WO2021205666A1

WO2021205666A1 - 潤滑剤封止構造、波動歯車装置およびアクチュエータ

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Publication number: WO2021205666A1
Application number: PCT/JP2020/016208
Authority: WO
Inventors: 大介折井; 修平小林
Original assignee: Harmonic Drive Systems Inc
Current assignee: Harmonic Drive Systems Inc
Priority date: 2020-04-10
Filing date: 2020-04-10
Publication date: 2021-10-14
Anticipated expiration: 2022-10-10
Also published as: EP4134573A1; KR20220129051A; CN115335619A; US11885403B2; TW202204787A; JPWO2021205666A1; KR102705770B1; TWI885064B; CN115335619B; EP4134573A4; US20230093559A1; EP4134573B1

Abstract

波動歯車装置（１）は、中空入力軸（４）と端板（２）の間の隙間部分（２１）を通って、潤滑剤が外部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造を備えている。潤滑剤封止構造は、隙間部分（２１）に面する表面部分に形成した撥油面と、隙間部分（２１）を封止するオイルシール（２０）と、オイルシール（２０）のリップ先端面（２０ｃ）に形成した油膜形成面とを備えている。撥油面は、潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。油膜形成面は、シールリップ用グリースによる油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。

Description

潤滑剤封止構造、波動歯車装置およびアクチュエータ

　本発明は、波動歯車装置、波動歯車装置およびモータを備えたアクチュエータ、その他の機械装置に用いる潤滑剤封止構造に関する。更に詳しくは、中心軸線回りに相対的に回転する第１部材および第２部材の間を通って、潤滑剤が、装置の内部から外部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造に関する。

　波動歯車装置等の歯車装置においては、固定側の装置ハウジングに対して、隙間を介して、入力軸、出力軸等の回転部材が配置される。装置内部に充填されるオイル、グリース等の潤滑剤が、隙間を通って装置内の他の部位あるいは装置の外に漏れ出ることを防止するために、一般にオイルシールが用いられている。オイルシールは、弾性素材からなる環状のシール材を備えており、シール材が装置ハウジングに固定され、シール材のシールリップが回転部材の外周面に摺動可能な状態で押し付けられており、これにより、潤滑剤が漏れ出ないように隙間が封止される。

　特許文献１（特開２００６－２５８２３４号公報）には、オイルシールのシール性を高めた潤滑剤密封装置が提案されている。この潤滑剤密封装置では、オイルシールによる回転部材のシール部分に、潤滑剤に対して撥油性を有するフッ素系グリースを塗布して、シール性を高めている。

　ここで、摺動面等の表面改質技術として、対象となる表面に微細溝等を加工する表面テクスチャリングが知られている。特許文献２（特開２０１７－２１４９９６号公報）には、フェムト秒レーザーを用いた表面加工により、摺動面に微細なグレーティング状凹凸の周期構造を形成し、潤滑不足による摩擦増加、焼き付けを防止することが提案されている。また、特許文献３（特許第５４６５１０９号公報）には、レーザー加工により、二部材の間の摺動面に潤滑流体を介在させると共に、摺動面に微小溝を形成することで、高い摩擦低減効果を与えることが提案されている。

特開２００６－２５８２３４号公報特開２０１７－２１４９９６号公報特許第５４６５１０９号公報

　オイルシールのシール性を維持するためには、シールリップによるシール部分に、シールリップ用グリースを適切な膜厚状態に保持し、シール部分の摩耗を防ぐことが必要である。また、シール部分に、装置内部に封入されているギヤ用油等の潤滑剤が侵入して接触すると、シール部分の耐摩耗性、シール性が低下するおそれある。

　本発明の目的は、微細溝加工（表面テクスチャリング）を利用して、オイルシールのシール性を維持できるようにした潤滑剤封止構造を提供することにある。

　本発明により、中心軸線回りに相対的に回転する第１部材および第２部材を備えた装置における第１、第２部材の間の隙間部分を通って、潤滑剤が、装置内部から漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造が提供される。
　本発明による潤滑剤封止構造は、
　前記隙間部分を形成している前記第１部材の第１表面部分および前記第２部材の第２表面部分と、
　前記第１表面部分に固定され、前記第２表面部分に摺動可能に当接した状態で、前記隙間部分を封止しているオイルシールと、
　前記第１表面部分および前記第２表面部分のうちの少なくとも一方に形成され、前記オイルシールよりも前記装置内部の側に位置する撥油面と、
　前記オイルシールにおける前記第２表面部分に当接する先端面部分および当該先端面部分が当接する前記第２表面部分の部位のうちの少なくとも一方に形成した油膜形成面と、
を備えており、
　前記撥油面は、前記潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第１微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記撥油面に形成されており、
　前記油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記油膜形成面に形成されている。

　本発明の潤滑剤封止構造においては、装置内部からオイルシールのシール部分に至る隙間部分を規定している第１、第２部材の表面部分に、撥油面が形成されている（撥油性を高めるための表面テクスチャリングが施されている）。潤滑剤は撥油面によってはじかれて球状に変形し、潤滑剤が隙間部分を伝ってオイルシールに流れ込むことが防止される。オイルシールのシール部分に、リップシール用グリースとは特性の異なるギヤ用油等の潤滑剤が多量に侵入して、シール部分の耐摩耗性、シール性が低下する、という弊害を防止できる。

　また、オイルシールのシールリップのリップ先端面および第２部材の摺動面部分の一方、あるいは双方には、油膜形成面が形成されている。油膜形成面には、油膜形成効果（流体動圧効果あるいは油膜保持効果）を高めるための第２微細溝からなる表面テクスチャリングが施されている。リップ先端面と第２部材の摺動面部分との間に、適切な油膜（剛性の高い油膜、必要厚さの油膜）を形成・維持でき、シール部分の摩耗を抑制できる。よって、リップ先端面と第２部材の摺動面との間の必要な締め代を維持でき、オイルシールによるシール性を維持できる。

　本発明の潤滑剤封止構造によれば、微細溝加工による表面テクスチャリングを施すことによって形成した撥油面および油膜形成面の相乗効果により、オイルシールによるシール効果を高め、また、そのシール性を維持できる。これにより、装置内部の潤滑剤封入部分から装置外部等に潤滑剤が漏れ出ることを確実に阻止できる。

　ここで、前記隙間部分には、前記オイルシールよりも前記装置内部の側に、微小隙間部分が形成される。前記撥油面は、前記第１、第２表面部分のうちの少なくとも一方において、前記微小隙間部分よりも前記装置内部の側の位置から前記微小隙間部分に至る表面部分、および、前記微小隙間部分を形成している表面部分に形成される。前記微小隙間部分の隙間寸法は、前記撥水面上に形成される球状化した前記潤滑剤の直径よりも小さい値に設定される。撥油面によって形成される球状の潤滑剤は、その直径よりも狭い微小隙間部分によって、シール部分の側に侵入することが阻止される。よって、潤滑剤がシール部分に侵入することを確実に防止できる。

　前記撥油面として、その全体に亘って前記第１微細溝が形成されている撥油面を用いることができる。前記油膜形成面として、その全体に亘って前記第２微細溝が形成されている油膜形成面を用いることができる。また、油膜形成面として、前記第２微細溝が形成された溝加工面と前記第２微細溝が形成されていない溝未加工面とが交互に形成されている油膜形成面を用いることもできる。

　前記第１微細溝および前記第２微細溝は、それぞれ、
　前記装置の中心軸線に沿った方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる溝、
　前記中心軸線を中心とする円周方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる溝、
　前記中心軸線に沿った方向に対して傾斜した方向に、直線状、曲線状あるいは波形状に延びる溝、
　螺旋状に延びる溝、および、
　網目状パターンの溝
のうちの少なくともいずれか一つとすることができる。

本発明の潤滑剤封止構造を備えた波動歯車装置を示す概略縦断面図である。（ａ）は図１の波動歯車装置の潤滑剤封止構造が組み込まれている部位を拡大して示す部分拡大図、（ｂ）は（ａ）の部位を示す説明図、（ｃ）は撥油面を示す模式図、（ｄ）は油膜形成面を示す模式図、（ｅ）は微小隙間の別の例を示す説明図である。潤滑剤封止構造の作用効果を示す模式図である。（ａ）は潤滑剤封止構造が組み込まれている波動歯車装置の別の部位を拡大して示す部分拡大図、（ｂ）は（ａ）の部位を示す説明図、（ｃ）は撥油面を示す模式図、（ｄ）は油膜形成面を示す模式図、（ｅ）は微小隙間の別の例を示す説明図である。（ａ）は本発明の潤滑剤封止構造を備えたアクチュエータを示す概略縦断面図、（ｂ）は潤滑剤封止構造が組み込まれた部位を示す部分拡大図、（ｃ）は潤滑剤封止構造が組み込まれている別の部位を示す部分拡大図である。

　以下に、図面を参照して本発明を適用した潤滑剤封止構造の実施の形態を説明する。以下の実施の形態は、本発明の潤滑剤封止構造を、波動歯車装置、および、波動歯車装置とモータとを備えたアクチュエータに適用した場合である。本発明は、波動歯車装置以外の歯車式減速機などの回転伝達装置にも同様に適用可能である。

［実施の形態１］
　図１は、本発明の実施の形態１に係る波動歯車装置を示す概略縦断面図である。波動歯車装置１は、中心軸線１ａの方向に所定の間隔で対峙する円盤状の端板２および端板３と、これらの端板２、３の中心部分を同軸状態に貫通して延びている中空入力軸４と、端板２、３の間において中空入力軸４を同軸に取り囲む状態に組み込まれた波動歯車機構５とを備えている。中空入力軸４は、ボールベアリング６、７を介して、端板２、３によって回転自在の状態に支持されている。波動歯車機構５は、円環形状をした剛性の内歯歯車８と、シルクハット形状をした弾性の外歯歯車９と、楕円状輪郭の波動発生器１０と、内歯歯車８および外歯歯車９を相対回転自在の状態で支持しているクロスローラベアリング１１とを備えている。端板２、３とクロスローラベアリング１１とによって装置ハウジングが構成される。

　外歯歯車９は、外歯９ａが形成されている可撓性の円筒状胴部９ｂと、円筒状胴部９ｂの端から半径方向の外方に広がっている円盤状のダイヤフラム９ｃと、ダイヤフラム９ｃの外周縁部分に一体形成した円環状の剛性のボス９ｄとを備えている。外歯９ａが形成されている円筒状胴部９ｂの開口端の側の部分が、内歯歯車８の内側に同軸に配置されている。円筒状胴部９ｂの開口端の側の部分の内側には、同軸に波動発生器１０が嵌め込まれている。波動発生器１０は、中空入力軸４の外周面部分に一体形成したプラグ部１０ａと、このプラグ部１０ａの楕円状外周面に装着したウエーブベアリング１０ｂとを備えている。波動発生器１０によって、外歯歯車９の円筒状胴部９ｂは楕円状に撓められて、その長軸の両端に位置する外歯９ａの部分が内歯歯車８の内歯８ａにかみ合っている。

　外歯歯車９のボス９ｄは、中心軸線１ａの方向の両側から端板２とクロスローラベアリング１１の外輪１２との間に挟まれており、この状態で、三部材が締結固定されている。内歯歯車８は、中心軸線１ａの方向の両側から、端板３とクロスローラベアリング１１の内輪１３との間に挟まれており、この状態で、三部材が締結固定されている。

　中空入力軸４は、モータ等に連結される回転入力部材である。中空入力軸４が回転すると、それと一体となって波動発生器１０が回転して、外歯歯車９の内歯歯車８に対するかみ合い位置が円周方向に移動する。両歯車８、９の間には、それらの歯数差に応じた相対回転が発生する。例えば、外歯歯車９が締結されている端板２が固定側部材とされ、内歯歯車８が締結されている端板３が回転出力部材とされ、端板３から相対回転（減速回転）が出力される。

　波動歯車装置１の装置内部の潤滑部分には、外歯歯車９と内歯歯車８のかみ合い部分、外歯歯車９と波動発生器１０の接触部分、波動発生器１０のウエーブベアリング１０ｂ、クロスローラベアリング１１の摺動部、ボールベアリング６、７の摺動部などがある。波動歯車装置１には、これらの部分に封入あるいは塗布されている潤滑剤が装置内部から外部に漏れ出ることを防止するための潤滑剤封止構造が組み込まれている。本例の波動歯車装置１には、オイルシール２０を備えた潤滑剤封止構造、オイルシール３０を備えた潤滑剤封止構造、およびオイルシール４０を備えた潤滑剤封止構造が組み込まれている。

　オイルシール２０を備えた潤滑剤封止構造は、端板２の内周面部分２ａと、中空入力軸４の一方の軸端側の外周面部分４ａとの間を封止しており、端板２、３の間における外歯歯車９と中空入力軸４との間の潤滑剤封入部分２６から、装置外部に潤滑剤が漏れ出ることを防止する。同様に、オイルシール３０を備えた潤滑剤封止構造は、端板３の内周面３ａと、中空入力軸４の他方の軸端側の外周面部分４ｂとの間を封止しており、潤滑剤封入部分２６から、装置外部に潤滑剤が漏れ出ることを防止する。オイルシール４０を備えた潤滑剤封止構造は、クロスローラベアリング１１の外輪１２と内輪１３の間を封止しており、外歯歯車９とクロスローラベアリング１１と内歯歯車の間に形成される潤滑剤封入部分４６から装置外部に潤滑剤が漏れ出ることを防止する。

（端板２と中空入力軸４の間の潤滑剤封止構造）
　図２（ａ）は、端板２と中空入力軸４の軸端部との間を封止しているオイルシール２０を備えた潤滑剤封止構造を示す説明図であり、図２（ｂ）は波動歯車装置１におけるオイルシール２０を備えた潤滑剤封止構造が組み込まれている部位を示す半断面図である。図２（ｃ）は撥油面の一例を示す模式図であり、図２（ｄ）は油膜形成面の一例を示す模式図である。

　中空入力軸４の一方の軸端部は、ボールベアリング６を介して、端板２に対して回転自在に支持されている。端板２の中心部分を貫通して、中空入力軸４の一方の軸端部が装置外部に突出している。端板２の内周縁部の内周面部分２ａと、これに対峙する中空入力軸４の軸端部の外周面部分４ａとの間には、ボールベアリング６の側（潤滑剤封入部分２６の側）から装置外部に連通する隙間部分２１が形成されている。隙間部分２１は、オイルシール２０によって封止されている。オイルシール２０は弾性素材からなる円環状のシール材２０ａを備えており、シール材２０ａは端板２の内周面部分２ａに嵌め込み固定されており、シール材２０ａのシールリップ２０ｂ（主リップ、副リップ）のリップ先端面２０ｃ、２０ｄは、中空入力軸４の外周面部分４ａに摺動可能に押し付けられている。

　中空入力軸４の外周面部分４ａは、オイルシール２０のリップ先端面２０ｃ、２０ｄが摺動するシール材摺動用の外周面部分４ｂと、この外周面部分４ｂからボールベアリング６の内輪６１が装着されている部分までの間の外周面部分４ｃとを備えている。端板２の内周面部分２ａには、オイルシール２０とボールベアリング６の間を半径方向の内方に突出している仕切り板部分２ｃが形成されている。仕切り板部分２ｃの内周端面部分２ｄと、中空入力軸４の外周面部分４ｃとは、隙間部分２１における他の部位よりも狭い間隔で対峙しており、この部分が、円環状の微小隙間２２となっている。

　中空入力軸４の外周面部分４ｃは撥油面である。図２（ａ）においては、撥油面が形成されている範囲を細かいドット模様で示してある。撥油面は、ボールベアリング６の側から微小隙間２２に向かって漏出する潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝２３が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。例えば、第１微細溝２３は、図２（ｃ）に示すように、中心軸線１ａの方向に延びる溝であり、一定の間隔で、外周面部分４ｃの全周に亘って形成されている。第１微細溝２３は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備えており、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で撥油面に形成されている。また、中空入力軸４と端板２の間の隙間部分２１の一部に形成した微小隙間２２の寸法は、撥水面上において球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定されている。なお、撥油面を、端板２の内周端面部分２ｄに形成してもよい。この場合には、微小隙間２２を規定している端板２の仕切り板部分２ｃの内周端面部分２ｄおよび、これに繋がる両側の端面部分を撥油面とすればよい。

　次に、中空入力軸４の外周面部分４ａにおいて、リップ先端面２０ｃ、２０ｄが摺動する外周面部分４ｂには油膜形成面が形成されている。オイルシール２０のリップ先端面２０ｃ、２０ｄにも油膜形成面を形成してもよい。油膜形成面は、リップシール用グリースの油膜形成効果が得られるように、第２微細溝２４が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。例えば、第２微細溝２４は、図２（ｄ）に示すように、円周方向に延びる溝であり、中心軸線１ａの方向に一定の間隔で形成されている。第２微細溝２４は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で油膜形成面に形成されている。油膜形成面は、中空入力軸４の外周面部分４ｂの全周に亘って形成することができる。外周面部分４ｂにおける一部の領域に形成してもよい。また、外周面部分４ｂにおいて、円周方向に向けて、第２微細溝２４が形成されている溝加工面と、溝が形成されていない溝未加工面とが、交互に形成される場合もある。

　なお、撥油面を形成している第１微細溝２３、第２微細溝２４の溝パターンとして、各種の溝パターンを採用できる。例えば、中心軸線１ａに沿った方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる第１微細溝２３が円周方向に一定の間隔で形成された溝パターンを用いることができる。第１微細溝２３が、中心軸線１ａを中心とする円周方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる第１微細溝２３が、中心軸線１ａの方向に一定の間隔で形成された溝パターンでもよい。中心軸線１ａに沿った方向に対して傾斜した方向に、直線状、曲線状あるいは波形状に延びる第１微細溝から構成される溝パターンにすることもできる。また、中心軸線１ａの方向に一定のピッチで螺旋状に延びている第１微細溝２３から構成される溝パターンとすることもできる。さらに、中心軸線１ａの方向に延びる第１微細溝と、円周方向に延びる第１微細溝とが交差する網目状パターンとすることもできる。

　また、本例では、ボールベアリング６の側（潤滑剤封入部分２６の側）から装置外部に連通する隙間部分２１に、隙間寸法が同一の微小隙間２２を形成している。図２（ｅ）に示すように、微小隙間２２の代わりに、隙間寸法が、潤滑剤封入部分２６の側から装置外部に向けて漸減する微小隙間２２Ａを配置してもよい。例えば、仕切り板部分２ｃの内周端面部分２ｄを、テーパー状内周端面部分にすればよい。この場合には、微小隙間２２Ａにおいて、少なくとも、その最小隙間寸法が、撥水面上において球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定すればよい。

　図３は、本例の潤滑剤封止構造の作用効果を示す模式図である。潤滑剤は、装置内部のボールベアリング６の側から中空入力軸４と端板２の間の隙間部分２１を通って、オイルシール２０によるシール部分に向けて流出する。中空入力軸４の外周面部分４ｃは、全周に亘って撥油面となっている。ボールベアリング６の側から流出する潤滑剤は、撥油面によってはじかれて、微小隙間２２に侵入する手前で球状の粒に変形する。微小隙間２２は、形成される球状の潤滑剤の粒２５の径よりも狭いので、潤滑剤が微小隙間２２に流入することが阻止される。潤滑剤が、微小隙間２２を通って、オイルシール２０のシール部分（シールリップのリップ先端面２０ｃと中空入力軸４の外周面部分４ｂ）に到達することを回避できる。これにより、オイルシール２０によるシール効果を維持できる。

　オイルシール２０のリップ先端面２０ｃが摺動する中空入力軸４の外周面部分４ｂには、全周に亘って油膜形成面が形成されている。油膜形成面は、リップ先端面２０ｃと中空入力軸４の外周面部分４ｂとの間に、潤滑剤（シールリップ用グリース）の高剛性の油膜を形成する動圧発生効果を備えている。あるいは、油膜形成面は、必要厚さの油膜を形成できるように潤滑剤（シールリップ用グリース）を保持可能な油膜保持効果を備えている。したがって、シール部分における油膜切れを防止でき、摺動部分の摩耗によるシール性の低下を防止できる。また、摺動部分の摩耗が防止されるので、リップ先端面２０ｃと中空入力軸４の外周面部分４ｂとの間の締め代を維持できる。

　なお、中空入力軸４の他方の軸端部分に形成されているオイルシール３０を備えた潤滑剤封止構造は、上記のオイルシール２０を備えた潤滑剤封止構造と同様な構造であり、この潤滑剤封止構造とほぼ対称な構造となっている。

（クロスローラベアリング１１の外輪１２と内輪１３の間の潤滑剤封止構造）
　次に、クロスローラベアリング１１の外輪１２と内輪１３の間の隙間部分をシールしているオイルシール４０を備えた潤滑剤封止構造を説明する。図４（ａ）は、外輪１２と内輪１３との間を封止しているオイルシール４０を備えた潤滑剤封止構造を示す説明図であり、図４（ｂ）は波動歯車装置１におけるオイルシール４０を備えた潤滑剤封止構造が組み込まれている部位を示す半断面図である。図４（ｃ）は撥油面を示す模式図であり、図４（ｄ）は油膜形成面を示す模式図である。

　外輪１２における内周面部分１２ａと、これに対峙する内輪１３の外周面部分１３ａとの間には、軌道溝１４から装置外部に連通する隙間部分４１が形成されている。隙間部分４１は、オイルシール４０によって封止されている。オイルシール４０は弾性素材からなる円環状のシール材４０ａを備えており、シール材４０ａは外輪１２の内周面部分１２ａに嵌め込み固定されており、シール材４０ａのシールリップ４０ｂ（主リップ、副リップ）のリップ先端面４０ｃ、４０ｄは、内輪１３の外周面部分１３ａに摺動可能に押し付けられている。

　内輪１３の外周面部分１３ａにおいて、軌道溝１４の側の外周面部分１３ｂは撥油面であり、第１微細溝４３が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。図４（ａ）においては、撥油面の形成範囲を細かいドット模様で示してある。オイルシール４０のリップ先端面４０ｃ、４０ｄが摺動する外周面部分１３ｃは油膜保持面であり、第２微細溝４４が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。図４（ａ）においては、油膜形成面の形成範囲を粗いドット模様で示してある。外輪１２の内周面部分１２ａには、撥油面である外周面部分１３ｂに対して微小間隔で対峙する内周面部分１２ｂが形成されている。これらの間に微小隙間４２が形成されている。この内周面部分１２ｂも、全周に亘って第１微細溝が所定のパターンで形成された撥油面としてもよい。

　例えば、第１微細溝４３は、図４（ｃ）に示すように、中心軸線１ａの方向に延びる溝であり、一定の間隔で、外周面部分１３ｂの全周に亘って形成されている。第１微細溝４３は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備えており、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で撥油面に形成されている。

　また、第２微細溝４４は、図４（ｄ）に示すように、円周方向に延びる溝であり、中心軸線１ａの方向に一定の間隔で形成されている。第２微細溝４４は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で油膜形成面に形成されている。油膜形成面は、中空入力軸４の外周面部分４ｂの全周に亘って形成することができる。外周面部分１３ｂにおける一部の領域に形成してもよい。または、外周面部分１３ｂにおいて、円周方向に向けて、第２微細溝４４が形成されている溝加工面と、溝が形成されていない溝未加工面とが、交互に形成される場合もある。

　なお、軌道溝１４から装置外部に連通する隙間部分４１には、隙間寸法が同一の微小隙間４２が形成されている。図４（ｅ）に示すように、微小隙間４２の代わりに、隙間寸法が、軌道溝１４の側（潤滑剤封入部分の側）からオイルシール４０の側（装置外部の側）に向けて漸減する微小隙間４２Ａを配置してもよい。例えば、外輪１２の内周面部分１２ｂを、テーパー状内周端面部分にすればよい。微小隙間４２Ａにおいて、少なくとも、その最小隙間寸法が、撥水面上において球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定すればよい。

　潤滑剤は、装置内部のクロスローラベアリング１１の軌道溝１４の側からから外輪１２および内輪１３の間の隙間部分４１を通って、オイルシール４０によるシール部分に向けて流出する。クロスローラベアリング１１の側から流出する潤滑剤は、撥油面によってはじかれて、微小隙間４２に侵入する手前で球状の粒に変形する。微小隙間４２は、形成される球状の潤滑剤の粒の径よりも狭いので、潤滑剤が微小隙間４２に流入することが阻止される。潤滑剤が、微小隙間４２を通って、オイルシール４０のシール部分（シールリップのリップ先端面４０ｃ、４０ｄと内輪１３の外周面部分１３ｃとの摺動部分）に到達することを回避できる。これにより、オイルシール４０によるシール効果を維持できる。

　また、オイルシール４０のリップ先端面４０ｃ、４０ｄが摺動する内輪１３の外周面部分１３ｃには、その全周に亘って油膜形成面が形成されている。油膜形成面は、リップ先端面４０ｃ、４０ｄと内輪１３の外周面部分１３ｃとの間に、潤滑剤（シールリップ用グリース）の高剛性の油膜を形成する動圧発生効果を備えている。あるいは、油膜形成面は、必要厚さの油膜を形成できるように潤滑剤（シールリップ用グリース）を保持可能な油膜保持効果を備えている。したがって、シール部分における油膜切れを防止でき、摺動部分の摩耗によるシール性の低下を防止できる。

［実施の形態２］
　図５（ａ）は本発明の潤滑剤封止構造を備えたアクチュエータを示す概略縦断面図であり、図５（ｂ）は潤滑剤封止構造が組み込まれた部位を示す部分拡大図であり、図５（ｃ）は潤滑剤封止構造が組み込まれている別の部位を示す部分拡大図である。

　アクチュエータ１００は、その中心を貫通して延びる中空部を備えた中空型アクチュエータであり、モータ１１０と波動歯車装置１２０とを備えている。モータ１１０は、中空モータ軸１１１と、この外周面に取り付けたロータ１１２と、ロータ１１２を同軸に取り囲むステータ１１３とを備えている。中空モータ軸１１１は、その両端において、ボールベアリング（図において一方のボールベアリング１１４のみを示す。）を介して、モータハウジング１１６によって回転自在に支持されている。

　モータハウジング１１６は、その前端に、大径の取付けフランジ１１７を備えている。取付けフランジ１１７の前面に、波動歯車装置１２０が同軸に取り付けられている。波動歯車装置１２０は、剛性の内歯歯車１２１と、シルクハット形状の可撓性の外歯歯車１２２と、波動発生器１２３と、内歯歯車１２１と外歯歯車１２２を相対回転自在の状態で支持しているクロスローラベアリング１２４と、円盤状の出力軸１２５とを備えている。

　波動発生器１２３は、中空モータ軸１１１に同軸に連結された中空入力軸１２６を備えており、中空入力軸１２６の外周面に楕円状輪郭のプラグ１２７が一体形成されている。プラグ１２７の楕円状外周面には、ウエーブベアリング１２８が装着されている。波動発生器１２３によって、外歯歯車１２２における外歯１２２ａが形成されている円筒状胴部が楕円状に撓められて、内歯歯車１２１の内歯１２１ａに対して部分的にかみ合っている。

　外歯歯車１２２の円環状のボス１２２ｃは、取付けフランジ１１７とクロスローラベアリング１２４の外輪１２４ｂとの間に挟まれ、この状態で、三部材が締結固定されている。内歯歯車１２１は、クロスローラベアリング１２４の内輪１２４ａと出力軸１２５との間に挟まれ、この状態で、三部材が締結固定されている。モータ１１０の出力回転は、中空モータ軸１１１から波動発生器１２３に入力される。波動発生器１２３が回転すると、内歯歯車１２１が減速回転し、内歯歯車１２１に連結されている出力軸１２５から、不図示の負荷側に、減速回転が出力される。

　波動歯車装置１２０の装置内部における各潤滑部分は、外歯歯車１２２と内歯歯車１２１のかみ合い部分、外歯歯車１２２と波動発生器１２３の接触部分、波動発生器１２３のウエーブベアリング１２８、クロスローラベアリング１２４等である。波動歯車装置１２０の装置内部の潤滑剤封入部分１３１、１３２から、潤滑剤が、装置外部、あるいは、モータ１１０の側に漏れ出ることを防止するために、波動歯車装置１２０には、オイルシール１４０を備えた潤滑剤封止構造、オイルシール１５０を備えた潤滑剤封止構造、オイルシール１６０を備えた潤滑剤封止構造が組み込まれている。

（中空入力軸１２６と出力軸１２５の間の潤滑剤封止構造）
　図５（ｂ）に示すように、波動歯車装置１２０において、高速回転する中空入力軸１２６と、減速回転する出力軸１２５との間は、オイルシール１４０を備えた潤滑剤封止構造によってシールされている。ウエーブベアリング１２８が配置されている外歯歯車１２２の内部空間は、ウエーブベアリング１２８、ウエーブベアリング１２８と外歯歯車１２２の間の摺動部分等に供給される潤滑剤が封入された潤滑剤封入部分１３１である。中空入力軸１２６と出力軸１２５との間には、装置内部の側に位置するウエーブベアリング１２８から装置外部に通じる隙間部分１４１が形成されている。隙間部分１４１の装置外部の側に端は、オイルシール１４０によってシールされている。

　中空入力軸１２６の端部分には、端面部分１２６ａおよび外周面部分１２６ｂが形成されている。出力軸１２５の内周縁側の部分には、端面部分１２６ａに向けて突出した突出部分１２５ａが形成されている。突出部分１２５ａと中空入力軸１２６の外周面部分１２６ｂとの間に、オイルシール１４０が装着されている。オイルシール１４０のシール材１４０ａは出力軸１２５の突出部分１２５ａの内周面部分に嵌め込み固定されている。シール材１４０ａのシールリップ１４０ｂのリップ先端面１４０ｃは、中空入力軸１２６の外周面部分１２６ｂに摺動可能に押し付けられている。

　また、出力軸１２５の突出部分１２５ａの先端面１２５ｂは、中空入力軸１２６の端面部分１２６ａに対して、中心軸線１００ａの方向から微小間隔で対峙している。これら先端面１２５ｂと端面部分１２６ａとの間に、微小隙間部分１４２が形成されている。微小隙間部分１４２の隙間寸法は一定であるが、隙間寸法を、ウエーブベアリング１２８の側から、オイルシール１４０の側に向けて漸減させるようにしてもよい。

　中空入力軸１２６の端面部分１２６ａの全体と、外周面部分１２６ｂの途中までは、第１微細溝が形成された撥油面である。外周面部分１２６ｂにおけるオイルシール１４０のシールリップ１４０ｂのリップ先端面１４０ｃが摺動する部分は、第２微細溝が形成された油膜形成面である。また、出力軸１２５の突出部分１２５ａにおいて、その先端面１２５ｂと、この先端面１２５ｂに繋がる一定幅の外周面部分１２５ｃは、第１微細溝が形成された撥油面となっている。

　各撥油面は、潤滑剤封入部分１３１に封入される潤滑剤に対して撥油性が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。第１微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、撥油面に形成されている。また、微小隙間部分の隙間寸法は、撥水面上に形成される球状化した潤滑剤の直径よりも小さい値に設定されている。

　一方、油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、油膜形成面に形成されている。なお、図５（ｂ）においては、撥油面および油膜形成面の形成範囲をドット模様で示してある。

　潤滑剤は、装置内部のウエーブベアリング１２８の側からから中空入力軸１２６と出力軸１２５の間の隙間部分１４１を通って、オイルシール１４０によるシール部分に向けて流出する。潤滑剤は、撥油面である外周面部分１２５ｃによってはじかれて、微小隙間部分１４２に侵入する手前で球状の粒に変形する。微小隙間部分１４２は、形成される球状の潤滑剤の粒径よりも狭く、また、撥油面によって規定されている。よって、潤滑剤が微小隙間部分に流入することが阻止され、潤滑剤が、オイルシール１４０のシール部分（シールリップのリップ先端面と１４０ｃ中空入力軸１２６の外周面部分１２６ｃとの摺動部分）に到達することを回避できる。これにより、オイルシール１４０によるシール効果を維持できる。

　また、オイルシール１４０のリップ先端面１４０ｃが摺動する中空入力軸１２６の外周面部分１２６ｃの部位は、全周に亘って油膜形成面が形成されている。油膜形成面は、リップ先端面１４０ｃと外周面部分１２６ｃとの間に、潤滑剤（シールリップ用グリース）の高剛性の油膜を形成する動圧発生効果を備えている。あるいは、油膜形成面は、必要厚さの油膜を形成できるように潤滑剤（シールリップ用グリース）を保持可能な油膜保持効果を備えている。したがって、シール部分における油膜切れを防止でき、摺動部材であるシール材１４０ａのシールリップ１４０ｂの摩耗によるシール性の低下を防止できる。

（波動歯車装置１２０とモータ１１０との間の潤滑剤封止構造）
　図５（ｃ）に示すオイルシール１５０を備えた潤滑剤封止構造は、波動歯車装置１２０の側からモータ１１０の側に潤滑剤が漏出することを防止する。固定部材である取付けフランジ１１７の内周縁部１１７ａと、これに対峙する中空モータ軸１１１の軸端部分との間には、ボールベアリング１１４が装着されている。中空モータ軸１１１の軸端部分の先端は、ボールベアリング１１４の装着部分から取付けフランジ１１７を貫通して波動歯車装置１２０の側に突出している。

　中空モータ軸１１１の軸端部の外周面部分１１１ａと、取付けフランジ１１７の内周縁部の内周面部分１１７ｂとの間に、波動歯車装置１２０の側に連通する隙間部分１５１ａが形成されている。取付けフランジ１１７の内周縁部における波動歯車装置１２０の側の端面部分１１７ｃと、波動歯車装置１２０の中空入力軸１２６の端面部分１２６ｄとの間には、隙間部分１５１ａに連通する微小隙間部分１５１ｂが形成さている。微小隙間部分１５１ｂおよび隙間部分１５１ａを介して、波動歯車装置１２０の内部の潤滑剤封入部分１３１とモータ１１０の内部とが連通している。微小隙間部分１５１ｂの隙間寸法は一定であるが、隙間寸法を、モータ１１０の側から波動歯車装置１２０の側に向けて、漸減させるようにしてもよい。

　隙間部分１５１ａはオイルシール１５０によって封止されている。オイルシール１５０のシール材１５０ａは取付けフランジ１１７の内周面部分１１７ｂに嵌め込まれて固定されている。シール材１５０ａのシールリップのリップ先端面１５０ｂ、１５０ｃは、中空モータ軸１１１の外周面部分１１１ａに摺動可能に押し付けられている。

　取付けフランジ１１７の端面部分１１７ｃは第１微細溝が形成された撥油面である。これに対峙する中空入力軸１２６の端面部分１２６ｄも第１微細溝が形成された撥油面である。さらに、中空入力軸１２６における端面部分１２６ｄに繋がる一定幅の外周面部分１２６ｅも、第１微細溝が形成された撥油面である。一方、オイルシール１５０のリップ先端面１５０ｂ、１５０ｃが摺動する中空モータ軸１１１の外周面部分１１１ａは第２微細溝が形成された油膜形成面である。

　油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えている。第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、油膜形成面に形成されている。なお、図５（ｃ）においても、撥油面および油膜形成面の形成範囲をドット模様で示してある。

　潤滑剤は、波動歯車装置１２０の内部から、微小隙間部分１５１ｂおよび隙間部分１５１ａを通って、モータ１１０の側に流出する。隙間部分１５１ａはオイルシール１５０によってシールされている。また、潤滑剤は、撥油面である外周面部分１２６ｅ、端面部分１２６ｄ、端面部分１１７ｃによってはじかれて、微小隙間部分１５１ｂに侵入する手前で球状の粒に変形する。微小隙間部分１５１ｂは、形成される球状の潤滑剤の粒径よりも狭いので、潤滑剤が微小隙間部分１５１ｂに流入することが阻止される。潤滑剤が、オイルシール１５０のシール部分（オイルシール１５０のリップ先端面１５０ｂ、１５０ｃと、中空モータ軸１１１の外周面部分１１１ａとの間の摺動部分）に到達することを防止できる。これにより、オイルシール１５０によるシール効果を維持できる。

　また、オイルシール１５０のリップ先端面１５０ｂ、１５０ｃが摺動する中空モータ軸１１１の外周面部分１１１ａの部位は、全周に亘って油膜形成面が形成されている。油膜形成面は、リップ先端面１５０ｂ、１５０ｃと外周面部分１１１ａとの間に、潤滑剤（シールリップ用グリース）の高剛性の油膜を形成する動圧発生効果を備えている。あるいは、油膜形成面は、必要厚さの油膜を形成できるように潤滑剤（シールリップ用グリース）を保持可能な油膜保持効果を備えている。したがって、シール部分における油膜切れを防止でき、摺動部品であるシール材１５０ａのシールリップの摩耗によるシール性の低下を防止できる。また、リップ先端面１５０ｂ、１５０ｃと中空モータ軸１１１の外周面部分１１１ａとの間の締め代が維持される。

　なお、波動歯車装置１２０におけるオイルシール１６０による潤滑剤封止構造は、外歯歯車１２２と内歯歯車１２１との間を相対回転自在に支持するクロスローラベアリング１２４の部分に配置される。すなわち、クロスローラベアリング１２４の内輪１２４ａと外輪１２４ｂとの間の隙間部分を封止するために配置される。この潤滑剤封止構造は、実施の形態１における図４に示すオイルシール４０を用いた潤滑剤封止構造と実質的に同一であるので、具体的な説明は省略する。

Claims

　中心軸線回りに相対的に回転する第１部材および第２部材を備えた装置における前記第１、第２部材の間の隙間部分を通って、潤滑剤が、装置内部から漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造であって、
　前記隙間部分を形成している前記第１部材の第１表面部分および前記第２部材の第２表面部分と、
　前記第１表面部分に固定され、前記第２表面部分に摺動可能に当接した状態で、前記隙間部分を封止しているオイルシールと、
　前記第１表面部分および前記第２表面部分のうちの少なくとも一方に形成され、前記オイルシールよりも前記装置内部の側の部位に位置する撥油面と、
　前記オイルシールにおける前記第２表面部分に当接する先端面部分および当該先端面部分が当接する前記第２表面部分の部位のうちの少なくとも一方に形成した油膜形成面と、
を備えており、
　前記撥油面は、前記潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第１微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記撥油面に形成されており、
　前記油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記油膜形成面に形成されている潤滑剤封止構造。
　請求項１に記載の潤滑剤封止構造において、
　前記隙間部分には、前記オイルシールよりも前記装置内部の側の部位に、微小隙間部分が形成されており、
　前記撥油面は、前記第１、第２表面部分のうちの少なくとも一方において、前記微小隙間部分よりも前記装置内部の側の位置から前記微小隙間部分に至る表面部分、および、前記微小隙間部分を形成している表面部分に形成されており、
　前記微小隙間部分の隙間寸法は、前記撥水面上に形成される球状化した前記潤滑剤の直径よりも小さい値に設定されている潤滑剤封止構造。
　請求項１に記載の潤滑剤封止構造において、
　前記撥油面には、その全体に前記第１微細溝が形成されており、
　前記油膜形成面には、その全体あるいは一部に、前記第２微細溝が形成されているか、または、前記第２微細溝が形成された溝加工面と前記第２微細溝が形成されてない溝未加工面とが交互に形成されている潤滑剤封止構造。
　請求項１に記載の潤滑剤封止構造において、
　前記第１微細溝および前記第２微細溝は、それぞれ、
　前記装置の中心軸線に沿った方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる溝、
　前記中心軸線を中心とする円周方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる溝、
　前記中心軸線に沿った方向に対して傾斜した方向に、直線状、曲線状あるいは波形状に延びる溝、
　螺旋状に延びる溝、および、
　網目状パターンの溝
のうちの少なくともいずれか一つである潤滑剤封止構造。
　入力軸と、
　前記入力軸の回転を減速して出力する波動歯車機構と、
　前記入力軸を、ベアリングを介して、回転自在の状態で支持している装置ハウジングと、
　前記装置ハウジングの内周面部分と前記入力軸の外周面部分との間に形成される隙間部分を通って、潤滑剤が、装置内部から外部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造と、
　前記装置ハウジングの前記内周面部分に固定され、前記入力軸の前記外周面部分に摺動可能に当接した状態で、前記隙間部分を封止しているオイルシールと、
　前記内周面部分および前記外周面部分のうちの少なくとも一方に形成され、前記オイルシールよりも前記装置内部の側に位置する撥油面と、
　前記オイルシールにおける前記外周面部分に当接する先端面部分および当該先端面部分が当接する前記外周面部分の部位のうちの少なくとも一方に形成した油膜形成面と、
を備えており、
　前記撥油面は、前記潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第１微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記撥油面に形成されており、
　前記油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記油膜形成面に形成されている波動歯車装置。
　請求項５に記載の波動歯車装置において、
　前記隙間部分には、前記オイルシールよりも前記装置内部の側に、微小隙間部分が形成されており、
　前記撥油面は、前記内周面部分および前記外周面部分のうちの少なくとも一方において、前記微小隙間部分よりも前記装置内部の側の位置から前記微小隙間部分に至る部分、および、前記微小隙間部分を形成している部分に形成されており、
　前記微小隙間部分の隙間寸法は、前記撥水面上に形成される球状化した前記潤滑剤の直径よりも小さい値に設定されている波動歯車装置。
　剛性の内歯歯車と可撓性の外歯歯車とを相対回転自在の状態で支持するローラーベアリングと、
　前記ローラーベアリングの外輪の内周面部分と内輪の外周面部分との間に形成される隙間部分を通って、潤滑剤が、外部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造と、
　前記外輪の前記内周面部分に固定され、前記内輪の前記外周面部分に摺動可能に当接した状態で、前記隙間部分を封止しているオイルシールと、
　前記内周面部分および前記外周面部分のうちの少なくとも一方に形成され、前記ローラーベアリングのローラー軌道溝と前記オイルシールとの間に位置する撥油面と、
　前記オイルシールにおける前記外周面部分に当接する先端面部分および当該先端面部分が当接する前記外周面部分の部位のうちの少なくとも一方に形成した油膜形成面と、
を備えており、
　前記撥油面は、前記潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第１微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記撥油面に形成されており、
　前記油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記油膜形成面に形成されている波動歯車装置。
　請求項７に記載の波動歯車装置において、
　前記隙間部分には、前記ローラー軌道溝と前記オイルシールとの間に、微小隙間部分が形成されており、
　前記撥油面は、前記内周面部分および前記外周面部分のうちの少なくとも一方において、前記微小隙間部分よりも前記ローラー軌道溝の側の位置から前記微小隙間部分に至る部分、および、前記微小隙間部分を形成している部分に形成されており、
　前記微小隙間部分の隙間寸法は、前記撥油面上に形成される球状化した前記潤滑剤の直径よりも小さい値に設定されている波動歯車装置。
　モータと、
　前記モータに同軸に連結した入力軸、入力軸の回転を減速する波動歯車減速機構および減速回転を出力する出力軸を備えた波動歯車装置と、
　前記出力軸の第１表面部分と、これに対峙する前記入力軸の第２表面部分との間に形成される隙間部分を通って、潤滑剤が、前記波動歯車装置の装置内部から外部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造と、
　前記第１表面部分に固定され、前記第２表面部分に摺動可能に当接した状態で、前記隙間部分を封止しているオイルシールと、
　前記第１表面部分および前記第２表面部分のうちの少なくとも一方に形成され、前記オイルシールよりも前記装置内部の側に位置する撥油面と、
　前記オイルシールにおける前記第２表面部分に当接する先端面部分および当該先端面部分が当接する前記第２表面部分の部位のうちの少なくとも一方に形成した油膜形成面と、
を備えており、
　前記撥油面は、前記潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第１微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記撥油面に形成されており、
　前記油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記油膜形成面に形成されている波動歯車装置。
　請求項９に記載の波動歯車装置において、
　前記隙間部分には、前記オイルシールよりも前記装置内部の側の部位に、微小隙間部分が形成されており、
　前記撥油面は、前記第１、第２表面部分のうちの少なくとも一方において、前記微小隙間部分よりも前記装置内部の側の位置から前記微小隙間部分に至る表面部分、および、前記微小隙間部分を形成している表面部分に形成されており、
　前記微小隙間部分の隙間寸法は、前記撥油面上に形成される球状化した前記潤滑剤の直径よりも小さい値に設定されている波動歯車装置。
　モータと、
　前記モータの前端に設けた取付けフランジに同軸に取り付けた波動歯車装置と、
　前記取付けフランジを貫通して前記波動歯車装置の内部に延びるモータ軸と、
　前記波動歯車装置の内部において前記モータ軸の先端部に同軸に連結されている入力軸と、
　前記取付けフランジの内周縁部の第１表面部分と、これに対峙する前記モータ軸および前記入力軸の第２表面部分との間に形成される隙間部分を通って、潤滑剤が、前記波動歯車装置から前記モータの内部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造と、
　前記第１表面部分に固定され、前記第２表面部分に摺動可能に当接した状態で、前記隙間部分を封止しているオイルシールと、
　前記第１表面部分および前記第２表面部分のうちの少なくとも一方に形成され、前記オイルシールよりも前記波動歯車装置の側に位置する撥油面と、
　前記オイルシールにおける前記第２表面部分に当接する先端面部分および当該先端面部分が当接する前記第２表面部分の部位のうちの少なくとも一方に形成した油膜形成面と、
を備えており、
　前記撥油面は、前記潤滑剤に対する撥油効果が得られるように、第１微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第１微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記撥油面に形成されており、
　前記油膜形成面は、油膜形成効果が得られるように、第２微細溝が所定のパターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記第２微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備え、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で、前記油膜形成面に形成されているアクチュエータ。
　請求項１１に記載のアクチュエータにおいて、
　前記隙間部分には、前記オイルシールよりも前記波動歯車装置の側の部位に、微小隙間部分が形成されており、
　前記撥油面は、前記第１、第２表面部分のうちの少なくとも一方において、前記微小隙間部分よりも前記波動歯車装置の側の位置から前記微小隙間部分に至る表面部分、および、前記微小隙間部分を形成している表面部分に形成されており、
　前記微小隙間部分の隙間寸法は、前記撥油面上に形成される球状化した前記潤滑剤の直径よりも小さい値に設定されているアクチュエータ。