WO2021020074A1 - 摺動部品 - Google Patents

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sliding
sealing ring
spiral
dynamic pressure
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裕貴 井上
雄大 根岸
実憲 大沼
岩 王
忠継 井村
啓志 鈴木
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Eagle Industry Co Ltd
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Definitions

  • the present invention relates to, for example, mechanical seals, bearings, and other sliding parts in which a fluid is interposed between sliding surfaces.
  • the opening of the dynamic pressure generating groove is arranged on the leakage side to achieve both sealing and lubrication while having low friction (see, for example, Patent Document 1).
  • the open end is opened to the low pressure side and the closed end is arranged on the high pressure side on the sliding surface of the static sealing ring, and a plurality of closed spiral grooves are evenly arranged in the circumferential direction.
  • the fluid on the leak side can be sucked from the open end of the spiral groove and a positive pressure can be generated at the closed end and its vicinity, so that the sealed fluid that tends to leak to the leak side can be generated. It can be recovered by flowing out from the closed end and its vicinity between the sliding surfaces.
  • the spiral grooves of Patent Document 1 are formed to have substantially the same width, and a plurality of spiral grooves are equally arranged in the circumferential direction of the sliding surface, and a land between the open end of the spiral groove and the adjacent spiral groove is provided on the leak side. Since the structure is arranged alternately, the sealed fluid may leak from the land between the adjacent spiral grooves to the space on the leak side without entering the spiral groove, and the sealed fluid can be recovered. The rate was low.
  • the present invention has been made by paying attention to such a problem, and an object of the present invention is to provide a sliding component having excellent lubricity and a high recovery rate of a sealed fluid.
  • the sliding parts of the present invention are A sliding component in which a plurality of dynamic pressure generating grooves extending from the leak side to the sealed fluid side are formed on the sliding surface of one of the sliding components in the pair of sliding components.
  • a concave groove extending in the circumferential direction and open to the leak side is formed on one of the sliding surfaces.
  • the concave groove communicates with the dynamic pressure generating groove. According to this, the sealed fluid leaking to the leak side on the land partitioning the adjacent dynamic pressure generating groove is guided by the concave groove, and the sealed fluid guided by the concave groove is introduced into the dynamic pressure generating groove. It has excellent lubricity and a high recovery rate of the sealed fluid, and prevents the sealed fluid from leaking to the leak side.
  • the bottom surface of the concave groove may be formed at the same depth as the bottom surface of the dynamic pressure generating groove. According to this, the fluid to be sealed in the concave groove is easily introduced into the dynamic pressure generating groove.
  • the bottom surface of the concave groove may be formed higher than the bottom surface of the dynamic pressure generating groove. According to this, it is difficult for the fluid to be sealed to flow back from the dynamic pressure generating groove to the concave groove, and the fluid to be sealed is unlikely to leak.
  • the concave groove may be arranged so as to overlap with the adjacent dynamic pressure generating groove in the radial direction. According to this, the sealed fluid flowing from the dynamic pressure generation groove on the upstream side in the rotation direction toward the leak side can be efficiently recovered.
  • the concave groove may be formed in an annular shape. According to this, since the concave groove is formed over the entire circumference, the fluid to be sealed that is about to leak to the leak side is easily guided into the concave groove.
  • the concave groove may be formed at the inner diameter side end of the sliding surface on one side. According to this, the centrifugal force generated by sliding makes it easy to guide the fluid to be sealed into the concave groove.
  • a concave groove extending in the circumferential direction is formed on the sliding surface of the sliding component on one side according to the present invention means that the extending direction of the concave groove has a larger component in the circumferential direction than in the radial direction. It suffices if it is formed. Further, the concave groove may be opened to the leakage side wider than the groove width of the dynamic pressure generating groove to be communicated.
  • FIG. 1 shows an example of the mechanical seal in Example 1 of this invention. It is a front view which shows the sliding surface of the static sealing ring provided with the annular groove in Example 1.
  • FIG. It is a partially enlarged schematic diagram which shows the mode in which the fluid is introduced from the annular groove into the dynamic pressure generation groove in Example 1.
  • FIG. (A) shows a partially enlarged schematic view of the sliding surface between the sliding surfaces at the time of initial sliding and the sliding surface of the static sealing ring, and (b) shows the space between the sliding surfaces at the time of initial sliding and resting.
  • a partially enlarged schematic view of the sliding surface of the sealing ring is shown. It is a partially enlarged perspective view which shows the modification of the annular groove in Example 1.
  • FIG. 1 shows a partially enlarged schematic diagram which shows the mode in which the fluid is introduced from the annular groove into the dynamic pressure generation groove in Example 1.
  • FIG. (A) shows a partially enlarged schematic view of the sliding surface between the sliding surfaces at the time of initial sliding and the sliding surface of the
  • FIG. 2 It is a front view which shows the sliding surface of the static sealing ring in Example 2.
  • FIG. 2 is a front view which shows the sliding surface of the static sealing ring in Example 3.
  • FIG. It is a front view which shows the sliding surface of the static sealing ring in Example 4.
  • FIG. It is a front view which shows the sliding surface of the static sealing ring in Example 5.
  • the sliding parts according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
  • An example in which the sliding component is a mechanical seal will be described as an example.
  • the outer diameter side of the sliding parts constituting the mechanical seal will be described as the sealed liquid side (high pressure side) as the sealed fluid side
  • the inner diameter side will be described as the atmospheric side (low pressure side) as the leakage side.
  • dots may be added to the bottom surface of the groove formed on the sliding surface in the drawings.
  • the shape of the groove shown is different from the actual shape, and the depth direction is particularly emphasized.
  • the sliding component of this embodiment is applied to a general industrial machine and is an inside type that seals a sealed fluid R that tends to leak from the outer diameter side to the inner diameter side of the sliding surface.
  • the mechanical seal 1 is provided between the rotating shaft 2 of a rotating machine such as a pump or a compressor (not shown) and the seal cover 3 fixed to the housing of the rotating machine, and is an annular stationary state fixed to the seal cover 3. It is composed of a stationary side element having a sealing ring 4 and a rotating side element having an annular rotary sealing ring 5 that rotates together with the rotating shaft 2.
  • the sliding surface S1 of the static sealing ring 4 and the sliding surface S2 of the rotary sealing ring 5 are slid closely with each other to provide a sealed fluid R on the high pressure side (hereinafter referred to as high pressure side H) in the machine.
  • the shaft is sealed so that it does not leak to the leak side (hereinafter referred to as the low pressure side L).
  • the sliding parts are not limited to those that are mechanical seals, and may be any that have a fluid interposed between the sliding surfaces, and may constitute a bearing or other machine.
  • the static sealing ring 4 and the rotary sealing ring 5 are typically formed of SiC (hard material) or a combination of SiC (hard material) and carbon (soft material), but the sliding material is not limited to this. Is applicable as long as it is used as a sliding material for mechanical seals.
  • the SiC includes a sintered body using boron, aluminum, carbon and the like as a sintering aid, and materials composed of two or more types of phases having different components and compositions, for example, SiC and SiC in which graphite particles are dispersed.
  • carbon in which carbon and graphite are mixed.
  • metal materials, resin materials, surface modification materials (coating materials), composite materials and the like can also be applied.
  • a rotating shaft 2 is inserted through the statically sealed ring 4 formed in an annular shape, and a plurality of spiral grooves 7 are formed on the sliding surface S1 by surface texturing or the like. ing.
  • the rotary sealing ring 5 arranged to face the sliding surface S1 of the static sealing ring 4 is provided so as to rotate counterclockwise (in the direction of the arrow in the drawing) with respect to the static sealing ring 4.
  • Spiral grooves 7 as dynamic pressure generating grooves extending while curving from the inner diameter side to the outer diameter side are spaced apart at equal intervals along the circumferential direction on the sliding surface S1 of the static sealing ring 4.
  • a plurality of (20 places in this embodiment) are formed, and further, an annular groove 9 as a concave groove formed in an annular shape on the inner diameter side of the spiral groove 7 is formed.
  • the annular groove 9 is formed at the inner diameter side end portion of the sliding surface S1 and is open to the low pressure side L over 360 degrees. Further, in these spiral grooves 7, the inner diameter side communicates with the annular groove 9 at the communication portion 7a, and the outer diameter side is closed at the end portion 7e (see FIG. 3).
  • the sliding surface S2 of the rotary sealing ring 5 of this embodiment is a flat surface, and the flat surface is not provided with a dynamic pressure generating groove or the like.
  • the sliding surface S1 of the static sealing ring 4 will be described in detail with reference to FIG.
  • the remaining region of the sliding surface S1 except for the spiral groove 7 and the annular groove 9 is a flat land portion 8.
  • the annular groove 9 is formed of a bottom surface 9b parallel to the land portion 8 and a side surface 9c on the outer diameter side, and the bottom surface 9b and the side surface 9c are arranged so as to be orthogonal to each other.
  • an open portion 9a having a shape in which the inner side surface 4A of the static sealing ring 4 is cut out is formed.
  • the spiral groove 7 is formed of a communication portion 7a communicating with the annular groove 9, a bottom surface 7b parallel to the land portion 8, an arcuately curved outer surface 7c and an inner surface 7d, and a terminal portion 7e.
  • the outer surface 7c and the inner surface 7d which are curved at equal intervals, are gradually narrowed as they extend toward the outer diameter side at the end portion 7e continuous with them. From this, the positive pressure of the sealed fluid R flowing into the spiral groove 7 increases particularly near the end portion 7e, and the sliding surface S1 of the static sealing ring 4 and the sliding surface S2 of the rotary sealing ring 5 A liquid film is formed between the sliding surfaces by separating the surfaces of the above.
  • the bottom surface 9b of the annular groove 9, the communication portion 7a which is the boundary between the annular groove 9 and the spiral groove 7, and the bottom surface 7b of the spiral groove 7 are formed at the same depth, and the annular groove is formed.
  • the sealed fluid R can easily flow into the spiral groove 7 from 9.
  • the land portion 8 includes an inner land portion 8b formed between adjacent spiral grooves 7 and an outer land portion 8a connected to the inner land portion 8b and formed in an annular shape at the outer diameter side end portion of the sliding surface S1. Is formed from.
  • the inner land portion 8b and the outer land portion 8a are formed at substantially the same height, and when the sliding surface S1 of the static sealing ring 4 and the sliding surface S2 of the rotary sealing ring 5 are slid, the inner land portion 8b and the outer land portion 8a are formed at substantially the same height.
  • the mode of the sealed fluid R at the time of sliding between the static sealing ring 4 and the rotary sealing ring 5 will be schematically described with reference to FIGS. 4A and 4B.
  • the sliding surface S1 and the sliding surface S2 are in contact with each other, and the fluid (atmosphere, etc.) on the low pressure side L is introduced into the plurality of spiral grooves 7 of the static sealing ring 4 by sliding.
  • a slight positive pressure is generated between the sliding surfaces.
  • FIG. 4A a slight gap is formed between the sliding surface S1 and the sliding surface S2, and the sealed fluid R on the high pressure side H flows from the sliding surface due to the pressure difference. It will flow in between.
  • the sealed fluid R passes through the outer land portion 8a of the land portion 8 and gradually moves between the surfaces of the rotary sealing ring 5 and the inner land portion 8b of the sliding surface S1 of the static sealing ring 4 toward the inner diameter side. A part of the sealed fluid R flows into the spiral groove 7.
  • the sealed fluid R reaches the annular groove 9 on the inner diameter side of the spiral groove 7. That is, the sealed fluid R is formed between the sliding surface S2 and the annular groove 9 which are separated from the gap between the sliding surface S1 and the sliding surface S2 which are slightly axially separated from each other in the axial direction. Due to the gap with the bottom surface 9b, the sealed fluid R between the sliding surfaces is positively guided into the annular groove 9. At this time, in this embodiment, since the opening portion 9a opened to the inner diameter side is formed in the annular groove 9, the centrifugal force generated by the sliding between the rotary sealing ring 5 and the static sealing ring 4 and the centrifugal force described later will be described later.
  • the sealed fluid R in the annular groove 9 is attracted to the side surface 9c side on the outer diameter side, so that the sealed fluid R does not easily leak from the annular groove 9 to the low pressure side L, and the ring is formed. It is easy to collect in the spiral groove 7 communicating with the outer diameter side of the groove 9.
  • the annular groove 9 having the opening portion 9a opened to the inner diameter side is formed on the inner side surface 4A side of the spiral groove 7 of the static sealing ring 4, the sliding surfaces are separated from each other.
  • the intervening sealed fluid R which is not particularly introduced into the spiral groove 7, can be guided into the annular groove 9 on the innermost inner diameter side. That is, the sealed fluid R that has conventionally leaked to the low pressure side L (leakage side) can be introduced into the spiral groove 7 via the annular groove 9, and from this, the sealed fluid can be introduced.
  • the outflow of R to the low pressure side L is reduced, and the recovery rate of the sealed fluid R that is about to leak can be improved.
  • a plurality of dynamic pressure generating grooves extending from the low pressure side L to the high pressure side H are provided on the sliding surface S1 of the static sealing ring 4 as one of the sliding parts in the mechanical seal 1 as a pair of sliding parts.
  • the sliding surface S1 is formed with an annular groove 9 as a concave groove extending in the circumferential direction and open to the low pressure side L. Since the annular groove 9 is communicated with the spiral groove 7, the sealed fluid R leaking to the low pressure side L on the land portion 8 for partitioning the adjacent spiral groove 7 is guided by the annular groove 9 and is circular. Since the sealed fluid R guided to the groove 9 is introduced into the spiral groove 7, the lubricity is excellent, the recovery rate of the sealed fluid R is high, and leakage to the low pressure side L is prevented.
  • the bottom surface 9b of the annular groove 9 is formed at the same depth as the bottom surface 7b of the spiral groove 7, so that the annular groove 9 is formed.
  • the sealed fluid R inside is easily introduced into the spiral groove 7.
  • annular groove 9 is formed in an annular shape, the annular groove 9 is formed over the entire circumference of the sliding surface S1 on one side, so that the fluid to be sealed that tends to leak to the low pressure side L. R is easily guided in the annular groove 9.
  • annular groove 9 is formed at the inner diameter side end of the sliding surface S1 on one side, it is easy to guide the sealed fluid R into the annular groove 9 by the centrifugal force generated by sliding. ..
  • the statically sealed ring 14 of the second embodiment includes a ring groove 90 having a bottom surface 90b shallower than the bottom surface 9b of the ring groove 9 described in the first embodiment. That is, the bottom surface 90b of the annular groove 90 is formed higher than the bottom surface 7b of the spiral groove 7. Further, the annular groove 90 is formed at the end portion on the inner diameter side of the sliding surface S1 and is open to the low pressure side L over 360 degrees. Further, as in the first embodiment, all the spiral grooves 7 communicate with the annular groove 90, and the communicating portion 7a is a part of the inner side surface 7d that hangs substantially vertically from the bottom surface 90b of the annular groove 90. Is formed.
  • bottom surface 90b of the annular groove 90 is formed at a constant depth over the entire circumference.
  • the sealed fluid R does not easily flow back from the spiral groove 7 to the annular groove 90, and the sealed fluid R is less likely to leak to the low pressure side L.
  • Example 2 of the sliding component according to the present invention will be described with reference to FIG.
  • the same components as those shown in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
  • a plurality of spiral grooves 27 are grouped in a bundle, and the spiral groove group 27A as one group.
  • ⁇ 27E are provided in a plurality of groups (5 groups in this embodiment) at regular intervals in the circumferential direction.
  • a wide land portion 18b formed wider in the circumferential direction than the inner land portion 8b formed between the adjacent spiral grooves 27 is formed in the circumferential direction. It is provided in 5 places.
  • a negative pressure generating groove 28 is formed on the outer diameter side of each of the wide land portions 18b so as to be curved from the outer diameter side end portion of the static sealing ring 24 toward the inner diameter side.
  • the outer land portion 18a is separated in the circumferential direction due to the formation of the negative pressure generating groove 28, and is arranged at 5 equal parts at the outer diameter side end portion. That is, on the sliding surface of the static sealing ring 24, the outer land portion 18a, the inner land portion 8b, and the wide land portion are formed in the remaining regions except the spiral groove groups 27A to 27E, the annular groove 9, and the negative pressure generating groove 28. 18b are formed in succession at the same height.
  • the outer diameter side end 28a of the negative pressure generating groove 28 is open to the high pressure side H so that the sealed fluid R on the high pressure side H is introduced during sliding to generate a negative pressure between the sliding surfaces. It has become. Further, in the second embodiment, the depths of the bottom surfaces of the annular groove 9, the spiral groove 27, and the negative pressure generating groove 28 are the same.
  • Example 3 of the sliding component according to the present invention will be described with reference to FIG.
  • the same components as those shown in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
  • the statically sealed ring 34 of the third embodiment is separated at predetermined intervals in the circumferential direction, unlike the annular groove 9 having an annular shape in the first and second embodiments.
  • the arc grooves 19A to 19E are independent of each other, and in the third embodiment, the arc grooves 19A to 19E are equally arranged on the innermost inner diameter side of the static sealing ring 34, and the open portion 19a opened to the low pressure side L is provided.
  • Each of the arc grooves 19A to 19E is communicated with a spiral groove 37 extending in the circumferential direction, and in the third embodiment, a plurality of arc grooves 19A to 19E (seven in the present embodiment) are communicated with each other.
  • Spiral grooves 37 are formed from the inner diameter side to the outer diameter side, and a plurality of groups (5 groups in this embodiment) are equally arranged at regular intervals in the circumferential direction to form spiral groove groups 37A to 37E. Further, the arc grooves 19A to 19E and the spiral groove groups 37A to 37E are formed at the same depth.
  • a wide land portion 28b formed wider in the circumferential direction than the inner land portion 8b formed between the adjacent spiral grooves 27 is formed in the circumferential direction. It is provided in 5 places. Further, between the arc grooves 19A to 19E adjacent to each other in the circumferential direction, an inner end land portion 28c connected to the inner diameter side end portion of the wide land portion 28b is formed, so that the arc grooves 19A to 19E rotate around each other. It is designed to be separated in the direction.
  • the outer land portion 8a, the inner land portion 8b, the wide land portion 28b, and the inner end land are provided in the remaining regions except for the spiral groove groups 37A to 37E and the arc grooves 19A to 19E.
  • the portions 28c are formed in succession at the same height.
  • the arc groove 19B communicating with the spiral groove group 37B extends in communication with the arc groove 19A on the upstream side adjacent to the arc groove 19B. It is arranged so as to overlap with the plurality of spiral groove groups 37A in the radial direction.
  • the arc groove 19B is arranged so as to overlap the spiral groove group 37A extending from the adjacent arc groove 19A in the radial direction, it is extended from the arc groove 19A on the upstream side in the rotation direction.
  • the sealed fluid R flowing from the spiral groove 37A over the wide land portion 28b toward the low pressure side L can be efficiently collected in the arc groove 19B on the downstream side.
  • Example 4 of the sliding component according to the present invention will be described with reference to FIG.
  • the same components as those shown in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
  • the inner diameter side of the sliding component will be referred to as the fluid to be sealed (high pressure side H) and the outer diameter side will be referred to as the leakage side (low pressure side L), and the sliding portion between the rotary sealing ring and the static sealing ring will be described.
  • the static sealing ring 44 capable of sealing the sealed fluid R that is about to leak from the inner diameter side to the outer diameter side will be described.
  • a plurality of spiral grooves 47 extending while curving from the outer diameter side to the inner diameter side are formed along the circumferential direction ( In this embodiment, 20 points) are formed, and an annular groove 29 formed in an annular shape is formed on the outer diameter side of the spiral groove 47.
  • the annular groove 29 is formed at the outer diameter side end portion, and an open portion 29a opened over 360 degrees is formed on the low pressure side L. Further, the outer diameter side of these spiral grooves 47 communicates with the annular groove 29, and the inner diameter side is closed. In addition, the annular groove 29 and the spiral groove 47 are formed at the same depth.
  • the inner land portion 38b formed between the adjacent spiral grooves 47 and the inner ring land portion 38a formed in an annular shape at the inner peripheral side end portion are formed. , It is formed continuously at a constant height.
  • the annular groove 29 extending in the circumferential direction and open to the low pressure side L is formed on the sliding surface of the static sealing ring 44, and the annular groove 29 is the spiral groove 47. Since they are communicated with each other, the sealed fluid R leaking to the low pressure side L on the land portion 38 partitioning the spiral groove 47 is guided by the annular groove 29, and the sealed fluid R guided by the annular groove 29 is spiral. Since it is introduced into the groove 47, it has excellent lubricity, the recovery rate of the sealed fluid R is high, and leakage to the low pressure side L is prevented.
  • Example 5 of the sliding component according to the present invention will be described with reference to FIG.
  • the same components as those shown in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
  • the static sealing ring 54 slides relative to a rotating sealing ring (not shown) that rotates in both directions in the circumferential direction.
  • annular groove 39 formed at the inner diameter side end portion and opened 360 degrees to the low pressure side L on the sliding surface of the static sealing ring 54 of the fifth embodiment.
  • a plurality of groove portions 50 that communicate with the annular groove 39 and are separated from each other in the circumferential direction are formed.
  • Each groove 50 has a central groove 50A having an open portion 51 communicating with the annular groove 39 and extending in the circumferential direction, and each groove 50A extends linearly from one end in the circumferential direction of the central groove 50A so as to be inclined in the radial direction.
  • first side groove 50B and a second side groove 50C extending linearly from the other end in the circumferential direction of the central groove 50A so as to be inclined in the radial direction. Further, the annular groove 39 and the groove portion 50 are formed at the same depth.
  • the end portion 50D of the first gutter 50B is formed at an acute angle toward the circumferential direction
  • the end portion 50E of the second gutter 50C is formed at an acute angle toward the circumferential direction. That is, the groove portion 50 is formed line-symmetrically with reference to the virtual line P2 extending in the radial direction through the center in the circumferential direction of the central groove 50A. Further, the remaining region excluding the annular groove 39 and the groove portion 50 is a flat land portion 48, which is continuously formed at the same height.
  • the sealed fluid R that passes through the land portion 48 between the sliding surfaces on the inner diameter side is guided by the annular groove 39 formed at the inner diameter side end portion, and is introduced into the groove portion 50. ..
  • the groove portion 50 is formed line-symmetrically with respect to the virtual line P2, it can be used not only in the relative rotation direction between the static sealing ring 54 and the rotary sealing ring 5, and the annular groove 39 is formed. Therefore, the recovery rate of the sealed fluid R is high.
  • the annular groove and the arc groove as the concave groove and the spiral groove and the groove portion as the dynamic pressure generating groove have the same depth, but the depth is not limited to this, and the first embodiment is not limited to this.
  • the concave groove and the dynamic pressure generating groove may have different depths.
  • bottom surface 9b of the annular groove 9 and the bottom surface 7b of the spiral groove 7 are parallel to the land portion 8, but the present invention is not limited to this, and the bottom surface 9b may be inclined toward the inner diameter side or the outer diameter side. Good.
  • the width of the annular groove 9 in the radial direction does not have to be the same width over the entire circumference.
  • annular groove 9 was formed at the end on the inner diameter side of the static sealing ring 4, it was decided to provide it near the center in addition to the end on the inner diameter side, and the sliding surface was double-circular. A ring groove may be provided.
  • the annular groove 9 and the spiral groove 7 are formed in the static sealing ring 4, but the present invention is not limited to this, and the rotary sealing ring is provided with the annular groove and the spiral groove to be stationary.
  • the sliding surface of the sealing ring may be a flat surface.

Landscapes

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Abstract

潤滑性に優れ被密封流体の回収率が高い、摺動部品を提供する。　一対の摺動部品としてのメカニカルシール１におけるいずれか一方の摺動部品としての静止密封環４の摺動面Ｓ１に、低圧側Ｌから高圧側Ｈに延びる複数の動圧発生溝としてのスパイラル溝７が形成されているメカニカルシール１であって、摺動面Ｓ１には、周方向に延びかつ低圧側Ｌに開放された凹溝としての円環溝９が形成されており、円環溝９は、スパイラル溝７と連通されている。

Description

摺動部品
　本発明は、例えば、メカニカルシール、軸受、その他、摺動面間に流体を介在させる摺動部品に関する。
　摺動部品の性能は漏れ量、摩耗量によって評価されることが多い。従来、摺動面間に流体を介在させて摩擦係数を低減させるものが知られている。近年の環境問題に対する意識の高まりから、メカニカルシールの回転密封環の摺動面に動圧発生溝を設けたものがある。動圧発生溝で発生した正の動圧（以下、単に正圧、動圧ともいう。）によって摺動面間が僅かに離間され、摺動面間に被密封流体が導かれて該摺動面間に流体膜が形成され、摩擦係数が低減される。
　また、動圧発生溝の開口を漏れ側に配置することで、低摩擦でありながら密封と潤滑を両立するものが提案されている（例えば特許文献１参照）。特許文献１のメカニカルシールにおいては、静止密封環の摺動面にその開放端が低圧側に開放されその閉塞端が高圧側に配置され閉塞された複数のスパイラル溝が周方向に等配されている。静止密封環の相対回転時には、スパイラル溝の開放端から漏れ側の流体を吸込み、閉塞端及びその近傍にて正圧を発生させることができるため、漏れ側に漏れ出ようとする被密封流体を閉塞端及びその近傍から摺動面間に流出させることで回収できるようになっている。
特許第６４４４４９２号公報（第４頁、第２図）
　しかしながら、特許文献１のスパイラル溝は、略等幅に形成され、複数が摺動面の周方向に等配されており、漏れ側にはスパイラル溝の開口端と隣接するスパイラル溝間のランドが交互に配置された構造となっていることから、被密封流体がスパイラル溝に進入することなく隣接するスパイラル溝間のランドの箇所から漏れ側の空間に漏れ出る虞があり、被密封流体の回収率が低かった。
　本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、潤滑性に優れ被密封流体の回収率が高い摺動部品を提供することを目的とする。
　前記課題を解決するために、本発明の摺動部品は、
　一対の摺動部品におけるいずれか一方の摺動部品の摺動面に、漏れ側から被密封流体側に延びる複数の動圧発生溝が形成されている摺動部品であって、
　前記一方の摺動面には、周方向に延びかつ漏れ側に開放された凹溝が形成されており、
　前記凹溝は、前記動圧発生溝と連通されている。
　これによれば、隣接する動圧発生溝を区画するランド上を漏れ側に漏れる被密封流体は凹溝に案内され、凹溝に案内された被密封流体は動圧発生溝に導入されるので、潤滑性に優れ被密封流体の回収率が高く、被密封流体が漏れ側に漏れることが防止される。
　前記凹溝と前記動圧発生溝の境界において、前記凹溝の底面は、前記動圧発生溝の底面と同一深さで形成されていてもよい。
　これによれば、凹溝内の被密封流体が動圧発生溝に導入され易い。
　前記凹溝と前記動圧発生溝の境界において、前記凹溝の底面は、前記動圧発生溝の底面よりも高く形成されていてもよい。
　これによれば、被密封流体が動圧発生溝から凹溝に逆流し難く、被密封流体が漏れにくい。
　前記凹溝は、隣接する前記動圧発生溝と、径方向に重なって配設されていてもよい。
　これによれば、回転方向上流側の動圧発生溝から漏れ側に向けて流れる被密封流体を効率よく回収させることができる。
　前記凹溝は、環状に形成されていてもよい。
　これによれば、凹溝が全周に亘り形成されるので、漏れ側に漏出しようとする被密封流体は凹溝内に案内され易い。
　前記凹溝は、前記一方側の摺動面の内径側端部に形成されていてもよい。
　これによれば、摺動により発生する遠心力により、被密封流体を凹溝内に案内させ易い。
　尚、本発明に係る一方側の摺動部品の摺動面に、周方向に延びる凹溝が形成されているというのは、凹溝の延在方向が径方向よりも周方向の成分が大きく形成されていればよい。また、凹溝は、連通される動圧発生溝の溝幅よりも幅広に漏れ側に開放されていればよい。
本発明の実施例１におけるメカニカルシールの一例を示す断面図である。 実施例１における円環溝を備えた静止密封環の摺動面を示す正面図である。 実施例１における円環溝から動圧発生溝へ流体が導入される態様を示す一部拡大模式図である。 （ａ）は、初期摺動時の摺動面間と静止密封環の摺動面の一部拡大模式図を示し、（ｂ）は初期摺動時よりも時間経過した摺動面間と静止密封環の摺動面の一部拡大模式図を示す。 実施例１における円環溝の変形例を示す一部拡大斜視図である。 実施例２における静止密封環の摺動面を示す正面図である。 実施例３における静止密封環の摺動面を示す正面図である。 実施例４における静止密封環の摺動面を示す正面図である。 実施例５における静止密封環の摺動面を示す正面図である。
　本発明に係る摺動部品を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
　実施例１に係る摺動部品につき、図１から図４を参照して説明する。摺動部品がメカニカルシールである形態を例に挙げ説明する。また、メカニカルシールを構成する摺動部品の外径側を被密封流体側としての被密封液体側（高圧側）、内径側を漏れ側としての大気側（低圧側）として説明する。また、説明の便宜上、図面において、摺動面に形成される溝の底面等にドットを付すこともある。また、図示された溝の形状は、実際の形状とは異なり、特に深さ方向は強調して示している。
　図１に示されるように、本実施例の摺動部品は、一般産業機械に適用され、摺動面の外径側から内径側に向かって漏れようとする被密封流体Ｒを密封するインサイド形のメカニカルシール１である。メカニカルシール１は、図示しないポンプやコンプレッサ等の回転機械の回転軸２と当該回転機械のハウジングに固定されるシールカバー３の間に設けられており、シールカバー３に固定された円環状の静止密封環４を有する静止側要素と、回転軸２とともに回転する円環状の回転密封環５を有する回転側要素とで構成されている。メカニカルシール１は、静止密封環４の摺動面Ｓ１と回転密封環５の摺動面Ｓ２を互いに密接摺動させ、機内の高圧側（以下、高圧側Ｈと称する）の被密封流体Ｒを軸封し、漏れ側（以下、低圧側Ｌと称する）へ漏らすことの無いようになっている。
　尚、摺動部品は、メカニカルシールであるものに限られず、摺動面間に流体を介在させるものであればよく、軸受、その他の機械を構成するものであってもよい。
　静止密封環４及び回転密封環５は、代表的にはＳｉＣ（硬質材料）同士またはＳｉＣ（硬質材料）とカーボン（軟質材料）との組み合わせで形成されるが、これに限らず、摺動材料はメカニカルシール用摺動材料として使用されているものであれば適用可能である。尚、ＳｉＣとしては、ボロン、アルミニウム、カーボン等を焼結助剤とした焼結体をはじめ、成分、組成の異なる２種類以上の相からなる材料、例えば、黒鉛粒子の分散したＳｉＣ、ＳｉＣとＳｉからなる反応焼結ＳｉＣ、ＳｉＣ－ＴｉＣ、ＳｉＣ－ＴｉＮ等があり、カーボンとしては、炭素質と黒鉛質の混合したカーボンをはじめ、樹脂成形カーボン、焼結カーボン等が利用できる。また、上記摺動材料以外では、金属材料、樹脂材料、表面改質材料（コーティング材料）、複合材料等も適用可能である。
　図１，２に示されるように、環状に形成された静止密封環４には、回転軸２が挿通されており、その摺動面Ｓ１には表面テクスチャリング等によりスパイラル溝７が複数形成されている。尚、この静止密封環４の摺動面Ｓ１に対向配置される回転密封環５は、静止密封環４に対し、反時計回り（図示矢印方向）に回転するように設けられている。
　静止密封環４の摺動面Ｓ１には、内径側から外径側に向けて湾曲しながら延設された動圧発生溝としてのスパイラル溝７が、周方向に沿って等間隔に離間して複数（本実施例においては２０箇所）形成されており、更にそれらのスパイラル溝７よりも内径側にて円環状に形成された凹溝としての円環溝９が形成されている。円環溝９は、摺動面Ｓ１の内径側端部に形成されており低圧側Ｌに３６０度に亘って開放されている。また、これらのスパイラル溝７は、その内径側が連通部７ａにて円環溝９と連通し、外径側は終端部７ｅにて閉塞している（図３参照）。
　尚、本実施例の回転密封環５の摺動面Ｓ２は、平坦面となっており、この平坦面には動圧発生溝等は設けられていない。
　図３を用いて静止密封環４の摺動面Ｓ１について詳しく説明する。摺動面Ｓ１におけるスパイラル溝７と円環溝９を除く残りの領域は平坦なランド部８となっている。また、円環溝９は、ランド部８に平行な底面９ｂと外径側の側面９ｃとから形成されており、底面９ｂと側面９ｃとは直交するように配設されている。円環溝９の内径側は、静止密封環４の内側面４Ａが切欠かれた形状の開放部９ａが形成されている。
　スパイラル溝７は、円環溝９に連通する連通部７ａと、ランド部８に平行な底面７ｂと、円弧状に湾曲された対向する外側面７ｃ及び内側面７ｄと、終端部７ｅとから形成されており、等間隔離間して湾曲される外側面７ｃ及び内側面７ｄが、これらに連続する終端部７ｅにて外径側に延びるにつれて漸次狭まるようになっている。このことから、スパイラル溝７内に流入される被密封流体Ｒは、特に終端部７ｅ近傍で正圧が高まり、静止密封環４の摺動面Ｓ１と、回転密封環５の摺動面Ｓ２との面間を離間させ摺動面間に液膜が形成されるようになっている。
　また、円環溝９の底面９ｂと、円環溝９とスパイラル溝７との境界である連通部７ａと、スパイラル溝７の底面７ｂとは、同一深さで形成されており、円環溝９からスパイラル溝７へ被密封流体Ｒが流入しやすいようになっている。
　ランド部８は、隣接するスパイラル溝７間に形成された内ランド部８ｂと、この内ランド部８ｂに連なり摺動面Ｓ１の外径側端部に環状に形成された外ランド部８ａと、から形成されている。内ランド部８ｂと、外ランド部８ａとは略同じ高さに形成されており、静止密封環４の摺動面Ｓ１と、回転密封環５の摺動面Ｓ２との摺動時においては、スパイラル溝７により正圧が発生されることにより、摺動面Ｓ１，Ｓ２間の潤滑性が得られる。
　次に、図４（ａ），（ｂ）を用いて静止密封環４と回転密封環５との摺動時における被密封流体Ｒの態様を模式的に説明する。摺動初期段階においては、摺動面Ｓ１と摺動面Ｓ２とが当接しており、摺動によって低圧側Ｌの流体（大気等）が静止密封環４の複数のスパイラル溝７に導入されることで、摺動面間に僅かながら正圧が生じるようになる。このことから、図４（ａ）に示されるように、摺動面Ｓ１と摺動面Ｓ２との間の僅かな間隙が形成され、圧力差から高圧側Ｈの被密封流体Ｒが摺動面間に流入されるようになる。被密封流体Ｒは、ランド部８の外ランド部８ａを通過し、回転密封環５と静止密封環４の摺動面Ｓ１の内ランド部８ｂとの面間を内径側に向けて徐々に移動するようになっており、被密封流体Ｒの一部はスパイラル溝７内に流入される。
　このとき、スパイラル溝７に流入された一部の被密封流体Ｒは、回転密封環５の回転によって終端部７ｅに向けて流れるようになり、正圧が高まることで摺動面間に供給され、摺動面間の潤滑性が高まるにつれてスパイラル溝７内が被密封流体Ｒで満たされるようになる。
　次に、図４（ｂ）に示されるように、被密封流体Ｒはスパイラル溝７よりも内径側の円環溝９に到達する。すなわち、被密封流体Ｒは、僅かに軸方向に離間する摺動面Ｓ１と摺動面Ｓ２との隙間から、この隙間よりも軸方向に幅広に離間した摺動面Ｓ２と円環溝９の底面９ｂとの隙間により摺動面間の被密封流体Ｒが積極的に円環溝９内に案内されるようになる。このとき、本実施例では、円環溝９に内径側に開放された開放部９ａが形成されているため、回転密封環５と静止密封環４との摺動により発生する遠心力や後述する負圧によって、円環溝９内の被密封流体Ｒは外径側の側面９ｃ側に引き寄せられるようになるので、円環溝９から被密封流体Ｒが低圧側Ｌに漏出しにくく、円環溝９の外径側に連通するスパイラル溝７に回収され易くなっている。
　また、上述したようにスパイラル溝７の終端部７ｅ近傍は正圧が発生していることから、スパイラル溝７と連通する連通部７ａには、負圧が発生しており、円環溝９を流れる被密封流体Ｒを、連通部７ａに引き込むように導入するようになっている。導入された被密封流体Ｒは、終端部７ｅへ向けて順次流れるようになっている。
　上述したように、静止密封環４のスパイラル溝７よりも内側面４Ａ側に、内径側に開放された開放部９ａを備えた円環溝９が形成されていることにより、摺動面間に介在する被密封流体Ｒであって、特にスパイラル溝７内に導入されなかった被密封流体Ｒを最も内径側の円環溝９内へ案内させることができる。すなわち、従来、低圧側Ｌ（漏れ側）へ漏れ出ていた被密封流体Ｒを円環溝９を介し、スパイラル溝７内へ導入させることができるようになっており、このことから被密封流体Ｒの低圧側Ｌへの流出が減り、漏れようとする被密封流体Ｒの回収率を向上させることができるようになっている。
　このように、一対の摺動部品としてのメカニカルシール１におけるいずれか一方の摺動部品としての静止密封環４の摺動面Ｓ１に、低圧側Ｌから高圧側Ｈに延びる複数の動圧発生溝としてのスパイラル溝７が形成されているメカニカルシール１であって、摺動面Ｓ１には、周方向に延びかつ低圧側Ｌに開放された凹溝としての円環溝９が形成されており、円環溝９は、スパイラル溝７と連通されていることから、隣接するスパイラル溝７を区画するランド部８上を低圧側Ｌに漏れる被密封流体Ｒは円環溝９に案内され、円環溝９に案内された被密封流体Ｒはスパイラル溝７に導入されるので、潤滑性に優れ被密封流体Ｒの回収率が高く、低圧側Ｌに漏れることが防止される。
　また、円環溝９とスパイラル溝７の境界としての連通部７ａにおいて、円環溝９の底面９ｂは、スパイラル溝７の底面７ｂと同一深さで形成されていることから、円環溝９内の被密封流体Ｒがスパイラル溝７に導入され易い。
　また、円環溝９は、環状に形成されていることから、円環溝９が一方側の摺動面Ｓ１の全周に亘り形成されるので、低圧側Ｌに漏出しようとする被密封流体Ｒは円環溝９内に案内され易い。
　また、円環溝９は、一方側の摺動面Ｓ１の内径側端部に形成されていることから摺動により発生する遠心力により、被密封流体Ｒを円環溝９内に案内させ易い。
　次に、本発明に係る摺動部品の変形例について図５を参照して説明する。尚、前記実施例１に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
　図５に示されるように、実施例２の静止密封環１４は、実施例１において説明した円環溝９の底面９ｂよりも浅い底面９０ｂが形成された円環溝９０を備えている。すなわち、円環溝９０の底面９０ｂは、スパイラル溝７の底面７ｂよりも高く形成されている。また、円環溝９０は、摺動面Ｓ１内径側端部に形成されており、低圧側Ｌに３６０度に亘って開放されている。また、実施例１と同様にすべてのスパイラル溝７が円環溝９０と連通しており、その連通部７ａには、円環溝９０の底面９０ｂから略垂直に垂下する内側面７ｄの一部が形成されている。
　また、円環溝９０の底面９０ｂについては、全周に亘って一定深さで形成されている。
　このように、円環溝９０の底面９０ｂは、スパイラル溝７の底面７ｂよりも高く形成されていることから、被密封流体Ｒがスパイラル溝７から円環溝９０に逆流し難く、被密封流体Ｒが低圧側Ｌに漏れ難くなっている。
　次に、本発明に係る摺動部品の実施例２について図６を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
　図６に示されるように、実施例２の静止密封環２４においては、複数（本実施例では７本）のスパイラル溝２７が束状にグループ化されており、１グループとしてのスパイラル溝群２７Ａ～２７Ｅ同士が周方向に一定間隔離間して複数グループ（本実施例では５グループ）等配に設けられている。周方向に隣接するスパイラル溝群２７Ａ～２７Ｅ同士の間には、隣接する各スパイラル溝２７間に形成された内ランド部８ｂよりも周方向に幅広に形成された幅広ランド部１８ｂが周方向に５箇所等配に設けられている。また、それぞれの幅広ランド部１８ｂよりも外径側には、静止密封環２４の外径側端部から内径側へ向けて湾曲し穿設された負圧発生溝２８が形成されている。
　よって、外ランド部１８ａは、負圧発生溝２８が形成されていることで周方向に離間し、外径側端部に５等配されている。すなわち、静止密封環２４の摺動面には、スパイラル溝群２７Ａ～２７Ｅ、円環溝９及び負圧発生溝２８を除く残りの領域に、外ランド部１８ａ、内ランド部８ｂ及び幅広ランド部１８ｂが、同一高さで連なって形成されている。
　負圧発生溝２８の外径側端部２８ａは、高圧側Ｈに開放されており、摺動時において高圧側Ｈの被密封流体Ｒを導入させ、摺動面間に負圧を発生させるようになっている。また、実施例２においては、円環溝９、スパイラル溝２７、負圧発生溝２８の底面深さは同一となっている。
　実施例２の静止密封環２４は、平坦面が形成された摺動面Ｓ２を備える回転密封環５と摺動させると、摺動面間にスパイラル溝群２７Ａ～２７Ｅによる正圧と、負圧発生溝２８による負圧が発生することとなり、正圧による摺動面間の潤滑を保ちながら、負圧により摺動面間の離間幅を抑え、密封性を高める効果を奏するようになっている。
　次に、本発明に係る摺動部品の実施例３について図７を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
　図７に示されるように、実施例３の静止密封環３４においては、実施例１，２において円環状を成していた円環溝９とは異なり、周方向に所定間隔おきに離間され、それぞれ独立した円弧溝１９Ａ～１９Ｅとなっており、実施例３において円弧溝１９Ａ～１９Ｅは、静止密封環３４の最内径側に等配されており、低圧側Ｌに開放された開放部１９ａを有している。
　それぞれの円弧溝１９Ａ～１９Ｅは、周方向に湾曲して延設されているスパイラル溝３７と連通されており、実施例３においては、１つの円弧溝から複数（本実施例では７本）のスパイラル溝３７が内径側から外径側に向けて形成され、周方向に一定間隔離間して複数グループ（本実施例では５グループ）等配されたスパイラル溝群３７Ａ～３７Ｅが形成されている。また、円弧溝１９Ａ～１９Ｅと、スパイラル溝群３７Ａ～３７Ｅは、同一深さで形成されている。
　周方向に隣接するスパイラル溝群３７Ａ～３７Ｅ同士の間には、隣接する各スパイラル溝２７間に形成された内ランド部８ｂよりも周方向に幅広に形成された幅広ランド部２８ｂが周方向に５箇所等配に設けられている。また、周方向に隣接する円弧溝１９Ａ～１９Ｅ同士の間には、該幅広ランド部２８ｂの内径側端部に連なる内端ランド部２８ｃが形成されていることで円弧溝１９Ａ～１９Ｅ同士が周方向に離間されるようになっている。すなわち、静止密封環３４の摺動面には、スパイラル溝群３７Ａ～３７Ｅ及び円弧溝１９Ａ～１９Ｅを除く残りの領域に、外ランド部８ａ、内ランド部８ｂ、幅広ランド部２８ｂ及び内端ランド部２８ｃが、同一高さで連なって形成されている。
　また、例えば図７の径方向に延びる仮想線Ｐ１を参照して説明すると、スパイラル溝群３７Ｂと連通する円弧溝１９Ｂは、この円弧溝１９Ｂに隣接する上流側の円弧溝１９Ａと連通し延設されている複数のスパイラル溝群３７Ａと径方向に重なって配設されている。
　このことから、円弧溝１９Ｂは、隣接する円弧溝１９Ａから延設されたスパイラル溝群３７Ａと、径方向に重なって配設されているので、回転方向上流側の円弧溝１９Ａから延設されたスパイラル溝３７Ａから幅広ランド部２８ｂを越えて低圧側Ｌに向けて流れる被密封流体Ｒを下流側の円弧溝１９Ｂに効率よく回収させることができる。
　次に、本発明に係る摺動部品の実施例４について図８を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
　実施例４においては、摺動部品の内径側を被密封流体側（高圧側Ｈ）、外径側を漏れ側（低圧側Ｌ）として説明し、回転密封環と静止密封環との摺動部において、内径側から外径側に漏出しようとする被密封流体Ｒを密封することのできる静止密封環４４について説明する。
　図８に示されるように、実施例４の静止密封環４４の摺動面には、外径側から内径側に向けて湾曲しながら延設されたスパイラル溝４７が周方向に沿って複数（本実施例においては２０箇所）形成されており、それらのスパイラル溝４７よりも外径側にて円環状に形成された円環溝２９が形成されている。円環溝２９は、外径側端部に形成されており低圧側Ｌに３６０度に亘って開放された開放部２９ａが形成されている。また、これらのスパイラル溝４７は、その外径側が円環溝２９と連通し、内径側は閉塞している。加えて、円環溝２９と、スパイラル溝４７とは、同一深さで形成されている。
　スパイラル溝４７と円環溝２９を除く残りの領域は、隣接するスパイラル溝４７間に形成された内ランド部３８ｂと、内周側端部に円環状に形成された内環ランド部３８ａとが、一定高さで連なって形成されている。
　上述した実施例４の構成により、静止密封環４４の摺動面に周方向に延びかつ低圧側Ｌに開放された円環溝２９が形成されており、円環溝２９は、スパイラル溝４７と連通されていることから、スパイラル溝４７を区画するランド部３８上を低圧側Ｌに漏れる被密封流体Ｒは円環溝２９に案内され、円環溝２９に案内された被密封流体Ｒはスパイラル溝４７に導入されるので、潤滑性に優れ被密封流体Ｒの回収率が高く、低圧側Ｌに漏れることが防止されるようになっている。
　次に、本発明に係る摺動部品の実施例５について図９を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。実施例５では、静止密封環５４は、周方向に両方に回転する回転密封環（図示略）と相対摺動するものである。
　図９に示されるように、実施例５の静止密封環５４の摺動面には、内径側端部に形成され、低圧側Ｌに３６０度に亘って開放された円環状の円環溝３９と、該円環溝３９に連通するとともに周方向に互いに離間する複数の溝部５０とが形成されている。それぞれの溝部５０は、円環溝３９に連通する開放部５１を有し周方向に延びる中央溝５０Ａと、中央溝５０Ａの周方向一端部から径方向に傾斜して直線状に延設される第一側溝５０Ｂと、中央溝５０Ａの周方向他端部から径方向に傾斜して直線状に延設される第二側溝５０Ｃと、を備えている。また、円環溝３９と、溝部５０とは同一深さで形成されている。
　第一側溝５０Ｂは、その終端部５０Ｄが周方向に向かって鋭角に形成されており、同様に第二側溝５０Ｃは、その終端部５０Ｅが周方向に向かって鋭角に形成されている。すなわち、溝部５０は、中央溝５０Ａの周方向の中心を通り径方向に延びる仮想線Ｐ２を基準に線対称に形成されている。また、円環溝３９と溝部５０を除く残りの領域は平坦なランド部４８となっており、同一高さで連なって形成されている。
　図９において例えば実線矢印で示されるように、静止密封環５４に対して回転密封環（図示略）が紙面反時計回り方向に回転すると、溝部５０内の低圧側Ｌの被密封流体Ｒが第一側溝５０Ｂの終端部５０Ｄに向けて収束されて摺動面間に流出するようになっている。
　一方、図９において点線矢印で示されるように、静止密封環５４に対して回転密封環（図示略）が紙面時計回り方向に回転すると、溝部５０内の低圧側Ｌの被密封流体Ｒが第二側溝５０Ｃの終端部５０Ｅに向けて収束されて摺動面間に流出するようになっている。
　摺動面間のランド部４８を内径側に通過する被密封流体Ｒは、内径側端部に形成された円環溝３９に案内されることとなり、溝部５０へ導入されるようになっている。
　このように、溝部５０は、仮想線Ｐ２を基準に線対称に形成されているので、静止密封環５４と回転密封環５との相対回転方向に限られず使用でき、円環溝３９が形成されているので、被密封流体Ｒの回収率が高い。
　以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例１～５及び変形例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
　例えば、前記実施例２～５では、凹溝としての円環溝と円弧溝と、動圧発生溝としてのスパイラル溝及び溝部とが同一深さだと説明したが、これに限られず、実施例１の変形例に示したように、凹溝と、動圧発生溝とを異なる深さとしてもよい。
　また、円環溝９の底面９ｂと、スパイラル溝７の底面７ｂは、ランド部８と平行であると説明したが、この限りではなく、内径側または外径側に傾斜させ配設させてもよい。
　また、円環溝９の径方向の幅は、全周に亘り等幅でなくてもよい。
　また、円環溝９は静止密封環４の内径側の端部に形成されていたが、内径側の端部に加えて、中央部近傍にも設けることとし、摺動面に二重に円環溝を設けることとしてもよい。
　また、前記実施例においては、円環溝９及びスパイラル溝７は静止密封環４に形成されていると説明したが、この限りではなく、回転密封環に円環溝及びスパイラル溝を設け、静止密封環の摺動面を平坦面にすることとしてもよい。
１　　　　　　　　メカニカルシール（摺動部品）
２　　　　　　　　回転軸
３　　　　　　　　シールカバー
４　　　　　　　　静止密封環
５　　　　　　　　回転密封環
７　　　　　　　　スパイラル溝（動圧発生溝）
７ａ　　　　　　　連通部
８　　　　　　　　ランド部
８ａ　　　　　　　外ランド部
８ｂ　　　　　　　内ランド部
９　　　　　　　　円環溝（凹溝）
９ａ　　　　　　　開放部
１４　　　　　　　静止密封環
１９Ａ～１９Ｅ　　円弧溝（凹溝）
２４　　　　　　　静止密封環
２７　　　　　　　スパイラル溝（動圧発生溝）
２７Ａ～２７Ｅ　　スパイラル溝群
２８　　　　　　　負圧発生溝
２９　　　　　　　円環溝（凹溝）
３４　　　　　　　静止密封環
３７　　　　　　　スパイラル溝（動圧発生溝）
３７Ａ～Ｅ　　　　スパイラル溝群
３９　　　　　　　円環溝（凹溝）
４４　　　　　　　静止密封環
４７　　　　　　　スパイラル溝（動圧発生溝）
５０　　　　　　　溝部（動圧発生溝）
５４　　　　　　　静止密封環
９０　　　　　　　円環溝（凹溝）

Claims (6)

  1. 　一対の摺動部品におけるいずれか一方の摺動部品の摺動面に、漏れ側から被密封流体側に延びる複数の動圧発生溝が形成されている摺動部品であって、
    　前記一方の摺動面には、周方向に延びかつ漏れ側に開放された凹溝が形成されており、
    　前記凹溝は、前記動圧発生溝と連通されている摺動部品。
  2. 　前記凹溝と前記動圧発生溝の境界において、前記凹溝の底面は、前記動圧発生溝の底面と同一深さで形成されている請求項１に記載の摺動部品。
  3. 　前記凹溝と前記動圧発生溝の境界において、前記凹溝の底面は、前記動圧発生溝の底面よりも高く形成されている請求項１に記載の摺動部品。
  4. 　前記凹溝は、隣接する前記動圧発生溝と、径方向に重なって配設されている請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の摺動部品。
  5. 　前記凹溝は、環状に形成されている請求項１ないし４のいずれかに記載の摺動部品。
  6. 　前記凹溝は、前記一方側の摺動面の内径側端部に形成されている請求項１ないし５のいずれかに記載の摺動部品。
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