AT500767A2

AT500767A2 - Spannvorrichtung

Info

Publication number: AT500767A2
Application number: AT7102004A
Authority: AT
Original assignee: Electrovac Gesmbh; Curamik Electronics Gmbh
Priority date: 2003-04-30
Filing date: 2004-04-26
Publication date: 2006-03-15
Also published as: AT500767A3; AT500767B1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Spannvorrichtung gemäss Oberbegriff Patentanspruch 1 oder 16 und dabei speziell auf eine Vakuum- oder Unterdruckspannvorrichtung.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Spannvorrichtung aufzuzeigen, die ein einwandfreies, auch schonendes-Ein- oder Niederspannen von Flachbauteilen ermöglicht, und zwar für eine weitere Bearbeitung solcher Bauteile. Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Spannvorrichtung entsprechend dem Patentanspruch 1 oder 16 ausgebildet.
Unter "Flachbauteil" ist im Sinne der Erfindung ein Bauteil zu verstehen, welches im Wesentlichen plattenförmig ausgeführt ist. Ein Flachbauteil in diesem Sinne ist insbesondere auch ein Substrat bestehend aus wenigstens einer Isolierschicht, beispielsweise aus einer Keramikschicht (z. B.

Aluminiumoxid - oder AluminiumnitridKeramik) und aus wenigstens einer Metallisierung an zumindest einer Oberflächenseite der Keramikschicht.
"Spannfläche" eines Flachbauteils bedeutet im Sinne der vorliegenden Erfindung diejenige Fläche, an der das Bauteil an der Vakuumspannvorrichtung eingespannt wird.
Mit der erfindungsgemässen Spannvorrichtung ist ein schonendes und bei entsprechender Ausbildung der Anlagefläche der Spannvorrichtung auch planes Niederspannen von Flachbauteilen möglich.

Das Plan- oder Niederspannen des jeweiligen Flachbauteils ist mit einem geringen Unterdruck und dadurch auch schonend möglich ist.
Die erfindungsgemässe Spannvorrichtung eignet sich speziell auch für unebene Flachbauteile oder für Flachbauteile, die an ihrer Spannfläche uneben bzw. strukturiert sind, wie dies beispielsweise bei Leiterplatten mit in Leiterbahnen, in Kontaktflächen usw.

strukturierten Metallisierungen der Fall.
Nach einem Aspekt der Erfindung ist der Spannbereich von wenigstens einer umlaufenden Dichtung umgeben, die dicht gegen die Spannfläche des niedergespannten Flachbauteils anliegt, so dass ein Leckluftstrom vermieden ist und das gewünschte Nieder- oder Planspannen des Flachbauteils mit dem geringen Unterdruck erreicht wird.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung sind an der Anlagefläche mehrere Saugnäpfe vorgesehen, die jeweils an einem eine Vakuumöffnung bildenden Abschnitt relativ zur Anlagefläche zumindest in einer Achsrichtung senkrecht zu dieser Anlagefläche bewegbar sind, und zwar beim Aufbau eines Unterdrucks im Inneren des jeweiligen Saugnapfes aus einer Position mit Abstand vor der Anlagefläche in eine Position in der Ebene dieser Anlagefläche.

Beide Aspekte können auch kombiniert vorgesehen werden.
Nach einem anderen Aspekt der Erfindung besteht der vorzugsweise plattenförmige Spannkörper aus einem porösen, geringfügig luftdurchlässigen Material, beispielsweise aus einem entsprechenden Kunststoff. Beim Ein- oder Niederspannen eines Flachbauteils unter Vakuum liegen das Flachbauteil und der Spannkörper so gegeneinander an, dass grundsätzlich auch ohne Dichtungselement dieses Ein- und Niederspannen erreicht ist.
Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren an Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Es zeigen:
Fig. 1 in vereinfachter Darstellung und in Draufsicht die Spannplatte einer
Vakuumspannvorrichtung gemäss der Erfindung; Fig. 2 die Platte der Figur 1 in Seitenansicht, teilweise geschnitten; Fig. 3 und 4 eine weitere mögliche Ausführungsform der erfindungsgemässen
Vakuumspannvorrichtung in Darstellungen entsprechend den Figuren 1 und 2; Fig. 5 und 6 eine weitere mögliche Ausführungsform der erfindungsgemässen
Vakuumspannvorrichtung in Darstellungen entsprechend den Figuren 1 und 2;

Fig. 7 und 8 eine weitere mögliche Ausführungsform der erfindungsgemässen
Vakuumspannvorrichtung in Darstellungen entsprechend den Figuren 1 und 2.
Die in den Figuren 1 und 2 allgemein mit 1 bezeichnete Vakuumspannvorrichtung dient zum Spannen von Flachbauteilen 2, beispielsweise Platten und dabei insbesondere auch von solchen mit einer unebenen Spannfläche 2.1 .
Die Spannvorrichtung 1 eignet sich insbesondere zum schonenden, planen Niederspannen von strukturierten und nicht strukturierten Substraten bestehend aus wenigstens eine Isolierschicht und aus wenigstens einer an einer Oberflächenseite dieser Isolierschicht vorgesehene Metallisierung, beispielsweise zum planen Niederspannen von DCB- oder PCB-Substraten oder ähnlichen Flachbauteilen.

Die Spannvorrichtung 1 ist hierbei beispielsweise für Laserbearbeitungen, Druckbearbeitungen oder dergleichen einsetzbar, aber auch beim Drahtbonden, Klebebearbeitungen oder dergleichen, wobei speziell bei Leiterplatten bildenden Substraten die Spannfläche 2.1 auch von einer bereits strukturierten Metallisierung gebildet sein kann.
Die Spannvorrichtung 1 besteht aus einer bei der dargestellten Ausführungsform in Draufsicht rechteckförmigen Spannplatte 3, die aus einem geeigneten Material, beispielsweise aus Metall (z.B. Aluminium) oder Kunststoff gefertigt und an ihrer Oberseite 3.1 mit einem Positionierrahmen 4 versehen ist.

Dieser mit Hilfe von Schrauben 5 auswechselbar an der Oberseite 3.1 befestigte Positionierrahmen 4 erstreckt sich entlang des Umfangs der Spannplatte 3 und umschliesst einen bei der dargestellten Ausführungform in Draufsicht rechteckförmigen Aufnahme- oder Spannbereich 6, der in der Figur 2, in der die Oberseite 3.1 oben und die Unterseite 3.2 der Spannplatte 3 unten liegend gezeigt ist, nach oben offen ist, seitlich durch den Positionierrahmen 4 und am Boden durch die die Anlagefläche für das Flachbauteil 2 bildende Oberseite 3.1 begrenzt ist.
Entlang des innen liegenden Randes 4.1 des Positionierrahmens 4 ist in die Oberseite 3.1 eine Nut 7 eingebracht, die dem Rand 4.1 unmittelbar benachbart verläuft und in der eine umlaufende, in sich geschlossene Dichtung 8 aus einem weichen,

gummielastischen Material mit einem an dem Querschnitt der Nut 7 angepassten Profilabschnitt 8.1 befestigt ist. Mit einem eine Dichtungslippe bildenden Profilabschnitt 8.2 steht die Dichtung 8 aus der Nut über die Ebene der Oberseite 3.1 vor. Die Dichtungslippe bzw. der Profilabschnitt 8.2 sind dabei so ausgebildet, dass dieser Profilabschnitt 8.2 ausgehend vom Profilabschnitt 8.1 schräg nach oben und aussen verläuft, d. h. der Profilabschnitt 8.2 mit der Ebene der Oberseite 3.1 einen Winkel < 90[deg.] einschliesst, der sich jeweils zum Positionierrahmen 4 hin öffnet.
In dem von der Dichtung 8 umschlossenen Teil des Spannbereichs 6 sind verteilt mehrere Saugnäpfe vorgesehen, die jeweils über einen Anschluss oder ein Anschlussstück 10 mit einem Vakuumkanal 1 1 , 12, 13 oder 14 verbunden sind.

Die Vakuumkanäle 1 1 - 14, die in der Spannplatte 3 ausgebildet sind und mit ihrer Längserstreckung jeweils parallel zu der Oberseite 3.1 bzw. Unterseite 3.2 der Platte 3 verlaufen, sind bei Verwendung der Spannvorrichtung 1 mit einer gesteuerten Vakuum- oder Unterdruckquelle verbunden.
Bei der dargestellten Ausführungsform sind die Vakuumkanäle 1 1 , 12 und 13 jeweils so ausgebildet, dass diese Kanäle parallel zu den Längsseiten 3.3 der Spannplatte 3 verlaufen, und zwar die beiden Vakuumkanäle 1 1 und 13 jeweils einer Längsseite benachbart und der Vakuumkanal 12 in der Mitte dazwischen.

Die Vakuumkanäle 14 sind so ausgeführt, dass sie mit Ihrer Längserstreckung parallel zu den Schmalseiten 3.4 der Spannplatte 3 verlaufen und jeder Vakuumkanal 14 die Vakuumkanäle 1 1 und 12 schneidet, so dass die Vakuumkanäle 1 1 und 12 über die Vakuumkanäle 14 miteinander verbunden sind.
Die Vakuumkanäle 14 sind beidendig verschlossen und stehen jeweils an einem dem Vakuumkanal 13 benachbarten, von diesem aber beabstandeten Ende mit einem Saugnapf 9 in Verbindung.

Die Vakuumkanäle 1 1 , 12 und 13 sind jeweils an einem einer Schmalseite 3.4 benachbarten Ende verschlossen und weisen an der anderen Schmalseite 3.4, d.h. bei der für die Figur 1 gewählten Darstellung an der linken Schmalseite ein Anschluss 1 1.1 , 12.1 bzw. 13.1 zum Anschliessen des Vakuums bzw. des Unterdrucks auf.
Bei der dargestellten Ausführungsform sind die Saugnäpfe 9 in einer Achsrichtung parallel zu den Längsseiten 3.3 in einem gleichmässigen Rasterabstand verteilt und ebenso auch in einer Achsrichtung parallel zu den Schmalseiten 3.4, und zwar derart, dass sich die an den Vakuumkanälen 14 vorgesehenen Saugnäpfe 9 in der Mitte zwischen den beiden Vakuumkanälen 1 1 und 12 bzw. 12 und 13 befinden.

Ausserdem sind in der Achsrichtung parallel zu den Längsseiten 3.3 die mit den Vakuumkanälen
14 in Verbindung stehenden Saugnäpfe 9 gegenüber den Saugnäpfen an den Vakuumkanälen 1 1 und 12 bzw. 13 auf Lücke versetzt.
Da der Vakuumkanal 13 und dessen Saugnäpfe 9 nicht mit den übrigen Vakuumkanälen und deren Saugnäpfe in Verbindung stehen, können die Saugnäpfe 9 des Vakuumkanals 13 gesondert angesteuert werden, so dass mit der Spannvorrichtung plattenförmige Werkstücke 2 in unterschiedlicher Grösse bei geringem Vakuumverbrauch gespannt werden können.
Für jeden Saugnapf 9 ist an der Oberseite 3.1 eine Ausnehmung 1 5 vorgesehen. In dieser ist der den Anschluss 10 zum jeweiligen Vakuumkanal aufweisende Abschnitt 9.1 des betreffenden Saugnapfes aufgenommen und fest verankert.

Jede Ausnehmung
15 dient weiterhin mit ihrem an der Oberseite 3.1 vergrösserten Querschnitt auch zur Aufnahme des balgenartigen Abschnittes 9.2 des Saugnapfes 9 bei gegen die Oberseite
3.1 anliegendem Flachbauteil2.
Im Ausgangszustand, d. h. bei leerer Spannvorrichtung 1 steht jeder Saugnapf 9 mit seinen balgenartigen Abschnitt 9.2, der an der Plattenunterseite 3.2 abgewandten Seite offen ist bzw.

die Vakuumöffnung bildet, deutlich über die Oberseite 3.1 und über das vom freien Rand der Dichtungslippe 8.2 definierte Niveau vor, allerdings nicht über das Niveau der der Spannplatte 3 abgewandten Oberseite des Positionierrahmens 4.
Zum Spannen des Flachbauteils 2 wird dieses mit seiner Spannfläche 2.1 voraus in den Spannbereich 6 eingelegt, und zwar derart, dass die Spannfläche auf den Abschnitten
9.2 der Saugnäpfe 9 aufliegt und sich der äussere Rand des Flachbauteils 2 innerhalb des Spannrahmens 4 befindet. Im Anschluss daran werden dann die Saugnäpfe 9 mit dem Vakuum bzw.

Unterdruck beaufschlagt, so dass sich die Abschnitte 9.2 zunächst an der Spannfläche 2.1 festsaugen und sich dann durch den im Saugnapf herrschenden Unterdruck in der Achsrichtung senkrecht zur Oberseite 3.1 balgenartig verkürzen oder zusammenziehen, wodurch das Flachbauteil 2 mit seiner Spannfläche 2.1 gegen die von der Oberseite 3.1 gebildete Anlagefläche durch eine Vielzahl von Saugnäpfen 9 angedrückt wird.

Gleichzeitig liegt das Flachbauteil 2 mit seinem Rand auch gegen die Dichtungslippe 8.2 an, so dass entlang des Randes des Flachbauteils 2 ein dichter Vakuumabschluss erzielt ist und durch zufällig an einem oder mehreren Saugnäpfen 9 beispielsweise durch Unebenheiten an der Spannfläche 2.1 austretendes Vakuum das Flachbauteil 2 auf seiner gesamten Fläche gegen die von der Oberseite 3.1 gebildete Anlagefläche durch Unterdruck fixiert und dadurch nicht nur gespannt sondern auch plan niedergedrückt ist, so dass eine weitere Bearbeitung an der der Spannfläche abgewandten Oberseite des Flachbauteils möglich ist.
Da die Innenfläche des Positionierrahmens 4 im oberen Bereich, d. h. in der Nähe der Oberseite abgeschrägt bzw.

mit einer Fase versehen ist, ist beim Ansaugen des Flachbauteils 2 auch ein Ausrichten dieses Flachbauteils 2 am Positionierrahmen 4 in gewissen Grenzen möglich. Das Fixieren des Flachbauteils 2 an der Spannvorrichtung erfolgt somit in zwei Phasen, d.h. zunächst wird das Flachbauteil 2 von den Saugnäpfen 9 erfasst und an die Oberseite 3.1 heranbewegt. Sobald die Dichtungslippe 8.2 wirksam wird, erfolgt ein ganzflächiges Fixieren des Flachbauteils an der Oberseite 3.1 durch das Vakuum.

Die Fixierung ist schonend, so dass die Spannvorrichtung 1 auch als "SoftSpannvorrichtung" bezeichnet werden kann.
Die Oberseite 3.1 ist beispielsweise mit einer nicht dargestellten Riefelung versehen, die u.a. zum Auffangen von Schmutz, aber auch für eine Verteilung des Vakuums in der zweiten Phase des Spannvorgangs dient.
Die Figuren 3 und 4 zeigen eine Spannvorrichtung 1a, die sich von der Spannvorrichtung 1 nur dadurch unterscheidet, dass an der Spannplatte 3 eine Andrückvorrichtung 16 vorgesehen ist, und zwar für ein erstes Andrücken des jeweiligen Flachbauteils 2 gegen die Saugnäpfe am Beginn des Spannvorgangs.

Diese Andrückvorrichtung 16 besteht im Wesentlichen aus einem die Spannplatte 3 an ihrer Oberseite 3.1 überbrückenden Rahmen 17, der sich bei dieser Ausführungsform zwischen den beiden Schmalseiten 3.4 erstreckt und an diesen mit der Spannplatte 3 verschraubt ist. Der Tragrahmen 17 selbst besteht aus zwei seitlichen plattenförmigen Tragrahmenabschnitten 17.1 , die mit ihren Oberflächenseiten senkrecht zur Ebene der Oberseite 3.1 bzw. Unterseite 3.2 orientiert sind, sowie aus einem jochartigen Tragrahmenabschnitt 17.2, der mit seinen Oberflächenseiten parallel zu Oberseite 3.1 bzw. Unterseite 3.2 liegt. An dem Tragrahmenabschnitt 17.2 ist in einem Lagerkörper 18 ein Stempel 19 in einer Achsrichtung senkrecht zu der Oberseite 3.1 gegen die Wirkung einer Rückstellfeder 20 verschiebbar geführt. An seiner Oberseite ist der Stempel 19 mit Betätigungskopf 21 versehen.

An dem über die Unterseite des Tragrahmenabschnitts 1 7.2 vorstehenden Ende weist der Stempel 19 einen Stempelkopf 22 aus einem elastischen Material auf. Nach dem Auflegen eines Flachbauteils 2 auf die dortigen Saugnäpfe 9 wird der Stempel 19 manuell nach unten bewegt, so dass über den Stempelkopf 22 das Flachbauteil 2 gegen die Saugnäpfe 9 für einen ersten Berührungskontakt angedrückt ist.
Um Flachbauteile 2 unterschiedlicher Grösse verarbeiten zu können, weist der Tragrahmenabschnitt 1 7.2 mehrere Bohrungen 23 auf, in denen dann wahlweise der Stempel 19 bzw.

dessen Lagerkörper 18 vorgesehen werden können.
Die Figuren 5 und 6 zeigen als weitere mögliche Ausführungsform eine Spannvorrichtung 1 b, die sich von der Spannvorrichtung 1 dadurch unterscheidet, dass am Spannbereich 6 zusätzlich zu den Saugnäpfen 9 vier Saugnäpfe 24 vorgesehen sind, und zwar gleichmässig über den Spannbereich verteilt. Weiterhin sind bei dieser Ausführungsform sämtliche Vakuumkanäle 1 1 - 14 miteinander verbunden, so dass für alle Saugnäpfe 9 nur ein einziger, gemeinsamer Anschluss 14.1 vorgesehen ist, und zwar an einer der beiden Längsseiten 3.2.
Die Saugnäpfe 24 sind grösser ausgebildet als die Saugnäpfe 9 und stehen jeweils über ein Anschlussstück 25 mit einer Vakuumverteilerkammer 26 in Verbindung, in die ein mit einer Vakuum- oder Unterdruckquelle verbindbarer Vakuumkanal 27 mündet.

Die Verteilerkammer 26 und der Vakuumkanal 27 mit seinem Anschluss 27.1 sind in einer zusätzlichen Platte 28 ausgebildet, die mit der Unterseite 3.2 der Spannplatte 3 dicht verschraubt ist. Für jeden Saugnapf 24 ist in der Spannplatte 3 eine zur Oberseite 3.1 hin offene Aussparung 29 vorgesehen, in der der mit dem Anschluss 25 verbundene Saugnapfabschnitt 24.1 untergebracht und befestigt ist und die mit ihrem oberen, im Querschnitt vergrösserten Teilbereich auch zur Aufnahme des balgenartigen, an der Oberseite offenen Saugnapfabschnittes 24.2 dient.

Bei leerer Spannvorrichtung 1 b stehen die Saugnäpfe 26 mit ihrem oberen Ende über das Niveau der der Spannplatte 3 abgewandten Oberseite des Positionierrahmens 4 vor.
Mit der Spannvorrichtung 1 b ist folgende Arbeitsweise möglich: Das jeweilige Flachbauteil 2 wird zunächst auf die Saugnäpfe 24 derart aufgelegt, dass sich der Rand des Flachbauteils innerhalb des von dem Positionierrahmen 4 begrenzten Spannbereichs 6 befindet.

Im Anschluss daran werden die Saugnäpfe 24 über den Vakuumkanal 27 und die Verteilerkammer 26 mit Vakuum beaufschlagt, wodurch sich die Saugnäpfe 24 an der Spannfläche 2.1 des Flachbauteils 2 festsaugen und durch Reduzierung ihrer axialen Länge das Flachbauteil 2 gegen die Saugnäpfe 9 zur Anlage bringen, die dann ebenfalls mit dem Vakuum beaufschlagt werden, so dass anschliessend das Andrücken des Flachbauteils 2 gegen die Oberseite 3.1 erfolgt, wie dies im Zusammenhang mit der Spannvorrichtung 1 beschrieben wurde.

Sobald das Flachbauteil 2 gegen die aktivierten Saugnäpfe 9 anliegt, kann das Vakuum an den Saugnäpfen 24 abgeschaltet werden.
Die Figuren 7 und 8 zeigen als vereinfachte Ausführungsform eine Spannvorrichtung 1 c, die sich von der Spannvorrichtung 1 dadurch unterscheidet, dass auf die Saugnäpfe 9 am Spannbereich 6 verzichtet ist, dort an der Oberseite 3.1 vielmehr als Vakuumansaugöffnungen und -Verteilerkanäle dienende Nuten eingebracht sind, und zwar mehrere parallel zueinander und parallel zu den Längsseiten 3.3 verlaufende Nuten 30 und eine parallel zu den Schmalseiten 3.4 verlaufende Nut 31 mit grösserer Breite und Tiefe in der Mitte des Spannbereichs 6.

Die Nut 31 , in die die Nuten 30 münden, steht mit einem Vakuumkanal 32 mit Anschluss 32.1 in Verbindung.
Das jeweilige Flachbauteil 2 wird mit seiner Spannfläche 2.1 in den von dem Positionierrahmen 4 begrenzten Spannbereich 6 eingelegt und dann durch Einschalten des Vakuums oder Unterdrucks gegen die Oberseite 3.1 vollflächig angesaugt und dadurch wiederum nicht nur gespannt sondern auch plan niedergedrückt, so dass eine weitere Bearbeitung an der der Spannfläche abgewandten Oberseite des Flachbauteils möglich ist. Bei dieser Ausführungsform ist entlang des Positionierrahmens 4 wiederum die Dichtung 8 vorgesehen, wie dies in der Figur 7 mit unterbrochenen Linien angedeutet ist, so dass zumindest am Rand des Flachbauteils 2 der Übergang zwischen diesem und der Spannplatte 3 abgedichtet ist.

Als das Material für die Spannvorrichtung 1 c bzw. deren Spannplatte 3 eignet sich beispielsweise ein unter der Bezeichnung "RENSHAPE BM 5440" oder "Clbatool BN 5440" auf dem Markt auch in Plattenform angebotener Werkstoff der Firma Vantico mit den in der nachstehenden Tabelle angegebenen Eigenschaften.
Eigenschaften Prüfmethode Prüfwert
Farbe visuell braun
Dichte - 0,5
Shore-D-Härte ISO 868 55 - 60
Biegefestigkeit ISO 178 15 - 20
Wärmeformbeständigkeit ISO 75 75 - 80
Druckfestigkeit, MPa ISO 604 15 - 20
Wärmeausdehnungskoeffiz ient, lO<'5>.!*<1>DIN 53752 50 - 55
<EMI ID=10.1>
Linear bis zu [deg.]C 50
Bei diesem Werkstoff, der auch als Model Ibaustoff z. B. für Architekturmodelle verwendet wird, handelt es sich um einen Kunststoff in Form eines füllstoffhaltigen, ausgehärteten Polyurethanharzes.

Der Werkstoff ist geringfügig luftdurchlässig, so dass die aus diesem Werkstoff hergestellte Spannplatte 3 der Spannvorrichtung 1 c beim Einoder Niederspannen eines Flachbauteils mit Vakuum oder Unterdruck im Mikrobereich nachgibt. Hierdurch wird ein Abdichteffekt erreicht, so dass bei vielen Anwendungen auf die umlaufende Dichtung 8 verzichtet werden kann. Dies gilt insbesondere dann, wenn es sich bei dem jeweiligen Flachbauteil nicht um ein solches mit besonders grosser Materialdicke und/oder mit besonders grosser Oberflächenstrukturierung oder Oberflächenunebenheiten handelt, also z.B. nicht um DCB- oder PCB-Substrate mit einer Keramikschicht grosser Materialstärke und/oder mit strukturierten Metallisierungen grosser Dicke.
Die Erfindung wurde voranstehend an Ausführungsbeispielen beschrieben.

Es versteht sich, dass zahlreiche weitere Änderungen sowie Abwandlungen möglich sind, ohne dass dadurch der der Erfindung zugrunde liegende Erfindungsgedanke verlassen wird. So ist es insbesondere möglich, anstelle der Dichtung 8 eine solche mit einem anderen Profil zu verwenden.
Wien , am
26- April Of[mu]

Claims

Se/41163 D-92676 Eschenbach (DE)

Patentansprüche

1 . Spannvorrichtung zum schonenden Niederspannen von Flachbauteilen (2) an einer Spannfläche (2.1), beispielsweise zum Niederspannen von wenigstens eine Isolierschicht und zumindest eine Metallisierung aufweisenden Substraten, gekennzeichnet durch einen Spannkörper (3) mit einem eine Anlagefläche bildenden Spannbereich

(6) an einer ersten Seite (3.1) des Spannkörpers, durch mehrere am Spannbereich (6) bzw. an der Anlagefläche (3.1 ) vorgesehene

Vakuumöffnungen (9, 24, 30, 31 ) sowie durch wenigstens eine den Spannbereich (6) und/oder die Vakuumöffnungen umschliessenden Dichtung (8) für eine dichte Anlage gegen die Spannfläche (2.1 ) des Flachbauteils (2).

2. Spannvorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumöffnungen von Saugnäpfen (9, 24) an der Anlagefläche (3.1 ) gebildet sind.

3. Spannvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die die Vakuumöffnungen umschliessenden Dichtungen von Saugnapfabschnitten (9.2, 24.2) und/oder von an den Saugnäpfen (9, 24) vorgesehenen Dichtungen gebildet sind.

4. Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugnäpfe (9, 24) zumindest mit einem die Vakuumöffnung bildenden Saugnapfabschnitt (9.2, 24.2) wenigstens in einer senkrecht zur Anlagefläche (3.1 ) verlaufenden Achsrichtung zwischen einer ersten Position mit Abstand vor der Anlagefläche (3.1 ) in eine zweite Position in der Ebene der Anlagefläche (3.1) bewegbar ist.

5. Spannvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Saugnapfabschnitt (9.2, 24.2) durch einen im Inneren des Saugnapfes (9, 24) herrschenden Unterdruck aus der ersten Position in die zweite Position bewegbar ist.

6. Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der jeweilige Saugnapfabschnitt (9.2, 24.2) balgartig ausgebildet ist.

7. Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumöffnungen Schlitze oder Nuten (30, 31 ) in der Anlagefläche (3.1 ) sind.

8. Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Hilfsmittel (16, 24) zum Heranbewegen der Spannfläche (2.1 ) des Flachbauteils (2) gegen die Anlagefläche (3.1 ) und/oder gegen die Vakuumöffnungen (9).

9. Spannvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfsmittel (16) von einem manuell betätigbaren Stempel (22) gebildet sind oder einen derartigen Stempel (22) aufweisen.

l O.Spannvorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Gruppen von Saugnäpfen (9, 24) vorgesehen sind, und dass die Saugnäpfe (24) einer Gruppe die Hilfsmittel bilden.

1 1.Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die den Spannbereich (6) umschliessende wenigstens eine Dichtung (8) eine über die Anlagefläche (3.1) des Spannbereichs vorstehende Dichtungslippe (8.2) aufweist.

12. Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet, durch wenigstens ein Positionierelement (4) zum Positionieren des Flachbauteils (2) am Spannbereich (6).

1 3. Spannvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Positionierelement ein über die Ebene der Spannfläche vorstehender und den Spannbereich (6) zumindest zum Teil umschiessender Positionierrand oder -rahmen (4) ist.

14.Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spannkörper (3) aus Metall und/oder Kunststoff besteht.

1 5. Spannvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spannkörper (3) zumindest in seinem Spannbereich aus einem porösen oder geringfügig luftdurchlässigen Material besteht.

16. Spannvorrichtung zum schonenden Niederspannen von Flachbauteilen (2) an einer Spannfläche (2.1 ), beispielsweise zum Niederspannen von wenigstens eine Isolierschicht und zumindest eine Metallisierung aufweisenden Substraten, gekennzeichnet durch einen Spannkörper (3) mit einem eine Anlagefläche bildenden Spannbereich (6) an einer ersten Seite (3.1 ) des Spannkörpers, und durch mehrere am Spannbereich (6) bzw. an der Anlagefläche (3.1 ) vorgesehene Vakuumöffnungen (30, 31), wobei der beispielsweise plattenförmige der Spannkörper (3) zumindest in seinem Spannbereich aus einem porösen oder geringfügig luftdurchlässigen Material besteht.

1 7.Spannvorrrichtung nach Anspruch 1 5 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Spannkörper (3) zumindest in seinem Spannbereich (6) aus einem porösen oder geringfügig luftdurchlässigen Kunststoff, beispielsweise aus einem füllstoffhaltigen, ausgehärteten Polyurethanharz, z.B. der Bezeichnung "RENSHAPE BM 5440" oder "Clbatool BM 5440" besteht.

Wien, am

26. April <EMI ID=16.1>