WO2024004873A1 - 被覆切削工具 - Google Patents

被覆切削工具 Download PDF

Info

Publication number
WO2024004873A1
WO2024004873A1 PCT/JP2023/023386 JP2023023386W WO2024004873A1 WO 2024004873 A1 WO2024004873 A1 WO 2024004873A1 JP 2023023386 W JP2023023386 W JP 2023023386W WO 2024004873 A1 WO2024004873 A1 WO 2024004873A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
hard coating
less
atomic
elements
coated cutting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2023/023386
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
正和 伊坂
智也 佐々木
亮太郎 府玻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Moldino Tool Engineering Ltd
Original Assignee
Moldino Tool Engineering Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Moldino Tool Engineering Ltd filed Critical Moldino Tool Engineering Ltd
Priority to CN202380042994.0A priority Critical patent/CN119278107A/zh
Priority to JP2024530780A priority patent/JPWO2024004873A1/ja
Priority to KR1020247038745A priority patent/KR20250002597A/ko
Priority to EP23831315.9A priority patent/EP4545225A4/en
Priority to US18/867,931 priority patent/US20250332643A1/en
Publication of WO2024004873A1 publication Critical patent/WO2024004873A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148—Composition of the cutting inserts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23C—MILLING
    • B23C5/00—Milling-cutters
    • B23C5/16—Milling-cutters characterised by physical features other than shape
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2222/00—Materials of tools or workpieces composed of metals, alloys or metal matrices
    • B23B2222/28—Details of hard metal, i.e. cemented carbide
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2224/00—Materials of tools or workpieces composed of a compound including a metal
    • B23B2224/24—Titanium aluminium nitride
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/08—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner applied by physical vapour deposition [PVD]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10—Coatings

Definitions

  • the present invention relates to coated cutting tools.
  • This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2022-102962 filed in Japan on June 27, 2022, the contents of which are incorporated herein.
  • Cited Document 1 discloses a coated cutting tool provided with a nitride film of AlTiW containing the element tungsten (W).
  • One aspect of the present invention includes a base material and a hard coating formed on the base material,
  • the hard coating contains, based on the total amount of metal (including metalloid) elements, Al is 60 at % or more and 70 at % or less, Ti is 20 at % or more and 40 at % or less, W, Cr, Ta, Nb, Zr. , Mo, and V in an amount of 1 atomic % or more and 10 atomic % or less, and 0.01 atomic % of Ar with respect to the total amount of metal (including semimetal) elements, nitrogen elements, and Ar elements.
  • the crystal structure of the hard coating is a face-centered cubic lattice structure, and the coated cutting tool has a half width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane of 0.75° or more and 0.95° or less.
  • the half width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane of the hard coating is preferably 0.78° or more and 0.95° or less.
  • the hard coating does not have a diffraction peak intensity corresponding to AlN having a hexagonal close-packed structure in an intensity profile of a selected area diffraction pattern using a transmission electron microscope.
  • a coated cutting tool with excellent durability can be provided.
  • the coated cutting tool of this embodiment has a base material and a hard coating formed on the base material.
  • the hard coating according to this embodiment is a nitride mainly composed of Al and Ti, which is a film type having excellent heat resistance and wear resistance. If necessary, an intermediate film may be provided between the base material and the hard film. Further, an upper layer may be provided on the hard coating if necessary. This will be explained in detail below.
  • the base material is not particularly limited, but it is preferable that the base material is a WC-Co-based cemented carbide having excellent strength and toughness.
  • Al is 60 atomic % or more and 70 atomic % or less with respect to the total amount of metal (including metalloid; hereinafter the same) elements.
  • Al is an element that increases the heat resistance of the hard coating. As the Al content of the hard coating increases, the heat resistance of the hard coating increases. Furthermore, as the Al content of the hard coating increases, an oxidation protective coating is more likely to be formed on the tool surface, making it easier to suppress coating damage. Furthermore, as the Al content of the hard coating increases, the coating structure becomes finer, making it easier to suppress coating damage. In order to fully exhibit these effects of Al addition, the hard coating according to this embodiment has an Al content of 60 atomic % or more based on the total amount of metal elements.
  • the hard coating according to this embodiment preferably contains 62 atomic % or more of Al.
  • the Al content of the hard coating becomes too large, AlN in the brittle hexagonal close-packed structure (hereinafter referred to as hcp structure) increases and the durability of the coated cutting tool decreases. Therefore, in the hard coating according to this embodiment, the Al content is 70 at % or less based on the total amount of metal elements.
  • the hard coating according to this embodiment preferably contains 68 at % or less of Al. Furthermore, it is preferable that the hard coating according to the present embodiment contains Al at 65 atomic % or less.
  • the Ti content is 20 atomic % or more and 40 atomic % or less with respect to the total amount of metal elements.
  • the crystal structure of the hard coating becomes a face-centered cubic lattice structure, increasing the durability of the coated cutting tool.
  • the heat resistance of the hard coating increases because Ti is 40 atomic % or less with respect to the total amount of metal elements.
  • one or more selected from W, Cr, Ta, Nb, Zr, Mo, and V is present in an amount of 1 atomic % or more and 10 atomic % or less with respect to the total amount of metal elements.
  • These elements are transition metal elements belonging to Groups 4a, 5a, and 6a of the periodic table, and are generally added to AlTi nitride to improve film properties such as heat resistance, wear resistance, and lubricity. has been done.
  • the hard film according to the present embodiment contains W, Cr, Ta, Nb, Zr, Mo, and V selected from W, Cr, Ta, Nb, Zr, Mo, and V based on the total amount of metal elements.
  • the content of one or more of these is 1 atomic % or more. Furthermore, it is preferable that the content be 2 atomic % or more. Furthermore, it is preferable that the content be 3 atomic % or more.
  • the amount of elements other than Al and Ti added is too large, the film properties of the hard film may deteriorate.
  • the hard coating according to the present embodiment contains at least 10 atomic % of one or more selected from W, Cr, Ta, Nb, Zr, Mo, and V based on the total amount of metal elements. Furthermore, it is preferable that the content be 8 at % or less. Further, it is preferably 6 at % or less. Particularly in the cutting of high-hardness steel, it is preferable to apply a hard coating containing W, as this tends to improve the durability of the coated cutting tool.
  • the hard coating according to this embodiment contains Ar in an amount of 0.01 atomic % or more and 0.15 atomic % or less with respect to the total amount of metal (including semimetal) elements, nitrogen elements, and Ar elements (the entire hard coating). do.
  • the hard coating according to this embodiment is a hard coating formed by a sputtering method.
  • the hard film of this embodiment is a sputtered film, and is a sputtered hard film.
  • the hard coating formed by the sputtering method has compressive residual stress, has fewer droplets, and has a smoother surface than the hard coating formed by the arc ion plating method.
  • the target component is sputtered using Ar ions to cover the hard film, so the formed hard film contains Ar.
  • the hard coating according to this embodiment contains 0.01 atomic % or more of Ar based on the total amount of metal (including semimetal) elements, nitrogen elements, and Ar elements (the entire hard coating).
  • the hard coating according to this embodiment preferably contains Ar at 0.03 atomic % or more.
  • the crystal grain size of the hard coating becomes finer, the hardness increases, but the number of grain boundaries increases, and Ar contained in the hard coating becomes concentrated in the grain boundaries.
  • the Ar content of the hard coating is high, the toughness of the hard coating decreases, making it difficult to exhibit sufficient tool performance.
  • the hard coating according to this embodiment has an Ar content of 0.15 atomic % or less. It is preferable that the hard coating according to this embodiment contains Ar at 0.10 atomic % or less.
  • the hard coating according to this embodiment has a face-centered cubic lattice structure (FCC structure).
  • FCC structure face-centered cubic lattice structure
  • having a face-centered cubic lattice structure means that the hard coating has only a diffraction peak intensity corresponding to a face-centered cubic lattice structure in X-ray diffraction. That is, in the hard coating of this embodiment, no diffraction peaks corresponding to the hcp structure and bcc structure are observed in X-ray diffraction.
  • a hard coating having a diffraction peak intensity corresponding to AlN having an hcp structure in X-ray diffraction reduces the durability of the coated cutting tool.
  • the diffraction peak intensity of the (200) plane or (111) plane of the face-centered cubic lattice structure is the highest among the diffraction peak intensities of a plurality of observed diffraction peaks. becomes.
  • the diffraction peak intensity of the (111) plane is the maximum intensity in X-ray diffraction.
  • the hard coating according to this embodiment preferably does not have a diffraction peak intensity corresponding to AlN with an hcp structure in the intensity profile of a selected area diffraction pattern using a transmission electron microscope. Even if it does not have a diffraction peak intensity corresponding to AlN with an hcp structure in X-ray diffraction, it has a diffraction peak intensity corresponding to AlN with an hcp structure in the intensity profile of a selected area diffraction pattern using a transmission electron microscope. There are cases.
  • the hard coating according to this embodiment has a fine coating structure.
  • the fineness of the film structure makes it easier to suppress tool damage when machining high-hardness steel.
  • the present inventor found that in a hard coating with a face-centered cubic lattice structure, there is a certain correlation between the value of the half-width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane, which is the closest packed plane, and the size of the columnar particles in the coating structure. It was confirmed. In the above composition range, by setting the full width at half maximum (FWHM) of the X-ray diffraction peak of the (111) plane to 0.75° or more, the columnar particles of the hard coating become fine and the coated cutting tool becomes fine.
  • FWHM full width at half maximum
  • the half width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane is 0.78° or more. Furthermore, in the hard coating according to this embodiment, it is preferable that the half width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane is 0.80° or more. On the other hand, if the value of the half-width becomes too large, the film becomes amorphous and AlN with the hcp structure tends to increase. Therefore, in the hard coating according to this embodiment, the half width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane is 0.95° or less.
  • the half width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane is 0.92° or less. Furthermore, in the hard coating according to this embodiment, it is preferable that the half width of the X-ray diffraction peak of the (111) plane is 0.88° or less. In the hard coating according to the present invention, the half width of the X-ray diffraction peak of the (200) plane is preferably 0.90° or more and 1.1° or less. This makes it easy to obtain a hard coating with a finely textured face-centered cubic lattice structure.
  • the hard coating according to the present embodiment may contain other metal elements or metalloid elements within a range that satisfies the composition and half-width described above.
  • it may contain one or more metal elements or metalloid elements selected from Si, B, Cu, Y, and Yb. When these elements are contained, it is preferably 1 atomic % or more and 5 atomic % or less.
  • an intermediate coating may be provided between the base material and the hard coating, if necessary.
  • a nitride, carbonitride, or carbide containing one or more elements selected from Ti, Cr, and Al can be provided.
  • a hard coating may be provided directly on the base material.
  • the coated cutting tool of this embodiment may be provided with an upper layer having a different component ratio or composition than the hard coating of this embodiment on the hard coating of this embodiment, if necessary.
  • the upper layer may have a plurality of layers or may be a laminated film.
  • a sputtering method in which power is sequentially applied to targets among sputtering methods is applied, and when the target to which power is applied is switched, the target to which power application ends and the target to which power is applied are changed. It is preferable to provide a period of time during which power is applied to both targets at the same time. If power is applied for too short or too long at the same time to both the alloy target at which power application ends and the alloy target at which power application begins, the ionization of the target may not be sufficient and a hard coating may occur. It is difficult to form sufficient nitride.
  • the time during which power is simultaneously applied to both the alloy target to which power application ends and the alloy target to which power application begins is preferably 1 microsecond or more and 20 microseconds or less.
  • the maximum power density of the power pulse is preferably 0.5 kW/cm 2 or more.
  • it is preferable to use three or more AlTiMe alloy targets (Me is one or more selected from W, Cr, Ta, Nb, Zr, Mo, and V).
  • the coating temperature should be 400°C to 460°C, and the negative bias voltage applied to the cutting tool as the base should be -70V. It is preferable to control the voltage within the range of -40V.
  • the tool used as the base material had a composition of WC (bal.)-Co (8.0% by mass)-Ta (0.3% by mass), a WC average particle size of 0.5 ⁇ m, and a hardness of 93.2HRA (Rockwell hardness).
  • a two-flute ball end mill made of cemented carbide (tool diameter 1.0 mm, manufactured by MOLDINO Co., Ltd.) was prepared.
  • a sputtering device capable of mounting 12 sputter evaporation sources was used.
  • these vapor deposition sources six AlTiW alloy targets were installed in the apparatus as vapor deposition sources. Note that a target with dimensions of 16 cm in diameter and 12 mm in thickness was used.
  • the tool was fixed to a sample holder in the sputtering apparatus, and a bias power source was connected to the tool. Note that the bias power supply has a structure that applies a negative bias voltage to the tool independently of the target.
  • the tool rotates at three revolutions per minute and revolves around the fixture and sample holder. The distance between the tool and the target surface was 100 mm.
  • the introduced gases used were Ar and N2 , and were introduced from a gas supply port provided in the sputtering apparatus.
  • ⁇ Bombard treatment> First, before coating the tool with a hard coating, the tool was subjected to bombardment treatment using the following procedure. The inside of the sputtering apparatus was evacuated, and then heating was performed for 30 minutes using a heater in the sputtering apparatus to bring the temperature inside the furnace to 430°C. Then, Ar gas was introduced into the furnace of the sputtering apparatus. Then, a DC bias voltage was applied to the tool to perform cleaning (bombardment treatment) of the tool with Ar ions.
  • the hardness and elastic modulus of the hard coating were measured using a nanoindentation tester (ENT-2100 manufactured by Elionix Co., Ltd.).
  • the film composition of the hard film was measured using a wavelength dispersive electron probe microanalysis (WDS-EPMA) attached to an electron probe microanalyzer device (JXA-8500F manufactured by JEOL Ltd.).
  • the measurement conditions were an accelerating voltage of 10 kV, an irradiation current of 5 x 10 -8 A, and a capture time of 10 seconds.
  • the analysis area was measured at 5 points within a diameter of 1 ⁇ m, and the average value was used to determine the metal content ratio and metal elements of the hard coating.
  • the content ratio of Ar to the total amount of nitrogen element and Ar element was determined. Table 2 shows the results of physical property evaluation.
  • Example 1 in which the hard coating was made finer, had a small maximum wear width and excellent wear resistance in all cutting tests, and was a coated cutting tool with excellent durability.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

実施形態の被覆切削工具は、基材と、基材上に形成される硬質皮膜とを備える。硬質皮膜は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、Ａｌが６０原子％以上７０原子％以下、Ｔｉが２０原子％以上４０原子％以下、Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上が１原子％以上１０原子％以下であって、金属（半金属を含む）元素と窒素元素とＡｒ元素の総量に対して、Ａｒを０．０１原子％以上０．１５原子％以下で含有している窒化物である。硬質皮膜の結晶構造は面心立方格子構造であり、（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅は０．７５°以上０．９５°以下である。

Description

被覆切削工具
　本発明は、被覆切削工具に関する。
　本願は、２０２２年６月２７日に、日本に出願された特願２０２２－１０２９６２号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　従来、切削工具の寿命を向上させる技術として、各種セラミックスからなる硬質皮膜を切削工具の表面に被覆する表面処理技術が採用されている。硬質皮膜の中でもアルミニウム（Ａｌ）とチタン（Ｔｉ）の窒化物皮膜は耐摩耗性と耐熱性に優れることから広く適用されている。また、ＡｌとＴｉを主体として他の金属元素を含有した窒化物皮膜も提案されている。例えば、引用文献１にはタングステン（Ｗ）元素を含有したＡｌＴｉＷの窒化物皮膜を設けた被覆切削工具を開示している。
国際公開第２０１４／１５７６８８号
　本発明者の検討によると、従来から提案されているＡｌとＴｉを主体とする窒化物皮膜を設けた被覆切削工具について、耐久性に改善の余地があることを確認した。
　本発明の一態様は、基材と、前記基材上に形成される硬質皮膜とを備え、
　前記硬質皮膜は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、Ａｌが６０原子％以上７０原子％以下、Ｔｉが２０原子％以上４０原子％以下、Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上が１原子％以上１０原子％以下であって、金属（半金属を含む）元素と窒素元素とＡｒ元素の総量に対して、Ａｒを０．０１原子％以上０．１５原子％以下で含有している窒化物であり、
　前記硬質皮膜の結晶構造は面心立方格子構造であり、（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅は０．７５°以上０．９５°以下である被覆切削工具である。
　前記硬質皮膜の（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅は０．７８°以上０．９５°以下であることが好ましい。
　前記硬質皮膜は、透過型電子顕微鏡を用いた制限視野回折パターンの強度プロファイルにおいて、六方最密充墳構造のＡｌＮに対応する回折ピーク強度を有さないことが好ましい。
　本発明によれば、耐久性に優れる被覆切削工具を提供することができる。
本実施例１に係る硬質皮膜の断面観察写真（×１０,０００倍）の一例である。 本実施例２に係る硬質皮膜の断面観察写真（×１０,０００倍）の一例である。 比較例１に係る硬質皮膜の断面観察写真（×１０,０００倍）の一例である。
　本実施形態の被覆切削工具は、基材と、基材上に形成される硬質皮膜とを有する。本実施形態に係る硬質皮膜は、耐熱性と耐摩耗性に優れる膜種であるＡｌとＴｉを主体とする窒化物である。必要に応じて基材と硬質皮膜の間に中間皮膜を設けてもよい。また、必要に応じて硬質皮膜の上に上層を設けても良い。以下、詳細に説明する。
　本実施形態の被覆切削工具においては、基材は特段限定されないが、強度と靭性に優れるＷＣ－Ｃｏ基超硬合金を基材とすることが好ましい。
　≪Ａｌ≫
　本実施形態に係る硬質皮膜は、金属（半金属を含む。以下、同様）元素の総量に対して、Ａｌが６０原子％以上７０原子％以下である。Ａｌは硬質皮膜の耐熱性を高める元素である。硬質皮膜のＡｌ含有量が多くなることで硬質皮膜の耐熱性が高まる。また、硬質皮膜のＡｌ含有量が多くなることで工具表面に酸化保護皮膜が形成され易くなり皮膜損傷が抑制され易くなる。また、硬質皮膜のＡｌ含有量が多くなることで皮膜組織が微細となり皮膜損傷が抑制され易くなる。これらのＡｌ添加効果を十分に発揮するために、本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対して、Ａｌが６０原子％以上とする。本実施形態に係る硬質皮膜は、Ａｌが６２原子％以上とすることが好ましい。
　一方、硬質皮膜のＡｌ含有量が多くなり過ぎると脆弱な六方最密充墳構造（以下、ｈｃｐ構造）のＡｌＮが増加して被覆切削工具の耐久性が低下する。そのため、本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対してＡｌが７０原子％以下とする。本実施形態に係る硬質皮膜は、Ａｌが６８原子％以下とすることが好ましい。更には本実施形態に係る硬質皮膜は、Ａｌが６５原子％以下とすることが好ましい。
　≪Ｔｉ≫
　本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対して、Ｔｉが２０原子％以上４０原子％以下とする。本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対して、Ｔｉが２０原子％以上であることで硬質皮膜の結晶構造が面心立方格子構造となり被覆切削工具の耐久性が高まる。また、本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対して、Ｔｉが４０原子％以下であることで硬質皮膜の耐熱性が高まる。
　≪Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上≫
　本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対して、Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上が１原子％以上１０原子％以下である。これらの元素は周期律表の４ａ族、５ａ族、６ａ族に属する遷移金属元素であり、耐熱性、耐摩耗性及び潤滑性等の皮膜特性を向上させるために一般的にＡｌＴｉ窒化物に添加されている。これらの元素添加による皮膜特性を高める効果を十分に得るために、本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対して、Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上を１原子％以上とする。更には２原子％以上とすることが好ましい。更には３原子％以上とすることが好ましい。一方、ＡｌとＴｉ以外の元素の添加量が多くなり過ぎると硬質皮膜の皮膜特性が低下する場合がある。そのため、本実施形態に係る硬質皮膜は、金属元素の総量に対して、Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上を１０原子％以下とする。更には８原子％以下とすることが好ましい。更には６原子％以下とすることが好ましい。特に高硬度鋼の切削加工においてはＷを添加した硬質皮膜を適用することで被覆切削工具の耐久性が優れる傾向にあり好ましい。
　≪Ａｒ≫
　本実施形態に係る硬質皮膜は、金属（半金属を含む）元素と窒素元素とＡｒ元素の総量（硬質皮膜全体）に対して、Ａｒを０．０１原子％以上０．１５原子％以下で含有する。本実施形態に係る硬質皮膜は、スパッタリング法により形成される硬質皮膜である。本実施形態の硬質皮膜は、スパッタ膜であり、スパッタ硬質皮膜である。スパッタリング法により形成される硬質皮膜は圧縮残留応力を有しており、ドロップレットが少なくアークイオンプレーティング法により形成される硬質皮膜よりも平滑な表面状態となる。また、スパッタリング法では、Ａｒイオンを用いてターゲット成分をスパッタリングして硬質皮膜を被覆するため、成膜される硬質皮膜にＡｒが含まれる。本実施形態に係る硬質皮膜は、金属（半金属を含む）元素と窒素元素とＡｒ元素の総量（硬質皮膜全体）に対して、Ａｒを０．０１原子％以上を含有する。被覆プロセスを安定させるために本実施形態に係る硬質皮膜はＡｒを０．０３原子％以上とすることが好ましい。
　硬質皮膜の結晶粒径が微粒化すると硬度が高まる一方、結晶粒界が多くなり、硬質皮膜に含有されるＡｒが結晶粒界に濃化する。硬質皮膜のＡｒ含有量が多い場合には、硬質皮膜の靭性が低下し、十分な工具性能が発揮され難い。硬質皮膜の結晶粒界に濃化するＡｒを低減させるよう、本実施形態に係る硬質皮膜はＡｒを０．１５原子％以下とする。本実施形態に係る硬質皮膜はＡｒを０．１０原子％以下とすることが好ましい。
　≪結晶構造≫
　本実施形態に係る硬質皮膜は、面心立方格子構造（ｆｃｃ構造）である。本実施形態において、面心立方格子構造であるとは、硬質皮膜のＸ線回折において、面心立方格子構造に対応する回折ピーク強度のみを有することを意味する。すなわち本実施形態の硬質皮膜では、Ｘ線回折において、ｈｃｐ構造、ｂｃｃ構造に対応する回折ピークは観測されない。Ｘ線回折においてｈｃｐ構造のＡｌＮに対応する回折ピーク強度を有する硬質皮膜では被覆切削工具の耐久性が低下する。
　本実施形態に係る硬質皮膜は、Ｘ線回折において面心立方格子構造の（２００）面あるいは（１１１）面の回折ピーク強度が、観測された複数の回折ピークの回折ピーク強度のうちで最大強度となる。本実施形態に係る硬質皮膜は、Ｘ線回折において（１１１）面の回折ピーク強度が最大強度であることが好ましい。（１１１）面の回折ピーク強度が最大強度となることで硬質皮膜の柱状組織がより微細になり易い。
　本実施形態に係る硬質皮膜は、透過型電子顕微鏡を用いた制限視野回折パターンの強度プロファイルにおいて、ｈｃｐ構造のＡｌＮに対応する回折ピーク強度を有さないことが好ましい。Ｘ線回折において、ｈｃｐ構造のＡｌＮに対応する回折ピーク強度を有さない場合でも、透過型電子顕微鏡を用いた制限視野回折パターンの強度プロファイルにおいて、ｈｃｐ構造のＡｌＮに対応する回折ピーク強度を有する場合がある。透過型電子顕微鏡を用いた制限視野回折パターンの強度プロファイルにおいて、ｈｃｐ構造のＡｌＮに対応する回折ピーク強度を有さないことで、ミクロ組織に含まれるｈｃｐ構造のＡｌＮが少なくなり、被覆切削工具の耐久性を一層高めることができる。
　≪半値幅≫
　本実施形態に係る硬質皮膜は皮膜組織が微細であることが重要である。皮膜組織が微細であることで高硬度鋼の加工において工具損傷が抑制され易くなる。本発明者は面心立方格子構造である硬質皮膜において最密面である（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅の値と皮膜組織の柱状粒子の大きさには一定の相関性があることを確認した。そして上述した組成範囲においては（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅（ＦＷＨＭ：full width at half maximum）を０．７５°以上にすることで硬質皮膜の柱状粒子が微細となり被覆切削工具の耐久性にも優れることを確認した。本実施形態に係る硬質皮膜は（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅が０．７８°以上であることが好ましい。更には、本実施形態に係る硬質皮膜は（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅が０．８０°以上であることが好ましい。一方、半値幅の値が大きくなり過ぎるとアモルファス状の皮膜組織になるとともにｈｃｐ構造のＡｌＮが増加し易くなる。そのため、本実施形態に係る硬質皮膜は（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅が０．９５°以下とする。本実施形態に係る硬質皮膜は（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅が０．９２°以下であることが好ましい。更には、本実施形態に係る硬質皮膜は（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅が０．８８°以下であることが好ましい。
　本発明に係る硬質皮膜は（２００）面のＸ線回折ピークの半値幅が０．９０°以上１．１°以下であることが好ましい。これにより微細組織な面心立方格子構造の硬質皮膜が得られ易い。
　Ｘ線回折ピークの半値幅は、Ｘ線回折装置を用いて管電圧４５ｋＶ、管電流４０ｍＡ、Ｘ線源Ｃｕｋα（λ＝０．１５４０５ｎｍ）、２θが２０～８０度の測定条件で求めればよい。
　本実施形態に係る硬質皮膜は、上述した組成および半値幅を満たす範囲で、他の金属元素または半金属元素を含有してもよい。例えば、Ｓｉ、Ｂ、Ｃｕ、Ｙ、Ｙｂから選ばれる１種以上の金属元素または半金属元素を含有してもよい。これらの元素を含有する場合、１原子％以上５原子％以下が好ましい。
　≪中間皮膜≫
　本実施形態の被覆切削工具は必要に応じて基材と硬質皮膜の間に中間皮膜を設けても良い。例えば、Ｔｉ、Ｃｒ、Ａｌから選ばれる１種以上の元素を含む窒化物、炭窒化物、炭化物を設けることができる。本実施形態の被覆切削工具は基材の直上に硬質皮膜を設けてもよい。
　≪上層≫
　本実施形態の被覆切削工具は、必要に応じて本実施形態に係る硬質皮膜の上に本実施形態に係る硬質皮膜と異なる成分比や別組成の上層を設けても良い。上層は複数であってもよいし積層皮膜であってもよい。
　本実施形態に係る硬質皮膜の被覆ではスパッタリング法の中でもターゲットに順次電力を印加するスパッタリング法を適用して、電力が印加されるターゲットが切り替わる際に、電力の印加が終了するターゲットと電力の印加を開始するターゲットの両方のターゲットに同時に電力が印加されている時間を設けることが好ましい。
　電力の印加が終了する合金ターゲットと電力の印加を開始する合金ターゲットの両方の合金ターゲットに同時に電力が印加されている時間が短すぎたり長すぎる場合には、ターゲットのイオン化が十分でなく硬質皮膜に十分な窒化物が形成され難い。そのため、電力の印加が終了する合金ターゲットと電力の印加を開始する合金ターゲットの両方の合金ターゲットに同時に電力が印加されている時間は１マイクロ秒以上２０マイクロ秒以下とすることが好ましい。電力パルスの最大電力密度は、０．５ｋＷ／ｃｍ２以上とすることが好ましい。ターゲット成分のイオン化率を高めるためには、ＡｌＴｉＭｅ系合金ターゲット（Ｍｅは、Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上）を３個以上を用いることが好ましい。
　硬質皮膜を面心立方格子構造とし、かつ、結晶性が高い微粒組織とするには、成膜温度を４００℃～４６０℃として、基体となる切削工具に印加する負のバイアス電圧は、－７０Ｖ～－４０Ｖの範囲に制御することが好ましい。
　以下、実施例および比較例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
　＜工具＞
　基材となる工具として、組成がＷＣ（ｂａｌ．）－Ｃｏ（８．０質量％）－Ｔａ（０．３質量％）、ＷＣ平均粒度０．５μｍ、硬度９３．２ＨＲＡ（ロックウェル硬さ、ＪＩＳ　Ｇ　０２０２に準じて測定した値）からなる超硬合金製の２枚刃ボールエンドミル（工具径１．０ｍｍ、株式会社ＭＯＬＤＩＮＯ製）を準備した。
　スパッタ蒸発源を１２機搭載できるスパッタリング装置を使用した。これらの蒸着源のうち、ＡｌＴｉＷ合金ターゲット６個を蒸着源として装置内に設置した。なお、寸法が直径１６ｃｍ、厚み１２ｍｍのターゲットを用いた。
　工具をスパッタリング装置内のサンプルホルダーに固定し、工具にバイアス電源を接続した。なお、バイアス電源は、ターゲットとは独立して工具に負のバイアス電圧を印加する構造となっている。工具は、毎分３回転で自転し、かつ、固定治具とサンプルホルダーを介して公転する。工具とターゲット表面との間の距離を１００ｍｍとした。
　導入ガスは、ＡｒおよびＮ２を用い、スパッタリング装置に設けられたガス供給ポートから導入した。
　＜ボンバード処理＞
　まず、工具に硬質皮膜を被覆する前に、以下の手順で工具にボンバード処理を行った。スパッタリング装置内を真空排気し、その後スパッタリング装置内のヒーターにより炉内温度が４３０℃になった状態で３０分間の加熱を行った。そして、Ａｒガスをスパッタリング装置の炉内に導入した。そして、工具に直流バイアス電圧を印加して、Ａｒイオンによる工具のクリーニング（ボンバード処理）を実施した。
　次いで、スパッタリング装置の炉内にＡｒガスと窒素ガスを導入して炉内圧力を調整した。工具に直流バイアス電圧を印加して、ＡｌＴｉＷ合金ターゲットに０．８ｋＷ／ｃｍ２の最大電力密度を印加して、電力の１周期当りの放電時間を０．８ミリ秒、ＡｌＴｉＷ合金ターゲットに同時に電力が印加されている時間を４マイクロ秒とした。そして、それぞれの合金ターゲットに連続的に電力を印加して、総膜厚が約３μｍの硬質皮膜を被覆した。成膜条件の詳細を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　ナノインデンテーションテスター（エリオニクス（株）製ＥＮＴ－２１００）を用い、硬質皮膜の硬度と弾性係数を測定した。
　Ｘ線回折装置（株式会社ＰａＮａｌｙｔｉｃａｌ製　ＥＭＰＹＲＥＡＮ）を用い、管電圧４５ｋＶ、管電流４０ｍＡ、Ｘ線源Ｃｕｋα（λ＝０．１５４０５ｎｍ）、２θが２０～８０度の測定条件で確認を行った。
　電子プローブマイクロアナライザー装置（株式会社日本電子製ＪＸＡ－８５００Ｆ）に付属の波長分散型電子プローブ微小分析（ＷＤＳ－ＥＰＭＡ）で硬質皮膜の皮膜組成を測定した。測定条件は、加速電圧１０ｋＶ、照射電流５×１０－８Ａ、取り込み時間１０秒とし、分析領域が直径１μｍの範囲を５点測定してその平均値から硬質皮膜の金属含有比率および金属元素と窒素元素とＡｒ元素の総量に対するＡｒの含有比率を求めた。物性評価の結果を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
≪切削条件≫
　作製した被覆切削工具について、以下に示す切削条件にて乾式と湿式の切削試験を行った。表３に切削試験結果を示す。切削条件の詳細は、以下の通りである。
　＜加工条件＞
・切削方法：底面切削
・被削材：ＳＴＡＶＡＸ（５２ＨＲＣ）
・使用工具：２枚刃ボールエンドミル（工具径１．０ｍｍ首下長６ｍｍ）
・切り込み：軸方向、０．０４ｍｍ、径方向、０．０４ｍｍ
・切削速度：７５ｍ／ｍｉｎ
・一刃送り量：０．０１８ｍｍ／刃
・切削距離：乾式＝６０ｍ、湿式＝４０ｍ
　湿式加工は約１０%濃度に希釈した水溶性切削油を工具により被削材が加工される箇所にクーラントホースを通じて直接かけて実施した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　結晶構造にｈｃｐ構造を含む比較例は全て湿式での切削試験で早期に皮膜剥離が発生して継続加工することができなかった。切削加工において、工具と被削材の接触部には非常に高い切削熱が生じる。この切削熱による工具の膨張、収縮により、しばしば熱き裂と呼ばれる工具損傷が生じる。これは冷却効果が高い湿式加工においては更に顕著に見られる。そのため、湿式加工において、脆弱なｈｃｐ構造を含む比較例は早期に皮膜剥離が発生したと推定される。
　比較例８は硬質皮膜の被覆時に基材に印加する負圧のバイアス電圧の絶対値が大きく硬質皮膜に残留圧縮応力が過多に付与され乾式の切削試験でも早期の皮膜剥離が発生した。
また、結晶構造にｈｃｐ構造を含まない比較例１は湿式での切削試験において早期の皮膜剥離は発生しなかったが、本実施例に比べて皮膜組織が若干粗大であることで最大摩耗幅が大きくなった。
　一方、本実施例は湿式および乾式での切削試験で優れた耐久性を示した。特に硬質皮膜がより微細になっている本実施例１は何れの切削試験においても最大摩耗幅が小さく耐摩耗性に優れており、耐久性に優れる被覆切削工具であった。

Claims (3)

  1. 　基材と、前記基材上に形成される硬質皮膜とを備え、
    　前記硬質皮膜は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、Ａｌが６０原子％以上７０原子％以下、Ｔｉが２０原子％以上４０原子％以下、Ｗ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｖから選択される１種以上が１原子％以上１０原子％以下であって、金属（半金属を含む）元素と窒素元素とＡｒ元素の総量に対して、Ａｒを０．０１原子％以上０．１５原子％以下で含有している窒化物であり、
    　前記硬質皮膜の結晶構造は面心立方格子構造であり、（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅は０．７５°以上０．９５°以下であることを特徴とする被覆切削工具。
  2. 　前記硬質皮膜の（１１１）面のＸ線回折ピークの半値幅は０．７８°以上０．９５°以下であることを特徴とする請求項１に記載の被覆切削工具。
  3. 　前記硬質皮膜は、透過型電子顕微鏡を用いた制限視野回折パターンの強度プロファイルにおいて、六方最密充墳構造のＡｌＮに対応する回折ピーク強度を有さないことを特徴とする請求項１又は２に記載の被覆切削工具。
PCT/JP2023/023386 2022-06-27 2023-06-23 被覆切削工具 Ceased WO2024004873A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202380042994.0A CN119278107A (zh) 2022-06-27 2023-06-23 包覆切削工具
JP2024530780A JPWO2024004873A1 (ja) 2022-06-27 2023-06-23
KR1020247038745A KR20250002597A (ko) 2022-06-27 2023-06-23 피복 절삭 공구
EP23831315.9A EP4545225A4 (en) 2022-06-27 2023-06-23 COATED CUTTING TOOL
US18/867,931 US20250332643A1 (en) 2022-06-27 2023-06-23 Coated cutting tool

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022-102962 2022-06-27
JP2022102962 2022-06-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024004873A1 true WO2024004873A1 (ja) 2024-01-04

Family

ID=89382959

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2023/023386 Ceased WO2024004873A1 (ja) 2022-06-27 2023-06-23 被覆切削工具

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20250332643A1 (ja)
EP (1) EP4545225A4 (ja)
JP (1) JPWO2024004873A1 (ja)
KR (1) KR20250002597A (ja)
CN (1) CN119278107A (ja)
WO (1) WO2024004873A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003034858A (ja) * 2001-07-23 2003-02-07 Kobe Steel Ltd 切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット
WO2014157688A1 (ja) 2013-03-28 2014-10-02 日立ツール株式会社 被覆切削工具及びその製造方法
JP2015110256A (ja) * 2013-11-07 2015-06-18 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
WO2017094440A1 (ja) * 2015-12-02 2017-06-08 三菱日立ツール株式会社 硬質皮膜、硬質皮膜被覆部材及びその製造方法、及び硬質皮膜の製造に用いるターゲット及びその製造方法
WO2021167087A1 (ja) * 2020-02-21 2021-08-26 株式会社Moldino 被覆工具
JP2022102962A (ja) 2020-12-25 2022-07-07 美和子 堺 乾燥花の製造方法、乾燥植物の製造方法、食品の製造方法、および乾燥葉の製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1992717B1 (en) * 2000-12-28 2012-02-15 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Use of a target for arc ion plating to form a hard film
JP3931325B2 (ja) * 2001-10-03 2007-06-13 三菱マテリアル株式会社 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
US10974323B2 (en) * 2017-08-15 2021-04-13 Moldino Tool Engineering, Ltd. Coated cutting tool

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003034858A (ja) * 2001-07-23 2003-02-07 Kobe Steel Ltd 切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット
WO2014157688A1 (ja) 2013-03-28 2014-10-02 日立ツール株式会社 被覆切削工具及びその製造方法
JP2015110256A (ja) * 2013-11-07 2015-06-18 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
WO2017094440A1 (ja) * 2015-12-02 2017-06-08 三菱日立ツール株式会社 硬質皮膜、硬質皮膜被覆部材及びその製造方法、及び硬質皮膜の製造に用いるターゲット及びその製造方法
WO2021167087A1 (ja) * 2020-02-21 2021-08-26 株式会社Moldino 被覆工具
JP2022102962A (ja) 2020-12-25 2022-07-07 美和子 堺 乾燥花の製造方法、乾燥植物の製造方法、食品の製造方法、および乾燥葉の製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP4545225A4

Also Published As

Publication number Publication date
CN119278107A (zh) 2025-01-07
EP4545225A1 (en) 2025-04-30
KR20250002597A (ko) 2025-01-07
US20250332643A1 (en) 2025-10-30
EP4545225A4 (en) 2026-02-18
JPWO2024004873A1 (ja) 2024-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3437774B1 (en) Coated cutting tool
KR102167200B1 (ko) 피복 절삭 공구
JP6525310B2 (ja) 被覆工具
JP7525669B2 (ja) 被覆工具
JP7636492B2 (ja) 被覆切削工具
EP4316707A1 (en) Coated cutting tool
JP2024047170A (ja) 被覆切削工具
WO2020075356A1 (ja) 切削工具及びその製造方法
JP7164828B2 (ja) 被覆切削工具
JP7594220B2 (ja) 被覆工具
JP6844704B2 (ja) 被覆切削工具
WO2024004873A1 (ja) 被覆切削工具
WO2024048304A1 (ja) 被覆工具
JP7760424B2 (ja) 被覆部材
JP2024027836A (ja) 被覆工具
WO2020039735A1 (ja) 切削工具
JP2024075109A (ja) 被覆切削工具
JP2024032363A (ja) 被覆工具
JP2024132010A (ja) 被覆切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23831315

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20247038745

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020247038745

Country of ref document: KR

Ref document number: 18867931

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202380042994.0

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2024530780

Country of ref document: JP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 202380042994.0

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2023831315

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2023831315

Country of ref document: EP

Effective date: 20250127

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2023831315

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 18867931

Country of ref document: US