AT281168B - Einrichtung zur Erhöhung der Dichte der mit einer eine Vielzahl von in einer Ebene quer zum Strahlengang nebeneinanderliegenden Einzellinsen aufweisenden Rasterlinsenkamera auf einer photoempfindlichen Schicht erzeugbaren, verkleinerten Vielfachabbildungen von Bearbeitungsschablonen - Google Patents

Einrichtung zur Erhöhung der Dichte der mit einer eine Vielzahl von in einer Ebene quer zum Strahlengang nebeneinanderliegenden Einzellinsen aufweisenden Rasterlinsenkamera auf einer photoempfindlichen Schicht erzeugbaren, verkleinerten Vielfachabbildungen von Bearbeitungsschablonen

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