WO2023074112A1 - 光学式圧力センサおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

光学式圧力センサの測定精度を十分に向上させる。 光学式圧力センサは、第１部材および第２部材と、光伝送媒体とを備える。第１部材および第２部材のそれぞれは、板状部を有する。第１部材は、第１部材の板状部から延びて先端面が第２部材の板状部の表面に接合された側壁部を有している。２つの板状部と側壁部とによって密閉空間が画定されている。光伝送媒体は、２つの板状部の一方における密閉空間側の表面とは反対側の表面に取り付けられている。第１部材の板状部における密閉空間に対向する表面には、光伝送媒体によって伝送される光を反射する第１反射膜が形成されている。第２部材の板状部における第１部材側の表面は、密閉空間に対向する第１領域と、第１部材の側壁部の先端面に対向する第２領域とを含む。第１領域の全体に、光伝送媒体によって伝送される光を反射する第２反射膜が形成されている。

Description

光学式圧力センサおよびその製造方法

　本明細書に開示される技術は、光学式圧力センサおよびその製造方法に関する。

　例えば冠血流予備量比（ＦＦＲ）を特定する目的で冠動脈の圧力の測定を行うために、ファブリ・ペロー干渉型の光学式圧力センサが用いられる（例えば、特許文献１，２参照）。

　ファブリ・ペロー干渉型の光学式圧力センサは、内部にキャビティと呼ばれる密閉空間が形成された箱体である光学素子と、光学素子に取り付けられた光伝送媒体とを備える。光学素子の先端部は、外部の圧力（例えば、冠動脈内の圧力）に応じて変形する（たわむ）薄い板状のダイアフラム部を構成している。なお、光学素子は、ダイアフラム部を有する部材と、該部材に接合される他の部材とから構成されている。

　また、光学素子内には、密閉空間を挟んで互いに対向（正対）する２つの反射膜が形成されている。具体的には、ダイアフラム部における密閉空間に対向する表面に、一方の反射膜が形成されており、密閉空間を挟んで該反射膜と対向する位置に、他方の反射膜が形成されている。２つの反射膜の間の距離（以下、「キャビティ長」という。）は、ダイアフラム部の変形に伴い変化する。すなわち、キャビティ長は、外部の圧力に応じて変化する。

　光伝導媒体を介して光学素子の密閉空間内に入射した光は、互いに対向する２つの反射膜の間で多重反射し、この多重反射の際に光の干渉が生ずる。該多重反射における干渉ピーク波長は、キャビティ長に応じて変化する。すなわち、該多重反射における干渉ピーク波長は、外部の圧力に応じて変化する。ファブリ・ペロー干渉型の光学式圧力センサは、このような特性を利用して、光学素子の内部の密閉空間内での光の多重反射の干渉ピーク波長に基づき、外部の圧力を測定する。

　従来のファブリ・ペロー干渉型の光学式圧力センサでは、各反射膜が、各反射膜が形成される部材における密閉空間に対向する表面のうち、中央部分のみに形成され、周縁部分には形成されない。これは、２つの部材を接合する際の接合面に反射膜が形成されることによって接合不良が発生することを回避するために、該接合面から所定の大きさ（例えば、２０μｍ～３０μｍ）のマージンをとった領域のみに反射膜が形成されるからである。

特許第３３９３３７０号公報 米国特許第７６８４６５７号明細書

　上述したように、従来のファブリ・ペロー干渉型の光学式圧力センサでは、各反射膜が、各反射膜が形成される部材における密閉空間に対向する表面のうち、中央部分のみに形成されているため、キャビティ内において反射膜による光の反射強度を十分に向上させることができない。また、従来のファブリ・ペロー干渉型の光学式圧力センサでは、各反射膜が形成される部材の密閉空間に対向する表面において反射膜の形成位置ずれが発生し、該位置ずれに起因して干渉波形のバックグラウンドが増減するおそれがある。その結果、従来のファブリ・ペロー干渉型の光学式圧力センサでは、光学式圧力センサの測定精度を十分に向上させることができない、という課題がある。

　本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。

　本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本明細書に開示される光学式圧力センサは、第１部材および第２部材と、光伝送媒体とを備える。前記第１部材および前記第２部材のそれぞれは、板状部を有する。前記第１部材および前記第２部材は、２つの前記板状部が対向する姿勢で互いに接合されている。前記第１部材は、前記第１部材の前記板状部から延びて先端面が前記第２部材の前記板状部の表面に接合された側壁部を有している。２つの前記板状部と前記側壁部とによって密閉空間が画定されている。光伝送媒体は、２つの前記板状部の一方における前記密閉空間側の表面とは反対側の表面に取り付けられている。前記第１部材の前記板状部における前記密閉空間に対向する表面には、前記光伝送媒体によって伝送される光を反射する第１反射膜が形成されている。前記第２部材の前記板状部における前記第１部材側の表面は、前記密閉空間に対向する第１領域と、前記第１部材の前記側壁部の前記先端面に対向する第２領域とを含む。前記第１領域の全体に、前記光伝送媒体によって伝送される光を反射する第２反射膜が形成されている。

　このように、本光学式圧力センサでは、第２部材の板状部における第１部材側の表面の、密閉空間に対向する第１領域の全体に、第２反射膜が形成されている。そのため、本光学式圧力センサによれば、第２反射膜による光の反射強度を十分に向上させることができると共に、第２部材の板状部の第１部材側の表面の第１領域において、第２反射膜の形成位置ずれが発生することを回避することができる。従って、本光学式圧力センサによれば、光学式圧力センサの測定精度を十分に向上させることができる。

（２）上記光学式圧力センサにおいて、前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さは、前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さより厚い構成としてもよい。本光学式圧力センサによれば、密閉空間内で多重反射する光が、光伝送媒体からの距離が遠い方の反射膜を透過することを抑制することができ、該透過に起因して光学式圧力センサの測定精度が低下することを抑制することができる。また、本光学式圧力センサによれば、光伝送媒体からの距離が近い方の反射膜の厚さを比較的薄くすることができるため、該反射膜を透過して密閉空間内に至る光量を多くすることができ、その結果、多重反射の干渉波長のピーク値を大きくすることができ、光学式圧力センサの測定精度を向上させることができる。

（３）上記光学式圧力センサにおいて、前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さは、前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さより厚い構成としてもよい。本光学式圧力センサによれば、非常に薄い板状の部分であるダイアフラム部に形成される反射膜を比較的薄くすることができ、ダイアフラム部と該反射膜との熱膨張差に起因する熱応力を小さくすることができ、その結果、該熱応力に起因して光学式圧力センサの測定精度の低下（温度ドリフト）が発生することを抑制することができる。

（４）上記光学式圧力センサにおいて、前記第１部材と、前記第２部材とは、同一材料により形成されている構成としてもよい。本光学式圧力センサによれば、第１部材と第２部材との熱膨張率の差を低減することができ、該熱膨張率の差に起因して光学式圧力センサの測定精度が低下することを抑制することができる。

（５）上記光学式圧力センサにおいて、前記第２部材の前記板状部における前記密閉空間に対向する部分は、外部の圧力によって変形するダイアフラム部を構成する構成としてもよい。本光学式圧力センサによれば、ダイアフラム部における密閉空間に対向する表面の全体に反射膜を形成することができる。そのため、本光学式圧力センサによれば、ダイアフラム部における密閉空間に対向する表面の中央部の一部のみに反射膜が形成されている場合に発生するダイアフラム部の破損やダイアフラム部の耐久性の低下、光学式圧力センサの測定精度の低下という問題が発生することを抑制することができる。

（６）上記光学式圧力センサにおいて、前記第２反射膜は、前記第２部材の前記板状部における前記第１部材側の表面の前記第１領域から連続して前記第２領域にも形成されている構成としてもよい。本光学式圧力センサによれば、ダイアフラム部における密閉空間に対向する表面の中央部の一部のみに反射膜が形成されている場合に発生するダイアフラム部の破損やダイアフラム部の耐久性の低下、光学式圧力センサの測定精度の低下という問題が発生することを効果的に抑制することができる。

（７）本明細書に開示される光学式圧力センサの製造方法は、第１部材および第２部材を備える光学式圧力センサの製造方法である。前記第１部材および前記第２部材のそれぞれは、板状部を有する。前記第１部材および前記第２部材は、２つの前記板状部が対向する姿勢で互いに接合されている。前記第１部材は、前記第１部材の前記板状部から延びて先端面が前記第２部材の前記板状部の表面に接合された側壁部を有している。２つの前記板状部と前記側壁部とによって密閉空間が画定されている。この光学式圧力センサの製造方法は、第１工程と、第２工程と、第３工程と、第４工程とを備える。第１工程は、前記第１部材と前記第２部材とを準備する工程である。第２工程は、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、前記第１部材の前記板状部における前記第２部材の前記板状部に対向する表面、および、前記第１部材の前記側壁部の前記先端面のうちの前記第２部材の前記板状部に対向する第１部材側対向領域に、特定の金属により形成され、光を反射する第１反射膜を成膜する工程である。第３工程は、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、前記第２部材の前記板状部における前記第１部材側の表面のうち、前記第１部材の前記側壁部の前記先端面に対向する第２部材側対向領域、および、第２部材側対向領域によって囲まれた領域の全体に、前記特定の金属により形成され、光を反射する第２反射膜を成膜する工程である。第４工程は、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、前記第１反射膜が成膜された前記第１部材の前記第１部材側対向領域と、前記第２反射膜が成膜された前記第２部材の前記第２部材側対向領域とを当接させることによって、前記第１部材と前記第２部材とを接合する工程である。

　このように、本光学式圧力センサの製造方法では、－１０℃以上、２００℃以下という過度に高くない温度で第１部材と第２部材とを接合することができるため、光学式圧力センサの製造の際に各部材に熱ひずみが発生することを抑制することができる。また、第１部材と第２部材との接合の際に溶融物や接着剤を用いることがないため、溶融物や接着剤の流れ出しに起因する光学式圧力センサの品質低下を抑制することができる。さらに、第１反射膜および第２反射膜を第１部材と第２部材との接合のための接合材として機能させることができるため、反射膜の成膜と接合材の形成とを別々の工程として実施する製造方法と比較して、製造の効率化を実現することができる。また、第１反射膜および第２反射膜の形成の際に酸系の薬剤を使用する必要がないため、酸系の薬剤による第１部材および第２部材の表面の荒れに起因する接合不良や光透過性の低下を抑制することができる。

（８）上記光学式圧力センサの製造方法において、さらに、前記第２工程の前に、前記第１部材側対向領域を研磨する第５工程と、前記第３工程の前に、前記第２部材側対向領域を研磨する第６工程と、を備える構成としてもよい。本光学式圧力センサの製造方法によれば、第１部材と第１反射膜との接合強度、および、第２部材と第２反射膜との接合強度を向上させることができ、その結果、第１部材と第２部材との接合強度を向上させることができる。

（９）上記光学式圧力センサの製造方法において、前記第５工程は、前記第１部材側対向領域を表面粗さＳａが５０ｎｍ未満になるように研磨する工程であり、前記第６工程は、前記第２部材側対向領域を表面粗さＳａが５０ｎｍ未満になるように研磨する工程である構成としてもよい。本光学式圧力センサの製造方法によれば、第１部材と第１反射膜との接合強度、および、第２部材と第２反射膜との接合強度を効果的に向上させることができ、その結果、第１部材と第２部材との接合強度を効果的に向上させることができる。

（１０）上記光学式圧力センサの製造方法において、さらに、前記第４工程の後に、前記第１部材の前記板状部と前記第２部材の前記板状部との一方における前記密閉空間側の表面とは反対側の表面に、光伝送媒体を取り付ける第７工程を備え、前記第２工程および前記第３工程は、前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記第７工程後の状態において前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さが、前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さより厚くなるように、実行される構成としてもよい。本光学式圧力センサの製造方法によれば、製造された光学式圧力センサにおいて、密閉空間内で多重反射する光が、光伝送媒体からの距離が遠い方の反射膜を透過することを抑制することができ、該透過に起因して光学式圧力センサの測定精度が低下することを抑制することができる。また、本光学式圧力センサの製造方法によれば、製造された光学式圧力センサにおいて、光伝送媒体からの距離が近い方の反射膜の厚さを比較的薄くすることができるため、該反射膜を透過して密閉空間内に至る光量を多くすることができ、その結果、多重反射の干渉波長のピーク値を大きくすることができ、光学式圧力センサの測定精度を向上させることができる。

（１１）上記光学式圧力センサの製造方法において、さらに、前記第４工程の後に、前記第１部材の前記板状部と前記第２部材の前記板状部との一方における前記密閉空間側の表面とは反対側の表面に、光伝送媒体を取り付ける第７工程を備え、前記第２工程および前記第３工程は、前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記第７工程後の状態において前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さが、前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さより厚くなるように、実行される構成としてもよい。本光学式圧力センサの製造方法によれば、製造された光学式圧力センサにおいて、非常に薄い板状の部分であるダイアフラム部に形成される反射膜を比較的薄くすることができ、ダイアフラム部と該反射膜との熱膨張差に起因する熱応力を小さくすることができ、その結果、該熱応力に起因して光学式圧力センサの測定精度の低下（温度ドリフト）が発生することを抑制することができる。

（１２）上記光学式圧力センサの製造方法において、前記特定の金属は、Ｓｉと、ＳｉＣと、Ａｌと、Ｃｕと、Ｃｒと、Ｎｉと、Ｔｉと、Ａｕと、の少なくとも１つを含む構成としてもよい。本光学式圧力センサの製造方法によれば、－１０℃以上、２００℃以下という過度に高くない温度で、第１部材と第２部材とをより確実に接合することができる。

（１３）上記光学式圧力センサの製造方法において、前記第１部材と、前記第２部材とは、同一材料により形成されている構成としてもよい。本光学式圧力センサの製造方法によれば、製造された光学式圧力センサにおいて、第１部材と第２部材との熱膨張率の差を低減することができ、該熱膨張率の差に起因して光学式圧力センサの測定精度が低下することを抑制することができる。

　なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、光学式圧力センサ、光学式圧力センサを備える医療用デバイス、それらの製造方法等の形態で実現することができる。

本実施形態における圧力センサ付きガイドワイヤ１０の構成を概略的に示す説明図 光学式圧力センサ１２の構成を示す説明図 光学式圧力センサ１２の動作を示す説明図 光学式圧力センサ１２の製造方法を示すフローチャート 光学式圧力センサ１２の製造方法を模式的に示す説明図 複数個の光学式圧力センサ１２を同時に製造する方法を模式的に示す説明図 比較例の光学式圧力センサ１２Ｘの構成を示す説明図 第２実施形態における光学式圧力センサ１２ａの構成を概略的に示す説明図 第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂの構成を概略的に示す説明図 第１変形例の光学式圧力センサ１２ｃの構成を概略的に示す説明図 第２変形例の光学式圧力センサ１２ｄの構成を概略的に示す説明図 第３変形例の光学式圧力センサ１２ｅの構成を概略的に示す説明図

Ａ．実施形態：
Ａ－１．圧力センサ付きガイドワイヤ１０の構成：
　図１は、本実施形態における圧力センサ付きガイドワイヤ１０の構成を概略的に示す説明図である。図１には、圧力センサ付きガイドワイヤ１０の縦断面（ＹＺ断面）の構成が示されている。図１において、Ｚ軸正方向側が、体内に挿入される先端側（遠位側）であり、Ｚ軸負方向側が、医師等の手技者によって操作される基端側（近位側）である。図１では、圧力センサ付きガイドワイヤ１０の一部分の図示が省略されている。また、図１では、圧力センサ付きガイドワイヤ１０の中心軸ＡＸがＺ軸方向に平行な直線状となった状態を示しているが、圧力センサ付きガイドワイヤ１０は湾曲させることができる程度の柔軟性を有している。これらの点は、以降の図においても同様である。本明細書では、圧力センサ付きガイドワイヤ１０およびその構成部材について、先端側の端を「先端」といい、先端およびその近傍を「先端部」といい、基端側の端を「基端」といい、基端およびその近傍を「基端部」という。

　圧力センサ付きガイドワイヤ１０は、圧力を測定するために患者の体内に挿入される医療用デバイスである。例えば、圧力センサ付きガイドワイヤ１０は、冠血流予備量比（ＦＦＲ）を特定する目的で、冠動脈の圧力の測定に用いられる。なお、圧力センサ付きガイドワイヤ１０は、体内の他の箇所の圧力（例えば、脳の血管の圧力や胆管等の器官の圧力）の測定にも用いられ得る。圧力センサ付きガイドワイヤ１０の全長は、例えば１５００ｍｍ～２０００ｍｍ程度であり、圧力センサ付きガイドワイヤ１０の外径は、例えば０．２ｍｍ～１ｍｍ程度である。

　圧力センサ付きガイドワイヤ１０は、光学式圧力センサ１２と、基端側コアシャフト１３と、先端側コアシャフト１５と、コイル体１６と、先端側接合部１７とを備える。

　基端側コアシャフト１３は、中心軸ＡＸに沿って延伸する長尺状の部材である。基端側コアシャフト１３の外径は、基端から先端にわたって略一定である。基端側コアシャフト１３には、先端から基端まで貫通する貫通孔１８が形成されており、該貫通孔１８内に、後述する光学式圧力センサ１２の光伝送媒体２００が収容されている。また、基端側コアシャフト１３の先端には、貫通孔１８に連通する凹部１９が形成されており、凹部１９により構成された空間（ハウジング）に、後述する光学式圧力センサ１２の光学素子１００が収容されている。基端側コアシャフト１３の先端部の側面には、凹部１９に連通する窓部（図示せず）が設けられており、光学式圧力センサ１２は、該窓部から凹部１９に流入する血液による圧力を測定する。なお、該窓部は、例えば基端側コアシャフト１３の先端部の上面と下面の２か所に設けられている。基端側コアシャフト１３の各位置における横断面（ＸＹ断面）の形状は、任意の形状を取り得るが、例えば、円形や矩形である。

　先端側コアシャフト１５は、中心軸ＡＸに沿って延伸する長尺状の部材である。先端側コアシャフト１５は、基端から先端に向けて外形が徐々に小さくなるテーパ部１５Ｐと、テーパ部１５Ｐの先端から先端側に延伸し、外径が略一定である細径部１５Ｄと、テーパ部１５Ｐの基端側に設けられたフランジ部１５Ｆとから構成されている。先端側コアシャフト１５の各位置における横断面（ＸＹ断面）の形状は、任意の形状を取り得るが、例えば、円形や矩形である。先端側コアシャフト１５の基端部を構成するフランジ部１５Ｆは、基端側コアシャフト１３の先端部に、例えばロウ付けやレーザ溶接により接合されている。

　基端側コアシャフト１３および先端側コアシャフト１５を形成する材料としては、例えば、ステンレス鋼、Ｎｉ－Ｔｉ合金、ピアノ線等が用いられる。

　コイル体１６は、１本または複数本の線材が先端側コアシャフト１５の外周に巻き回された中空円筒状のコイル状部材である。コイル体１６を構成する各線材は、単一の素線から構成されていてもよいし、複数の素線が撚り合わされた撚り線であってもよい。コイル体１６の外径は、基端から先端にわたって略一定である。コイル体１６の基端部は、先端側コアシャフト１５の基端部を構成するフランジ部１５Ｆに、例えばロウ付けやレーザ溶接により接合されている。また、コイル体１６の先端部は、先端側接合部１７を介して先端側コアシャフト１５の先端部に接合されている。なお、先端側接合部１７は、圧力センサ付きガイドワイヤ１０の最先端部を構成しており、その外周面は滑らかな面（例えば、略半球面）となっている。

　コイル体１６を形成する材料としては、例えば、ステンレス鋼、Ｎｉ－Ｔｉ合金、ピアノ線といった放射線透過材料や、白金、金、タングステン、またはこれらの合金といった放射線不透過材料が用いられる。また、先端側接合部１７を形成する材料としては、例えば、金属ハンダ（Ａｕ－Ｓｎ合金、Ｓｎ－Ａｇ合金、Ｓｎ－Ｐｂ合金、Ｐｂ－Ａｇ合金等）、ロウ材（アルミニウム合金ロウ、銀ロウ、金ロウ等）、接着剤（エポキシ系接着剤等）等が用いられる。

Ａ－２．光学式圧力センサ１２の構成：
　次に、圧力センサ付きガイドワイヤ１０が備える光学式圧力センサ１２の構成について説明する。図２は、光学式圧力センサ１２の構成を示す説明図である。図２には、光学式圧力センサ１２の先端部の縦断面（ＹＺ断面）の構成が示されている。

　本実施形態の光学式圧力センサ１２は、ファブリ・ペロー干渉型の圧力センサである。図１および図２に示すように、光学式圧力センサ１２は、光学素子１００と、光学素子１００に取り付けられた光伝送媒体２００とを備える。

　図２に示すように、光学素子１００は、内部にキャビティと呼ばれる密閉空間１０８が形成された略円筒状の箱体である。より詳細には、光学素子１００は、基端側部材１１０と、先端側部材１２０とから構成されている。基端側部材１１０は、有底筒状の部材である。すなわち、基端側部材１１０は、中心軸ＡＸに略直交する略円板状の板状部１１１と、板状部１１１の周縁部から先端側に所定の長さだけ延びる側壁部１１６とを有する。側壁部１１６は、板状部１１１の周縁部の全周にわたって連続的に形成されている。また、先端側部材１２０は、中心軸ＡＸに略直交する略円板状の部材である。本実施形態では、基端側部材１１０の外径と先端側部材１２０の外径とは、略同一である。本実施形態において、基端側部材１１０は、特許請求の範囲における第１部材の一例であり、先端側部材１２０は、特許請求の範囲における第２部材の一例であり、先端側部材１２０の全体は、特許請求の範囲における第２部材の板状部の一例である。

　先端側部材１２０の基端側表面（基端側部材１１０側の表面であり、以下、「基端側表面１２２」という。）における周縁部の領域（以下、「側壁対向領域１２２Ｐ」という。）と、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７の全体とは、Ｚ軸方向に互いに対向しており、かつ、接合材として機能する後述の基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２を介して互いに接合されている。これにより、基端側部材１１０と先端側部材１２０とが互いに接合されている。互いに接合された基端側部材１１０と先端側部材１２０とにより構成される光学素子１００の内部には、基端側部材１１０の板状部１１１および側壁部１１６と先端側部材１２０とにより画定された略円柱状の密閉空間１０８が形成されている。密閉空間１０８の内部は、真空である。本実施形態において、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７の全体は、特許請求の範囲における第１部材側対向領域の一例であり、先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐは、特許請求の範囲における第２部材側対向領域の一例である。

　先端側部材１２０は、非常に薄い（例えば、厚さ０．５μｍ～１０μｍ程度の）板状部材である。そのため、先端側部材１２０のうち、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７に接合されていない部分（すなわち、密閉空間１０８に対向する部分）は、外部の圧力によって変形する（たわむ）ダイアフラム部１２８を構成する。

　基端側部材１１０および先端側部材１２０の形成材料としては、例えば、シリコン、石英ガラス、ホウ珪酸ガラス等を用いることができる。基端側部材１１０と先端側部材１２０とは、それぞれ、全体が同じ材料により形成されていてもよいし、部分毎に互いに異なる材料により形成されていてもよい。また、基端側部材１１０の形成材料と先端側部材１２０の形成材料とは、同一材料であってもよいし、互いに異なる材料であってもよい。なお、基端側部材１１０および先端側部材１２０の形成材料は、光学式圧力センサ１２の温度ドリフトを抑制するという観点から、熱膨張率が低く、弾性率が低い材料であることが好ましい。また、基端側部材１１０の形成材料は、光透過性が高い材料であることが好ましい。また、基端側部材１１０の形成材料と先端側部材１２０の形成材料とは、熱膨張率が互いに近いことが好ましい。以上の観点から、基端側部材１１０および先端側部材１２０の形成材料は、互いに同一材料であることが好ましく、例えば共に石英ガラスであることが好ましい。

　光学素子１００内には、密閉空間１０８を挟んで互いに対向（正対）する２つの反射膜が形成されている。より詳細には、基端側部材１１０の板状部１１１における密閉空間１０８に対向する表面（以下、「底面１１４」という。）には、基端側反射膜１０１が形成されている。基端側反射膜１０１は、光伝送媒体２００によって伝送される光の一部を反射し、残りの一部を透過するように構成されている。本実施形態では、基端側反射膜１０１は、基端側部材１１０の板状部１１１の底面１１４の全体に形成されている。また、本実施形態では、基端側反射膜１０１は、底面１１４に加えて、側壁部１１６の内周面にも形成されている。本実施形態において、基端側反射膜１０１は、特許請求の範囲における第１反射膜の一例である。

　また、先端側部材１２０の基端側表面１２２における密閉空間１０８に対向する領域（上述した側壁対向領域１２２Ｐにより囲まれた領域であり、以下、「空間対向領域１２２Ｃ」という。）には、先端側反射膜１０２が形成されている。先端側反射膜１０２は、光伝送媒体２００によって伝送される光の少なくとも一部を反射するように構成されている。本実施形態では、先端側反射膜１０２は、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃの全体に形成されている。なお、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃは、換言すれば、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面である。そのため、先端側反射膜１０２は、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面の全体に形成されていると言える。また、本実施形態では、先端側反射膜１０２は、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃから連続して、側壁対向領域１２２Ｐの全体にも形成されている。すなわち、本実施形態では、先端側部材１２０の基端側表面１２２の全体に、先端側反射膜１０２が形成されている。本実施形態において、先端側反射膜１０２は、特許請求の範囲における第２反射膜の一例であり、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃは、特許請求の範囲における第１領域の一例であり、先端側部材１２０の基端側表面１２２における側壁対向領域１２２Ｐは、特許請求の範囲における第２領域の一例である。

　基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２は、中心軸ＡＸに略直交するような膜状に形成されており、密閉空間１０８を挟んで互いに対向（正対）している。以下、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２との間の間隔（すなわち、中心軸ＡＸに沿った密閉空間１０８の高さ）を、キャビティ長Ｌｃという。

　基端側反射膜１０１の厚さＴ１および先端側反射膜１０２の厚さＴ２は、例えば、１ｎｍ～５０ｎｍ程度である。ただし、本実施形態では、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２とのうち、光伝送媒体２００からの距離が遠い方の反射膜である先端側反射膜１０２の厚さＴ２は、光伝送媒体２００からの距離が近い方の反射膜である基端側反射膜１０１の厚さＴ１より厚い。なお、本明細書において、基端側反射膜１０１の厚さＴ１および先端側反射膜１０２の厚さＴ２は、基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合面以外の箇所における各厚さを意味する。

　基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成材料は、金属である。このような金属としては、例えば、Ｓｉと、ＳｉＣと、Ａｌと、Ｃｕと、Ｃｒと、Ｎｉと、Ｔｉと、Ａｕと、の少なくとも１つを含む金属を用いることができる。本実施形態では、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２とは、同一材料により形成されている。なお、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成材料は、光学式圧力センサ１２の温度ドリフトを抑制するという観点から、熱膨張率が低く、弾性率が低い材料であることが好ましく、また、反射強度を高めるという観点から、反射率が高い材料であることが好ましい。基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成材料や厚さは、光学式圧力センサ１２に求められる光学特性に応じて、選択される。

　光伝送媒体２００は、光を伝送するための長尺状の部材であり、本実施形態では光ファイバにより構成されている。光伝送媒体２００の先端は、光学素子１００の基端側部材１１０の板状部１１１における底面１１４とは反対側の表面（以下、「裏面１１３」という。）に取り付けられている。また、図１に示すように、光伝送媒体２００の基端は、基端側コアシャフト１３の基端まで達している。

　図１に示すように、光伝送媒体２００には、光源２１と、分光器２２と、コンソール２３とが接続されている。光源２１は、光伝送媒体２００に向けて光を発する装置である。分光器２２は、光伝送媒体２００から入射される光を分光して各波長の強度を測定する装置である。コンソール２３は、光源２１および分光器２２を制御しつつ、分光器２２から入力される各波長の強度信号を外部の圧力値に変換する装置である。

Ａ－３．光学式圧力センサ１２の動作：
　次に、光学式圧力センサ１２の動作について説明する。図３は、光学式圧力センサ１２の動作を示す説明図である。図３には、ダイアフラム部１２８が変形した状態の光学式圧力センサ１２の先端部の縦断面（ＹＺ断面）の構成が示されている。

　図２および図３に示すように、外部の圧力Ｐに応じて、光学式圧力センサ１２のダイアフラム部１２８は変形する（たわむ）。ダイアフラム部１２８が変形すると、光学素子１００に設けられた基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２との間の距離（キャビティ長Ｌｃ）が変化する。より具体的には、外部の圧力Ｐが高いほど、ダイアフラム部１２８がより大きく変形し、キャビティ長Ｌｃがより小さい値となる。

　図２および図３において白抜き矢印で示すように、光源２１（図１）から光伝送媒体２００に向けて発せられた光４０の少なくとも一部は、光学素子１００の基端側部材１１０の板状部１１１および基端側反射膜１０１を透過して、密閉空間１０８内に入射する。密閉空間１０８内に入射した光４０は、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の間で多重反射する。この多重反射の際に、光の干渉が生ずる。このときの干渉ピーク波長は、キャビティ長Ｌｃ、すなわち、外部の圧力Ｐに応じて変化する。該干渉ピーク波長と外部の圧力Ｐとの対応関係は、予め設定され、コンソール２３に記憶されている。

　光学素子１００の密閉空間１０８において多重反射した光４０の少なくとも一部は、基端側反射膜１０１および基端側部材１１０の板状部１１１を透過して、再び光伝送媒体２００内に戻され、光伝送媒体２００を介して分光器２２に入力される。分光器２２において、入力された光の干渉ピーク波長が測定され、コンソール２３において、干渉ピーク波長に基づき外部の圧力Ｐが測定される。外部の圧力Ｐの測定値は、例えばコンソール２３に設けられた表示部に表示される。

Ａ－４．光学式圧力センサ１２の製造方法：
　次に、光学式圧力センサ１２の製造方法について説明する。図４は、光学式圧力センサ１２の製造方法を示すフローチャートであり、図５は、光学式圧力センサ１２の製造方法を模式的に示す説明図である。

　はじめに、基端側部材１１０と先端側部材１２０とを準備する（Ｓ１１０、図５のＡ欄参照、以下、「準備工程」という。）。なお、基端側部材１１０は、例えば、略円柱状の部材に対して異方性エッチングを行い、密閉空間１０８を構成するための凹部１１８を形成することにより作製することができる。Ｓ１１０の工程（準備工程）は、特許請求の範囲における第１工程の一例である。

　次に、基端側部材１１０および先端側部材１２０の表面を研磨する（Ｓ１２０、以下、「研磨工程」という。）。研磨工程は、例えば、化学的機械研磨（ＣＭＰ）により行われる。また、研磨工程は、少なくとも、基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合面に対して行われる。すなわち、研磨工程は、少なくとも、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７と、先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐと、に対して行われる。なお、研磨工程が、他の表面領域に行われてもよい。また、研磨工程は、研磨対象表面の表面粗さＳａが５０ｎｍ未満になるように行われる。なお、研磨工程は、表面粗さＳａが１０ｎｍ未満になるように行われることがより好ましく、表面粗さＳａが１ｎｍ未満になるように行われることがさらに好ましい。ここでいう表面粗さＳａは、下記の式（１）により表される算術平均高さである。下記の式（１）において、Ｚ（ｘ，ｙ）は座標（ｘ，ｙ）における高さであり、Ａはｘｙ面における面積である。Ｓ１２０の工程（研磨工程）のうち、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７を研磨する工程は、特許請求の範囲における第５工程の一例であり、先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐを研磨する工程は、特許請求の範囲における第６工程の一例である。

　次に、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、基端側部材１１０の表面に基端側反射膜１０１を形成すると共に、先端側部材１２０の表面に先端側反射膜１０２を成膜する（Ｓ１３０、図５のＢ欄参照、以下、「成膜工程」という。）。基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の成膜は、例えば、電子ビーム蒸着により行われる。基端側部材１１０における基端側反射膜１０１の形成範囲は、少なくとも、板状部１１１の底面１１４の全体と、側壁部１１６の先端面１１７の全体とを含む。なお、本実施形態では、側壁部１１６の内周面にも基端側反射膜１０１が形成される。一方、先端側部材１２０における先端側反射膜１０２の形成範囲は、先端側部材１２０の基端側表面１２２のうち、側壁対向領域１２２Ｐの全体、および、側壁対向領域１２２Ｐによって囲まれた領域である空間対向領域１２２Ｃの全体である。すなわち、本実施形態では、先端側部材１２０における先端側反射膜１０２の形成範囲は、基端側表面１２２の全体である。Ｓ１３０の工程（成膜工程）のうち、基端側反射膜１０１を成膜する工程は、特許請求の範囲における第２工程の一例であり、先端側反射膜１０２を成膜する工程は、特許請求の範囲における第３工程の一例である。

　基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成材料は、金属であり、好ましくはＳｉと、ＳｉＣと、Ａｌと、Ｃｕと、Ｃｒと、Ｎｉと、Ｔｉと、Ａｕと、の少なくとも１つを含む金属である。また、本実施形態では、基端側反射膜１０１の形成材料と先端側反射膜１０２の形成材料とは、互いに同一である。また、基端側反射膜１０１の形成と先端側反射膜１０２の形成とは、共に、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において実行されるが、各反射膜の形成が１つのチャンバ内で実行されてもよいし、個別のチャンバ内で互いに独立して実行されてもよい。基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成環境は、１０^－１ＰＡ以下の真空であることがより好ましく、１０^－３ＰＡ以下の真空であることがさらに好ましい。なお、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成環境における圧力の下限は、装置限界により決まる値である。また、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成環境は、０℃以上、１００℃以下であることがより好ましく、１０℃以上、３０℃以下であることがさらに好ましい。また、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成の際に、加熱が行われないことが好ましい。基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の膜厚は、例えば１ｎｍ～５０ｎｍ程度である。ただし、本実施形態では、先端側反射膜１０２の厚さＴ２は、基端側反射膜１０１の厚さＴ１より厚い。

　次に、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、基端側反射膜１０１が成膜された基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７と、先端側反射膜１０２が成膜された先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐとを当接させることによって、基端側部材１１０と先端側部材１２０とを接合することにより、光学素子１００を得る（Ｓ１４０、図５のＣ欄参照、以下、「接合工程」という。）。このように、本実施形態では、基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合を、原子拡散接合により実現している。原子拡散接合は、真空下で接合薄膜を形成し、その表面エネルギーと原子再配列現象を利用して、２つの部材を接合する接合方法である。原子拡散接合では、任意の材料により形成された部材同士（同種材料部材または異種材料部材）を比較的低温で接合することができる。本実施形態では、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２を、原子拡散接合における接合薄膜としても利用している。すなわち、基端側反射膜１０１のうち、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７に形成された部分、および、先端側反射膜１０２のうち、先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐに形成された部分は、反射膜（ミラー）として機能させるものではなく、基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合のための接合薄膜として機能させるものである。Ｓ１４０の工程（接合工程）は、特許請求の範囲における第４工程の一例である。

　なお、接合工程は、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において実行されるが、基端側反射膜１０１および／または先端側反射膜１０２の成膜に引き続いて同じチャンバ内で実行されてもよいし、反射膜の成膜後にチャンバから一旦取り出された後、あらためてチャンバ内で実行されてもよい。また、接合工程の環境は、１０^－１ＰＡ以下の真空であることがより好ましい。また、接合工程の環境は、０℃以上、１００℃以下であることがより好ましく、１０℃以上、３０℃以下であることがさらに好ましい。また、接合工程において、基端側部材１１０と先端側部材１２０とを重ねた後、基端側部材１１０と先端側部材１２０との積層体に所定の荷重（例えば、１ｔ程度の荷重）を加えてもよい。

　最後に、光学素子１００に光伝送媒体２００を取り付ける（Ｓ１５０、以下、「取り付け工程」という。）。より詳細には、基端側部材１１０の板状部１１１の裏面１１３に、光伝送媒体２００を取り付ける。光伝送媒体２００の取り付けは、例えば光学用接着剤や溶融接続により行われる。Ｓ１５０の工程（取り付け工程）は、特許請求の範囲における第７工程の一例である。主として以上の工程により、本実施形態の光学式圧力センサ１２を作製することができる。

　なお、上記では１つの光学式圧力センサ１２の製造方法を説明したが、複数個の光学式圧力センサ１２を同時に製造することもできる。図６は、複数個の光学式圧力センサ１２を同時に製造する方法を模式的に示す説明図である。図６には、６個の光学式圧力センサ１２を同時に製造する方法が模式的に示されている。以下、複数個の光学式圧力センサ１２を同時に製造する方法について、上述した１つの光学式圧力センサ１２を製造する方法と異なる点を中心として、簡単に説明する。

　はじめに、図６のＡ欄に示すように、先端側部材１２０の材料である先端側部材材料１２０Ｚを準備し、加工時の先端側部材１２０の保護のために、先端側部材材料１２０Ｚに保護基板６０を接合する。先端側部材材料１２０Ｚは、例えば石英ガラスの平板であり、保護基板６０は、例えばシリコンの平板である。先端側部材材料１２０Ｚと保護基板６０との接合は、例えば原子拡散接合により行うことができる。

　次に、図６のＢ欄に示すように、基端側部材１１０の材料である基端側部材材料１１０Ｚを準備し、例えばエッチングにより、光学式圧力センサ１２の作製個数分（６個）の凹部１１８を形成する。基端側部材材料１１０Ｚは、例えば石英ガラスの平板である。次に、基端側部材材料１１０Ｚの表面および各凹部１１８の底面１１４（図５のＡ欄参照）に基端側反射膜１０１を形成すると共に、先端側部材材料１２０Ｚの表面に先端側反射膜１０２を形成し、基端側部材材料１１０Ｚと先端側部材材料１２０Ｚとを重ね合わせる。これにより、図６のＣ欄に示すように、基端側部材材料１１０Ｚと先端側部材材料１２０Ｚとが原子拡散接合により接合され、基端側部材材料１１０Ｚと先端側部材材料１２０Ｚと保護基板６０との積層体が得られる。

　次に、基端側部材材料１１０Ｚと先端側部材材料１２０Ｚと保護基板６０との積層体に対する切り出し加工を行うことにより、基端側部材１１０と先端側部材１２０とから構成された所定の個数（６個）の光学素子１００と保護基板６０との積層体を得る（図６のＤ欄参照）。次に、得られた各積層体から保護基板６０を除去することにより、光学素子１００を得る（図６のＥ欄参照）。最後に、光学素子１００に光伝送媒体２００を取り付ける（図６のＦ欄参照）。以上の工程により、複数の（６個の）光学式圧力センサ１２を同時に製造することができる。なお、保護基板６０の除去は、積層体（保護基板６０付きの光学素子１００）に光伝送媒体２００を取り付けた後に行ってもよい。また、保護基板６０の形成材料としてシリコンを用いる場合に、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成材料としてシリコンを用いると、保護基板６０の除去の際に基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２が除去されるおそれがあるため、この場合には、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成材料としてＴｉやＡｌを用いてもよい。

Ａ－５．本実施形態の効果：
　以上説明したように、本実施形態の圧力センサ付きガイドワイヤ１０を構成する光学式圧力センサ１２は、光学素子１００を構成する基端側部材１１０および先端側部材１２０と、光伝送媒体２００とを備える。基端側部材１１０は、板状部１１１を有している。また、先端側部材１２０は、全体が板状部として機能する。基端側部材１１０および先端側部材１２０は、先端側部材１２０と基端側部材１１０の板状部１１１とが対向する姿勢で互いに接合されている。基端側部材１１０は、板状部１１１から延びて先端面が先端側部材１２０の表面に接合された側壁部１１６を有している。基端側部材１１０の板状部１１１および側壁部１１６と先端側部材１２０とによって、密閉空間１０８が画定されている。また、光伝送媒体２００は、基端側部材１１０の板状部１１１における密閉空間１０８側の表面（底面１１４）とは反対側の表面（裏面１１３）に取り付けられている。基端側部材１１０の板状部１１１における密閉空間１０８に対向する表面である底面１１４には、光伝送媒体２００によって伝送される光を反射する基端側反射膜１０１が形成されている。先端側部材１２０における基端側部材１１０側の表面である基端側表面１２２は、密閉空間１０８に対向する空間対向領域１２２Ｃと、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７に対向する側壁対向領域１２２Ｐと、を含み、空間対向領域１２２Ｃの全体に、光伝送媒体２００によって伝送される光を反射する先端側反射膜１０２が形成されている。

　このように、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃの全体に、先端側反射膜１０２が形成されている。そのため、本実施形態の光学式圧力センサ１２によれば、以下に説明するように、光学式圧力センサの測定精度を十分に向上させることができる。

　図７は、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘの構成を示す説明図である。比較例の光学式圧力センサ１２Ｘでは、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃの全体ではなく、中央部の一部のみに先端側反射膜１０２が形成されており、空間対向領域１２２Ｃの周縁部には先端側反射膜１０２が形成されていない。これは、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘの製造の際に、先端側部材１２０に例えば蒸着やスパッタリングによって先端側反射膜１０２を形成した後に、先端側部材１２０と基端側部材１１０とを、例えば溶融による方法やＡｕ－Ｓｎロウ付けによる方法を用いて接合しているからである。すなわち、この比較例では、先端側部材１２０と基端側部材１１０との接合面に先端側反射膜１０２が形成されることによって接合不良が発生しないように、空間対向領域１２２Ｃの周縁部への先端側反射膜１０２の形成を避け、空間対向領域１２２Ｃの中央部のみに先端側反射膜１０２を形成しているのである。なお、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘでは、同様に、基端側部材１１０の板状部１１１における底面１１４の全体ではなく、中央部の一部のみに基端側反射膜１０１が形成されており、該底面１１４の周縁部には基端側反射膜１０１が形成されていない。

　このように、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘでは、先端側反射膜１０２が、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃの全体ではなく、中央部の一部のみに形成されている。そのため、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘでは、密閉空間１０８内において先端側反射膜１０２による光の反射強度を十分に向上させることができない。また、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘでは、基端側表面１２２の空間対向領域１２２Ｃにおいて先端側反射膜１０２の形成位置ずれが発生し、該位置ずれに起因して干渉波形のバックグラウンドが増減するおそれがある。その結果、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘでは、光学式圧力センサ１２Ｘの測定精度を十分に向上させることができない。

　これに対し、図２および図３に示すように、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、先端側反射膜１０２が、先端側部材１２０の基端側表面１２２における空間対向領域１２２Ｃの全体に形成されている。そのため、先端側反射膜１０２による光の反射強度を十分に向上させることができると共に、基端側表面１２２の空間対向領域１２２Ｃにおいて先端側反射膜１０２の形成位置ずれが発生することを回避することができる。従って、本実施形態の光学式圧力センサ１２によれば、光学式圧力センサ１２の測定精度を十分に向上させることができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２とのうち、光伝送媒体２００からの距離が遠い方の反射膜である先端側反射膜１０２の厚さＴ２が、光伝送媒体２００からの距離が近い方の反射膜である基端側反射膜１０１の厚さＴ１より厚い。そのため、密閉空間１０８内で多重反射する光が、先端側反射膜１０２を透過することを抑制することができる。密閉空間１０８内で多重反射する光が先端側反射膜１０２を透過すると、該光が先端側部材１２０の内部を通って先端側部材１２０の先端面に至り、該先端面で反射して再び密閉空間１０８内に戻り、そのように戻された光が密閉空間１０８内での多重反射の干渉波長のピーク値に影響を与え、その結果、光学式圧力センサ１２の測定精度が低下するおそれがある。本実施形態の光学式圧力センサ１２によれば、密閉空間１０８内で多重反射する光が先端側反射膜１０２を透過することを抑制することができるため、光学式圧力センサ１２の測定精度が低下することを抑制することができる。また、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、基端側反射膜１０１の厚さＴ１を比較的薄くすることができるため、基端側反射膜１０１を透過して密閉空間１０８内に至る光量を多くすることができ、その結果、多重反射の干渉波長のピーク値を大きくすることができ、光学式圧力センサ１２の測定精度を向上させることができる。

　なお、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、基端側部材１１０と先端側部材１２０が同一材料により形成されていることが好ましい。このようにすれば、基端側部材１１０と先端側部材１２０との熱膨張率の差を低減することができ、該熱膨張率の差に起因して光学式圧力センサ１２の測定精度が低下することを抑制することができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、先端側部材１２０における密閉空間１０８に対向する部分は、外部の圧力によって変形するダイアフラム部１２８を構成する。そのため、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面の全体に、先端側反射膜１０２が形成されている。従って、以下に説明するように、ダイアフラム部１２８が破損したりダイアフラム部１２８の耐久性が低下したりすることを抑制することができると共に、光学式圧力センサ１２の測定精度が低下することを抑制することができる。

　すなわち、比較例の光学式圧力センサ１２Ｘでは、先端側反射膜１０２が、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面（空間対向領域１２２Ｃ）の中央部の一部のみに形成されているため、先端側反射膜１０２のエッジＥがダイアフラム部１２８上に位置する。そのため、ダイアフラム部１２８が変形した際に先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に応力が集中し、ダイアフラム部１２８が破損するおそれがある。また、ダイアフラム部１２８の先端側反射膜１０２には反射膜形成時の残留応力が発生していることが多く、先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に該残留応力が集中するため、ダイアフラム部１２８の耐久性が低下するおそれがある。さらに、外部温度が変化した際に、ダイアフラム部１２８と先端側反射膜１０２との熱膨張差に起因する熱応力が先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に集中するため、ダイアフラム部１２８が変形しやすくなり、その結果、光学式圧力センサ１２の測定精度の低下（温度ドリフト）が発生するおそれがある。

　これに対し、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面の全体に先端側反射膜１０２が形成されているため、先端側反射膜１０２のエッジＥがダイアフラム部１２８上に位置しない。そのため、本実施形態の光学式圧力センサ１２によれば、ダイアフラム部１２８が変形した際に先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に応力が集中することを抑制することができ、ダイアフラム部１２８が破損することを抑制することができる。また、先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に残留応力が集中しても、ダイアフラム部１２８の耐久性が低下することを抑制することができる。さらに、外部温度が変化した際に、ダイアフラム部１２８と先端側反射膜１０２との熱膨張差に起因する熱応力が先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に集中しても、ダイアフラム部１２８が変形しやすくなることを回避することができ、光学式圧力センサ１２の測定精度の低下（温度ドリフト）が発生することを抑制することができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２では、先端側反射膜１０２は、先端側部材１２０における基端側表面１２２の空間対向領域１２２Ｃから連続して側壁対向領域１２２Ｐにも形成されている。換言すれば、先端側反射膜１０２が、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面から連続して、先端側部材１２０における基端側部材１１０との接合面にも形成されている。そのため、先端側反射膜１０２のエッジＥは、ダイアフラム部１２８の外周縁上にも位置せず、ダイアフラム部１２８の外周縁より外周側に位置する。従って、本実施形態の光学式圧力センサ１２によれば、ダイアフラム部１２８が変形した際に先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に応力が集中することを効果的に抑制することができ、ダイアフラム部１２８が破損することを効果的に抑制することができる。また、先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に残留応力が集中しても、ダイアフラム部１２８の耐久性が低下することを効果的に抑制することができる。さらに、外部温度が変化した際に、ダイアフラム部１２８と先端側反射膜１０２との熱膨張差に起因する熱応力が先端側反射膜１０２のエッジＥの位置に集中しても、ダイアフラム部１２８が変形しやすくなることを効果的に回避することができ、光学式圧力センサ１２の測定精度の低下（温度ドリフト）が発生することを効果的に抑制することができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法は、準備工程（Ｓ１１０）と、成膜工程（Ｓ１３０）と、接合工程（Ｓ１４０）とを備える。準備工程（Ｓ１１０）は、基端側部材１１０と先端側部材１２０とを準備する工程である。成膜工程（Ｓ１３０）は、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、基端側部材１１０の板状部１１１における先端側部材１２０に対向する表面である底面１１４、および、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７のうちの先端側部材１２０に対向する領域（先端面１１７の全体）に、特定の金属により形成され、光を反射する基端側反射膜１０１を成膜する工程を含む。また、成膜工程（Ｓ１３０）は、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、先端側部材１２０における基端側部材１１０側の表面である基端側表面１２２のうち、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７に対向する側壁対向領域１２２Ｐ、および、側壁対向領域１２２Ｐによって囲まれた空間対向領域１２２Ｃの全体に、上記特定の金属により形成され、光を反射する先端側反射膜１０２を成膜する工程を含む。接合工程（Ｓ１４０）は、－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、基端側反射膜１０１が成膜された基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７と、先端側反射膜１０２が成膜された先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐとを当接させることによって、基端側部材１１０と先端側部材１２０とを接合する工程である。

　このように、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法では、－１０℃以上、２００℃以下という過度に高くない温度で基端側部材１１０と先端側部材１２０とを接合することができるため、光学式圧力センサ１２の製造の際に各部材に熱ひずみが発生することを抑制することができる。また、基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合の際に溶融物や接着剤を用いることがないため、溶融物や接着剤の流れ出しに起因する光学式圧力センサ１２の品質低下を抑制することができる。さらに、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２を基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合のための接合材として機能させることができるため、反射膜の成膜と接合材の形成とを別々の工程として実施する製造方法と比較して、製造の効率化を実現することができる。また、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成の際に酸系の薬剤を使用する必要がないため、酸系の薬剤による基端側部材１１０および先端側部材１２０の表面の荒れに起因する接合不良や光透過性の低下を抑制することができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法は、さらに、研磨工程（Ｓ１２０）を備える。研磨工程（Ｓ１２０）は、成膜工程（Ｓ１３０）の前に、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７を研磨する工程を含む。また、研磨工程（Ｓ１２０）は、成膜工程（Ｓ１３０）の前に、先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐを研磨する工程を含む。そのため、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法によれば、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７と基端側反射膜１０１との接合強度、および、先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐと先端側反射膜１０２との接合強度を向上させることができ、その結果、基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合強度を向上させることができる。なお、研磨工程（Ｓ１２０）は、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７および先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐを、表面粗さＳａが５０ｎｍ未満になるように研磨する工程である。そのため、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法によれば、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７と基端側反射膜１０１との接合強度、および、先端側部材１２０の基端側表面１２２の側壁対向領域１２２Ｐと先端側反射膜１０２との接合強度を効果的に向上させることができ、その結果、基端側部材１１０と先端側部材１２０との接合強度を効果的に向上させることができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法は、さらに、接合工程（Ｓ１４０）の後に、基端側部材１１０における密閉空間１０８側の表面とは反対側の表面である裏面１１３に、光伝送媒体２００を取り付ける取り付け工程（Ｓ１５０）を備える。また、成膜工程（Ｓ１３０）は、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２とのうち、取り付け工程（Ｓ１５０）の後の状態において光伝送媒体２００からの距離が遠い方の反射膜である先端側反射膜１０２の厚さＴ２が、光伝送媒体２００からの距離が近い方の反射膜である基端側反射膜１０１の厚さＴ１より厚くなるように、実行される。そのため、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法によれば、製造された光学式圧力センサ１２において、密閉空間１０８内で多重反射する光が先端側反射膜１０２を透過することを抑制することができ、光学式圧力センサ１２の測定精度が低下することを抑制することができる。また、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法によれば、基端側反射膜１０１の厚さＴ１を比較的薄くすることができるため、基端側反射膜１０１を透過して密閉空間１０８内に至る光量を多くすることができ、その結果、多重反射の干渉波長のピーク値を大きくすることができ、光学式圧力センサ１２の測定精度を向上させることができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法は、成膜工程（Ｓ１３０）において成膜される基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２の形成材料である特定の金属は、Ｓｉと、ＳｉＣと、Ａｌと、Ｃｕと、Ｃｒと、Ｎｉと、Ｔｉと、Ａｕと、の少なくとも１つを含むことが好ましい。このようにすれば、－１０℃以上、２００℃以下という過度に高くない温度で、基端側部材１１０と先端側部材１２０とをより確実に接合することができる。

　また、本実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法では、基端側部材１１０と先端側部材１２０とが同一材料により形成されていることが好ましい。このようにすれば、製造された光学式圧力センサ１２において、基端側部材１１０と先端側部材１２０との熱膨張率の差を低減することができ、該熱膨張率の差に起因して光学式圧力センサ１２の測定精度が低下することを抑制することができる。

Ｂ．第２実施形態：
　図８は、第２実施形態における光学式圧力センサ１２ａの構成を概略的に示す説明図である。以下では、第２実施形態の光学式圧力センサ１２ａの構成のうち、上述した第１実施形態の光学式圧力センサ１２と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

　第２実施形態における光学式圧力センサ１２ａでは、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２との厚さの大小関係が、第１実施形態における光学式圧力センサ１２と異なっている。具体的には、第２実施形態における光学式圧力センサ１２ａでは、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２とのうち、光伝送媒体２００からの距離が近い方の反射膜である基端側反射膜１０１の厚さＴ１が、光伝送媒体２００からの距離が遠い方の反射膜である先端側反射膜１０２の厚さＴ２より厚い。

　このように、第２実施形態の光学式圧力センサ１２ａでは、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２とのうち、光伝送媒体２００からの距離が近い方の反射膜である基端側反射膜１０１の厚さＴ１が、光伝送媒体２００からの距離が遠い方の反射膜である先端側反射膜１０２の厚さＴ２より厚い。そのため、非常に薄い板状の部分であるダイアフラム部１２８に形成される先端側反射膜１０２を比較的薄くすることができ、ダイアフラム部１２８と先端側反射膜１０２との熱膨張差に起因する熱応力を小さくすることができ、その結果、該熱応力に起因して光学式圧力センサ１２ａの測定精度の低下（温度ドリフト）が発生することを抑制することができる。

Ｃ．第３実施形態：
　図９は、第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂの構成を概略的に示す説明図である。以下では、第３実施形態の光学式圧力センサ１２ｂの構成のうち、上述した第１実施形態の光学式圧力センサ１２と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

　第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂでは、光学素子１００を構成する基端側部材１１０と先端側部材１２０との構成が、第１実施形態における光学式圧力センサ１２と異なっている。すなわち、第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂでは、上述した第１実施形態とは反対に、基端側部材１１０が略円板状の部材であり、先端側部材１２０が有底筒状の部材である。

　より詳細には、先端側部材１２０は、中心軸ＡＸに略直交する略円板状の板状部１２１と、板状部１２１の周縁部から基端側に所定の長さだけ延びる側壁部１２６とを有する。側壁部１２６は、板状部１２１の周縁部の全周にわたって連続的に形成されている。また、基端側部材１１０は、中心軸ＡＸに略直交する略円板状の部材である。本実施形態において、先端側部材１２０は、特許請求の範囲における第１部材の一例であり、基端側部材１１０は、特許請求の範囲における第２部材の一例であり、基端側部材１１０の全体は、特許請求の範囲における第２部材の板状部の一例である。

　基端側部材１１０の先端側表面（先端側部材１２０側の表面であり、以下、「先端側表面１１２」という。）における周縁部の領域（以下、「側壁対向領域１１２Ｐ」という。）と、先端側部材１２０の側壁部１２６の先端面１２７の全体とは、Ｚ軸方向に互いに対向しており、かつ、接合材として機能する基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２を介して互いに接合されている。これにより、基端側部材１１０と先端側部材１２０とが互いに接合されている。互いに接合された基端側部材１１０と先端側部材１２０とにより構成される光学素子１００の内部には、先端側部材１２０の板状部１２１および側壁部１２６と基端側部材１１０とにより画定された密閉空間１０８が形成されている。先端側部材１２０の側壁部１２６の先端面１２７の全体は、特許請求の範囲における第１部材側対向領域の一例であり、基端側部材１１０の先端側表面１１２の側壁対向領域１１２Ｐは、特許請求の範囲における第２部材側対向領域の一例である。

　先端側部材１２０の板状部１２１における中央部（密閉空間１０８に対向する部分）は、非常に薄い板状部分であり、外部の圧力によって変形する（たわむ）ダイアフラム部１２８を構成する。

　光学素子１００内には、密閉空間１０８を挟んで互いに対向（正対）する２つの反射膜が形成されている。より詳細には、基端側部材１１０の先端側表面１１２における密閉空間１０８に対向する領域（上述した側壁対向領域１１２Ｐにより囲まれた領域であり、以下、「空間対向領域１１２Ｃ」という。）には、基端側反射膜１０１が形成されている。基端側反射膜１０１は、光伝送媒体２００によって伝送される光の一部を反射し、残りの一部を透過するように構成されている。本実施形態では、基端側反射膜１０１は、基端側部材１１０の先端側表面１１２における空間対向領域１１２Ｃの全体に形成されている。また、本実施形態では、基端側反射膜１０１は、基端側部材１１０の先端側表面１１２における空間対向領域１１２Ｃから連続して、側壁対向領域１１２Ｐの全体にも形成されている。すなわち、本実施形態では、基端側部材１１０の先端側表面１１２の全体に、基端側反射膜１０１が形成されている。基端側反射膜１０１は、特許請求の範囲における第２反射膜の一例であり、基端側部材１１０の先端側表面１１２における空間対向領域１１２Ｃは、特許請求の範囲における第１領域の一例であり、基端側部材１１０の先端側表面１１２における側壁対向領域１１２Ｐは、特許請求の範囲における第２領域の一例である。

　また、先端側部材１２０の板状部１２１における密閉空間１０８に対向する表面（以下、「底面１２４」という。）には、先端側反射膜１０２が形成されている。先端側反射膜１０２は、光伝送媒体２００によって伝送される光の少なくとも一部を反射するように構成されている。本実施形態では、先端側反射膜１０２は、先端側部材１２０の板状部１２１の底面１２４の全体に形成されている。なお、先端側部材１２０の板状部１２１における底面１２４は、換言すれば、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面である。そのため、先端側反射膜１０２は、ダイアフラム部１２８における密閉空間１０８に対向する表面の全体に形成されていると言える。また、本実施形態では、先端側反射膜１０２は、底面１２４に加えて、側壁部１２６の内周面にも形成されている。先端側反射膜１０２は、特許請求の範囲における第１反射膜の一例である。

　基端側反射膜１０１の厚さＴ１および先端側反射膜１０２の厚さＴ２は、例えば、１ｎｍ～５０ｎｍ程度である。ただし、本実施形態では、基端側反射膜１０１と先端側反射膜１０２とのうち、光伝送媒体２００からの距離が遠い方の反射膜である先端側反射膜１０２の厚さＴ２は、光伝送媒体２００からの距離が近い方の反射膜である基端側反射膜１０１の厚さＴ１より厚い。

　第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂは、上述した第１実施形態における光学式圧力センサ１２の製造方法と同様の方法（図４および図５参照）により製造することができる。ただし、上述したように、第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂでは、基端側部材１１０が略円板状の部材であり、先端側部材１２０が有底筒状の部材であるため、その点に関して製造方法が異なる。

　第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂは、上述した第１実施形態における光学式圧力センサ１２と同様の構成を有しているため、第１実施形態における光学式圧力センサ１２と同様に、基端側反射膜１０１による最大限の反射強度を得ることができると共に、先端側表面１１２の空間対向領域１１２Ｃにおいて基端側反射膜１０１の形成位置ずれが発生することを回避することができ、光学式圧力センサ１２ｂの測定精度を十分に向上させることができる。

　また、第３実施形態における光学式圧力センサ１２ｂの製造方法は、上述した第１実施形態における光学式圧力センサ１２の製造方法と同様の方法であるため、光学式圧力センサ１２ｂの製造の際に各部材に熱ひずみが発生することを抑制することができると共に、溶融物や接着剤の流れ出しに起因する光学式圧力センサ１２ｂの品質低下を抑制することができ、さらに、光学式圧力センサ１２ｂの製造の効率化を実現することができる。

Ｄ．変形例：
　本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。

　上記実施形態における圧力センサ付きガイドワイヤ１０およびそれを構成する光学式圧力センサ１２の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。図１０は、第１変形例の光学式圧力センサ１２ｃの構成を概略的に示す説明図である。図１０に示す第１変形例の光学式圧力センサ１２ｃでは、基端側反射膜１０１が、基端側部材１１０の板状部１１１の底面１１４の全体に形成されているが、側壁部１１６の内周面には形成されていない。このように、基端側反射膜１０１が基端側部材１１０の側壁部１１６の内周面に形成されていなくてもよい。

　図１１は、第２変形例の光学式圧力センサ１２ｄの構成を概略的に示す説明図である。図１１に示す第２変形例の光学式圧力センサ１２ｄでは、基端側部材１１０の側壁部１１６の内周面が中心軸ＡＸに対して傾斜しており、その結果、密閉空間１０８の径が先端側ほど大きくなっている。なお、このような形態は、例えば、基端側部材１１０の形成材料である略円柱状の部材に対して等方性エッチングを行い、密閉空間１０８を構成するための凹部として、側壁部１１６に近い位置ほど径が小さい凹部を形成することにより実現することができる。このように、基端側部材１１０の側壁部１１６は、必ずしも中心軸ＡＸに平行な壁状である必要はなく、基端側部材１１０の板状部１１１から先端側に延びる壁状であれば、任意の形状を採用することができる。

　図１２は、第３変形例の光学式圧力センサ１２ｅの構成を概略的に示す説明図である。図１２に示す第３変形例の光学式圧力センサ１２ｅでは、先端側部材１２０の基端側表面１２２における中央部に、基端側に向けて突出する凸部１２９が形成されており、その結果、ダイアフラム部１２８における中央部の厚さが厚くなっている。図１２に示す第３変形例の光学式圧力センサ１２ｅによれば、外部の圧力に応じてダイアフラム部１２８が変形しても、ダイアフラム部１２８の中央部が中心軸ＡＸに直交する状態を維持することができるため、ダイアフラム部１２８の中央部に形成された先端側反射膜１０２の表面が中心軸ＡＸに直交する状態を維持することができ、その結果、先端側反射膜１０２による光の反射方向を中心軸ＡＸに平行な方向に維持することができ、密閉空間１０８における光の多重反射の干渉ピーク波長に基づく外部の圧力の測定精度を向上させることができる。

　上記実施形態では、基端側部材１１０が板状部１１１と側壁部１１６とから構成されているが、基端側部材１１０が、板状部１１１と側壁部１１６とに加えて他の部分を有していてもよい。また、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７の全体が、先端側部材１２０と接合されているが、基端側部材１１０の側壁部１１６の先端面１１７の一部の領域のみが、先端側部材１２０と接合されていてもよい。また、上記実施形態では、先端側部材１２０が全体として板状部を構成しているが、先端側部材１２０が、板状部に加えて他の部分を有していてもよい。また、先端側部材１２０の基端側表面１２２の周縁部の全体が、基端側部材１１０と接合されているが、先端側部材１２０の基端側表面１２２の周縁部の一部の領域のみが、基端側部材１１０と接合されていてもよい。

　上記実施形態において、基端側反射膜１０１の厚さＴ１と先端側反射膜１０２の厚さＴ２との大小関係は、任意に変更可能であり、例えば、基端側反射膜１０１の厚さＴ１と先端側反射膜１０２の厚さＴ２とを同一としてもよい。また、基端側反射膜１０１および／または先端側反射膜１０２を多層構成としてもよい。例えば、基端側反射膜１０１をＳｉ層とＡｕ層との２層構成とし、先端側反射膜１０２をＳｉ単層としてもよい。この場合には、基端側反射膜１０１および先端側反射膜１０２が原子拡散接合の接合薄膜として機能するように、基端側反射膜１０１における先端側反射膜１０２と接する側をＳｉ層とすればよい。

　上記実施形態における光学式圧力センサ１２の製造方法は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態の光学式圧力センサ１２の製造方法では、研磨工程（Ｓ１２０）が実行されているが、この研磨工程は省略されてもよい。

　上記実施形態では、光学式圧力センサ１２を備える圧力センサ付きガイドワイヤ１０を例に用いて説明したが、本明細書に開示される光学式圧力センサ１２は、ガイドワイヤに限らず、他の種類の医療用デバイスや、医療用以外のデバイスにも搭載可能である。

１０：圧力センサ付きガイドワイヤ　１２：光学式圧力センサ　１３：基端側コアシャフト　１５：先端側コアシャフト　１５Ｄ：細径部　１５Ｐ：テーパ部　１５Ｆ：フランジ部　１６：コイル体　１７：先端側接合部　１８：貫通孔　１９：凹部　２１：光源　２２：分光器　２３：コンソール　６０：保護基板　１００：光学素子　１０１：基端側反射膜　１０２：先端側反射膜　１０８：密閉空間　１１０：基端側部材　１１０Ｚ：基端側部材材料　１１１：板状部　１１２：先端側表面　１１２Ｃ：空間対向領域　１１２Ｐ：側壁対向領域　１１３：裏面　１１４：底面　１１６：側壁部　１１７：先端面　１１８：凹部　１２０：先端側部材　１２０Ｚ：先端側部材材料　１２１：板状部　１２２：基端側表面　１２２Ｃ：空間対向領域　１２２Ｐ：側壁対向領域　１２４：底面　１２６：側壁部　１２７：先端面　１２８：ダイアフラム部　１２９：凸部　２００：光伝送媒体　ＡＸ：中心軸　Ｅ：エッジ　Ｌｃ：キャビティ長

Claims (13)

1. 　光学式圧力センサであって、
   　それぞれ板状部を有する第１部材および第２部材であって、前記第１部材および前記第２部材は２つの前記板状部が対向する姿勢で互いに接合されており、前記第１部材は前記第１部材の前記板状部から延びて先端面が前記第２部材の前記板状部の表面に接合された側壁部を有しており、２つの前記板状部と前記側壁部とによって密閉空間が画定されている、第１部材および第２部材と、
   　２つの前記板状部の一方における前記密閉空間側の表面とは反対側の表面に取り付けられた光伝送媒体と、
   を備え、
   　前記第１部材の前記板状部における前記密閉空間に対向する表面には、前記光伝送媒体によって伝送される光を反射する第１反射膜が形成されており、
   　前記第２部材の前記板状部における前記第１部材側の表面は、前記密閉空間に対向する第１領域と、前記第１部材の前記側壁部の前記先端面に対向する第２領域と、を含み、前記第１領域の全体に、前記光伝送媒体によって伝送される光を反射する第２反射膜が形成されている、
   　光学式圧力センサ。
2. 　請求項１に記載の光学式圧力センサであって、
   　前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さは、前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さより厚い、
   　光学式圧力センサ。
3. 　請求項１に記載の光学式圧力センサであって、
   　前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さは、前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さより厚い、
   　光学式圧力センサ。
4. 　請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の光学式圧力センサであって、
   　前記第１部材と、前記第２部材とは、同一材料により形成されている、
   　光学式圧力センサ。
5. 　請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の光学式圧力センサであって、
   　前記第２部材の前記板状部における前記密閉空間に対向する部分は、外部の圧力によって変形するダイアフラム部を構成する、
   　光学式圧力センサ。
6. 　請求項５に記載の光学式圧力センサであって、
   　前記第２反射膜は、前記第２部材の前記板状部における前記第１部材側の表面の前記第１領域から連続して前記第２領域にも形成されている、
   　光学式圧力センサ。
7. 　それぞれ板状部を有する第１部材および第２部材であって、前記第１部材および前記第２部材は２つの前記板状部が対向する姿勢で互いに接合されており、前記第１部材は前記第１部材の前記板状部から延びて先端面が前記第２部材の前記板状部の表面に接合された側壁部を有しており、２つの前記板状部と前記側壁部とによって密閉空間が画定されている、第１部材および第２部材を備える光学式圧力センサの製造方法であって、
   　前記第１部材と前記第２部材とを準備する第１工程と、
   　－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、前記第１部材の前記板状部における前記第２部材の前記板状部に対向する表面、および、前記第１部材の前記側壁部の前記先端面のうちの前記第２部材の前記板状部に対向する第１部材側対向領域に、特定の金属により形成され、光を反射する第１反射膜を成膜する第２工程と、
   　－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、前記第２部材の前記板状部における前記第１部材側の表面のうち、前記第１部材の前記側壁部の前記先端面に対向する第２部材側対向領域、および、第２部材側対向領域によって囲まれた領域の全体に、前記特定の金属により形成され、光を反射する第２反射膜を成膜する第３工程と、
   　－１０℃以上、２００℃以下、かつ、標準大気圧未満の真空下において、前記第１反射膜が成膜された前記第１部材の前記第１部材側対向領域と、前記第２反射膜が成膜された前記第２部材の前記第２部材側対向領域とを当接させることによって、前記第１部材と前記第２部材とを接合する第４工程と、
   を備える、
   　光学式圧力センサの製造方法。
8. 　請求項７に記載の光学式圧力センサの製造方法であって、さらに、
   　前記第２工程の前に、前記第１部材側対向領域を研磨する第５工程と、
   　前記第３工程の前に、前記第２部材側対向領域を研磨する第６工程と、
   を備える、
   　光学式圧力センサの製造方法。
9. 　請求項８に記載の光学式圧力センサの製造方法であって、
   　前記第５工程は、前記第１部材側対向領域を表面粗さＳａが５０ｎｍ未満になるように研磨する工程であり、
   　前記第６工程は、前記第２部材側対向領域を表面粗さＳａが５０ｎｍ未満になるように研磨する工程である、
   　光学式圧力センサの製造方法。
10. 　請求項７から請求項９までのいずれか一項に記載の光学式圧力センサの製造方法であって、さらに、
    　前記第４工程の後に、前記第１部材の前記板状部と前記第２部材の前記板状部との一方における前記密閉空間側の表面とは反対側の表面に、光伝送媒体を取り付ける第７工程を備え、
    　前記第２工程および前記第３工程は、前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記第７工程後の状態において前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さが、前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さより厚くなるように、実行される、
    　光学式圧力センサの製造方法。
11. 　請求項７から請求項９までのいずれか一項に記載の光学式圧力センサの製造方法であって、さらに、
    　前記第４工程の後に、前記第１部材の前記板状部と前記第２部材の前記板状部との一方における前記密閉空間側の表面とは反対側の表面に、光伝送媒体を取り付ける第７工程を備え、
    　前記第２工程および前記第３工程は、前記第１反射膜と前記第２反射膜とのうち、前記第７工程後の状態において前記光伝送媒体からの距離が近い方の前記反射膜の厚さが、前記光伝送媒体からの距離が遠い方の前記反射膜の厚さより厚くなるように、実行される、
    　光学式圧力センサの製造方法。
12. 　請求項７から請求項１１までのいずれか一項に記載の光学式圧力センサの製造方法であって、
    　前記特定の金属は、Ｓｉと、ＳｉＣと、Ａｌと、Ｃｕと、Ｃｒと、Ｎｉと、Ｔｉと、Ａｕと、の少なくとも１つを含む、
    　光学式圧力センサの製造方法。
13. 　請求項９から請求項１２までのいずれか一項に記載の光学式圧力センサの製造方法であって、
    　前記第１部材と、前記第２部材とは、同一材料により形成されている、
    　光学式圧力センサの製造方法。

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