AT388884B - Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung - Google Patents

Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung

Info

Publication number
AT388884B
AT388884B AT23088A AT23088A AT388884B AT 388884 B AT388884 B AT 388884B AT 23088 A AT23088 A AT 23088A AT 23088 A AT23088 A AT 23088A AT 388884 B AT388884 B AT 388884B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
cleaning
gas discharge
different material
parts made
surface parts
Prior art date
Application number
AT23088A
Other languages
English (en)
Other versions
ATA23088A (de
Original Assignee
Miba Gleitlager Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Miba Gleitlager Ag filed Critical Miba Gleitlager Ag
Priority to AT23088A priority Critical patent/AT388884B/de
Priority to DE19893902418 priority patent/DE3902418A1/de
Priority to BR898900523A priority patent/BR8900523A/pt
Priority to ES8900399A priority patent/ES2010857A6/es
Publication of ATA23088A publication Critical patent/ATA23088A/de
Application granted granted Critical
Publication of AT388884B publication Critical patent/AT388884B/de

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/048—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using irradiation by energy or particles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021—Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
AT23088A 1988-02-05 1988-02-05 Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung AT388884B (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT23088A AT388884B (de) 1988-02-05 1988-02-05 Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung
DE19893902418 DE3902418A1 (de) 1988-02-05 1989-01-27 Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung
BR898900523A BR8900523A (pt) 1988-02-05 1989-02-03 Processo para limpeza de peca de trabalho metalica,processo para limpeza de mancal deslizante e mancal deslizante de colar
ES8900399A ES2010857A6 (es) 1988-02-05 1989-02-03 Procedimiento para limpiar una pieza de trabajo metalica con partes superficiales de material diferente mediante bombardeo de iones de una descarga gaseosa.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT23088A AT388884B (de) 1988-02-05 1988-02-05 Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
ATA23088A ATA23088A (de) 1989-02-15
AT388884B true AT388884B (de) 1989-09-11

Family

ID=3485008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT23088A AT388884B (de) 1988-02-05 1988-02-05 Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung

Country Status (4)

Country Link
AT (1) AT388884B (de)
BR (1) BR8900523A (de)
DE (1) DE3902418A1 (de)
ES (1) ES2010857A6 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2141005C1 (ru) * 1997-03-28 1999-11-10 Баранов Александр Михайлович Способ уменьшения шероховатости поверхности и устройство для его осуществления

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3508004A1 (de) * 1984-03-06 1986-07-10 ASM-Fico Tooling B.V., Herwen Verfahren und vorrichtung zum reinigen von formen
US4668366A (en) * 1984-08-02 1987-05-26 The Perkin-Elmer Corporation Optical figuring by plasma assisted chemical transport and etching apparatus therefor

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3170974D1 (en) * 1981-02-16 1985-07-25 Ibm Method for increasing the resistance of a solid material surface against etching
JPS62240776A (ja) * 1986-04-11 1987-10-21 Canon Inc エツチングマスクパタ−ンの作製方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3508004A1 (de) * 1984-03-06 1986-07-10 ASM-Fico Tooling B.V., Herwen Verfahren und vorrichtung zum reinigen von formen
US4668366A (en) * 1984-08-02 1987-05-26 The Perkin-Elmer Corporation Optical figuring by plasma assisted chemical transport and etching apparatus therefor

Also Published As

Publication number Publication date
BR8900523A (pt) 1989-10-03
ATA23088A (de) 1989-02-15
ES2010857A6 (es) 1989-12-01
DE3902418C2 (de) 1990-11-22
DE3902418A1 (de) 1989-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3787595D1 (de) Verfahren zum entfernen von unerwuenschten teilchen von der oberflaeche eines substrats.
DE69218133D1 (de) Verfahren zum Reinigen eines schädlichen Gases
DE69308638D1 (de) Verfahren zur Ultraschallreinigung eines Werkstücks
DE4491316T1 (de) Verfahren zum Steuern der Zufuhr eines Konditioniermittels zu einem elektrostatischen Abscheider
DE69702452D1 (de) Verfahren zum behandeln eines scheibens mit einem plasmastrahl
DE69133549D1 (de) Verfahren zum Herstellen eines Metallkontaktes
DE69426791D1 (de) Verfahren zur Bearbeitung der Oberfläche eines beschichteten Substrats
DE69005592D1 (de) Verfahren zum verhindern einer falschen projektion eines laserstrahles in einem laserroboter.
DE69220617D1 (de) Verfahren zur Rückgewinnung eines Platingruppenmetalls
DE69216637D1 (de) Verfahren zur oberflächenbehandlung eines werkstückes
DE3480940D1 (de) Verfahren zur abscheidung eines metalles auf einer oberflaeche.
ATA5482A (de) Verfahren zum entspannen eines aus polysulfonpolymeren bestehenden gegossenen oder gezogenen formkoerpers
DE59304702D1 (de) Verfahren zum beloten einer metallischen struktur, insbesondere von teilbereichen eines wabenkörpers
DE3681077D1 (de) Verfahren zum reinigen eines werkstuecks nach maschineller bearbeitung mit einem schneidenden instrument.
DE69006028D1 (de) Verfahren zum Löten eines Wabenkörpers.
DE3675706D1 (de) Verfahren zum spanabhebenden bearbeiten der oberflaeche eines nockens.
DE68927628D1 (de) Methode zur Reduktion der Oberflächenreflektivität einer Metallschicht während der Bearbeitung eines Halbleiterbauteils
AT381121B (de) Verfahren zum entzundern eines metallgegenstandes
DE58904435D1 (de) Verfahren zum verformen eines metallstueckes.
DE3675965D1 (de) Verfahren zum entfernen einer oberflaechenschicht von einem metallfluorid-glas.
DE69302233D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Werkstückhalten durch Einfrieren
ATA23088A (de) Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung
DE69109039D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen eines Blattes oder einer Schicht von einem Werkstück.
DE69810503D1 (de) Verfahren zum beschichten eines metallischen substrates mit einem thermoplastischen material
DE69506484D1 (de) Verfahren zur zerstörungsfreien Kennzeichnung des Oberflächenzustandes eines Werkstücks

Legal Events

Date Code Title Description
REN Ceased due to non-payment of the annual fee