WO2022039007A1 - 植物水分含有量センサおよび植物水分含有量測定方法 - Google Patents

植物水分含有量センサおよび植物水分含有量測定方法 Download PDF

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plant
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electric conductivity
pair
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房男 下川
郁也 飯尾
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Kagawa University
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    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity

Definitions

  • the present invention relates to a plant water content sensor and a plant water content measuring method. More specifically, the present invention relates to sensors and methods used to measure the water content of plants.
  • Physiological information on plants required for irrigation management includes vascular fluid flow rate and water content.
  • vascular fluid flow rate and water content in order to improve the productivity and quality of crops and fruit trees, it is important to measure the vascular fluid flow rate and water content in plant details such as shoot ends and fruit stalks.
  • Patent Document 1 a sensor for measuring the vascular fluid flow rate in the details of plants has already been proposed by the inventor of the present application.
  • an object of the present invention is to provide a plant water content sensor and a plant water content measuring method capable of non-destructively measuring the water content of a plant.
  • the plant water content sensor of the first aspect has a water content provided with a pair of read electrodes composed of a pair of electrodes arranged at predetermined intervals and a water sensitive film spanning the pair of electrodes. It is characterized by comprising a probe and a support portion for supporting the water content probe.
  • the plant water content sensor of the second aspect includes an electric conductivity probe provided with an electric conductivity electrode pair consisting of a pair of electrodes arranged at predetermined intervals, and the electric conductivity thereof.
  • the probe is characterized in that it is supported by the support portion in a state of being arranged in parallel with the water content probe.
  • the plant water content sensor of the third aspect includes a temperature probe provided with a temperature sensor, and the temperature probe is arranged in parallel with the water content probe on the support portion. It is characterized by being supported.
  • the plant water content sensor of the fourth aspect is characterized in that, in any one of the first to third aspects, the water-sensitive film is made of polyimide.
  • the plant water content sensor of the fifth aspect is characterized in that, in the first to fourth aspects, the surface of the water-sensitive film is hydrophilized.
  • the water sensitive film is provided from the arrangement portion of the read electrode pair to the proximal end portion of the water content probe. It is characterized by.
  • the plant water content sensor of the seventh aspect is characterized in that, in any one of the first to sixth aspects, the tip angle of the water content probe is 40 to 60 °.
  • the electric conductivity probe has a plurality of the electric conductivity electrode pairs, and the plurality of the electric conductivity electrode pairs are axes of the electric conductivity probe. The feature is that they are arranged side by side in the direction.
  • the plant water content sensor of the ninth aspect includes a temperature probe with a heater provided with a temperature sensor and a heater, and the temperature probe with a heater is supported in a state of being arranged in parallel with the temperature probe. It is characterized by being supported by the department.
  • a pair of read electrodes composed of a pair of electrodes arranged at predetermined intervals and a water-sensitive film spanning the pair of electrodes are provided with water content.
  • a quantity probe is pierced into a plant, the impedance between the pair of electrodes constituting the read electrode pair is measured, and the water content of the plant is obtained from the measured impedance value based on the equation (1). ..
  • Z is the measured impedance value
  • Z 0 is the impedance when the water-sensitive film does not absorb water
  • B is the sensor sensitivity coefficient
  • WC is the water content.
  • an electric conductivity probe provided with an electric conductivity electrode pair consisting of a pair of electrodes arranged at predetermined intervals is pierced into the plant. It is characterized in that the electric conductivity is obtained from the electric resistance between the pair of electrodes constituting the electric conductivity electrode pair, and the sensor sensitivity coefficient B in the equation (1) is obtained from the electric conductivity measured value.
  • the method for measuring the water content of a plant according to the twelfth aspect is characterized in that, in the eleventh aspect, the sensor sensitivity coefficient B is obtained from the measured value of electrical conductivity based on the formula (2).
  • the water content is provided with a pair of read electrodes composed of a pair of electrodes arranged at predetermined intervals and a water sensitive film spanned by the pair of electrodes. A quantity probe is pierced into a plant, the electrostatic capacity between the pair of electrodes constituting the read electrode pair is measured, and the water content of the plant is obtained from the measured electrostatic capacity.
  • the method for measuring the water content of a plant in the fourteenth aspect is to pierce the plant with an electric conductivity probe provided with an electric conductivity electrode pair consisting of a pair of electrodes arranged at predetermined intervals.
  • the electric conductivity is obtained from the electric resistance between the pair of electrodes constituting the electric conductivity electrode pair, and the water content of the plant is obtained from the capacitance measurement value and the electric conductivity measurement value. ..
  • the method for measuring the water content of a plant according to the fifteenth aspect is to pierce a plant with a temperature probe provided with a temperature sensor, measure the temperature with the temperature sensor, and use the measured temperature value. It is characterized in that the measured value of electric conductivity is compensated.
  • the water content of a plant can be measured by piercing the plant with a water content probe and reading the impedance or capacitance from the read electrode pair.
  • the water content of the plant can be accurately measured by compensating the measured value of the water content based on the electric conductivity of the water in the plant measured by the electric conductivity probe.
  • the water content of the plant can be accurately measured by compensating the measured value of the water content or the measured value of the electric conductivity based on the temperature of the water in the plant measured by the temperature probe.
  • the water-sensitive film is made of polyimide, the water-sensitive film is difficult to dissolve in the water in the plant, and long-term measurement is possible.
  • the response speed of the water content measurement is increased.
  • the sixth aspect since a part of the water-sensitive membrane is arranged outside the plant, dehydration from the water-sensitive membrane is smoothly performed, and the response speed when the water content is reduced is increased.
  • the tip of the water content probe is sharp, it is possible to suppress the outflow of water in the plant when the plant is pierced. Therefore, the water content of the plant can be measured accurately.
  • the electric conductivity electrode pairs are arranged side by side in the axial direction of the electric conductivity probe, the electric conductivity distribution inside the plant can be known and the position of the canal can be accurately determined.
  • the water dynamics of the plant can be grasped from various angles.
  • the water content of the plant can be obtained from the impedance read from the read electrode pair of the water content probe.
  • the water content of the plant can be accurately measured by compensating the water content measurement value based on the electric conductivity of the water in the plant measured by the electric conductivity probe.
  • the water content of the plant can be obtained from the capacitance read from the read electrode pair of the water content probe.
  • the water content of the plant can be accurately measured by compensating the water content measurement value based on the electric conductivity of the water in the plant measured by the electric conductivity probe.
  • the water content of the plant can be accurately measured by compensating the electric conductivity measurement value based on the temperature of the water content in the plant measured by the temperature probe.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. It is a usage state explanatory drawing of the plant water content sensor which concerns on 1st Embodiment. It is a top view of the plant water content sensor which concerns on 2nd Embodiment. It is a top view of the plant water content sensor which concerns on 3rd Embodiment. It is explanatory drawing of the tip angle ⁇ , the width W, and the thickness T of a probe. It is a graph which shows the test result of the response characteristic.
  • the plant water content sensor 1 according to the first embodiment of the present invention can be attached to the details of a plant such as the shoot end of the plant and the fruit stalk.
  • the plant water content sensor 1 has a function of measuring the water content in the details of the plant.
  • the plant water content sensor 1 includes a support portion 10.
  • the support portion 10 is provided with a water content probe 20, an electric conductivity probe 30, and a temperature probe 40. By piercing the plant with these probes 20, 30 and 40, the plant water content sensor 1 is attached to the plant.
  • the water content probe 20 is used for measuring the water content of plants.
  • the electric conductivity probe 30 is used for measuring the electric conductivity of water in a plant.
  • the measured electrical conductivity is used to compensate for the measured water content. Therefore, when it is not necessary to compensate by the electric conductivity, it is not necessary to provide the electric conductivity probe 30 in the plant water content sensor 1.
  • the temperature probe 40 is used to measure the temperature of water in a plant. The measured temperature is used to compensate for either or both of the moisture content and electrical conductivity measurements. Therefore, when it is not necessary to compensate by temperature, it is not necessary to provide the temperature probe 40 in the plant water content sensor 1.
  • the base ends of the probes 20, 30 and 40 are supported by the support portion 10 in a state where they are arranged in parallel in the same plane.
  • the order of the probes 20, 30, and 40 is not particularly limited. However, when both the water content measured value and the electric conductivity measured value are temperature-compensated, it is preferable to arrange the temperature probe 40 near both the water content probe 20 and the electric conductivity probe 30. That is, it is preferable to arrange the temperature probe 40 between the water content probe 20 and the electric conductivity probe 30.
  • the support portion 10 and the probes 20, 30, and 40 are formed by processing a semiconductor substrate.
  • the semiconductor substrate include a silicon substrate and an SOI (Silicon on Insulator) substrate.
  • SOI Silicon on Insulator
  • MEMS technology using thin film formation such as sputtering method and thin film deposition method is used for processing semiconductor substrates.
  • the support portion 10 is a member that supports the probes 20, 30, and 40.
  • the support portion 10 is a plate material having a rectangular shape in a plan view, and all the probes 20, 30, and 40 are supported on one long side portion.
  • the support portion 10 may have a length in the longitudinal direction that allows all the probes 20, 30, and 40 to be arranged at predetermined intervals.
  • the length of the support portion 10 in the lateral direction is not particularly limited.
  • Each probe 20, 30, 40 is a rod-shaped member, and is provided in a cantilever shape on the edge (long side portion) of the support portion 10. It is preferable that the tips of the probes 20, 30 and 40 are formed in a pointed shape such as a triangle. If the tips of the probes 20, 30 and 40 are pointed, the penetration resistance when the probes 20, 30 and 40 are pierced into the details of the plant can be reduced.
  • the tip angles of the probes 20, 30, and 40 are preferably 40 to 60 °.
  • the punctured portion and the cells around it may be destroyed, and water in the plant may flow out.
  • the measured value of the water content becomes smaller than the actual value due to the outflow of water.
  • the sharper the tips of the probes 20, 30 and 40 the more the outflow of water in the plant can be suppressed.
  • the tip angles of the probes 20, 30 and 40 are 60 ° or less, the tip is sufficiently sharp, so that it is possible to suppress the outflow of water in the plant when the probe is pierced. Therefore, the water content of the plant can be measured accurately.
  • the tip angles of the probes 20, 30 and 40 are made too small, the widths of the probes 20, 30 and 40 become narrow and the area for mounting the element described later cannot be secured, or the length in the axial direction becomes too long. .. If the tip angle of the probes 20, 30 and 40 is 40 ° or more, the width and length of the probes 20, 30 and 40 can be made into appropriate dimensions.
  • Each probe 20, 30, 40 is formed in a size that can be pierced into the details of a plant having a stem diameter or a shaft diameter of about several mm, such as the shoot end of the plant and the fruit stalk.
  • the length of each probe 20, 30, 40 (the length from the base end to the tip in the axial direction) is such that the tip of each probe is attached to the vessel or phloem of the detail of the plant when it is installed by piercing the detail of the plant. It is formed in dimensions that can be placed. For example, the lengths of the probes 20, 30, and 40 are 50 to 1,500 ⁇ m.
  • each probe 20, 30, 40 is not particularly limited, but is, for example, 50 to 500 ⁇ m. The narrower the probes 20, 30 and 40 are, the less damage they can do to the plant.
  • each of the probes 20, 30, and 40 is formed thinner than the thickness of the support portion 10 by removing the lower portion of the semiconductor substrate SS.
  • the thickness of each probe 20, 30, 40 is set to be thinner than the width of the phloem and vessel of the plant.
  • the thickness of each probe 20, 30, 40 depends on the type of plant to be measured and the thickness of the stem, and is, for example, 50 to 300 ⁇ m. If the thickness is 50 ⁇ m or more, the strength is sufficient, and there is no risk of breaking when the probes 20, 30, and 40 are inserted and removed from the stem of a plant or the like.
  • the thickness of the vessel and phloem is about 100 to 400 ⁇ m depending on the type of plant, if the thickness is 300 ⁇ m or less, the probes 20, 30, and 40 can be pierced into the vessel or phloem. It is possible to suppress blocking them.
  • each probe 20, 30, 40 is 50 to 100 ⁇ m. The thinner the probes 20, 30 and 40, the less damage to the plant. If the thickness of each of the probes 20, 30 and 40 is 100 ⁇ m or less, the outflow of water in the plant can be suppressed and the water content of the plant can be measured accurately.
  • Probes 20, 30, 40 having such a shape are formed, for example, by the following procedure. Photolithography of the probe shape is performed on the semiconductor substrate SS, and unnecessary parts are removed by dry etching such as ICP-RIE to form the original shape of the probe shape. Next, the semiconductor substrate SS is etched from the back surface so that the probes 20, 30, and 40 have a cantilever shape. In this step, dry etching such as ICP-RIE is used. The semiconductor substrate SS is etched from the back surface, and the etching is completed when the probes 20, 30, and 40 are separated. Thereby, the cantilever-shaped probes 20, 30, and 40 can be formed.
  • dry etching such as ICP-RIE
  • a read electrode pair 21 is provided at the tip of the water content probe 20.
  • the read electrode pair 21 is composed of a pair of electrodes 22 and 22 arranged at predetermined intervals. Two electrode pads 22e and 22e connected to the two electrodes 22 via wiring are arranged on the upper surface of the support portion 10. Further, the water content probe 20 is provided with a water sensitive film 23.
  • the water content probe 20 When the water content probe 20 is pierced into a plant, the water in the plant is absorbed by the water sensitive film 23. The amount of water absorbed by the water sensitive film 23 is read out as the impedance or capacitance between the electrodes 22 and 22. This makes it possible to measure the water content of the plant.
  • a pair of electrodes 22 and 22 are formed on the surface of the semiconductor substrate SS constituting the water content probe 20.
  • the electrode 22 is not particularly limited as long as it has a size that can be arranged at the tip of the water content probe 20.
  • the electrode 22 is formed by depositing a metal thin film such as Au or Al on the semiconductor substrate SS by, for example, a sputtering method or a thin-film deposition method.
  • the water sensitive film 23 is formed on a pair of electrodes 22 and 22 so as to be bridged over them.
  • the water-sensitive film 23 has a function of absorbing water and is made of a material having a relative permittivity lower than that of water.
  • the term "water-sensitive film” means a film formed of a material having a function of absorbing water and having a lower relative permittivity than water. Since the relative permittivity of water at a temperature of 20 ° C. is about 80, the relative permittivity of the water sensitive film 23 may be smaller than 80. However, the larger the difference between the relative permittivity of the water-sensitive film 23 and the relative permittivity of water, the higher the measurement accuracy of the water content. Therefore, the relative permittivity of the water-sensitive film 23 is preferably 1 to 3.
  • the material of the water-sensitive film 23 is preferably insoluble in water and is thermally and chemically stable.
  • metal oxides and ceramics include aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and silicon dioxide (SiO 2 ). Metal oxides and ceramics are insoluble in water. However, metal oxides and ceramics are hard materials and require high-temperature heat treatment during the manufacturing process. On the other hand, polymer materials have excellent applicability to plants and are soft. Examples of the polymer material include polyimide and polyvinyl alcohol.
  • polyimide is preferable from the viewpoint of ease of mounting on a semiconductor Si substrate.
  • polyimide is difficult to dissolve in water, it is suitable for long-term measurement of water content in plants. Therefore, if the water-sensitive film 23 is formed of polyimide, the water-sensitive film 23 is difficult to dissolve in the water in the plant, and long-term measurement is possible.
  • the surface of the water-sensitive film 23 may be hydrophilized. Then, the water in the plant is easily absorbed by the water-sensitive film 23, and the response speed of the water content measurement becomes faster.
  • the surface of the water-sensitive film 23 may be treated with oxygen plasma.
  • oxygen plasma When the surface of the polyimide is treated with oxygen plasma, a carbonyl group is introduced and the surface of the polyimide is hydrophilized. It also has the effect of increasing the surface area of the polyimide. Since the water-sensitive film 23 becomes hydrophilic and the surface area increases, the water in the plant is easily absorbed by the water-sensitive film 23, and the response speed of the water content measurement becomes faster.
  • an electric conductivity electrode pair 31 is provided at the tip of the electric conductivity probe 30.
  • the electric conductivity electrode pair 31 is composed of a pair of electrodes 32, 32 arranged at predetermined intervals.
  • the electric conductivity electrode pair 31 is for measuring the electric conductivity of water (such as vascular fluid) existing between the electrodes 32 and 32.
  • the electrode 32 is not particularly limited as long as it has a size that can be arranged at the tip of the electric conductivity probe 30.
  • the electrode 32 is formed by depositing a metal thin film such as Au or Al on the semiconductor substrate SS by, for example, a sputtering method or a thin-film deposition method.
  • Two electrode pads 32e and 32e connected to the two electrodes 32 and 32 via wiring are arranged on the upper surface of the support portion 10.
  • the electrical conductivity can be measured by the AC two-electrode method. That is, an AC power supply and an ammeter are connected in series between the pair of electrode pads 32e and 32e corresponding to the pair of electrodes 32 and 32.
  • An AC power supply supplies a current between the electrodes 32 and 32, and an ammeter measures the current flowing between the electrodes 32 and 32. Based on Ohm's law, the electric resistance between the electrodes 32 and 32 is calculated from the current measured by the ammeter, and the electric conductivity is obtained from the electric resistance.
  • the measurement range of the electric conductivity is at least 0 to 10 mS / cm.
  • the measurement range of the electric conductivity by the AC two-electrode method depends on the cell constant K of the electrode pair.
  • the cell constant K is obtained by dividing the distance L between the electrodes by the surface area S of the electrodes. That is, the measurement range of the electric conductivity depends on the shape of the electrode 32.
  • the shape of the electrode 32 can be selected from various shapes such as a three-dimensional electrode, a comb tooth electrode, and a planar electrode.
  • a temperature sensor 41 is provided at the tip of the temperature probe 40.
  • the temperature sensor 41 has a function of sensing the temperature, and is not particularly limited as long as it has a size that can be arranged at the tip of the temperature probe 40.
  • a resistance temperature detector, a pn junction diode, a thermocouple, or the like can be adopted. Since the plant water content sensor 1 is expected to be used outdoors, it is preferable to use a resistance temperature detector that does not depend on light as the temperature sensor 41. Further, two electrode pads 41e and 41e connected to the temperature sensor 41 via wiring are arranged on the upper surface of the support portion 10.
  • the resistance temperature detector is formed by depositing a thin metal film suitable as a resistance temperature detector such as Au on the semiconductor substrate SS by, for example, a sputtering method or a thin film deposition method.
  • the electrical resistance of the resistance temperature detector increases as the temperature rises.
  • a constant current source is connected between the two electrode pads 41e and 41e.
  • a constant current is supplied to the resistance temperature detector with a constant current source, and the voltage is measured with a voltmeter. The temperature can be calculated from the voltage measured by the voltmeter.
  • the water content probe 20, the electric conductivity probe 30, and the temperature probe 40 may be configured as separate probes, or a part or all of them may be configured as a single probe. That is, the read electrode pair 21, the water sensitive film 23, the electric conductivity electrode pair 31, and the temperature sensor 41 may all be mounted on one probe.
  • the plant water content sensor 1 may be formed by a method other than the MEMS technique as long as it can be formed so as to have the above-mentioned dimensions and functions, and the material is not limited to the silicon substrate.
  • the tips of the probes 20, 30 and 40 pass through the skin layer CO of the plant and reach the phloem PH. Further, when pierced deeply, the tips of the probes 20, 30, and 40 reach the vessel XY and then the pith PI.
  • the electrical conductivity of water in plants largely depends on the water absorbed from the soil, that is, the duct fluid. Therefore, it is preferable to arrange the electric conductivity probe 30 and the temperature probe 40 in the vessel XY.
  • the water sensitive film 23 may be formed at least in a region covering the read electrode pair 21. However, it is preferable that the water sensitive film 23 is provided from the arrangement portion of the read electrode pair 21 to the proximal end portion of the water content probe 20. Further, it is more preferable that the water sensitive film 23 is provided so as to cover a part of the upper surface of the support portion 10 from the base end portion of the water content probe 20. In this way, a part of the water sensitive film 23 is arranged outside the plant.
  • the water sensitive film 23 absorbs water according to the amount of water in the plant. In order to capture the decrease in water content in the plant, it is necessary to dehydrate the water absorbed by the water sensitive film 23. If a part of the water-sensitive film 23 is arranged on the outside of the plant, dehydration is promoted from the portion exposed to the outside air. Since dehydration from the water-sensitive membrane 23 is smoothly performed, the response speed when the water content decreases is increased.
  • Z 0 is the impedance [k ⁇ ] when the water sensitive film 23 does not absorb water
  • B is a coefficient representing the sensitivity of the sensor.
  • Z 0 and B are determined in advance by a test.
  • the impedance Z between the electrodes 22 and 22 is measured. Then, based on the equation (1), the water content WC of the plant is obtained from the measured impedance value Z.
  • the water content of the plant can be measured by piercing the plant with the water content probe 20 and reading the impedance or capacitance from the read electrode pair 21.
  • the water content measurement value obtained by the water content probe 20 depends on the electric conductivity of the water in the plant. Therefore, it is preferable to compensate the measured water content with the electric conductivity.
  • the electric conductivity of water (mainly vessel fluid) in a plant can be measured by the electric conductivity electrode pair 31 of the electric conductivity probe 30.
  • the water content measurement value is compensated based on the electric conductivity measured by the electric conductivity probe 30. This makes it possible to accurately measure the water content of the plant.
  • the sensor sensitivity coefficient B in the equation (1) is obtained in advance using solutions having various electric conductivitys.
  • the electrical conductivity of the water in the plant is measured at the same time.
  • the water content WC of the plant is obtained from the impedance Z. In this way, by obtaining the sensor sensitivity coefficient B from the measured value of electrical conductivity, the measured value of water content can be compensated.
  • the inventors of the present application have obtained the finding that the sensor sensitivity coefficient B linearly depends on the electric conductivity ⁇ . Therefore, the impedance Z is measured in advance by the water content probe 20 using various solutions of electric conductivity ⁇ , the sensor sensitivity coefficient B in the equation (1) is obtained, and the electric conductivity ⁇ and the sensor sensitivity coefficient B are obtained. Fit the relationship with with a linear function. That is, the coefficients a and b are obtained from the relational expression between the electric conductivity ⁇ represented by the following equation (2) and the sensor sensitivity coefficient B.
  • the impedance Z is measured by the water content probe 20 and the electric conductivity ⁇ is measured by the electric conductivity probe 30.
  • the sensor sensitivity coefficient B is obtained from the measured electric conductivity value ⁇ .
  • the water content WC of the plant is obtained from the impedance Z.
  • the amount of water absorbed by the water sensitive film 23 and the static electricity between the electrodes 22 and 22 are similarly used by using solutions having various electric conductivitys in advance. Find the relationship with the electric capacity.
  • the electrical conductivity of the water content of the plant is measured at the same time. Based on the water content-capacitance relationship corresponding to the measured electrical conductivity, the water content WC of the plant is obtained from the capacitance C.
  • the electrical conductivity of water in plants is itself useful physiological information for plant production. If the tip of the electric conductivity probe 30 is arranged in the vessel XY, the electrical conductivity of the vessel fluid can be measured. Fertilizers applied to soil are decomposed by microorganisms into salts such as nitrate nitrogen. In addition, there is a positive correlation between salinity and electrical conductivity. Therefore, by measuring the electrical conductivity of the vessel fluid, the nutrients taken up by the plant can be quantified.
  • the measured electrical conductivity obtained by the electrical conductivity probe 30 depends on the temperature. Generally, the measured electrical conductivity varies by 1-3% with every 1 ° C. Therefore, it is preferable to compensate the temperature of the measured electric conductivity.
  • the temperature of water (mainly duct fluid) in the plant can be measured by the temperature sensor 41 of the temperature probe 40.
  • the measured electric conductivity is compensated based on the temperature measured by the temperature probe 40. This makes it possible to accurately determine the electrical conductivity of water in the plant. By further compensating the water content measurement using the electric conductivity after the temperature compensation, the water content can be obtained accurately.
  • the temperature compensation of the measured electric conductivity is performed by the following procedure. That is, based on the equation (3), the measured electric conductivity is converted into the electric conductivity ⁇ 25 [S / m] at the reference temperature of 25 ° C.
  • ⁇ is a temperature coefficient
  • T is the temperature [° C.] of the liquid to be measured
  • ⁇ is the measured value of electrical conductivity [S / m].
  • the temperature coefficient ⁇ is obtained from the equation (4).
  • T 1 is 25 ° C. and a temperature other than T 2 [° C.]
  • T 2 is a temperature other than 25 ° C. and T 1 [° C.]
  • ⁇ 1 is an electric conductivity measurement value [S / m] at T 1 .
  • ⁇ 2 is the measured electric conductivity [S / m] at T 2 .
  • the water content measurement value measured by the water content probe 20 does not depend on the temperature.
  • the measured water content may depend on the temperature.
  • the measured water content may be temperature-compensated. That is, the measured value of water content is directly compensated based on the temperature measured by the temperature probe 40. This makes it possible to measure the water content with high accuracy.
  • the water content of the plant can be measured non-destructively.
  • tomatoes have an increased sugar content when grown under water stress.
  • an index for avoiding an extreme water shortage and actual cracking due to a rapid flow of vascular fluid to the fruit can be obtained, so that an appropriate water stress can be given. In this way, it can be utilized for high quality and stable production of crops and fruit trees.
  • the plant water content sensor 2 according to the second embodiment of the present invention will be described.
  • the electric conductivity probe 30 is formed longer than the other probes 20 and 40. Further, a plurality of pairs of electric conductivity electrodes 31 are arranged side by side in the axial direction on the electric conductivity probe 30.
  • the electric conductivity probe 30 is provided with two electric conductivity electrode pairs 31.
  • the electric conductivity electrode pair 31 on the proximal end side is arranged at substantially the same position as the temperature sensor 41 of the temperature probe 40 in the direction of piercing the plant.
  • the electric conductivity electrode pair 31 on the tip side is arranged at a position deeper than the temperature sensor 41 when piercing a plant.
  • the vessel fluid contains salts such as nitrate nitrogen, it has the property of having higher electrical conductivity than the water contained in other parts (skin layer CO, phloem PH, medullary PI, etc.).
  • skin layer CO skin layer CO, phloem PH, medullary PI, etc.
  • the electric conductivity electrode pair 31 on the proximal end side is arranged in the vessel XY, the probes 20, 30, and 40 can be pierced to an appropriate amount.
  • the plant water content sensor 3 has a function of measuring the vascular fluid flow rate in addition to the water content of the plant.
  • the plant water content sensor 3 of the present embodiment has two temperature probes 40, a first temperature probe 40A and a second temperature probe 40B, in the plant water content sensor 1 of the first embodiment. , A temperature probe 50 with a heater is added. Since the remaining configuration is the same as that of the first embodiment, the same members are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
  • the first and second temperature probes 40A and 40B and the temperature probe 50 with a heater are used as a pair to measure the flow rate of vascular bundle liquid.
  • the temperature measured by the first temperature probe 40A is also used for temperature compensation of the water content measured value and the electric conductivity measured value.
  • the first and second temperature probes 40A and 40B and the temperature probe 50 with a heater are arranged in parallel with the other probes 20 and 30 in parallel, and their base ends are supported by the support portion 10.
  • the first and second temperature probes 40A and 40B are provided at positions sandwiching the temperature probe 50 with a heater. Further, the first and second temperature probes 40A and 40B and the temperature probe 50 with a heater have the same shape and dimensions as the other probes 20 and 30.
  • the first and second temperature probes 40A and 40B each have the same configuration as the temperature probe 40 of the first embodiment. That is, each of the first and second temperature probes 40A and 40B is provided with a temperature sensor 41 at the tip thereof. The temperature of the vascular fluid can be measured by the temperature sensor 41.
  • a temperature sensor 51 is provided at the tip of the temperature probe 50 with a heater.
  • the same one as the temperature sensor 41 of the temperature probe 40 can be adopted.
  • Two electrode pads 51e connected to the temperature sensor 51 via wiring are arranged on the upper surface of the support portion 10. The temperature can be measured by the temperature sensor 51 in the same manner as the temperature sensor 41 of the temperature probe 40.
  • the temperature probe 50 with a heater is provided with a heater 52.
  • the heater 52 only needs to be able to supply heat to the temperature probe 50 with a heater, and its position is not limited to the tip portion.
  • the heater 52 is not particularly limited as long as it has a size that can be arranged in the temperature probe 50 with a heater.
  • a pn junction diode formed by using an oxidation diffusion furnace can be adopted as the heater 52.
  • the heater 52 may be formed by forming a thin film of Pt (platinum), NiCr (nichrome), or ITO (indium tin oxide material) by a sputtering method, a vapor deposition method, or the like and processing it into a predetermined shape. ..
  • a DC constant voltage source is connected between the two electrode pads 52e and 52e.
  • a DC constant voltage source supplies a constant voltage in the forward direction to the heater 52, which is a pn junction diode. Heat can be generated by passing an electric current through the heater 52.
  • the plant water content sensor 3 pierces and attaches all the probes 20, 30, 40A, 40B, and 50 to the plant.
  • the tips of the first and second temperature probes 40A and 40B and the temperature probe 50 with a heater are arranged in the phloem PH.
  • the tips of the first and second temperature probes 40A and 40B and the temperature probe 50 with a heater are arranged in the vessel XY.
  • a case of measuring the flow rate of the vessel fluid will be described as an example.
  • the heater 52 provided in the temperature probe 50 with a heater is operated.
  • the thermal energy supplied from the heater 52 is supplied to the temperature probe 50 with a heater.
  • the thermal energy supplied to the temperature probe 50 with a heater is released from the surface of the temperature probe 50 with a heater to the vessel liquid flowing in the vessel XY.
  • the temperatures of the first and second temperature probes 40A and 40B and the temperature probe 50 with a heater are measured by the temperature sensors 41, 41 and 51. Then, the direction of the vessel flow is specified by comparing the temperatures of the first temperature probe 40A and the second temperature probe 40B.
  • the first and second temperature probes 40A and 40B are provided at positions sandwiching the temperature probe 50 with a heater.
  • the vessel fluid is heated by the temperature probe 50 with a heater. Therefore, the temperature measured by the first temperature probe 40A arranged downstream of the temperature probe 50 with a heater is higher than the temperature measured by the second temperature probe 40B arranged upstream.
  • the direction of the vessel flow is from the low temperature second temperature probe 40B to the high temperature first temperature probe 40A.
  • the flow rate of the vessel fluid is measured based on the Granier method from the temperatures measured by the first and second temperature probes 40A and 40B and the temperature probe 50 with a heater.
  • the calculation is performed based on the temperature difference between the second temperature probe 40B, which has a lower temperature among the first and second temperature probes 40A and 40B, and the temperature probe 50 with a heater.
  • the second temperature probe 40B having a lower temperature is arranged upstream of the temperature probe 50 with a heater in the vessel flow.
  • the vessel fluid in the vicinity of the temperature probe 50 with a heater is always replaced with a new vessel fluid. Therefore, if the thermal energy supplied to the temperature probe 50 with a heater is constant, the temperature of the temperature probe 50 with a heater will be low.
  • the flow rate of the vessel fluid is small (the flow velocity is slow)
  • the vessel fluid in the vicinity of the temperature probe 50 with a heater is in a state of staying. Therefore, if the thermal energy supplied to the heater-equipped temperature probe 50 is constant, the temperature of the heater-equipped temperature probe 50 becomes high.
  • the flow velocity of the vessel fluid can be obtained from the temperature difference ⁇ T between the second temperature probe 40B and the temperature probe 50 with a heater.
  • the temperature difference ⁇ T is a function of the flow velocity u. Based on this function, the flow velocity u can be calculated from the temperature difference ⁇ T.
  • u is the average flow velocity [m / s]
  • ⁇ T (u) is the temperature difference [° C.] between the temperature probe 40B and the temperature probe 50 with a heater when the average flow velocity is u
  • ⁇ T (0) is the maximum of ⁇ T.
  • ⁇ and ⁇ are coefficients obtained from the observed data.
  • the flow rate F can be calculated from the flow velocity u based on the equation (6).
  • F is the flow rate [m 3 / s]
  • S is the cross-sectional area of the vessel [m 2 ].
  • the flow velocity and flow rate of the phloem liquid can be obtained together with the direction of the phloem flow. can.
  • the plant water content sensor 3 can also measure the flow rate of the vascular fluid by the heat pulse method.
  • the temperature probe 40 provided in the plant water content sensor 3 may be one. Even with such a configuration, the flow rate of the vascular fluid can be measured.
  • the plant water content sensor 3 can measure the vascular fluid flow rate in addition to the water content of the plant. Therefore, the water dynamics of the plant can be grasped from various angles, and the state of the plant can be understood in more detail.
  • Tip angle First, a test was performed on the tip angle of the probe. As shown in FIG. 7, a flat plate-shaped probe was manufactured using a silicon substrate. As shown in FIG. 7, the tip angle ⁇ , the width W, and the thickness T of the probe are defined. Four probes with tip angles ⁇ of 136 °, 120 °, 90 °, and 60 ° were manufactured. Each probe has a width W of 480 ⁇ m and a thickness T of 300 ⁇ m.
  • a plant water content sensor having the configuration shown in FIG. 1 was manufactured using a silicon substrate.
  • the tip angle ⁇ of each probe is 60 °
  • the width W is 480 ⁇ m
  • the thickness T is 300 ⁇ m
  • the length is 1,200 ⁇ m.
  • Various electrodes, resistance temperature detectors and wiring were made of Au.
  • the water sensitive film was formed of polyimide.
  • Each cotton wool was brought into contact with the water-sensitive film of the water content probe and removed after a certain period of time.
  • the time change of the impedance measured by the water content probe during this period is shown in the graph of FIG.
  • the measured impedance value stabilizes about 20 seconds after the cotton wool is brought into contact with the water-sensitive film.
  • the measured impedance value stabilizes about 30 seconds after the cotton wool is removed from the water-sensitive film. From this, it can be seen that the response speed of the water content probe is about 30 seconds. Compared to the time scale of plant irrigation (several hours), the response speed is sufficiently fast.
  • the impedance measurement value is almost constant after the cotton wool is brought into contact with the water-sensitive film and the impedance measurement value is stabilized until the cotton wool is removed. From this, it was confirmed that the water content measurement was stable. Further, the impedance after removing the cotton wool from the water-sensitive film returns to the value before the cotton wool was brought into contact with the water-sensitive film. From this, it was confirmed that the water content was sufficiently reproducible. From the above, it was confirmed that the water content probe has good response characteristics.
  • the impedance changes exponentially with the change of the water content.
  • the water content of a general plant is 98 to 60%. From the graph of FIG. 9, it was confirmed that the plant water content sensor can measure the water content in the range of 100 to 40%, which covers the range of general plant water content.
  • the water content changes day and night and decreases day by day.
  • the water content after watering at the start of measurement and the water content after watering after 5 days are about the same. It can be said that this change in water content reproduces the change in water content of plants that changes due to rainfall. From this, it was confirmed that the plant water content sensor can measure the water content of the plant in real time without destruction.
  • FIG. 11 The measurement points shown in FIG. 11 were fitted by the equation (1) to obtain the sensor sensitivity coefficient B.
  • FIG. 12 shows the relationship between the electric conductivity ⁇ of the KCl solution and the sensor sensitivity coefficient B. From FIG. 12, it can be seen that the electric conductivity ⁇ and the sensor sensitivity coefficient B have a linear relationship.
  • the measured value of water content obtained by the water content probe can be compensated by the electric conductivity if the relational expression between the sensor sensitivity coefficient B and the electric conductivity ⁇ is obtained in advance by a test or the like. ..

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Abstract

非破壊で植物の水分含有量を測定できる植物水分含有量センサおよび植物水分含有量測定方法を提供する。　植物水分含有量センサ（１）は、所定の間隔を空けて配置された一対の電極（２２）、（２２）からなる読出電極対（２１）と、一対の電極（２２）、（２２）に架け渡された感水膜（２３）とが設けられた水分含有量プローブ（２０）と、水分含有量プローブ（２０）を支持する支持部（１０）とを備える。水分含有量プローブ（２０）を植物に突き刺し、読出電極対（２１）からインピーダンスまたは静電容量を読み出すことで、植物の水分含有量を測定できる。

Description

植物水分含有量センサおよび植物水分含有量測定方法
　本発明は、植物水分含有量センサおよび植物水分含有量測定方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、植物の水分含有量の測定に用いられるセンサおよび方法に関する。
　作物、果樹の生産においては、生産性の観点から植物の生育状態に合わせて適切な時期に灌水と養分補給を行なうことが望まれる。しかし、多くの農業現場では、無降雨日数などに基づき、経験と勘によって灌水と養分補給を行なっているのが現状である。このような経験に依存した方法は、熟練が必要であり手間と時間がかかる。また、基準となる指標が個人的な経験であるため、誰もが簡便に実施することは難しい。
　近年、スマートアグリなど、情報技術を農業に導入する動きが活発になっている。情報技術により、人に依存することなく、植物の生理的情報に基づいて、最適な生産が行なわれることが期待されている。
　灌水管理に必要となる植物の生理的情報として維管束液流量と水分含有量が挙げられる。特に、作物、果樹の生産性および品質を向上させる上では、植物の新梢末端、果柄など、植物の細部における維管束液流量と水分含有量を測定することが重要である。このうち、植物の細部における維管束液流量については、それを測定するセンサが、本願発明者により既に提案されている（特許文献１）。
特開２０１５－１４５８１０号公報
　一方、草本植物の水分含有量を測定する方法は、現在のところ、植物を磨り潰して加熱乾燥前後の重量変化から水分含有量を測定する破壊法しか知られていない。したがって、植物を育成しながら、その植物の水分含有量を測定することはできない。
　本発明は上記事情に鑑み、非破壊で植物の水分含有量を測定できる植物水分含有量センサおよび植物水分含有量測定方法を提供することを目的とする。
　第１態様の植物水分含有量センサは、所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる読出電極対と、前記一対の電極に架け渡された感水膜とが設けられた水分含有量プローブと、前記水分含有量プローブを支持する支持部と、を備えることを特徴とする。
　第２態様の植物水分含有量センサは、第１態様において、所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる電気伝導率電極対が設けられた電気伝導率プローブを備え、前記電気伝導率プローブは前記水分含有量プローブと平行に並んだ状態で前記支持部に支持されていることを特徴とする。
　第３態様の植物水分含有量センサは、第１または第２態様において、温度センサが設けられた温度プローブを備え、前記温度プローブは前記水分含有量プローブと平行に並んだ状態で前記支持部に支持されていることを特徴とする。
　第４態様の植物水分含有量センサは、第１～第３態様のいずれかにおいて、前記感水膜はポリイミドで形成されていることを特徴とする。
　第５態様の植物水分含有量センサは、第１～第４態様において、前記感水膜の表面は親水化処理されていることを特徴とする。
　第６態様の植物水分含有量センサは、第１～第５態様のいずれかにおいて、前記感水膜は前記読出電極対の配置部から前記水分含有量プローブの基端部にわたって設けられていることを特徴とする。
　第７態様の植物水分含有量センサは、第１～第６態様のいずれかにおいて、前記水分含有量プローブの先端角度は４０～６０°であることを特徴とする。
　第８態様の植物水分含有量センサは、第２態様において、前記電気伝導率プローブは複数の前記電気伝導率電極対を有し、複数の前記電気伝導率電極対は前記電気伝導率プローブの軸方向に並んで配置されていることを特徴とする。
　第９態様の植物水分含有量センサは、第３態様において、温度センサとヒータとが設けられたヒータ付温度プローブを備え、前記ヒータ付温度プローブは前記温度プローブと平行に並んだ状態で前記支持部に支持されていることを特徴とする。
　第１０態様の植物水分含有量測定方法は、所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる読出電極対と、前記一対の電極に架け渡された感水膜とが設けられた水分含有量プローブを植物に突き刺し、前記読出電極対を構成する前記一対の電極間のインピーダンスを測定し、式（１）に基づいて、インピーダンス測定値から前記植物の水分含有量を求めることを特徴とする。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000003
　ここで、Ｚはインピーダンス測定値、Ｚ0は前記感水膜が水分を吸収していない場合のインピーダンス、Ｂはセンサ感度係数、ＷＣは水分含有量である。
　第１１態様の植物水分含有量測定方法は、第１０態様において、所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる電気伝導率電極対が設けられた電気伝導率プローブを前記植物に突き刺し、前記電気伝導率電極対を構成する前記一対の電極間の電気抵抗から電気伝導率を求め、電気伝導率測定値から式（１）中のセンサ感度係数Ｂを求めることを特徴とする。
　第１２態様の植物水分含有量測定方法は、第１１態様において、式（２）に基づいて、前記電気伝導率測定値から前記センサ感度係数Ｂを求めることを特徴とする。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000004
　ここで、Ｂはセンサ感度係数、σは電気伝導率、ａ、ｂは予め定められた係数である。
　第１３態様の植物水分含有量測定方法は、所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる読出電極対と、前記一対の電極に架け渡された感水膜とが設けられた水分含有量プローブを植物に突き刺し、前記読出電極対を構成する前記一対の電極間の静電容量を測定し、静電容量測定値から前記植物の水分含有量を求めることを特徴とする。
　第１４態様の植物水分含有量測定方法は、第１３態様において、所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる電気伝導率電極対が設けられた電気伝導率プローブを前記植物に突き刺し、前記電気伝導率電極対を構成する前記一対の電極間の電気抵抗から電気伝導率を求め、前記静電容量測定値および電気伝導率測定値から前記植物の水分含有量を求めることを特徴とする。
　第１５態様の植物水分含有量測定方法は、第１１、第１２または第１４態様において、温度センサが設けられた温度プローブを植物に突き刺し、前記温度センサで温度を測定し、温度測定値を用いて前記電気伝導率測定値を補償することを特徴とする。
　第１態様によれば、水分含有量プローブを植物に突き刺し、読出電極対からインピーダンスまたは静電容量を読み出すことで、植物の水分含有量を測定できる。
　第２態様によれば、電気伝導率プローブにより測定した植物内の水分の電気伝導率に基づき水分含有量測定値を補償することで、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
　第３態様によれば、温度プローブにより測定した植物内の水分の温度に基づき水分含有量測定値電または電気伝導率測定値を補償することで、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
　第４態様は、感水膜がポリイミドで形成されているので、感水膜が植物内の水分に溶解しにくく、長期間の測定が可能である。
　第５態様によれば、感水膜の表面が親水化されているので、水分含有量測定の応答速度が速くなる。
　第６態様によれば、感水膜の一部が植物の外側に配置されるので、感水膜からの脱水がスムーズに行なわれ、水分含有量が減少する際の応答速度が速くなる。
　第７態様によれば、水分含有量プローブの先端部が鋭利であるので、植物に突き刺した際に、植物内の水分が流出することを抑制できる。そのため、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
　第８態様によれば、電気伝導率電極対が電気伝導率プローブの軸方向に並んで配置されているので、植物内部の電気伝導率分布が分かり、道管の位置を正確に判別できる。
　第９態様によれば、植物の水分含有量に加え、維管束液流量を測定できるので、植物の水分動態を多角的に把握できる。
　第１０態様によれば、水分含有量プローブの読出電極対から読み出したインピーダンスから植物の水分含有量を求めることができる。
　第１１、第１２態様のいずれにおいても、電気伝導率プローブで測定した植物内の水分の電気伝導率に基づき水分含有量測定値を補償することで、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
　第１３態様によれば、水分含有量プローブの読出電極対から読み出した静電容量から植物の水分含有量を求めることができる。
　第１４態様によれば、電気伝導率プローブで測定した植物内の水分の電気伝導率に基づき水分含有量測定値を補償することで、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
　第１５態様によれば、温度プローブで測定した植物内の水分の温度に基づき電気伝導率測定値を補償することで、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
第１実施形態に係る植物水分含有量センサの平面図である。 第１実施形態に係る植物水分含有量センサの側面図である。 図１におけるIII-III線矢視断面図である。 第１実施形態に係る植物水分含有量センサの使用状態説明図である。 第２実施形態に係る植物水分含有量センサの平面図である。 第３実施形態に係る植物水分含有量センサの平面図である。 プローブの先端角度θ、幅Ｗ、厚さＴの説明図である。 応答特性の試験結果を示すグラフである。 水分含有量とインピーダンスとの関係を示すグラフである。 生育環境下のトマトの水分含有量（インピーダンス）の時間変化を示すグラフである。 水分含有量とインピーダンスとの関係を示すグラフである。 電気伝導率とセンサ感度係数との関係を示すグラフである。
　つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
〔第１実施形態〕
　本発明の第１実施形態に係る植物水分含有量センサ１は、植物の新梢末端、果柄など、植物の細部に取り付けることができる。植物水分含有量センサ１は植物の細部における水分含有量を測定する機能を有する。
（植物水分含有量センサ）
　まず、植物水分含有量センサ１の構成を説明する。
　図１に示すように、植物水分含有量センサ１は支持部１０を備えている。支持部１０には、水分含有量プローブ２０、電気伝導率プローブ３０および温度プローブ４０が設けられている。これらのプローブ２０、３０、４０を植物に突き刺すことで、植物に植物水分含有量センサ１が取り付けられる。
　水分含有量プローブ２０は植物の水分含有量測定に用いられる。電気伝導率プローブ３０は植物内の水分の電気伝導率測定に用いられる。測定された電気伝導率は水分含有量測定値の補償に用いられる。したがって、電気伝導率による補償の必要がない場合などには、植物水分含有量センサ１に電気伝導率プローブ３０を設けなくてもよい。温度プローブ４０は植物内の水分の温度測定に用いられる。測定された温度は水分含有量測定値および電気伝導率測定値のいずれか一方または両方の補償に用いられる。したがって、温度による補償の必要がない場合などには、植物水分含有量センサ１に温度プローブ４０を設けなくてもよい。
　プローブ２０、３０、４０は、それらを同一平面内で平行に並べた状態で、その基端が支持部１０に支持されている。プローブ２０、３０、４０の並び順は特に限定されない。ただし、水分含有量測定値および電気伝導率測定値の両方を温度補償する場合には、温度プローブ４０を水分含有量プローブ２０および電気伝導率プローブ３０の両方の近くに配置することが好ましい。すなわち、温度プローブ４０を水分含有量プローブ２０と電気伝導率プローブ３０との間に配置することが好ましい。
　支持部１０およびプローブ２０、３０、４０は半導体基板を加工することで形成されている。半導体基板として、シリコン基板、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板などが挙げられる。半導体基板の加工には、フォトリソグラフィ、エッチングのほか、スパッタ法、蒸着法などの薄膜形成を用いたＭＥＭＳ技術が用いられる。
・支持部
　支持部１０はプローブ２０、３０、４０を支持する部材である。支持部１０は、平面視長方形の板材であり、片方の長辺部に全てのプローブ２０、３０、４０が支持されている。支持部１０はその長手方向の長さが全てのプローブ２０、３０、４０を所定の間隔で配置できる長さを有していればよい。支持部１０の短手方向の長さは特に限定されない。
・プローブ
　各プローブ２０、３０、４０は、棒状の部材であり、支持部１０の縁（長辺部）に片持ち梁状に設けられている。各プローブ２０、３０、４０の先端部は三角形など、尖った形に形成されているのが好ましい。プローブ２０、３０、４０の先端部が尖った形であれば、プローブ２０、３０、４０を植物の細部に突き刺すときの刺入抵抗を小さくできる。
　具体的には、各プローブ２０、３０、４０の先端角度は４０～６０°が好ましい。プローブ２０、３０、４０を植物に突き刺すと、突き刺した部分とその周囲の細胞が破壊され、植物内の水分が流出することがある。水分が流出した分、水分含有量の測定値が実態よりも小さくなる。プローブ２０、３０、４０の先端部を鋭利にするほど、植物内の水分の流出を抑制できる。プローブ２０、３０、４０の先端角度が６０°以下であれば、先端部が十分に鋭利であるので、植物に突き刺した際に、植物内の水分が流出することを抑制できる。そのため、植物の水分含有量を精度良く測定できる。一方、プローブ２０、３０、４０の先端角度を小さくしすぎると、プローブ２０、３０、４０の幅が細くなり後述の素子を搭載する面積を確保できなくなるか、軸方向の長さが長くなりすぎる。プローブ２０、３０、４０の先端角度を４０°以上とすれば、プローブ２０、３０、４０の幅および長さを適度な寸法にできる。
　各プローブ２０、３０、４０は、植物の新梢末端、果柄など、茎径または軸径が数ｍｍ程度の植物の細部に突き刺して配置できる寸法に形成されている。各プローブ２０、３０、４０の長さ（軸方向に基端から先端までの長さ）は、植物の細部に突き刺して設置した状態において、その先端部が植物の細部の道管または師管に配置され得る寸法に形成されている。例えば、各プローブ２０、３０、４０の長さは５０～１，５００μｍである。
　各プローブ２０、３０、４０の幅は、特に限定されないが、例えば５０～５００μｍである。プローブ２０、３０、４０の幅が狭いほど、植物に与える損傷を小さくできる。
　図２に示すように、各プローブ２０、３０、４０は、半導体基板ＳＳの下部を除去することにより、支持部１０の厚さよりも薄く形成されている。各プローブ２０、３０、４０の厚さは植物の師管および道管の幅よりも薄く設定されている。各プローブ２０、３０、４０の厚さは測定対象となる植物の種類および茎の太さによるが、例えば５０～３００μｍである。厚さが５０μｍ以上であれば強度が十分であり、プローブ２０、３０、４０を植物の茎などに挿抜する際に折れる恐れがない。また、植物の種類にもよるが道管および師管の太さは１００～４００μｍ程度であるため、厚さが３００μｍ以下であればプローブ２０、３０、４０を道管または師管に刺してもそれらを塞ぐことを抑制できる。
　各プローブ２０、３０、４０の厚さは５０～１００μｍとすることがより好ましい。プローブ２０、３０、４０が薄いほど植物に与える損傷を小さくできる。各プローブ２０、３０、４０の厚さを１００μｍ以下にすれば、植物内の水分が流出することを抑制でき、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
　このような形状を有するプローブ２０、３０、４０は、例えば、以下の手順で形成される。半導体基板ＳＳにプローブ形状のフォトリソグラフィを行ない、ＩＣＰ－ＲＩＥなどのドライエッチングにより不要部分を除去してプローブ形状の原形を形成する。つぎに、プローブ２０、３０、４０が片持ち梁状になるように、半導体基板ＳＳを裏面からエッチングする。この工程では、ＩＣＰ－ＲＩＥなどのドライエッチングが用いられる。半導体基板ＳＳを裏面からエッチングしていき、プローブ２０、３０、４０が分離された段階でエッチングを終了する。これにより、片持ち梁状のプローブ２０、３０、４０を形成できる。
・水分含有量プローブ
　図１に示すように、水分含有量プローブ２０の先端部には読出電極対２１が設けられている。読出電極対２１は所定の間隔を空けて配置された一対の電極２２、２２からなる。支持部１０の上面には２つの電極２２に配線を介して接続された２つの電極パッド２２ｅ、２２ｅが配設されている。また、水分含有量プローブ２０には感水膜２３が設けられている。
　水分含有量プローブ２０を植物に突き刺すと、植物内の水分が感水膜２３に吸収される。感水膜２３に吸収された水分の量を電極２２、２２間のインピーダンスまたは静電容量として読み出す。これにより、植物の水分含有量を測定できる。
　図３に示すように、水分含有量プローブ２０を構成する半導体基板ＳＳの表面に一対の電極２２、２２が形成されている。電極２２は水分含有量プローブ２０の先端部に配設できる大きさのものであれば、特に限定されない。電極２２は、例えば、スパッタ法、蒸着法などにより半導体基板ＳＳ上にＡｕ、Ａｌなどの金属薄膜を堆積させることにより形成される。
　感水膜２３は一対の電極２２、２２の上に、それらに架け渡されるよう形成されている。感水膜２３は水分を吸収する機能を有し、水よりも比誘電率が低い素材で形成されている。本明細書において「感水膜」とは、水分を吸収する機能を有し、水よりも比誘電率が低い素材で形成された膜を意味する。温度２０℃における水の比誘電率は約８０であるから、感水膜２３の比誘電率は８０よりも小さければよい。ただし、感水膜２３の比誘電率と水の比誘電率との差が大きいほど水分含有量の測定精度が高くなることから、感水膜２３の比誘電率は１～３が好ましい。
　感水膜２３の素材は、水に不溶であり、熱的・化学的に安定であることが好ましい。感水膜２３の素材として、塩化リチウム、金属酸化物、セラミックス、高分子材料などを用いることができる。ただし、塩化リチウムは植物に対する毒性があることから、植物への適用性に優れているとはいえない。金属酸化物、セラミックスとして酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）が挙げられる。金属酸化物およびセラミックスは水に不溶である。ただし、金属酸化物およびセラミックスは材質が硬く、製作工程時に高温の熱処理が必要である。これに対して、高分子材料は植物への適用性に優れ、また材質が柔らかい。高分子材料としてポリイミド、ポリビニルアルコールなどが挙げられる。これらの中でも、半導体Ｓｉ基板上への搭載のしやすさの観点から、ポリイミドが好ましい。また、ポリイミドは水に溶けにくいため、植物内の水分の長期測定に適している。そのため、感水膜２３をポリイミドで形成すれば、感水膜２３が植物内の水分に溶解しにくく、長期間の測定が可能である。
　高分子材料で感水膜２３を形成する場合、感水膜２３の表面を親水化処理してもよい。そうすれば、感水膜２３に植物内の水分が吸収されやすくなり、水分含有量測定の応答速度が速くなる。例えば、ポリイミドで感水膜２３を形成する場合、感水膜２３の表面を酸素プラズマ処理すればよい。ポリイミドの表面を酸素プラズマ処理すると、カルボニル基が導入されポリイミドの表面が親水化される。また、ポリイミドの表面積が増加するという効果もある。感水膜２３が親水化されるとともに表面積が増加するので、感水膜２３に植物内の水分が吸収されやすくなり、水分含有量測定の応答速度が速くなる。
・電気伝導率プローブ
　図１に示すように、電気伝導率プローブ３０の先端部には電気伝導率電極対３１が設けられている。電気伝導率電極対３１は所定の間隔を空けて配置された一対の電極３２、３２からなる。電気伝導率電極対３１は電極３２、３２間に存在する水分（維管束液など）の電気伝導率を測定するためのものである。電極３２は電気伝導率プローブ３０の先端部に配設できる大きさのものであれば、特に限定されない。電極３２は、例えば、スパッタ法、蒸着法などにより半導体基板ＳＳ上にＡｕ、Ａｌなどの金属薄膜を堆積させることにより形成される。
　支持部１０の上面には２つの電極３２、３２に配線を介して接続された２つの電極パッド３２ｅ、３２ｅが配設されている。電気伝導率は交流二電極法により測定できる。すなわち、一対の電極３２、３２に対応する一対の電極パッド３２ｅ、３２ｅの間には、交流電源と電流計とが直列に接続される。交流電源で電極３２、３２間に電流を供給し、電流計で電極３２、３２間に流れる電流を測定する。オームの法則の基づき、電流計で測定した電流から、電極３２、３２間の電気抵抗を算出し、電気抵抗から電気伝導率を求める。
　植物内の水分の電気伝導率を測定するには、電気伝導率の測定レンジが少なくとも０～１０ｍＳ／ｃｍであることが好ましい。交流二電極法による電気伝導率の測定レンジは、電極対のセル定数Ｋに依存する。ここで、セル定数Ｋは電極間距離Ｌを電極表面積Ｓで除して求められる。すなわち、電気伝導率の測定レンジは電極３２の形状に依存する。電極３２の形状は、立体電極、櫛歯電極、平面電極など、種々の形状から選択できる。
・温度プローブ
　温度プローブ４０の先端部には温度センサ４１が設けられている。温度センサ４１は、温度を感知する機能を有しており、温度プローブ４０の先端部に配設できる大きさのものであれば、特に限定されない。温度センサ４１として、測温抵抗体、ｐｎ接合ダイオード、熱電対などを採用できる。植物水分含有量センサ１は屋外で使用されることが想定されるため、温度センサ４１として光依存性のない測温抵抗体を用いることが好ましい。また、支持部１０の上面には温度センサ４１に配線を介して接続された２つの電極パッド４１ｅ、４１ｅが配設されている。
　測温抵抗体は、例えば、スパッタ法、蒸着法などにより半導体基板ＳＳ上にＡｕなどの測温抵抗体として適した金属の薄膜を堆積させることにより形成される。測温抵抗体は温度の上昇とともに電気抵抗が増加する。２つの電極パッド４１ｅ、４１ｅの間には定電流源が接続される。定電流源で測温抵抗体に定電流を供給し、電圧計で電圧を測定する。電圧計で測定した電圧から、温度を算出できる。
　なお、水分含有量プローブ２０、電気伝導率プローブ３０、温度プローブ４０をそれぞれ別のプローブとして構成してもよいし、それらの一部または全部を単一のプローブとして構成してもよい。すなわち、一本のプローブに読出電極対２１、感水膜２３、電気伝導率電極対３１、温度センサ４１の全てを搭載してもよい。
（製造方法）
　つぎに、植物水分含有量センサ１の製造方法の一例を説明する。
　まず、シリコン基板の表面をウェット酸化し、酸化膜を形成する。つぎに、酸化膜上に接着層としてＣｒをスパッタリングし、接着層上にＡｕをスパッタリングして、各種の電極、測温抵抗体および配線を形成する。つぎに、レジストを塗布して配線保護膜を形成する。つぎに、ポリイミドを塗布して感水膜２３を形成する。最後にドライエッチングによりシリコン基板の不要部分を除去してプローブ２０、３０、４０を形成する。
　なお、植物水分含有量センサ１は、上述した寸法および機能を有するように形成することができれば、ＭＥＭＳ技術以外の方法で形成してもよいし、素材もシリコン基板に限定されない。
（植物水分含有量測定方法）
　つぎに、植物水分含有量センサ１による水分含有量の測定方法を説明する。
・取り付け
　まず、測定対象となる植物の新梢末端、果柄などに、植物水分含有量センサ１を取り付ける。具体的には、図４に示すように、植物水分含有量センサ１の全てのプローブ２０、３０、４０を植物に突き刺して取り付ける。このとき、植物の道管ＸＹおよび師管ＰＨに沿って、プローブ２０、３０、４０を配置する。
　プローブ２０、３０、４０を植物に突き刺していくと、プローブ２０、３０、４０の先端部は植物の皮層ＣＯを通り、師管ＰＨに達する。さらに、深く突き刺していくと、プローブ２０、３０、４０の先端部は、道管ＸＹに達し、つぎに髄ＰＩに達する。植物内の水分の電気伝導率は、土壌から吸水した水分、すなわち道管液に依存するところが大きい。そのため、電気伝導率プローブ３０および温度プローブ４０は道管ＸＹに配置することが好ましい。
　ところで、感水膜２３は少なくとも読出電極対２１を覆う領域に形成されていればよい。ただし、感水膜２３は読出電極対２１の配置部から水分含有量プローブ２０の基端部にわたって設けることが好ましい。また、感水膜２３は水分含有量プローブ２０の基端部からさらに支持部１０上面の一部領域を覆うように設けることがより好ましい。このようにすれば、感水膜２３の一部が植物の外側に配置される。
　感水膜２３は植物内の水分量に応じて水分を吸収する。植物内の水分の減少を捉えるには、感水膜２３が吸収していた水分を脱水する必要がある。感水膜２３の一部が植物の外側に配置されていれば、この外気に触れる部分から脱水が促進される。感水膜２３からの脱水がスムーズに行なわれるため、水分含有量が減少する際の応答速度が速くなる。
・水分含有量測定（インピーダンスによる方法）
　水分含有量プローブ２０を植物に突き刺すと、植物内の水分が感水膜２３に吸収される。植物内の水分量に応じて感水膜２３に吸収される水分量が変化する。また、感水膜２３に吸収される水分量に応じて読出電極対２１を構成する電極２２、２２間のインピーダンスが変化する。
　電極２２、２２間のインピーダンスＺ［ｋΩ］と植物の水分含有量ＷＣ［％］との関係は式（１）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
 　ここで、Ｚ0は感水膜２３が水分を吸収していない場合のインピーダンス［ｋΩ］、Ｂはセンサの感度を表す係数である。
　Ｚ0およびＢは予め試験により求められる。植物の水分含有量の測定時には電極２２、２２間のインピーダンスＺを測定する。そして、式（１）に基づいて、インピーダンス測定値Ｚから植物の水分含有量ＷＣを求める。
・水分含有量測定（静電容量による方法）
　感水膜２３に吸収される水分量が増加すると、読出電極対２１を構成する電極２２、２２間の静電容量が増加するという関係がある。特に、感水膜２３の素材を適切に選択すれば、感水膜２３に吸収される水分量と電極２２、２２間の静電容量とは線形関係となる。この関係を予め試験により求めておく。植物の水分含有量の測定時には電極２２、２２間の静電容量Ｃを測定する。そして、静電容量と水分含有量との関係に基づいて、静電容量測定値Ｃから植物の水分含有量ＷＣを求める。
　以上のように、水分含有量プローブ２０を植物に突き刺し、読出電極対２１からインピーダンスまたは静電容量を読み出すことで、植物の水分含有量を測定できる。
・電気伝導率補償
　水分含有量プローブ２０により得られた水分含有量測定値は、植物内の水分の電気伝導率に依存する。そのため、水分含有量測定値を電気伝導率で補償することが好ましい。植物内の水分（主に道管液）の電気伝導率は電気伝導率プローブ３０の電気伝導率電極対３１により測定できる。電気伝導率プローブ３０により測定した電気伝導率に基づき水分含有量測定値を補償する。これにより、植物の水分含有量を精度良く測定できる。
　例えば、水分含有量を電極２２、２２間のインピーダンスから求める場合、予め種々の電気伝導率の溶液を用いて式（１）中のセンサ感度係数Ｂを求めておく。植物の水分含有量の測定時には、これと同時に植物内の水分の電気伝導率を測定する。測定された電気伝導率に対応するセンサ感度係数Ｂを適用した式（１）に基づき、インピーダンスＺから植物の水分含有量ＷＣを求める。このように、電気伝導率測定値からセンサ感度係数Ｂを求めることで、水分含有量測定値を補償できる。
　また、本願発明者らは、センサ感度係数Ｂは電気伝導率σに線形依存するとの知見を得ている。したがって、予め種々の電気伝導率σの溶液を用いて水分含有量プローブ２０によりインピーダンスＺを測定し、式（１）中のセンサ感度係数Ｂを求めておき、電気伝導率σとセンサ感度係数Ｂとの関係を一次関数でフィッティングする。つまり、以下の式（２）で表される電気伝導率σとセンサ感度係数Ｂとの関係式のうち係数ａおよびｂを求めておく。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　植物の水分含有量の測定時には、水分含有量プローブ２０によりインピーダンスＺを測定するとともに、電気伝導率プローブ３０で電気伝導率σを測定する。式（２）に基づいて、電気伝導率測定値σからセンサ感度係数Ｂを求める。求めたセンサ感度係数Ｂを適用した式（１）に基づき、インピーダンスＺから植物の水分含有量ＷＣを求める。
　水分含有量を電極２２、２２間の静電容量から求める場合も同様に、予め種々の電気伝導率の溶液を用いて、感水膜２３に吸収される水分量と電極２２、２２間の静電容量との関係を求めておく。植物の水分含有量の測定時には、これと同時に植物の水分の電気伝導率を測定する。測定された電気伝導率に対応する水分量－静電容量の関係に基づき、静電容量Ｃから植物の水分含有量ＷＣを求める。
　なお、植物内の水分の電気伝導率は、それ自体、植物の生産に有用な生理的情報である。電気伝導率プローブ３０の先端部を道管ＸＹに配置すれば、道管液の電気伝導率を測定できる。土壌に散布された肥料は微生物によって硝酸性窒素などの塩分に分解される。また、塩分濃度と電気伝導率とは正の相関がある。そのため、道管液の電気伝導率を測定することで、植物に取り込まれた栄養物質を定量化できる。
・温度補償
　電気伝導率プローブ３０により得られた電気伝導率測定値は温度に依存する。一般に、電気伝導率測定値は１℃ごとに１～３％変化する。そのため、電気伝導率測定値を温度補償することが好ましい。植物内の水分（主に道管液）の温度は温度プローブ４０の温度センサ４１により測定できる。温度プローブ４０により測定した温度に基づき電気伝導率測定値を補償する。これにより、植物内の水分の電気伝導率を精度良く求めることができる。温度補償後の電気伝導率を用いて水分含有量測定をさらに補償することで、水分含有量を精度良く求めることができる。
　電気伝導率測定値の温度補償は、例えば、以下の手順で行なう。すなわち、式（３）に基づき、電気伝導率測定値を基準温度２５℃での電気伝導率σ25［Ｓ／ｍ］に変換する。ここで、αは温度係数、Ｔは測定対象液の温度［℃］、σは電気伝導率測定値［Ｓ／ｍ］である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
　温度係数αは式（４）から求められる。ここで、Ｔ1は２５℃およびＴ2以外の温度［℃］、Ｔ2は２５℃およびＴ1以外の温度［℃］、σ1はＴ1での電気伝導率測定値［Ｓ／ｍ］、σ2はＴ2での電気伝導率測定値［Ｓ／ｍ］である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
　感水膜２３をポリイミドで形成した場合、水分含有量プローブ２０で測定される水分含有量測定値は温度に依存しない。しかし、感水膜２３を他の素材で形成した場合、水分含有量測定値が温度に依存することがある。このような場合には、水分含有量測定値を温度補償してもよい。すなわち、温度プローブ４０により測定した温度に基づき水分含有量測定値を直接補償する。これにより、水分含有量を精度良く測定できる。
　植物水分含有量センサ１を用いれば、植物の水分含有量、特に、植物の新梢末端、果柄など、植物の細部における水分含有量を非破壊で測定できる。例えば、トマトは水分ストレスをかけて生育すれば、糖度が高まることが知られている。植物水分含有量センサ１を用いれば、極度な水分不足や、果実への維管束液の急激な流れによる実割れを回避する指標が得られるため、適度な水分ストレスを与えることができる。このように、作物、果樹の高品質、安定的な生産に活用できる。
〔第２実施形態〕
　つぎに、本発明の第２実施形態に係る植物水分含有量センサ２を説明する。
　図５に示すように、本実施形態の植物水分含有量センサ２は、電気伝導率プローブ３０が他のプローブ２０、４０よりも長く形成されている。また、電気伝導率プローブ３０には複数の電気伝導率電極対３１が軸方向に並んで配置されている。
　図５に示す例では、電気伝導率プローブ３０に２つの電気伝導率電極対３１が設けられている。基端部側の電気伝導率電極対３１は、温度プローブ４０の温度センサ４１と、植物への突き刺し方向にほぼ同位置に配置されている。先端側の電気伝導率電極対３１は、植物に突き刺した際に、温度センサ４１よりも深い位置に配置される。
　道管液には硝酸性窒素などの塩分が含まれているため、その他の部分（皮層ＣＯ、師管ＰＨ、髄ＰＩ等）に含まれる水分に比べて電気伝導率が高いという性質を有する。電気伝導率プローブ３０を突き刺していくと、植物内部の電気伝導率分布が分かり、道管ＸＹの位置を正確に判別できる。基端部側の電気伝導率電極対３１が道管ＸＹに配置されるようにすれば、プローブ２０、３０、４０を適切な突き刺し量にできる。
〔第３実施形態〕
　つぎに、本発明の第３実施形態に係る植物水分含有量センサ３を説明する。植物水分含有量センサ３は、植物の水分含有量に加え、維管束液流量を測定する機能を有する。
（植物水分含有量センサ）
　図６に示すように、本実施形態の植物水分含有量センサ３は第１実施形態の植物水分含有量センサ１において、温度プローブ４０を第１温度プローブ４０Ａと第２温度プローブ４０Ｂの２つとし、ヒータ付温度プローブ５０を追加したものである。その余の構成は第１実施形態と同様であるので、同一部材に同一符号を付して説明を省略する。
　第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂとヒータ付温度プローブ５０とは組となって維管束液流量の測定に用いられる。第１温度プローブ４０Ａで測定された温度は、水分含有量測定値および電気伝導率測定値の温度補償にも用いられる。
　第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂおよびヒータ付温度プローブ５０は、その他のプローブ２０、３０とともに、同一平面内で平行に並べた状態で、その基端が支持部１０に支持されている。第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂは、ヒータ付温度プローブ５０を挟む位置に設けられている。また、第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂおよびヒータ付温度プローブ５０は、その他のプローブ２０、３０と同様の形状、寸法を有する。
・温度プローブ
　第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂは、それぞれ、第１実施形態の温度プローブ４０と同様の構成を有する。すなわち、第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂは、それぞれ、先端部に温度センサ４１が設けられている。温度センサ４１により維管束液の温度を測定できる。
・ヒータ付温度プローブ
　ヒータ付温度プローブ５０の先端部には温度センサ５１が設けられている。温度センサ５１として温度プローブ４０の温度センサ４１と同様のものを採用できる。支持部１０の上面には、温度センサ５１に配線を介して接続された２つの電極パッド５１ｅが配設されている。温度プローブ４０の温度センサ４１と同様の方法で、温度センサ５１により温度を測定できる。
　また、ヒータ付温度プローブ５０にはヒータ５２が設けられている。ヒータ５２はヒータ付温度プローブ５０に熱を供給できればよく、その位置は先端部に限定されない。ヒータ５２は、ヒータ付温度プローブ５０に配設できる大きさのものであれば、特に限定されない。例えば、酸化拡散炉を用いて形成したｐｎ接合ダイオードをヒータ５２として採用できる。また、Ｐｔ（白金）、ＮｉＣｒ（ニクロム）、またはＩＴＯ（インジウムスズ酸化材料）の薄膜をスパッタ法、蒸着法などにより形成し、所定の形状に加工することで、ヒータ５２を形成してもよい。
　支持部１０の上面にはヒータ５２に配線を介して接続された２つの電極パッド５２ｅが配設されている。２つの電極パッド５２ｅ、５２ｅの間には、直流定電圧源が接続される。直流定電圧源でｐｎ接合ダイオードであるヒータ５２に順方向に定電圧を供給する。ヒータ５２に電流を流すことで、熱を発することができる。
（測定方法）
　つぎに、植物水分含有量センサ３による維管束液流量の測定方法を説明する。
　図６に示すように、植物水分含有量センサ３は、全てのプローブ２０、３０、４０Ａ、４０Ｂ、５０を植物に突き刺して取り付ける。師管液の流量を測定する場合には、第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂおよびヒータ付温度プローブ５０の先端部を師管ＰＨに配置する。道管液の流量を測定する場合には、第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂおよびヒータ付温度プローブ５０の先端部を道管ＸＹに配置する。以下、道管液の流量を測定する場合を例に説明する。
　まず、ヒータ付温度プローブ５０に設けられたヒータ５２を作動させる。ヒータ５２を作動すれば、ヒータ５２から供給された熱エネルギがヒータ付温度プローブ５０に供給される。ヒータ付温度プローブ５０に供給された熱エネルギは、ヒータ付温度プローブ５０の表面から道管ＸＹ内を流れる道管液に放出される。
　このときの第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂおよびヒータ付温度プローブ５０の温度を、温度センサ４１、４１、５１によって測定する。そして、第１温度プローブ４０Ａと第２温度プローブ４０Ｂの温度を比較することで、道管流の方向を特定する。
　仮に、道管流の方向が図６において上向きであるとする。第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂは、ヒータ付温度プローブ５０を挟む位置に設けられている。道管液はヒータ付温度プローブ５０により昇温される。そのため、ヒータ付温度プローブ５０の下流に配置された第１温度プローブ４０Ａで測定される温度は、上流に配置された第２温度プローブ４０Ｂで測定される温度に比べて高くなる。これを利用すれば、道管流の方向は、温度の低い第２温度プローブ４０Ｂから温度の高い第１温度プローブ４０Ａに向かう方向であると特定できる。
　つぎに、第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂおよびヒータ付温度プローブ５０で測定した温度から、グラニエ法に基づいて道管液の流量を測定する。ここで、第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂのうち温度の低い第２温度プローブ４０Ｂと、ヒータ付温度プローブ５０との温度差を基に計算する。温度の低い第２温度プローブ４０Ｂは、ヒータ付温度プローブ５０よりも道管流の上流に配置されている。
　例えば、道管液の流量が多い（流速が速い）場合には、ヒータ付温度プローブ５０の近傍の道管液は、常に新しい道管液に置き換えられた状態となる。そのため、ヒータ付温度プローブ５０に供給する熱エネルギを一定とすれば、ヒータ付温度プローブ５０の温度は低くなる。一方、道管液の流量が少ない（流速が遅い）場合には、ヒータ付温度プローブ５０の近傍の道管液は、滞留したような状態となる。そのため、ヒータ付温度プローブ５０に供給する熱エネルギを一定とすれば、ヒータ付温度プローブ５０の温度は高くなる。
　したがって、第２温度プローブ４０Ｂとヒータ付温度プローブ５０との間の温度差ΔＴから道管液の流速を求めることができる。具体的には、式（５）に示すように、温度差ΔＴは流速ｕの関数となる。かかる関数に基づけば、温度差ΔＴから流速ｕを算出できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
 　ここで、ｕは平均流速［ｍ／ｓ］、ΔＴ(ｕ)は平均流速がｕの時の温度プローブ４０Ｂとヒータ付温度プローブ５０との温度差［℃］、ΔＴ(０)はΔＴの最大温度［℃］、αとβは観測データから得られる係数である。
　また、式（６）に基づき、流速ｕから流量Ｆを算出できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000010
 　ここで、Ｆは流量［ｍ3／ｓ］、Ｓは道管の断面積［ｍ2］である。
　なお、第１、第２温度プローブ４０Ａ、４０Ｂおよびヒータ付温度プローブ５０の先端部を植物の師管ＰＨに配置すれば、師管流の方向とともに、師管液の流速および流量を求めることができる。また、植物水分含有量センサ３は、ヒートパルス法によっても維管束液の流量を測定できる。植物水分含有量センサ３に設けられる温度プローブ４０を１つとしてもよい。このような構成でも維管束液の流量を測定できる。
　このように、植物水分含有量センサ３は、植物の水分含有量に加え、維管束液流量を測定できる。そのため、植物の水分動態を多角的に把握でき、植物の状態がより詳しく分かる。
（先端角度）
　まず、プローブの先端角度について試験を行なった。
　図７に示すように、シリコン基板を用いて平板状のプローブを製作した。図７に示すように、プローブの先端角度θ、幅Ｗ、厚さＴを定義する。先端角度θが１３６°、１２０°、９０°、６０°の４つのプローブを製作した。いずれのプローブも幅Ｗは４８０μｍ、厚さＴは３００μｍである。
　植物と同程度のヤング率（２．２ＭＰａ）を有する試料（ＰＤＭＳ：Polydimethylsiloxane、デュポン・東レ・スペシャルティ・マテリアル株式会社）を用意した。各プローブを試料に挿入した際の抵抗力を力覚センサ（ＤｙｎＰｉｃｋ　ＷＥＦ－６Ａ、株式会社ワコーテック）を用いて測定した。その結果、プローブが試料に突き刺さる際の刺入抵抗は表１のとおりであった。表１より、プローブの先端角度θを小さくするほど刺入抵抗が小さくなることが分かる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
　つぎに、各プローブをキュウリの茎に突き刺した際の様子を顕微鏡で観察した。先端角度θが１３６°、１２０°、９０°のプローブの場合、茎の変形および茎からの水分の流出が確認された。一方、先端角度θが６０°のプローブの場合、茎の変形も茎からの水分の流出も確認されなかった。これより、プローブの先端角度θを６０°以下にすれば、植物に突き刺した際に、植物内の水分が流出することを抑制できることが確認された。
（センサの製作）
　つぎに、シリコン基板を用いて図１に示す構成の植物水分含有量センサを製作した。
　各プローブの先端角度θは６０°、幅Ｗは４８０μｍ、厚さＴは３００μｍ、長さ（軸方向に基端から先端までの長さ）は１，２００μｍである。各種の電極、測温抵抗体および配線をＡｕで形成した。感水膜をポリイミドで形成した。
（応答特性）
　つぎに、製作した植物水分含有量センサの応答特性を評価した。
　脱脂綿に０．０５ｍｏｌ／ＬのＫＣｌ溶液を含ませ、電子天秤（ＡＵＷ２２０Ｄ、株式会社島津製作所、以下同じ。）を用いて水分含有量を９０％または６０％に調整した２種類の脱脂綿を用意した。
　各脱脂綿を水分含有量プローブの感水膜に接触させ、一定時間の後除去する作業を行なった。この間に水分含有量プローブで測定されたインピーダンスの時間変化を図８のグラフに示す。
　図８のグラフより、インピーダンスの測定値は脱脂綿を感水膜に接触させてから約２０秒で安定する。また、インピーダンスの測定値は脱脂綿を感水膜から除去してから約３０秒で安定する。これより、水分含有量プローブの応答速度は約３０秒であることが分かる。植物の灌水のタイムスケール（数時間）と比較すれば、応答速度は十分に速いといえる。
　また、脱脂綿を感水膜に接触させてインピーダンスの測定値が安定した後、脱脂綿を除去するまでの間はインピーダンスの測定値がほぼ一定である。これより、水分含有量測定の安定性があることが確認された。さらに、脱脂綿を感水膜から除去した後のインピーダンスは、脱脂綿を感水膜に接触させる前の値まで戻る。これより、水分含有量の十分な再現性を有することが確認された。以上より、水分含有量プローブは良好な応答特性を有することが確認された。
（キャリブレーション）
　つぎに、水分含有量測定のキャリブレーションを行なった。
　電子天秤上に設置したトマト（Solanum Lycopersicum L.、以下同じ。）の切り枝に植物水分含有量センサを取り付けた。乾燥に伴う切り枝の水分含有量の時間変化を電子天秤で測定した。また、水分含有量プローブでインピーダンスの時間変化を測定した。その結果を図９に示す。また、電気伝導率プローブで切り枝内の水分の電気伝導率をしたところ４．８ｍＳ／ｃｍであった。温度プローブで切り枝内の水分の温度をしたところ２６℃であった。
　図９のグラフから分かるように、水分含有量の変化に伴ってインピーダンスが指数的に変化する。測定点を式（１）でフィッティングしたところ、Ｚ0＝１．２７×１０3、Ｂ＝０．０１６５であった。また、一般的な植物の水分含有量は９８～６０％である。図９のグラフより、植物水分含有量センサは、一般的な植物の水分含有量の範囲をカバーする１００～４０％の範囲の水分含有量を測定できることが確認された。
（生育環境下での測定）
　つぎに、生育環境下のトマトを用いて水分含有量の測定を行なった。
　培養土(４２００３６、ＤＣＭホールディングス株式会社)に播種し、人工気象器（ＮＣ－ＨＣ、株式会社日本医化器械製作所）で生育したトマトの茎に植物水分含有量センサを取り付けた。ここで、植物水分含有量センサの取り付け位置を土壌表面から１５０ｍｍの位置とした。人工気象器内の環境を温度２５℃、湿度７０％、二酸化炭素濃度５００ｐｐｍに設定した。実時刻に合わせて人工気象器内の光量を変化させた。測定開始時と５日経過時の２回のみ５００ｍＬの水分を与える水ストレス栽培を行なった。この間に植物水分含有量センサで測定した水分含有量の時間変化を図１０に示す。
　図１０より、水分含有量は、昼夜に応じて変化し、また日を追うごとに減少していく。また、測定開始時の水やり後の水分含有量と、５日経過時の水やり後の水分含有量は同程度である。この水分含有量の変化は、降雨によって変化する植物の水分含有量の変化を再現したものといえる。これより、植物水分含有量センサは非破壊で植物の水分含有量をリアルタイムで測定できることが確認された。
（電気伝導率補償）
　つぎに、式（１）中のセンサ感度係数Ｂと電気伝導率σとの関係を確認した。
　電気伝導率σを１．９、５．４、９．７ｍＳ／ｃｍに調整した３種類のＫＣｌ溶液を準備した。脱脂綿にＫＣｌ溶液を含ませ、電子天秤を用いて水分含有量を測定した。また、脱脂綿を水分含有量プローブの感水膜に接触させ、インピーダンスを測定した。この操作を３種類のＫＣｌ溶液それぞれについて、脱脂綿の水分含有量を変化させつつ行なった。その結果得られた水分含有量とインピーダンスとの関係を図１１に示す。
　図１１に示す測定点を式（１）でフィッティングし、センサ感度係数Ｂを求めた。図１２にＫＣｌ溶液の電気伝導率σとセンサ感度係数Ｂとの関係を示す。図１２より、電気伝導率σとセンサ感度係数Ｂとは線形関係にあることが分かる。図１２に示す測定点を一次関数でフィッティングしたところ、製作した水分含有量プローブにおいては、式（２）中の各係数は、ａ＝０．０００６、ｂ＝０．００６４と求められた。
　以上より、予め試験などによりセンサ感度係数Ｂと電気伝導率σとの関係式を求めておけば、水分含有量プローブで得られた水分含有量測定値を電気伝導率で補償できることが確認された。
　１、２、３　植物水分含有量センサ
　１０　支持部
　２０　水分含有量プローブ
　２１　読出電極対
　２２　電極
　２３　感水膜
　３０　電気伝導率プローブ
　３１　電気伝導率電極対
　３２　電極
　４０　温度プローブ
　４１　温度センサ

Claims (15)

  1. 　所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる読出電極対と、前記一対の電極に架け渡された感水膜とが設けられた水分含有量プローブと、
    前記水分含有量プローブを支持する支持部と、を備える
    ことを特徴とする植物水分含有量センサ。
  2. 　所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる電気伝導率電極対が設けられた電気伝導率プローブを備え、
    前記電気伝導率プローブは前記水分含有量プローブと平行に並んだ状態で前記支持部に支持されている
    ことを特徴とする請求項１記載の植物水分含有量センサ。
  3. 　温度センサが設けられた温度プローブを備え、
    前記温度プローブは前記水分含有量プローブと平行に並んだ状態で前記支持部に支持されている
    ことを特徴とする請求項１または２記載の植物水分含有量センサ。
  4. 　前記感水膜はポリイミドで形成されている
    ことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の植物水分含有量センサ。
  5. 　前記感水膜の表面は親水化処理されている
    ことを特徴とする請求項１～４記載の植物水分含有量センサ。
  6. 　前記感水膜は前記読出電極対の配置部から前記水分含有量プローブの基端部にわたって設けられている
    ことを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の植物水分含有量センサ。
  7. 　前記水分含有量プローブの先端角度は４０～６０°である
    ことを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の植物水分含有量センサ。
  8. 　前記電気伝導率プローブは複数の前記電気伝導率電極対を有し、
    複数の前記電気伝導率電極対は前記電気伝導率プローブの軸方向に並んで配置されている
    ことを特徴とする請求項２記載の植物水分含有量センサ。
  9. 　温度センサとヒータとが設けられたヒータ付温度プローブを備え、
    前記ヒータ付温度プローブは前記温度プローブと平行に並んだ状態で前記支持部に支持されている
    ことを特徴とする請求項３記載の植物水分含有量センサ。
  10. 　所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる読出電極対と、前記一対の電極に架け渡された感水膜とが設けられた水分含有量プローブを植物に突き刺し、
    前記読出電極対を構成する前記一対の電極間のインピーダンスを測定し、
    式（１）に基づいて、インピーダンス測定値から前記植物の水分含有量を求める
    ことを特徴とする植物水分含有量測定方法。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-I000001
    　ここで、Ｚはインピーダンス測定値、Ｚ0は前記感水膜が水分を吸収していない場合のインピーダンス、Ｂはセンサ感度係数、ＷＣは水分含有量である。
  11. 　所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる電気伝導率電極対が設けられた電気伝導率プローブを前記植物に突き刺し、
    前記電気伝導率電極対を構成する前記一対の電極間の電気抵抗から電気伝導率を求め、
    電気伝導率測定値から式（１）中のセンサ感度係数Ｂを求める
    ことを特徴とする請求項１０記載の植物水分含有量測定方法。
  12. 　式（２）に基づいて、前記電気伝導率測定値から前記センサ感度係数Ｂを求める
    ことを特徴とする請求項１１記載の植物水分含有量測定方法。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-I000002
    　ここで、Ｂはセンサ感度係数、σは電気伝導率、ａ、ｂは予め定められた係数である。
  13. 　所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる読出電極対と、前記一対の電極に架け渡された感水膜とが設けられた水分含有量プローブを植物に突き刺し、
    前記読出電極対を構成する前記一対の電極間の静電容量を測定し、
    静電容量測定値から前記植物の水分含有量を求める
    ことを特徴とする植物水分含有量測定方法。
  14. 　所定の間隔を空けて配置された一対の電極からなる電気伝導率電極対が設けられた電気伝導率プローブを前記植物に突き刺し、
    前記電気伝導率電極対を構成する前記一対の電極間の電気抵抗から電気伝導率を求め、
    前記静電容量測定値および電気伝導率測定値から前記植物の水分含有量を求める
    ことを特徴とする請求項１３記載の植物水分含有量測定方法。
  15. 　温度センサが設けられた温度プローブを植物に突き刺し、
    前記温度センサで温度を測定し、
    温度測定値を用いて前記電気伝導率測定値を補償する
    ことを特徴とする請求項１１、１２または１４記載の植物水分含有量測定方法。
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