WO2022172128A1

WO2022172128A1 - 表示装置、表示装置の作製方法、表示モジュール、及び電子機器

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Publication number: WO2022172128A1
Application number: PCT/IB2022/050878
Authority: WO
Inventors: 山崎舜平; 岡崎健一; 山根靖正; 方堂涼太
Original assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Current assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date: 2021-02-12
Filing date: 2022-02-02
Publication date: 2022-08-18
Anticipated expiration: 2023-08-12
Also published as: DE112022001035T5; CN116830805A; JPWO2022172128A1; EP4294127A4; KR20230145091A; EP4294127A1; JP7850085B2; US20240107845A1

Abstract

高精細または高解像度の表示装置を提供する。第１の発光素子と、第２の発光素子と、側壁と、を有する表示装置。第１及び第２の発光素子は、それぞれ画素電極と、画素電極上の第１の発光層と、第１の発光層上の中間層と、中間層上の第２の発光層と、第２の発光層上の共通電極と、を有する。つまり、第１及び第２の発光素子は、タンデム構造とすることができる。画素電極、第１の発光層、中間層、及び第２の発光層は、発光素子ごとに分離して設けられる。第１の発光素子と第２の発光素子は隣接し、第１の発光素子と第２の発光素子の間に側壁が設けられる。側壁は、画素電極の側面の少なくとも一部を覆うように設けられる。

Description

表示装置、表示装置の作製方法、表示モジュール、及び電子機器

本発明の一態様は、表示装置、及びその作製方法に関する。また、本発明の一態様は、表示モジュール、及び電子機器に関する。

なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置（例えば、タッチセンサなど）、入出力装置（例えば、タッチパネルなど）、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法を一例として挙げることができる。

近年、表示装置は様々な用途への応用が期待されている。例えば、大型の表示装置の用途としては、家庭用のテレビジョン装置（テレビまたはテレビジョン受信機ともいう）、デジタルサイネージ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｓｉｇｎａｇｅ：電子看板）、及び、ＰＩＤ（Ｐｕｂｌｉｃ　Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ）等が挙げられる。また、携帯情報端末として、タッチパネルを備えるスマートフォン及びタブレット端末などの開発が進められている。

また、表示装置の高精細化が求められている。高精細な表示装置が要求される機器として、例えば、仮想現実（ＶＲ：Ｖｉｒｔｕａｌ　Ｒｅａｌｉｔｙ）、拡張現実（ＡＲ：Ａｕｇｍｅｎｔｅｄ　Ｒｅａｌｉｔｙ）、代替現実（ＳＲ：Ｓｕｂｓｔｉｔｕｔｉｏｎａｌ　Ｒｅａｌｉｔｙ）、及び、複合現実（ＭＲ：Ｍｉｘｅｄ　Ｒｅａｌｉｔｙ）向けの機器が、盛んに開発されている。

表示装置としては、例えば、発光素子を有する発光装置が開発されている。エレクトロルミネッセンス（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、以下ＥＬと記す）現象を利用した発光素子（発光デバイス、ＥＬ素子、又はＥＬデバイスともいう）は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流定電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、表示装置に応用されている。

特許文献１には、有機ＥＬ素子（有機ＥＬデバイスともいう）を用いた、ＶＲ向けの表示装置が開示されている。

国際公開第２０１８／０８７６２５号

複数の有機ＥＬ素子を有する表示装置を作製する場合、有機ＥＬ素子が有する発光層は島状に形成する、つまり有機ＥＬ素子ごとに分離することが好ましい。これにより、例えば全ての有機ＥＬ素子が、白色光等の同一の色の光を発する場合において、隣接する２つの発光ユニットに共通して設けられる層、例えば正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層、及び中間層（電荷発生層）のいずれか一又は複数の層等を介して、隣接する２つの発光ユニットの間に電流が流れることを抑制できる。よって、有機ＥＬ素子の意図しない発光（クロストークともいう）を抑制できる。したがって、表示装置に表示される画像のコントラストを高めることができ、表示品位の高い表示装置を実現できる。

発光層を島状に形成する場合、例えばメタルマスク（シャドーマスクともいう）を用いた真空蒸着法を用いる。しかし、蒸着の際に、層の輪郭がぼやけて、端部の厚さが薄くなることがある。つまり、島状の発光層は場所によって厚さにばらつきが生じることがある。また、大型、高解像度、または高精細な表示装置を作製する場合、メタルマスクの寸法精度の低さ、及び、熱等による変形により、歩留まりが低くなる懸念がある。

また、メタルマスクを用いた真空蒸着法を用いて表示装置を作製する場合、製造装置が複数ライン必要となるといった課題がある。例えば、定期的にメタルマスクを洗浄する必要があるため、少なくとも２ライン以上の製造装置を準備し、一方の製造装置をメンテナンス中に他方の製造装置を用いて製造する必要があるため、量産を考慮すると、製造装置が複数ライン必要となる。したがって、製造装置を導入するための初期投資が非常に大きくなるといった課題がある。

本発明の一態様は、高精細な表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、高解像度の表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、大型の表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、信頼性の高い表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、低価格な表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、新規な表示装置を提供することを課題の一つとする。

本発明の一態様は、高精細な表示装置の作製方法を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、高解像度の表示装置の作製方法を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、大型の表示装置の作製方法を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、信頼性の高い表示装置の作製方法を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、歩留まりの高い表示装置の作製方法を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、新規な表示装置の作製方法を提供することを課題の一つとする。

なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。

本発明の一態様は、第１の発光素子と、第２の発光素子と、第１の側壁と、第２の側壁と、を有し、第１の発光素子は、第１の画素電極と、第１の画素電極上の第１の発光層と、第１の発光層上の第１の中間層と、第１の中間層上の第２の発光層と、第２の発光層上の共通電極と、を有し、第２の発光素子は、第２の画素電極と、第２の画素電極上の第３の発光層と、第３の発光層上の第２の中間層と、第２の中間層上の第４の発光層と、第４の発光層上の共通電極と、を有し、第１の発光素子と、第２の発光素子と、は隣接し、第１の側壁は、第１の画素電極の側面の少なくとも一部を覆い、第２の側壁は、第２の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う表示装置である。

又は、上記態様において、第１の側壁と、第２の側壁と、の間に空隙を有してもよい。

又は、本発明の一態様は、第１の発光素子と、第２の発光素子と、第１の側壁と、第２の側壁と、第３の側壁と、第４の側壁と、を有し、第１の発光素子は、第１の画素電極と、第１の画素電極上の第１の発光層と、第１の発光層上の第１の中間層と、第１の中間層上の第２の発光層と、第２の発光層上の共通電極と、を有し、第２の発光素子は、第２の画素電極と、第２の画素電極上の第３の発光層と、第３の発光層上の第２の中間層と、第２の中間層上の第４の発光層と、第４の発光層上の共通電極と、を有し、第１の発光素子と、第２の発光素子と、は隣接し、第１の側壁は、第１の画素電極の側面、第１及び第２の発光層の側面、及び第１の中間層の側面の、少なくとも一部を覆い、第２の側壁は、第１の側壁の側面の少なくとも一部を覆い、第３の側壁は、第２の画素電極の側面、第３及び第４の発光層の側面、及び第２の中間層の側面の、少なくとも一部を覆い、第４の側壁は、第３の側壁の側面の少なくとも一部を覆う表示装置である。

又は、上記態様において、第２の側壁と、第４の側壁と、の間に空隙を有してもよい。

又は、上記態様において、第２の側壁は、第１の側壁の上面の少なくとも一部を覆い、第４の側壁は、第３の側壁の上面の少なくとも一部を覆ってもよい。

又は、上記態様において、共通電極上に、保護層を有し、第１の発光層、及び第２の発光層と重なる領域を有するように、保護層上に第１の着色層を有し、第３の発光層、及び第４の発光層と重なる領域を有するように、保護層上に第２の着色層を有し、第１の着色層と、第２の着色層と、は異なる色の光を透過する機能を有し、第１の発光層と、第３の発光層と、は同一の色の光を発する機能を有し、第２の発光層と、第４の発光層と、は同一の色の光を発する機能を有してもよい。

又は、上記態様において、第２及び第４の発光層と、共通電極と、の間に共通層を有し、共通層は、第１及び第２の発光素子において、電子注入層又は正孔注入層の一方としての機能を有してもよい。

又は、上記態様において、第１の画素電極、及び第２の画素電極は、絶縁層上に設けられ、絶縁層は、第１の画素電極と重なる領域に第１の凸部を有し、絶縁層は、第２の画素電極と重なる領域に第２の凸部を有してもよい。

本発明の一態様の表示装置と、コネクタ及び集積回路のうち少なくとも一方と、を有する、表示モジュールも、本発明の一態様である。

本発明の一態様の表示モジュールと、筐体、バッテリ、カメラ、スピーカ、及びマイクのうち少なくとも一つと、を有する電子機器も、本発明の一態様である。

又は、本発明の一態様は、絶縁層を形成し、絶縁層上に導電膜、第１の発光膜、中間膜、第２の発光膜、及び犠牲膜を順に成膜し、犠牲膜、第２の発光膜、中間膜、第１の発光膜、及び導電膜をエッチングして、絶縁層上の第１の画素電極、及び第２の画素電極と、第１の画素電極上の第１の発光層、及び第２の画素電極上の第２の発光層と、第１の発光層上の第１の中間層、及び第２の発光層上の第２の中間層と、第１の中間層上の第３の発光層、及び第２の中間層上の第４の発光層と、第３の発光層上の第１の犠牲層、及び第４の発光層上の第２の犠牲層と、を形成し、第１及び第２の画素電極の側面と、第１乃至第４の発光層の側面と、第１及び第２の中間層の側面と、第１及び第２の犠牲層の側面及び上面と、の少なくとも一部を覆う絶縁膜を成膜し、絶縁膜をエッチングして、第１の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第１の側壁と、第２の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第２の側壁と、を形成し、第１の犠牲層、及び第２の犠牲層を除去し、第３の発光層上、及び第４の発光層上に共通電極を形成する表示装置の作製方法である。

又は、本発明の一態様は、絶縁層を形成し、絶縁層上に導電膜、第１の発光膜、中間膜、第２の発光膜、及び犠牲膜を順に成膜し、犠牲膜、第２の発光膜、中間膜、第１の発光膜、及び導電膜をエッチングして、絶縁層上の第１の画素電極、及び第２の画素電極と、第１の画素電極上の第１の発光層、及び第２の画素電極上の第２の発光層と、第１の発光層上の第１の中間層、及び第２の発光層上の第２の中間層と、第１の中間層上の第３の発光層、及び第２の中間層上の第４の発光層と、第３の発光層上の第１の犠牲層、及び第４の発光層上の第２の犠牲層と、を形成し、第１及び第２の画素電極の側面と、第１乃至第４の発光層の側面と、第１及び第２の中間層の側面と、第１及び第２の犠牲層の側面及び上面と、の少なくとも一部を覆う第１の絶縁膜を成膜し、第１の絶縁膜上に第２の絶縁膜を成膜し、第１の絶縁膜、及び第２の絶縁膜をエッチングして、第１の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第１の側壁と、第２の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第２の側壁と、第１の側壁の側面の少なくとも一部を覆う第３の側壁と、第２の側壁の側面の少なくとも一部を覆う第４の側壁と、を形成し、第１の犠牲層、及び第２の犠牲層を除去し、第３の発光層上、及び第４の発光層上に共通電極を形成する表示装置の作製方法である。

又は、上記態様において、第１の犠牲層、及び第２の犠牲層をマスクに用いて、導電膜をエッチングしてもよい。

又は、上記態様において、共通電極上に、保護層を形成し、第１及び第３の発光層と重なる領域を有する第１の着色層と、第２及び第４の発光層と重なる領域を有する第２の着色層と、を保護層上に形成し、第１の着色層と、第２の着色層と、は異なる色の光を透過する機能を有してもよい。

又は、上記態様において、第１の犠牲層、及び第２の犠牲層を除去した後、第３の発光層上、及び第４の発光層上に、電子注入層又は正孔注入層の一方としての機能を有する共通層を形成し、共通層上に、共通電極を形成してもよい。

又は、上記態様において、導電膜のエッチング工程において、絶縁層に凹部を形成してもよい。

本発明の一態様により、高精細な表示装置を提供することができる。本発明の一態様により、高解像度の表示装置を提供することができる。本発明の一態様により、大型の表示装置を提供することができる。本発明の一態様により、信頼性の高い表示装置を提供することができる。本発明の一態様により、低価格な表示装置を提供することができる。本発明の一態様により、新規な表示装置を提供することができる。

本発明の一態様により、高精細な表示装置の作製方法を提供することができる。本発明の一態様により、高解像度の表示装置の作製方法を提供することができる。本発明の一態様により、大型の表示装置の作製方法を提供することができる。本発明の一態様により、信頼性の高い表示装置の作製方法を提供することができる。本発明の一態様により、歩留まりの高い表示装置の作製方法を提供することができる。本発明の一態様により、新規な表示装置の作製方法を提供することができる。

なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。

図１は、表示装置の構成例を示す上面図である。
図２Ａ乃至図２Ｅは、表示装置の構成例を示す上面図である。
図３Ａ及び図３Ｂは、表示装置の構成例を示す断面図である。図３Ｃは、発光ユニットの構成例を示す断面図である。
図４Ａ及び図４Ｂは、表示装置の構成例を示す断面図である。図４Ｃは、発光ユニットの構成例を示す断面図である。
図５Ａ及び図５Ｂは、表示装置の構成例を示す断面図である。
図６Ａ及び図６Ｂは、表示装置の構成例を示す断面図である。
図７Ａ及び図７Ｂは、表示装置の構成例を示す断面図である。
図８は、表示装置の構成例を示す上面図である。
図９Ａ及び図９Ｂは、表示装置の構成例を示す断面図である。
図１０Ａ乃至図１０Ｆは、表示装置の構成例を示す上面図である。
図１１Ａ乃至図１１Ｅは、表示装置の作製方法の一例を示す上面図である。
図１２Ａ乃至図１２Ｅは、表示装置の作製方法の一例を示す断面図である。
図１３Ａ及び図１３Ｂは、表示装置の作製方法の一例を示す断面図である。
図１４Ａ及び図１４Ｂは、表示モジュールの構成例を示す斜視図である。
図１５は、表示装置の構成例を示す断面図である。
図１６は、表示装置の構成例を示す断面図である。
図１７は、表示装置の構成例を示す断面図である。
図１８は、表示装置の構成例を示す断面図である。
図１９は、表示装置の構成例を示す断面図である。
図２０Ａ及び図２０Ｂは、電子機器の一例を示す図である。
図２１Ａ及び図２１Ｂは、電子機器の一例を示す図である。
図２２Ａ及び図２２Ｂは、電子機器の一例を示す図である。
図２３Ａ乃至図２３Ｄは、電子機器の一例を示す図である。
図２４Ａ乃至図２４Ｆは、電子機器の一例を示す図である。

実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。

なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。

また、図面において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。

なお、「膜」という言葉と、「層」という言葉とは、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能である。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能である。

本明細書等において、メタルマスク、又はＦＭＭ（ファインメタルマスク、高精細なメタルマスク）を用いて作製されるデバイスをＭＭ（メタルマスク）構造のデバイスと呼称する場合がある。また、本明細書等において、メタルマスク、又はＦＭＭを用いることなく作製されるデバイスをＭＭＬ（メタルマスクレス）構造のデバイスと呼称する場合がある。

（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置とその作製方法について図面を用いて説明する。

本発明の一態様の表示装置の作製方法では、まず、絶縁層上に導電膜を形成する。次に、導電膜上に、第１の発光膜を有する第１の層を一面に形成する。次に、第１の層上に中間膜を成膜する。次に、中間膜上に、第２の発光膜を有する第２の層を一面に形成する。その後、第２の層上に犠牲膜を成膜する。

次に、犠牲膜上に、フォトリソグラフィ法等を用いてレジストマスクを形成する。その後、レジストマスクを用いて犠牲膜、第２の層、中間膜、第１の層、及び導電膜をエッチングする。これにより、絶縁層上の第１の画素電極と、第１の画素電極上の第１の発光ユニットと、第１の発光ユニット上の第１の中間層と、第１の中間層上の第２の発光ユニットと、第２の発光ユニット上の第１の犠牲層と、を島状に形成する。また、絶縁層上の第２の画素電極と、第２の画素電極上の第３の発光ユニットと、第３の発光ユニット上の第２の中間層と、第２の中間層上の第４の発光ユニットと、第４の発光ユニット上の第２の犠牲層と、を島状に形成する。第１乃至第４の発光ユニットは、第１乃至第４の発光層をそれぞれ有する。

このように、本発明の一態様の表示装置の作製方法では、島状の発光ユニット等は、メタルマスクのパターンによって形成されるのではなく、フォトリソグラフィ法等を用いて形成される。したがって、これまで実現が困難であった高精細な表示装置または高開口率の表示装置を実現することができる。また、発光ユニットを島状に形成できるため、コントラストが高く、表示品位の高い表示装置を実現できる。さらに、発光ユニット上に犠牲層を設けることで、表示装置の作製工程中に発光ユニットが受けるダメージを低減できる。これにより、信頼性が高い表示装置を実現できる。

隣り合う発光素子の距離について、例えばメタルマスクを用いた形成方法では１０μｍ未満にすることは困難であるが、上記方法によれば、３μｍ以下、２μｍ以下、または、１μｍ以下にまで狭めることができる。

また、発光ユニット自体のパターンについても、メタルマスクを用いた場合に比べて極めて小さくすることができる。また、例えば発光ユニットの形成にメタルマスクを用いた場合では、パターンの中央と端で厚さのばらつきが生じるため、パターン全体の面積に対して、発光領域として使用できる有効な面積は小さくなる。一方、上記作製方法では、均一な厚さに成膜した膜をエッチングするため、島状の発光層等を均一の厚さで形成することができる。したがって、微細なパターンであっても、そのほぼ全域を発光領域として用いることができる。そのため、高い精細度と高い開口率を兼ね備えた表示装置を作製することができる。

上記のように、本発明の一態様の表示装置において発光素子は、中間層を介して２つ以上の発光ユニットが積層される構成を有する。つまり、本発明の一態様の表示装置が有する発光素子は、タンデム構造とすることができる。タンデム構造の発光素子では、例えば積層される２つの発光ユニットが発する光の色を、補色の関係とすることにより、発光素子が白色の光を発することができる。よって、発光素子と重なる領域に着色層を設けることで、本発明の一態様の表示装置は、例えばフルカラー表示を行うことができる。

ここで、第１乃至第４の発光ユニットは、それぞれ、少なくとも発光層を含み、好ましくは複数の層からなる。具体的には、発光層上に１層以上の層を有することが好ましい。発光層と犠牲層との間に他の層を有することで、表示装置の作製工程中に発光層が最表面に露出することを抑制し、発光層が受けるダメージを低減することができる。これにより、発光素子の信頼性を高めることができる。例えば、第１乃至第４の発光ユニットは、それぞれ、発光層の他、発光層上のキャリア輸送層を有することが好ましい。

なお、発光素子を構成する全ての層を島状に形成する必要はない。本発明の一態様の表示装置の作製方法では、発光素子を構成する一部の層を島状に形成した後、犠牲層を除去し、発光素子を構成する残りの層と、共通電極（上部電極ともいう。）と、を各発光素子に共通して形成する。例えば、キャリア注入層と、共通電極と、を各発光素子に共通して形成することができる。

一方で、キャリア注入層は、発光素子の中では、比較的導電性が高い層であることが多い。そのため、キャリア注入層が、島状に形成された層の側面に接することで、発光素子がショートする恐れがある。なお、キャリア注入層を島状に設け、共通電極を発光素子間で共通して形成する場合についても、共通電極と、発光ユニットの側面、または、画素電極の側面とが接することで、発光素子がショートする恐れがある。

そこで、本発明の一態様の表示装置には、島状に形成された層の側面を覆う、側壁（サイドウォール、側壁保護層、サイドウォール絶縁膜、絶縁層などともいう）を設ける。

これにより、島状に形成された層が、キャリア注入層または共通電極と接することを抑制できる。したがって、発光素子のショートを抑制し、発光素子の信頼性を高めることができる。

［表示装置の構成例］
図１は、本発明の一態様の表示装置である、表示装置１００の構成例を示す上面図である。表示装置１００は、複数の画素１１０がマトリクス状に配置された表示部と、表示部の外側の接続部１４０と、を有する。１つの画素１１０は、副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、及び副画素１１０ｃの、３つの副画素から構成される。

図１では、異なる色の副画素がＸ方向に並べて配置されており、同じ色の副画素が、Ｙ方向に並べて配置されている例を示す。なお、異なる色の副画素がＹ方向に並べて配置され、同じ色の副画素が、Ｘ方向に並べて配置されていてもよい。

図１では、上面視で、接続部１４０が表示部の下側に位置する例を示すが、特に限定されない。接続部１４０は、上面視で、表示部の上側、右側、左側、下側の少なくとも一箇所に設けられていればよく、表示部の四辺を囲むように設けられていてもよい。また、接続部１４０は、単数であっても複数であってもよい。

図１に示す表示装置１００では、副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、及び副画素１１０ｃの配列として、ストライプ配列が適用されている。ここで、副画素の配列は、ストライプ配列に限らない。例えば、Ｓストライプ配列、マトリクス配列、デルタ配列、ベイヤー配列、ペンタイル配列等を適用することができる。

また、副画素の上面形状としては、例えば、三角形、四角形（長方形、正方形を含む）、五角形などの多角形、これら多角形の角が丸い形状、楕円形、または円形などが挙げられる。ここで、副画素の上面形状は、発光素子の発光領域の上面形状に相当する。

図２Ａ乃至図２Ｃは、画素１１０の構成例を示す上面図であり、図１に示す画素１１０の変形例である。図２Ａに示す画素１１０には、Ｓストライプ配列が適用されている。図２Ａに示す画素１１０は、副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、及び副画素１１０ｃの、３つの副画素から構成される。例えば、副画素１１０ａを青色の副画素とし、副画素１１０ｂを赤色の副画素とし、副画素１１０ｃを緑色の副画素としてもよい。

図２Ｂに示す画素１１０は、角が丸い略台形の上面形状を有する副画素１１０ａと、角が丸い略三角形の上面形状を有する副画素１１０ｂと、角が丸い略四角形または略六角形の上面形状を有する副画素１１０ｃと、を有する。また、副画素１１０ａは、副画素１１０ｂよりも発光面積が広い。このように、各副画素の形状及びサイズはそれぞれ独立に決定することができる。例えば、信頼性の高い発光素子を有する副画素ほど、サイズを小さくすることができる。例えば、副画素１１０ａを緑色の副画素とし、副画素１１０ｂを赤色の副画素とし、副画素１１０ｃを青色の副画素としてもよい。

図２Ｃに示す画素１２５ａ、及び画素１２５ｂには、ペンタイル配列が適用されている。図２Ｃでは、副画素１１０ａ及び副画素１１０ｂを有する画素１２５ａと、副画素１１０ｂ及び副画素１１０ｃを有する画素１２５ｂと、が交互に配置されている例を示す。例えば、副画素１１０ａを青色の副画素とし、副画素１１０ｂを緑色の副画素とし、副画素１１０ｃを赤色の副画素としてもよい。

図２Ｄ、及び図２Ｅは、画素１２５ａ、及び画素１２５ｂの構成例を示す上面図である。表示装置１００は、画素１１０ではなく、複数の画素１２５ａ、及び画素１２５ｂがマトリクス状に配列される構成としてもよい。

図２Ｄ、及び図２Ｅに示す画素１２５ａ、及び画素１２５ｂは、デルタ配列が適用されている。画素１２５ａは上の行（１行目）に、２つの副画素（副画素１１０ａ、及び副画素１１０ｂ）を有し、下の行（２行目）に、１つの副画素（副画素１１０ｃ）を有する。画素１２５ｂは上の行（１行目）に、１つの副画素（副画素１１０ｃ）を有し、下の行（２行目）に、２つの副画素（副画素１１０ａ、及び副画素１１０ｂ）を有する。

図２Ｄは、各副画素が、角が丸い略四角形の上面形状を有する例であり、図２Ｅは、各副画素が、円形の上面形状を有する例である。

フォトリソグラフィ法では、エッチングするパターンが微細になるほど、光の回折の影響を無視できなくなるため、露光によりフォトマスクのパターンを転写する際に忠実性が損なわれ、レジストマスクを所望の形状にエッチングすることが困難になる。そのため、フォトマスクのパターンが矩形であっても、角が丸まったパターンが形成されやすい。したがって、副画素の上面形状が、多角形の角が丸い形状、楕円形、または円形などになることがある。

さらに、本発明の一態様の表示装置の作製方法では、発光層を有する発光ユニット等を、レジストマスクを用いて島状にエッチングする。発光ユニット上に形成したレジスト膜は、発光ユニット等の耐熱温度よりも低い温度で硬化する必要がある。そのため、発光ユニット等の材料の耐熱温度及びレジスト材料の硬化温度によっては、レジスト膜の硬化が不十分になる場合がある。硬化が不十分なレジスト膜は、エッチング時に所望の形状から離れた形状をとることがある。その結果、発光ユニット等の上面形状が、多角形の角が丸い形状、楕円形、または円形などになることがある。例えば、上面形状が正方形のレジストマスクを形成しようとした場合に、円形の上面形状のレジストマスクが形成され、発光ユニット等の上面形状が円形になることがある。

なお、発光ユニット等の上面形状を所望の形状とするために、設計パターンと転写パターンが一致するように、あらかじめマスクパターンを補正する技術（ＯＰＣ（Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｐｒｏｘｉｍｉｔｙ　Ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ：光近接効果補正）技術）を用いてもよい。具体的には、ＯＰＣ技術では、マスクパターン上の図形コーナー部などに補正用のパターンを追加する。

本発明の一態様の表示装置は、発光素子が形成されている基板とは反対方向に光を射出する上面射出型（トップエミッション型）、発光素子が形成されている基板側に光を射出する下面射出型（ボトムエミッション型）、両面に光を射出する両面射出型（デュアルエミッション型）のいずれであってもよい。

図３Ａは、図１における一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間の構成例を示す断面図である。

図３Ａに示すように、表示装置１００は、トランジスタを含む層１０１上に、発光素子１３０が設けられ、これらの発光素子を覆うように保護層１３１、及び保護層１３２が設けられている。保護層１３２上には、着色層１３３（着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃ）が設けられる。着色層１３３上には、樹脂層１１９によって基板１２０が貼り合わされている。また、隣り合う発光素子１３０の間の領域には、側壁１２１が設けられている。

トランジスタを含む層１０１には、例えば、基板に複数のトランジスタが設けられ、これらのトランジスタを覆うように絶縁層が設けられた積層構造を適用することができる。トランジスタを含む層１０１は、隣り合う発光素子１３０の間に凹部を有していてもよい。つまり、トランジスタを含む層１０１は、発光素子１３０と重なる領域に凸部を有していてもよい。例えば、トランジスタを含む層１０１の最表面に位置する絶縁層に、上記凹部、及び上記凸部が設けられていてもよい。トランジスタを含む層１０１の構成例は、実施の形態２で後述する。

発光素子１３０は、例えば白色光を発する機能を有する。本明細書等において、白色光を発する機能を有する発光素子を、白色発光素子という場合がある。白色発光素子を有する表示装置は、着色層（カラーフィルタともいう）と組み合わせることで、フルカラー表示を行うことができる。

発光素子１３０は、一対の電極間に発光ユニットを有する。本明細書等では、一対の電極の一方を画素電極と記し、他方を共通電極と記すことがある。

発光素子が有する一対の電極のうち、一方の電極は陽極として機能し、他方の電極は陰極として機能する。以下では、特に断りがある場合を除き、画素電極が陽極として機能し、共通電極が陰極として機能する場合を例に挙げて説明する。

発光素子１３０は、トランジスタを含む層１０１上の画素電極１１１と、画素電極１１１上の発光ユニット１１２＿１と、発光ユニット１１２＿１上の中間層１１３と、中間層１１３上の発光ユニット１１２＿２と、発光ユニット１１２＿２上の共通層１１４と、共通層１１４上の共通電極１１５と、を有する。ここで、共通層１１４は、例えば電子注入性が高い物資を含む層（電子注入層）を有することができる。なお、画素電極１１１が陰極として機能し、共通電極１１５が陽極として機能する場合は、共通層１１４は、例えば正孔注入層を有することができる。

画素電極１１１、発光ユニット１１２、及び中間層１１３は、発光素子１３０ごとに島状に形成される。つまり、画素電極１１１、発光ユニット１１２、及び中間層１１３は、発光素子１３０ごとに分離して設けられる。画素電極１１１等の形成により、トランジスタを含む層１０１は、画素電極１１１と重なる領域に凸部を有することができる。なお、発光ユニット１１２＿１と、中間層１１３と、発光ユニット１１２＿２と、をまとめて層１０３ａということができる。

本明細書等において、異なる発光ユニット１１２を区別するために、＿１、＿２等という符号を付している。他の要素においても同様の記載をする場合がある。

画素電極１１１と共通電極１１５のうち、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。

発光素子１３０の一対の電極（画素電極１１１と共通電極１１５）を形成する材料としては、金属、合金、電気伝導性化合物、及びこれらの混合物などを適宜用いることができる。具体的には、インジウムスズ酸化物（Ｉｎ−Ｓｎ酸化物、ＩＴＯともいう）、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｓｎ酸化物（ＩＴＳＯともいう）、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ−Ｚｎ酸化物）、Ｉｎ−Ｗ−Ｚｎ酸化物、アルミニウム、ニッケル、及びランタンの合金（Ａｌ−Ｎｉ−Ｌａ）等のアルミニウムを含む合金（アルミニウム合金）、及び、銀とパラジウムと銅の合金（Ａｇ−Ｐｄ−Ｃｕ、ＡＰＣとも記す）が挙げられる。その他、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、イットリウム（Ｙ）、ネオジム（Ｎｄ）などの金属、及びこれらを適宜組み合わせて含む合金を用いることもできる。その他、上記例示のない元素周期表の第１族または第２族に属する元素（例えば、リチウム（Ｌｉ）、セシウム（Ｃｓ）、カルシウム（Ｃａ）、ストロンチウム（Ｓｒ））、ユウロピウム（Ｅｕ）、イッテルビウム（Ｙｂ）などの希土類金属及びこれらを適宜組み合わせて含む合金、グラフェン等を用いることができる。

発光素子１３０には、微小光共振器（マイクロキャビティ）構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光素子１３０が有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極（半透過・半反射電極）を有することが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極（反射電極）を有することが好ましい。発光素子１３０がマイクロキャビティ構造を有することで、発光ユニット１１２から得られる発光を両電極間で共振させ、発光素子１３０から射出される光を強めることができる。

なお、半透過・半反射電極は、反射電極と可視光に対する透過性を有する電極（透明電極ともいう）との積層構造とすることができる。

透明電極の光の透過率は、４０％以上とする。例えば、発光素子１３０には、可視光（波長４００ｎｍ以上７５０ｎｍ未満の光）の透過率が４０％以上である電極を用いることが好ましい。半透過・半反射電極の可視光の反射率は、１０％以上９５％以下、好ましくは３０％以上８０％以下とする。反射電極の可視光の反射率は、４０％以上１００％以下、好ましくは７０％以上１００％以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、１×１０^−２Ωｃｍ以下が好ましい。

図３Ｂは、図１における一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間の構成例を示す断面図であり、接続部１４０の構成例を示す断面図である。接続部１４０には、トランジスタを含む層１０１上の接続電極１１１Ｃと、接続電極１１１Ｃ上の共通電極１１５と、共通電極１１５上の保護層１３１と、保護層１３１上の保護層１３２と、保護層１３２上の樹脂層１１９と、樹脂層１１９上の基板１２０と、を有する。接続電極１１１Ｃは、共通電極１１５と電気的に接続される。

図３Ｃは、層１０３ａの詳細な構成例を示す断面図である。発光ユニット１１２＿１は、例えば層１８１と、層１８１上の層１８２と、層１８２上の発光層１８３＿１と、発光層１８３＿１上の層１８４と、を有する。発光ユニット１１２＿２は、例えば中間層１１３上の層１８２と、層１８２上の発光層１８３＿２と、発光層１８３＿２上の層１８４と、を有する。

層１８１は、例えば正孔注入性の高い物質を含む層（正孔注入層）等を有する。層１８２は、例えば正孔輸送性の高い物質を含む層（正孔輸送層）等を有する。層１８４は、例えば電子輸送性の高い物質を含む層（電子輸送層）等を有する。ここで、画素電極１１１が陰極として機能し、共通電極１１５が陽極として機能する場合は、層１８１は電子注入層等を有する。また、層１８２は電子輸送層等を有する。さらに、層１８４は正孔輸送層等を有する。なお、発光ユニット１１２は、正孔ブロック性の高い物質を含む層（正孔ブロック層）を有してもよく、電子ブロック性の高い物質を含む層（電子ブロック層）を有してもよい。

なお、層１８２、及び層１８４等は、例えば発光ユニット１１２＿１と発光ユニット１１２＿２とで同一の構成（材料、膜厚等）であってもよく、互いに異なる構成であってもよい。

なお、図３Ｃにおいては、層１８１と、層１８２と、を分けて明示したがこれに限定されない。例えば、層１８１が正孔注入層と、正孔輸送層との双方の機能を有する構成とする場合、あるいは層１８１が電子注入層と、電子輸送層との双方の機能を有する構成とする場合においては、層１８２を省略してもよい。

発光層１８３＿２上に層１８４を設けることで、表示装置１００の作製工程中に、発光層１８３が最表面に露出することを抑制し、発光層１８３が受けるダメージを低減することができる。これにより、発光素子１３０の信頼性を高めることができる。

中間層１１３は、画素電極１１１と共通電極１１５との間に電圧を印加したときに、発光ユニット１１２＿１及び発光ユニット１１２＿２のうち、一方に電子を注入し、他方に正孔を注入する機能を有する。中間層１１３は、電荷発生層ということもできる。

発光層１８３＿１が発する光の色と、発光層１８３＿２が発する光の色と、は例えば補色の関係とすることができる。これにより、発光素子１３０は、全体として白色の光を発することができる。例えば、発光層１８３＿１又は発光層１８３＿２の一方が赤色の光、及び緑色の光を発し、発光層１８３＿１又は発光層１８３＿２の他方が青色の光を発することができる。又は、発光層１８３＿１又は発光層１８３＿２の一方が黄色の光、又は橙色の光を発し、発光層１８３＿１又は発光層１８３＿２の他方が青色の光を発することができる。ここで、１つの発光層１８３が２色以上の光を発する場合、発光層１８３は２層以上の積層構成とすることができる。例えば、１つの発光層１８３が赤色の光、及び緑色の光を発する場合、発光層１８３は、赤色の光を発する層と、緑色の光を発する層と、の積層構成とすることができる。

発光素子１３０のように、複数の発光ユニット１１２が中間層１１３を介して積層して設けられる構成を本明細書ではタンデム構造と呼ぶ。一方、一対の電極間に一つの発光ユニット１１２を有する構成を、シングル構造と呼ぶ。なお、タンデム構造は、例えばスタック構造ということもできる。発光素子をタンデム構造とすることで、高輝度発光が可能な発光素子とすることができる。また、タンデム構造は、シングル構造と比べて、同じ輝度を得るために必要な電流を低減できるため、表示装置の消費電力を低減し、発光素子の信頼性を高めることができる。

また、発光素子１３０のように、発光素子ごとに発光層を分離する構造をＳＢＳ（Ｓｉｄｅ　Ｂｙ　Ｓｉｄｅ）構造という場合がある。ＳＢＳ構造は、発光素子ごとに材料及び構成を最適化することができるため、材料及び構成の選択の自由度が高まり、発光素子の輝度の向上、信頼性の向上を図ることが容易となる。

発光素子１３０は、タンデム構造であり、且つ、ＳＢＳ構造であるといえる。そのため、タンデム構造のメリットと、ＳＢＳ構造のメリットの両方を併せ持つことができる。なお、表示装置１００は、図３Ａに示すように、発光ユニット１１２が直列に２段形成された構造であるため、２段タンデム構造といってもよい。

ここで、発光素子１３０は白色発光素子とする。つまり、副画素が呈する色に応じて発光素子１３０が発する色を異ならせることはしない。このため、発光層１８３が発する色を、発光素子１３０ごとに異ならせなくてよい。よって、例えば全ての発光素子１３０が有する発光層１８３を、一括して形成することができる。したがって、表示装置１００は、発光層１８３が発する色を副画素が呈する色に応じて異ならせる場合より、低コストで製造し、また歩留まりを高くすることができる。よって、表示装置１００を低価格化することができる。

以下では、発光素子１３０の各層の具体的な例について説明する。

正孔注入層は、陽極から正孔輸送層に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、芳香族アミン化合物、及び、正孔輸送性材料とアクセプター性材料（電子受容性材料）とを含む複合材料等が挙げられる。

正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。正孔輸送層は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料としては、１×１０^−６ｃｍ^２／Ｖｓ以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物（例えばカルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体等）、芳香族アミン（芳香族アミン骨格を有する化合物）等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。

電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。電子輸送層は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料としては、１×１０^−６ｃｍ^２／Ｖｓ以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。

電子注入層は、陰極から電子輸送層に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、又はそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料（電子供与性材料）とを含む複合材料を用いることもできる。

電子注入層としては、例えば、リチウム、セシウム、イッテルビウム、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、フッ化カルシウム（ＣａＦ_Ｘ、Ｘは任意数）、８−（キノリノラト）リチウム（略称：Ｌｉｑ）、２−（２−ピリジル）フェノラトリチウム（略称：ＬｉＰＰ）、２−（２−ピリジル）−３−ピリジノラトリチウム（略称：ＬｉＰＰｙ）、４−フェニル−２−（２−ピリジル）フェノラトリチウム（略称：ＬｉＰＰＰ）、リチウム酸化物（ＬｉＯ_ｘ）、炭酸セシウム等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、又はこれらの化合物を用いることができる。また、電子注入層としては、２以上の積層構造としてもよい。当該積層構造としては、例えば、１層目にフッ化リチウムを用い、２層目にイッテルビウムを設ける構成とすることができる。

又は、上述の電子注入層としては、電子輸送性を有する材料を用いてもよい。例えば、非共有電子対を備え、電子不足型複素芳香環を有する化合物を、電子輸送性を有する材料に用いることができる。具体的には、ピリジン環、ジアジン環（ピリミジン環、ピラジン環、ピリダジン環）、トリアジン環の少なくとも一つを有する化合物を用いることができる。

なお、非共有電子対を備える有機化合物の最低空軌道（ＬＵＭＯ：Ｌｏｗｅｓｔ　Ｕｎｏｃｃｕｐｉｅｄ　Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｏｒｂｉｔａｌ）が、−３．６ｅＶ以上−２．３ｅＶ以下であると好ましい。また、一般にＣＶ（サイクリックボルタンメトリ）、光電子分光法、光吸収分光法、逆光電子分光法等により、有機化合物の最高被占有軌道（ＨＯＭＯ：Ｈｉｇｈｅｓｔ　Ｏｃｃｕｐｉｅｄ　Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｏｒｂｉｔａｌ）準位及びＬＵＭＯ準位を見積もることができる。

例えば、４，７−ジフェニル−１，１０−フェナントロリン（略称：ＢＰｈｅｎ）、２，９−ビス（ナフタレン−２−イル）−４，７−ジフェニル−１，１０−フェナントロリン（略称：ＮＢＰｈｅｎ）、ジキノキサリノ［２，３−ａ：２’，３’−ｃ］フェナジン（略称：ＨＡＴＮＡ）、２，４，６−トリス［３’−（ピリジン−３−イル）ビフェニル−３−イル］−１，３，５−トリアジン（略称：ＴｍＰＰＰｙＴｚ）等を、非共有電子対を備える有機化合物に用いることができる。なお、ＮＢＰｈｅｎはＢＰｈｅｎと比較して、高いガラス転移点（Ｔｇ）を備え、耐熱性に優れる。

発光層は、発光物質を含む層である。発光層は、１種又は複数種の発光物質を有することができる。発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色等の発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。

発光物質としては、蛍光材料、燐光材料、ＴＡＤＦ材料、量子ドット材料等が挙げられる。

蛍光材料としては、例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、ナフタレン誘導体等が挙げられる。

燐光材料としては、例えば、４Ｈ−トリアゾール骨格、１Ｈ−トリアゾール骨格、イミダゾール骨格、ピリミジン骨格、ピラジン骨格、又はピリジン骨格を有する有機金属錯体（特にイリジウム錯体）、電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体（特にイリジウム錯体）、白金錯体、希土類金属錯体等が挙げられる。

発光層は、発光物質（ゲスト材料）に加えて、１種又は複数種の有機化合物（ホスト材料、アシスト材料等）を有していてもよい。１種又は複数種の有機化合物としては、正孔輸送性材料及び電子輸送性材料の一方又は双方を用いることができる。また、１種又は複数種の有機化合物として、バイポーラ性材料、又はＴＡＤＦ材料を用いてもよい。

発光層は、例えば、燐光材料と、励起錯体を形成しやすい組み合わせである正孔輸送性材料及び電子輸送性材料と、を有することが好ましい。このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質（燐光材料）へのエネルギー移動であるＥｘＴＥＴ（Ｅｘｃｉｐｌｅｘ−Ｔｒｉｐｌｅｔ　Ｅｎｅｒｇｙ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ）を用いた発光を効率よく得ることができる。発光物質の最も低エネルギー側の吸収帯の波長と重なるような発光を呈する励起錯体を形成するような組み合わせを選択することで、エネルギー移動がスムーズとなり、効率よく発光を得ることができる。この構成により、発光素子の高効率、低電圧駆動、長寿命を同時に実現できる。

中間層としては、例えば、リチウム等の電子注入層に適用可能な材料を好適に用いることができる。また、中間層としては、例えば、正孔注入層に適用可能な材料を好適に用いることができる。また、中間層には、正孔輸送性材料とアクセプター性材料（電子受容性材料）とを含む層を用いることができる。また、中間層には、電子輸送性材料とドナー性材料とを含む層を用いることができる。このような層を有する中間層を形成することにより、発光ユニットが積層された場合における駆動電圧の上昇を抑制できる。

画素電極１１１の側面の少なくとも一部は、側壁１２１によって覆われている。これにより、共通層１１４が、画素電極１１１の側面と接することを抑制できる。また、発光ユニット１１２の側面、及び中間層１１３の側面の少なくとも一部が、側壁１２１によって覆われていてもよい。これにより、共通層１１４が、発光ユニット１１２、及び中間層１１３のいずれかの側面と接することを抑制できる。以上により、発光素子１３０のショートを抑制できる。

図３Ａ、及び図３Ｂには、側壁１２１が側壁１２１ａと側壁１２１ｂの２層構造である例を示している。側壁１２１ｂのＸ方向の厚さ、及びＹ方向の厚さは、側壁１２１ａのＸ方向の厚さ、及びＹ方向の厚さより厚くすることができる。また、側壁１２１ｂの端部の形状は、ラウンド状とすることができる。側壁１２１ｂの端部の形状をラウンド状とすることで、共通層１１４、共通電極１１５、及び保護層１３１の被覆性が高まるため好ましい。

側壁１２１ａは、画素電極１１１の側面の少なくとも一部を覆う。また、側壁１２１ａは、発光ユニット１１２の側面、及び中間層１１３、の側面の少なくとも一部を覆ってもよい。側壁１２１ｂは、側壁１２１ａの側面、及び側壁１２１ａの上面の少なくとも一部を覆う。

側壁１２１ａ及び側壁１２１ｂには、例えば、酸化絶縁膜、窒化絶縁膜、酸化窒化絶縁膜、及び窒化酸化絶縁膜などの無機絶縁膜を用いることができる。酸化絶縁膜としては、酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ゲルマニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ランタン膜、酸化ネオジム膜、酸化ハフニウム膜、及び酸化タンタル膜などが挙げられる。窒化絶縁膜としては、窒化シリコン膜及び窒化アルミニウム膜などが挙げられる。酸化窒化絶縁膜としては、酸化窒化シリコン膜、酸化窒化アルミニウム膜などが挙げられる。窒化酸化絶縁膜としては、窒化酸化シリコン膜、窒化酸化アルミニウム膜などが挙げられる。

側壁１２１ａ及び側壁１２１ｂは、例えばスパッタリング法、蒸着法、化学気相堆積（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、原子層堆積（ＡＬＤ：Ａｔｏｍｉｃ　Ｌａｙｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などの各種成膜方法により形成することができる。特に、ＡＬＤ法は被形成層に対する成膜ダメージが小さいため、発光ユニット１１２及び中間層１１３に直接形成する側壁１２１ａは、ＡＬＤ法を用いて形成することが好ましい。また、このとき、側壁１２１ｂはスパッタリング法により形成すると、生産性を高めることができるため好ましい。

例えば、側壁１２１ａにＡＬＤ法により形成した酸化アルミニウム膜を用い、側壁１２１ｂに、スパッタリング法により形成した窒化シリコン膜を用いることができる。

また、側壁１２１ａ及び側壁１２１ｂの一方または双方は、水及び酸素の少なくとも一方に対するバリア絶縁膜としての機能を有することが好ましい。または、側壁１２１ａ及び側壁１２１ｂの一方または双方は、水及び酸素の少なくとも一方の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。または、側壁１２１ａ及び側壁１２１ｂの一方または双方は、水及び酸素の少なくとも一方を捕獲、または固着する（ゲッタリングともいう）機能を有することが好ましい。

なお、本明細書等において、バリア絶縁膜とは、バリア性を有する絶縁膜のことを示す。また、本明細書等において、バリア性とは、対応する物質の拡散を抑制する機能（透過性が低いともいう）とする。または、対応する物質を、捕獲、または固着する（ゲッタリングともいう）機能とする。

側壁１２１ａ及び側壁１２１ｂの一方または双方が、上述のバリア絶縁膜の機能、またはゲッタリング機能を有することで、外部から各発光素子に拡散しうる不純物（代表的には、水または酸素）の侵入を抑制することが可能な構成となる。当該構成とすることで、信頼性の優れた表示装置を提供することができる。

発光素子１３０の間（側壁１２１の間）の領域、及びトランジスタを含む層１０１の凹部には、空隙１３４が形成される場合がある。図３Ａでは、トランジスタを含む層１０１と共通層１１４の間に空隙１３４が形成される例を示している。なお、隣接する発光素子１３０間の距離、共通層１１４の厚さ、共通電極１１５の厚さ、及び保護層１３１の厚さ等によっては、空隙１３４が形成されない場合がある。この場合、隣接する発光素子１３０の間は、共通層１１４、共通電極１１５、及び保護層１３１の少なくとも１つで充填される。また、空隙となり得る領域に、絶縁物を充填してもよい。

空隙１３４は、例えば、空気、窒素、酸素、二酸化炭素、及び第１８族元素（代表的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン、クリプトン等）の中から選ばれるいずれか一または複数を有する。また、空隙には、例えば共通層１１４などの成膜時に用いる気体が含まれる場合がある。例えば、真空蒸着法により共通層１１４を成膜する場合、空隙は、減圧雰囲気である場合がある。なお、空隙１３４に気体が含まれる場合、ガスクロマトグラフィー法等により気体の同定等を行うことができる。

また、空隙１３４の屈折率が、側壁１２１の屈折率より低い場合、発光ユニット１１２から発せられる光が、側壁１２１と空隙１３４との界面で反射する。これにより、発光ユニット１１２から発せられる光が、隣接する画素（または副画素）に入射することを抑制できる。これにより、異なる色の光が混色することを抑制できるため、表示装置の表示品位を高めることができる。

また、空隙１３４となりうる部分に絶縁物を充填してもよい。当該絶縁物の材料としては、有機絶縁材料及び無機絶縁材料の一方または双方を用いることができる。絶縁物には、固体状物質、ゲル状物質、及び、液体状物質の少なくとも一つを用いることができる。

有機絶縁材料としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、ポリシロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、及びフェノール樹脂等が挙げられる。また、樹脂層１１９に用いることができる各種樹脂を用いてもよい。

無機絶縁材料としては、酸化絶縁材料、窒化絶縁材料、酸化窒化絶縁材料、及び窒化酸化絶縁材料などが挙げられる。また、上記保護層１３１、及び保護層１３２に用いることができる絶縁材料を用いてもよい。

このように、側壁１２１を形成した後に形成する層の形状は、材料、成膜方法、及び膜厚などによって、様々であり、特に限定されない。本発明の一態様の表示装置は、側壁１２１を有することで、発光素子１３０のショートが抑制された構成である。したがって、側壁１２１を形成した後に形成する層の材料、成膜方法、及び膜厚の選択の幅を広げることができる。

表示装置１００は、発光素子１３０上に保護層１３１、及び保護層１３２を有することが好ましい。保護層１３１、及び保護層１３２を設けることで、発光素子１３０の信頼性を高めることができる。なお、表示装置１００は保護層１３１又は保護層１３２を有さなくてもよい。

保護層１３１、及び保護層１３２の導電性は問わない。保護層１３１、及び保護層１３２としては、絶縁膜、半導体膜、及び導電膜の少なくとも一種を用いることができる。

保護層１３１、及び保護層１３２が無機膜を有することで、共通電極１１５の酸化を抑制することができ、また発光素子１３０に不純物（水分、酸素など）が入り込むことを抑制できる。よって、発光素子１３０の劣化を抑制し、表示装置の信頼性を高めることができる。

保護層１３１、及び保護層１３２には、例えば、酸化絶縁膜、窒化絶縁膜、酸化窒化絶縁膜、及び窒化酸化絶縁膜などの無機絶縁膜を用いることができる。酸化絶縁膜としては、酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ゲルマニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ランタン膜、酸化ネオジム膜、酸化ハフニウム膜、及び酸化タンタル膜などが挙げられる。窒化絶縁膜としては、窒化シリコン膜及び窒化アルミニウム膜などが挙げられる。酸化窒化絶縁膜としては、酸化窒化シリコン膜、酸化窒化アルミニウム膜などが挙げられる。窒化酸化絶縁膜としては、窒化酸化シリコン膜、窒化酸化アルミニウム膜などが挙げられる。

なお、本明細書などにおいて、酸化窒化物とは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化物とは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を指す。

保護層１３１、及び保護層１３２は、それぞれ、窒化絶縁膜または窒化酸化絶縁膜を有することが好ましく、窒化絶縁膜を有することがより好ましい。

また、保護層１３１、及び保護層１３２には、Ｉｎ−Ｓｎ酸化物（ＩＴＯともいう）、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物、Ｇａ−Ｚｎ酸化物、Ａｌ−Ｚｎ酸化物、またはインジウムガリウム亜鉛酸化物（Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物、ＩＧＺＯともいう）などを含む無機膜を用いることもできる。当該無機膜は、高抵抗であることが好ましく、具体的には、共通電極１１５よりも高抵抗であることが好ましい。当該無機膜は、さらに窒素を含んでいてもよい。

発光素子１３０の発光を、保護層１３１、及び保護層１３２を介して取り出す場合、保護層１３１、及び保護層１３２は、可視光に対する透過性が高いことが好ましい。例えば、ＩＴＯ、ＩＧＺＯ、及び、酸化アルミニウムは、それぞれ、可視光に対する透過性が高い無機材料であるため、好ましい。

保護層１３１、及び保護層１３２としては、例えば、酸化アルミニウム膜と、酸化アルミニウム膜上の窒化シリコン膜と、の積層構造、または、酸化アルミニウム膜と、酸化アルミニウム膜上のＩＧＺＯ膜と、の積層構造などを用いることができる。当該積層構造を用いることで、発光ユニット１１２に入り込む不純物（水、酸素など）を抑制できる。

さらに、保護層１３１、及び保護層１３２は、有機膜を有していてもよい。例えば、保護層１３２は、有機膜と無機膜の双方を有していてもよい。

保護層１３１と保護層１３２とで異なる成膜方法を用いてもよい。具体的には、ＡＬＤ法を用いて保護層１３１を形成し、スパッタリング法を用いて保護層１３２を形成してもよい。

保護層１３２上には、着色層１３３が設けられる。着色層１３３は、発光素子１３０と重なる領域を有する。具体的には、発光層１８３と重なる領域を有する。図３Ａには、発光素子１３０ごとに異なる着色層１３３（着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、又は着色層１３３ｃ）が設けられる例を示している。着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃは、互いに異なる色の光を透過する機能を有する。例えば、着色層１３３ａは赤色の光を透過する機能を有し、着色層１３３ｂは緑色の光を透過する機能を有し、着色層１３３ｃは青色の光を透過する機能を有する。これにより、表示装置１００は、フルカラー表示を行うことができる。なお、着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃは、シアン、マゼンタ、及び黄色の光のいずれかを透過する機能を有してもよい。

ここで、隣接する着色層１３３は、重なる領域を有することが好ましい。具体的には、発光ユニット１１２と重ならない領域において、隣接する着色層１３３が重なる領域を有することが好ましい。異なる色の光を透過する着色層１３３が重なることで、着色層１３３が重なる領域において、着色層１３３を遮光層として機能させることができる。よって、発光素子１３０が発する光が隣接する副画素に漏れることを抑制できる。例えば、着色層１３３ａと重なる発光素子１３０が発する光が、着色層１３３ｂに入射されることを抑制できる。よって、表示装置に表示される画像のコントラストを高めることができ、表示品位の高い表示装置を実現できる。

なお、隣接する着色層１３３が重なる領域を有さなくてもよい。この場合、発光ユニット１１２と重ならない領域に、遮光層を設けることが好ましい。遮光層は、例えば基板１２０の樹脂層１１９側の面に設けることができる。また、着色層１３３を、基板１２０の樹脂層１１９側の面に設けてもよい。

画素電極１１１の上面端部は、絶縁層によって覆われていない。そのため、隣り合う発光素子１３０の距離を極めて狭くすることができる。したがって、高精細、または、高解像度の表示装置とすることができる。

表示装置１００は、発光素子１３０間の距離を狭くすることができる。具体的には、発光素子１３０間の距離を、１μｍ以下、好ましくは５００ｎｍ以下、さらに好ましくは、２００ｎｍ以下、１００ｎｍ以下、９０ｎｍ以下、７０ｎｍ以下、５０ｎｍ以下、３０ｎｍ以下、２０ｎｍ以下、１５ｎｍ以下、または１０ｎｍ以下とすることができる。別言すると、例えば発光素子１３０が有する発光ユニット１１２の側面と、隣接する発光素子１３０が有する発光ユニット１１２の側面との距離が１μｍ以下の領域を有し、好ましくは０．５μｍ（５００ｎｍ）以下の領域を有し、さらに好ましくは１００ｎｍ以下の領域を有する。

本明細書等において、隣接する要素同士が接していなくてもよい。例えば、隣接する発光素子１３０が有する発光ユニット１１２は接していないが、２つの発光ユニット１１２は隣接するということができる。

基板１２０の外側には各種光学部材を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層（拡散フィルムなど）、反射防止層、及び集光フィルム等が挙げられる。また、基板１２０の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜、衝撃吸収層等を配置してもよい。

基板１２０には、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂、金属、合金、半導体などを用いることができる。発光素子からの光を取り出す側の基板には、該光を透過する材料を用いる。基板１２０に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。また、基板１２０として偏光板を用いてもよい。

基板１２０としては、それぞれ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）樹脂、ポリアミド樹脂（ナイロン、アラミド等）、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、ＡＢＳ樹脂、セルロースナノファイバー等を用いることができる。基板１２０に、可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いてもよい。

なお、表示装置に円偏光板を重ねる場合、表示装置が有する基板には、光学等方性の高い基板を用いることが好ましい。光学等方性が高い基板は、複屈折が小さい（複屈折量が小さい、ともいえる）。

光学等方性が高い基板のリタデーション（位相差）値の絶対値は、３０ｎｍ以下が好ましく、２０ｎｍ以下がより好ましく、１０ｎｍ以下がさらに好ましい。

光学等方性が高いフィルムとしては、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ、セルローストリアセテートともいう）フィルム、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）フィルム、シクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）フィルム、及びアクリルフィルム等が挙げられる。

また、基板としてフィルムを用いる場合、フィルムが吸水することで、表示パネルにしわが発生するなどの形状変化が生じる恐れがある。そのため、基板には、吸水率の低いフィルムを用いることが好ましい。例えば、吸水率が１％以下のフィルムを用いることが好ましく、０．１％以下のフィルムを用いることがより好ましく、０．０１％以下のフィルムを用いることがさらに好ましい。

樹脂層１１９としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）樹脂、ＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。

トランジスタのゲート、ソース及びドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、及びタングステンなどの金属、並びに、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。

また、透光性を有する導電材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、及びチタンなどの金属材料、または、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物（例えば、窒化チタン）などを用いてもよい。なお、金属材料、または、合金材料（またはそれらの窒化物）を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすることが好ましい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層、及び、発光素子が有する導電層（画素電極または共通電極として機能する導電層）にも用いることができる。

各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。

図３Ａでは、発光ユニット１１２を２つ積層する例を示しているが、本発明の一態様はこれに限られない。図４Ａは、発光ユニット１１２を３つ積層する場合の、図１における一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間の構成例を示す断面図であり、図４Ｂは、図１における一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間の構成例を示す断面図である。

図４Ａに示す例では、発光素子１３０は、トランジスタを含む層１０１上の画素電極１１１と、画素電極１１１上の発光ユニット１１２＿１と、発光ユニット１１２＿１上の中間層１１３＿１と、中間層１１３＿１上の発光ユニット１１２＿２と、発光ユニット１１２＿２上の中間層１１３＿２と、中間層１１３＿２上の発光ユニット１１２＿３と、発光ユニット１１２＿３上の共通層１１４と、共通層１１４上の共通電極１１５と、を有する。図４Ａに示す例では、３個の発光ユニット１１２が積層される構造であるため、３段タンデム構造ということができる。ここで、発光ユニット１１２＿１乃至発光ユニット１１２＿３と、中間層１１３＿１及び中間層１１３＿２と、をまとめて層１０３ｂということができる。

図４Ｃは、層１０３ｂの詳細な構成例を示す断面図である。発光ユニット１１２＿３は、例えば中間層１１３＿２上の層１８２と、層１８２上の発光層１８３＿３と、発光層１８３＿３上の層１８４と、を有する。

発光層１８３＿１乃至発光層１８３＿３は、例えばそれぞれ赤色の光、緑色の光、又は青色の光のいずれかを発することができる。例えば、発光層１８３＿１が赤色の光を発し、発光層１８３＿２が緑色の光を発し、発光層１８３＿３が青色の光を発することができる。また、発光層１８３＿１が青色の光を発し、発光層１８３＿２が黄色の光、黄緑色の光、又は緑色の光を発し、発光層１８３＿３が青色の光を発することができる。さらに、発光層１８３＿１が青色の光を発し、発光層１８３＿２が赤色の光と、黄色、黄緑色、又は緑色の光と、を発し、発光層１８３＿３が青色の光を発することができる。

なお、発光素子１３０は、４個以上の発光ユニット１１２が積層される構造であってもよい。つまり、発光素子１３０は、４段以上のタンデム構造であってもよい。

このように、発光ユニット１１２の積層数を増やすことにより、同じ電流量で発光素子１３０から得られる輝度を、積層数に応じて高めることができる。また、発光ユニット１１２の積層数を増やすことにより、同じ輝度を得るために必要な電流を低減できるため、発光素子１３０の消費電力を、積層数に応じて低減することができる。

図５Ａは、図１における一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間の構成例を示す断面図であり、図５Ｂは、図１における一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間の構成例を示す断面図である。図５Ａ、及び図５Ｂは、図３Ａ、及び図３Ｂに示す構成の変形例であり、側壁１２１が１層構造である点が異なる。図５Ａ、及び図５Ｂに示す構成において、側壁１２１は、例えば側壁１２１ａと同様の材料を有し、側壁１２１ａと同様の方法で形成することができる。例えば、図５Ａ、及び図５Ｂに示す側壁１２１として、ＡＬＤ法により形成した酸化アルミニウム膜を用いることができる。

表示装置１００を図５Ａ、及び図５Ｂに示す構成とすることにより、側壁１２１の作製工程を簡略化し、表示装置１００の作製工程数を少なくすることができる。これにより、表示装置１００を低コストで製造し、また歩留まりを高くすることができる。よって、表示装置１００を低価格化することができる。

図６Ａは、図１における一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間の構成例を示す断面図であり、図６Ｂは、図１における一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間の構成例を示す断面図である。図６Ａ、及び図６Ｂは、図３Ａ、及び図３Ｂに示す構成の変形例であり、発光素子１３０が、共通層１１４の代わりに層１１４ａを有する点が、図３Ａ、及び図３Ｂに示す表示装置１００と異なる。

層１１４ａは、共通層１１４と同様に、例えば電子注入層を有することができる。なお、画素電極１１１が陰極として機能し、共通電極１１５が陽極として機能する場合は、層１１４ａは、例えば正孔注入層を有することができる。

層１１４ａは、画素電極１１１、発光ユニット１１２、及び中間層１１３と同様に、発光素子１３０ごとに島状に形成される。つまり、層１１４ａは、発光素子１３０ごとに分離して設けられる。

図７Ａは、図１における一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間の構成例を示す断面図であり、図７Ｂは、図１における一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間の構成例を示す断面図である。図７Ａ、及び図７Ｂは、図３Ａ、及び図３Ｂに示す構成の変形例であり、隣接する発光素子１３０間に空隙１３４が形成されず、共通層１１４が充填される例を示している。なお、隣接する発光素子１３０間には、共通層１１４の他、共通電極１１５が充填されてもよい。さらに、保護層１３１が充填されてもよい。隣接する発光素子１３０間の距離が長い場合等は、図７Ａに示すように空隙１３４が形成されない場合がある。

表示装置１００は側壁１２１を有するため、図７Ａに示すように隣接する発光素子１３０間に共通層１１４等が充填されていても、共通層１１４が、画素電極１１１、発光ユニット１１２、及び中間層１１３のいずれかの側面と接することを抑制できる。よって、隣接する発光素子１３０間に共通層１１４等が充填されていても、発光素子１３０のショートを抑制できる。

図１では、画素１１０が副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、及び副画素１１０ｃの、３つの副画素から構成される例を示しているが、本発明の一態様はこれに限らない。図８は、表示装置１００の構成例を示す上面図である。

図８に示す画素１１０は、副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、副画素１１０ｃ、及び副画素１１０ｄの、４つの副画素から構成される。副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、副画素１１０ｃ、及び副画素１１０ｄは、互いに異なる色の副画素とすることができる。例えば、副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、及び副画素１１０ｃは、それぞれ、赤色、緑色、及び青色の副画素とすることができ、副画素１１０ｄは白色の副画素とすることができる。

図８では、１つの画素１１０内に、各副画素が２行３列で配置されている例を示す。画素１１０は、上の行（１行目）に、３つの副画素（副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、及び副画素１１０ｃ）を有し、下の行（２行目）に、１つの副画素（副画素１１０ｄ）を有する。言い換えると、画素１１０は、左の列（１列目）に副画素１１０ａを有し、中央の列（２列目）に副画素１１０ｂを有し、右の列（３列目）に副画素１１０ｃを有し、さらに、この３列にわたって、副画素１１０ｄを有する。

図９Ａは、図８における一点鎖線Ｘ３−Ｘ４間の構成例を示す断面図である。図９Ｂは、図８における一点鎖線Ｙ３−Ｙ４間の構成例を示す断面図であり、接続部１４０の構成例を示す断面図である。

発光素子１３０が白色の光を発する機能を有する場合、着色層１３３を設けない副画素を、白色の副画素とすることができる。

図１０Ａ乃至図１０Ｆは、副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、副画素１１０ｃ、及び副画素１１０ｄを有する画素１１０の構成例を示す上面図であり、図８に示す画素１１０の変形例である。

図１０Ａ乃至図１０Ｃに示す画素１１０は、ストライプ配列が適用されている。また、図１０Ｄ乃至図１０Ｆに示す画素１１０は、マトリクス配列が適用されている。

図１０Ａは、各副画素が、長方形の上面形状を有する例であり、図１０Ｂは、各副画素が、２つの半円と長方形をつなげた上面形状を有する例であり、図１０Ｃは、各副画素が、楕円形の上面形状を有する例である。また、図１０Ｄは、各副画素が、正方形の上面形状を有する例であり、図１０Ｅは、各副画素が、角が丸い略正方形の上面形状を有する例であり、図１０Ｆは、各副画素が、円形の上面形状を有する例である。

［表示装置の作製方法の一例］
次に、表示装置１００の作製方法の一例を説明する。具体的には、図１、図３Ａ、及び図３Ｂ等に示す表示装置１００の作製方法の一例を説明する。

図１１Ａ乃至図１１Ｅ、図１２Ａ乃至図１２Ｅ、図１３Ａ、及び図１３Ｂは、表示装置１００の作製方法の一例を示す断面図であり、図１における一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間の断面図と、Ｙ１−Ｙ２間の断面図と、を並べて示している。

表示装置を構成する薄膜（絶縁膜、半導体膜、及び、導電膜等）は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、真空蒸着法、パルスレーザー堆積（ＰＬＤ：Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＡＬＤ法等を用いて形成することができる。ＣＶＤ法としては、プラズマ化学気相堆積（ＰＥＣＶＤ：Ｐｌａｓｍａ　Ｅｎｈａｎｃｅｄ　ＣＶＤ）法、及び、熱ＣＶＤ法などがある。また、熱ＣＶＤ法のひとつに、有機金属ＣＶＤ（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ　Ｏｒｇａｎｉｃ　ＣＶＤ）法がある。

また、表示装置を構成する薄膜（絶縁膜、半導体膜、及び、導電膜等）は、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、インクジェット、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドクターナイフ、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコート等の方法により形成することができる。

特に、発光素子の作製には、蒸着法などの真空プロセス、及び、スピンコート法、インクジェット法などの溶液プロセスを用いることができる。蒸着法としては、スパッタ法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法、分子線蒸着法、真空蒸着法などの物理蒸着法（ＰＶＤ法）、及び、化学蒸着法（ＣＶＤ法）等が挙げられる。特に発光ユニットに含まれる機能層（正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層など）については、蒸着法（真空蒸着法等）、塗布法（ディップコート法、ダイコート法、バーコート法、スピンコート法、スプレーコート法等）、印刷法（インクジェット法、スクリーン（孔版印刷）法、オフセット（平版印刷）法、フレキソ（凸版印刷）法、グラビア法、または、マイクロコンタクト法等）などの方法により形成することができる。

また、表示装置を構成する薄膜を加工する際には、フォトリソグラフィ法等を用いて加工することができる。または、ナノインプリント法、サンドブラスト法、リフトオフ法などにより薄膜を加工してもよい。また、メタルマスクなどの遮蔽マスクを用いた成膜方法により、島状の薄膜を直接形成してもよい。

フォトリソグラフィ法としては、代表的には以下の２つの方法がある。一つは、加工したい薄膜上にレジストマスクを形成して、エッチング等により当該薄膜を加工し、レジストマスクを除去する方法である。もう一つは、感光性を有する薄膜を成膜した後に、露光、現像を行って、当該薄膜を所望の形状に加工する方法である。

フォトリソグラフィ法において、露光に用いる光は、例えばｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、またはこれらを混合させた光を用いることができる。そのほか、紫外線、ＫｒＦレーザ光、またはＡｒＦレーザ光等を用いることもできる。また、液浸露光技術により露光を行ってもよい。また、露光に用いる光として、極端紫外光（ＥＵＶ：Ｅｘｔｒｅｍｅ　Ｕｌｔｒａ−ｖｉｏｌｅｔ）、またはＸ線を用いてもよい。また、露光に用いる光に換えて、電子ビームを用いることもできる。極端紫外光、Ｘ線または電子ビームを用いると、極めて微細な加工が可能となるため好ましい。なお、電子ビームなどのビームを走査することにより露光を行う場合には、フォトマスクは不要である。

薄膜の加工には、ドライエッチング法、ウェットエッチング法、サンドブラスト法などを用いることができる。

表示装置１００を作製するには、まず、トランジスタを含む層１０１を形成する。前述のように、トランジスタを含む層１０１の最表面は、絶縁層とすることができる。続いて、トランジスタを含む層１０１上に、後に画素電極１１１、及び接続電極１１１Ｃとなる導電膜１１１Ａを成膜する。

続いて、導電膜１１１Ａ上に、発光ユニット１１２＿１となる層１１２＿１Ａを形成する。具体的には、後に層１８１となる膜、後に層１８２となる膜、後に発光層１８３＿１となる発光膜、及び後に層１８４となる膜を順に成膜する。その後、層１１２＿１Ａ上に、後に中間層１１３となる中間膜１１３Ａを成膜する。

続いて、中間膜１１３Ａ上に、発光ユニット１１２＿２となる層１１２＿２Ａを形成する。具体的には、後に層１８２となる膜、後に発光層１８３＿２となる発光膜、及び後に層１８４となる膜を順に成膜する。

層１１２＿１Ａが有する膜、中間膜１１３Ａ、及び層１１２＿２Ａが有する膜は、例えば蒸着法、スパッタリング法、又はインクジェット法等により形成することができる。なおこれに限られず、上述した成膜方法を適宜用いることができる。

層１１２＿１Ａ、中間膜１１３Ａ、及び層１１２＿２Ａは、接続部１４０には設けられないことが好ましい。例えば、層１１２＿１Ａが有する膜、中間膜１１３Ａ、及び層１１２＿２Ａが有する膜を蒸着法（又はスパッタリング法）により成膜する場合、これらの膜が接続部１４０に成膜されないように、遮蔽マスクを用いることが好ましい。

続いて、層１１２＿２Ａ上に犠牲膜１４１を成膜する。また、犠牲膜１４１は、接続部１４０にも設けられる。

犠牲膜１４１は、層１１２＿２Ａが有する膜、中間膜１１３Ａ、及び層１１２＿１Ａが有する膜のエッチング処理に対する耐性の高い膜、すなわちエッチングの選択比の大きい膜を用いることができる。また、犠牲膜１４１は、後述する保護膜１４３等の保護膜とのエッチングの選択比の大きい膜を用いることができる。さらに、犠牲膜１４１は、層１１２＿２Ａが有する膜、中間膜１１３Ａ、及び層１１２＿１Ａが有する膜へのダメージの少ないウェットエッチング法により除去可能な膜を用いることができる。

犠牲膜１４１としては、例えば、金属膜、合金膜、金属酸化物膜、半導体膜、無機絶縁膜等の無機膜を用いることができる。犠牲膜１４１は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法、ＡＬＤ法等の各種成膜方法により形成することができる。

犠牲膜１４１としては、例えば金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、チタン、アルミニウム、イットリウム、ジルコニウム、及びタンタル等の金属材料、又は該金属材料を含む合金材料を用いることができる。特に、アルミニウム又は銀等の低融点材料を用いることが好ましい。

また、犠牲膜１４１としては、インジウムガリウム亜鉛酸化物（Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物、ＩＧＺＯとも表記する）等の金属酸化物を用いることができる。さらに、酸化インジウム、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ−Ｚｎ酸化物）、インジウムスズ酸化物（Ｉｎ−Ｓｎ酸化物）、インジウムチタン酸化物（Ｉｎ−Ｔｉ酸化物）、インジウムスズ亜鉛酸化物（Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ酸化物）、インジウムチタン亜鉛酸化物（Ｉｎ−Ｔｉ−Ｚｎ酸化物）、インジウムガリウムスズ亜鉛酸化物（Ｉｎ−Ｇａ−Ｓｎ−Ｚｎ酸化物）等を用いることができる。又はシリコンを含むインジウムスズ酸化物等を用いることもできる。

なお、上記ガリウムに代えて元素Ｍ（Ｍは、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、又はマグネシウムから選ばれた一種又は複数種）を用いた場合にも適用できる。特に、Ｍは、ガリウム、アルミニウム、又はイットリウムから選ばれた一種又は複数種とすることが好ましい。

また、犠牲膜１４１としては、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化シリコン等の無機絶縁材料を用いることができる。

また、犠牲膜１４１として、化学的に安定な溶媒に溶解しうる材料を用いることが好ましい。特に、水又はアルコールに溶解する材料を、犠牲膜１４１に好適に用いることができる。犠牲膜１４１を成膜する際には、水又はアルコール等の溶媒に溶解させた状態で、湿式の成膜方法で塗布した後に、溶媒を蒸発させるための加熱処理を行うことが好ましい。このとき、減圧雰囲気下での加熱処理を行うことで、低温且つ短時間で溶媒を除去できるため、層１１２＿２Ａ、中間膜１１３Ａ、及び層１１２＿１Ａへの熱的なダメージを低減することができ、好ましい。

犠牲膜１４１の形成に用いることのできる湿式の成膜方法としては、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、インクジェット、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドクターナイフ法、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコート等がある。

犠牲膜１４１としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルブチラール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリグリセリン、プルラン、水溶性のセルロース、又はアルコール可溶性のポリアミド樹脂等の有機材料を用いることができる。

続いて、犠牲膜１４１上に、保護膜１４３を形成する（図１１Ａ）。

保護膜１４３は、後に犠牲膜１４１をエッチングする際のマスクとして用いる膜である。また、後の保護膜１４３のエッチング時には、犠牲膜１４１が露出する。したがって、犠牲膜１４１と保護膜１４３とは、互いにエッチングの選択比の大きい膜の組み合わせを選択する。そのため、犠牲膜１４１のエッチング条件、及び保護膜１４３のエッチング条件に応じて、保護膜１４３に用いることのできる膜を選択することができる。

例えば、保護膜１４３のエッチングに、フッ素を含むガス（フッ素系ガスともいう）を用いたドライエッチングを用いる場合には、シリコン、窒化シリコン、酸化シリコン、タングステン、チタン、モリブデン、タンタル、窒化タンタル、モリブデンとニオブを含む合金、又はモリブデンとタングステンを含む合金等を、保護膜１４３に用いることができる。ここで、上記フッ素系ガスを用いたドライエッチングに対して、エッチングの選択比を大きくとれる（すなわち、エッチング速度を遅くできる）膜としては、ＩＧＺＯ、ＩＴＯ等の金属酸化物膜等があり、これを保護膜１４３に用いることができる。

なお、これに限られず、保護膜１４３は、様々な材料の中から、犠牲膜１４１のエッチング条件、及び保護膜１４３のエッチング条件に応じて、選択することができる。例えば、上記犠牲膜１４１に用いることのできる膜の中から選択することもできる。

また、保護膜１４３としては、例えば窒化物膜を用いることができる。具体的には、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化ハフニウム、窒化チタン、窒化タンタル、窒化タングステン、窒化ガリウム、窒化ゲルマニウム等の窒化物を用いることもできる。

又は、保護膜１４３として、酸化物膜を用いることができる。代表的には、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム等の酸化物膜又は酸窒化物膜を用いることもできる。

続いて、保護膜１４３上に、レジストマスク１４５を形成する（図１１Ｂ）。

レジストマスク１４５は、ポジ型のレジスト材料、又はネガ型のレジスト材料等、感光性の樹脂を含むレジスト材料を用いることができる。

ここで、保護膜１４３を形成せずに、犠牲膜１４１上にレジストマスク１４５を形成する場合、犠牲膜１４１にピンホール等の欠陥が存在すると、レジスト材料の溶媒によって、層１１２＿２Ａが有する、後に層１８４となる膜等が溶解してしまう恐れがある。保護膜１４３を用いることで、このような不具合が生じることを防ぐことができる。

なお、犠牲膜１４１にピンホール等の欠陥が生じにくい膜を用いる場合には、保護膜１４３を用いずに、犠牲膜１４１上に直接、レジストマスク１４５を形成してもよい。

続いて、保護膜１４３の、レジストマスク１４５に覆われない一部をエッチングにより除去し、保護層１４９を形成する。このとき同時に、接続部１４０にも保護層１４９が形成される。

保護膜１４３のエッチングの際、犠牲膜１４１が当該エッチングにより除去されないように、選択比の高いエッチング条件を用いることが好ましい。保護膜１４３のエッチングは、ウェットエッチング又はドライエッチングにより行うことができるが、ドライエッチングを用いることで、保護膜１４３のパターンが縮小することを抑制できる。

続いて、レジストマスク１４５を除去する（図１１Ｃ）。

レジストマスク１４５の除去は、ウェットエッチング又はドライエッチングにより行うことができる。特に、酸素ガスをエッチングガスに用いたドライエッチング（プラズマアッシングともいう）により、レジストマスク１４５を除去することが好ましい。

このとき、レジストマスク１４５の除去は、層１１２＿２Ａ上に犠牲膜１４１が設けられた状態で行われるため、層１１２＿２Ａ、中間膜１１３Ａ、及び層１１２＿１Ａへの影響が抑制されている。特に層１１２＿１Ａ、及び層１１２＿２Ａが酸素に触れると、電気特性に悪影響を及ぼす場合があるため、プラズマアッシング等の、酸素ガスを用いたエッチングを行う場合には好適である。

続いて、保護層１４９をマスクとして用いて、犠牲膜１４１の保護層１４９に覆われない一部をエッチングにより除去し、犠牲層１４７を形成する（図１１Ｄ）。このとき同時に、接続部１４０にも犠牲層１４７が形成される。

犠牲膜１４１のエッチングは、ウェットエッチング又はドライエッチングにより行うことができるが、ドライエッチング法を用いると、パターンの縮小を抑制できるため好ましい。

続いて、犠牲層１４７をマスクとして用いて、犠牲層１４７に覆われない層１１２＿２Ａ、中間膜１１３Ａ、層１１２＿１Ａ、及び導電膜１１１Ａの一部をエッチングにより除去し、発光ユニット１１２＿２、中間層１１３、発光ユニット１１２＿１、画素電極１１１、及び接続電極１１１Ｃを形成する（図１１Ｅ）。なお、層１１２＿２Ａ、中間膜１１３Ａ、層１１２＿１Ａ、及び導電膜１１１Ａのエッチングと同時、又はエッチングの前に、保護層１４９をエッチングにより除去してもよい。

層１１２＿２Ａ、中間膜１１３Ａ、層１１２＿１Ａ、及び導電膜１１１Ａのエッチングには、酸素を主成分に含まないエッチングガスを用いたドライエッチングを用いることが好ましい。これにより、層１１２＿２Ａ、中間膜１１３Ａ、層１１２＿１Ａ、及び導電膜１１１Ａの変質を抑制し、信頼性の高い表示装置を実現できる。酸素を主成分に含まないエッチングガスとしては、例えばＣＦ_４、Ｃ_４Ｆ_８、ＳＦ_６、ＣＨＦ_３、Ｃｌ_２、Ｈ_２Ｏ、ＢＣｌ_３、Ｈ_２又はＨｅ等の貴ガスが挙げられる。また、上記ガスと、酸素を含まない希釈ガスとの混合ガスをエッチングガスに用いることができる。

導電膜１１１Ａのエッチングの際に、トランジスタを含む層１０１の一部（具体的には、最表面に位置する絶縁層）がエッチングされ、凹部が形成されることがある。以降の説明では、トランジスタを含む層１０１に凹部が設けられている場合を例に挙げて説明するが、凹部が設けられていなくてもよい。

続いて、画素電極１１１、接続電極１１１Ｃ、発光ユニット１１２＿１、中間層１１３、発光ユニット１１２＿２、犠牲層１４７、及び保護層１４９を覆うように、後に側壁１２１ａとなる絶縁膜１２１Ａを成膜する。次に、絶縁膜１２１Ａ上に、後に側壁１２１ｂとなる絶縁膜１２１Ｂを成膜する（図１２Ａ）。

絶縁膜１２１Ａは、発光ユニット１１２へのダメージが少ない方法で成膜されることが好ましい。また、絶縁膜１２１Ａ、及び絶縁膜１２１Ｂは、発光ユニット１１２の耐熱温度よりも低い温度で形成する。例えば、絶縁膜１２１Ａとして、ＡＬＤ法を用いて酸化アルミニウム膜を形成することができる。ＡＬＤ法を用いることで、被覆性の高い膜を成膜可能なため好ましい。また、例えば、絶縁膜１２１Ｂとして、ＰＥＣＶＤ法、又はスパッタリング法を用いて酸化窒化シリコン膜または窒化シリコン膜を形成することができる。

次に、絶縁膜１２１Ｂ、及び絶縁膜１２１Ａをエッチングすることで、側壁１２１ｂ、及び側壁１２１ａを形成する（図１２Ｂ）。側壁１２１ａは、画素電極１１１の側面、及び接続電極１１１Ｃの側面の少なくとも一部を覆うように形成される。これにより、後に形成する共通層１１４又は共通電極１１５と、画素電極１１１又は接続電極１１１Ｃとが接して、発光素子がショートすることを抑制できる。さらに、側壁１２１ａは、発光ユニット１１２＿１の側面、中間層１１３の側面、及び発光ユニット１１２＿２の側面の少なくとも一部を覆うように形成されることが好ましい。これにより、後に形成する共通層１１４又は共通電極１１５が、発光ユニット１１２＿１、中間層１１３、及び発光ユニット１１２＿２と接することを抑制し、発光素子がショートすることを抑制できる。また、後の工程において、発光ユニット１１２＿１、中間層１１３、及び発光ユニット１１２＿２が受けるダメージを抑制できる。

特に、トランジスタを含む層１０１の一部（具体的には、最表面に位置する絶縁層）に凹部が設けられていると、画素電極１１１の側面全体、及び接続電極１１１Ｃの側面全体を、側壁１２１ａで覆うことが可能となり好ましい。

ここで、側壁１２１ｂは、側壁１２１ａの側面の少なくとも一部を覆うように形成される。

絶縁膜１２１Ａ、及び絶縁膜１２１Ｂは、ドライエッチング法によりエッチングすることが好ましい。絶縁膜１２１Ａ、及び絶縁膜１２１Ｂのエッチングは、異方性エッチングにより行うことが好ましい。ここで、犠牲膜１４１をエッチングする際に用いることができるエッチングガスを用いて、絶縁膜１２１Ａ、及び絶縁膜１２１Ｂをエッチングすることができる。また、絶縁膜１２１Ａ、及び絶縁膜１２１Ｂのエッチングにおいては、発光ユニット１１２＿２が露出しないため、犠牲膜１４１のエッチングよりも、エッチング方法の選択の幅は広い。具体的には、絶縁膜１２１Ａ、及び絶縁膜１２１Ｂのエッチングの際に、エッチングガスに酸素を含むガスを用いてもよい。

続いて、犠牲層１４７、及び保護層１４９を除去する（図１２Ｃ）。これにより、発光ユニット１１２＿２、及び接続電極１１１Ｃが露出する。

続いて、側壁１２１上、及び発光ユニット１１２＿２上に、共通層１１４を形成する（図１２Ｄ）。これにより、側壁１２１ｂの間の領域、及びトランジスタを含む層１０１の凹部に、空隙１３４が形成される場合がある。ここで、接続電極１１１Ｃ上には共通層１１４が設けられず、接続電極１１１Ｃは露出したままである。前述のように、共通層１１４は、電子注入層、又は正孔注入層の一方としての機能を有する。

共通層１１４は、蒸着法（真空蒸着法を含む）、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。

共通層１１４は、発光ユニット１１２＿２の上面、並びに側壁１２１の上面及び側面の少なくとも一部を覆うように設けられる。ここで、共通層１１４の導電性が高い場合、画素電極１１１と、共通層１１４とが接することで、発光素子がショートする恐れがある。しかし、本発明の一態様の表示装置では、側壁１２１が、画素電極１１１の側面、発光ユニット１１２＿１の側面、中間層１１３の側面、及び発光ユニット１１２＿２の側面を覆っているため、導電性の高い共通層１１４がこれらと接することを抑制し、発光素子がショートすることを抑制できる。これにより、発光素子の信頼性を高めることができる。

続いて、共通層１１４上、及び接続電極１１１Ｃ上に共通電極１１５を形成する（図１２Ｅ）。これにより、発光素子１３０が形成される。共通電極１１５の形成には、例えば、スパッタリング法または真空蒸着法を用いることができる。

続いて、共通電極１１５上に保護層１３１を形成し、保護層１３１上に保護層１３２を形成する（図１３Ａ）。保護層１３１、及び保護層１３２の成膜方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、及びＡＬＤ法などが挙げられる。保護層１３１と保護層１３２は、互いに異なる成膜方法を用いて形成された膜であってもよい。また、保護層１３１、及び保護層１３２は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。

続いて、保護層１３２上に、着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃを、発光ユニット１１２＿１及び発光ユニット１１２＿２と重なる領域を有するように形成する（図１３Ｂ）。着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃは、インクジェット法、又はフォトリソグラフィ法などでそれぞれ所望の位置に形成することができる。具体的には、発光素子１３０ごとに異なる着色層１３３（着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、又は着色層１３３ｃ）を形成することができる。

その後、樹脂層１１９を用いて、着色層１３３上に、基板１２０を貼り合わせることで、図３Ａ、及び図３Ｂに示す表示装置１００を作製することができる。

以上のように、本実施の形態の表示装置の作製方法では、発光層を有する島状の発光ユニットは、メタルマスクのパターンによって形成されるのではなく、発光ユニットを一面に形成した後にエッチングすることで形成される。よって、島状の発光ユニットを均一な厚さで形成することができる。また、高精細な表示装置または高開口率の表示装置を実現することができる。

本発明の一態様の表示装置は、タンデム構造の発光素子を有する。そして、発光素子が有する画素電極、発光層、キャリア輸送層、及び中間層のそれぞれの側面は、側壁によって覆われる。当該表示装置の作製工程においては、発光層とキャリア輸送層とが積層された状態で、発光素子が有する発光ユニットがエッチングされる。このため、当該表示装置は、発光層のダメージが低減された構成である。また、側壁により、画素電極とキャリア注入層または共通電極とが接することが抑制され、発光素子がショートすることが抑制された構成である。

本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。また、本明細書において、１つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、構成例を適宜組み合わせることが可能である。

（実施の形態２）
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について図１４乃至図１９を用いて説明する。

本実施の形態の表示装置は、高解像度な表示装置または大型な表示装置とすることができる。したがって、本実施の形態の表示装置は、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置の表示部に用いることができる。

また、本実施の形態の表示装置は、高精細な表示装置とすることができる。したがって、本実施の形態の表示装置は、例えば、腕時計型、ブレスレット型などの情報端末機（ウェアラブル機器）、並びに、ヘッドマウントディスプレイなどのＶＲ向け機器、メガネ型のＡＲ向け機器など、頭部に装着可能なウェアラブル機器の表示部に用いることができる。

［表示モジュール］
図１４Ａに、表示モジュール２８０の斜視図を示す。表示モジュール２８０は、表示装置１００と、ＦＰＣ２９０と、を有する。

表示モジュール２８０は、基板２９１及び基板２９２を有する。表示モジュール２８０は、表示部２８１を有する。表示部２８１は、表示モジュール２８０における画像を表示する領域であり、後述する画素部２８４に設けられる各画素からの光を視認できる領域である。

図１４Ｂに、基板２９１側の構成を模式的に示した斜視図を示している。基板２９１上には、回路部２８２と、回路部２８２上の画素回路部２８３と、画素回路部２８３上の画素部２８４と、が積層されている。また、基板２９１上の画素部２８４と重ならない部分に、ＦＰＣ２９０と接続するための端子部２８５が設けられている。端子部２８５と回路部２８２とは、複数の配線により構成される配線部２８６により電気的に接続されている。

画素部２８４は、周期的に配列した複数の画素１１０を有する。図１４Ｂの右側に、１つの画素１１０の拡大図を示している。画素１１０は、副画素１１０ａ、副画素１１０ｂ、及び副画素１１０ｃを有する。また、画素１１０は、副画素１１０ｄを有することができる。副画素は、図１４Ｂに示すようにストライプ配列で配置することができる。また、デルタ配列、または、ペンタイル配列など様々な副画素の配列方法を適用することができる。

画素回路部２８３は、周期的に配列した複数の画素回路２８３ａを有する。

１つの画素回路２８３ａは、１つの画素１１０が有する３つの発光素子の発光を制御する回路である。１つの画素回路２８３ａは、１つの発光素子の発光を制御する回路が３つ設けられる構成としてもよい。例えば、画素回路２８３ａは、１つの発光素子につき、１つの選択トランジスタと、１つの電流制御用トランジスタ（駆動トランジスタ）と、容量と、を少なくとも有する構成とすることができる。このとき、選択トランジスタのゲートにはゲート信号が、ソースまたはドレインの一方にはビデオ信号が、それぞれ入力される。これにより、アクティブマトリクス型の表示装置が実現されている。

トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体（微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体）のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。

トランジスタの半導体層は、金属酸化物（酸化物半導体ともいう）を有することが好ましい。つまり、本実施の形態の表示装置は、金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタ（以下、ＯＳトランジスタ）を用いることが好ましい。または、トランジスタの半導体層は、シリコンを有することが好ましい。シリコンとしては、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン（低温ポリシリコン、単結晶シリコンなど）などが挙げられる。

半導体層は、例えば、インジウムと、Ｍ（Ｍは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、及びマグネシウムから選ばれた一種または複数種）と、亜鉛と、を有することが好ましい。特に、Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、及びスズから選ばれた一種または複数種であることが好ましい。

特に、半導体層として、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む酸化物（ＩＧＺＯとも記す）を用いることが好ましい。

半導体層がＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物の場合、当該Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物におけるＩｎの原子数比はＭの原子数比以上であることが好ましい。このようなＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物の金属元素の原子数比として、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１．２またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：１：３またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝３：１：２またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：３またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：４．１またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：３またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：７またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：８またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝６：１：６またはその近傍の組成、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：２：５またはその近傍の組成、等が挙げられる。なお、近傍の組成とは、所望の原子数比の±３０％の範囲を含む。

例えば、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３またはその近傍の組成と記載する場合、Ｉｎの原子数比を４としたとき、Ｇａの原子数比が１以上３以下であり、Ｚｎの原子数比が２以上４以下である場合を含む。また、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝５：１：６またはその近傍の組成と記載する場合、Ｉｎの原子数比を５としたときに、Ｇａの原子数比が０．１より大きく２以下であり、Ｚｎの原子数比が５以上７以下である場合を含む。また、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１またはその近傍の組成と記載する場合、Ｉｎの原子数比を１としたときに、Ｇａの原子数比が０．１より大きく２以下であり、Ｚｎの原子数比が０．１より大きく２以下である場合を含む。

回路部２８２が有するトランジスタと、画素回路部２８３が有するトランジスタとは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路部２８２が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、２種類以上あってもよい。同様に、画素回路部２８３が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、２種類以上あってもよい。

回路部２８２は、画素回路部２８３の各画素回路２８３ａを駆動する回路を有する。例えば、ゲート線駆動回路、及び、ソース線駆動回路の一方または双方を有することが好ましい。このほか、演算回路、メモリ回路、及び電源回路等の少なくとも一つを有していてもよい。

ＦＰＣ２９０は、外部から回路部２８２にビデオ信号または電源電位等を供給するための配線として機能する。また、ＦＰＣ２９０上にＩＣ（集積回路）が実装されていてもよい。

表示モジュール２８０は、画素部２８４の下側に画素回路部２８３及び回路部２８２の一方または双方が積層された構成とすることができるため、表示部２８１の開口率（有効表示面積比）を極めて高くすることができる。例えば表示部２８１の開口率は、４０％以上１００％未満、好ましくは５０％以上９５％以下、より好ましくは６０％以上９５％以下とすることができる。また、画素１１０を極めて高密度に配置することが可能で、表示部２８１の精細度を極めて高くすることができる。例えば、表示部２８１には、２０００ｐｐｉ以上、好ましくは３０００ｐｐｉ以上、より好ましくは５０００ｐｐｉ以上、さらに好ましくは６０００ｐｐｉ以上であって、２００００ｐｐｉ以下、または３００００ｐｐｉ以下の精細度で、画素１１０が配置されることが好ましい。

このような表示モジュール２８０は、極めて高精細であることから、ヘッドマウントディスプレイなどのＶＲ向け機器、またはメガネ型のＡＲ向け機器に好適に用いることができる。例えば、レンズを通して表示モジュール２８０の表示部を視認する構成の場合であっても、表示モジュール２８０は極めて高精細な表示部２８１を有するためにレンズで表示部を拡大しても画素が視認されず、没入感の高い表示を行うことができる。また、表示モジュール２８０はこれに限られず、比較的小型の表示部を有する電子機器に好適に用いることができる。例えば腕時計などの装着型の電子機器の表示部に好適に用いることができる。

［表示装置１００Ａ］
図１５は、表示装置１００Ａの構成例を示す断面図である。図１５に示す表示装置１００Ａは、基板４５１と基板１２０の間に、トランジスタ２０１、トランジスタ２０５、発光素子１３０、着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃ等を有する。

発光素子１３０は、実施の形態１で例示した発光素子を適用することができる。

トランジスタ２０１及びトランジスタ２０５は、いずれも基板４５１上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の材料及び同一の工程により作製することができる。

基板４５１上には、絶縁層２１１、絶縁層２１３、絶縁層２１５、及び絶縁層２１４がこの順で設けられている。絶縁層２１１は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層２１３は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層２１５は、トランジスタを覆って設けられる。絶縁層２１４は、トランジスタを覆って設けられ、平坦化層としての機能を有する。なお、ゲート絶縁層の数及びトランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、それぞれ単層であっても２層以上であってもよい。

トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水及び水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア層として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、表示装置の信頼性を高めることができる。

絶縁層２１１、絶縁層２１３、及び絶縁層２１５としては、それぞれ、無機絶縁膜を用いることが好ましい。無機絶縁膜としては、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などを用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の絶縁膜を２以上積層して用いてもよい。

ここで、有機絶縁膜は、無機絶縁膜に比べてバリア性が低いことが多い。そのため、有機絶縁膜は、表示装置１００Ａの端部近傍に開口を有することが好ましい。これにより、表示装置１００Ａの端部から有機絶縁膜を介して不純物が入り込むことを抑制することができる。または、有機絶縁膜の端部が表示装置１００Ａの端部よりも内側にくるように有機絶縁膜を形成し、表示装置１００Ａの端部に有機絶縁膜が露出しないようにしてもよい。

平坦化層として機能する絶縁層２１４には、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。

図１５に示す領域２２８では、絶縁層２１４に開口が形成されている。これにより、絶縁層２１４に有機絶縁膜を用いる場合であっても、絶縁層２１４を介して外部から発光素子１３０に不純物が入り込むことを抑制できる。従って、表示装置１００Ａの信頼性を高めることができる。

トランジスタ２０１及びトランジスタ２０５は、ゲートとして機能する導電層２２１、ゲート絶縁層として機能する絶縁層２１１、ソース及びドレインとして機能する導電層２２２ａ及び導電層２２２ｂ、半導体層２３１、ゲート絶縁層として機能する絶縁層２１３、並びに、ゲートとして機能する導電層２２３を有する。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを付している。絶縁層２１１は、導電層２２１と半導体層２３１との間に位置する。絶縁層２１３は、導電層２２３と半導体層２３１との間に位置する。

本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタ、スタガ型のトランジスタ、逆スタガ型のトランジスタ等を用いることができる。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルが形成される半導体層の上下にゲートが設けられていてもよい。

トランジスタ２０１及びトランジスタ２０５には、チャネルが形成される半導体層を２つのゲートで挟持する構成が適用されている。２つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。または、２つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御してもよい。

トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、単結晶半導体、または単結晶以外の結晶性を有する半導体（微結晶半導体、多結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体）のいずれを用いてもよい。単結晶半導体または結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。

トランジスタの半導体層は、金属酸化物を有することが好ましい。つまり、本実施の形態の表示装置は、金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタを用いることが好ましい。または、トランジスタの半導体層は、シリコンを有していてもよい。シリコンとしては、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン（低温ポリシリコン、単結晶シリコンなど）などが挙げられる。

基板４５１の、基板１２０が重ならない領域には、接続部２０４が設けられている。接続部２０４では、配線４６５が導電層４６６及び接続層２４２を介してＦＰＣ４７２と電気的に接続されている。導電層４６６は、画素電極と同一の工程で形成できる。接続部２０４の上面では、導電層４６６が露出している。これにより、接続部２０４とＦＰＣ４７２とを接続層２４２を介して電気的に接続することができる。

発光素子を覆う保護層１３１を設けることで、発光素子に水などの不純物が入り込むことを抑制し、発光素子の信頼性を高めることができる。

表示装置１００Ａの端部近傍の領域２２８において、絶縁層２１４の開口を介して、絶縁層２１５と保護層１３１とが互いに接することが好ましい。特に、絶縁層２１５が有する無機絶縁膜と保護層１３１が有する無機絶縁膜とが互いに接することが好ましい。これにより、有機絶縁膜を介して外部から発光素子１３０に不純物が入り込むことを抑制することができる。従って、表示装置１００Ａの信頼性を高めることができる。

基板４５１及び基板１２０には、それぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂、金属、合金、半導体などを用いることができる。発光素子からの光を取り出す側の基板には、該光を透過する材料を用いる。基板４５１及び基板１２０に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。また、基板４５１または基板１２０として偏光板を用いてもよい。

基板４５１及び基板１２０としては、それぞれ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）樹脂、ポリアミド樹脂（ナイロン、アラミド等）、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、ＡＢＳ樹脂、セルロースナノファイバー等を用いることができる。基板４５１及び基板１２０の一方または双方に、可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いてもよい。

接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）樹脂、ＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。

接続層２４２としては、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　Ｆｉｌｍ）、異方性導電ペースト（ＡＣＰ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　Ｐａｓｔｅ）などを用いることができる。

表示装置１００Ａは、発光素子１３０と基板１２０の間に、着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃが設けられる。前述のように、トランジスタは、基板４５１上に形成される。以上より、表示装置１００Ａは、トップエミッション型の表示装置とすることができる。よって、表示装置１００Ａにおいて、基板４５１は透光性を有さない基板とすることができる。

［表示装置１００Ｂ］
図１６は、表示装置１００Ｂの構成例を示す断面図である。表示装置１００Ｂは、表示装置１００Ａの変形例であり、着色層１３３ａ、着色層１３３ｂ、及び着色層１３３ｃが、発光素子１３０と基板４５１の間に設けられる点が、表示装置１００Ａと異なる。つまり、表示装置１００Ｂは、ボトムエミッション型の表示装置とすることができる。よって、表示装置１００Ｂにおいて、基板１２０は透光性を有さない基板とすることができる。

［表示装置１００Ｃ］
図１７に示す表示装置１００Ｃは、基板３０１、発光素子１３０、容量２４０、及び、トランジスタ３１０を有する。

基板３０１は、図１４Ａ及び図１４Ｂにおける基板２９１に相当する。基板３０１から絶縁層２５５までの積層構造が、実施の形態１におけるトランジスタを含む層１０１に相当する。

トランジスタ３１０は、基板３０１にチャネル形成領域を有するトランジスタである。基板３０１としては、例えば単結晶シリコン基板などの半導体基板を用いることができる。トランジスタ３１０は、基板３０１の一部、導電層３１１、低抵抗領域３１２、絶縁層３１３、及び、絶縁層３１４を有する。導電層３１１は、ゲート電極として機能する。絶縁層３１３は、基板３０１と導電層３１１の間に位置し、ゲート絶縁層として機能する。低抵抗領域３１２は、基板３０１に不純物がドープされた領域であり、ソースまたはドレインとして機能する。絶縁層３１４は、導電層３１１の側面を覆って設けられる。

また、基板３０１に埋め込まれるように、隣接する２つのトランジスタ３１０の間に素子分離層３１５が設けられている。

また、トランジスタ３１０を覆って絶縁層２６１が設けられ、絶縁層２６１上に容量２４０が設けられている。

容量２４０は、導電層２４１と、導電層２４５と、これらの間に位置する絶縁層２４３を有する。導電層２４１は容量２４０の一方の電極として機能し、導電層２４５は容量２４０の他方の電極として機能し、絶縁層２４３は容量２４０の誘電体として機能する。

導電層２４１は絶縁層２６１上に設けられ、絶縁層２５４に埋め込まれている。導電層２４１は、絶縁層２６１に埋め込まれたプラグ２７１によってトランジスタ３１０のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。絶縁層２４３は導電層２４１を覆って設けられる。導電層２４５は、絶縁層２４３を介して導電層２４１と重なる領域に設けられている。

容量２４０を覆って、絶縁層２５５が設けられ、絶縁層２５５上に発光素子１３０等が設けられている。また、発光素子１３０上にはそれぞれ、保護層１３１が設けられている。保護層１３１上には保護層１３２が設けられており、保護層１３２上には、樹脂層１１９によって基板１２０が貼り合わされている。発光素子から基板１２０までの構成要素についての詳細は、実施の形態１を参照することができる。基板１２０は、図１４Ａにおける基板２９２に相当する。

発光素子の画素電極は、絶縁層２５５、及び絶縁層２４３に埋め込まれたプラグ２５６、絶縁層２５４に埋め込まれた導電層２４１、及び、絶縁層２６１に埋め込まれたプラグ２７１によってトランジスタ３１０のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。

［表示装置１００Ｄ］
図１８に示す表示装置１００Ｄは、トランジスタの構成が異なる点で、表示装置１００Ｃと主に相違する。なお、表示装置１００Ｃと同様の部分については説明を省略することがある。

トランジスタ３２０は、チャネルが形成される半導体層に、金属酸化物が適用されたトランジスタ（ＯＳトランジスタ）である。

トランジスタ３２０は、半導体層３２１、絶縁層３２３、導電層３２４、一対の導電層３２５、絶縁層３２６、及び、導電層３２７を有する。

基板３３１は、図１４Ａ及び図１４Ｂにおける基板２９１に相当する。基板３３１から絶縁層２５５までの積層構造が、実施の形態１におけるトランジスタを含む層１０１に相当する。基板３３１としては、絶縁性基板または半導体基板を用いることができる。

基板３３１上に、絶縁層３３２が設けられている。絶縁層３３２は、基板３３１から水または水素などの不純物がトランジスタ３２０に拡散すること、及び半導体層３２１から絶縁層３３２側に酸素が脱離することを防ぐバリア層として機能する。絶縁層３３２としては、例えば酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、窒化シリコン膜などの、酸化シリコン膜よりも水素または酸素が拡散しにくい膜を用いることができる。

絶縁層３３２上に導電層３２７が設けられ、導電層３２７を覆って絶縁層３２６が設けられている。導電層３２７は、トランジスタ３２０の第１のゲート電極として機能し、絶縁層３２６の一部は、第１のゲート絶縁層として機能する。絶縁層３２６の少なくとも半導体層３２１と接する部分には、酸化シリコン膜等の酸化物絶縁膜を用いることが好ましい。絶縁層３２６の上面は、平坦化されていることが好ましい。

半導体層３２１は、絶縁層３２６上に設けられる。半導体層３２１は、半導体特性を有する金属酸化物膜を有することが好ましい。

一対の導電層３２５は、半導体層３２１上に接して設けられ、ソース電極及びドレイン電極として機能する。

また、一対の導電層３２５の上面及び側面、並びに半導体層３２１の側面等を覆って絶縁層３２８が設けられ、絶縁層３２８上に絶縁層２６４が設けられている。絶縁層３２８は、半導体層３２１に絶縁層２６４等から水または水素などの不純物が拡散すること、及び半導体層３２１から酸素が脱離することを防ぐバリア層として機能する。絶縁層３２８としては、上記絶縁層３３２と同様の絶縁膜を用いることができる。

絶縁層３２８及び絶縁層２６４に、半導体層３２１に達する開口が設けられている。当該開口の内部において、絶縁層２６４、絶縁層３２８、及び導電層３２５の側面、並びに半導体層３２１の上面に接する絶縁層３２３と、導電層３２４とが埋め込まれている。導電層３２４は、第２のゲート電極として機能し、絶縁層３２３は第２のゲート絶縁層として機能する。

導電層３２４の上面、絶縁層３２３の上面、及び絶縁層２６４の上面は、それぞれ高さが概略一致するように平坦化処理され、これらを覆って絶縁層３２９及び絶縁層２６５が設けられている。

絶縁層２６４及び絶縁層２６５は、層間絶縁層として機能する。絶縁層３２９は、トランジスタ３２０に絶縁層２６５等から水または水素などの不純物が拡散することを防ぐバリア層として機能する。絶縁層３２９としては、上記絶縁層３２８及び絶縁層３３２と同様の絶縁膜を用いることができる。

一対の導電層３２５の一方と電気的に接続するプラグ２７４は、絶縁層２６５、絶縁層３２９、絶縁層２６４、及び絶縁層３２８に埋め込まれるように設けられている。ここで、プラグ２７４は、絶縁層２６５、絶縁層３２９、絶縁層２６４、及び絶縁層３２８のそれぞれの開口の側面、及び導電層３２５の上面の一部を覆う導電層２７４ａと、導電層２７４ａの上面に接する導電層２７４ｂとを有することが好ましい。このとき、導電層２７４ａとして、水素及び酸素が拡散しにくい導電材料を用いることが好ましい。

その他、トランジスタを含む層１０１は、各種無機絶縁膜を有していてもよい。無機絶縁膜としては、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などを用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の絶縁膜を２以上積層して用いてもよい。

表示装置１００Ｄにおける、絶縁層２５４から基板１２０までの構成は、表示装置１００Ｃと同様である。

［表示装置１００Ｅ］
図１９に示す表示装置１００Ｅは、基板３０１にチャネルが形成されるトランジスタ３１０と、チャネルが形成される半導体層に金属酸化物を含むトランジスタ３２０とが積層された構成を有する。なお、表示装置１００Ｃ、及び表示装置１００Ｄと同様の部分については説明を省略することがある。

トランジスタ３１０を覆って絶縁層２６１が設けられ、絶縁層２６１上に導電層２５１が設けられている。また導電層２５１を覆って絶縁層２６２が設けられ、絶縁層２６２上に導電層２５２が設けられている。導電層２５１及び導電層２５２は、それぞれ配線として機能する。また、導電層２５２を覆って絶縁層２６３及び絶縁層３３２が設けられ、絶縁層３３２上にトランジスタ３２０が設けられている。また、トランジスタ３２０を覆って絶縁層２６５が設けられ、絶縁層２６５上に容量２４０が設けられている。容量２４０とトランジスタ３２０とは、プラグ２７４により電気的に接続されている。

トランジスタ３２０は、画素回路を構成するトランジスタとして用いることができる。また、トランジスタ３１０は、画素回路を構成するトランジスタ、または当該画素回路を駆動するための駆動回路（ゲート線駆動回路、ソース線駆動回路）を構成するトランジスタとして用いることができる。また、トランジスタ３１０及びトランジスタ３２０は、演算回路または記憶回路などの各種回路を構成するトランジスタとして用いることができる。

このような構成とすることで、発光素子の直下に画素回路だけでなく駆動回路等を形成することができるため、表示領域の周辺に駆動回路を設ける場合に比べて、表示装置を小型化することが可能となる。

本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。

（実施の形態３）
本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したＯＳトランジスタに用いることができる金属酸化物について説明する。

金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズなどが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウム、コバルトなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。

また、金属酸化物は、スパッタリング法、ＭＯＣＶＤ法などのＣＶＤ法、または、ＡＬＤ法などにより形成することができる。

＜結晶構造の分類＞
酸化物半導体の結晶構造としては、アモルファス（ｃｏｍｐｌｅｔｅｌｙ　ａｍｏｒｐｈｏｕｓを含む）、ＣＡＡＣ（ｃ−ａｘｉｓ−ａｌｉｇｎｅｄ　ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）、ｎｃ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）、ＣＡＣ（ｃｌｏｕｄ−ａｌｉｇｎｅｄ　ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）、単結晶（ｓｉｎｇｌｅ　ｃｒｙｓｔａｌ）、及び多結晶（ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌ）等が挙げられる。

なお、膜または基板の結晶構造は、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ　Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）スペクトルを用いて評価することができる。例えば、ＧＩＸＤ（Ｇｒａｚｉｎｇ−Ｉｎｃｉｄｅｎｃｅ　ＸＲＤ）測定で得られるＸＲＤスペクトルを用いて評価することができる。なお、ＧＩＸＤ法は、薄膜法またはＳｅｅｍａｎｎ−Ｂｏｈｌｉｎ法ともいう。

例えば、石英ガラス基板では、ＸＲＤスペクトルのピークの形状がほぼ左右対称である。一方で、結晶構造を有するＩＧＺＯ膜では、ＸＲＤスペクトルのピークの形状が左右非対称である。ＸＲＤスペクトルのピークの形状が左右非対称であることは、膜中または基板中の結晶の存在を明示している。別言すると、ＸＲＤスペクトルのピークの形状で左右対称でないと、膜または基板は非晶質状態であるとは言えない。

また、膜または基板の結晶構造は、極微電子線回折法（ＮＢＥＤ：Ｎａｎｏ　Ｂｅａｍ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）によって観察される回折パターン（極微電子線回折パターンともいう）にて評価することができる。例えば、石英ガラス基板の回折パターンでは、ハローが観察され、石英ガラスは、非晶質状態であることが確認できる。また、室温成膜したＩＧＺＯ膜の回折パターンでは、ハローではなく、スポット状のパターンが観察される。このため、室温成膜したＩＧＺＯ膜は、結晶状態でもなく、非晶質状態でもない、中間状態であり、非晶質状態であると結論することはできないと推定される。

＜＜酸化物半導体の構造＞＞
なお、酸化物半導体は、構造に着目した場合、上記とは異なる分類となる場合がある。例えば、酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、上述のＣＡＡＣ−ＯＳ、及びｎｃ−ＯＳがある。また、非単結晶酸化物半導体には、多結晶酸化物半導体、擬似非晶質酸化物半導体（ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ−ｌｉｋｅ　ｏｘｉｄｅ　ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、非晶質酸化物半導体、などが含まれる。

ここで、上述のＣＡＡＣ−ＯＳ、ｎｃ−ＯＳ、及びａ−ｌｉｋｅ　ＯＳの詳細について、説明を行う。

［ＣＡＡＣ−ＯＳ］
ＣＡＡＣ−ＯＳは、複数の結晶領域を有し、当該複数の結晶領域はｃ軸が特定の方向に配向している酸化物半導体である。なお、特定の方向とは、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の厚さ方向、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面の法線方向、またはＣＡＡＣ−ＯＳ膜の表面の法線方向である。また、結晶領域とは、原子配列に周期性を有する領域である。なお、原子配列を格子配列とみなすと、結晶領域とは、格子配列の揃った領域でもある。さらに、ＣＡＡＣ−ＯＳは、ａ−ｂ面方向において複数の結晶領域が連結する領域を有し、当該領域は歪みを有する場合がある。なお、歪みとは、複数の結晶領域が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。つまり、ＣＡＡＣ−ＯＳは、ｃ軸配向し、ａ−ｂ面方向には明らかな配向をしていない酸化物半導体である。

なお、上記複数の結晶領域のそれぞれは、１つまたは複数の微小な結晶（最大径が１０ｎｍ未満である結晶）で構成される。結晶領域が１つの微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の最大径は１０ｎｍ未満となる。また、結晶領域が多数の微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の大きさは、数十ｎｍ程度となる場合がある。

また、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物（元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズ、チタンなどから選ばれた一種、または複数種）において、ＣＡＡＣ−ＯＳは、インジウム（Ｉｎ）、及び酸素を有する層（以下、Ｉｎ層）と、元素Ｍ、亜鉛（Ｚｎ）、及び酸素を有する層（以下、（Ｍ，Ｚｎ）層）とが積層した、層状の結晶構造（層状構造ともいう）を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Ｍは、互いに置換可能である。よって、（Ｍ，Ｚｎ）層にはインジウムが含まれる場合がある。また、Ｉｎ層には元素Ｍが含まれる場合がある。なお、Ｉｎ層にはＺｎが含まれる場合もある。当該層状構造は、例えば、高分解能ＴＥＭ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）像において、格子像として観察される。

ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に対し、例えば、ＸＲＤ装置を用いて構造解析を行うと、θ／２θスキャンを用いたＯｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ　ＸＲＤ測定では、ｃ軸配向を示すピークが２θ＝３１°またはその近傍に検出される。なお、ｃ軸配向を示すピークの位置（２θの値）は、ＣＡＡＣ−ＯＳを構成する金属元素の種類、組成などにより変動する場合がある。

また、例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の電子線回折パターンにおいて、複数の輝点（スポット）が観測される。なお、あるスポットと別のスポットとは、試料を透過した入射電子線のスポット（ダイレクトスポットともいう）を対称中心として、点対称の位置に観測される。

上記特定の方向から結晶領域を観察した場合、当該結晶領域内の格子配列は、六方格子を基本とするが、単位格子は正六角形とは限らず、非正六角形である場合がある。また、上記歪みにおいて、五角形、七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、ＣＡＡＣ−ＯＳにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界（グレインバウンダリー）を確認することはできない。即ち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、ＣＡＡＣ−ＯＳが、ａ−ｂ面方向において酸素原子の配列が稠密でないこと、金属原子が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためと考えられる。

なお、明確な結晶粒界が確認される結晶構造は、いわゆる多結晶（ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌ）と呼ばれる。結晶粒界は、再結合中心となり、キャリアが捕獲されトランジスタのオン電流の低下、電界効果移動度の低下などを引き起こす可能性が高い。よって、明確な結晶粒界が確認されないＣＡＡＣ−ＯＳは、トランジスタの半導体層に好適な結晶構造を有する結晶性の酸化物の一つである。なお、ＣＡＡＣ−ＯＳを構成するには、Ｚｎを有する構成が好ましい。例えば、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物、及びＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物は、Ｉｎ酸化物よりも結晶粒界の発生を抑制できるため好適である。

ＣＡＡＣ−ＯＳは、結晶性が高く、明確な結晶粒界が確認されない酸化物半導体である。よって、ＣＡＡＣ−ＯＳは、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入、欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ−ＯＳは不純物及び欠陥（酸素欠損など）の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。また、ＣＡＡＣ−ＯＳは、製造工程における高い温度（所謂サーマルバジェット）に対しても安定である。従って、ＯＳトランジスタにＣＡＡＣ−ＯＳを用いると、製造工程の自由度を広げることが可能となる。

［ｎｃ−ＯＳ］
ｎｃ−ＯＳは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。別言すると、ｎｃ−ＯＳは、微小な結晶を有する。なお、当該微小な結晶の大きさは、例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下であることから、当該微小な結晶をナノ結晶ともいう。また、ｎｃ−ＯＳは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。従って、ｎｃ−ＯＳは、分析方法によっては、ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳまたは非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。例えば、ｎｃ−ＯＳ膜に対し、ＸＲＤ装置を用いて構造解析を行うと、θ／２θスキャンを用いたＯｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ　ＸＲＤ測定では、結晶性を示すピークが検出されない。また、ｎｃ−ＯＳ膜に対し、ナノ結晶よりも大きいプローブ径（例えば５０ｎｍ以上）の電子線を用いる電子線回折（制限視野電子線回折ともいう。）を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、ｎｃ−ＯＳ膜に対し、ナノ結晶の大きさと近いかナノ結晶より小さいプローブ径（例えば１ｎｍ以上３０ｎｍ以下）の電子線を用いる電子線回折（ナノビーム電子線回折ともいう。）を行うと、ダイレクトスポットを中心とするリング状の領域内に複数のスポットが観測される電子線回折パターンが取得される場合がある。

［ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳ］
ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳは、ｎｃ−ＯＳと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳは、鬆または低密度領域を有する。即ち、ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳは、ｎｃ−ＯＳ及びＣＡＡＣ−ＯＳと比べて、結晶性が低い。また、ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳは、ｎｃ−ＯＳ及びＣＡＡＣ−ＯＳと比べて、膜中の水素濃度が高い。

＜＜酸化物半導体の構成＞＞
次に、上述のＣＡＣ−ＯＳの詳細について、説明を行う。なお、ＣＡＣ−ＯＳは材料構成に関する。

［ＣＡＣ−ＯＳ］
ＣＡＣ−ＯＳとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、０．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは、１ｎｍ以上３ｎｍ以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つまたは複数の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、０．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは、１ｎｍ以上３ｎｍ以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。

さらに、ＣＡＣ−ＯＳとは、第１の領域と、第２の領域と、に材料が分離することでモザイク状となり、当該第１の領域が、膜中に分布した構成（以下、クラウド状ともいう。）である。つまり、ＣＡＣ−ＯＳは、当該第１の領域と、当該第２の領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。

ここで、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物におけるＣＡＣ−ＯＳを構成する金属元素に対するＩｎ、Ｇａ、及びＺｎの原子数比のそれぞれを、［Ｉｎ］、［Ｇａ］、及び［Ｚｎ］と表記する。例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物におけるＣＡＣ−ＯＳにおいて、第１の領域は、［Ｉｎ］が、ＣＡＣ−ＯＳ膜の組成における［Ｉｎ］よりも大きい領域である。また、第２の領域は、［Ｇａ］が、ＣＡＣ−ＯＳ膜の組成における［Ｇａ］よりも大きい領域である。または、例えば、第１の領域は、［Ｉｎ］が、第２の領域における［Ｉｎ］よりも大きく、且つ、［Ｇａ］が、第２の領域における［Ｇａ］よりも小さい領域である。また、第２の領域は、［Ｇａ］が、第１の領域における［Ｇａ］よりも大きく、且つ、［Ｉｎ］が、第１の領域における［Ｉｎ］よりも小さい領域である。

具体的には、上記第１の領域は、インジウム酸化物、インジウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。また、上記第２の領域は、ガリウム酸化物、ガリウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。つまり、上記第１の領域を、Ｉｎを主成分とする領域と言い換えることができる。また、上記第２の領域を、Ｇａを主成分とする領域と言い換えることができる。

なお、上記第１の領域と、上記第２の領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。

また、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物におけるＣＡＣ−ＯＳとは、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎ、及びＯを含む材料構成において、一部にＧａを主成分とする領域と、一部にＩｎを主成分とする領域とが、それぞれモザイク状であり、これらの領域がランダムに存在している構成をいう。よって、ＣＡＣ−ＯＳは、金属元素が不均一に分布した構造を有していると推測される。

ＣＡＣ−ＯＳは、例えば基板を加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、ＣＡＣ−ＯＳをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス（代表的にはアルゴン）、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比を０％以上３０％未満、好ましくは０％以上１０％以下とすることが好ましい。

また、例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物におけるＣＡＣ−ＯＳでは、エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ：Ｅｎｅｒｇｙ　Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ　Ｘ−ｒａｙ　ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて取得したＥＤＸマッピングにより、Ｉｎを主成分とする領域（第１の領域）と、Ｇａを主成分とする領域（第２の領域）とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。

ここで、第１の領域は、第２の領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、第１の領域を、キャリアが流れることにより、金属酸化物としての導電性が発現する。従って、第１の領域が、金属酸化物中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度（μ）が実現できる。

一方、第２の領域は、第１の領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、第２の領域が、金属酸化物中に分布することで、リーク電流を抑制することができる。

従って、ＣＡＣ−ＯＳをトランジスタに用いる場合、第１の領域に起因する導電性と、第２の領域に起因する絶縁性とが、相補的に作用することにより、スイッチングさせる機能（Ｏｎ／Ｏｆｆさせる機能）をＣＡＣ−ＯＳに付与することができる。つまり、ＣＡＣ−ＯＳとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。導電性の機能と絶縁性の機能とを分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。よって、ＣＡＣ−ＯＳをトランジスタに用いることで、高いオン電流（Ｉ_ｏｎ）、高い電界効果移動度（μ）、及び良好なスイッチング動作を実現することができる。

また、ＣＡＣ−ＯＳを用いたトランジスタは、信頼性が高い。従って、ＣＡＣ−ＯＳは、表示装置をはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。

酸化物半導体は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、ａ−ｌｉｋｅ　ＯＳ、ＣＡＣ−ＯＳ、ｎｃ−ＯＳ、ＣＡＡＣ−ＯＳのうち、二種以上を有していてもよい。

＜酸化物半導体を有するトランジスタ＞
続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。

上記酸化物半導体をトランジスタに用いることで、高い電界効果移動度のトランジスタを実現することができる。また、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。

トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。例えば、酸化物半導体のキャリア濃度は１×１０^１７ｃｍ^−３以下、好ましくは１×１０^１５ｃｍ^−３以下、さらに好ましくは１×１０^１３ｃｍ^−３以下、より好ましくは１×１０^１１ｃｍ^−３以下、さらに好ましくは１×１０^１０ｃｍ^−３未満であり、１×１０^−９ｃｍ^−３以上である。なお、酸化物半導体膜のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体膜中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性と言う。なお、キャリア濃度の低い酸化物半導体を、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶ場合がある。

また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。

また、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル形成領域が形成されるトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。

従って、トランジスタの電気特性を安定にするためには、酸化物半導体中の不純物濃度を低減することが有効である。また、酸化物半導体中の不純物濃度を低減するためには、近接する膜中の不純物濃度も低減することが好ましい。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。

＜不純物＞
ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。

酸化物半導体において、第１４族元素の一つであるシリコンまたは炭素が含まれると、酸化物半導体において欠陥準位が形成される。このため、酸化物半導体におけるシリコンまたは炭素の濃度と、酸化物半導体との界面近傍のシリコンまたは炭素の濃度（二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ　Ｉｏｎ　Ｍａｓｓ　Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により得られる濃度）を、２×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下、好ましくは２×１０^１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下とする。

また、酸化物半導体にアルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。従って、アルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、ＳＩＭＳにより得られる酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、１×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下、好ましくは２×１０^１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下にする。

また、酸化物半導体において、窒素が含まれると、キャリアである電子が生じ、キャリア濃度が増加し、ｎ型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を半導体に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。または、酸化物半導体において、窒素が含まれると、トラップ準位が形成される場合がある。この結果、トランジスタの電気特性が不安定となる場合がある。このため、ＳＩＭＳにより得られる酸化物半導体中の窒素濃度を、５×１０^１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満、好ましくは５×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下、より好ましくは１×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下、さらに好ましくは５×１０^１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下にする。

また、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、ＳＩＭＳにより得られる水素濃度を、１×１０^２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満、好ましくは１×１０^１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満、より好ましくは５×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満、さらに好ましくは１×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満にする。

不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。

（実施の形態４）
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図２０乃至図２４を用いて説明する。

本実施の形態の電子機器は、表示部に本発明の一態様の表示装置を有する。本発明の一態様の表示装置は、高精細化及び高解像度化が容易である。したがって、様々な電子機器の表示部に用いることができる。

電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。

特に、本発明の一態様の表示装置は、精細度を高めることが可能なため、比較的小さな表示部を有する電子機器に好適に用いることができる。このような電子機器としては、例えば、腕時計型及びブレスレット型の情報端末機（ウェアラブル機器）、並びに、ヘッドマウントディスプレイなどのＶＲ向け機器、メガネ型のＡＲ向け機器、及び、ＭＲ向け機器など、頭部に装着可能なウェアラブル機器等が挙げられる。

本発明の一態様の表示装置は、ＨＤ（画素数１２８０×７２０）、ＦＨＤ（画素数１９２０×１０８０）、ＷＱＨＤ（画素数２５６０×１４４０）、ＷＱＸＧＡ（画素数２５６０×１６００）、４Ｋ（画素数３８４０×２１６０）、８Ｋ（画素数７６８０×４３２０）といった極めて高い解像度を有していることが好ましい。特に４Ｋ、８Ｋ、またはそれ以上の解像度とすることが好ましい。また、本発明の一態様の表示装置における画素密度（精細度）は、１００ｐｐｉ以上が好ましく、３００ｐｐｉ以上が好ましく、５００ｐｐｉ以上がより好ましく、１０００ｐｐｉ以上がより好ましく、２０００ｐｐｉ以上がより好ましく、３０００ｐｐｉ以上がより好ましく、５０００ｐｐｉ以上がより好ましく、７０００ｐｐｉ以上がさらに好ましい。このように高い解像度及び高い精細度の一方または双方を有する表示装置を用いることで、携帯型または家庭用途などのパーソナルユースの電子機器において、臨場感及び奥行き感などをより高めることが可能となる。また、本発明の一態様の表示装置の画面比率（アスペクト比）については、特に限定はない。例えば、表示装置は、１：１（正方形）、４：３、１６：９、１６：１０など様々な画面比率に対応することができる。

本実施の形態の電子機器は、センサ（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの）を有していてもよい。

本実施の形態の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。

図２０Ａ、図２０Ｂ及び図２１Ａ、図２１Ｂを用いて、頭部に装着可能なウェアラブル機器の一例を説明する。これらウェアラブル機器は、ＡＲのコンテンツを表示する機能、及びＶＲのコンテンツを表示する機能の一方または双方を有する。なお、これらウェアラブル機器は、ＡＲ、ＶＲの他に、ＳＲまたはＭＲのコンテンツを表示する機能を有していてもよい。電子機器が、ＡＲ、ＶＲ、ＳＲ、ＭＲなどのコンテンツを表示する機能を有することで、使用者の没入感を高めることが可能となる。

図２０Ａに示す電子機器７００Ａ、及び、図２０Ｂに示す電子機器７００Ｂは、それぞれ、一対の表示パネル７５１と、一対の筐体７２１と、通信部（図示しない）と、一対の装着部７２３と、制御部（図示しない）と、撮像部（図示しない）と、一対の光学部材７５３と、フレーム７５７と、一対の鼻パッド７５８と、を有する。

表示パネル７５１には、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。したがって極めて精細度の高い表示が可能な電子機器とすることができる。

電子機器７００Ａ、及び、電子機器７００Ｂは、それぞれ、光学部材７５３の表示領域７５６に、表示パネル７５１で表示した画像を投影することができる。光学部材７５３は透光性を有するため、使用者は光学部材７５３を通して視認される透過像に重ねて、表示領域７５６に表示された画像を見ることができる。したがって、電子機器７００Ａ、及び、電子機器７００Ｂは、それぞれ、ＡＲ表示が可能な電子機器である。

電子機器７００Ａ、及び、電子機器７００Ｂには、撮像部として、前方を撮像することのできるカメラが設けられていてもよい。また、電子機器７００Ａ、及び、電子機器７００Ｂは、それぞれ、ジャイロセンサなどの加速度センサを備えることで、使用者の頭部の向きを検知して、その向きに応じた画像を表示領域７５６に表示することもできる。

通信部は無線通信機を有し、当該無線通信機により映像信号等を供給することができる。なお、無線通信機に代えて、または無線通信機に加えて、映像信号及び電源電位が供給されるケーブルを接続可能なコネクタを備えていてもよい。

また、電子機器７００Ａ、及び、電子機器７００Ｂには、バッテリが設けられており、無線及び有線の一方または双方によって充電することができる。

筐体７２１には、タッチセンサモジュールが設けられていてもよい。タッチセンサモジュールは、筐体７２１の外側の面がタッチされることを検出する機能を有する。タッチセンサモジュールにより、使用者のタップ操作またはスライド操作などを検出し、様々な処理を実行することができる。例えば、タップ操作によって動画の一時停止または再開などの処理を実行することが可能となり、スライド操作により、早送りまたは早戻しの処理を実行することなどが可能となる。また、２つの筐体７２１のそれぞれにタッチセンサモジュールを設けることで、操作の幅を広げることができる。

タッチセンサモジュールとしては、様々なタッチセンサを適用することができる。例えば、静電容量方式、抵抗膜方式、赤外線方式、電磁誘導方式、表面弾性波方式、光学方式等、種々の方式を採用することができる。特に、静電容量方式または光学方式のセンサを、タッチセンサモジュールに適用することが好ましい。

光学方式のタッチセンサを用いる場合には、受光デバイス（受光素子ともいう）として、光電変換デバイス（光電変換素子ともいう）を用いることができる。光電変換デバイスの活性層には、無機半導体及び有機半導体の一方または双方を用いることができる。

図２１Ａに示す電子機器８００Ａ、及び、図２１Ｂに示す電子機器８００Ｂは、それぞれ、一対の表示部８２０と、筐体８２１と、通信部８２２と、一対の装着部８２３と、制御部８２４と、一対の撮像部８２５と、一対のレンズ８３２と、を有する。

表示部８２０には、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。したがって極めて精細度の高い表示が可能な電子機器とすることができる。これにより、使用者に高い没入感を感じさせることができる。

表示部８２０は、筐体８２１の内部の、レンズ８３２を通して視認できる位置に設けられる。また、一対の表示部８２０に異なる画像を表示させることで、視差を用いた３次元表示を行うこともできる。

電子機器８００Ａ、及び、電子機器８００Ｂは、それぞれ、ＶＲ向けの電子機器ということができる。電子機器８００Ａまたは電子機器８００Ｂを装着した使用者は、レンズ８３２を通して、表示部８２０に表示される画像を視認することができる。

電子機器８００Ａ、及び、電子機器８００Ｂは、それぞれ、レンズ８３２及び表示部８２０が、使用者の目の位置に応じて最適な位置となるように、これらの左右の位置を調整可能な機構を有していることが好ましい。また、レンズ８３２と表示部８２０との距離を変えることで、ピントを調整する機構を有していることが好ましい。

装着部８２３により、使用者は電子機器８００Ａまたは電子機器８００Ｂを頭部に装着することができる。なお、図２１Ａなどにおいては、メガネのつる（ジョイント、テンプルなどともいう）のような形状として例示しているがこれに限定されない。装着部８２３は、使用者が装着できればよく、例えば、ヘルメット型またはバンド型の形状としてもよい。

撮像部８２５は、外部の情報を取得する機能を有する。撮像部８２５が取得したデータは、表示部８２０に出力することができる。撮像部８２５には、イメージセンサを用いることができる。また、望遠、広角などの複数の画角に対応可能なように複数のカメラを設けてもよい。

なお、ここでは撮像部８２５を有する例を示したが、対象物の距離を測定することのできる測距センサ（以下、検知部ともよぶ）を設ければよい。すなわち、撮像部８２５は、検知部の一態様である。検知部としては、例えばイメージセンサ、または、ライダー（ＬＩＤＡＲ：Ｌｉｇｈｔ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｒａｎｇｉｎｇ）などの距離画像センサを用いることができる。カメラによって得られた画像と、距離画像センサによって得られた画像とを用いることにより、より多くの情報を取得し、より高精度なジェスチャー操作を可能とすることができる。

電子機器８００Ａは、骨伝導イヤフォンとして機能する振動機構を有していてもよい。例えば、表示部８２０、筐体８２１、及び装着部８２３のいずれか一または複数に、当該振動機構を有する構成を適用することができる。これにより、別途、ヘッドフォン、イヤフォン、またはスピーカなどの音響機器を必要とせず、電子機器８００Ａを装着しただけで映像と音声を楽しむことができる。

電子機器８００Ａ、及び、電子機器８００Ｂは、それぞれ、入力端子を有していてもよい。入力端子には映像出力機器等からの映像信号、及び、電子機器内に設けられるバッテリを充電するための電力等を供給するケーブルを接続することができる。

本発明の一態様の電子機器は、イヤフォン７５０と無線通信を行う機能を有していてもよい。イヤフォン７５０は、通信部（図示しない）を有し、無線通信機能を有する。イヤフォン７５０は、無線通信機能により、電子機器から情報（例えば音声データ）を受信することができる。例えば、図２０Ａに示す電子機器７００Ａは、無線通信機能によって、イヤフォン７５０に情報を送信する機能を有する。また、例えば、図２１Ａに示す電子機器８００Ａは、無線通信機能によって、イヤフォン７５０に情報を送信する機能を有する。

また、電子機器がイヤフォン部を有していてもよい。図２０Ｂに示す電子機器７００Ｂは、イヤフォン部７２７を有する。例えば、イヤフォン部７２７と制御部とは、互いに有線接続されている構成とすることができる。イヤフォン部７２７と制御部とをつなぐ配線の一部は、筐体７２１または装着部７２３の内部に配置されていてもよい。

同様に、図２１Ｂに示す電子機器８００Ｂは、イヤフォン部８２７を有する。例えば、イヤフォン部８２７と制御部８２４とは、互いに有線接続されている構成とすることができる。イヤフォン部８２７と制御部８２４とをつなぐ配線の一部は、筐体８２１または装着部８２３の内部に配置されていてもよい。また、イヤフォン部８２７と装着部８２３とがマグネットを有していてもよい。これにより、イヤフォン部８２７を装着部８２３に磁力によって固定することができ、収納が容易となり好ましい。

なお、電子機器は、イヤフォンまたはヘッドフォンなどを接続することができる音声出力端子を有していてもよい。また、電子機器は、音声入力端子及び音声入力機構の一方または双方を有していてもよい。音声入力機構としては、例えば、マイクなどの集音装置を用いることができる。電子機器が音声入力機構を有することで、電子機器に、いわゆるヘッドセットとしての機能を付与してもよい。

このように、本発明の一態様の電子機器としては、メガネ型（電子機器７００Ａ、及び、電子機器７００Ｂなど）と、ゴーグル型（電子機器８００Ａ、及び、電子機器８００Ｂなど）と、のどちらも好適である。

また、本発明の一態様の電子機器は、有線または無線によって、イヤフォンに情報を送信することができる。

図２２Ａに示す電子機器６５００は、スマートフォンとして用いることのできる携帯情報端末機である。

電子機器６５００は、筐体６５０１、表示部６５０２、電源ボタン６５０３、ボタン６５０４、スピーカ６５０５、マイク６５０６、カメラ６５０７、及び光源６５０８等を有する。表示部６５０２はタッチパネル機能を備える。

表示部６５０２に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。

図２２Ｂは、筐体６５０１のマイク６５０６側の端部を含む断面概略図である。

筐体６５０１の表示面側には透光性を有する保護部材６５１０が設けられ、筐体６５０１と保護部材６５１０に囲まれた空間内に、表示パネル６５１１、光学部材６５１２、タッチセンサパネル６５１３、プリント基板６５１７、バッテリ６５１８等が配置されている。

保護部材６５１０には、表示パネル６５１１、光学部材６５１２、及びタッチセンサパネル６５１３が接着層（図示しない）により固定されている。

表示部６５０２よりも外側の領域において、表示パネル６５１１の一部が折り返されており、当該折り返された部分にＦＰＣ６５１５が接続されている。ＦＰＣ６５１５には、ＩＣ６５１６が実装されている。ＦＰＣ６５１５は、プリント基板６５１７に設けられた端子に接続されている。

表示パネル６５１１には本発明の一態様のフレキシブルディスプレイを適用することができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル６５１１が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリ６５１８を搭載することもできる。また、表示パネル６５１１の一部を折り返して、画素部の裏側にＦＰＣ６５１５との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。

図２３Ａにテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置７１００は、筐体７１０１に表示部７０００が組み込まれている。ここでは、スタンド７１０３により筐体７１０１を支持した構成を示している。

表示部７０００に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。

図２３Ａに示すテレビジョン装置７１００の操作は、筐体７１０１が備える操作スイッチ、及び、別体のリモコン操作機７１１１により行うことができる。または、表示部７０００にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部７０００に触れることでテレビジョン装置７１００を操作してもよい。リモコン操作機７１１１は、当該リモコン操作機７１１１から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機７１１１が備える操作キーまたはタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部７０００に表示される映像を操作することができる。

なお、テレビジョン装置７１００は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向（送信者から受信者）または双方向（送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など）の情報通信を行うことも可能である。

図２３Ｂに、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ７２００は、筐体７２１１、キーボード７２１２、ポインティングデバイス７２１３、外部接続ポート７２１４等を有する。筐体７２１１に、表示部７０００が組み込まれている。

図２３Ｃ、図２３Ｄに、デジタルサイネージの一例を示す。

図２３Ｃに示すデジタルサイネージ７３００は、筐体７３０１、表示部７０００、及びスピーカ７３０３等を有する。さらに、ＬＥＤランプ、操作キー（電源スイッチ、または操作スイッチを含む）、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。

図２３Ｄは円柱状の柱７４０１に取り付けられたデジタルサイネージ７４００である。デジタルサイネージ７４００は、柱７４０１の曲面に沿って設けられた表示部７０００を有する。

図２３Ｃ、図２３Ｄにおいて、表示部７０００に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。

表示部７０００が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部７０００が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。

表示部７０００にタッチパネルを適用することで、表示部７０００に画像または動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。

また、図２３Ｃ、図２３Ｄに示すように、デジタルサイネージ７３００またはデジタルサイネージ７４００は、使用者が所持するスマートフォン等の情報端末機７３１１または情報端末機７４１１と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部７０００に表示される広告の情報を、情報端末機７３１１または情報端末機７４１１の画面に表示させることができる。また、情報端末機７３１１または情報端末機７４１１を操作することで、表示部７０００の表示を切り替えることができる。

また、デジタルサイネージ７３００またはデジタルサイネージ７４００に、情報端末機７３１１または情報端末機７４１１の画面を操作手段（コントローラ）としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数の使用者が同時にゲームに参加し、楽しむことができる。

図２４Ａ乃至図２４Ｆに示す電子機器は、筐体９０００、表示部９００１、スピーカ９００３、操作キー９００５（電源スイッチ、または操作スイッチを含む）、接続端子９００６、センサ９００７（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの）、マイクロフォン９００８、等を有する。

図２４Ａ乃至図２４Ｆに示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画または動画を撮影し、記録媒体（外部またはカメラに内蔵）に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。

図２４Ａ乃至図２４Ｆに示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。

図２４Ａは、携帯情報端末９１０１を示す斜視図である。携帯情報端末９１０１は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末９１０１は、スピーカ９００３、接続端子９００６、センサ９００７等を設けてもよい。また、携帯情報端末９１０１は、文字及び画像情報をその複数の面に表示することができる。図２４Ａでは３つのアイコン９０５０を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報９０５１を表示部９００１の他の面に表示することもできる。情報９０５１の一例としては、電子メール、ＳＮＳ、電話などの着信の通知、電子メールまたはＳＮＳなどの題名、送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、電波強度などがある。または、情報９０５１が表示されている位置にはアイコン９０５０などを表示してもよい。

図２４Ｂは、携帯情報端末９１０２を示す斜視図である。携帯情報端末９１０２は、表示部９００１の３面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報９０５２、情報９０５３、情報９０５４がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えば使用者は、洋服の胸ポケットに携帯情報端末９１０２を収納した状態で、携帯情報端末９１０２の上方から観察できる位置に表示された情報９０５３を確認することもできる。使用者は、携帯情報端末９１０２をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。

図２４Ｃは、腕時計型の携帯情報端末９２００を示す斜視図である。携帯情報端末９２００は、例えばスマートウォッチ（登録商標）として用いることができる。また、表示部９００１はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末９２００は、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末９２００は、接続端子９００６により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うこと、及び、充電を行うこともできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。

図２４Ｄ乃至図２４Ｆは、折り畳み可能な携帯情報端末９２０１を示す斜視図である。また、図２４Ｄは携帯情報端末９２０１を展開した状態、図２４Ｆは折り畳んだ状態、図２４Ｅは図２４Ｄと図２４Ｆの一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末９２０１は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末９２０１が有する表示部９００１は、ヒンジ９０５５によって連結された３つの筐体９０００に支持されている。例えば、表示部９００１は、曲率半径０．１ｍｍ以上１５０ｍｍ以下で曲げることができる。

１００：表示装置、１００Ａ：表示装置、１００Ｂ：表示装置、１００Ｃ：表示装置、１００Ｄ：表示装置、１００Ｅ：表示装置、１０１：層、１０３ａ：層、１０３ｂ：層、１１０：画素、１１０ａ：副画素、１１０ｂ：副画素、１１０ｃ：副画素、１１０ｄ：副画素、１１１：画素電極、１１１Ａ：導電膜、１１１Ｃ：接続電極、１１２：発光ユニット、１１２＿１：発光ユニット、１１２＿１Ａ：層、１１２＿２：発光ユニット、１１２＿２Ａ：層、１１２＿３：発光ユニット、１１３：中間層、１１３＿１：中間層、１１３＿２：中間層、１１３Ａ：中間膜、１１４：共通層、１１４ａ：層、１１５：共通電極、１１９：樹脂層、１２０：基板、１２１：側壁、１２１ａ：側壁、１２１Ａ：絶縁膜、１２１ｂ：側壁、１２１Ｂ：絶縁膜、１２５ａ：画素、１２５ｂ：画素、１３０：発光素子、１３１：保護層、１３２：保護層、１３３：着色層、１３３ａ：着色層、１３３ｂ：着色層、１３３ｃ：着色層、１３４：空隙、１４０：接続部、１４１：犠牲膜、１４３：保護膜、１４５：レジストマスク、１４７：犠牲層、１４９：保護層、１８１：層、１８２：層、１８３：発光層、１８３＿１：発光層、１８３＿２：発光層、１８３＿３：発光層、１８４：層、２０１：トランジスタ、２０４：接続部、２０５：トランジスタ、２１１：絶縁層、２１３：絶縁層、２１４：絶縁層、２１５：絶縁層、２２１：導電層、２２２ａ：導電層、２２２ｂ：導電層、２２３：導電層、２２８：領域、２３１：半導体層、２４０：容量、２４１：導電層、２４２：接続層、２４３：絶縁層、２４５：導電層、２５１：導電層、２５２：導電層、２５４：絶縁層、２５５：絶縁層、２５６：プラグ、２６１：絶縁層、２６２：絶縁層、２６３：絶縁層、２６４：絶縁層、２６５：絶縁層、２７１：プラグ、２７４：プラグ、２７４ａ：導電層、２７４ｂ：導電層、２８０：表示モジュール、２８１：表示部、２８２：回路部、２８３：画素回路部、２８３ａ：画素回路、２８４：画素部、２８５：端子部、２８６：配線部、２９０：ＦＰＣ、２９１：基板、２９２：基板、３０１：基板、３１０：トランジスタ、３１１：導電層、３１２：低抵抗領域、３１３：絶縁層、３１４：絶縁層、３１５：素子分離層、３２０：トランジスタ、３２１：半導体層、３２３：絶縁層、３２４：導電層、３２５：導電層、３２６：絶縁層、３２７：導電層、３２８：絶縁層、３２９：絶縁層、３３１：基板、３３２：絶縁層、４５１：基板、４６５：配線、４６６：導電層、４７２：ＦＰＣ、７００Ａ：電子機器、７００Ｂ：電子機器、７２１：筐体、７２３：装着部、７２７：イヤフォン部、７５０：イヤフォン、７５１：表示パネル、７５３：光学部材、７５６：表示領域、７５７：フレーム、７５８：鼻パッド、８００Ａ：電子機器、８００Ｂ：電子機器、８２０：表示部、８２１：筐体、８２２：通信部、８２３：装着部、８２４：制御部、８２５：撮像部、８２７：イヤフォン部、８３２：レンズ、６５００：電子機器、６５０１：筐体、６５０２：表示部、６５０３：電源ボタン、６５０４：ボタン、６５０５：スピーカ、６５０６：マイク、６５０７：カメラ、６５０８：光源、６５１０：保護部材、６５１１：表示パネル、６５１２：光学部材、６５１３：タッチセンサパネル、６５１５：ＦＰＣ、６５１６：ＩＣ、６５１７：プリント基板、６５１８：バッテリ、７０００：表示部、７１００：テレビジョン装置、７１０１：筐体、７１０３：スタンド、７１１１：リモコン操作機、７２００：ノート型パーソナルコンピュータ、７２１１：筐体、７２１２：キーボード、７２１３：ポインティングデバイス、７２１４：外部接続ポート、７３００：デジタルサイネージ、７３０１：筐体、７３０３：スピーカ、７３１１：情報端末機、７４００：デジタルサイネージ、７４０１：柱、７４１１：情報端末機、９０００：筐体、９００１：表示部、９００３：スピーカ、９００５：操作キー、９００６：接続端子、９００７：センサ、９００８：マイクロフォン、９０５０：アイコン、９０５１：情報、９０５２：情報、９０５３：情報、９０５４：情報、９０５５：ヒンジ、９１０１：携帯情報端末、９１０２：携帯情報端末、９２００：携帯情報端末、９２０１：携帯情報端末

Claims

　第１の発光素子と、第２の発光素子と、第１の側壁と、第２の側壁と、を有し、
　前記第１の発光素子は、第１の画素電極と、前記第１の画素電極上の第１の発光層と、前記第１の発光層上の第１の中間層と、前記第１の中間層上の第２の発光層と、前記第２の発光層上の共通電極と、を有し、
　前記第２の発光素子は、第２の画素電極と、前記第２の画素電極上の第３の発光層と、前記第３の発光層上の第２の中間層と、前記第２の中間層上の第４の発光層と、前記第４の発光層上の前記共通電極と、を有し、
　前記第１の発光素子と、前記第２の発光素子と、は隣接し、
　前記第１の側壁は、前記第１の画素電極の側面の少なくとも一部を覆い、
　前記第２の側壁は、前記第２の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う表示装置。
　請求項１において、
　前記第１の側壁と、前記第２の側壁と、の間に空隙を有する表示装置。
　第１の発光素子と、第２の発光素子と、第１の側壁と、第２の側壁と、第３の側壁と、第４の側壁と、を有し、
　前記第１の発光素子は、第１の画素電極と、前記第１の画素電極上の第１の発光層と、前記第１の発光層上の第１の中間層と、前記第１の中間層上の第２の発光層と、前記第２の発光層上の共通電極と、を有し、
　前記第２の発光素子は、第２の画素電極と、前記第２の画素電極上の第３の発光層と、前記第３の発光層上の第２の中間層と、前記第２の中間層上の第４の発光層と、前記第４の発光層上の前記共通電極と、を有し、
　前記第１の発光素子と、前記第２の発光素子と、は隣接し、
　前記第１の側壁は、前記第１の画素電極の側面、前記第１及び第２の発光層の側面、及び前記第１の中間層の側面の、少なくとも一部を覆い、
　前記第２の側壁は、前記第１の側壁の側面の少なくとも一部を覆い、
　前記第３の側壁は、前記第２の画素電極の側面、前記第３及び第４の発光層の側面、及び前記第２の中間層の側面の、少なくとも一部を覆い、
　前記第４の側壁は、前記第３の側壁の側面の少なくとも一部を覆う表示装置。
　請求項３において、
　前記第２の側壁と、前記第４の側壁と、の間に空隙を有する表示装置。
　請求項３又は４において、
　前記第２の側壁は、前記第１の側壁の上面の少なくとも一部を覆い、
　前記第４の側壁は、前記第３の側壁の上面の少なくとも一部を覆う表示装置。
　請求項１乃至５のいずれか一項において、
　前記共通電極上に、保護層を有し、
　前記第１の発光層、及び前記第２の発光層と重なる領域を有するように、前記保護層上に第１の着色層を有し、
　前記第３の発光層、及び前記第４の発光層と重なる領域を有するように、前記保護層上に第２の着色層を有し、
　前記第１の着色層と、前記第２の着色層と、は異なる色の光を透過する機能を有し、
　前記第１の発光層と、前記第３の発光層と、は同一の色の光を発する機能を有し、
　前記第２の発光層と、前記第４の発光層と、は同一の色の光を発する機能を有する表示装置。
　請求項１乃至６のいずれか一項において、
　前記第２及び第４の発光層と、前記共通電極と、の間に共通層を有し、
　前記共通層は、前記第１及び第２の発光素子において、電子注入層又は正孔注入層の一方としての機能を有する表示装置。
　請求項１乃至７のいずれか一項において、
　前記第１の画素電極、及び前記第２の画素電極は、絶縁層上に設けられ、
　前記絶縁層は、前記第１の画素電極と重なる領域に第１の凸部を有し、
　前記絶縁層は、前記第２の画素電極と重なる領域に第２の凸部を有する表示装置。
　請求項１乃至８のいずれか一に記載の表示装置と、
　コネクタ及び集積回路のうち少なくとも一方と、を有する、表示モジュール。
　請求項９に記載の表示モジュールと、
　筐体、バッテリ、カメラ、スピーカ、及びマイクのうち少なくとも一つと、を有する、電子機器。
　絶縁層を形成し、
　前記絶縁層上に導電膜、第１の発光膜、中間膜、第２の発光膜、及び犠牲膜を順に成膜し、
　前記犠牲膜、前記第２の発光膜、前記中間膜、前記第１の発光膜、及び前記導電膜をエッチングして、前記絶縁層上の第１の画素電極、及び第２の画素電極と、前記第１の画素電極上の第１の発光層、及び前記第２の画素電極上の第２の発光層と、前記第１の発光層上の第１の中間層、及び前記第２の発光層上の第２の中間層と、前記第１の中間層上の第３の発光層、及び前記第２の中間層上の第４の発光層と、前記第３の発光層上の第１の犠牲層、及び前記第４の発光層上の第２の犠牲層と、を形成し、
　前記第１及び第２の画素電極の側面と、前記第１乃至第４の発光層の側面と、前記第１及び第２の中間層の側面と、前記第１及び第２の犠牲層の側面及び上面と、の少なくとも一部を覆う絶縁膜を成膜し、
　前記絶縁膜をエッチングして、前記第１の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第１の側壁と、前記第２の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第２の側壁と、を形成し、
　前記第１の犠牲層、及び前記第２の犠牲層を除去し、
　前記第３の発光層上、及び前記第４の発光層上に共通電極を形成する表示装置の作製方法。
　絶縁層を形成し、
　前記絶縁層上に導電膜、第１の発光膜、中間膜、第２の発光膜、及び犠牲膜を順に成膜し、
　前記犠牲膜、前記第２の発光膜、前記中間膜、前記第１の発光膜、及び前記導電膜をエッチングして、前記絶縁層上の第１の画素電極、及び第２の画素電極と、前記第１の画素電極上の第１の発光層、及び前記第２の画素電極上の第２の発光層と、前記第１の発光層上の第１の中間層、及び前記第２の発光層上の第２の中間層と、前記第１の中間層上の第３の発光層、及び前記第２の中間層上の第４の発光層と、前記第３の発光層上の第１の犠牲層、及び前記第４の発光層上の第２の犠牲層と、を形成し、
　前記第１及び第２の画素電極の側面と、前記第１乃至第４の発光層の側面と、前記第１及び第２の中間層の側面と、前記第１及び第２の犠牲層の側面及び上面と、の少なくとも一部を覆う第１の絶縁膜を成膜し、
　前記第１の絶縁膜上に第２の絶縁膜を成膜し、
　前記第１の絶縁膜、及び前記第２の絶縁膜をエッチングして、前記第１の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第１の側壁と、前記第２の画素電極の側面の少なくとも一部を覆う第２の側壁と、前記第１の側壁の側面の少なくとも一部を覆う第３の側壁と、前記第２の側壁の側面の少なくとも一部を覆う第４の側壁と、を形成し、
　前記第１の犠牲層、及び前記第２の犠牲層を除去し、
　前記第３の発光層上、及び前記第４の発光層上に共通電極を形成する表示装置の作製方法。
　請求項１１又は１２において、
　前記第１の犠牲層、及び前記第２の犠牲層をマスクに用いて、前記導電膜をエッチングする表示装置の作製方法。
　請求項１１乃至１３のいずれか一項において、
　前記共通電極上に、保護層を形成し、
　前記第１及び第３の発光層と重なる領域を有する第１の着色層と、前記第２及び第４の発光層と重なる領域を有する第２の着色層と、を前記保護層上に形成し、
　前記第１の着色層と、前記第２の着色層と、は異なる色の光を透過する機能を有する表示装置の作製方法。
　請求項１１乃至１４のいずれか一項において、
　前記第１の犠牲層、及び前記第２の犠牲層を除去した後、前記第３の発光層上、及び前記第４の発光層上に、電子注入層又は正孔注入層の一方としての機能を有する共通層を形成し、
　前記共通層上に、前記共通電極を形成する表示装置の作製方法。
　請求項１１乃至１５のいずれか一項において、
　前記導電膜のエッチング工程において、前記絶縁層に凹部を形成する表示装置の作製方法。