WO2022030251A1 - 伝搬時間測定装置 - Google Patents

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WO2022030251A1
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oscillator
propagation time
reverberation
received signal
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宜崇 鶴亀
ゆい 石田
将貴 矢和田
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Omron Corp
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Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
    • G01F1/667—Arrangements of transducers for ultrasonic flowmeters; Circuits for operating ultrasonic flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
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    • G—PHYSICS
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    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
    • G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters

Definitions

  • the present invention relates to a technique for measuring the propagation time of an acoustic signal.
  • a device that can measure the propagation time of an acoustic signal propagating inside a pipe by a sensor attached to the outside of the pipe and can measure the flow velocity and flow rate of the fluid flowing in the pipe in a non-destructive manner based on the propagation time has been put into practical use.
  • This type of device generally uses ultrasonic waves as an acoustic signal, and is called an “ultrasonic flow meter” or an “ultrasonic flow meter”.
  • Patent Document 1 a pair of ultrasonic oscillators arranged on the upstream side and the downstream side of a pipe are used to propagate the ultrasonic waves propagating in the forward direction and the ultrasonic waves propagating in the opposite direction of the fluid flow.
  • a device for determining the flow rate of a fluid based on a time difference is disclosed.
  • the propagation time difference is calculated by calculating the mutual correlation between the received signal of the ultrasonic vibrator on the upstream side and the received signal of the ultrasonic vibrator on the downstream side.
  • the electric signal (received signal) output from the oscillator contains reverberation. Become. If the received signal contains reverberation, the reverberation becomes noise, so that the propagation time cannot be accurately obtained, and the flow velocity and flow rate of the fluid flowing through the pipe cannot be accurately obtained.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a technique capable of accurately determining the propagation time.
  • the present invention adopts the following configuration.
  • the first aspect of the present invention is a plurality of oscillators arranged at different positions with respect to a pipe through which a fluid flows, and a first oscillator that converts a transmission signal as an electric signal into an acoustic signal, and the first oscillator.
  • a plurality of oscillators including at least a second oscillator that receives the acoustic signal transmitted from the oscillator and propagates through the fluid in the pipe and converts it into a received signal as an electric signal, and reverberation from the received signal.
  • a signal processing unit that obtains the propagation time of the acoustic signal from the first oscillator to the second oscillator by mutual correlation analysis between the transmitted signal and the received signal after removing the reverberation.
  • the signal processing unit propagates the acoustic signal from the first oscillator to the second oscillator by mutual correlation analysis between the transmitted signal and the received signal before removing the reverberation.
  • the time is obtained, the signal after the timing based on the obtained propagation time is removed as the reverberation, and the mutual correlation analysis between the transmission signal and the received signal after removing the reverberation is performed from the first oscillator.
  • a propagation time measuring device characterized in that the propagation time of the acoustic signal to the second oscillator is obtained again.
  • the reverberation contained in the received signal affects the required propagation time. Therefore, the timing at which the reverberation occurs can be accurately obtained based on the propagation time obtained by using the received signal before the reverberation is removed.
  • the signal after the timing so determined is removed from the received signal as reverberation, and the propagation time is obtained again using the received signal after the reverberation is removed. By doing so, the reverberation can be removed with high accuracy, and the propagation time can be obtained with high accuracy. Furthermore, since unnecessary signal values (reverberation signal values) are not used in the calculation of the propagation time, the processing time required for the calculation of the propagation time can be shortened, and the power consumption required for the calculation of the propagation time can be reduced. can.
  • the oscillator on the receiving side receives an acoustic signal having the same time length as the transmission signal from the timing when the propagation time has elapsed, and among the received signals, the signal after the reception of the acoustic signal is completed is reverberation. It is believed that there is. Therefore, in the first aspect, the timing is obtained by cross-correlation analysis between the transmission signal and the received signal before removing the reverberation from the timing at which the transmission signal is input to the first oscillator. It may be the timing when the total time of the propagation time and the time length of the transmission signal has elapsed. By doing so, the reverberation can be removed more accurately, and the propagation time can be obtained more accurately.
  • the second aspect of the present invention is a plurality of oscillators arranged at different positions with respect to a pipe through which a fluid flows, and a first oscillator that converts a transmission signal as an electric signal into an acoustic signal, and the first oscillator.
  • a plurality of oscillators including at least a second oscillator that receives the acoustic signal transmitted from the oscillator and propagates through the fluid in the pipe and converts it into a received signal as an electric signal, and reverberation from the received signal.
  • a signal processing unit that obtains the propagation time of the acoustic signal from the first oscillator to the second oscillator by mutual correlation analysis between the transmitted signal and the received signal after removing the reverberation.
  • the signal processing unit approximately obtains the envelope of the waveform of the received signal from the received signal before removing the reverberation, determines a threshold value based on the envelope, and is equal to or less than the determined threshold value.
  • a propagation time measuring device characterized in that a signal after the timing at which the signal value converges is removed as the reverberation.
  • the waveform of the received signal draws a relatively large envelope. And the signal value of reverberation is relatively small. Therefore, it is possible to accurately determine the timing at which reverberation occurs based on the envelope.
  • the envelope is approximately obtained from the received signal, and the signal after the timing at which the signal value converges below the threshold value based on the envelope is removed from the received signal as reverberation. Then, the propagation time is obtained using the received signal after the reverberation is removed. By doing so, the reverberation can be removed with high accuracy, and the propagation time can be obtained with high accuracy. Furthermore, since unnecessary signal values (reverberation signal values) are not used in the calculation of the propagation time, the processing time required for the calculation of the propagation time can be shortened, and the power consumption required for the calculation of the propagation time can be reduced. can.
  • the signal processing unit may determine a value obtained by reducing the peak of the envelope by a predetermined magnification as the threshold value. In the second aspect, the signal processing unit may determine a predetermined number of discrete values from the larger side as the threshold value among the plurality of discrete values constituting the envelope.
  • the third aspect of the present invention is a plurality of oscillators arranged at different positions with respect to a pipe through which a fluid flows, and a first oscillator that converts a transmission signal as an electric signal into an acoustic signal, and the first oscillator.
  • a plurality of oscillators including at least a second oscillator that receives the acoustic signal transmitted from the oscillator and propagates through the fluid in the pipe and converts it into a received signal as an electric signal, and reverberation from the received signal.
  • a signal processing unit that obtains the propagation time of the acoustic signal from the first oscillator to the second oscillator by mutual correlation analysis between the transmitted signal and the received signal after removing the reverberation.
  • the signal processing unit provides the signal after the timing at which the signal value converges to a predetermined number of peaks or less from the larger side among the plurality of peaks indicated by the received signal before the reverberation is removed.
  • a propagation time measuring device characterized by removing as a signal.
  • the received signal shows multiple peaks that gradually increase and then gradually decrease. And the signal value of reverberation is relatively small. Therefore, it is possible to accurately determine the timing at which reverberation occurs based on a plurality of peaks.
  • the signal after the timing at which the signal value converges below the threshold value is removed as the reverberation from the received signal with the predetermined number of peaks from the larger side as the threshold value among the plurality of peaks, and the reverberation is removed.
  • the propagation time is determined using the later received signal. By doing so, the reverberation can be removed with high accuracy, and the propagation time can be obtained with high accuracy. Furthermore, since unnecessary signal values (reverberation signal values) are not used in the calculation of the propagation time, the processing time required for the calculation of the propagation time can be shortened, and the power consumption required for the calculation of the propagation time can be reduced. can.
  • Each of the first side surface, the second side surface, and the third side surface further includes a storage unit for storing information regarding the timing in advance, and the signal processing unit is said to be based on the information stored in advance by the storage unit.
  • the reverberation may be removed.
  • the information regarding the timing may or may not be information indicating the timing itself.
  • the timing information may be information indicating the propagation time obtained by using the received signal before the reverberation is removed, or information indicating a threshold value based on an envelope or a plurality of peaks. good.
  • the signal processing unit is obtained by performing transmission from the first oscillator and reception by the second oscillator a plurality of times.
  • Information on the timing may be acquired using the received signal.
  • the first oscillator and the second oscillator may be arranged so as to face each other with the pipe interposed therebetween.
  • the first oscillator and the second oscillator may be arranged at different positions in the longitudinal direction of the pipe.
  • the transmission signal is input to the second oscillator, and the acoustic signal transmitted from the second oscillator is received from the first oscillator.
  • the signal processing unit further includes a switching unit for switching so that the received signal is output, and the signal processing unit further removes reverberation from the received signal output from the first oscillator and causes the second oscillator to perform switching.
  • the propagation time when the acoustic signal propagates from the upstream side to the downstream side and the propagation time when the acoustic signal propagates from the downstream side to the upstream side can be accurately obtained. Can be done.
  • the signal processing unit has a propagation time of the acoustic signal from the first oscillator to the second oscillator and a propagation time of the acoustic signal from the second oscillator to the first oscillator. Based on the difference, the flow velocity and / or the flow rate of the fluid in the pipe may be obtained. As a result, information on the fluid in the pipe can be obtained with high accuracy.
  • the present invention may be regarded as a propagation time measuring device having at least a part of the above configuration, or may be regarded as a flow velocity measuring device, a flow rate measuring device, a flow meter, a flow rate sensor, or the like. Further, the present invention may be regarded as a propagation time measuring method, a flow velocity measuring method, and a flow rate measuring method including at least a part of the above processing, or a program for realizing such a method or a program thereof non-temporarily. It can also be regarded as a recorded recording medium.
  • the present invention can be configured by combining each of the above configurations and treatments with each other as much as possible.
  • the propagation time can be obtained accurately.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a propagation time measuring device.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of installing an oscillator in a pipe.
  • FIG. 3 is a flowchart showing a flow of measurement operation of the propagation time measuring device according to the first embodiment.
  • 4A is a diagram showing an example of a transmission signal
  • FIG. 4B is a diagram showing an example of an acoustic signal based on the transmission signal of FIG. 4A
  • FIG. 4C is a diagram showing an example of a reception signal
  • FIG. 4D is a diagram showing a mutual. It is a figure which shows the example of the correlation function.
  • FIG. 5A is a diagram showing an example of a cross-correlation function
  • FIG. 5B is a diagram showing an example of the Hilbert transform.
  • FIG. 6 is a diagram showing the removal of reverberation in the first embodiment.
  • FIG. 7 is a flowchart showing a flow of measurement operation of the propagation time measuring device according to the second embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram showing the removal of reverberation in the second embodiment.
  • FIG. 9 is a flowchart showing a flow of measurement operation of the propagation time measuring device according to the third embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram showing the removal of reverberation in the third embodiment.
  • FIG. 11 is a flowchart showing a flow of measurement operation of the propagation time measuring device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram showing the removal of reverberation in the fourth embodiment.
  • the propagation time measuring device 1 includes two or more oscillators 101, receives an acoustic signal transmitted from one of the oscillators (for example, 101a) by another oscillator (for example, 101b), and receives the acoustic signal between the two oscillators.
  • the time (propagation time) required for the acoustic signal to propagate along the path of is obtained. Since the oscillators 101 are arranged at different positions with respect to the pipe 120, the acoustic signal propagating between the two oscillators 101 passes (crosses) the inside of the pipe 120.
  • the propagation time of the acoustic signal is not constant and changes depending on the state of the fluid 121 flowing in the pipe 120 (for example, the flow velocity, the flow rate, the presence of bubbles or foreign matter, etc.). Therefore, by using the propagation time measured by the propagation time measuring device 1, the state of the fluid 121 in the pipe 120 can be measured non-destructively.
  • the fluid 121 may be a liquid or a gas as long as it is a substance capable of propagating an acoustic signal.
  • the acoustic signal is typically ultrasonic, but may include sound waves in the audible range.
  • the propagation time measuring device 1 uses cross-correlation analysis to calculate the propagation time. For example, when the driving electric signal given to the transmitter 101 on the transmitting side is called a "transmission signal" and the electric signal output from the oscillator 101 on the receiving side is called a “received signal", the propagation time measuring device 1 transmits. Compute the cross-correlation function between the signal and the received signal. Then, the propagation time measuring device 1 obtains a lag (time delay) of the received signal with respect to the transmitted signal based on the maximum peak position of the cross-correlation function. This lag corresponds to the propagation time of the acoustic signal from the oscillator 101 on the transmitting side to the oscillator 101 on the receiving side.
  • the signal waveform of the transmitted signal is sufficiently preserved in the received signal, a clear peak appears in the cross-correlation function, so that the lag (that is, propagation time) between the two signals can be accurately obtained. ..
  • the received signal includes reverberation. If the received signal contains reverberation, the reverberation becomes noise. Therefore, in the cross-correlation function, a peak appears at a time position different from the actual propagation time, and the propagation time cannot be obtained accurately. .. As a result, it is not possible to accurately determine the flow velocity and flow rate of the fluid 121 flowing through the pipe 120.
  • the propagation time measuring device 1 removes the reverberation from the received signal, and obtains the propagation time using the received signal after removing the reverberation. Specifically, the propagation time measuring device 1 removes the reverberation by any of the following methods 1 to 3.
  • the removal of the reverberation may be a process of excluding the signal value of the reverberation from the cross-correlation analysis (calculation of the cross-correlation function), for example, a process of reducing (cutting) the signal value corresponding to the reverberation to zero. Alternatively, it may be a process that makes the reverberation signal value distinguishable from other signal values.
  • Method 1 In the method 1, the propagation time measuring device 1 obtains the propagation time by cross-correlation analysis between the transmitted signal and the received signal before removing the reverberation, and removes the signal after the timing based on the obtained propagation time as the reverberation. do. Then, the propagation time measuring device 1 obtains the propagation time again by the cross-correlation analysis between the transmitted signal and the received signal after removing the reverberation.
  • the reverberation contained in the received signal affects the required propagation time. Therefore, the timing at which the reverberation occurs can be accurately obtained based on the propagation time obtained by using the received signal before the reverberation is removed.
  • the signal after the timing so determined is removed from the received signal as reverberation, and the propagation time is obtained again using the received signal after the reverberation is removed.
  • the reverberation can be removed accurately, the correct peak (the peak at the position corresponding to the actual propagation time) can be detected accurately from the cross-correlation function, and the propagation time can be obtained accurately.
  • the propagation time measuring device 1 approximately obtains an envelope of the waveform of the received signal from the received signal before removing the reverberation, determines a threshold value based on the obtained envelope, and determines the determined threshold value.
  • the signals after the timing at which the signal values converge are removed as reverberations.
  • the waveform of the received signal draws a relatively large envelope. And the signal value of reverberation is relatively small. Therefore, it is possible to accurately determine the timing at which reverberation occurs based on the envelope.
  • the envelope is approximately obtained from the received signal, and the signal after the timing at which the signal value converges below the threshold value based on the envelope is removed from the received signal as reverberation. Then, the propagation time is obtained using the received signal after the reverberation is removed. By doing so, the reverberation can be removed with high accuracy, the correct peak can be detected with high accuracy from the cross-correlation function, and the propagation time can be obtained with high accuracy.
  • the propagation time measuring device 1 uses the signal after the timing at which the signal value converges to a predetermined number of peaks or less from the larger side among the plurality of peaks indicated by the received signal before the reverberation is removed as the reverberation. Remove.
  • the received signal shows multiple peaks that gradually increase and then gradually decrease. And the signal value of reverberation is relatively small. Therefore, it is possible to accurately determine the timing at which reverberation occurs based on a plurality of peaks.
  • the predetermined number of peaks from the larger side among the plurality of peaks is set as the threshold value, and the signal after the timing at which the signal value converges below the threshold value is removed as the reverberation from the received signal, and the reverberation is removed.
  • the propagation time is calculated using the received signal of. By doing so, the reverberation can be removed with high accuracy, the correct peak can be detected with high accuracy from the cross-correlation function, and the propagation time can be obtained with high accuracy.
  • any of the methods 1 to 3 since unnecessary signal values (reverberation signal values) are not used for the calculation of the propagation time (specifically, the calculation of the cross-correlation function), the processing time required for the calculation of the propagation time is calculated. It can also be shortened or the power consumption required to calculate the propagation time can be reduced.
  • FIG. 1 is a block diagram schematically showing the configuration of the propagation time measuring device 1
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of installing an oscillator in a pipe.
  • the propagation time measuring device 1 of the present embodiment is a device for measuring the flow velocity and the flow rate of the fluid 121 flowing in the pipe 120 in a non-destructive manner, and is also referred to as an ultrasonic flow meter or an ultrasonic flow sensor.
  • the propagation time measuring device 1 has a device main body 100 and a plurality of oscillators 101.
  • a cable is connected between the apparatus main body 100 and each oscillator 101.
  • two oscillators 101 a first oscillator 101a arranged on the upstream side in the longitudinal direction of the pipe 120 and a second oscillator 101b arranged on the downstream side of the first oscillator 101a.
  • first oscillator 101a and second oscillator 101b
  • the notation is simply "oscillator 101".
  • the number of oscillators 101 is not limited to two, and three or more oscillators 101 may be provided.
  • the oscillator 101 is a device that mutually converts an electric signal and an acoustic signal, and is also called a transducer.
  • the oscillator 101 for example, a piezoelectric element that mutually converts voltage and force by the piezo effect can be used.
  • each oscillator 101 is embedded in a clamp 30 made of resin.
  • the two oscillators 101a and 101b face each other across the pipe 120, and the straight line connecting the two oscillators 101a and 101b forms a predetermined angle ⁇ with respect to the axis of the pipe 120.
  • the oscillators 101a and 101b are installed.
  • the oscillator 101 can be easily attached to the existing pipe 120 (and without modifying the pipe 120) at an appropriate position.
  • the angle ⁇ is called the propagation angle of the acoustic signal.
  • the propagation angle ⁇ is arbitrary, but when the propagation time difference method described later is used, it may be set in the range of 0 degrees ⁇ ⁇ 90 degrees, preferably 20 degrees ⁇ ⁇ 60 degrees.
  • the device main body 100 has a control circuit 102, a D / A converter 103, an A / D converter 104, a switch 105, and an output device 106 as main configurations.
  • the control circuit 102 is a circuit that controls each part of the propagation time measuring device 1, performs signal processing, arithmetic processing, and the like.
  • the D / A converter 103 performs D / A conversion and signal amplification based on the transmission signal (digital data) input from the control circuit 102, and transmits a transmission signal (analog signal) of a predetermined voltage to the transducer 101. It is a circuit to output.
  • the A / D converter 104 is a circuit that performs A / D conversion of a received signal (analog signal) input from the vibrator 101 at a predetermined sampling cycle and outputs the received signal (digital data) to the control circuit 102.
  • the switch 105 is a switch that switches the connection relationship between the D / A converter 103 and the A / D converter 104 and the first oscillator 101a and the second oscillator 101b.
  • the oscillator 101 connected to the D / A converter 103 is the transmitting side
  • the oscillator 101 connected to the A / D converter 104 is the receiving side.
  • the output device 106 is a device that outputs information such as the results of signal processing and arithmetic processing by the control circuit 102, and is, for example, a display device.
  • the device main body 100 is provided with an input unit (for example, a button, a touch panel, etc.) for the user to operate, or a communication circuit (for example, a WiFi module) for transmitting information to an external device (for example, an external computer or a server). Etc.) may be provided.
  • the control circuit 102 includes a transmission signal generation unit 110, a signal processing unit 111, and a storage unit 112.
  • the transmission signal generation unit 110 has a function of generating data of a transmission signal used for measurement and outputting it to the D / A converter 103.
  • the signal processing unit 111 has a function of calculating the propagation time of the acoustic signal based on the transmission signal and the reception signal, and further calculating the flow velocity and / or the flow rate of the fluid from the propagation time.
  • the signal processing unit 111 also has a function of removing reverberation from the received signal. In the present embodiment, the signal processing unit 111 removes the reverberation by the method 1 described above.
  • the storage unit 112 stores waveform data that defines the waveform of the transmission signal.
  • the transmission signal generation unit 110 reads the waveform data from the storage unit 112 and generates the transmission signal data.
  • the control circuit 102 may be configured by, for example, a computer having a CPU (processor), RAM, a non-volatile storage device (for example, ROM, flash memory, hard disk, etc.), I / O, and the like.
  • the CPU expands the program stored in the storage device into the RAM and executes the program, thereby providing the functions of the transmission signal generation unit 110 and the signal processing unit 111.
  • the form of the computer does not matter. For example, it may be a personal computer, an embedded computer, a smartphone, a tablet terminal, or the like.
  • all or part of the functions provided by the control circuit 102 may be configured by a circuit such as an ASIC or FPGA.
  • the control circuit 102 may perform the processing described later in cooperation with another computer by using the technology of distributed computing or cloud computing.
  • the material, size, and shape of the pipe 120 do not matter.
  • metal piping or resin piping may be used.
  • the size of the pipe 120 may be a standard size defined by JIS or ANSI, or may be a unique size. Since the method of the present embodiment has an advantage that the measurement of a minute flow rate can be performed with high accuracy, a 1/8 inch pipe (outer diameter: 3.18 mm, inner diameter: 1.59 mm), 1/4 inch pipe It is particularly preferably applicable to the measurement of small pipes (outer diameter: 6.35 mm, inner diameter: 3.97 mm), 1/2 inch pipes (outer diameter: 12.70 mm, inner diameter: 9.53 mm). Further, the pipe is not limited to a straight pipe, but may be a pipe having a bent portion, a curved pipe, or the like, and the cross-sectional shape of the pipe is arbitrary.
  • step S100 the transmission signal generation unit 110 of the control circuit 102 reads the waveform data of the transmission signal from the storage unit 112.
  • step S101 the control circuit 102 controls the switch 105, connects the D / A converter 103 to the first oscillator 101a, and connects the A / D converter 104 to the second oscillator 101b.
  • the first oscillator 101a becomes the transmitting side and the second oscillator 101b becomes the receiving side.
  • step S102 the transmission signal generation unit 110 generates a transmission signal based on the waveform data read in step S100, and outputs the transmission signal to the D / A converter 103. Further, this transmission signal is temporarily stored in RAM (work memory) for use in the cross-correlation analysis in the subsequent stage.
  • step S103 the transmission signal D / A converted and amplified by the D / A converter 103 is input to the first oscillator 101a, and the acoustic signal based on the transmission signal is transmitted from the first oscillator 101a.
  • FIG. 4A is an example of a transmission signal, the horizontal axis is time, and the vertical axis is a signal value.
  • FIG. 4B is an example of an acoustic signal based on the transmission signal of FIG. 4A, where the horizontal axis is time and the vertical axis is sound pressure.
  • the amplitude of the transmission signal is constant, the amplitude of the acoustic signal is not constant because of the frequency characteristics of the vibrator.
  • the acoustic signal reaches the second oscillator 101b via the clamp 30, the pipe 120, and the fluid 121.
  • step S104 the second oscillator 101b converts the received acoustic signal into a received signal and outputs it to the A / D converter 104.
  • FIG. 4C is an example of a received signal, the horizontal axis is time, and the vertical axis is a signal value. In FIG. 4C, the vertical axis is enlarged with respect to FIG. 4A. Since the acoustic signal is attenuated in the propagation process, the amplitude (voltage) of the received signal is on the order of 1/100 to 1/1000 of that of the transmitted signal. For example, the amplitude of the transmitted signal in FIG. 4A is about 30 V, whereas the amplitude of the received signal in FIG. 4C is about 10 mV. Further, as shown in FIG. 4C, various noises including reverberation are carried in the received signal.
  • the received signal A / D converted by the A / D converter 104 is taken into the control circuit 102 and temporarily stored in the RAM (work memory).
  • step S105 the signal processing unit 111 reads the transmission signal and the reception signal from the RAM, and calculates the cross-correlation function between the two signals.
  • FIG. 4D is an example of the cross-correlation function, and only the vicinity of the maximum peak is enlarged and shown.
  • the horizontal axis is time (time shift amount), and the vertical axis is the value of cross-correlation standardized so that the height of the maximum peak is 1. Since the cross-correlation function is a known technique, detailed description thereof is omitted here.
  • step S106 the signal processing unit 111 obtains the time position of the maximum peak (peak) in the cross-correlation function calculated in step S105 as the propagation time T1 of the acoustic signal from the first oscillator 101a to the second oscillator 101b. ..
  • the propagation time T1 deviates from the actual propagation time due to the influence of the reverberation of the received signal and the like.
  • the cross-correlation function calculated in step S105 is composed of discrete data. Therefore, as shown in FIG. 5A, the points where the data of the cross-correlation function are obtained (points indicated by black circles) and the positions of the peaks (vertices) do not always match. Therefore, in step S106, the signal processing unit 111 estimates the position of the maximum peak after approximately obtaining the shape of the maximum peak and the waveform around it (maximum peak waveform) from the discrete data of the cross-correlation function. good. For example, as shown in FIG. 5B, the signal processing unit 111 may convert the data near the maximum peak in the cross-correlation function into phase data by the Hilbert transform.
  • the converted data may be linearly approximated, and the zero crossing point (position where the phase becomes zero) of the approximated straight line may be regarded as the position of the maximum peak.
  • the signal processing unit 111 may estimate the shape of the maximum peak waveform by interpolating the data near the maximum peak of the cross-correlation function by polynomial approximation, and determine the position of the peak. By such processing, the position where the cross-correlation is maximized, that is, the propagation time of the acoustic signal can be obtained with a resolution higher than the sampling period of the A / D conversion.
  • step S107 the signal processing unit 111 removes the signal after the timing based on the propagation time T1 obtained in step S106 from the received signal read in step S105 as reverberation.
  • the oscillator on the receiving side is considered to receive an acoustic signal having the same time length as the transmission signal from the timing when the propagation time has elapsed, and among the received signals, the signal after the reception of the acoustic signal is completed. Is considered to be a reverberation. Therefore, as shown in FIG. 6, the signal processing unit 111 is a signal after the timing when the total time of the propagation time T1 and the time length T0 of the transmission signal has elapsed from the timing when the transmission signal is input to the first oscillator 101a. Is removed from the received signal as a reverberation. By doing so, the reverberation can be removed with high accuracy.
  • step S108 the signal processing unit 111 calculates a cross-correlation function between the transmission signal read in step S105 and the received signal after removing the reverberation in step S107.
  • step S109 the signal processing unit 111 sets the time position of the maximum peak (peak) in the cross-correlation function calculated in step S108 as the propagation time T1'of the acoustic signal from the first oscillator 101a to the second oscillator 101b. demand.
  • the propagation time T1' which is close to the actual propagation time is obtained.
  • step S110 the control circuit 102 controls the switch 105, connects the D / A converter 103 to the second oscillator 101b, and connects the A / D converter 104 to the first oscillator 101a. That is, the oscillators on the transmitting side and the receiving side are exchanged. Subsequent processes of steps S111 to S118 are the same as the processes of steps S102 to S109 (however, "first oscillator 101a” is read as “second oscillator 101b", and "second oscillator 101b" is ".
  • step S115 the propagation time T2 of the acoustic signal from the second oscillator 101b to the first oscillator 101a is obtained from the cross-correlation function based on the received signal before the reverberation is removed.
  • step S118 the propagation time T2'of the acoustic signal from the second oscillator 101b to the first oscillator 101a is obtained from the cross-correlation function based on the received signal after the reverberation is removed.
  • the propagation time T1'of the acoustic signal from the first oscillator 101a to the second oscillator 101b and the propagation time T2' of the acoustic signal from the second oscillator 101b to the first oscillator 101a are obtained. Will be.
  • a time difference is generated between the propagation time T1'and the propagation time T2' depending on the flow velocity of the fluid 121. Therefore, the flow velocity and the flow rate of the fluid 121 can be calculated by using the propagation time T1'and the propagation time T2'. Since the reverberation is removed and the propagation time T1'and the propagation time T2'are accurately obtained, the flow velocity and the flow rate of the fluid 121 can also be accurately obtained.
  • step S119 the signal processing unit 111 obtains the flow velocity V of the fluid 121 by the following formula.
  • V is the flow velocity of the fluid
  • L is the propagation path length inside the pipe
  • ⁇ is the propagation angle
  • Tab is the propagation time T1'from the oscillator on the upstream side to the oscillator on the downstream side
  • Tba is the oscillator on the downstream side.
  • Propagation time T2'and To from to the oscillator on the upstream side are the propagation times of parts other than the fluid.
  • the propagation time To of the portion other than the fluid is, for example, the time during which the acoustic signal propagates through the clamp 30 and the portion of the pipe 120, and if the specifications of the pipe 120 (inner diameter, outer diameter, material, etc.) are known, an experiment is performed. Alternatively, it can be obtained in advance by simulation.
  • step S120 the signal processing unit 111 obtains the flow rate Q of the fluid by the following formula.
  • Q is the flow rate of the fluid
  • V is the flow velocity of the fluid
  • A is the cross-sectional area inside the pipe. It is assumed that the cross-sectional area A is known.
  • step S121 the signal processing unit 111 outputs the processing result (for example, propagation time, flow velocity, flow rate, etc.) to the output device 106.
  • the processing result for example, propagation time, flow velocity, flow rate, etc.
  • the timing at which the reverberation occurs can be accurately obtained based on the propagation time obtained by using the received signal before the reverberation is removed. Then, the signal after the timing so determined is removed from the received signal as reverberation, and the propagation time is obtained again using the received signal after the reverberation is removed. By doing so, the reverberation can be removed with high accuracy, and the propagation time can be obtained with high accuracy. Therefore, it can be applied to situations where high accuracy is required, such as measurement of a minute flow rate. Furthermore, since unnecessary signal values (reverberation signal values) are not used in the calculation of the propagation time, the processing time required for the calculation of the propagation time can be shortened, and the power consumption required for the calculation of the propagation time can be reduced. can.
  • the propagation time measuring device 1 removes reverberation by the method 2 described above. Since the basic configuration is the same as that of the first embodiment, the components different from those of the first embodiment will be mainly described below.
  • FIG. 7 is a flowchart showing the flow of the measurement operation of the propagation time measuring device 1 according to the second embodiment.
  • the same step numbers are assigned to the same processes as in the flowchart of the first embodiment (FIG. 3).
  • steps S100 to S104 is the same as that of the first embodiment.
  • the signal processing unit 111 reads the received signal from the RAM, and as shown in FIG. 8, approximately obtains the envelope of the waveform of the received signal. Since the envelope can be obtained by using a known technique, detailed description thereof is omitted here.
  • step S201 the signal processing unit 111 determines a value obtained by reducing the peak of the envelope obtained in step S200 by a predetermined magnification as a threshold value, and the signal value is equal to or less than the determined threshold value from the received signal read in step S200.
  • the predetermined magnification is not particularly limited, but is, for example, 1/2 times.
  • step S202 the signal processing unit 111 removes the signal after the time Ta detected in step S201 from the received signal read in step S200 as reverberation.
  • step S203 the signal processing unit 111 reads the transmission signal from the RAM and calculates the cross-correlation function between the read transmission signal and the received signal after removing the reverberation in step S202.
  • step S204 the signal processing unit 111 sets the time position of the maximum peak (peak) in the cross-correlation function calculated in step S203 as the propagation time T1'of the acoustic signal from the first oscillator 101a to the second oscillator 101b. demand.
  • the propagation time T1' which is close to the actual propagation time is obtained.
  • steps S110 to S113 is the same as that of the first embodiment.
  • the processing of steps S210 to S214 is the same as the processing of steps S200 to S204 (however, “first oscillator 101a” is read as “second oscillator 101b", and “second oscillator 101b” is “first oscillator 101b”. It should be read as "oscillator 101a”.)
  • step S211 the signal processing unit 111 determines a value obtained by reducing the peak of the envelope obtained in step S210 by a predetermined magnification as a threshold value, and the signal value is equal to or less than the determined threshold value from the received signal read in step S210. The time Tb until convergence is detected.
  • step S214 the propagation time T2'of the acoustic signal from the second oscillator 101b to the first oscillator 101a is obtained from the cross-correlation function based on the received signal after the reverberation is removed.
  • the processing of steps S119 to S121 is the same as that of the first embodiment.
  • the envelope of the waveform of the received signal is obtained from the received signal before the reverberation is removed, and the peak of the obtained envelope is reduced by a predetermined magnification. Is determined as the threshold. Then, from the received signal, the signal after the timing at which the signal value converges to the determined threshold value or less is removed as reverberation, and the propagation time is obtained using the received signal after the reverberation is removed.
  • the reverberation can be removed with high accuracy, and the propagation time can be obtained with high accuracy. Therefore, it can be applied to situations where high accuracy is required, such as measurement of a minute flow rate.
  • unnecessary signal values reverberation signal values
  • the processing time required for the calculation of the propagation time can be shortened, and the power consumption required for the calculation of the propagation time can be reduced. can.
  • the propagation time measuring device 1 according to the third embodiment of the present invention removes reverberation by the method 2 described above.
  • the specific method for removing the reverberation is different from that of the second embodiment. Since the basic configuration is the same as that of the above embodiment, the components different from the above embodiment will be mainly described below.
  • FIG. 9 is a flowchart showing the flow of the measurement operation of the propagation time measuring device 1 according to the third embodiment.
  • the same step numbers are assigned to the same processes as in the flowchart of the second embodiment (FIG. 7).
  • the processing of steps S100 to S104 and step S200 is the same as that of the second embodiment.
  • the envelope data obtained in step S200 is discrete data.
  • the time interval of the plurality of discrete values constituting the envelope is not particularly limited, but is equivalent to, for example, the time interval of the plurality of peaks indicated by the received signal, specifically, the same as the time interval of the plurality of peaks indicated by the transmitted signal. ..
  • step S301 the signal processing unit 111 determines a predetermined number of discrete values from the larger side as a threshold value among the plurality of discrete values constituting the envelope obtained in step S200. Then, the signal processing unit 111 detects the time Ta from the received signal read in step S200 until the signal value converges to the determined threshold value or less.
  • the predetermined number is not particularly limited, but is, for example, 10.
  • step S302 the signal processing unit 111 removes the signal after the time Ta detected in step S301 from the received signal read in step S200 as reverberation.
  • step S303 the signal processing unit 111 reads the transmission signal from the RAM and calculates the cross-correlation function between the read transmission signal and the received signal after removing the reverberation in step S302.
  • step S304 the signal processing unit 111 sets the time position of the maximum peak (peak) in the cross-correlation function calculated in step S303 as the propagation time T1'of the acoustic signal from the first oscillator 101a to the second oscillator 101b. demand.
  • the propagation time T1' which is close to the actual propagation time is obtained.
  • step S311 the signal processing unit 111 determines a predetermined number of discrete values from the larger side as a threshold value among the plurality of discrete values constituting the envelope obtained in step S210. Then, the signal processing unit 111 detects the time Tb from the received signal read in step S210 until the signal value converges to the determined threshold value or less.
  • step S314 the propagation time T2'of the acoustic signal from the second oscillator 101b to the first oscillator 101a is obtained from the cross-correlation function based on the received signal after the reverberation is removed.
  • the processing of steps S119 to S121 is the same as that of the second embodiment.
  • the envelope of the waveform of the received signal is obtained from the received signal before the reverberation is removed, and among the plurality of discrete values constituting the obtained envelope, the envelope is obtained.
  • the predetermined number of discrete values from the larger side is determined as the threshold value.
  • the signal after the timing at which the signal value converges to the determined threshold value or less is removed as reverberation, and the propagation time is obtained using the received signal after the reverberation is removed.
  • the reverberation can be removed with high accuracy, and the propagation time can be obtained with high accuracy. Therefore, it can be applied to situations where high accuracy is required, such as measurement of a minute flow rate.
  • unnecessary signal values reverberation signal values
  • the processing time required for the calculation of the propagation time can be shortened, and the power consumption required for the calculation of the propagation time can be reduced. can.
  • the propagation time measuring device 1 according to the fourth embodiment of the present invention removes reverberation by the method 3 described above. Since the basic configuration is the same as that of the above embodiment, the components different from the above embodiment will be mainly described below.
  • FIG. 11 is a flowchart showing the flow of the measurement operation of the propagation time measuring device 1 according to the fourth embodiment.
  • the same step numbers are assigned to the same processes as in the flowchart of the first embodiment (FIG. 3).
  • steps S100 to S104 is the same as that of the first embodiment.
  • the signal processing unit 111 reads the received signal from the RAM, and determines the predetermined number of peaks from the larger side among the plurality of peaks indicated by the received signal as the threshold value. Then, the signal processing unit 111 detects the time Ta from the received signal until the signal value converges to the determined threshold value or less.
  • the predetermined number is not particularly limited, but is, for example, 10.
  • step S401 the signal processing unit 111 removes the signal after the time Ta detected in step S400 from the received signal read in step S400 as reverberation.
  • step S402 the signal processing unit 111 reads the transmission signal from the RAM and calculates the cross-correlation function between the read transmission signal and the received signal after removing the reverberation in step S401.
  • step S403 the signal processing unit 111 sets the time position of the maximum peak (peak) in the cross-correlation function calculated in step S402 as the propagation time T1'of the acoustic signal from the first oscillator 101a to the second oscillator 101b. demand.
  • the propagation time T1' which is close to the actual propagation time is obtained.
  • steps S110 to S113 is the same as that of the first embodiment.
  • the processing of steps S410 to S413 is the same as the processing of steps S400 to S403 (however, “first oscillator 101a” is read as “second oscillator 101b", and “second oscillator 101b” is “first oscillator 101b”. It should be read as "oscillator 101a”.)
  • the signal processing unit 111 reads the received signal (received signal acquired in step S113) from the RAM, and among the plurality of peaks indicated by the received signal, the predetermined number of peaks from the larger side is set as a threshold value. decide.
  • the signal processing unit 111 detects the time Tb from the received signal until the signal value converges to the determined threshold value or less.
  • the propagation time T2'of the acoustic signal from the second oscillator 101b to the first oscillator 101a is obtained from the cross-correlation function based on the received signal after the reverberation is removed.
  • the processing of steps S119 to S121 is the same as that of the first embodiment.
  • the predetermined number of peaks from the larger side is determined as the threshold value. Then, from the received signal, the signal after the timing at which the signal value converges to the determined threshold value or less is removed as reverberation, and the propagation time is obtained using the received signal after the reverberation is removed.
  • the reverberation can be removed with high accuracy, and the propagation time can be obtained with high accuracy. Therefore, it can be applied to situations where high accuracy is required, such as measurement of a minute flow rate.
  • the processing time required for the calculation of the propagation time can be shortened, and the power consumption required for the calculation of the propagation time can be reduced. can.
  • the peak to be shown in the received signal may not be shown. In such a case, it can be expected that more accurate propagation time can be obtained in the first to third embodiments, but processing such as obtaining a provisional propagation time and obtaining an envelope is increased.
  • the above embodiment merely illustrates the configuration of the present invention.
  • the present invention is not limited to the above-mentioned specific form, and various modifications can be made within the scope of its technical idea.
  • the propagation time measuring device may simply perform a process of measuring the propagation time (at least one of the propagation time T1'and the propagation time T2'). Further, if the propagation time is simply measured, the propagation angle ⁇ may be 90 degrees.
  • the clamp-on type device that can be attached so as to sandwich the pipe is exemplified, but a pipe built-in type device configuration may be adopted.
  • the number of oscillators may be three or more, and the oscillator pair used for propagating the acoustic signal from the upstream side to the downstream side and the oscillator pair used for propagating the acoustic signal from the downstream side to the upstream side are separated. May be good.
  • the oscillator on the transmitting side and the oscillator on the receiving side may be arranged at different positions with respect to the pipe, may not be arranged so as to face each other across the pipe, and may be arranged in different longitudinal directions of the pipe. It does not have to be placed in position.
  • the storage unit 112 may store information regarding the timing at which reverberation occurs in advance, and the signal processing unit 111 may remove the reverberation based on the information stored by the storage unit 112.
  • the information regarding the timing at which the reverberation occurs may be information indicating the timing itself (time T1 + T0 of the first embodiment, time T2 + T0, time Ta, Tb of the second to fourth embodiments, etc.), and so on. It does not have to be.
  • the information regarding the timing at which the reverberation occurs may be information indicating the propagation time (propagation time T1 or propagation time T2 of the first embodiment) obtained by using the received signal including the reverberation.
  • the information regarding the timing at which the reverberation occurs may be information indicating a threshold value (threshold value used in the second to fourth embodiments) based on the envelope or a plurality of peaks.
  • Information regarding the timing at which reverberation occurs is obtained, for example, in the pre-measurement by the same method as that described in the first to fourth embodiments. Then, in this measurement, the signal processing unit 111 reads the information from the storage unit 112 instead of requesting the information regarding the timing at which the reverberation occurs. For example, when the propagation time T1'is obtained by the method of the first embodiment, the processes of steps S101 to S106 of FIG. 3 are performed in the pre-measurement, and the signal processing unit 111 stores the obtained propagation time T1. Store in 112. Then, in this measurement, the processes of steps S101 to S104 are performed, the signal processing unit 111 reads the propagation time T1 from the storage unit 112, and the processes of steps S107 to S109 are performed.
  • the acoustic signal may be transmitted and received a plurality of times by the oscillator pair. Then, the signal processing unit 111 may acquire information regarding the timing at which reverberation occurs by using a plurality of received signals obtained by a plurality of transmissions and receptions. Since the resolution is apparently improved by synthesizing a plurality of received signals, it is possible to obtain the timing at which reverberation occurs more accurately by using a plurality of received signals. For example, the propagation time T1, the propagation time T2, the envelope, the peak of the received signal, and the like can be obtained more accurately. As a result, the reverberation can be removed more accurately, and the propagation time can be obtained more accurately.
  • the time Ta for removing the reverberation from the received signal (corresponding to the acoustic signal from the first oscillator 101a to the second oscillator 101b) obtained by the second oscillator 101b.
  • an example of individually determining the time Tb for removing the reverberation from the received signal (corresponding to the acoustic signal from the second oscillator 101b to the first oscillator 101a) obtained by the first oscillator 101a will be described.
  • only one of the times Ta and Tb may be detected, and the detected time may be used as the other of the times Ta and Tb. As a result, the processing load and processing time can be reduced.
  • steps S210 and S211 in FIG. 7 envelope detection, threshold value determination, and time Tb detection
  • steps S210 and S311 envelope detection, threshold value determination, and time Tb detection
  • steps S410 of FIG. 11 threshold value determination and time Tb detection
  • one of the propagation times T1 and T2 may be used as the other of the propagation times T1 and T2.
  • one of the two threshold values for determining the two time Tas and Tb may be used as the other of the two threshold values.
  • ⁇ Appendix 1> A plurality of oscillators (101a, 101b) arranged at different positions with respect to a pipe (120) through which a fluid (121) flows, and a first oscillator (101a) that converts a transmission signal as an electric signal into an acoustic signal. ) And the second oscillator (101b) that receives the acoustic signal transmitted from the first oscillator (101a) and propagates through the fluid (121) in the pipe (120) and converts it into a received signal as an electric signal.
  • a propagation time measuring device (1) By cross-correlation analysis between the transmitted signal and the received signal after removing the reverberation, the propagation time of the acoustic signal from the first vibrator (101a) to the second vibrator (101b) is obtained again.
  • a propagation time measuring device (1) By cross-correlation analysis between the transmitted signal and the received signal after removing the reverberation, the propagation time of the acoustic signal from the first vibrator (101a) to the second vibrator (101b) is obtained again.
  • ⁇ Appendix 2> A plurality of oscillators (101a, 101b) arranged at different positions with respect to a pipe (120) through which a fluid (121) flows, and a first oscillator (101a) that converts a transmission signal as an electric signal into an acoustic signal. ) And the second oscillator (101b) that receives the acoustic signal transmitted from the first oscillator (101a) and propagates through the fluid (121) in the pipe (120) and converts it into a received signal as an electric signal.
  • a propagation time measuring device (1) characterized in that a signal after the timing at which the signal value converges is removed as the reverberation.
  • ⁇ Appendix 3> A plurality of oscillators (101a, 101b) arranged at different positions with respect to a pipe (120) through which a fluid (121) flows, and a first oscillator (101a) that converts a transmission signal as an electric signal into an acoustic signal. ) And the second oscillator (101b) that receives the acoustic signal transmitted from the first oscillator (101a) and propagates through the fluid (121) in the pipe (120) and converts it into a received signal as an electric signal.
  • the signal processing unit (111) for obtaining Equipped with The signal processing unit (111) uses as the reverberation a signal after the timing at which the signal value converges to a predetermined number of peaks or less from the larger side among the plurality of peaks indicated by the received signal before the reverberation is removed.
  • Propagation time measuring device 30 Clamp 100: Device main body 101: Oscillator 101a: First oscillator 101b: Second oscillator 102: Control circuit 103: D / A converter 104: A / D converter 105: Switching Device 106: Output device 110: Transmission signal generation unit 111: Signal processing unit 112: Storage unit 120: Piping 121: Fluid

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Abstract

送信信号と受信信号のあいだの相互相関解析により音響信号の伝搬時間を求める装置において、送信信号と残響を除去する前の受信信号とのあいだの相互相関解析により伝搬時間を求め、受信信号から、求めた伝搬時間に基づくタイミング以降の信号を、残響として除去し、送信信号と残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により伝搬時間を再び求める。

Description

伝搬時間測定装置
　本発明は、音響信号の伝搬時間を測定する技術に関する。
　配管の外側に取り付けたセンサによって配管内部を伝搬する音響信号の伝搬時間を測定し、その伝搬時間に基づき、配管内を流れる流体の流速や流量を非破壊で計測可能な装置が実用化されている。この種の装置は、音響信号として超音波を用いることが一般的であり、「超音波流量計」あるいは「超音波式流量計」などと呼ばれる。
　例えば特許文献１には、配管の上流側及び下流側に配置された一対の超音波振動子を用いて、流体の流れの正方向に伝搬した超音波と逆方向に伝搬した超音波との伝搬時間差に基づいて流体の流量を求める装置が開示されている。特許文献１の装置では、上流側の超音波振動子の受信信号と下流側の超音波振動子の受信信号の相互相関を計算することにより、伝搬時間差を計算している。
特開２０１７－１８７３１０号公報
　しかしながら、超音波などの音響信号を受信する振動子は、受信する音響信号が無くなっても直ちに停止することはできないため、振動子から出力される電気信号（受信信号）に残響が含まれることになる。そして、受信信号に残響が含まれていると、残響がノイズとなるため、伝搬時間を精度よく求めることができず、配管を流れる流体の流速や流量を精度よく求めることができない。
　本発明は上記実情に鑑みなされたものであって、伝搬時間を精度よく求めることができる技術を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用する。
　本発明の第一側面は、流体を流す配管に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子と、前記第１振動子から送信されて前記配管内の流体を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子とを少なくとも含む、複数の振動子と、前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部と、を備え、前記信号処理部は、前記送信信号と前記残響を除去する前の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求め、求めた伝搬時間に基づくタイミング以降の信号を、前記残響として除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を再び求めることを特徴とする伝搬時間測定装置を提供する。
　受信信号に含まれる残響は、求められる伝搬時間に影響を及ぼす。そのため、残響が除去される前の受信信号を用いて求められた伝搬時間に基づき、残響が発生するタイミングを精度よく求めることができる。上述した構成では、受信信号から、そのように求められたタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が再び求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、伝搬時間を精度よく求めることができる。さらに、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることができる。
　受信側の振動子は、伝搬時間が経過したタイミングから送信信号の時間長と同じ時間長の音響信号を受信すると考えられ、受信信号のうち、音響信号の受信が終わった後の信号は残響であると考えられる。このため、第一側面において、前記タイミングは、前記第１振動子に前記送信信号を入力したタイミングから、前記送信信号と前記残響を除去する前の受信信号とのあいだの相互相関解析により求められた伝搬時間と、前記送信信号の時間長との合計時間が経過したタイミングであるとしてもよい。こうすることで、残響をより精度よく除去することができ、伝搬時間をより精度よく求めることができる。
　本発明の第二側面は、流体を流す配管に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子と、前記第１振動子から送信されて前記配管内の流体を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子とを少なくとも含む、複数の振動子と、前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部と、を備え、前記信号処理部は、前記残響を除去する前の受信信号から、当該受信信号の波形の包絡線を近似的に求め、前記包絡線に基づいて閾値を決定し、決定した閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、前記残響として除去することを特徴とする伝搬時間測定装置を提供する。
　受信信号の波形は、比較的大きな包絡線を描く。そして、残響の信号値は比較的小さい。そのため、包絡線に基づき、残響が発生するタイミングを精度よく求めることができる。上述した構成では、受信信号から包絡線が近似的に求められ、受信信号から、包絡線に基づく閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号が残響として除去される。そして、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、伝搬時間を精度よく求めることができる。さらに、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることができる。
　第二側面において、前記信号処理部は、前記包絡線のピークを所定の倍率で低減した値を、前記閾値として決定するとしてもよい。第二側面において、前記信号処理部は、前記包絡線を構成する複数の離散値のうち、大きい側から所定数番目の離散値を、前記閾値として決定するとしてもよい。
　本発明の第三側面は、流体を流す配管に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子と、前記第１振動子から送信されて前記配管内の流体を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子とを少なくとも含む、複数の振動子と、前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部と、を備え、前記信号処理部は、前記残響を除去する前の受信信号が示す複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピーク以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、前記残響として除去することを特徴とする伝搬時間測定装置を提供する。
　受信信号は、徐々に大きくなり、その後徐々に小さくなる複数のピークを示す。そして、残響の信号値は比較的小さい。そのため、複数のピークに基づき、残響が発生するタイミングを精度よく求めることができる。上述した構成では、複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピークを閾値として、受信信号から、閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、伝搬時間を精度よく求めることができる。さらに、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることができる。
　第一側面、第二側面、及び、第三側面のそれぞれにおいて、前記タイミングに関する情報を予め記憶する記憶部をさらに備え、前記信号処理部は、前記記憶部が予め記憶した前記情報に基づいて前記残響を除去するとしてもよい。タイミングに関する情報は、当該タイミングそのものを示す情報であってもよいし、そうでなくてもよい。例えば、タイミングに関する情報は、残響が除去される前の受信信号を用いて求められた伝搬時間を示す情報であってもよいし、包絡線や複数のピークに基づく閾値を示す情報であってもよい。
　第一側面、第二側面、及び、第三側面のそれぞれにおいて、前記信号処理部は、前記第１振動子からの送信及び前記第２振動子による受信を複数回行うことによって得られた複数の受信信号を用いて、前記タイミングに関する情報を取得するとしてもよい。こうすることで、残響が発生するタイミングをより精度よく求めることができる。ひいては、残響をより精度よく除去することができ、伝搬時間をより精度よく求めることができる。
　第一側面、第二側面、及び、第三側面のそれぞれにおいて、前記第１振動子と前記第２振動子は、前記配管を挟んで対向するように配置されるとしてもよい。第一側面、第二側面、及び、第三側面のそれぞれにおいて、前記第１振動子と前記第２振動子は、前記配管の長手方向の異なる位置に配置されるとしてもよい。
　第一側面、第二側面、及び、第三側面のそれぞれにおいて、前記第２振動子に前記送信信号が入力され、前記第２振動子から送信された音響信号を受信した前記第１振動子から前記受信信号が出力されるように切り替えを行う切り替え部をさらに備え、前記信号処理部は、さらに、前記第１振動子から出力された前記受信信号から残響を除去し、前記第２振動子に入力した前記送信信号と前記第１振動子から出力されて前記残響が除去された後の受信信号のあいだの相互相関解析により、前記第２振動子から前記第１振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求めるとしてもよい。こうすることで、同一の伝搬経路について、上流側から下流側に音響信号が伝搬するときの伝搬時間と、下流側から上流側に音響信号が伝搬するときの伝搬時間とを、精度よく求めることができる。
　そして、前記信号処理部は、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間と、前記第２振動子から前記第１振動子までの前記音響信号の伝搬時間との差に基づいて、前記配管内の流体の流速及び／又は流量を求めるとしてもよい。これにより、配管内の流体の情報を高精度に求めることができる。
　本発明は、上記構成の少なくとも一部を有する伝搬時間測定装置として捉えてもよいし、流速測定装置、流量測定装置、流量計、流量センサなどとして捉えてもよい。また、本発明は、上記処理の少なくとも一部を含む伝搬時間測定方法、流速測定方法、流量測定方法として捉えてもよく、または、かかる方法を実現するためのプログラムやそのプログラムを非一時的に記録した記録媒体として捉えることもできる。なお、上記構成および処理の各々は可能な限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。
　本発明によれば、伝搬時間を精度よく求めることができる。
図１は、伝搬時間測定装置の構成を模式的に示す図である。 図２は、配管への振動子の設置例を示す断面図である。 図３は、第１実施形態における伝搬時間測定装置の測定動作の流れを示すフローチャートである。 図４Ａは送信信号の例を示す図であり、図４Ｂは図４Ａの送信信号に基づく音響信号の例を示す図であり、図４Ｃは受信信号の例を示す図であり、図４Ｄは相互相関関数の例を示す図である。 図５Ａは相互相関関数の例を示す図であり、図５Ｂはヒルベルト変換の例を示す図である。 図６は、第１実施形態における残響の除去を示す図である。 図７は、第２実施形態における伝搬時間測定装置の測定動作の流れを示すフローチャートである。 図８は、第２実施形態における残響の除去を示す図である。 図９は、第３実施形態における伝搬時間測定装置の測定動作の流れを示すフローチャートである。 図１０は、第３実施形態における残響の除去を示す図である。 図１１は、第４実施形態における伝搬時間測定装置の測定動作の流れを示すフローチャートである。 図１２は、第４実施形態における残響の除去を示す図である。
　＜適用例＞
　図１を参照して、伝搬時間測定装置の適用例を説明する。
　伝搬時間測定装置１は、２個以上の振動子１０１を備え、いずれかの振動子（例えば１０１ａ）から送信した音響信号を他の振動子（例えば１０１ｂ）で受信し、２つの振動子のあいだの経路を音響信号が伝搬するのに要した時間（伝搬時間）を求める。各振動子１０１は配管１２０に対し互いに異なる位置に配置されているため、２つの振動子１０１のあいだを伝搬する音響信号は配管１２０の内部を通過する（横切る）。そのため、音響信号の伝搬時間は、一定ではなく、配管１２０内を流れる流体１２１の状態（例えば、流速、流量、気泡や異物の存在など）の影響を受けて変化する。したがって、伝搬時間測定装置１で測定した伝搬時間を利用することにより、配管１２０内の流体１２１の状態を非破壊で計測することができる。
　なお、流体１２１は、音響信号を伝搬可能な物質であればよく、液体であっても、気体であってもよい。音響信号は、典型的には超音波であるが、可聴域の音波を含んでいてもよい。
　伝搬時間測定装置１は、伝搬時間の計算に相互相関解析を利用する。例えば、送信側の振動子１０１に与える駆動用の電気信号を「送信信号」、受信側の振動子１０１から出力される電気信号を「受信信号」と呼ぶとき、伝搬時間測定装置１は、送信信号と受信信号のあいだの相互相関関数を計算する。そして、伝搬時間測定装置１は、相互相関関数の最大ピーク位置に基づいて、送信信号に対する受信信号のラグ（時間遅れ）を求める。このラグが送信側の振動子１０１から受信側の振動子１０１までの音響信号の伝搬時間に相当する。
　送信信号の信号波形が受信信号においても十分に保存されている場合には、相互相関関数に明瞭なピークが現れるので、２つの信号のあいだのラグ（つまり伝搬時間）を精度良く求めることができる。しかしながら、受信側の振動子１０１は、受信する音響信号が無くなっても直ちに停止することはできないため、受信信号に残響が含まれることになる。そして、受信信号に残響が含まれていると、残響がノイズとなるため、相互相関関数において、実際の伝搬時間とは異なる時間位置にピークが現れるなどし、伝搬時間を精度よく求めることができない。その結果、配管１２０を流れる流体１２１の流速や流量を精度よく求めることができない。昨今、微少流量の流体を計測可能な装置のニーズが高まっており、これを実現するには、例えばナノ秒オーダーからピコ秒オーダーの精度で伝搬時間を測定可能な性能が必要となる。
　そこで、伝搬時間測定装置１は、受信信号から残響を除去し、残響を除去した後の受信信号を用いて伝搬時間を求める。具体的には、伝搬時間測定装置１は、以下の方法１～３のいずれかで残響を除去する。なお、残響の除去は、残響の信号値を相互相関解析（相互相関関数の計算）から除外する処理であればよく、例えば残響に対応する信号値をゼロにする（カットする）処理であってもよいし、残響の信号値を他の信号値と識別可能にする処理であってもよい。
　（方法１）
　方法１では、伝搬時間測定装置１は、送信信号と残響を除去する前の受信信号とのあいだの相互相関解析により伝搬時間を求め、求めた伝搬時間に基づくタイミング以降の信号を、残響として除去する。そして、伝搬時間測定装置１は、送信信号と残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により伝搬時間を再び求める。
　受信信号に含まれる残響は、求められる伝搬時間に影響を及ぼす。そのため、残響が除去される前の受信信号を用いて求められた伝搬時間に基づき、残響が発生するタイミングを精度よく求めることができる。方法１では、受信信号から、そのように求められたタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が再び求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、相互相関関数から正しいピーク（実際の伝搬時間に対応する位置のピーク）を精度よく検出でき、伝搬時間を精度よく求めることができる。
　（方法２）
　方法２では、伝搬時間測定装置１は、残響を除去する前の受信信号から、当該受信信号の波形の包絡線を近似的に求め、求めた包絡線に基づいて閾値を決定し、決定した閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、残響として除去する。
　受信信号の波形は、比較的大きな包絡線を描く。そして、残響の信号値は比較的小さい。そのため、包絡線に基づき、残響が発生するタイミングを精度よく求めることができる。方法２では、受信信号から包絡線が近似的に求められ、受信信号から、包絡線に基づく閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号が残響として除去される。そして、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、相互相関関数から正しいピークを精度よく検出でき、伝搬時間を精度よく求めることができる。
　（方法３）
　方法３では、伝搬時間測定装置１は、残響を除去する前の受信信号が示す複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピーク以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、残響として除去する。
　受信信号は、徐々に大きくなり、その後徐々に小さくなる複数のピークを示す。そして、残響の信号値は比較的小さい。そのため、複数のピークに基づき、残響が発生するタイミングを精度よく求めることができる。方法３では、複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピークを閾値として、受信信号から、閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、相互相関関数から正しいピークを精度よく検出でき、伝搬時間を精度よく求めることができる。
　また、方法１～３のいずれにおいても、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算（具体的に相互相関関数の計算）に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることもできる。
　＜第１実施形態＞
　（装置構成）
　図１及び図２を参照して、伝搬時間測定装置１の具体的な構成を説明する。図１は、伝搬時間測定装置１の構成を模式的に示すブロック図であり、図２は、配管への振動子の設置例を示す断面図である。本実施形態の伝搬時間測定装置１は、配管１２０内を流れる流体１２１の流速及び流量を非破壊で計測するための装置であり、超音波流量計又は超音波流量センサとも称される。
　伝搬時間測定装置１は、装置本体１００と複数の振動子１０１とを有する。装置本体１００と各振動子１０１のあいだはケーブルで接続されている。本実施形態では、配管１２０の長手方向の上流側に配置される第１振動子１０１ａと、第１振動子１０１ａよりも下流側に配置される第２振動子１０１ｂの２つの振動子１０１が設けられている。以下、２つの振動子を区別する必要がある場合は「第１振動子１０１ａ」、「第２振動子１０１ｂ」と表記し、両者に共通する説明の場合は単に「振動子１０１」という表記を用いる。なお、振動子１０１の数は２つに限られず、３つ以上の振動子１０１が設けられていてもよい。
　振動子１０１は、電気信号と音響信号を相互に変換するデバイスであり、トランスデューサとも呼ばれる。振動子１０１としては、例えばピエゾ効果によって電圧と力を相互に変換する圧電素子などを用いることができる。図２に示すように、各振動子１０１は樹脂で構成されたクランプ３０中に埋設されている。クランプ３０で配管１２０を挟み込むと、２つの振動子１０１ａ、１０１ｂが配管１２０を挟んで対向し、且つ、２つの振動子１０１ａ、１０１ｂを結ぶ直線が配管１２０の軸線に対し所定の角度θをなすように、各振動子１０１ａ、１０１ｂが設置される。このようなクランプ構造を採用することで、既設の配管１２０に対し簡単に（しかも配管１２０に改修を加えることなく）振動子１０１を適切な位置に取り付けることができる。なお、クランプ３０と配管１２０のあいだを密着させ、且つ、音響インピーダンスの整合をはかるために、クランプ３０と配管１２０のあいだにグリスやジェルなどが塗布されるとよい。角度θは音響信号の伝搬角度と呼ばれる。伝搬角度θは任意であるが、後述する伝搬時間差法を利用する場合には０度＜θ＜９０度、好ましくは２０度＜θ＜６０度の範囲に設定されるとよい。
　装置本体１００は、主たる構成として、制御回路１０２、Ｄ／Ａ変換器１０３、Ａ／Ｄ変換器１０４、切り替え器１０５、出力器１０６を有する。制御回路１０２は、伝搬時間測定装置１の各部の制御、信号処理、演算処理などを行う回路である。Ｄ／Ａ変換器１０３は、制御回路１０２から入力された送信信号（デジタルデータ）を基に、Ｄ／Ａ変換及び信号増幅を行い、所定の電圧の送信信号（アナログ信号）を振動子１０１へ出力する回路である。Ａ／Ｄ変換器１０４は、振動子１０１から入力された受信信号（アナログ信号）を所定のサンプリング周期でＡ／Ｄ変換し、受信信号（デジタルデータ）を制御回路１０２へ出力する回路である。切り替え器１０５は、Ｄ／Ａ変換器１０３及びＡ／Ｄ変換器１０４と第１振動子１０１ａ及び第２振動子１０１ｂとの接続関係を切り替えるスイッチである。Ｄ／Ａ変換器１０３に接続された振動子１０１が送信側となり、Ａ／Ｄ変換器１０４に接続された振動子１０１が受信側となる。出力器１０６は、制御回路１０２による信号処理や演算処理の結果などの情報を出力するデバイスであり、例えば表示器などである。なお、装置本体１００に、ユーザが操作するための入力部（例えば、ボタン、タッチパネルなど）を設けたり、外部装置（例えば、外部のコンピュータやサーバなど）に情報を送信する通信回路（例えばＷｉＦｉモジュールなど）を設けてもよい。
　図１に示すように、制御回路１０２は、送信信号生成部１１０、信号処理部１１１、記憶部１１２を有する。送信信号生成部１１０は、測定に用いる送信信号のデータを生成しＤ／Ａ変換器１０３に出力する機能を有する。信号処理部１１１は、送信信号と受信信号に基づき音響信号の伝搬時間を計算し、さらに伝搬時間から流体の流速及び／又は流量を計算する機能を有する。信号処理部１１１は、受信信号から残響を除去する機能も有する。本実施形態では、信号処理部１１１は、上述した方法１で残響を除去する。記憶部１１２は、送信信号の波形を定義する波形データを記憶している。送信信号生成部１１０は記憶部１１２から波形データを読み込み、送信信号のデータを生成する。
　制御回路１０２は、例えば、ＣＰＵ（プロセッサ）、ＲＡＭ、不揮発性の記憶装置（例えばＲＯＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクなど）、Ｉ／Ｏなどを有するコンピュータにより構成してもよい。この場合、ＣＰＵが、記憶装置に格納されたプログラムをＲＡＭに展開し、当該プログラムを実行することによって、送信信号生成部１１０及び信号処理部１１１の機能が提供される。コンピュータの形態は問わない。例えば、パーソナルコンピュータでもよいし、組み込み用のコンピュータでもよいし、スマートフォンやタブレット端末などでもよい。あるいは、制御回路１０２が提供する機能の全部又は一部をＡＳＩＣやＦＰＧＡのような回路で構成してもよい。あるいは、分散コンピューティングやクラウドコンピューティングの技術を利用し、制御回路１０２が他のコンピュータと協働して後述する処理を行ってもよい。
　配管１２０の材質、サイズ、形状は問わない。例えば、金属配管や樹脂配管を用いてもよい。また配管１２０のサイズは、ＪＩＳやＡＮＳＩで定められた規格サイズのものでもよいし、独自のサイズのものでもよい。本実施形態の方法は、微少流量の測定を高精度に行うことができるという利点を有するため、１／８インチ管（外径：３．１８ｍｍ、内径：１．５９ｍｍ）、１／４インチ管（外径：６．３５ｍｍ、内径：３．９７ｍｍ）、１／２インチ管（外径：１２．７０ｍｍ、内径：９．５３ｍｍ）などの小型の配管の測定に特に好ましく適用できる。また、直線状の配管に限らず、屈曲部を有する配管や曲線状の配管などでもよく、配管の断面形状も任意である。
　（測定動作）
　図３のフローチャートに沿って、伝搬時間測定装置１の測定動作の流れを説明する。
　ステップＳ１００において、制御回路１０２の送信信号生成部１１０は、記憶部１１２から送信信号の波形データを読み込む。
　ステップＳ１０１において、制御回路１０２は、切り替え器１０５を制御し、第１振動子１０１ａにＤ／Ａ変換器１０３を接続し、第２振動子１０１ｂにＡ／Ｄ変換器１０４を接続する。これにより、第１振動子１０１ａが送信側となり、第２振動子１０１ｂが受信側となる。
　ステップＳ１０２において、送信信号生成部１１０は、ステップＳ１００で読み込んだ波形データを基に送信信号を生成し、Ｄ／Ａ変換器１０３に出力する。また、この送信信号は、後段の相互相関解析に利用するため、ＲＡＭ（ワークメモリ）に一時的に格納される。
　ステップＳ１０３において、Ｄ／Ａ変換器１０３にてＤ／Ａ変換及び増幅された送信信号が第１振動子１０１ａに入力され、第１振動子１０１ａから送信信号に基づく音響信号が送信される。図４Ａは送信信号の例であり、横軸は時間であり、縦軸は信号値である。図４Ｂは図４Ａの送信信号に基づく音響信号の例であり、横軸は時間であり、縦軸は音圧である。ここで、送信信号の振幅が一定であるにもかかわらず、音響信号において振幅が一定とならないのは、振動子の周波数特性に因るものである。音響信号は、クランプ３０、配管１２０、及び流体１２１を経由して、第２振動子１０１ｂへと到達する。
　ステップＳ１０４において、第２振動子１０１ｂは受信した音響信号を受信信号に変換し、Ａ／Ｄ変換器１０４へ出力する。図４Ｃは受信信号の例であり、横軸は時間であり、縦軸は信号値である。図４Ｃでは図４Ａに対して縦軸が拡大されている。伝搬の過程で音響信号が減衰するため、受信信号の振幅（電圧）は送信信号に比べて１／１００～１／１０００程度のオーダーとなる。例えば、図４Ａの送信信号の振幅は約３０Ｖであるのに対し、図４Ｃの受信信号の振幅は約１０ｍＶである。また、図４Ｃに示すように、受信信号には残響を含む様々なノイズが乗っている。Ａ／Ｄ変換器１０４でＡ／Ｄ変換された受信信号は、制御回路１０２に取り込まれ、ＲＡＭ（ワークメモリ）に一時的に格納される。
　ステップＳ１０５において、信号処理部１１１は、ＲＡＭから送信信号と受信信号を読み込み、２つの信号のあいだの相互相関関数を計算する。図４Ｄは相互相関関数の一例であり、最大ピークの近傍のみ拡大して示している。横軸は時間（時間シフト量）であり、縦軸は最大ピークの高さが１となるように規格化された相互相関の値である。なお、相互相関関数については公知の技術であるため、ここでは詳しい説明を割愛する。
　ステップＳ１０６において、信号処理部１１１は、ステップＳ１０５で計算した相互相関関数における最大ピーク（頂点）の時間位置を、第１振動子１０１ａから第２振動子１０１ｂまでの音響信号の伝搬時間Ｔ１として求める。ここでは、受信信号の残響などの影響により、伝搬時間Ｔ１は、実際の伝搬時間からずれている。
　デジタル信号処理の制約上、ステップＳ１０５で計算される相互相関関数は離散的なデータで構成される。そのため、図５Ａに示すように、相互相関関数のデータが得られている点（黒丸で示す点）と、ピーク（頂点）の位置とが一致するとは限らない。したがってステップＳ１０６において、信号処理部１１１は、相互相関関数の離散的なデータから最大ピーク及びその周辺の波形（最大ピーク波形）の形状を近似的に求めた上で、最大ピークの位置を推定するとよい。例えば、図５Ｂに示すように、信号処理部１１１は、相互相関関数における最大ピーク近傍のデータをヒルベルト変換によって位相のデータに変換してもよい。そして、変換後のデータを直線近似して、その近似直線のゼロクロス点（位相がゼロになる位置）を最大ピークの位置とみなしてもよい。あるいは、信号処理部１１１は、相互相関関数の最大ピーク近傍のデータを多項式近似により補間することによって、最大ピーク波形の形状を推定し、その頂点の位置を求めてもよい。このような処理によって、Ａ／Ｄ変換のサンプリング周期よりも高い分解能で、相互相関が最大となる位置、すなわち音響信号の伝搬時間を求めることができる。
　ステップＳ１０７において、信号処理部１１１は、ステップＳ１０５で読み込んだ受信信号から、ステップＳ１０６で求めた伝搬時間Ｔ１に基づくタイミング以降の信号を、残響として除去する。ここで、受信側の振動子は、伝搬時間が経過したタイミングから送信信号の時間長と同じ時間長の音響信号を受信すると考えられ、受信信号のうち、音響信号の受信が終わった後の信号は残響であると考えられる。このため、図６に示すように、信号処理部１１１は、第１振動子１０１ａに送信信号を入力したタイミングから伝搬時間Ｔ１と送信信号の時間長Ｔ０との合計時間が経過したタイミング以降の信号を、受信信号から残響として除去する。こうすることで、残響を精度よく除去することができる。
　ステップＳ１０８において、信号処理部１１１は、ステップＳ１０５で読み込んだ送信信号と、ステップＳ１０７で残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関関数を計算する。
　ステップＳ１０９において、信号処理部１１１は、ステップＳ１０８で計算した相互相関関数における最大ピーク（頂点）の時間位置を、第１振動子１０１ａから第２振動子１０１ｂまでの音響信号の伝搬時間Ｔ１’として求める。ここでは、受信信号から残響が除去されているため、実際の伝搬時間に近い伝搬時間Ｔ１’が求められる。
　ステップＳ１１０において、制御回路１０２は、切り替え器１０５を制御し、第２振動子１０１ｂにＤ／Ａ変換器１０３を接続し、第１振動子１０１ａにＡ／Ｄ変換器１０４を接続する。すなわち、送信側と受信側の振動子が入れ替えられる。以降のステップＳ１１１～Ｓ１１８の処理は、ステップＳ１０２～Ｓ１０９の処理と同様である（ただし、「第１振動子１０１ａ」は「第２振動子１０１ｂ」と読み替え、「第２振動子１０１ｂ」は「第１振動子１０１ａ」と読み替える。）。ステップＳ１１５では、残響が除去される前の受信信号に基づく相互相関関数から、第２振動子１０１ｂから第１振動子１０１ａまでの音響信号の伝搬時間Ｔ２が求められる。ステップＳ１１８では、残響が除去された後の受信信号に基づく相互相関関数から、第２振動子１０１ｂから第１振動子１０１ａまでの音響信号の伝搬時間Ｔ２’が求められる。
　以上の処理によって、第１振動子１０１ａから第２振動子１０１ｂまでの音響信号の伝搬時間Ｔ１’と、第２振動子１０１ｂから第１振動子１０１ａまでの音響信号の伝搬時間Ｔ２’とが得られる。配管１２０内の流体１２１が流れている場合、伝搬時間Ｔ１’と伝搬時間Ｔ２’のあいだに流体１２１の流速に応じた時間差が生じる。したがって、伝搬時間Ｔ１’と伝搬時間Ｔ２’を利用して、流体１２１の流速及び流量を計算することができる。残響が除去されて伝搬時間Ｔ１’と伝搬時間Ｔ２’が精度よく求められているため、流体１２１の流速及び流量も精度よく求めることができる。
　ステップＳ１１９において、信号処理部１１１は、下記式により流体１２１の流速Ｖを求める。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　ここで、Ｖは流体の流速、Ｌは配管内部における伝搬経路長、θは伝搬角度、Ｔａｂは上流側の振動子から下流側の振動子までの伝搬時間Ｔ１’、Ｔｂａは下流側の振動子から上流側の振動子までの伝搬時間Ｔ２’、Ｔｏは流体以外の部分の伝搬時間である。なお、流体以外の部分の伝搬時間Ｔｏは、例えば、クランプ３０及び配管１２０の部分を音響信号が伝搬している時間であり、配管１２０の仕様（内径、外径、材質など）がわかれば実験又はシミュレーションにより予め求めておくことができる。
　ステップＳ１２０において、信号処理部１１１は、下記式により流体の流量Ｑを求める。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　ここで、Ｑは流体の流量、Ｖは流体の流速、Ａは配管内部の断面積である。断面積Ａは既知であるものとする。
　ステップＳ１２１において、信号処理部１１１は、処理結果（例えば、伝搬時間、流速、流量など）を出力器１０６に出力する。
　（本実施形態の利点）
　以上述べた本実施形態の構成によれば、残響が除去される前の受信信号を用いて求められた伝搬時間に基づき、残響が発生するタイミングが精度よく求められる。そして、受信信号から、そのように求められたタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が再び求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、伝搬時間を精度よく求めることができる。よって、微少流量の測定など、高い精度が要求される場面への適用も可能である。さらに、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることができる。
　＜第２実施形態＞
　本発明の第２実施形態に係る伝搬時間測定装置１は、上述した方法２で残響を除去する。基本構成は第１実施形態と同様であるため、以下では、第１実施形態と異なる構成部分を中心に説明する。
　図７は、第２実施形態に係る伝搬時間測定装置１の測定動作の流れを示すフローチャートである。第１実施形態のフローチャート（図３）と同じ処理については同一のステップ番号が付されている。
　ステップＳ１００～Ｓ１０４の処理は第１実施形態と同じである。そして、ステップＳ２００において、信号処理部１１１は、ＲＡＭから受信信号を読み込み、図８に示すように、当該受信信号の波形の包絡線を近似的に求める。包絡線は、公知の技術を用いて求めることができるため、ここでは詳しい説明を割愛する。
　ステップＳ２０１において、信号処理部１１１は、ステップＳ２００で求めた包絡線のピークを所定の倍率で低減した値を閾値として決定し、ステップＳ２００で読み込んだ受信信号から、決定した閾値以下に信号値が収束するまでの時間Ｔａを検出する。所定の倍率は特に限定されないが、例えば１／２倍である。
　ステップＳ２０２において、信号処理部１１１は、図８に示すように、ステップＳ２００で読み込んだ受信信号から、ステップＳ２０１で検出した時間Ｔａ以降の信号を、残響として除去する。
　ステップＳ２０３において、信号処理部１１１は、ＲＡＭから送信信号を読み込み、読み込んだ送信信号と、ステップＳ２０２で残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関関数を計算する。
　ステップＳ２０４において、信号処理部１１１は、ステップＳ２０３で計算した相互相関関数における最大ピーク（頂点）の時間位置を、第１振動子１０１ａから第２振動子１０１ｂまでの音響信号の伝搬時間Ｔ１’として求める。ここでは、受信信号から残響が除去されているため、実際の伝搬時間に近い伝搬時間Ｔ１’が求められる。
　ステップＳ１１０～Ｓ１１３の処理は第１実施形態と同じである。ステップＳ２１０～Ｓ２１４の処理は、ステップＳ２００～Ｓ２０４の処理と同様である（ただし、「第１振動子１０１ａ」は「第２振動子１０１ｂ」と読み替え、「第２振動子１０１ｂ」は「第１振動子１０１ａ」と読み替える。）。ステップＳ２１１では、信号処理部１１１は、ステップＳ２１０で求めた包絡線のピークを所定の倍率で低減した値を閾値として決定し、ステップＳ２１０で読み込んだ受信信号から、決定した閾値以下に信号値が収束するまでの時間Ｔｂを検出する。ステップＳ２１４では、残響が除去された後の受信信号に基づく相互相関関数から、第２振動子１０１ｂから第１振動子１０１ａまでの音響信号の伝搬時間Ｔ２’が求められる。ステップＳ１１９～Ｓ１２１の処理は第１実施形態と同じである。
　以上述べた本実施形態の構成によれば、残響が除去される前の受信信号から、当該受信信号の波形の包絡線が求められ、求められた包絡線のピークを所定の倍率で低減した値が閾値として決定される。そして、受信信号から、決定された閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、伝搬時間を精度よく求めることができる。よって、微少流量の測定など、高い精度が要求される場面への適用も可能である。さらに、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることができる。
　＜第３実施形態＞
　本発明の第３実施形態に係る伝搬時間測定装置１は、上述した方法２で残響を除去する。但し、残響を除去する具体的な方法は、第２実施形態と異なる。基本構成は上記実施形態と同様であるため、以下では、上記実施形態と異なる構成部分を中心に説明する。
　図９は、第３実施形態に係る伝搬時間測定装置１の測定動作の流れを示すフローチャートである。第２実施形態のフローチャート（図７）と同じ処理については同一のステップ番号が付されている。
　ステップＳ１００～Ｓ１０４とステップＳ２００の処理は第２実施形態と同じである。ステップＳ２００で求められた包絡線のデータは、離散的なデータである。包絡線を構成する複数の離散値の時間間隔は特に限定されないが、例えば受信信号が示す複数のピークの時間間隔と同等、具体的には送信信号が示す複数のピークの時間間隔と同一である。
　ステップＳ３０１において、信号処理部１１１は、ステップＳ２００で求めた包絡線を構成する複数の離散値のうち、大きい側から所定数番目の離散値を、閾値として決定する。そして、信号処理部１１１は、ステップＳ２００で読み込んだ受信信号から、決定した閾値以下に信号値が収束するまでの時間Ｔａを検出する。所定数は特に限定されないが、例えば１０である。
　ステップＳ３０２において、信号処理部１１１は、図１０に示すように、ステップＳ２００で読み込んだ受信信号から、ステップＳ３０１で検出した時間Ｔａ以降の信号を、残響として除去する。
　ステップＳ３０３において、信号処理部１１１は、ＲＡＭから送信信号を読み込み、読み込んだ送信信号と、ステップＳ３０２で残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関関数を計算する。
　ステップＳ３０４において、信号処理部１１１は、ステップＳ３０３で計算した相互相関関数における最大ピーク（頂点）の時間位置を、第１振動子１０１ａから第２振動子１０１ｂまでの音響信号の伝搬時間Ｔ１’として求める。ここでは、受信信号から残響が除去されているため、実際の伝搬時間に近い伝搬時間Ｔ１’が求められる。
　ステップＳ１１０～Ｓ１１３とステップＳ２１０の処理は第２実施形態と同じである。ステップＳ３１１～Ｓ３１４の処理は、ステップＳ３０１～Ｓ３０４の処理と同様である（ただし、「第１振動子１０１ａ」は「第２振動子１０１ｂ」と読み替え、「第２振動子１０１ｂ」は「第１振動子１０１ａ」と読み替える。）。ステップＳ３１１では、信号処理部１１１は、ステップＳ２１０で求めた包絡線を構成する複数の離散値のうち、大きい側から所定数番目の離散値を、閾値として決定する。そして、信号処理部１１１は、ステップＳ２１０で読み込んだ受信信号から、決定した閾値以下に信号値が収束するまでの時間Ｔｂを検出する。ステップＳ３１４では、残響が除去された後の受信信号に基づく相互相関関数から、第２振動子１０１ｂから第１振動子１０１ａまでの音響信号の伝搬時間Ｔ２’が求められる。ステップＳ１１９～Ｓ１２１の処理は第２実施形態と同じである。
　以上述べた本実施形態の構成によれば、残響が除去される前の受信信号から、当該受信信号の波形の包絡線が求められ、求められた包絡線を構成する複数の離散値のうち、大きい側から所定数番目の離散値が、閾値として決定される。そして、受信信号から、決定された閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、伝搬時間を精度よく求めることができる。よって、微少流量の測定など、高い精度が要求される場面への適用も可能である。さらに、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることができる。
　＜第４実施形態＞
　本発明の第４実施形態に係る伝搬時間測定装置１は、上述した方法３で残響を除去する。基本構成は上記実施形態と同様であるため、以下では、上記実施形態と異なる構成部分を中心に説明する。
　図１１は、第４実施形態に係る伝搬時間測定装置１の測定動作の流れを示すフローチャートである。第１実施形態のフローチャート（図３）と同じ処理については同一のステップ番号が付されている。
　ステップＳ１００～Ｓ１０４の処理は第１実施形態と同じである。そして、ステップＳ４００において、信号処理部１１１は、ＲＡＭから受信信号を読み込み、当該受信信号が示す複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピークを、閾値として決定する。そして、信号処理部１１１は、受信信号から、決定した閾値以下に信号値が収束するまでの時間Ｔａを検出する。所定数は特に限定されないが、例えば１０である。
　ステップＳ４０１において、信号処理部１１１は、図１２に示すように、ステップＳ４００で読み込んだ受信信号から、ステップＳ４００で検出した時間Ｔａ以降の信号を、残響として除去する。
　ステップＳ４０２において、信号処理部１１１は、ＲＡＭから送信信号を読み込み、読み込んだ送信信号と、ステップＳ４０１で残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関関数を計算する。
　ステップＳ４０３において、信号処理部１１１は、ステップＳ４０２で計算した相互相関関数における最大ピーク（頂点）の時間位置を、第１振動子１０１ａから第２振動子１０１ｂまでの音響信号の伝搬時間Ｔ１’として求める。ここでは、受信信号から残響が除去されているため、実際の伝搬時間に近い伝搬時間Ｔ１’が求められる。
　ステップＳ１１０～Ｓ１１３の処理は第１実施形態と同じである。ステップＳ４１０～Ｓ４１３の処理は、ステップＳ４００～Ｓ４０３の処理と同様である（ただし、「第１振動子１０１ａ」は「第２振動子１０１ｂ」と読み替え、「第２振動子１０１ｂ」は「第１振動子１０１ａ」と読み替える。）。ステップＳ４１０では、信号処理部１１１は、ＲＡＭから受信信号（ステップＳ１１３で取得された受信信号）を読み込み、当該受信信号が示す複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピークを、閾値として決定する。そして、信号処理部１１１は、受信信号から、決定した閾値以下に信号値が収束するまでの時間Ｔｂを検出する。ステップＳ４１３では、残響が除去された後の受信信号に基づく相互相関関数から、第２振動子１０１ｂから第１振動子１０１ａまでの音響信号の伝搬時間Ｔ２’が求められる。ステップＳ１１９～Ｓ１２１の処理は第１実施形態と同じである。
　以上述べた本実施形態の構成によれば、残響が除去される前の受信信号が示す複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピークが、閾値として決定される。そして、受信信号から、決定された閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号が残響として除去され、残響が除去された後の受信信号を用いて伝搬時間が求められる。こうすることで、残響を精度よく除去することができ、伝搬時間を精度よく求めることができる。よって、微少流量の測定など、高い精度が要求される場面への適用も可能である。さらに、不要な信号値（残響の信号値）が伝搬時間の計算に使用されないため、伝搬時間の計算に要する処理時間を短縮したり、伝搬時間の計算に要する消費電力を低減したりすることができる。なお、受信信号のサンプリング周期（分解能）に依っては、受信信号で示されるべきピークが示されないことがある。そのような場合には、第１～第３実施形態の方がより正確な伝搬時間が得られることが期待できるが、仮の伝搬時間を求めたり、包絡線を求めたりといった処理が増す。
　＜その他＞
　上記実施形態は、本発明の構成を例示的に説明するものに過ぎない。本発明は上記の具体的な形態には限定されることはなく、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態の装置では、音響信号の伝搬時間を測定した後、その伝搬時間の測定値を利用して流体の流速及び流量を計算したが、流速及び流量の計算は必須ではない。伝搬時間測定装置は、単に伝搬時間（伝搬時間Ｔ１’と伝搬時間Ｔ２’の少なくとも一方）を測定する処理を行うだけでもよい。また、単に伝搬時間を測定するだけであれば、伝搬角度θは９０度でもよい。また、上記実施形態では、配管を挟み込むように取り付け可能なクランプオン型の装置を例示したが、配管組み込み型の装置構成を採用してもよい。また、振動子の数は３つ以上でもよく、上流側から下流側への音響信号の伝搬に用いる振動子対と、下流側から上流側への音響信号の伝搬に用いる振動子対を分けてもよい。送信側の振動子と受信側の振動子とは、配管に対して互いに異なる位置に配置されればよく、配管を挟んで対向するように配置されなくてもよいし、配管の長手方向の異なる位置に配置されなくてもよい。
　記憶部１１２は、残響が発生するタイミングに関する情報を予め記憶してもよく、信号処理部１１１は、記憶部１１２が記憶した当該情報に基づいて残響を除去してもよい。残響が発生するタイミングに関する情報は、当該タイミングそのものを示す情報（第１実施形態の時間Ｔ１＋Ｔ０や時間Ｔ２＋Ｔ０、第２～第４実施形態の時間Ｔａ，Ｔｂなど）であってもよいし、そうでなくてもよい。例えば、残響が発生するタイミングに関する情報は、残響を含む受信信号を用いて求められた伝搬時間（第１実施形態の伝搬時間Ｔ１や伝搬時間Ｔ２）を示す情報であってもよい。残響が発生するタイミングに関する情報は、包絡線や複数のピークに基づく閾値（第２～第４実施形態で使用される閾値）を示す情報であってもよい。残響が発生するタイミングに関する情報は、例えば、プレ測定において、第１～第４実施形態で説明した方法と同様の方法で取得される。そして、本測定においては、信号処理部１１１は、残響が発生するタイミングに関する情報を求める代わりに、当該情報を記憶部１１２から読み込む。例えば、第１実施形態の方法で伝搬時間Ｔ１’を得る場合には、プレ測定において、図３のステップＳ１０１～Ｓ１０６の処理が行われ、信号処理部１１１は、求めた伝搬時間Ｔ１を記憶部１１２に格納する。そして、本測定において、ステップＳ１０１～Ｓ１０４の処理が行われ、信号処理部１１１が伝搬時間Ｔ１を記憶部１１２から読み込み、ステップＳ１０７～Ｓ１０９の処理が行われる。
　また、伝搬時間Ｔ１’または伝搬時間Ｔ２’の測定の際に、振動子対による音響信号の送受信が複数回行われてもよい。そして、信号処理部１１１は、複数回の送受信によって得られた複数の受信信号を用いて、残響が発生するタイミングに関する情報を取得してもよい。複数の受信信号を合成することで分解能が見かけ上高められるため、複数の受信信号を用いることで、残響が発生するタイミングをより精度よく求めることができる。例えば、伝搬時間Ｔ１、伝搬時間Ｔ２、包絡線、受信信号のピークなどをより精度よく求めることができる。ひいては、残響をより精度よく除去することができ、伝搬時間をより精度よく求めることができる。
　また、第２～第４実施形態において、第２振動子１０１ｂにより得られた受信信号（第１振動子１０１ａから第２振動子１０１ｂへの音響信号に対応）から残響を除去するための時間Ｔａと、第１振動子１０１ａにより得られた受信信号（第２振動子１０１ｂから第１振動子１０１ａへの音響信号に対応）から残響を除去するための時間Ｔｂとを個別に決定する例を説明したが、これに限られない。例えば、時間Ｔａ，Ｔｂの一方のみを検出し、検出した時間を時間Ｔａ，Ｔｂの他方としても用いるようにしてもよい。これにより、処理負荷や処理時間を低減することができる。例えば、時間Ｔａのみを検出し、時間Ｔａを時間Ｔｂとしても用いる場合には、図７のステップＳ２１０，Ｓ２１１の処理（包絡線の検出、閾値の決定、及び、時間Ｔｂの検出）、図９のステップＳ２１０，Ｓ３１１の処理（包絡線の検出、閾値の決定、及び、時間Ｔｂの検出）、及び、図１１のステップＳ４１０の処理（閾値の決定、及び、時間Ｔｂの検出）が不要となる。
　同様に、第１の実施形態において、伝搬時間Ｔ１，Ｔ２の一方を、伝搬時間Ｔ１，Ｔ２の他方としても用いるようにしてもよい。また、第２～第４の実施形態において、２つの時間Ｔａ，Ｔｂを決定するための２つの閾値の一方を、当該２つの閾値の他方としても用いるようにしてもよい。これらによっても、処理負荷や処理時間を低減することができる。
　＜付記１＞
　流体（１２１）を流す配管（１２０）に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子（１０１ａ、１０１ｂ）であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子（１０１ａ）と、前記第１振動子（１０１ａ）から送信されて前記配管（１２０）内の流体（１２１）を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子（１０１ｂ）とを少なくとも含む、複数の振動子（１０１ａ、１０１ｂ）と、
　前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部（１１１）と、
を備え、
　前記信号処理部（１１１）は、
　　前記送信信号と前記残響を除去する前の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子（１０１ａ）から前記第２振動子（１０１ｂ）までの前記音響信号の伝搬時間を求め、
　　求めた伝搬時間に基づくタイミング以降の信号を、前記残響として除去し、
　　前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子（１０１ａ）から前記第２振動子（１０１ｂ）までの前記音響信号の伝搬時間を再び求める
ことを特徴とする伝搬時間測定装置（１）。
　＜付記２＞
　流体（１２１）を流す配管（１２０）に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子（１０１ａ、１０１ｂ）であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子（１０１ａ）と、前記第１振動子（１０１ａ）から送信されて前記配管（１２０）内の流体（１２１）を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子（１０１ｂ）とを少なくとも含む、複数の振動子（１０１ａ、１０１ｂ）と、
　前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部（１１１）と、
を備え、
　前記信号処理部（１１１）は、前記残響を除去する前の受信信号から、当該受信信号の波形の包絡線を近似的に求め、前記包絡線に基づいて閾値を決定し、決定した閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、前記残響として除去する
ことを特徴とする伝搬時間測定装置（１）。
　＜付記３＞
　流体（１２１）を流す配管（１２０）に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子（１０１ａ、１０１ｂ）であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子（１０１ａ）と、前記第１振動子（１０１ａ）から送信されて前記配管（１２０）内の流体（１２１）を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子（１０１ｂ）とを少なくとも含む、複数の振動子（１０１ａ、１０１ｂ）と、
　前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部（１１１）と、
を備え、
　前記信号処理部（１１１）は、前記残響を除去する前の受信信号が示す複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピーク以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、前記残響として除去する
ことを特徴とする伝搬時間測定装置（１）。
　１：伝搬時間測定装置　３０：クランプ　１００：装置本体
　１０１：振動子　１０１ａ：第１振動子　１０１ｂ：第２振動子
　１０２：制御回路　１０３：Ｄ／Ａ変換器　１０４：Ａ／Ｄ変換器
　１０５：切り替え器　１０６：出力器
　１１０：送信信号生成部　１１１：信号処理部　１１２：記憶部
　１２０：配管　１２１：流体

Claims (12)

  1. 　流体を流す配管に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子と、前記第１振動子から送信されて前記配管内の流体を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子とを少なくとも含む、複数の振動子と、
    　前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部と、
    を備え、
    　前記信号処理部は、
    　　前記送信信号と前記残響を除去する前の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求め、
    　　求めた伝搬時間に基づくタイミング以降の信号を、前記残響として除去し、
    　　前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を再び求める
    ことを特徴とする伝搬時間測定装置。
  2. 　前記タイミングは、前記第１振動子に前記送信信号を入力したタイミングから、前記送信信号と前記残響を除去する前の受信信号とのあいだの相互相関解析により求められた伝搬時間と、前記送信信号の時間長との合計時間が経過したタイミングである
    ことを特徴とする請求項１に記載の伝搬時間測定装置。
  3. 　流体を流す配管に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子と、前記第１振動子から送信されて前記配管内の流体を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子とを少なくとも含む、複数の振動子と、
    　前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部と、
    を備え、
    　前記信号処理部は、前記残響を除去する前の受信信号から、当該受信信号の波形の包絡線を近似的に求め、前記包絡線に基づいて閾値を決定し、決定した閾値以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、前記残響として除去する
    ことを特徴とする伝搬時間測定装置。
  4. 　前記信号処理部は、前記包絡線のピークを所定の倍率で低減した値を、前記閾値として決定する
    ことを特徴とする請求項３に記載の伝搬時間測定装置。
  5. 　前記信号処理部は、前記包絡線を構成する複数の離散値のうち、大きい側から所定数番目の離散値を、前記閾値として決定する
    ことを特徴とする請求項３に記載の伝搬時間測定装置。
  6. 　流体を流す配管に対し互いに異なる位置に配置される複数の振動子であって、電気信号としての送信信号を音響信号に変換する第１振動子と、前記第１振動子から送信されて前記配管内の流体を伝搬した前記音響信号を受信し電気信号としての受信信号に変換する第２振動子とを少なくとも含む、複数の振動子と、
    　前記受信信号から残響を除去し、前記送信信号と前記残響を除去した後の受信信号とのあいだの相互相関解析により、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める信号処理部と、
    を備え、
    　前記信号処理部は、前記残響を除去する前の受信信号が示す複数のピークのうち、大きい側から所定数番目のピーク以下に信号値が収束するタイミング以降の信号を、前記残響として除去する
    ことを特徴とする伝搬時間測定装置。
  7. 　前記タイミングに関する情報を予め記憶する記憶部をさらに備え、
    　前記信号処理部は、前記記憶部が予め記憶した前記情報に基づいて前記残響を除去する
    ことを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載の伝搬時間測定装置。
  8. 　前記信号処理部は、前記第１振動子からの送信及び前記第２振動子による受信を複数回行うことによって得られた複数の受信信号を用いて、前記タイミングに関する情報を取得する
    ことを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載の伝搬時間測定装置。
  9. 　前記第１振動子と前記第２振動子は、前記配管を挟んで対向するように配置される
    ことを特徴とする請求項１～８のいずれか１項に記載の伝搬時間測定装置。
  10. 　前記第１振動子と前記第２振動子は、前記配管の長手方向の異なる位置に配置される
    ことを特徴とする請求項１～９のいずれか１項に記載の伝搬時間測定装置。
  11. 　前記第２振動子に前記送信信号が入力され、前記第２振動子から送信された音響信号を受信した前記第１振動子から前記受信信号が出力されるように切り替えを行う切り替え部をさらに備え、
    　前記信号処理部は、さらに、前記第１振動子から出力された前記受信信号から残響を除去し、前記第２振動子に入力した前記送信信号と前記第１振動子から出力されて前記残響が除去された後の受信信号のあいだの相互相関解析により、前記第２振動子から前記第１振動子までの前記音響信号の伝搬時間を求める
    ことを特徴とする請求項１～１０のいずれか１項に記載の伝搬時間測定装置。
  12. 　前記信号処理部は、前記第１振動子から前記第２振動子までの前記音響信号の伝搬時間と、前記第２振動子から前記第１振動子までの前記音響信号の伝搬時間との差に基づいて、前記配管内の流体の流速及び／又は流量を求める
    ことを特徴とする請求項１１に記載の伝搬時間測定装置。
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