WO2020003829A1 - ガラスパネルユニットの製造方法 - Google Patents

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清水　丈司
野中　正貴
治彦 石川
瓜生　英一
長谷川　和也
将 石橋
阿部　裕之
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    • Y02B80/00—Architectural or constructional elements improving the thermal performance of buildings
    • Y02B80/22—Glazing, e.g. vaccum glazing

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a glass panel unit, and more particularly, to a method for manufacturing a glass panel unit that exhausts an internal space of an assembly including a first panel, a second panel, a thermal adhesive, and a pillar.
  • Patent Document 1 discloses a double glazing.
  • the double glazing disclosed in Patent Literature 1 includes a first panel, a second panel arranged to face the first panel, and a sealing material that hermetically joins the first panel and the second panel. , Is provided. Further, a plurality of spacers are provided in an internal space that is closed by the first panel, the second panel, and the sealing material to be a decompression space and that is in contact with the first panel and the second panel. .
  • a sealing material and a spacer are arranged on the first panel or the second panel, and the first panel and the second panel are hermetically bonded by the sealing material. In this case, when exhausting the internal space, the position of the spacer arranged on the first panel or the second panel is easily shifted.
  • An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a glass panel unit in which a pillar arranged in a first panel or a second panel is difficult to move when exhausting an internal space.
  • a method for manufacturing a glass panel unit according to an embodiment of the present disclosure includes an adhesive disposing step, a pillar disposing step, an assembly forming step, a joining step, a depressurizing step, and a sealing step.
  • the adhesive disposing step is a step of disposing a thermal adhesive on the first panel including the first glass plate or the second panel including the second glass plate.
  • the pillar disposing step is a step of disposing a pillar on the first panel or the second panel.
  • the assembly forming step includes arranging the second panel so as to face the first panel, including the first panel, the second panel, the thermal adhesive, and the pillar, and Forming an assembly having an exhaust port formed in at least one of the second panel and the thermal adhesive.
  • the assembly is heated to melt the thermal adhesive, the first panel and the second panel are joined by the thermal adhesive, and the first panel and the first panel are joined except for the exhaust port. Forming an internal space surrounded by the second panel and the melt of the thermal adhesive;
  • the pressure reducing step is a step of discharging the gas in the internal space from the exhaust port through a parallel flow path with a predetermined suction force to reduce the pressure in the internal space.
  • the sealing step is a step of closing the exhaust port to seal the internal space and form a closed reduced pressure space while maintaining the reduced pressure state.
  • the parallel flow path includes a plurality of flow paths connected in parallel, and one or two or more on-off valves provided in one or more of the plurality of flow paths, and the on-off valve
  • the total flow passage area can be changed by the combination of the opening and closing of.
  • the pressure reducing step includes a first pressure reducing step performed first, and a second pressure reducing step performed subsequent to the first pressure reducing step.
  • the total flow area of the parallel flow paths is aerated as the first total flow area.
  • the total flow area of the parallel flow paths is aerated as a second total flow area larger than the first total flow area.
  • a method of manufacturing a glass panel unit according to another embodiment of the present disclosure includes an adhesive arranging step, a pillar arranging step, an assembly forming step, a joining step, a depressurizing step, and a sealing step.
  • the adhesive disposing step is a step of disposing a thermal adhesive on the first panel including the first glass plate or the second panel including the second glass plate.
  • the pillar disposing step is a step of disposing a pillar on the first panel or the second panel.
  • the assembly forming step includes arranging the second panel so as to face the first panel, including the first panel, the second panel, the thermal adhesive, and the pillar, and Forming an assembly having an exhaust port formed in at least one of the second panel and the thermal adhesive.
  • the assembly is heated to melt the thermal adhesive, the first panel and the second panel are joined by the thermal adhesive, and the first panel and the first panel are joined except for the exhaust port. Forming an internal space surrounded by the second panel and the melt of the thermal adhesive;
  • the pressure reducing step is a step of discharging the gas in the internal space from the exhaust port through a predetermined flow path with a pump that suctions the gas by a predetermined suction force, and depressurizing the internal space.
  • the sealing step is a step of closing the exhaust port to seal the internal space and form a closed reduced pressure space while maintaining the reduced pressure state.
  • the predetermined flow path has a discharge flow path having a discharge opening / closing valve located on a path connecting the pump and the exhaust port, and has an air introduction opening / closing valve located on a path connecting the pump and the atmosphere.
  • An air introduction channel located on a path connecting the pump and the atmosphere.
  • the pressure reducing step includes a first pressure reducing step performed first, and a second pressure reducing step performed subsequent to the first pressure reducing step.
  • the discharge on-off valve is opened and the air introduction on-off valve is opened.
  • the discharge on-off valve is opened and the air introduction on-off valve is closed.
  • a method of manufacturing a glass panel unit includes an adhesive arranging step, a pillar arranging step, an assembly forming step, a joining step, a depressurizing step, and a sealing step.
  • the adhesive disposing step is a step of disposing a thermal adhesive on the first panel including the first glass plate or the second panel including the second glass plate.
  • the pillar disposing step is a step of disposing a pillar on the first panel or the second panel.
  • the assembly forming step includes arranging the second panel so as to face the first panel, including the first panel, the second panel, the thermal adhesive, and the pillar, and Forming an assembly having an exhaust port formed in at least one of the second panel and the thermal adhesive.
  • the assembly is heated to melt the thermal adhesive, the first panel and the second panel are joined by the thermal adhesive, and the first panel and the first panel are joined except for the exhaust port. Forming an internal space surrounded by the second panel and the melt of the thermal adhesive;
  • the pressure reducing step is a step of discharging the gas in the internal space from the exhaust port through a valve by a predetermined suction force to reduce the pressure in the internal space.
  • the sealing step is a step of closing the exhaust port to seal the internal space and form a closed reduced pressure space while maintaining the reduced pressure state.
  • the depressurizing step includes a first depressurizing step performed first, and a second depressurizing step performed after the first depressurizing step.
  • the valve Opening / closing is controlled.
  • the first ratio of the valve opening time to the entire opening time in the first pressure reducing step is smaller than the second ratio of the valve opening time to the entire time in the second pressure reducing step.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of the glass panel unit of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the above glass panel unit, partially cut away.
  • FIG. 3 is a schematic sectional view of an assembly of the glass panel unit.
  • FIG. 4 is a schematic plan view, partially broken away, of the above-mentioned assembly.
  • FIG. 5 is an explanatory diagram of a method for manufacturing the above glass panel unit.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram of a method for manufacturing the above glass panel unit.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram of a method of manufacturing the above glass panel unit.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram of a method of manufacturing the above glass panel unit.
  • FIG. 9A is an explanatory diagram of an exhaust system in the method for manufacturing a glass panel unit of the above.
  • FIG. 9B is an explanatory diagram of another example of the exhaust system in the method for manufacturing a glass panel unit of the above.
  • FIG. 10 is a diagram showing a time chart of the pressure in the internal space in the method for manufacturing a glass panel unit of the above.
  • FIG. 11 is a diagram showing a time chart of the pressure in the internal space in the comparative example.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of an exhaust system in the method for manufacturing a glass panel unit according to the second embodiment.
  • FIG. 13 is an explanatory diagram of an exhaust system in the method for manufacturing a glass panel unit of the third embodiment.
  • FIG. 14 is a diagram showing a time chart of the pressure in the internal space in the method for manufacturing a glass panel unit of the above.
  • FIG. 15A is a schematic plan view of the assembly of the fourth embodiment with a part cut away.
  • FIG. 15B is a partially cut-away schematic plan view of the assembly of another example of the above.
  • the following first to fourth embodiments relate to a method for manufacturing a glass panel unit, and more specifically, a glass for exhausting an internal space of an assembly including a first panel, a second panel, a thermal adhesive, and a pillar.
  • the present invention relates to a method for manufacturing a panel unit.
  • FIGS. 1 and 2 show a glass panel unit (finished glass panel unit) 10 of the first embodiment.
  • the glass panel unit 10 of the first embodiment is a heat insulating glass unit.
  • the heat-insulating glass unit is a kind of a multi-layer glass panel including at least a pair of glass panels, and has a reduced pressure space (may be a vacuum space) between the pair of glass panels.
  • the glass panel unit 10 of the first embodiment includes a first panel 20, a second panel 30, a seal 40, a reduced-pressure space 50, a gas adsorbent 60, a plurality of pillars 70, and a closing member 80. Prepare.
  • the glass panel unit 10 is obtained through the assembly 100 which is an intermediate product shown in FIGS.
  • the assembly 100 includes at least the first panel 20, the second panel 30, a thermal adhesive (a frame 410 and a partition 420 described later), and the pillar 70, and has an exhaust port 700.
  • the assembly 100 includes the first panel 20, the second panel 30, the frame 410 and the partition 420 as a thermal adhesive, the internal space 500, the ventilation path 600, , An exhaust port 700, a gas adsorbent 60, and a plurality of pillars 70.
  • the first panel 20 includes a first glass plate 21 that defines the planar shape of the first panel 20, and a coating 22.
  • the first glass plate 21 is a rectangular flat plate, and has a first surface (lower surface in FIG. 3) and a second surface (upper surface in FIG. 3) parallel to each other on both sides in the thickness direction.
  • the size of the rectangular first glass plate 21 is, for example, about 1360 mm to 2350 mm on one side and about 1 mm to 20 mm in thickness, but the numerical value is not limited.
  • the material of the first glass plate 21 is, for example, soda lime glass, high strain point glass, chemically strengthened glass, non-alkali glass, quartz glass, neoceram, or physically strengthened glass.
  • the coating 22 is formed on the first surface of the first glass plate 21.
  • a so-called Low-E (Low-emissivity) film is formed as a coating 22 on the first surface of the first glass plate 21.
  • the coating 22 is not limited to the Low-E film, and may be a film having desired physical characteristics.
  • the first panel 20 may be configured by only the first glass plate 21.
  • the first panel 20 includes at least the first glass plate 21.
  • a Low-E film as the coating 22 is formed on the first surface of the first glass plate 21 by sputtering.
  • the second panel 30 includes a second glass plate 31 that defines the planar shape of the second panel 30.
  • the second glass plate 31 is a rectangular flat plate, and has a first surface (upper surface in FIG. 3) and a second surface (lower surface in FIG. 3) parallel to each other on both sides in the thickness direction.
  • the first surface and the second surface of the second glass plate 31 are both flat.
  • the planar shape and the planar size of the second glass plate 31 are the same as the first glass plate 21 (that is, the planar shape of the second panel 30 is the same as the first panel 20).
  • the thickness of the second glass plate 31 is, for example, the same as that of the first glass plate 21.
  • the material of the second glass plate 31 is, for example, soda lime glass, high strain point glass, chemically strengthened glass, alkali-free glass, quartz glass, neoceram, or physically strengthened glass.
  • the second panel 30 is composed of only the second glass plate 31. That is, the second glass plate 31 is the second panel 30 itself. Note that the second panel 30 may have a coating on any surface.
  • the coating is a film having desired physical properties, such as an infrared reflective film.
  • the second panel 30 is constituted by the second glass plate 31 and the coating. In short, the second panel 30 includes at least the second glass plate 31.
  • the second panel 30 is arranged so as to face the first panel 20. Specifically, the first panel 20 and the second panel 30 are arranged such that the first surface of the first glass plate 21 and the first surface of the second glass plate 31 are parallel to each other and face each other.
  • the frame 410 is disposed between the first panel 20 and the second panel 30, and hermetically joins the first panel 20 and the second panel 30. As a result, an internal space 500 surrounded by the frame 410, the first panel 20, and the second panel 30 is formed.
  • the frame 410 is formed of a thermal adhesive (a first thermal adhesive having a first softening point).
  • the first thermal adhesive is, for example, a glass frit.
  • the glass frit is, for example, a low melting point glass frit.
  • the low-melting glass frit is, for example, a bismuth-based glass frit, a lead-based glass frit, or a vanadium-based glass frit.
  • the frame 410 has a rectangular frame shape.
  • the planar shape of the frame 410 is substantially the same as the first glass plate 21 and the second glass plate 31, but the planar size of the frame 410 is smaller than the first glass plate 21 and the second glass plate 31.
  • the frame body 410 is formed along the outer periphery of the upper surface of the second panel 30 (the first surface of the second glass plate 31). That is, the frame 410 is formed so as to surround almost the entire area on the second panel 30 (the first surface of the second glass plate 31).
  • the first panel 20 and the second panel 30 are formed by temporarily melting the first thermal adhesive of the frame body 410 at a predetermined temperature (first melting temperature) Tm1 (see FIG. 8) equal to or higher than the first softening point. Airtightly joined by body 410.
  • first melting temperature first melting temperature
  • the partition 420 is arranged in the internal space 500.
  • the partition 420 divides the internal space 500 into a sealed space, that is, a first space 510 that is closed when the glass panel unit 10 is completed and becomes the decompression space 50, and an exhaust space, that is, a second space 520 that communicates with the exhaust port 700.
  • the partition 420 is located on the first end side (the left-right direction in FIG. 4) of the second panel 30 in the longitudinal direction (the left-right direction in FIG. 4) from the center of the second panel 30 so that the first space 510 is larger than the second space 520. 4 at the right end).
  • the partition 420 is formed of a thermal adhesive (a second thermal adhesive having a second softening point).
  • the second thermal adhesive is, for example, a glass frit.
  • the glass frit is, for example, a low melting point glass frit.
  • the low-melting glass frit is, for example, a bismuth-based glass frit, a lead-based glass frit, or a vanadium-based glass frit.
  • the second thermal adhesive is the same as the first thermal adhesive, and the second softening point is equal to the first softening point.
  • a part of the partition 420 is formed with an air passage 600 through which the first space 510 and the second space 520 pass.
  • the exhaust port 700 is a hole that connects the second space 520 and the external space.
  • the exhaust port 700 is used to exhaust the first space 510 through the second space 520 and the ventilation path 600.
  • the exhaust port 700 is formed in the second panel 30 so as to connect the second space 520 to the external space. Specifically, the exhaust port 700 is located at a corner of the second panel 30.
  • the exhaust port 700 may be provided in the first panel 20 or may be provided in the second panel 30. , May be provided in a portion that is the frame 410 of the thermal adhesive.
  • the gas adsorber 60 is disposed in the first space 510.
  • the gas adsorbent 60 has a long shape, and is formed along the width direction of the second panel 30 on the second end side (left end side in FIG. 4) in the length direction of the second panel 30. Have been. That is, the gas adsorbent 60 is disposed at an end of the first space 510 (the decompression space 50). By doing so, the gas adsorbent 60 can be made inconspicuous. Further, the gas adsorbent 60 is located at a position separated from the partition 420 and the ventilation path 600. Therefore, when the first space 510 is exhausted, the possibility that the gas adsorbent 60 hinders the exhaust can be reduced.
  • the gas adsorber 60 is used to adsorb unnecessary gas (residual gas and the like).
  • the unnecessary gas is, for example, a gas released from the frame 410 and the partition 420 when the frame 410 and the partition 420 are heated.
  • the gas adsorber 60 has a getter.
  • the getter is a material having a property of adsorbing molecules smaller than a predetermined size.
  • the getter is, for example, an evaporable getter.
  • the evaporable getter has a property of releasing the adsorbed molecules when the temperature reaches or exceeds a predetermined temperature (activation temperature). Therefore, even if the adsorption capacity of the evaporable getter is reduced, the adsorption ability of the evaporable getter can be recovered by heating the evaporable getter to the activation temperature or higher.
  • the evaporable getter is, for example, a zeolite or an ion-exchanged zeolite (for example, a copper ion-exchanged zeolite).
  • the gas adsorber 60 includes the getter powder. Specifically, the gas adsorbent 60 is formed by applying a solution in which getter powder is dispersed. In this case, the size of the gas adsorbent 60 can be reduced. Therefore, even if the decompression space 50 is narrow, the gas adsorbent 60 can be arranged.
  • the plurality of pillars 70 are used to maintain the interval between the first panel 20 and the second panel 30 at a predetermined interval. That is, the plurality of pillars 70 function as spacers for maintaining the distance between the first panel 20 and the second panel 30 at a desired value.
  • the plurality of pillars 70 are arranged in the first space 510. Specifically, the plurality of pillars 70 are arranged at intersections of a rectangular (square or rectangular) lattice. For example, the interval between the plurality of pillars 70 is 2 cm at the shortest. However, the size of the pillars 70, the number of the pillars 70, the interval between the pillars 70, and the arrangement pattern of the pillars 70 can be appropriately selected.
  • the pillar 70 is formed using a transparent material. However, each pillar 70 may be formed using an opaque material as long as it is sufficiently small.
  • the material of the pillar 70 is selected so that the pillar 70 is not deformed in a joining step, a pressure reducing step, and a sealing step described later.
  • the material of the pillar 70 is selected to have a softening point (softening temperature) higher than the first softening point of the first thermal adhesive and the second softening point of the second thermal adhesive.
  • the closing member 80 makes it difficult for an object such as dust to enter the second space 520 from the exhaust port 700.
  • the closing member 80 is the cover 81 provided on the front side of the exhaust port 700 of the first panel 20 or the second panel 30.
  • a closing member 80 in the exhaust port 700, it becomes difficult for an object such as dust to enter the second space 520 from the exhaust port 700. Accordingly, it is possible to prevent the object such as dust from entering the exhaust port 700 or the second space 520 and deteriorating the appearance of the glass panel unit 10. In addition, such a closing member 80 may not be provided.
  • the method for manufacturing a glass panel unit 10 according to the first embodiment includes an adhesive arranging step, a pillar arranging step, an assembly forming step, a joining step, a depressurizing step, and a sealing step. Note that other steps may be provided, but are optional. This will be described in order below.
  • the substrate forming step is a step of forming the first panel 20 and the second panel 30. Specifically, in the substrate forming step, for example, the first panel 20 and the second panel 30 are manufactured. In the substrate forming step, the first panel 20 and the second panel 30 are cleaned as necessary.
  • an exhaust port 700 is formed in the second panel 30.
  • the exhaust port 700 may be formed in the first panel 20 or may be formed in a thermal adhesive disposed in an adhesive disposing step described later. That is, the exhaust port 700 is formed in at least one of the first panel 20, the second panel 30, and the thermal adhesive.
  • the adhesive disposing step is a step of disposing a thermal adhesive on the first panel 20 or the second panel 30.
  • the frame 410 and the partition 420 are formed on the second panel 30.
  • the material of the frame body 410 (the first thermal adhesive) and the material of the partition 420 (the second thermal adhesive) are transferred to the second panel 30 (the second glass plate 31) using a dispenser or the like. (1 side).
  • the air passage 600 is formed in the adhesive disposing step.
  • the material of the frame 410 and the material of the partition 420 may be dried and pre-fired.
  • the second panel 30 to which the material of the frame 410 and the material of the partition 420 are applied is heated.
  • the first panel 20 may be heated together with the second panel 30. That is, the first panel 20 may be heated under the same conditions as the second panel 30. Such calcination need not be performed.
  • the pillar disposing step is a step of disposing the pillar 70 on the first panel 20 or the second panel 30.
  • a plurality of pillars 70 are formed in advance, and the plurality of pillars 70 are arranged at predetermined positions of the second panel 30 using a chip mounter or the like.
  • the plurality of pillars 70 may be formed using a photolithography technique and an etching technique. In this case, the plurality of pillars 70 are formed using a photocurable material or the like. Alternatively, the plurality of pillars 70 may be formed using a known thin film forming technique.
  • the height of the pillar 70 placed on the second panel 30 from the upper surface of the second panel 30 is the height of the thermal adhesive placed on the second panel 30 from the upper surface of the second panel 30. Lower than that.
  • a gas adsorbent forming step is performed. Specifically, in the gas adsorbent forming step, the gas adsorbent 60 is formed by applying a solution in which the getter powder is dispersed to a predetermined position of the second panel 30 and drying it.
  • the order of the adhesive disposing step, the pillar disposing step, and the gas adsorbent forming step is arbitrary.
  • the assembly forming step is a step of arranging the second panel 30 so as to face the first panel 20 and forming the assembly 100 (see FIGS. 3 and 4).
  • the first panel 20 and the second panel 30 are arranged such that the first surface of the first glass plate 21 and the first surface of the second glass plate 31 are parallel to each other and face each other, and are overlapped.
  • the thermal adhesive contacts the first panel 20 and the second panel 30, and the assembly 100 shown in FIGS. 3 and 4 is formed.
  • an assembly installation process is performed. As shown in FIG. 7, in the assembly installation step, the assembly 100 is placed on a support (not shown) in a melting furnace (not shown). Only one support stand may be arranged in the melting furnace, or a plurality of support stands may be arranged in a set.
  • the upper surface of the support is located on the same plane. The upper surface of the support is preferably horizontal.
  • a vacuum pump is connected to the assembly 100 via the exhaust pipe 810 and the seal head 820.
  • the exhaust pipe 810 is joined to the second panel 30 so that, for example, the inside of the exhaust pipe 810 communicates with the exhaust port 700.
  • a seal head 820 is attached to the exhaust pipe 810, whereby the suction port of the vacuum pump is connected to the exhaust port 700.
  • the joining step is a step of heating the assembly 100 to melt the thermal adhesive, joining the first panel 20 and the second panel 30 with the thermal adhesive, and forming the internal space 500.
  • the internal space 500 is a space surrounded by the first panel 20, the second panel 30, and the melt of the thermal adhesive except for the exhaust port 700.
  • the joining step, and the subsequent decompression step and sealing step are performed in a state where the assembly 100 is located in the melting furnace.
  • the first panel 20 and the second panel 30 are air-tightly joined by temporarily melting the first thermal adhesive at a predetermined temperature (first melting temperature) Tm1 equal to or higher than the first softening point.
  • the bonding step is divided into a first temperature raising step, a first heat retaining step, and a first temperature lowering step based on the temperature change.
  • the first temperature raising step is a step performed at a time indicated by t1 in FIG. 8, and is a step of raising the temperature in the melting furnace from room temperature to the first melting temperature Tm1.
  • the first heat retaining step is a step performed at a time indicated by t2 in FIG. 8, and is a step of maintaining the temperature in the melting furnace at the first melting temperature Tm1.
  • the first cooling step is a step performed at a time indicated by t3 in FIG. 8, and is a step of lowering the temperature in the melting furnace from the first melting temperature Tm1 to a predetermined temperature (exhaust gas temperature) Te described later.
  • the first panel 20 and the second panel 30 are disposed in a melting furnace, and are heated at a first melting temperature Tm1 for a predetermined time (first melting time) t2 in a first heat retaining step, as shown in FIG.
  • the first melting temperature Tm1 and the first melting time t2 are a temperature and a time at which the first panel 20 and the second panel 30 are air-tightly joined by the thermal adhesive of the frame body 410. Is set so that is not blocked. That is, the lower limit of the first melting temperature Tm1 is the first softening point, but the upper limit of the first melting temperature Tm1 is set such that the partition 420 does not block the ventilation path 600. For example, when the first softening point and the second softening point are 434 ° C, the first melting temperature Tm1 is set to 440 ° C.
  • the first melting time t2 is, for example, 10 minutes.
  • gas is released from the frame 410, and the gas is adsorbed by the gas adsorbent 60.
  • the internal space 500 is not depressurized and has the same pressure as the external space, so that the first panel 20 and the second panel 30 do not receive a force to move closer to each other due to the atmospheric pressure. Therefore, the first panel 20 and the second panel 30 are not close to each other, and the pillar 70 placed on the second panel 30 is not in contact with the first panel 20. Therefore, the pillar 70 is in a state where it can easily move on the second panel 30.
  • the depressurizing step is a step of depressurizing the internal space 500 by discharging gas in the internal space 500 from the exhaust port 700 through a parallel flow channel 960 with a predetermined suction force.
  • Evacuation is performed using a vacuum pump (910, 930 described later).
  • the vacuum pump exhausts the internal space 500 via the manifold 900, the seal head 820, the exhaust pipe 810, and the exhaust port 700.
  • a plurality of seal heads 820 are connected to the manifold 900 via ventilation pipes.
  • a low vacuum pump 910 composed of a rotary pump or the like and a high vacuum pump 930 composed of a turbo molecular pump or the like are used.
  • a penning gauge (for high vacuum) and a Pirani gauge (for low vacuum) for measuring pressure may be appropriately provided in the manifold 900 or the ventilation pipe.
  • the parallel flow path 960 includes a plurality of flow paths connected in parallel (a first flow path 961 and a second flow path 962 described later) and one or more flow paths provided in one or more of the plurality of flow paths. And two or more on-off valves (a first valve 921 and a second valve 922 described later).
  • the total flow area of the parallel flow path 960 (the total cross-sectional area of one or more flow paths in which the open / close valve is open) can be changed by a combination of opening and closing of the open / close valve.
  • the parallel flow path 960 includes a first flow path 961 that can switch between ventilation and blocking through a flow path having a first flow path area, and a first flow path 961 that is larger than the first flow path area.
  • a second flow path 962 that can switch between ventilation and blocking through a flow path having a flow path area of 2 is provided in parallel.
  • the low vacuum pump 910 is connected to the manifold 900 via the parallel flow path 960.
  • the first flow path 961 has a first valve 921 in the middle
  • the second flow path 962 has a second valve 922 in the middle.
  • the first valve 921 and the second valve 922 constitute a low vacuum valve 920.
  • the high vacuum pump 930 is connected to the manifold 900 via a ventilation pipe having a high vacuum valve 940 on the way.
  • another relief valve may be connected to the manifold 900 via another flow path.
  • the low vacuum pump 910 and the high vacuum pump 930 are connected to each other via a ventilation pipe having an auxiliary valve 950 on the way. Note that the low vacuum pump 910 and the high vacuum pump 930 need not be connected to each other via a ventilation pipe.
  • the first valve 921 can be switched so as to select either ventilation through the first flow path 961 or shutoff of ventilation through the first flow path 961.
  • the first valve 921 is an on-off valve, and the flow passage area when it is open is the first flow passage area.
  • the flow passage area of a portion other than the first valve 921 of the first flow passage 961 is equal to or larger than the first flow passage area.
  • the second valve 922 can be switched so as to select either ventilation through the second flow path 962 or shutoff of ventilation through the first flow path 961.
  • the second valve 922 is an on-off valve, and the flow passage area when open is the second flow passage area.
  • the flow passage area of a portion other than the second valve 922 of the second flow passage 962 is equal to or larger than the second flow passage area.
  • the high-vacuum valve 940 and the auxiliary valve 950 can also be switched so as to select either ventilation with a predetermined flow passage area or blocking of ventilation.
  • the low vacuum pump 910 has a predetermined suction force. Further, the high vacuum pump 930 has a predetermined suction force different from that of the low vacuum pump 910, but it is not excluded that the high vacuum pump 930 has the same suction force as the low vacuum pump 910.
  • the depressurizing step is roughly divided into a low vacuum forming step performed by a low vacuum pump 910 (steps denoted by t11 and t12, hereinafter simply referred to as t11, t12, etc.) and a high vacuum pump.
  • the step 930 is divided into a high vacuum forming step (the step indicated by t20, hereinafter simply referred to as t20).
  • the low vacuum forming step is performed first, and then the high vacuum forming step is performed.
  • the low vacuum forming step includes a first depressurizing step t11 performed first and a second depressurizing step t12 performed after the first depressurizing step.
  • the first pressure reduction step t11 ventilation is performed using the total flow area of the parallel flow paths 960 as the first total flow area. Specifically, in the first pressure reduction step t11, the first valve 921 is opened to allow the gas to flow through the first flow path 961, and the second valve 922 is closed to shut off the second flow path 962. (See FIG. 9A).
  • the second pressure reduction step t12 ventilation is performed with the total flow area of the parallel flow paths 960 as a second total flow area larger than the first total flow area. Specifically, in the second pressure reduction step t12, the first valve 921 is closed to shut off the first flow path 961, and the second valve 922 is opened to allow air to flow through the second flow path 962 (see FIG. 9A). ). Note that the high vacuum valve 940 is closed.
  • the first pressure reduction step t11 performed first is more than the second pressure reduction step t12. Also, the suction force from the exhaust port 700 is reduced. Therefore, when the internal space 500 is exhausted from the exhaust port 700, the flow velocity of the air near the exhaust port 700 of the internal space 500 flowing toward the exhaust port 700 may be small. That is, in the first decompression step t11, the air near the exhaust port 700 of the internal space 500 is directed toward the exhaust port 700 as compared with the case where the first valve 921 is closed and the second valve 922 is opened to exhaust. And the flow velocity is small. As a result, the pillar 70 that is not firmly sandwiched between the first panel 20 and the second panel 30 is suppressed from moving due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the first decompression step t11 After the internal space 500 has been evacuated to some extent, the first decompression step t11 is terminated and the second decompression step t12 is started.
  • the first decompression step t11 is one minute and the second decompression step t12 is one minute, but the time is not particularly limited.
  • the predetermined degree of vacuum can be achieved in a short time while suppressing movement of the pillar 70 due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • FIG. 11 shows the pressure in the case where the low vacuum forming step (the step indicated by t10, hereinafter simply referred to as t10) is performed by opening the second valve 922 and closing the first valve 921.
  • t10 the step indicated by t10, hereinafter simply referred to as t10
  • 3 shows a time chart.
  • the time of the low vacuum forming step t10 may be as short as less than 2 minutes, but the pillar 70 is easily moved by the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the first valve 921 and the second valve 922 are closed, and the high vacuum valve 940 is opened to perform the high vacuum forming step t20.
  • the pressure reducing step is further divided into a first temperature lowering step, a second temperature maintaining step, a second temperature raising step, a third temperature maintaining step, and a second temperature lowering step based on a temperature change.
  • the first cooling step in which the decompression step is performed is common to a part of the first cooling step in the immediately preceding bonding step. That is, the decompression step starts in the middle of the first temperature reduction step in which the joining step is being performed.
  • the decompression step is preferably started when the temperature of the assembly 100 is equal to or higher than the softening point of the thermal adhesive. Note that the pressure reduction step may not be performed in the first temperature lowering step, and may be started in the next second temperature keeping step.
  • the second heat retention step is a step performed at a time indicated by t4 in FIG. 8 and is a step of maintaining the temperature in the melting furnace at the exhaust temperature Te.
  • the first space 510 is exhausted through the ventilation path 600, the second space 520, and the exhaust port 700.
  • the exhaust temperature Te is set higher than the activation temperature (for example, 350 ° C.) of the getter of the gas adsorbent 60 and lower than the first softening point and the second softening point (for example, 434 ° C.).
  • the exhaust temperature Te is 390 ° C.
  • the frame 410 and the partition 420 are not deformed. Further, the getter of the gas adsorbent 60 is activated, and the molecules (gas) adsorbed by the getter are released from the getter. Then, the molecules (that is, gas) released from the getter are discharged through the first space 510, the ventilation path 600, the second space 520, and the exhaust port 700. Therefore, in the pressure reduction step, the adsorption ability of the gas adsorbent 60 is restored.
  • the evacuation time t4 is set so that a reduced pressure space 50 having a desired degree of vacuum (for example, a degree of vacuum of 0.1 Pa or less) is obtained.
  • a desired degree of vacuum for example, a degree of vacuum of 0.1 Pa or less
  • the exhaust time t4 is set to 120 minutes.
  • the degree of vacuum in the decompression space 50 is not particularly limited.
  • the second temperature raising step, the third temperature maintaining step, and the second temperature lowering step after the second temperature keeping step are common to the following sealing step. That is, in the second temperature raising step, the third temperature keeping step, and the second temperature lowering step, the pressure reduction step and the sealing step are performed in parallel.
  • the sealing step is a step of closing the exhaust port 700, sealing the internal space 500, and forming the sealed reduced pressure space 50 while maintaining the reduced pressure state.
  • the second temperature raising step is a step performed at a time indicated by t5 in FIG. 8, and is a step of raising the temperature in the melting furnace from the exhaust temperature Te to a predetermined temperature (second melting temperature) Tm2.
  • the third heat retaining step is a step performed at a time indicated by t6 in FIG. 8, and is a step of maintaining the temperature in the melting furnace at the second melting temperature Tm2.
  • the partition 420 is deformed by temporarily melting the second thermal adhesive at a predetermined temperature Tm2 equal to or higher than the second softening point, thereby forming the partition wall 42 that closes the ventilation path 600.
  • the first panel 20 and the second panel 30 are heated in the melting furnace at the second melting temperature Tm2 for a predetermined time (second melting time) t6.
  • the partition 420 Since the partition 420 contains the second thermal adhesive, the partition 420 is deformed by temporarily melting the second thermal adhesive at a predetermined temperature (second melting temperature) Tm2 equal to or higher than the second softening point.
  • the partition 42 shown in FIGS. 1 and 2 can be formed. Note that the first melting temperature Tm1 is lower than the second melting temperature Tm2.
  • the second melting temperature Tm2 and the second melting time t6 are set so that the second thermal adhesive softens and the partition wall 42 that blocks the ventilation path 600 is formed.
  • the lower limit of the second melting temperature Tm2 is the second softening point (434 ° C.).
  • the purpose of the sealing step is to deform the partition 420. Therefore, the second melting temperature Tm2 is higher than the first melting temperature (440 ° C.) Tm1.
  • the second melting temperature Tm2 is set to 460 ° C.
  • the second melting time t6 is, for example, 30 minutes.
  • the second cooling step is a step performed at a time indicated by t7 in FIG. 8 and is a step of lowering the temperature in the melting furnace from the second melting temperature Tm2 to normal temperature.
  • the glass panel unit 10 obtained in this manner includes a first panel 20, a second panel 30, a seal 40, a reduced pressure space 50, a second space 520, and a gas adsorbent 60. And a plurality of pillars 70 and a closing member 80.
  • the decompression space 50 is formed by exhausting the first space 510 through the second space 520 and the exhaust port 700 as described above.
  • the decompression space 50 is a first space 510 in which the degree of decompression is equal to or less than a predetermined value.
  • the predetermined value is, for example, 0.1 Pa. Since the decompression space 50 is completely sealed by the first panel 20, the second panel 30, and the seal 40, it is separated from the second space 520 and the exhaust port 700.
  • the seal 40 completely surrounds the decompression space 50 and hermetically joins the first panel 20 and the second panel 30.
  • the seal 40 has a frame shape and has a first portion 41 and a second portion (partition wall 42).
  • the first portion 41 is a portion corresponding to the reduced pressure space 50 in the frame 410. That is, the first portion 41 is a portion of the frame 410 that faces the decompression space 50.
  • the second part is the partition wall 42 obtained by deforming the partition 420.
  • FIG. 9B shows another example of the exhaust system in the first embodiment.
  • the first flow path 961 has a throttle portion 963 having a first flow path area, and a first valve 923 that can switch between ventilation and shutoff in the first flow path 961.
  • the flow passage area of a portion (including the first valve 923) of the first flow passage 961 other than the throttle portion 963 is larger than the first flow passage area.
  • the second flow path 962 has a throttle portion 964 having a second flow path area, and a second valve 924 capable of switching between ventilation and blocking in the second flow path 962.
  • the flow passage area of a portion (including the second valve 924) of the second flow passage 962 other than the throttle portion 964 is larger than the second flow passage area.
  • the manufacturing method of the glass panel unit 10 of the second embodiment is substantially the same as the manufacturing method of the glass panel unit 10 of the first embodiment. For this reason, a description overlapping with the first embodiment will not be repeated.
  • the gas in the internal space 500 is discharged through the parallel flow channel 960 in the decompression step.
  • the gas in the internal space 500 is discharged by the pump (the low vacuum pump 910) that sucks the gas through the predetermined flow path 970 with the predetermined suction force. are doing.
  • the decompression step includes a first decompression step performed first, and a second decompression step performed after the first decompression step.
  • the discharge on-off valve 925 is opened and the air introduction on-off valve 926 is opened.
  • the air introduced from the air introduction flow path 972 does not flow toward the exhaust port 700 and the low vacuum pump 910 It is set to flow to the direction.
  • the discharge on-off valve 925 is opened and the air introduction on-off valve 926 is closed.
  • the time chart of the internal space pressure in the second embodiment is the same as the time chart of the internal space pressure in the first embodiment shown in FIG.
  • the suction force from the exhaust port 700 is smaller in the first pressure reduction step t11 than in the second pressure reduction step t12. That is, in the first pressure reduction step t11, the air introduction opening / closing valve 926 is also opened, and the air is introduced from the air introduction passage 972 and is sucked by the low vacuum pump 910. Therefore, as compared with the case where the air introduction opening / closing valve 926 is closed, the suction force related to the suction from the exhaust port 700 by the low vacuum pump 910 is reduced, and the air near the exhaust port 700 in the internal space 500 is exhausted.
  • the flow velocity flowing toward the mouth 700 can be small. As a result, the pillar 70 that is not firmly sandwiched between the first panel 20 and the second panel 30 is suppressed from moving due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the manufacturing method of the glass panel unit 10 of the third embodiment is substantially the same as the manufacturing method of the glass panel unit 10 of the first embodiment. For this reason, a description overlapping with the first embodiment will not be repeated.
  • the low vacuum valve 920 is configured by the first valve 921 and the second valve 922.
  • only one low vacuum valve 920 is provided.
  • the low vacuum valve 920 in the third embodiment has the same second flow path area as the second valve 922 in the first embodiment.
  • the low vacuum valve 920 is controlled to open and close (duty control).
  • the first ratio of the low vacuum valve 920 to the entire opening time in the first pressure reducing step t11 is smaller than the second ratio of the low vacuum valve 920 to the entire opening time in the second pressure reducing step t12.
  • the low vacuum valve 920 is opened for 0.1 second, then closed for 0.9 second, and this is repeated for 5 seconds, 10 seconds, 1 minute, and the like.
  • the first ratio is 0.1.
  • the low vacuum valve 920 is opened.
  • the second ratio is 1.0.
  • the time for opening and closing the low vacuum valve 920, the first ratio, and the second ratio are not particularly limited.
  • the suction force from the exhaust port 700 is smaller than in the second pressure reduction step t12. Therefore, when the internal space 500 is exhausted from the exhaust port 700, the flow velocity of the air near the exhaust port 700 of the internal space 500 flowing toward the exhaust port 700 may be small. As a result, the pillar 70 that is not firmly sandwiched between the first panel 20 and the second panel 30 is suppressed from moving due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the predetermined degree of vacuum can be achieved in a short time while suppressing movement of the pillar 70 due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the manufacturing method of the glass panel unit 10 of the fourth embodiment is almost the same as the manufacturing method of the glass panel unit 10 of the first embodiment. For this reason, a description overlapping with the first embodiment will not be repeated.
  • the second valve 922 is opened, and exhaust is performed in the same manner as shown in FIG.
  • the exhaust path is devised to suppress the pillar 70 that is not firmly sandwiched between the first panel 20 and the second panel 30 from moving due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the partition 420 is formed over substantially the entire length in the short side direction of the assembly 100, and the ventilation paths 600 are formed at a plurality of locations in the longitudinal direction of the partition 420. Accordingly, the total flow rate of the air passing through each ventilation path 600 increases, so that when the air passes through the ventilation path 600, the flow velocity of the air that hits the pillar 70 near the ventilation path 600 decreases. As a result, the pillar 70 that is not firmly sandwiched between the first panel 20 and the second panel 30 is suppressed from moving due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the length of the exhaust path from the ventilation path 600 between the partition 420 and the frame 410 to the exhaust port 700 is increased.
  • the partition 420 is formed to extend the exhaust path from the ventilation path 600 to the exhaust port 700. Accordingly, the resistance to the air flowing through the exhaust path increases due to the long exhaust path, and the flow velocity of the air passing through each ventilation path 600 decreases. As a result, the pillar 70 that is not firmly sandwiched between the first panel 20 and the second panel 30 is suppressed from moving due to the air flowing toward the exhaust port 700.
  • the glass panel unit 10 has a rectangular shape, but the glass panel unit 10 may have a desired shape such as a circular shape or a polygonal shape. That is, the first panel 20, the second panel 30, and the seal 40 may have a desired shape such as a circular shape or a polygonal shape instead of the rectangular shape.
  • the shape of each of the first panel 20, the second panel 30, the frame 410, and the partition 42 is not limited to the shape of the above-described embodiment, and may be any shape such that the glass panel unit 10 having a desired shape is obtained. Should be fine.
  • the shape and size of the glass panel unit 10 are determined according to the use of the glass panel unit 10.
  • neither the first surface nor the second surface of the first glass plate 21 of the first panel 20 is limited to a flat surface.
  • neither the first surface nor the second surface of the second glass plate 31 of the second panel 30 is limited to a flat surface.
  • the first glass plate 21 of the first panel 20 and the second glass plate 31 of the second panel 30 do not have to have the same plane shape and plane size. Further, the first glass plate 21 and the second glass plate 31 do not have to have the same thickness. Further, the first glass plate 21 and the second glass plate 31 may not be formed of the same material.
  • the seal 40 may not have the same planar shape as the first panel 20 and the second panel 30.
  • the frame 410 does not have to have the same planar shape as the first panel 20 and the second panel 30.
  • the first panel 20 may further include a coating having desired physical properties and formed on the second surface of the first glass plate 21.
  • the first panel 20 may not include the coating 22. That is, the first panel 20 may be constituted only by the first glass plate 21.
  • the second panel 30 may further include a coating having desired physical properties.
  • the coating may include, for example, at least one of a thin film formed on each of the first surface and the second surface of the second glass plate 31.
  • the coating is, for example, a film that reflects light of a specific wavelength, an infrared reflecting film, an ultraviolet reflecting film, or the like.
  • the frame 410 is formed of the first thermal adhesive.
  • the frame 410 may include other elements such as a core material in addition to the first thermal adhesive. That is, the frame 410 may include the first thermal adhesive.
  • the frame 410 is formed so as to surround almost the entire area of the second panel 30.
  • the frame 410 may be formed so as to surround a predetermined area on the second panel 30. That is, the frame 410 does not need to be formed so as to surround almost the entire area of the second panel 30.
  • the partition 420 is formed of the second thermal adhesive.
  • the partition 420 may include other elements such as a core material in addition to the second thermal adhesive. That is, the partition 420 only needs to include the second thermal adhesive.
  • the internal space 500 is partitioned into one first space 510 and one second space 520.
  • the internal space 500 may be partitioned into one or more first spaces 510 and one or more second spaces 520.
  • the first thermal adhesive and the second thermal adhesive are not limited to the glass frit, but may be, for example, a low melting point metal or a hot melt adhesive.
  • a melting furnace is used for heating the frame 410, the gas adsorbent 60, and the partition 420.
  • heating can be performed by any suitable heating means.
  • the heating means is, for example, a heat transfer plate connected to a laser or a heat source.
  • the exhaust port 700 is formed in the second panel 30.
  • the exhaust port 700 may be formed in the first glass plate 21 of the first panel 20 or may be formed in the frame 410.
  • the method for manufacturing the glass panel unit (10) of the first aspect includes an adhesive disposing step, a pillar disposing step, an assembly forming step, a joining step, and a depressurizing step. And a sealing step.
  • the adhesive disposing step is a step of disposing a thermal adhesive on the first panel (20) including the first glass plate (21) or the second panel (30) including the second glass plate (31). .
  • the pillar disposing step is a step of disposing the pillar (70) on the first panel (20) or the second panel (30).
  • the second panel (30) is disposed so as to face the first panel (20), and the first panel (20), the second panel (30), the thermal adhesive, and the pillar (70) are combined.
  • the assembly (100) is heated to melt the thermal adhesive, the first panel (20) and the second panel (30) are joined by the thermal adhesive, and except for the exhaust port (700).
  • This is a step of forming an internal space (500) surrounded by the first panel (20), the second panel (30), and the melt of the thermal adhesive.
  • the depressurizing step is a step of depressurizing the internal space (500) by discharging gas in the internal space (500) from the exhaust port (700) through the parallel flow path (960) with a predetermined suction force.
  • the sealing step is a step of closing the exhaust port (700), sealing the internal space (500), and forming a closed reduced pressure space (50) while maintaining the reduced pressure state.
  • the parallel flow path (960) includes a plurality of flow paths (first flow path (961) and second flow path (962)) connected in parallel and one or more of the plurality of flow paths. And one or more on-off valves (first valve (921) and second valve (922)) provided.
  • the total flow area of the parallel flow path (960) can be changed by a combination of opening and closing of the on-off valve.
  • the decompression step includes a first decompression step performed first, and a second decompression step performed after the first decompression step.
  • Ventilation is performed using the total flow area of the parallel flow path (960) as the first total flow area.
  • Ventilation is performed with the total flow area of the parallel flow path (960) as a second total flow area larger than the first total flow area.
  • the pillar (70) is prevented from moving due to the air flowing toward the exhaust port (700).
  • the method for manufacturing the glass panel unit (10) according to the second aspect includes an adhesive arranging step, a pillar arranging step, an assembly forming step, a joining step, a depressurizing step, and a sealing step.
  • the adhesive disposing step is a step of disposing a thermal adhesive on the first panel (20) including the first glass plate (21) or the second panel (30) including the second glass plate (31). .
  • the pillar disposing step is a step of disposing the pillar (70) on the first panel (20) or the second panel (30).
  • the second panel (30) is disposed so as to face the first panel (20), and the first panel (20), the second panel (30), the thermal adhesive, and the pillar (70) are combined.
  • the assembly (100) is heated to melt the thermal adhesive, the first panel (20) and the second panel (30) are joined by the thermal adhesive, and except for the exhaust port (700).
  • This is a step of forming an internal space (500) surrounded by the first panel (20), the second panel (30), and the melt of the thermal adhesive.
  • the gas in the internal space (500) is discharged from the exhaust port (700) through a predetermined flow path (970) by a pump (low vacuum pump (910)) that suctions the gas by a predetermined suction force. ) Is a step of reducing the pressure.
  • the sealing step is a step of closing the exhaust port (700), sealing the internal space (500), and forming a closed reduced pressure space (50) while maintaining the reduced pressure state.
  • the predetermined flow path is located in a path connecting the pump (low vacuum pump (910)) and the exhaust port (700), and has a discharge flow path (971) having a discharge opening / closing valve (925), and a pump (low vacuum pump).
  • the decompression step includes a first decompression step performed first, and a second decompression step performed after the first decompression step.
  • the discharge on-off valve (925) is opened and the air introduction on-off valve (926) is opened.
  • the discharge on-off valve (925) is opened and the air introduction on-off valve (926) is closed.
  • the pillar (70) is prevented from moving by the air flowing toward the exhaust port (700).
  • the method for manufacturing a glass panel unit (10) according to the third aspect includes an adhesive disposing step, a pillar disposing step, an assembly forming step, a joining step, a depressurizing step, and a sealing step.
  • the adhesive disposing step is a step of disposing a thermal adhesive on the first panel (20) including the first glass plate (21) or the second panel (30) including the second glass plate (31). .
  • the pillar disposing step is a step of disposing the pillar (70) on the first panel (20) or the second panel (30).
  • the second panel (30) is disposed so as to face the first panel (20), and the first panel (20), the second panel (30), the thermal adhesive, and the pillar (70) are combined.
  • the assembly (100) is heated to melt the thermal adhesive, the first panel (20) and the second panel (30) are joined by the thermal adhesive, and except for the exhaust port (700).
  • This is a step of forming an internal space (500) surrounded by the first panel (20), the second panel (30), and the melt of the thermal adhesive.
  • the depressurizing step is a step of discharging the gas in the internal space (500) from the exhaust port (700) through a valve (a low vacuum valve (920)) by a predetermined suction force to depressurize the internal space (500).
  • the sealing step is a step of closing the exhaust port (700), sealing the internal space (500), and forming a closed reduced pressure space (50) while maintaining the reduced pressure state.
  • the depressurizing step includes a first depressurizing step performed first and a second depressurizing step performed after the first depressurizing step, wherein the valves are controlled to be opened and closed in the first depressurizing step and the second depressurizing step,
  • the first ratio of the entire valve opening time in the first pressure reducing step to the entire time is smaller than the second ratio of the valve opening time to the entire time in the second pressure reducing step.
  • the pillar (70) is prevented from moving due to the air flowing toward the exhaust port (700).

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Abstract

内部空間を排気する際に、第１パネル又は第２パネルに配置されたピラーが移動しにくいガラスパネルユニットの製造方法を提供する。ガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。減圧工程では、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から弁を通して所定の吸引力により排出して内部空間（５００）を減圧する。弁は、第１の流路面積で通気する第１弁（９２１）と、第１の流路面積よりも大きい第２の流路面積で通気する第２弁（９２２）と、を並列に有する。減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、次に行われる第２減圧工程と、を有する。第１減圧工程において第１弁（９２１）を開とするとともに第２弁（９２２）を閉とし、第２減圧工程において第１弁（９２１）を閉とするとともに第２弁（９２２）を開とする。

Description

ガラスパネルユニットの製造方法
　本発明は、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、更に詳しくは、第１パネルと第２パネルと熱接着剤とピラーとを含む組立品の内部空間を排気するガラスパネルユニットの製造方法に関する。
　特許文献１は、複層ガラスを開示する。特許文献１に開示された複層ガラスは、第１パネルと、第１パネルと対向するように配置される第２パネルと、第１パネルと第２パネルとを気密に接合する封止材と、を備える。さらに、第１パネルと第２パネルと封止材とで密閉されて減圧空間となる内部空間内に、第１パネルと第２パネルとに接触するように配置される複数のスペーサを備えている。
　上述した従来の複層ガラスの製造にあたっては、第１パネル又は第２パネルに封止材及びスペーサを配置し、封止材により第１パネルと第２パネルとを気密に接合する。これにあたり、内部空間を排気する際に、第１パネル又は第２パネルに配置されたスペーサの位置がずれやすいものであった。
日本国公開特許公報１１－３１１０６９号
　本発明の目的は、内部空間を排気する際に、第１パネル又は第２パネルに配置されたピラーが移動しにくいガラスパネルユニットの製造方法を提供する。
　本開示の一形態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
　接着剤配置工程は、第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する工程である。
　前記ピラー配置工程は、前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置する工程である。
　前記組立品形成工程は、前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する工程である。
　前記接合工程は、前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する工程である。
　前記減圧工程は、前記内部空間の気体を前記排気口から並列流路を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する工程である。
　前記封止工程は、減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する工程である。
　前記並列流路は、並列に接続される複数の流路と、前記複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁と、を有し、前記開閉弁の開閉の組み合わせにより、総流路面積を変更可能である。
　前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
　前記第１減圧工程において並列流路の前記総流路面積を第１総流路面積として通気させる。
　前記第２減圧工程において前記並列流路の前記総流路面積を前記第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる。
　本開示の他の形態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
　接着剤配置工程は、第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する工程である。
　前記ピラー配置工程は、前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置する工程である。
　前記組立品形成工程は、前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する工程である。
　前記接合工程は、前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する工程である。
　前記減圧工程は、前記内部空間の気体を前記排気口から所定の流路を通して所定の吸引力により吸引するポンプにより排出して前記内部空間を減圧する工程である。
　前記封止工程は、減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する工程である。
　前記所定の流路は、前記ポンプと前記排気口とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁を有する排出用流路と、前記ポンプと大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁を有する大気導入用流路と、を有する。
　前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
　前記第１減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を開とする。
　前記第２減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を閉とする。
　本開示の更に他の形態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
　接着剤配置工程は、第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する工程である。
　前記ピラー配置工程は、前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置する工程である。
　前記組立品形成工程は、前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する工程である。
　前記接合工程は、前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する工程である。
　前記減圧工程は、前記内部空間の気体を前記排気口から弁を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する工程である。
　前記封止工程は、減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する工程である。
　前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、前記第１減圧工程及び前記第２減圧工程において前記弁が開閉制御される。
　前記第１減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第１比率は、前記第２減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい。
図１は、第一実施形態のガラスパネルユニットの概略断面図である。 図２は、同上のガラスパネルユニットの一部破断した概略平面図である。 図３は、同上のガラスパネルユニットの組立品の概略断面図である。 図４は、同上の組立品の一部破断した概略平面図である。 図５は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図６は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図７は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図８は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図９Ａは、同上のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の説明図である。図９Ｂは、同上のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の他例の説明図である。 図１０は、同上のガラスパネルユニットの製造方法における内部空間の圧力のタイムチャートを示す図である。 図１１は、比較例における内部空間の圧力のタイムチャートを示す図である。 図１２は、第二実施形態のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の説明図である。 図１３は、第三実施形態のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の説明図である。 図１４は、同上のガラスパネルユニットの製造方法における内部空間の圧力のタイムチャートを示す図である。 図１５Ａは、第四実施形態の組立品の一部破断した概略平面図である。図１５Ｂは、同上の他例の組立品の一部破断した概略平面図である。
　以下の第一実施形態～第四実施形態は、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、更に詳しくは、第１パネルと第２パネルと熱接着剤とピラーとを含む組立品の内部空間を排気するガラスパネルユニットの製造方法に関する。
　以下、第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法について、図１～図１１に基いて説明する。
　図１及び図２は、第一実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、断熱ガラスユニットである。断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に減圧空間（真空空間でもよい）を有している。
　第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、第１パネル２０と、第２パネル３０と、シール４０と、減圧空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、閉塞部材８０と、を備える。
　ガラスパネルユニット１０は、図３及び図４に示す中間生成物である組立品１００を経ることによって得られる。
　組立品１００は、少なくとも第１パネル２０と、第２パネル３０と、熱接着剤（後述する枠体４１０及び仕切り４２０）と、ピラー７０と、を含み、排気口７００を有する。具体的には、第一実施形態では、組立品１００は、第１パネル２０と、第２パネル３０と、熱接着剤としての枠体４１０及び仕切り４２０と、内部空間５００と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、を備える。
　第１パネル２０は、第１パネル２０の平面形状を定める第１ガラス板２１と、コーティング２２と、を備える。
　第１ガラス板２１は、矩形状の平板であり、厚み方向の両側に互いに平行な第１面（図３における下面）及び第２面（図３における上面）を有する。矩形状をした第１ガラス板２１の大きさは、例えば一辺が１３６０ｍｍ～２３５０ｍｍ、厚みが１ｍｍ～２０ｍｍ程度であるが、数値は限定されない。第１ガラス板２１の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
　コーティング２２は、第１ガラス板２１の第１面に形成される。第一実施形態では、第１ガラス板２１の第１面に、コーティング２２としていわゆるＬｏｗ－Ｅ（Ｌｏｗ－ｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙ）膜が形成されている。なお、コーティング２２は、Ｌｏｗ－Ｅ膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。なお、第１パネル２０は、第１ガラス板２１のみにより構成されてもよい。要するに、第１パネル２０は、少なくとも第１ガラス板２１を含む。第一実施形態では、第１ガラス板２１の第１面に、スパッタリングによりコーティング２２としてのＬｏｗ－Ｅ膜が形成される。
　第２パネル３０は、第２パネル３０の平面形状を定める第２ガラス板３１を備える。第２ガラス板３１は、矩形状の平板であり、厚み方向の両側に互いに平行な第１面（図３における上面）及び第２面（図３における下面）を有する。第２ガラス板３１の第１面及び第２面はいずれも平面である。
　第２ガラス板３１の平面形状及び平面サイズは、第１ガラス板２１と同じである（つまり、第２パネル３０の平面形状は、第１パネル２０と同じである）。また、第２ガラス板３１の厚みは、例えば、第１ガラス板２１と同じである。第２ガラス板３１の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
　第２パネル３０は、第２ガラス板３１のみで構成されている。つまり、第２ガラス板３１が第２パネル３０そのものである。なお、第２パネル３０は、いずれかの表面にコーティングを備えていてもよい。コーティングは、赤外線反射膜等の所望の物理特性を有する膜である。この場合には、第２パネル３０が第２ガラス板３１及びコーティングにより構成される。要するに、第２パネル３０は、少なくとも第２ガラス板３１を含む。
　第２パネル３０は、第１パネル２０に対向するように配置される。具体的には、第１パネル２０と第２パネル３０とは、第１ガラス板２１の第１面と第２ガラス板３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。
　枠体４１０は、第１パネル２０と第２パネル３０との間に配置され、第１パネル２０と第２パネル３０とを気密に接合する。これによって、枠体４１０と第１パネル２０と第２パネル３０とで囲まれた内部空間５００が形成される。
　枠体４１０は、熱接着剤（第１軟化点を有する第１熱接着剤）で形成されている。第１熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、例えば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。
　枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、第１ガラス板２１，第２ガラス板３１と略同じであるが、枠体４１０の平面サイズは第１ガラス板２１，第２ガラス板３１より小さい。枠体４１０は、第２パネル３０の上面（第２ガラス板３１の第１面）の外周に沿って形成されている。つまり、枠体４１０は、第２パネル３０上（第２ガラス板３１の第１面）のほぼすべての領域を囲うように形成されている。
　第１パネル２０と第２パネル３０とは、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１（図８参照）で枠体４１０の第１熱接着剤を一旦溶融させることで、枠体４１０によって気密に接合される。
　仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、密閉空間、すなわちガラスパネルユニット１０が完成したときに密閉されて減圧空間５０となる第１空間５１０と、排気空間、すなわち排気口７００と通じる第２空間５２０とに仕切る。仕切り４２０は、第１空間５１０が第２空間５２０よりも大きくなるように、第２パネル３０の中央よりも第２パネル３０の長さ方向（図４における左右方向）の第１端側（図４における右端側）に形成される。
　仕切り４２０は、熱接着剤（第２軟化点を有する第２熱接着剤）で形成されている。第２熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、例えば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。
　仕切り４２０の一部には、第１空間５１０と第２空間５２０とを通じさせる通気路６００が形成される。
　排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０及び通気路６００を介して第１空間５１０を排気するために用いられる。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２パネル３０に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２パネル３０の角部分に位置している。なお、第一実施形態では排気口７００は第２パネル３０に設けられているが、排気口７００は、第１パネル２０に設けられてもよいし、第２パネル３０に設けられてもよいし、熱接着剤の枠体４１０である部分に設けられてもよい。
　ガス吸着体６０は、第１空間５１０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺状であり、第２パネル３０の長さ方向の第２端側（図４における左端側）に、第２パネル３０の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、第１空間５１０（減圧空間５０）の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０及び通気路６００から離れた位置にある。そのため、第１空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。
　ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、例えば、枠体４１０及び仕切り４２０が加熱された際に、枠体４１０及び仕切り４２０から放出されるガスである。
　ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、例えば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、例えば、ゼオライト又はイオン交換されたゼオライト（例えば、銅イオン交換されたゼオライト）である。
　ガス吸着体６０は、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体が分散された溶液を塗布することにより形成される。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、減圧空間５０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。
　複数のピラー７０は、第１パネル２０と第２パネル３０との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のピラー７０は、第１パネル２０と第２パネル３０との距離を所望の値に維持するためのスペーサとして機能する。
　複数のピラー７０は、第１空間５１０内に配置されている。具体的には、複数のピラー７０は、矩形（正方形又は長方形）の格子の交差点に配置されている。例えば、複数のピラー７０の間隔は、最も短くて２ｃｍである。ただし、ピラー７０の大きさ、ピラー７０の数、ピラー７０の間隔、ピラー７０の配置パターンは、適宜選択することができる。
　ピラー７０は、透明な材料を用いて形成される。ただし、各ピラー７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。ピラー７０の材料は、後述する接合工程、減圧工程及び封止工程において、ピラー７０が変形しないように選択される。例えば、ピラー７０の材料は、第１熱接着剤の第１軟化点及び第２熱接着剤の第２軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。
　閉塞部材８０は、排気口７００より第２空間５２０内に、ごみ等の物体が侵入しにくくするものである。第一実施形態では、閉塞部材８０は、第１パネル２０又は第２パネル３０の排気口７００の表側に設けられるカバー８１である。
　このような閉塞部材８０が排気口７００に設けられることにより、排気口７００より第２空間５２０内に、ごみ等の物体が侵入しにくくなる。これにより、ごみ等の物体が排気口７００内又は第２空間５２０内に侵入してガラスパネルユニット１０の見栄えが悪くなるのが抑制される。なお、このような閉塞部材８０は設けられなくてもよい。
　次に、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図５～図１１を参照して説明する。第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。なお、更に他の工程を備えてもよいが、任意である。以下に順に説明する。
　第一実施形態においては、まず、図示しないが、基板形成工程が行われる。基板形成工程は、第１パネル２０及び第２パネル３０を形成する工程である。具体的には、基板形成工程では、例えば、第１パネル２０及び第２パネル３０を作製する。また、基板形成工程では、必要に応じて、第１パネル２０及び第２パネル３０を洗浄する。
　次に、排気口７００を形成する工程が行われる。この工程では、第２パネル３０に、排気口７００を形成する。なお、排気口７００は、第１パネル２０に形成されてもよいし、後述する接着剤配置工程により配置される熱接着剤に形成されてもよい。すなわち、排気口７００は、第１パネル２０と第２パネル３０と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される。
　次に、図５に示すように、接着剤配置工程が行われる。接着剤配置工程は、第１パネル２０又は第２パネル３０上に、熱接着剤を配置する工程である。具体的には、接着剤配置工程では、第２パネル３０上に、枠体４１０及び仕切り４２０を形成する。接着剤配置工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）及び仕切り４２０の材料（第２熱接着剤）を第２パネル３０（第２ガラス板３１の第１面）上に塗布する。第一実施形態においては、接着剤配置工程において、通気路６００が形成される。
　なお、接着剤配置工程において、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成してもよい。例えば、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料が塗布された第２パネル３０を加熱する。また、第１パネル２０を第２パネル３０と一緒に加熱してもよい。つまり、第１パネル２０を第２パネル３０と同じ条件で加熱してもよい。このような仮焼成は、行われなくてもよい。
　次に、ピラー配置工程が行われる。ピラー配置工程は、第１パネル２０又は第２パネル３０の上に、ピラー７０を配置する工程である。具体的には、ピラー配置工程では、複数のピラー７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のピラー７０を、第２パネル３０の所定位置に配置する。なお、複数のピラー７０は、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のピラー７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のピラー７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。第２パネル３０の上に載置されたピラー７０の第２パネル３０の上面からの高さは、第２パネル３０の上に載置された熱接着剤の第２パネル３０の上面からの高さよりも低い。
　次に、ガス吸着体形成工程が行われる。具体的には、ガス吸着体形成工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２パネル３０の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６０を形成する。なお、接着剤配置工程、ピラー配置工程及びガス吸着体形成工程の順序は任意である。
　次に、組立品形成工程が行われる。図６に示すように、組立品形成工程は、第１パネル２０に対向させて第２パネル３０を配置し、組立品１００（図３及び図４参照）を形成する工程である。
　第１パネル２０と第２パネル３０とは、第１ガラス板２１の第１面と第２ガラス板３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置して、重ね合わせられる。組立品形成工程により、熱接着剤が第１パネル２０と第２パネル３０とに接触して、図３及び図４に示す組立品１００が形成される。
　次に、組立品設置工程が行われる。図７に示すように、組立品設置工程においては、組立品１００が溶融炉（不図示）内の支持台（不図示）に載置される。支持台は、溶融炉内に一台のみ配置されてもよいし、複数台が組をなして配置されてもよい。支持台の上面は同一平面上に位置する。支持台の上面は水平面であることが好ましい。
　また、真空ポンプが、排気管８１０及びシールヘッド８２０を介して組立品１００に接続される。排気管８１０は、例えば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２パネル３０に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。
　次に、接合工程（第１溶融工程）が行われる。接合工程は、組立品１００を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル２０と第２パネル３０とを接合し、内部空間５００を形成する工程である。内部空間５００は、排気口７００を除いて第１パネル２０と第２パネル３０と熱接着剤の溶融物とで囲まれた空間である。
　接合工程と、この後の減圧工程及び封止工程は、組立品１００が溶融炉内に位置する状態で行われる。
　接合工程では、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１パネル２０と第２パネル３０とを気密に接合する。接合工程は、温度変化に基づいて、第１昇温工程と、第１保温工程と、第１降温工程と、に分けられる。
　第１昇温工程は、図８中のｔ１で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を常温より第１溶融温度Ｔｍ１にまで上昇させる工程である。
　第１保温工程は、図８中のｔ２で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第１溶融温度Ｔｍ１に維持する工程である。
　第１降温工程は、図８中のｔ３で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第１溶融温度Ｔｍ１より後述する所定温度（排気温度）Ｔｅまで下降させる工程である。
　第１パネル２０及び第２パネル３０は、溶融炉内に配置され、図８に示すように、第１保温工程において、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔ２加熱される。
　第１溶融温度Ｔｍ１及び第１溶融時間ｔ２は、枠体４１０の熱接着剤によって第１パネル２０と第２パネル３０とが気密に接合される温度及び時間であるが、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度Ｔｍ１の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度Ｔｍ１の上限は、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように設定される。例えば、第１軟化点及び第２軟化点が４３４℃である場合、第１溶融温度Ｔｍ１は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔ２は、例えば、１０分である。なお、接合工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスはガス吸着体６０によって吸着される。
　第１保温工程の後、第１降温工程において、一旦溶融した第１熱接着剤が硬化していくとともに、第１パネル２０及び第２パネル３０も硬化していく。
　この状態では、内部空間５００は減圧されておらず外部空間と同じ圧力であるため、第１パネル２０と第２パネル３０とが大気圧により互いに近接する方に移動する力は受けない。このため、第１パネル２０と第２パネル３０とは近接しておらず、第２パネル３０の上に載置されたピラー７０は、第１パネル２０に接触していない。従って、ピラー７０は、第２パネル３０の上を移動しやすい状態となっている。
　次に、減圧工程が行われる。図９Ａに示すように、減圧工程は、内部空間５００の気体を排気口７００から並列流路９６０を通して所定の吸引力により排出して、内部空間５００を減圧する工程である。
　排気は、真空ポンプ（後述する９１０、９３０）を用いて行われる。真空ポンプは、マニホールド９００、シールヘッド８２０、排気管８１０及び排気口７００を介して、内部空間５００を排気する。マニホールド９００には、通気管を介して複数のシールヘッド８２０が接続される。
　第一実施形態においては、真空ポンプとして、ロータリーポンプ等からなる低真空ポンプ９１０と、ターボ分子ポンプ等からなる高真空ポンプ９３０と、が用いられる。マニホールド９００又は通気管には、圧力を計測するためのペニングゲージ（高真空用）及びピラニーゲージ（低真空用）が適宜設けられてもよい。
　並列流路９６０は、並列に接続される複数の流路（後述する第１流路９６１及び第２流路９６２）と、複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁（後述する第１弁９２１及び第２弁９２２）と、を有する。開閉弁の開閉の組み合わせにより、並列流路９６０の総流路面積（開閉弁が開となる一又は二以上の流路の断面積の合計）を変更可能である。
　具体的には、並列流路９６０は、第１の流路面積を有する流路を通っての通気と遮断とを切り替え可能な第１流路９６１と、第１の流路面積よりも大きい第２の流路面積を有する流路を通っての通気と遮断とを切り替え可能な第２流路９６２と、を並列に有する。
　低真空ポンプ９１０は、並列流路９６０を介して、マニホールド９００に接続される。第１流路９６１は、途中に第１弁９２１を有し、第２流路９６２は、途中に第２弁９２２を有する。第１弁９２１と第２弁９２２とにより、低真空用弁９２０が構成される。
　高真空ポンプ９３０は、途中に高真空用弁９４０を有する通気管を介して、マニホールド９００に接続される。なお、図示しないが、マニホールド９００に更に別の逃がし弁が別の流路を介して接続されてもよい。
　また、低真空ポンプ９１０と高真空ポンプ９３０とは、途中に補助弁９５０を有する通気管を介して、互いに接続される。なお、低真空ポンプ９１０と高真空ポンプ９３０とは、通気管を介して互いに接続されなくてもよい。
　第１弁９２１は、第１流路９６１を通っての通気と、第１流路９６１を通っての通気の遮断と、のいずれかを選択するように切り替えることが可能である。第１弁９２１は、開閉弁であり、開の場合の流路面積が第１の流路面積である。第１流路９６１の第１弁９２１以外の部分の流路面積は、第１の流路面積と同じか第１の流路面積以上である。第２弁９２２は、第２流路９６２を通っての通気と、第１流路９６１を通っての通気の遮断と、のいずれかを選択するように切り替えることが可能である。第２弁９２２は、開閉弁であり、開の場合の流路面積が第２の流路面積である。第２流路９６２の第２弁９２２以外の部分の流路面積は、第２の流路面積と同じか第２の流路面積以上である。高真空用弁９４０及び補助弁９５０についても、それぞれ所定の流路面積での通気と、通気の遮断と、のいずれかを選択するように切り替えることが可能である。
　低真空ポンプ９１０は、所定の吸引力を有する。また、高真空ポンプ９３０は、低真空ポンプ９１０と異なる所定の吸引力を有するが、低真空ポンプ９１０と同じ吸引力であることは除外されない。
　図１０に示すように、減圧工程は、大きくは、低真空ポンプ９１０により行われる低真空形成工程（ｔ１１及びｔ１２で示される工程で、以下、単にｔ１１、ｔ１２などと表す）と、高真空ポンプ９３０により行われる高真空形成工程（ｔ２０で示される工程で、以下、単にｔ２０と表す）、に分けられる。先に低真空形成工程が行われ、その後、高真空形成工程が行われる。
　更に、低真空形成工程は、最初に行われる第１減圧工程ｔ１１と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程ｔ１２と、を有する。
　第１減圧工程ｔ１１においては、並列流路９６０の総流路面積を第１総流路面積として通気させる。具体的には、第１減圧工程ｔ１１においては、第１弁９２１を開として第１流路９６１を通って通気させるとともに第２弁９２２を閉として第２流路９６２を遮断する。（図９Ａ参照）。
　第２減圧工程ｔ１２においては、並列流路９６０の総流路面積を第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる。具体的には、第２減圧工程ｔ１２においては、第１弁９２１を閉として第１流路９６１を遮断するとともに第２弁９２２を開として第２流路９６２を通って通気させる（図９Ａ参照）。なお、高真空用弁９４０は閉とする。
　第１流路９６１の第１の流路面積は、第２流路９６２の第２の流路面積よりも小さいため、最初に行われる第１減圧工程ｔ１１においては、第２減圧工程ｔ１２におけるよりも排気口７００からの吸引力が小さくなる。このため、排気口７００より内部空間５００を排気する際、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速が小さくてすむ。すなわち、第１減圧工程ｔ１１において、第１弁９２１を閉とし、かつ、第２弁９２２を開として排気するとした場合と比べて、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速が小さくてすむ。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　第１減圧工程ｔ１１において、内部空間５００をある程度排気した後、第１減圧工程ｔ１１を終了して第２減圧工程ｔ１２を開始する。
　第一実施形態では、第１減圧工程ｔ１１は１分、第２減圧工程ｔ１２は１分であるが、特に時間は限定されない。
　これにより、ピラー７０が排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制されつつ、短時間で、所定の真空度を達成することができる。
　参考として、図１１に、低真空形成工程（ｔ１０で示される工程で、以下、単にｔ１０と表す）を、第２弁９２２を開とし、かつ、第１弁９２１は閉として行った場合の圧力のタイムチャートを示す。この場合、低真空形成工程ｔ１０の時間は２分未満と短くてすむが、ピラー７０が排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまいやすい。
　低真空形成工程の後、第１弁９２１及び第２弁９２２を閉とし、高真空用弁９４０を開として、高真空形成工程ｔ２０が行われる。
　減圧工程は、更に、温度変化に基づいて、第１降温工程と、第２保温工程と、第２昇温工程と、第３保温工程と、第２降温工程と、に分けられる。
　減圧工程が行われる第１降温工程は、直前の接合工程における第１降温工程の一部と共通している。すなわち、接合工程が行われている第１降温工程の途中で、減圧工程が開始する。特に、減圧工程は、組立品１００が熱接着剤の軟化点以上の温度であるときに開始されることが好ましい。なお、減圧工程は、第１降温工程においては行われず、次の第２保温工程に開始されてもよい。
　第２保温工程は、図８中のｔ４で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を排気温度Ｔｅに維持する工程である。第２保温工程では、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０が排気される。
　排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（例えば、３５０℃）より高く、かつ、第１軟化点及び第２軟化点（例えば、４３４℃）より低く設定される。例えば、排気温度Ｔｅは、３９０℃である。
　このようにすれば、枠体４１０及び仕切り４２０は変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、第１空間５１０、通気路６００、第２空間５２０、及び、排気口７００を通じて排出される。したがって、減圧工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。
　排気時間ｔ４は、所望の真空度（例えば、０．１Ｐａ以下の真空度）の減圧空間５０が得られるように設定される。例えば、排気時間ｔ４は１２０分に設定される。なお、減圧空間５０の真空度は特に限定されない。
　第２保温工程以降の第２昇温工程、第３保温工程及び第２降温工程は、次の封止工程と共通である。すなわち、第２昇温工程、第３保温工程及び第２降温工程においては、減圧工程と封止工程とが並行して行われる。
　次に、封止工程（第２溶融工程）が行われる。封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口７００を閉塞して、内部空間５００を封止し、密閉された減圧空間５０を形成する工程である。
　第２昇温工程は、図８中のｔ５で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を排気温度Ｔｅより所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２にまで上昇させる工程である。
　第３保温工程は、図８中のｔ６で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第２溶融温度Ｔｍ２に維持する工程である。
　第３保温工程においては、第２軟化点以上の所定温度Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。具体的には、第１パネル２０及び第２パネル３０は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔ６加熱される。
　仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいるから、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて、図１及び図２に示す隔壁４２を形成することができる。なお、第１溶融温度Ｔｍ１は、第２溶融温度Ｔｍ２より低くしている。これによって、枠体４１０で第１パネル２０と第２パネル３０とを接合する際に、仕切り４２０が変形して通気路６００が塞がれることを防止できる。
　第２溶融温度Ｔｍ２及び第２溶融時間ｔ６は、第２熱接着剤が軟化し、通気路６００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（４３４℃）である。ただし、封止工程では、接合工程とは異なり、仕切り４２０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度Ｔｍ２は、第１溶融温度（４４０℃）Ｔｍ１より高くしている。例えば、第２溶融温度Ｔｍ２は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間ｔ６は、例えば、３０分である。
　第２降温工程は、図８中のｔ７で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第２溶融温度Ｔｍ２より常温まで下降させる工程である。
　第２降温工程の終了後、溶融炉内よりガラスパネルユニット１０が取り出される。
　このようにして得られるガラスパネルユニット１０は、図２に示すように、第１パネル２０と、第２パネル３０と、シール４０と、減圧空間５０と、第２空間５２０と、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、閉塞部材８０と、を備える。
　減圧空間５０は、上述したように、第２空間５２０、及び排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、減圧空間５０は、減圧度が所定値以下の第１空間５１０である。所定値は、例えば、０．１Ｐａである。減圧空間５０は、第１パネル２０と第２パネル３０とシール４０とで完全に密閉されているから、第２空間５２０及び排気口７００から分離されている。
　シール４０は、減圧空間５０を完全に囲むとともに、第１パネル２０と第２パネル３０とを気密に接合する。シール４０は、枠状であり、第１部分４１と、第２部分（隔壁４２）と、を有する。第１部分４１は、枠体４１０において減圧空間５０に対応する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０において減圧空間５０に面している部分である。第２部分は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁４２である。
　また、第一実施形態における排気系統の他例を図９Ｂに示す。この他例では、第１流路９６１は、第１の流路面積を有する絞り部９６３と、第１流路９６１における通気と遮断とを切り替え可能な第１弁９２３を有する。第１流路９６１の絞り部９６３以外の部分（第１弁９２３を含む）の流路面積は、第１の流路面積より大きい。また、第２流路９６２は、第２の流路面積を有する絞り部９６４と、第２流路９６２における通気と遮断とを切り替え可能な第２弁９２４を有する。第２流路９６２の絞り部９６４以外の部分（第２弁９２４を含む）の流路面積は、第２の流路面積より大きい。この図９Ｂに示す排気系統の他例においても、図９Ａに示す排気系統と同様の効果を得られる。
　次に、第二実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図１２に基づいて説明する。なお、第二実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法と大部分において同じである。このため、第一実施形態と重複する説明については説明を省略する。
　第一実施形態においては、図９Ａ又は図９Ｂに示すように、減圧工程において、内部空間５００の気体を並列流路９６０を通して排出していた。これに対し、第二実施形態においては、図１２に示すように、減圧工程において、内部空間５００の気体を所定の流路９７０を通して所定の吸引力により吸引するポンプ（低真空ポンプ９１０）により排出している。
　所定の流路９７０、低真空ポンプ９１０と排気口７００とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁９２５を有する排出用流路９７１と、低真空ポンプ９１０と大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁９２６を有する大気導入用流路９７２と、を有する。
　減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
　第１減圧工程において、排出用開閉弁９２５を開とするとともに大気導入用開閉弁９２６を開とする。ここで、排出用開閉弁９２５を開とするとともに大気導入用開閉弁９２６を開としても、大気導入用流路９７２より導入される大気は排気口７００の方へ流れず、低真空ポンプ９１０の方へ流れるように設定される。
　第２減圧工程において、排出用開閉弁９２５を開とするとともに大気導入用開閉弁９２６を閉とする。
　第二実施形態における内部空間の圧力のタイムチャートは、図１０に示す第一実施形態における内部空間の圧力のタイムチャートと同じになる。
　図１０に示すように、第１減圧工程ｔ１１においては、第２減圧工程ｔ１２におけるよりも排気口７００からの吸引力が小さくなる。すなわち、第１減圧工程ｔ１１においては、大気導入用開閉弁９２６も開となり、大気導入用流路９７２より大気が導入されて低真空ポンプ９１０に吸引される。このため、大気導入用開閉弁９２６が閉となる場合と比べて、低真空ポンプ９１０による、排気口７００からの吸引に係る吸引力が低減し、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速も小さくてすむ。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　次に、第三実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図１３及び図１４に基づいて説明する。なお、第三実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法と大部分において同じである。このため、第一実施形態と重複する説明については説明を省略する。
　第一実施形態においては、図９Ａに示すように、低真空用弁９２０は、第１弁９２１と第２弁９２２とにより構成されていた。これに対し、第三実施形態においては、一つの低真空用弁９２０のみ設けられる。第三実施形態における低真空用弁９２０は、第一実施形態における第２弁９２２と同じで、第２の流路面積を有する。
　図１４に示すように、第１減圧工程ｔ１１及び第２減圧工程ｔ１２においては、低真空用弁９２０が開閉制御（デューティ制御）される。
　第１減圧工程ｔ１１における低真空用弁９２０の開の時間の全体に対する第１比率は、第２減圧工程ｔ１２における低真空用弁９２０の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい。
　具体的には、例えば、第１減圧工程ｔ１１において、低真空用弁９２０を０．１秒開とし、次に、０．９秒閉とし、これを５秒、１０秒、１分等繰り返す。この場合の第１比率は０．１となる。
　第２減圧工程ｔ１２においては、低真空用弁９２０を開とする。この場合の第２比率は１．０となる。
　なお、低真空用弁９２０を開とする時間、閉とする時間、第１比率及び第２比率は特に限定されない。
　第三実施形態においても、最初に行われる第１減圧工程ｔ１１においては、第２減圧工程ｔ１２におけるよりも排気口７００からの吸引力が小さくなる。このため、排気口７００より内部空間５００を排気する際、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速が小さくてすむ。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　これにより、ピラー７０が排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制されつつ、短時間で、所定の真空度を達成することができる。
　次に、第四実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図１５に基づいて説明する。なお、第四実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法と大部分において同じである。このため、第一実施形態と重複する説明については説明を省略する。
　第四実施形態においては、低真空形成工程ｔ１０を全て第２弁９２２を開として、図１１に示すのと同様に排気を行う。
　このとき、排気経路を工夫して、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことを抑制する。
　すなわち、図１５Ａに示すように、仕切り４２０を組立品１００の短辺方向の略全長にわたって形成し、仕切り４２０の長手方向における複数の箇所に、通気路６００を形成する。これにより、各通気路６００を通る空気の流量の合計が増大するため、空気が通気路６００を通る際に、通気路６００近傍のピラー７０にあたる空気の流速が小さくなる。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　また、図１５Ｂに示すように、仕切り４２０と枠体４１０との間の通気路６００から排気口７００までの排気経路を長くする。第四実施形態においては、仕切り４２０を形成することにより、通気路６００から排気口７００までの排気経路を長くしている。これにより、長い排気経路により、排気経路を流れる空気に対する抵抗が増大し、各通気路６００を通る空気の流速が小さくなる。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　次に、第一実施形態～第四実施形態の変形例について説明する。
　上記実施形態では、ガラスパネルユニット１０は矩形状であるが、ガラスパネルユニット１０は、円形状又は多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１パネル２０、第２パネル３０、及びシール４０は、矩形状ではなく、円形状又は多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１パネル２０、第２パネル３０、枠体４１０、及び、隔壁４２のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット１０が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット１０の形状及び大きさは、ガラスパネルユニット１０の用途に応じて決定される。
　また、第１パネル２０の第１ガラス板２１の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２パネル３０の第２ガラス板３１の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。
　また、第１パネル２０の第１ガラス板２１と第２パネル３０の第２ガラス板３１とは同じ平面形状及び平面サイズを有していなくてもよい。また、第１ガラス板２１と第２ガラス板３１とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、第１ガラス板２１と第２ガラス板３１とは同じ材料で形成されていなくてもよい。
　また、シール４０は、第１パネル２０及び第２パネル３０と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、枠体４１０は、第１パネル２０及び第２パネル３０と同じ平面形状を有していなくてもよい。
　また、第１パネル２０は、さらに、所望の物理特性を有して第１ガラス板２１の第２面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１パネル２０は、コーティング２２を備えていなくてもよい。つまり、第１パネル２０は、第１ガラス板２１のみで構成されていてもよい。
　また、第２パネル３０は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、例えば、第２ガラス板３１の第１面及び第２面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、例えば、特定波長の光を反射する膜赤外線反射膜、紫外線反射膜などである。
　上記実施形態では、枠体４１０は、第１熱接着剤で形成されている。ただし、枠体４１０は、第１熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、枠体４１０は、第１熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、枠体４１０は、第２パネル３０のほぼすべての領域を囲うように形成されている。しかしながら、枠体４１０は、第２パネル３０上の所定の領域を囲うように形成されていればよい。つまり、枠体４１０は、第２パネル３０のほぼすべての領域を囲うように形成されている必要はない。
　上記実施形態では、仕切り４２０は、第２熱接着剤で形成されている。ただし、仕切り４２０は、第２熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいればよい。
　上記実施形態では、内部空間５００は、一つの第１空間５１０と一つの第２空間５２０とに仕切られている。ただし、内部空間５００は、１以上の第１空間５１０と１以上の第２空間５２０とに仕切られていてもよい。
　第１熱接着剤及び第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属又はホットメルト接着材などであってもよい。
　上記実施形態では、枠体４１０、ガス吸着体６０、及び仕切り４２０の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、例えば、レーザ又は熱源に接続された伝熱板などである。
　上記実施形態では、排気口７００は、第２パネル３０に形成されている。しかし、排気口７００は、第１パネル２０の第１ガラス板２１に形成されていてもよいし、枠体４１０に形成されていてもよい。
　以上述べた実施形態から明らかなように、第１の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
　接着剤配置工程は、第１ガラス板（２１）を含む第１パネル（２０）又は第２ガラス板（３１）を含む第２パネル（３０）の上に、熱接着剤を配置する工程である。
　ピラー配置工程は、第１パネル（２０）又は第２パネル（３０）の上に、ピラー（７０）を配置する工程である。
　組立品形成工程は、第１パネル（２０）に対向させて第２パネル（３０）を配置し、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤とピラー（７０）とを含み、かつ、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口（７００）を有する組立品（１００）を形成する工程である。
　接合工程は、組立品（１００）を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル（２０）と第２パネル（３０）とを接合し、排気口（７００）を除いて第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間（５００）を形成する工程である。
　減圧工程は、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から並列流路（９６０）を通して所定の吸引力により排出して内部空間（５００）を減圧する工程である。
　封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口（７００）を閉塞して、内部空間（５００）を封止し、密閉された減圧空間（５０）を形成する工程である。
　並列流路（９６０）は、並列に接続される複数の流路（第１流路（９６１）及び第２流路（９６２））と、複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁（第１弁（９２１）及び第２弁（９２２））と、を有する。開閉弁の開閉の組み合わせにより、並列流路（９６０）の総流路面積を変更可能である。
　減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
　第１減圧工程において、並列流路（９６０）の総流路面積を第１総流路面積として通気させる。
　第２減圧工程において、並列流路（９６０）の総流路面積を第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる。
　第１の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法によれば、ピラー（７０）が、排気口（７００）に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　第２の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
　接着剤配置工程は、第１ガラス板（２１）を含む第１パネル（２０）又は第２ガラス板（３１）を含む第２パネル（３０）の上に、熱接着剤を配置する工程である。
　ピラー配置工程は、第１パネル（２０）又は第２パネル（３０）の上に、ピラー（７０）を配置する工程である。
　組立品形成工程は、第１パネル（２０）に対向させて第２パネル（３０）を配置し、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤とピラー（７０）とを含み、かつ、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口（７００）を有する組立品（１００）を形成する工程である。
　接合工程は、組立品（１００）を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル（２０）と第２パネル（３０）とを接合し、排気口（７００）を除いて第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間（５００）を形成する工程である。
　減圧工程は、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から所定の流路（９７０）を通して所定の吸引力により吸引するポンプ（低真空ポンプ（９１０））により排出して内部空間（５００）を減圧する工程である。
　封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口（７００）を閉塞して、内部空間（５００）を封止し、密閉された減圧空間（５０）を形成する工程である。
　所定の流路は、ポンプ（低真空ポンプ（９１０））と排気口（７００）とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁（９２５）を有する排出用流路（９７１）と、ポンプ（低真空ポンプ（９１０））と大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁（９２６）を有する大気導入用流路（９７２）と、を有する。
　減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
　第１減圧工程において、排出用開閉弁（９２５）を開とするとともに大気導入用開閉弁（９２６）を開とする。
　第２減圧工程において、排出用開閉弁（９２５）を開とするとともに大気導入用開閉弁（９２６）を閉とする。
　第２の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法によれば、ピラー（７０）が、排気口（７００）に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　第３の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
　接着剤配置工程は、第１ガラス板（２１）を含む第１パネル（２０）又は第２ガラス板（３１）を含む第２パネル（３０）の上に、熱接着剤を配置する工程である。
　ピラー配置工程は、第１パネル（２０）又は第２パネル（３０）の上に、ピラー（７０）を配置する工程である。
　組立品形成工程は、第１パネル（２０）に対向させて第２パネル（３０）を配置し、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤とピラー（７０）とを含み、かつ、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口（７００）を有する組立品（１００）を形成する工程である。
　接合工程は、組立品（１００）を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル（２０）と第２パネル（３０）とを接合し、排気口（７００）を除いて第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間（５００）を形成する工程である。
　減圧工程は、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から弁（低真空用弁（９２０））を通して所定の吸引力により排出して内部空間（５００）を減圧する工程である。
　封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口（７００）を閉塞して、内部空間（５００）を封止し、密閉された減圧空間（５０）を形成する工程である。
　減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、第１減圧工程及び第２減圧工程において弁が開閉制御され、
　第１減圧工程における弁の開の時間の全体に対する第１比率は、第２減圧工程における弁の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい。
　第３の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法によれば、ピラー（７０）が、排気口（７００）に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
　１０　ガラスパネルユニット
　２０　第１パネル
　２１　第１ガラス板
　３０　第２パネル
　３１　第２ガラス板
　５０　減圧空間
　７０　ピラー
　１００　組立品
　５００　内部空間
　７００　排気口

Claims (3)

  1. 　第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する接着剤配置工程と、
    　前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置するピラー配置工程と、
    　前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する組立品形成工程と、
    　前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
    　前記内部空間の気体を前記排気口から並列流路を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する減圧工程と、
    　減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する封止工程と、を備え、
    　前記並列流路は、並列に接続される複数の流路と、前記複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁と、を有し、前記開閉弁の開閉の組み合わせにより、総流路面積を変更可能であり、
    　前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、
    　前記第１減圧工程において前記並列流路の前記総流路面積を第１総流路面積として通気させ、
    　前記第２減圧工程において前記並列流路の前記総流路面積を前記第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる
    　ガラスパネルユニットの製造方法。
  2. 　第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する接着剤配置工程と、
    　前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置するピラー配置工程と、
    　前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する組立品形成工程と、
    　前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
    　前記内部空間の気体を前記排気口から所定の流路を通して所定の吸引力により吸引するポンプにより排出して前記内部空間を減圧する減圧工程と、
    　減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する封止工程と、を備え、
    　前記所定の流路は、前記ポンプと前記排気口とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁を有する排出用流路と、前記ポンプと大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁を有する大気導入用流路と、を有し、
    　前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、
    　前記第１減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を開とし、
    　前記第２減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を閉とする
    　ガラスパネルユニットの製造方法。
  3. 　第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する接着剤配置工程と、
    　前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置するピラー配置工程と、
    　前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する組立品形成工程と、
    　前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
    　前記内部空間の気体を前記排気口から弁を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する減圧工程と、
    　減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する封止工程と、を備え、
    　前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、前記第１減圧工程及び前記第２減圧工程において前記弁が開閉制御され、
    　前記第１減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第１比率は、前記第２減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい
    　ガラスパネルユニットの製造方法。
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