AT194570B - Einrichtung zur Erzeugung eines raumabschließenden Luftvorhanges - Google Patents

Einrichtung zur Erzeugung eines raumabschließenden Luftvorhanges

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1154252B (de) * 1957-06-08 1963-09-12 Rudolf Sterkel Abschirmung von Raumoeffnungen durch einen Luftschleier
DE1160997B (de) * 1958-10-14 1964-01-09 Svenska Flaektfabriken Ab Verfahren und Vorrichtung zur Sicherung der Abschirmwirkung eines Luftvorhanges zwischen zwei Raeumen
DE102010043087A1 (de) * 2010-10-28 2012-05-03 Dürr Systems GmbH Prozesskammer mit Vorrichtung zum Einblasen von gasförmigen Fluid

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DE102010043087A1 (de) * 2010-10-28 2012-05-03 Dürr Systems GmbH Prozesskammer mit Vorrichtung zum Einblasen von gasförmigen Fluid
US9316406B2 (en) 2010-10-28 2016-04-19 Duerr Systems Gmbh Process chamber incorporating an arrangement for injecting gaseous fluid thereinto

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