WO2020230250A1 - コントローラ - Google Patents

Abstract

コントローラ５は、負圧により対象物Ｗを吸着し、該負圧によって変形する吸着部の変形の情報を取得する変形情報取得部１１３と、前記吸着部１１２の変形に応じて、前記吸着部１１２の動きを制御する動作制御部１３とを備える。

Description

コントローラ

　本発明は、搬送用ロボットアーム等のコントローラに関する。

　現在、搬送用ロボットとして、ロボットアームの先端に吸着パッドを備えたものが知られている。このような、ロボットアームにおいては、吸着パッドに負圧を発生されて、搬送対象物であるワーク等を吸着パッドに吸着させてピッキングする。また、対象物をプレースする場合には、負圧の発生を停止して、吸着を解除する。このようなタイプのロボットアームにおいては、対象物を適切な位置および姿勢でピッキングまたはプレースするために、吸着部の近傍にセンサを設置し、吸着パッドが対象物に接触する前の対象物の位置・姿勢を検出し、検出結果に基づいて吸着部の動きを制御している。

特開２０１８－０８９７１９号公報

　しかし、上記のような搬送用ロボットでは、吸着パッドの近傍に設置されたセンサは、吸着部が対象物に接触する前に、対象物の姿勢を検出する。このため、対象物の位置・姿勢の検出が、センサの特性により外乱環境（光、振動、電機ノイズ）や対象物の材質、素材、色等の影響を受けやすく、高精度な吸着部の姿勢の制御が困難であった。

　本発明の一態様は、吸着パッドの動きを適切に制御することが可能な技術を実現することを目的とする。

　上記の課題を解決するために、本開示の一側面に係るコントローラは、負圧により対象物を吸着し、該負圧によって変形する吸着部の変形の情報を取得する変形情報取得部と、前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の動きを制御する動作制御部とを備える。

　上記構成によれば、対象物に接触後の吸着部の変形を検知することによって、対象物の姿勢を検知することができるため、外乱環境に影響されることなく、高度な姿勢補正が可能なコントローラを実現することができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいては、前記動作制御部は、前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の傾きを変更してもよい。

　上記構成によれば、吸着部の変形から、吸着部と接触後のワークの姿勢を検知することができるため、外乱環境に影響されることなく、高度な補正が可能なコントローラを実現することができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記動作制御部は、前記吸着部が有する吸着面と前記対象物の被吸着面とのなす角を減少させるよう、前記吸着部の傾きを変更してもよい。

　上記構成によれば、吸着部の変形から、吸着部の吸着面と対象物の被吸着面とのなす角を検知することができるため、高度な姿勢補正が可能なコントローラを実現することができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記動作制御部は、前記吸着部の変形に基づいて、前記吸着部における前記対象物との接触点を特定する接触点特定部を備え、前記動作制御部は、前記接触点における前記吸着部と前記対象物との接触を維持したまま、前記吸着部の傾きを変更してもよい。

　上記構成によれば、吸着部と対象物の接触点での接触を維持したまま、吸着部の傾きを変更することによって、吸着部と対象物を完全に密着させることができる。その結果、吸着部による対象物のピッキングミスを防止することができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記動作制御部は、前記吸着部が有する吸着面の中心軸と、前記接触点とを含む平面内において、前記吸着部を回転してもよい。

　上記構成によれば、吸着部と対象物の接触点での接触を維持したまま、吸着部の傾きを変更することによって、吸着部と対象物を完全に密着させることができる。その結果、吸着部による対象物のピッキングミスを防止することができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記吸着部が前記対象物を吸着している状態において、前記動作制御部は、吸着されている前記対象物の被吸着面ではない表面と、配置対象面とのなす角を減少させるよう、前記吸着部の傾きを変更してもよい。

　上記構成によれば、対象物を配置対象面にプレースする際に、対象物の一部が配置対象面に接触した後の吸着部の姿勢を検知することができるので、精度高く、対象物を配置対象面にプレースすることができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記動作制御部は、前記吸着部が前記対象物を吸着している状態において、前記吸着部の変形に基づいて、前記対象物における配置対象面との接触点を特定する接触点特定部を備え、前記動作制御部は、前記接触点における前記対象物と前記配置対象面との接触を維持したまま、前記吸着部の傾きを変更してもよい。

　　上記構成によれば、対象物を配置対象面にプレースする際に、対象物の一部が配置対象面に接触した後の吸着部の姿勢を検知することができるので、精度高く、対象物を配置対象面にプレースすることができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記動作制御部は、前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の速度を変更してもよい。

　上記構成によれば、吸着部の変形から吸着部が対象物の一部に接触したことを検知できるため、一部接触後の吸着部の速度を変更して、高精度の補正が実施できるとともに、対象物を破損する危険を防止することができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記動作制御部は、前記吸着部の変形量が第１閾値を超えると、前記吸着部を前記対象物に近づける速度を減速してもよい。

　上記構成によれば、吸着部の変形から吸着部が対象物の一部に接触したことを検知できるため、一部接触後の吸着部の速度を減速して、高精度の補正が実施できるとともに、対象物を破損する危険を防止することができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記動作制御部は、前記吸着部の変形量が第２閾値を超えると、前記吸着部を前記対象物に近づける動作を停止してもよい。

　上記構成によれば、吸着部の変形量から吸着部が対象物に完全に密着したことを検知することができるため、吸着部を対象物に近づける動作を適切なタイミングで停止することができ、対象物の破損を防ぐことができる。

　本開示の一側面に係るコントローラにおいて、前記変形情報取得部は、前記吸着部の変形量および／または変形速度を取得し、前記動作制御部は、前記吸着部の前記変形量および／または前記変形速度に応じて、前記吸着部の動きを制御してもよい。

　上記構成によれば、前記吸着部の変形量および／または変形速度に基づいて吸着部の動きを制御することにより、高度な精度で吸着部の動きを制御することができる。

　上記の課題を解決するために、本開示の一側面に係る制御方法は、負圧により対象物を吸着し、該負圧によって変形する吸着部を備える吸着装置の制御方法であって、前記吸着部の変形の情報を取得する変形情報取得ステップと、前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の動きを制御する動作制御ステップとを含む。

　上記構成によれば、本発明の一態様に係るコントローラと同様の効果が得られる。

　本発明の一側面によれば、対象物に接触後の吸着部の変形量を検知し、吸着部の変形量に基づいて吸着部の姿勢を補正することができるため、外乱環境に影響されることなく、精度高く吸着部の動きを制御することができるコントローラを提供することができる。

実施の形態に係る移動吸着装置の適用場面の一例を示す模式図である。 実施の形態に係る移動吸着装置における吸着パッド（吸着部）および変形検知部の一例を示す模式図である。 実施の形態に係る移動吸着装置のハードウェア構成の一例を示す模式図である。 本発明を適用する場面の一例を示す図である。 本発明を適用する場面の一例を示す図である。 本発明を適用する場面の一例を示す図である。 本発明の一態様で使用される吸着パッドの変形量の定義を説明する図である。 本発明の一態様で使用される吸着パッドの変形量の他の定義を説明する図である。 本発明の一実施形態における吸着パッドの姿勢制御を説明する図である。 本発明の一実施形態におけるコントローラ５の動作を示すフローチャートである。 本発明の他の実施形態におけるコントローラ５の動作を示すフローチャートである。 本発明の更に他の実施形態におけるコントローラ５の動作を示すフローチャートである。 本発明の更に他の実施形態におけるコントローラ５の動作を示すフローチャートである。 図１３に対応する吸着パッドの姿勢制御を示す側面図である。 本発明の更に他の実施形態におけるコントローラ５の動作を示すフローチャートである。 図１５に対応する吸着パッドの姿勢制御を示す側面図である。 変形例に係るコントローラ５を備える吸着装置の概略構成の一例を示すブロック図である。 変形例に係るコントローラ５を備える吸着装置の動作を示すフローチャートである。 変形例に係るコントローラ５を備える吸着装置の処理の流れの一例を示す模式図である。

　以下、本発明の一側面に係る実施の形態（以下、「本実施形態」とも表記する）を、図面に基づいて説明する。

　§１　適用例
　図１は、本実施形態に係るコントローラ５の適用場面の一例を模式的に例示する。図２は、本実施形態に係るコントローラ５を搭載した移動吸着装置１００における吸着パッド（吸着部）１１２および変形情報取得部１１３の一例を模式的に例示する。具体的には、図２の（ａ）は、吸着パッド１１２および変形情報取得部１１３の上面図の一例を模式的に例示する。また、図２の（ｂ）は、吸着パッド１１２および変形情報取得部１１３の側面図の一例を模式的に例示する。

　図１の例では、移動吸着装置１００は、吸着装置１と、搬送部（無人搬送車）２とを備えている。吸着装置１は、ロボットアーム１１と、真空ポンプ１２と、マニピュレータ制御部１３とを備えている。搬送部２は、移動吸着装置１００を移動（搬送）させるものである。搬送部２は、負圧（空気圧力）を発生させる真空ポンプを制御する負圧制御部２１と、無人搬送車２２とを備えている。移動吸着装置１００としては、負圧によって変形する吸着パッド１１２を含む吸着装置１を備えていれば特に限定されないが、一例として、モバイルロボットなどの真空吸着システムが挙げられる。また、吸着装置１は、モバイルロボットなどの移動吸着装置１００に限らず、固定吸着装置にも適用することができる。

　ロボットアーム１１は、負圧により対象物を吸着することによって把持動作を行うものである。ロボットアーム１１は、吸着パッド１１２に対象物を吸着させることによって、対象物の把持動作を行わせるマニピュレータ部１１１と、吸着パッド１１２とを備えている。吸着パッド１１２の一例として、吸盤を備える吸着パッド（真空パッド）などが挙げられる。このようなマニピュレータ部１１１と、吸着パッド１１２とを備えるロボットアーム１１によれば、対象物を好適に吸着し、把持することができる。対象物は、ロボットアーム１１に負圧により吸着されることによって把持されるものであればよく、例えば、ワークなどが挙げられる。

　図２の例に示すように、吸着パッド１１２には、吸着パッド１１２の変形を検知（検出）する変形情報取得部１１３が配置されていてもよい（取り付けられていてもよい）。また、図２の例に示すように、変形情報取得部１１３は、吸着パッド１１２に配置された歪みセンサー（歪みゲージ）１１４を含んでいてもよい。ひずみ測定用ゲージ端子などが挙げられる。変形情報取得部１１３は、１つの歪みセンサー１１４を含んでいてもよいが、図２の例に示すように、複数（例えば３つ）の歪みセンサー１１４ａ、１１４ｂおよび１１４ｃを含んでいてもよい。この場合、変形情報取得部１１３は、吸着パッド１１２における複数箇所の変形（例えば、吸着パッド１１２の変形量および変形速度（変形量の微分）の少なくとも一方）を検知する。これにより、吸着パッド１１２の変形をより好適に検知することができる。

　以下では、図２から図４を参照して、上記コントローラ５を搭載した移動吸着装置１の適用場面について詳述する。

　（１）対象物のピッキング
　図４は、吸着パッド１１２で、台に並べられた複数の対象物（ワーク）のうちから一つのワークＷをピッキングする場面を示す模式図である。まず、図４を参照して、本発明が対象物のピッキングに適用される場合の例について説明する。

　図４の（ａ）は従来例におけるピッキングの様子、図４の（ｂ）は本発明の一態様におけるピッキングの様子をそれぞれ示している。

　図４の（ａ）では、搬送用ロボットのコントローラは、吸着パッド１１２を含むロボットアームを鉛直方向に降下させて、吸着パッド１１２を台に載置されたワークＷに近づける。そして、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷの被吸着面が全面で接触したら、吸着パッド１１２の負圧によりワークＷの被吸着面を吸着して、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷの被吸着面を密着させる。コントローラは、吸着パッド１１２にワークＷを吸着させたままの状態で、ロボットアームがワークＷを持ち上げ、所望の場所にワークＷを搬送するように制御する。

　ここで、コントローラは、予め、台に載置されたワークＷの被吸着面Ｓ１（点線で示す）の位置情報（先見情報）を取得している。コントローラは、この先見情報に基づいて、吸着パッド１１２の吸着面をワークＷの被吸着面に、平行に密着させるように、吸着パッド１１２を制御する。

　しかし、カメラで撮影した画像等から得た先見情報（ワークＷの被吸着面Ｓ１の位置情報および姿勢情報）は、誤差を含んでいることが多い。ここで位置情報とは平面方向の位置情報だけでなく鉛直方向の位置情報も含む３自由度の情報である。姿勢情報は、被吸着面Ｓ１の傾きを示す情報である。先見情報が示すワークＷの被吸着面Ｓ１の位置および姿勢と、実際のワークＷの被吸着面Ｓ２の位置および姿勢とは、一致しない場合がある。例えば、図４の（ａ）に示す場面では、ワークＷの左側が、隣接する対象物と重なり、台から持ち上がった状態で載置されている。したがって、実際のワークＷの被吸着面は図４の（ａ）の実線で示すＳ２に位置している。よって、コントローラが先見情報のみに基づいてワークＷを吸着しようとしても、吸着パッド１１２の吸着面と実際の被吸着面Ｓ２とが一致せず、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷの被吸着面が全体で接触しない。したがって、上記状態で、吸着パッド１１２がワークＷを吸着するように制御しても、ワークＷの右側と吸着パッド１１２とが接触していない部分で空気が漏れてしまい、吸着パッド１１２が正常にワークＷをピッキングすることができない。結果として、ピッキングミスが発生してしまう。

　これに対して、本実施形態のコントローラ５においては、先見情報に基づいて吸着パッド１１２をワークＷに近づけた後、吸着パッド１１２の変形に応じて、吸着パッド１１２の動きを制御する。図４の（ｂ）では、吸着パッド１１２とワークＷの被吸着面が接触点Ｃで接触した時点で、吸着パッド１１２の一部が変形する。コントローラ５は、吸着パッド１１２の変形に基づいて、接触点Ｃの位置を特定する。吸着パッド１１２の一部のみが変形している場合、または変形が偏っている場合、コントローラ５は、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷの被吸着面が全体で接触していない（一致していない）ことを検知する。この場合、コントローラ５は、接触点Ｃにおける吸着パッド１１２とワークＷとの接触を維持したまま、吸着パッド１１２の傾きを変更する。つまり、コントローラ５は、接触点Ｃを支点にして、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷの被吸着面とのなす角を減少させるよう、吸着パッド１１２の傾きを変更する。

　コントローラ５は、更に、吸着パッド１１２における変形が均一になり（吸着パッド１１２の吸着面とワークＷの被吸着面とのなす角が０になり）、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷの被吸着面とが互いに全体で接触していることを検知した時点で、吸着パッド１１２がワークＷを吸着し、ピッキングするように制御する。

　以上のように、本実施形態のコントローラ５を搬送用ロボットに適用して、ロボットアームの先端に取り付けられた吸着パッド１１２が台に載置された対象物をピッキングする場合には、吸着パッド１１２が対象物の被吸着面の１点で接触した後、コントローラ５が、接触点Ｃの位置を特定する。その後、コントローラ５は、接触点Ｃでの接触を維持したまま、吸着パッド１１２の吸着面と対象物の被吸着面が密着するように吸着パッド１１２の動きを制御して、吸着パッド１１２に対象物を吸着させる。このため、確実に対象物をピッキングすることができ、ピッキングミスにより対象物を破損させる危険を防止することができる。

　（２）対象物の押込み
　図５は、吸着パッド１１２を台に載置されたワークＷに押しつける場面を示す。このうち、図５の（ａ）は従来例における押込みの様子、図５の（ｂ）は本発明の適用例における押込みの様子をそれぞれ示している。

　図５の（ａ）では、搬送用ロボットのコントローラは、吸着パッド１１２を含むロボットアームを鉛直方向に降下させて、吸着パッド１１２を台に載置されたワークＷに近づけ、適切な圧力で、ワークＷの上面を押し込む。その後は、コントローラは、吸着パッド１１２の降下を停止する。

　ここで、コントローラには、予め、正常に台に載置されたワークＷの上面Ｓ１の位置情報および姿勢情報（先見情報）が格納されている。コントローラは、この先見情報に基づいて、吸着パッド１１２をワークＷの上面に近づけ、吸着パッド１１２をワークＷに適切な距離で押し込む。

　しかし、実際のワークＷの上面Ｓ２は、図５の（ａ）左に示すようにＳ１より低い場合や、図５の（ａ）右に示すようにＳ１より高い場合がある。したがって、先見情報のみに基づいてコントローラが吸着パッド１１２を制御する構成では、図５の（ａ）左に示すように、実際のワークＷの上面Ｓ２がＳ１より低い場合には、吸着パッド１１２が充分にワークＷを押し込んでいない状態で吸着パッド１１２の吸着が開始される。したがって、押込量（押し込んだ距離）が不足してしまい、ワークＷのピッキングに失敗する。逆に、図５の（ａ）右に示すように、実際のワークＷの上面Ｓ２がＳ１より高い場合には、吸着パッド１１２がワークＷに到達しても吸着パッド１１２が停止せず、ワークＷの上面の押込みを続行する。このため、押込量が過大になってしまい、ワークＷおよび／または吸着パッド１１２を破損させてしまう危険性がある。

　これに対して、本実施形態のコントローラ５においては、図５の（ｂ）に示すように、吸着パッド１１２をワークＷに近づける際に、吸着パッド１１２のワークＷに対する押込量を観測しながら吸着パッド１１２の位置および姿勢を補正する。したがって、吸着パッド１１２のワークＷに対する押込量を一定に保つことができる。

　（３）対象物のプレース
　図６では、ロボットアームに吸着された状態のワークＷを、台にプレースする（置く）場面を示す。このうち、図６の（a）は従来例におけるプレースの様子、図６の（ｂ）は本発明の適用例におけるプレースの様子をそれぞれ示している。

　図６の（a）では、コントローラは、ワークＷを吸着パッド１１２で吸着した状態のロボットアームを鉛直方向に降下させて、ワークＷを台に近づける。そして、吸着パッド１１２の吸着を解除して、ワークＷを台の配置対象面にプレースする。

　ここで、コントローラには、予め、台の配置対象面の位置Ｓ１を先見情報として取得している。従来例のコントローラは、この先見情報に基づいて、ワークＷの底面が位置Ｓ１に到達し、ワークＷと台の配置対象面が全体で接触したと判定する。このため、コントローラは、吸着パッド１１２の吸着を解除して、ワークＷを台にプレースするように制御する。

　しかし、図６の（ａ）に示す場面では、先見情報による配置対象面の位置Ｓ１と実際の配置対象面の位置Ｓ２とは一致していない。この場合、ワークＷの底面が位置Ｓ１に到達した時点で吸着パッド１１２の吸着を解除してワークＷをプレースしてしまうと、ワークＷが正しい位置に配置されない。あるいは、ワークＷは、実際の配置対象面の位置Ｓ２まで落下した結果、破損してしまう可能性もある。あるいは、ワークＷの一部が実際の配置対象面に接触しても、ロボットアームの降下が続行される可能性もある。このように、ワークＷおよび／または吸着パッド１１２が破損してしまう可能性がある。

　これに対して、本実施形態のコントローラ５においては、図６の（ｂ）に示すように、吸着パッド１１２の変形に基づいて吸着パッド１１２の姿勢を補正する。図６の（ｂ）では、ワークＷが台の配置対象面に接触点Ｃ’で接触した時点で、吸着パッド１１２が変形する。コントローラ５は、吸着パッド１１２の変形に基づいて、接触点Ｃ’の位置を特定する。吸着パッド１１２の一部のみの変形量が変化した場合、または変形が偏っている場合、コントローラ５は、ワークＷの下面と台の配置対象面が全体で接触していないことを検知する。この場合、コントローラ５は、吸着されているワークＷの被吸着面ではない表面（つまり下面）と、台の配置対象面とのなす角を減少させるよう、吸着パッド１１２の傾きを変更する。つまり、コントローラ５は、接触点Ｃ’を支点にして、吸着パッド１１２の吸着面と台の配置対象面とのなす角を減少させるよう、すなわちワークＷの底面と台の配置対象面とのなす角を減少させるよう、吸着パッド１１２の傾きを変更する。なお、コントローラ５は、ワークＷの形状および大きさ等の情報を持っている。

　以上のように、本実施形態のコントローラ５によれば、吸着パッド１１２に吸着されたワークＷを台の配置対象面にプレースする場合には、ワークＷの下面が台の配置対象面の１点で接触した後、接触点Ｃ’の位置を特定し、接触点Ｃ’での接触を維持したまま、ワークＷの下面と台の配置対象面とが密着するように吸着パッド１１２の動きを制御し、その後、ワークＷの吸着を解除する。このため、適切な位置にワークＷをプレースすることができ、プレースミスにより対象物を破損させることを防止することができる。

　§２　構成例
　＜移動吸着装置＞
　次に、図３の（a）および（ｂ）を用いて、本実施形態に係るコントローラ５を備えた移動吸着装置１００のハードウェア構成の一例について説明する。

　図３は、本実施形態に係る移動吸着装置１００の構成の一例を模式的に例示するブロック図である。図３の例では、本実施形態に係る移動吸着装置１００は、吸着装置１と、搬送部２と、バッテリー３とを備えている。

　＜吸着装置＞
　吸着装置１は、ロボットアーム１１と、真空ポンプ１２と、動作制御部（マニピュレータ制御部）１３とを備えている。

　〔ロボットアーム〕
　図２の例では、ロボットアーム１１は、マニピュレータ部１１１と、吸着パッド１１２と、変形情報取得部１１３と動作制御部を備えている。

　（マニピュレータ部）
　マニピュレータ部１１１は、動作制御部１３の制御に基づき、ロボットアーム１１における吸着パッド１１２と共に駆動する。マニピュレータ部１１１は、例えば１または複数の関節を有する。

　（吸着パッド）
　吸着パッド１１２は、マニピュレータ部１１１の駆動によって作業位置に位置した場合、真空ポンプ１２の駆動量に応じた負圧により対象物を吸着することによって、対象物の把持動作を行う。

　（変形情報取得部）
　変形情報取得部１１３は、吸着パッド１１２の変形の情報を取得する。例えば、変形情報取得部１１３は、歪みセンサー１１４から吸着パッド１１２の歪みを示すデータを取得する。変形情報取得部１１３は、歪みを示すデータから、吸着パッド１１２の変形量を特定する。変形量の具体例については後述する。

　図２および３の例に示すように、変形情報取得部１１３は、複数の歪みセンサー１１４ａと、１１４ｂと、１１４ｃから、吸着パッド１１２における複数箇所の変形に関する情報を取得してもよい。ただし、本実施形態では、変形情報取得部１１３は、吸着パッド１１２の変形の情報を取得できれば特に限定されない。本実施形態では、変形情報取得部１１３は、例えば、吸着パッド１１２に配置または内蔵された１つ以上のセンサーから変形の情報を取得してもよい。吸着パッド１１２にセンサーが配置または内蔵されていることにより、吸着パッド１１２の変形を好適に検知することができる。吸着パッド１１２にセンサーを内蔵する場合、図２の例に示すように、歪みセンサー１１４が配置されている吸着パッド１１２の箇所に対応する吸着パッド１１２の内部にセンサーを内蔵することができる。吸着パッド１１２に内蔵されるセンサーとしては、例えば、歪みゲージ式センサー、ならびに、カーボンナノチューブおよびカーボン粒子などの導体素材を含有するゴムまたは樹脂によって構成されている感圧導電性センサーなどが挙げられる。

　一例として、変形情報取得部１１３は、歪みセンサー１１４の代わりに、１つ以上の光変位計（レーザ変位計などの距離センサー）または形状計測センサーから変形の情報を取得してもよい。例えば、光変位計または形状計測センサーは、図２の例では、歪みセンサー１１４と同様に吸着パッド１１２に１つ以上配置される。また、図２の（ｂ）の例に示すように、光変位計または形状計測センサーは、吸着パッド１１２で反射した光を検知して吸着パッド１１２の変位量を計測することによって、吸着パッド１１２の変形を好適に検知（形状変化を計測）することができる。特に、２次元形状計測センサーは、吸着パッド１１２に１つ配置されている場合においても、吸着パッド１１２における複数箇所の変形を検知することができる。光変位計としては、例えば、ローコストの単距離変位センサーなどが挙げられる。形状計測センサーとしては、例えば、スマートセンサーである２次元形状計測センサーなどが挙げられる。

　別の一例として、変形情報取得部１１３は、歪みセンサー１１４の代わりに、近接センサーを含んでいてもよい。例えば、変形情報取得部１１３が近接センサーを含む場合、近接センサーは、図２に示す歪みセンサー１１４と同様に吸着パッド１１２に１つ以上配置される。また、近接センサーは、近接センサーと吸着パッド１１２との間の距離の変位量を計測することによって、吸着パッド１１２の変形を好適に検知（形状変化を計測）することができる。近接センサーとしては、例えば、超音波センサー、誘導形近接センサー、静電容量形近接センサーおよび光学式近接センサーなどが挙げられる。

　または、変形情報取得部１１３は、変形の情報として、歪みセンサー１１４などの吸着部１１２の変形を検知できるセンサーから、変形量、変形速度、または変形加速度の情報を取得してもよい。この場合、歪みセンサー１１４が、変形量、変形速度、または変形加速度を求める処理を行う。

　変形情報取得部１１３は、吸着パッド１１２の変形量、変形速度、または変形加速度などの変形データをマニピュレータ制御部１３および負圧制御部２１に出力する。

　（異常判定部）
　異常判定部１１５は、吸着パッド１１２が対象物を吸着（吸引）するのを止め、対象物を離してから、所定期間後の吸着パッド１１２の変形量が第２閾値以上であれば、対象物が吸着パッド１１２に張りついていると判定する。換言すれば、異常判定部１１５は、吸着パッド１１２と対象物との間の空間が真空状態でなくなってから（真空破壊をしてから）所定期間後の吸着パッド１１２の変形量が第２閾値以上であれば、対象物が吸着パッド１１２に張りついていると判定する。

　この場合、異常判定部１１５は、アラートを発したり、吸着パッド１１２に対象物を落とす動作（プレース動作）をさせたりすることができる。これにより、真空破壊後に対象物が吸着パッド１１２に張りついたまま離れないことによるプレースの失敗を防止することができる。

　〔真空ポンプ〕
　真空ポンプ１２は、駆動量に応じた負圧を発生させ、吸着パッド１１２に当該負圧を提供する。ここでは、移動吸着装置１００における吸着装置１が真空ポンプ１２を備えている例について説明している。ただし、本実施形態では、移動吸着装置１００における吸着装置１は真空ポンプ１２を備えておらず、例えば、吸着装置１および移動吸着装置１００の外部に真空ポンプ１２があってもよい。これによっても、負圧制御部２１が真空ポンプ１２の駆動量を制御することによって、上述の例と同様の効果を奏することができる。

　〔動作制御部〕
　動作制御部１３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）またはＲＯＭ（Read Only Memory）などを含み、情報処理に応じて制御を行う。また、マニピュレータ制御部１３は、負圧制御部２１から出力されたマニピュレータ制御信号に基づき、ロボットアーム１１におけるマニピュレータ部１１１を制御する。これにより、マニピュレータ制御部１３は、マニピュレータ部１１１を介して吸着パッド１１２を移動させる。具体的には、マニピュレータ制御部１３は、ロボットアーム１１における吸着パッド１１２が対象物を吸着可能な作業位置に位置するようにマニピュレータ部１１１を駆動させる。また、マニピュレータ制御部１３は、吸着パッド１１２が作業位置に位置した後、対象物に対する吸着パッド１１２の角度が所定の角度となるように、マニピュレータ部１１１を動作させてもよい。これにより、吸着パッド１１２の位置をより好適な位置に微調整することができる。また、マニピュレータ制御部１３は、吸着パッド１１２が対象物を吸着した後、例えば、ロボットアーム１１における吸着パッド１１２が、マニピュレータ制御部１３の上部に設置された所定の箱（不図示）の位置に位置するように、マニピュレータ部１１１を駆動させる。

　また、マニピュレータ制御部１３は、吸着パッド１１２における複数箇所の複数の変形量に基づいて、対象物を吸着し直すために吸着パッド１１２を移動させる方向を決定してもよい。

　ここで、吸着パッド１１２による対象物のピッキング動作（吸着動作）では、移動吸着装置１００の走行後における停止位置のばらつきを防止するために、移動吸着装置１００は、対象物と移動吸着装置１００との位置関係を２Ｄビジョンまたは３Ｄビジョンなどによって計測し、吸着パッド１１２が対象物のピッキング動作を行うことになる。この場合、対象物と移動吸着装置１００との位置関係の計測誤差により、吸着パッド１１２による対象物のピッキングミスが生じる可能性がある。

　これに対し、上述の構成によれば、吸着パッド１１２が対象物に密着していない場合であっても、対象物を吸着し直す方向に吸着パッド１１２を移動させることができる。その結果、吸着パッド１１２による対象物のピッキングミスを防止することができる。

　また、吸着パッド１１２の複数箇所のうち、第１箇所の変形量が第２箇所の変形量より大きい場合、マニピュレータ制御部１３は、対象物を吸着し直すために第２箇所より第１箇所側（変形量が小さいセンサーの配置位置とは反対側）に吸着パッド１１２を移動させてもよい。これにより、吸着パッド１１２の吸着位置のずれを好適に防止することができる。その結果、吸着パッド１１２による対象物のピッキングミスをより好適に防止することができる。

　〔搬送部〕
　搬送部（無人搬送車）２は、負圧制御部（制御信号出力部）２１と、無人搬送車２２とを備えている。

　（負圧制御部）
　負圧制御部２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）またはＲＯＭ（Read Only Memory）などを含み、情報処理に応じて制御を行う。負圧制御部２１は、例えば、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）またはマイコンなどによって構成される。負圧制御部２１は、変形情報取得部１１３における１以上の歪みセンサー１１４から受信する出力信号、および、無人搬送車２２における搬送制御部２２１から受信する搬送状態信号に基づいて、負圧を発生させる真空ポンプ１２を制御する。

　負圧制御部２１は、動作制御部１３からの信号に基づいて、真空ポンプ１２のオンオフを制御する。例えば、対象物をピッキングする際に、吸着パッド１１２の変形から、吸着パッド１１２が充分に対象物の押込を行ったと判定された場合には、負圧制御部２１は真空ポンプをオンする。また、対象物を台にプレースする場合に、動作制御部１３が、対象物の底面の全体が台の配置対象面に接触したと判定した場合には、負圧制御部２１は、真空ポンプをオフにする。

　また、負圧制御部２１は、マニピュレータ制御部１３にマニピュレータ部１１１を制御するためのマニピュレータ制御信号を出力する。

　また、負圧制御部２１は、アナログ信号を真空ポンプ１２の制御信号として出力するアナログ信号出力部２１１を備えていてもよい。アナログ信号出力部２１１は、アナログ信号を単調増加または単調減少させる制御を行ってもよい。これにより、真空ポンプ１２の駆動量をスロープ状に変化させることができるため、突入電流を低減することができる。また、消費電力を低減し、制御を安定化させることができる。

　（無人搬送車）
　図３の例では、無人搬送車２２は、搬送制御部２２１を備えている。搬送制御部２２１は、無人搬送車２２の搬送を制御することによって、移動吸着装置１００の移動（搬送）を制御する。例えば、搬送制御部２２１は、ロボットアーム１１によって対象物を把持することができる作業位置まで移動吸着装置１００を移動させる。また、搬送制御部２２１は、移動吸着装置１００が、既に作業位置に位置する場合は、移動吸着装置１００を移動させない。また、無人搬送車２２は、無人搬送車２２の搬送状態を示す信号である搬送状態信号を負圧制御部２１に送信する。

　〔バッテリー〕
　バッテリー３は、移動吸着装置１００の各部、すなわち、吸着装置１および搬送部２に電力を供給することによって移動吸着装置１００の各部を制御する。

　上述の例では、移動吸着装置１００はバッテリー３によって動作する構成となっているが、本実施形態ではこれに限定されない。本実施形態では、移動吸着装置１００は、移動吸着装置１００の外部から電源コードを介して電力が供給される構成となっていてもよい。

　〔コントローラ〕
　コントローラ５は、上述したように、吸着パッド１１２の変形の情報を取得する変形情報取得部１１３と、吸着パッド１１２の変形に応じて、吸着パッド１１２の動きを制御する動作制御部１３とを備える。つまり、動作制御部１３は、吸着パッド１１２の変形に応じて、吸着パッド１１２の動き（移動方向、速度、および／または傾き）を変更する。

　コントローラ５は、さらに、対象物に関する情報を取得する対象物情報取得部１４および、対象物を配置する台に関する配置情報取得部１５を備える。

　なお、コントローラ５は、移動吸着装置１００自体に備えられてもよいし、移動吸着装置とは別に設けられてもよい。例えば、コントローラ５は、移動吸着装置と通信可能であり、移動吸着装置を制御する制御信号を移動吸着装置に送信する構成であってもよい。

　〔動作制御部〕
　動作制御部１３は、さらに接触点特定部１３１を備えていてもよい。接触点特定部１３１は、前記吸着パッド１１２の変形（変形量、変形速度、または変形加速度）に基づいて、前記吸着パッド１１２における前記対象物との接触点を特定する。また接触点特定部１３１は、吸着パッド１１２が対象物を吸着している状態において、吸着パッド１１２の変形（変形量、変形速度、または変形加速度）に基づいて、前記対象物における配置対象面との接触点を特定する。上述の構成によれば、対象物と移動吸着装置１００との位置姿勢関係に計測誤差が存在していても、接触点特定部１３１によって特定された接触点を支点に吸着面側へ吸着部（吸着パッド）１１２の姿勢を傾ける動きを、マニピュレータ制御部１３がマニピュレータ部１１１に行わせることによって、計測誤差を吸収することができる。その結果、吸着部１１２による対象物のピッキングミスをより好適に防止することができる。詳細は後述する。

　§３　動作例
　以下に、本発明に係るコントローラ５の様々な動作例について説明する。

　具体的な動作例の説明に入る前に、吸着パッド１１２の変形量の定義について説明する。

　（吸着パッド１１２の変形量の定義）
　次に、図７および８を用いて、吸着パッド１１２の変形量の定義を説明する。

　図７は、本発明の一態様で使用される吸着パッドの変形量の定義を説明する図である。まず、図７を用いて、吸着パッド１１２の変形量の定義１を説明する。

　前述したように、吸着パッド１１２は、略円錐形の形状を有しており、下面（吸着面）Ｑが開放された略円錐形の形状となっている。ここで、吸着パッド１１２において対象物と接触する円形の端部を含む平面を、吸着面と呼ぶ。ここで、変形していない吸着パッドの吸着面に平行な互いに直交する２方向にＸ軸、Ｙ軸を取り、変形していない吸着パッドの吸着面の法線方向にＺ軸を取る。吸着パッド１１２の変形量の定義１では、吸着パッド１１２における吸着面の傾きをＸ軸周りの回転量ＭｘおよびＹ軸周りの回転量Ｍｙで表す。定義１では、Ｍｘ、Ｍｙ、およびＺ軸方向の押込量Ｚで吸着パッド１１２の変形量を表す。

　図８は、本発明の一態様で使用される吸着パッドの変形量の定義を説明する図である。次に、図８を用いて、吸着パッド１１２の変形量の定義２を説明する。

　変形していない吸着パッドの吸着面の中心と変形時の吸着面の中心を結ぶベクトルをＲとする。また、変形時の吸着面の単位法線ベクトルをＮとする。定義２では、ベクトルＮのＸ軸への射影をｅｘ、ベクトルＮのＹ軸への射影をｅｙ、ベクトルＲのＺ軸への射影をｅｚとする。換言すれば、定義２では、ベクトルＮのＸ軸成分をｅｘ、ベクトルＮのＹ軸成分をｅｙ、ベクトルＲのＺ軸成分をｅｚとする。定義２では、吸着パッド１１２の変形量を｛ｅｘ、ｅｙ、ｅｚ｝で表す。

　吸着パッド１１２の変形量については、定義１と定義２で等価な情報量が得られるが、以下の説明では、定義２を用いる。

　以下では、図１０～図１６を参照して、本発明のコントローラ５を搭載した移動吸着装置１００によるワークＷのピッキングおよびプレース等の動作について説明する。

　＜動作例１＞
　図１０は、本発明の一実施形態におけるコントローラ５の動作を示すフローチャートである。まず、図１０を参照して、吸着パッド１１２がワークＷを吸着し、ピッキングする場合の動作例を説明する。

　（ステップＳ１０）
　まず、ステップＳ１０では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２を鉛直方向に降下させることにより、吸着パッド１１２をワークＷに接近させる。

　（ステップＳ１２）
　次に、ステップＳ１２では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２の少なくとも一部がワークＷに接触したか否かを判定する。ここで、吸着パッド１１２がワークＷに接触した場合には、吸着パッド１１２にＸＹ方向の傾きが生じ、ベクトル（ｅｘ、ｅｙ）の絶対値で表す吸着パッド１１２の傾き量が閾値ε１を超える、または、Ｚ軸方向の押込量ｅｚが閾値ε２を超えるため、以下の式が成立する。
|（ｅｘ、ｅｙ）|＞ε１、または、ｅｚ＞ε２
　そのため、より具体的には、動作制御部１３は、本ステップにおいて、上記式が成立する場合には、吸着パッド１１２がワークＷに接触したと判定し、それ以外の場合は、吸着パッド１１２がワークＷに接触していないと判定する。

　動作制御部１３が、吸着パッド１１２がワークＷと接触したと判定した場合（ステップＳ１２でＹＥＳ）には、ステップＳ１４に進む。

　動作制御部１３が、吸着パッド１１２がワークＷと接触したと判定しない場合（ステップＳ１２でＮＯ）には、ステップＳ１０に戻り、吸着パッド１１２のワークＷへの接近を続行する。

　（ステップＳ１４）
　次に、ステップＳ１４では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２とワークＷが全体で接触したかどうかを判定する。ここで、吸着パッド１１２がワークＷに全体で接触した場合には、吸着パッド１１２の傾きが解消されるため、以下の式が成立する。
|（ｅｘ、ｅｙ）|＜ε１
　そのため、動作制御部１３は、本ステップにおいて、上記式が成立する場合には、吸着パッド１１２の吸着面がワークＷに全体で接触したと判定し、それ以外の場合は、吸着パッド１１２の吸着面がワークＷに全体で接触していないと判定する。

　動作制御部１３が、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷが全体で接触したと判定した場合には（ステップＳ１４でＹＥＳ）、吸着パッド１１２の傾きの制御を完了し、後述する押込量の制御に移行する。

　動作制御部１３が、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷが全体で接触したと判定しない場合には（ステップＳ１４でＮＯ）には、ステップＳ１６に進む。

　（ステップＳ１６）
　ステップＳ１６では、接触点特定部１３１が、吸着パッド１１２の変形に基づいて、吸着パッド１１２とワークＷの接触点Ｃの位置を特定する。

　図９の（ａ）は吸着パッド１１２の側面図であり、（ｂ）は吸着パッド１１２の上面図である。ここで、図９を参照して、接触点特定部１３１が行う吸着パッド１１２とワークＷの接触点Ｃの位置を特定する処理について説明する。吸着パッド１１２の傾き（ベクトルＮ）をＸＹ平面に射影したものがＸ軸となす角度をθとすると、以下の式からθが求められる。
θ＝arctan（ｅｙ／ｅｘ）
　接触点特定部１３１は、θから吸着パッド１１２とワークＷの接触点Ｃを特定する。
接触点が特定されたら、ステップＳ１８へ進む。

　（ステップＳ１８）
　ステップＳ１８では、動作制御部１３は、前記特定された接触点Ｃにおける吸着パッド１１２とワークＷとの接触を維持したまま、吸着パッド１１２の傾きを変更する。つまり、吸着パッド１１２が有する吸着面とワークＷの被吸着面とのなす角を減少させるよう、吸着パッド１１２の傾きを変更する。ここで、動作制御部１３は、以下の処理により、接触点での接触を維持しながら、吸着パッド１１２の傾きを変更して吸着面をワークＷの被吸着面に合わせる場合の、マニピュレータ部１１１の動作指令を求める。

　吸着パッド１１２はロボットアームに着脱可能である。動作制御部１３は、吸着パッド１１２の付け根である搬送手先の位置、および角度（姿勢）を制御するための指令速度（Pv）および指令角速度（φω）を、以下の二つの指令値の合成（単純和）として算出する。指令角速度（φω）は、搬送手先の角度の変化速度である。
１．接触点Ｃにおける吸着パッド１１２とワークＷの接触を維持させるため指令速度Pv（より具体的には指令速度ベクトル）
Pv＝（Pvr－Gv・ｅｚ）ｈ
　ここで、Pvrは吸着パッド１１２の目標速度、Gvは定数ゲイン、ｅｚは吸着パッド１１２の傾きを表す法線ベクトルＲのＺ軸成分、hは手先姿勢（φ）の方向ベクトルである。また、「・」は積を表す。
２．接触点Ｃを支点に吸着パッド１１２を回転させる指令速度（Pv）および指令角速度（φω）
　接触点を拡張された手先として、接触点の位置姿勢を｛Pe、φe｝とおく。ステップＳ１８においてexおよびeyは微小であるので、φe＝φとする。｛Pe、φe｝は図９におけるパッド設置位置オフセット（Po）、パッド半径（Pr）、ステップＳ１６で求めたθと元々の手先位置姿勢｛P、φ｝を用いて、以下の通り表される。
｛Pe, φe｝＝ＦＫ（｛P、φ｝、｛P_０、Pr、θ｝）
　ここで、Peは回転中心、P_０は吸着パッド設置位置のオフセット（吸着パッド１１２の吸着面の中心と搬送機手先位置の距離）、Ｐｒは吸着パッド１１２の半径である。また、ＦＫは｛P、Φ｝から｛Pe、Φe｝を求める運動学関数である。ＦＫに対応する逆運動学関数ＩＫは存在し、以下の通り書くものとする。
｛P、 φ｝＝ＩＫ(｛Pe、 φe｝、｛P_０、Pr、θ｝）
　Peを回転中心として、Peと吸着パッド１１２の中心軸を通る平面での回転を与える指令を｛Peｖ, φeｖ｝とすると、動作制御部１３は、上記IK、もしくはIKから誘導されるヤコビアンを用いて｛Pｖ, φω｝を決定する。この組を指令速度および指令角速度とする。

　以上により、求められた指令速度にしたがって、動作制御部１３が吸着パッド１１２の傾きを変更する。その後、ステップＳ２０に進む。

　（ステップＳ２０）
　ステップＳ２０では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２とワークＷが全体で接触したか否かを特定する。より具体的には、動作制御部１３が、上述したステップＳ１４と同様の処理により判定を行う。動作制御部１３が、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷが全体で接触したと判定したら（ステップＳ２０でＹＥＳ）、吸着パッド１１２の傾き制御を完了し、押込量の制御に移行する。動作制御部１３が、吸着パッド１１２の吸着面とワークＷが全体で接触したと判定しなかった（ステップＳ２０でＮＯ）場合には、ステップＳ１８に戻り、吸着パッド１１２の傾きの制御を続ける。

　上記動作例によれば、動作制御部１３が、吸着パッド１１２がワークＷに接触した後、接触点Ｃの位置と吸着パッド１１２の傾きを特定して、接触点Ｃでの接触を維持したまま、吸着パッド１１２をワークＷの被吸着面に密着させるように吸着パッド１１２の傾きを変更させる。それゆえ、精度よく吸着パッド１１２の姿勢を補正することができ、ワークＷのピッキングを確実に行うことができる。

　＜動作例２＞
　図１１は、本発明の他の実施形態におけるコントローラ５の動作を示すフローチャートである。次に、図１１を参照して、対象物の吸着前またはプレース前に、吸着パッド１１２がワークＷを押込む場合の動作例を説明する。

　（ステップＳ１１０）
　まず、ステップＳ１１０では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２を鉛直方向に降下させることにより、吸着パッド１１２をワークＷに接近させる。

　（ステップＳ１１２）
　次に、ステップＳ１１２では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２の変形量から吸着パッド１１２がワークＷに接触したか否かを判定する。

　動作制御部１３が、吸着パッド１１２の変形量から吸着パッド１１２がワークＷに接触したと判定した場合（ステップＳ１１２でＹＥＳ）には、ステップＳ１１４に進む。動作制御部１３が、吸着パッド１１２の一部がワークＷと接触したと判定しない場合（ステップＳ１１２でＮＯ）には、ステップＳ１１０に戻り、吸着パッド１１２のワークＷへの接近を続行する。

　（ステップＳ１１４）
　次に、ステップＳ１１４では、動作制御部１３が吸着パッド１１２のワークＷへの押し込みを続行する。この場合、動作制御部１３は、吸着パッド１１２の変形に応じて、前記吸着パッド１１２の速度を変更してもよい。例えば、動作制御部１３は、吸着パッド１１２の変形量（押込量ｅｚ）が第１閾値を超えると、吸着パッド１１２をワークＷに近づける速度を減速してもよい。つまり、動作制御部１３は、ステップＳ１１０での吸着パッド１１２の速度よりもステップＳ１１４での吸着パッド１１２の速度を減速させてもよい。その後、ステップＳ１１６に進む。

　（ステップＳ１１６）
　ステップＳ１１６では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２のワークＷへの押込が完了したか否かを判定する。動作制御部１３は、本ステップにおいて、吸着パッド１１２のワークＷへの押込量ｅｚの閾値をε２とすると、下記式が成り立つとき、押込量が充分であると判定し、それ以外の場合には押込量が充分であると判定しない。
ｅｚ＞ε２
　そして、動作制御部１３が、吸着パッド１１２のワークＷへの押込が完了したと判定した場合（ステップＳ１１６でＹＥＳ）には、動作制御部１３が吸着パッド１１２の動きを停止する。このとき、例えば、動作制御部１３は、吸着パッド１１２の変形量が、前記第１閾値よりも大きい第２閾値を超えると、吸着パッド１１２をワークＷに近づける動作を停止してもよい。

　このように、押込制御を終了すると、動作制御部１３は、真空ポンプ１２をオンして対象物の吸着を開始する。変形情報取得部１１３が、吸着パッド１１２のワークＷへの押込が完了したと判定しなかった場合（ステップＳ１１６でＮＯ）には、ステップＳ１１４に戻って押込を続行する。

　上記動作例によれば、変形情報取得部１１３が、吸着パッド１１２の変形量に基づいて、吸着パッド１１２のワークＷへの押込量を観察しながら、押込の続行か停止かを判定する。したがって、吸着パッド１１２のワークＷへの押込量ｅｚを一定の範囲に保つことができるため、ワークＷをピッキングする際、またはワークＷをプレースする際に、適切にワークＷの押込をすることができる。

　＜動作例３＞
　次に、図１２を参照して、ワークＷを把持した状態の吸着パッド１１２がワークＷを台にプレースする場合の動作例を説明する。

　（ステップＳ２１０）
　まず、ステップＳ２１０では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２を鉛直方向に降下させることにより、吸着パッド１１２を（ワークＷを）台に接近させる。

　（ステップＳ２１２）
　次に、ステップＳ２１２では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２に把持されたワークＷの一部が接触点Ｃで台に接触したか否かを判定する。ここで、動作制御部１３は、基本的に上述した＜動作例１＞におけるステップＳ１２での処理と同じ処理を行う。ただし、吸引およびワークＷの重量によって、ワークＷが台に接触する前の吸着パッド１１２の変形量｛ｅｘ0、ｅｙ0、ｅｚ0｝は０ではない。動作制御部１３は、ワークＷが台に接触する前の変形量｛ｅｘ0、ｅｙ0、ｅｚ0｝を記録しておく。そして、以下の式が成立する場合には、動作制御部１３は、吸着パッド１１２に把持されたワークＷが台に接触したと判定し、それ以外の場合は、ワークＷは台に接触していないと判定する。
|（ｅｘ－ｅｘ0、ｅｙ－ｅｙ0）|＞ε４、または、|ｅｚ－ｅｚ0|＞ε５
　動作制御部１３が、ワークＷの一部（非吸着面）が台に接触したと判定した場合（ステップＳ２１２でＹＥＳ）には、ステップＳ２１４に進む。動作制御部１３が、ワークＷの一部が台に接触点Ｃで接触したと判定しなかった場合（ステップＳ２１２でＮＯ）には、ステップＳ２１０に戻り、ワークＷの台への接近を続行する。

　（ステップＳ２１４）
　次に、ステップＳ２１４では、動作制御部１３が、ワークＷの下面と台が全体で接触したかどうかを判定する。ここで、ワークＷの下面が台に全体で接触した場合には、吸着パッド１１２およびワークＷの傾きが解消されるため、以下の式が成立する。
|（ｅｘ－ｅｘ0、ｅｙ－ｅｙ0）|＜ε４
　したがって、動作制御部１３は、上記式が成立する場合には、ワークＷの下面が台に全体で接触したと判定し、それ以外の場合は、ワークＷの下面が台に全体では接触していないと判定する。

　動作制御部１３が、ワークＷの下面と台が全体で接触したと判定した場合には（ステップＳ２１４でＹＥＳ）、動作制御部１３は吸着パッド１１２の傾き制御を完了し、上記で説明した押込量制御に移行する。動作制御部１３が、ワークＷと台が全体で接触したと判定しなかった場合（ステップＳ１４でＮＯ）には、ステップＳ２１６に進む。

　（ステップＳ２１６）
　ステップＳ２１６では、接触点特定部１３１が、吸着パッド１１２の変形に基づいて、ワークＷにおける台の配置対象面との接触点Ｃの位置を特定する。ここで、変形情報取得部１１３は、＜動作例１＞のステップＳ１６と基本的に同様の処理を行う。但し、記録したオフセット｛ｅｘ0、ｅｙ0、ｅｚ0｝を用いて、以下の通り計算する。
θ＝arctan（（ｅｙ－ｅｙ0）／（ｅｘ－ｅｘ0））
　上記処理により、ワークＷにおける台の配置対象面との接触点Ｃが特定されたら、ステップＳ２１８へ進む。

　（ステップＳ２１８）
　ステップＳ２１８では、動作制御部１３は、前記特定された接触点（接触辺）におけるワークＷと台の配置対象面との接触を維持したまま、吸着パッド１１２の傾きを変更する。この時、吸着されているワークＷの被吸着面ではない表面と、台の配置対象面とのなす角を減少させるよう、吸着パッド１１２の傾きを変更する。

　ここで、動作制御部１３が、基本的に上述した＜動作例１＞でのステップＳ１８と同じ処理を行い、接触点での接触を維持しながら、ワークＷの傾きを変更して吸着パッド１１２の吸着面を台の表面に合わせる場合の指令速度を求める。

　但し、動作制御部１３が、記録したオフセット｛ｅｘ0、ｅｙ0、ｅｚ0｝を用いて、以下の通り記号を読み替えて計算する。
・ｅｚ→ｅｚ－ｅｚ0
・｛Pe、φe｝：吸着パッド１１２とワークＷの接触点→ワークＷと台の接触点
・｛FK（｛P、φ｝、｛P_０、Pr、θ｝）→｛FK（｛P、φ｝、｛P_０＋Ｗh/２、Pr＋Ｗｌ/2、θ｝）
　ここで、ＷhはワークＷの高さ、ＷlはワークＷの長さであり、ＦＫは＜動作例１＞でのステップＳ１８のＦＫと同じ運動学関数である。

　したがって、
｛P, φ｝＝IK（｛Pe, φe｝、｛P_０、Pr、θ｝）→
｛P, φ｝＝IK（｛Pe, φe｝、｛P_０＋Ｗh/２、Pr＋Ｗｌ/２、θ｝)
　上記でＩＫも＜動作例１＞でのステップS１８のＩＫと同じ運動学関数である。

　上記処理により、求められた指令速度にしたがって、動作制御部１３が吸着パッド１１２の傾きを変更する。その後、ステップＳ２２０に進む。

　（ステップＳ２２０）
　次に、ステップ２２０では、動作制御部１３が、ワークＷの被吸着面ではない表面と台の配置対象面が全体で接触したか否かを判定する。ここで、動作制御部１３が、上述のステップＳ２１４と同様の処理を行う。

　動作制御部１３が、ワークＷの被吸着面ではない表面と台の配置対象面が全体で接触したと判定した場合（ステップＳ２２０でＹＥＳ）、動作制御部１３は吸着パッド１１２の傾き制御を完了し、吸着を停止しワークを離す。動作制御部１３が、ワークＷの被吸着面ではない表面と台の配置対象面が全体で接触したと判定しなかった（ステップＳ２２０でＮＯ）場合には、動作制御部１３はステップＳ２１８に戻り、傾き制御を続ける。

　上記動作例によれば、動作制御部１３が、ワークＷの被吸着面ではない表面と台の配置対象面が接触した後、接触点Ｃの位置と吸着パッド１１２の傾きを特定して、接触点Ｃでの接触を維持したまま、吸着パッド１１２をワークＷの被吸着面ではない表面が台の配置対象面に全体で接触するように吸着パッド１１２の傾きを変更させる。したがって、精度よく吸着パッド１１２の姿勢を補正することができ、ワークＷを正確な位置にプレースすることができる。また、離したワークＷに衝撃が加わること、または離したワークが倒れることを防止することができる。

　＜動作例４＞
　次に、図１３および図１４の（ａ）から（ｄ）を参照して、重力方向が明らかでない状況下で、ワークＷを把持した状態の吸着パッド１１２がワークＷの側面を台の配置対象面に対して面合わせする場合の動作例を説明する。図１３は、この場合のコントローラ５の制御の流れを示すフローチャートであり、図１４（ａ）から（ｄ）は、吸着パッド１１２に把持されたワークＷおよび台の様子を示した側面図である。

　（ステップＳ３１０）
　まず、ステップＳ３１０では、動作制御部１３が、ワークＷが把持された状態の吸着パッド１１２を台の配置対象面に接近させる（図１４の（ａ））。

　（ステップＳ３１２）
　次に、ステップＳ３１２では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２の変形量に基づいて、吸着パッド１１２に把持されたワークＷの側面の一部が接触点Ｃで台に接触したか否かを判定する。ここで、動作制御部１３は、上述した＜動作例３＞のステップＳ２１２と同様の処理を行う。動作制御部１３が、ワークＷの側面の一部が台に接触したと判定した場合（ステップＳ３１２でＹＥＳ）には、ステップＳ３１４に進む（図１４の（ｂ））。

　動作制御部１３が、ワークＷの側面の一部が台に接触したと判定しなかった場合（ステップＳ３１２でＮＯ）には、ステップＳ３１０に戻り、動作制御部１３はワークＷの台への接近を続行する。

　（ステップＳ３１４）
　次に、ステップＳ３１４では、接触点特定部１３１が、吸着パッド１１２の変形に基づいて、ワークＷにおける台の配置対象面との接触点（接触辺）の位置を特定する。ここで、動作制御部１３は、上述した＜動作例３＞のステップＳ２１６と同様の処理を行う。そして、動作制御部１３は、接触点（接触辺）を中心にワークＷを台の接触させたい面（配置対象面）に向けて回転させる（図１４の（ｃ））。つまり、動作制御部１３が、上述した＜動作例３＞のステップＳ２１８と同様の処理を行う。その後、ステップＳ３１６へ進む。

　（ステップＳ３１６）
　次に、ステップＳ３１６では、動作制御部１３が、ワークＷの側面と台が全体で接触したかどうかを判定する。より具体的には、動作制御部１３が、＜動作例３＞のステップＳ２１２と同様の処理を行う。変形情報取得部１１３が、ワークＷの側面と台が全体で接触したと判定した場合には（ステップＳ３１６でＹＥＳ、図１４の（ｄ））、動作制御部１３は、吸着パッド１１２の傾き制御を完了し、吸着を停止しワークＷを解放する。動作制御部１３が、ワークＷの側面と台が全体で接触したと判定しなかった場合（ステップＳ３１６でＮＯ）には、ステップＳ３１４に戻る。

　上記動作例４によれば、重力方向が明らかでない状況下で、吸着パッド１１２に把持されたワークＷの側面を台の配置対象面に面合わせする場合にも、動作制御部１３が、吸着パッド１１２の変形量に基づいて、ワークＷの側面と台の配置対象面が接触点で接触した後、接触点の位置と吸着パッド１１２の傾きを特定して、接触点でのワークＷと台の配置対象面の接触を維持したまま、吸着パッド１１２をワークＷの接触させたい側面が台の配置対象面に全体で接触するように吸着パッド１１２の傾きを変更させる。したがって、重力方向が明らかでない状況下でも精度よく吸着パッド１１２の姿勢を補正することができ、ワークＷの側面を適切に面合わせすることができる。

　＜動作例５＞
　次に、図１５および図１６の（ａ）から（ｃ）を参照して、重力方向が明らかでない状況下で、ワークＷを把持した状態の吸着パッド１１２がワークＷの２側面を台の２面に対して面合わせする場合の動作例を説明する。図１５は、この場合のコントローラ５の制御の流れを示すフローチャートであり、図１６（ａ）から（ｃ）は、吸着パッド１１２に把持されたワークＷおよび台の様子を示した側面図である。

　（ステップＳ４１０）
　まず、ステップＳ４１０では、動作制御部１３が、ワークＷが把持された状態の吸着パッド１１２を台の配置対象面（垂直な面Ｓ１）に接近させる。

　（ステップＳ４１２）
　次に、ステップＳ４１２では、動作制御部１３が、吸着パッド１１２の変形量に基づいて、吸着パッド１１２に把持されたワークＷの側面の一部が接触辺で台の一つ目の面Ｓ１に接触したか否かを判定する。ここで、動作制御部１３は、上述した＜動作例３＞のステップＳ２１２と同様の処理を行う。動作制御部１３が、ワークＷの側面の一部が台の面Ｓ１に接触したと判定した場合（ステップＳ４１２でＹＥＳ）には、ステップＳ４１４に進む（図１４の（ａ））。

　動作制御部１３が、ワークＷの側面の一部が台に接触したと判定しなかった場合（ステップＳ４１２でＮＯ）には、ステップＳ４１０に戻り、動作制御部１３がワークＷの台への接近を続行する。

　（ステップＳ４１４）
　次に、ステップＳ４１４では、接触点特定部１３１が、吸着パッド１１２の変形に基づいて、ワークＷにおける台の面Ｓ１との接触辺の位置を特定する。ここで、動作制御部１３は、＜動作例３＞のステップＳ２１６と同様の処理を行う。そして、動作制御部１３が、接触辺を中心にワークＷを台の接触させたい面（面Ｓ３）に向けて回転させる。ここでは面Ｓ３は壁面である。その後、ステップＳ４１６へ進む。

　（ステップＳ４１６）
　次に、ステップＳ４１６では、動作制御部１３が、ワークＷの側面と台の面Ｓ３が全体で接触したかどうかを判定する。ここで、動作制御部１３は、＜動作例３＞のステップＳ２１４と同様の処理を行う。動作制御部１３が、ワークＷの側面と台の面Ｓ３が全体で接触したと判定した場合には（ステップＳ４１６でＹＥＳ、図１４の（ｂ））、ステップＳ４１８へ進む。動作制御部１３が、ワークＷの側面と台の面Ｓ３が全体で接触したと判定しなかった場合（ステップＳ４１６でＮＯ）には、ステップＳ４１４に戻る。

　（ステップＳ４１８）
　次に、ステップＳ４１８では、動作制御部１３が、ワークＷの側面と台の面Ｓ３の面接触を維持しながら、ワークＷを台の水平面（面Ｓ４)に向けて面Ｓ３上を滑らせる。その後、ステップＳ４２０へ進む。

　（ステップＳ４２０）
　次に、ステップＳ４２０では、動作制御部１３が、ワークＷが二つ目の面である面Ｓ４に面接触したか否かを判定する。ここで、動作制御部１３が、＜動作例３＞のステップＳ２１４と同様の処理を行う。動作制御部１３が、ワークＷの側面と台の２つ目の面Ｓ４が全体で接触したと判定した場合には（ステップＳ４２０でＹＥＳ）、動作制御部１３は面合わせの処理を完了する（図１４の（ｃ））。動作制御部１３が、ワークＷの側面と台の面Ｓ４が面接触したと判定しなかった場合（ステップＳ４２０でＮＯ）には、ステップＳ４１８に戻る。

　上記動作例５によれば、重力方向が明らかでない状況下で、吸着パッド１１２に把持されたワークＷの外角２面を台の内角２面に面合わせする場合にも、動作制御部１３が、吸着パッド１１２の変形量に基づいて、ワークＷの一面と台の一つ目の面が完全に面合わせしたと判定してから、この二つ目の面に向かってワークＷを滑らせることができる。したがって、重力方向が明らかでない状況下でも、精度よく吸着パッド１１２の姿勢を補正することができ、ワークＷを正確に台の２面に面合わせすることができる。

　上述の動作例では、本発明のコントローラ５をロボットアーム１１に取り付けられる吸着パッド１１２の動作を制御する場合について説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、あらゆる吸着パッドに適用することができる。

　以上、本発明の実施の形態を詳細に説明してきたが、上述の説明はあらゆる点において本発明の例示に過ぎない。本発明の範囲を逸脱することなく種々の改良および変形を行うことができることは言うまでもない。例えば、以下のような変更が可能である。説明の便宜上、上述の実施形態と同様の部材に関しては同様の符号を用い、上述の実施形態と同様の点については、適宜説明を省略する。

　＜変形例＞
　図１７は、本実施形態に係る吸着装置１の変形例の概略構成の一例を示すブロック図である。図１７の例では、吸着装置１のコントローラ５が画像処理部１１９および変形情報取得部１１３を備え、変形情報取得部１１３が変形量変化速度計算部３６と定数ゲイン乗算部３７とを備える。なお。変形量変化速度計算部３６は、変形情報取得部１１３ではなく画像処理部１１９に含まれていてもよい。

　変形例におけるコントローラ５を備える吸着装置１は、ロボットアーム１１、真空ポンプ（図示せず）およびコントローラ５を備える。ロボットアーム１１は、吸着パッド１１２と、撮像装置１２１と、マニピュレータ部１１１と、を備える。撮像装置１２１は、吸着パッド１１２の側方に配置されるように固定され、吸着パッド１１２の可変部を撮像する。撮像装置１２１を備えることによって、吸着パッド１１２の可変部の変形前後の状態を画像等で取得し、取得データを基に吸着パッド１１２の変形量を計算することができる。

　コントローラ５は、画像処理部１１９、変形情報取得部１１３、および動作制御部１３と、を備える。また、画像処理部１１９は、画像取得部１２０と、特徴点特定部１２３と、変形量特定部１２４とを備える。

　撮像装置１２１は、吸着パッド１１２の可変部を撮像する。画像データは、モノクロ画像データであっても、カラー画像データであってもよい。

　画像取得部１２０は、撮像装置１２１で撮像された画像データを取得する。そして、当該画像データを特徴点特定部１２３に入力する。

　特徴点特定部１２３は、画像取得部１２０から入力された画像データに含まれる可変部の特徴点を特定する。特徴点特定部１２３において、入力された画像データに含まれる可変部に形成された模様から、可変部１１８の複数の箇所に対応する画像データにおける特徴点を特定する。そして、各特徴点の画像座標系における座標値を変形量特定部１２４に出力する。特徴点特定部１２３は、吸着パッド１１２の変形しない固定部の座標（複数の座標）も基準座標として特定する。基準座標に対する特徴点の座標から、特徴点の変位を得ることができる。

　変形量特定部１２４は、特徴点特定部１２３から出力された特徴点（座標値）および固定部の座標から、可変部の複数の箇所の変形量（ひいては吸着パッド１１２の変形量）を特定する。

　変形量変化速度計算部３６は、変形量特定部１２４で特定された変形量を時間微分して変形量の変化速度を算出する。変形量変化速度計算部３６は、定数ゲイン乗算部３７に変形量の変化速度を出力する。

　定数ゲイン乗算部３７は、変形量変化速度計算部３６で算出された変形量の変化速度（例えば吸着パッドの吸着面の角速度）に定数を乗ずることによって、減速値を算出する。定数ゲイン乗算部３７は、減速値を動作制御部１３に出力する。

　動作制御部１３は、対象物を搬送するための吸着パッド１１２の目標移動速度を有している。動作制御部１３は、目標移動速度から減速値を減算することにより、指令速度を得る。動作制御部１３は、指令速度でマニピュレータの手先（吸着パッド１１２）を移動させるよう、マニピュレータ部１１１を制御する。吸着パッド１１２の変形量の変化速度を減衰させるようにロボットアームの手先速度を変化させることによって、吸着パッド１１２の振動（対象物の振動）を抑制することができる。

　同様に、動作制御部１３は、変形量の変化速度に基づいて、変形量の変化速度を減少させるように、吸着パッド１１２の傾きを変更してもよい。吸着パッド１１２の傾きを変更することによって、吸着パッド１１２の振動を制御することができる。吸着パッド１１２の傾きを制振制御に利用することによって、搬送停止時の位置決め時間が最小化され、搬送処理時間（搬送タクトタイム）を短縮することができる。

　図１８は、本実施形態に係る変形計測装置の変形例３の処理の流れの一例を示すフローチャートである。

　Ｓ５０１において、動作制御部１３は、吸着パッド１１２を対象物Ｗに接近させる。図１９の（ａ）の例は、Ｓ５０１を示す。次に、Ｓ５０２において、吸着パッド１１２が対象物Ｗに接触しているか否かを判定する。吸着パッド１１２が対象物Ｗに接触しているか否かは吸着パッド１１２の可変部の変形量により判定することができる。動作制御部１３は、変形量が閾値以上であれば、吸着パッド１１２が対象物Ｗに接触していると判定する。吸着パッド１１２が対象物Ｗに接触していると判断した場合（Ｓ５０２でＹＥＳ）、吸着パッド１１２を対象物Ｗに吸着させる（Ｓ５０３）。図１９の（ｂ）の例は、Ｓ５０３を示す。吸着パッド１１２が対象物Ｗに接触していないと判断した場合（Ｓ５０２でＮＯ）、Ｓ５０１～Ｓ５０２の処理を再度実行する。

　Ｓ５０４において、動作制御部１３は、マニピュレータ部１１１に対象物Ｗを持ち上げさせる。図１９の（ｃ）の例は、Ｓ５０４を示す。次に、Ｓ５０５において、対象物Ｗの持ち上げに成功したか否かを判定する。対象物Ｗの持ち上げに成功したか否かは、吸着パッド１１２の可変部の変形量により判定することができる。動作制御部１３は、変形量が別の閾値以上であれば、対象物Ｗの持ち上げに成功したと判定する。対象物Ｗの持ち上げに成功したと判断した場合（Ｓ５０５でＹＥＳ）、対象物Ｗを目的の位置まで搬送する（Ｓ５０６）。図１９の（ｄ）の例は、Ｓ５０６を示す。対象物Ｗの持ち上げに失敗したと判断した場合（Ｓ５０５でＮＯ）、Ｓ５０４～Ｓ５０５の処理を再度実行する。

　Ｓ５０７において、動作制御部１３は、搬送中の吸着パッド１１２に振動が発生しているか否かを判定する。動作制御部１３は、吸着パッド１２の変形量の変化速度が別の閾値以上であれば、搬送中の吸着パッド１１２に振動が発生していると判定する。搬送中の吸着パッド１１２に振動が発生していないと判断した場合（Ｓ５０７でＹＥＳ）、対象物Ｗの傾きを変更せずに対象物Ｗを目的の位置まで搬送する（Ｓ５０８）。搬送中の吸着パッド１１２に振動が発生していると判断した場合（Ｓ５０７でＹＥＳ）、吸着パッド１１２の傾きを制御する（Ｓ５１２）。そして、Ｓ５０７の処理を再度実行する。

　Ｓ２０９において、動作制御部１３は、マニピュレータ部１１１に対象物Ｗを目的の位置に降ろさせる。図１９の（ｅ）の例は、Ｓ２０９を示す。次に、Ｓ５１０において、対象物Ｗが目的の位置に接触しているか否かを判定する。対象物Ｗが目的の位置に接触しているか否かは、吸着パッド１１２の可変部の変形量により判定することができる。動作制御部１３は、変形量が別の閾値以上であれば、対象物Ｗが目的の位置に接触していると判定する。対象物Ｗが目的の位置に接触していると判断した場合（Ｓ５１０でＹＥＳ）、吸着パッド１１２の吸着を解除する（Ｓ５１１）。図１９の（ｆ）の例は、Ｓ５１０でＹＥＳの場合を示す。対象物Ｗが目的の位置に接触していないと判断した場合（Ｓ５１０でＮＯ）、Ｓ５０９～Ｓ５１０の処理を再度実行する。

　〔ソフトウェアによる実現例〕
　移動吸着装置１００の制御ブロック（特にコントローラ５の各部（負圧制御部２１、変形情報取得部１１３および動作制御部１３）、異常判定部１１５）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ソフトウェアによって実現してもよい。

　後者の場合、移動吸着装置１００は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するコンピュータを備えている。このコンピュータは、例えば１つ以上のプロセッサを備えていると共に、上記プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を備えている。そして、上記コンピュータにおいて、上記プロセッサが上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記プロセッサとしては、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いることができる。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の他、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などをさらに備えていてもよい。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

１　吸着装置
１００　移動吸着装置
２　搬送部
３　バッテリー
５　コントローラ
１１　ロボットアーム
１２　真空ポンプ
１３　マニピュレータ制御部（動作制御部）
１４　対象物情報取得部
１５　配置情報取得部
２１　負圧制御部
２２　無人搬送車
１１１　マニピュレータ部
１１３　変形情報取得部
１１２　吸着部（吸着パッド）
１１９　画像処理部
１２０　画像取得部
１２１　撮像装置
１２３　特徴点特定部
１２４　変形量特定部
１３１　接触点特定部
１１４　センサー
１１５　異常判定部
２１１　アナログ信号出力部
２２１　搬送制御部

Claims (12)

1. 　負圧により対象物を吸着し、該負圧によって変形する吸着部の変形の情報を取得する変形情報取得部と、
   　前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の動きを制御する動作制御部とを備える、コントローラ。
2. 　前記動作制御部は、前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の傾きを変更する、請求項１に記載のコントローラ。
3. 　前記動作制御部は、前記吸着部が有する吸着面と前記対象物の被吸着面とのなす角を減少させるよう、前記吸着部の傾きを変更する、請求項２に記載のコントローラ。
4. 　前記動作制御部は、前記吸着部の変形に基づいて、前記吸着部における前記対象物との接触点を特定する接触点特定部を備え、
   　前記動作制御部は、前記接触点における前記吸着部と前記対象物との接触を維持したまま、前記吸着部の傾きを変更する、請求項２または３に記載のコントローラ。
5. 　前記動作制御部は、前記吸着部が有する吸着面の中心軸と、前記接触点とを含む平面内において、前記吸着部を回転させる、請求項４に記載のコントローラ。
6. 　前記吸着部が前記対象物を吸着している状態において、前記動作制御部は、吸着されている前記対象物の被吸着面ではない表面と、配置対象面とのなす角を減少させるよう、前記吸着部の傾きを変更する、請求項２に記載のコントローラ。
7. 　前記動作制御部は、前記吸着部が前記対象物を吸着している状態において、前記吸着部の変形に基づいて、前記対象物における配置対象面との接触点を特定する接触点特定部を備え、
   　前記動作制御部は、前記接触点における前記対象物と前記配置対象面との接触を維持したまま、前記吸着部の傾きを変更する、請求項２または６に記載のコントローラ。
8. 　前記動作制御部は、前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の速度を変更する、請求項１から７のいずれか一項に記載のコントローラ。
9. 　前記動作制御部は、前記吸着部の変形量が第１閾値を超えると、前記吸着部を前記対象物に近づける速度を減速する、請求項８に記載のコントローラ。
10. 　前記動作制御部は、前記吸着部の変形量が第２閾値を超えると、前記吸着部を前記対象物に近づける動作を停止する、請求項８または９に記載のコントローラ。
11. 　前記変形情報取得部は、前記吸着部の変形量および／または変形速度を取得し、
    　前記動作制御部は、前記吸着部の前記変形量および／または前記変形速度に応じて、前記吸着部の動きを制御する、請求項１から１０のいずれか一項に記載のコントローラ。
12. 　負圧により対象物を吸着し、該負圧によって変形する吸着部を備える吸着装置の制御方法であって、
    　前記吸着部の変形の情報を取得する変形情報取得ステップと、
    　前記吸着部の変形に応じて、前記吸着部の動きを制御する動作制御ステップとを含む、吸着装置の制御方法。

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