AT209955B - Verfahren zur Dotierung von Silizium für Halbleiteranordnungen - Google Patents
Verfahren zur Dotierung von Silizium für HalbleiteranordnungenInfo
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Description
<Desc/Clms Page number 1> Verfahren zur Dotierung von Silizium für Halbleiteranordnungen Für die Herstellung von Halbleiteranordnungen, wie Gleichrichtern, Fotodioden, Transistoren u. dgl. wird Halbleitermaterial, wie beispielsweise Germanium und Silizium, in grösseren Mengen benötigt. Für EMI1.1 keit und einen bestimmten Leitfähigkeitstypus zu geben. Es ist bekannt, sehr hochohmiges Silizium in Stabform als Ausgangsmaterial für Halbleiteranordnungen zu benutzen. Zu seiner weiteren Aufbereitung ist ihm für manche Zwecke ein Verunreinigungsstoff beizufügen. Für Germanium ist die Einbringung durch Zonenziehen bekannt. Die meisten dafür in Frage kommenden Dotierungsstoffe sind aber für Silizium weitgehend ungeeignet, da sie bei der Schmelztem peratur des Siliziums einen zu hohen Dampfdruck besitzen und ihr Verteilungskoeffizient zu stark von 1 EMI1.2 rung des Dotierungsmaterials und möglichst gleichmässige Verteilung über die Stablänge. Die damit verbundenen Schwierigkeiten können mit Hilfe der Erfindung überwunden werden. Die Erfindung bezieht sich dementsprechend auf ein Verfahren zur Dotierung von Silizium für Halb- leiteranordnungen, wie Gleichrichter, Transistoren, Fotodioden u. dgl. ErfindungsgemaB wird Dotierungmaterial enthaltendes Glas durch einen Erwlrmungsvorgang auf die Oberfläche eines Siliziumstabes aufgeschmolzen und dieser dann dem Zonenziehverfahren unterworfen. Vorteilhafterweise wird ein das Dotierungsmaterial enthaltender Glasfaden auf einen Siliziumstab aufgelegt und auf die Oberfläche des Siliziumstabes aufgeschmolzen. Der Glasfaden kann mit Hilfe von Wasserglas an den Stabenden aufgekittet werden. Zweckmissigerweist wird das Glas unter Schutzgas bei etwa 10000 C auf den Siliziumstab aufgeschmolzen. Wie sich gezeigt hat, kann bei dem erfindungsgem. Uen Verfahren mit reproduzierbaren Werten gerechnet werden. Es ist möglich, sowohl n- als auch p-dotierende Stoffe auf diese Weise in das Halbleiter- EMI1.3 Siliziumzirka 2 bis 3 a cm zu verwenden. Wird z. B. von einem Material mit einem spezifischen Widerstand von zirka 1200 0 cm ausgegangen, so lässt sich der geforderte Wert durch Einbringen von Verunreinigungen nach dem erfindungsgemässen Verfahren verhältnismässig einfach erreichen. Durch Auswahl des Gehaltes des Glases an Dotiemgsstoffen und der Starke der verwendeten Glasfaden lamst sich eine ziemlich exakte Dosierung der Dotierungsstoffe vornehmen. EMI1.4 p-leitender Silizium-stab von zirka 15 cm Länge und 12 mm Durchmesser habe einen spezifischen Widerstand von 1200 0 cm. Durch Bordotierung soll der spezifische Widerstand auf 2-3 n cm herabgesetzt werden, wobei der Leit- fahigkeitstyp erhalten bleibt. Zu diesem Zweck werden auf den Stab 3,8 mg borhaltiges Weichglas (AR- EMI1.5 <Desc/Clms Page number 2> mit dem Silizium verschmolzen. Bei zu kurzer Dauer des Schmelzvorganges besteht die Gefahr, dass das Glas wieder abspringt. Deshalb wird der Schmelzvorgang über etwa eine Stunde ausgedehnt und danach der Stab allmählich abgekühlt. Anschliessend wird der Stab, eventuell mehrfach, dem tiegelfreien Zonen- ziehverfahren unterzogen, wobei dasBor in das Silizium eindringt und in das Kristallgitter eingebaut wird, während die ändern Bestandteile des Glases reduziert werden und verdampfen. Soll eine n-Dotierung vorgenommen werden, so ist das oben geschilderte Verfahren dahingehend abzuwandeln, dass eine Glassorte Verwendung findet, die einen n-dotierenden Stoff enthält, Hiefür eignet sich beispielsweise borfreies Glas, das Phosphor-Verbindungen enthält. EMI2.1 dessen VeneilungskoeffizientEinkdstalles gleichmässig wird. PATENTANSPRÜCHE : 1. Verfahren zur Dotierung von Silizium für Halbleiteranordnungen, wie Gleichrichter, Transistoren u. dgl., dadurch gekennzeichnet, dass Dotierungsmaterial enthaltendes Glas durch einen Erwännungsvor- gang auf die Oberfläche eines Siliziumstabes aufgeschmolzen und dieser danach dem Zonenziehverfahren unterworfen wird.
Claims (1)
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein das Dotierungsmaterial enthaltender Glasfaden aufeinen Siliziumstab aufgelegt und aufdie Oberfläche des Siliziumstabes aufgeschrnolzen 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Glas unter Schutzgas bei etwa 10000C auf 4en Siliziumstab aufgeschmolzen wird.4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Erwärmungsvorgang etwa eine Stunde EMI2.2
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE209955X | 1958-06-14 |
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| AT311959A AT209955B (de) | 1958-06-14 | 1959-04-24 | Verfahren zur Dotierung von Silizium für Halbleiteranordnungen |
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|---|---|
| AT (1) | AT209955B (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1156384B (de) * | 1960-12-23 | 1963-10-31 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zum Dotieren von hochreinen Stoffen |
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1959
- 1959-04-24 AT AT311959A patent/AT209955B/de active
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