AT271132B - Anordnung zur Zerstäubung von Stoffen mittels einer elektrischen Niederspannungsentladung - Google Patents

Description

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  Anordnung zur Zerstäubung von Stoffen mittels einer elektrischen Niederspannungsentladung 
Bei der Zerstäubung von Stoffen durch Einbringen derselben in eine elektrische Gasentladung wird es als wesentlicher Nachteil empfunden, dass die Zerstäubungsgeschwindigkeit gering ist, weshalb   z. B.   die Herstellung dünner Schichten nach dem bekannten Kathodenzerstäubungsverfahren besonders zeitraubend ist. Man hat versucht, die Zerstäubung durch Erhöhung der Ionenenergie, d. h. durch
Anwendung hoher Beschleunigungsspannungen, zu intensivieren, doch erfordert dies teure
Hochspannungsanlagen, bringt eine grosse Verlustleistung an der Kathode mit sich, so dass diese unter
Umständen sogar schmelzen kann und dann infolge Sekundäremission von Elektronen aus der überhitzten Kathode nachteilige Rückwirkungen auf zu beschichtende Unterlagen haben kann. 



   Ein anderer entscheidender Nachteil der bekannten Zerstäubungstechnik besteht darin, dass sie fast durchwegs in einer Gasatmosphäre verhältnismässig hohen Druckes ausgeführt werden muss, damit genügend Ionen zur Verfügung stehen. Durch Anwendung von magnetischen Feldern, welche eine
Verlängerung der Bahn der Ladungsträger in der Entladung bewirken, ist es zwar gelungen, eine
Verbesserung zu erzielen, so dass bei niedrigeren Gasdrucken zerstäubt werden kann, jedoch erfordert auch dies einen erheblichen Aufwand. 



   Aus Vakuumtechnik   14. Jahrgang,   Heft 6, Seiten 173 bis 176, ist ferner eine Anordnung zur
Zerstäubung von Stoffen mittels einer elektrischen Niederspannungsentladung zwischen einer
Glühkathode und einer Anode bekannt, bei welcher das zu zerstäubende Gut als eine gegenüber der Anorde auf negativem Potential   befindliche   dritte Elektrode ausgebildet ist. Die Möglichkeit eine Niederspannungsentladung anzuwenden, bringt den Vorteil, dass diese leicht mit hohen Stromstärken betrieben werden kann und somit eine genügende Menge von Ionen für die Zerstäubung zur Verfügung gestellt wird.

   Die Erfindung hat eine vorteilhafte Ausgestaltung einer solchen Anordnung zum Gegenstand, die eine wesentliche Steigerung der Zerstäubungsrate mit sich bringt, keinen grossen Aufwand erfordert und ein sicheres Arbeiten bei noch tieferen Drücken als bisher zulässt. Sie ist dadurch gekennzeichnet, dass der zu behandelnde Oberflächenbereich des zu zerstäubenden Stoffes von der Anode umgeben ist. 



   Aus der deutschen Auslegeschrift 1188896 ist zwar eine Kathodenzerstäubungsanlage mit zwei Elektroden bekannt, wovon eine   z. B.   die Anode mit dem Gehäuse verbunden werden kann, welches die Zerstäubungseinrichtung umgibt. Dadurch wird an der Unwirtschaftlichkeit des klassischen Zerstäubungsverfahrens mit nur zwei Elektroden nichts geändert. 



   In zweckmässiger Ausgestaltung der Dreielektroden-Anordnung gemäss Patentanspruch wird vorteilhafterweise die den zu zerstäubenden Stoff umgebende Anorde ringförmig oder rahmenförmig ausgebildet. 



   Die Erfindung wird an Hand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert. In der Zeichnung bedeutet-l-das Gehäuse einer Vakuumanlage zur Herstellung dünner Schichten, die auf die auf 

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