AT509098A1 - Tür zum verschliessen einer öffnung - Google Patents

Abstract

Eine Tür zum Verschießen einer Öffnung (1) in einer Wand (2) einer Vakuumkammer (3) gegenüber Atmosphäre umfasst einen atmosphäreseitig an der Wand (2) zu montierenden Türkörper (4), ein Verschlussglied (8), von dem in einem geöffneten Zustand der Tür die Öffnung (1) in der Wand (2) freigebbar ist und von dem in einem geschlossenen Zustand der Tür die Öffnung (1) durch Anlegen des Verschlussgliedes (8) an einen die Öffnung (1) umgebenden Sitz, der in einer Ebene (11) liegt, und durch Verpressung einer Dichtung (9), die am Verschlussglied (8) oder am Sitz (10) angeordnet ist, gegen eine am anderen dieser beiden Teile angeordnete Dichtfläche (20) verschließbar ist, einen Antrieb (13), von dem das Verschlussglied (8) zwischen einer zurückgezogenen Freigabestellung, die es im geschlossenen Zustand der Tür einnimmt, und einer vorgeschobenen Wirkstellung über einen Verstellweg verstellbar ist, und mindestens eine Stange (5), an der das Verschlussglied (8) befestigt ist und die vom Antrieb (13) in Richtung ihrer Längsachse (6) verschiebbar ist. Die Längsachse (6) der mindestens einen Stange (5) ist zur Ebene (11) des Sitzes (10) geneigt, wobei durch Verschiebung der mindestens einen Stange (5) in Richtung ihrer Längsachse (6) das Verschlussglied (8) vom Antrieb (13) in Richtung der Längsachse (6) der mindestens einen Stange (5) zwischen seiner Freigabestellung und seiner Wirkstellung verstellbar ist.

Description

Patentanwälte Hefel&Hofmann

Patentanwälte

European Patent Attorneys

European Trademark Attorneys

Dl Herbert Hefel (bis 2006)

Dr Ralf Hofmann Dr Thomas Fechner 6806 Feldkirch, Austria Egelseestr 65a, Postfach 61 22809 33/ir 091023 1

Die Erfindung bezieht sich auf eine Tür zum Verschießen einer Öffnung in einer Wand einer Vakuumkammer gegenüber Atmosphäre umfassend einen atmosphäreseitig an der Wand zu montierenden Türkörper, ein Verschlussglied, von dem in einem geöffneten Zustand der Tür die Öffnung in der Wand freigebbar ist und von dem in einem geschlossenen Zustand der Tür die Öffnung durch Anlegen des Verschlussgliedes an einen die Öffnung umgebenden Sitz, der in einer Ebene liegt, und durch Verpressung einer Dichtung, die am Verschlussglied oder am Sitz angeordnet ist, gegen eine am anderen dieser beiden Teile angeordnete Dichtfläche verschließbar ist, einen Antrieb, von dem das Verschlussglied zwischen einer zurückgezogenen Freigabestellung, die es im geschlossenen Zustand der Tür einnimmt, und einer vorgeschobenen Wirkstellung über einen Verstellweg verstellbar ist, und mindestens eine Stange, an der das Verschlussglied befestigt ist und die vom Antrieb in Richtung ihrer Längsachse verschiebbar ist. Weiters bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zum Verschließen einer eine Achse aufweisenden Öffnung in einer Wand einer Vakuumkammer gegenüber Atmosphäre mittels eines atmosphärenseitig der Wand angeordneten Verschlussgliedes, von dem in einem geöffneten Zustand der Tür die Öffnung in der Wand freigebbar ist und von dem in einem geschlossenen Zustand der Tür die Öffnung durch Anlage des Verschlussgliedes an einem die Öffnung umgebenden Sitz, der in einer Ebene liegt, und durch Verpressung einer Dichtung, die am Verschlussglied oder am Sitz angeordnet ist, gegen eine am anderen dieser beiden Teile angeordnete Dichtfläche verschließbar ist, wobei das Verschlussglied mittels eines Antriebs von einer zurückgezogenen Freigabestellung, in welcher das Verschlussglied in Richtung der Achse der Öffnung gesehen, die Öffnung vollständig freigibt, in eine vorgeschobene Wirkstellung über einen Verstellweg verstellt wird.

Bankverbindungen Österreichische Postsparkasse Konto \r. 92.111.622, BLZ 60000 Swih-Coae: OPSKATWW IBAN AT55 6000 0000 9211 1622

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Solche Vakuumtüren sind beispielsweise aus der US 6,056,266, US 6,899,316 B2, US 2007/0272888 A1 und US 6,916,009 B2 bekannt. Um das Verschlussglied an den die Öffnung umgebenden Sitz anzudrücken, wird ausgehend von der zurückgezogenen Freigabestellung des Verschlussgliedes, in welcher dieses die Öffnung vollständig freigibt, eine L-förmige Bewegung durchgeführt. In einem ersten Abschnitt des hierbei durchlaufenden Verstellweges wird das Verschlussglied mit einem ersten Antrieb parallel zur Ebene der Öffnung bzw. des Sitzes verfahren, bis das Verschlussglied die Öffnung überdeckt, vom Sitz aber noch abgehoben ist. In einem zweiten Abschnitt des Verstellweges wird das Verschlussglied mit einem zweiten Antrieb rechtwinklig zur Ebene der Öffnung bzw. des Sitzes verfahren, bis das Verschlussglied an den Sitz angedrückt ist und durch die mit der Dichtfläche verpressten Dichtung die Öffnung vakuumdicht verschlossen wird.

Aus der DE 196 33 798 A1 geht eine weitere Vakuumtür hervor, bei der die Verstellung entlang des ersten Abschnittes des Verstellweges ebenfalls in der zuvor beschriebenen Weise erfolgt. Um das Verschlussglied ausgehend von der die Öffnung überdeckenden, aber vom Sitz abgehobenen Stellung an den Sitz anzupressen, ist hier der Türkörper der Tür, der die Antriebe der Tür aufweist und der Stangen, an denen das Verschlussglied befestigt ist, verschiebbar führt, verschwenkbar gegenüber der Vakuumkammer gelagert. Mittels Kolben-Zylinder-Einheiten wird der Türkörper um die Schwenkachse verschwenkt, um das Verschlussglied an den Sitz anzudrücken und von diesem abzuheben.

Aus der WO 2009/070824 A1 geht ein Vakuumventil hervor, bei dem auch ein Einsatz als Vakuumtür beschrieben ist. Hierbei kann das Verschlussglied auch außerhalb der Vakuumkammer angeordnet sein und zum Verschluss einer Öffnung in der Kammerwand vorgesehen sein. Das Öffnen und Schließen des Verschlussgliedes erfolgt mit nur einem Antrieb (der als Aktuatoren zwei Kolben-Zylinder-Einheiten aufweisen kann), von dem die Stangen, an denen das Verschlussglied angebracht ist axial verschoben werden. Ausgehend von einer Freigabestellung, in welcher das Verschlussglied die Öffnung vollständig freigibt, wird das Verschlussglied zunächst parallel zur Ebene der Öffnung bzw. des die Öffnung umgebenden Sitzes verschoben, bis das Verschlussglied an Führungselemente anläuft, die 3 * * « · • ♦ · · «· * ♦ beidseitig der Öffnung angeordnet sind und winklig zur Ebene des Sitzes stehende Führungsflächen aufweisen. Durch diese Führungsflächen wird das Verschlussglied über einen Endabschnitt des Verstellweges vor Erreichen seiner Schließstellung winklig zur Ebene des Sitzes verschoben, bis das Verschlussglied an den Ventilsitz angelegt und die Dichtung an die Dichtfläche angedrückt ist. In dieser Schließstellung des Verschlussgliedes ist die Öffnung vom Verschlussglied abgedichtet. Die Verschiebung des Verschlussgliedes über den Endabschnitt des Verstellweges erfolgt unter elastischer Verbiegung der Stangen, an denen das Verschlussglied angebracht ist.

Aus der US 0,367,770 B1 geht ein Vakuumventil zur Anordnung zwischen zwei Vakuumkammern hervor, welches ein Verschlussglied aufweist, das zwei keilförmig aufeinander zulaufende Seitenflächen besitzt, an denen jeweils ein Dichtring angeordnet ist. Den beiden Seitenflächen des Verschlussgliedes sind ebenfalls keilförmig angeordnete Dichtflächen zugeordnet. Beim Schließen des Vakuumventils mittels eines Antriebs wird das Verschlussglied mit den Dichtringen unter einer nur geringen Kraft an die Dichtflächen angelegt. Die Verpressung eines der Dichtringe, um eine vakuumdichte Abdichtung des Verschlussgliedes gegenüber der zugehörigen Dichtfläche zu erreichen, erfolgt erst durch einen zwischen den beiden Kammern wirkenden Differenzdruck.

Ein weiteres Vakuumventil mit einem keilförmigen Verschlussglied geht aus der US 7,011,294 81 hervor.

Aus der US 6,471,181 B2 ist eine Halterung einer Ventilplatte an einer Ventilstange bekannt, bei der die Ventilplatte um eine Achse verkippbar ist, die rechtwinkelig zur Achse der Ventiistange steht.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumtür der eingangs genannten Art bereit zu stellen, die einfach und kostengünstig ausgebildet ist, bzw, ein Verfahren der eingangs genannten Art bereit zu stellen, durch welches eine einfache und kostengünstige Ausbildung einer Vakuumtüre ermöglicht wird.

Erfindungsgemäß gelingt dies durch eine Tür mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Ein erfindungsgemäßes Verfahren weist die Merkmale des Anspruchs 11 auf.

Bei einer Tür gemäß der Erfindung wird das Verschlussglied vom Antrieb linear in Richtung der Längsachse der mindestens einen Stange zwischen der zurückgezogenen Freigabe-

Stellung und der vorgeschobenen Wirkstellung verschoben, wobei die Längsachse der mindestens einen Stange zur Ebene des Sitzes geneigt ist. Vorteilhafterweise kann bei der erfindungsgemäßen Tür die gesamte aktive Verstellung des Verschlussgliedes durch einen nur in eine lineare Bewegungsrichtung wirkenden Antrieb erreicht werden. Dieser Antrieb kann einen einzelnen Aktuator, beispielsweise eine Kolben-Zylinder-Einheit, oder auch mehr als einen Aktuator aufweisen, beispielsweise zwei Kolben-Zylinder-Einheiten, welche jeweils eine von zwei Stangen axial verschieben, an denen das Verschlussglied angebracht ist.

Die Neigung der Längsachse der mindestens einen Stange gegenüber der Ebene des Sitzes liegt vorzugweise im Bereich von 3° bis 10°, beispielsweise bei etwa 5°. Günstigerweise ist die Dichtung am Ende des aktiven Verstellweges, wenn das Verschlussglied seine Wirkstellung einnimmt, zumindest im Wesentlichen unverpresst, solange in der Vakuumkammer Atmosphärendruck vorliegt. „Im Wesentlichen unverpresst" ist hierbei dahingehend zu verstehen, dass die auf die Dichtung wirkende Presskraft kleiner als 10% der maximalen Presskraft ist, die im geschlossenen Zustand der Tür unter der Annahme eines Differenzdruckes wirkt, der Atmosphärendruck beträgt. In einer bevorzugten Ausführungsform liegt in der Wirkstellung des Verschlussgliedes noch keine Berührung der Dichtung an der Dichtfläche vor. Der zwischen der Dichtung und der Dichtfläche in der Wirkstellung vorliegende Abstand beträgt hierbei vorzugsweise weniger als 0,3 mm. Ein bevorzugter Bereich reicht von 0,01 mm bis 0,2 mm, besonders bevorzugt ist der Bereich von 0,05 mm bis 0,1 mm. Zu einer Anlage der Dichtung an der Dichtfläche kommt es dann erst durch das Abpumpen der Vakuumkammer und die durch die Strömung durch den Spalt sich dadurch einstellende Druckdifferenz. Möglich, wenn auch weniger bevorzugt, ist es aber auch, dass in der Wirkstellung des Verschlussgliedes, wenn in der Vakuumkammer Atmosphärendruck vorliegt, bereits eine Berührung der Dichtung mit der Dichtfläche gegeben ist. Durch das Abpumpen der Vakuumkammer wird die Dichtung verpresst und verformt, wobei sich das Verschlussglied der Wand etwas annähert.

Die Wirkstellung bezeichnet somit das Ende der durch einen Antrieb erfolgenden aktiven Verstellung des Verschlussgliedes. Zum vollständigen Schließen der Tür, so dass die Tür die Öffnung abdichtet, folgt vorteilhafterweise noch eine „passive" Verstellung, also ohne einen hierfür vorgesehenen Antrieb bzw. Aktuator, durch eine sich beim Abpumpen der Vakuumkammer ergebende Druckdifferenz. Diese passive Verstellung wird vorzugsweise durch eine elastische Verbiegung der mindestens einen Ventilstange ermöglicht. Im voll- *· · φ *« «··· 4« *♦·· 4 ♦ · « « » ·· * *··* * · « · * * • * · t » I * · « ........5........ ständig geschlossenen Zustand der Tür nimmt das Verschlussglied seine Schließstellung ein.

In der Wirkstellung kann also das Verschlussglied seine zum Verschluss der Öffnung führende Wirkung entfalten, wobei es zu diesem Verschluss wie ausgeführt vorteilhafterweise erst durch das Abpumpen der Vakuumkammer kommt.

Durch eine Ausbildung, bei der die Dichtung in der Wirkstellung des Verschlussgliedes zumindest im Wesentlichen unverpresst ist, kann eine Produktion von Partikeln verringert werden, wie dies für viele Anwendungen erwünscht ist. Durch einen in der Wirkstellung vorliegenden Spalt kann eine solche Partikelproduktion gegenüber einem Anlaufen der Dichtung an die Dichtfläche vor Erreichen der Wirkstellung noch weiter verringert werden.

In einem als unabhängig zu betrachtenden Aspekt der Erfindung ist vorgesehen, dass bei einer Tür der eingangs genannten Art der Türkörper eine Seitenwand zur Anlage an der die Öffnung aufweisenden Wand der Vakuumkammer im an der Wand montierten Zustand der Tür aufweist und dass die Längsachse der mindestens einen Stange gegenüber dieser

Seitenwand des Türkörpers geneigt ist.

Es wird hierdurch eine einfache Ausbildung bereitgestellt, bei der die Längsachse der mindestens einen Stange im montierten Zustand der Tür gegenüber der Ebene des Sitzes geneigt ist.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnungen erläutert. In dieser zeigen:

Fig, 1 eine Schrägsicht einer eine Öffnung aufweisende Wand einer Vakuumkammer mit einer daran montierten Tür gemäß der Erfindung, in der zurückgezogenen Freigabestellung des Verschlussgliedes;

Fig. 2 eine Schrägsicht entsprechend Fig. 1 in der vorgeschobenen Wirkstellung des Verschlussgliedes;

Fig. 3 eine stirnseitige Ansicht in der Stellung des Verschlussgliedes entsprechend Fig. 2; Fig. 4 eine Ansicht in der Stellung des Verschlussgliedes entsprechend Fig. 2;

Fig. 5 einen Schnitt entlang der Linie AA von Fig. 4;

Fig. 6 einen Schnitt entlang der Linie BB von Fig. 4; • · • * «··· ··· ··«

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Fig. 7 einen Schnitt entsprechend Fig. 5 in der Freigabestellung des Verschlussgliedes mit zusätzlicher schematischer Darstellung der anderen Wände der Vakuumkammer;

Fig. 8 einen Schnitt entlang der Linie CC von Fig. 5;

Fig. 9 eine Schrägsicht entsprechend Fig. 1 mit abgenommener Türkörperabdeckung;

Fig. 10 eine vergrößerte Darstellung eines Details D von Fig. 5;

Fig. 11 eine Darstellung entsprechend Fig. 10 im vollständig geschlossenen Zustand der Tür.

Ein Ausführungsbeispiel einer Vakuumtür gemäß der Erfindung ist in den Figuren 1 bis 9 dargestelit. Die Tür dient zum Verschluss einer Öffnung 1 in einer Wand 2 einer Vakuumkammer 3. Die Tür weist ein Gehäuse bzw. einen Türkörper 4 auf, der atmosphärenseitig, also außerhalb des Vakuumbereichs der Vakuumkammer 3, an der Wand 2 befestigt ist, wobei er an der Außenseite der Wand 2 anliegt.

Vom Türkörper 4 sind zwei Stangen 5 in Richtung ihrer Längsachsen 6, die parallel zueinander liegen, verschiebbar gelagert. An den Stangen 5 ist über ein Befestigungsteil 7 ein Verschlussglied 8 befestigt. Das Befestigungsteil ist an den Enden der Stangen 5 angebracht und am Befestigungsteil 7 ist das Verschlussglied 8 angebracht. Die Befestigung des Verschlussgliedes 8 an den Stangen 5 könnte auch in anderer Weise erfolgen, beispielsweise könnte das Verschlussglied 8 auch direkt an den Stangen angebracht sein.

Das atmosphärenseitig vor der Wand 2 angeordnete Verschlussglied 8 weist an seiner der Wand 2 zugewandten Seite eine elastische ringförmige Dichtung 9 auf. Die Öffnung 1 wird von einem Sitz 10 umgeben, der von einer die Öffnung 1 umgebenden Dichtfläche 20 gebildet wird, welche an der atmosphärenseitig liegenden Außenfläche der Wand 2 angeordnet ist. Die Dichtung 9 kann aus einem herkömmlicherweise für Vakuumdichtungen eingesetzten elastischen Material bestehen, z.B. aus Viton.

Das Verschlussglied 8 ist vorzugsweise plattenförmig ausgebildet, wobei an seiner der Wand 2 zugeordneten Großfläche die ringförmige Dichtung 9 angeordnet ist. Die Ebene des platten förmigen Verschlussgliedes 8 ist zumindest im Wesentlichen parallel zur Ebene 11 des Sitzes 10 angeordnet.

Im geschlossenen Zustand der Tür (vgl. Fig. 11) ist die Dichtung 9 an den Sitz 10 angepresst und die Öffnung 1 ist vom Verschlussglied 8 abgedichtet. • · • *

Grundsätzlich könnten die Dichtung 9 auch am Sitz 10 und die Dichtfläche 20 am Verschlussglied 8 angeordnet sein.

Der Sitz 10, d.h. die den Sitz 10 bildende Dichtfläche 20 oder die am Sitz 10 angeordnete Dichtung, liegt in einer Ebene 11, die rechtwinklig zur Achse 12 der Öffnung 1 steht Die Ebene 11 entspricht im gezeigten Ausführungsbeispiel der Ebene, in der die äußere Oberfläche der die Öffnung 1 aufweisenden Wand 2 liegt.

Die Stangen 5 sind durch einen Antrieb 13 in Richtung ihrer Längsachse 6 verschiebbar. Im gezeigten Ausführungsbeispiel wird der Antrieb 13 von einer Kolben-Zylinder-Einheit gebildet, wobei eine Zylinderbohrung 14 in Türkörper 4 ausgebildet ist. Der in der Zylinderbohrung 14 angeordnete Kolben 15, der in der Zylinderbohrung 14 parallel zu den Längsachsen 6 der Stangen 5 verschiebbar ist, ist über eine Kolbenstange 16 mit einem Joch 17 verbunden, über welches die Stangen 5 an ihren vom Verschlussglied 8 abgewandten Enden miteinander verbunden sind. Mit diesen Enden ragen die Stangen 5 auf der vom Ver-schlussglied 8 abgewandten Seite aus dem Türkörper 4 heraus. Die Kolbenstange 16 liegt zwischen den beiden Stangen 5 und greift zentral am Joch 17 an.

Das Joch 17 ist unterhalb einer Abdeckung 21 angeordnet, die in Fig, 9 entfernt ist.

Ein Antrieb, der zur axialen Verschiebung der mindestens einen Stange 5, an der das Verschlussglied 8 befestigt ist, dient und der mindestens eine Kolben-Zylinder-Einheit als Aktuator aufweist, könnte auch in anderer Weise als dargestellt ausgebildet sein. Obwohl der Einsatz mindestens einer, insbesondere pneumatischen, Kolben-Zylinder-Einheit als Aktuator bevorzugt ist, ist auch ein Einsatz eines in anderer Weise ausgebildeten Aktuators, beispielsweise ein Elektromotor, möglich.

Durch die axiale Verschiebung der mindestens einen Stange 5 mit dem Antrieb 13 kann somit das Verschlussglied 8 über einen gradlinigen Verstellweg zwischen zwei Endstellungen verschoben werden. In der einen Endstellung befindet sich das Verschlussglied 8 in seiner Offenstellung (vgl. Fig. 1, 7 und 9), in welcher es die Öffnung 1 vollständig freigibt, d. h. in Richtung der Achse 12 der Öffnung 1 gesehen überdeckt es die Öffnung 1 nicht, In der anderen Endstellung befindet sich das Verschlussglied 8 in einer Wirkstellung (vgl. Fig. 2 bis 6, 8 und 19). In dieser überdeckt es die Öffnung 1 in Richtung der Achse 12 der Öffnung 1 gesehen vollständig, ist vom Sitz 10 aber noch geringfügig abgehoben. Da die ·· · · ·· ·<·* «« • * * * l| · I * « «· · · «II · » * * * * · · * • · ♦ *····« ........8........ Längsachse 6 der jeweiligen Stange 5 gegenüber der Ebene 11 des Sitzes 10 geneigt ist, also schräg zu dieser steht, ist auch die Verstellrichtung 23, in welcher die lineare Verschiebung des Verschlussgliedes 8 zwischen seiner Freigabestellung und seiner Wirkstellung erfolgt, entsprechend gegenüber der Ebene 11 des Sitzes 10 geneigt.

Vorzugsweise wird die Neigung der Längsachse 6 der jeweiligen Stange 5 gegenüber der Ebene 11 des Sitzes 10 durch eine gegenüber der Längsachse 6 der jeweiligen Stange 5 geneigte Seitenwand 22 des Türkörpers 4 erreicht, die im atmosphärenseitig an der Wand 2 befestigten Zustand des Türkörpers 4 an der Außenseite der Wand 2 anliegt.

Der Abstand s (vlg. Fig. 10) der Dichtung 9 vom Sitz 10 ist in der Wirkstellung des Verschlussgliedes 8 so gering, dass das Verschlussglied 8 beim Abpumpen der zuvor unter Atmosphärendruck stehenden Vakuumkammer 3 durch die Druckdifferenz in Folge der sich durch den Schlitz zwischen der Dichtung 9 und dem Sitz 10 ausbildenden Strömung gegen den Sitz 10 gezogen wird, worauf die Dichtung 9 durch den sich ausbildenden Differenzdruck verpresst wird. Die Verpressung der Dichtung 9 ist hierbei so groß, dass eine Abdichtung zwischen dem Sitz 10 und dem Verschlussglied 8 erreicht wird. Dieser vollständig geschlossene Zustand der Tür ist in Fig. 11 dargestellt.

Das Verschlussglied 8 wird somit zunächst durch den Antrieb 13 aktiv in die schräg zur Ebene 11 des Sitzes 10 stehende Verstellrichtung von seiner Freigabestellung in seine Wirkstellung verstellt. In der Folge erfolgt durch das Abpumpen der Vakuumkammer 3 eine passive Verstellung, also ohne einen hierfür eigens vorgesehenen Aktuator, von der Wirkstellung in eine Schließstellung, in welcher der geschlossene Zustand der Tür vorliegt, vgl. Fig. 11, indem die bei der aktiven Verstellung von der Freigabestellung in die Wirkstellung unter Atmosphärendruck stehende Vakuumkammer 3 nach dieser aktiven Verstellung abgepumpt wird.

Die passive Verstellung des Verschlussgliedes 8 erfolgt im Wesentlichen parallel zur Achse 12 der Öffnung 1 unter elastischer Verbiegung der Stangen 5.

Eine Pumpe 18 zum Abpumpen der Vakuumkammer 3 ist in Fig. 7 schematisch dargestellt.

Der Winkel 19, den die jeweilige Stange 5 und somit die Verstellrichtung 23 mit der Ebene 11 des Sitzes 10 einschließt, liegt vorzugsweise im Bereich von 3° bis 10°. Im gezeigten Ausführungsbeispiel beträgt dieser Winkel ca. 5°. «· · · »*·♦·«·* * · ·* t ··· • · * ··»· ♦ * • * · | « · 9'

Der Abstand s, den die Dichtung 9 in der Wirkstellung des Verschlussgliedes 8 an der Dichtfläche 20 aufweist, ist vorteilhafterweise kleiner als 0,3 mm, vorzugsweise kleiner als 0,2 mm.

Ein Bereich von 0,01 mm bis 0,2 mm für den Abstand s ist bevorzugt, ein Bereich von 0,05 mm bis 0,1 mm besonders bevorzugt.

In einer modifizierten Ausbildung der Erfindung könnte das Verschlussglied 8 in seiner Wirkstellung bereits am Sitz 10 anliegen, wobei die Dichtung 9 aber noch nicht oder höchstens geringfügig verpresst ist. Die auf die Dichtung 9 in der Wirkstellung des Verschlussgliedes 8 wirkende Kraft ist hierbei kleiner als 10% der auf die Dichtung 9 wirkenden Dichtkraft in der Schließstellung des Verschlussgliedes 8, wenn als Differenzdruck der Atmosphärendruck angenommen wird. Wenn die Dichtung 9 durch ein schräges Anlaufen des Verschlussgliedes 8 an den Sitz 10 demgegenüber bereits vollständig verpresst würde, so würde dies nicht nur zu einem erhöhten Verschleiß der Dichtung 9 sondern auch zu einer unerwünschten großen Produktion von Partikeln, insbesondere durch den Abrieb der Dichtung 9 führen.

Durch den Einsatz von zwei vom Türkörper 4 verschiebbar geführten Stangen 5, an denen das Verschlussglied 8 befestigt ist, kann in einfacher Weise eine winkelgenaue Lage des Verschlussgliedes 8 (bezüglich einer Rotation um eine parallel zu den Längsachsen 6 liegende Achse) erreicht werden.

Anstelle der Verwendung von zwei Stangen 5 könnte auch nur eine Stange 5 eingesetzt werden oder es könnten mehr als zwei Stangen 5 eingesetzt werden. Beim Einsatz von nur einer Stange 5 wäre eine entsprechende Verdrehsicherung der Stange 5 um ihre Längsachse vorzusehen.

Der Antrieb 13 könnte auch mehr als einen Aktuator umfassen, wobei alle Aktuatoren des Antriebs 13 in Richtung einer Längsverstellung der mindestens einen Stange 5 wirken.

Das Befestigungsteil 7 kann elastisch ausgebildet sein, so dass eine elastische Verkippung des Verschlussgliedes 8 um eine rechtwinklig zur Längsachse 6 der mindestens einen Stange 5 und parallel zur Ebene 11 des Sitzes 10 liegende Kippachse ermöglicht wird. Es ·· · · ι···»·«· t · · * ··« I · ι » I · « <fl « * ' « · * · · » » ι · ·«·*·* ** ♦*· »»••Ι/’·· ·««» kann dadurch eine gleichmäßigere Verpressung der Dichtung 9 auch bei einer nicht exakten Lage des Verschlussgliedes 8 bezüglich dieser Kippachse erreicht werden.

Eine Verkippbarkeit des Verschlussgliedes 8 gegenüber der mindestens einen Stange 5 kann auch in anderer Weise erreicht werden, beispielsweise entsprechend dem in der Beschreibungseinleitung genannten Stand der Technik gemäß der US 6,471,181 B2. • «t Ml» t« • # • · • I • IM · * « • t * • • 1 « # * 11

Legende zu den Hinweisziffern: 1 Öffnung 2 Wand 3 Vakuumkammer 4 Türkörper 5 Stange 6 Längsachse 7 Befestigungsteil 8 Verschlussglied 9 Dichtung 10 Sitz 11 Ebene 12 Achse 13 Antrieb 14 Zylinderbohrung 15 Kolben 10 Kolbenstange 17 Joch 18 Pumpe 19 Winkel 20 Dichtfläche 21 Abdeckung 22 Seitenwand 23 Verstelirichtung

Claims (15)

1. Patentanwälte : : *: HefelSHofmanlFi*; ·:· φ· ·♦♦* «· • · • M · « • · · » ♦ · m mm mm * * ··* Patentanwälte European Patent Attorneys European Trademark Attorneys Dl Herbert Hefel (bis 2006) Dr. Ralf Hofmann Dr. Thomas Fechner 6Θ06 Feldkirch, Austria Egelseestr 65a, Postfach 61 22809/33/ir 091023 Patentansprüche 1, Tür zum Verschießen einer Öffnung (1) in einer Wand (2) einer Vakuumkammer (3) gegenüber Atmosphäre umfassend einen atmosphäreseitig an der Wand (2) zu montierenden Türkörper (4), ein Verschlussglied (8), von dem in einem geöffneten Zustand der Tür die Öffnung (1) in der Wand (2) freigebbar ist und von dem in einem geschlossenen Zustand der Tür die Öffnung (1) durch Anlegen des Verschlussgliedes (8) an einen die Öffnung (1) umgebenden Sitz, der in einer Ebene (11) liegt, und durch Verpressung einer Dichtung (9), die am Verschlussglied (8) oder am Sitz (10) angeordnet ist, gegen eine am anderen dieser beiden Teile angeordnete Dichtfläche (20) verschließbar ist, einen Antrieb (13), von dem das Verschlussglied (8) zwischen einer zurückgezogenen Freigabestellung, die es im geschlossenen Zustand der Tür einnimmt, und einer vorgeschobenen Wirkstellung über einen Verstellweg verstellbar ist, und mindestens eine Stange (5), an der das Verschlussglied (8) befestigt ist und die vom Antrieb (13) in Richtung ihrer Längsachse (6) verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsachse (6) der mindestens einen Stange (5) zur Ebene (11) des Sitzes (10) geneigt ist, wobei durch Verschiebung der mindestens einen Stange (5) in Richtung ihrer Längsachse (6) das Verschlussglied (8) vom Antrieb (13) in Richtung der Längsachse (6) der mindestens einen Stange (5) zwischen seiner Freigabestellung und seiner Wirkstellung verstellbar ist.
2. 2. Tür nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Neigung der Längsachse (6) der mindestens einen Stange (5) gegenüber der Ebene (11) des Sitzes (10) im Bereich von 3° bis 10° liegt. Bankverbindungen Österreichische Postsparkasse Konto Nr. 92 111.622, BLZ 60000 Swift-Code OPSKATWW IBANr ATS5 6000 0000 9211 1622 Spa'kasse der Stadt Feldkirch Konto Nr. 0400-006300, BLZ 20604 Swift-Code: SPFKAT2B IBAN: AT70 2060 4004 0000 6300 T . 43 (0)5522 73 137 P -43 (0)5522 73 359 M office@vpat.at I www.vpat at VAT ATU 64196033 * V • * · · • /1 * · • · · ♦ · ♦ · · • » 1
3. · « · 3. Tür nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in der Wirkstellung des Verschlussgliedes (8) bei in der Vakuumkammer (3) vorliegendem Atmosphärendruck die Dichtung (9) zumindest im Wesentlichen unverpresst ist.
4. 4. Tür nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass in der Wirkstellung des Verschlussgliedes (8) bei in der Vakuumkammer (3) vorliegendem Atmosphärendruck die Dichtung (9) von der Dichtfläche (20) beabstandet ist.
5. 5. Tür nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand kleiner als 0,3 mm, vorzugsweise kleiner als 0,2 mm ist.
6. 6. Tür zum Verschießen einer Öffnung (1) in einer Wand (2) einer Vakuumkammer (3) gegenüber Atmosphäre umfassend einen atmosphäreseitig an der Wand (2) zu montierenden Türkörper (4), ein Verschlussglied (8), von dem in einem geöffneten Zustand der Tür die Öffnung (1) in der Wand (2) freigebbar ist und von dem in einem geschlossenen Zustand der Tür die Öffnung (1) durch Anlegen des Verschlussgliedes (8) an einen die Öffnung (1) umgebenden Sitz, der in einer Ebene (11) liegt, und durch Verpressung einer Dichtung (9), die am Verschlussglied (8) oder am Sitz (10) angeordnet ist, gegen eine am anderen dieser beiden Teile angeordnete Dichtfläche (20) verschließbar ist, einen Antrieb (13), von dem das Verschlussglied (8) zwischen einer zurückgezogenen Freigabestellung, die es im geschlossenen Zustand der Tür einnimmt, und einer vorgeschobenen Wirkstellung über einen Verstellweg verstellbar ist, und mindestens eine Stange (5), an der das Verschlussglied (8) befestigt ist und die vom Antrieb (13) in Richtung ihrer Längsachse (6) verschiebbar ist, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Türkörper (4) eine Seitenwand (22) zur Anlage an der die Öffnung (1) aufweisenden Wand (2) der Vakuumkammer (3) im an der Wand (2) montierten Zustand der Tür aufweist und dass die Längsachse (6) der mindestens einen Stange (5) gegenüber dieser Seitenwand des Türkörpers (4) geneigt ist.
7. 7. Tür nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Neigung der Längsachse (6) der mindestens einen Stange (5) gegenüber der zur Anlage an der Wand (2) der Vakuumkammer (3) vorgesehenen Seitenwand des Türkörpers (4) im Bereich von 3° bis 10° liegt. i
8. · · * 8. Tür nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschluss glied (8) an mindestens zwei Stangen (5) befestigt ist, wobei die Längsachsen (6) der Stangen (5), an denen das Verschlussglied (8) befestigt ist, parallel zueinander liegen.
9. 9. Tür nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Stangen (5) durch ein Joch (17) miteinander verbunden sind, auf welches der Antrieb (13) einwirkt.
10. 10 Tür nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine jeweilige Stange (5) vom Türkörper (4) in Richtung ihrer Längsachse (6) linear verschiebbar geführt ist.
11. 11. Verfahren zum Verschließen einer eine Achse (12) aufweisenden Öffnung (1) in einer Wand (2) einer Vakuumkammer (3) gegenüber Atmosphäre mittels eines atmosphärenseitig der Wand (2) angeordneten Verschlussgliedes (8), von dem in einem geöffneten Zustand der Tür die Öffnung (1) in der Wand (2) freigebbar ist und von dem in einem geschlossenen Zustand der Tür die Öffnung (1) durch Anlage des Verschlussgliedes (8) an einem die Öffnung (1) umgebenden Sitz (10), der in einer Ebene (11) liegt, und durch Verpressung einer Dichtung (9), die am Verschlussglied (8) oder am Sitz (10) angeordnet ist, gegen eine am anderen dieser beiden Teile angeordnete Dichtfläche (20) verschließbar ist, wobei das Verschlussglied (8) mittels eines Antriebs (13) von einer zurückgezogenen Freigabestellung, in welcher das Verschlussglied (8) in Richtung der Achse (12) der Öffnung (1) gesehen, die Öffnung (1) vollständig freigibt, in eine vorgeschobene Wirkstellung über einen Verstellweg verstellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussglied (8) vom Antrieb (13) über den gesamten Verstellweg von der Freigabestellung in die Wirkstellung des Verschlussgliedes (8) geradlinig in eine zur Ebene (11) des Sitzes (10) geneigte Verstellrichtung verstellt wird.
12. 12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Neigung der Verstellrichtung gegenüber der Ebene (11) des Sitzes (10) im Bereich von 3° bis 10° liegt.
13. 13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass bis zu der am Ende des Verstellweges vorliegenden Wirkstellung des Verschlussgliedes (8), in der das Verschlussglied (8) die Öffnung (1) in Richtung der Achse (12) der Öffnung (1) gesehen, vollständig überdeckt, aber die Dichtung (9) zumindest im Wesentlichen unverpresst ist, Atmosphärendruck in der Vakuumkammer (3) beibehalten wird und in der Folge die Vakuumkammer (3) abgepumpt wird, wobei das Verschlussgiied (8) durch eine sich da- V Μ » • · ·· • *· * ψ ♦ ♦ • · durch einstellende Druckdifferenz an den Sitz (10) angedrückt und die Dichtung (9) gegen die Dichtfläche (20) verpresst wird und die Tür ihren geschlossenen Zustand ein-nimmt.
14. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtung (9) in der Wirkstellung des Verschlussgliedes (8) von der Dichtfläche (20) beabstandet ist.
15. 15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Dichtung (9) von der Dichtfläche (20) in der Wirkstellung des Verschlussgliedes (8) kleiner als 0,3 mm, vorzugsweise kleiner als 0,2 mm ist.