AT410603B - Optische komponente - Google Patents

Description

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   Die Erfindung betrifft eine optische Komponente, insbesondere Linse, Prisma, Scheinwerfer oder Spiegel, mit einer für die optische Anwendung vorgesehenen Oberfläche, wobei auf wenig- stens einem Teil dieser Oberfläche eine poröse Beschichtung aufgebracht ist. 



   Aus "Application of porous silicon technology to optical waveguiding" A. Loni et al., Procee- dings of the IEE colloquium "Microengineering Applications in Optoelectronics", 27. Februar, 1996, 
London, Digest No. 96/39 sind passive Applikationen aus porösem Silizium, wie z.B. Interferenzfil- ter, Waveguides und Sensoren, bekannt. Diese Applikationen stellen aufgrund ihrer schnellen und preiswerten Herstellbarkeit ein grosses Anwendungspotential von porösem Silizium dar. Bisher können diese Elemente jedoch nur durch Beschichtung mit dichroitischen Schichten verwirklicht werden. Derartige Schichten sind insoferne nachteilig, als sie die Temperaturbeständigkeit und 
Flexibilität im Schichtdesign wie zum Beispiel durch graduelle Variation des Brechungsindexes nicht aufwiesen. 



   Es ist Aufgabe der Erfindung, eine optische Komponente zu schaffen, bei der eine verbesserte 
Flexibilität im Schichtdesign möglich ist. 



   Die Aufgabe wird gelöst durch eine optische Komponente, die sich erfindungsgemäss dadurch auszeichnet, dass die poröse Beschichtung aus porosiertem Silizium besteht und mehrere Schich- ten enthält. 



   Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Un- teransprüche. 



   Gemäss der Erfindung sind bekannte optische Komponenten, wie z. B. Linsen, Filter oder Pris- men oder auch Metalle in verschiedenen Formen mit porosidierbarem, insbesondere amorphem, polykristallinem oder mikrokristallinem Silizium beschichtet. Anschliessend werden diese Schichten porös gemacht, indem beispielsweise entsprechend dotiertes Silizium durch Ätzen porosiert wird. 



   Die eine oder mehrere solcher poröser Schichten tragenden, optischen Komponenten sind bei entsprechender Wahl der Parameter als Interferenzfilter, coatings oder Rugate-Filter einsetzbar. 



   Ein solches, erfindungsgemässes, optisches System eröffnet auf diese Weise einen breiten, neuen Anwendungsbereich, wie zum Beispiel farbselektive Linsen, Hohlspiegel oder spektral absorbierende Schichten, gegebenenfalls in Kombination mit einem wärmeführenden Metall. 



   Die erfindungsgemässen optischen Komponenten, beispielsweise Transmissionsfilter, gegebe- nenfalls in Kombination mit bekannten optischen Komponenten aus anderen Materialien oder Filter aus porösem Silizium auf gekrümmten Oberflächen, wie zum Beispiel Linsen oder Hohlspiegel, können in vorteilhafter Weise hergestellt werden, indem die Komponenten mit einer Schicht aus amorphem, polykristallinem oder mikrokristallinem Silizium beschichtet und diese Schicht an- schliessend geätzt wird. 



   Die Erfindung ist im weiteren an Hand der Zeichnung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. 



   Die Zeichnung zeigt in Seitenansicht eine erfindungsgemässe Beschichtung 1 einer gewölbten Oberfläche einer Linse 2 zum Zwecke deren anschliessenden Ätzung zur porösen Ausbildung der Beschichtung. Es können so Interferenz-, Rugatefilter, Antireflexschichten oder Schichten mit anderen optischen Eigenschaften aus porösem Silizium hergestellt werden. 



   Das in der Zeichnung gezeigte Ausführungsbeispiel ist eine Linse 2, deren gewölbte   Linsenoberfläche   zunächst beschichtet worden ist. Anschliessend wurde diese Schicht 1 durch Ätzen porös gemacht. Die poröse Beschichtung 1 kann dabei je nach Ausbildung als Interferenzfilter, Rugatefilter, Antireflexschicht oder eine Schicht mit anderen optischen Eigenschaften gestaltet werden. Die optische Komponente kann aus Metall, Glas oder einem anderen, die Beschichtung tragfähigen Material bestehen. 

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Claims (4)

1. PATENTANSPRÜCHE : 1. Optische Komponente, insbesondere Linse, Prisma, Scheinwerfer oder Spiegel, mit einer für die optische Anwendung vorgesehenen Oberfläche, wobei auf wenigstens einem Teil dieser Oberfläche eine poröse Beschichtung aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die poröse Beschichtung aus porosiertem Silizium besteht und mehrere Schichten enthält. <Desc/Clms Page number 2>
2. 2. Komponente nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung polykri- stallin, mikrokristallin oder amorph ausgebildet ist.
3. 3 Komponente nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die poröse Beschichtung eine als Interferenzfilter oder Rugate-Filter oder Antireflexschicht wirkende Beschichtung ist.
4. 4. Komponente nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine wei- tere Beschichtung aus einem vom Werkstoff der porösen Beschichtung unterschiedlichen Werkstoff, insbesondere aus dichroitischem Material, vorgesehen ist.

   HIEZU 1 BLATT ZEICHNUNGEN