照射されておらず、且つ、物品に照射されていないＸ線をＸ線検出部が検出している状態で、第１制御を実行してもよい。この場合、Ｘ線検出部が物品を透過したＸ線を検出する状態と比べて、Ｘ線照射部又はＸ線検出部の劣化に起因してＸ線検出部の検出出力が減少する蓋然性が高くなる。よって、適切に制御部が第１制御を実行することが可能となる。
　本開示の一形態のＸ線検査装置では、制御部は、照射出力が第１照射出力よりも大きい第２照射出力となるようにＸ線照射部を制御している場合に、検出出力が減少したときには、検出出力が増大するようにＸ線検出部を制御する第２制御を実行し、第１制御と第２制御とは、切り替え可能であってもよい。この場合、Ｘ線検査装置のオペレータは、Ｘ線照射部の照射出力を抑えた第１制御と、Ｘ線照射部の照射出力を高めた第２制御と、の何れか一方の制御を選択することができる。
　本開示の一形態のＸ線検査装置では、制御部は、第２制御において、Ｘ線検出部の感度を第２感度に設定すると共にＸ線照射部への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部を制御している場合に、検出出力が減少したときには、感度を増加させることで検出出力を増大させ、第１制御において、感度を第２感度よりも高い第１感度に設定すると共に入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流となるようにＸ線照射部を制御している場合に、検出出力が減少したときには、入力電流を増加させることで照射出力を増大させてもよい。この場合、Ｘ線照射部への入力電流が最大値よりも小さい入力電流でＸ線照射部を制御する第１制御を制御部が実行するため、Ｘ線照射部の電力消費を低減することができる。
　本開示の一形態のＸ線検査装置では、制御部が第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御されたＸ線照射部の照射出力に関する情報と、を表示する表示部を更に有してもよい。この場合、表示部により、Ｘ線照射部及びＸ線検出部の劣化が抑制されていることをＸ線検査装置のオペレータが確認することができる。
　本開示によれば、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することが可能となる。
図１は、本開示の一実施形態に係るＸ線検査装置の構成図である。 図２は、図１のＸ線検査装置のキャリブレーション処理を例示するフローチャートである。 図３の（ａ）は、図１のＸ線検査装置におけるＸ線照射部及びＸ線検出部の設定例を示す表である。図３の（ｂ）は、図１のＸ線検査装置の表示部を示す概略図である。
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１に示されるように、Ｘ線検査装置１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送コンベア５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部（表示部）８と、制御部１０と、を備えている。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を取得し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。Ｘ線検査装置１は、外部電源（不図示）に接続されている。外部電源は、物品Ｇの検査を行うための電力をＸ線検査装置１に供給する。
　なお、検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入され、検査後の物品Ｇは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｇは、搬出コンベア５２の下流に配置された振分装置（不図示）よって生産ライン外に振り分けられ、Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｇは、当該振分装置をそのまま通過する。
　装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられており、Ｘ線の漏洩を防止する。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介してシールドボックス４内に搬入され、検査後の物品Ｇは、シールドボックス４内から搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（不図示）が設けられている。
　搬送コンベア５は、シールドボックス４内に配置されており、搬入口４ａから搬出口４ｂまで搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送コンベア５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。
　Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されており、搬送コンベア５によって搬送される物品ＧにＸ線を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を照射するＸ線管（不図示）と、Ｘ線管から照射されたＸ線を搬送方向Ａに垂直な面内において扇状に広げるコリメータと、を有している。
　Ｘ線照射部６のＸ線管には、外部電源から供給された電力により、所定の定格電圧（例えば５０ｋＶ）で入力電流（いわゆる管電流）が入力される。Ｘ線照射部６のＸ線管は、当該入力電流に応じた照射出力を有するＸ線を出力する。Ｘ線照射部６の照射出力は、Ｘ線照射部６のＸ線管に入力された入力電流に応じてＸ線管が出力するＸ線の強度である。入力電流の最大値は、所定の定格電流（例えば１０．０ｍＡ）である。入力電流は、当該最大値を上限として、任意に設定され得る。Ｘ線照射部６の照射出力は、入力電流が増加するほど大きくなり、入力電流が減少するほど小さくなる。
　Ｘ線照射部６のＸ線管は、Ｘ線を照射した時間及び照射したＸ線の強度に応じて劣化する。一般的には、Ｘ線管が照射するＸ線の強度（すなわちＸ線照射部６の照射出力）は、入力電流が増加するほど大きくなり、入力電流が減少するほど小さくなることから、Ｘ線照射部６のＸ線管の劣化は、入力電流が増加するほど速く進行し、入力電流が減少するほど遅く進行する。
　Ｘ線検出部７は、シールドボックス４内に配置されており、物品Ｇ及び搬送コンベア５を透過したＸ線を検出する。Ｘ線検出部７は、例えば、ラインセンサとして構成されている。具体的には、Ｘ線検出部７は、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数のフォトダイオードと、各フォトダイオードに対してＸ線入射側に配置されたシンチレータと、を有している。この場合、Ｘ線検出部７では、シンチレータに入射したＸ線が光に変換され、各フォトダイオードに入射した光が電気信号に変換される。
　Ｘ線検出部７には、Ｘ線照射部６のＸ線管から照射されたＸ線が入射される。Ｘ線検出部７は、Ｘ線照射部６の照射出力に応じた強度を有するＸ線を、設定された感度で検出する。Ｘ線検出部７の感度は、後述の制御部１０により設定される。Ｘ線検出部７の検出出力は、当該感度でＸ線検出部７が検出したＸ線の強度である。Ｘ線検出部７の検出出力は、入射されるＸ線の強度が一定の場合、Ｘ線検出部７の感度が高くなるほど大きくなり、Ｘ線検出部７の感度が低くなるほど小さくなる。Ｘ線検出部７の検出出力は、例えばＸ線光子のカウント数（ｃｐｓ：count　per　second等）で表される。
　Ｘ線検出部７は、Ｘ線に入射された時間及び入射されたＸ線の強度に応じて劣化する。一般的には、Ｘ線検出部７の劣化は、入射されたＸ線の強度が大きいほど速く進行し、入射されたＸ線の強度が小さいほど遅く進行する。つまり、一般的には、Ｘ線検出部７の劣化は、Ｘ線照射部６への入力電流が増加するほど速く進行し、Ｘ線照射部６への入力電流が減少するほど遅く進行する。
　表示操作部８は、装置本体２に設けられており、各種情報の表示及び各種条件の入力受付等を行う。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して、後述の第１モード又は第２モードの切換の選択を含む各種条件を入力することができる。また、表示操作部８は、後述するように、制御部１０が第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御されたＸ線照射部６の照射出力に関する情報と、を表示する。
　制御部１０は、装置本体２内に配置されており、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）、ＲＡＭ（Random　Access　Memory）等で構成されている。制御部１０には、Ｘ線検出部７から出力されてＡ／Ｄ変換された信号が入力される。制御部１０は、当該信号に基づいて物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査を行う検査部として機能する。
　制御部１０は、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７を制御する。制御部１０は、物品Ｇの検査を適切に行うために、キャリブレーション処理を実行するように構成された回路である。キャリブレーション処理は、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲が所定範囲（以下、検査レンジともいう）となるようにＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を設定する処理である。このキャリブレーション処理では、制御部１０は、Ｘ線光子のカウント数の検出範囲が検査レンジ（例えば０カウント～３０００カウント）となるように、Ｘ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を設定する。
　キャリブレーション処理は、第１モードと第２モードとを含む。第１モードは、Ｘ線照射部６の照射出力を抑えることで、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化の抑制及びＸ線照射部６の消費電力量の削減を図るキャリブレーション処理を行うモード（いわゆるエコノミーモード）である。第２モードは、Ｘ線照射部６の照射出力を高めることで、物品ＧのＸ線透過画像の鮮明化を図るキャリブレーション処理を行うモード（いわゆる通常モード）である。第１モードと第２モードとは、例えばオペレータによる表示操作部８を介した選択操作に基づいて切り替え可能である。
　第１モードでは、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第１感度に固定した状態で、Ｘ線照射部６への入力電流を第１入力電流に設定する。第１モードでは、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６の照射出力が増大するようにＸ線照射部６を制御する第１制御を実行する。第１照射出力は、Ｘ線照射部６のＸ線管に入力された入力電流が第１入力電流である状態においてＸ線管が出力するＸ線の強度である。
　第２モードでは、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力を上記第１照射出力よりも大きい第２照射出力に固定した状態で、Ｘ線検出部７の感度を第２感度に設定する。第２モードでは、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力が第２照射出力となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の検出出力が増大するようにＸ線検出部７を制御する第２制御を実行する。第２照射出力は、Ｘ線照射部６のＸ線管に入力された入力電流が第１入力電流よりも大きい第２入力電流である状態においてＸ線管が出力するＸ線の強度である。第２入力電流は、一例として、Ｘ線管の所定の定格電流（すなわち入力電流の最大値）である。
　制御部１０は、例えば、Ｘ線照射部６の照射出力及びＸ線検出部７の検出出力を変動させる要因が少ない一定の条件下において第１制御及び第２制御を実行する。一定の条件は、Ｘ線照射部６の照射出力が略一定であれば当該Ｘ線照射部６の照射出力に応じてＸ線検出部７の検出出力が略一定となるようなＸ線検査装置１の動作条件である。一定の条件は、Ｘ線照射部６により照射されたＸ線が物品Ｇには照射されておらず、且つ、物品Ｇに照射されていないＸ線をＸ線検出部７が検出している状態を含む。一例として、一定の条件は、Ｘ線検査装置１の起動後であってＸ線検査装置１による物品Ｇの検査を開始する前において、Ｘ線照射部６により照射されたＸ線をＸ線検出部７が検出している状態である。当該一定の条件下では、Ｘ線照射部６とＸ線検出部７との間に物品Ｇが介在していないため、Ｘ線検出部７が物品Ｇを透過したＸ線を検出する場合と比べて、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化に起因してＸ線検出部７の検出出力が減少する蓋然性が高くなる。本実施形態では、制御部１０は、当該一定の条件下でキャリブレーション処理を実行する。
　次に、制御部１０が実行するキャリブレーション処理について、図２及び図３を参照して、説明する。
　制御部１０は、キャリブレーション処理の第１段階として、Ｘ線検出部７の検出出力が上記検査レンジの上限値（例えば３０００カウント）よりも小さいテスト検出出力となるようなＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で、Ｘ線照射部６の照射出力に対するＸ線検出部７の検出出力の関係を取得する。
　図２及び図３の（ａ）に示されるように、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度をテスト値（例えば１倍）に設定した状態で、Ｘ線照射部６への入力電流をテスト値（例えば１．０ｍＡ）に設定し、Ｘ線照射部６の照射出力がテスト照射出力となるようにＸ線照射部６を制御する（ステップＳ１０）。制御部１０は、Ｘ線検出部７のテスト検出出力を取得する（ステップＳ１１）。ここでは、Ｘ線照射部６への入力電流（テスト値）が１．０ｍＡであるとき、Ｘ線検出部７のテスト検出出力が１５０カウントであるという関係が取得されたものとする。
　続いて、制御部１０は、キャリブレーション処理の第２段階として、上記第１段階で取得した上記関係を利用して、第１モード及び第２モードのいずれか一方のモードにおいてＸ線検出部７の検出出力の検出範囲が検査レンジとなるように、Ｘ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を設定する。
　制御部１０は、Ｘ線検査装置１において第１モードが選択されているか否かを判定する（ステップＳ１２）。ステップＳ１２において、Ｘ線検査装置１において第１モードが選択されていると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第１感度に設定する（ステップＳ１３）。ステップＳ１３においてＸ線検出部７の感度を第１感度に設定したことに対応させて、制御部１０は、Ｘ線照射部６への入力電流を第１入力電流に設定し、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部６を制御する（ステップＳ１４）。
　第１感度は、後述するように、第２感度よりも高い。一例として、第２モードにおいてＸ線照射部６への入力電流を最大値（１０．０ｍＡ）としたときの第２感度を２倍に設定する場合、第１感度は、４倍である。この第１感度で、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲が検査レンジとなるためには、第１入力電流は、上記第１段階におけるＸ線照射部６への入力電流（テスト値）に対して５倍（＝２０倍÷４倍）である必要がある。したがって、第１入力電流は、ステップＳ１４において５．０ｍＡ（＝１．０ｍＡ×５倍）に設定される。
　ここで、上述した一定の条件下においては、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるように制御部１０がＸ線照射部６を制御しているにも関わらずＸ線検出部７の検出出力が減少した場合には、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７に劣化が進行している可能性がある。Ｘ線検出部７の感度が第２感度よりも高い第１感度に固定されている第１モードでは、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流とされているため、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させる余地がある。そこで、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力を取得し（ステップＳ１５）、Ｘ線検出部７の検出出力の減少の有無を判定する（ステップＳ１６）。
　ステップＳ１６において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少があると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化の進行により減少したＸ線検出部７の検出出力を補うため、Ｘ線照射部６の照射出力が増大するようにＸ線照射部６を制御する第１制御を実行する（ステップＳ１７）。すなわち、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第２感度よりも高い第１感度に設定すると共にＸ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させることでＸ線照射部６の照射出力を増大させる。これにより、Ｘ線照射部６への入力電流が、ステップＳ１４において設定された第１入力電流（上記の例では５．０ｍＡ）よりも大きくなり、Ｘ線検出部７に入射されるＸ線の強度が増大することから、減少していたＸ線検出部７の検出出力が増大する。よって、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲を検査レンジとすることができる。ステップＳ１７の後、ステップＳ１５に移行し、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力を増大させた状態でＸ線検出部７の検出出力を再取得する。
　ステップＳ１６において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少がないと制御部１０が判定した場合、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が可能か否かを確かめる。第１モードでは、Ｘ線照射部６への入力電流を抑えてＸ線検出部７の感度を増加させているため、制御部１０により生成されるＸ線透過画像に含まれるノイズが多くなる可能性がある。そこで、制御部１０は、例えばＸ線検出部７の検出出力のバラつき（平均、偏差など）が所定範囲内であるか否かに基づいて、物品Ｇの検査が可能か否かを判定する（ステップＳ１８）。
　ステップＳ１８において、物品Ｇの検査が可能であると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、第１モードでのキャリブレーション処理を終了する。その後、Ｘ線検査装置１では、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が行われる。
　ステップＳ１８において、物品Ｇの検査が可能ではないと制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力のバラつき（平均、偏差など）が所定範囲内となるように、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させ、Ｘ線照射部６への入力電流を再設定する（ステップＳ１９）。これにより、物品Ｇの検査の性能を担保することができる。なお、ステップＳ１９においては、Ｘ線検出部７の検出出力のバラつきが所定範囲内となるように、Ｘ線照射部６への入力電流と共にＸ線検出部７の感度を増加させ、Ｘ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を再設定してもよい。その後、制御部１０は、第１モードでのキャリブレーション処理を終了する。Ｘ線検査装置１では、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が行われる。
　他方、ステップＳ１２において、Ｘ線検査装置１において第２モードが選択されていると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線照射部６への入力電流を最大値（１０．０ｍＡ）に設定し、Ｘ線照射部６の照射出力が第２照射出力となるようにＸ線照射部６を制御する（ステップＳ２０）。ステップＳ２０においてＸ線照射部６への入力電流を最大値に設定したことに対応させて、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第２感度に設定する（ステップＳ２１）。
　一例として、ステップＳ２０において設定したＸ線照射部６の入力電流（最大値：１０．０ｍＡ）は、上記キャリブレーション処理の第１段階におけるＸ線照射部６の入力電流のテスト値（１．０ｍＡ）に対して１０倍である。このことから、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲が検査レンジとなるためには、第２感度は、上記第１段階におけるＸ線検出部７の感度のテスト値（１倍）に対して２倍（＝２０倍÷１０倍）に設定する必要がある。したがって、第２感度は、ステップＳ２１において２倍に設定される。
　ここで、上述した一定の条件下では、Ｘ線照射部６の照射出力が第２照射出力となるように制御部１０がＸ線照射部６を制御しているにも関わらずＸ線検出部７の検出出力が減少した場合、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７に劣化が進行している可能性がある。そこで、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力を取得し（ステップＳ２２）、Ｘ線検出部７の検出出力の減少の有無を判定する（ステップＳ２３）。
　ステップＳ２３において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少があると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化の進行により減少したＸ線検出部７の検出出力を補うため、Ｘ線検出部７の検出出力が増大するようにＸ線検出部７を制御する第２制御を実行する（ステップＳ２４）。すなわち、制御部１０は、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の感度を増加させることでＸ線検出部７の検出出力を増大させる。これにより、Ｘ線検出部７の感度が、ステップＳ２１において設定された第２感度（上記の例では２倍）よりも高くなり、Ｘ線検出部７により検出されるＸ線のカウント数が増大することから、減少していたＸ線検出部７の検出出力が増大する。よって、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲を検査レンジとすることができる。ステップＳ２４の後、ステップＳ２２に移行し、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力を増大させた状態でＸ線検出部７の検出出力を再取得する。
　ステップＳ２３において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少がないと制御部１０が判定した場合、制御部１０は、第２モードでのキャリブレーション処理を終了する。その後、Ｘ線検査装置１では、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が行われる。
　なお、Ｘ線検査装置１において第１モードが選択されている場合、制御部１０は、第１制御を実行している時間（以下、第１モード運転時間ともいう）と、第１制御により制御されたＸ線照射部６の照射出力に関する情報と、を表示操作部８に表示させる。表示操作部８に表示される「第１制御を実行している時間」とは、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させる第１制御の処理（図２におけるステップＳ１７の処理）を実行した時間だけではなく、第１モードが選択された状態でキャリブレーション処理（図２におけるステップＳ１０～Ｓ１９の処理）を行っている時間と、第１モードが選択された状態で行ったキャリブレーション処理により設定されたＸ線照射部６の入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査を行っている時間と、を含んでもよい。
　例えば、図３の（ｂ）に示されるように、制御部１０は、第１モード運転時間における、Ｘ線照射部６への入力電流（第１入力電流）の実績値と、Ｘ線照射部６における消費電力（第１照射出力）の実績値と、第１モード運転時間の実績値と、Ｘ線照射部６における消費電力量の実績値と、を表示操作部８に表示させる。具体的には、Ｘ線照射部６への入力電流の実績値は、５．０ｍＡであり、Ｘ線照射部６における消費電力の実績値は、２５０Ｗであり、第１モード運転時間（運転時間）の実績値は、１００時間であり、Ｘ線照射部６における消費電力量の実績値は、２５ｋＷｈである。図３の（ｂ）の例では、第１モードでの入力電流及び感度として、図３の（ａ）に示される第１モードの入力電流及び感度が設定されている。
　制御部１０は、第１モード運転時間において第２モードが選択されていたと仮定した場合のＸ線照射部６における消費電力量の試算値を表示操作部８に表示させる。具体的には、Ｘ線照射部６における消費電力量の試算値は、５０ｋＷｈである。図３の（ｂ）の例では、第２モードでの入力電流及び感度として、図３の（ａ）に示される第２モードの入力電流及び感度が設定されている。
　制御部１０は、上記第２モードでの消費電力量の試算値と上記第１モードでの消費電力量の実績値との差の電力量を、第１モードでＸ線検査装置１を運転することにより削減されたと推定される電力量である削減電力量として表示操作部８に表示させる。図３の（ｂ）の例では、削減電力量は、２５ｋＷｈである。
　以上説明したように、Ｘ線検査装置１では、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部６を制御部１０が制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化が進行している可能性がある。このとき、予めＸ線検出部７の感度を比較的高い第１感度に設定しＸ線照射部６の第１照射出力を最大値よりも小さく設定しておけば、Ｘ線照射部６の照射出力が最大値の場合と比べてＸ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化が抑制されると共に、制御部１０が第１制御を実行することでＸ線照射部６の照射出力を増大させる余地が確保され、物品Ｇの検査の性能の低下を回避することができる。したがって、物品Ｇの検査の性能を確保しつつＸ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化を抑制することができる。また、この結果、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７の寿命時期の遅延（長寿命化）を図ることが可能となる。
　Ｘ線検査装置１では、制御部は、Ｘ線照射部６により照射されたＸ線が物品Ｇには照射されておらず、且つ、物品Ｇに照射されていないＸ線をＸ線検出部７が検出している状態で、第１制御を実行する。この条件下では、Ｘ線検出部７が物品Ｇを透過したＸ線を検出する状態と比べて、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化に起因してＸ線検出部７の検出出力が減少する蓋然性が高くなる。よって、適切に制御部１０が第１制御を実行することが可能となる。
　Ｘ線検査装置１では、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力よりも大きい第２照射出力となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の検出出力が増大するようにＸ線検出部７を制御する第２制御を実行する。第１制御（第１モード）と第２制御（第２モード）とは、切り替え可能である。これにより、Ｘ線検査装置１のオペレータは、Ｘ線照射部６の照射出力を抑えた第１制御と、Ｘ線照射部６の照射出力を高めた第２制御と、の何れか一方の制御を選択することができる。
　Ｘ線検査装置１では、制御部１０は、第２制御において、Ｘ線検出部７の感度を第２感度に設定すると共にＸ線照射部６への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の感度を増加させることでＸ線検出部７の検出出力を増大させる。制御部１０は、第１制御において、Ｘ線検出部７の感度を第２感度よりも高い第１感度に設定すると共にＸ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させることでＸ線照射部６の照射出力を増大させる。これにより、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい入力電流でＸ線照射部６を制御する第１制御を制御部１０が実行するため、Ｘ線照射部６の電力消費を低減することができる。
　Ｘ線検査装置１は、制御部１０が第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御されたＸ線照射部６の照射出力に関する情報（Ｘ線照射部６への入力電流、Ｘ線照射部６の消費電力量、第１制御により削減した電力量）と、を表示する表示操作部８を有する。この表示操作部８により、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化が抑制されていることをＸ線検査装置１のオペレータが確認することができる。
　本開示は、上記実施形態に限定されるものではない。
　上記実施形態では、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力及びＸ線検出部７の検出出力を変動させる要因が少ない一定の条件下においてＸ線検出部７の検出出力が減少した場合、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７に劣化が進行しているとして第１制御又は第２制御を実行した。しかしながら、制御部１０は、例えば、Ｘ線照射部６の照射出力が略一定であってもＸ線検出部７の検出出力を一定の変動パターンで変動させる要因が存在するような条件下において第１制御及び第２制御を実行してもよい。このような条件下においては、制御部１０は、例えばＸ線検出部７の検出出力の基準変動パターンを記憶しておき、当該要因に起因する検出出力の変動を相殺させることでＸ線検出部７の検出出力の減少を抽出し、Ｘ線照射部６の照射出力又はＸ線検出部７の検出出力の劣化が進行したことを判定し、第１制御及び第２制御を実行してもよい。
　上記実施形態では、制御部１０は、第２制御において、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部６を制御したが、第２制御におけるＸ線照射部６への入力電流は、第１制御におけるＸ線照射部６への入力電流よりも大きければ、最大値でなくてもよい。
　上記実施形態では、一例として、Ｘ線検査装置１の起動後であってＸ線検査装置１による物品Ｇの検査を開始する前において、制御部１０は、キャリブレーション処理を実行したが、例えば物品Ｇの検査の合間等にキャリブレーション処理を実行してもよい。
　上記実施形態では、制御部１０が検査部として機能し、制御部１０と検査部とが物理的に一体的に構成される例を示したが、制御部１０と検査部とは、物理的に別体で構成されていてもよい。
　上記実施形態では、Ｘ線検査装置１の表示操作部８が表示部として機能したが、Ｘ線検査装置１とは別体で設けられたディスプレイ等が表示部として機能する形態であってもよい。
　本開示は、物品を透過した光（近赤外線、その他の電磁波）を検出することで光透過画像を生成し、当該光透過画像に基づいて物品の検査を行う、Ｘ線検査装置以外の光検査装置に適用可能である。ただし、光としてＸ線を利用する場合には、物品Ｇが包装されている場合であっても、包材や、包材に施された印刷に影響されることなく、物品Ｇの欠けを検査することができる。
　１…Ｘ線検査装置、６…Ｘ線照射部、７…Ｘ線検出部、１０…制御部（制御部、検査部）、Ｇ…物品。

Claims (5)

  1. 　物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
    　前記物品を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
    　前記Ｘ線検出部から出力された信号に基づいて前記物品のＸ線透過画像を生成し、前記Ｘ線透過画像に基づいて前記物品の検査を行う検査部と、
    　前記Ｘ線照射部及び前記Ｘ線検出部を制御する制御部と、
    を備え、
    　前記制御部は、前記Ｘ線照射部の照射出力が第１照射出力となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記Ｘ線検出部の検出出力が減少したときには、前記照射出力が増大するように前記Ｘ線照射部を制御する第１制御を実行する、Ｘ線検査装置。
  2. 　前記制御部は、前記Ｘ線照射部により照射された前記Ｘ線が前記物品には照射されておらず、且つ、前記物品に照射されていない前記Ｘ線を前記Ｘ線検出部が検出している状態で、前記第１制御を実行する、請求項１記載のＸ線検査装置。
  3. 　前記制御部は、前記照射出力が前記第１照射出力よりも大きい第２照射出力となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記検出出力が減少したときには、前記検出出力が増大するように前記Ｘ線検出部を制御する第２制御を実行し、
    　前記第１制御と前記第２制御とは、切り替え可能である、請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
  4. 　前記制御部は、
    　前記第２制御において、前記Ｘ線検出部の感度を第２感度に設定すると共に前記Ｘ線照射部への入力電流が最大値となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記検出出力が減少したときには、前記感度を増加させることで前記検出出力を増大させ、
    　前記第１制御において、前記感度を前記第２感度よりも高い第１感度に設定すると共に前記入力電流が前記最大値よりも小さい第１入力電流となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記検出出力が減少したときには、前記入力電流を増加させることで前記照射出力を増大させる、請求項３記載のＸ線検査装置。
  5. 　前記制御部が前記第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御された前記Ｘ線照射部の前記照射出力に関する情報と、を表示する表示部を更に有する、請求項３又は４記載のＸ線検査装置。
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