WO2023167306A1

WO2023167306A1 - コンポジットセラミックス、蛍光体素子、レーザー照明装置、およびコンポジットセラミックスの製造方法

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Publication number: WO2023167306A1
Application number: PCT/JP2023/007928
Authority: WO
Inventors: 尚峯本; 雅弘東川; 加奈藤岡; 寛藤; 和久山本; 常夫楠木; 聖茄徳光; 英雄川部
Original assignee: Osaka University NUC; Oxide Corp
Current assignee: Oxide Corp; University of Osaka NUC
Priority date: 2022-03-02
Filing date: 2023-03-02
Publication date: 2023-09-07
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Abstract

コンポジットセラミックス（１）は、ガーネット系蛍光体成分（２）と、窒化物系蛍光体成分（３）と、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種からなるマトリックス成分（４）とを含む焼結体からなり、上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下であり、上記マトリックス成分は、上記ガーネット系蛍光体成分と上記窒化物系蛍光体成分とを取り囲んで焼結されている。

Description

コンポジットセラミックス、蛍光体素子、レーザー照明装置、およびコンポジットセラミックスの製造方法

　本開示は、ガーネット系蛍光体成分と窒化物系蛍光体成分とマトリックス成分とを含むコンポジットセラミックス、およびそれを備えた、蛍光体素子およびレーザー照明装置、並びに、コンポジットセラミックスの製造方法に関する。

　レーザー照明装置は、他の照明装置よりも省エネで、小型かつ高輝度であり、プロジェクタ用の照明装置、自動車のヘッドライト用の照明装置として、既に実用化が始まっている。また、家庭用照明市場でも、既存のＬＥＤ（発光ダイオード）照明装置および蛍光灯からレーザー照明装置への置き換えが期待され、今後、レーザー照明の市場が急拡大すると予想されている。

　しかしながら、このようなレーザー照明装置用の蛍光体として実用化されつつあるコンポジットセラミックスは、蛍光体成分として、青色光を黄色に変換するＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）系蛍光体を使用したものである。例えば、特許文献１には、コンポジットセラミックスとして、Ｃｅを含有するＹＡＧからなる蛍光体相と、Ａｌ_２Ｏ_３とＡｌＮの少なくとも一方からなるマトリックス相と、不純物とを所定の範囲の量だけ含むセラミックス複合体が開示されている。

　一方、近年、赤色系の蛍光を発光する赤色系蛍光体を含んだコンポジットセラミックスの開発も行われている。例えば、特許文献２には、コンポジットセラミックスとして、ＡｌＮ粉末と蛍光体粉末との混合物を放電プラズマ焼結法により焼結し、ＡｌＮ粉末を融解した後、冷却することで製造される蛍光物質成形体が開示されている。なお、ここで、赤色系蛍光体とは、赤色～オレンジ色の光を発する蛍光体を示す。そして、特許文献２には、上記蛍光体粉末に窒化物系蛍光体を用いてもよいことが開示されている。

日本国特開２０１１－０１２２１５号日本国特開２０１６－１８００７６号

　しかしながら、緻密なセラミックスを実現するためには原料を高温で焼結する必要があり、焼結時に高温にすると、特に窒化物系蛍光体が特性劣化し易い。そもそも、難焼結体である窒化物系蛍光体またはＡｌＮを用いたコンポジットセラミックスは、焼結自体が難しい。このため、赤色系蛍光体を含んだ、レーザー励起に耐え得る高パワー励起用のコンポジットセラミックスは実現されていない。

　本開示の一態様は、上記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、比較的容易に製造することができる、レーザー照明用の赤色系蛍光体を含んだコンポジットセラミックス、およびそれを備えた、蛍光体素子およびレーザー照明装置、並びに、そのようなコンポジットセラミックスの製造方法を提供することにある。

　上記の課題を解決するために、本開示の一態様に係るコンポジットセラミックスは、ガーネット系蛍光体成分と、窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、上記マトリックス成分は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、上記マトリックス成分は、上記ガーネット系蛍光体成分と上記窒化物系蛍光体成分とを取り囲んで焼結されている。

　上記の課題を解決するために、本開示の一態様に係る蛍光体素子は、本開示の一態様に係るコンポジットセラミックスと、上記コンポジットセラミックスを固定する基材とを備えている。

　上記の課題を解決するために、本開示の一態様に係るレーザー照明装置は、本開示の一態様に係る蛍光体素子と、上記蛍光体素子における上記コンポジットセラミックスに励起光を照射するレーザー光源と、上記蛍光体素子における上記コンポジットセラミックスから出力された光を集光する集光部材とを備えている。

　上記の課題を解決するために、本開示の一態様に係るコンポジットセラミックスの製造方法は、ガーネット系蛍光体成分と、窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む第１原料粉を混合する混合工程と、混合した上記第１原料粉を成形型に収容する第１原料粉収容工程と、上記成形型に収容した上記第１原料粉を、放電プラズマ焼結法またはホットプレス法で焼結する焼結工程と、上記焼結工程で得られた焼結体を上記成形型から取り出す離型工程とを含む。

　本開示の一態様によれば、比較的容易に製造することができる、レーザー照明用の赤色系蛍光体を含んだコンポジットセラミックス、およびそれを備えた、蛍光体素子およびレーザー照明装置、並びに、そのようなコンポジットセラミックスの製造方法を提供することができる。

実施形態１に係るコンポジットセラミックスの組織の一例を示す断面図である。実施形態１に係るコンポジットセラミックスの製造方法の一例を示すフローチャートである。実施形態２に係るコンポジットセラミックスの組織の一例を示す断面図である。実施形態３に係るコンポジットセラミックスの組織の一例を示す断面図である。実施形態４に係るコンポジットセラミックスの組織の一例を示す断面図である。実施形態５に係る、一方の主面に反射防止コート膜が設けられたコンポジットセラミックスを示す図である。実施形態５に係る蛍光体素子の一例を示す断面図である。図７に示す蛍光体素子の製造方法の一例を示すフローチャートである。実施形態６に係るレーザー照明装置の一例を示す断面図である。実施例１～５および比較例１～５における、窒化物系蛍光体成分、マトリックス成分、ガーネット系蛍光体成分の含有率を示す三角図である。実施例１で得られたコンポジットセラミックスのＸＲＤパターンを示す図である。実施例１で得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を示す図である。実施例１で得られたコンポジットセラミックスの蛍光スペクトルを示す図である。実施例２で得られたコンポジットセラミックスのＳＥＭ画像の一例を示す図である。実施例２で得られたコンポジットセラミックスのＸＲＤパターンを示す図である。実施例２で得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を示す図である。実施例２で得られたコンポジットセラミックスの蛍光スペクトルを示す図である。実施例３で得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を示す図である。実施例３で得られたコンポジットセラミックスの蛍光スペクトルを示す図である。比較例１で得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を示す図である。比較例１で得られたコンポジットセラミックスの蛍光スペクトルを示す図である。実施例６、７および比較例６～９における、窒化物系蛍光体成分、マトリックス成分、ガーネット系蛍光体成分の含有率を示す三角図である。実施例６で得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を示す図である。実施例６で得られたコンポジットセラミックスの蛍光スペクトルを示す図である。実施例６、７で得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を示す図である。実施例８～１２および比較例１０～１３における、窒化物系蛍光体成分、マトリックス成分、ガーネット系蛍光体成分の含有率を示す三角図である。実施例１３～１８および比較例１４～１７における、窒化物系蛍光体成分、マトリックス成分、ガーネット系蛍光体成分の含有率を示す三角図である。参考例１２のコンポジットセラミックスにおけるアニール処理前後の蛍光パワー特性を示す図である。参考例１３のコンポジットセラミックスにおけるアニール処理前後の蛍光パワー特性を示す図である。実施例１８のコンポジットセラミックスから作製された蛍光体素子の励起光パワー耐性を示す図である。レーザー光の連続照射による蛍光パワーの特性を示す図である。

　本開示の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、先に説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。また、実施形態２以降の実施形態では、先に説明した実施形態との相異点について説明する。特に説明がない場合でも、実施形態２以降の実施形態において、先に説明した実施形態と同様の変形が可能であることは、言うまでもない。また、以下、２つの数ＡおよびＢについての「Ａ～Ｂ」という記載は、特に明示されない限り、「Ａ以上かつＢ以下」を意味する。

　〔実施形態１〕
　図１は、本実施形態に係るコンポジットセラミックス１の組織の一例を示す断面図である。

　本実施形態に係るコンポジットセラミックス１は、２種類以上の発光波長を有する蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む焼結体からなる多波長発光のセラミックス複合体である。

　図１に示すコンポジットセラミックス１は、ガーネット系蛍光体成分２と、窒化物系蛍光体成分３と、マトリックス成分４とを含み、マトリックス成分４が、ガーネット系蛍光体成分２と窒化物系蛍光体成分３とを取り囲んで焼結された構造を有している。

　このため、コンポジットセラミックス１は、図１に示すように、マトリックス成分４中にガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３が島状に混在した海島構造を有している。つまり、コンポジットセラミックス１は、比較的連続に見える海状のマトリックス成分４中に、ガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３が島状に分散された構造を有している。ガーネット系蛍光体成分２と窒化物系蛍光体成分３との間には、マトリックス成分４が充填されている。

　ガーネット系蛍光体成分２と、窒化物系蛍光体成分３と、マトリックス成分４とは、互いに固着されている。

　コンポジットセラミックス１は、ガーネット系蛍光体成分２からなる第１の蛍光体相と、窒化物系蛍光体成分３からなる第２の蛍光体相と、マトリックス成分４からなるマトリックス相と、の少なくとも３相を有している。

　このため、コンポジットセラミックス１は、少なくとも上記３相が混在し、互いに隣接する相が固着した構造を有している。ここで、少なくとも上記３相が混在し、互いに隣接する相が固着した構造とは、上記３相が固溶せずに、固体中でそれぞれの相の領域に分離して、互いに隣接する相が固着している構造を示す。また、焼結助剤または不純物が粒界に存在する場合も含む。あるいは、粒子間でわずかに変質相または融解相があっても、基本的に３相の構造をしっかり有している場合はコンポジットセラミックスとする。

　なお、３相以上の相のうち、少なくとも互いに隣接する相が互いに固溶した固溶体は、コンポジットセラミックス１から除かれる。また、３相以上の相が単に直接接合された接合物、並びに、無機ガラスおよび有機バインダーの少なくとも一方によって少なくとも上記３相が固められた組成物は、コンポジットセラミックス１から除かれる。

　（ガーネット系蛍光体成分２）
　本開示において、ガーネット系蛍光体成分２とは、結晶構造がガーネット構造を有する蛍光体を示す。ガーネット系蛍光体成分２は、屈折率が大きく、蛍光特性に優れた蛍光体であり、例えば、青色励起光によって、黄色～緑色の黄色系の蛍光を発光する。また、励起光のうち励起に寄与しなかった光は、散乱させて透過する。このため、ガーネット系蛍光体成分２は、青色散乱光と、黄色系の蛍光とを出力する。

　ガーネット系蛍光体成分２は、耐熱性に優れ、例えばハイパワーの励起光ＬＤ（レーザーダイオード）を照射した場合でも、劣化を抑えることができる。

　ガーネット系蛍光体成分２としては、例えば、ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）系蛍光体が挙げられる。なお、ＹＡＧ系蛍光体とは、ＹＡＧ蛍光体の結晶構造に帰属できる蛍光体を示す。

　ＹＡＧ系蛍光体としては、例えば、（Ｃｅ，Ｙ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ，Ｙ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ，Ｙ）_３（Ａｌ，Ｇａ）_５Ｏ_１２からなる群より選ばれる少なくとも一種が挙げられる。コンポジットセラミックス１がガーネット系蛍光体成分２として上記ＹＡＧ系蛍光体を含むことで、黄色～緑色の黄色系の蛍光を出力するコンポジットセラミックス１を容易に実現することができる。また、コンポジットセラミックス１がガーネット系蛍光体成分２として上記ＹＡＧ系蛍光体を含むことで、より蛍光特性に優れたコンポジットセラミックス１を得ることができる。

　（窒化物系蛍光体成分３）
　本開示において、窒化物系蛍光体成分３とは、窒素を含む蛍光体を示す。窒化物系蛍光体成分３としては、具体的には、窒化物蛍光体および酸窒化物蛍光体からなる群より選ばれる少なくとも一種の蛍光体が挙げられる。

　窒化物系蛍光体成分３は、蛍光特性に優れた、赤色～オレンジ色の赤色系の蛍光を発する赤色系蛍光体であり、例えば、青色励起光によって赤色系の蛍光を発光する。また、励起光のうち励起に寄与しなかった光は、散乱させて透過する。このため、窒化物系蛍光体成分３は、青色散乱光および赤色系蛍光を出力する。コンポジットセラミックス１が窒化物系蛍光体成分３を含むことで、電球色の蛍光を出力する３元系のコンポジットセラミックスを得ることができる。また、コンポジットセラミックス１が窒化物系蛍光体成分３を含むことで、より蛍光特性に優れたコンポジットセラミックス１を得ることができる。

　窒化物系蛍光体成分３としては、例えば、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８からなる群より選ばれる少なくとも一種の窒化物蛍光体が挙げられる。以下、説明の便宜上、これら窒化物蛍光体を、窒化物蛍光体（Ａ）と称する場合がある。ＥｕおよびＣｅは賦活剤であり、結晶中にドープされている。このように、窒化物系蛍光体成分３としては、例えば、Ｅｕ：Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、Ｅｕ：（Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、Ｅｕ：（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、Ｃｅ：Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、Ｃｅ：（Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、Ｃｅ：（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｅｕ，Ｃｅ）：Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｅｕ，Ｃｅ）：（Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｅｕ，Ｃｅ）：（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８等の窒化物蛍光体（Ａ）が挙げられる。

　コンポジットセラミックス１が窒化物系蛍光体成分３としてこのようなアルカリ土類窒化ケイ素を含むことで、安定した赤色系の蛍光を発するコンポジットセラミックス１を作製することができる。

　なお、これら窒化物蛍光体（Ａ）は、上記組成式におけるＳｉの一部およびＮの一部のうち少なくとも一方が置換されていてもよい。Ｓｉの一部が置換される場合、ＳｉはＡｌに置換される。Ｎの一部が置換される場合、ＮはＯに置換される。

　したがって、窒化物系蛍光体成分３は、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、あるいは（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８において、Ｓｉの一部がＡｌに置換された窒化物蛍光体であってもよく、Ｎの一部がＯに置換された酸窒化物蛍光体であってもよい。また、Ｓｉの一部がＡｌに置換され、Ｎの一部がＯに置換された酸窒化物蛍光体であってもよい。一例として、例えば、ＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、（Ｓｒ，Ｂａ）_２（Ｓｉ，Ａｌ）_５Ｎ_８、（Ｓｒ，Ｂａ）_２（Ｓｉ，Ａｌ）_５（Ｎ，Ｏ）_８等が挙げられる。

　コンポジットセラミックス１が窒化物系蛍光体成分３としてこのような窒化物蛍光体および酸窒化物蛍光体の少なくとも一方を含むことで、より信頼性の高いコンポジットセラミックス１を実現することができる。

　また、窒化物系蛍光体成分３は、例えば、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、ＣａＡｌＳｉＮ_３および（Ｃａ，Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種の窒化物蛍光体であってもよい。以下、説明の便宜上、これら窒化物蛍光体を、窒化物蛍光体（Ｂ）と称する場合がある。ＥｕおよびＣｅは賦活剤であり、結晶中にドープされている。このように、窒化物系蛍光体成分３としては、例えば、Ｅｕ：ＣａＡｌＳｉＮ_３、Ｅｕ：（Ｃａ，Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ_３、Ｃｅ：ＣａＡｌＳｉＮ_３、Ｃｅ：（Ｃａ，Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ_３、（Ｅｕ，Ｃｅ）：ＣａＡｌＳｉＮ_３、（Ｅｕ，Ｃｅ）：（Ｃａ，Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ_３等の窒化物蛍光体（Ｂ）であってもよい。

　さらに、上記窒化物系蛍光体成分３としては、窒化物蛍光体（Ａ）および窒化物蛍光体（Ｂ）以外に、例えば、Ｃｅで賦活された（Ｌａ、Ｙ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１等であってもよい。たとえば、上記窒化物系蛍光体成分３は、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、（Ｌａ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（Ｌａ，Ｙ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（Ｌａ，Ｙ、Ｌｕ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１からなる群より選ばれる少なくとも一種の窒化物系蛍光体成分が挙げられる。すなわち、上記窒化物系蛍光体成分３は、（Ｌａ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（Ｌａ，Ｙ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（Ｌａ，Ｙ、Ｌｕ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１からなる群より選ばれる少なくとも一種の窒化物系蛍光体成分（「Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分」とも言う）であって、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された窒化物系蛍光体成分である。以下、説明の便宜上、これら窒化物蛍光体を、「窒化物蛍光体（Ｃ）」と称する場合がある。ＥｕおよびＣｅは賦活剤であり、結晶中にドープされている。

　これら窒化物蛍光体（Ａ）、窒化物蛍光体（Ｂ）および窒化物蛍光体（Ｃ）、並びに、これら窒化物蛍光体（Ａ）および窒化物蛍光体（Ｂ）以外の窒化物蛍光体は、それぞれ別々に用いられてもよく、互いに固溶または反応しない範囲で併用しても構わない。

　（マトリックス成分４）
　マトリックス成分４は、ＭｇＯ（酸化マグネシウム）およびＡｌ_２Ｏ_３（酸化アルミニウム）からなる群より選ばれる少なくとも一種である。マトリックス成分４は、ＭｇＯであってもよく、Ａｌ_２Ｏ_３であってもよく、ＭｇＯとＡｌ_２Ｏ_３とが混在していてもよい。

　本実施形態に係るコンポジットセラミックス１は、０．５ｋＷ／ｃｍ^２以上の励起光パワー耐性を有している。このように、本実施形態に係るコンポジットセラミックス１は、励起光パワーに対する蛍光パワーが高く、レーザー励起に耐え得る、励起光パワー耐性が高い、低色温度用のコンポジットセラミックスである。このため、本実施形態によれば、実用的な、比較的高パワーでも蛍光飽和しない、レーザー用の蛍光体素子を実現することが可能である。

　なお、励起光パワー耐性は、高ければ高いほど、高出力でのレーザー励起に耐えることができることから、その上限値は、特に限定されるものではない。しかしながら、現実的に利用できるレーザー光源または各種光部品の励起光パワー耐性（レーザーパワー耐性）から、励起光パワー耐性の上限値は、１００ｋＷ／ｃｍ^２となる。したがって、本実施形態に係るコンポジットセラミックス１の励起光パワー耐性は、好ましくは０．５ｋＷ／ｃｍ^２以上、より好ましくは１ｋＷ／ｃｍ^２以上、さらに好ましくは３ｋＷ／ｃｍ^２以上であって、１００ｋＷ／ｃｍ^２以下の範囲内であることが望ましい。

　なお、本開示において、励起光パワー耐性とは、１ｃｍ^２当たりの励起光パワー（具体的には、レーザー励起光パワー）に対して、蛍光パワーが飽和する値を示す。励起光パワー耐性は、レーザー光源と積分球と分光器とを備えた蛍光体評価装置によって測定することができる。

　（コンポジットセラミックス１における各成分の含有率）
　コンポジットセラミックス１におけるマトリックス成分４の含有率は、コンポジットセラミックス１における全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内である。

　このように、本実施形態に係るコンポジットセラミックス１は、ガーネット系蛍光体成分２と、窒化物系蛍光体成分３と、マトリックス成分４とを含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、マトリックス成分４は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、マトリックス成分４の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、マトリックス成分４は、ガーネット系蛍光体成分２と窒化物系蛍光体成分３とを取り囲んで焼結されている。

　本実施形態によれば、これにより、比較的容易に製造することができる、レーザー照明用の赤色系蛍光体を含んだコンポジットセラミックス１を提供することができる。

　なお、本願発明者らの検討によれば、コンポジットセラミックス１におけるマトリックス成分４の含有率を大きくすることで、励起光パワー耐性をより向上させることができる。したがって、コンポジットセラミックス１におけるマトリックス成分４の含有率は、上記範囲内において上限値寄りに設定されることが好ましい。このため、コンポジットセラミックス１におけるマトリックス成分４の含有率は、４５ｗｔ％以上であることがより好ましく、６０ｗｔ％以上であることがさらに好ましい。

　上述したように、コンポジットセラミックス１におけるマトリックス成分４の含有率は、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、全成分の３１ｗｔ％以上、９０ｗｔ％以下の範囲内であることがより好ましい。

　したがって、コンポジットセラミックス１におけるガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の合計の含有率は、コンポジットセラミックス１における全成分の５ｗｔ％以上、６９ｗｔ％以下の範囲内であることが好ましい。

　これにより、上述したように、比較的容易に製造することができる、レーザー照明用の赤色系蛍光体を含んだコンポジットセラミックス１を提供することができる。また、上記の構成によれば、マトリックス成分４が、ガーネット系蛍光体成分２と窒化物系蛍光体成分３とを取り囲んで焼結された、互いに隣接する相が固着した構造のコンポジットセラミックス１を得ることができる。

　コンポジットセラミックス１におけるガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３のそれぞれの含有率は、これらの合計の含有率が上記範囲内となるように適宜設定すればよく、特に限定されるものではない。ガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の種類に応じて、これらガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の各含有率を適宜調整することで、所望の発光スペクトルを得ることができる。

　例えば、ガーネット系蛍光体成分２は、前記したように、青色励起光によって黄色蛍光または緑色蛍光を発光する。窒化物系蛍光体成分３は、前記したように、青色励起光によって赤色系蛍光を発光する。また、これらの蛍光体は、励起光のうち励起に寄与しなかった光を散乱させて透過する。したがって、コンポジットセラミックス１は、該コンポジットセラミックス１に青色励起光が照射されると、青色散乱光と、黄色系蛍光と、赤色系蛍光とが混ざった、赤みを帯びた電球色の光が出力される。

　コンポジットセラミックス１におけるガーネット系蛍光体成分２の含有率は、コンポジットセラミックス１における全成分の２ｗｔ％以上、６５ｗｔ％以下の範囲内であることが好ましく、２ｗｔ％以上、５９ｗｔ％以下の範囲内であることがより好ましく、４ｗｔ％以上、５９ｗｔ％以下の範囲内であることがより好ましい。

　また、コンポジットセラミックス１における窒化物系蛍光体成分３の含有率は、コンポジットセラミックス１における全成分の２ｗｔ％以上、６５ｗｔ％以下の範囲内であることが好ましく、２ｗｔ％以上、５９ｗｔ％以下の範囲内であることがより好ましく、４ｗｔ％以上、５９ｗｔ％以下の範囲内であることがより好ましい。

　これにより、家庭用照明装置、プロジェクタ用の照明装置、自動車のヘッドライト用、屋外照明用、特に遠方照明用の照明装置等に特に好適な、赤色～オレンジ色の赤色系の蛍光も含有する電球色の発光スペクトルを得ることができる。

　但し、本願発明者らの検討によれば、コンポジットセラミックス１における窒化物系蛍光体成分３の含有率が多くなると、励起光パワーに対して、蛍光パワーが飽和し易くなる傾向にある。このため、コンポジットセラミックス１における窒化物系蛍光体成分３の含有率を小さくすることで、励起光パワー耐性をより向上させることができる。したがって、コンポジットセラミックス１における窒化物系蛍光体成分３の含有率は、上記範囲内において、下限値よりに設定されることが好ましい。このため、コンポジットセラミックス１における窒化物系蛍光体成分３の含有率は、６０ｗｔ％以下であることがより好ましく、４０ｗｔ％以下であることがさらに好ましい。

　また、コンポジットセラミックス１は、窒化物系蛍光体成分３、マトリックス成分４、およびガーネット系蛍光体成分２の合計の含有率を１００ｗｔ％とする三角図において、例えば後掲の図１０および図２２に一例を示すように、窒化物系蛍光体成分３、マトリックス成分４、およびガーネット系蛍光体成分２のそれぞれの含有率が、下記点Ａ～点Ｄを結ぶ直線で囲まれた範囲内にあることが特に好ましい。

　なお、ここで、点Ａとは、窒化物系蛍光体成分３の含有率が５９ｗｔ％であり、マトリックス成分４の含有率が３１ｗｔ％であり、ガーネット系蛍光体成分２の含有率が１０ｗｔ％である点を示す。

　点Ｂとは、窒化物系蛍光体成分３の含有率が８ｗｔ％であり、マトリックス成分４の含有率が９０ｗｔ％であり、ガーネット系蛍光体成分２の含有率が２ｗｔ％である点を示す。

　点Ｃとは、窒化物系蛍光体成分３の含有率が２ｗｔ％であり、マトリックス成分４の含有率が９０ｗｔ％であり、ガーネット系蛍光体成分２の含有率が８ｗｔ％である点を示す。

　点Ｄとは、窒化物系蛍光体成分３の含有率が１０ｗｔ％であり、マトリックス成分４の含有率が３１ｗｔ％であり、ガーネット系蛍光体成分２の含有率が５９ｗｔ％である点を示す。

　これにより、励起光パワーに対する蛍光パワーが高く、レーザー励起に耐え得る、励起光パワー耐性が高い、低色温度用のコンポジットセラミックス１を提供することができる。

　（コンポジットセラミックス１における各成分の粒径）
　コンポジットセラミックス１に含まれる、ガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の粒径は、これらガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の種類に応じて、所望の発光スペクトルを得ることができるように適宜設定すればよい。このため、これらガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の粒径は、特に限定されるものではない。

　しかしながら、ガーネット系蛍光体成分２の原料として用いられる原料粉（言い換えれば、焼結前のガーネット系蛍光体成分）には、数平均粒径が、３μｍ以上、５０μｍ以下の範囲内の原料粉が好適に用いられる。ガーネット系蛍光体成分２の原料粉の数平均粒径が上記範囲内にある場合、マトリックス成分４および窒化物系蛍光体成分３と反応し難い。

　同様に、窒化物系蛍光体成分３の原料として用いられる原料粉（言い換えれば、焼結前のガーネット系蛍光体成分）には、数平均粒径が、３μｍ以上、５０μｍ以下の範囲内の原料粉が好適に用いられる。窒化物系蛍光体成分３の原料粉の数平均粒径が上記範囲内にある場合、マトリックス成分４およびガーネット系蛍光体成分２と反応し難い。

　なお、これら原料粉の数平均粒径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による測定値であってもよく、これら原料粉に、市販の原料粉をそのまま用いる場合には、納品書あるいはカタログに記載のスペックであってもよい。

　これら原料粉は、焼結方法によっては、焼結によって粒成長する場合もある。このため、コンポジットセラミックス１の単位体積当たりに含まれるガーネット系蛍光体成分２の数平均粒径は、例えば、３μｍ以上、５０μｍ以下の範囲内であることが好ましい。同様に、コンポジットセラミックス１の単位体積当たりに含まれる窒化物系蛍光体成分３の数平均粒径は、例えば、３μｍ以上、５０μｍ以下の範囲内であることが好ましい。なお、これらの蛍光体粒子は１次粒子のサイズであるあることが理想であるが、何個かの１次粒子が固着した２次粒子のサイズでもよい。

　また、前記したように、マトリックス成分４は、ガーネット系蛍光体成分２と窒化物系蛍光体成分３とを取り囲んで焼結されている。このため、マトリックス成分４の原料として用いられる原料粉（言い換えれば、焼結前のマトリックス成分）の数平均粒径は、ガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の各原料粉の数平均粒径よりも小さいことが好ましい。一方で、原料粉の粒径が小さくなりすぎると、コストまたは吸湿性の問題がある。

　このため、マトリックス成分４の原料として用いられる原料粉には、反応性の観点から、数平均粒径が、０．０１μｍ以上、１μｍ以下の範囲内の原料粉が好適に用いられる。

　マトリックス成分４の数平均粒径は、ガーネット系蛍光体成分２および窒化物系蛍光体成分３の数平均粒径よりも小さいことが、反応性の観点から好ましい。ガーネット系蛍光体成分２の原料粉および窒化物系蛍光体成分３の原料粉と同様に、マトリックス成分４の原料粉も、焼結方法によっては、焼結によって粒成長する場合もある。

　このため、コンポジットセラミックス１の単位体積当たりに含まれるマトリックス成分４の数平均粒径は、０．０１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲内であることが好ましい。

　コンポジットセラミックス１の単位体積当たりに含まれるマトリックス成分４の数平均粒径が上記範囲内である場合、焼結温度をさらに下げることができるので、赤色系蛍光体を含んだコンポジットセラミックスを、さらに容易に、広い組成範囲で作製することができる。

　また、マトリックス成分４の数平均粒径を上記範囲内とすることで、マトリックス成分４が、ガーネット系蛍光体成分２と窒化物系蛍光体成分３との隙間に入り込む。これにより、緻密な構造の焼結体を得ることができる。このように、マトリックス成分４の数平均粒径を上記範囲内とすることで、マトリックス成分４が、ガーネット系蛍光体成分２と窒化物系蛍光体成分３とを取り囲んで焼結された、互いに隣接する相が固着した構造のコンポジットセラミックス１を得ることができる。

　また、ガーネット系蛍光体成分２の数平均粒径、窒化物系蛍光体成分３の数平均粒径、およびマトリックス成分４の数平均粒径を上記範囲内とすることで、コンポジットセラミックス１の組織の相構造の最適化を図ることができる。

　これらガーネット系蛍光体成分２の数平均粒径および窒化物系蛍光体成分３の数平均粒径、およびマトリックス成分４の数平均粒径は、ＳＥＭによって測定することができる。また、後述するその他の成分の数平均粒径も同様にＳＥＭによって測定することができる。

　なお、本開示において、「粒径」とは、測定対象の成分が真球であるときの粒子径を意味する。発光特性の制御の容易さの観点からすれば、ガーネット系蛍光体成分２、窒化物系蛍光体成分３、マトリックス成分４、およびそれらの原料粉は、何れも真球状であることが望ましい。しかしながら、これらガーネット系蛍光体成分２、窒化物系蛍光体成分３、マトリックス成分４、およびそれらの原料粉は、必ずしも真球形状を有しているとは限らない。これら原料粉が球形の粒子である場合、コンポジットセラミックス１に含まれる、ガーネット系蛍光体成分２、窒化物系蛍光体成分３、およびマトリックス成分４も、概ね球形になる。しかしながら、これら原料粉が例えば不定形の角張った形状の粒子である場合、コンポジットセラミックス１に含まれる、ガーネット系蛍光体成分２、窒化物系蛍光体成分３、およびマトリックス成分４も、不定形の角張った形状の粒子となる。また、焼結方法によっては、焼結により、これら原料粉が粒成長して形状が変わる場合もある。このように測定対象の成分が真球でない場合、「粒径」とは、同体積の真球に換算したときの粒子径を意味する。

　（焼結助剤）
　また、コンポジットセラミックス１は、焼結助剤をさらに含んでいてもよい。前記ガーネット系蛍光体成分２の原料として用いられる原料粉、窒化物系蛍光体成分３の原料として用いられる原料粉、マトリックス成分４の原料として用いられる原料粉を含む原料粉（第１原料粉）が焼結助剤を含む場合、コンポジットセラミックス１も焼結助剤を含む。

　コンポジットセラミックス１に用いられる焼結助剤としては、例えば、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、Ｙ_２Ｏ_３、ＬｉＦおよびＡｌＦ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種が挙げられる。但し、マトリックス成分４がＭｇＯである場合、ＭｇＯは、焼結助剤から除かれる。ＭｇＯは、マトリックス成分がＡｌ_２Ｏ_３のみの場合に、焼結助剤として用いることが可能である。

　このため、マトリックス成分４がＡｌ_２Ｏ_３である場合、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、Ｙ_２Ｏ_３、ＬｉＦおよびＡｌＦ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種の焼結助剤が用いられる。一方、マトリックス成分４が、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３のうち少なくともＭｇＯを含む場合、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、ＣａＯ、ＺｎＯ、Ｙ_２Ｏ_３、ＬｉＦおよびＡｌＦ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種の焼結助剤が用いられる。

　上記第１原料粉が焼結助剤を含む場合、焼結温度をさらに下げることが可能となり、コンポジットセラミックス１の作製がさらに容易になる。また、これにより、蛍光体の性能を劣化させるリスクをさらに低減できる。

　なお、上記第１原料粉および該第１原料粉からなるコンポジットセラミックス１における焼結助剤の含有率は、蛍光体特性を劣化させないために、０．０５ｗｔ％以上、１０ｗｔ％以下の範囲内であることが好ましい。

　また、コンポジットセラミックス１の単位体積当たりに含まれる焼結助剤の数平均粒径は、焼結助剤としての効果を発揮しやすいことから、０．０１μｍ以上、１μｍ以下の範囲内であることが好ましい。このように、焼結助剤は、ガーネット系蛍光体成分２、窒化物系蛍光体成分３、およびマトリックス成分４と比較して、非常に微細および微量であり、その図示については省略する。

　〔コンポジットセラミックス１の厚み〕
　コンポジットセラミックス１の厚みは、特に限定されるものではないが、レーザー照明装置の蛍光体素子に用いる場合、例えば、１０μｍ以上、１０ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。

　コンポジットセラミックス１の厚みが１０ｍｍ以下であることで、コンポジットセラミックス１が厚すぎず、排熱性に優れ、例えば、後述する集光部材によって、蛍光体素子から出力されるビームが広がりすぎないようにビームパターンを制御することができる。また、コンポジットセラミックス１の厚みが１０μｍ以上であることで、コンポジットセラミックス１が薄すぎず、該コンポジットセラミックス１を蛍光体素子に適用するための強度を維持することができる。

　また、コンポジットセラミックス１の厚みを上記範囲内とすることで、例えばレーザー光源等の励起光源から出射された励起光を透過させることができる。

　〔コンポジットセラミックス１における光の透過率〕
　コンポジットセラミックス１は、光散乱性が大きいことが望ましい。コンポジットセラミックス中で発生した蛍光または励起光が、蛍光体素子の横方向に伝搬すると、蛍光体素子から出射されるビームがボケてしまう。

　しかしながら、本実施形態によれば、厚み１００μｍでの波長４５０ｎｍの光の直線透過率が、０．０１％以上、２０％以下であるコンポジットセラミックス１を得ることができる。なお、上記の光の直線透過率は、積分球を備えた分光光度計またはレーザー光源とアパーチャーを有する受光器とを用いて測定した値を用いることができる。

　このような光の透過率を有するコンポジットセラミックスを用いた蛍光体素子は、蛍光体素子内部で蛍光体素子の主面に横方向に伝搬する光が低減され、ビーム径のボケがなくなり、レーザー照明用の蛍光体素子として有利になる。

　〔コンポジットセラミックス１の他の物性〕
　コンポジットセラミックス１の物体色は、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系で表示され得る。上記のＬ^＊は明度であり、上記のａ^＊は赤－緑間の色度であり、上記のｂ^＊は黄－青間の色度である。また、彩度は、ａ^＊およびｂ^＊のそれぞれの二乗の和の平方根で表される。コンポジットセラミックス１の物体色は、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系における適当な範囲内で表されることがコンポジットセラミックスの蛍光パワーを高める観点から好ましい。

　Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系における物体色は、公知の測色計で測定することが可能である。また、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系における物体色は、後述のアニール処理によって調整することが可能である。

　コンポジットセラミックス１の内部量子効率は、７０％以上であることが好ましく、９５％以下であることが好ましい。

　〔コンポジットセラミックス１の製造方法〕
　次に、コンポジットセラミックス１の製造方法について説明する。

　図２は、本実施形態に係るコンポジットセラミックス１の製造方法の一例を示すフローチャートである。

　本実施形態に係るコンポジットセラミックス１の製造方法は、少なくとも下記ステップＳ１～ステップＳ４を含んでいる。

　図２に示すように、コンポジットセラミックス１の製造方法では、まず、ガーネット系蛍光体成分２と、窒化物系蛍光体成分３と、マトリックス成分４とを含む第１原料粉を混合する（ステップＳ１、混合工程）。

　なお、ここで、第１原料粉を混合するとは、該第１原料粉に含まれる各成分を混ぜ合わせることを示す。このとき、上記第１原料粉には、前記焼結助剤が含まれていてもよい。

　第１原料粉の混合には、乾式混合が用いられる。上記混合には、乾式法による粉体混合が可能であれば、如何なる混合機を用いてもよい。

　次いで、上記混合工程で混合した第１原料粉を成形型に収容する（ステップＳ２、第１原料粉収容工程）。

　次いで、上記成形型に収容した上記第１原料粉を焼結する（ステップＳ３、焼結工程）。このとき、第１原料粉の焼結には、ＳＰＳ（放電プラズマ焼結）法またはホットプレス法を使用する。

　ＳＰＳ法およびホットプレス法は、固体圧縮焼結法の一種であり、上記成形型に収容した上記第１原料粉を、加熱しながら加圧してプレス成形する。

　ＳＰＳ法では、機械的な加圧によりプレス成形しながら、パルス通電加熱をして成形体を焼結する。ＳＰＳ法では、通常の焼結に用いられる熱的および機械的エネルギーに加え、パルス通電による電磁的エネルギー、成形体の自己発熱および各成分間に発生する放電プラズマエネルギー等を複合的に焼結の駆動力として、成形体を焼結することができる。

　その結果、ＳＰＳ法では、機械的な加圧をしつつ、短期間で高温に昇温して焼結できるため、上述したような３元系の難焼結成形体であっても、当該成形体に含まれる各成分が高密度で略均一に接合した焼結体に焼結できる。また、ＳＰＳ法は、焼結時間が短いため、各成分の粒成長を抑制することができる。

　ホットプレス法では、ＳＰＳ法と同じく、加圧雰囲気で焼結が行われる。ホットプレス法を用いた場合、ＳＰＳ法と比較して焼結時間が長くなる。しかしながら、ホットプレス法は、量産性に優れている。

　なお、第１原料粉の焼結には、高速焼結法も使用し得る。

　上記焼結工程における焼結温度は、１０００℃以上、２０００℃以下であることが好ましい。焼結温度を２０００℃以下とすることで、焼結温度が高すぎず、酸化物が生じたり、上記各成分が固溶して新たな化合物になったりすることを抑制することができ、上記各成分の特性を失わずに済む。

　また、焼結温度を１０００℃以上とすることで、焼結温度が低すぎず、上記各成分の１次粒子が接合された状態になり易い。その結果、上記各成分が固溶せずに混在し、互いに隣接する相が固着した構造になり易い。このため、例えば、バルク体として十分な加工強度を有し、好適な電球色の蛍光を出力するコンポジットセラミックス１が得られ易くなる。

　上記焼結工程における焼結時間は、特に限定されず、例えば、５分以上、２０時間以下の任意の時間であってもよい。

　次いで、上記焼結工程で得られた焼結体を上記成形型から取り出す（ステップＳ４、離型工程）。これにより、コンポジットセラミックス１を得ることができる。

　なお、コンポジットセラミックス１の製造方法は、上記離型工程後に、上記焼結工程で得られた焼結体をアニールするアニール工程（ステップＳ５）をさらに含んでいてもよい。

　アニール温度としては、例えば、８００℃以上、１５００℃以下であることが好ましい。上記焼結体を、８００℃以上、１５００℃以下でアニールすることで、コンポジットセラミックス１の加工変形を好適に防いだり、各相の欠陥を制御したりすることができる。

　なお、アニール時間は、特に限定されず、例えば、５分以上、２０時間以下の任意の時間であってもよい。

　なお、アニールは、Ｎ_２雰囲気またはＨ_２およびＮ_２雰囲気（例えばアンモニア含有ガス）等の還元雰囲気下で行うことが好ましい。

　なお、アニール処理のような熱処理工程は、製造工程の途中で、還元雰囲気または不活性ガス雰囲気で実施してもよい。当該熱処理工程は、コンポジットセラミックス１のより良好な物体色を発現させる観点から有効であり、このような効果が得られ得る範囲において、製造工程のいずれの時期に実施されてもよい。当該熱処理工程は、好ましくは上記のアニール処理であり、熱処理工程における処理温度は、上記のアニール温度と同じでよい。あるいは当該熱処理工程は、アニール処理とは異なり、上述の工程のうちの適当な二工程間に実施してもよい。

　なお、コンポジットセラミックス１の製造方法は、上記焼結体に対し、切断および研磨のうち少なくとも一方を施す切断／研磨工程（ステップＳ６）をさらに含んでいてもよい。

　コンポジットセラミックス１の大きさは特に限定されるものではなく、離型工程で成形型から取り出した焼結体を、そのままコンポジットセラミックス１として使用できる。しかしながら、コンポジットセラミックス１を所定の大きさとするため、得られた焼結体に、上述したように切断および研磨のうち少なくとも一方を施してもよい。

　上記焼結体の切断方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ワイヤーソー等によって上記焼結体をスライス加工（切断）してもよい。上記焼結体を切断することによって、厚みの薄いコンポジットセラミックス１を得ることができる。勿論、厚みの薄い成形型を用いたり、成形型に収容する第１原料粉の量を調整したりすることで、切断することなく、厚みの薄いコンポジットセラミックス１を製造してもよい。

　また、上記焼結体の研磨方法も特に限定されない。例えば、研磨装置の吐出部から研磨液を吐出しながら研磨部を回転させることによって、上記焼結体の表面を研磨してもよい。これにより、上記焼結体の厚みを薄くしながら、表面を滑らかにすることができる。このため、研磨を行うことで、厚みが薄く、かつ、表面が滑らかなコンポジットセラミックス１を得ることができる。

　なお、図２では、アニール工程および切断／研磨工程の両方を行っているが、本実施形態はこれに限定されない。アニール工程および切断／研磨工程は、何れか一方のみを行ってもよい。また、アニール工程は、切断／研磨工程の後に行ってもよい。

　〔実施形態２〕
　図３は、本実施形態に係るコンポジットセラミックス１１の組織の一例を示す断面図である。

　図３に示すように、本実施形態に係るコンポジットセラミックス１１は、光散乱成分１２をさらに含んでいることを除けば、実施形態１に係るコンポジットセラミックス１と同様の構成を有している。

　上記光散乱成分１２は、屈折率がマトリックス成分４よりも０．２１以上高い光散乱体であればよい。

　このようにコンポジットセラミックスが、ガーネット系蛍光体成分２、窒化物系蛍光体成分３、およびマトリックス成分４に加えて光散乱成分１２をさらに含む場合、マトリックス成分４と光散乱成分１２との合計の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下であることが後述の観点から望ましい。

　従来公知のコンポジットセラミックスは、例えばレーザー照明装置の蛍光体素子に用いた場合、コンポジットセラミックス中で発生した蛍光または励起光が、蛍光体素子の横方向に伝搬して、蛍光体素子から出射されるビームがボケてしまうという問題点を有している。

　しかしながら、本実施形態によれば、実施形態１に記載の効果に加えて、光散乱性に優れ、発生した蛍光および励起光を外部に効率良く取り出すことができるコンポジットセラミックス１１を提供することができる。

　上記光散乱成分１２としては、例えば、ＡｌＮ、ｃＢＮ、ＳｉＣ、ＡｌＮ－ＳｉＣ固溶体、およびダイアモンドからなる群より選ばれる少なくとも一種が挙げられる。これらの光散乱成分は、光散乱性に特に優れ、光散乱成分１２として好適に用いることができる。

　本実施形態で用いられる光散乱成分１２における、マトリックス成分４との屈折率差の上限は、特に限定されるものではない。しかしながら、マトリックス成分４に用いられるＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３のうち、屈折率が低いＡｌ_２Ｏ_３の屈折率は１．６３であり、光散乱成分１２として上記例示の光散乱成分を使用した場合、屈折率が最も高いＳｉＣの屈折率は約２．７２程度である。このため、光散乱成分１２として上記例示の光散乱成分を使用した場合、光散乱成分１２における、マトリックス成分４との屈折率差は、最大で１．１になる。

　また、コンポジットセラミックス１の単位体積当たりに含まれる光散乱成分１２の数平均粒径は、０．２５μｍ以上、４０μｍ以下であることが好ましく、より望ましくは０．５μｍ以上、２０μｍ以下である。なお、この光散乱成分１２の数平均粒径は、ＳＥＭによる測定値であってもよく、納品書あるいはカタログに記載のスペックであってもよい。上記光散乱成分１２の数平均粒径が上記範囲内にある場合、ミー散乱により、光散乱が最も大きくなる。

　光散乱成分１２の数平均粒径が上記範囲内である場合、最大限の光散乱効果を得ることができる。

　ガーネット系蛍光体成分２、窒化物系蛍光体成分３、およびマトリックス成分４と同様に、第１原料粉が、光散乱成分１２の原料となる原料粉を含むことで、コンポジットセラミックス１１が、光散乱成分１２を含む。したがって、コンポジットセラミックス１１は、前記混合工程（ステップＳ１）で、光散乱成分１２の原料となる原料粉をさらに含む第１原料粉を混合することで製造することができる。

　なお、図示はしないが、コンポジットセラミックス１１も前記焼結助剤を含んでいてもよいことは、言うまでもない。

　〔実施形態３〕
　図４は、本実施形態に係るコンポジットセラミックス２１の組織の一例を示す断面図である。

　図４に示すように、本実施形態に係るコンポジットセラミックス２１は、第１セラミックス層２２と、第２セラミックス層２３とを備えた積層構造を有している。図４に示す第１セラミックス層２２は、実施形態１に係るコンポジットセラミックス１と同様の構成を有している。

　第２セラミックス層２３は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種からなり、第１セラミックス層２２の一方の主面に接合されている。

　従来、赤色系蛍光体を含んだ、レーザー励起に耐え得る高パワー励起用のコンポジットセラミックスは実現されていない。前述したように、実施形態１によれば、レーザー励起を用いたレーザー照明に使用が可能な、赤色系蛍光体を含んだ、レーザー照明用のコンポジットセラミックス１を提供することができる。したがって、第１セラミックス層２２は、それのみで、レーザー照明用のコンポジットセラミックスとして使用することができる。

　しかしながら、上述したように、第１セラミックス層２２上に、上述した構成を有する第２セラミックス層２３が接合されていることで、レーザー光で強励起した場合でも、コンポジットセラミックスの表面の焼けを抑制することができる。このため、本実施形態によれば、このような焼けによる表面の劣化を抑制することができるコンポジットセラミックス１２を提供することができる。

　第１セラミックス層２２の厚みは、特に限定されるものではなく、例えば、実施形態１に係るコンポジットセラミックス１と同様の厚みに設定することができる。

　第２セラミックス層２３の厚みは、特に限定されるものではないが、第２セラミックス層２３は、蛍光成分を含んでおらず、蛍光発光には寄与しないこと、並びに、排熱性の観点から、第１セラミックス層２２よりも薄く形成されていることが望ましい。

　このため、第２セラミックス層２３の厚みは、例えば、３０μｍ以下であることが望ましい。また、コンポジットセラミックスの表面の焼けの抑制効果を十分に得るためには、第２セラミックス層２３の厚みは、例えば、１μｍ以上であることが望ましい。

　コンポジットセラミックス２１の製造方法は、以下の点を除けば、実施形態１に係るコンポジットセラミックス１の製造方法と同じである。コンポジットセラミックス２１の製造方法は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種からなる、前記第１原料粉よりも少ない第２原料粉を成形型に収容する第２原料粉収容工程をさらに含んでいる。そして、前記焼結工程（ステップＳ３）で、成形型に収容した、第１原料粉および第２原料粉を焼結する。これにより、第１原料粉の焼結体と、第１原料粉よりも薄い、第２原料粉の焼結体とが接合された焼結体を形成する。これにより、コンポジットセラミックス２１を製造することができる。

　なお、第２原料粉収容工程は、前記第１原料粉収容工程（ステップＳ２）の後（つまり、ステップＳ２とステップＳ３との間）で行われてもよく、前記第１原料粉収容工程（ステップＳ２）の前（つまり、ステップＳ１とステップＳ２との間）で行われてもよい。

　しかしながら、応力または原料の収縮の影響を考えると、第２原料粉収容工程は、前記第１原料粉収容工程の前および前記第１原料粉収容工程の後の２回行われることが望ましい。第２原料粉収容工程を前記第１原料粉収容工程の前後で２回行う場合、離型工程（ステップＳ４）後に、第１セラミックス層２２を挟んで第２セラミックス層２３が形成された焼結体が得られる。つまり、第１セラミックス層２２の表主面および裏主面の両主面に第２セラミックス層２３が形成された、３層構造を有する焼結体が得られる。この場合、離型工程後に、第１セラミックス層２２の一方の主面における第２セラミックス層２３を、研削、研磨等で除去すればよい。上記除去は、前記切断／研磨工程で行われてもよい。

　また、第１セラミックス層２２の一方の主面における第２セラミックス層２３を除去する代わりに、焼結体をスライス加工（切断）することで、第１セラミックス層２２の一方の主面に第２セラミックス層２３が形成された複数のコンポジットセラミックス２１を製造してもよい。

　また、本実施形態でも、離型工程（ステップＳ４）の後、あるいは、上記切断／研磨工程の後、必要に応じて、アニール工程（ステップＳ５）を行ってもよい。

　また、図示はしないが、コンポジットセラミックス２１も前記焼結助剤を含んでいてもよい。

　さらに、図４では、第１セラミックス層２２が、実施形態１に係るコンポジットセラミックス１と同様の構成を有している場合を例に挙げて図示したが、本実施形態は、これに限定されるものではない。第１セラミックス層２２は、実施形態２に係るコンポジットセラミックス１１と同様の構成を有していてもよい。

　〔実施形態４〕
　図５は、本実施形態に係るコンポジットセラミックス３１の組織の一例を示す断面図である。

　図５に示すように、本実施形態に係るコンポジットセラミックス３１は、一方の主面に凹凸３１ａが形成されていることを除けば、例えば、実施形態１に係るコンポジットセラミックス１と同様の構成を有している。

　したがって、コンポジットセラミックス２１の製造方法は、焼結体の一方の主面に凹凸３１ａを形成する凹凸形成工程をさらに含んでいることを除けば、実施形態１に係るコンポジットセラミックス１の製造方法と同じである。

　図５では、一例として、凹凸３１ａがダイサー溝である場合を例に挙げて図示している。しかしながら、本実施形態は、これに限定されるものではない。上記凹凸形成工程では、例えば、ダイサーまたはレーザー加工によって凹凸３１ａを形成してもよく、研磨で上記主面を粗面化することで凹凸３１ａを形成してもよい。

　本実施形態によれば、上述したように一方の主面に凹凸３１ａが形成されていることで、内部で発生した蛍光または励起光を散乱させて効率良く取り出すことができるコンポジットセラミックス３１を提供することができる。

　なお、表面に凹凸３１ａの高さは、上述したように、内部で発生した蛍光または励起光を散乱させることができればよく、特に限定されるものではない。

　なお、図５では、コンポジットセラミックス３１が、前記コンポジットセラミックス１の一方の主面に凹凸３１ａが形成されている構成を有している場合を例に挙げて図示した。しかしながら、本実施形態は、これに限定されるものではない。本実施形態に係るコンポジットセラミックス３１は、前記コンポジットセラミックス１１の一方の主面に凹凸３１ａが形成されている構成を有していてもよい。また、本実施形態に係るコンポジットセラミックス３１は、前記コンポジットセラミックス２１の第２セラミックス層２３における、第１セラミックス層２２とは反対側の主面に凹凸３１ａが形成されている構成を有していてもよい。

　〔実施形態５〕
　図６は、本実施形態に係る、一方の主面にＡＲ（反射防止）コート膜４１が設けられたコンポジットセラミックス１を示す図である。

　図６に示すようにコンポジットセラミックス１の主面にＡＲコート膜４１が設けられていることで、該コンポジットセラミックス１をレーザー照明用の蛍光体素子として用いた場合に、励起光の照射面において励起光が反射されるのを防止することができる。これにより、励起光がコンポジットセラミックス１に吸収されるときの光の損失を低減することができる。さらに、コンポジットセラミックス１の蛍光体中で発生した蛍光または散乱光を有効に取り出すことができる。

　上記ＡＲコート膜４１の材料としては、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４等の誘電体多層膜が用いられる。これらは、例えばイオンビーム蒸着またはスパッター等の成膜方法で形成することができる。

　なお、以下、このようにＡＲコート膜４１が設けられたコンポジットセラミックスを、ＡＲコート膜付コンポジットセラミックスと称する場合がある。このようにＡＲコートが施されたＡＲコート膜付コンポジットセラミックスは、例えば、レーザー照明用の蛍光体素子に好適に用いられる。

　蛍光体素子の励起光パワー耐性（素子信頼性）は、レーザー照明の用途の観点から、０．５ｋＷ／ｃｍ^２以上であることが好ましく、３ｋＷ／ｃｍ^２以上であることがより好ましい。蛍光体素子の励起光パワー耐性は、高いほど好ましいが、レーザー照明の用途において十分な効果が得られる観点から上限値を設定してよい。蛍光体素子の素子信頼性は、前述したコンポジットセラミックスのそれと同様に求めることができ、また同様に調整することが可能である。

　図７は、本実施形態に係る蛍光体素子５０の一例を示す断面図である。

　図７に示す蛍光体素子５０は、図６に示す、ＡＲコート膜４１が設けられたコンポジットセラミックス１と、基材５１と、接着層５２と、ミラー５３とを備えている。

　基材５１は、コンポジットセラミックス１を支持する支持部材である。コンポジットセラミックス１は、基材５１上に固定されている。

　基材５１としては、コンポジットセラミックス１を固定することができれば特に限定されない。一例として、基材５１としては、例えば、ＳＵＳ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｗ等の金属が挙げられる。基材５１がこれらの金属である場合、レーザー光源等の励起光源から照射された励起光を好適に反射することができる。

　また、Ａｌ、Ｃｕ、Ｍｏ、ＡｇおよびＷ等は熱伝導性に優れるため、熱伝導性に優れた蛍光体素子５０を得ることができる。

　但し、基材５１としては、このような非透過型基材に限定されない。基材５１は、例えば、Ａｌ_２Ｏ_３で示される、単結晶のサファイアあるいは多結晶のアルミナ等の、透過型基材でああってもよい。

　コンポジットセラミックス１は、図７に示すように、ＡＲコート膜４１が基材５１とは反対側の主面に位置するように基材５１に固定される。

　ミラー５３は、コンポジットセラミックス１を透過した光を反射する反射体（鏡体）である。ミラー５３は、コンポジットセラミックス１における、基材５１側の主面に設けられる。以下、コンポジットセラミックス１における、基材５１側の主面を「裏主面」と称し、基材５１とは反対側の主面を「表主面」と称する場合がある。

　ミラー５３は、コンポジットセラミックス１の裏主面側に設けられ、ＡＲコート膜４１は、コンポジットセラミックスの表主面側に設けられる。

　このようにコンポジットセラミックス１の裏主面側にミラー５３が設けられていることで、コンポジットセラミックス１の表主面側に励起光を照射した場合に、コンポジットセラミックス１を透過した光をミラー５３で反射することができる。これにより、光の利用効率を向上させることができる。

　ミラー５３としては、コンポジットセラミックス１を透過した光を反射することができれば特に限定されないが、例えば、正反射正材料である銀あるいは銀合金を含む銀系ミラーが好適に用いられる。

　接着層５２は、ミラー５３が設けられたコンポジットセラミックス１と基材５１とを接着する層である。

　接着層５２に用いられる接着材料としては、ミラー５３が設けられたコンポジットセラミックス１と基材５１とを接着することができれば、特に限定されるものではない。上記接着材料としては、例えば、銀系または銀合金系無機接着剤が挙げられる。

　図８は、図７に示す蛍光体素子５０の製造方法の一例を示すフローチャートである。

　図８に示すように、蛍光体素子５０の製造方法では、例えば、前記ステップＳ６の切断／研磨工程として、焼結体を切断する切断工程（ステップＳ１１）と、上記焼結体の裏主面を研磨する裏主面研磨工程（ステップＳ１２）とを行う。但し、前述したように、切断／研磨工程は必須ではない。

　次いで、上記焼結体の裏主面にミラー５３を成膜する（ステップＳ１３、ミラー成膜工程）。これにより、コンポジットセラミックス１の一方の主面にミラー５３が接合されたミラー付コンポジットセラミックスを形成する。

　一方、基材５１を準備する（ステップＳ２１、基材準備工程）。

　次いで、上記基材５１と、ステップＳ１３で得られたミラー付コンポジットセラミックスとを、接着層５２を構成する接着材料により貼り合わせる（ステップＳ１４、貼合工程）。

　次いで、上記焼結体の表主面を研磨する（ステップＳ１５、表主面研磨工程）。その後、上記焼結体の表主面にＡＲコート膜４１を成膜する（ステップＳ１６、ＡＲコート膜成膜工程）。これにより、図８に示すように、蛍光体素子５０を製造することができる。

　なお、図８では、貼合工程の後に表主面研磨工程を行っているが、本実施形態はこれに限定されない。表主面研磨工程は、貼合工程の前に行ってもよい。

　また、本実施形態に係る蛍光体素子５０は、図７に示す構造に限定されるものではない。蛍光体素子５０は、例えば、コンポジットセラミックス１と、該コンポジットセラミックス１を固定する基材５１とを備えていればよい。

　また、コンポジットセラミックス１に代えて、コンポジットセラミックス１１、あるいはコンポジットセラミックス２１、あるいはコンポジットセラミックス３１を備えていてもよい。また、それらを組み合わせてなるコンポジットセラミックスを使用してもよい。

　〔実施形態６〕
　前記したように、コンポジットセラミックスは、レーザー照明用の蛍光体素子（言い換えれば、レーザー照明装置の蛍光体素子）に好適に用いることができる。

　本実施形態に係るレーザー照明装置は、蛍光体素子と、蛍光体素子におけるコンポジットセラミックスに励起光を照射するレーザー光源と、蛍光体素子におけるコンポジットセラミックスから出力された光を集光する集光部材（第１集光部材）とを備えている。

　図９は、本実施形態に係るレーザー照明装置６０の一例を示す断面図である。

　図９に示すレーザー照明装置６０は、上記蛍光体素子の一例として、例えば、図８に示す蛍光体素子５０を備えている。また、図９に示すレーザー照明装置６０は、上記レーザー光源としてレーザー光源６１を備えるとともに、上記第１集光部材としてレンズ６３を備えている。さらに、図９に示すレーザー照明装置６０は、レーザー光源６１から出力された励起光を集光する第２集光部材として、レンズ６２を備えている。

　レーザー光源６１は、蛍光体素子５０におけるコンポジットセラミックス１に、レンズ６２を介して、第１光としての励起光Ｌ１を照射する。具体的には、レーザー光源６１から出力された励起光Ｌ１は、レンズ６２で集光されることで、集光された励起光Ｌ１（以下、「励起光Ｌ１’」と記す）として、レンズ６２から蛍光体素子５０におけるコンポジットセラミックス１に照射される。

　コンポジットセラミックス１は、上記励起光Ｌ１’の少なくとも一部を吸収し、励起光Ｌ１’とは異なる波長の光（つまり、励起光Ｌ１とは異なる波長の光）を含む第２光を出力する。例えば、前述したガーネット系蛍光体成分２は、励起光Ｌ１である青色光によって、例えば黄色系蛍光Ｙを発光し、窒化物系蛍光体成分３は、励起光Ｌ１である青色光によって赤色系蛍光Ｒを発光する。また、これらの蛍光体は、励起光Ｌ１である青色光のうち励起に寄与しなかった青色光を散乱させて、青色散乱光Ｂとして透過する。これにより、蛍光体素子５０におけるコンポジットセラミックス１に青色の励起光Ｌ１が照射されると、図９に示すように、蛍光体素子５０から、青色散乱光Ｂと、黄色系蛍光Ｙと、赤色系蛍光Ｒとが出力される。蛍光体素子５０（具体的には、蛍光体素子５０のコンポジットセラミックス１）から出力されたこれらの光（第２光）は、レンズ６３で集光される。そして、蛍光体素子５０から出力された、これらの光（つまり、青色散乱光Ｂと、黄色系蛍光Ｙと、赤色系蛍光Ｒと）が混ざることで、レンズ６３を介して、赤みを帯びた電球色の光が、ビームＬ２として出力される。

　なお、上記蛍光体素子５０としては、実施形態５で説明したように、本開示に係るコンポジットセラミックスと基材５１とを備えていればよい。上記コンポジットセラミックスとしては、実施形態１～４の何れかに記載のコンポジットセラミックスであってもよく、それらを組み合わせてなるコンポジットセラミックスであってもよい。

　なお、レーザー光源６１としては、励起光Ｌ１を照射できるものであれば特に限定されないが、例えば、上述したように励起光Ｌ１として青色光を照射する、青色半導体ＬＤ（ＬＤ：レーザーダイオード）が挙げられる。

　蛍光体素子５０が上述したようにミラー５３を備える場合、あるいは、基材５１が励起光Ｌ１を透過しない非透過型基材である場合、蛍光体素子５０は、レーザー光源６１の出射光側にコンポジットセラミックス１が位置するように配置される。

　一方、基材５１が透過型基材であり、コンポジットセラミックス１の裏主面側にミラー５３のような反射体を備えていない場合、基材５１における、コンポジットセラミックス１の固定面とは反対側の面から励起光Ｌ１が照射される。なお、この場合にも、コンポジットセラミックス１の表主面側から第２光が出力される。

　また、図９では、第１集光部材および第２集光部材がともにレンズである場合を例に挙げて図示した。しかしながら、これら集光部材は、レンズであってもよく、ミラーであってもよい。

　〔実施形態７：コンポジットセラミックスのその他の形態〕
　本発明の実施形態におけるコンポジットセラミックスは、本発明の効果が得られる範囲において、ガーネット系蛍光体成分に代えて前述のＬａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分（窒化物蛍光体（Ｃ））を有していてもよい。この場合、「窒化物系蛍光体成分」は、Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分以外の窒化物系蛍光体成分から選ばれ得る。

　すなわち、実施形態７のコンポジットセラミックスは、Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分と、Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分以外の窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、上記マトリックス成分は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、上記マトリックス成分は、上記Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分と上記窒化物系蛍光体成分とを取り囲んで焼結されていてもよい。

　実施形態７のコンポジットセラミックスは、ガーネット系蛍光体成分に代えて前述のＬａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分を用いる以外は前述の実施形態のコンポジットセラミックスと同様に構成され、製造され、そして利用され得る。当該コンポジットセラミックスは、ガーネット系蛍光体成分に代えてＬａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分を用いることから、より容易にコンポジットセラミックスを製造する観点から有利である。

　〔実施形態８：コンポジットセラミックスのその他の形態〕
　本発明の実施形態におけるコンポジットセラミックスは、本発明の効果が得られる範囲において、蛍光体成分として実質的にＬａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分（窒化物蛍光体（Ｃ））のみを有していてもよい。すなわち、実施形態８のコンポジットセラミックスは、Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分およびマトリックス成分のみを実質的に含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、上記マトリックス成分は、Ａｌ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３とＭｇＯの混合物、および、ＭｇＡｌＯ_２、からなる群より選ばれる少なくとも一種の成分であり、上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、上記マトリックス成分は、上記Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分系蛍光体を取り囲んで焼結されていてもよい。

　本実施形態では、マトリックス成分の含有率および窒化物蛍光体（Ｃ）の含有率は、それぞれ、蛍光パワーおよび励起光パワー耐性が高く低色温度用のコンポジットセラミックスを提供する観点から適宜に設定し得る。

　実施形態８のコンポジットセラミックスは、ガーネット系蛍光体成分および窒化物系蛍光体成分に代えてＬａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分を用いる以外は前述の実施形態のコンポジットセラミックスと同様に構成され、製造され、そして利用され得る。当該コンポジットセラミックスは、蛍光体成分が実質的にＬａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分のみからなるので、より容易にコンポジットセラミックスを製造する観点から有利である。

　〔まとめ〕
　本発明の第一の態様は、ガーネット系蛍光体成分と、窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、上記マトリックス成分は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、上記マトリックス成分は、上記ガーネット系蛍光体成分と上記窒化物系蛍光体成分とを取り囲んで焼結されていることを特徴とする。

　本発明の第二の態様は、第一の態様において、当該コンポジットセラミックスの単位体積当たりに含まれる上記マトリックス成分の数平均粒径が０．０１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲内であることを特徴とする。

　本発明の第三の態様は、第二の態様において、上記ガーネット系蛍光体成分が（Ｃｅ，Ｙ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ，Ｙ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ，Ｙ）_３（Ａｌ，Ｇａ）_５Ｏ_１２からなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする。

　本発明の第四の態様は、第一の態様から第三の態様のいずれかにおいて、上記窒化物系蛍光体成分が、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８からなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする。

　本発明の第五の態様は、第四の態様において、上記Ｓｉの一部および上記Ｎの一部のうち少なくとも一方が置換されており、上記Ｓｉの一部が置換されている場合、上記ＳｉはＡｌに置換されており、上記Ｎの一部が置換されている場合、上記ＮはＯに置換されていることを特徴とする。

　本発明の第六の態様は、第一の態様から第五の態様のいずれかにおいて、上記窒化物系蛍光体成分が、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、ＣａＡｌＳｉＮ_３および（Ｃａ，Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする。

　本発明の第七の態様は、第一の態様から第六の態様のいずれかにおいて、上記窒化物系蛍光体成分、上記マトリックス成分、および上記ガーネット系蛍光体成分の合計の含有率を１００ｗｔ％とする三角図において、上記窒化物系蛍光体成分、上記マトリックス成分、および上記ガーネット系蛍光体成分のそれぞれの含有率が、
　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が５９ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が３１ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が１０ｗｔ％である点Ａと、
　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が８ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が９０ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が２ｗｔ％である点Ｂと、
　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が２ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が９０ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が８ｗｔ％である点Ｃと、
　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が１０ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が３１ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が５９ｗｔ％である点Ｄとを結ぶ直線で囲まれた範囲内にあることを特徴とする。

　本発明の第八の態様は、第一の態様から第七の態様のいずれかにおいて、屈折率が上記マトリックス成分よりも０．２１以上高い光散乱成分をさらに含み、上記マトリックス成分と上記光散乱成分との合計の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下であることを特徴とする。

　本発明の第九の態様は、第八の態様において、上記光散乱成分が、ＡｌＮ、ｃＢＮ、ＳｉＣ、ＡｌＮ－ＳｉＣ固溶体、およびダイアモンドからなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする。

　本発明の第十の態様は、第八の態様または第九の態様において、当該コンポジットセラミックスの単位体積当たりに含まれる上記光散乱成分の数平均粒径が、０．２５μｍ以上、４０μｍ以下であることを特徴とする。

　本発明の第十一の態様は、第一の態様から第十の態様のいずれかにおいて、厚み１００μｍでの波長４５０ｎｍの光の直線透過率が、０．０１％以上、２０％以下であることを特徴とする。

　本発明の第十二の態様は、第一の態様から第十一の態様のいずれかにおいて、焼結助剤をさらに含み、上記焼結助剤は、
　上記マトリックス成分がＡｌ_２Ｏ_３である場合、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯおよびＹ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
　上記マトリックス成分が、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３のうち少なくともＭｇＯを含む場合、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、ＣａＯ、ＺｎＯおよびＹ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする。

　本発明の第十三の態様は、第一の態様から第十二の態様のいずれかにおいて、一方の主面に、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種からなる層が接合された積層構造を有していることを特徴とする。

　本発明の第十四の態様は、第一の態様から第十三の態様のいずれかにおいて、励起光パワー耐性が０．５ｋＷ／ｃｍ^２以上であることを特徴とする。

　本発明の第十五の態様は、第一の態様から第十四の態様のいずれかにおいて、一方の主面に凹凸が形成されていることを特徴とする。

　本発明の第十六の態様は、第一の態様から第十五の態様のいずれかのコンポジットセラミックスと、上記コンポジットセラミックスを固定する基材とを備えていることを特徴とする蛍光体素子である。

　本発明の第十七の態様は、第十六の態様の蛍光体素子と、上記蛍光体素子における上記コンポジットセラミックスに励起光を照射するレーザー光源と、上記蛍光体素子における上記コンポジットセラミックスから出力された光を集光する集光部材とを備えていることを特徴とするレーザー照明装置である。

　本発明の第十八の態様は、ガーネット系蛍光体成分と、窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む第１原料粉を混合する混合工程と、混合した上記第１原料粉を成形型に収容する第１原料粉収容工程と、上記成形型に収容した上記第１原料粉を、放電プラズマ焼結法またはホットプレス法で焼結する焼結工程と、上記焼結工程で得られた焼結体を上記成形型から取り出す離型工程とを含むことを特徴とするコンポジットセラミックスの製造方法である。

　本発明の第十九の態様は、第十八の態様において、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種からなる、上記第１原料粉よりも少ない第２原料粉を上記成形型に収容する第２原料粉収容工程をさらに含み、上記焼結工程で、上記成形型に収容した、上記第１原料粉および上記第２原料粉を焼結することで、上記第１原料粉の焼結体と、上記第１原料粉よりも薄い、上記第２原料粉の焼結体とが接合された焼結体を形成することを特徴とする。

　本発明の第二十の態様は、第十八の態様または第十九の態様において、上記焼結体に対し、切断および研磨のうち少なくとも一方を施す切断／研磨工程をさらに含むことを特徴とする。

　本発明の第二十一の態様は、第十八の態様から第二十の態様のいずれかにおいて、上記焼結体の一方の主面に凹凸を形成する凹凸形成工程をさらに含むことを特徴とする。

　本発明の第二十二の態様は、第二十一の態様において、上記凹凸形成工程では、ダイサー、レーザー加工、または研磨により上記凹凸を形成することを特徴とする。

　本発明の第二十三の態様は、第一の態様において、上記窒化物系蛍光体成分が、ＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、（Ｌａ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（Ｌａ，Ｙ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（Ｌａ，Ｙ、Ｌｕ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１からなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする。

　本発明の第二十四の態様は、第十四の態様において、励起光パワー耐性が１ｋＷ／ｃｍ^２以上であることを特徴とする。

　本発明の第二十六の態様は、第一の態様から第十五の態様および第二十三の態様から第二十五の態様のいずれかにおいて、内部量子効率が７０％以上、９５％以下であることを特徴とする。

　本発明の第三十の態様は、第十六の態様において、励起光パワー耐性が０．５ｋＷ／ｃｍ^２以上であることを特徴とする。

　本発明の第三十一の態様は、第十六の態様において、励起光パワー耐性が３ｋＷ／ｃｍ^２以上であることを特徴とする請求項１６記載の蛍光体素子。

　本発明の第三十二の態様は、第十八の態様から第二十二の態様のいずれかにおいて、上記製造工程の途中で、還元雰囲気または不活性ガス雰囲気で焼結体を熱処理する工程をさらに含むことを特徴とする。

　本発明の第三十三の態様は、第三十二の態様において、上記熱処理する工程が、アンモニア含有ガス中で焼結体を熱処理する工程であることを特徴とする。

　本発明の第三十四の態様は、Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分と、Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分以外の窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、上記マトリックス成分は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、上記マトリックス成分は、上記Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分と上記窒化物系蛍光体成分とを取り囲んで焼結されていることを特徴とする。第三十四の態様は、当該態様の効果が得られる範囲において、前述した第二の態様から第十五の態様および第二十三の態様から第二十九の態様のいずれかの特徴をさらに含み得る。

　本発明の第三十五の態様は、Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分およびマトリックス成分のみを実質的に含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、上記マトリックス成分は、Ａｌ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３とＭｇＯの混合物、および、ＭｇＡｌＯ_２、からなる群より選ばれる少なくとも一種の成分であり、上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、上記マトリックス成分は、上記Ｌａ_３Ｓｉ_６Ｎ_１１系蛍光体成分系蛍光体を取り囲んで焼結されていることを特徴とする。第三十五の態様は、当該態様の効果が得られる範囲において、前述した第二の態様から第十五の態様および第二十三の態様から第二十九の態様のいずれかの特徴をさらに含み得る。

　〔実施例〕
　以下、実施例および比較例により、本開示に係るコンポジットセラミックスについて具体的に説明するが、本開示に係るコンポジットセラミックスは、これら実施例に限定されるものではない。なお、以下の実施例および比較例において、原料粉としてのＹＡＧには、２ｍｏｌ％のＣｅで賦活された、数平均粒径が１５μｍのＹＡＧを使用した。また、原料粉としてのＳｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８には、２ｍｏｌ％のＥｕで賦活された、数平均粒径が１３μｍ（一部凝集した粉を含む）のＳｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８を使用した。原料粉としてのＡｌ_２Ｏ_３には、数平均粒径が０．１μｍのＡｌ_２Ｏ_３を使用した。原料粉としてのＭｇＯには、数平均粒径が０．０５μｍのＭｇＯを使用した。原料粉としてのＡｌＮには、数平均粒径が１μｍのＡｌＮを使用した。

　〔実施例１〕
　図１０に示すように、実施例１では、ガーネット系蛍光体成分であるＹＡＧと、窒化物系蛍光体成分であるＳｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８と、マトリックス成分であるＡｌ_２Ｏ_３との含有量が、それぞれ２５ｗｔ％、２５ｗｔ％、５０ｗｔ％となるように各原料粉を混合した。

　次いで、この原料粉を成形型に充填し、ＳＰＳ法を用いて、窒素雰囲気下、１３５０℃で３分間焼結することで、コンポジットセラミックスを製造した。

　得られたコンポジットセラミックスをリガク株式会社製の粉末Ｘ線回折装置によってＸＲＤ（Ｘ線回折）測定した。この結果を図１１に示す。

　また、レーザー光源と積分球と分光器とを備えた蛍光体評価装置によって、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。なお、レーザー光源における、励起レーザービームのビーム径は直径１ｍｍであり、励起レーザー波長は４５０ｎｍ、励起レーザービームは連続光とした。この結果を図１２に示す。図１２中の矢印は蛍光の飽和点を示している。

　また、得られたコンポジットセラミックスに、レーザー光源から励起光を照射し、該コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを、蛍光分光器を用いて測定した。より具体的には、オーシャンフォトニックス（株）製の分光器を用いて、室温条件下、励起波長を４４１ｎｍに固定した状態で発光スペクトルを測定した。この結果を図１３に示す。

　〔実施例２〕
　図１０に示すように、実施例２では、ＹＡＧと、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８と、Ａｌ_２Ｏ_３との含有量が、それぞれ１５ｗｔ％、１５ｗｔ％、７０ｗｔ％となるように各原料粉を混合した。この点を除けば、実施例２では、実施例１と同じ操作を行ってコンポジットセラミックスを製造した。

　日本電子株式会社製の走査電子顕微ＳＥＭを用いて、加速電圧２０ｋＶにおいて、上記コンポジットセラミックスの表面観察を行い、ＳＥＭ画像を得た。このＳＥＭ画像を図１４に示す。

　また、得られたコンポジットセラミックスを実施例１と同じＸ線回折装置によってＸＲＤ測定した。この結果を図１５に示す。

　また、実施例１と同じ蛍光体評価装置によって、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。この結果を図１６に示す。

　また、実施例１と同じ装置を用いて、上記コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを、実施例１と同じ蛍光分光器を用いて測定した。この結果を図１７に示す。

　〔実施例３〕
　図１０に示すように、実施例３では、ＹＡＧと、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８と、Ａｌ_２Ｏ_３との含有量が、それぞれ５ｗｔ％、５ｗｔ％、９０ｗｔ％となるように各原料粉を混合し、１３００℃で焼結した。この点を除けば、実施例３では、実施例１と同じ操作を行ってコンポジットセラミックスを製造した。

　そして、実施例１と同じ蛍光体評価装置によって、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。この結果を図１８に示す。

　そして、実施例１と同じ装置を用いて、上記コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを、実施例１と同じ蛍光分光器を用いて測定した。この結果を図１９に示す。

　〔実施例４〕
　図１０に示すように、ＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３４．５ｗｔ％、３４．５ｗｔ％および３１ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。また、実施例１と同様にして、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。蛍光の飽和点の励起光パワーは３Ｗであり、励起光パワー耐性は、／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝０．３８ｋＷ／ｃｍ^２となる。また、実施例１と同様にして、上記コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを測定した。ピーク波長は６００ｎｍであった。

　〔実施例５〕
　図１０に示すように、ＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２０ｗｔ％、１０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。また、実施例１と同様にして、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。蛍光の飽和点の励起光パワーは１０Ｗであり、励起光パワー耐性は、１０／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝１．３ｋＷ／ｃｍ^２となる。また、実施例１と同様にして、上記コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを測定した。ピーク波長は５９０ｎｍであった。

　〔比較例１〕
　図１０に示すように、比較例１ではＳｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８のみを成形型に充填し、１８００℃で焼結した。この点を除けば、比較例１では、実施例１と同じ操作を行って、比較用のコンポジットセラミックスを製造した。

　そして、実施例１と同じ蛍光体評価装置によって、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。この結果を図２０に示す。

　また、実施例１と同じ装置を用いて、上記コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを、実施例１と同じ蛍光分光器を用いて測定した。この結果を図２１に示す。

　〔比較例２〕
　図１０に示すように、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８赤色蛍光体とＡｌ_２Ｏ_３の２元系のコンポジットセラミックスである。

　〔比較例３〕
　図１０に示すように、ＹＡＧ、とＡｌ_２Ｏ_３の２元系のコンポジットセラミックスである。

　〔比較例４〕
　図１０に示すように、ＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ１５ｗｔ％、６５ｗｔ％および２０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスの製造を試みたが、焼結体が割れ又は破損してコンポジットが得られず、特性評価にいたらなかった。この原因としては、粒径のおおきなＹＡＧ蛍光体粒子や、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８蛍光体粒子を多く含むため、焼結がうまくできていないと考えられる。

〔比較例５〕
　実施例５のＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量以外は同様に検討をおこなった。割れ、破損の状況は比較例４と同様であった。

　実施例４、５のコンポジットセラミックスにおけるレーザーパワー依存性および出力ビームのピーク波長を表１に示す。

　〔実施例６〕
　図２２に示すように、実施例６では、Ａｌ_２Ｏ_３に代えてＭｇＯを使用し、ＹＡＧと、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８と、ＭｇＯとの含有量が、それぞれ１５ｗｔ％、１５ｗｔ％、７０ｗｔ％となるように各原料粉を混合し、１３００℃で焼結した。この点を除けば、実施例６では、実施例１と同じ操作を行ってコンポジットセラミックスを製造した。

　そして、実施例１と同じ蛍光体評価装置によって、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。この結果を図２３に示す。

　また、実施例１と同じ装置を用いて、上記コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを、実施例１と同じ蛍光分光器を用いて測定した。この結果を図２４に示す。

　〔実施例７〕
　図２２に示すように、実施例７では、ＭｇＯの約１０％を光散乱成分としてのＡｌＮに変更し、ＹＡＧと、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８と、ＭｇＯと、ＡｌＮの含有量が、それぞれ１５ｗｔ％、１５ｗｔ％、６３ｗｔ％、７ｗｔ％となるように各原料粉を混合した。この点を除けば、実施例７では、実施例１と同じ操作を行ってコンポジットセラミックスを製造した。

　そして、実施例１と同じ蛍光体評価装置によって、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。この結果を、実施例６で得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性と併せて図２５に示す。

　〔比較例６〕
　図２２に示すように、比較例６はＳｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８とＭｇＯの２元系からなるコンポジットセラミックスである。

　〔比較例７〕
　図２２に示すように、ＹＡＧ、ＭｇＯからなる２元系のコンポジットセラミックスである。

　〔比較例８〕
　図２２に示すように、ＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、ＭｇＯの含有量をそれぞれ６５ｗｔ％、１５ｗｔ％、および２０ｗｔ％とする以外は実施例６と同様にしてコンポジットセラミックスの製造を試みたが、焼結体が崩れるか又は割れてしまい、コンポジットセラミックスが得られなかった。

〔比較例９〕
　図２２に示すように、ＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、ＭｇＯの含有量をそれぞれ１５ｗｔ％、６５ｗｔ％、および２０ｗｔ％とする以外は実施例６と同様にしてコンポジットセラミックスの製造を試みたが、焼結体が崩れるか又は割れてしまい、コンポジットセラミックスが得られなかった。

　図１４に示すＳＥＭ画像は実施例１に示すコンポジットセラミックスの反射電子像であり、重い元素で構成される部分が白く、軽い元素で構成される部分が暗く映る。また、各成分の形状は、原料の粒子の形状に応じた形状となる。図１４に示す結果から、得られたコンポジットセラミックスは、ＹＡＧと、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８と、Ａｌ_２Ｏ_３とを含み、Ａｌ_２Ｏ_３がＹＡＧとＳｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８とを取り囲んで焼結されていることが確認された。

　また、図１１および図１５に示すように、ＸＲＤ測定の結果、ＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３のそれぞれのピークが確認された。なお、ＸＲＤ測定の結果とデータベースからの回折強度はよく一致しており、ＹＡＧ、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３以外のピークは観察されなかった。

　また、例えば特許文献２の比較例等からも判るように、従来、窒化物と酸化物とは相性が悪いことが知られている。しかしながら、例えば図１１および図１５に示すように、本開示に係るコンポジットセラミックスは、窒化物系蛍光体成分であるＳｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８が、酸化物である例えばＡｌ_２Ｏ_３からなるマトリックス成分中でも残っていることが確認できた。

　また、図１３、図１７、図１９、図２４に示す蛍光スペクトルから、実施例１～４では、それぞれ、ＹＡＧと、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８とから発生したそれぞれの蛍光のピークが観察された。

　また、図２１に示す蛍光スペクトルから、比較例１では、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８のみの蛍光のピークが観察された。

　また、図１２に示すように、実施例１では、励起光パワーが５ｗのときに蛍光が飽和しており、蛍光の飽和点は５Ｗである。このため、実施例１の励起光パワー耐性は、５／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝０．６４ｋＷ／ｃｍ^２となる。

　また、図１６に示すように、実施例２では、７Ｗまでの励起光パワーがしか測定していないが、図１６から、蛍光の飽和点は８Ｗ程度以上であると見積もられる。したがって、蛍光の飽和点が仮に８Ｗであるとすると、実施例２の励起光パワー耐性は、８／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝１．０ｋＷ／ｃｍ^２となる。

　また、図１８に示すように、実施例３では、蛍光の飽和点は１０Ｗである。このため、実施例３の励起光パワー耐性は、１０／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝１．３ｋＷ／ｃｍ^２となる。

　また、図２０に示すように、比較例１では、蛍光の飽和点は２Ｗである。このため、比較例１の励起光パワー耐性は、２／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝０．２５ｋＷ／ｃｍ^２となる。

　また、図２３に示すように、実施例４では、７Ｗまでの励起光パワーがしか測定していないが、図２３から、蛍光の飽和点は９Ｗ程度以上であると見積もられる。したがって、蛍光の飽和点が仮に９Ｗであるとすると、実施例４の励起光パワー耐性は、９／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝１．１ｋＷ／ｃｍ^２となる。

　したがって、図１２、図１６、図１８、図２０、および図２３に示す結果から、窒化物系蛍光体は、励起光パワー耐性（レーザーパワー耐性）が低く、ガーネット系蛍光体成分およびマトリックス成分を添加することで、励起光パワー耐性が大きく向上することが判る。

　また、図２５に示す結果から、マトリックス成分の一部に、光散乱成分として、例えば屈折率の高いＡｌＮを含めることで、蛍光パワーが約１０％以上向上することが確認された。

　〔実施例８〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ１５ｗｔ％、１５ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。また、実施例１と同様にして、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。蛍光の飽和点の励起光パワーは６Ｗであり、励起光パワー耐性は、６／（３．１４１５×０．０５×０．０５）＝０．７６ｋＷ／ｃｍ^２となる。また、実施例１と同様にして、上記コンポジットセラミックスからレンズを透過させて出力したビームの蛍光スペクトルを測定した。ピーク波長は６０５ｎｍであった。

　〔実施例９〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２０ｗｔ％、１０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。また、実施例１と同様にして、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。

　〔実施例１０〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２５ｗｔ％、５ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。また、実施例１と同様にして、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。

　〔実施例１１〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ８ｗｔ％、２ｗｔ％および９０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。また、実施例１と同様にして、得られたコンポジットセラミックスの蛍光パワーのレーザーパワー依存性を測定した。

　〔実施例１２〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３５ｗｔ％、３３ｗｔ％および３２ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔比較例１０〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ８５ｗｔ％、１５ｗｔ％および０ｗｔ％とする以外は実施例８と同様にしてコンポジットセラミックスの製造を試みたが、焼結体が崩れるか又は割れてしまい、コンポジットセラミックスが得られなかった。

　〔比較例１１〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ４０ｗｔ％、４０ｗｔ％および２０ｗｔ％とする以外は実施例８と同様にしてコンポジットセラミックスの製造を試みたが、焼結体が崩れるか又は割れてしまい、コンポジットセラミックスが得られなかった。

　〔比較例１２〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ０ｗｔ％、３０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例８と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔比較例１３〕
　図２６に示すように、ＹＡＧ、（ＢａＳｒ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例８と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　実施例８～１２および比較例１０～１３のコンポジットセラミックスにおけるレーザーパワー依存性および出力ビームのピーク波長を表２に示す。

　〔実施例１３〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ１５ｗｔ％、１５ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔実施例１４〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２０ｗｔ％、１０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔実施例１５〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２５ｗｔ％、５ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔実施例１６〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２５ｗｔ％、２５ｗｔ％および５０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔実施例１７〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３５ｗｔ％、３３ｗｔ％および３２ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔実施例１８〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ１０ｗｔ％、５ｗｔ％および８５ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔比較例１４〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１３と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔比較例１５〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ８５ｗｔ％、１５ｗｔ％および０ｗｔ％とする以外は実施例１３と同様にしてコンポジットセラミックスの製造を試みたが、焼結体が崩れて成形体が得られず、コンポジットセラミックスが得られなかった。

　〔比較例１６〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ４０ｗｔ％、４０ｗｔ％および２０ｗｔ％とする以外は実施例１３と同様にしてコンポジットセラミックスの製造を試みたが、焼結体が崩れて成形体が得られず、コンポジットセラミックスが得られなかった。

　〔比較例１７〕
　図２７に示すように、ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３、およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ０ｗｔ％、３０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１３と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例１〕
　ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３および（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２０ｗｔ％、総じて１０ｗｔ％ならびに７０ｗｔ％とする以外は実施例１１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例２〕
　ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３および（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２５ｗｔ％、総じて５ｗｔ％ならびに７０ｗｔ％とする以外は実施例１１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例３〕
　ＹＡＧ、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３および（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、総じて０ｗｔ％ならびに７０ｗｔ％とする以外は実施例１１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例４〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２０ｗｔ％、１０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例５〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ２５ｗｔ％、５ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例６〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、（ＣａＡｌ）ＳｉＮ_３およびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例７〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、０ｗｔ％および７０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例８〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、３５ｗｔ％および３５ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例９〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、７０ｗｔ％および０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例１０〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ３０ｗｔ％、６０ｗｔ％および１０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例１１〕
　（ＬａＹ）_３Ｓｉ_６Ｎ_１１、ならびにＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３の含有量をそれぞれ１０ｗｔ％、５０ｗｔ％および４０ｗｔ％とする以外は実施例１と同様にしてコンポジットセラミックスを製造した。

　〔参考例１２～１６〕
　実施例１１のコンポジットセラミックスをアンモニア雰囲気で１０００℃、３時間加熱するアニール処理を施して参考例１２のコンポジットセラミックスを得た。また、実施例１８のコンポジットセラミックスをアンモニア雰囲気で１２５０℃、２時間加熱するアニール処理を施して参考例１３のコンポジットセラミックスを得た。また、参考例４のコンポジットセラミックスをアンモニア雰囲気で１０００℃、３時間加熱するアニール処理を施して参考例１４のコンポジットセラミックスを得た。また、参考例９のコンポジットセラミックスをアンモニア雰囲気で１２５０℃、２時間加熱するアニール処理を施して参考例１５のコンポジットセラミックスを得た。また、参考例８のコンポジットセラミックスをアンモニア雰囲気で１０００℃、３時間加熱するアニール処理を施して参考例１６のコンポジットセラミックスを得た。

　参考例１２～１６のコンポジットセラミックスのそれぞれについて、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系における物体色（Ｌ^＊値、ａ^＊値、ｂ^＊値および彩度）を、測色計を用いて測定した。実施例３３のコンポジットセラミックスについては、アニール処理前の物体色も測定した。

　また、参考例１２～１６３のコンポジットセラミックスのそれぞれについて、アニール処理前後で蛍光パワーを測定し、アニール処理前の最大の蛍光パワーに対するアニール処理後の最大の蛍光パワーの比率を求めた。当該比率は、たとえば、参考例１２であれば、図２８に示されるように、アニール処理前の飽和の蛍光パワーに対するアニール処理後の最大の蛍光パワーの比である。また、例えば参考例１３であれば図２９に示されるように、アニール処理前の飽和の蛍光パワーに対するアニール処理後の飽和の蛍光パワーの比である。結果を表３に示す。表中、「Ｂａ２５８」は「（Ｂａ_０．６Ｓｒ_０．４）_２Ｓｉ_５Ｎ_８」を表し、「ＣＡＳＮ」は「ＣａＳｉＡｌＮ_３」を表し、「ＹＡＧ」はＣｅで賦活化された「Ｙ_３Ａｌ_５Ｏ_１２」を表す。

　表３に示されるように、アンモニア雰囲気でのアニール処理によって蛍光パワーがより高まっている。また、図２８および図２９に示されるように、アニール処理後の蛍光パワーは、アニール処理前に比べて励起光パワーで飽和に到達する傾向が見られる。よって、アニール処理によって励起光パワー耐性も高められていることがわかる。

　〔参考例１７〕
　参考例８のコンポジットセラミックスを窒素雰囲気下で１１５０℃、３時間加熱するアニール処理を施して参考例１７のコンポジットセラミックスを得た。参考例１７のコンポジットセラミックスは白色化し、また蛍光が観察されなかった。

　窒素雰囲気下で蛍光体を焼結すると、窒素ぬけまたは賦活剤の失活により、彩度が低下し、内部量子効率が等により効率が低下した。これは、組成中の窒素の抜け、または賦活剤の失活、によると考えられる。３元系（蛍光体成分二種とマトリックス成分）および２元系（蛍光体成分一種とマトリックス成分）のいずれにおいても、焼結した蛍光体をアンモニア雰囲気でアニールすることによって、蛍光強度がさらに向上した。

　〔評価〕
　実施例１６～１８ならびに参考例７、８および１１のコンポジットセラミックスのそれぞれについて、熱伝導率を測定した。また、実施例１６～１８ならびに参考例７、８および１１のコンポジットセラミックスのそれぞれについて、ビッカース硬度を測定した。結果を以下の表４に示す。

　３元型では、熱伝導率およびビッカース硬度のいずれも、マトリックスの量が増えるほど高くなる傾向が見られる。２元系では、熱伝導率およびビッカース硬度のいずれも十分に高い数値を示す傾向が見られる。また、二元系の結果では、焼結の程度に応じて熱伝導率およびビッカース硬度のいずれもが低下する傾向が見られる。

　〔蛍光体素子の実施例〕
　実施例１８のコンポジットセラミックスを用いて蛍光体素子Ａおよび蛍光体素子Ｂを作製した。蛍光体素子Ａは、厚さ１００μｍの実施例２１のコンポジットセラミックスの一主面に鏡体を形成し、当該鏡体側の面でコンポジットセラミックスを無機接着剤によって銅合金の基材に接着して構成されている。蛍光体素子Ｂは、実施例１８のコンポジットセラミックスの厚さが５０μｍである以外は蛍光体素子Ａと同様に作製されている。

　蛍光体素子Ａおよび蛍光体素子Ｂのそれぞれについて、コンポジットセラミックスにレーザー光を照射したときの励起光パワーとそのときの蛍光パワーとの関係を図３０に示す。

　蛍光体素子Ａおよび蛍光体素子Ｂのいずれも、励起光パワーが高まるにつれて蛍光パワーも高まっている。蛍光体素子Ｂは、蛍光体素子Ａに比べて、励起光パワーの増加に伴って蛍光パワーがより増加している。蛍光体素子Ｂは、蛍光体素子Ａに比べて励起光パワーが蛍光パワーに適切に転換されており、よって、実施例２１のコンポジットセラミックスは、薄くても効率良く蛍光を発することがわかる。

　〔耐久性〕
　本発明の蛍光体素子を用意し、レーザー光を連続して照射したときの蛍光パワーを測定した。結果を図３１に示す。

　本開示は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本開示の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

　１、１１、１２、２１、３１　コンポジットセラミックス
　２　ガーネット系蛍光体成分
　３　窒化物系蛍光体成分
　４　マトリックス成分
　１２　光散乱成分
　２２　第１セラミックス層
　２３　第２セラミックス層
　３１ａ　凹凸
　５０　蛍光体素子
　５１　基材
　６０　レーザー照明装置
　６１　レーザー光源
　６２、６３　レンズ

Claims

　ガーネット系蛍光体成分と、窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む焼結体からなるコンポジットセラミックスであって、
　上記マトリックス成分は、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
　上記マトリックス成分の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下の範囲内であり、
　上記マトリックス成分は、上記ガーネット系蛍光体成分と上記窒化物系蛍光体成分とを取り囲んで焼結されていることを特徴とするコンポジットセラミックス。
　当該コンポジットセラミックスの単位体積当たりに含まれる上記マトリックス成分の数平均粒径が、０．０１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　上記ガーネット系蛍光体成分が、（Ｃｅ，Ｙ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ，Ｙ）_３Ａｌ_５Ｏ_１２、（Ｃｅ，Ｌｕ，Ｙ）_３（Ａｌ，Ｇａ）_５Ｏ_１２からなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項２に記載のコンポジットセラミックス。
　上記窒化物系蛍光体成分が、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、Ｓｒ_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８、（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）_２Ｓｉ_５Ｎ_８からなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　上記Ｓｉの一部および上記Ｎの一部のうち少なくとも一方が置換されており、
　上記Ｓｉの一部が置換されている場合、上記ＳｉはＡｌに置換されており、
　上記Ｎの一部が置換されている場合、上記ＮはＯに置換されていることを特徴とする請求項４に記載のコンポジットセラミックス。
　上記窒化物系蛍光体成分が、それぞれＥｕおよびＣｅのうち少なくとも一方の元素で賦活された、ＣａＡｌＳｉＮ_３および（Ｃａ，Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　上記窒化物系蛍光体成分、上記マトリックス成分、および上記ガーネット系蛍光体成分の合計の含有率を１００ｗｔ％とする三角図において、上記窒化物系蛍光体成分、上記マトリックス成分、および上記ガーネット系蛍光体成分のそれぞれの含有率が、
　　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が５９ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が３１ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が１０ｗｔ％である点Ａと、
　　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が８ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が９０ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が２ｗｔ％である点Ｂと、
　　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が２ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が９０ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が８ｗｔ％である点Ｃと、
　　上記窒化物系蛍光体成分の含有率が１０ｗｔ％であり、上記マトリックス成分の含有率が３１ｗｔ％であり、上記ガーネット系蛍光体成分の含有率が５９ｗｔ％である点Ｄとを結ぶ直線で囲まれた範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　屈折率が上記マトリックス成分よりも０．２１以上高い光散乱成分をさらに含み、
　上記マトリックス成分と上記光散乱成分との合計の含有率が、全成分の３１ｗｔ％以上、９５ｗｔ％以下であることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　上記光散乱成分が、ＡｌＮ、ｃＢＮ、ＳｉＣ、ＡｌＮ－ＳｉＣ固溶体、およびダイアモンドからなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項８に記載のコンポジットセラミックス。
　当該コンポジットセラミックスの単位体積当たりに含まれる上記光散乱成分の数平均粒径が、０．２５μｍ以上、４０μｍ以下であることを特徴とする請求項８に記載のコンポジットセラミックス。
　厚み１００μｍでの波長４５０ｎｍの光の直線透過率が、０．０１％以上、２０％以下であることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　焼結助剤をさらに含み、
　上記焼結助剤は、
　　上記マトリックス成分がＡｌ_２Ｏ_３である場合、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯおよびＹ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
　上記マトリックス成分が、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３のうち少なくともＭｇＯを含む場合、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、ＣａＯ、ＺｎＯおよびＹ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　一方の主面に、ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種からなる層が接合された積層構造を有していることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　励起光パワー耐性が０．５ｋＷ／ｃｍ^２以上であることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　一方の主面に凹凸が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットセラミックス。
　請求項１～１５の何れか１項に記載のコンポジットセラミックスと、
　上記コンポジットセラミックスを固定する基材とを備えていることを特徴とする蛍光体素子。
　請求項１６に記載の蛍光体素子と、
　上記蛍光体素子における上記コンポジットセラミックスに励起光を照射するレーザー光源と、
　上記蛍光体素子における上記コンポジットセラミックスから出力された光を集光する集光部材とを備えていることを特徴とするレーザー照明装置。
　ガーネット系蛍光体成分と、窒化物系蛍光体成分と、マトリックス成分とを含む第１原料粉を混合する混合工程と、
　混合した上記第１原料粉を成形型に収容する第１原料粉収容工程と、
　上記成形型に収容した上記第１原料粉を、放電プラズマ焼結法またはホットプレス法で焼結する焼結工程と、
　上記焼結工程で得られた焼結体を上記成形型から取り出す離型工程とを含むことを特徴とするコンポジットセラミックスの製造方法。
　ＭｇＯおよびＡｌ_２Ｏ_３からなる群より選ばれる少なくとも一種からなる、上記第１原料粉よりも少ない第２原料粉を上記成形型に収容する第２原料粉収容工程をさらに含み、
　上記焼結工程で、上記成形型に収容した、上記第１原料粉および上記第２原料粉を焼結することで、上記第１原料粉の焼結体と、上記第１原料粉よりも薄い、上記第２原料粉の焼結体とが接合された焼結体を形成することを特徴とする請求項１８に記載のコンポジットセラミックスの製造方法。
　上記焼結体に対し、切断および研磨のうち少なくとも一方を施す切断／研磨工程をさらに含むことを特徴とする請求項１８に記載のコンポジットセラミックスの製造方法。
　上記焼結体の一方の主面に凹凸を形成する凹凸形成工程をさらに含むことを特徴とする請求項１８に記載のコンポジットセラミックスの製造方法。
　上記凹凸形成工程では、ダイサー、レーザー加工、または研磨により上記凹凸を形成することを特徴とする請求項２１に記載のコンポジットセラミックスの製造方法。