WO2019087565A1 - 油圧装置 - Google Patents

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    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
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    • F15B2211/853—Control during special operating conditions during stopping
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
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Definitions

  • the present invention relates to a hydraulic system.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-11521 (Patent Document 1)).
  • a back pressure control circuit is configured separately from the servo valve, or a control valve is added to block the meter in side. And the circuit configuration is complicated.
  • an object of the present invention is to provide a hydraulic device capable of energy saving, high speed driving, high precision position control and back pressure control with a simple configuration without using a servo valve.
  • the hydraulic device is With a hydraulic pump, A motor for driving the above hydraulic pump, A hydraulic cylinder in which hydraulic oil is supplied from the hydraulic pump driven by the motor to the inflow port; A position sensor for detecting the position of the rod of the hydraulic cylinder; A controller that controls the motor based on the output of the position sensor to control the flow rate of hydraulic oil supplied from the hydraulic pump to the inflow port of the hydraulic cylinder; And a pressure control circuit for controlling the pressure of the outlet port of the hydraulic cylinder based on the output of the position sensor.
  • the rotational speed of the motor is controlled by the controller based on the output of the position sensor that detects the position of the rod of the hydraulic cylinder, and the hydraulic pump driven by the motor supplies the fluid to the inflow side port of the hydraulic cylinder.
  • the acceleration control is performed on the hydraulic cylinder by controlling the flow rate of the operating oil.
  • the pressure control circuit controls the pressure of the outflow side port of the hydraulic cylinder to perform brake control on the hydraulic cylinder.
  • the pressure control circuit It has a pressure control valve that controls the pressure of hydraulic fluid supplied from an external hydraulic source based on the output of the position sensor, The pressure of the hydraulic fluid controlled by the pressure control valve is used to control the pressure at the outlet port of the hydraulic cylinder.
  • the pressure control valve of the pressure control circuit controls the pressure of the hydraulic oil supplied from the external hydraulic source based on the output of the position sensor. Using the pressure of the hydraulic fluid controlled by the pressure control valve, the pressure control circuit controls the pressure of the outflow side port of the hydraulic cylinder based on the output of the position sensor to control the brake on the outflow side of the hydraulic cylinder. It can be done well.
  • the pressure control circuit A second hydraulic pump having a discharge port connected to the outflow side port of the hydraulic cylinder; And a second motor for driving the second hydraulic pump.
  • a second controller is provided which controls the second motor to control the pressure of the outflow port of the hydraulic cylinder based on the output of the position sensor.
  • the second controller controls the rotational speed of the second motor of the pressure control circuit based on the output of the position sensor to control the pressure of the outflow port of the hydraulic cylinder. Controllability of brake control on the outflow side of the hydraulic cylinder can be improved.
  • the pressure control circuit A check valve disposed between the discharge port of the second hydraulic pump and the outflow side port of the hydraulic cylinder, and allowing only the flow of hydraulic fluid from the second hydraulic pump to the hydraulic cylinder;
  • the hydraulic cylinder is disposed between the hydraulic cylinder side of the check valve and the tank, based on the pressure of the hydraulic fluid discharged from the second hydraulic pump controlled by the second controller.
  • a pressure control valve for controlling the pressure of the outlet port.
  • the check valve of the pressure control circuit is disposed between the discharge port of the second hydraulic pump and the outflow port of the hydraulic cylinder, and the operation from the second hydraulic pump to the hydraulic cylinder Allow only oil flow. Then, by controlling the rotational speed of the second motor of the pressure control circuit based on the output of the position sensor by the second controller of the pressure control circuit, the pressure of the hydraulic fluid discharged from the second hydraulic pump is obtained. Based on this, the pressure control valve disposed between the hydraulic cylinder side of the check valve and the tank controls the pressure at the outflow port of the hydraulic cylinder. This makes it possible to reduce the capacity of the second hydraulic pump rather than directly controlling the pressure at the outlet port of the hydraulic cylinder with the second hydraulic pump.
  • the hydraulic pressure is controlled by controlling the flow rate of hydraulic fluid supplied from the hydraulic pump to the inflow port of the hydraulic cylinder based on the output of the position sensor that detects the position of the rod of the hydraulic cylinder.
  • FIG. 1 is a schematic block diagram of a hydraulic device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic block diagram of a hydraulic device according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic block diagram of a hydraulic device according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 shows a schematic block diagram of a hydraulic device according to a first embodiment of the present invention.
  • This hydraulic system is used in industrial machines (main machines) such as injection molding machines, presses and machine tools.
  • hydraulic oil is supplied from a hydraulic pump P1 that sucks in and discharges hydraulic oil, a motor M1 that drives the hydraulic pump P1, and the hydraulic pump P.
  • Hydraulic cylinder 100 pressure sensor PS1 for detecting the discharge pressure of hydraulic pump P1, first direction control valve 10 (4 port 3 position), second direction control valve 20 (3 port 2 position), electromagnetic proportional pressure A control valve 30, a position control controller 40, a controller 50 for controlling the motor M1, a position sensor 60 for detecting the current position of the rod 101 of the hydraulic cylinder 100, and a tank 70 storing hydraulic fluid.
  • the hydraulic cylinder 100 is a single rod hydraulic cylinder and has a head side port 110 and a rod side port 120.
  • the electromagnetic proportional pressure control valve 30 is an example of a pressure control circuit.
  • the discharge port of the hydraulic pump P1 is connected to the pump port 13 of the first direction control valve 10.
  • the tank port 14 of the first direction control valve 10 is connected to the tank 70.
  • the load port 11 of the first direction control valve 10 is connected to the head side port 110 of the hydraulic cylinder 100.
  • the second port 22 of the second direction control valve 20 is connected to the load port 12 of the first direction control valve 10.
  • the first direction control valve 10 When both of the solenoids sol1 and sol2 of the first direction control valve 10 are not excited, the first direction control valve 10 is in the center switching position, and the load ports 11 and 12, the pump port 13 and the tank port 14 are closed. Become. On the other hand, when the solenoid sol1 of the first direction control valve 10 is excited, the first direction control valve 10 is at the left switching position, the load port 11 and the pump port 13 communicate with each other, and the load port 12 and the tank port 14 It communicates. On the other hand, when the solenoid sol2 of the first direction control valve 10 is excited, the first direction control valve 10 is in the switching position on the right side, the load port 11 and the tank port 14 communicate with each other, and the load port 12 and the pump port 13 It communicates.
  • first port 21 of the second direction control valve 20 is connected to the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100. Further, the third port 23 of the second direction control valve 20 is connected to the electromagnetic proportional pressure control valve 30.
  • the second direction control valve 20 When the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 is not excited, the second direction control valve 20 is at the left switching position, the first port 21 and the second port 22 communicate with each other, and the third port 23 is closed. It becomes. On the other hand, when the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 is excited, the second direction control valve 20 is in the switching position on the right side, the first port 21 and the third port 23 communicate with each other, and the second port 22 is in the state It becomes.
  • the electromagnetic proportional pressure control valve 30 has a proportional pressure reducing valve 310 (three ports and two positions) and an electromagnetic proportional relief valve 320.
  • the third port 23 of the second direction control valve 20 is connected to the first port 311 of the proportional pressure reducing valve 310. Further, the tank 70 is connected to the tank port 312 of the proportional pressure reducing valve 310. Further, an external hydraulic pressure source 80 is connected to the second port 313 of the proportional pressure reducing valve 310.
  • first port 311 of the proportional pressure reducing valve 310 and the first pilot port 314 are connected via the throttle 330. Furthermore, the second port 313 of the proportional pressure reducing valve 310 and the second pilot port 315 are connected via the throttle 340.
  • the second pilot port 315 of the proportional pressure reducing valve 310 is connected to the port 321 of the electromagnetic proportional relief valve 320.
  • the tank port 322 of the proportional solenoid relief valve 320 is connected to the tank 70.
  • the solenoid proportional relief valve 320 the solenoid sol4 is excited by the pressure control signal from the controller 50.
  • the pressure control signal is output from the controller 50 based on the output of the position sensor 60.
  • the pressure control signal is output from the controller 50 in this embodiment, the pressure control signal may be output from the position control controller 40.
  • the pressure of the second pilot port 315 of the proportional pressure reducing valve 310 increases or decreases according to the magnitude of the excitation current of the solenoid sol4 of the electromagnetic proportional relief valve 320, and the electromagnetic proportional pressure control valve 30 increases as the excitation current of the electromagnetic proportional relief valve 320 increases.
  • the pressure of the hydraulic fluid supplied from the external hydraulic pressure source 80 raises the pressure at the first port 311 of the proportional pressure reducing valve 310.
  • the position control controller 40 performs first direction control based on operation information (including a target position) from a master controller (not shown), a flow rate command signal, a pressure command signal, and an output (current position) of the position sensor 60.
  • operation information including a target position
  • master controller not shown
  • flow rate command signal including a target position
  • pressure command signal including a pressure
  • the valve 10, the second direction control valve 20, the electromagnetic proportional pressure control valve 30, etc. are controlled.
  • controller 50 controls the motor M1 based on the flow rate command signal from the position controller 40, the pressure command signal, and the output of the pressure sensor PS1.
  • the position control controller 40 excites the solenoid sol1 of the first direction control valve 10 in a state where the piston 102 of the hydraulic cylinder 100 is located closest to the head side port 110.
  • the control valve 10 is set to the left switching position, and the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 is not excited, and the second direction control valve 20 is set to the left switching position.
  • the head side port 110 (inflow side port) of the hydraulic cylinder 100 is connected to the discharge port of the hydraulic pump P1 via the first direction control valve 10.
  • the rod side port 120 (outflow side port) of the hydraulic cylinder 100 is connected to the tank 70 via the second direction control valve 20.
  • the controller 50 controls the rotational speed of the motor M1 to turn the piston 102 of the hydraulic cylinder 100 rightward at high speed. After moving, move at low speed.
  • the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 is excited to switch the second direction control valve 20 to the left switching position.
  • the rod side port 120 (outlet side port) of the hydraulic cylinder 100 is connected to the electromagnetic proportional pressure control valve 30.
  • the controller 50 controls the rotational speed of the motor M1 while controlling the electromagnetic proportional pressure control valve 30 to move the rod 101 of the hydraulic cylinder 100 to the target position.
  • acceleration control is performed on the hydraulic cylinder 100 by controlling the rotational speed of the motor M1 and controlling the flow rate of the hydraulic oil supplied from the hydraulic pump P1 to the head side port 110 of the hydraulic cylinder 100. Also, based on the output of the position sensor 60, the pressure of the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100 is controlled by the electromagnetic proportional pressure control valve 30 to perform brake control on the hydraulic cylinder 100.
  • the position control controller 40 deenergizes the solenoid sol1 of the first direction control valve 10 and excites the solenoid sol2 to decipher the first direction control valve 10.
  • the second direction control valve 20 is switched to the left switching position with the excitation position of the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 turned off.
  • the head side port 110 (outflow side port) of the hydraulic cylinder 100 is connected to the tank 70 via the second direction control valve 20. Further, the rod side port 120 (inflow side port) of the hydraulic cylinder 100 is connected to the discharge port of the hydraulic pump P1 via the first direction control valve 10.
  • the controller 50 controls the rotational speed of the motor M1 to turn the piston 102 of the hydraulic cylinder 100 leftward at high speed. After moving, the rod 101 is moved at low speed to return the rod 101 to its original position.
  • the mold is moved at high speed by the hydraulic cylinder 100, and shock is stopped at the stop by switching to low speed immediately before the target position. It is possible to stop the mold.
  • the controller 50 controls the rotational speed of the motor M1 based on the output of the position sensor 60 which detects the position of the rod 101 of the hydraulic cylinder 100, and the hydraulic pump P1 driven by the motor M1.
  • acceleration control is performed on the hydraulic cylinder 100.
  • the controller 50 and the electromagnetic proportional pressure control valve 30 control the pressure of the outflow side port of the hydraulic cylinder 100 to perform brake control on the hydraulic cylinder 100.
  • the above-described hydraulic device is superior in energy saving performance because it has no throttle for controlling the flow rate of hydraulic fluid and can reduce surplus oil, as compared with a hydraulic device in which a hydraulic pump is always driven using a conventional servo valve.
  • the hydraulic cylinder can be driven at high speed.
  • the brake control is performed on the hydraulic cylinder 100 by controlling the pressure of the outflow side port of the hydraulic cylinder 100 by the controller 50 and the electromagnetic proportional pressure control valve 30 based on the output of the position sensor 60.
  • Back pressure control is possible without configuring a pressure control circuit or blocking a meter in side by adding a control valve.
  • an accumulator for temporarily storing surplus oil between the hydraulic pump and the servo valve and a high-pressure in-line filter are required.
  • the rotation of the hydraulic pump is controlled instead of the flow rate control by the throttling.
  • energy saving can be realized with a simple configuration without using a servo valve, and high speed driving of the hydraulic cylinder 100, high precision position control and back pressure control are performed. be able to.
  • controller 50 and the electromagnetic proportional pressure control valve 30 control the pressure of the hydraulic oil supplied from the external hydraulic pressure source 80 based on the output of the position sensor 60.
  • the brake on the outflow side of the hydraulic cylinder 100 is controlled by controlling the pressure on the outflow side port of the hydraulic cylinder 100 based on the output of the position sensor 60 using the pressure of the hydraulic fluid controlled by the electromagnetic proportional pressure control valve 30. Good control can be performed.
  • the hydraulic device of the first embodiment does not use a servo valve, a servomotor, an accumulator, or a high pressure in-line filter, so the structure can be simplified and the cost can be reduced.
  • the die cushion refers to a device having a function of generating a force for pushing up a press-formed molded product from below and a pressure holding function of generating a reaction force for drawing wrinkles in a press machine. is there.
  • a hydraulic unit constituted by the hydraulic pump P1, the motor M1, the pressure sensor PS1, the controller 50 and the like may be used.
  • FIG. 2 shows a schematic block diagram of a hydraulic system according to a second embodiment of the present invention.
  • This hydraulic system is used in industrial machines (main machines) such as injection molding machines, presses and machine tools.
  • the hydraulic system according to the second embodiment includes first and second hydraulic pumps P1 and P2 for sucking and discharging hydraulic oil and a first hydraulic pump for driving a first hydraulic pump P1.
  • Pressure sensor PS2 for detecting the discharge pressure of the second hydraulic pump P2, a first direction control valve 10 (four-port three-position), a second direction control valve 20 (three-port two-position), and a position controller 40, a first controller 50A for controlling the motor M1, a second controller 50B for controlling the second motor M2, a position sensor 60 for detecting the position of the rod 101 of the hydraulic cylinder 100, and storage of hydraulic oil The And a link 70.
  • the hydraulic cylinder 100 is a single rod hydraulic cylinder and has a head side port 110 and a rod side port 120.
  • the second hydraulic pump P2 and the second motor M2 constitute a pressure control circuit.
  • the discharge port of the first hydraulic pump P1 is connected to the pump port 13 of the first direction control valve 10.
  • the tank port 14 of the first direction control valve 10 is connected to the tank 70.
  • the load port 11 of the first direction control valve 10 is connected to the head side port 110 of the hydraulic cylinder 100.
  • the second port 22 of the second direction control valve 20 is connected to the load port 12 of the first direction control valve 10.
  • first port 21 of the second direction control valve 20 is connected to the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100.
  • the second port 22 of the second direction control valve 20 is connected to the load port 12 of the first direction control valve 10.
  • the third port 23 of the second direction control valve 20 is connected to the discharge port of the second hydraulic pump P2.
  • the position control controller 40 controls the first direction control valve 10 and the second direction control valve 20 based on operation information from a master controller (not shown), a flow rate command signal, a pressure command signal, and an output of the position sensor 60. Control.
  • the first controller 50A also controls the first motor M1 based on the flow rate command signal from the position controller 40, the pressure command signal, and the output of the pressure sensor PS1.
  • the second controller 50B controls the second motor M2 based on the flow rate command signal from the position controller 40, the pressure command signal, and the output of the pressure sensor PS2.
  • the position control controller 40 excites the solenoid sol1 of the first direction control valve 10 in a state where the piston 102 of the hydraulic cylinder 100 is located closest to the head side port 110.
  • the control valve 10 is set to the left switching position, and the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 is not excited, and the second direction control valve 20 is set to the left switching position.
  • the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100 is connected to the tank 70 via the second direction control valve 20.
  • the rotational speed of the first motor M1 is controlled by the first controller 50A. After moving the right at high speed, move at low speed.
  • the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 is excited to switch the second direction control valve 20 to the switching position on the right.
  • the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100 is connected to the discharge port of the second hydraulic pump P2.
  • the second controller 50B controls the second hydraulic pump P2 while the first controller 50A controls the rotational speed of the first motor M1, and the hydraulic cylinder The 100 rods 101 are moved to the target position.
  • the rotational speed of the first motor M1 is controlled to control the flow rate of the hydraulic oil supplied from the first hydraulic pump P1 to the head side port 110 of the hydraulic cylinder 100. And perform acceleration control. Further, based on the output of the position sensor 60, the second hydraulic pump P2 controls the pressure of the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100 to perform brake control on the hydraulic cylinder 100. Here, by reversely rotating the second hydraulic pump P2, the return oil from the hydraulic cylinder 100 is sucked into the discharge port.
  • the position control controller 40 deenergizes the solenoid sol1 of the first direction control valve 10 and excites the solenoid sol2 to decipher the first direction control valve 10.
  • the second direction control valve 20 is switched to the left switching position with the excitation position of the solenoid sol3 of the second direction control valve 20 turned off.
  • the rotational speed of the first motor M1 is controlled by the first controller 50A. Is moved leftward at a high speed and then moved at a low speed to return the rod 101 to its original position.
  • the mold is moved at high speed by the hydraulic cylinder 100, and the shock at the stop is suppressed by switching to low speed just before the target position. It is possible to stop the mold.
  • the press using the hydraulic device of the second embodiment it is possible to obtain a molded product with a dimensional accuracy on the order of ⁇ 5 ⁇ m.
  • the first controller 50A controls the rotational speed of the first motor M1 based on the output of the position sensor 60 that detects the position of the rod 101 of the hydraulic cylinder 100, thereby By controlling the flow rate of the hydraulic oil supplied from the first hydraulic pump P1 driven by the motor M1 to the inflow port of the hydraulic cylinder 100, acceleration control is performed on the hydraulic cylinder 100. Further, based on the output of the position sensor 60, the pressure of the outflow side port of the hydraulic cylinder 100 is controlled by the second controller 50B and the second hydraulic pump P2 to perform brake control on the hydraulic cylinder 100. As described above, it is possible to configure a control system with two degrees of freedom that freely controls the acceleration on the inflow side of the hydraulic cylinder 100 and the brake on the outflow side.
  • the hydraulic system of the second embodiment has the same effect as the hydraulic system of the first embodiment.
  • the pressure of the outflow side port of the hydraulic cylinder 100 is controlled to control the hydraulic cylinder Controllability of the brake control on the outflow side of 100 can be improved.
  • a hydraulic unit comprising the hydraulic pump P1, the motor M1, the pressure sensor PS1 and the first controller 50A, and the hydraulic pump P2, the motor M2, the pressure sensor PS2 and the second controller A hydraulic unit configured by 50 B or the like may be used.
  • FIG. 3 shows a schematic block diagram of a hydraulic system according to a third embodiment of the present invention.
  • This hydraulic system is used in industrial machines (main machines) such as injection molding machines, presses and machine tools.
  • the hydraulic system of the third embodiment has the same configuration as the hydraulic system of the second embodiment except for the check valve 91 and the pressure control valve 92.
  • the check valve 91 disposed between the discharge port of the second hydraulic pump P2 and the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100 transfers the second hydraulic pump P2 to the hydraulic cylinder 100. Allow only the flow of hydraulic oil.
  • the pressure of the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100 is controlled based on the pressure of.
  • the capacity of the second hydraulic pump P2 can be made smaller than directly controlling the pressure of the rod side port 120 of the hydraulic cylinder 100 by the second hydraulic pump P2.
  • the hydraulic system of the third embodiment has the same effect as the hydraulic system of the second embodiment.
  • the hydraulic device for operating the single-rod hydraulic cylinder 100 has been described.
  • the present invention may be applied to a hydraulic device for operating the hydraulic cylinders of both rods.

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Abstract

油圧装置は、油圧ポンプ(Ｐ１)と、油圧ポンプ(Ｐ１)を駆動するモータ(Ｍ１)と、モータ(Ｍ１)により駆動された油圧ポンプ(Ｐ１)から流入側ポートに作動油が供給される油圧シリンダ(１００)と、油圧シリンダ(１００)のロッド(１０１)の位置を検出する位置センサ(６０)と、位置センサ(６０)の出力に基づいて、モータ(Ｍ１)を制御して油圧ポンプ(Ｐ１)から油圧シリンダ(１００)の流入側ポートに供給される作動油の流量を制御するコントローラ(５０)と、位置センサ(６０)の出力に基づいて、油圧シリンダ(１００)の流出側ポートの圧力を制御する圧力制御回路(３０)を備える。

Description

油圧装置
　この発明は、油圧装置に関する。
　従来、油圧装置としては、サーボ弁を用いて油圧シリンダを制御するものがある(例えば、特開２０１１－１１５２１号公報(特許文献１)参照)。
特開２０１１－１１５２１号公報
　このようなサーボ弁を用いて油圧シリンダを制御する油圧装置において、油圧シリンダのピストンの両側にロッドを有する構成とした場合、メータインとメータアウトの流量比が１：１の構成では、油圧シリンダの良好な制御が可能である。
　しかしながら、上記サーボ弁を用いた油圧装置では、サーボ弁のメータイン側とメータアウト側の両方に絞りがあり、油圧シリンダに作動油を供給する油圧ポンプを常時回転させて油圧を発生させることで余剰油が多くなるため、エネルギー消費が大きいという問題や、サーボ弁の絞りにより流量が制限されて油圧シリンダを高速駆動するのに必要な流量が得られないため、油圧シリンダを高速で駆動できないという問題がある。
　また、上記サーボ弁を用いた油圧装置において、サーボ弁の絞りを大きく開いて油圧シリンダの高速駆動を可能にしようとすると、油圧シリンダの位置制御を高い精度で行うことができないという問題がある。
　また、上記サーボ弁を用いた油圧装置において、油圧シリンダのピストンの片側にロッドを有する構成とした場合、油圧ポンプを駆動するモータの回転制御では、油圧シリンダのピストンの両端面の面積差があるために油圧シリンダの良好な制御が困難になり、油圧シリンダのピストンの両端面の面積差に応じてサーボ弁を個々に設計する必要がある。
　さらに、上記サーボ弁を用いた油圧装置では、外力による背圧制御を行おうとした場合、サーボ弁とは別に背圧制御回路を構成するか、または、制御弁を追加してメータイン側をブロックする必要があり、回路構成が複雑になるという問題がある。
　そこで、この発明の課題は、サーボ弁を用いることなく、簡単な構成で省エネルギー化と高速駆動と高精度位置制御および背圧制御が可能な油圧装置を提供することにある。
　この発明の一態様に係る油圧装置は、
　油圧ポンプと、
　上記油圧ポンプを駆動するモータと、
　上記モータにより駆動された上記油圧ポンプから流入側ポートに作動油が供給される油圧シリンダと、
　上記油圧シリンダのロッドの位置を検出する位置センサと、
　上記位置センサの出力に基づいて、上記モータを制御して上記油圧ポンプから上記油圧シリンダの流入側ポートに供給される作動油の流量を制御するコントローラと、
　上記位置センサの出力に基づいて、上記油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御する圧力制御回路と
を備えることを特徴とする。
　上記構成によれば、油圧シリンダのロッドの位置を検出する位置センサの出力に基づいて、コントローラによりモータの回転速度を制御して、モータにより駆動された油圧ポンプから油圧シリンダの流入側ポートに供給される作動油の流量を制御することにより、油圧シリンダに対して加速制御を行う。また、上記位置センサの出力に基づいて、圧力制御回路により油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御して、油圧シリンダに対してブレーキ制御を行う。このように、油圧シリンダの流入側の加速と流出側のブレーキをそれぞれ自在に制御する２自由度の制御系を構成できる。
　これにより、サーボ弁を用いることなく、簡単な構成で省エネルギー化と高速駆動と高精度位置制御および背圧制御を行うことができる。
　また、一実施形態の油圧装置では、
　上記圧力制御回路は、
　上記位置センサの出力に基づいて外部の油圧源から供給される作動油の圧力を制御する圧力制御弁を有し、
　上記圧力制御弁により制御された作動油の圧力を用いて上記油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御する。
　上記実施形態によれば、圧力制御回路の圧力制御弁により位置センサの出力に基づいて外部の油圧源から供給される作動油の圧力を制御する。この圧力制御弁により制御された作動油の圧力を用いて、圧力制御回路は、位置センサの出力に基づいて油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御して、油圧シリンダの流出側のブレーキ制御を良好に行うことができる。
　また、一実施形態の油圧装置では、
　上記圧力制御回路は、
　上記油圧シリンダの流出側ポートに吐出ポートが接続される第２の油圧ポンプと、
　上記第２の油圧ポンプを駆動する第２のモータと
を有すると共に、
　上記位置センサの出力に基づいて、上記第２のモータを制御して上記油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御する第２のコントローラを備える。
　上記実施形態によれば、第２のコントローラによって、位置センサの出力に基づいて圧力制御回路の第２のモータの回転速度を制御することにより、油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御して、油圧シリンダの流出側のブレーキ制御の制御性を向上できる。
　また、一実施形態の油圧装置では、
　上記圧力制御回路は、
　上記第２の油圧ポンプの吐出ポートと上記油圧シリンダの流出側ポートとの間に配設され、上記第２の油圧ポンプから上記油圧シリンダへの作動油の流れのみを許容する逆止弁と、
　上記逆止弁の上記油圧シリンダ側とタンクとの間に配設され、上記第２のコントローラにより制御された上記第２の油圧ポンプから吐出される作動油の圧力に基づいて、上記油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御する圧力制御弁と
を有する。
　上記実施形態によれば、圧力制御回路の逆止弁は、第２の油圧ポンプの吐出ポートと油圧シリンダの流出側ポートとの間に配設され、第２の油圧ポンプから油圧シリンダへの作動油の流れのみを許容する。そして、圧力制御回路の第２のコントローラによって、位置センサの出力に基づいて圧力制御回路の第２のモータの回転速度を制御することにより、第２の油圧ポンプから吐出される作動油の圧力に基づいて、逆止弁の油圧シリンダ側とタンクとの間に配設された圧力制御弁により油圧シリンダの流出側ポートの圧力を制御する。これにより、第２の油圧ポンプで油圧シリンダの流出側ポートの圧力を直接制御するよりも第２の油圧ポンプの能力を小さくできる。
　以上より明らかなように、この発明によれば、油圧シリンダのロッドの位置を検出する位置センサの出力に基づいて、油圧ポンプから油圧シリンダの流入側ポートに供給される作動油の流量制御により油圧シリンダに対して加速制御を行いつつ、圧力制御回路により油圧シリンダの流出側ポートの圧力制御により油圧シリンダに対してブレーキ制御を行うことによって、サーボ弁を用いることなく、簡単な構成で省エネルギー化と高速駆動と高精度位置制御および背圧制御が可能な油圧装置を実現することができる。
図１はこの発明の第１実施形態の油圧装置の概略ブロック図である。 図２はこの発明の第２実施形態の油圧装置の概略ブロック図である。 図３はこの発明の第３実施形態の油圧装置の概略ブロック図である。
　以下、この発明の油圧装置を図示の実施の形態により詳細に説明する。
　〔第１実施形態〕
　図１はこの発明の第１実施形態の油圧装置の概略ブロック図を示している。この油圧装置は、射出成形機、プレス機、工作機械などの産業機械(主機)に用いられる。
　この第１実施形態の油圧装置は、図１に示すように、作動油を吸入して吐出する油圧ポンプＰ１と、油圧ポンプＰ１を駆動するモータＭ１と、油圧ポンプＰから作動油が供給される油圧シリンダ１００と、油圧ポンプＰ１の吐出圧を検出する圧力センサＰＳ１と、第１方向制御弁１０(４ポート３位置)と、第２方向制御弁２０(３ポート２位置)と、電磁比例圧力制御弁３０と、位置制御コントローラ４０と、モータＭ１を制御するコントローラ５０と、油圧シリンダ１００のロッド１０１の現在位置を検出する位置センサ６０と、作動油を貯えたタンク７０とを備えている。油圧シリンダ１００は、片ロッド油圧シリンダであり、ヘッド側ポート１１０とロッド側ポート１２０を有している。
　上記電磁比例圧力制御弁３０は圧力制御回路の一例である。
　上記油圧ポンプＰ１の吐出ポートを第１方向制御弁１０のポンプポート１３に接続している。第１方向制御弁１０のタンクポート１４をタンク７０に接続している。また、第１方向制御弁１０の負荷ポート１１を油圧シリンダ１００のヘッド側ポート１１０に接続している。また、第２方向制御弁２０の第２ポート２２を第１方向制御弁１０の負荷ポート１２に接続している。
　上記第１方向制御弁１０のソレノイドｓｏｌ１,ｓｏｌ２の両方が非励磁の場合、第１方向制御弁１０は中央の切り換え位置となり、負荷ポート１１,１２とポンプポート１３とタンクポート１４は閉鎖状態となる。一方、第１方向制御弁１０のソレノイドｓｏｌ１を励磁した場合、第１方向制御弁１０は左側の切り換え位置となり、負荷ポート１１とポンプポート１３とが連通し、負荷ポート１２とタンクポート１４とが連通する。他方、第１方向制御弁１０のソレノイドｓｏｌ２を励磁した場合、第１方向制御弁１０は右側の切り換え位置となり、負荷ポート１１とタンクポート１４とが連通し、負荷ポート１２とポンプポート１３とが連通する。
　また、第２方向制御弁２０の第１ポート２１を油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０に接続している。また、第２方向制御弁２０の第３ポート２３を電磁比例圧力制御弁３０に接続している。
　上記第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３が非励磁の場合、第２方向制御弁２０は左側の切り換え位置となり、第１ポート２１と第２ポート２２とが連通し、第３ポート２３は閉鎖状態となる。一方、第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３を励磁した場合、第２方向制御弁２０は、右側の切り換え位置となり、第１ポート２１と第３ポート２３とが連通し、第２ポート２２は状態となる。
　上記電磁比例圧力制御弁３０は、比例減圧弁３１０(３ポート２位置)と、電磁比例リリーフ弁３２０とを有する。
　上記比例減圧弁３１０の第１ポート３１１に第２方向制御弁２０の第３ポート２３を接続している。また、比例減圧弁３１０のタンクポート３１２にタンク７０を接続している。また、比例減圧弁３１０の第２ポート３１３に外部の油圧源８０を接続している。
　また、比例減圧弁３１０の第１ポート３１１と第１パイロットポート３１４を絞り３３０を介して接続している。さらに、比例減圧弁３１０の第２ポート３１３と第２パイロットポート３１５を絞り３４０を介して接続している。
　また、比例減圧弁３１０の第２パイロットポート３１５を電磁比例リリーフ弁３２０のポート３２１に接続している。また、電磁比例リリーフ弁３２０のタンクポート３２２にタンク７０に接続している。この電磁比例リリーフ弁３２０は、コントローラ５０からの圧力制御信号によりソレノイドｓｏｌ４が励磁される。この圧力制御信号は、位置センサ６０の出力に基づいてコントローラ５０から出力される。
　なお、この実施形態では、圧力制御信号をコントローラ５０から出力したが、位置制御コントローラ４０から出力するようにしてもよい。
　上記電磁比例圧力制御弁３０は、電磁比例リリーフ弁３２０のソレノイドｓｏｌ４の励磁電流の大小により比例減圧弁３１０の第２パイロットポート３１５の圧力が増減し、電磁比例リリーフ弁３２０の励磁電流が大きいほど、外部の油圧源８０から供給される作動油の圧力により比例減圧弁３１０の第１ポート３１１の圧力が上がる。
　上記位置制御コントローラ４０は、主機コントローラ(図示せず)からの動作情報(目標位置を含む)や流量指令信号,圧力指令信号および位置センサ６０の出力(現在位置)に基づいて、第１方向制御弁１０と第２方向制御弁２０と電磁比例圧力制御弁３０などを制御する。
　また、コントローラ５０は、位置制御コントローラ４０からの流量指令信号,圧力指令信号および圧力センサＰＳ１の出力に基づいてモータＭ１を制御する。
　上記構成の油圧装置において、油圧シリンダ１００のピストン１０２が最もヘッド側ポート１１０の側に位置する状態で、位置制御コントローラ４０は、第１方向制御弁１０のソレノイドｓｏｌ１を励磁して、第１方向制御弁１０を左側の切り換え位置とすると共に、第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３を励磁せず、第２方向制御弁２０を左側の切り換え位置とする。
　これにより、油圧シリンダ１００のヘッド側ポート１１０(流入側ポート)が、第１方向制御弁１０を介して油圧ポンプＰ１の吐出ポートに接続される。また、油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０(流出側ポート)が、第２方向制御弁２０を介してタンク７０に接続される。
　そして、位置制御コントローラ４０からの流量指令信号,圧力指令信号および圧力センサＰＳ１の出力に基づいて、コントローラ５０によりモータＭ１の回転速度を制御して、油圧シリンダ１００のピストン１０２を高速で右方向に移動させた後に低速で移動させる。
　この低速移動の途中で第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３を励磁して、第２方向制御弁２０を左側の切り換え位置に切り換える。これにより、油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０(流出側ポート)が電磁比例圧力制御弁３０に接続される。
　そうして、位置センサ６０の出力に基づいて、コントローラ５０によりモータＭ１の回転速度を制御しつつ電磁比例圧力制御弁３０を制御して、油圧シリンダ１００のロッド１０１を目標位置に移動させる。
　このとき、モータＭ１の回転速度を制御して、油圧ポンプＰ１から油圧シリンダ１００のヘッド側ポート１１０に供給される作動油の流量を制御することにより、油圧シリンダ１００に対して加速制御を行う。また、位置センサ６０の出力に基づいて、電磁比例圧力制御弁３０により油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０の圧力を制御して、油圧シリンダ１００に対してブレーキ制御を行う。
　次に、油圧シリンダ１００のロッド１０１を元の位置に戻す場合、位置制御コントローラ４０は、第１方向制御弁１０のソレノイドｓｏｌ１を非励磁としソレノイドｓｏｌ２を励磁して、第１方向制御弁１０を右側の切り換え位置とすると共に、第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３の励磁をオフにして、第２方向制御弁２０を左側の切り換え位置に切り換える。
　これにより、油圧シリンダ１００のヘッド側ポート１１０(流出側ポート)が、第２方向制御弁２０を介してタンク７０に接続される。また、油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０(流入側ポート)が、第１方向制御弁１０を介して油圧ポンプＰ１の吐出ポートに接続される。
　そして、位置制御コントローラ４０からの流量指令信号,圧力指令信号および圧力センサＰＳ１の出力に基づいて、コントローラ５０によりモータＭ１の回転速度を制御して、油圧シリンダ１００のピストン１０２を高速で左方向に移動させた後に低速で移動させて、ロッド１０１を元の位置に戻す。
　このようにして、上記油圧装置では、例えばプレス機において、油圧シリンダ１００により金型を高速で移動させて、目標位置の直前で低速に切り換えることにより停止時のショックを抑え、目標位置に正確に金型を停止させることが可能となる。
　上記構成の油圧装置において、油圧シリンダ１００のロッド１０１の位置を検出する位置センサ６０の出力に基づいて、コントローラ５０によりモータＭ１の回転速度を制御して、モータＭ１により駆動された油圧ポンプＰ１から油圧シリンダ１００の流入側ポートに供給される作動油の流量を制御することにより、油圧シリンダ１００に対して加速制御を行う。また、上記位置センサ６０の出力に基づいて、コントローラ５０と電磁比例圧力制御弁３０により油圧シリンダ１００の流出側ポートの圧力を制御して、油圧シリンダ１００に対してブレーキ制御を行う。このように、油圧シリンダ１００の流入側の加速と流出側のブレーキをそれぞれ自在に制御する２自由度の制御系を構成することができる。
　上記油圧装置では、従来のサーボ弁を用いて油圧ポンプが常時駆動される油圧装置に比べ、作動油の流量を制御する絞りがなく余剰油を少なくできるので、省エネルギー性に優れている。
　また、サーボ弁のように流量が制限されることがなく、油圧ポンプＰ１から油圧シリンダに高速駆動に必要な流量の作動油を供給できるので、油圧シリンダを高速で駆動することができる。
　また、油圧シリンダ１００の流入側の加速制御と流出側のブレーキ制御をそれぞれ自在に行うことにより制御性が向上し、高精度な位置制御が可能となる。
　さらに、位置センサ６０の出力に基づいて、コントローラ５０と電磁比例圧力制御弁３０により油圧シリンダ１００の流出側ポートの圧力を制御することによって、油圧シリンダ１００に対してブレーキ制御を行うので、別に背圧制御回路を構成したり、制御弁を追加してメータイン側をブロックしたりすることなく、背圧制御が可能となる。
　また、上記従来のサーボ弁を用いて油圧ポンプが常時駆動される油圧装置では、油圧ポンプとサーボ弁との間に余剰油を一時的に溜めるアキュムレータや、高圧インラインフィルタが必要であったが、この第１実施形態の油圧装置では、絞りによる流量制御でなく油圧ポンプの回転を制御するので、アキュムレータや高圧インラインフィルタが不要となる。
　したがって、上記第１実施形態の油圧装置によれば、サーボ弁を用いることなく、簡単な構成で、省エネルギー化を実現できると共に、油圧シリンダ１００の高速駆動と高精度位置制御および背圧制御を行うことができる。
　また、上記コントローラ５０と電磁比例圧力制御弁３０により、位置センサ６０の出力に基づいて外部の油圧源８０から供給される作動油の圧力を制御する。この電磁比例圧力制御弁３０により制御された作動油の圧力を用いて、位置センサ６０の出力に基づいて油圧シリンダ１００の流出側ポートの圧力を制御することによって、油圧シリンダ１００の流出側のブレーキ制御を良好に行うことがでる。
　上記第１実施形態の油圧装置は、サーボ弁、サーボモータ、アキュムレータ、高圧インラインフィルタを用いないので、構造を簡略化でき、コストを低減できる。
　また、上記油圧装置をプレス機に用いた場合、ダイクッション制御において安定した圧力制御ができる。ここで、ダイクッションとは、プレス機において、プレス加工された成形品を下から突き上げる力を発生させる機能や、絞り加工のしわ押え用の反力を発生させる圧力保持機能を備える装置のことである。
　なお、上記第１実施形態において、油圧ポンプＰ１とモータＭ１と圧力センサＰＳ１およびコントローラ５０などで構成された油圧ユニットを用いてもよい。
　〔第２実施形態〕
　図２はこの発明の第２実施形態の油圧装置の概略ブロック図を示している。この油圧装置は、射出成形機、プレス機、工作機械などの産業機械(主機)に用いられる。
　この第２実施形態の油圧装置は、図２に示すように、作動油を吸入して吐出する第１,第２の油圧ポンプＰ１,Ｐ２と、第１の油圧ポンプＰ１を駆動する第１のモータＭ１と、第２の油圧ポンプＰ２を駆動する第２のモータＭ２と、油圧ポンプＰ１から作動油が供給される油圧シリンダ１００と、第１の油圧ポンプＰ１の吐出圧を検出する圧力センサＰＳ１と、第２の油圧ポンプＰ２の吐出圧を検出する圧力センサＰＳ２と、第１方向制御弁１０(４ポート３位置)と、第２方向制御弁２０(３ポート２位置)と、位置制御コントローラ４０と、モータＭ１を制御する第１のコントローラ５０Ａと、第２のモータＭ２を制御する第２のコントローラ５０Ｂと、油圧シリンダ１００のロッド１０１の位置を検出する位置センサ６０と、作動油を貯えたタンク７０とを備えている。油圧シリンダ１００は、片ロッド油圧シリンダであり、ヘッド側ポート１１０とロッド側ポート１２０を有している。
　上記第２の油圧ポンプＰ２と第２のモータＭ２で圧力制御回路を構成している。
　上記第１の油圧ポンプＰ１の吐出ポートを第１方向制御弁１０のポンプポート１３に接続している。第１方向制御弁１０のタンクポート１４をタンク７０に接続している。また、第１方向制御弁１０の負荷ポート１１を油圧シリンダ１００のヘッド側ポート１１０に接続している。また、第２方向制御弁２０の第２ポート２２を第１方向制御弁１０の負荷ポート１２に接続している。
　また、第２方向制御弁２０の第１ポート２１を油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０に接続している。第２方向制御弁２０の第２ポート２２を第１方向制御弁１０の負荷ポート１２に接続している。第２方向制御弁２０の第３ポート２３を第２の油圧ポンプＰ２の吐出ポートに接続している。
　上記位置制御コントローラ４０は、主機コントローラ(図示せず)からの動作情報や流量指令信号,圧力指令信号および位置センサ６０の出力に基づいて、第１方向制御弁１０と第２方向制御弁２０を制御する。また、第１のコントローラ５０Ａは、位置制御コントローラ４０からの流量指令信号,圧力指令信号および圧力センサＰＳ１の出力に基づいて第１のモータＭ１を制御する。また、第２のコントローラ５０Ｂは、位置制御コントローラ４０からの流量指令信号,圧力指令信号および圧力センサＰＳ２の出力に基づいて第２のモータＭ２を制御する。
　上記構成の油圧装置において、油圧シリンダ１００のピストン１０２が最もヘッド側ポート１１０の側に位置する状態で、位置制御コントローラ４０は、第１方向制御弁１０のソレノイドｓｏｌ１を励磁して、第１方向制御弁１０を左側の切り換え位置とすると共に、第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３を励磁せず、第２方向制御弁２０を左側の切り換え位置とする。これにより、油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０が第２方向制御弁２０を介してタンク７０に接続されている。
　そして、位置制御コントローラ４０からの流量指令信号,圧力指令信号および圧力センサＰＳ１の出力に基づいて、第１のコントローラ５０Ａにより第１のモータＭ１の回転速度を制御して、油圧シリンダ１００のピストン１０２を高速で右方向に移動させた後に低速で移動させる。
　この低速移動の途中で第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３を励磁して、第２方向制御弁２０を右側の切り換え位置に切り換える。これにより、油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０が第２の油圧ポンプＰ２の吐出ポートに接続される。
　そうして、位置センサ６０の出力に基づいて、第１のコントローラ５０Ａにより第１のモータＭ１の回転速度を制御しつつ第２のコントローラ５０Ｂにより第２の油圧ポンプＰ２を制御して、油圧シリンダ１００のロッド１０１を目標位置に移動させる。
　このとき、第１のモータＭ１の回転速度を制御して、第１の油圧ポンプＰ１から油圧シリンダ１００のヘッド側ポート１１０に供給される作動油の流量を制御することにより、油圧シリンダ１００に対して加速制御を行う。また、位置センサ６０の出力に基づいて、第２の油圧ポンプＰ２により油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０の圧力を制御して、油圧シリンダ１００に対してブレーキ制御を行う。ここで、第２の油圧ポンプＰ２を逆回転させることにより、油圧シリンダ１００からの戻り油が吐出ポートに吸い込まれる。
　次に、油圧シリンダ１００のロッド１０１を元の位置に戻す場合、位置制御コントローラ４０は、第１方向制御弁１０のソレノイドｓｏｌ１を非励磁としソレノイドｓｏｌ２を励磁して、第１方向制御弁１０を右側の切り換え位置とすると共に、第２方向制御弁２０のソレノイドｓｏｌ３の励磁をオフにして、第２方向制御弁２０を左側の切り換え位置に切り換える。
　そして、位置制御コントローラ４０からの流量指令信号,圧力指令信号および圧力センサＰＳ１の出力に基づいて、第１のコントローラ５０Ａにより第１のモータＭ１の回転速度を制御して、油圧シリンダ１００のピストン１０２を高速で左方向に移動させた後に低速で移動させて、ロッド１０１を元の位置に戻す。
　このようにして、上記油圧装置では、例えばプレス機において、油圧シリンダ１００により金型を高速で移動させて、目標位置の直前で低速に切り換えることにより停止時のショックを抑え、目標位置により正確に金型を停止させることが可能となる。この第２実施形態の油圧装置を用いたプレス機では、±５μｍオーダーの寸法精度の成形品を得ることができる。
　上記構成の油圧装置によれば、油圧シリンダ１００のロッド１０１の位置を検出する位置センサ６０の出力に基づいて第１のコントローラ５０Ａにより第１のモータＭ１の回転速度を制御して、第１のモータＭ１により駆動された第１の油圧ポンプＰ１から油圧シリンダ１００の流入側ポートに供給される作動油の流量を制御することにより、油圧シリンダ１００に対して加速制御を行う。また、上記位置センサ６０の出力に基づいて、第２のコントローラ５０Ｂと第２の油圧ポンプＰ２により油圧シリンダ１００の流出側ポートの圧力を制御して、油圧シリンダ１００に対してブレーキ制御を行う。このように、油圧シリンダ１００の流入側の加速と流出側のブレーキをそれぞれ自在に制御する２自由度の制御系を構成できる。
　上記第２実施形態の油圧装置は、第１実施形態の油圧装置と同様の効果を有する。
　上記第２のコントローラ５０Ｂによって、位置センサ６０の出力に基づいて圧力制御回路の第２のモータＭ２の回転速度を制御することにより、油圧シリンダ１００の流出側ポートの圧力を制御して、油圧シリンダ１００の流出側のブレーキ制御の制御性を向上できる。
　なお、上記第２実施形態において、油圧ポンプＰ１とモータＭ１と圧力センサＰＳ１および第１のコントローラ５０Ａなどで構成された油圧ユニット、および、油圧ポンプＰ２とモータＭ２と圧力センサＰＳ２および第２のコントローラ５０Ｂなどで構成された油圧ユニットを用いてもよい。
　〔第３実施形態〕
　図３はこの発明の第３実施形態の油圧装置の概略ブロック図を示している。この油圧装置は、射出成形機、プレス機、工作機械などの産業機械(主機)に用いられる。なお、この第３実施形態の油圧装置は、逆止弁９１と圧力制御弁９２を除いて第２実施形態の油圧装置と同一の構成をしている。
　図３に示すように、第２の油圧ポンプＰ２の吐出ポートと油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０との間に配設された逆止弁９１により、第２の油圧ポンプＰ２から油圧シリンダ１００への作動油の流れのみを許容する。
　また、上記逆止弁９１の油圧シリンダ１００側とタンク７０との間に配設された圧力制御弁９２により、第２のコントローラ５０Ｂにより制御された第２の油圧ポンプＰ２から吐出される作動油の圧力に基づいて、油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０の圧力を制御する。
　これにより、第２の油圧ポンプＰ２で油圧シリンダ１００のロッド側ポート１２０の圧力を直接制御するよりも第２の油圧ポンプＰ２の能力を小さくできる。
　また、上記油圧装置によれば、第２の油圧ポンプＰ２に戻り油が流れないので、回生負荷に対応することができる。
　上記第３実施形態の油圧装置は、第２実施形態の油圧装置と同様の効果を有する。
　上記第１～第３実施形態では、片ロッドの油圧シリンダ１００を作動させる油圧装置について説明したが、両ロッドの油圧シリンダを作動させる油圧装置にこの発明を適用してもよい。
　この発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記第１～第３実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。例えば、上記第１～第３実施形態で記載した内容を適宜組み合わせたものを、この発明の一実施形態としてもよい。
　１０…第１方向制御弁
　２０…第２方向制御弁
　３０…電磁比例圧力制御弁
　４０…位置制御コントローラ
　５０,５０Ａ,５０Ｂ…コントローラ
　６０…位置センサ
　７０…タンク
　８０…外部の油圧源
　９１…逆止弁
　９２…圧力制御弁
　１００…油圧シリンダ
　１０１…ロッド
　１０２…ピストン
　１１０…ヘッド側ポート
　１２０…ロッド側ポート
　３１０…比例減圧弁
　３２０…電磁比例リリーフ弁
　Ｍ１,Ｍ２…モータ
　Ｐ１,Ｐ２…油圧ポンプ
　ＰＳ１,ＰＳ２…圧力センサ

Claims (4)

  1. 　油圧ポンプ(Ｐ１)と、
    　上記油圧ポンプ(Ｐ１)を駆動するモータ(Ｍ１)と、
    　上記モータ(Ｍ１)により駆動された上記油圧ポンプ(Ｐ１)から流入側ポートに作動油が供給される油圧シリンダ(１００)と、
    　上記油圧シリンダ(１００)のロッドの位置を検出する位置センサ(６０)と、
    　上記位置センサ(６０)の出力に基づいて、上記モータ(Ｍ１)を制御して上記油圧ポンプ(Ｐ１)から上記油圧シリンダ(１００)の流入側ポートに供給される作動油の流量を制御するコントローラ(５０,５０Ａ)と、
    　上記位置センサ(６０)の出力に基づいて、上記油圧シリンダ(１００)の流出側ポートの圧力を制御する圧力制御回路(３０,９１,９２,Ｍ２,Ｐ２)と
    を備えることを特徴とする油圧装置。
  2. 　請求項１に記載の油圧装置において、
    　上記圧力制御回路は、
    　上記位置センサ(６０)の出力に基づいて外部の油圧源(８０)から供給される作動油の圧力を制御する圧力制御弁(３０)を有し、
    　上記圧力制御弁(３０)により制御された作動油の圧力を用いて上記油圧シリンダ(１００)の流出側ポートの圧力を制御することを特徴とする油圧装置。
  3. 　請求項１に記載の油圧装置において、
    　上記圧力制御回路は、
    　上記油圧シリンダ(１００)の流出側ポートに吐出ポートが接続される第２の油圧ポンプ(Ｐ２)と、
    　上記第２の油圧ポンプ(Ｐ２)を駆動する第２のモータ(Ｍ２)と
    を有すると共に、
    　上記位置センサ(６０)の出力に基づいて、上記第２のモータ(Ｍ２)を制御して上記油圧シリンダ(１００)の流出側ポートの圧力を制御する第２のコントローラ(５０Ｂ)を備えることを特徴とする油圧装置。
  4. 　請求項３に記載の油圧装置において、
    　上記圧力制御回路は、
    　上記第２の油圧ポンプ(Ｐ２)の吐出ポートと上記油圧シリンダ(１００)の流出側ポートとの間に配設され、上記第２の油圧ポンプ(Ｐ２)から上記油圧シリンダ(１００)への作動油の流れのみを許容する逆止弁(９１)と、
    　上記逆止弁の上記油圧シリンダ(１００)側とタンク(７０)との間に配設され、上記第２のコントローラ(５０Ｂ)により制御された上記第２の油圧ポンプ(Ｐ２)から吐出される作動油の圧力に基づいて、上記油圧シリンダ(１００)の流出側ポートの圧力を制御する圧力制御弁(９２)と
    を有することを特徴とする油圧装置。
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