AT400492B - Uv-taugliches trockenobjektiv für mikroskope - Google Patents

Description

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Die bisher bekannten UV-tauglichen Objektive lassen sich in zwei Klassen einteilen: - Trockenobjektive mit relativ kleinem Abbildungsmaßstab und niedriger Apertur, z.B. 10-facher Vergrößerung und einer numerischen Apertur von 0,25; - Immersionsobjektive mit relativ großem Abbildungsmaßstab und hoher Apertur, z.B. 100-facher Vergrößerung und einer numerischen Apertur von 0,85.

Es sind jedoch keine hochaperturigen Trockenobjektive bekannt, die gleichzeitig UV-tauglich sind und einen relativ hohen Arbeitsabstand besitzen. Der Grund hierfür ist darin zu sehen, daß je großer der Arbeitsabstand eines solchen Objektives gefordert ist, umso schwieriger es ist, die Korrektion vor allem von Öffnungsfehler und Gaußfehler sicherzustellen. Denn ein UV-durchlässiges Objektiv erfordert eine Korrektion über einen sehr großen Spektralbereich, und andererseits stehen für diese Aufgabe nur sehr wenige UV-durchiässige Gläser zur Verfügung.

Nun werden aber beispielsweise für Strukturbreitenmessungen an unbedeckten Objekten, wie z.B. den Wafern in der Halbleiterindustrie, zunehmend Objektive gefordert, mit denen sich die zu beobachtenden Strukturen in einer Größenordnung von unter 1 um ausreichend gut auflösen lassen. Die Objektive sollen im sichtbaren Spektralbereich bis zu einem Bildfeld von 25 mm Durchmesser korrigiert sein, damit das Objekt visuell beobachtet und auf die Oberfläche fokussiert werden kann. Für die eigentliche Objektvermessung ist dann ein automatischer konfokaler Strahlscan bei einer diskreten Wellenlänge im UV-Bereich vorgesehen, um das Auflösungsvermögen zu erhöhen. Objektive für diesen Zweck sollen einen Abbildungsmaßstab von ß = -60 bis ß = -100 besitzen und eine Apertur von mindestens 0,7. Außerdem wird gefordert, daß sie ein geebnetes Bildfeld besitzen und möglichst verzeichnungsfrei sind.

Wie eingangs erwähnt sind die bisher bekannten Objektive für diesen Zweck nicht geeignet.

In der DE-OS 36 33 088 ist ein UV-taugliches Mikroskopobjektiv aus neun Linsen beschrieben, das jedoch nur bis zu einer Wellenlänge von 450 nm brauchbar ist.

Das in der SU-PS 58 42 74 genannte, angeblich UV-taugliche Mikroskopobjektiv aus elf Linsen ist bezüglich seiner Konstruktionsparameter und des Korrekturzustandes nicht spezifiziert.

In der US-PS 42 00 352 und in der EP-A2 269 926 sind UV-taugliche Objektive beschrieben, die jedoch eine geringe Apertur und einen niedrigen Abbildungsmaßstab besitzen. Hier stellt die Korrektion des Öffnungsfehlers über den Spektralbereich kein Problem dar. in der EP-A2-284 414 ist ein UV-Objektiv für Waferstepper beschrieben. Dieses Objektiv ist jedoch nur für den UV-Bereich korrigiert.

Weiterhin sind hochaperturige Trockenobjektive für Mikroskope bekannt, für die sich die sphärische Aberration durch Verschieben von Linsengliedern auf Deckgläser mit unterschiedlichen Dicken einstellen laßt. Solche Objektive sind beispielsweise in der DE-OS 26 02 730 und in der US-PS 46 66 256 beschrieben. Diese Objektive sind jedoch für den beschriebenen Anwendungsfall nicht geeignet, da sie einmal nicht für den UV-Bereich korrigiert sind und zum änderen dort der Öffnungsfehler nicht gezielt für eine bestimmte Wellenlänge optimiert werden kann.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden' Erfindung, ein hochaperturiges, UV-taugliches Objektiv für Mikroskope zu schaffen, das sowohl im sichtbaren Spektralbereich ausreichend gut korrigiert ist, das jedoch darüber hinaus auch für mehrere Wellenlängen im UV-Spektralbereich hinsichtlich des Öffnungsfehlers so gut korrigiert ist, daß sich ein Meßstrahl vom Objektiv beugungsbegrenzt fokussieren läßt.

Diese Aufgabe wird für ein UV-taugliches Trockenobjektiv für Mikroskope dadurch gelöst, daß das Objektiv mit einer Apertur größer als 0,7 und einem Abbiidungsmaßstab von mindestens 60 mal bezüglich des Öffnungsfehlers für den sichtbaren Spektraibereich und gleichzeitig für eine ausgewählte UV-Wellenlän-ge korrigiert ist, daß das Objektiv ein erstes, eine Linse oder Linsengruppe aufweisendes Teil und ein zweites, eine Linsengruppe aufweisendes Teil umfaßt und daß das erste und zweite Teil gegeneinander verschiebbar sind, wobei die ausgewählte UV-Wellenlänge, bei der der Öffungsfehler korrigiert ist, von dem veränderlichen Luftabstand zwischen der Linse oder Linsengruppe des ersten Teils und der Linsengruppe des zweiten Teils abhängt.

Die Erfindung geht von der Überlegung aus, daß es nicht unbedingt notwendig ist, das Objektiv hinsichtlich des Öffnungsfehlers so zu korrigieren, daß sich ein beugungsbegrenzter Fokusdurchmesser über den gesamten nutzbaren Spektralbereich ergibt. Es ist vielmehr ausreichend, bei gleichzeitig guter Korrektion des sichtbaren. Spektralbereichs das Objektiv für eine einzelne ausgewählte UV-Wellenlänge optimal zu korrigieren, wenn sich diese Wellenlänge, bei der das Objektiv optimal korrigiert ist, verändern läßt. Denn auch auf diese Art und Weise läßt sich das Objektiv an die unterschiedlichen, in der Haibleiterindustrie verwendeten mehr oder weniger monochromatischen UV-Strahlquellen anpassen.

Es hat sich nun gezeigt, daß sich der Öffnungsfehler tatsächlich bei gleichzeitig bleibender guter Korrektion im sichtbaren Spektralbereich für verschiedene UV-Welienlängen optimieren läßt, wenn der Luftabstand zwischen den Linsen oder Linsengruppen zweier gegeneinander verschiebbarer Teile des Objektivs geändert wird. 2

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Auf diese Weise läßt sich die Korrektion des Objektivs im gesamten UV-Spektralbereich an die verwendete, zu fokussierende Strahiquelle anpassen.

Hierbei ist es besonders zweckmäßig, wenn der Öffnungsfehler des Objektivs so korrigiert ist, daß Änderungen des Öffnungsfehlers in Abhängigkeit von der Wellenlänge, d.h. der Gaußfehler, jeweils in Richtung auf den längerwelligen sichtbaren Spektralbereich und in Richtung auf den kürzerwelligen UV-Bereich in beiden Fällen das gleiche Vorzeichen besitzen.

In den einleitend genannten bekannten Trockenobjektiven mit Deckglaskorrektur erfolgt der Eingriff auf den Öffnungsfehler in der Weise, daß ein Luftraum im Objektiv variiert wird, der Glieder mit vergleichbar großen Brechkräften trennt. Denn bisher wurde vereinfacht angenommen, daß die Flächenbelastungen der feststehenden Linsengruppe konstant bleiben und nur die gegenüber der feststehenden Gruppe verschobene, z.B. hintere Linsengruppe, den Öffnungsfehler verändert. Dies gilt jedoch nur, wenn sich der Arbeitsabstand des Gesamtobjektives beim Nachfokussieren nach der Korrekturverstellung eines Linsengliedes nicht ändert. Eine Abstandsvariation in der Frontgruppe eines Objektives, wo der Öffnungsstrahl im allgemeinen noch stark divergent verläuft, verändert jedoch den Arbeitsabstand des gesamten Objektives schon merklich. Dadurch ändern sich auch die Inzidenzwinkel im vorderen feststehenden Objektivteil, das somit einen weiteren Beitrag zur gesamten Bildfehleränderung leistet.

Es ist deshalb zweckmäßig ein solcher Luftabstand als veränderbar ausgewählt, daß die durch eine Verschiebung des hinteren Teils b des Objektivs bewirkte Änderung des Öffnungsfehlers und der Beitrag, den der vordere Teil a des Objektivs zum Öffnungsfehler beim anschließenden Nachfokussieren liefert, das gleiche Vorzeichen besitzen. Beide Beiträge zum Öffnungsfehler kompensieren sich somit nicht, sondern verstärken sich. Denn dann läßt sich der gewünschte Eingriff auf den Öffnungsfehler mit relativ kleinen Luftraumänderungen im Objektiv bewerkstelligen und die Grundkorrektion des Objektivs, d.h. die übrigen Bildfehler, ändern sich nur sehr wenig. Außerdem wird mit dieser Maßnahme der ohnehin schon meist knappe Arbeitsabstand des Objektivs durch die Korrekturbewegung nicht nochmals verringert.

Es ist weiterhin zweckmäßig, wenn Abstandsänderungen des veränderlichen Luftabstandes die Wellenlängen, für die der Öffnungsfehler optimal korrigiert ist, im UV-Bereich und im sichtbaren Spektralbereich gleichzeitig in entgegengesetzter Richtung verschieben.

Zweckmäßig ist es auch, wenn sich der Öffnungsfehler im UV-Bereich bis mindestens zu einer Wellenlänge von 260 nm beugungsbegrenzt korrigieren läßt.

Bei konkret offenbarten Ausführungsbeispielen besitzt das Objektiv zwischen elf und dreizehn Linsen, wobei die Linsen aus Suprasil und Flußspat bestehen. Dabei kann das Objektiv in Lichtenfallsrichtung gesehen folgenden Aufbau besitzen: eine konkav-konvexe, als Einzellinse oder Kittglied ausgebildete Frontlinse: eine sammelnde, aus einer konkav-konvexen Einzellinse und einem konkav-konvexen Kittglied oder nur aus einem konkav-konvexen Kittglied bestehende Linsengruppe: eine sammelnde Einzellinse: ein erstes aus drei Linsen bestehendes Kittglied: ein zweites aus drei Linsen bestehendes Kittglied und eine in größerem Luftabstand dazu angeordnete zerstreuende Einzellinse oder ein zerstreuendes Kittglied.

Bei besonders bevorzugten Ausführungsbeispielen besitzt das Objektiv die in einer der nachfolgenden Tabellen i, II, III oder IV angegebenen Daten.

Mit den erfindungsgemäßen Maßnahmen ist es möglich, ein gut korrigiertes, UV-taugliches Trockenobjektiv mit einer Apertur von mindestens 0,7 und einem Abbildungsmaßstab von größer als 60x aus elf bis dreizehn Linsen aufzubauen. Diese Linsen bestehen zweckmäßig aus den Glasarten Suprasil und Flußspat, so daß das Objektiv im Spektralbereich zwischen dem langwelligen sichtbaren Spektralbereich von ca. 650 nm bis in den UV-Bereich bei etwa 240 nm gut verwendbar ist.

Nachfolgend werden vier Ausführungsbeispieie der Erfindung anhand der Fig. 1 - 15 der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Fig. 1 - 4 stellen Linsenschnitte der vier Ausführungsbeispiele für das Objektiv dar: in den Fig. 5-8 sind die Korrektionskurven der Objektive aus Fig. 1-4 dargestellt: die Fig. 9-12 sind Diagramme, in denen die für eine optimale Korrektur des Öffnungsfehlers bei verschiedenen Wellenlängen notwendigen Luftabstandsänderungen Ad für verschiedene Luftabstände di der Objektive aufgetragen sind; Fig. 13 stellt jeweils für verschiedene Wellenlängen die Intensitätsverteilung des Airy-Beugungsscheibchens des Objektivs aus Fig. 1 bei festem Luftabstand d7 dar; Fig. 14 stellt den Durchmesser des Airy-Scheibchens des Objektivs aus Fig. 1 für die verschiedenen Wellenlängen dar, wobei der Luftabstand d7 jeweils im Hinblick auf minimalen Öffnungsfehler eingestellt ist; Fig. 15 ist der Linsenquerschnitt des mit den Objektiven nach Fig. 1 - 4 verwendeten Tubuslinsensystems.

Alle in Fig. 1-4 dargestellten Objektive haben gemeinsam, daß mit mehreren Linsen oder Kittgliedern in dem Frontteil a zunächst die Öffnungsstrahien annähernd kollimiert werden und dann die verbleibenden Bildfehler vor allem durch verschiedene Kombinationen von Einzellinsen und Kittgliedern mit geringerer Brechkraft in dem hinteren Teil b korrigiert werden. Eine Feldlinse im hinteren Objektivteil korrigiert die Petzvalsumme und andere feldabhängigen Bildfehler. Die Objektive unterscheiden sich jedoch bezüglich 3 ΑΤ 400 492 Β des Arbeitsabstandes, in der Linsenzahl und im Aufbau der Kittglieder.

Das Ausführungsbeispiel in Fig. 1 besitzt eine konkav-konvexe Frontiinse L1, auf die eine ebenfalls konkav-konvexe Einzeliinse L2 folgt. Hieran schließt sich ein Kittgiied bestehend aus einer bikonkaven Linse L3 und einer bikonvexen Linse L4. Diese vier Linsen bilden den ersten, feststehenden Teil a des Objektivs.

Hieran schließt sich, durch den Luftspalt d7 getrennt, der zweite gegenüber dem Teil a verschiebliche Teil b des Objektivs an. Dieser besitzt folgenden Aufbau: auf eine konkav-konvexe Einzellinse L5 folgt ein Kittglied aus drei Linsen, nämlich zwei bikonvexen Sammellinsen L6 und L8, zwischen denen eine bikonkave Zerstreuungslinse L7 eingeschiossen ist. Auf das erste Kittglied folgt ein zweites, ebenfalls aus drei Linsen bestehendes Kittglied. Dieses besteht wiederum aus zwei bikonvexen Linsen L9 und L11, die eine bikonkave Linse L10 einschließen. Hierzu ist mit relativ großem Luftabstand d17 eine konkav-konvexe Einzellinse L12 angeordnet. Diese Feidlinse L12 korrigiert im wesentlichen die Petzvalsumme und andere feldabhängige Bildfehler.

Das Objektiv nach Fig. 1 besitzt die in Tabelle I angegebenen Daten. Die zugehörigen Korrektionskurven für die sphärische Aberration, Verzeichnung und Astigmatismus sind in Fig. 5 dargestellt. Hier bleibt anzumerken, daß die sphärische Aberration und der Astigmatismus in Raleigheinheiten angegeben sind, während die Verzeichnung in Prozent angegeben ist. Das Objektiv ist auf Schnittweite unendlich korrigiert und erzeugt sein Zwischenbild ZB in Verbindung mit einer UV-Tubuslinse mit einer Brennweite f = 164,6 mm. Diese Tubuslinse ist in Fig. 15 dargestellt. Sie besteht aus einer Sammellinse 101 und einer Zerstreuungslinse 102. Mit 103 ist das vom Abbildungsstrahlengang durchsetzte Prisma im Binokulartubus des Mikroskops bezeichnet. Die Konstruktionsparameter des Tubuslinsensystems sind in Tabelle V aufgelistet.

Tabelle V

Nr. Radius r/mm Dicke/Luftabstand d/mm Glasart 121 07.4600 5.700 SPL 122 -42.1700 1.130 123 -40.3880 3.800 FL 124 -281.8400 9.001 125 PLAN 42.040 SPL 126 PLAN 119.300 SPL = = Suprasii FL = -lußspat

In Fig. 9 sind die Abstandsänderungen Ad in mm über der Wellenlänge WL aufgetragen, die erforderlich sind, um den Öffnungsfehler durch eine Variation der Luftabstände d2, d7, d9 oder d4 für die betreffende Wellenlänge zu minimieren. Man erkennt deutlich, daß der Abstand d2 für diesen Zweck ungünstig ist, da an dieser Stelle zu große Variationen des Abstandes für den erstrebten Zweck erforderlich wären. Der Abstand d9 ist ebenfalls ungünstig, da die entsprechende Kurve einen Wendepunkt besitzt und die für eine Optimierung im UV-Bereich nötige Abstandsänderung vom Vorzeichen her entgegengesetzt zu der für den sichtbaren Bereich erforderlichen verläuft. Hingegen sind die Abstände d4 und d7 gut geeignet, da zum einen sehr viel geringere Abstandsändetungen zur Anpassung an die verschiedenen Wellenlängen ausreichend sind und zum anderen die Kurven im gesamten Spektralbereich keinen Wendepunkt besitzen, so daß bei Optimierung des Öffnungsfehlers im UV-Bereich zwischen 240 und etwa 280 nm der Öffnungsfehler auch im sichtbaren Spektralbereich gut korrigiert bleibt. Im konkreten Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 werden die beiden relativ zueinander verschiebbaren Teile a und b des Objektivs durch den Luftabstand d7 getrennt.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 unterscheidet sich von dem nach Fig. 1 dadurch, daß die Frontlinse als Kittglied aus den beiden Linsen L1 und L2 besteht. Hierdurch lassen sich die aperturabhängigen Fehler gleich in der Frontgruppe deutlich minimieren, so daß die Grundkorrektion dieses Objektivs, wie aus den Kurven nach Fig. 6 hervorgeht, von vornherein besser ist. Die Linsendaten sind in Tabelle II aufgeführt.

Zur Optimierung des Öffnungsfehlers für verschiedene UV-Wellenlängen eignen sich die Luftabstände d3 und d5. Dies geht aus der graphischen Darstellung nach Fig. 10 deutlich hervor. Auch der Luftabstand d8 ist für diesen Zweck noch geeignet. Denn in den drei dargestellten Fällen sind nur relativ geringe Variationen der Luftabstände nötig, wobei zur Optimierung des Öffnungsfehlers sowohl zum kürzerwelligen UV als auch zum längerwelligen sichtbaren Spektralbereich hin die Abstandsänderungen in die gleiche 4

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Richtung verläuft.

Das Objektiv im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 besitzt in der Frontlinsengruppe eine Linse weniger. Dort schließt sich direkt an die Frontlinse L1 das aus den beiden Linsen L2 und L3 bestehende konkavkonvexe Kittglied an. Hierdurch ist die Korrektion von Öffnungsfehler und Gaußfehler stark erschwert und 5 auch die Koma ist nicht mehr so gut zu korrigieren. Bezüglich des Öffnungsfehlers ist dies in den Korrektionskurven nach Fig. 7 zu erkennen. Weiterhin besitzt das aus den drei Linsen L8, L9 und L10 bestehende, zweite Kittgiied vom Vorzeichen her andere Radien als das entsprechende, aus den Linsen L9, L10 und L11 gebildete Kittglied im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Während dort nämlich eine zerstreuende Linse von zwei Sammellinsen eingeschlossen ist, ist im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 eine Sammellin-10 se, nämlich die Linse L9, von zwei Zerstreuungslinsen L8 und L10 eingeschlossen. Die Konstruktio’nspara-meter dieses Ausführungsbeispiels sind in Tabelle III aufgeführt.

Zur Optimierung des Öffnungsfehlers auf verschiedene Wellenlängen im UV-Bereich sind für dieses Ausführungsbeispiei die Luftabstände d2 und d5 geeignet. Dies ergibt sich aus der graphischen Darstellung nach Fig. 11, wo die zur Minimierung des Öffnungsfehlers auf die betreffende Wellenlänge nötige 15 Abstandsänderung Ad für die Luftabstände d2 und d5 über der Wellenlänge aufgetragen ist. Aus fertigungstechnischen Gründen wird man bei diesem Objektiv den Luftabstand d5 variieren. Die anderen Luftabstände d7 und d1.1 sind für den beschriebenen Zweck nicht geeignet, da der Öffnungsfehler auf eine Abstandsänderung an dieser Stelle viel zu unempfindlich reagiert.

Das Ausführungsbeispiel in der Darstellung nach Fig. 4 entspricht im wesentlichen dem nach Fig. 1 mit 20 dem Unterschied, daß im zweiten Kittgiied, das aus drei Linsen L9, L10 und L11 besteht, auch wieder zwei Radien bezüglich ihres Vorzeichens vertauscht sind, so daß anstelle der Zerstreuungslinse L10 in Fig. 1 hier eine Sammellinse von zwei Zerstreuungslinsen eingeschlossen ist. Außerdem ist hier für die Feldlinse ein Kittglied gewählt. Durch diese Maßnahmen ist, allerdings auf Kosten des Arbeitsabstandes, die Korrektion . etwas besser als im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Die entsprechenden Korrektionskurven für das 25 Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 sind in Fig. 8 dargestellt und die Konstruktionsparameter in Tabelle IV aufgelistet.

Wie aus der Darstellung nach Fig. 12 hervorgeht, eignen sich bei diesem Objektiv die Luftabstände d4 und d2 zur Optimierung des Öffnungsfehlers im UV-Bereich. Die Abstände d7 und d9 sind weniger geeignet, da hier entweder zu große Änderungen gefordert werden d7 bzw. die erforderliche Abstandsvaria-30 tion im UV-Bereich in eine andere Richtung läuft als im sichtbaren Spektralbereich d10.

Die Arbeitsabstände der Objektive nach Fig. 1 bis Fig. 4 sind in den zugehörigen Tabellen I bis IV zu Anspruch 8, in denen alle Konstruktionsparameter aufgelistet sind, mit angegeben. Die dort ebenfalls angegebenen Bereiche für die Aperturen von 0,8 bis 0,88 ergeben sich aus dem großen Spektralbereich, für den diese Objektive korrigiert sind. Sie sind so zu verstehen, daß die Apertur von 0,8 jeweils für den 35 sichtbaren Spektralbereich und die höhere Apertür von zwischen 0,86 und 0,88 für den UV-Bereich gilt. Für die Linsen sind im übrigen ausnahmslos die beiden Glasarten Suprasil und Flußspat verwendet, die folgende Brechungsindices nd und Dispersionen *d besitzen: Suprasil nd = 1.4585, ?d = 67,3; Flußspat nd = 1.4339, rd = 95,2.

In einem Vergleich zwischen den Fig. 13 und 14 läßt sich sehr gut erkennen, welche Vorteile durch die 40 von der Erfindung vorgeschlagenen Maßnahmen erzielt werden können. Dargestellt ist in beiden Fällen die räumliche Intensitätsverteilung des Airy-Scheibchens des Objektivs im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Der mittlere Durchmesser des Airy-Scheibchens ist ein gutes Maß dafür, ob bzw. wie gut sich ein kollimierter Lichtstrahl vom Objektiv beugungsbegrenzt fokussieren läßt. Hält man den Luftabstand d7 des Objektivs nach Fig. 1 konstant bei d7 = 0,18 mm, so ergibt sich zwar für die Wellenlänge WL = 302 nm ein 45 . scharfer, beugungsbegrenzter Fokus. Für die übrigen Wellenlängen und insbesondere die UV-Wellenlängen WL = 237,8 nm und WL = 248,2 nm ist der Fokusspot jedoch stark verbreitert aufgrund des dort nicht optimal korrigierten Öffnungsfehlers. Dies läßt sich in Fig. 13 klar erkennen.

Wird hingegen der Luftabstand d7 entsprechend dem in Fig. 9 aufgetragenen Zusammenhang auf die gewünschten Wellenlängen z.B. WL = 237,8 nm oder WL = 248,2 nm eingestellt, so ergeben sich auch 50 für diese Wellenlängen beugungsbegrenzte Fokii, die eine hochauflösende Vermessung von z.B. Waferstrukturen erlauben. Für die Objektive ist deshalb eine Korrektionsfassung vorgesehen, mit deren Hilfe in an sich bekannter Weise die beiden Teile a und b des Objektivs zur Abstimmung auf die gewünschte Wellenlänge verschoben werden können. Der Einstellring der Korrektionsfassung ist deshalb zweckmäßig mit einer Wellenlängen-Skala markiert. 55 Es ist klar, daß eine solche Korrektionsfassung außerdem gekoppelt sein kann mit einer Einrichtung, die eine etwaige Verschiebung der Fokuslage infolge der Korrektionsbewegung durch ein Verschieben des gesamten Objektives ausgleicht. Solche Korrektionsfassungen sind von ihrem mechanischen Aufbau her an sich bekannt und werden deshalb an dieser Stelle nicht näher beschrieben. 5

Claims (9)

1. Patentansprüche: 1. UV-taugliches Trockenobjektiv für Mikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv mit einer Apertur größer als 0,7 und einem Abbildungsmaßstab von mindestens 60 mal bezüglich des Öffnungsfehlers für den sichtbaren Spektralbereich und gleichzeitig für eine ausgewählte UV-Wellenlän-ge korrigiert ist, daß das Objektiv ein erstes, eine Linse oder Unsengruppe aufweisendes Teil (a) und ein zweites, eine Linsengruppe aufweisendes Teil (b) umfaßt und daß das erste Teil (a) und das zweite Teil (b) gegeneinander verschiebbar sind, wobei die ausgewählte UV-Wellenlänge, bei der der Öffnungsfehler korrigiert ist, von dem veränderlichen Luftabstand (d7;d5;d4) zwischen der Unse oder Linsengruppe des ersten Teils (a) und der Unsengruppe des zweiten Teils (b) abhängt,
2. 2. Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Abstandsänderungen des veränderlichen Luftabstandes (d7; d5; d4) die Wellenlängen, für die der Öffnungsfehler optimal korrigiert ist, im UV-Bereich und im sichtbaren Spektralbereich gleichzeitig in entgegengesetzter Richtung verschieben.
3. 3. Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Änderungen des Öffnungsfehlers in Abhängigkeit von der Wellenlänge jeweils in Richtung auf den längerwelligen sichtbaren Spektralbereich und in Richtung auf den kürzerwelligen UV-Bereich in beiden Fällen das gleiche Vorzeichen besitzen.
4. 4. Objektiv nach Anspruch 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Öffnungsfehler im UV-Bereich bis mindestens zu einer Wellenlänge von 260 nm beugungsbegrenzt korrigieren läßt.
5. 5. Objektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die durch eine Verschiebung des hinteren Teils (b) des Objektivs bewirkte Änderung des Öffnungsfehlers und der Beitrag, den der vordere Teil (a) des Objektivs zum Öffnungsfehler beim anschließenden Nachfokussieren liefert, das gleiche Vorzeichen besitzen.
6. 6. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv zwischen elf und dreizehn Unsen besitzt, wobei die Unsen aus Suprasil und Flußspat bestehen.
7. 7. Objektiv nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv in Uchteinfailsrichtung gesehen folgenden Aufbau besitzt: - eine konkav-konvexe, als Einzellinse (L1) oder Kittglied (L1, L2) ausgebildete Frontlinse, - eine sammelnde, aus einer konkav-konvexen Einzellinse (L2; L3) und einem konkav-konvexen Kittglied (L3/L4; L4/L5) oder nur aus einem konkav-konvexen Kittglied (12/13) bestehende Unsengruppe, - eine sammelnde Einzellinse (L5; L6; L4), - ein erstes aus drei Unsen (L6 - L8; L7 - L9; L5 - L7) bestehendes Kittglied, - ein zweites aus drei Unsen (L9 - L11; L10 - L12; L8 - L10) bestehendes Kittglied und - eine in größerem Luftabstand (d17; d18; d15) dazu angeordnete zerstreuende Einzellinse (L12; L13; L11) oderein zerstreuendes Kittglied (L12/L13).
8. 8. Objektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv die in einer der nachfolgenden Tabellen I, II, III oder IV angegebenen Daten besitzt: AT 400 492 B Tabelle I (Fig. 1) Nr. Radius r/mm Dicke/Luftabstand d/mm Glasart 0 .249 1 -.9716 .740 SPL 2 -.7608 .100 3 -3.4974 .950 FL 4 -1.6312 .100 5 -3.3497 .600 SPL 6 4.2170 2.300 FL 7 -3.2081 .180 (variabel) 8 -27.1880 1.300 FL 9 -5.3088 .100 10 PLAN 2.100 FL 11 -3.3982 .900 SPL 12 3.9242 . 2.300 FL 13 -10.5930 .100 14 12.3200 2.150 FL 15 -4.0388 .900 SPL 16 3.1623 2.000 FL 17 PLAN 7.840 18 -4.8697 1.000 FL . 19 -25.3000 . 22.570 Arbeitsabstand do = 0.249 mm Numerische Apertur NA = 0.80 - 0.87 Abbildungsmaßstab ß = -100x SPL = Suprasil FL = Flußspat 7 35 40 45 50 AT 400 492 B Tabelle II (Fig. 2) Nr. Radius r/mm Dicke/ Luftabstand d/mm Glasart 0 .137 1 -1.0928 .300 SPL 2 20.6762 .790 FL 3 -.8459 .100 4 -4.1330 .800 FL 5 -1.8234 .100 (variabel) 6 -4.6725 .500 SPL 7 3.4961 1.900 FL 8 -3.2424 .100 9 -134.2580 1.350 FL . 10 -5.2459 .100 11 35.3889 '2.803 FL 12 -5.6431 .900 SPL 13 2.9163 1.900 FL 14 -11.6860 .100 15 34.6749 1.800 FL 16 -2.9203 .900 SPL 17 2.6543 1.700 FL 18 81.5481 8.059 19 -6.0541 1.000 FL 20 -13.3604 23.140 Arbeitsabstand do = 0.137 mm Numerische Apertur NA = 0.80 - 0.88 Abbildungsmaßstab iS = -100x SPL = Suprasil FL = Flußspat 8 55 ΑΤ 400 492 Β Tabelle III (Fig. 3) Nr. Radius r/mm Dicke/ Luftabstand d/mm Glasart 0 .147 1 -1.53483 1.013 SPL 2 -.82861 .100 3 -20.9844 .500 SPL 4 2.42272 1.950 FL 5 -2.44624 .100 (variabel) 6 -74.5372 1.350 FL 7 -5.05030 .100 8 19.7665 1.800 FL 9 -3.33476 .700 SPL 10 2.83726 1.800 FL 11 -20.5046 .100 12 93.7628 .700 SPL 13 2.64222 2.600 FL 14 -2.57330 .700 SPL 15 -11.9566 14.77 16 -29.0833 1.000 FL 17 31.0171 19.05 Arbeitsabstand do = 0.147 mm Numerische Apertur NA = 0.80 - 0.86 Abbildungsmaßstab ß = -100x SPL = Suprasil FL = Flußspat
9. 9 AT 400 492 B Tabelle IV (Fig. 4) Nr. Radius r/mm Dicke/Luftabstand d/mm Glasart 0 .140 1 -.8233 .937 SPL 2 -.7741 .100 3 -3.4588 .850 FL 4 -1.7700 .100 (variabel) 5 -3.4445 .600 SPL 6 4.0231 2.050 FL 7 -3.0358 .100 8 -49.0796 1.300 FL 9 -5.1074 .100 10 68.5668 1.900 FL 11 -3.3799 .900 SPL 12 4.1450 1.800 FL 13 -12.9361 2.056 14 37.1443 .900 SPL 15 2.7743 3.800 FL 16 -2.9506 1.000 SPL 17 PLAN 19.820 18 -9.2679 .900 FL 19 13.8695 1.200 SPL 20 -22.4723 7.926 Arbeitsabstand do = 0.140 mm Numerische Apertur NA = 0.80 - 0.87 Abbildungsmaßstab ß = -100x SPL = Suprasil FL = Flußspat Hiezu 9 Blatt Zeichnungen 10