WO2021215224A1 - 一対の摺動部品 - Google Patents

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雄大 根岸
優貴 前谷
裕貴 井上
涼介 内山
実憲 大沼
凱 山口
創 巻島
松本　修
宜昭 瀧ヶ平
浩二 渡邉
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    • F16C2300/20—Application independent of particular apparatuses related to type of movement
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Definitions

  • the present invention relates to sliding parts that rotate relative to each other, for example, a pair of sliding parts used in a shaft sealing device for shaft-sealing the rotating shaft of a rotating machine in an automobile, a general industrial machine, or other sealing field, or an automobile, general. It relates to a pair of sliding parts used for bearings of industrial machines or machines in other bearing fields.
  • a mechanical seal is provided with a pair of annular sliding parts that rotate relative to each other and slide between sliding surfaces.
  • it has been desired to reduce the energy lost due to sliding for environmental measures and the like.
  • a pair of annular sliding parts are configured to be relatively rotatable, a sealed fluid exists in an outer space, and a low-pressure fluid exists in an inner space.
  • One of the sliding parts is a plurality of spirals that communicate with the inner space, extend in an arc shape while inclining in the circumferential direction from the inner diameter end toward the outer diameter side, and the end is closed downstream in the relative rotation direction.
  • a groove is provided.
  • a spiral groove is provided in one of the sliding components and extends from the inner diameter end to the outer diameter side to introduce a low-pressure fluid in the inner space.
  • the present invention has been made by paying attention to such a problem, and a pair of sliding surfaces capable of suppressing wear between sliding surfaces from the start of relative rotation to high-speed rotation and suppressing leakage of a sealed fluid.
  • the purpose is to provide parts.
  • the pair of sliding parts of the present invention It is a pair of sliding parts that are arranged at the relative rotating points of the rotating machine and the sliding surfaces slide relative to each other.
  • On the sliding surface of the first sliding component a plurality of first positive pressure generating grooves having a terminal portion that communicates with the space on the leak side and is extended and closed in the relative rotation direction of the second sliding component are provided.
  • the sliding surface of the second sliding component has a second positive pressure generating groove that communicates with the space on the leak side and has a terminal portion extending and closing in the relative rotation direction of the first sliding component.
  • the sliding surface of the first sliding component and the sliding surface of the second sliding component intersect with each other so that at least a part of the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove overlap each other. Sliding. According to this, since the portion where the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove intersect is communicated with each other, the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove leak at the time of relative rotation low speed. In addition to the communication portion to the side space, the fluid can be taken in from the facing first positive pressure generating groove or the second positive pressure generating groove, and a force for separating the sliding surfaces can be immediately generated. can.
  • a plurality of the second positive pressure generating grooves may be arranged to face each of the first positive pressure generating grooves so as to intersect with each other. According to this, when the pair of sliding parts rotate relative to each other, fluid can be taken in from a plurality of second positive pressure generating grooves in each first positive pressure generating groove, so that the positive pressure is generated in the first positive pressure generating groove. Can be generated early.
  • the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove may extend from the leak side toward the sealed fluid side so as to be inclined in the circumferential direction. According to this, since many first positive pressure generating grooves or second positive pressure generating grooves can be arranged on each sliding surface of the first sliding component and the second sliding component, the degree of freedom in design is high.
  • the end portion of the first positive pressure generation groove and the end portion of the second positive pressure generation groove may be displaced in the radial direction. According to this, the positive pressure generated at the end of the first positive pressure generating groove and the positive pressure generated at the end of the second positive pressure generating groove do not interfere with each other, so that the sliding surfaces can be stably separated from each other. can.
  • the volume of the first positive pressure generating groove may be smaller than the volume of the second positive pressure generating groove. According to this, since the volume of the first positive pressure generating groove is smaller than the volume of the second positive pressure generating groove, the positive generated by the fluid in the first positive pressure generating groove is generated when the relative rotation speed of the sliding component is low. As the sliding surfaces are separated from each other mainly by the first force due to the pressure and the relative rotation speed of the sliding parts increases, the second force due to the positive pressure generated by the fluid in the second positive pressure generation groove When the relative rotation speed of the sliding parts becomes sufficiently high, the second force becomes larger than the first force, so that the second force becomes the main component and the sliding surfaces are separated from each other.
  • Relative rotation of sliding parts It is possible to suppress wear between sliding surfaces from low speed to high speed. Further, when the relative rotation speed of the sliding component is high, the gap formed between the sliding surfaces becomes large, so that the positive pressure is less likely to be generated in the first positive pressure generating groove, and the positive pressure is generated in the second positive pressure generating groove.
  • the second force due to pressure is the main component, and the sliding surfaces can be stably separated from each other. Therefore, the sliding surfaces can be separated from each other from the start of relative rotation of the pair of sliding parts to the time of high-speed rotation to suppress wear.
  • the first positive pressure generating groove may have a shorter extension distance than the second positive pressure generating groove. According to this, since the end portion of the first positive pressure generation groove is closer to the start end portion communicating with the space on the leakage side than the end portion of the second positive pressure generation groove, the positive pressure is applied to the first positive pressure generation groove at an early stage. Can be generated.
  • the depth of the first positive pressure generating groove may be shallower than the depth of the second positive pressure generating groove. According to this, the positive pressure can be generated at an early stage in the first positive pressure generation groove.
  • the first positive pressure generating groove may be inclined along the circumferential direction with respect to the second positive pressure generating groove. According to this, at the start of relative rotation of the sliding component, it is easier to introduce the fluid into the first positive pressure generating groove than in the second positive pressure generating groove, so that the positive pressure is generated in the first positive pressure generating groove at an early stage. Can be made to.
  • the width dimension of the first positive pressure generating groove may be smaller than the width dimension of the second positive pressure generating groove. According to this, since the width dimension of the first positive pressure generating groove is smaller than the width dimension of the second positive pressure generating groove, the positive pressure can be generated in the first positive pressure generating groove at an early stage.
  • the first sliding component may be a static sealing ring
  • the second sliding component may be a rotary sealing ring. According to this, since the first sliding component is a static sealing ring, the positive pressure generated in the first positive pressure generating groove is stable during low-speed rotation. Further, since the second sliding component is a rotary sealing ring, it is easy to introduce the fluid into the second positive pressure generating groove, and the transition between the sliding surfaces mainly composed of the second force can be performed at an early stage.
  • FIG. 1 It is a vertical cross-sectional view which shows an example of the mechanical seal in Example 1 of this invention. It is the figure which looked at the sliding surface of the rotary sealing ring from the axial direction. It is the figure which looked at the sliding surface of the static sealing ring from the axial direction. It is the schematic explaining the state in which the sliding surface of a static sealing ring and the sliding surface of a rotary sealing ring are arranged facing each other.
  • the first positive pressure generating groove of the statically sealed ring is indicated by a two-dot broken line. It is sectional drawing which shows typically the 1st positive pressure generation groove and the 2nd positive pressure generation groove.
  • (A) is an explanatory view of the movement of the fluid in the second positive pressure generating groove seen from the axial direction
  • (b) is an explanatory view of the movement of the fluid in the first positive pressure generating groove seen from the axial direction.
  • (A) to (c) are cross-sectional views schematically showing states of a pair of sliding parts for each relative rotation speed. It is explanatory drawing which shows the position change of the intersection of the 1st positive pressure generation groove and the 2nd positive pressure generation groove. The intersection of one first positive pressure generating groove and one second positive pressure generating groove is taken up and illustrated. It is explanatory drawing which shows the modification 1 of the 1st positive pressure generation groove of Example 1.
  • the pair of sliding parts according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 7.
  • a form in which the pair of sliding parts is a mechanical seal will be described as an example.
  • the sealed fluid exists in the outer space of the mechanical seal, and the atmosphere exists in the inner space.
  • the outer diameter side of the sliding parts constituting the mechanical seal is the sealed fluid side (high pressure side), and the inner diameter side is the inner diameter side. This will be described as the leak side (low pressure side).
  • dots may be added to the grooves and the like formed on the sliding surface in the drawings.
  • the mechanical seal for general industrial machinery shown in FIG. 1 is an inside type that seals the sealed fluid F that tends to leak from the outer diameter side to the inner diameter side of the sliding surface and allows the inner space S1 to communicate with the atmosphere A.
  • the sealed fluid F is a high-pressure liquid and the atmosphere A is a gas having a lower pressure than the sealed fluid F is illustrated.
  • the mechanical seal includes a rotary seal ring 20 as an annular second sliding component attached to a sleeve 2 fixed to the rotary shaft 1 and rotatably provided together with the rotary shaft 1, and a housing 4 of the device to be attached. It is mainly composed of an annular static sealing ring 10 as a first sliding component provided on the seal cover 5 fixed to the seal cover 5 in a non-rotating state and in a state of being movable in the axial direction, and is statically sealed by a bellows 7. By urging 10 in the axial direction, the sliding surface 11 of the static sealing ring 10 and the sliding surface 21 of the rotary sealing ring 20 slide closely with each other.
  • the static sealing ring 10 and the rotary sealing ring 20 are typically formed of SiC (hard material) or a combination of SiC (hard material) and carbon (soft material), but the sliding material is not limited to this. It can be applied as long as it is used as a sliding material for mechanical seals.
  • the SiC includes a sintered body using boron, aluminum, carbon and the like as a sintering aid, and materials composed of two or more types of phases having different components and compositions, for example, SiC and SiC in which graphite particles are dispersed.
  • carbon in which carbon and graphite are mixed.
  • metal materials, resin materials, surface modification materials (coating materials), composite materials and the like can also be applied.
  • a plurality of second positive pressure generating grooves 24, for example, 24 in the first embodiment, are evenly arranged in the circumferential direction on the inner diameter side.
  • the portion of the sliding surface 21 other than the second positive pressure generating groove 24 is a land 22 forming a flat surface.
  • the end on the inner diameter side that is, the relative rotation starting end 24A communicates with the inner space S1
  • the second positive pressure generating groove 24 is inclined from the starting end 24A toward the outer diameter side toward the upstream side in the rotation direction of the rotary sealing ring 20. It extends in an arc shape, and the end portion on the outer diameter side, that is, the relative rotation end 24B is closed so as not to communicate with the outer space S2.
  • the second positive pressure generating groove 24 has an arc shape having a protrusion toward the outer diameter side.
  • the second positive pressure generating groove 24 extends from the start end 24A to the end 24B to the bottom surface 24a which is flat and parallel to the flat surface of the land 22, and from the edge of the end 24B of the bottom surface 24a to the flat surface of the land 22. It is composed of a wall portion 24b extending vertically toward the wall and side wall portions 24c and 24d extending vertically from the side edge of the bottom surface 24a toward the flat surface of the land 22.
  • the angle formed by the wall portion 24b and the side wall portion 24c is an obtuse angle
  • the angle formed by the wall portion 24b and the side wall portion 24d is an acute angle
  • the acute angle portion 24f on the side wall portion 24d side of the wall portion 24b is the wall. It is located on the upstream side in the rotation direction of the rotary sealing ring 20 with respect to the obtuse angle portion 24e on the side wall portion 24c side of the portion 24b.
  • a plurality of second positive pressure generating grooves 24 are arranged so as to overlap in the radial direction when viewed from the axial direction, for example, in the first embodiment.
  • a plurality of second positive pressure generating grooves 24 are arranged on the radius line, for example, in the first embodiment, three second positive pressure generating grooves 24 are arranged.
  • first positive pressure generating grooves 14 are evenly arranged in the circumferential direction.
  • the portion of the sliding surface 11 other than the first positive pressure generating groove 14 is a land 12 forming a flat surface.
  • the first positive pressure generating groove 14 is a circle in which the end on the inner diameter side, that is, the relative rotation start end 14A communicates with the inner space S1, and is inclined downstream from the start end 14A toward the outer diameter side in the rotation direction of the rotary sealing ring 20. It extends in an arc shape, and the end portion on the outer diameter side, that is, the relative rotation end 14B is closed so as not to communicate with the outer space S2.
  • the first positive pressure generating groove 14 has an arc shape having a protrusion toward the outer diameter side.
  • the first positive pressure generating groove 14 is flat from the start end 14A to the end 14B and parallel to the flat surface of the land 12, and from the edge of the end 14B of the bottom surface 14a to the flat surface of the land 12. It is composed of a wall portion 14b extending vertically toward the wall and side wall portions 14c and 14d extending vertically from the side edge of the bottom surface 14a toward the flat surface of the land 12.
  • the angle formed by the wall portion 14b and the side wall portion 14c is an obtuse angle
  • the angle formed by the wall portion 14b and the side wall portion 14d is an acute angle
  • the acute angle portion 14f on the side wall portion 14d side of the wall portion 14b is the wall. It is located downstream of the obtuse angle portion 14e on the side wall portion 14c side of the portion 14b in the rotational direction of the rotary sealing ring 20.
  • a plurality of first positive pressure generating grooves 14 are arranged so as to overlap each other in the radial direction when viewed from the axial direction, for example, in the first embodiment.
  • a plurality of first positive pressure generating grooves 14 are arranged on the radius line, for example, in the first embodiment.
  • the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure are generated.
  • the generation groove 24 is arranged so as to intersect with each other when viewed from the axial direction.
  • the sliding surface 21 of the rotary sealing ring 20 viewed from the axial direction is shown
  • the second positive pressure generating groove 24 is shown by a solid line
  • the opposing first positive pressure generating groove 14 is shown by a two-dot broken line.
  • a plurality of the first positive pressure generating grooves 14 and five second positive pressure generating grooves 24 in this embodiment are arranged so as to intersect each other and one second positive pressure is generated.
  • a plurality of first positive pressure generating grooves 14 in this embodiment intersect and are arranged to face each other in the generating grooves 24. That is, a plurality of intersections 15 of the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 are formed.
  • the length from the start end 14A to the end 14B of the first positive pressure generating groove 14, that is, the extending distance L10 of the first positive pressure generating groove 14 is the second positive pressure.
  • FIG. 5 is a schematic view in which the cross sections of the first positive pressure generating groove 14 of the first row and the second positive pressure generating groove 24 of the first row cut in the longitudinal direction are arranged at the same position in the axial direction. It is a cross-sectional view.
  • the extending distance L10 of the first positive pressure generating groove 14 is about 2/3 of the extending distance L20 of the second positive pressure generating groove 24.
  • the end 24B of the second positive pressure generation groove 24 is arranged on the outer diameter side of the end 14B of the first positive pressure generation groove 14.
  • the width dimensions of the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 are almost the same. That is, since the extending distance L10 of the first positive pressure generating groove 14 is shorter than the extending distance L20 of the second positive pressure generating groove 24, the area of the first positive pressure generating groove 14 seen from the axial direction is the second. It is smaller than the area of the positive pressure generating groove 24.
  • the first positive pressure generating groove 14 has a constant depth D1 from the start end 14A to the end end 14B.
  • the second positive pressure generation groove 24 has a constant depth D2 from the start end 24A to the end end 24B.
  • the volumes of the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 are obtained by multiplying the areas of the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 when viewed from the axial direction by the depths D1 and D2. It is required by that. As described above, the area of the first positive pressure generating groove 14 viewed from the axial direction is smaller than the area of the second positive pressure generating groove 24, and the depths D1 and the second positive pressure of the first positive pressure generating groove 14 Since the depth D2 of the generation groove 24 has the same dimensions, the capacity of the first positive pressure generation groove 14 is smaller than the volume of the second positive pressure generation groove 24.
  • the inclination of the first positive pressure generating groove 14 with respect to the inner peripheral surface of the static sealing ring 10 in the circumferential direction is about the sliding surface 21.
  • the degree of inclination of the rotary sealing ring 20 with respect to the inner peripheral surface of the rotary sealing ring 20 in the circumferential direction is the same as that of the second positive pressure generating groove 24.
  • Atmosphere A that has moved toward the end 24B is increased in pressure at and near the acute-angled portion 24f of the wall portion 24b of the second positive pressure generation groove 24, and is between the sliding surfaces 11 and 21 as shown by the arrow L2. leak. That is, a positive pressure is generated at the acute angle portion 24f and its vicinity.
  • the atmosphere A in the second positive pressure generating groove 24 indicated by the arrow L2 acts to push the sealed fluid F near the end 24B of the second positive pressure generating groove 24 back to the outer space S2 side, so that the sealed fluid F Does not leak into the inner space S1.
  • the atmosphere A in the first positive pressure generation groove 14 receives a shearing force from the sliding surface 21 and rotates. While following the rotation direction of the sealing ring 20, the atmosphere A in the inner space S1 is drawn into the first positive pressure generating groove 14. That is, in the first positive pressure generation groove 14, the atmosphere A moves from the start end 14A toward the end end 14B as shown by the arrow L3.
  • Atmosphere A that has moved toward the end 14B is increased in pressure at and near the acute-angled portion 14f of the wall portion 14b of the first positive pressure generating groove 14, and is between the sliding surfaces 11 and 21 as shown by the arrow L4. leak. That is, a positive pressure is generated at the acute angle portion 14f and its vicinity.
  • the atmosphere A in the first positive pressure generating groove 14 indicated by the arrow L4 acts to push the sealed fluid F near the end 14B of the first positive pressure generating groove 14 back to the outer space S2 side, so that the sealed fluid F Does not leak into the inner space S1.
  • the first positive pressure generating groove 24 has a capacity smaller than that of the second positive pressure generating groove 24, as shown in FIG. 7A. Positive pressure is generated at the end 14B of the positive pressure generation groove 14.
  • the first force F1 due to the positive pressure generated at the end 14B of the first positive pressure generating groove 14 causes the sliding surfaces 11 and 21 to be slightly separated ⁇ a.
  • the sealed fluid F flows into the outer diameter side between the sliding surfaces 11 and 21 from the outer space S2.
  • the lubricity is improved even during low-speed rotation, and wear between the sliding surfaces 11 and 21 can be suppressed. Since the floating distance between the sliding surfaces 11 and 21 is small, the sealed fluid F does not leak into the inner space S1.
  • the atmosphere A since the capacity of the second positive pressure generating groove 24 is larger than the capacity of the first positive pressure generating groove 14, the atmosphere A generates the second positive pressure when the relative rotation speed between the rotary sealing ring 20 and the static sealing ring 10 is low.
  • the groove 24 is not sufficiently dense and a high positive pressure is not generated, and the second force F2 (not shown in FIG. 7A) due to the positive pressure generated by the second positive pressure generating groove 24 is the second. It is relatively smaller than 1 force F1. Therefore, when the rotary sealing ring 20 is rotated at a low speed, the first force F1 is the main force to separate the sliding surfaces 11 and 21 from each other.
  • a second force F2 due to the positive pressure generated at the end 24B of the second positive pressure generation groove 24 is applied, and the sliding surfaces 11 and 21 are further separated by ⁇ b ( ⁇ b> ⁇ a) as compared with FIG. 7A.
  • the atmosphere A in the second positive pressure generating groove 24 flows into the sliding surfaces 11 and 21 mainly as shown by the arrow L2.
  • the first force F1' is smaller than that of FIG. 7A because the sliding surfaces 11 and 21 are further separated from each other by ⁇ b ( ⁇ b> ⁇ a) as compared with FIG. 7A.
  • the second force F2' is mainly used to separate the sliding surfaces 11 and 21 from each other.
  • a plurality of intersections 15 of the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 are formed, and the atmosphere A is formed in the first positive pressure generating groove 14 from the starting end 14A side.
  • the atmosphere A is also introduced from the second positive pressure generation groove 24 through the intersection 15, so that the first force F1 (see FIG. 7) that separates the sliding surfaces 11 and 21 is set early. Can be generated in.
  • FIG. 8A shows a state in which the starting end 14A of the first positive pressure generating groove 14 and the starting end 24A of the second positive pressure generating groove 24 intersect when viewed from the axial direction. That is, the intersection 15 with the second positive pressure generating groove 24 is located at the starting end 14A of the first positive pressure generating groove 14.
  • the fluid in the second positive pressure generation groove 24 is collected in the intersection 15 by the side wall portion 14d of the first positive pressure generation groove 14, and the intersection 15 is the first positive pressure generation groove 14 and the second positive.
  • the pressure is higher than that of the portion of the pressure generating groove 24 other than the intersection 15.
  • intersection 15 moves as shown in FIG. 8C and is located at the end 14B of the first positive pressure generating groove 14.
  • a mass of fluid collected in the intersection 15 receives a shearing force at the side wall portion 24d of the second positive pressure generating groove 24 and the acute angle portion 14f of the first positive pressure generating groove 14, and a large positive pressure is generated. It is designed to do.
  • the fluid mass in the intersection 15 is moved from the start end 14A side of the first positive pressure generation groove 14 to the end 14B, and a large positive pressure is generated at the end 14B of the first positive pressure generation groove 14. Therefore, the first force F1 (see FIG. 7) that separates the sliding surfaces 11 and 21 can be generated at an early stage.
  • the sliding surface 11 of the static sealing ring 10 and the sliding surface 21 of the rotary sealing ring 20 slide in a state where the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 intersect. Since the intersection 15 of the first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 communicates with each other, the starting end 14A of the first positive pressure generating groove 14 is reached when the relative rotation speed is low. In addition, the fluid can be taken in from the opposite second positive pressure generation groove 24, and the first force F1 can be immediately generated.
  • the first positive pressure generating groove 14 is used when the relative rotation speed between the static sealing ring 10 and the rotary sealing ring 20 is low.
  • the sliding surfaces 11 and 21 are separated from each other mainly by the first force F1 due to the positive pressure generated by the atmosphere A inside.
  • the gap formed between the sliding surfaces 11 and 21 becomes large, so that positive pressure is less likely to be generated in the first positive pressure generating groove 14.
  • the second force F2 due to the positive pressure generated in the second positive pressure generation groove 24 is the main component, and the sliding surfaces 11 and 21 can be stably separated from each other. Therefore, it is possible to suppress wear between the sliding surfaces 11 and 21 from the relative rotation speed of the static sealing ring 10 and the rotating sealing ring 20 to the high speed.
  • a plurality of second positive pressure generating grooves 24 intersect with one first positive pressure generating groove 14, and when the static sealing ring 10 and the rotary sealing ring 20 are relatively rotated, a plurality of first positive pressures are generated. Since the atmosphere A can be taken into the generation groove 14 from the second positive pressure generation groove 24, the first force F1 can be generated at an early stage.
  • the positive pressure can be continuously generated in the first positive pressure generating groove 14, and the first force F1 can be stably generated. ..
  • first positive pressure generating groove 14 and the second positive pressure generating groove 24 extend in the circumferential direction from the inner space S1 side toward the outer diameter side. According to this, many first positive pressure generating grooves 14 and second positive pressure generating grooves 24 can be arranged on the sliding surfaces 11 and 21 of the static sealing ring 10 and the rotary sealing ring 20, so that the degree of freedom in design is high. ..
  • the end 14B of the first positive pressure generation groove 14 and the end 24B of the second positive pressure generation groove 24 are displaced in the radial direction, and the positive pressure and the second positive generated at the end 14B of the first positive pressure generation groove 14 Since the positive pressure generated at the end 24B of the pressure generating groove 24 does not interfere with each other, the sliding surfaces 11 and 21 can be stably separated from each other.
  • the extending distance L10 of the first positive pressure generating groove 14 is shorter than the extending distance L20 of the second positive pressure generating groove 24. According to this, since the end 14B of the first positive pressure generation groove 14 is closer to the start end 14A communicating with the inner space S1 than the end 24B of the second positive pressure generation groove 24, the first positive pressure generation groove 14 can be reached earlier. Positive pressure can be generated.
  • the sizes of the first positive pressure F1 and the second positive pressure F2 can be adjusted, so that the first positive pressure generating groove can be adjusted.
  • the depth and width of the 14 and the second positive pressure generating groove 24 can be made the same size, and the design is simple.
  • the static sealing ring 10 is provided with the first positive pressure generating groove 14, the positive pressure generated in the first positive pressure generating groove 14 is stable when the rotary sealing ring 20 is rotated at a low speed. Further, since the rotary sealing ring 20 is provided with the second positive pressure generating groove 24, it is easy to introduce the fluid into the second positive pressure generating groove 24, and the sliding surfaces 11 and 21 mainly composed of the second force F2 are connected to each other. The transition to separation can be done at an early stage.
  • the extension distance L10 of the first positive pressure generating groove 14 is about two-thirds of the extending distance L20 of the second positive pressure generating groove 24, but FIG.
  • the length of the second positive pressure generating groove 140 of the static sealing ring 100 may be about 1/3 of the length of the second positive pressure generating groove 24 (see FIG. 2). That is, the lengths of the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove may be freely changed.
  • FIG. 10 is a schematic cross section in which the first positive pressure generating groove of Article 1 and the second positive pressure generating groove of Article 1 are cut in the longitudinal direction and arranged at the same position in the axial direction. It is a figure.
  • the second positive pressure generation groove 241 of the rotary sealing ring 201 has a constant depth D20 from the start end 241A to the end end 241B.
  • the first positive pressure generation groove 141 of the static sealing ring 101 has a constant depth D10 from the start end 141A to the end end 141B.
  • the depth D20 of the second positive pressure generating groove 241 is deeper than the depth D10 of the first positive pressure generating groove 141 (D10 ⁇ D20).
  • the width dimension of the first positive pressure generating groove 141 and the width dimension of the second positive pressure generating groove 241 are the same.
  • the first positive pressure generating groove 141 becomes the first positive pressure generating groove 141 when the relative rotation speed between the static sealing ring 101 and the rotating sealing ring 201 is low.
  • the sliding surfaces 111, 211 are separated from each other mainly by the first force (not shown) due to the generated positive pressure.
  • the atmosphere A on the bottom surface 141a side of the first positive pressure generating groove 141 is more susceptible to shearing force than the atmosphere A on the bottom surface 241a side of the second positive pressure generating groove 241. Positive pressure can be generated.
  • the extension distance L11 of the first positive pressure generation groove 141 and the extension distance L21 of the second positive pressure generation groove 241 have the same dimensions, but the present invention is limited to this. It suffices that the volume of the first positive pressure generating groove is smaller than the volume of the second positive pressure generating groove.
  • the static sealing ring has a length dimension different from that of the second positive pressure generating groove. It may have a pressure generating groove. Further, the rotary sealing ring may have a second positive pressure generating groove having a length dimension different from that of the first positive pressure generating groove.
  • the first positive pressure generating groove 142 of the static sealing ring 102 is inclined along the circumferential direction with respect to the second positive pressure generating groove 24 of the rotary sealing ring 20.
  • end 142B of the first positive pressure generation groove 142 and the end 24B of the second positive pressure generation groove 24 are provided at the same positions in the radial direction so as to overlap each other when viewed from the axial direction.
  • the area R1 of the first positive pressure generating groove 142 viewed from the axial direction is smaller than the area R2 of the second positive pressure generating groove 24 (R1 ⁇ R2).
  • the depth of the first positive pressure generating groove 142 and the depth of the second positive pressure generating groove 24 in this embodiment are the same.
  • the volume of the first positive pressure generating groove 142 is smaller than the volume of the second positive pressure generating groove 24.
  • the area R1 of the first positive pressure generating groove 142 and the area R2 of the second positive pressure generating groove 24 may be the same but different in depth.
  • the first positive pressure generating groove 142 of the static sealing ring 102 is inclined along the circumferential direction with respect to the second positive pressure generating groove 24 of the rotary sealing ring 20, so that the static sealing ring 102 and the static sealing ring 102 At the start of relative rotation with the rotary sealing ring 20, the atmosphere A is more likely to be introduced into the first positive pressure generating groove 142 than in the second positive pressure generating groove 24, so that the positive pressure is introduced into the first positive pressure generating groove 142 at an early stage. Can be generated.
  • FIG. 12 the sliding surface of the static sealing ring seen from the axial direction is shown, the first positive pressure generating groove is shown by a solid line, and the facing second positive pressure generating groove is shown by a two-dot broken line.
  • the rotary sealing ring 20 has 24 second positive pressure generating grooves 24 arranged in the circumferential direction of the sliding surface 11 (see FIG. 2), and is shown in FIG. As described above, one second positive pressure generating groove 24 has a width W2 in the circumferential direction.
  • the static sealing ring 103 is equally arranged with 48 first positive pressure generating grooves 143 formed in the circumferential direction of the sliding surface 131 (only a part thereof is shown here). That is, the number of the first positive pressure generating grooves 143 is twice as large as that of the second positive pressure generating grooves 24.
  • the circumferential width W1 of the first positive pressure generating groove 143 is smaller than the circumferential width W2 of the second positive pressure generating groove 24 (W1 ⁇ W2), and the adjacent first positive pressure generating grooves 143 are connected to each other.
  • the separation width W3 is smaller than the separation width W4 between the second positive pressure generating grooves 24.
  • the extending distance between the first positive pressure generating groove 143 and the second positive pressure generating groove 24 is the same. That is, the area of the first positive pressure generating groove 143 as viewed from the axial direction is smaller than the area of the second positive pressure generating groove 24.
  • the depth of the first positive pressure generating groove 143 and the depth of the second positive pressure generating groove 24 in this embodiment are the same. That is, the volume of the first positive pressure generating groove 143 is smaller than the volume of the second positive pressure generating groove 24.
  • the first positive pressure generating groove 103 is uniformly first over the circumferential direction of the sliding surface 131 of the static sealing ring 103.
  • a force F1 (not shown here) can be generated.
  • the volume of the first positive pressure generating groove 143 can be made smaller than the volume of the second positive pressure generating groove 24, the positive pressure can be generated in the first positive pressure generating groove 143 at an early stage.
  • the first positive pressure generating groove 143 is formed on the sliding surface 131 of the static sealing ring 103 in a double number of the second positive pressure generating groove 24.
  • the sliding surface 151 of the static sealing ring 104 may be provided with the same number of first positive pressure generating grooves 143 as the second positive pressure generating grooves 24, for example, 24 pieces. If the volume of the second positive pressure generating groove is smaller than the volume of the first positive pressure generating groove, the second positive pressure generating groove may be provided in a smaller quantity than the first positive pressure generating groove.
  • the mechanical seal for general industrial machines has been described as an example as the sliding component, but other mechanical seals for automobiles, water pumps, etc. may be used.
  • the present invention is not limited to the mechanical seal, and may be a sliding component other than the mechanical seal such as a slide bearing.
  • the present invention is not limited to this, and the static sealing ring is not limited to the first positive pressure generating groove. 2
  • the positive pressure generating groove may be provided, and the first positive pressure generating groove may be provided in the rotary sealing ring.
  • the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove extend from the leak side toward the sealed fluid side in a circumferential direction, but the present invention is not limited to this.
  • the first positive pressure generating groove or the second positive pressure generating groove may be formed only by a component extending in the circumferential direction. That is, one of the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove has a component extending in the radial direction and a component extending in the circumferential direction, and at least a part of the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove is present. It suffices if they face each other so as to intersect at.
  • the embodiment in which the cross-sectional shapes of the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove are constant in the longitudinal direction is illustrated, but the capacity of the first positive pressure generating groove is the second positive pressure generating groove.
  • a step or an inclined surface may be formed on the bottom surfaces of the first positive pressure generating groove and the second positive pressure generating groove.
  • the sealed fluid side has been described as the high pressure side and the leak side as the low pressure side, the sealed fluid side may be the low pressure side and the leak side may be the high pressure side, and the sealed fluid side and the leak side are abbreviated.
  • the pressure may be the same.
  • the present invention is not limited to this, and sliding is not limited to this. It may be an outside type that seals the sealed fluid F that leaks from the inner diameter side to the outer diameter side of the surface.
  • the sealed fluid F has been described as a high-pressure liquid, but the sealed fluid F is not limited to this, and may be a gas or a low-pressure liquid, or may be a mist in which a liquid and a gas are mixed.
  • the fluid on the leak side is atmosphere A, which is a low-pressure gas, but the present invention is not limited to this, and it may be a liquid or a high-pressure gas, or a mist-like mixture of a liquid and a gas. It may be.

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Abstract

相対回転開始時から高速回転時にかけて摺動面同士の摩耗を抑制でき、かつ被密封流体の漏れを抑制できる一対の摺動部品を提供する。　第２摺動部品２０の摺動面２１には、漏れ側の空間Ｓ１に連通し、第２摺動部品１０の相対回転方向に延設されて閉塞された終端部２４Ｂを有する第２正圧発生溝２４が複数設けられ、第１摺動部品１０の摺動面１１には、漏れ側の空間Ｓ１に連通し、第２摺動部品２０の相対回転方向に延設されて閉塞された終端部１４Ｂを有する第１正圧発生溝１４が複数設けられ、摺動面１１と摺動面２１とは、第１正圧発生溝１４及び第２正圧発生溝２４の少なくとも一部が重なり合うように交差して摺動する。

Description

一対の摺動部品
　本発明は、相対回転する摺動部品に関し、例えば自動車、一般産業機械、あるいはその他のシール分野の回転機械の回転軸を軸封する軸封装置に用いられる一対の摺動部品、または自動車、一般産業機械、あるいはその他の軸受分野の機械の軸受に用いられる一対の摺動部品に関する。
　被密封流体の漏れを防止する軸封装置として例えばメカニカルシールは相対回転し摺動面同士が摺動する一対の環状の摺動部品を備えている。このようなメカニカルシールにおいて、近年においては環境対策等のために摺動により失われるエネルギーの低減が望まれている。
　例えば特許文献１に示されるメカニカルシールは、一対の環状の摺動部品が相対回転可能に構成され、外空間に被密封流体が存在し、内空間に低圧の流体が存在している。一方の摺動部品には、内空間に連通し、内径端から外径側に向けて周方向に傾斜しながら円弧状に延び、相対回転方向の下流にて終端が閉塞されている複数のスパイラル溝が設けられている。これによれば、一対の摺動部品の相対回転時には、一方の摺動部品のスパイラル溝には内空間から低圧の流体が導入されることで、終端及びその近傍に正圧が発生して一対の摺動部品の摺動面同士を僅かに離間させることで低摩擦化を実現している。
実願昭６０－１７０２８６号（実開昭６２－３１７７５号）のマイクロフィルム（第２，３頁、第２図）
　しかしながら、特許文献１のような摺動部品にあっては、スパイラル溝は一方の摺動部品に設けられ、内径端から外径側に延び内空間の低圧の流体を導入する構成であるので、低摩耗化が可能であるものの、摺動部品がある一定以上の高速回転状態になるまでは、スパイラル溝に十分な動圧が発生せず、摺動面同士を離間させるまでに時間がかかってしまい、摺動面同士が摩耗してしまう虞があった。
　本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、相対回転開始時から高速回転時にかけて摺動面同士の摩耗を抑制でき、かつ被密封流体の漏れを抑制できる一対の摺動部品を提供することを目的とする。
　前記課題を解決するために、本発明の一対の摺動部品は、
　回転機械の相対回転する箇所に配置され、摺動面同士が相対摺動する一対の摺動部品であって、
　第１摺動部品の摺動面には、漏れ側の空間に連通し、第２摺動部品の相対回転方向に延設されて閉塞された終端部を有する第１正圧発生溝が複数設けられ、
　前記第２摺動部品の摺動面には、前記漏れ側の空間に連通し、前記第１摺動部品の相対回転方向に延設されて閉塞された終端部を有する第２正圧発生溝が複数設けられ、
　前記第１摺動部品の摺動面と前記第２摺動部品の摺動面とは、前記第１正圧発生溝及び前記第２正圧発生溝の少なくとも一部が重なり合うように交差して摺動する。
　これによれば、第１正圧発生溝と第２正圧発生溝とが交差した部分は連通しているので、相対回転低速時には、第１正圧発生溝及び第２正圧発生溝の漏れ側の空間への連通部に加えて、対向する第１正圧発生溝または第２正圧発生溝からも流体を取り込むことができ、摺動面同士を離間させる力を即座に発生させることができる。
　各前記第１正圧発生溝に対して複数の前記第２正圧発生溝が交差するように対向して配置されていてもよい。
　これによれば、一対の摺動部品の相対回転時には、各第１正圧発生溝内に複数の第２正圧発生溝から流体を取り込むことができるので、第１正圧発生溝で正圧を早期に発生させることができる。
　前記第１正圧発生溝及び前記第２正圧発生溝は、漏れ側から被密封流体側に向けて周方向に傾斜して延びていてもよい。
　これによれば、第１摺動部品及び第２摺動部品の各摺動面に第１正圧発生溝または第２正圧発生溝を多く配置できるので、設計自由度が高い。
　前記第１正圧発生溝の終端部と前記第２正圧発生溝の終端部とは径方向にずれていてもよい。
　これによれば、第１正圧発生溝の終端部で生じる正圧と第２正圧発生溝の終端部で生じる正圧が互いに干渉しないので、摺動面同士を安定して離間させることができる。
　前記第１正圧発生溝の容積は、前記第２正圧発生溝の容積よりも小さくてもよい。
　これによれば、第１正圧発生溝の容積は第２正圧発生溝の容積よりも小さいため、摺動部品の相対回転低速時には、第１正圧発生溝内で流体により発生される正圧による第１力が主体となって摺動面同士が離間され、さらに摺動部品の相対回転速度が高くなるにつれ、第２正圧発生溝内で流体により発生される正圧による第２力が高まり、摺動部品の相対回転速度が充分に高くなると第２力は第１力よりも大きくなるため、第２力が主体となって摺動面同士が離間されるようになり、一対の摺動部品の相対回転低速時から高速時に亘って摺動面同士の摩耗を抑制することができる。また、摺動部品の相対回転高速時には、摺動面間に形成された隙間が大きくなることによって第１正圧発生溝内で正圧が生じにくくなり、第２正圧発生溝で発生する正圧による第２力が主体となって摺動面同士を安定して離間できる。よって、一対の摺動部品の相対回転開始時から高速回転時にかけて摺動面同士を離間させて摩耗を抑制することができる。
　前記第１正圧発生溝は、前記第２正圧発生溝と比べて延在距離が短くてもよい。
　これによれば、第１正圧発生溝の終端部が第２正圧発生溝の終端部に比べ漏れ側の空間に連通する始端部に近いので、第１正圧発生溝に早期に正圧を発生させることができる。
　前記第１正圧発生溝の深さは、前記第２正圧発生溝の深さと比べて浅くてもよい。
　これによれば、第１正圧発生溝に早期に正圧を発生させることができる。
　前記第１正圧発生溝は、前記第２正圧発生溝よりも周方向に沿うように傾斜していてもよい。
　これによれば、摺動部品の相対回転開始時には、第２正圧発生溝に比べて第１正圧発生溝に流体を導入しやすいので、第１正圧発生溝に早期に正圧を発生させることができる。
　前記第１正圧発生溝の幅寸法は、前記第２正圧発生溝の幅寸法と比べて小さくてもよい。
　これによれば、第１正圧発生溝の幅寸法は第２正圧発生溝の幅寸法と比べて小さいので、第１正圧発生溝に早期に正圧を発生させることができる。
　前記第１摺動部品が静止密封環であり、前記第２摺動部品が回転密封環であってもよい。
　これによれば、第１摺動部品が静止密封環であるため、低速回転時に第１正圧発生溝で生じる正圧が安定する。また、第２摺動部品が回転密封環であるため、第２正圧発生溝に流体を導入しやすく、第２力を主体とする摺動面同士の離間への移行を早期に行える。
本発明の実施例１におけるメカニカルシールの一例を示す縦断面図である。 回転密封環の摺動面を軸方向から見た図である。 静止密封環の摺動面を軸方向から見た図である。 静止密封環の摺動面と回転密封環の摺動面とを対向して配置した状態を説明する概略図である。なお、静止密封環の第１正圧発生溝を二点破線で示している。 第１正圧発生溝及び第２正圧発生溝を模式的に示す断面図である。 （ａ）は第２正圧発生溝の流体の動きを軸方向から見た説明図、（ｂ）は第１正圧発生溝の流体の動きを軸方向から見た説明図である。 （ａ）～（ｃ）は一対の摺動部品の相対回転速度毎の状態を模式的に示す断面図である。 第１正圧発生溝及び第２正圧発生溝の交差部の位置変化を示す説明図である。なお、１個の第１正圧発生溝と１個の第２正圧発生溝の交差部を取り上げて図示している。 実施例１の第１正圧発生溝の変形例１を示す説明図である。 本発明の実施例２におけるメカニカルシールの一例を概略的に示す説明図である。 本発明の実施例３におけるメカニカルシールの一例を概略的に示す説明図である。 本発明の実施例４におけるメカニカルシールの一例を概略的に示す説明図である。 実施例４の第１正圧発生溝の変形例２を示す説明図である。
　本発明に係る一対の摺動部品を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
　実施例１に係る一対の摺動部品につき、図１から図７を参照して説明する。尚、本実施例においては、一対の摺動部品がメカニカルシールである形態を例に挙げ説明する。また、メカニカルシールの外空間に被密封流体が存在し、内空間に大気が存在しており、メカニカルシールを構成する摺動部品の外径側を被密封流体側（高圧側）、内径側を漏れ側（低圧側）として説明する。また、説明の便宜上、図面において、摺動面に形成される溝等にドットを付すこともある。
　図１に示される一般産業機械用のメカニカルシールは、摺動面の外径側から内径側に向かって漏れようとする被密封流体Ｆを密封し内空間Ｓ１が大気Ａに通ずるインサイド形のものである。尚、本実施例では、被密封流体Ｆが高圧の液体であり、大気Ａが被密封流体Ｆよりも低圧の気体である形態を例示する。
　メカニカルシールは、回転軸１に固定されたスリーブ２に取り付けられ回転軸１と共に回転可能な状態で設けられた円環状の第２摺動部品としての回転密封環２０と、被取付機器のハウジング４に固定されたシールカバー５に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた第１摺動部品としての円環状の静止密封環１０と、から主に構成され、ベローズ７によって静止密封環１０が軸方向に付勢されることにより、静止密封環１０の摺動面１１と回転密封環２０の摺動面２１とが互いに密接摺動するようになっている。
　静止密封環１０及び回転密封環２０は、代表的にはＳｉＣ（硬質材料）同士またはＳｉＣ（硬質材料）とカーボン（軟質材料）の組み合わせで形成されるが、これに限らず、摺動材料はメカニカルシール用摺動材料として使用されているものであれば適用可能である。尚、ＳｉＣとしては、ボロン、アルミニウム、カーボン等を焼結助剤とした焼結体をはじめ、成分、組成の異なる２種類以上の相からなる材料、例えば、黒鉛粒子の分散したＳｉＣ、ＳｉＣとＳｉからなる反応焼結ＳｉＣ、ＳｉＣ－ＴｉＣ、ＳｉＣ－ＴｉＮ等があり、カーボンとしては、炭素質と黒鉛質の混合したカーボンをはじめ、樹脂成形カーボン、焼結カーボン等が利用できる。また、上記摺動材料以外では、金属材料、樹脂材料、表面改質材料（コーティング材料）、複合材料等も適用可能である。
　図２に示されるように、回転密封環２０の摺動面２１には、内径側に複数、例えば実施例１では２４個の第２正圧発生溝２４が周方向に均等に配設されている。尚、摺動面２１の第２正圧発生溝２４以外の部分は平坦面を成すランド２２となっている。
　第２正圧発生溝２４は、内径側の端部、すなわち相対回転始端２４Ａが内空間Ｓ１に連通し、始端２４Ａから外径側に向けて回転密封環２０の回転方向上流側に傾斜しながら円弧状に延びており、外径側の端部、すなわち相対回転終端２４Ｂが外空間Ｓ２と非連通状態となるように閉塞されている。この第２正圧発生溝２４は、外径側に向けて凸を有する円弧状を成している。
　詳細には、第２正圧発生溝２４は、始端２４Ａから終端２４Ｂに亘って平坦かつランド２２の平坦面に平行な底面２４ａと、底面２４ａの終端２４Ｂの端縁からランド２２の平坦面に向けて垂直に延びる壁部２４ｂと、底面２４ａの側縁からランド２２の平坦面に向けて垂直に延びる側壁部２４ｃ，２４ｄとから構成されている。尚、壁部２４ｂと側壁部２４ｃとが成す角は鈍角であり、壁部２４ｂと側壁部２４ｄとが成す角は鋭角であり、壁部２４ｂの側壁部２４ｄ側の鋭角部２４ｆの方が壁部２４ｂの側壁部２４ｃ側の鈍角部２４ｅよりも回転密封環２０の回転方向上流側に位置している。
　第２正圧発生溝２４は、軸方向から見て、複数、例えば実施例１では３個が径方向に重畳するように配置されている。言い換えると、半径線上に複数、例えば実施例１では３個の第２正圧発生溝２４が配置されている。
　図３に示されるように、静止密封環１０に対して回転密封環２０が矢印で示すように反時計周りに相対摺動するようになっており、静止密封環１０の摺動面１１には、内径側に複数、例えば実施例１では２４個の第１正圧発生溝１４が周方向に均等に配設されている。尚、摺動面１１の第１正圧発生溝１４以外の部分は平坦面を成すランド１２となっている。
　第１正圧発生溝１４は、内径側の端部、すなわち相対回転始端１４Ａが内空間Ｓ１に連通し、始端１４Ａから外径側に向けて回転密封環２０の回転方向下流に傾斜しながら円弧状に延びており、外径側の端部、すなわち相対回転終端１４Ｂが外空間Ｓ２と非連通状態となるように閉塞されている。この第１正圧発生溝１４は、外径側に向けて凸を有する円弧状を成している。
　詳細には、第１正圧発生溝１４は、始端１４Ａから終端１４Ｂに亘って平坦かつランド１２の平坦面に平行な底面１４ａと、底面１４ａの終端１４Ｂの端縁からランド１２の平坦面に向けて垂直に延びる壁部１４ｂと、底面１４ａの側縁からランド１２の平坦面に向けて垂直に延びる側壁部１４ｃ，１４ｄとから構成されている。尚、壁部１４ｂと側壁部１４ｃとが成す角は鈍角であり、壁部１４ｂと側壁部１４ｄとが成す角は鋭角であり、壁部１４ｂの側壁部１４ｄ側の鋭角部１４ｆの方が壁部１４ｂの側壁部１４ｃ側の鈍角部１４ｅよりも回転密封環２０の回転方向下流に位置している。
　第１正圧発生溝１４は、軸方向から見て、複数、例えば実施例１では２個が径方向に重畳するように配置されている。言い換えると、半径線上に複数、例えば実施例１では２個の第１正圧発生溝１４が配置されている。
　図４に示されるように、静止密封環１０の摺動面１１と回転密封環２０の摺動面２１とを対向させた状態にあっては、第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４とが軸方向から見て交差するように配置される。尚、図４では、軸方向から見た回転密封環２０の摺動面２１を図示し、第２正圧発生溝２４を実線、対向する第１正圧発生溝１４を二点破線で示している。
　具体的には、１つの第１正圧発生溝１４に対して複数、本実施例では５個の第２正圧発生溝２４が交差して対向配置されているとともに、１つの第２正圧発生溝２４に複数、本実施例では５個の第１正圧発生溝１４が交差して対向配置されている。すなわち、第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４との交差部１５が複数形成されている。
　また、図４及び図５に示されるように、第１正圧発生溝１４の始端１４Ａから終端１４Ｂまでの長さ、すなわち第１正圧発生溝１４の延在距離Ｌ１０は、第２正圧発生溝２４の始端２４Ａから終端２４Ｂまでの長さ、すなわち第２正圧発生溝２４の延在距離Ｌ２０と比べて短い（Ｌ１０＜Ｌ２０）。
　尚、図５は、説明の便宜上、１条の第１正圧発生溝１４及び１条の第２正圧発生溝２４をそれぞれ長手方向で切った断面を軸方向における同じ位置に並べた模式的な断面図である。
　具体的には、第１正圧発生溝１４の延在距離Ｌ１０は、第２正圧発生溝２４の延在距離Ｌ２０の２／３程度となっている。
　すなわち、第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂは、第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂよりも外径側に配置されている。
　また、第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４との幅寸法はほぼ同じである。つまり、第１正圧発生溝１４の延在距離Ｌ１０が第２正圧発生溝２４の延在距離Ｌ２０よりも短いことにより、軸方向からみた第１正圧発生溝１４の面積は、第２正圧発生溝２４の面積よりも小さい。
　また、図５に示されるように、第１正圧発生溝１４は始端１４Ａから終端１４Ｂに亘って一定の深さＤ１を有している。
　また、第２正圧発生溝２４は始端２４Ａから終端２４Ｂに亘って一定の深さＤ２を有している。尚、第１正圧発生溝１４の深さＤ１と第２正圧発生溝２４の深さＤ２とが同じ寸法となっている（Ｄ１＝Ｄ２）。
　第１正圧発生溝１４および第２正圧発生溝２４の容積は、軸方向からみたときの第１正圧発生溝１４および第２正圧発生溝２４の面積に深さＤ１，Ｄ２を乗じることで求められる。上述のように、軸方向からみた第１正圧発生溝１４の面積は、第２正圧発生溝２４の面積よりも小さく、且つ第１正圧発生溝１４の深さＤ１と第２正圧発生溝２４の深さＤ２とが同じ寸法であるので、第１正圧発生溝１４の容量は第２正圧発生溝２４の容積よりも小さい。
　また、本実施例１では、摺動面１１を軸方向に見たときに静止密封環１０の内周面に対する第１正圧発生溝１４の周方向への傾きは、摺動面２１を軸方向に見たときに回転密封環２０の内周面に対する第２正圧発生溝２４との周方向への傾きの度合いは同じである。
　次いで、静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転時における大気Ａの流れについて図６を用いて概略的に説明する。尚、図６の大気Ａの流れについては、回転密封環２０の相対回転速度を特定せずに概略的に示している。
　先ず、第２正圧発生溝２４内での大気Ａの流れについて説明する。図６（ａ）に示されるように、回転密封環２０が静止密封環１０に対して相対回転したときには、第２正圧発生溝２４内の大気Ａが矢印Ｌ１で示すように始端２４Ａから終端２４Ｂに向かって移動する。
　終端２４Ｂに向かって移動した大気Ａは、第２正圧発生溝２４の壁部２４ｂの鋭角部２４ｆ及びその近傍で圧力が高められ、矢印Ｌ２に示されるように摺動面１１，２１間に流出する。すなわち鋭角部２４ｆ及びその近傍で正圧が発生する。
　矢印Ｌ２で示す第２正圧発生溝２４内の大気Ａは、第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂ近傍の被密封流体Ｆを外空間Ｓ２側に押し戻すように作用するので、被密封流体Ｆが内空間Ｓ１に漏洩することはない。
　次いで、第１正圧発生溝１４内での大気Ａの流れについて説明する。図６（ｂ）に示されるように、回転密封環２０が静止密封環１０に対して相対回転したときには、第１正圧発生溝１４内の大気Ａが摺動面２１からせん断力を受け回転密封環２０の回転方向に追随移動するとともに、内空間Ｓ１の大気Ａが第１正圧発生溝１４内に引き込まれる。すなわち、第１正圧発生溝１４内では、大気Ａが矢印Ｌ３で示すように始端１４Ａから終端１４Ｂに向かって移動する。
　終端１４Ｂに向かって移動した大気Ａは、第１正圧発生溝１４の壁部１４ｂの鋭角部１４ｆ及びその近傍で圧力が高められ、矢印Ｌ４に示されるように摺動面１１，２１間に流出する。すなわち鋭角部１４ｆ及びその近傍で正圧が発生する。
　矢印Ｌ４で示す第１正圧発生溝１４内の大気Ａは、第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂ近傍の被密封流体Ｆを外空間Ｓ２側に押し戻すように作用するので、被密封流体Ｆが内空間Ｓ１に漏洩することはない。
　次いで、摺動面１１，２１を離間させる力の変化について図７を用いて説明する。
　まず、回転密封環２０が回転していない一般産業機械の非稼動時には、ベローズ７によって静止密封環１０が回転密封環２０側に付勢されているので摺動面１１，２１同士は接触状態となっており、摺動面１１，２１間の被密封流体Ｆが内空間Ｓ１に漏れ出す量はほぼない。
　回転密封環２０が静止密封環１０に対して相対回転し始めた直後の低速時では、図７（ａ）に示されるように、第２正圧発生溝２４の容量よりも小さい容量の第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂで正圧が発生する。
　第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂで発生した正圧による第１力Ｆ１により、摺動面１１，２１間が若干離間Δａする。これにより、摺動面１１，２１間の外径側には、外空間Ｓ２から被密封流体Ｆが流入する。このように摺動面１１，２１間に被密封流体Ｆが介在することにより低速回転時においても潤滑性が向上し、摺動面１１，２１同士の摩耗を抑制することができる。尚、摺動面１１，２１同士の浮上距離が僅かであるため、被密封流体Ｆが内空間Ｓ１に漏洩することはない。
　一方、第２正圧発生溝２４の容量は第１正圧発生溝１４の容量よりも大きいため、回転密封環２０と静止密封環１０との相対回転低速時には、大気Ａが第２正圧発生溝２４で十分に密とならず高い正圧は発生せず、第２正圧発生溝２４によって発生される正圧による第２力Ｆ２（図７（ａ）では図示していない。）は第１力Ｆ１よりも相対的に小さい。よって、回転密封環２０の低速回転時では、第１力Ｆ１が主体となって摺動面１１，２１同士を離間させるようになっている。
　回転密封環２０の相対回転速度が高まると、図７（ｂ）に示されるように、第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂで正圧が高まる。
　第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂで発生した正圧による第２力Ｆ２が加わり、図７（ａ）と比べ摺動面１１，２１間がさらに離間Δｂ（Δｂ＞Δａ）する。これにより、摺動面１１，２１間には、主に矢印Ｌ２で示すように第２正圧発生溝２４内の大気Ａが流入する。
　また、図７（ａ）と比べ摺動面１１，２１間がさらに離間Δｂ（Δｂ＞Δａ）することにより、第１力Ｆ１’は、図７（ａ）と比べ小さくなる。
　回転密封環２０の相対回転速度がさらに上がり高速回転、すなわち定常運転状態に達すると、図７（ｃ）に示されるように、第２正圧発生溝２４に引き込まれる大気Ａの流入量（図７（ｃ）の矢印Ｌ１’参照）がさらに増えて高い正圧が発生し、第２力Ｆ２’が大きくなり、図７（ｂ）と比べ摺動面１１，２１間がより大きく離間Δｃ（Δｃ＞Δｂ）する。
　これにより、摺動面１１，２１間には、図７（ｂ）と比べ矢印Ｌ２’で示すように第２正圧発生溝２４内の大気Ａがさらに流入される。
　矢印Ｌ２’で示す第２正圧発生溝２４内の大気Ａは、第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂ近傍の被密封流体Ｆを外空間Ｓ２側に押し戻すように作用する。このようにして、高速回転時には、摺動面１１，２１間の被密封流体Ｆは外空間Ｓ２に押し出され、摺動面１１，２１間にはほぼ大気Ａのみが存在するようになる。
　本実施例において、回転密封環２０の高速回転により浮上距離が大きくなると、第１正圧発生溝１４で発生する正圧は無視できるほど小さくなる。よって、回転密封環２０の高速回転時では、第２力Ｆ２’が主体となって摺動面１１，２１同士を離間するようになっている。
　図４に戻って、第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４との交差部１５が複数形成されており、第１正圧発生溝１４には、始端１４Ａ側から大気Ａが導入されることに加えて、交差部１５を通じて第２正圧発生溝２４からも大気Ａが導入されるので、摺動面１１，２１間を離間させる第１力Ｆ１（図７参照）を早期に発生させることができる。
　次いで、静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転時における第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４との交差位置の変化について図８を用いて説明する。尚、ここでは、説明の便宜上、１個の第１正圧発生溝１４と１個の第２正圧発生溝２４との交差部１５の位置変化について説明し、交差部１５を網点で図示する。
　図８（ａ）では、第１正圧発生溝１４との始端１４Ａと第２正圧発生溝２４の始端２４Ａが軸方向から見て交差した状態を示している。すなわち、第１正圧発生溝１４の始端１４Ａに第２正圧発生溝２４との交差部１５が位置している。
　回転密封環２０が静止密封環１０に対して相対回転すると、図８（ｂ）に示されるように交差部１５が第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂ側へ移動して第１正圧発生溝１４の長手方向中央部に位置する。
　このとき、第２正圧発生溝２４内の流体が第１正圧発生溝１４の側壁部１４ｄにより交差部１５内に集められ、交差部１５は、第１正圧発生溝１４および第２正圧発生溝２４における交差部１５以外の部位に比べて圧力が高くなっている。
　さらに回転密封環２０が静止密封環１０に対して相対回転すると、図８（ｃ）に示されるように交差部１５が移動して第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂに位置する。
　このとき、交差部１５内に集められた流体の塊が第２正圧発生溝２４の側壁部２４ｄと第１正圧発生溝１４の鋭角部１４ｆとでせん断力を受けて大きな正圧が発生するようになっている。
　このように、交差部１５内の流体の塊を第１正圧発生溝１４の始端１４Ａ側から終端１４Ｂに移動させ、第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂで大きな正圧を発生させるようになっているので、摺動面１１，２１間を離間させる第１力Ｆ１（図７参照）を早期に発生させることができる。
　以上説明したように、第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４とが交差した状態で静止密封環１０の摺動面１１と回転密封環２０の摺動面２１とが摺動するようになっており、第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４との交差部１５は連通しているので、相対回転低速時には、第１正圧発生溝１４の始端１４Ａに加えて、対向する第２正圧発生溝２４からも流体を取り込むことができ、第１力Ｆ１を即座に発生させることができる。
　また、第１正圧発生溝１４の容積は、第２正圧発生溝２４の容積よりも小さいため、静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転低速時には、第１正圧発生溝１４内で大気Ａにより発生される正圧による第１力Ｆ１が主体となって摺動面１１，２１同士が離間される。さらに静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転速度が高くなるにつれ、第２正圧発生溝２４内で大気Ａにより発生される正圧による第２力Ｆ２が高まり、静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転速度が充分に高くなると第２力Ｆ２は第１力Ｆ１よりも大きくなるため、第２力Ｆ２が主体となって摺動面１１，２１同士が離間されるようになる。これにより静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転低速時から高速時に亘って摺動面１１，２１同士の摩耗を抑制することができる。
　また、静止密封環１０と回転密封環２０の相対回転高速時には、摺動面１１，２１間に形成された隙間が大きくなることによって第１正圧発生溝１４内で正圧が生じにくくなり、第２正圧発生溝２４で発生する正圧による第２力Ｆ２が主体となって摺動面１１，２１同士を安定して離間できる。したがって、静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転低速時から高速時に亘って摺動面１１，２１同士の摩耗を抑制することができる。
　また、１個の第１正圧発生溝１４に対して複数の第２正圧発生溝２４が交差しており、静止密封環１０と回転密封環２０の相対回転時には、複数の第１正圧発生溝１４内に第２正圧発生溝２４から大気Ａを取り込むことができるので、第１力Ｆ１を早期に発生させることができる。
　また、静止密封環１０と回転密封環２０の相対回転時には、第１正圧発生溝１４内で正圧を連続的に発生させることができ、第１力Ｆ１を安定して発生させることができる。
　また、第１正圧発生溝１４及び第２正圧発生溝２４は、内空間Ｓ１側から外径側に向けて周方向に傾斜して延びている。これによれば、静止密封環１０及び回転密封環２０の各摺動面１１，２１に第１正圧発生溝１４と第２正圧発生溝２４とを多く配置できるので、設計自由度が高い。
　また、第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂと第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂとは径方向にずれており、第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂで生じる正圧と第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂで生じる正圧が互いに干渉しないので、摺動面１１，２１同士を安定して離間させることができる。
　また、第１正圧発生溝１４の延在距離Ｌ１０は、第２正圧発生溝２４の延在距離Ｌ２０と比べて短い。これによれば、第１正圧発生溝１４の終端１４Ｂが第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂに比べ内空間Ｓ１に連通する始端１４Ａに近いので、第１正圧発生溝１４に早期に正圧を発生させることができる。
　さらに、第１正圧発生溝１４および第２正圧発生溝２４の長さを調整することで、第１力Ｆ１と第２力Ｆ２との大きさを調整できるので、第１正圧発生溝１４および第２正圧発生溝２４の深さと幅を同じ寸法にでき、設計が簡便である。
　また、静止密封環１０に第１正圧発生溝１４が設けられているため、回転密封環２０の低速回転時には、第１正圧発生溝１４で生じる正圧が安定する。また、回転密封環２０に第２正圧発生溝２４が設けられているため、第２正圧発生溝２４に流体を導入しやすく、第２力Ｆ２を主体とする摺動面１１，２１同士の離間への移行を早期に行える。
　尚、本実施例１では、第１正圧発生溝１４の延在距離Ｌ１０が第２正圧発生溝２４の延在距離Ｌ２０の２／３程度となっている形態を例示したが、図９に示されるように、静止密封環１００の第２正圧発生溝１４０の長さが第２正圧発生溝２４の長さ（図２参照）の１／３程度となっていてもよい。すなわち、第１正圧発生溝と第２正圧発生溝との長さは自由に変更してもよい。
　次に、実施例２に係る一対の摺動部品につき、図１０を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。尚、図１０は、説明の便宜上、１条の第１正圧発生溝及び１条の第２正圧発生溝をそれぞれ長手方向で切った断面を軸方向における同じ位置に並べた模式的な断面図である。
　図１０に示されるように、回転密封環２０１の第２正圧発生溝２４１は、始端２４１Ａから終端２４１Ｂに亘って一定の深さＤ２０を有している。
　また、静止密封環１０１の第１正圧発生溝１４１は、始端１４１Ａから終端１４１Ｂに亘って一定の深さＤ１０を有している。
　この第２正圧発生溝２４１の深さＤ２０は、第１正圧発生溝１４１の深さＤ１０よりも深くなっている（Ｄ１０＜Ｄ２０）。
　また、第１正圧発生溝１４１の延在距離Ｌ１１と第２正圧発生溝２４１の延在距離Ｌ２１とは同じ寸法となっている（Ｌ１１＝Ｌ２１）。尚、図示しないが、第１正圧発生溝１４１の幅寸法と第２正圧発生溝２４１の幅寸法とは同一である。
　すなわち、第１正圧発生溝１４１の容積は第２正圧発生溝２４１の容積よりも小さいので、静止密封環１０１と回転密封環２０１との相対回転低速時には、第１正圧発生溝１４１に発生する正圧による第１力（図示略）が主体となって摺動面１１１，２１１同士が離間される。
　また、第１正圧発生溝１４１の底面１４１ａ側の大気Ａは、第２正圧発生溝２４１の底面２４１ａ側の大気Ａに比べせん断力を受けやすいので、第１正圧発生溝１４１に早期に正圧を発生させることができる。
　尚、本実施例２では、第１正圧発生溝１４１の延在距離Ｌ１１と第２正圧発生溝２４１の延在距離Ｌ２１とは同じ寸法となっている形態を例示したが、これに限られず、第１正圧発生溝の容積が第２正圧発生溝の容積よりも小さくなっていればよく、例えば、静止密封環は、第２正圧発生溝と異なる長さ寸法の第１正圧発生溝を有していてもよい。また、回転密封環は、第１正圧発生溝と異なる長さ寸法の第２正圧発生溝を有していてもよい。
　次に、実施例３に係る一対の摺動部品につき、図１１を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図１１に示されるように、静止密封環１０２の第１正圧発生溝１４２は、回転密封環２０の第２正圧発生溝２４よりも周方向に沿うように傾斜している。
　また、第１正圧発生溝１４２の終端１４２Ｂと第２正圧発生溝２４の終端２４Ｂとは径方向に同じ位置に設けられ、軸方向からみて重畳するようになっている。
　また、軸方向からみた第１正圧発生溝１４２の面積Ｒ１は、第２正圧発生溝２４の面積Ｒ２よりも小さくなっている（Ｒ１＜Ｒ２）。また、図示しないが、本実施例における第１正圧発生溝１４２の深さと第２正圧発生溝２４の深さは同一となっている。
　すなわち、第１正圧発生溝１４２の容積は第２正圧発生溝２４の容積よりも小さくなっている。尚、第１正圧発生溝１４２の面積Ｒ１と第２正圧発生溝２４の面積Ｒ２とが同一で、深さが異なるようになっていてもよい。
　上述のように、静止密封環１０２の第１正圧発生溝１４２は、回転密封環２０の第２正圧発生溝２４よりも周方向に沿うように傾斜しているので、静止密封環１０２と回転密封環２０との相対回転開始時では、第２正圧発生溝２４に比べて第１正圧発生溝１４２に大気Ａを導入しやすいので、第１正圧発生溝１４２に早期に正圧を発生させることができる。
　次に、実施例４に係る一対の摺動部品につき、図１２を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。さらに尚、図１２では、軸方向から見た静止密封環の摺動面を図示し、第１正圧発生溝を実線、対向する第２正圧発生溝を二点破線で示している。
　回転密封環２０（図２参照。）は、前述のように第２正圧発生溝２４が摺動面１１の周方向に２４個（図２参照）等配されており、図１２に示されるように、１個の第２正圧発生溝２４は周方向の幅Ｗ２を有している。
　静止密封環１０３は、第１正圧発生溝１４３が摺動面１３１の周方向に４８個（ここでは一部のみ図示）形成され等配されている。すなわち、第１正圧発生溝１４３は、第２正圧発生溝２４の倍の数量設けられている。
　第１正圧発生溝１４３の周方向の幅Ｗ１は第２正圧発生溝２４の周方向の幅Ｗ２よりも小さくなっており（Ｗ１＜Ｗ２）、隣接する第１正圧発生溝１４３同士の離間幅Ｗ３は第２正圧発生溝２４同士の離間幅Ｗ４よりも小さくなっている。これにより、第１正圧発生溝１４３を第２正圧発生溝２４の倍の数量で設けることができるようになっている。
　また第１正圧発生溝１４３と第２正圧発生溝２４との延在距離は同じとなっている。すなわち、軸方向からみた第１正圧発生溝１４３の面積は、第２正圧発生溝２４の面積よりも小さくなっている。
　また、図示しないが、本実施例における第１正圧発生溝１４３の深さと第２正圧発生溝２４の深さは同一となっている。すなわち、第１正圧発生溝１４３の容積は第２正圧発生溝２４の容積よりも小さくなっている。
　これによれば、第１正圧発生溝１４３が第２正圧発生溝２４の倍の数量となっていることから、静止密封環１０３の摺動面１３１の周方向に亘って均等に第１力Ｆ１（ここでは図示略）を発生させることができる。さらに、第１正圧発生溝１４３の容積を第２正圧発生溝２４の容積に比べて小さくできるので第１正圧発生溝１４３に早期に正圧を発生させることができる。
　尚、本実施例４では、静止密封環１０３の摺動面１３１に第１正圧発生溝１４３が第２正圧発生溝２４の倍の数量で形成されている形態を例示したが、例えば、図１３に示されるように、静止密封環１０４の摺動面１５１に第１正圧発生溝１４３が第２正圧発生溝２４と同じ数量、例えば２４個設けられていてもよい。尚、第２正圧発生溝の容積が第１正圧発生溝の容積よりも小さければ、第２正圧発生溝が第１正圧発生溝よりも少ない数量で設けられていてもよい。
　以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
　例えば、前記実施例では、摺動部品として、一般産業機械用のメカニカルシールを例に説明したが、自動車やウォータポンプ用等の他のメカニカルシールであってもよい。また、メカニカルシールに限られず、すべり軸受などメカニカルシール以外の摺動部品であってもよい。
　また、前記実施例では、静止密封環に第１正圧発生溝が設けられ、回転密封環に第２正圧発生溝が設けられる形態を例示したが、これに限られず、静止密封環に第２正圧発生溝が設けられ、回転密封環に第１正圧発生溝が設けられていてもよい。
　また、前記実施例では、第１正圧発生溝及び第２正圧発生溝が漏れ側から被密封流体側に向けて周方向に傾斜して延びている形態を例示したが、これに限られず、例えば、第１正圧発生溝または第２正圧発生溝が周方向に延びる成分のみで形成されていてもよい。すなわち、第１正圧発生溝または第２正圧発生溝の一方が径方向に延びる成分と周方向に延びる成分を有し、第１正圧発生溝及び第２正圧発生溝が少なくとも一部で交差するように対向していればよい。
　また、前記実施例では、第１正圧発生溝及び第２正圧発生溝の断面形状が長手方向に一定である形態を例示したが、第１正圧発生溝の容量が第２正圧発生溝の容量よりも小さければ、例えば、第１正圧発生溝及び第２正圧発生溝の底面に段差や傾斜面が形成されていてもよい。
　また、被密封流体側を高圧側、漏れ側を低圧側として説明してきたが、被密封流体側が低圧側、漏れ側が高圧側となっていてもよいし、被密封流体側と漏れ側とは略同じ圧力であってもよい。
　また、前記実施例では、摺動面の外径側から内径側に向かって漏れようとする被密封流体Ｆを密封するインサイド形のものである形態を例示したが、これに限られず、摺動面の内径側から外径側に向かって漏れようとする被密封流体Ｆを密封するアウトサイド形のものであってもよい。
　また、本実施例において、被密封流体Ｆは高圧の液体と説明したが、これに限らず気体または低圧の液体であってもよいし、液体と気体が混合したミスト状であってもよい。
　また、本実施例において、漏れ側の流体は低圧の気体である大気Ａであると説明したが、これに限らず液体または高圧の気体であってもよいし、液体と気体が混合したミスト状であってもよい。
１０　　　　　　　静止密封環（第１摺動部品）
１１　　　　　　　摺動面
１２　　　　　　　ランド
１４　　　　　　　第１正圧発生溝
１５　　　　　　　交差部
２０　　　　　　　回転密封環（第２摺動部品）
２１　　　　　　　摺動面
２２　　　　　　　ランド
２４　　　　　　　第２正圧発生溝
Ａ　　　　　　　　大気
Ｄ１，Ｄ２　　　　深さ
Ｆ　　　　　　　　被密封流体
Ｆ１　　　　　　　第１力
Ｆ２　　　　　　　第２力
Ｓ１　　　　　　　内空間（漏れ側の空間）
Ｓ２　　　　　　　外空間

Claims (10)

  1. 　回転機械の相対回転する箇所に配置され、摺動面同士が相対摺動する一対の摺動部品であって、
    　第１摺動部品の摺動面には、漏れ側の空間に連通し、第２摺動部品の相対回転方向に延設されて閉塞された終端部を有する第１正圧発生溝が複数設けられ、
    　前記第２摺動部品の摺動面には、前記漏れ側の空間に連通し、前記第１摺動部品の相対回転方向に延設されて閉塞された終端部を有する第２正圧発生溝が複数設けられ、
    　前記第１摺動部品の摺動面と前記第２摺動部品の摺動面とは、前記第１正圧発生溝及び前記第２正圧発生溝の少なくとも一部が重なり合うように交差して摺動する一対の摺動部品。
  2. 　各前記第１正圧発生溝に対して複数の前記第２正圧発生溝が交差するように対向して配置されている請求項１に記載の一対の摺動部品。
  3. 　前記第１正圧発生溝及び前記第２正圧発生溝は、漏れ側から被密封流体側に向けて周方向に傾斜して延びている請求項１または２に記載の一対の摺動部品。
  4. 　前記第１正圧発生溝の終端部と前記第２正圧発生溝の終端部とは径方向にずれている請求項１ないし３のいずれかに記載の一対の摺動部品。
  5. 　前記第１正圧発生溝の容積は、前記第２正圧発生溝の容積よりも小さい請求項１ないし４のいずれかに記載の一対の摺動部品。
  6. 　前記第１正圧発生溝は、前記第２正圧発生溝と比べて延在距離が短い請求項５に記載の一対の摺動部品。
  7. 　前記第１正圧発生溝の深さは、前記第２正圧発生溝の深さと比べて浅い請求項５または６に記載の一対の摺動部品。
  8. 　前記第１正圧発生溝は、前記第２正圧発生溝よりも周方向に沿うように傾斜している請求項５ないし７のいずれかに記載の一対の摺動部品。
  9. 　前記第１正圧発生溝の幅寸法は、前記第２正圧発生溝の幅寸法と比べて小さい請求項５ないし８のいずれかに記載の一対の摺動部品。
  10. 　前記第１摺動部品が静止密封環であり、前記第２摺動部品が回転密封環である請求項２ないし９のいずれかに記載の一対の摺動部品。
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