WO2024169630A1

WO2024169630A1 - 液冷模组、液冷模件及电子设备

Info

Publication number: WO2024169630A1
Application number: PCT/CN2024/075186
Authority: WO
Inventors: 靳林芳; 骆洋; 方浩明; 胡锦炎
Original assignee: Huawei Technologies Co Ltd
Current assignee: Huawei Technologies Co Ltd
Priority date: 2023-02-17
Filing date: 2024-02-01
Publication date: 2024-08-22
Anticipated expiration: 2025-08-17
Also published as: CN116614991A; EP4557904A4; CN119096711A; EP4557904A1; CN116614991B

Abstract

本申请提供一种液冷模组、液冷模件及电子设备，液冷模组包括泵和液冷模件。泵基体与液冷模件一体化密封连接。液冷模件包括柔性膜和刚性基体。泵基体和液冷模件材质的断裂伸长率大于10％，包括聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯等材料；聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的单体包括对苯二甲酸、乙二醇和硬段分子结构。本申请液冷模组通过泵和液冷模件堆叠、材料选择和一体化焊接成型，无需预紧力实现柔性系统一体化密封，无装配泄露，可动态适应弯折使用、系统压力和体积的变化波动，更高耐受温度，适用于直板机、折叠手机、折叠PC、穿戴、配件等移动电子设备。

Description

液冷模组、液冷模件及电子设备

本申请要求在2023年2月17日提交中国国家知识产权局、申请号为202310188740.1的中国专利申请的优先权，发明名称为“一种散热结构”的中国专利申请的优先权，本申请要求在2023年4月20日提交中国国家知识产权局、申请号为202310462273.7的中国专利申请的优先权，发明名称为“液冷模组、液冷模件及电子设备”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本申请涉及电子设备技术领域，特别涉及一种液冷模组、液冷模件及电子设备。

背景技术

移动终端，如手机、手表、平板电脑、穿戴设备等，受限于体积和超薄需求，目前主要散热手段是热界面材料(TIM)、人工石墨膜、石墨烯膜、铜膜等均热材料、热管VC和微型风扇等。折叠手机、折叠PC是近期崛起、高速增长和广受用户欢迎的一种新型移动终端。但对折叠手机等，转轴要求能通过≥10万次弯折的可靠性测试，而目前大部分散热器件和材料，如人工石墨、铜膜、热管、VC等，无法通过可靠性测试要求。这导致转轴将两个或三个屏隔开，发热器件SOC/CPU/GPU、充电芯片等集中在其中一屏的主板上，热量难以传递到其它屏和单板区域，屏间温差可达到10℃以上。主发热器件SOC/CPU/GPU、充电芯片等散热能力不足，热量集中，限制了性能发挥，影响用户热体验。在手表、手环也有类似问题，表盘发热无法扩展至表带内，缺乏柔性散热解决方案。

CN114340305B提供一种可应用于PC或手机手表的穿轴泵驱液冷散柔性散热解决方案。相比传统液冷系统，是一种无集液罐、充液装置、排气阀的相对简化液冷系统。但系统包含≥3连接软管(材质为耐弯折PTFE镀金属防蒸散)、2冷板(材质为不锈钢复合板)、2连接冷板的水嘴(3D打印不锈钢)、1机械泵(精密注塑件，内含3密封圈，需多螺栓连接提供预紧力)、1四通阀(满足检测调试检测和维修需求)等，系统共有≥12密封接口。密封管路接头无法全自动化组装，不同供应商来料检验后在系统厂组装灌液和密封检测；系统总体采用金属材料管路，多处采用带预紧力的O型圈密封系统。工程上，接口密封效果与接口材料自身回弹力、接触压力、密封材料对液冷工质的溶胀量、装配件的装配精度等密切相关，涉及多家供应商来料和产线组装，工程上无法全自动化生产，质量管控困难成本高。对消费类产品，应用场景复杂多变，尤其手机日常使用经常跌落受力，或反复弯折使用，无法保证多接口的预紧力和密封的长期可靠。同时传统液冷模组，采用高分子PET、PP、PPS等膜材流道成型，水等小分子会穿透高分子材料制成的膜片，并且这个量随蒸散随温度指数上升。理论上泵和液冷模件间、液冷模件内部可采用胶粘接密封。虽然具有超薄和易加工优点，但胶水粘接，作为两密封层间的第三种不同性材质，难以精确可靠控制，粘接时层间易有微气泡，长期耐温耐候性非常受限，尤其不耐高温高湿，容易发生蠕变或吸收水分，胶层粘接力下降和失效，无法长期可靠密封，工程上基本不采用胶进行液冷系统密封。综上，泄露和蒸散问题，是传统液冷散热系统应用于海量移动终端消费电子产品的最大瓶颈；对折叠机、穿戴等产品，需提供一种创新的柔性液冷系统密封散热解决方案。

发明内容

本申请提供一种液冷模组、液冷模件及电子设备。液冷模组包括泵和液冷模件。泵用于为液冷模件中的冷却介质提供动力，泵包括泵基体和压电组件。泵基体设有泵进液口和泵出液口。液冷模件包括液冷出液口和液冷进液口，液冷出液口用于与泵进液口连通，液冷进液口用于与泵出液口连通。液冷出液口周侧的部分液冷模件与泵进液口周侧的部分泵基体材料相同或相近，为一体化无焊膏或其它第三材质的密封焊接结构。液冷进液口周侧的部分液冷模件与泵出液口周侧的部分泵基体材料相同或相近，为一体化无焊膏或其它第三材质的密封焊接结构。液冷模件由第一柔性膜、第二柔性膜，第一刚性基体、第二刚性基体、第三刚性基体等组成。第一刚性基体、第二刚性基体与第一柔性膜、第二柔性膜材料相同或相近，其间的密封采用一体化无焊膏或其它第三材质的密封焊接结构。在本申请提供的液冷模组中，通过泵和液冷膜的堆叠设计、材料选择和一体化焊接成型，无需预紧力实现柔性系统一体化密封，可动态适应弯折使用、系统压力和体积的变化波动，极简化设计和制造，无装配泄露，适用于直板机、折叠手机、折叠PC、穿戴、配件等移动电子设备。

第一方面，本申请提供一种液冷模组，所述液冷模组包括泵和液冷模件，所述泵包括泵基体和固定于所述泵基体的压电组件，所述泵基体设有泵进液口和泵出液口。所述液冷模件包括液冷出液口和液冷进液口，所述液冷出液口用于与所述泵进液口连通，所述液冷进液口用于与所述泵出液口连通，所述液冷出液口周侧的部分所述液冷模件与所述泵进液口周侧的部分所述泵基体为一体化密封结构，所述液冷进液口周侧的部分所述液冷模件与所述泵出液口周侧的部分所述泵基体为一体化密封结构。

其中，泵作为液冷模组的动力源，能够为液冷模件中的冷却介质提供流动和循环的动力，实现主动液冷，从而达到持久散热的效果。主动液冷与被动液冷相比，主动液冷能够根据需要调节泵的速度以达到最佳散热效果，而被动液冷则只能被动地跟随器件温度的变化进行散热，故主动液冷的调节性更佳。需要说明的是，液冷出液口用于与泵进液口连通，不表示液冷出液口与泵进液口时刻保持连通的状态，只是表明在一定条件下，冷却介质能够从液冷出液口流入泵进液口。液冷进液口与泵出液口之间的关系同理。

其中，压电组件利用压电材料的逆压电效应，压电材料是指受到压力作用时会在两端面间出现电压的晶体材料，逆压电效应是指对压电组件施加电场后，压电组件在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。在泵中采用压电组件，具有体积小、能量密度大和无电磁干扰等特点，可实现冷却介质的精密输送及控制。在一实施方式中，压电组件包括压电陶瓷、金属基板和塑料隔板(防液体工质腐蚀金属基板)等。

在本实施方式中，液冷出液口周侧的部分液冷模件与泵进液口周侧的部分泵基体为一体化密封结构，液冷进液口周侧的部分液冷模件与泵出液口周侧的部分泵基体为一体化密封结构。其中，形成一体化密封结构是指二者之间由于相互融合渗透而没有连续的界面，液冷出液口的周侧是指液冷出液口周围一圈的邻近区域。若采用螺钉连接的方式将液冷模件与泵基体进行固定，由于在这种情况下液冷模件与泵基体是分体的器件，故二者之间的界限是连续的。与螺钉固定相比，本申请中的一体化密封结构除非施加外力破坏，否则一般情况下无法分离，而采用螺钉连接，只需将螺钉取出，即可将泵基体与液冷模件分离。

采用螺钉连接的固定方式，由于螺钉连接的紧密程度(即密封效果)受限于装配精度和材料自身的回弹力等多种因素，不便于质量管控，进而在实际使用时可能会造成冷却介质泄露，从而影响冷却介质的散热效率，并损坏内部器件，且通常需要在泵中设置底座，螺钉依次穿过底座和液冷模件实现固定。而本申请中的一体化密封结构使得液冷出液口周侧的部分液冷模件与泵进液口周侧的部分泵基体融合为一体，连接关系更加紧密，有利于提升泵基体与液冷模件的密封效果，且无需额外增设底座，简化液冷模组的结构，降低成本和加工难度，并可达到超薄设计。此外，本申请提供的液冷模组可应用于电子设备，当电子设备受到外力作用时(比如跌落至地面，与地面发生碰撞)，采用螺钉固定的方式可能会造成泵基体与液冷模件之间连接松动，或O型圈偏移而局部密封不紧密，而一体化密封结构则使得泵基体与液冷模件之间不易发生相对位移，从而有利于提升液冷模组整体结构的稳定性，提高电子设备的使用寿命。

在本申请中，通过液冷模组的设置：第一，利用泵为冷却介质的流动和循环提供动力，在液冷模组中实现主动散热，相比于被动液冷，能够更有效地降低器件的温度，提高散热效率。

第二，液冷模件中位于液冷出液口周侧的区域与泵基体中位于泵进液口周侧的区域为一体化密封结构，液冷模件中位于液冷进液口周侧的区域与泵基体中位于泵出液口周侧的区域为一体化密封结构，相比于采用螺钉固定，一体化密封结构的密封效果更好，能够防止冷却介质泄露，从而避免降低冷却介质的散热效率，保护器件不受损害。

在一实施方式中，液冷出液口、泵进液口的中心在液冷模组的厚度方向对齐，液冷出液口、泵进液口的周壁围设的区域沿厚度方向的投影重叠。本方案有利于降低冷却介质在通过液冷出液口、泵进液口时的流阻，提升冷却效率。

在一实施方式中，液冷进液口、泵出液口的中心在液冷模组的厚度方向对齐，液冷进液口、泵出液口的周壁围设的区域沿厚度方向的投影重叠。本方案有利于降低冷却介质在通过液冷进液口、泵出液口时的流阻，提升冷却效率。

在一种实现方式中，所述液冷出液口周侧的部分所述液冷模件中的至少部分与所述泵进液口周侧的部分所述泵基体的至少部分沿所述液冷出液口的周向连续融合为一体，以形成一体化密封结构。

在本实施方式中，为保证泵基体与液冷模件之间的密封效果，需要一体化密封结构沿液冷出液口的周向连续融合为一体化密封结构。在一实施方式中，一体化密封结构可以为椭圆形、方形、三角形、不规则图形。在一实施方式中，液冷出液口周侧沿径向全部形成一体化密封结构。

在一实施方式中，在液冷出液口的径向上，液冷出液口周侧的部分液冷模件与泵进液口周侧的部分泵基体之间可具有不连续的界面，且界面之间的间距不限，其中，没有界面的位置为一体化密封结构。在一优选的实施方式中，在液冷出液口的径向上，液冷出液口周侧的部分液冷模件与泵进液口周侧的部分泵基体之间不形成界面，为优选密封效果最好的加工工艺。

可以理解的，在本实现方式中，径向和周向是基于液冷出液口为圆形来确定的，当液冷出液口为其他形状时，径向可理解为从液冷出液口的中心指向周侧某一个位置的方向。

在一实施方式中，液冷进液口周侧的部分液冷模件中的至少部分与泵出液口周侧的部分泵基体的至少部分沿所述液冷进液口的周向连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在本方案中，液冷进液口周侧的一体化密封结构沿液冷进液口的周向连续融合为一体。

在一种实现方式中，所述泵基体包括泵底壁，所述泵底壁与所述压电组件以及两者之间的部分泵基体围设构成泵腔，所述泵进液口和所述泵出液口设于所述泵底壁且与所述泵腔连通，所述泵底壁与所述液冷出液口周侧以及所述液冷进液口周侧的部分所述液冷模件为一体化密封结构。

在本实施方式中，泵进液口和泵腔的连通关系与液冷出液口和泵进液口的连通关系类似，即泵进液口与泵腔之间并非时刻保持连通，而是在压电组件的驱动下，冷却介质通过液冷出液口和泵进液口进入泵腔内。泵出液口和泵腔的连通关系同理。在本实施方式中，泵进液口和泵出液口均设置在泵底壁，且位于泵进液口和泵出液口周侧的部分泵底壁与部分液冷模件为一体化密封结构，即无需额外在泵中增设底座。若在泵中设置底座，一方面，只能通过螺钉将底座与液冷模件固定，密封效果不佳，容易造成冷却介质泄露，另一方面，通常需要将泵进液口和泵出液口设置在底座外侧，延长了冷却介质的流通路径，降低冷却介质的散热效率。

在本实施方式中，液冷模组包括两个并联的泵，两个泵并联能够实现更大的流量。在另一实施方式中，液冷模组包括两个串联的泵，两个泵串联能够实现更大的驱动压力。在另一实施方式中，液冷模组可包括多个泵，多个泵可分布在液冷模组中的不同位置，具体可根据需要来设置。

在一种实施方式中，所述泵还包括固定于所述泵底壁的进液阀膜和出液阀膜，所述进液阀膜用于闭合或者打开所述泵进液口，所述出液阀膜用于闭合或者打开所述泵出液口。

在本实施方式中，在进液场景下，压电组件用于接收电信号后产生形变，泵腔体积变大，驱动进液阀膜打开和出液阀膜闭合，为液冷模件中的冷却介质提供动力，使得冷却介质依次从液冷出液口、泵进液口进入泵腔内。在出液场景下，压电组件用于接收电信号后产生形变，泵腔体积变小，驱动进液阀膜闭合和出液阀膜打开，为液冷模件中的冷却介质提供动力，使得冷却介质依次从泵出液口、液冷进液口进入液冷模件。

在本实施方式中，进液阀膜沿厚度方向位于泵进液口远离液冷出液口的一侧，出液阀膜沿厚度方向位于泵出液口与液冷进液口之间。在另一实施方式中，进液阀膜沿厚度方向位于泵进液口与泵腔之间，出液阀膜沿厚度方向位于液冷进液口远离泵出液口的一侧。

值得一提的是，如果压电组件长期处于高温状态将会老化，导致性能衰减，故本实现方式中的液冷模组除了对电子设备的器件进行冷却以外，还能对液冷模组自身所包含的泵进行性能优化。

在一种实现方式中，所述泵基体还包括位于所述泵底壁与所述压电组件之间的泵侧壁，所述泵侧壁为一体化密封结构。在本实施方式中，泵侧壁沿液冷模组的厚度方向延伸，由于泵侧壁与泵底壁、压电组件共同围合成泵腔，故本方案设置泵侧壁为一体化密封结构，能够有效防止冷却介质从泵侧壁泄露，提升泵基体的密封性能。

在一种实施方式中，所述泵基体包括沿所述厚度方向层叠设置的泵腔层、第一流道层、阀片层和第二流道层，在所述泵腔层中设有腔体孔，所述第一流道层中设有所述泵出液口以及与所述泵进液口对应的第一导流通道，所述第一流道层与所述泵腔层中的所述腔体孔连通，所述阀片层中设有可打开和闭合的所述进液阀膜和所述出液阀膜，所述第二流道层中设有所述泵进液口以及与所述泵出液口对应的第二导流通道，所述第二流道层与所述液冷模件连通，所述泵腔层、所述第一流道层、所述阀片层和所述第二流道层通过热压形成一体化密封结构。

在本实施方式中，泵进液口、进液阀膜以及第一导流通道在液冷模组的厚度方向上对应设置，泵出液口、出液阀膜以及第二导流通道在液冷模组的厚度方向上对应设置。在本实施方式中，当进液阀膜打开而出液阀膜闭合时，冷却介质从泵进液口依次经过进液阀膜和第一导流通道进入泵腔，当出液阀膜打开而进液阀膜闭合时，冷却介质从泵出液口依次经过出液阀膜和第二导流通道进入液冷模件。其中，第一导流通道的周壁围设的区域沿厚度方向的投影面积大于泵进液口的周壁围设的区域沿厚度方向的投影面积，有利于避免冷却介质回流至泵进液口，发挥第一导流通道对于冷却介质的导流效果。第二导流通道的周壁围设的区域沿厚度方向的投影面积大于泵出液口的周壁围设的区域沿厚度方向的投影面积，有利于避免冷却介质回流至泵进液出，发挥第二导流通道对于冷却介质的导流效果。

在本实施方式中，泵腔层、第一流道层、阀片层和第二流道层的边缘热压形成泵侧壁，使得每层之间密封，提升泵基体的密封效果。

在一种实现方式中，所述液冷模件包括第一柔性膜，所述液冷出液口和所述液冷进液口设置于所述第一柔性膜，所述泵底壁与所述液冷出液口周侧以及所述液冷进液口周侧的部分所述第一柔性膜为一体化密封结构。

在本实施方式中，液冷模件与泵的固定连接实际上是第一柔性膜与泵底壁之间的固定连接。第一柔性膜中位于液冷出液口周侧以及液冷进液口周侧的部分与泵底壁为一体化密封结构，由于第一柔性膜与泵底壁材料相同或相近，热压成型的难度较小，故有利于形成一体化密封结构。

在本实施方式中，第一柔性膜和泵底壁之间为不连续界面。在一实施方式中，第一柔性膜和泵底壁的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在另一实施方式中，第一柔性膜除液冷出液口和液冷进液口以外的部分与泵底壁之间为一体化密封结构，二者之间没有界面。这种密封界面为优选密封界面，具有更强柔韧性、密封性和抗冲击力。但工程上难以完美加工实现，更多为部分连续融合界面，界面间存在微空气间隙或不连续接触的非焊接区。

在一些实施方式中，为了辅助泵与液冷模件之间的连接稳定性，还可在泵与液冷模件200连接的位置采用胶粘接密封，提升密封性和可靠性。

在一种实现方式中，所述泵底壁的材质的玻璃化转变温度与所述第一柔性膜的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。在本实施方式中，将泵底壁的材质与第一柔性膜的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于泵底壁与第一柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一实现方式中，所述泵底壁的材质的熔融温度与所述第一柔性膜的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。在本实施方式中，将泵底壁的材质与第一柔性膜的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于泵底壁与第一柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一实现方式中，所述液冷出液口周侧的部分所述液冷模件的材质与所述泵进液口周侧的部分所述泵基体的材质相同，所述液冷进液口周侧的部分所述液冷模件的材质与所述泵出液口周侧的部分所述泵基体的材质相同。本方案有利于促使液冷出液口周侧的部分液冷模件与部分泵基体之间形成一体化密封结构，液冷进液口周侧的部分液冷模件与部分泵基体之间形成一体化密封结构，有利于避免冷却介质泄露。

在一种实现方式中，所述泵底壁的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料，所述泵底壁的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。所述第一柔性膜的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料，所述第一柔性膜的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。在本实现方式中，泵底壁与第一柔性膜选用的材质有利于泵底壁与第一柔性膜之间热压形成一体化密封结构，其中，泵底壁与第一柔性膜可为不同的材质，只要保证泵底壁与第一柔性膜之间能形成一体化密封结构即可。

在一种实现方式中，所述聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的单体包括对苯二甲酸、乙二醇和硬段分子结构，所述硬段分子结构占所述聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的质量百分数的取值大于或者等于20％、且小于或者等于80％。本方案在聚对苯二甲酸乙二醇酯的结构中引入硬段分子结构，能够提升聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的玻璃化转变温度，当聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物被应用于液冷模组中时，能够使得液冷模组适用于中高温的应用场景。

在本实施方式中，将硬段分子结构设置为上述比值，可提升聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的结构强度，当聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物被应用于液冷模组中时，能够提升液冷模组的抗冲击和抗跌落性能，有效保护电子设备内部的其他器件。

在一种实现方式中，所述硬段分子结构选自2，5-呋喃二甲酸、碳酸二甲酯和2，6-萘二甲酸中的至少一种。在本实现方式中，采用上述材料作为硬段分子结构，能够提升聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的结构强度。当采用除碳酸二甲酯以外的其他硬段分子结构时，还能缓解第一柔性膜和第二柔性膜的蒸散问题，降低透水性和透气性。

在一种实现方式中，所述液冷模件还包括第二柔性膜和位于所述第一柔性膜和所述第二柔性膜之间的第一刚性基体，所述第一柔性膜、所述第二柔性膜和所述第一刚性基体围合构成所述液冷模件的内腔，所述第一刚性基体的两端分别与所述第一柔性膜和所述第二柔性膜为一体化密封结构。

在本实施方式中，第一刚性基体与第一柔性膜和第二柔性膜之间的密封焊接的两界面材料相同或相近，采用热压键合密封焊、热熔焊、超声波焊、超周波焊等无焊膏或其它第三材质的焊接方式，可提升第一刚性基体与第一柔性膜和第二柔性膜之间的的密封性和可靠性。如果第一刚性基体与第一柔性膜、第二柔性膜之间密封出现泄露，将导致系统性能快速下降并快速失效。

在本实施方式中，第一柔性膜和第二柔性膜具有柔性，弯折性能好，适用于液冷模件需要弯折的情况。在第一柔性膜和第二柔性膜之间设置第一刚性基体，第一刚性基体的两端用于支撑第一柔性膜和第二柔性膜，有利于提高液冷模件在厚度方向上的整体强度。冷却介质在第一柔性膜、第二柔性膜和第一刚性基体围合成的内腔中流动，本方案设置第一刚性基体的两端分别与第一柔性膜和第二柔性膜为一体化密封结构，能够提升内腔的密封性，避免内腔中的冷却介质泄漏。

在本实施方式中，第一刚性基体的两端分别与第一柔性膜和第二柔性膜之间为不连续界面。在一实施方式中，第一刚性基体的两端和第一柔性膜和第二柔性膜的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在另一实施方式中，第一刚性基体的两端与第一柔性膜和第二柔性膜全部连续融合为一体化密封结构，第一刚性基体的两端与第一柔性膜之间没有界面，第一刚性基体的两端与第二柔性膜之间没有界面，有利于进一步提升密封效果。

在一实施方式中，第一刚性基体环绕第一柔性膜和第二柔性膜的边缘设置。本方案有利于提升液冷模件的边缘在厚度方向上的强度，同时一体化密封结构能够有效避免冷却介质在液冷模件的边缘处发生泄露。

在一实施方式中，第一柔性膜、第二柔性膜的厚度小于液冷模组的长度和宽度。具体地，第一柔性膜与第二柔性膜的厚度与液冷模组的长度的比值均小于或者等于0.2，第一柔性膜与第二柔性膜的厚度与液冷模组的宽度的比值均小于或者等于0.2。当液冷模组应用于折叠设备时，本方案能够保证第一柔性膜和第二柔性膜在弯折方向上的柔性，降低设备的弯折难度。

在一实施方式中，第一柔性膜、第二柔性膜的材质为断裂伸长率高于10％的材质，以适应系统压力波动和弯折使用。优选的，第一柔性膜、第二柔性膜的材质为断裂伸长率高于50％的材质。在一实施方式中，第一柔性膜、第二柔性膜表面做防蒸散镀层处理，如在聚合物薄膜表面镀一次柔性无机氧化薄膜对水气进行隔绝。

在一种实现方式中，所述第一刚性基体的材质的玻璃化转变温度与所述第一柔性膜的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。在本实施方式中，将第一刚性基体的材质与第一柔性膜的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体与第一柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一实现方式中，所述第一刚性基体的材质的玻璃化转变温度与所述第二柔性膜的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。在本实施方式中，将第一刚性基体的材质与第二柔性膜的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体与第二柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实现方式中，所述第一刚性基体的材质的熔融温度与所述第一柔性膜的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。将第一刚性基体的材质与第一柔性膜的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体与第一柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一实现方式中，所述第一刚性基体的材质的熔融温度与所述第二柔性膜的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。将第一刚性基体的材质与第二柔性膜的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体与第二柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实现方式中，所述第一柔性膜和所述第二柔性膜中的至少一个包括两层子柔性膜层和位于所述两层子柔性膜层之间的防蒸散层，所述防蒸散层包括聚酰亚胺层、聚偏二氯乙烯层或者金属薄膜层中的至少一个。

在本实施方式中，子柔性膜层的材质可选自前文中第一柔性膜或者第二柔性膜的材质中的任一种。在一种实施方式中，子柔性膜层的材质可选自前文所述的聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物，简称PET共聚物。

在本实施方式中，在第一柔性膜和第二柔性膜中的至少一个采用多层膜工艺，即将第一柔性膜和第二柔性膜设置成“PET共聚物-X-PET共聚物”的三明治式的结构，其中X层是指防蒸散层。聚酰亚胺、聚偏二氯乙烯和金属薄膜是低水气透过率的材料，防蒸散层采用上述材料，能够减少水气在第一柔性膜和第二柔性膜的蒸散。在一实施方式中，采用多层共挤出技术或者多层膜压技术在第一柔性膜和第二柔性膜中实现多层膜结构。

在一实施方式中，金属薄膜层可为铜膜、镍膜、铝膜或金属塑料复合膜材，且厚度小于或者等于10 微米。在本实施方式中，当液冷模组应用于折叠设备时，本方案有利于保证第一柔性膜和第二柔性膜满足10-40万次不同弯折角的弯折测试的要求。

在一种实现方式中，所述第一柔性膜和所述第二柔性膜中的至少一个远离所述内腔的表面设有无机氧化薄膜。在本实施方式中，第一柔性膜和第二柔性膜远离内腔的表面虽然不与冷却介质直接接触，但均是冷却介质在蒸散至外界时必须经过的界面，设置无机氧化薄膜，有利于对水气进行隔绝，缓解冷却介质的蒸散问题。

在一种实现方式中，所述液冷模件还包括第二刚性基体，所述第二刚性基体将所述液冷模件的内腔分隔为进液流道和出液流道，所述液冷进液口与所述进液流道连通，所述液冷出液口与所述出液流道连通，所述第二刚性基体的两端分别与所述第一柔性膜和所述第二柔性膜为一体化密封结构。

在本实施方式中，第二刚性基体的两端分别与第一柔性膜和第二柔性膜采用一体化密封结构，提升密封性和可靠性。如果第二刚性基体与第一柔性膜、第二柔性膜间的分割和密封出现泄露，将导致液冷系统性能大幅下降并逐渐失效。

在本实施方式中，第二刚性基体用于将内腔的流道分隔为进液流道和出液流道，进液流道和出液流道均由第二刚性基体与第一刚性基体、第一柔性膜和第二柔性膜围合形成。进液流道与液冷进液口保持连通的状态，出液流道与液冷出液口保持连通的状态。进液流道和出液流道通过第二刚性基体分隔开，有利于避免进液流道和出液流道中的冷却介质发生混流进而降低冷却效率。第二刚性基体的两端均与第一柔性膜和第二柔性膜之间一体化热压密封，有利于提升进液流道和出液流道之间的隔绝效果，且能够进一步提升液冷模件的结构强度。

可以理解的，进液流道和出液流道并不是完全隔离的两部分，第二刚性基体仅仅是将与泵邻近的进液流道和出液流道分隔开，而为了使冷却介质在液冷模件中形成循环，进液流道和出液流道在远离泵的区域连通。

在本实施方式中，第二刚性基体的两端分别与第一柔性膜和第二柔性膜之间为不连续界面。在一实施方式中，第二刚性基体的两端和第一柔性膜和第二柔性膜的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在另一实施方式中，第二刚性基体的两端与第一柔性膜和第二柔性膜全部连续融合为一体化密封结构，第二刚性基体的两端与第一柔性膜之间没有界面，第二刚性基体的两端与第二柔性膜之间没有界面，有利于进一步提升密封效果。

在一种实施方式中，所述第二刚性基体包括位于所述泵下方的第一子刚性基体和位于所述泵外侧的第二子刚性基体，所述第一子刚性基体在所述第二柔性膜的正投影与所述液冷进液口和所述液冷出液口的边缘所围设的区域在所述第二柔性膜的正投影不重叠。其中，泵的下方是指泵沿厚度方向靠近液冷模件的一侧。在一实施方式中，第一子刚性基体在第二柔性膜的正投影与泵进液口和泵出液口的边缘所围设的区域在第二柔性膜的正投影不重叠。在一实施方式中，为了加工方便或者为了第一子刚性基体更够更好的分割泵两侧的流道，可第一子刚性基体可延伸至泵的外侧一点。第二刚性基体主要起到分隔进液流道和出液流道的作用，但是第二刚性基体不能对冷却介质出入泵腔造成阻碍，故本方案通过设置第一子刚性基体在第二柔性膜的正投影与液冷进液口和液冷出液口的边缘所围设的区域在第二柔性膜的正投影不重叠，能够减小冷却介质在通过液冷进液口和液冷出液口时的流阻。

在一实施方式中，第一子刚性基体与第一刚性基体的材质相同。第一子刚性基体位于泵下方，泵在工作时泵出的冷却液体从液冷进液口和液冷出液口进出时会对第一子刚性基体具有冲击压力，将导致系统性能快速下降并快速失效。将第一子刚性基体与第一刚性基体的材质设置相同，使得第一子刚性基体和第一柔性膜、第二柔性膜之间的密封效果、结构强度与第一刚性基体和第一柔性膜、第二柔性膜之间的密封效果、结构强度相同，有效提升第一子刚性基体与第一柔性膜、第二柔性膜之间的密封效果和结构强度，避免泵附近的液体冲击第一子刚性基体而影响密封效果。

在一实施方式中，第一子刚性基体与第一刚性基体为一体化结构，提升第一子刚性基体与第一刚性基体之间的密封性和可靠性。在一实施方式中，第一子刚性基体与第二子刚性基体为一体化结构。提升第一子刚性基体与第二子刚性基体之间的密封性和可靠性。

在一实施方式中，第一子刚性基体与第一刚性基体、第一柔性膜或者第二柔性膜同时热压焊接。本方案能够提升第一子刚性基体与第一柔性膜或者第二柔性膜之间的密封效果和结构强度。

在一实施方式中，第二刚性基体整体呈条状。本方案能够降低加工成本，同时第二刚性基体较为规则的形状有利于减小第二刚性基体对冷却介质的产生的流动阻力。

在一实施方式中，与第二刚性基体在厚度方向上对应设置的第一柔性膜与泵底壁之间为一体化密封结构。本方案能够进一步保证进液流道和出液流道中的冷却介质不发生短路和混流。

在一种实现方式中，所述液冷模件还包括第三刚性基体，所述第三刚性基体分布于所述进液流道和所述出液流道内，所述第三刚性基体的两端分别与所述第一柔性膜和所述第二柔性膜为一体化密封结构。如果第三刚性基体与第一柔性膜和第二柔性膜间的分割和密封如出现泄露，将导致液冷系统性能小幅下降，但并不会导致整个液冷系统失效。

在本实施方式中，多个第三刚性基体将进液流道分隔为多个彼此连通的进液子流道，将出液流道分隔为多个彼此连通的出液子流道，第三刚性基体在进液流道和出液流道中分别起到了导流的作用，减少流动阻力和避免涡流损耗，有利于增强冷却介质的换热效果。第三刚性基体整体可呈条状和圆柱状，第三刚性基体呈条状有利于引导冷却介质的流动，第三刚性基体呈圆柱状有利于加强冷却介质的混合。

在一实施方式中，由于第三刚性基体同时起到导流和混流的作用，故可将第三刚性基体设置在进液流道或出液流道宽度突变的区域、冷却介质流动方向突变的区域以及与液冷进液口邻近的区域。

在本实施方式中，第三刚性基体的两端分别与第一柔性膜和第二柔性膜之间为不连续界面。在一实施方式中，第三刚性基体的两端和第一柔性膜和第二柔性膜的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在另一实施方式中，第三刚性基体的两端与第一柔性膜和第二柔性膜全部连续融合为一体化密封结构，第三刚性基体的两端与第一柔性膜之间没有界面，第二刚性基体的两端与第二柔性膜之间没有界面，能够进一步提升密封效果。

在一实施方式中，第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体的厚度均小于液冷模组的宽度，具体地，第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体的厚度与液冷模组的宽度的比值范围均为大于或者等于0.1，且小于或者等于0.2。第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体的厚度均小于液冷模组的长度，具体地，第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体的厚度与液冷模组的长度的比值范围均为大于或者等于10-5，且小于或者等于0.2。本方案有利于保证液冷模组在厚度方向上的高强度以及液冷模组在长度方向和宽度方向上的柔性。

在一实施方式中，第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体的厚度不相等。其中，厚度是指在厚度方向上的尺寸。在本实施方式中，三种刚性基体为不等厚设计，当液冷模组应用于折叠设备时，有利于充分利用折叠设备内的空间，避让设备内的其他器件，优化布局。

在一实施方式中，第一柔性膜或者第二柔性膜还可设置有注液口和抽气口等，注液口和抽气口与三种刚性基体的至少一种以及第一柔性膜或者第二柔性膜为一体化密封结构。在本实施方式中，注液口用于在冷却之前向内腔中注入冷却介质，抽气口用于抽出内腔中的气体，避免散热效果受到负面影响。注液口和抽气口与第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体中的至少一个、第一柔性膜或者第二柔性膜一体密封连接，有利于避免在注液口和抽气口中发生冷却介质的泄露。为实现超薄效果，注液口、抽气口与液冷模件在同一面内，即在第一柔性膜、第二柔性膜之间。

在一种实现方式中，所述液冷模件包括液冷膜弯折区，所述液冷模件通过所述液冷膜弯折区折叠，所述第一刚性基体、所述第二刚性基体和所述第三刚性基体中的至少一个设有增柔结构，所述增柔结构位于所述液冷膜弯折区，所述增柔结构用于提升所述液冷膜弯折区的柔韧性。

在本实施方式中，第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体由于具有刚性而能够增强液冷模件在厚度方向上的强度。当液冷模件应用于折叠设备时，又需要液冷模件的弯折部分具有一定的柔性，故本方案在液冷模件的液冷膜弯折区设置增柔结构，能够减小液冷模件的弯折部分在弯折时受到的阻力，满足电子设备的折叠要求。

在一实施方式中，增柔结构可为凹槽、贯穿孔、通孔、开孔中的至少一种。

在一实施方式中，液冷模件还包括位于液冷膜弯折区两侧的第一液冷膜静止区和第二液冷膜静止区。在液冷膜弯折区进行弯折的时候，第一液冷膜静止区和第二液冷膜静止区不发生形变。

在一种实现方式中，所述第一刚性基体的增柔结构包括位于所述第一刚性基体的侧壁上的凹槽，所述凹槽位于所述液冷膜弯折区。

在本实施方式中，第一刚性基体环绕液冷模组的边缘设置，是冷却介质与外界环境之间的屏障，故第一刚性基体需要具有较高的结构强度，以确保密封效果，使得冷却介质始终不泄露至液冷模组的外侧。而位于液冷膜弯折区的第一刚性基体需要兼顾结构强度和一定的柔韧性，故设置在第一刚性基体上的增柔结构优选为凹槽。若在第一刚性基体上设置贯穿孔、通孔或者开孔，将面临冷却介质泄露的风险。

在一种实现方式中，所述第二刚性基体的增柔结构包括沿第一方向贯穿所述第二刚性基体的通孔，所述通孔位于所述液冷膜弯折区内，所述第一方向为所述第一柔性膜和所述第二柔性膜的排列方向。

在本实施方式中，在第二刚性基体中设置通孔，能够提升第二刚性基体的弯折部分的柔韧性。由于第二刚性基体两侧分别为进液流道和出液流道，故第二刚性基体上的开孔不能将两侧的冷却介质连通，以避免因混流而影响冷却效果。其中，第一方向A也为液冷模件的厚度方向。

在一实现方式中，所述液冷模件设有沿所述第一方向贯穿所述第二刚性基体、所述第一柔性膜和所述第二柔性膜的贯穿孔，所述贯穿孔位于所述液冷膜弯折区内。

在本实施方式中，在第二刚性基体中设置贯穿孔，能够提升第二刚性基体的弯折部分的柔韧性，减少弯折时液冷模件弯折区的反弹力和摩檫力。其中，第一方向即为液冷模组的厚度方向。贯穿孔沿第一方向贯穿第二刚性基体不会导致进液流道和出液流道中的冷却介质流动短路和混流。第三刚性基体可开孔，减少弯折时液冷模件弯折区的反弹力和与屏、中框的摩檫力，不会引起冷却介质流动短路。

在一实施方式中，第二刚性基体的增柔结构包括通孔和贯穿孔，或者第二刚性基体的增柔结构包括通孔和贯穿孔的任意一种。本方案在第二刚性基体中可根据实际情况灵活设置通孔和贯穿孔，提升第二刚性基体的在不同应用环境中的实用性。

在一种实现方式中，所述第三刚性基体的增柔结构包括位于所述第三刚性基体的开孔，所述开孔连通所述第三刚性基体两侧的流道。

在本实施方式中，由于液冷膜弯折区在弯折时产生的形变较大，本方案设置在第三刚性基体中设置开孔，相当于第三刚性基体在开孔的位置局部断开，诱导在设计位置弯折变形，有效减小弯折时产生的应力。部分第三刚性基体分布在进液流道，部分第三刚性基体分布在出液流道中，即第三刚性基体两侧的流道同属于进液流道或者同属于出液流道，故开孔将第三刚性基体的两侧连通不会影响散热效率，且可以增加进液流道内或者出液流道内相同流动方向的冷却介质的混流作用，提升冷却效果。

在一实施方式中，增柔结构可沿冷却介质的流动方向延伸。在另一实施方式中，增柔结构可沿折叠设备的折叠方向延伸。将增柔结构在其延伸方向上的尺寸设置较大，能够有效提升液冷膜弯折区的柔韧性，减少弯折时液冷模件弯折区的反弹力和与屏、中框的摩檫力，进而改善用户对于折叠设备的使用体验。

在一种实施方式中，第一柔性膜和第二柔性膜的远离内腔的表面敷设有润滑材料层，润滑材料层位于液冷膜弯折区内。在本实施方式中，为了提升液冷膜弯折区的柔韧性，除了在第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体上设置增柔结构以外，还可在第一柔性膜和第二柔性膜的外表面设置润滑材料层，减小液冷膜弯折区在弯折时的摩擦力，使得弯折过程能够更加顺利进行。示例性的，润滑材料层包括但不限于铁氟龙膜、石墨膜、石墨烯膜或润滑脂等固态、液态或膏状等润滑材料。其中，当润滑材料层采用石墨膜或者石墨烯膜，润滑材料层可仅布置在液冷膜弯折区，也可同时布置在第一液冷膜静止区和第二液冷膜静止区中的至少一个以及液冷膜弯折区，此时润滑材料层除对液冷膜静止区发挥润滑减摩的作用外，由于石墨和石墨烯本身具备较高的导热系数，故润滑材料层还能够增强散热效果，降低冷却介质整体的温度，从而减少泵的启动时间和频次。

第二方面，本申请提供一种液冷模件，所述液冷模件包括第一柔性膜、第二柔性膜和位于所述第一柔性膜和所述第二柔性膜之间的第一刚性基体，所述第一柔性膜、所述第二柔性膜和所述第一刚性基体围合构成所述液冷模件的内腔，所述第一刚性基体的玻璃化转变温度与所述第一柔性膜的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。

在本实施方式中，第一柔性膜和第二柔性膜能够降低电子设备的弯折难度。第一刚性基体用于增强液冷模件在厚度方向上的结构强度。第一柔性膜、第二柔性膜和第一刚性基体围合成内腔，冷却介质在内腔中流动，第一刚性基体的两端与第一柔性膜和第二柔性膜为一体化密封结构，有利于提升第一刚性基体的密封性能，避免冷却介质的泄露。

在本实施方式中，将第一刚性基体的材质与第一柔性膜的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体与第一柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一实施方式中，第一刚性基体的材质的熔融温度与第一柔性膜的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。在本实施方式中，将第一刚性基体的材质与第一柔性膜的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体与第一柔性膜通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

第三方面，本申请提供一种液冷模件，所述液冷模件包括第一柔性膜、第二柔性膜和位于所述第一柔性膜和所述第二柔性膜之间的第一刚性基体，所述第一柔性膜、所述第二柔性膜和所述第一刚性基体围合构成所述液冷模件的内腔，所述第一柔性膜、所述第二柔性膜和所述第一刚性基体的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料，所述第一柔性膜、所述第二柔性膜和所述第一刚性基体的材质各自独立地选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

在本实施方式中，第一刚性基体与第一柔性膜或者第二柔性膜所选用的材质有利于第一刚性基体与第一柔性膜或者第二柔性膜热压形成一体化密封结构。其中，第一刚性基体与第一柔性膜或者第二柔性膜可为不同的材质，只要保证第一刚性基体与第一柔性膜或者第二柔性膜之间能形成一体化密封结构即可。

第四方面，本申请提供一种液冷模件，所述液冷模件包括第一柔性膜、第二柔性膜和位于所述第一柔性膜和所述第二柔性膜之间的刚性基体。所述液冷模件包括液冷膜弯折区，所述液冷模件通过所述液冷膜弯折区折叠，所述刚性基体设有增柔结构，所述增柔结构位于所述液冷膜弯折区，所述增柔结构用于提升所述液冷膜弯折区的柔韧性。

在本实施方式中，刚性基体的两端用于支撑第一柔性膜和第二柔性膜，在液冷模件中设置刚性基体有利于提升液冷模件在厚度方向上的结构强度。在电子设备弯折时，液冷模件中的液冷膜弯折区产生较大的形变，故在位于液冷膜弯折区的刚性基体上需要设置增柔结构，以增强液冷膜弯折区的柔韧性。在一实施方式中，增柔结构可为凹槽、贯穿孔、通孔和开孔中的至少一种。在一实施方式中，刚性基体可包括第一刚性基体、第二刚性基体和第三刚性基体。

第五方面，本申请提供一种电子设备，所述电子设备包括如第一方面任意一种实现方式所述的液冷模组，所述液冷模组位于所述电子设备内。在一实现方式中，所述液冷模组位于所述电子设备的配件内。在一实现方式中，所述电子设备包括如第二方面、第三方面和第四方面中任一方面所述的液冷模件，所述液冷模件位于所述电子设备内。在一实现方式中，所述液冷模组位于所述电子设备的配件内。

在一种实现方式中，所述电子设备包括第一非折叠部、折叠部和第二非折叠部，所述第二非折叠部通过所述折叠部能够向所述第一非折叠部折叠，所述液冷模件包括液冷膜弯折区，所述电子设备折叠时，所述液冷模件通过所述液冷膜弯折区折叠，所述第一刚性基体、所述第二刚性基体和所述第三刚性基体中的至少一个设有增柔结构，所述增柔结构位于所述液冷膜弯折区，所述增柔结构用于提升所述液冷膜弯折区的柔韧性。

本申请的有益效果：在折叠电子设备上，液冷膜组等效导热系数可达5000W/m-K以上，较跨轴/穿轴石墨类散热材料散热能力提升100％以上；实现液冷系统极简化加工制造、无装配泄露，高柔韧性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图进行说明。

图1a是本申请第一实施例提供的液冷模组的结构示意图；

图1b是图1a中P部分的局部放大图；

图1c是本申请第一实施例提供的液冷模组的泵部分的实物示意图；

图2是本申请第一实施例提供的液冷模组的剖面图；

图3是本申请第一实施例提供的液冷模组的剖面图；

图4是本申请第一实施例提供的液冷模组的俯视图；

图5是本申请第一实施例提供的液冷模组的剖面图；

图6是本申请第一实施例提供的液冷模组的剖面图；

图7是本申请第一实施例提供的泵部分层叠结构爆炸图；

图8是本申请第一实施例提供的液冷模组的剖面图；

图9是本申请第一实施例提供的液冷模组的剖面图；

图10是本申请第一实施例提供的泵与第二刚性基体的侧视图；

图11是本申请第一实施例提供的液冷模件的剖面图；

图12是本申请第一实施例提供的液冷模件的剖面图；

图13是本申请第一实施例提供的第一柔性膜的剖面图；

图14是本申请第一实施例提供的液冷模件的剖面图；

图15是图1a所示的液冷模组的局部放大图；

图16是本申请第一实施例提供的液冷模件的剖面图；

图17是本申请第一实施例提供的液冷模件的剖面图；

图18是本申请第一实施例提供的液冷模件的剖面图；

图19是本申请第一实施例提供的液冷模件的剖面图；

图20是本申请第一实施例提供的电子设备的结构示意图；

图21是本申请第二实施例提供的电子设备的结构示意图；

图22是本申请第二实施例提供的电子设备的结构示意图；

图23是本申请第三实施例提供的电子设备的结构示意图；

图24是本申请第三实施例提供的液冷模组的局部结构示意图；

图25是本申请第三实施例提供的液冷模组与柔性电路板的结构示意图；

图26是本申请第四实施例提供的液冷模组的结构示意图；

图27为本申请一实施例提供的电子设备的结构示意图；

图28是本申请第五实施例提供的电子设备的结构示意图；

图29为本申请一实施例提供的液冷模组的示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

本文中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

此外，本文中，“上”、“下”等方位术语是相对于附图中的结构示意置放的方位来定义的，应当理解到，这些方向性术语是相对的概念，它们用于相对于的描述和澄清，其可以根据结构所放置的方位的变化而相应地发生变化。

为方便理解，下面先对本申请实施例所涉及的英文简写和有关技术术语进行解释和描述。

PET：polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯。

玻璃化转变温度：是指由玻璃态转变为高弹态所对应的温度。玻璃化转变温度高，表明材料的耐热性能好。

本申请实施例提供一种液冷模组，液冷模组包括泵和液冷模件，泵用于为液冷模件中的冷却介质提供动力，泵包括泵基体和压电组件，泵基体设有泵进液口和泵出液口。液冷模件包括液冷出液口和液冷进液口，液冷出液口与泵进液口连通，液冷进液口与泵出液口连通，液冷出液口周侧的部分液冷模件与泵进液口周侧的部分泵基体材料相同或相近，为一体化无焊膏或其它第三材质的密封焊接结构，液冷进液口周侧的部分液冷模件与泵出液口周侧的部分泵基体材料相同或相近，为一体化无焊膏或其它第三材质的密封焊接结构。此一体化密封焊接方式包括热压键合密封焊、热熔焊、超声波焊、超周波焊等无焊膏或其它第三材质的焊接方式。液冷模件由第一柔性膜(断裂伸长率>10％)、第二柔性膜(断裂伸长率>10％)，第一刚性基体、第二刚性基体、第三刚性基体等组成。第一刚性基体、第二刚性基体与第一柔性膜、第二柔性膜材料相同或相近，其间的密封采用一体化无焊膏或其它第三材质的密封焊接结构。此一体化密封焊接，包括热压键合密封焊、热熔焊、超声波焊、超周波焊等无焊膏或其它第三材质的焊接方式。在本申请实施例提供的液冷模组中，泵与液冷模件及液冷模件内的一体化焊接密封，无装配泄露，耐弯折和冲击，适应系统压力和体积的变化波动，极简化设计和制造，能够避免因密封问题而导致冷却介质泄露，从而提升液冷模组整体结构的稳定性以及电子设备的安全性能。

下面将详细介绍本申请实施例提供的液冷模组。

请参阅图1a、图1b、图1c和图2，图1a为本申请第一实施例提供的液冷模组10的结构示意图，图1b是图1a中P部分的局部放大图；图1c是本申请第一实施例提供的液冷模组的泵部分的实物示意图；图2为本申请第一实施例提供的液冷模组10的剖面图。

在一种实施方式中，液冷模组10包括泵200和液冷模件100(如图1a和图2所示)，泵200包括泵基体210和压电组件220等，泵基体210设有泵进液口211和泵出液口212(如图2所示)。液冷模件100包括液冷出液口111和液冷进液口112(如图2所示)，液冷出液口111用于与泵进液口211连通，液冷进液口112用于与泵出液口212连通，液冷出液口111周侧的部分液冷模件100与泵进液口211周侧的部分泵基体210为一体化密封结构(如图2所示)，液冷进液口112周侧的部分液冷模件100与泵出液口212周侧的部分泵基体210为一体化密封结构(如图2所示)。工程上泵与液冷模件可辅助点胶，强化结构定位和强度，但非密封焊接面。

其中，泵200作为液冷模组10的动力源，能够为液冷模件100中的冷却介质提供流动和循环的动力，实现主动液冷，从而达到持久散热的效果。主动液冷与被动液冷相比，主动液冷能够根据需要调节泵200的速度以达到最佳散热效果，而被动液冷则只能被动地跟随器件温度的变化进行散热，故主动液冷的调节性更佳。需要说明的是，液冷出液口111用于与泵进液口211连通，不表示液冷出液口111与泵进液口211时刻保持连通的状态，只是表明在一定条件下，冷却介质能够从液冷出液口111流入泵进液口211。液冷进液口112与泵出液口212之间的关系同理。

在本实施方式中，液冷出液口111周侧的部分液冷模件100与泵进液口211周侧的部分泵基体210为一体化密封结构，液冷进液口112周侧的部分液冷模件100与泵出液口212周侧的部分泵基体210为一体化密封结构。其中，形成一体化密封结构是指二者之间由于相互融合渗透而没有连续的界面，液冷出液口111的周侧是指液冷出液口111周围一圈的邻近区域。若采用螺钉连接的方式将液冷模件100与泵基体210进行固定，由于在这种情况下液冷模件100与泵基体210是分体的器件，故二者之间的界限是连续的。与螺钉固定相比，本申请实施例中的一体化密封结构除非施加外力破坏，否则一般情况下无法分离，而采用螺钉连接，只需将螺钉取出，即可将泵基体210与液冷模件100分离。

采用螺钉连接的固定方式，由于螺钉连接的紧密程度(即密封效果)受限于装配精度和材料自身的回弹力等多种因素，不便于质量管控，进而在实际使用时可能会造成冷却介质泄露，从而影响冷却介质的散热效率，并损坏内部器件，且通常需要在泵200中设置底座，螺钉依次穿过底座和液冷模件100实现固定。而本申请实施例中的一体化密封结构使得液冷出液口111周侧的部分液冷模件100与泵进液口211周侧的部分泵基体210融合为一体，连接关系更加紧密，有利于提升泵基体210与液冷模件100的密封效果，且无需额外增设底座，简化液冷模组10的结构，降低成本和加工难度，并可达到超薄设计。此外，本申请实施例提供的液冷模组10可应用于电子设备，当电子设备受到外力作用时(比如跌落至地面，与地面发生碰撞)，采用螺钉固定的方式可能会造成泵基体210与液冷模件100之间连接松动，或O型圈偏移而局部密封不紧密，而一体化密封结构则使得泵基体210与液冷模件100之间不易发生相对位移，从而有利于提升液冷模组10整体结构的稳定性，提高电子设备的使用寿命。

在本申请中，通过液冷模组10的设置：第一，利用泵200为冷却介质的流动和循环提供动力，在液冷模组10中实现主动散热，相比于被动液冷，能够更有效地降低器件的温度，提高散热效率。

第二，液冷模件100中位于液冷出液口111周侧的区域与泵基体210中位于泵进液口211周侧的区域为一体化密封结构，液冷模件100中位于液冷进液口112周侧的区域与泵基体210中位于泵出液口212周侧的区域为一体化密封结构，相比于采用螺钉固定，一体化密封结构的密封效果更好，能够防止冷却介质泄露，从而避免降低冷却介质的散热效率，保护器件不受损害。

在一实施方式中，液冷出液口111、泵进液口211的中心在液冷模组10的厚度方向A对齐，液冷出液口111、泵进液口211的周壁围设的区域沿厚度方向A的投影重叠。本方案有利于降低冷却介质在通过液冷出液口111、泵进液口211时的流阻，提升冷却效率。

在一实施方式中，液冷进液口112、泵出液口212的中心在液冷模组10的厚度方向A对齐，液冷进液口112、泵出液口212的周壁围设的区域沿厚度方向A的投影重叠。本方案有利于降低冷却介质在通过液冷进液口112、泵出液口212时的流阻，提升冷却效率。

请参阅图3和图4，图3为本申请第一实施例提供的液冷模组10的剖面图，图4为本申请第一实施例提供的液冷模组10的俯视图，在一种实施方式中，液冷出液口111周侧的部分液冷模件100中的至少部分与泵进液口211周侧的部分泵基体210的至少部分沿所述液冷出液口111的周向D连续融合为一体(结合图3和图4所示)，以形成一体化密封结构。

在本实施方式中，为保证泵基体210与液冷模件100之间的密封效果，需要一体化密封结构沿液冷出液口111的周向连续融合为一体化密封结构M，如图4中的环形阴影区域。在一实施方式中，M可以为椭圆形、方形、三角形、不规则图形。在一实施方式中，液冷出液口111周侧沿径向E全部形成一体化密封结构。需要说明的是，可只在液冷出液口111周侧的某个或者某几个位置沿周向D设置连续融合，无第三材质的一体化密封焊接结构。

请结合参阅图3、图5和图6，图5为本申请第一实施例提供的液冷模组10的剖面图，图6为本申请第一实施例提供的液冷模组10的剖面图，在一实施方式中，在液冷出液口111的径向E上，液冷出液口111周侧的部分液冷模件100与泵进液口211周侧的部分泵基体210之间可具有不连续的界面，且界面之间的间距不限(如图3和图5所示)，其中，没有界面的位置为一体化密封结构。在一优选的实施方式中，在液冷出液口111的径向E上，液冷出液口111周侧的部分液冷模件100与泵进液口211周侧的部分泵基体210之间不形成界面(如图6所示)，为优选密封效果最好的加工工艺。

可以理解的，在图3至图6所示的液冷模组10中，径向E和周向D是基于液冷出液口111为圆形来确定的，当液冷出液口111为其他形状时，径向E可理解为从液冷出液口111的中心指向周侧某一个位置的方向。

在一实施方式中，液冷进液口112周侧的部分液冷模件100中的至少部分与泵出液口212周侧的部分泵基体210的至少部分沿所述液冷进液口112的周向连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在本方案中，液冷进液口112周侧的一体化密封结构沿液冷进液口112的周向连续融合为一体。

请继续参阅图2，在一种实施方式中，泵200还包括压电组件220，压电组件220固定于泵基体210，泵基体210包括泵底壁213，泵底壁213与压电组件220以及两者之间的部分泵基体210围设构成泵腔214，泵进液口211和泵出液口212设于泵底壁213且与泵腔214连通，泵底壁213与液冷出液口111周侧以及液冷进液口112周侧的部分液冷模件100为一体化密封结构。

其中，压电组件220利用压电材料的逆压电效应，压电材料是指受到压力作用时会在两端面间出现电压的晶体材料，逆压电效应是指对压电组件220施加电场后，压电组件220在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。在泵200中采用压电组件220，具有体积小、能量密度大和无电磁干扰等特点，可实现冷却介质的精密输送及控制。在一实施方式中，压电组件220包括压电陶瓷、金属基板和塑料隔板(防液体工质腐蚀金属基板)等。

在本实施方式中，泵进液口211和泵腔214的连通关系与液冷出液口111和泵进液口211的连通关系类似，即泵进液口211与泵腔214之间并非时刻保持连通，而是在压电组件220的驱动下，冷却介质通过液冷出液口111和泵进液口211进入泵腔214内。泵出液口212和泵腔214的连通关系同理。在本实施方式中，泵进液口211和泵出液口212均设置在泵底壁213，且位于泵进液口211和泵出液口212周侧的部分泵底壁213与部分液冷模件100为一体化密封结构，即无需额外在泵200中增设底座。若在泵200中设置底座，一方面，只能通过螺钉将底座与液冷模件100固定，密封效果不佳，容易造成冷却介质泄露，另一方面，通常需要将泵进液口211和泵出液口212设置在底座外侧，延长了冷却介质的流通路径，降低冷却介质的散热效率。

请继续参阅图1a，在本实施方式中，液冷模组10包括两个并联的泵200，两个泵200并联能够实现更大的流量。在另一实施方式中，液冷模组10包括两个串联的泵200，两个泵200串联能够实现更大的驱动压力。在另一实施方式中，液冷模组10可包括多个泵200，多个泵200可分布在液冷模组10中的不同位置，具体可根据需要来设置。

请继续参阅图2，在一种实施方式中，泵200还包括固定于泵底壁213的进液阀膜230和出液阀膜240，进液阀膜230用于闭合或者打开泵进液口211，出液阀膜240用于闭合或者打开泵出液口212。在本实施方式中，在进液场景下，压电组件220用于接收电信号后产生形变，泵腔214体积变大，驱动进液阀膜230打开和出液阀膜240闭合，为液冷模件100中的冷却介质提供动力，使得冷却介质依次从液冷出液口111、泵进液口211进入泵腔214内。在出液场景下，压电组件220用于接收电信号后产生形变，泵腔214体积变小，驱动进液阀膜230闭合和出液阀膜240打开，为液冷模件100中的冷却介质提供动力，使得冷却介质依次从泵出液口212、液冷进液口112进入液冷模件100。

在图2所示的实施方式中，进液阀膜230沿厚度方向A位于泵进液口211远离液冷出液口111的一侧，出液阀膜240沿厚度方向A位于泵出液口212与液冷进液口112之间。在另一实施方式中，进液阀膜230沿厚度方向A位于泵进液口211与泵腔214之间，出液阀膜240沿厚度方向A位于液冷进液口112远离泵出液口212的一侧。

值得一提的是，如果压电组件220长期处于高温状态将会老化，导致性能衰减，故本申请实施例中的液冷模组10除了对电子设备的器件进行冷却以外，还能对液冷模组10自身所包含的泵200进行性能优化。

请继续参阅图2，在一种实施方式中，泵基体210还包括位于泵底壁213与压电组件220之间的泵侧壁215，泵侧壁215为一体化密封结构。在本实施方式中，泵侧壁215沿液冷模组10的厚度方向A延伸，由于泵侧壁215与泵底壁213、压电组件220共同围合成泵腔214，故本方案设置泵侧壁215为一体化密封结构，能够有效防止冷却介质从泵侧壁215泄露，提升泵基体210的密封性能。示例性的，泵侧壁215通过热压形成一体化密封结构。热压可为热压键合密封焊、热熔焊、超声波焊、超周波焊等无焊膏或其它第三材质的焊接方式。

请参阅图7，图7为本申请第一实施例提供的泵部分层叠结构爆炸图。泵基体的各层间，采用热压键合密封焊、热熔焊、超声波焊、超周波焊等无焊膏或其它第三材质的密封焊接方式。在一种实施方式中，泵基体210包括沿厚度方向A层叠设置的泵腔层216、第一流道层217、阀片层218和第二流道层219，在泵腔层216中设有腔体孔2161，第一流道层217中设有泵出液口212以及与泵进液口211对应的第一导流通道2171，第一流道层217与泵腔层216中的腔体孔2161连通，阀片层218中设有可打开和闭合的进液阀膜230和出液阀膜240，第二流道层219中设有泵进液口211以及与泵出液口212对应的第二导流通道2191，第二流道层219与液冷模件100连通，泵腔层216、第一流道层217、阀片层218和第二流道层219通过热压形成一体化密封结构。

在本实施方式中，泵进液口211、进液阀膜230以及第一导流通道2171在液冷模组10的厚度方向A上对应设置，泵出液口212、出液阀膜240以及第二导流通道2191在液冷模组10的厚度方向A上对应设置。在图7所示的实施方式中，当进液阀膜230打开而出液阀膜240闭合时，冷却介质从泵进液口211依次经过进液阀膜230和第一导流通道2171进入泵腔214，当出液阀膜240打开而进液阀膜230闭合时，冷却介质从泵出液口212依次经过出液阀膜240和第二导流通道2191进入液冷模件100。其中，第一导流通道2171的周壁围设的区域沿厚度方向A的投影面积大于泵进液口211的周壁围设的区域沿厚度方向A的投影面积，有利于避免冷却介质回流至泵进液口211，发挥第一导流通道2171对于冷却介质的导流效果。第二导流通道2191的周壁围设的区域沿厚度方向A的投影面积大于泵出液口212的周壁围设的区域沿厚度方向A的投影面积，有利于避免冷却介质回流至泵200进液出，发挥第二导流通道2191对于冷却介质的导流效果。

在本实施方式中，泵腔层216、第一流道层217、阀片层218和第二流道层219的边缘热压形成泵侧壁215(结合图2和图7所示)，使得每层之间密封，提升泵基体210的密封效果。

请继续参阅图2，在一种实施方式中，液冷模件100包括第一柔性膜110，液冷出液口111和液冷进液口112设置于第一柔性膜110，泵底壁213与液冷出液口111周侧以及液冷进液口112周侧的部分第一柔性膜110为一体化密封结构。

在本实施方式中，液冷模件100与泵200的固定连接实际上是第一柔性膜110与泵底壁213之间的固定连接。第一柔性膜110中位于液冷出液口111周侧以及液冷进液口112周侧的部分与泵底壁213为一体化密封结构，由于第一柔性膜110与泵底壁213材料相同或相近，热压成型的难度较小，故有利于形成一体化密封结构。

在本实施方式中，第一柔性膜110和泵底壁213之间为不连续界面。请参阅图8，图8为本申请第一实施例提供的液冷模组10的剖面图，在一实施方式中，第一柔性膜110和泵底壁213的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。请参阅图9，图9为本申请第一实施例提供的液冷模组10的剖面图，在另一实施方式中，第一柔性膜110除液冷出液口111和液冷进液口112以外的部分与泵底壁213之间为一体化密封结构，二者之间没有界面。这种密封界面为优选密封界面，具有更强柔韧性、密封性和抗冲击力。但工程上难以完美加工实现，更多为部分连续融合界面，界面间存在微空气间隙或不连续接触的非焊接区。

在一些实施方式中，为了辅助泵200与液冷模件100之间的连接稳定性，还可在泵200与液冷模件100连接的位置采用胶粘接密封，提升密封性和可靠性。

请继续参阅图2，在一种实施方式中，液冷模件100还包括第二柔性膜120和位于第一柔性膜110和第二柔性膜120之间的第一刚性基体130，第一柔性膜110、第二柔性膜120和第一刚性基体130围合构成液冷模件100的内腔140，第一刚性基体130的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120为一体化密封结构。在一实施方式中，第一刚性基体130与第一柔性膜110和第二柔性膜120密封如出现泄露，将导致系统性能快速下降并快速失效，第一刚性基体130与第一柔性膜110和第二柔性膜120之间的密封焊接的两界面材料相同或相近，采用热压键合密封焊、热熔焊、超声波焊、超周波焊等无焊膏或其它第三材质的焊接方式，可提升第一刚性基体130与第一柔性膜110和第二柔性膜120之间的的密封性和可靠性。

在本实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120具有柔性，弯折性能好，适用于液冷模件100需要弯折的情况。在第一柔性膜110和第二柔性膜120之间设置第一刚性基体130，第一刚性基体130的两端用于支撑第一柔性膜110和第二柔性膜120，有利于提高液冷模件100在厚度方向A上的整体强度。冷却介质在第一柔性膜110、第二柔性膜120和第一刚性基体130围合成的内腔140中流动，本方案设置第一刚性基体130的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120为一体化密封结构，能够提升内腔140的密封性，避免内腔140中的冷却介质泄漏。

在本实施方式中，第一刚性基体130的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120之间为不连续界面。在一实施方式中，第一刚性基体130的两端和第一柔性膜110和第二柔性膜120的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在另一实施方式中，第一刚性基体130的两端与第一柔性膜110和第二柔性膜120全部连续融合为一体化密封结构，第一刚性基体130的两端与第一柔性膜110之间没有界面，第一刚性基体130的两端与第二柔性膜120之间没有界面。

在一实施方式中，第一刚性基体130环绕第一柔性膜110和第二柔性膜120的边缘设置(如图1a所示)。本方案有利于提升液冷模件100的边缘在厚度方向A上的强度，同时一体化密封结构能够有效避免冷却介质在液冷模件100的边缘处发生泄露。

在一实施方式中，第一柔性膜110、第二柔性膜120的厚度小于液冷模组10的长度和宽度。具体地，第一柔性膜110与第二柔性膜120的厚度与液冷模组10的长度的比值均小于或者等于0.2，第一柔性膜110与第二柔性膜120的厚度与液冷模组10的宽度的比值均小于或者等于0.2。当液冷模组10应用于折叠设备时，本方案能够保证第一柔性膜110和第二柔性膜120在弯折方向上的柔性，降低设备的弯折难度。

在一实施方式中，第一柔性膜110、第二柔性膜120的材质为断裂伸长率高于10％的材质，如高分子PET、PP、PPS、PEN或其改性膜材等，以适应系统压力波动和弯折使用。优选的，第一柔性膜110、第二柔性膜120的材质为断裂伸长率高于50％的材质。在一实施方式中，第一柔性膜110、第二柔性膜120表面做防蒸散镀层处理，如在聚合物薄膜表面镀一次柔性无机氧化薄膜对水气进行隔绝。具体镀层的方式可为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等工艺手段。

请继续参阅图2，在一种实施方式中，液冷模件100还包括第二刚性基体150，第二刚性基体150将液冷模件100的内腔140分隔为进液流道142和出液流道141，液冷进液口112与进液流道142连通，液冷出液口111与出液流道141连通，第二刚性基体150的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120为一体化密封结构。第二刚性基体150与第一柔性膜110和第二柔性膜120间的分割和密封如出现泄露，将导致液冷系统性能大幅下降并逐渐失效。在本实施方式中，第二刚性基体150的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120采用一体化密封结构，提升密封性和可靠性。

在本实施方式中，第二刚性基体150用于将内腔140的流道分隔为进液流道142和出液流道141，进液流道142和出液流道141均由第二刚性基体150与第一刚性基体130、第一柔性膜110和第二柔性膜120围合形成。进液流道142与液冷进液口112保持连通的状态，出液流道141与液冷出液口111保持连通的状态。进液流道142和出液流道141通过第二刚性基体150分隔开，有利于避免进液流道142和出液流道141中的冷却介质发生混流进而降低冷却效率。第二刚性基体150的两端均与第一柔性膜110和第二柔性膜120之间一体化热压密封，有利于提升进液流道142和出液流道141之间的隔绝效果，且能够进一步提升液冷模件100的结构强度。

可以理解的，进液流道142和出液流道141并不是完全隔离的两部分，第二刚性基体150仅仅是将与泵200邻近的进液流道142和出液流道141分隔开，而为了使冷却介质在液冷模件100中形成循环，进液流道142和出液流道141在远离泵200的区域连通，示例性的，在图1a所示的液冷模组10中，进液流道142和出液流道141在相对狭窄的端部区域连通。

在本实施方式中，第二刚性基体150的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120之间为不连续界面。在一实施方式中，第二刚性基体150的两端和第一柔性膜110和第二柔性膜120的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在另一实施方式中，第二刚性基体150的两端与第一柔性膜110和第二柔性膜120全部连续融合为一体化密封结构，第二刚性基体150的两端与第一柔性膜110之间没有界面，第二刚性基体150的两端与第二柔性膜120之间没有界面。

请结合参阅图2和图10，图10为本申请第一实施例提供的泵200与第二刚性基体150的侧视图，在一实施方式中，第二刚性基体150包括位于泵200下方的第一子刚性基体151和位于泵200外侧的第二子刚性基体152(如图10所示)。第一子刚性基体151在第二柔性膜120的正投影与液冷进液口112和液冷出液口111的边缘所围设的区域在第二柔性膜120的正投影不重叠(如图2所示)。其中，泵200的下方是指泵200沿厚度方向A靠近液冷模件100的一侧。在一实施方式中，第一子刚性基体151在第二柔性膜120的正投影与泵进液口211和泵出液口212的边缘所围设的区域在第二柔性膜120的正投影不重叠。在一实施方式中，为了加工方便或者为了第一子刚性基体151更够更好的分割泵200两侧的流道，可第一子刚性基体151可延伸至泵200的外侧一点，如图1a所示，第一子刚性基体151在图1a中沿左右方向的长度大于泵200沿左右方向的长度。

在一实施方式中，第一子刚性基体151与第一刚性基体130的材质相同(如图1a和图1b所示)。第一子刚性基体151位于泵200下方，泵200在工作时泵出的冷却液体从液冷进液口112和液冷出液口111进出时会对第一子刚性基体151具有冲击压力，将导致系统性能快速下降并快速失效。将第一子刚性基体151与第一刚性基体130的材质相同，使得第一子刚性基体151和第一柔性膜110、第二柔性膜120之间的密封效果、结构强度与第一刚性基体130和第一柔性膜110、第二柔性膜120之间的密封效果、结构强度相同，有效提升第一子刚性基体151与第一柔性膜110、第二柔性膜120之间的密封效果和结构强度，避免泵200附近的液体冲击第一子刚性基体151而影响密封效果。

在一实施方式中，第一子刚性基体151与第一刚性基体130为一体化结构，如图1a所示，提升第一子刚性基体151与第一刚性基体130之间的密封性和可靠性。在一实施方式中，第一子刚性基体151与第二子刚性基体152为一体化结构。提升第一子刚性基体151与第二子刚性基体152之间的密封性和可靠性。

在一实施方式中，第一子刚性基体151与第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120同时热压焊接，提升第一子刚性基体151与第一柔性膜110或者第二柔性膜120之间的密封效果和结构强度。

在一实施方式中，第二刚性基体150整体呈条状。本方案能够降低加工成本，同时第二刚性基体150较为规则的形状有利于减小第二刚性基体150对冷却介质的产生的流动阻力。

在一实施方式中，与第二刚性基体150在厚度方向A上对应设置的第一柔性膜110与泵底壁213之间为一体化密封结构。本方案能够进一步保证进液流道142和出液流道141中的冷却介质不发生短路和混流。

请继续参阅图2，在一种实施方式中，液冷模件100还包括第三刚性基体160，第三刚性基体160分布于进液流道142和出液流道141内，第三刚性基体160的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120为一体化密封结构。第三刚性基体160与第一柔性膜110和第二柔性膜120间的分割和密封如出现泄露，将导致液冷系统性能小幅下降，但并不会导致整个液冷系统失效。

在本实施方式中，多个第三刚性基体160将进液流道142分隔为多个彼此连通的进液子流道，将出液流道141分隔为多个彼此连通的出液子流道，第三刚性基体160在进液流道142和出液流道141中分别起到了导流的作用，减少流动阻力和避免涡流损耗，有利于增强冷却介质的换热效果。第三刚性基体160整体可呈条状和圆柱状，第三刚性基体160呈条状有利于引导冷却介质的流动，第三刚性基体160呈圆柱状有利于加强冷却介质的混合。

请继续参阅图1a，在一实施方式中，由于第三刚性基体160同时起到导流和混流的作用，故可将第三刚性基体160设置在进液流道142或出液流道141宽度突变的区域、冷却介质流动方向突变的区域以及与液冷进液口112邻近的区域。

在本实施方式中，第三刚性基体160的两端分别与第一柔性膜110和第二柔性膜120之间为不连续界面。在一实施方式中，第三刚性基体160的两端和第一柔性膜110和第二柔性膜120的至少部分连续融合为一体，以形成一体化密封结构。在另一实施方式中，第三刚性基体160的两端与第一柔性膜110和第二柔性膜120全部连续融合为一体化密封结构，第三刚性基体160的两端与第一柔性膜110之间没有界面，第二刚性基体150的两端与第二柔性膜120之间没有界面。

在一实施方式中，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的厚度均小于液冷模组10的宽度，具体地，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的厚度与液冷模组10的宽度的比值范围均为大于或者等于0.1，且小于或者等于0.2。第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的厚度均小于液冷模组10的长度，具体地，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的厚度与液冷模组10的长度的比值范围均为大于或者等于10-5，且小于或者等于0.2。本方案有利于保证液冷模组10在厚度方向上的高强度以及液冷模组10在长度方向和宽度方向上的柔性。

在一实施方式中，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的横截面积的总和小于第一柔性膜110或者第二柔性膜120的面积。第一柔性膜110的面积是指朝向刚性基体的表面的面积，第二柔性膜120的面积是指朝向刚性基体的表面的面积。

在一实施方式中，第一刚性基体130的宽度的取值大于或者等于1mm，且小于或者等于10mm。其中第一刚性基体130的宽度方向与厚度方向A、第一刚性基体130延伸方向均相交。

在一实施方式中，第二刚性基体150的宽度的取值大于或者等于1mm，且小于或者等于10mm。其中第二刚性基体150的宽度方向与厚度方向A、第二刚性基体150延伸方向均相交。

在一实施方式中，当第三刚性基体160为长条形时，第三刚性基体160的宽度的取值大于或者等于1mm，且小于或者等于10mm。其中第三刚性基体160的宽度方向与厚度方向A、第三刚性基体160延伸方向均相交。

在一实施方式中，第一柔性膜110的厚度的取值大于或者等于5μm，且小于或者等于500μm。示例性的，第一柔性膜110的厚度的取值为40μm。

在一实施方式中，第二柔性膜120的厚度的取值大于或者等于5μm，且小于或者等于500μm。示例性的，第二柔性膜120的厚度的取值为40μm。

在一实施方式中，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160各自的厚度的取值大于或者等于0.1mm，且小于或者等于1mm。示例性的，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160各自的厚度的取值为0.12mm。

请参阅图11，图11为本申请第一实施例提供的液冷模件100的剖面图，在一实施方式中，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的厚度不相等。其中，厚度是指在厚度方向A上的尺寸。在本实施方式中，三种刚性基体为不等厚设计，当液冷模组10应用于折叠设备时，有利于充分利用折叠设备内的空间，避让设备内的其他器件，优化布局。

请参阅图12，图12为本申请第一实施例提供的液冷模件100的剖面图，在一实施方式中，第一柔性膜110或者第二柔性膜120还可设置有注液口113和抽气口114等，注液口113和抽气口114与三种刚性基体的至少一种以及第一柔性膜110或者第二柔性膜120为一体化密封结构。在本实施方式中，注液口113用于在冷却之前向内腔140中注入冷却介质，抽气口114用于抽出内腔140中的气体，避免散热效果受到负面影响。注液口113和抽气口114与第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160中的至少一个、第一柔性膜110或者第二柔性膜120一体密封连接，有利于避免在注液口113和抽气口114中发生冷却介质的泄露。为实现超薄效果，注液口113、抽气口114与液冷模件100在同一面内，即在第一柔性膜110、第二柔性膜120之间。工程上注液口113、抽气口114与液冷模件100间可辅助点胶，强化结构定位和强度，但非密封焊接面。

在一种实施方式中，泵底壁213的材质的玻璃化转变温度与第一柔性膜110的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃；如为相同材质，则差值为零。其中，玻璃化转变温度是指由玻璃态转变为高弹态所对应的温度。玻璃化转变温度高，表明材料的耐热性能好。在本实施方式中，将泵底壁213的材质与第一柔性膜110的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于泵底壁213与第一柔性膜110通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实施方式中，第一刚性基体130的材质的玻璃化转变温度与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。将第一刚性基体130的材质与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实施方式中，第二刚性基体150的材质的玻璃化转变温度与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。将第二刚性基体150的材质与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于第二刚性基体150与第一柔性膜110或者第二柔性膜120通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实施方式中，第三刚性基体160的材质的玻璃化转变温度与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。将第三刚性基体160的材质与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于第三刚性基体160与第一柔性膜110或者第二柔性膜120通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实施方式中，泵基体210的材质的玻璃化转变温度与液冷模件100的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃；如为相同材质，则差值为零。

在一实施方式中，泵底壁213的材质的玻璃化转变温度的数值大于或者等于69℃且小于或者等于243℃。

在一实施方式中，第一柔性膜110的材质的玻璃化转变温度的数值大于或者等于69℃且小于或者等于243℃。

在一实施方式中，第二柔性膜120的材质的玻璃化转变温度的数值大于或者等于69℃且小于或者等于243℃。

在一实施方式中，第一刚性基体130的材质的玻璃化转变温度的数值大于或者等于69℃且小于或者等于243℃。

在一实施方式中，第二刚性基体150的材质的玻璃化转变温度的数值大于或者等于69℃且小于或者等于243℃。

在一实施方式中，第三刚性基体160的材质的玻璃化转变温度的数值大于或者等于69℃且小于或者等于243℃。

在本实施方式中，需要说明的是，虽然上述泵底壁213、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的材质的玻璃化转变温度的取值范围重叠，但是在实际情况中，并不需要泵底壁213、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的材质的玻璃化转变温度完全相等，只需满足差值小于或者等于20℃的条件即可。

在一种实施方式中，泵底壁213的材质的熔融温度与第一柔性膜110的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。在本实施方式中，将泵底壁213的材质与第一柔性膜110的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于泵底壁213与第一柔性膜110通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实施方式中，第一刚性基体130的材质的熔融温度与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。将第一刚性基体130的材质与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实施方式中，第二刚性基体150的材质的熔融温度与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。将第二刚性基体150的材质与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于第二刚性基体150与第一柔性膜110或者第二柔性膜120通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一种实施方式中，第三刚性基体160的材质的熔融温度与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。将第三刚性基体160的材质与第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于第三刚性基体160与第一柔性膜110或者第二柔性膜120通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一实施方式中，泵底壁213的材质的熔融温度的数值大于或者等于195℃且小于或者等于343℃。

在一实施方式中，第一柔性膜110的材质的熔融温度的数值大于或者等于195℃且小于或者等于343℃。

在一实施方式中，第二柔性膜120的材质的熔融温度的数值大于或者等于195℃且小于或者等于343℃。

在一实施方式中，第一刚性基体130的材质的熔融温度的数值大于或者等于195℃且小于或者等于343℃。

在一实施方式中，第二刚性基体150的材质的熔融温度的数值大于或者等于195℃且小于或者等于343℃。

在一实施方式中，第三刚性基体160的材质的熔融温度的数值大于或者等于195℃且小于或者等于343℃。

在一种实施方式中，泵基体210的材质的熔融温度与第一柔性膜110的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。

在本实施方式中，需要说明的是，虽然上述泵底壁213、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的材质的熔融温度的取值范围重叠，但是在实际情况中，并不需要泵底壁213、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的材质的熔融温度完全相等，只需满足差值小于或者等于20℃的条件即可。

在一种实施方式中，泵基体210、泵底壁213的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料。在一实施方式中，泵基体210、泵底壁213的材质选自断裂伸长率大于50％的柔性耐温聚合物材料。

在一实施方式中，泵基体210、泵底壁213的材质独立地选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

在一种实施方式中，第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150、第三刚性基体160的材质各自独立地选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料。在一种实施方式中，第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150、第三刚性基体160的材质各自独立地选自断裂伸长率大于50％的柔性耐温聚合物材料。

在一实施方式中，第一柔性膜110的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

在一实施方式中，第一刚性基体130的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

在一实施方式中，第二柔性膜120的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

在一实施方式中，第二刚性基体150的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

在一实施方式中，第三刚性基体160的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

其中，聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺和聚醚醚酮均含有刚性链段，玻璃化转变温度较高。

在本实施方式中，泵底壁213与第一柔性膜110所选用的材质有利于泵底壁213与第一柔性膜110热压形成一体化密封结构。第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120所选用的材质有利于第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120热压形成一体化密封结构。第二刚性基体150与第一柔性膜110或者第二柔性膜120所选用的材质有利于第二刚性基体150与第一柔性膜110或者第二柔性膜120热压形成一体化密封结构。第三刚性基体160与第一柔性膜110或者第二柔性膜120所选用的材质有利于第三刚性基体160与第一柔性膜110或者第二柔性膜120热压形成一体化密封结构。热压为高分子膜材热压键合密封焊、热熔焊、超声波焊、超周波焊等无焊膏或其它第三材质的密封焊接方式。第一柔性膜110和第二柔性膜120采用上述材料有利于提高断裂伸长率，便于释放电子设备在弯折时的应力，吸收液冷系统压力波动、热胀冷缩等体积变化。

示例性的，泵底壁213与第一柔性膜110所选用的材质相同。第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120所选用的材质相同。第二刚性基体150与第一柔性膜110或者第二柔性膜120所选用的材质相同。第三刚性基体160与第一柔性膜110或者第二柔性膜120所选用的材质相同。示例性的，泵基体210的材质与液冷模件100的材质相同。

传统液冷模组，如表1所示，采用高分子PET、PP、PPS等膜材流道成型，水等小分子会穿透高分子材料制成的膜片，并且这个量随蒸散随温度指数上升。

表1：高分子膜膜片蒸散量随时间-温度变化(工质为水，分子量18)

在本实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种，由于上述材料的水气透过率较低，故第一柔性膜110和第二柔性膜120采用上述材料还有利于缓解冷却介质在第一柔性膜110和第二柔性膜120的蒸散问题。若在第一柔性膜110和第二柔性膜120采用常规的PET材料，由于PET材料带有极性极高的酯基，对水分子有较强的吸收作用，故冷却介质在液冷模件100的内腔140中流动时，可能会发生蒸散而透过第一柔性膜110和第二柔性膜120，导致冷却介质的利用率降低。在冷却介质向外蒸散的过程中，空气中小分子的气体将经由第一柔性膜110和第二柔性膜120置换而溶解于冷却介质中。当溶解饱和后，空气将以气泡的方式存在于冷却介质的循环中。这些气泡除了干扰液冷循环而影响散热效能外，还有可能被吸进泵200中，不仅影响泵200的效能，还会让泵200在旋转时产生噪音，甚至造成泵200的损坏。故本方案将第一柔性膜110和第二柔性膜120设置呈上述材料，有利于避免因冷却介质蒸散而带来的一系列危害。

在一实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120的蒸散量级降低一个数量级以上。满足水、氟化液等不同工质不同应用温度下蒸散要求。

值得一提的是，为实现两种柔性膜与三种刚性基体之间热压形成一体化密封结构，第一柔性膜110、第二柔性膜120与第一刚性基体130、第二刚性基体150、第三刚性基体160可选用相同材质，而柔性膜与刚性基体对于柔韧性的要求不同，此时可以通过调整柔性膜与刚性基体的厚度，来实现不同的柔韧性。

在一实施方式中，聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的玻璃化转变温度大于或者等于69℃且小于或者等于77℃，熔融温度大于或者等于250℃且小于或者等于255℃。聚萘二甲酸乙二醇酯的玻璃化转变温度为122.4℃，熔融温度为211.6℃。聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯的玻璃化转变温度为87.2℃，熔融温度大于或者等于195℃且小于或者等于265℃。聚酰亚胺的玻璃化转变温度为243℃，熔融温度为334℃。聚醚醚酮的玻璃化转变温度大于或者等于143℃且小于或者等于150℃，熔融温度为343℃。需要说明的是，上述提到的玻璃化转变温度和熔融温度均为实验数值，受实验条件、仪器设备和实验操作等多种因素的影响，在上述影响因素发生改变时，上述材料的玻璃化转变温度和熔融温度可能也会随之发生改变，作为本领域技术人员应当理解到这种偏差是很难避免的。在本申请实施例中，只要保证需要形成一体化密封结构的两种部件之间的玻璃化转变温度或者熔融温度的差值小于或者等于20℃即可，本申请不对泵底壁213、泵基体210、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的玻璃化转变温度和熔融温度的具体数值作绝对的限定。

在一种实施方式中，聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的单体包括对苯二甲酸、乙二醇和硬段分子结构，硬段分子结构占聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的质量百分数的取值大于或者等于20％、且小于或者等于80％。

其中，聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物是指PET(polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)的单体与另一种单体嵌段共聚形成的共聚物，其中PET由对苯二甲酸和乙二醇聚合而成。由于PET的结构中存在-CH2-CH2-的分子链段，导致PET自身的玻璃化转变温度偏低，在中高温的应用环境下容易发生玻璃化转变，存在尺寸稳定性风险，本方案在PET的结构中引入硬段分子结构，能够提升聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的玻璃化转变温度，当聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物被应用于液冷模组10中时，能够使得液冷模组10适用于中高温的应用场景。

在本实施方式中，将硬段分子结构设置为上述比值，可提升聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的结构强度，当聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物被应用于液冷模组10中时，能够提升液冷模组10的抗冲击和抗跌落性能，有效保护电子设备内部的其他器件。

在一种实施方式中，硬段分子结构选自2，5-呋喃二甲酸、碳酸二甲酯和2，6-萘二甲酸中的至少一种。在本实施方式中，2，5-呋喃二甲酸、碳酸二甲酯和2，6-萘二甲酸分别为聚2，5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯和聚萘二甲酸乙二醇酯的单体，采用上述材料作为硬段分子结构，能够提升聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的结构强度。当采用除碳酸二甲酯以外的其他硬段分子结构时，还能缓解第一柔性膜110和第二柔性膜120的蒸散问题，降低透水性和透气性。

在上述实施方式中，部分聚合物的分子结构如表2所示。

表2部分聚合物材料的结构

在上述实施方式中，部分硬段分子结构G如表3所示。

表3硬段分子结构

请参阅图13，图13为本申请第一实施例提供的第一柔性膜110的剖面图，在一种实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120中的至少一个包括两层子柔性膜层115和位于两层子柔性膜层115之间的防蒸散层116，防蒸散层116包括聚酰亚胺层、聚偏二氯乙烯层或者金属薄膜层中的至少一个。

在本实施方式中，子柔性膜层115的材质可选自前文中第一柔性膜110或者第二柔性膜120的材质中的任一种。在一种实施方式中，子柔性膜层115的材质可选自前文所述的聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物，简称PET共聚物。

在本实施方式中，在第一柔性膜110和第二柔性膜120中的至少一个采用多层膜工艺，即将第一柔性膜110和第二柔性膜120设置成“PET共聚物-X-PET共聚物”的三明治式的结构，其中X层是指防蒸散层116。聚酰亚胺、聚偏二氯乙烯和金属薄膜是低水气透过率的材料，防蒸散层116采用上述材料，能够减少水气在第一柔性膜110和第二柔性膜120的蒸散。在一实施方式中，采用多层共挤出技术或者多层膜压技术在第一柔性膜110和第二柔性膜120中实现多层膜结构。

在一实施方式中，金属薄膜层可为铜膜、镍膜、铝膜或金属塑料复合膜材，且厚度小于或者等于10微米。在本实施方式中，当液冷模组10应用于折叠设备时，本方案有利于保证第一柔性膜110和第二柔性膜120满足10-40万次不同弯折角的弯折测试的要求。

请参阅图14，图14为本申请第一实施例提供的液冷模件100的剖面图，在一种实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120中的至少一个远离内腔140的表面设有无机氧化薄膜117。

在本实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120远离内腔140的表面虽然不与冷却介质直接接触，但均是冷却介质在蒸散至外界时必须经过的界面，设置无机氧化薄膜117，有利于对水气进行隔绝，缓解冷却介质的蒸散问题。示例性的，无机氧化薄膜117的镀层方式可采用物理气相沉积、化学气相沉积和原子层沉积中的任意一种。

请结合参阅图1a和图15，图15为图1a所示的液冷模组10的局部放大图，在一种实施方式中，液冷模件100包括液冷膜弯折区170(如图1a所示)，液冷模件100通过液冷膜弯折区170折叠，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160中的至少一个设有增柔结构131(如图1a和图15所示)，增柔结构131位于液冷膜弯折区170，增柔结构131用于提升液冷膜弯折区170的柔韧性。

在本实施方式中，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160由于具有刚性而能够增强液冷模件100在厚度方向A上的强度。当液冷模件100应用于折叠设备时，又需要液冷模件100的弯折部分具有一定的柔性，故本方案在液冷模件100的液冷膜弯折区170设置增柔结构131，能够减小液冷模件100的弯折部分在弯折时受到的阻力，满足电子设备的折叠要求。

在一实施方式中，增柔结构131可为凹槽、贯穿孔、通孔、开孔中的至少一种。

在一实施方式中，液冷模件100还包括位于液冷膜弯折区170两侧的第一液冷膜静止区180和第二液冷膜静止区190(如图1a所示)。在液冷膜弯折区170进行弯折的时候，第一液冷膜静止区180和第二液冷膜静止区190不发生形变。

请继续结合参阅图1a和图15，在一种实施方式中，第一刚性基体130的增柔结构131包括位于第一刚性基体130的侧壁上的凹槽1311，凹槽1311位于液冷膜弯折区170(结合图1a和图15所示)。

在本实施方式中，第一刚性基体130环绕液冷模组10的边缘设置，是冷却介质与外界环境之间的屏障，故第一刚性基体130需要具有较高的结构强度，以确保密封效果，使得冷却介质始终不泄露至液冷模组10的外侧。而位于液冷膜弯折区170的第一刚性基体130需要兼顾结构强度和一定的柔韧性，故设置在第一刚性基体130上的增柔结构131优选为凹槽1311。若在第一刚性基体130上设置贯穿孔、通孔或者开孔，将面临冷却介质泄露的风险。

请结合参阅图15和图16，图16为本申请第一实施例提供的液冷模件100的剖面图，在一种实施方式中，第二刚性基体150的增柔结构131包括沿第一方向A贯穿第二刚性基体150的通孔1313，通孔1313位于液冷膜弯折区170内，第一方向A为第一柔性膜110和第二柔性膜120的排列方向。

在本实施方式中，在第二刚性基体150中设置通孔1313，能够提升第二刚性基体150的弯折部分的柔韧性。由于第二刚性基体150两侧分别为进液流道142和出液流道141，故第二刚性基体150上的开孔1314不能将两侧的冷却介质连通，以避免因混流而影响冷却效果。其中，第一方向A也为液冷模件100的厚度方向。

请结合参阅图15和图17，图17为本申请第一实施例提供的液冷模件100的剖面图，在一实施方式中，液冷模件100设有沿第一方向贯穿第二刚性基体150、第一柔性膜110和第二柔性膜120的贯穿孔1312，贯穿孔1312位于液冷膜弯折区170内。

在本实施方式中，在第二刚性基体150中设置贯穿孔1312，能够提升第二刚性基体150的弯折部分的柔韧性，减少弯折时液冷膜弯折区170的反弹力和摩檫力。其中，第一方向即为液冷模组10的厚度方向A。贯穿孔1312沿第一方向贯穿第二刚性基体150不会导致进液流道142和出液流道141中的冷却介质流动短路和混流。第三刚性基体160可开孔1314，减少弯折时液冷膜弯折区170的反弹力和与屏、中框的摩檫力，不会引起冷却介质流动短路。

在一实施方式中，第二刚性基体150的增柔结构131包括通孔1313和贯穿孔1312，或者第二刚性基体150的增柔结构131包括通孔1313和贯穿孔1312的任意一种。本方案在第二刚性基体150中可根据实际情况灵活设置通孔1313和贯穿孔1312，提升第二刚性基体150的在不同应用环境中的实用性。

在一实施方式中，第二刚性基体150上的增柔结构131也可以为凹槽1311。

请继续参阅图15，在一种实施方式中，第三刚性基体160的增柔结构131包括位于第三刚性基体160的开孔1314，开孔1314连通第三刚性基体160两侧的流道。

在本实施方式中，由于液冷膜弯折区170在弯折时产生的形变较大，本方案设置在第三刚性基体160中设置开孔1314，相当于第三刚性基体160在开孔1314的位置局部断开，诱导在设计位置弯折变形，有效减小弯折时产生的应力。部分第三刚性基体160分布在进液流道142，部分第三刚性基体160分布在出液流道141中，即第三刚性基体160两侧的流道同属于进液流道142或者同属于出液流道141，故开孔1314将第三刚性基体160的两侧连通不会影响散热效率，且可以增加进液流道142内或者出液流道141内相同流动方向的冷却介质的混流作用，提升冷却效果。

在一实施方式中，增柔结构131可沿冷却介质的流动方向延伸。在另一实施方式中，增柔结构131可沿折叠设备的折叠方向延伸。将增柔结构131在其延伸方向上的尺寸设置较大，能够有效提升液冷膜弯折区170的柔韧性，减少弯折时液冷膜弯折区170的反弹力和与屏、中框的摩檫力，进而改善用户对于折叠设备的使用体验。

请参阅图18，图18为本申请第一实施例提供的液冷模件100的剖面图，在一种实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120的远离内腔140的表面敷设有润滑材料层118，润滑材料层118位于液冷膜弯折区内。在本实施方式中，为了提升液冷膜弯折区的柔韧性，除了在第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160上设置增柔结构131以外，还可在第一柔性膜110和第二柔性膜120的外表面设置润滑材料层118，减小液冷膜弯折区在弯折时的摩擦力，使得弯折过程能够更加顺利进行。示例性的，润滑材料层118包括但不限于铁氟龙膜、石墨膜、石墨烯膜或润滑脂等固态、液态或膏状等润滑材料。其中，当润滑材料层118采用石墨膜或者石墨烯膜，润滑材料层118可仅布置在液冷膜弯折区，也可同时布置在第一液冷膜静止区和第二液冷膜静止区中的至少一个以及液冷膜弯折区，此时润滑材料层118除对液冷膜静止区发挥润滑减摩的作用外，由于石墨和石墨烯本身具备较高的导热系数，故润滑材料层118还能够增强散热效果，降低冷却介质整体的温度，从而减少泵的启动时间和频次。

请参阅图19，图19为本申请第一实施例提供的液冷模件100的剖面图，在一种实施方式中，液冷模件100包括第一柔性膜110、第二柔性膜120和位于第一柔性膜110和第二柔性膜120之间的第一刚性基体130，第一柔性膜110、第二柔性膜120和第一刚性基体130围合构成液冷模件100的内腔140，第一刚性基体130的玻璃化转变温度与第一柔性膜110的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃。

在本实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120能够降低电子设备的弯折难度。第一刚性基体130用于增强液冷模件100在厚度方向A上的结构强度。第一柔性膜110、第二柔性膜120和第一刚性基体130围合成内腔140，冷却介质在内腔140中流动，第一刚性基体130的两端与第一柔性膜110和第二柔性膜120为一体化密封结构，有利于提升第一刚性基体130的密封性能，避免冷却介质的泄露。

在本实施方式中，将第一刚性基体130的材质与第一柔性膜110的材质的玻璃化转变温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体130与第一柔性膜110通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

在一实施方式中，第一刚性基体130的材质的熔融温度与第一柔性膜110的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。在本实施方式中，将第一刚性基体130的材质与第一柔性膜110的材质的熔融温度的差值设置较小，有利于第一刚性基体130与第一柔性膜110通过热压键合密封为一体结构，提升两者的密封效果。

需要说明的是，前文中的第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系、结构描述适用于本实施例中第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系和结构描述，此处不再赘述。

请继续参阅图19，在一种实施方式中，液冷模件100包括第一柔性膜110、第二柔性膜120和位于第一柔性膜110和第二柔性膜120之间的第一刚性基体130，第一柔性膜110、第二柔性膜120和第一刚性基体130围合构成液冷模件100的内腔140，所述第一柔性膜110、所述第二柔性膜120和所述第一刚性基体130的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料，第一柔性膜110、第二柔性膜120和第一刚性基体130的材质各自独立地选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。

在本实施方式中，第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120所选用的材质有利于第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120热压形成一体化密封结构。其中，第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120可为不同的材质，只要保证第一刚性基体130与第一柔性膜110或者第二柔性膜120之间能形成一体化密封结构即可。

请继续参阅图1a，在一种实施方式中，液冷模件100包括第一柔性膜110、第二柔性膜120和位于第一柔性膜110和第二柔性膜120之间的刚性基体101。液冷模件100包括液冷膜弯折区170，液冷模件100通过液冷膜弯折区170折叠，刚性基体101设有增柔结构131，增柔结构131位于液冷膜弯折区170，增柔结构131用于提升液冷膜弯折区170的柔韧性，减少弯折时液冷膜弯折区170的反弹力和与屏、中框的摩檫力。

在本实施方式中，刚性基体101的两端用于支撑第一柔性膜110和第二柔性膜120，在液冷模件100中设置刚性基体101有利于提升液冷模件100在厚度方向A上的结构强度。在电子设备弯折时，液冷模件100中的液冷膜弯折区170产生较大的形变，故在位于液冷膜弯折区170的刚性基体101上需要设置增柔结构131，以增强液冷膜弯折区170的柔韧性。在一实施方式中，增柔结构131可为凹槽1311、贯穿孔1312、通孔1313和开孔1314中的至少一种。在一实施方式中，刚性基体101可包括第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160。

需要说明的是，前文中的第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150、第三刚性基体160和增柔结构131的可实现方式、尺寸、位置关系、结构描述适用于本实施例中第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150、第三刚性基体160和增柔结构131的可实现方式、尺寸、位置关系和结构描述，此处不再赘述。

本申请实施例提供的液冷模组10可应用于电子设备中。

请参阅图20，图20为本申请第一实施例提供的电子设备1的结构示意图。在一种实施方式中，电子设备1包括壳体20和位于壳体20内的电子功能组件30和液冷模组10，液冷模组10位于壳体20的外侧。

在本实施方式中，示例性的，电子设备1可以是手机、平板电脑、笔记本电脑和可穿戴设备等电子产品。电子设备1中的电子功能组件30包括但不限于处理器、内部存储器、充电管理模块、电源管理模块、电池、天线、通信模块、摄像头、音频模块、扬声器、受话器、麦克风、传感器模块、马达以及指示器等。其中，电子设备1可以具有比上文描述的更多的或者更少的电子功能组件30。各种电子功能组件30可以在包括一个或多个信号处理和/或专用集成电路在内的硬件、软件、或硬件和软件的组合中实现。电子功能组件30在处于工作状态时会释放热量，当电子设备1内部的温度过高时，将影响电子功能组件30的工作效率以及电子设备1的使用寿命，故需要设置液冷模组10，以针对电子功能组件30进行温升控制。

在一实施方式中，液冷模组10位于壳体20与电子功能组件30之间。

在图20所示的第一实施例中，电子设备1为可折叠的设备，具有展平状态和折叠状态。所述电子设备1包括第一非折叠部11、折叠部12和第二非折叠部13，所述第二非折叠部13通过所述折叠部12能够向所述第一非折叠部11折叠。其中，液冷模组10沿长度方向B可依次划分为第一液冷膜静止区180、液冷膜弯折区170和第二液冷膜静止区190，在电子设备1处于折叠状态时，液冷模件100通过液冷膜弯折区170折叠，液冷膜弯折区170发生弯折，第一液冷膜静止区180和第二液冷膜静止区190不发生形变。如果折叠机有三个或更多N个折叠屏，对应最多可有三个或N个液冷模件，2个或N-1个弯折区；最少2个液冷膜，1个弯折区，其中N为大于2的整数。如为直板机，可无弯折区，有1个或多个液冷膜。根据液冷系统性能需要，可设1个或多个液泵，可以并联、串联或混联，可以相邻设置或不相领设置，如设置在不同屏的主板附近。泵在运行中可有压力波动，2-50um微幅振动和一定噪音。柔性液冷模件有助于吸收压力波动、体积变化和较少振动噪声影响。

第一刚性基体130环绕第一液冷膜静止区180、液冷膜弯折区170和第二液冷膜静止区190的边缘呈闭合设置。泵200位于第二液冷膜静止区190且沿宽度方向C靠近第一刚性基体130设置，且泵200沿长度方向B的两侧均设有第三刚性基体160，其中，泵200沿长度方向B两侧的第三刚性基体160分别呈柱状和条状。在本实施方式中，泵200以及邻近的第一柔性膜110、第二柔性膜120与电子设备1内的其他结构件之间通常间隔设置或者增设阻尼材料，其中，阻尼材料可粘合在第一柔性膜110、第二柔性膜120或者结构件上。示例性的，结构件可为显示屏、壳体20、电池、摄像头中的至少一种。

泵200沿宽度方向C远离第一刚性基体130的一侧设有第二刚性基体150，第二刚性基体150将第二液冷膜静止区190、液冷膜弯折区170以及部分第一液冷膜静止区180的内腔140分隔成进液流道142和出液流道141。具体地，在第二液冷膜静止区190中，部分第二刚性基体150沿宽度方向C延伸，部分第二刚性基体150沿长度方向B延伸，其中，沿长度方向B延伸的第二刚性基体150将位于沿宽度方向C两侧的内腔140分隔成进液流道142和出液流道141，沿宽度方向C延伸的第二刚性基体150用于与第三刚性基体160共同引导从泵200流出的冷却介质的流动。在第二液冷膜静止区190的进液流道142中，第三刚性基体160可呈条状和柱状，其中，呈条状的第三刚性基体160沿宽度方向C延伸，且呈条状的第三刚性基体160沿宽度方向C的两侧均设有呈柱状的第三刚性基体160。在第二液冷膜静止区190的出液流道141中，第三刚性基体160呈条状且沿长度方向B延伸。第二液冷膜静止区190的第一刚性基体130围设的区域基本呈矩形或者正方形。

在液冷膜弯折区170中，第二刚性基体150沿长度方向B延伸，第二刚性基体150将位于第二刚性基体150沿宽度方向C的两侧的内腔140分隔成进液流道142和出液流道141，其中进液流道142和出液流道141中的第三刚性基体160均呈条状且沿长度方向B延伸。液冷膜弯折区170的第一刚性基体130围设的区域基本呈条形。在本实施例中，液冷膜弯折区170内的液冷模组10采用跨轴设置，即液冷模组10跨越液冷膜弯折区170的主轴。

在第一液冷膜静止区180中，部分第二刚性基体150呈“倒C型”，部分第二刚性基体150呈条状且沿宽度方向C延伸。呈“倒C型”的第二刚性基体150将内腔140分隔成进液流道142和出液流道141，呈“倒 C型”的第二刚性基体150两侧的第三刚性基体160也呈“倒C型”。呈条状的第二刚性基体150的末端沿宽度方向C的一侧设有呈柱状的第三刚性基体160，且进液流道142和出液流道141在第三刚性基体160连通，以形成冷却循环。

在一实施方式中，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的厚度不相等，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160中的任意一个的厚度可为0.1mm至1mm。本方案有利于满足液冷模组10在不同应用环境下的架构空间需求。优选的，第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160中的任意一个的厚度可为0.15mm至0.3mm。

在一实施方式中，第一柔性膜110和第二柔性膜120的密度小于或者等于2g/ml。本方案有利于减轻液冷模组10的整体重量，同时使得第一柔性膜110和第二柔性膜120能够更加灵活地适应不同的架构环境。

请参阅图21，图21为本申请第二实施例提供的电子设备1的结构示意图，与第一实施例不同的是，在第二实施例中，液冷模组10可呈现出与第一实施例不同的形状。在一实施方式中，在第二液冷膜静止区190内，第一刚性基体130环绕液冷模组10的边缘设置，第二刚性基体150为两个“十”字型首尾相接的形状，且其中一个“十”字型的第二刚性基体150沿宽度方向C的两端呈弯曲状设置，最终使得内腔140呈现多个开口朝向不同的“C”字型首尾相接的形状。泵200位于第二液冷膜静止区190沿宽度方向C的一端，第二液冷膜静止区190中的第三刚性基体160均呈柱状，两端呈弯曲状设置的第二刚性基体150的其中一端与泵200相邻设置，且将内腔140分隔成进液流道142和出液流道141。在液冷膜弯折区170内，液冷模组10整体呈长条形，其中，第二刚性基体150呈条状设置且沿长度方向B延伸，位于第二刚性基体150沿宽度方向C两侧的第三刚性基体160呈条状设置且沿长度方向B延伸。在第一液冷膜静止区180内，液冷模组10整体呈长条形，其中，第二刚性基体150呈条状设置且沿长度方向B延伸，位于第二刚性基体150沿宽度方向C两侧的第三刚性基体160呈条状设置且沿长度方向B延伸，进液流道142和出液流道141在第一液冷膜静止区180内连通，以形成冷却循环。

请参阅图22，图22为本申请第二实施例提供的电子设备1的结构示意图，在另一实施方式中，在第二液冷膜静止区190内，第一刚性基体130环绕液冷模组10的边缘设置，泵200位于第二液冷膜静止区190内且沿长度方向B和宽度方向C靠近第一刚性基体130设置，第二刚性基体150先沿长度方向B延伸，然后沿宽度方向C延伸，再沿长度方向B延伸至液冷膜弯折区170，其中，第二刚性基体150远离液冷膜弯折区170且沿长度方向B延伸的一端靠近泵200设置，将内腔140分隔成进液流道142和出液流道141，在进液流道142中没有设置第三刚性基体160，在出液流道141中，第三刚性基体160沿长度方向B延伸且交错间隔设置，最终使得出液流道141呈现多个开口朝向不同的“C”字型首尾相接的形状。在液冷膜弯折区170内，第二刚性基体150呈条状设置且沿长度方向B延伸。在第一液冷膜静止区180内，进液流道142和出液流道141连通，以形成冷却循环，其中第一液冷膜静止区180内的第三刚性基体160与第二液冷膜静止区190内的第三刚性基体160的形状及分布特点均类似，此处不再赘述。

需要说明的是，第一实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系、结构描述适用于第二实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系和结构描述，此处不再赘述。

现有手机的VC/HP设计方案，VC盖板或热管管材为铜合金、不锈钢，密度为8.9g/ml,7.8g/mL，无法通过10-20万弯折测试(R～1.5mm)，无法实现穿轴或跨轴散热。使用跨轴/穿轴石墨材料散热，等效导热系数≤2000W/m·K。采用本申请实施例的柔性液冷膜组方案，等效导热系数也可达成5000W/m·K，可局部不厚度设计，局部可实现0.15mm厚度，适应芯片和架构空间需求。液冷膜膜材为改性PET等，密度≤2g/mL，可以实现更灵活架构设计，相比石墨散热能力提升50％以上。本申请实施例提供的液冷膜组比跨轴/穿轴石墨散热能力提升50％以上。

请参阅图23和图24，图23为本申请第三实施例提供的电子设备1的结构示意图，图24为本申请第三实施例提供的液冷模组10的局部结构示意图，与第一实施例不同的是，在第三实施例中，液冷膜弯折区170内的液冷模组10采用穿轴设置。在本实施例中，液冷模组10包括沿厚度方向A相对设置的第一表面300和第二表面400，位于液冷膜弯折区170内的液冷模组10设有两个间隔分布的弯曲部310，液冷模组10除弯曲部310以外的区域为基部320，两个弯曲部310的第一表面300和第二表面400朝基部320的第二表面400沿厚度方向A远离第一表面300的方向弯曲，两个弯曲部310与位于两个弯曲部310之间的基部320呈波纹状设置，两个弯曲部310与两个弯曲部310之间的基部320围合的区域用于穿设主轴。在电子设备1在折叠和展开的过程中，本方案能够减小液冷膜弯折区170在变形时产生的应力，从而提升用户体验。实际产品设计，可有多个弯曲部310、基部320，并可不对称设计。

请参阅图25，图25为本申请第三实施例提供的液冷模组10与柔性电路板40的结构示意图，在一种实施方式中，电子设备还包括柔性电路板40，柔性电路板40用于与电子功能组件电连接，其中，柔性电路板40和液冷模组10共同采用穿轴设置。在本实施方式中，位于液冷膜弯折区170内的液冷模组10贴合设置，柔性电路板40与液冷模组10均呈波纹状，共用穿轴空间，有利于减少液冷模组10与柔性电路板40之间的摩擦、碰撞和异响。在一实施方式中，可采用塑性变形的方法使柔性电路板40保持波纹形状。

在一实施方式中，柔性电路板40和液冷模组10之间部分或者全部设有气隙。本方案设置气隙能够有效避免弯折反弹力的问题。

需要说明的是，第一实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系、结构描述适用于第三实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系和结构描述，此处不再赘述。

请参阅图26和图27，图26为本申请第四实施例提供的液冷模组10的结构示意图，图27为本申请一实施例提供的电子设备的结构示意图。与第一实施例不同的是，在第四实施例中，液冷模组10相对于电子设备1是一个外部配件。在本实施例中，液冷模组10包括第一液冷膜静止区180、液冷膜弯折区170和第二液冷膜静止区190，其中液冷膜弯折区170包括两个第一弯折部171和一个第二弯折部172，第二弯折部172位于两个第一弯折部171之间，第二弯折部172的弯折程度大于第一弯折部171。当电子设备折叠时，电子设备产生形变的部分移动至第二弯折部172的表面形成的容纳空间，而第一弯折部171跟随电子设备产生形变。本方案通过将液冷模组10设置为外部配件，实现液冷模组10与电子设备的显示屏和电池等敏感器件之间解耦，使得液冷模组10的设计灵活，且更换更加便捷。

需要说明的是，第一实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系、结构描述适用于第四实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130、第二刚性基体150和第三刚性基体160的可实现方式、尺寸、位置关系和结构描述，此处不再赘述。

请参阅图28，图28为本申请第五实施例提供的电子设备1的结构示意图，与第一实施例不同的是，在第二实施例中，电子设备1为不可折叠的设备，电子设备1没有折叠状态。在本实施例中，液冷模件100包括第一柔性膜、第二柔性膜、第一刚性基体130和第二刚性基体150，第一刚性基体130环绕液冷模组10的边缘呈闭合设置。泵沿长度方向B靠近第一刚性基体130设置。泵200沿长度方向B远离第一刚性基体130的一侧设有第二刚性基体150，第二刚性基体150沿长度方向B延伸，位于第二刚性基体150沿宽度方向C两侧的内腔140被分隔为进液流道142和出液流道141。进液流道142和出液流道141在第二刚性基体150沿长度方向B远离泵200的一侧连通，以形成冷却循环。图28中示意了液体工质流动方向，两泵为并联设计，形成循环流动。

在一实施方式中，第一刚性基体130和第二刚性基体150的厚度不相等，第一刚性基体130和第二刚性基体150中的任意一个的厚度可为0.1mm至1mm。本方案有利于满足液冷模组10在不同应用环境下的架构空间需求。优选的，第一刚性基体130和第二刚性基体150中的任意一个的厚度可为0.15mm至0.3mm。

需要说明的是，第一实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130和第二刚性基体150的可实现方式、位置关系和结构描述适用于第五实施例中泵200、第一柔性膜110、第二柔性膜120、第一刚性基体130和第二刚性基体150的可实现方式、位置关系和结构描述，此处不再赘述。

现有直板机多采用VC/HP设计方案，VC/HP是指可变电导热管，等效导热系数5000W/m·K，等厚设计，厚度≥0.25mm。VC盖板或热管管材为铜合金、不锈钢，密度为8.9g/ml,7.8g/mL。在本申请实施例中采用柔性液冷膜方案，等效导热系数也可达成5000W/m·K，可局部不厚度设计，局部可实现0.15mm厚度，适应芯片和架构空间需求。液冷模件的材质为改性PET等，密度≤2g/mL，可以实现更灵活架构设计，更轻更高散热能力。也就是说与VC同样单体散热能力下，可不等厚设计，减重>50％。

请参阅图29，图29为本申请一实施例提供的液冷模组的示意图。在一实施方式中，液冷模件100中的冷却介质可以为单相冷却介质，或者为两种或多种颜色且互不相容的冷却介质，使得冷却介质流动的可视化更强，提升用户体验。

以上对本申请实施例所提供的液冷模组、液冷模件及电子设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施例进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施例及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims

一种液冷模组(10)，其特征在于，所述液冷模组(10)包括：

泵(200)，所述泵(200)包括泵基体(210)和固定于所述泵基体(210)的压电组件(220)，所述泵基体(210)设有泵进液口(211)和泵出液口(212)；

液冷模件(100)，所述液冷模件(100)包括液冷出液口(111)和液冷进液口(112)，所述液冷出液口(111)用于与所述泵进液口(211)连通，所述液冷进液口(112)用于与所述泵出液口(212)连通，所述液冷出液口(111)周侧的部分所述液冷模件(100)与所述泵进液口(211)周侧的部分所述泵基体(210)为一体化密封结构，所述液冷进液口(112)周侧的部分所述液冷模件(100)与所述泵出液口(212)周侧的部分所述泵基体(210)为一体化密封结构。
根据权利要求1所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述液冷出液口(111)周侧的部分所述液冷模件(100)中的至少部分与所述泵进液口(211)周侧的部分所述泵基体(210)的至少部分沿所述液冷出液口(111)的周向(D)连续融合为一体，以形成一体化密封结构。
根据权利要求1所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述泵基体(210)包括泵底壁(213)，所述泵底壁(213)与所述压电组件(220)以及两者之间的部分泵基体(210)围设构成泵腔(214)，所述泵进液口(211)和所述泵出液口(212)设于所述泵底壁(213)且与所述泵腔(214)连通，所述泵底壁(213)与所述液冷出液口(111)周侧以及所述液冷进液口(112)周侧的部分所述液冷模件(100)为一体化密封结构。
根据权利要求1所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述泵基体(210)还包括位于所述泵底壁(213)与所述压电组件(220)之间的泵侧壁(215)，所述泵侧壁(215)为一体化密封结构。
根据权利要求3所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述液冷模件(100)包括第一柔性膜(110)，所述液冷出液口(111)和所述液冷进液口(112)设置于所述第一柔性膜(110)，所述泵底壁(213)与所述液冷出液口(111)周侧以及所述液冷进液口(112)周侧的部分所述第一柔性膜(110)为一体化密封结构。
根据权利要求3所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述泵底壁(213)的材质的玻璃化转变温度与所述第一柔性膜(110)的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃；或者

所述泵底壁(213)的材质的熔融温度与所述第一柔性膜(110)的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃；或者

所述液冷出液口(111)周侧的部分所述液冷模件(100)的材质与所述泵进液口(211)周侧的部分所述泵基体(210)的材质相同，所述液冷进液口(112)周侧的部分所述液冷模件(100)的材质与所述泵出液口(212)周侧的部分所述泵基体(210)的材质相同。
根据权利要求3所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述泵底壁(213)的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料，所述泵底壁(213)的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种；

所述第一柔性膜(110)的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料，所述第一柔性膜(110)的材质选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。
根据权利要求7所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的单体包括对苯二甲酸、乙二醇和硬段分子结构，所述硬段分子结构占所述聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物的质量百分数的取值大于或者等于20％、且小于或者等于80％。
根据权利要求8所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述硬段分子结构选自2，5-呋喃二甲酸、碳酸二甲酯和2，6-萘二甲酸中的至少一种。
根据权利要求5所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述液冷模件(100)还包括第二柔性膜(120)和位于所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)之间的第一刚性基体(130)，所述第一柔性膜(110)、所述第二柔性膜(120)和所述第一刚性基体(130)围合构成所述液冷模件(100)的内腔(140)，所述第一刚性基体(130)的两端分别与所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)为一体化密封结构。
根据权利要求10所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述第一刚性基体(130)的材质的玻璃化转变温度与所述第一柔性膜(110)或者所述第二柔性膜(120)的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃；或者

所述第一刚性基体(130)的材质的熔融温度与所述第一柔性膜(110)或者所述第二柔性膜(120)的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。
根据权利要求10所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)中的至少一个包括两层子柔性膜层(115)和位于所述两层子柔性膜层(115)之间的防蒸散层(116)，所述防蒸散层(116)包括聚酰亚胺层、聚偏二氯乙烯层或者金属薄膜层中的至少一个。
根据权利要求10所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)中的至少一个远离所述内腔(140)的表面设有无机氧化薄膜(117)。
根据权利要求10所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述液冷模件(100)还包括第二刚性基体(150)，所述第二刚性基体(150)将所述液冷模件(100)的内腔(140)分隔为进液流道(142)和出液流道(141)，所述液冷进液口(112)与所述进液流道(142)连通，所述液冷出液口(111)与所述出液流道(141)连通，所述第二刚性基体(150)的两端分别与所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)为一体化密封结构。
根据权利要求14所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述液冷模件(100)还包括第三刚性基体(160)，所述第三刚性基体(160)分布于所述进液流道(142)和所述出液流道(141)内，所述第三刚性基体(160)的两端分别与所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)为一体化密封结构。
根据权利要求15所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述液冷模件(100)包括液冷膜弯折区(170)，所述液冷模件(100)通过所述液冷膜弯折区(170)折叠，所述第一刚性基体(130)、所述第二刚性基体(150)和所述第三刚性基体(160)中的至少一个设有增柔结构(131)，所述增柔结构(131)位于所述液冷膜弯折区(170)，所述增柔结构(131)用于提升所述液冷膜弯折区(170)的柔韧性。
根据权利要求16所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述第一刚性基体(130)的增柔结构(131)包括位于所述第一刚性基体(130)的侧壁上的凹槽(1311)，所述凹槽(1311)位于所述液冷膜弯折区(170)。
根据权利要求16所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述第二刚性基体(150)的增柔结构(131)包括沿第一方向(A)贯穿所述第二刚性基体(150)的通孔(1313)，所述通孔(1313)位于所述液冷膜弯折区(170)内，所述第一方向(A)为所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)的排列方向；或者

所述液冷模件(100)设有沿所述第一方向(A)贯穿所述第二刚性基体(150)、所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)的贯穿孔(1312)，所述贯穿孔(1312)位于所述液冷膜弯折区(170)内。
根据权利要求16所述的液冷模组(10)，其特征在于，所述第三刚性基体(160)的增柔结构(131)包括位于所述第三刚性基体(160)的开孔(1314)，所述开孔(1314)连通所述第三刚性基体(160)两侧的流道。
一种液冷模件(100)，其特征在于，所述液冷模件(100)包括第一柔性膜(110)、第二柔性膜(120) 和位于所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)之间的第一刚性基体(130)，所述第一柔性膜(110)、所述第二柔性膜(120)和所述第一刚性基体(130)围合构成所述液冷模件(100)的内腔(140)，所述第一刚性基体(130)的玻璃化转变温度与所述第一柔性膜(110)的材质的玻璃化转变温度的差值小于或者等于20℃；或者

所述第一刚性基体(130)的材质的熔融温度与所述第一柔性膜(110)的材质的熔融温度的差值小于或者等于20℃。
一种液冷模件(100)，其特征在于，所述液冷模件(100)包括第一柔性膜(110)、第二柔性膜(120)和位于所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)之间的第一刚性基体(130)，所述第一柔性膜(110)、所述第二柔性膜(120)和所述第一刚性基体(130)围合构成所述液冷模件(100)的内腔(140)，所述第一柔性膜(110)、所述第二柔性膜(120)和所述第一刚性基体(130)的材质选自断裂伸长率大于10％的柔性耐温聚合物材料，所述第一柔性膜(110)、所述第二柔性膜(120)和所述第一刚性基体(130)的材质各自独立地选自聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚2,5-呋喃二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮、双轴拉伸聚丙烯中的至少一种。
一种液冷模件(100)，其特征在于，所述液冷模件(100)包括第一柔性膜(110)、第二柔性膜(120)和位于所述第一柔性膜(110)和所述第二柔性膜(120)之间的刚性基体(101)；所述液冷模件(100)包括液冷膜弯折区(170)，所述液冷模件(100)通过所述液冷膜弯折区(170)折叠，所述刚性基体(101)设有增柔结构(131)，所述增柔结构(131)位于所述液冷膜弯折区(170)，所述增柔结构(131)用于提升所述液冷膜弯折区(170)的柔韧性。
一种电子设备(1)，其特征在于，包括如权利要求1-19任一项所述的液冷模组(10)，所述液冷模组(10)位于所述电子设备(1)内，或位于所述电子设备(1)的配件内；或者

包括如权利要求20-22任一项所述的液冷模件(100)，所述液冷模件(100)位于所述电子设备(1)内，或位于所述电子设备(1)的配件内。
如权利要求1所述的电子设备(1)，其特征在于，所述电子设备(1)包括第一非折叠部(11)、折叠部(12)和第二非折叠部(13)，所述第二非折叠部(13)通过所述折叠部(12)能够向所述第一非折叠部(11)折叠，所述液冷模件(100)包括液冷膜弯折区(170)，所述电子设备(1)折叠时，所述液冷模件(100)通过所述液冷膜弯折区(170)折叠，所述第一刚性基体(130)、所述第二刚性基体(150)和所述第三刚性基体(160)中的至少一个设有增柔结构(131)，所述增柔结构(131)位于所述液冷膜弯折区(170)，所述增柔结构(131)用于提升所述液冷膜弯折区(170)的柔韧性。