AT324739B - Vorrichtung zum einbringen von in flüssigem kühlmedium vorbereiteten präparaten in vakuum-behandlungsanlagen - Google Patents

Vorrichtung zum einbringen von in flüssigem kühlmedium vorbereiteten präparaten in vakuum-behandlungsanlagen

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AT324739B
AT324739B AT837272A AT837272A AT324739B AT 324739 B AT324739 B AT 324739B AT 837272 A AT837272 A AT 837272A AT 837272 A AT837272 A AT 837272A AT 324739 B AT324739 B AT 324739B
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AT
Austria
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liquid cooling
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vacuum treatment
cooling media
preparations prepared
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Uwe Dipl Ing Dr Nat Tec Sleytr
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Leybold Heraeus Verwaltung
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
AT837272A 1971-10-08 1972-09-28 Vorrichtung zum einbringen von in flüssigem kühlmedium vorbereiteten präparaten in vakuum-behandlungsanlagen AT324739B (de)

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DE2150227A DE2150227C3 (de) 1971-10-08 1971-10-08 Verfahren zum Einbringen von in einem flussigen Kühlmittel vorbereiteten Präparaten in eine Vakuum-Behandlungsanlage und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH539847A (de) 1973-07-31
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